Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Большепаев, Олег Юрьевич

• Большепаев, Олег Юрьевич
• кандидат технических наук
• 1999

Оглавление диссертации кандидат технических наук Большепаев, Олег Юрьевич

Содержание.

Введение.

Глава 1 Состояние вопроса и постановка задачи.

1.1. Обзор методов обработки стекломатериалов концентриро- 8 ванными потоками энергии.

1.2. Классификация стекломатериалов и анализ их основных 14 физико-механических характеристик.

1.3. Анализ деталей приборов и предъявляемых к ним требова- 17 ний в промышленности.

1.4. Постановка задачи исследований.

Глава 2 Разработка и исследование математической модели взаимо- 25 действия лазерного излучения со стекломатериалами.

2.1. Определение температурного поля в процессе взаимодейст- 26 вия излучения со стекломатериалами.

2.2. Определение силового поля в процессе взаимодействия из- 47 лучения со стекломатериалами.

2.3. Исследование процессов межфазного взаимодействия на 56 границе раздела.

Выводы.

Глава 3 Определение режимов и управление качеством процесса ла- 73 зерной полировки.

3.1. Термолазерная обработка.

3.2. Разработка экспериментальной установки.

3.3. Анализ технологических факторов и определение режимов 98 обработки.

Выводы

Глава 4 Экспериментальные исследования процесса лазерной обра- 110 ботки стекломатериалов.

4.1. Экспериментальные исследования процесса лазерной поли- 110 ровки стекломатериалов.

4.1.1. Экспериментальные исследования процесса лазерной поли- 110 ровки шлифованных поверхностей стекломатериалов.

4.1.2. Экспериментальные исследования процесса лазерной поли- 129 ровки прецизионных поверхностей стеклоизделий.

4.1.3. Исследование влияния лазерной полировки на микротвер- 133 дость и химическую устойчивость стекломатериалов.

4.2. Экспериментальные исследования процесса лазерной поли- 138 ровки фасонных поверхностей стеклоизделий прецизионно

Глава го приборостроения.

Экспериментальные исследования процессов лазерного формирования элементов рельефа и повышения вакуумп-лотности волоконно - оптических элементов. Экспериментальные исследования процессов лазерного формирования элементов рельефа и повышения вакуумп-лотности стеклоизделий типа "входное окно". Выводы.

Разработка технологических процессов и перспективы раз- 157 вития лазерного метода полировки стекломатериалов.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике»

В настоящее время стекломатериалы, из-за их уникальных физико -механических свойств, нашли широкое применение в различных отраслях промышленности. В приборостроении и радиоэлектронике существует гамма стеклоизделий со сложной конфигурацией, к которым предъявляются жесткие требования по качеству, точности формы и микрогеометрии поверхности: оптоэлектронные элементы, электромеханические резонаторы, подложки микросхем, силовые элементы лазерной оптики, компоненты электронно - оптических преобразователей, изделия волоконной оптики и др. Процесс изготовления данных стеклоизделий, построенный на использовании механической обработки со значительным объемом ручного труда, дорогостоящими приспособлениями и абразивов, характеризуется рядом технологических проблем. Особые трудности возникают в тех случаях, когда необходимо осуществить переход от матовой, шлифованной к прозрачной, полированной поверхности, доводку прецизионных поверхностей (до 13, 14 класса), формирование и корректировку элементов рельефа небольших размеров (радиусы 0,5 - 1 мм., фаски 0,3 - 0,5 мм), повысить вакуумные свойства поверхности.

Таким образом, в промышленности сложилась ситуация, когда применение традиционной технологии либо не позволяет достичь необходимого качества обработки, либо становится экономически нецелесообразным. В связи с этим, актуальным становится внедрение новых методов обработки (огневого, электроннолучевого, плазменного, ионнолучевого, лазерного методов), основанных на воздействии на стекломатериал высококонцентрированных потоков энергии и позволяющих при использовании совместно с традиционными способами, решать необходимые задачи.

