Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Белаш, Александр Олегович

• Белаш, Александр Олегович
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Белаш, Александр Олегович

Содержание

Введение

1. Краткий обзор оптических схем статических фурье-спектрометров и особенностей работы многоэлементных фотоприемных устройств, при регистрации пространственной интерферограммы

1.1. Статический фурье-спектрометр на основе интерферометра Саньяка

1.2. Статический фурье-спектрометр на основе поляризационного и топографического интерферометров

1.3. Статический фурье-спектрометр на основе интерферометра Майкельсона

1.4. Определение тактико-технических характеристик перспективного статического фурье-спектрометра. Выбор базовой оптической схемы интерференционного узла

1.5. Особенности работы многоэлементных фотоприемных устройств при регистрации интерферограммы

2. Обработка интерференционной картины, получаемой с помощью статического фурье-спектрометра

2.1. Теоретические основы фурье-спектроскопии

2.2. Особенности преобразования Фурье при ограниченном наборе точек дискретизации

2.3. Процесс дополнения нулями

2.4. Пример преобразования в спектр на основе интерферограммы от монохроматического источника излучения

2.5. Пример преобразования на основе интерферограммы от полихроматического некогерентного источника

2.6. Влияние функции апподизации на конечный вид спектра

2.7. Основные методы «восстановления» интерферограммы

2.7.1. Подавление белого шума

2.7.2. Выравнивание контраста изображения

2.7.3. Подавление высокочастотного аддитивного шума

2.7.4. Устранение разворота интерференционной картины относительно матрицы

2.8. Определение параметра сигнал-шум по интерферограмме. Увеличение количества точек интерферограммы и исключение среднего уровня

3. Вариант статического фурье-спектрометра для спектрального диапазона 0,7 1.1 мкм

3.1. Оценочные расчеты статического фурье-спектрометра на основе интерферометра Саньяка

3.2. Оценочные расчеты варианта статического фурье-

спектрометра на основе интерферометра Майкельсона (интерферометр Тваймана-Грина)

3.2.1. Интерферометр с одним линзовым объективом

3.2.2. Интерферометр с двумя линзовым объективом

3.2.3. Коррекция аберрационных явлений при построении 20 интерференционной картины

3.3. Расчет оптической схемы на основе интерференционного узла Майкельсона и зеркально-линзовой светосильной фокусирующей системы

3.4. Принцип работы СФС на основе предложенной оптической схемы

3.5. Экспериментальные результаты для СФС БИК области спектра

3.6. «Ноу-хау» окончательного варианта СФС

4. Вариант статического фурье-спектрометра для

спектрального диапазона 1.2 ^ 20 мкм

4.1. Теоретические аспекты взаимодействия оптического излучения с полупроводниковыми материалами

4.1.1. Оптические свойства полупроводников

4.1.2. Механизмы поглощения

4.1.3. Поглощение свободными носителями

4.1.4. Решеточное поглощение

4.2. Методы определения коэффициента поглощения

4.3. Определение ширины запрещенной зоны полупроводниковых материалов оптическими методами измерений

4.4. Расчетная схема статического фурье-спектрометра для инфракрасного спектрального диапазона 1.2-^-20 мкм

4.5. Практическая реализация

4.6. Экспериментальные результаты

5. Рамановский спектрометр на основе разработанного

СФС для спектрального диапазона 0.7 ^ 1.1 мкм

5.1. Основы рамановской спектроскопии (или спектроскопии комбинационного рассеяния)

5.2. Обоснованность использования метода рамановской спектроскопии для исследования наноматералов и наноструктур

5.2.1. Исследование наноструктур на примере нанотрубок

методом КРС

5.2.2. Использование рамановской спектроскопии применительно

к наноматериалам на основе полупроводников

5.3. Рамановский спектрометр на основе СФС

5.3.1. Схема и особенности конструкции рамановского статического фурье-спектрометра для инфракрасного диапазона

0.7 н-1.1 мкм

5.3.2. Методика измерений

5.3.3. Экспериментальные результаты

6. Основные технологические аспекты производства

интерференционного узла статического фурье-спектрометра

6.1. Требования к помещению для производства оптических

узлов СФС

6.1.1. Нормативные документы, определяющие класс чистых

139

помещении

6.1.2. Требования к помещению

6.1.3. Требования к мебели

6.1.4. Требования к персоналу и инструментам

6.1.5. Уборка помещения

6.2. Требования к клеевым соединениям

6.2.1. Общие требования к оптическим узлам и устройствам

6.2.2. Конструкции узлов крепления круглых оптических деталей

и линзовых систем. Крепление приклеиванием

6.2.3. Клеевые компаунды для интерференционного блока СФС

Заключение

Список литературы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии»

