Разработка и исследование наноструктурированных поверхностей полимеров для электроники и медицины тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Лямин, Андрей Николаевич

• Лямин, Андрей Николаевич
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Лямин, Андрей Николаевич

Введение.

Глава 1. Анализ современного состояния в области плазменного модифицирования поверхности полимеров.

1.1. Классификация газовых разрядов для плазменного модифицирования поверхности полимерных материалов.

1.2. Плазмохимическое модифицирование.

1.3. Ионно-лучевое модифицирование.

1.4. Осаждение наноразмерных покрытий.

1.5. Цель и задачи работы.

Глава 2. Обоснование выбора методов исследования наноструктурированиых поверхностей (НСП) и разработка математической модели оценки степени развития поверхности.

2.1. Выбор объектов исследования.

2.2. Метод формирование НСП и МНСП полимерных материалов.

2.3. Разработка математической модели оценки степени развития поверхности при её наноструктурировании.

2.4. Методы исследования параметров НСП и МНСП.

2.4.1. Электронная микроскопия.

2.4.2. Сканирующая зондовая микроскопия.

2.4.3. Метод смачивания в физико-химических исследованиях.

2.4.4. Метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.

2.4.5. Методика определения пробивного напряжения.

2.4.6. Измерение поверхностного потенциала.

2.4.7. Измерение величины адгезионной способности.

2.4.8. Методика определения антимикробной активности.

2.4.9. Исследование адгезивности клеток.

2.4.10. Выводы по главе 2.

Глава 3. Процессы формирования наноструктурированных поверхностей полимеров и исследование свойств сформированных систем.

3.1. Исследование рельефа поверхности методом АСМ.

3.2. Исследование химического состава поверхности.

3.2.1. Исследование химического состава НСП ПЭТФ.

3.2.2. Исследование химического состава НСП ПТФЭ.

3.3. Исследование энергетических характеристик НСП.

3.3.1. Исследование энергетических характеристик НСП ПЭТФ.

3.3.2. Исследование энергетических характеристик НСП ПТФЭ.

3.4. Исследование заряда поверхности.

3.5. Антимикробная активность НСП.

3.5.1. Антимикробная активность НСП ПЭТФ.

3.5.2. Антимикробная активность НСП ПТФЭ.

3.6. Выводы по главе 3.

Глава 4. Исследование модифицированных наноструктурированных поверхностей полимерных материалов.

4.1. Исследования влияния условий осаждения наноразмерного углеродного покрытия на параметры рельефа МНСП.

4.1.1. Исследование рельефа поверхности МНСП ПЭТФ.

4.1.2. Исследование рельефа поверхности МНСП ПЭТФ ТМ.

4.1.3. Исследование рельефа поверхности МНСП ПТФЭ.

4.2. Исследование изменения среднего диаметра пор при формировании МНСП ПЭТФ ТМ.

4.3. Исследование химического состава поверхности МНСП.

4.3.1. Исследование химического состава МНСП ПЭТФ.

4.3.2. Исследование химического состава МНСП ПТФЭ.Г^КЮ

4.4. Исследование энергетических характеристик МНСП.

4.4.1. Исследование энергетических характеристик МНСП

ПЭТФ.

4.4.2. Исследование энергетических характеристик МНСП

ПЭТФ ТМ.

4.4.3. Исследование энергетических характеристик МНСП

ПТФЭ.

4.5. Исследование заряда поверхности.

4.6. Исследование электрофизических свойств модифицированных наноструктурированных поверхностей.

4.7. Исследование антимикробной активности МНСП.

4.7.1. Антимикробная активность МНСП ПЭТФ.

4.7.2. Антимикробная активность МНСП ПЭТФ ТМ.

4.7.3. Антимикробная активность МНСП ПТФЭ.

4.8. Выводы по главе 4.

Глава 5. Применение наноструктурированных поверхностей материалов и технологии их получения в электронике и медицине.

