Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Управление ростом кристаллов арсенидов галлия и индия путем низкоэнергетических воздействий

Косушкин, Виктор Григорьевич 2000
Влияние импульсного светового воздействия на физические свойства приповерхностных слоев полупроводников

Железный, Сергей Владимирович 1999
Выращивание монокристаллов и суперионная проводимость нестехиометрических фторидов со структурой типа тисонита (LfF3 )

Фоминых, Максим Валентинович 1999
Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике

Большепаев, Олег Юрьевич 1999
Микропрофилирование композиции "SiC-AlN" методом реактивного ионно-плазменного травления

Лютецкая, Ирина Геннадиевна 1999
Низкочастотный тлеющий разряд и механизмы роста в нем пленок a-Si: H и сплавов на его основе

Попов, Александр Афанасьевич 1999
Применение кристаллохимического подхода к синтезу соединений и твердых растворов со структурой силленита

Царева, Светлана Юрьевна 1999
Разработка интегральных термосенсоров на основе монокристаллической кремниевой фольги и исследование их характеристик

Зиновьев, Дмитрий Валерьевич 1999
Электрическое сопротивление нитевидных кристаллов кремния, выращенных по механизму ПЖК в открытой системе

Барамзина, Елена Анатольевна 1999
Выращивание и лазерные свойства монокристаллов лантан-скандиевого бората с редкоземельными активаторами

Кутевой, Сергей Александрович 1998
Изучение седловинных точек на поверхности ликвидуса и солидуса в тройных системах с трифторидами редкоземельных элементов

Стасюк, Владимир Александрович 1998
Получение многокомпонентных полупроводниковых материалов на основе соединений А3 В5 с заданными свойствами

Столяров, Сергей Михайлович 1998
Получение тонких пленок Y Ba2Cu3O6+6 для устройств твердотельной электроники

Кравченко, Константин Юрьевич 1998
Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере

Сорокин, Святослав Игоревич 1998
Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью

Лищук, Николай Вячеславович 1998
Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах

Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна 1998
Эволюция межфазных границ в процессе зонной перекристаллизации в поле температурного градиента с учетом гидродинамических эффектов

Кулинич, Наталья Владимировна 1998
Физические основы и принципы бесконтактного измерения параметров полупроводниковых материалов

Сидорин, Виктор Викторович 1997
Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния

Ковалгин, Алексей Юрьевич 1995
Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

Сергеева, Жанна Михайловна 1994