Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Пасюта, Вячеслав Михайлович

• Пасюта, Вячеслав Михайлович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Пасюта, Вячеслав Михайлович

Введение.

Глава 1. Получение, свойства и применение пленок ЛБ ПИ.

1.1. Свойства ПИ.

1.2. Получение наноразмерных пленок ПИ с помощью метода ЛБ.

1.2.1. Формирование пленок ЛБ преполимера ПИ: ленгмюровский монослой и его перенос на твердую подложку.

1.2.2. Получение наноразмерных пленок ПИ — имидизация пленок ЛБ преполимера.

1.3. Свойства и применение наноразмерных пленок ПИ, полученных с использованием метода ЛБ.

1.3.1. Применение пленок ПИ в качестве ультратонких диэлектрических слоев.

1.3.2. Получение проводящих углеродных ультратонких пленок путем пиролиза ПИ пленок.

1.3.3. ПИ пленки как матрицы для записи информации.

1.3.4. Газоразделительные мембраны, содержащие ПИ пленки.

1.3.5. Использование ультратонких пленок ПИ для создания светоизлучающих приборов.

1.3.6. Фотопроводящие наноразмерные пленки ПИ.

1.3.7. Ультратонкие гетероэпитаксиальные пленки SiC.

1.3.8. Применение пленок ПИ в качестве ориентирующих слоев для ЖК ячеек, антифрикционных покрытий (твердых смазок), матриц, содержащих функционально активные комплексы, и фоторезистов.

Глава 2. Аппаратура, методы получения и исследования пленок ЛБ.

2.1. Конструкции и требования к исполнительным и измерительным узлам установки ЛБ.

2.2. Автоматический комплекс для получения наноразмерных пленок методом ЛБ, созданный в ЦМИД СПбГЭТУ.

2.3. Материалы и подложки, используемые для получения ультратонких пленок

ПИ с применением технологии ЛБ.

2.4. Методы исследования пленок ЛБ преполимера и пленок ПИ.

Глава 3. Получение, структура и морфология пленок ЛБ преполимера жесткоцепного ПИ.

3.1. Исследование ленгмюровских монослоев ПАК, ТА и соли ПАК: изотермы сжатия и кривые стабильности монослоя преполимера — соли ПАК.

3.2. Формирование пленок ЛБ преполимера.

3.3. Структура пленок ЛБ преполимера.

3.4. Морфология пленок ЛБ преполимера.

Глава 4. Получение, структура и морфология наноразмерных пленок жескоцепного ПИ.

4.1. Наноразмерные пленки жесткоцепного ПИ, полученные методами термической и химической имидизации.

4.2. Изменение структуры и морфологии пленок ЛБ перполимера в ходе термической имидизации.

4.3. Особенности строения ультратонких пленок жесткоцепного ПИ полученных методом ЛБ.

Глава 5. Применение наноразмерных пленок жесткоцепного ПИ.

5.1. Применение наноразмерной пленки ПИ в структуре МТДП.

5.2. Эффект стабилизации электретных свойств в структуре «S1O2-наноразмерная пленка ПИ».

5.3. Структура «наноразмерная пленка ПИ - неорганическая механическая мембрана» для устройств микросистемной техники.

5.4. Применение наноразмерных пленок ПИ для формирования мультислойных органических газоразделительных мембран.

5.5. Формирование матрицы наноразмерных ПИ мембран методом ЛБ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники»

Актуальность работы. Устойчивая тенденция к миниатюризации элементов электронной и микросистемной техники (МСТ) постоянно стимулирует поиск новых веществ и методов формирования ультратонких пленок и покрытий. Метод Ленгмюра-Блоджетт (ЛБ), основанный на переносе монослоев дифильного органического вещества с поверхности жидкой фазы на твердую подложку, позволяет без значительных экономических затрат (не требует высоких температур и вакуумирования) формировать на поверхности твердого тела органические нанослоевые композиции различного функционального назначения. Уникальность метода ЛБ заключается в возможности послойно увеличивать толщину получаемой пленки, причем толщина одного слоя определяется размером молекулы используемого вещества.

Для практического применения наибольший интерес представляют пленки и покрытия, обладающие высокой термостабильностью, механической, химической и радиационной стойкостью. Среди органических веществ данным требованиям наиболее полно удовлетворяют термостойкие полимеры -полиимиды (ПИ). Пленки ПИ толщиной до нескольких микрон уже используются в различных устройствах МСТ: микронасосы, мембранные клапаны, микромеханические виброакустические преобразователи, микродатчики давления и потока. Метод ЛБ является основой способа, позволяющего получать ультратонкие пленки ПИ толщиной от единиц до сотен нанометров. В последнее время круг областей применения наноразмерных пленок ПИ постоянно расширяется. Введение в состав полимерной цепи ПИ различных функциональных групп позволяет перейти от традиционно диэлектрических пленок к пленкам, обладающим проводимостью, нелинейно-оптическими, люминесцентными и фотоэлектрическими свойствами. Кроме того, ультратонкие пленки ПИ могут быть использованы в МСТ в качестве антифрикционных и гидрофобизирующих покрытий.