5.1. Повышение адгезионных характеристик поверхности полимеров.

5.1.1. Наноструктурированные полимерные материалы как базовый материал для гибких печатных плат нового поколения.

5.1.2. Наноструктурированные полимерные материалы в герметизации коксиально-волноводных переходов.

5.1.3. Наноструктурирование полимерных материалов в технологии склеивания материалов.

5.2. Грибостойкость НСП и МНСП.

5.3. МНСП ПЭТФ ТМ как материал для клеточных технологий.

5.4. Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование наноструктурированных поверхностей полимеров для электроники и медицины»

Полимерные материалы уже давно и успешно применяются в микроэлектронике и медицине в качестве пассивных элементов изделий: изоляционных и конструкционных материалов, несущих элементов печатных плат, изделий для культуральной техники, имплантатов и т.д. Это объясняется доступностью их получения, легкостью обработки, хорошими весовыми и диэлектрическими характеристиками; и, не в последнюю очередь, дешевизной.

Однако в настоящее время всё более активно развиваются такие направления, как производство гибких печатных плат нового поколения, светодиодные матрицы, солнечные элементы и т.д., использующие полимеры и в качестве функциональных слоев [1-4].

В связи с этим одной из центральных задач, стоящих перед наукой и техникой, является необходимость согласования полимерных материалов с другими материалами и конструктивными элементами. При этом во многих случаях требуется создание многофункциональных полимерных материалов и изделий из них, обеспечивающих не только достижение высокой адгезии поверхности, но и обеспечение целого ряда других характеристик, к которым относятся:

• минимальная дефектность поверхности;

• повышение износостойкости;

• увеличение химической стойкости;

• стойкость к биокоррозии;

• придание антимикробных свойств материалам и изделиям медицинского назначения с целью .уменьшения риска их использования в условиях понижения иммунного статуса человека и ухудшения экологической обстановки и т.д.

Поэтому задача комплексного управления свойствами поверхности полимерных материалов, является весьма своевременной и актуальной задачей, поскольку именно от поверхности во многом зависят функциональные характеристики изделия и время его работоспособности. Такие свойства поверхности, как состав, структура, рельеф (форма рельефа) и заряд поверхности -определяют широкий спектр свойств материалов: механический износ изделия (истирание,- царапанье), химико-механический износ (изменение структуры поверхности, коррозия), электро- и теплофизические процессы, медико -биологические характеристики и т.д.

Основная идея работы состоит в разработке технологии управления свойствами поверхности полимеров за счет формирования наноструктурированных поверхностей полимеров (НСП) и их модифицирования наноразмерными углеродсодержащими покрытиями толщиной от 10 до 100 нм (МНСП).

Наиболее целесообразный способ создания полимерных материалов с наноструктурированной поверхностью - применение ионно-плазменной обработки, являющейся в настоящее время одной из базовых технологий производства микроэлектронной аппаратуры. Это обусловлено её высокой разрешающей способностью, четким контролем параметров процессов, способностью локально подводить высокую энергию (от 100 и более эВ) и локализовать воздействие только в приповерхностном слое материала (2 -г- 100 нм).

Выбор углерода в качестве второго основного «строительного» материала для формирования модифицированных наностуктурированных поверхностей (МНСП) обусловлен следующими причинами:

• химическим сродством с материалом подожки (полимером);

• малым радиусом иона углерода, соизмеримым с ионным радиусом водорода;

• возможностью углерода формировать поверхностные слои материалов с практически полностью компенсированными валентными связями, способные обеспечить барьерные свойства поверхности [4,5]. Поэтому можно считать, что только углеродные материалы имеют собственную поверхность, у которой избыточная энергия относительно объема может быть минимальной;

• углерод, кроме основных аллотропных модификаций (графита, алмаза, карбина, фуллеренов и т.д.) может существовать также в виде бесконечного ряда гетерофазных систем, свойства которых изменяются в широких пределах.

