Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Лищук, Николай Вячеславович

• Лищук, Николай Вячеславович
• кандидат технических наук
• 1998

Оглавление диссертации кандидат технических наук Лищук, Николай Вячеславович

ОГЛАВЛЕНИЕ

Стр.

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ С ПОВЫШЕННОЙ ДОЛГОВЕЧНОСТЬЮ

1.1. Современные холодные катоды и требования, предъявляемые к ним

1.2. Физические процессы, протекающие в гелий -

1.3. неоновой плазме и на поверхности

1.4. холодного катода, определяющие условия его работы

1.3. Материалы, используемые для изготовления

холодных катодов и способы изготовления подложки

1.4. Анализ способов формирования эмиссионного

слоя и влияния его параметров на долговечность катода

1.5. Методы прогнозирования срока службы холодных

катодов

Глава 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ОСНОВНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КАТОДА, ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И РАЗРАБОТКА ПРИБОРОВ ДЛЯ ИХ РЕАЛИЗАЦИИ

2.1. Метод исследования процесса очистки

подложки холодных катодов

2.2. Метод исследования процесса окисления

катодов в тлеющем разряде в кислороде

2.3. Метод измерения распределения плотности тока

по катоду

2.4. Методы исследования эмиссионных свойств холодных катодов

63

Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ

ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ

КАТОДОВ И ИХ ОСНОВНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК

3.1. Очистка подложек холодных катодов

3.2. Исследование процесса окисления холодных

катодов в тлеющем разряде в кислороде

3.3. Исследование характеристик эмиссионных

оксидных пленок, полученных различными способами

3.4. Исследование химического состава эмиссионных оксидных пленок, полученных различными способами 103 Глава 4. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ

КАТОДОВ С ПОВЫШЕННОЙ ДОЛГОВЕЧНОСТЬЮ

4.1. Алгоритм разработки технологического процесса изготовления холодных катодов с повышенной долговечностью

4.1. Выбор материалов и разработка способов

изготовления подложек холодных катодов

4.3. Разработка способа получения оптимального микрорельефа рабочей поверхности холодного катода

4.4. Подготовка подложки к созданию оксидного слоя

4.5. Создание эмиссионного слоя с заданными параметрами

4.6. Стабилизация свойств эмиссионной поверхности

4.7. Разработка метода ускоренных испытаний холодных

катодов

4.8. Схема технологического процесса

изготовления долговечных холодных катодов

Глава 5. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИЙ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ ДОЛГОВЕЧНОСТИ

5.1. Бериллиевые катоды для датчиков лазерных гироскопов

5.2. Алюминиевые катоды для моноблочных

гелий-неоновых лазеров

5.3. Тонкостенные алюминиевые катоды для гелий-неоновых лазеров массового применения

5.4. Алюминиевые катоды для технологической очистки

лазеров

5.5. Конструктивное усовершенствование газовых лазеров, обеспечивающее оптимальные условия

эксплуатации катода

5.6. Исследование долговечности разработанных

холодных катодов

ВЫВОДЫ

ЛИТЕРАТУРА

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью»

ВВЕДЕНИЕ

В настоящее время четко определились области науки и техники, прогресс в которых невозможен без использования гелий-неоновых лазеров. Это, прежде всего, инерциальные навигационные системы движущихся объектов, лазерная медицинская терапия, научные исследования, проведение которых требует наличия монохроматического излучения с высокой степенью временной и пространственной когерентности. При этом для удовлетворения современных требований к параметрам систем, использующих гелий-неоновые лазеры, требуется значительное улучшение технических характеристик лазеров. Особенно жестко поставлены требования увеличения долговечности и надежности гелий-неоновых лазерных датчиков навигационных систем.

Как свидетельствует огромное число проведенных исследований, основные характеристики лазера (долговечность, надежность и стабильность характеристик) в основном зависят от параметров и свойств холодного катода, что дает основания считать его одним из основных элементов.

Долговечность применяемых в гелий-неоновых лазерах холодных катодов ко времени постановки работы не превышала тридцати тысяч часов, тогда как требуемая должна находиться на уровне ста тысяч часов и выше. Для разработки катодов с подобной долговечностью необходимо глубокое понимание процессов, протекающих в катодном слое тлеющего разряда и на поверхности катода при его изготовлении и эксплуатации, создание технологического процесса изготовления катода, обеспечивающего получение необходимых характеристик подложки и эмиссионной

поверхности, выяснению допустимых пределов регулирования параметров техпроцесса серийного изготовления катодов, при которых обеспечиваются заданные требования к их качеству.

Достаточно актуальной, хотя и не так ярко выраженной, является задача увеличения долговечности и надежности холодных катодов для гелий-неоновых лазеров, используемых в медицине, геодезии и т.д.

Таким образом, центральное место в разработке долговечных холодных катодов для гелий-неоновых лазеров занимает нахождение оптимальных геометрических и электрофизических параметров катодов и технологического процесса их изготовления, обеспечивающего эти параметры. Решению этой задачи посвящена настоящая работа.

Актуальность проблемы.

Научно-технические задачи совершенствования существующих и разработки новых приборов, созданных на базе гелий-неоновых лазеров, неразрывно связаны с разработкой холодных катодов с параметрами, обеспечивающими необходимый уровень долговечности и надежности приборов. Таким образом, важность проблемы создания долговечных холодных катодов предопределила интерес к ней исследователей и производителей квантовой техники, о чем свидетельствует большое количество работ отечественных и зарубежных авторов. Однако подавляющее большинство теоретических и экспериментальных исследований не имеют комплексного характера, не учитывают реальных условий работы катода и, как следствие, не решают проблемы в целом. Следует также отметить практически полное отсутствие в весьма

немногочисленных работах, посвященных изучению технологии изготовления холодных катодов, системного подхода к определению закономерностей, связывающих основные характеристики катода с параметрами всех этапов технологического процесса.

Данная работа, опирающаяся на многолетний опыт разработки и серийного выпуска холодных катодов для гелий-неоновых лазеров, посвящена исследованию и разработке технологического процесса серийного производства холодных катодов с повышенной долговечностью.

Постановка задачи.