Сравнительный анализ существующих высокоэнергетических методов показывает, что для решения перечисленных технологических задач применение лазерного метода является предпочтительным.

Существует значительное количество работ в отечественной и зарубежной литературе, посвященных лазерной обработке стекломатериалов. Однако, большинство из них рассматривает вопросы разделения, сварки, напыления, формирования отверстий. Основополагающими работами в этой области являются работы Мачулки А.Г., Григорьянца А.Г., исследовавших вопросы скрайбирования, термораскалывания и сварки стекломатериалов. Незначительное количество работ, посвященных полировке и формообразованию поверхности, свидетельствует о недостаточном изучении данного направления и его актуальности.

В настоящее время, применение лазерного метода для задач, связанных с полировкой и формообразованием рельефа стеклоизделий, ограничивается из-за повышения уровня внутренних напряжений в процессе взаимодействия излучения со стекломатериалами и растрескивания поверхностного слоя, что является недопустимым для прецизионных стекло-изделий приборостроения. Проводимые в течение ряда лет исследования позволили решить возникшую проблему с помощью разработки нового технологического процесса - термолазерной обработки.

Целью настоящей работы является разработка и исследование процесса лазерной полировки стекломатериалов, а также разработка технологии и оборудования для ее реализации.

В соответствии с этим для достижения поставленной цели был поставлен комплекс задач, связанный с:

- определением основных физических закономерностей процесса лазерной обработки;

- разработкой математической модели процесса взаимодействия излучения со стекломатериалами, применительно к технологическим задачам промышленности и позволяющей прогнозировать результат обработки в зависимости от основных факторов процесса;

- разработкой методики для стабилизации напряженного состояния стекломатериалов при взаимодействии с излучением;

- разработкой методики управления качеством процесса и определением оптимальных технологических режимов обработки для стекломате-риалов различного химического состава;

- разработкой экспериментального оборудования для решения существующих технологических задач;

- проведением экспериментальных исследований с целью возможного решения существующих технологических задач на базе ряда стеклоизде-лий приборостроения.

Методы исследований. Теоретические исследования выполнены с применением классической теории теплопроводности, тепломассоперено-са, математического моделирования и численных методов расчета.

В экспериментальных исследованиях использованы специальные методы оценки шероховатости поверхности, микротвердости, химической устойчивости, напряженного состояния, вакуумплотности, а также фотосъемки и микроскопического анализа.

Научная новизна работы заключается в разработке математической модели процесса взаимодействия лазерного излучения со стекломатериа-лами, позволяющей прогнозировать результат обработки в зависимости от режима воздействия излучения и определять оптимальные режимы обработки применительно к поставленным технологическим задачам; разработке методики для стабилизации и минимизации напряженного состояния материала.

Практическая ценность состоит в разработке универсального метода для поверхностной обработки стекломатериалов различного химического состава; определении степени влияния конструктивно-технологических факторов процесса (плотности мощности излучения и скорости сканирования) на шероховатость и свойства поверхности стекломатериалов; обосновании возможности применения лазерного метода для обработки оптико - волоконных материалов.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на Российской научно-технической конференции "Новые материалы и технологии машиностроения" (Москва, 1995, 1997 гг.) и на молодежной научной конференции "Гагаринские чтения" (Москва 1995, 1998 гг.).

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Большепаев, Олег Юрьевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.

На основе материалов, представленных в работе, можно сделать следующие выводы:

1. На основании анализа литературных данных определено место лазерного метода обработки стекломатериалов среди других процессов, его основные преимущества и перспективы использования. Проведен анализ ряда стеклоизделий промышленности и требований к их изготовлению, который позволил выделить, для решения с помощью лазерного метода, технологические задачи основными из которых являются: полировка шлифованных поверхностей стекломатериалов, доводка прецизионных поверхностей, повышение вакуумных свойств деталей приборо- и машиностроения, а также формирование и корректировка элементов рельефа стеклоизделий.