Целью данной работы является разработка процессов формирования поверхности полимерных материалов путем объединения двух наноматериалов: полимера с наноструктурированной поверхностью и наноразмерной плёнки на основе углерода; исследование их свойств и возможностей применения.

Научная новизна работы состоит в следующем:

1.Ha основе методов ионно-плазменной технологии разработаны новые полимерные наноматериалы путем объединения наноструктурированной поверхности полимера и наноразмерного углеродного покрытия.

2. Комплексно исследованы параметры рельефа и состава поверхности, энергетические и электрофизические характеристики НСП полимеров. Показано, что данные характеристики определяются условиями наноструктурирования и характеристиками полимеров.

3. Комплексно исследованы свойства наноматериалов, сформированных осаждением наноразмерных углеродных пленок на НСП полимеров. Показана возможность формирования поверхностей с заданными свойствами, управляя изменением полной удельной поверхностной энергии as, среднеквадратическим отклонением шероховатости профиля поверхности Rq и зарядом поверхности.

4. Впервые продемонстрирована возможность придания антимикробной активности (АА) поверхности полимеров при наноструктурировании в отношении грамположительных (Staphylococcus aureus), грамотрицательных микроорганизмов (Escherichia coli и Pseudomonas aeruginosa) и патогенных грибов (Candida albicans).

5. Впервые установлена пороговая зависимость АА от условий наноструктурирования поверхности в отношении различных микроорганизмов.

6. Впервые установлена зависимость АА от характеристик поверхности наноструктурированных полимерных материалов: от полной поверхностной энергии cjs и среднеквадратического отклонения шероховатости Rq.

7. Впервые выявлены наноструктурированные материалы, обладающие стойкостью к плесневым грибам, сохраняющие свои антимикробные свойства в экстремальных условиях: температура +29°С, влажность более 90%, ионизирующая радиация - 400 мкЗв/сут, низкочастотное излучение от 0,1 до 300 кГц, высокочастотное излучение - от 0,1 до 100 МГц.

Практическая ценность работы состоит в следующем: 1. Разработана технология наноструктурирования поверхности материала HFS (пленка ПТФЭ, армированная нитями стекловолокна) методами ионно-плазменной технологии, обеспечивающая снижение стоимости гибких печатных плат (ГПП) за счет применения тонких (10 ч- 20 мкм) рулонных полимерных материалов и уменьшения стоимости операции нанесения медной фольги.

2. Разработана технология наноструктурирования поверхности ПТФЭ для использования при герметизации коаксиально-волновых переходов, являющихся важнейшими элементами СВЧ-трактов. Данная технология, внедренная в технологический процесс изготовления малошумящих усилителей С- и X-диапазонов, позволяет значительно увеличить срок эксплуатации приборов.

3. Показана возможность существенного повышения качества клеевого соединения пар склеивания, изготовленных из оксидированного сплава Д-16Т при использовании наноструктурирования поверхности методами ионно-плазменной технологии.

4. Показаны широкие возможности использования полимеров с НСП и МНСП для создания изделий медицинской техники и защиты полимеров и изделий из полимеров от биоповреждений:

• разработаны антимикробные материалы для изготовления на их основе бактерицидных фильтров, упаковочных материалов и контейнеров различного типа;

• выявлены наноматериалы, обладающие выраженной стойкостью к плесневым грибам (Pénicillium expansum, Pénicillium aurantiogriseum, Aspergillus versicolor, Aspergillus sydowii и Cladosporium cladosporioides), сохраняющие данный эффект в условиях высокой влажности, ионизирующей радиации и электромагнитного излучения низкочастотного и высокочастотного диапазонов, и которые могут быть использованы в качестве микробиологической защиты полимеров в отсеках орбитальных космических станций, самолетов и подводных лодок;