В классе ПИ особое место занимают жесткоцепные ПИ, которые отличаются наивысшей термостабильностью среди известных полимеров. Одним из наиболее перспективных ПИ для использования в МСТ является жесткоцепный ПИ ДФ-оТД, который является диэлектриком с высокой термостойкостью (температура, при которой потеря массы составляет 5%, равна 560°С) и значением коэффициента линейного температурного расширения (КТР) близким к значению КТР основных материалов, используемых в микроэлектронике и МСТ.

Тематика диссертационной работы соответствует одному из приоритетных направлений развития науки и технологий РФ — «Индустрия наносистем и материалов». Работа является актуальной в научном плане, т.к. направлена на исследование процессов, происходящих при формировании нанослоев высокомолекулярных органических веществ на различных подложках, и представляет практический интерес при решении задач по применению новых материалов и их нанокомпозиций для создания базовых конструктивных и функционально-активных элементов МСТ: мембран и покрытий со специальными свойствами. Результаты диссертационной работы могут быть использованы в рамках образовательного процесса по недавно открытому направлению подготовки кадров - «Нанотехнология».

Целью работы являлась разработка на основе метода Ленгмюра-Блоджетт технологии получения термостойких диэлектрических наноразмерных пленок жесткоцепных полиимидов и их применение для создания базовых конструкционных и функционально-активных элементов микросистемной техники.

В соответствии с поставленной целью в работе решались следующие задачи:

1. Разработка и изготовление двухсекционной автоматизированной установки ЛБ с симметричным расположением двух сжимающих барьеров

2. Разработка технологии получения пленок ЛБ преполимера и технологии получения наноразмерных пленок ПИ путем термической и химической имидизации пленок ЛБ преполимера.

3. Исследование влияния условий формирования пленок ЛБ преполимера и ПИ на их структурные и морфологические характеристики.

4. Разработка методики получения наноразмерных полимерных мембран жесткоцепного ПИ на «полых» сетчатых подложках - матрицах.

5. Исследование электрических характеристик структур с использованием наноразмерных пленок ПИ.

6. Разработка методики формирования композиционной бислойной мембраны «неорганический материал - наноразмерная пленка ПИ» с уменьшенным значением внутреннего напряжения для микромеханических первичных преобразователей.

7. Разработка методики формирования композиционной газоселективной бислойной мембраны «нанопористая органическая мембрана — наноразмерная пленка ПИ», обладающей повышенным значением коэффициента разделения газов с близкими молекулярными массами.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Установлено, что использование в качестве преполимера алкиламмонийной соли полиамидокислоты (ПАК) ДФ-оТД с двумя молекулами третичного амина (ТА) позволяет формировать на поверхности раздела «вода-воздух» стабильные монослои конденсированного типа, при осаждении которых на твердую подожку методом ЛБ формируются пленки Y-типа.

2. Установлено, что характер надмолекулярной организации пленок ЛБ преполимера и ПИ зависит от давления, создаваемого в монослое при получении пленки ЛБ преполимера, количества нанесенных на подложку слоев и способа проведения имидизации.

3. Экспериментально определены области температур, характеризующие процесс формирования наноразмерных пленок ПИ в ходе термической имидизации пленки ЛБ преполимера. Установлено, что при нагревании пленок ЛБ преполимера до 250°С происходит удаление молекул ТА из пленки, а в ходе дальнейшего подъема температуры до 400°С увеличивается плотность укладки полимерных цепей в пленке ПИ.

4. Экспериментально показана возможность формирования наноразмерных пленок ПИ на «полых» сетчатых матрицах - металлических подложках, с отношением толщины пленки к линейным размерам ячейки порядка 1:1000.

5. Обнаружены эффекты: 1) временной стабилизации заряда электрета в системе «Si02 - наноразмерная пленка ПИ»; 2) снижения внутреннего напряжения в бислойной мембране — «неорганический материал - наноразмерная пленка ПИ» микромеханического первичного преобразователя; 3) повышения коэффициента разделения близких по молекулярной массе газов азота и кислорода при использовании композиционной мембраны «полифиниленоксид — наноразмерная пленка ПИ».

Практическая значимость работы заключается в следующем:

1. Разработан и изготовлен автоматизированный нанотехнологический комплекс, позволяющий получать на основе метода ЛБ моно- и мультислоевые органические композиции различного функционального назначения.

2. Разработана технология получения диэлектрических наноразмерных пленок ПИ, обладающего максимальной термостабильностью (до 560°С) и малым значением коэффициента температурного расширения

-О^-Ю^К*1), которая позволяет послойно увеличивать толщину пленки на твердой поверхности, причем толщина каждого слоя составляет 0,55-0,70 нм.

3. Разработана технология формирования матриц на основе наноразмерных полимерных пленок - мембран толщиной 70-130 нм из жесткоцепного ПИ, предназначенных для микромеханических преобразователей

4. Показано, что наноразмерные (1-4 нм) пленки ПИ обеспечивают получение электретов на основе структур «диоксид кремния — ПИ», не уступающих по стабильности электретного заряда композициям с покрытием из пленок политетрафторэтилена микронной толщины.