Исходя из анализа опубликованных работ, а также требований разработчиков гелий-неоновых лазеров, установлено, что при заданных конструкцией приборов габаритах холодных катодов и при заданных режимах работы лазеров (давление газовой смеси, разрядный ток), конструкция катодов и технологический процесс их изготовления должны обеспечивать стабильную работу в течение 15 тысяч часов медицинских лазеров, и в течение 80 - 100 тысяч часов - датчиков лазерных гироскопов.

Как известно, те или иные параметры и свойства катодов формируются на соответствующем этапе процесса изготовления. Однако до настоящего времени не существовало работ по определению закономерностей, связывающих основные характеристики катодов с параметрами технологического процесса, учитывающих конструкцию катодов и реальные режимы работы катодов в составе лазеров.

Определение указанных закономерностей является первой задачей работы.

Второй задачей работы является разработка способов определения характеристик катодов, сформированных на определенных этапах технологического процесса их изготовления и методов прогнозирования срока службы холодных катодов с большой точностью прогноза.

Третья задача, базирующаяся на решении первых двух, -разработка технологического процесса изготовления холодных катодов с повышенной долговечностью, конкретных конструкций и способов оптимизации условий их эксплуатации в гелий-неоновых лазерах.

И, наконец, четвертой задачей является исследование долговечности разработанных холодных катодов.

ОСНОВНЫЕ НАУЧНЫЕ ЦЕЛИ РАБОТЫ

-проведение комплекса исследований этапов технологического процесса изготовления холодных катодов с целью определения закономерностей, связывающих основные характеристики катодов с параметрами технологического процесса;

-разработка исследовательского, технологического

оборудования и методов исследований параметров катода в рабочих условиях;

-определение возможности повышения долговечности холодных катодов путем создания оптимального микрорельефа их рабочей поверхности;

-создание эмиссионного слоя холодных катодов с заданными свойствами;

-разработка метода испытаний холодных катодов, применимого в серийном производстве;

-разработка технологического процесса изготовления холодных катодов с оптимальной структурой эмиссионного слоя;

-разработка конкретных конструкций долговечных холодных катодов; разработка способов оптимизации условий эксплуатации катодов в гелий-неоновом лазере.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ

В ходе выполнения диссертационной работы были впервые получены следующие результаты:

определены закономерности, связывающие основные характеристики холодных катодов ( коэффициент ионно-электронной эмиссии, наличие примесей, распыляемость, эмиссионные неоднородности, микрорельеф и толщина эмиссионного слоя) с параметрами технологического процесса их изготовления;

- разработан технологический процесс создания оптимального микрорельефа эмиссионной поверхности холодного катода;

получены результаты исследований эмиссионных характеристик холодных катодов в рабочих условиях;

- определены оптимальные режимы процесса очистки подложки холодного катода;

разработан технологический процесс изготовления долговечных холодных катодов, базирующийся на создании оптимальных макро- и микрогеометрических и эмиссионных параметров подложки и эмиссионного слоя;

- разработан метод ускоренных испытаний холодных катодов с повышенной долговечностью, учитывающий разность концентраций атомов газа в катодном объеме и внутреннем объеме прибора;

- разработан способ увеличения долговечности катода, базирующийся на перераспределении концентрации атомов газа внутри объема лазера.

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ РАБОТЫ

Научные результаты, полученные в данной работе, позволили построить более полную картину влияния режимов технологических операций изготовления холодных катодов на их основные параметры и разработать оптимальный технологический процесс изготовления холодных катодов с повышенной до 100 тысяч часов долговечностью и потенциальной возможностью ее дальнейшего увеличения. На основании полученных результатов разработаны:

- бериллиевые выносные холодные катоды с долговечностью на уровне 100 тысяч часов для датчиков лазерных гироскопов;

- алюминиевые выносные холодные катоды с долговечностью 50 тысяч часов для моноблочных гелий-неоновых лазеров;

- тонкостенные алюминиевые холодные катоды для гелий-неоновых лазеров коаксиальной конструкции с повышенным в 2,5 раза ресурсом;

- холодные катоды для технологической очистки лазеров с увеличенным в 3 раза числом циклов использования;

- метод прогнозирования срока службы холодных катодов с повышенной долговечностью, обеспечивающий точность прогноза на уровне 90%;

конструктивные усовершенствования газовых лазеров, позволяющие обеспечить оптимальные условия эксплуатации катодов;

- технологический процесс, применяемый в настоящее время при изготовлении долговечных холодных катодов из бериллия и алюминия.

Наиболее важные технические решения, найденные в процессе выполнения работы, защищены авторскими свидетельствами и патентами и используются при разработке новых холодных катодов и серийном выпуске внедренных в производство.

ОСНОВНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ И РЕЗУЛЬТАТЫ, ВЫНОСИМЫЕ НА ЗАЩИТУ

1. Разработанный технологический процесс изготовления холодных катодов из бериллия и алюминия с повышенной долговечностью.

2. Результаты исследований технологического процесса создания эмиссионного слоя с заданными параметрами.

3. Результаты исследований технологического процесса ионно-плазменной и термической очистки подложки катода.

4. Способ создания оптимального микрорельефа рабочей поверхности холодного катода.

5. Результаты исследований зависимости эмиссионных характеристик от параметров оксидного слоя.

6. Полученные зависимости между параметрами эмиссионного слоя и долговечностью холодных катодов.

7. Метод ускоренных испытаний холодных катодов.

8. Технологические процессы изготовления и конкретные конструкции бериллиевых и алюминиевых холодных катодов для гелий - неоновых лазеров с заданными параметрами.

9. Конструктивные усовершенствования газовых лазеров, обеспечивающее оптимальные условия эксплуатации катода.

АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ И ПУБЛИКАЦИИ

Основные результаты настоящей работы докладывались и обсуждались на семи Всесоюзных и международных симпозиумах, конференциях и семинарах, в том числе :

Всесоюзном семинаре « Вторичная ионная и ион - фотонная эмиссия», г. Харьков, 1988г., Всесоюзном совещании - семинаре «Диагностика поверхности ионными пучками», г. Одесса, 1990г., Всероссийской научно - технической конференции «Использование научно - технических достижений в демонстрационном эксперименте и постановке лабораторных практикумов», г. Саранск, 1994г., IV и VIII Межнациональных совещаниях «Радиационная физика твердого тела», г.Севастополь, 1994, 1998гг., Всероссийской научно - технической конференции «Автоматизация исследования, проектирования и изготовления сложных технических систем и технологических процессов», г.Калуга, 1994г., XXVIII Международной конференции «Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами», г.Москва, 1998г.

По материалам, вошедшим в данную диссертацию, опубликовано 12 работ, в том числе 2 авторских свидетельства и патента.

Структура диссертации

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, выводов и списка литературы. Её общий объем составляет 184 страницы, включая 42 рисунка, 16 таблиц и список литературы из 164 наименований.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Лищук, Николай Вячеславович

выводы установлены закономерности, связывающие основные характеристики холодного катода с параметрами технологического процесса его изготовления. Разработан технологический процесс изготовления долговечных холодных катодов, учитывающий комплексный характер влияния параметров всех его этапов на параметры катода; установлены оптимальные режимы термической и ионно — плазменной обработки подложек из бериллия и алюминия; разработан технологический процесс получения оптимального микрорельефа рабочей поверхности холодных катодов в виде совокупности воронкообразных углублений микронных размеров, позволивший реализовать способ увеличения долговечности катода подавлением эффекта катодного распыления. Значительное количество распыленных частиц не покидает поверхность с таким микрорельефом осаждаясь на стенках углублений; на основе проведенных исследований влияния геометрической формы катода на распределение плотности разрядного тока ] по поверхности катода создан новый метод измерения являющийся базовым при разработке технологического процесса формирования оксидного покрытия поверхности подложки катода в тлеющем разряде кислорода. Установлена однозначная зависимость равномерности толщины оксидного слоя от равномерности распределения ] в тлеющем разряде в кислороде. Применение метода позволяет определить оптимальные значения давления и ;), обеспечивающие получение оксидного слоя с максимально равномерной толщиной для любой геометрической формы катода; экспериментально исследованы эмиссионные свойства оксидных пленок, сформированных на подложках из бериллия и алюминия. Найдена зависимость величины коэффициента ионно электронной эмиссии у от толщины оксидного слоя. Установлено, что оксидные пленки толщиной 9 — 12нм обеспечивают максимальные значения у. исследованы зависимости характеристик эмиссионного слоя (структура, фазовый состав, эмиссионная способность, распределение примесей) от способов и режимов его получения. Полученные данные позволили провести оптимизацию технологического процесса формирования эмиссионного слоя с заданными параметрами; на базе проведенных исследований разработан метод испытаний холодных долговечных холодных катодов, учитывающий распределение температуры в газоразрядном объеме и катодной полости, а также парциальные давления компонентов газовой смеси. Применение метода позволяет с погрешностью, не превосходящей 10%, определять срок службы катодов в широком интервале разрядных токов и давлений газового наполнения в течение 500 — 1000 часов; разработаны: бериллиевые выносные холодные катоды для датчиков лазерных гироскопов с ресурсом до 100 тысяч часов; алюминиевые выносные холодные катоды для моноблочных гелий неоновых лазеров с ресурсом до 50 тысяч часов; тонкостенные алюминиевые холодные катоды для гелий — неоновых лазеров коаксиальной конструкции с повышенным в 2.5 раза ресурсом работы; холодные катоды для технологической очистки лазеров с увеличенным в три раза числом циклов использования; способ увеличения долговечности холодных катодов, основанный на перераспределении концентрации атомов газа внутри объема лазера; разработанные технологический процесс изготовления холодных катодов с повышенной долговечностью и холодные катоды реализованы в серийном производстве в НИИМЭТ, АО «Аметист», АО «Завод «АНОД», АО «Лазер —авиа».

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Лищук, Николай Вячеславович, 1998 год

ЛИТЕРАТУРА

1. Hochuli U, Haldemann Р, Hardwick D. Cold cathodes for He - Ne gas lasers // IEEE J. Of Quantum Electronics.-1967.-V.3.- Nll.-P.612-614.

2. Пат. 2037065 Великобритании. Gas discharge laser with cold rolled metal foil electrode / Hans Gerard Van den Brink.

3. Пат. 4477908 США. Cold cathode construction / Shinan - Chur Sheng, Joseph B. Lastovka.

4. Заявка 3346232 ФРГ. Gas laser / Michael E. Fein, Charls W. Salisburi.

5. Коржавый А.П. О выборе оптимального холодного катода для малогабариного гелий-неонового лазера / М.: 1977.-6с.- Деп. в ЦНИИ "Электроника", № ДЭ-2137.

6. А.С. 633092 СССР, МКИ HOlj 17/06. Катодный узел/ Арцыхович В.Ф., Трофимов Е.А. (СССР), 15.11.78.

7. Пат. 3344232 AI ФРГ, МКИ H01S, 3/03. Laser-Katode / Grunecker A., u.a . Заявл. 5.07.84.

8. Ивлев A.M., Коржавый А.П., Палицын В.П. Долговечные катоды для приборов квантовой электроники // Электронная промышленность. - 1979. - вып. 10(82).- С.24-25.

9. Pat. 1536077 GB, Int.Cl. H01S 3/083. Ring laser gyroscope /Thomas I.Hutchings. Fil. 6.10.1977.

10. Norvell G.S. A laser cathode. - U.K.Pat., № 2132407A, Int. CI. H01S 3/02, fil. 23.11.1983.

11. Прасицкий B.B., Корчагина E.E. Выносной холодный катод гелий-неонового лазера // Тезисы докладов II отраслевой научно-технической конференции. - Рязань ,1986. - С.36.

12. Pat. 0213489 EUR, МКИ HOIS 3/03. Cathode for a gas discharge device/ Herzbach A. et al. Fil. 13.08.86.

13. Pat. 2042350 BRD. Gaslaser Mit Kaltkathoderentlagung /Helmut К. Заявлено 2.03.1972.

14. Pat. 3939767 USA, Int. CI. H01S 3/22. Cold cathode gas lasers/ Besson A., Becrelle J. Fil. 3.02.1976.

15. Пат. 1422602 Великобритании, IC1. HOIS 3/22. Inproved cold cathode gas lasers/ Thomson CSF. Заявлено 3.02.1976.