• экспериментальные исследования показали, что выбранный ионно-лучевой метод плазменной обработки поверхности полимеров является универсальным для формирования материалов, обладающих как антимикробной активностью, так и в 1,2 4-1,4 раза обеспечивающих увеличение нарастания клеточной популяции фибробластов; применение МНСП на основе ПЭТФ ТМ с диаметром пор 5,0 мкм открывает возможности двухстороннего нарастания клеточной популяции.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Лямин, Андрей Николаевич

5.4. Выводы по главе 5

1. Внедрение разработанной технологии наноструктурирования поверхности материала HFS (пленка ПТФЭ, армированная нитями стекловолокна), используемого в качестве подложки ГПП в СВЧ-технике, в производство гибких печатных плат ГПП обеспечит на 10ч-15% снижение стоимости материала ГПП за счет применения тонких (10 -т- 20 мкм) рулонных полимерных материалов, уменьшения энергозатрат и увеличения количества годных изделий.

2. Установлено, что реальный коэффициент развития поверхности (/) составляет « 180 раз, что хорошо коррелирует с предложенными теоретическими моделями развития микро- и нанорельефа поверхности.

3. Внедрение технологии наноструктурирования поверхности втулок из ПТФЭ, используемых в герметизации коаксиально-волновых переходов СВЧ-трактов, позволило не менее, чем в 2,5 раза увеличить время эксплуатации малошумящих усилителей С- и Х-диапазонов.

4. Разработанная технология наноструктурирования поверхности пар склеивания из оксидированного сплава Д-16Т позволит увеличить усилия сдвига при разрыве (т.е. адгезию клеевой массы к поверхности твердого тела) в 2 раза по сравнению с ненаноструктурированной поверхностью.

5. Апробирована технология наноструктурирования поверхности позволила создать материалы на основе ПЭТФ и полиамида, обладающие выраженной стойкостью к плесневым грибам вида Pénicillium expansum, Pénicillium aurantiogriseum, Aspergillus versicolor, Aspergillus sydowii и Cladosporium cladosporioides. Данные материалы обеспечивают защиту полимеров и полимерных изделий от биоповреждений в экстремальных условиях: температура +29°С, влажность более 90%, ионизирующая радиация - 400 мкЗв/сут, низкочастотное излучение от 0,1 до 300 кГц, высокочастотное излучение - от 0,1 до 100 МГц.

6. Интенсивность увеличения популяции клеток фибробластов на НСП полистирола превосходит интенсивность роста на немодифицированном полистироле до 1,4 раза. Формирование МНСП в 1,3 раза увеличивает нарастание клеточной популяции при времени культивирования от 10 дней и более. Применение же МНСП ПЭТФ ТМ с диаметром пор > 5,0 мкм открывает возможности двухстороннего нарастания клеточной популяции.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проделанной работы можно сделать следующие выводы:

1. На основе методов ионно-плазменной технологии разработаны новые полимерные наноматериалы путем объединения наноструктурированной поверхности полимера и наноразмерного углеродного покрытия.

2. Разработана модель оценки величины адгезии поверхности полимерного материала при его наноструктурировании, учитывающая изменение как микро-, так и нанорельефа.

3. Комплексно исследованы параметры рельефа и состава поверхности, энергетические и электрофизические характеристики данных полимерных наноматериалов. Выявлены основные закономерности процессов наноструктурирования поверхности модельных полимеров. Показана возможность формирования поверхностей с заданными свойствами управлением полной удельной поверхностной энергией as, среднеквадратическим отклонением шероховатости профиля поверхности Rq и зарядом поверхности.

4. Впервые продемонстрирована возможность придания антимикробной активности (АА) в отношении грамположительных (Staphylococcus aureus), грамотрицательных микроорганизмов (Escherichia coli и Pseudomonas aeruginosa) и патогенных грибов (Candida albicans) поверхности полимеров при наноструктурировании.

5. Впервые установлена пороговая зависимость АА в отношении различных микроорганизмов от условий наноструктурирования поверхности.

