Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Электрофизические и оптоэлектронные свойства гетероструктур на основе a-Si:H и его сплавов

Мазуров, Александр Вячеславович 2004
Выращивание квазиоднородных слоев AlxGa1-xAs жидкофазной эпитаксией с подпиткой кристаллическим источником

Патаридзе, Зураб Гивиевич 2003
Гетероструктуры InSb1-x Bi x /InSb и GaSb1-x Bi x /GaSb с квантовыми ямами: технология получения и свойства

Драка, Оксана Евгеньевна 2003
Исследование и моделирование функциональных и эксплуатационных характеристик приборов и оборудования для высокоточных температурных технологий

Тарасов, Роман Юльевич 2003
Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники

Копейкин, Андрей Николаевич 2003
Исследование конструктивно-технологических особенностей проектирования высокоизбирательных фильтров на поверхностных акустических волнах в условиях крупносерийного производства

Шермагина, Елена Юрьевна 2003
Исследование кристаллогенезиса полупроводников A III B V из висмутсодержащих расплавов: На примере InSbBi, AlInSbBi

Баранник, Алексей Анатольевич 2003
Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники

Каратунов, Юрий Владимирович 2003
Моделирование технологически значимых процессов, определяющих термомиграцию жидких включений в полупроводниковых кристаллах

Малибашев, Александр Владимирович 2003
Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si

Русаков, Демьян Николаевич 2003
Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС

Епимахов, Игорь Дмитриевич 2003
Получение и исследование крупных монокристаллов синтетического алмаза для применения в полупроводниковой технике

Фейгельсон, Борис Николаевич 2003
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий

Капустин, Евгений Николаевич 2003
Разработка, исследование и моделирование процессов изготовления интегрально-оптических элементов в кристаллах ниобата лития

Апраксин, Дмитрий Васильевич 2003
Разработка процесса получения ВТСП пленок для устройств функциональной электроники

Рыжов, Максим Вадимович 2003
Фазовые равновесия в системах Cd-Te, Zn-Se-Cr, Zn-Se-Co

Зорин, Андрей Владимирович 2003
Физико-технологические основы пленочных термоэлектрических преобразователей измерительного назначения

Каримбеков, Мырзамамат Арзиевич 2003
Формирование упорядоченных упаковок наносфер SiO2 и применение структур на их основе в функциональной электронике

Гурьянов, Андрей Валерьевич 2003
Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике

Белянин, Алексей Федорович 2002
Закономерности формирования и свойства гетероструктур на основе неупорядоченных полупроводников

Шерченков, Алексей Анатольевич 2002