16. A.c. СССР 1367765, МКИ HOlj 7/30. Холодный катод/ Прасицкий В.В., Ефимов Б.В., Мелкумян Б.В., Чеботарев С.И. Заявлено 15.09.85.

17. Семенов В.Б., Коржавый А.П. Методы разработки и конструктивные особенности электродных систем современных газовых лазеров // Обзоры по электронной технике. ЦНИИЭ.-М.,1982.- С.72.-( Серия «Лазерная техника и оптоэлектроника»; Вып.З).

18. Yamamura Y., Matsunami N., Ytoh N. Theoretical studies on an empirical formula for sputtering yield at normal incidente // Radiation Effects.- 1983.- V.71.- P.65-86.

19. Davis W., Vanderslice T. Ion Energies at the Cathode of a glow discharge // Physical Review.- 1963.- V.131.- №1.- P.219-228.

20. Акишин А.И. Ионная бомбардировка в вакууме.-М.: Госэнергоиздат, 1963.-230с.

21. Каганов И.Л. Ионные приборы. - М.: Энергия, 1972, 528с.

22. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. - М.: "Энергия", 1969.- 290 с.

23. Актон Д., Свифт Д. Газоразрядные лампы с холодным катодом. - М.: "Энергия", 1965.- 480 с.

24. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. - М.: "Наука", 1988.592 с.

25. Winters H.F. Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas // Plasma chemistry.- 1980.- V.3.- P.68-125.

26. Грановский В.Jl. Электрический ток в газах. М.:Наука, 1971.-599с.

27. Коржавый А.П., Кристя В.И. Физические процессы в прикатодной области тлеющего разряда и прогнозирование долговечности катодных материалов для отпаянных приборов // Обзоры по электронной технике /.: ЦНИИЭ. М.,1988.- С.40.-(Серия 6. Материалы; Вып.7(1403))

28. Коржавый А.П., Кристя В.И. Физические процессы в прикатодной области тлеющего разряда и прогнозирование долговечности катодных материалов для отпаянных приборов // Обзоры по электронной технике / ЦНИИЭ. М.,1989.- С.40.-(Серия 6. Материалы; 4.2)

29. Dutton J. A survey of electron swarm data// J.Chem.Phys. Ref.Data.-1975 .-V.4.- №3 .-P.577-856.

30. Плешивцев H.B. Катодное распыление. - M.: "Атомиздат", 1968.- 344 с.

31. Amies B.W., Fletcher J. Ion-produced secondary electrons in a low pressure discharge in helium // J.Phys.D: Appl.Phys.- 1983.-V.16.-№7.-P.L133-L136.

32. Кучинский B.B., Шейкин Е.Г. Энергетический спектр быстрых атомов в темном катодном пространстве // Изв.вузов. Физика.- 1987.-Т.30/-№8.-С.62.

33. Гродштейн А.Е., Назаров И.Д. Поглощение ионов инертных газов твердыми телами и их десорбция//Обзоры по электронной

технике./ЦНИИЭ.-М., 1968.-С.39.-(Сер. "Газоразрядные приборы; Вып.64).

34. Ананьин B.C., Бабурин A.A., Покосовский JI.H. Исследование внедрения инертных газов в твердое тело при ионной бомбардировке // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1975.- №5.- С.ЗЗ-37.

35. Азарова A.A., Пожарский Н.Е., Шипалов A.C. К вопросу жестчения газо в приборах тлеющего разряда. Электронная техника. Сер.4, Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1986.-№4.- С. 42-44.

36. Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. - М.: Наука, 1968.- 330 с.

37. Аброян И.А., Еремеев М.А., Петров H.H. Возбуждение электронов в твердых телах сравнительно медленными атомными частицами // УФН.- 1967.- Т.92,- №1,-С. 105-107.

38. Распределение распыленных атомов в объеме тлеющего разряда / Коржавый А.П., Кристя В.И., Лищук Н.В., Прасицкий

B.В. // Тезисы докладов V Всесоюзного семинара по вторично-ионной и ионно-фотонной эмиссии.-Харьков, 1988-С.78-79.

39. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. Расчет вклада ионов и быстрых атомов в распыление катодов гелий-неоновых лазеров.-Электронная техника. Серия 6. Материалы, 1989, Вып.6,

C.23...28.

40. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. Модель катодного распыления в смеси газов // Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара "Диагностика поверхности ионными пучками".- Донецк, 1988.-С.18-19.

41.Коржавый А.П., Прасицкий В.В. Влияние изменения давления газа и разрядного тока на скорость распыления катода в тлеющем разряде // Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара "Диагностика поверхности ионными пучками".- Донецк, 1988.-С.32.

42. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. Метод расчета срока службы холодных катодов в газоразрядных приборах // Электронная техника. Серия 6. Материалы.-1988.-№1.- С.73...75.

43. Warren R. Interpretation of field measurements in the cathod region of glow discharges // Physical Review.-1955.-V.98.-№6.-P.1658-1664.

44. Chatham H., Gallagher A. Ion chemistry in silane dc discharges. //J.Applied Physics.- 1985.- V.58.- №1.- P.159-169.

45. Коржавый А.П., Писачев H.E., Редега К.П. Исследования влияния неоднородности плазмы на работоспособность полого холодного катода // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1977.- Вып. 10.- С.58 - 63.

46. Зыкова Е.В., Кучеренко Е.Т. Исследование структуры разряда в полом катоде // Радиотехника и электроника.-1976.-Т.ХХ 1.- Вып. 7.- С. 1549 - 1552.

47. Кучеренко Е.Т., Зыкова Е.В. Полый холодный катод конической формы // Радиотехника и электроника.-1975.- Т.20.-№ 2.-С.438-439.

48. Зыкова Е.В., Кучеренко Е.Т., Брыкайло И.Н. Коаксиальный полый катод для гелий-неоновых лазеров // Вестник Киевского университета. Физика.-1983.- Вып.24.- С.85-89.