2. Проведен анализ физико - механических характеристик ряда стекломатериалов наиболее широко применяемых в промышленности. Выделены основные характеристики и показана их степень влияния на процесс взаимодействия с излучением и результат обработки: состояние микрогеометрии, уровень внутренних напряжений, распределение температуры на поверхности и в структуре материала, порог разрушения материала.

3. Проведены теоретические исследования распределения температуры в процессе лазерного воздействия. Произведена оценка температуры при нагреве излучением и последующем охлаждении. Показано, что в процессе взаимодействия излучения со стекломатериалом возникает высокий температурный градиент. Получены зависимости температуры в структуре материала и на обрабатываемой поверхности от плотности мощности излучения и скорости сканирования. Полученные результаты позволяют прогнозировать фазовые переходы и определять режимы обработки.

4. Проведены теоретические исследования напряженного состояния стекломатериалов. Получены зависимости уровня внутренних напряжений от плотности мощности излучения, скорости сканирования и глубины поверхностного слоя. Результаты исследований позволяют прогнозировать уровень напряжений на поверхности, в структуре и критические режимы воздействия излучения, приводящие к разрушению стекломатериала.

5. Проведены теоретические исследования процессов межфазного взаимодействия, характеризующих лазерную обработку стекломатериалов. Получен ряд зависимостей концентрации жидкой и твердой фаз стекломатериала от глубины диффузионного слоя и плотности мощности излучения. Полученные результаты позволяют прогнозировать оптимальные режимы воздействия излучения и качество получаемых поверхностей.

6. На основе проведенных теоретических исследований разработана математическая модель, позволяющая, с учетом температурного поля, уровня внутренних напряжений, межфазного взаимодействия прогнозировать результат лазерной обработки.

7. Разработана методика, проведены эксперименты и сформулирован ряд положений, позволяющих стабилизировать напряженное состояние материалов. Методика основывается на применении предварительного подогрева обрабатываемого изделия. Результаты экспериментов показали, что предварительный нагрев следует осуществлять до температур, близких к зоне отжига обрабатываемого стекломатериала. Получена экспериментальная зависимость уровня внутренних напряжений от температуры подогрева и плотности мощности излучения. Применение методики позволило снизить величину двойного лучепреломления со 108 до 12 нм/см.

8. Проведен анализ технологических факторов процесса и разработана математическая модель, позволяющая управлять качеством лазерной обработки. Получена зависимость шероховатости поверхности от факторов плотности мощности излучения и скорости сканирования. Разработана методика для определения режимов лазерного воздействия в зависимости от решаемой технологической задачи.

9. Разработана методика и проведены экспериментальные исследования по полировке излучением СО2 лазера шлифованных поверхностей сортов стекол наиболее широко применяемых в промышленности. Определены оптимальные режимы воздействия излучения для каждого исследуемого стекломатериала. Проведен анализ профилограм и микроскопические исследования обработанных поверхностей. Установлено, что в оптимальных режимах лазерный метод позволяет снижать уровень шероховатости шлифованных поверхностей до 75%, по сравнению с исходным уровнем, заменяя при этом 2-3 перехода шлифовки и полировки при традиционной технологии.

10. Разработана методика и проведены экспериментальные исследования по применению лазерного метода для доводки прецизионных поверхностей стекломатериалов. Подобраны оптимальные режимы воздействия излучения, исследован вопрос многопроходной лазерной полировки. Установлено, что уровень микронеровностей поверхности снизился на 30%, с 12а до 12в класса шероховатости, а в случае многопроходной полировки на 40% и соответственно с 12а до 13а. Отмечается, что многопроходная обработка поверхности приводит к повышению, в 2-3 раза, напряженного состояния и необходимости проведения последующей операции тонкого отжига.

11. Проведены экспериментальные исследования по оценке влияния лазерного воздействия на микротвердость и химическую устойчивость стекломатериалов. Установлено, что в процессе лазерной полировки происходит повышение микротвердости и химической устойчивости стекломатериалов. Были получены результаты для кварцевых образцов увеличения микротвердости на 11% и повышение химической устойчивости на 24%, по сравнению с образцами выполненными механической и химической обработкой.