5. Разработан метод формирования бислойных мембран «неорганическая мембрана — наноразмерная пленка ПИ» для виброакустических микромеханических преобразователей, позволяющий управлять внутренним напряжением композиционной мембраны, при этом пленка ПИ может выполнять защитные и стабилизирующие электретный заряд функции.

6. Показано, что сформированная на поверхности газоселективной мембраны из полифениленоксида (ПФО) наноразмерная пленка ПИ позволяет достичь для такой композитной мембраны значения коэффициента разделения 8.5 для газов с близкими молекулярными массами - О2 и N2.

По результатам исследований получены два патента РФ: RU 2137250, H01L 21/208, 1999; RU 2193255, H01L 21/18, 2002.

Результаты работы использованы при выполнении:

- государственного контракта ТМП — ЦМИД-59 (1998-2000гг) в рамках ФЦНТП «Исследование и разработки по приоритетным направлениям науки и техники гражданского назначения» (подпрограмма «Технологии, машины и производства будущего»), проект «Интегрированные кластерные технологические микросистемы и микроинструмент»;

- проектов, выполняемых по заданию Министерства Образования

РФ: ЦМИД-65 (2001-2003гг) и ЦМИД-74 (2004г) «Исследование микро- и нанослоевых композиций широкозонных материалов неорганической и органической природы»;

- проекта МНТП «Электроника» Министерства Образования РФ ЭЛ/ЦМИД-68 (2002г) «Технология наноразмерных пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов»;

- хозяйственных договоров с организациями силовых ведомств РФ: ЦМИД-99 (2002-2004гг) «Исследование направлений и тенденций развития материаловедческого и технологического базисов, изготовление и проведение испытаний экспериментальных образцов изделий микросистемной техники», ЦМИД-102 (2003-2004гг) «Разработка унифицированных систем регистрации слабых аку сто вибрационных сигналов»; грантов РФФИ, коды проектов: № 00-03-32277 А, № 02-03-32683.

Имеются акты подтверждающие использование результатов диссертационной работы Пасюты В.М. в следующих областях: «Применение жесткоцепного полиимида ДФ-оТД в технологии Ленгмюра-Блоджетт» (Институт высокомолекулярных соединений РАН), «Технология формирования защитно-изолирующих нанослоев полиимидов на диоксиде кремния для электретных микрофонов» (ФГУП «Центр технологий микроэлектроники»), «Аппаратура и методика реализации лабораторной работы «Получение мономолекулярных слоев органических нерастворимых амфифильных веществ по технологии Ленгмюра-Блоджетт»» (Санкт-Петербургский Государственный электротехнический университет)

Научные положения, выносимые на защиту: 1. В формировании монослоя полиимидного преполимера алкилламмонийной соли ПАК ДФ-оТД, с двумя молекулами ТА на поверхности раздела «вода - воздух» основную роль играет взаимодействие между алифатическими цепями ТА, обуславливающее образование стабильного монослоя конденсированного типа с плотной укладкой полимерных цепей на поверхности воды.

2. Пленки ЛБ преполимера состоят из доменов, размер которых зависит от давления создаваемого в монослое при переносе его на твердую подложку и количества слоев в пленке, при этом цепи ТА образуют слои с плотной упаковкой алифатических цепей, ориентированных перпендикулярно подложке.

3. При проведении имидизации доменная структура пленок ЛБ преполимера сохраняется независимо от способа имидизации, однако пленки ПИ, полученные в результате термической обработки, обладают более высокой плотностью укладки полимерных цепей и меньшим значением шероховатости по сравнению с пленками, образовавшимися в результате химической обработки.

Автор выражает признательность научному руководителю профессору ЛучининуВ.В. и с.н.с. Голоудину С.И., а также Дунаеву А.Н. и Казак-Казакевичу А.З. за постоянное внимание, поддержку и помощь в работе. Автор благодарит Панова М.Ф. (проведение эллипсометрических исследований), Кудрявцева В.В., Склизкову В.П., Гофмана В.И. и Волкова А.Я. (моделирование, синтез и проведение имидизации преполимера жесткоцепного ПИ ДФ-оТД) Розанова В.В. (исследование полученных образцов пленок методом АСМ), Клечковскую В.В., Дембо К.А., Баклагину Ю.Г., Левина А.А. и Занавескину И.С. (проведение исследований методами рентгеновской малоугловой дифракции и рефлектометрии, а также методом электронной дифракции), Корлякова А.В. и Белых С.В. (измерения параметров механических мембран), Казадаеву Д. (измерения электретного потенциала), Полоцкую Г.А. (за предоставленные мембраны ПФО и проведение измерений параметров композитной газоселективной мембраны).

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Пасюта, Вячеслав Михайлович

Основные результаты и выводы по работе:

1. Разработан и изготовлен автоматизированный комплекс, позволяющий получать на основе метода ЛБ моно- и мультислоевые органические композиции низкомолекулярных и высокомолекулярных веществ различного функционального назначения.

2. Получены изотермы сжатия монослоя преполимера на поверхности воды, сопоставление параметров изотермы сжатия преполимера с моделью молекулы этого полимера показало, что в монослое образуется плотная укладка полимерных цепей.