49. Пат. 3875530 США, Int.Cl. HOIS 3/22. Gaseous Laser with improved means for supparting the discharge coufining bore tube/ Nubar S.Manoukian. Заявлено 1.04.1975.

50. Коржавый А.П., Пролейко Э.П., Файфер С.И. Холодные катоды для газоразрядных приборов // Электронная промышленность.- 1973.- № 4.- С.32-33.

51. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, Вып.2. / Под ред.Р.Бериша. - М.: Мир, 1986.- 488 с.

52. Roth J. Bohdansky J., Biewer R.S. Ottenberger W. Sputtering of Be and BeO by light ions // J.Nucl. Mater.-1979.-V.85/86/- P.1077-1079.

53. Kelly R. Sputtering and depth-distribution phenomena in Kcl, A1203 and Ti02 // Canad.J.Phys.-1968/-V.46.- №6.-P.473-482.

54. Schirrwitz H. Kathodenzerstäubung bei Beschuß ver schridener metalle mit Argon-Ionen im mittleren Energiebereich // Beiträge aus der Plasmaphysik.-1962.-V.2.- №3.

55. Baragwea R.A., Alonso E.V., Ferron J., Oliva A. Ion-induced electron emission from clean metals // Surf.Sciens.-1979.-V.20.- №2.-P.240-255.

56. Прасицкий B.B. Способ определения плотности разрядного тока на поверхности холодного катода //Радиотехника и электроника.- 1995.-С. 1574... 1578.

57. Коржавый А.П., Файфер С.И. и др. Распыляемость некоторых материалов в газовом разряде низкого давления // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1974.- №4- С. 18-22.

58. Коржавый А.П., Файфер С.И. и др. Исследование некоторых свойств холодных катодов // Электронная техника. Сер.6. Материалы.- 1974.- №5.- С.3-9.

59. Коржавый А.П. Некоторые свойства активных окисных пленок холодных катодов //Электронная техника. Серия 6. Материалы.- 1977.-№1.- С.9...15.

60. Трофимов Е.А., Арцыхович В.Ф., Смирнов Ю.Н., Файфер С.И. Получение защитных окисных пленок на полых катодах в тлеющем разряде кислорода // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1973 .-Вып. 12.-С.З-10.

61. Коржавый А.П. Вторично-эмиссионные материалы, методы исследования и прогнозирования их свойств // Обзоры по электронной технике. / ЦНИТИЭ.-М., 1984.-С.44.-( Сер. Материалы; Вып.11(1059)).

62. Устойчивость к распылению ионами инертных газов некоторых материалов с защитными окисными пленками / Коржавый А.П., Файфер С.И., Арцыхович В.Ф., Трофимов Е.А., Петунькина Г.И., Писачев Н.Е. // Электронная техника. Сер.6. Материалы.-1972.- Вып.2.- С.118-119.

63. Ананьин B.C., Бабурин A.A., Покосовский Л.Н.. Исследование пористости окисных пленок и ее влияние на защитные свойства // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- №2.- 1973.- С.95-100.

64. Ананьин B.C., Беляев В.А., Покосовский Л.Н. Исследование структуры окисных пленок на AI в их связи с распылением в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер. Газоразрядные приборы.- 1971.- № 1.- С. 113-121.

65. Структурные и морфологические особенности защитных окисных пленок на поверхности алюминиевого сплава Д16./

Коржавый А.П., Кунец H.H., Ринас Э.П. и др. // Электронная техника. Сер.6. Материалы.- 1972.- Вып.2.- С. 10-15.

66. Новый эффективный путь увеличения долговечности холодных катодов / Ивлев A.M., Коржфвый А.П., Файфер С.И., Сигов Д.Н. // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1978.- Вып.5(66).- С.122-127.

67. Коржавый А.П., Сигов Д.Н., Файфер С.И. Новые катодные материалы, методы и оборудование для их производства // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- 1980.- Вып.5 (737).-С.34.

68. Пат. 2506842 ФРГ, MKHH01S3/097,1976.

69. Овчинников А.Г. Основы теории штамповки выдавливанием на прессах.-М.: Машиностроение, 1983.- 200с.

70. Коммель Ф.А., Мянд Х.Х., Хольм Х.Э. Исследование процессов комбинированного направленного выдавливания // Коммель Ф.А., Мянд Х.Х., Хольм Х.Э. Пути совершенствования технологии холодной объемной штамповки и высадки. Омск., ЦП НТО Машпром.- 1978.- С.72...75.

71. Коммель Ф.А. К определению степени деформации в очаге деформации в процессах холодного выдавливания // Инженерные методы расчета пластической обработки металлов. Коммель Ф.А. и др.- Таллин., 1971.- С.195...208.

72. Изготовление деталей пластическим деформированием. Справочник. /Под редакцией Богоявленского К.Н. и Каменева В.П.-Л.: Машиностроение, 1975.- 342с.

73. Влияние некоторых технологических факторов на срок службы холодных катодов / Перелыгин А.И., Садофьев Ю.Г. и др.

// Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1974.- №8.- С.98-102.

74. Черепнин Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. - М.: Сов.радио, 1967.- 200 с.

75. Holland L. Theating and passivating vacuum systems and components in cold cathodes discharge // Vacuum.-1976.-V.3.-P. 97 -103.

76. Гонгринович B.A., Лягинсков B.B., Ройх И.П. Влияние параметров тлеющего разряда на эффективность ионной бомбардировки и очистки поверхностей // Физика и химия обработки материалов.-1968.-№5.-С.98.

77. Vittory F.M., Ugo V. Application of a simple R.F. Spattering apparaturs for cleaning pruposes in electron microscopy // J. Microse et Spectrose. Electron.- 1977.- V.2.- N1.- P. 1-5.

78. Запаров C.H., Медников Н.И., Пильчевский А.Ю. Групповая очистка металлических корпусов малогабаритных электровакуумных приборов с помощью разряда в магнитном поле // Эмиссионная электроника. Сер.7.-1980.- Вып.3.-С.17 - 20.

