Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Получение профилированных монокристаллов карбида кремния методами сублимации и электрической эрозии

Карачинов, Владимир Александрович 2005
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники

Фатьянова, Галина Ивановна 2005
Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии

Алтухов, Андрей Александрович 2005
Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники

Леонов, Леонид Борисович 2005
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы

Гришко, Анна Сергеевна 2005
Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов

Миркурбанов, Халит Абдулгазизович 2005
Разработка технологии и оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок для производства гибких печатных плат

Трофименко, Кирилл Андреевич 2005
Разработка технологии массового производства радиационно стойких монокристаллических сцинтилляторов вольфрамата свинца

Анненков, Александр Николаевич 2005
Реология ферритовых дисперсных систем и ее применение в технологии производства изделий магнитоэлектроники

Андреев, Валерий Георгиевич 2005
Стеклообразование и кристаллизация стекол в системах боратов редкоземельных элементов

Петрова, Ольга Борисовна 2005
Технология изготовления и исследование одночастотных полупроводниковых лазеров с волоконно-брэгговской решеткой

Климов, Кирилл Игоревич 2005
Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники

Пасюта, Вячеслав Михайлович 2005
Технология создания радиационно-окрашенных лазерных кристаллов LiF с агрегированными центрами окраски

Конюшкин, Василий Андреевич 2005
Технология элементной базы защитных устройств для радиолокаторов сверхвысоких частот

Соловьев, Юрий Владимирович 2005
Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники

Курбатов, Олег Константинович 2005
Формирование и исследование свойств нитевидных нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия

Белов, Алексей Николаевич 2005
Формирование многокомпонентных твердых растворов GaSb<Bi> и GaInSb<Bi> для инжекционных излучателей ИК-диапазона

Севостьянов, Александр Сергеевич 2005
Взаимодействие примесных атомов и собственных точечных дефектов при формировании кислородсодержащих термодоноров в бездислокационных монокристаллах кремния

Арапкина, Лариса Викторовна 2004
Влияние примесей на кинетику и механизмы окисления поликристаллических слоев селенида свинца при формировании фоточувствительных структур

Голубченко, Надежда Владимировна 2004
Защитные тонкопленочные покрытия на основе нитридов элементов III и IV групп периодической системы: Получение, свойства и применение

Александров, Дмитрий Викторович 2004