6. Впервые установлена зависимость АА от характеристик поверхности наноструктурированных полимерных материалов: от полной поверхностной энергии cts и среднеквадратического отклонения шероховатости Rq.

7. Впервые выявлены наноматериалы, полученные ионно-плазменными методами, обладающие стойкостью к плесневым грибам и обеспечивающие защиту полимеров и полимерных изделий от биоповреждений в экстремальных условиях.

8. Разработана технология наноструктурирования поверхности материала HFS (пленка ПТФЭ, армированная нитями стекловолокна) методами ионно-плазменной технологии, обеспечивающей снижение стоимости гибких печатных плат (Г1111). Настоящая технология внедрена в производство Г1111 на фирме

9. Разработана технология наноструктурирования поверхности ПТФЭ для использования при герметизации коаксиально-волновых переходов СВЧ-трактов, необходимую для увеличения надежности и времени эксплуатации малошумящих усилителей С- и Х-диапазонов, изготовленных с их использованием.

10. Разработана технология обработки поверхности для повышения качества склеивания изделий из оксидированного сплава Д-16Т.

11. Разработана технология, позволяющая увеличить скорость пролиферации клеток на поверхности наноструктурированных полимерных материалов ПЭТФ и ПЭТФ ТМ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Лямин, Андрей Николаевич, 2011 год

1. Б.Н. Авдонин, В.В. Мартынов. Электроника. Вчера. Сегодня. Завтра? // Москва, «СП Мысль», 2010, 650 с.

2. М.В. Гликшнерн // «Полимерные материалы», №7(50), 2003 г.

3. Стандарт IPC-2223A. Разработка гибких печатных плат // www.pcbtech.ru.

4. И.П. Суздалев. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов // М.: КомКнига, 2006, 592 с.

5. Sol Aisenberg. The role of ion-assisted deposition in the formation of diamondlike carbon films // J. Vac. Sci. Technol., 1990, A8 (3)Б 2150-2154.

6. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов // М.: Радио и связь, 1986. 232 с.

7. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводные тома т. 1-4 // Под ред. Фортова В.Е., М.: Наука, 2000.

8. Jacob W., Reinke P. and Muller W. Ion energy distributions from electron cyclotron resonance methane plasmas // Proc. of 3-rd Europ. Conf. on Diamond, Diamond-like and Related Materials, Heidelberg, Germany, 1992, 378-383.

9. Stiegler J., Roth S., Hammer K. Plasma assisted CVD of diamond films by hollow cathode arc discharge. // Proc. of 3-rd Europ. Conf. on Diamond, Diamond-like and Rel. Mat. Heidelberg, Germany, 1992, 413-416.

10. Технология СБИС, т. 1 2 // Под. ред. Зи С., М.: Мир, 1986.

11. Финкельнбург В., Меккер Г. Электрические дуги и термическая плазма // М.: «ИЛ», 1961.

12. Асиновский Э.И., Кирилин А.В., Низовский B.JI. Стабилизированные электрические дуги и их применение в теплофизическом эксперименте // М.: «Наука», 1992.

13. Сейдман JI.A. Очистка полимерных подложек плазмой // Труды постоянно действующего научно-технического семинара «Электровакуумная техника и технология» (за 1999-2002 гг.) Под ред. А.В. Горина М., 2003.С. 53-57.

14. Т. Hirotsu, S. Ohnishi // Journal of Adhesion. 1980, v.ll. P.57.

15. Методические разработки к практикуму по коллоидной химии // Под ред. д.х.н. А.В.Перцова, Изд. 6-ое, МГУ, Москва, 1999 г.

16. Гильман А.Б. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов. // Материалы конференции «Школа молодых специалистов по плазмохимии». Иваново, 1999.

17. Драчев А.И., Гильман А.Б., Пак В.М., Кузнецов A.A. Воздействие низкочастотного тлеющего разряда на аморфные пленки ПЭТФ // Химия высоких энергий, 2006, т.40, № 6, с. 466-469.