79. Гонгринович В.А., Лягинсков В.В., Ройх И.П. Применение ионной бомбардировки для очистки поверхности металлов от органических загрязнений // Электронная обработка металлов.-1972.-№4.- С.6-8.

80. Лягинсков В.В. Обезжиривание некоторых материалов в сильноточном тлеющем разряде // Электронная обработка материалов.-1976.-№ 1 .-С.46-48.

81. Holland L, Rizk A.S. The effects of treating plane and hollow components of stainless stell and inconel in glow disharge. J. Hull. Mater. 1978,V. 76 - 77, p. 605 - 607.

82. Пат. 3614642 США

83. Варенцов В.В. Взаимодействие активного кислорода с кремнийорганическими соединениями в условиях плазмохимической обработки газоразрядных приборов: Диссертация канд.хим.наук.- Иваново., 1985.- 210 с.

84. А.с. 509165 СССР. Способ изготовления холодных катодов / Ананьин В.С. Бабурин А.А. и др. Заявлено 1977.

85. Пат. 4007431 США. Cathode construction for long Ufe lasers / Henry C. Abbink.

86. Пат. 3860310 США. Method of fabricating a gas láser / Hochuli H., Haldemann P.R.

87. Окисление металлов T.l. Теоретические основы / под ред. Бернара Ж.- М.: Металлургия, 1968.- 448 с.

88. Папиров И.П. Окисление и защита бериллия.-М.: Металлургия, 1968.- 120 с.

89. Металлические примеси в сплавах / Курдюмов А.В., Инкин С.В. и др.; - М.: Металлургия, 1988.-143 с.

90. Шук Н.П. Курс теории коррозии и защиты металлов. - М.: Металлургия, 1976.- 472 с.

91. Ананьин В.С., Беляев В.А., Покосовский JI.H. Поведение окисных пленок Al в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер. Элктровакуумные и газоразрядные приборы.-1972.-№2.-С.78-83.

92. Abril J., Gras-Martin A., Valles-Abarca J.A. Energy distribution of particles striking the cathode in a glow discharge // Phys.Rev.A..-1983.- V.28.- №6.- P.3677-3678.

93. Назарова Р.И. Исследование окисления металлов в условиях тлеющего разряда в кислороде // ЖФХ.- 1958.- №1.- С. 79-85.

94. Получение защитных окисных пленок на полых катодах в тлеющем разряде кислорода / Трофимов Е.А., Арцыхович В.Ф., Смирнов Ю.Н., Файфер С.И. // Электронная техника. Сер. Материалы,-1973.- Вып.12.- С.3-10.

95. Chance D.A., Brusic V., Craoford V.S., Malners R.D. Cathodes for He-Ne Lasers // J.B.M.J.Res.Develop.-1979.-V.23.-P.32.

96. John F.O. Hanion. Plasma anodisation of Metals and semiconductory // Vacuum Sc. and Techn.-1970.-V.7.-N2.-P.330-338.

97.3ыкова E.B., Кучеренко E.T., Айвазов В.Я. Исследование тлеющего разряда с холодными катодами, покрытыми диэлектрическими пленками // Радиотехника и электроника XXIV, вып.7, с. 1464-1466.

98. Коржавый А.П., Пролейко Э.П., Файфер С.И. Холодные катоды для газоразрядных приборов /Электронная промышленность.-1973.- №4.- С.32-33.

99. Кожавый А.П., Рожков A.M., Трофимов Е.А. Некоторые вопросы ионно-электронной эмиссии твердых тел и разработки холодных катодов квантовых приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- Вып.4(1194).- 1986.- С.35.

100. Аитов Р.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Эмиссионные свойства холодных катодов с оксидной пленкой на поверхности для отпаянных газоразрядных приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- Вып. 5(1612). - 1991.- С.47.

101. Механизмы проводимости оксидного покрытия холодных катодов газоразрядных приборов / Крютченко О.Н., Маннанов А.Ф., Носов A.A. и др. // Поверхность.- 1994.-№6.- С.93-99.

102. Зернов Д.В., ЯснопольскийН.Л. Электронная эмиссия из диэлектрических слоев при наличии в них сильного

электрического поля // Радиотехника и электроника.-1964.-Т.9.-№11.- С.1903-1919.

103. Васильковская Е.А. Пленочные холодные катоды типа «сэндвич» // Обзоры по электронной технике / ЦНИИ «Электроника»,. М., 1970.-С.42. (Сер. Микроэлектроника; Вып.7(227).

104. О роли пористости катодов с самоподдерживающейся эмиссией // Н.Я. Басалова, М.И. Елинсон, Д.В. Зернов, Я.С. Савицкая / Радиотехника и электроника.-1963.-Т.8.-С.881-883.

105. О.Н. Крютченко, А.Ф. Маннанов. A.A. Носов. Особенности взаимодействия плазмы газового разряда с поверхностью холодного катода // Радиотехника и электроника.-1996.-Т.З7.-№9.-С.1716-1718.

106. Механизм деградации поверхности холодного катода / Крютченко О.Н., Маннанов А.Ф., Носов A.A., Степанов В.А., Чиркин М.В. // Радиотехника и электроника.- 1996.- Т.41.- №8.-С.990 - 994.

107. О механизме увеличения электрической прочности вакуумных промежутков при ионной обработке поверхности электродов / Раджабов Т.Д., Ассиддинова М.Ю., Расулов П.М., Коржавый А.П.// Поверхность.- 1983.- №9.- С. 132-135.

108. Аитов Р.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Влияние неравномерности толщины диэлектрической пленки вдоль поверхности холодного катода на характеристики ионного потока в катодном слое тлеющего разряда //Радиотехника и электроника.-1991.- Т.36.- №3.- С.559 - 563.

109. Каганов И.Л. Ионные приборы.-М.: Энергия, 1972.- 380с.

110. Wehner G.K., Hajicek D.J. Cone formation on metal targets during sputtering // J. Appl. Phus..- 1971.-V.42.-N3.-P.1145-1149.

