Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках

Кравченко, Анатолий Анатольевич 2012
Получение углеродных нанотрубок и армированных керамических композитов

Зараменских, Ксения Сергеевна 2012
Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий

Кузнецов, Павел Сергеевич 2012
Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии

Белаш, Александр Олегович 2012
Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники

Моисеев, Константин Михайлович 2012
Усовершенствование и унификация базовой имплантационной технологии фотодиодов из антимонида индия

Максимов, Александр Дмитриевич 2012
Физико-химические аспекты формирования квантовых точек в системе InGaAs/GaAs методом МОС-гидридной эпитаксии

Вагапова, Наргиза Тухтамышевна 2012
Экспериментальное исследование бесконтактного формирования поверхностных наноструктур методом сканирующей туннельной микроскопии

Николаевский, Анатолий Владимирович 2012
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния

Тимошина, Маргарита Игоревна 2011
Каталитические и газораспределительные слои для создания источников тока

Терукова, Екатерина Евгеньевна 2011
Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем

Серегин, Дмитрий Сергеевич 2011
Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки

Мустафаев, Арслан Гасанович 2011
Низкочастотное вибрационное воздействие на расплав при выращивании кристаллов методом Чохральского

Садовский, Андрей Павлович 2011
Получение термоэлектрических ветвей на основе твердых растворов Sb2Te3-Bi2Te3 для термостойких охлаждающих модулей со стабильными характеристиками

Рябинин, Денис Геннадьевич 2011
Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов

Белов, Алексей Николаевич 2011
Разработка и исследование наноструктурированных поверхностей полимеров для электроники и медицины

Лямин, Андрей Николаевич 2011
Разработка процессов и оборудования для изменения структурного состояния тонкопленочных слоев оптических и магнитооптических носителей информации

Кузьминых, Александр Сергеевич 2011
Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы

Уваров, Андрей Анатольевич 2011
Термоэлектрические устройства и оборудование для обеспечения тепловых режимов вычислительной техники

Штерн, Максим Юрьевич 2011
Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления

Пинаев, Вячеслав Владимирович 2011