18. Ясуда X. Полимеризация в плазме // М.: Мир, 1988.

19. Bruce L. Geh man (SEMI). In the age of 300 mm silicon, tech standards are even more crucial // J. Solid State Tech., August, 2001, pp. 127-128.

20. К. Новоселов, А. Гайм. Изобретен чип будущего? // J. Science, ВВС. 14.04.2008. '

21. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками // Под ред. Дж.М. Поута и др.; Под ред. A.A. Углова. М.: Машиностроение, 1987. 424 с.

22. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии: Учеб. пособие для спец. электронной техники вузов // М.: Высш. шк., 1984. 320 с.

23. Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Оптимизация состава смеси для травления Si в CF4/02. // Proceedings of International Conference RDAMM-2001, 2001, Vol. 6, Pt. 2, Special Issue, p. 217-224.

24. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. // М.: Энергоатомиздат, 1987. 264 с.

25. Inagaki N., Tasaka S., Kowai H. Improved adhesion of polytetrafluorethylene by NH3 plasma treatment. // J. Adhesion Sei. Technol, 1989, v. 3, № 8, p. 637 649.

26. Garbassi F., Morra M., Occhiello E. Polymer surfaces. // John Willey and sons,1997.

27. Вакуумное модульное оборудование для экологически чистых и ресурсосберегающих технологий: Анализ проблем. Пути решения: Монография // Н.В. Василенко, E.H. Ивашов и др. Красноярск: НИИ СУВПТ; М.: Московский полиграфический дом, 1999. - 96 с.

28. Диссертационная работа Трофименко К.А. «Разработка технологии и оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок для производства гибких печатных плат // Москва, 2005 год.

29. В.А. Пронин, В.Н. Горнов, A.B. Липин, П.А. Лобода, А.Н.Нечаев,

30. Б.В. Мчедлишвили, A.B. Сергеев. Ионно-лучевой метод модификации поверхности трековых мембран // Журнал технической физики, 2001 г, том 71, вып.11 , стр. 96.

31. В.А. Пронин, В.Н. Горнов, A.B. Липин, П.А. Лобода,

32. Б.В. Мчедлишвили, А.Н. Нечаев, A.B. Сергеев. Использование метода ионного осаждения для модификации поверхности трековых мембран // Журнал технической физики, 2002г, том 28, вып.1

33. Панчук ДА., Садакбаева Ж.К., Пуклина Е.А., Большакова A.B. и др. О структуре межфазного слоя на границе металлическое покрытие полимерная подложка // «Российские нанотехнологии», № 4 (2009), 5-6 (июнь), стр. 80-84

34. P. Gouton, A. Toureille, J.P. Reboul and G. Terzulli. Improvement of dielectric properties of polymers by carbon coatings // Diamond and Related Materials, Volume 1, Issue 7, 1992, p. 801-804.

35. Кондратов Г.Е., Мироненко Т.С., Слепцов В.В. Исследование защитных свойств тонкопленочных углеродных покрытий // Материалы и приборы электронной техники, М.:МИЭТ. 1988, с. 2-6.

36. Слепцов В.В., Елинсон В.М., Герасимович С.С., Вологиров А.Г. Влияние исходного соединения на процесс формирования пленок а-СН из направленных ионно-плазменных потоков // Электронная техника. Сер.7, 1990. вып. 2, с. 30-34.

37. Elinson V.M., Slepzov W.W., Polyakov V.V., Perov P.I. Heterostructures single-crystal semiconductor-diamond like film. Diamond and diamond like carbon coating // 1st. Europeon conf. Abstacts Crans-Montana Switrerland, 1991. p.7.8.

38. Oppedisano C, Tagliaferro A. Relationship between sp2 carbon content and E04 optical gap in amorphous carbon-based materials // Applied Physics Letters, 1999, v.75, p. 3650-3652.