12. Разработана методика и проведены экспериментальные исследования по обработке фасонных поверхностей стеклоизделий. Получены результаты по формированию и корректировке фасок и внутренних радиусов световодов, а также переходных радиусов стеклоизделий типа "входное окно".

13. Разработана методика и проведены экспериментальные исследования по повышению вакуумных свойств стеклоизделий. Показано, что в результате отсутствия трещиноватого слоя, улучшенной микрогеометрии, а также повышения ряда физико - механических свойств поверхность приобретает дополнительную вакуумстойкость. Установлено, что рабочий объем со стеклоизделиями обработанными лазером имеет меньшее (в 1,52 раза) время понижения давления до уровня Ю-11 - 1012 Па. по сравнению с изделиями традиционной обработки. Зафиксировано уменьшение времени откачки давления с 48 до 26 часов.

14. Проведен анализ перспектив дальнейшего развития и применения метода лазерной обработки стекломатериалов. Предложены наиболее приоритетные направления и разработаны технологические схемы для дальнейшего совершенствования метода.

172

2. Теоретические исследования процесса взаимодействия лазерного излучения со стекломатериалами при определенном световом потоке позволяют сделать выводы о том, что при осуществлении полировки на поверхности на границе раздела жидкость - твердая фаза возникает высокий температурный градиент, который является причиной появления волны тепловых напряжений и неравномерного распределения примесей. Теоретический анализ для исследуемых материалов позволяет сделать заключение о том, что для осуществления эффективной лазерной полировки стек-ломатериалов необходимо разработать комплекс мер, направленных на снижение температурного градиента и стабилизации уровня внутренних напряжений.

3. На основе проведенных теоретических исследований разработана математическая модель процесса лазерной полировки стекломатериалов. Модель позволяет: рассчитывать температурное поле на обрабатываемой поверхности и определять условия, необходимые для осуществления фазовых переходов в процессе взаимодействия; прогнозировать уровень внутренних напряжений материала и условия, при которых не происходит разрушение поверхности; рассчитывать режимы воздействия излучения и определять оптимальные из них, при которых возможно получение наиболее качественных выходных параметров процесса полировки.

4. Разработан пакет прикладных программ, позволяющих решать созданную математическую модель процесса.

73

ГЛАВА 3

ОПРЕДЕЛЕНИЕ РЕЖИМОВ И УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ ПРОЦЕССА ЛАЗЕРНОЙ ПОЛИРОВКИ

3.1. Термолазерная обработка

Как показали проведенные теоретические исследования, а также анализ литературных данных, процесс взаимодействия излучения СОг лазера со стекломатериалами характеризуется высоким температурным градиентом, который сопровождается скачкообразным повышением внутренних напряжений. Вследствие этого уровень напряженного состояния превышает порог разрушения стекломатериала и приводит к растрескиванию поверхностного слоя, что является недопустимым. В связи с этим, необходимо разработать методику по минимизации и стабилизации уровня внутренних напряжений в процессе лазерной полировки.

Для ликвидации данного эффекта при действии излучения, на основании ряда публикаций [21, 29, 32, 53 ] и проведенных теоретических исследований, нами предлагается проводить процесс взаимодействия потока энергии с предварительно разогретым стекломатериалом, т.е. можно ввести понятие термолазерной обработки. Такой подход, по нашему мнению, позволяет снизить величину термического градиента в процессе взаимодействия и, как следствие, стабилизировать внутренние напряжения.

Для теоретического описания процесса взаимодействия излучения со стекломатериалами с дополнительным фактором нагрева, на основании разработанного в предыдущей главе математического аппарата, были проведены расчеты. Фактор предварительного подогрева учитывался в краевых условиях при решении уравнения теплопроводности, определения характера силового поля и межфазного взаимодействия. Теоретические исследования показали, что чем выше температура предварительного подогрева стекломатериала, тем меньше скачок температуры и температурный градиент при лазерном воздействии. Однако, вследствие недопустимости размягчения материала максимальную температуру подогрева следует ограничивать величиной близкой к зоне отжига. По результатам расчетов был построен ряд теоретических зависимостей, на которых приводится характер распределения температуры и внутренних напряжений в процессе лазерной полировки с дополнительным фактором предварительного нагрева стекломатериала.