Введение

Еще со времен Ньютона оптическая спектроскопия всегда была одним из самых информативных методов исследования вещества. За прошедшее время были существенно модернизированы способы регистрации излучения. Однако принципы построения спектральных приборов вплоть до середины XX века практически не менялись. Большинство приборов традиционно строили по одной и той же схеме: излучение фокусируется на входную щель прибора, прошедшее излучение параллельным пучком направляется на диспергирующий элемент (долгое время это была призма, в XX веке она стала заменяться на дифракционную решетку) и после фокусировки на выходной щели излучение регистрируется каким-либо приемником излучения. Одновременно с этим развивались интерференционные методы исследования — они обеспечивали более высокое спектральное разрешение, но, как правило, могли быть использованы только для узкого круга специальных задач.

Однако во второй половине XX века началось бурное развитие интерференционной спектроскопии связанное с преобразованием Фурье. Широкое распространение этого метода определилось развитием вычислительной техники, поскольку, вычислительная машина является необходимым элементом современного фурье-спектрометра. Такие спектрометры обеспечили резкое повышение спектрального разрешения, информативности и скорости получения информации по сравнению с другими оптическими спектрометрами, за исключением, быть может, лазерных [1]. Забегая вперед, следует отметить, что в одной из глав данной работы будет рассмотрен вариант рамановского спектрометра на основе разрабатываемого фурье-спектрометра.

В настоящее время фурье-спектрометры широко применяются в спектральных исследованиях, благодаря высокой светосиле (выигрыш Жакино), быстродействию и возможности одновременной регистрации всего спектра

излучения исследуемого диапазона (выигрыш Фелжета). Фурье-спектрометры состоят из следующих основных функциональных блоков: системы формирования входного пучка света (далее - входного коллиматора), интер-ферометрического узла, проективной системы, устройства регистрации.

В динамических Фурье-спектрометрах в качестве интерферометри-ческого узла чаще всего используют различные модификации классического интерферометра Майкельсона, состоящего из полупрозрачного зеркала (светоделителя) и двух зеркал, одно из которых подвижное и обеспечивает переменную оптическую разность хода. При перемещении подвижного зеркала происходит периодическое изменение освещенности в плоскости регистрации, таким образом, происходит модуляция каждой длины волны спектра входящего излучения, причем частота модуляции обратно пропорциональна длине волны. Метрологические параметры динамического фурье-спектрометра (например, отношение сигнал-шум) зависят не только от глубины модуляции, которая, в свою очередь, зависит качества оптических элементов системы и быстродействия регистрирующей системы, но и от равномерности движения и параллельности перемещения зеркал интерфе-рометрического узла. Внешние вибрации при эксплуатации фурье-спектрометров влияют на равномерность движения зеркал, что ограничивает возможность использования динамических фурье-спектрометров на промышленных объектах.

Особенностью статических фурье-спектрометров является реализация пространственного разложения интерференционной картины в плоскости устройства регистрации вдоль одной из координат. Преимущества статических фурье-спектрометров перед динамическими состоят в отсутствии подвижных конструкций, линейных двигателей и сравнительно сложных систем управления, что дает возможности по созданию компактного виброустойчивого спектрометра и снижению затрат при его производстве. Глубина модуляции в статических фурье-спектрометрах зависит от качества переноса

изображения, которое определяется частотно-контрастными характеристи-

7

ками проективной системы, и уменьшается с увеличением аберрационных явлений. Уменьшение глубины модуляции ухудшает метрологические параметры статического фурье-спектрометра (отношение сигнал-шум). Следовательно, для статических фурье-спектрометров улучшение метрологических параметров связано, в первую очередь, с минимизацией потерь проективной системы [2].

Повышение разрешающей способности аналитических приборов и технологических средств измерения для экспресс-анализа в связи с развитием современной микро- и наноэлектроники и стремлением достичь большей миниатюризации элементной базы, делает необходимым дальнейшее уменьшение элементов фотоники и элементов конструкции. Основные требования, предъявляемые к системам - уменьшение габаритов, увеличение быстродействия (время проведения измерений не более 15 секунд), увеличение разрешения (8, 16 и 32 см"1 в зависимости от решаемых задач) и увеличение чувствительности, что позволяет проводить измерения объектов с оптической плотностью более трех (Б > 3). В то же время прибор должен отличаться простотой в управлении и низкой стоимостью.