3. Методами структурного анализа установлено, что пленки преполимера имеют структуру Y-типа, при этом в монослое при давлении 25 мН/м и выше формируется плотная упаковка ориентированных перпендикулярно подложке алифатических цепей ТА, отсутствие которой при низких давлениях приводит к уменьшению межплоскостного расстояния в пленках ЛБ. Наиболее равномерной по толщине является пленка, полученная при давлении 25 мН/м.

4. Определено, что в процессе термической имидизации в интервале температур 200-250°С происходит удаление молекул ТА из пленки. В ходе дальнейшего увеличения температуры происходит увеличение плотности укладки полимерных цепей.

5. Анализ морфологии пленок ЛБ преполимера и пленок ПИ показал, что они состоят из доменов, при этом характеристический размер доменов практически не меняется в результате проведения термической или химической имидизации.

6. Установлено, что характеристический размер доменов зависит от поверхностного давления в монослое, при котором формировалась пленка преполимера, причем увеличение давления в монослое приводит к увеличению плотности расположения доменов и уменьшению их размеров.

7. Степень шероховатости ПИ пленок зависит от способа проведения имидизации пленок ЛБ соли ПАК: после термической имидизации шероховатость пленки существенно уменьшается, а химическая имидизация не приводит к изменению шероховатости пленки.

8. Экспериментально показана возможность формирования наноразмерных полимерных мембран из жесткоцепного ПИ на «полых» металлических сетчатых матрицах, при этом соотношение между толщиной пленки и линейным размером ячейки достигает 1:1000.

9. Обнаружен эффект снижения внутреннего напряжения в мембране микромеханического устройства, который был достигнут за счет формирования мембраны в виде композиционной бислойной системы «неорганический материал - наноразмерная пленка ПИ».

10. Показано, что наноразмерные (1 — 4 нм) пленки ПИ обеспечивают получение электретов на основе структур «БЮг — ПИ», не уступающих стабильности электретного заряда композициям с покрытием из пленок политетрафторэтилена микронной толщины.

11. Использование наноразмерной пленки ПИ в составе композитной мембраны «полифениленоксид - ПИ» позволяет достичь значения коэффициента разделения 8.5 для газов (азот и кислород), имеющих близкие значения молекулярных масс.

Заключение

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Пасюта, Вячеслав Михайлович, 2005 год

1. Полиимиды - класс термостойких полимеров / М.И. Бессонов и др... - Л.: Наука, 1983.-328 с.

2. Preparatoin of mono- and multilayer films of aromatic polyimides using Langmuir-Blodgett technique / M. Kakimoto et al. // Chem. Lett. 1986. - P.823-826.

3. Preparation of monolayer films of aromatic polyamic acid alkylamine salts at air-water interface / M. Suzuki et al. // Chem.Lett. 1986. - P.395-398.

4. Полимерные монослои и пленки Ленгмюра-Блоджетт. Влияние химической структуры полимера и внешних условий на формирование и свойства организованных планарных ансамблей / А.А. Арсланов // Успехи химии. 1994. - Т.63. -№1. — С.3-41.

5. Платэ, Н.А. Гребнеобразные полимеры и жидкие кристаллы / Н.А. Платэ, В.П. Шибаев // М.: Химия, 1980.-304с.: ил.

6. Yuba, Т. Morphology of Langmuir-Blodgett films of polyamic acid long alkyl amine salt and polyimide, and polarity of spreading solvents / T. Yuba, M. Kakimoto, Y. Imai // Jap.J.Polim.Sci. and Technol. 1994. - V.51. - №12. - P. 813-818.

7. Структура растворов гребнеобразных преполимеров полиимидов / Н.А. Калинина и др. // Высокомолек. Соед. Сер.А. 2001. - Т.43. - №4. - С. 1-6.

8. Исследование структуры полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт / Н.Д. Степина и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2001. №8. — С.79-83.

9. Особенности процессов имидизации амфифильных солей жесткоцепных полиамидокислот и структура пленок Ленгмюра-Блоджетт на их основе / В.В. Кудрявцев и др. // Высокомолек. Соед. Сер.А. — 2001. — Т.43. №7. — С. 12111220.

10. Ц 10. 7t-A isoterms and electrical properties of polyamic acid alkylamine salts

11. PAAS) langmuir-Blodgett films / T.W.Kim et al. // Thin Solid Films. 1996. -V.284-285. - P.500-504.

12. Baker, S. The preparation of high quality Y-type polyimide Langmuir-Blodgett films / S. Baker, A. Seki, J. Seto // Thin Solid Films. 1989. - V.180. - P.263-270.

13. Stability and transferability of monolayers of polyamic acid salts / G. Tae et al. // Synthetic Metals. 1995. - V.71. - P.2097-2098.

14. Well-ordered Langmuir-Blodgett films fro polyamic acid tert-amine salts bearing multichains / K. Hirano et al. // Langmuir. 1992. - №8. - P.3040-3042.

15. Yokoyama, S. Surface observasion of Langmuir-Blodgett films of polyamic acid alkylamine salts and polyimide by atomic force microscopy and friction force microscopy / S. Yokoyama, M. Kakimoto, Y. Imai // Synthetic Metals. 1996. -V.81. — P.265-270.