39. Елинсон В.M. Создание искусственного потенциального рельефа и формирование многослойных квантоворазмерных структур на основе сверхтонких слоев а-С:Н // Материалы симпозиума «Алмазные пленки и пленки родственных материалов» Харьков, 2001, с.125-128

40. Луцев JI.B., Яковлев C.B., Сиклицкий В.И. Электронный транспорт в наноразмерной кластерной структуре углерод-медь // Физика твердого тела, 2000, т.42, вып.6, с. 1105-1112.

41. Иванов-Омский В.И., Звонарева Т.К., Фролова Г.Ф. Аномальное двухфотонное поглощение в нанокристаллах алмаза в среде аморфного углерода // Физика твердого тела, 1999, т. 41, вып. 2, с. 319-324.

42. Lacerda R.G., Marques F.C. Hard hydrogenated carbon films with low stress // Applied Physics Letters, 1998, v.73, p.617-619.

43. Галецкий Ф.П. Назначение, свойства и характеристики гибких и гибко-жестких печатных плат. // Журнал депонированных рукописей, №1 январь, 2002. '

44. Manfred Hummel. Einführung in die Leiterplattentechnologie. Eine Beschreibung der wichtigsten Herstellverfahren // Leuze Verlag, D-7968 Saulgau/Wurtt, Germany, 1991.

45. Драчев А.И., Пак B.M., Гильман А.Б., Кузнецов A.A. К вопросу об увеличении длительной электрической прочности композиционного электроизоляционного материала с полиэтилентерефталатной пленкой ПЭТ-Э // Электротехника, № 4, 2003, стр. 35 39.

46. Энциклопедия полимеров // М.: «Советская энциклопедия», 1977.

47. Галецкий Ф.П. Назначение, свойства и характеристики гибких и гибко-жестких печатных плат. // Журнал депонированных рукописей, №1 январь, 2002.

48. Слепцов В.В. и др. Наноструктура новое качество // Наука в России, №2, 2005, стр. 55-59.

49. Трофименко К.А., Кучеева Е.А. Плазмохимическая модификация поверхности тефлона. // «XXX Гагаринские чтения». Материалы междунар. молодежной научной конф. Т.6. М.: Изд-во «ЛАТМЭС», 2004. С. 23-24.

50. Брок Т. Мембранная фильтрация. Пер. с англ. // М.: Мир, 1987. 462 с.

51. Price Р.В., Walker R.M. Molecular sieves and method for producing same // Pat. USA №3303085, 1962.

52. Price P.B., Walker R.M. Chemical etching of charged particle tracks // Journal Appl. Phys. 1962, v. 33, p. 3407-3412.

53. Елинсон B.M., Слепцов B.B., Дмитриев C.H. Ионно-плазменная модификация поверхности полимерных материалов для медицины и экологии -одно из важнейших направлений поверхностной инженерии // Технологическое оборудование и материалы, 1998, т. 2, с. 42-43.

54. Мчедлишвили Б.В., Бреслер С.Е., Коликов В.М., Молодкин В.Н. и др. Изучение процессов фильтрации коллоидальных и биологических суспензий через ядерные фильтры // Коллоидный журнал. 1978. т. 40, с. 59- 63.

55. A.A. Углов, JI.M. Анищенко, С.Е. Кузнецов. Адгезионная способность пленок// М.: Радио и связь, 1987. 104 с.

56. Антропов Л.И. Теоретическая электрохимия // М.: Высшая школа, 1975. с. 252-262.

57. Адамсон А. Физическая химия поверхностей // М.: Мир, 1979. 568с.

58. J. Vojtechovska, L. Kvitek, Acta Univ. Palacki // Olomuc., 2005, Chemica 44,

59. Богданова Ю.Г., Должнкова В.Д. Метод смачивания в физико-химических исследованиях поверхностных свойств твердых тел // В сб. статей XV всероссийской конференции "Структура и динамика молекулярных систем", 2008 т.1, с.7-16.