На рис. 3.01 приводится зависимость, показывающая характер нагрева и охлаждения при взаимодействии излучения с предварительно разогретым до 1000°С. кварцевым стеклом. Ряд кривых характеризует распределение температуры в различных поверхностных слоях от 0.01 мм. до 0.2 мм. Анализ графика показывает, что, по сравнению с рис. 2.06 (п. 2.1.), введение в зону обработки методики подогрева привело к уменьшению скачка температуры и, как следствие, температурного градиента. Если без предварительного подогрева для достижения 1330°С необходимо было увеличивать температуру непосредственно с уровня окружающей среды, то в данном случае разница температуры составляет 330°С (с 1000°С до 1330°С). Применение подогрева стекломатериала перед обработкой также позволило уменьшить зону температурного влияния. Приведенная зависимость показывает, что уже на глубине 0.2 мм. температура практически не превышает 1000°С. Для минимизации температурного градиента необходимо также исключить резкий скачок температуры при охлаждении. В связи с этим, следует осуществлять постепенное снижение температуры до окружающей среды. Как видно из графика, резкое охлаждение происходит до уровня 1000°С., а затем осуществляется принудительное медленное снижение температуры.

Проведенный анализ температурного поля на поверхности (рис. 3.02) показал, что профиль температуры не изменился и соответствует распределению энергии в пятне излучения. Однако, предварительный подогрев обрабатываемой поверхности позволил уменьшить величину максимальной разницы между температурой в центре поля и по краям, тем самым свести

1500 1450 1400 1350 1300 1250 1200 1150 1100 1050 1000 950 900 850 800 750 700

0 0,03 0,037 0,075 0,11 0,15 0,19 0,23 0,3 г, с.

-г=0,01 тга г=0,05тт г=0,1 тт

- 2=0,2тт рис. 3.01. Характер распределения температуры материала в процессе лазерного воздействия и при последующем охлаждении. Материал КУ-1. Плотность мощности я0= 1-Ю5 Вт/см2. Температура предварительного подогрева 1000°С. рис. 3.02. Температурное поле на обрабатываемой поверхности стекломатериала.

Материал КУ-1. Плотность мощности д0=1-105 Вт/см2. Температура предварительного подогрева 1000°С. к минимуму неравномерность распределения температуры. Если на рис. 2.07 разница была значительной, более 1150°С., то в данном случае она составляет 330°С.

На основе результатов построения температурного поля, уменьшения температурного градиента можно предположить, что лазерная полировка стекломатериалов в разогретом состоянии не будет характеризоваться значительным ростом внутренних напряжений и образованием трещин.

Характер приведенных зависимостей напряженного состояния рис. 3.03 - 3.06 показывает правильность рассуждений. По сравнению с графиками рис. 2.07 - 2.10 (п. 2.2) можно сделать вывод о том, что профиль распределения напряжений в процессе воздействия излучения в условиях предварительного нагрева не изменился. Увеличение напряженного состояния происходит. Однако, как видно из графиков, уровень внутренних напряжений понизился. В данном случае, максимальная величина не превышает критического уровня напряжений разрушения стекломатериала, а следовательно, не происходит разрушения поверхностного слоя и образования трещин, что и требовалось достичь с помощью предварительного подогрева обрабатываемой поверхности.

Для экспериментального подтверждения теоретических результатов применения предложенной методики были проведены исследования уровня напряженного состояния стекломатериала в зависимости от плотности мощности излучения и температуры предварительного подогрева. Экспериментальные работы проводились со стеклами различного химического состава. Подбиралась оптимальная температура предварительного подогрева, исследовалось влияние скорости сканирования и величины плотности мощности на уровень, возникающих внутренних напряжений. При этом, нагрев и последующее охлаждение стекломатериалов производили по методике и в соответствии с ОСТ 3-6770-93. Оценку уровня напряженного состояния, возникающего в процессе лазерного воздействия, производили косвенно по изменению характеристики двулучепреломления стекломатерис. 3.03. Силовое поле стекломатериала в зависимости от глубины среза и длительности воздействия излучения.