16. Uekita, M. Heat-stable aromatic polimer precursor as Langmuir-Blodgett materials / M. Uekita, H. Awaji, M. Murata // Thin Solid Films. 1988. - V.160. -C.21-32.

17. Measurement of long alkyl chain tilting angle of Langmuir-Blodgett films of polyamic acid alkylamine salts / M. Kakimoto et al. // J.Coll. and Int.Sci. 1988. -V. 121. - №2. — P.599-601.

18. Спектрально-люминесцентные свойства и электропроводность полиимидных ленгмюровских пленок / А.С. Холманский и др. //Журнал Физической Химии. 1990. - Т.64. - №6. - С.1630-1636.

19. Preparation and monolayer thickness of Langmuir-Blodgett films oftrpolyimides having various chemical structures / Y. Nishikata et al. // Polymer Journal. 1988. - V.20. - №3. - P.269-272.

20. Jeong, S.W. A study on the preparation of aromatic polyimide Langmuir-Blodgett films / S.W. Jeong, H.S .Lim // Synthetic Metals. 2001. - V.123. - P.183-187.

21. Sotobayashi, H. Scanning tunneling microscopy of polyimide monolayers prepared by the Langmuir-Blodgett technigue / H. Sotobayashi, T. Schilling, B. Tesche// Langmuir. 1990. - №6. - P. 1246-1250.

22. Fujiwara, I. Scanning tunneling microscopy study of a polyimide Langmuir-, Blodgett film / I. Fujiwara, C. Ishimoto, J. Seto // J. Vac. Sci. Technol. B. V.9.2.-1991.

23. The morphology and electronic structure of ordered polyimide monolaers/ T. Shedel-Niedrig et al. // J.Phys.:Condens.Metter. 1991. - №3. - P.823-828.

24. Schoch, K.F. Deposition and characterization of polyimide Langmuir-Blodgett films / K.F. Schoch et al. // Langmuir. 1993. - V.9. - P.278-283.

25. Исследование структурных превращений в полиимидных пленках Ленгмюра-Блоджетт методом рентгеновской рефлектометрии / Ю.Л. Емельянов и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1993. №6. - С.95-99.

26. Thermally simulated currents of Langmuir-Blodgett films / H.S. Lee et al. // Thin solid films. 1998. - V.327-329. - P.403-407.

27. High-Strength High-Modulus polyimide fibers II. Spinning an& properties of fibers / T. Kaneda et al. // Journal of Applied Polimer Science. - 1986. - V.32. -P.3151-3176.

28. Рамбиди, Н.Г. Молекулярная элементная база перспективных информационно логических устройств / Н.Г. Рамбиди, В.М. Замалин, Ю.М. Сандлер // Итоги науки и техники. Сер. Электроника. М.: ВИНИТИ. -1987. -Т.22. -С. 173.

29. Чечель, О.В. Сверхплотная запись информации / О.В. Чечель, В.Н. Николаев // Зарубежная радиоэлектроника. -1989. -№11. С.30-38.

30. Чечель, О.В. Использование пленок Ленгмюра-Блоджетт в качестве регистрирующих слоев оптических носителей информации / О.В. Чечель, В.Н. Николаев // Успехи химии. -1990. -Т.59. -Вып.11. -С.1888-1903.

31. Тодуа, П.А. Применение сверхтонких слоев органических материалов в перспективных устройствах твердотельной электроники / П.А. Тодуа,

32. Е.Ф. Шестакова // Сер. Образцовые и высокоточные измерения. Изд-востандартовю: ВИНИТИ. -1989. -№4.

33. Zylberajch, С. 2D monomolecular inorganic semi-conductors inserted in a Langmuir-Blodgett matrix / C. Zylberajch, A. Ruaudel-Teixier, A. Barraud // Synth. Met. 1988. -V.27/ -№3-4. -P.609-614.

34. Ultrathin Fe-oxided layers made from Langmuir-Blodgett films / A. Brugger et al. // Thin Solid Films. -1999. -V.338. -№1-2. -P.231-240.

35. Блинов, JI.M. Двумерные сегнетоэлектрики / JI.M. Блинов и др. //1.

36. Успехи физических наук. -2000. -Т. 170. -№3. С.246-262.

37. Capan, R. Pyroelectric figure of merit for a heterogeneous alternate layer Langmuir-Blodgett film system / R. Capan, Т.Н. Richardson, D. Lacey // Thin solid films. -2002. —V.415. P.236-241.

38. Capan, R. Cd2+ and Mn2+ incorporation in copolysiloxane/eicosylamine alternate layer LB films: influence on pyroelectric activity / R. Capan, Т.Н. Richardson, D. Lacey // Thin solid films. -1998. -V.327-329. P.369-372.

39. Pyroelectric Langmuir-Blodgett films prepsred using preformed polymers / M. Petty et al. // J.Phys. D: Appl. Phys. -1992. -V.25. P. 1032-1035.

40. Blinov, L.M. Ferroelecyric polymer Langmuir films / L.M. Blinov et al. // Thin solid films. -1996. -V.284-285. P.469-473.