60. Kaelble D.H. // Journal Adhesion. 1970. V.2. Р.66.

61. Ruckenstein E., Gourisankar S.V. // Biomaterials. 1986, 7, 403 p

62. Wagner C.D., Naumkin A.V., Kraut-Vass A. et al. // NIST X-ray Photoelectron Spectroscopy Database. NIST Standard Reference Database 20, Version 3.4 (Web Version) (2004).

63. Band I.M., Kharitonov Yu.I., Trzhaskovskaya M.B. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1979. V. 23. P. 443

64. В.М. Сорокин, Т.В. Новикова. Влияние микрорельефа поверхности деталей на прочность сцепления гальванических покрытий // Поверхность: технологические аспекты прочности деталей. Уфа, 1996. с. 96-103.

65. Де Жен П.Ж. Смачивание: статика и динамика. // Усп. физ. наук. 1987. т.151.4, с. 619-681

66. Л.Б. Бойнович, A.M. Емельяненко. Гидрофобные материалы и покрытия: принципы создания, свойства и применение // Успехи химии, 2008. т.77, №7, с. 619-638.

67. Бедный Б.И. Электронные ловушки на поверхности полупроводников // Статьи Соросовского Образовательного журнала, Физика, 1998 г, http://www.pereplet.ni/obrazovanie/stsoros/598.html

68. Богданова Ю.Г., Должикова В.Д. Физико-химические аспекты кровесовместимости полимерных материалов // Сборник статей XVI всероссийской конференции «Струкутура и динамика молекулярных систем», 2009. Часть 3. с.4-14.

69. Ионно-плазменные методы конструирования поверхности на основе пленок углерода // В.М. Елинсон. Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук, 2002.

70. Закревский В.А., Сударь Н.Т. Влияние объемного заряда на закономерности электрического разрушения полимеров // Журнал технической физики, 1996, т. 66, №4, с. 105-113.

71. Закревский В.А., Сударь Н.Т. Влияние объемного заряда на напряженность электрического поля в полимерных диэлектриках // Журнал технической физики, 1990, т. 60, № 2, с. 66-71.

72. Драчев А.И., Пак В.М., Гильман А.Б., Кузнецов A.A. Поляризация пленок полиэтилентерефталата в электрическом поле // Электротехника, 2003, №4, с. 3941.

73. Global Flexible PCB market to exceed $16 billion by 2015 // Отчёт компании Global Industry Analysts, 10.02.2010 года, http://www.evertiq.com/news/16171.

74. IPC-2223A. Sectional Design Standard for Flexible Printed Boards // www.ipc.org.

75. Was ist Ionenspurtechnologie? // Официальный сайт компании 1ST -GmbH, http://www.istechnologie.de/Deutsch/Seite2d.html

76. HFS-Folien // Официальный сайт компании 1ST GmbH, http://www.istechnologie.de/Deutsch/Seite2d.html

77. Защита от коррозии, старения и биоповреждений машин, оборудования, сооружений / под ред. А.А. Герасименко // Справочник, том 1 и 2, Москва, Машиностроение, 1987.

78. М. Побединская. Микробиологический аспект безопасности космических полетов //«Новости космонавтики», 2002 г.

79. В.И. Севастьянов. Биосовместимость // М., 1999, 367 с.

80. Ровенский Ю.А., Ашкинази JI.A. Ползком по поверхности // Химия и жизнь, 1994, №5, с.50-65.

81. Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз и направление исследований. / Под ред. М.К. Роко, Р.С. Уильямса и П. Аливисатоса. Пер с англ. // Москва, «Мир», 2002.

82. W.L.Grayson, Teng Ma, B.Bunnel Human mesenchymal stem cells tissue development in 3D PET matrices // Biotechnol. Progr., 2004, 20, 905-912.