111. Materials surfase modification under simultaneous erosion and redeposition condition /J. Hirooca, D.M. Goebel, R.W. Conn ef al.// Nucl. Instr. Meth. B.-1987.-V.23.-N4.-P.458-470.

112. Panitz J.K., Sarp D.J. Low - energy ion erosion of machine faceted stainless stell //J. Vac. Sci. Technol..-1980.-V.17.-Nl.-P.282-285.

113. Influense of surfase morphologe on the angular distribution and total yield of copper sputtered by energetic argon ions /J.L. Whitton, W.O. Hofer, V. Littmark et al. // Appl. Phus. Lett.-1988.-V.36.-N7.-P.531-533.

114. Морозов B.B., Кресанов В.И., Шлюко В.Я. Катодное распыление пористого гексаборида лантана. ЖТФ.-1977.-Т.47.-№12.-С. 2526-2529.

115. Мартыненко Г.П. Распыление пористых материалов //ЖТФ.-1968.-Т.38.-№4.-С.753-760.

116. Anciello О. A critical analisys of the origin, stability, relative spattering yield and related phenomena of textured surfasces under ion bombardment // Radiat. Effects.-1982.-V.60.-N1-2.-P. 1-26.

117. Littmark V., Hofer W.O. The influence of surfase structures on sruttering. Angular distribution and yield from faceted surfaces //J. Mater. Sci.- 1978.-V.13.-N12.-P.2577-2586.

118. Cramer S.N., Oblow E.M. Feasibility study of a hoheycomb vacuum wall for fusion reactors // Nucl. Fusion.-1975.-V. 15.-N.2.-P.339-343.

119. Лозован А.А. Распыление пористых тел с порами сферической формы ускоренными ионами// Диагностика поверхности ионными пучками: Донецк, 1988.- СЛ18-119.

120. А.с. 1658757 СССР. Холодный катод гелий-неонового лазера / Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В..

121. Коржавый А.П., Кристя В.И. Особенности формирования эмиссионной поверхности холодного катода для обеспечения его долговременной работы в квантовом приборе //Электронная техника. Сер. Материалы.- 1991.- Вып. 1(255).- С.48-49.

122. Hochuli V., Haldemann P. Cold cathode for possible use in 6328A single mode He-Ne lasers // Rev.Soc.Instr..-1963.-V.36.-№10.-P.1493-1494.

123. Hochuli U, Haldemann P, Hardwick D. Cold cathodes for He -Ne gas lasers // IEEE J. of Quantum Electronics.-1967/-QE.-3/-N11/-P.612-614.

124. Иванов П., Попов С., Диоников Л., Коротенски Т. Методы прогнозирования долговечности гелий-неоновых лазеров // Годишн.высш.техн. учебн.завед. Физика.-1973/-т.10/-№2/-С.101-106.

125. Orlinov V., Mladenov G. Dependence of cathode sputtering rate on the current in a glow discharge // Int.J.Electr.-1969/-V.27/-№ 1 .-P.65-73.

126. Orlinov V., Mladenov G. Dependence of cathode sputtering rate on the pressure in a glow discharge.-Int.J.Electr.-1969.-V.27.-№3.-P.241-247.

127. Orlinov V., Mladenov G., Goranchev B. Influence of the heat transfer from the cathod on the dependence of cathode sputtering rate

on current and pressure in a glow discharge // Int.J.Electr.-1971.-V.30.-№3.-P.233-243.

128. Orlinov V., Goranchev В., Kourtev J. Influence of the abnormal ratio of the dependence of cathode sputtering rate on the current in a glow discharged/ nt.J.Electr.-1974.-V.30.-№4.-P.431-439.

129. Боярчиков O.A., Соболев В.Д., Шипалов A.C. Методика прогнозирования срока службы приборов тлеющего разряда // Электронная техника. Сер.З. Газоразрядные приборы.-1971 .-№4.-С.62-66.

130. Влияние некоторых технологических факторов на срок службы холодного катода / Перелыгин А.И., Садофьев Ю.Г., Ананьин B.C., Морозов Е.А. // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1974.-№8.-С.98-102.

131. Ивлев A.M., Коржавый А.П., Москвина А.И. Долговечность алюминиевых катодов при малых давлениях газа // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1979.-№8.-С.67-72.

132. Карпухин B.C. Катодное распыление в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-1978.-№5.-С. 14-22.

133 Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. Метод расчета срока службы холодных катодов в газоразрядных приборах // Электронная техника. Серия 6. Материалы.-1987.-№1.-С.73-75.

134. Кристя В.И. Расчет энергетического спектра ионов тяжелой компоненты и коэффициента распыления катода в тлеющем разряде в смеси газов // ЖТФ.- 1996.-Вып. 66.-№6.-С.8-14.

135. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий B.B. О влиянии нагрева газа на зарактеристики катодного слоя тлеющего разряда // Электронная техника. Серия 6. Материалы.-1989.-№2.-С.56-58.

136. Метод прогнозирования срока службы холодного катода в гелий-неоновом лазере /Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П., Кристя В.И., Лишу к Н.В., Прасицкий В.В. // Тезисы докладов Всероссийской научно-технической конференции "Автоматизация исследования, проектирования и испытания сложных технических систем и техзнологических комплексов".- Калуга, 1994.- С.100.

137. Прасицкий В.В., Лищук Н.В. Изучение плазмы тлеющего разряда в холодном катоде // Тезисы докладов второй научно-методической конференции "Использование научно - технических достижений в демонстрационном эксперименте и в постановке лабораторных практикумов". Саранск, 1994.- С. 176.

138. Прасицкий В.В.,Лищук Н.В. Изучение плазмы тлеющего разряда в холодном катоде // Тезисы докладов второй научно-методической конференции "Использование научно-технических достижений в демонстрационном эксперименте и в постановке лабораторных практикумов". Саранск, 1994.- С. 176.

139. Шульман А.Р., Фридрихов С. А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. - М.: Наука, 1977.- 551 с.

140. Черепнин В.Т. Ионный зонд.-К.: Наукова думка, 1981.-328с.

141. Takeishi Y. Ejection of electrons from barium oxide by \У noble gas ions // J.Phys.Soc.Jap.-1962.-V.60.-№2.-P.326-341.