41. Львов, Ю.М. Ленгмюровские пленки — получение, структура, некоторые применения / Ю.М. Львов, Л.А. Фейгин // Кристаллография. -1987. -Т.32. -Вып.З. -С.800-814.

42. Гевод, B.C. Искусственные мембранные структуры и перспективы их практического применения / B.C. Гевод, О.С. Ксенжек, И.Л. Решетняк // Биологические мембраны. -1988. -Т.5. -№12. -С.1237-1269.

43. An electrical investigation into multilayer assemblies of charge-transfermaterials / J.J. Alekna et al. // J.Phys. D: Appl. Phys. -1991. -V.24. -P.l422-1429.

44. Ultraviolet photoelectron spectroscopy and surface potential of л-conjugated Langmuir-Blodgett films on gold electrode / E. Itoh et al. // Jpn.J.Appl.Phys. -2000. V.39. P.5146-5150.

45. Well-organized phtalocyanine Langmuir-Blodgett films incorporated into symmetrical (metal/thin organic film/metal) sandwich structures / M. Burghard et al. // Synthetic metals. -1994. -V.67. -P.193-195.-s

46. Electronic properties of poly(fumarate) Langmuir-Blodgett films / K. Shigehara et al. //Thin Solid Films. -1989. -V.179. P.287-292.

47. The study of metal-insulator-semiconductor structures with Langmuir-Blodgett insulator / A.S. Dewa et al. // Thin Solid Films. -1985. -V.132. P.27-32.

48. Electrical evolution of ultrathin organic films on solid substrate / S. Sha et al. //Thin Solid Films. -1989. -V.179. P.277-282.

49. Optical and electrical properties of selectively adsorbed Langmuir-Blodgett films / C. Okazaki et al. // Thin Solid Films. -1989. -V.179. P.503-507.

50. The transport mechanism of stearic acid LB films on metal and semiconductorsubstrates / N. Gemma et al. // Synthetic metals. -1987. -V.18. -P.809-814.

51. Блинов, JI.M. Физические свойства и применение ленгмюровских моно- и мультимолекулярных структур / JI.M. Блинов // Успехи химии. -1983. -Т.52. -Вып.8. -С.1263-1300.

52. Блинов, JI.M. Ленгмюровские пленки / Л.М. Блинов // Успехи физических наук. -1988. -Т. 155. -Вып.З. -С.443-480.

53. Nyffeneger, R.M. Nanometr-Scale surface Modification using the Scaning Probe Microscope: Progress since 1991 / R.M. Nyffeneger, R.M. Penner // Chem. Rev. -1997. -V.97. -P.l 195-1230.

54. Carpick, R.W. Scratching the surface: Fundamental Investigations of Tribology with Atomic Force Microscopy / R.W. Carpick, M. Salmeron // Chem. Rev. -1997. -V.97. -P.l 163-1194.

55. Larkins, G.Z. Planar silicon field-effect transistors with Langmuir-Blodgett gate insulators / G.Z. Larkins, C.D. Fung // Thin Solid Films. -1985. -V.32. P.33-39.

56. Larkins, G.Z. Mobile ion drift in Langmuir-Blodgett films / G.Z. Larkins, C.D. Fung, S.E. Reckert // Thin Solid Films. -1989. -V.179. -P. 313-317.

57. Дешевой, A.C. О поверхностных состояниях МДП-структур с диэлектриком из слоев Ленгмюра-Блоджетт на основе фталоцианина кобальта / А.С. Дешевой, Н.К. Матвеева// Микроэлектроника. -1989. -Т. 18. -Вып.6. -С.565.

58. Пленки Ленгмюра -Блоджетт на основе цианакриловой кислоты в качестве диэлектрических покрытий на полупроводниках / И.В. Гаврилюк и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. -1991. -№11. -С. 93.

59. Электропроводность пленок Ленгмюра — Блоджетт четырехзамещенных фталоцианинов ванадила(4К!-УОРс) и меди(4К2-СиРс) / З.И. Казанцева и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. -1991. -№8. -С. 87.

60. Полевой транзистор с МТДП контактами и подзатворным диэлектриком на основе ленгмюровских пленок /B.C. Банников и др. // Письма в ЖТФ. -1989. -Т.15. -В.6. -С.15

61. Iwamoto, М. Electrical properties of polyimide Langmuir-Blodgett films sandwiched between superconducting electrodes: detection of microwaves / M. Iwamoto, T. Kubota, M. Sekine // Thin Solid Films. 1989. - V.180., -P.185-192.

62. Electrical Transport Properties of Josephson Junctions Using Polyimide Langmuir-Blodgett Films / M. Iwamoto et al. // Jpn.J.Appl.Phys. 1990. V.29. P.116-119.

63. Петли гистерезиса на зависимостях тока от напряжения в магнитных туннельных переходах / A.M. Баранов и др. // Радиотехника и электроника. -2001. Т.46. - №1. - С.102-108.

64. Iwamoto, М. Electrical properties of Au/Polyimide/Squarylium-arachidic acid junctions fabricated by Langmuir-Blodgett technique / M. Iwamoto, S. Shidon // JpnJ.Appl.Phys. -1990. -V.29. -№10. -P.2031-2037.

