Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
| Тема диссертации | Автор | Год | |
|---|---|---|---|
| Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы | Добрынин, Андрей Витальевич | 0 |