Материал: стекло КУ-1. Плотность мощности qo=l*105 Вт/см2, температура подогрева 1000 °С. СкР - критическая величина уровня напряжений, приводящая к разрушению стекломатериала, Па.

-2.29467е+007,

-1.25-10

-2.5-10 а(х) ЗЛ5.108 а1(х) стЗ(х)

5-10 а2(х)-6.2510г

-7.5-10

8.75-10

МО' Ь109 у=0.01 тт. у=0.1 тт. у=0.02 тт. у=0.04 тт. рис. 3.04. Характер распределения внутренних напряжений материала в зависимости от координаты х.

Материал: Стекло КУ-1. Плотность мощности яо=1 *105 Вт/см2, температура подогрева 1000 °С. акр - критическая величина уровня напряжений, приводящая к разрушению стекломатериала, Па.

-2,5-Ю

-Ъ,7-Ю о1(у) , о2(у) , "6,25/0 аЗ(у)

-7,25!о х=0.1 шт. х=0.01 тт. х=0.2 тт. х=0.05 тт. рис. 3.05. Характер распределения внутренних напряжений материала в зависимости от координаты у.

Материал: Стекло КУ-1. Плотность мощности qo=l*105 Вт/см2, температура подогрева 1000 °С. акр - критическая величина уровня напряжений, приводящая к разрушению стекломатериала, Па.

1.13 10^ м рис. 3.06 Поле внутренних напряжений, возникающее на поверхности стек-ломатериала при воздействии Гауссова пучка излучения.

Материал: Стекло КУ-1. Плотность мощности qo=l*105 Вт/см2. температура подогрева 1000 °С. Окр - критическая величина уровня напряжений, приводящая к разрушению стекломатериала, Па. риалов на полярископе ПКС-250 по методике в соответствии с ГОСТ 351991.

Результаты измерений напряженного состояния на примере образцов стекла Ф6 приведены в табл. 3.01.

Проведенные эксперименты подтвердили результаты теоретических исследований о том, что лазерное воздействие приводит к резкому повышению уровня внутренних напряжений стекломатериалов и, как следствие, разрушению (растрескиванию) поверхностного слоя. Введение в процесс обработки предварительного подогрева стеклоизделий позволяет снизить напряженное состояние. Было отмечено, что количество и характер трещин на поверхности меняется с увеличением интенсивности подогрева и при определенном значении температуры трещины вообще не образуются. На рис 3.07. показана обработанная поверхность без предварительного подогрева, которая характеризуется мелкими трещинами и в некоторых местах отслаиванием поверхностного слоя. На рис. 3.08. приведена поверхность, обработанная в том же режиме воздействия, но с подогревом до 300° С. Можно заметить, что трещины стали крупнее, а их количество уменьшилось. По мере дальнейшего роста температуры подогрева число трещин продолжает снижается до полного их отсутствия. Величина внутренних напряжений стекломатериала также уменьшается с ростом температуры подогрева и стабилизируются в диапазоне температур близком к зоне отжига. Дальнейшее повышение температуры приводит к размягчению материала и потере им необходимых характеристик. Для устранения остаточных внутренних напряжений после взаимодействия стекломатериалов с излучением следует подвергнуть стеклоизделия операции отжига.

На рис. 3.09. приводится экспериментальная зависимость показателя, характеризующего уровень внутренних напряжений от температуры подогрева стекломатериала.

На основании проведенного теоретического анализа, экспериментальных работ, а также литературных данных можно сформулировать ряд положений, согласно которым следует осуществлять лазерную полировку

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Большепаев, Олег Юрьевич, 1999 год

1. Аброян И.А. Физические основы электронной и ионной технологии. Учеб. пособие. М.: Высш. школа, 1984. - 320 с.