65. Kubota, Т. Measuriment of Surface energy states in polyimide Langmuir-Blodgett tunneling barrier / T. Kubota, S. Kuragasaki, M. Iwamoto // JpnJ.Appl.Phys. 1998. V.37. P.4428-4432.

66. Iwamoto, M. Electrical transport and electrostatical properties of polyimide Langmuir-Blodgett films / M. Iwamoto, T. Kubota // Synthetic Metals. 1995. -V.71. P.1981-1984.

67. Iwamoto, M. Electrical properties of polyimide Langmuir-Blodgett films deposited on noble metal electrodes / M. Iwamoto, T. Kubota, M. Sekine // J.Phys. D: Appl. Phys. 1990. - №23. - P.575-580.

68. Fukuzava, M. Electrical breakdown of ultra-thin polyimide Langmuir-Blodgett films under a needle-plane electrode system / M. Fukuzava, H. Ikedou, M. Iwamoto // Thin Solid Films. 2003. - V. 438-439, -P.243-247.

69. Itoh, E. Electronic density of state in metal/polyimide Langmuir-Blodgett film interface and its temperature dependence / E. Itoh, M. Iwamoto // J. Appl. Phys., -1997. V. 81. - №4. - P.1790-1797.

70. Iwamoto, M. Surface potential of polyimide Langmuir-Blodgett films Deposited on metal electrodes / M. Iwamoto, A. Fukuda // Jpn.J.Appl.Phys. 1990. -V.29. - №4. -P.638-640.

71. Iwamoto, M. Nano-electrostatic phenomena in Langmuir-Blodgett films / M. Iwamoto, E. Itoh//Thin Solid Films. 1998.- V.331. P. 15-24.

72. Construction of nanostructured carbonaceous films by the layer-by-layer self-assembly of poly(diallydimethylammonium) chloride and poly(amic acid) and subsequent pyrosis / I.Moriguchi et al. // Chem.Mater. 1999. — V.ll. — P. 16031608.

73. Highly conductive Langmuir-Blodgett films of pyrolytic polyimide/ et al. // Chemistry letters. 1990. - P.975-978.

74. Switching and memory phenomena in Langmuir-Blodgett films with scanning tunneling microscope/ K.Takimoto et al. // Appl. Phys. Lett. 1992. - V.61. - №25. -P.3032-3034.

75. Nanometer scale conductance change in a Langmuir-Blodgett film with the atomic force microscope / K. Yano et al. // Appl.Phys.Lett. 1996. - V.68. - №2. -P.188-190.

76. Writing and reading bit arrays for information storage using conductance change of a Langmuir- Blodgett film induced by scanning tunneling microscopy/ K.Takimoto et al. //J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. - V.15. - №4. - P. 1429-1431.

77. Ried, T. Gas permeability of Langmuir-Blodgett (LB) films: characterization and application / T. Ried, W. Nitsch, T. Michel // Thin Solid Films. 2000. - V.379. P.240-252.

78. Ultrathin self-assembled polyelectrolyte multilayer membranes/ B. Tieke et al. // The European Physical Journal E. 2001. - №5. - P.29-39.

79. Marek, M. Ultra-thin polyimide film as a gas-separation layer for composite membranes / M.Marek, E.Brynda, M.Houska, J.Schaer // Polymer. 1996. - V.37. -№12. - P.2577-2579.

80. Crosslinced ultra-thin polyimide film as a gas separation layer for composite membranes / M. Marek et al. // Eur. Polym.J. 1997. - V.33. - №10-15. - P.17171. Щ' 1721.

81. New fluorescent polyimides for electroluminescent devices based on 2,5-distyrylpyrazine / A. Wu et al. // Thin solid films. 1996. - V.273. - P.214-217.

82. SiC films grown on silicon by pyrolysis of polyimide Langmuir- Blodgett films containing dispersed silicon nanoparticles / Z. Fu et al. // Materials Letters. 1998. - V.37. - P.294-297.m

83. Photoemmission study of P-SiC growth by a polyimide Langmuir-Blodgett film on silicon / H. Pan et al. // Journal of electron spectroscopy and related phenomena. 1999. - V. 101-103. - P.685-688.

84. Orientation of liquid crystal molecules on polyimide Langmuir-Blodgett films evaluated by the attenuated total reflection measurement / B. Akira et al. // Mol. Cryst. Liq. Cryst. Sci. Technol. Sect.A. 1998. - V.316. - P.231-234.

85. Avaluation of tilt angles of nematic liquid crystal molecules on polyimide Langmuir-Blodgett films using the attenuated total reflection measurement method / B. Akira et al. // Jpn. J. Appl. Phys. Part. 1998. - V.37(5A). - P.2581-2586.

86. Optical switching of nematic liquid crystal by means of photoresponsive polyimides as an alignment layer / G.H. Kim et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. -V.75. - №22. - P.3458-3460.

87. Liquid crystal orientation by holographic phase gratings recorded on photosensitive Langmuir-Blodgett films / L.M. Blinov et al. // Liq. Cryst. 1999. -V.26(3). - P.427-436.

88. Maboudian, R. Critical review: adhesion in surface micromechanical Ц structures/ R. Maboudian, R.T.Howe // J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. - V. 15. - №1.