142. Матросов M.B. Физика работы выхода электрона. - М.: МАИ, 1989.-178 с.

143. Добрецов JI.H., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. - М.: Наука, 1966.-564с.

144. Shapiro В., Pharhuram J., Rosco J. Electron yield of glow discharge cathode material //Appl.Phys.Lett.-1988.-V.53.-№5.-P.358-360.

145. Redjopadhyc N, Jogleker V, bharaskar S. Jon secondary electron emission from A1203 and MgO films // Silid state commun.-1986.-V.60.-N8.-P.675-679.

146. Заика A.A., Ступак B.A., Яблуков Б.Г. Особенности ионно-электронной эмиссии диэлектрических пленок на массивных подложках при бомбардировке ионами низких энергий //Тез.докл. IX Всесоюзной конференции ВА и ТТ.- М.: 1989.- Т.1, С.310-311.

147. Кульварская Б.С., Татаринова Н.В. // РЭ.- 1992.- Т.37.- №2.-С.362.

148. Крютченко О.Н., Маннанов А.Ф., Носов А.А. // РЭ.-1992.-Т.52.- №9.- С.1716.

149. Киселева Л.И., Маннанов А.Ф., Крютченко О.Н. Способ изготовления активного элемента газового лазера с холодным катодом. Пол. Реш. По заявке №4819620/21 от 05.03.92.

151. Кульварская Б.С., Магдеев М.П. Роль зарядки поверхности в явлении послеэмиссии // Тезисы докладов IX Всесоюзной конференции ВАЧТТ.- М.: 1989.- Т.1.- Ч.2.-С.300-301.

152. Бажин А.И., Ступак В.А., Яблуков Б.Г. Зависимость ИЭЭ от толщины диэлектрического покрытия на металлических подложках // Тезисы докладов Всесоюзного совещания по диагностике поверхности ионными пучками.- Одесса, 1990.- С.69.

153. Распыление ионным пучком поверхности с углублениями цилиндрической формы / Коржавый А.П., Кристя В.И., Лишу к Н.В., Прасицкий В.В. // Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара "Диагностика поверхности ионными пучками".-Одесса, изд.МАИ, 1990.- С. 100-101.

154 Лищук Н.В. Некоторые особенности получения радиационностойких образцов из бериллия // Материалы IV Межнационального совещания "Радиационная физика твердого тела".- Севастополь, 1994.-С.54.

155. Бериллий - наука и технология / Под ред. Вебстера Д. -М.: Металлургия, 1984.- 376с.

156. Уайт Д. Бериллий.- М.: Атомиздат, 1980.- 460с.

157. Панченко В.В. Лабораторная металлография.- М.: Металлургия, 1965.-256с.

158. Беккерт В. Справочник по металлографическому травлению.- М.: Металлургия, 1979.-96с.

159. Изменение работы выхода холодных катодов в процессе газового разряда / Ананьин B.C., Белкин A.M., Гусева А.М, Салауров М.П.// Электронная техника. Сер. Материалы.-1991.-Вып.5(1612).-С.47.

160. Коржавый А.П., С.И. Файфер. Материалы для долговечных катодов газовых лазеров // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- 1979.- Вып.6(658).- С.34.

161. A.c. 1708096 СССР, Н01 J 9/42. Способ определения долговечности гелий - неонового лазера / Коржавый А.П., Кристя В.И., Лищук Н.В., Прасицкий В.В.

162. Патент РФ 2009586 cl, НО 1 S 3/38. Гелий - неоновый лазер / Коржавый А.П., Лищук Н.В., Прасицкий В.В., Рожанец A.B.

163. А.с. 141239 СССР.

164. А.П. Коржавый, A.M. Рожков, А.Н. Прозоров. Некоторые вопросы ионно - электронной эмиссии твердых тел и разработка холодных катодов квантовых приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы.- 1987.-Вып. 4(1194.- с.9-15.

«УТВЕРЖДАЮ»

О эаёЪд «Анод»

■tf u V i.

гуЧл/КЗ.В. Ахрамеев

V'¿У 1998г

¡¡и инженер

АКТ

внедрения на АО завод «Анод» результатов

диссертационной работы Н.В. Лищука ««Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий — неоновых лазеров с повышенной долговечностью»

Комиссия в составе начальника подготовки производства Рожанца A.B. и заместителя начальника технического отдела Браженко Л.А. составила настоящий Акт в том, что холодные катоды Яе0.730.014ТУ, разработанные в диссертации Н.В. Лищука, внедрены в серийно выпускаемые АО завод «Анод» гелий-неоновые лазеры.

Начальник подготовк

производства

.В. Рожанец

Заместитель начальник

Л.А. Браженко

технического отдела

«УТВЕРЖДАЮ»

АКТ

внедрения в АО «Аметист» результатов диссертационной работы Лищука Н.В. «Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий - неоновых лазеров с повышенной долговечностью»

Комиссия в составе главного технолога С.И. Макарова и главного контролера И.Ф. Сенчихина составила настоящий Акт в том, что в АО «Аметист» внедрены результаты диссертации Лищука Н.В., защищенные патентом РФ №2009586, использующиеся в технологическом процессе изготовления холодных катодов, выпускаемым по техническим условиям Яе0.730.014ТУ и

Яе0.730.055ТУ.

АКТ

внедрения в ГП НИИМЭТ результатов диссертационной работы Лищука Н.В. «Разработка холодных катодов на основе бериллия и алюминия для гелий-неоновых лазеров с повышенной долговечностью»

Комиссия в составе начальника НПК «Катод» Прасицкого В.В. и зам. начальника НПК «Катод» Хабибулина Р.И. составила настоящий Акт в том, что в ГП НИИМЭТ внедрены результаты диссертации Лищука Н.В., защищенные A.C. 1708096 СССР, использующиеся в технологических процессах изготовления холодных катодов, выпускаемых по техническим условиям

Яе0.730.014ТУ, Яе0.730.054ТУ и Яе0.730.055ТУ.

Нач. НПК «Катод» В. Прасицкий

Зам. нач.. НПК «Ка И. Хабибулин