2. Алеев Е.Р., Гармаш В.М. Нанесение просветляющих покрытий лазерным пиролизом// Оптический журнал, 1993, №2, с. 55 57.

3. Американская оптическая корпорация. Способ обработки расплавленного стекла лазерным пучком.//Патент США №3415636, 10 Дек. 1968.

4. Антосяк В.Г. Электрофизические методы обработки материалов./ Под ред Фотеева Н.К. Кишиневский политех, ин-т, 1987, 145 с.

5. Араманович И.Г., Левин В.И. Уравнения математической физики. Учеб. пособие. М.: Наука. 1969, 546 с.

6. Балошин Ю.А., Гаврилов С.Н. Исследование возможностей использования импульсно- периодического TEA СО2 лазера для обработки хрупких диэлектриков с низкой теплопроводностью.// Оптический журнал, 1995, №8, с. 28-30.

7. Бахарев М.С., Миркин Л.И. Структура и прочность материалов при лазерных воздействиях М.: Изд-во МГУ, 1988, - 224с.

8. Беленький В.Я., Язовских В.М. Электронно-лучевая, лазерная и ионно-лучевая обработка материалов. Учеб. пособие. Пермь, 1995. 75 с.

9. Ю.Буевич Ю.А., Исакова Л.Ю., Мансуров В.В. К теории затвердевания бинарных расплавов с равновесной двухфазной зоной.// Журнал прикладной механики и технической физики, 1990, №4, с. 23-26.

10. П.Бункин Ф.В., Кириченко H.A. Оптимальные режимы нагрева материалов лазерным излучением., М.: 1978 32 с.

11. Бутурович И.Х. Электрофизические и электрохимические методы размерной обработки. JL: ЛПЧ, 1980. - 73 с.

12. Вейко В.П., Костюк Г.К. Лазерное формирование оптических элементов. Л.: ЛДНТП, 1988. - 20 е., ил.

13. Н.Гончаров В.А. Оптику изготавливает лазер.// Природа, 1988, №3, с. 3233.

14. Действие лазерного излучения на поглощающие конденсированные среды./ Отв. ред. Федоров В.Б. М.: Наука, 1988, 119 с.

15. Дианов Е.М., Ионов В.Н. Лазерная обработка поверхности заготовки в процессе вытяжки кварцевых световодов.//Письма в ЖТФ, 1985, т.11, вып.8, с. 473-477.

16. Дьюлиц У. Лазерная технология и анализ материалов. Пер. с англ. М.: Машиностроение. 1986. 502 с.

17. Емельянов В.А. Анализ особенностей лазерного термораскалывания кварцевого стекла.// Электронная техника, №59, 1991, с. 90-92.

18. Ибрагимов Р.Л., Минаев А.П. Лазерный отжиг облученных силикатных стекол. Обнинск, 1995. 8 с.

19. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.

20. Катомин H.H., Кораблев А.П. К вопросу о напряженном состоянии стекла при обработке сфокусированным излучением СОг лазера./ Тез. РТК Техпроцессы и материалы приборостроения и микроэлектроники. -МАТИ, М.: 1994.

21. Катомин H.H., Кораблев А.П. Экспериментальные исследования процесса взаимодействия излучения СО2 лазера со стекломатериалами./ Тез. РТК Техпроцессы и материалы приборостроения и микроэлектроники. - МАТИ, М.: 1994.

22. Китайгородский И.И., Качалов H.H., Варгин В.В. Технология стекла/ Под общ. ред. Китайгородского И.И. М.:Госстройиздат, 1961. - 624 с.

23. Коваленко B.C. Интенсификация обработки керамики с помощью лазерного излучения. Киев: О-во Знание УССР 1988. - 15 с.

24. Коган В.Б. Гетерогенные равновесия. Л., Химия, 1979. 354 с.

25. Корочкин Л.С., Якимахо А.П. Разблокировка оптических деталей излучением лазера.// ОМП, 1988, №11, с. 47-49.