89. Bliznyuk, V.N. Nanotribological properties of organic boundary lubricants: Langmuir films versus self-assembled monolayers / V.N. Bliznyuk, M.P. Everson, V.V. Tsukruk // Journal of Tribology. 1998. - V.120. - P.489-495.

90. Pattering of photosensitive polyimide LB film and its application in the fabrication of biomolecular microphotodiode array / S. Young at al. // Biosensor and bioelectronics. 2003. - V.19. - P. 103-108.

91. Fabrication of micro array of polyimide Langmuir- Blodgett film and its application in bioelectronics device / S. Young at al. // Molecular Crystals and Liquid Crystals. Science and Technology. Sec.A. 2002. - V.377. - P.241-244.

92. Application of polyimide Langmuir-Blodgett films to deep UV resists / M. Uekita at al. // Thin Solid Films. 1989. - V.180. - P.271-276.

93. Langmuir I. Trans. Farad. Soc. 1920, V.15, p.62

94. Gaines, G.L. Insoluble Monolayer on a Liquid-Gas Interface / G.L. Gaines // New York: Willey Inersci. 1966.

95. Surface pressure distribution of spread monolayers during compression / S. Egusa et al. // Thin solid Films. 1989. - №178. - P.165-169.

96. Origin of orientation phenomena observed in layered Langmuir-Blodgett structures of Hairy-Rod polymers / S. Schwiegk et al. // Macromolecules. 1992. -№25.-P.2513-2525.

97. In plane orientation of polyimide Langmuir-Blodgett films / Y. Nishikata et al. // Thin solid Films. 1992. - №210/211. - P.29-31.

98. Miyano, K. Langmuir trough with movable barriers / K. Miyano, T. Maeda // Rev. Sci. Instrum. 1987. - V.58. - №3. - P.428-435.

99. Чечель, О.В. Устройства для получения пленок Ленгмюра-Блоджетт / О.В.Чечель, Е.Н.Николаев // Приборы и техника эксперимента. 1991. - №4. -С. 19-29.

100. Виброизолированная гидравлическая система с регулируемой скоростью перемещения подложки для осаждения пленок методом Ленгмюра-Блоджетт / Л. Мангер и др. // Приб. науч. исслед. 1987. - №2. -С. 121-125.

101. Nathoo, М.Н. Preparation of Langmuir films for electrical studies / M.H. Nathoo // Thin Solid Films. 1973. - V. 16. - №2. - P.215-226.

102. Stenhagen, E. Determination of organic structures by physical method / E. Stenhagen // New York: Acad. Press. Inc. 1995. - P.325-368.

103. Lundqist, M. Condensed phases in insoluble monomolecular films on water / M. Lundqist // Suomen Kemists. 1963. - V.72. - №1. P.l 14-27.

104. Абрамзон, А.А. Об агрегатном состоянии монослоев ПАВ на поверхности жидкости / А.А. Абрамзон, С.И. Голоудина // В кн. Успехи коллоидной химии.-Л.: Химия. 1991. - С.239-261.

105. Китайгородский, А.И. Молекулярные кристаллы / А.И. Китайгородский // -М.: Наука, 1971.-424с.

106. Формирование молекулярно-упорядоченных моно- и мультислоев ограниченно-растворимых аналогов фосфолипидов методом Ленгмюра-Блоджетт / П.П. Карагеоргиев и др. // Письма в ЖТФ. 1994. - Т.20. - Вып.9. -С.42-46.

107. Получение гетероструктур на основе пленок Ленгмюра-Блоджетт амфифильных веществ / В.В. Лучинин и др. // Петербургский журнал электроники. 1995. - №2. С.24-36.

108. Parrat, L.G. Surface studies of solids by total reflection of X-rays / L.G. Parrat // Phys. Rev. 1954. - V.95. - P.359-369.

109. Sinha, S.K. X-ray and neutron scattering from rough surfaces / S.K. Sinha et al. // Phys. Rev. B. 1988. - V.38. - P.2297-2311.

110. Громов, B.K. Введение в эллипсометрию: Учеб. Пособие / В.К. Громов // -Л.: Ленинградский ун-т, 1986.

111. Теверовский, А.А. Миграция зарядов вдоль поверхности термически выращенной плёнки Si02 / А.А. Теверовский, А.И. Зонов, Г.И. Епифанов // -1984. М.: - МИЭМ. 1

112. Кузьмин, Ю.И. Перколяционное шунтирование электризованной поверхности / Ю.И. Кузьмин // Письма в ЖТФ. 1999. - Т.25. - Вып.21. - С.78-85.

113. The first low voltage, low noise differential silicon microphone, technology development and measurement results / P. Rombach et al. // Sensors and Actuators A: Phisycal. 2002. -V.95. - №2-3. - P. 196-201.

114. A silicon micromachined microphone for fluid mechanics research / C. Huang et al. I I Journal of Micromechanics and Microengineering. 2002. - V.12. - №6. -P.767-774.

115. Thielemann, C. Inorganic electret membrane for a silicon microphone / C. Thielemann, G Hess // Sensors and Actuators A: Phisycal. 1997. - V.61. №1-3. -P.352-355.