26. Курочкин В.И. Теплофизическое воздействие лазерного излучения на материалы. Куйбышевский гос. университет, 1990 63 е., ил.

27. Лазерная полировка прецизионных поверхностей стекломатериалов./ Катомин H.H. Отчет по НИР №ГР-91/Л-1356, 1991, 10 с.

28. Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн. 4. Лазерная обработка неметаллических материалов: Учеб. Пособие для вузов/А.Г. Григорьянц, A.A. Соколов; Под ред. А.Г. Григорьянца. М.: Высш. шк. 1988. - 191 е.: ил.

29. Либенсон М.Н. Образование регулярного рельефа на поверхности кремния под действием поляризованного лазерного излучения.// Оптический журнал, 1996, №2, с. 63 65.

30. Лодиз Р., Паркер Р. Рост монокристаллов. М.: Мир, 1974.

31. Мачулка А.Г. Лазерная обработка стекла. М.: Сов. радио, 1979,136 с.

32. Мейер Р. Резка вращающегося изделия лазерным лучом.// Патент США №3839005, Окт. 1, 1974.

33. Миркин Л.И. Физические основы обработки материалов лучами лазера. М.: Изд-во МГУ, 1975, 383 с.

34. Новицки М. Лазеры в электронной технологии и обработке материалов. М.: Машиностроение 1981 51 с.

35. Зб.Онохов А.П. Лазерная обработка оптических поверхностей.// Оптиче-кий журнал 1995, №1, с. 68 70.

36. Реди Дж. Действие мощного лазерного излучения, М.: Мир, 1974.

37. Рыкалин H.H., Углов A.A., Кокора А.Н. Лазерная обработка материалов. М., "Машиностроение", 1975. 296 с.

38. Рыкалин Н.Н. Основы электронно лучевой обработки материалов. М.: Машиностроение. 1978. - 239 с.

39. Справочник по лазерной технике. Пер. с нем. Под ред. Напартовича

40. A.П. М.: Энергоатомиздат, 1991. 544 е.: ил.

41. Справочник по электрофизическим и электрохимическим методам обработки. Под ред. Волосатова В.A. JL: Машиностроение, 1988, 718 с.

42. Суминов В.М. Обработка деталей лучом лазера. М.: Машиностроение, 1969.-235 с.

43. Технологические лазеры: Справочник: В 2т. Абильситов Г.А., Голубев

44. B.C., Под общей ред. Абильситова Г.А., М.: Машиностроение, 1991, -432 с.

45. Цицилиано А.Д. Влияние лазерного воздействия на структурное совершенство монокристаллического кремния.//Автореф., 1992, 15с.

46. Физико-химические и механические методы обработки стекла и др. хрупких материалов.// Уч. пособие, Под ред. Евстишенкова B.C. Д.: 1980 -84 с.

47. Флеминге М. Процессы затвердевания. М.: Мир, 1977.

48. Яковлев Е.Б. Изменения в свойствах стекла при лазерном нагревании.// Оптический журнал, 1996, №2, с. 41 44.

49. Hideki S., Mitsugu Н. Fabrication of microlenses by laser-induced vaporisation.// Applied Optics/Vol 31, No. 25/1 September 1992, p 5388 5390.

50. Kinoshita K. End preparetion and fusion splicing of an optical fiber array with C02-laser.// Applied Optics/Vol 18, No. 18/ 1979, p 3256 3260.

51. Mordile B.L. Tends of using carbon dioxide laser for treatment technology.// Z. Werkstofftecknik, 1983, No 7.

52. Temple P.A., Lowdermilk H. W. Carbon dioxide laser polishing of fused silica surfaces for increased laser-damage resistance at 1064 nm., //15 September 1982/Vol. 21, No.l8/Applied Optics, p 3249 3255.

53. Urbanek P., Laser decoration of glass.// Journal of Non-Crystalling solids, 38@39, 1980, p 891-895.

54. Xiao Y.M., Bass M. Thermal stress limitations to laser fire polishing of gkasses // 15 September, 1983/Vol 22, No 18 Applied Optics, p 2933 2936.£