С развитием многоэлементных систем регистрации изображения (ПЗС матрицы и диодные линейки) достаточно высокого разрешения появилась возможность реализовать малогабаритный и быстродействующий статический фурье-спектрометр в котором за короткий промежуток времени регистрируется сразу ряд интерферограмм, что сокращает общее время измерения. Кроме того, применяя различные режимы работы ПЗС матрицы, значительно расширяется динамический диапазон (появляется дополнительная возможность работы с образцами различной оптической плотностью без применения эталона).

Основным ограничением создания промышленного образца на основе статического фурье-спектрометра является необходимость работы либо с точечными источниками излучения (что уменьшает светосилу прибора), либо

только с протяженными. Однако реальные источники излучения и объекты

8

измерения в большинстве случаев являются протяженными и работа с ними довольно затруднительна. Применение подобных спектрометров ограничивается работой с оптоволоконными системами и получением спектральной информации от прозрачных объектов.

Совмещая разработку оптической схемы статического фурье-спектрометра, развитие новых методов обработки интерферограмм и оптимизацию программного обеспечения, можно устранить как ограничения при работе с разнообразными источниками, так и решить проблему виброзащищенности. Все вышеуказанное свидетельствует о том, что тема работы является актуальной.

Целью данной работы является разработка нового аппаратно-программного комплекса и методики, позволяющих реализовать возможности фурье-спектроскопии в инфракрасной области (ближнего и среднего диапазонов).

Для выполнения поставленной цели предполагается решить следующие задачи:

1) Рассчитать оптическую схему статического фурье-спектрометра, позволяющую работать с протяженными диффузно-рассеивающими объектами в двух спектральных диапазонах: 1.2 + 20 мкм и 0.7 1.1 мкм.

2) Разработать оптико-механическую конструкцию статического фурье-спектрометра.

3) Разработать методы и алгоритмы предварительной обработки интерферо-грамми и их преобразование в спектр.

4) На основе полученных результатов реализовать в едином схемном решении рамановский фурье-спектрометр для спектрального диапазона 0.7+4.1 мкм и разрешением не хуже 8 см"1.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1) Предложена оригинальная светосильная оптическая схема статического фурье-спектрометра, позволяющая работать не только с точечными источниками, но и с протяженными диффузно-рассеивающими объектами.

2) Рассчитана оптическая схема статического фурье-спектрометра для двух возможных вариантов работы: в ближней (0.7 1.1мкм) и средней (1.2 20 мкм) инфракрасной областях.

3) На основании расчетных и экспериментальных данных показана возможность создания статического фурье-спектрометра с разрешением 6 см"1 по сравнению с разрешением подобных приборов других производителей (например, компания «Агсорйс» представляет неразъюстируемые стати-ческиефурье-спектрометры с разрешением лучше 10 см"1).

4) Статический фурье-спектрометр позволяет измерять объекты на пропускание с оптической плотностью Б= 4 ^ 5, в то время как у других эта величина ограничена значением О = 3. Это указывает на высокую чувствительность разработанного прибора.

5) На основе разработанной оптической схемы создан рамановский фурье-спектрометр с разрешением 8 см"1. Необходимо отметить, что большинство малогабаритных рамановских спектрометров промышленного образца относятся к приборам дифракционного типа, а значит, обладают гораздо меньшей светосилой. Предлагаемый вариант рамановского спектрометра обладает в 5 раз большей светосилой, чем его ближайшие аналоги, следовательно, такой спектрометр обладает большей чувствительностью.

6) Полученное значение сигнал-шум в ближней инфракрасной области составляет 15000:1, при этом время регистрации оставляет 10 с. У других приборов подобного класса параметр сигнал-шум находится в пределах от 20000:1 до 80000:1, однако эти значения получены при регистрации спектров за время более 2 мин.

Все вышеизложенное позволяет разработанному программно-аппаратному комплексу на основе статического интерференционного узла иметь такие же параметры, как и фурье-спектрометры динамического типа, что позволяет им быть конкурентоспособными на рынке аналитических приборов.

Положения, выносимые на защиту

1) Расчетно-теоретические модели, описывающие принцип работы статического фурье-спектрометра, обосновывают его использования в инфракрасной области (среднего и ближнего диапазонов).

2) Разработанная оптическая схема позволяет работать не только с точечными источниками излучения, но и с протяженными диффузно-рассеи-вающими объектами.

3) Методика и оптическая схема статического фурье-спектрометра позволяет осуществлять измерение параметров полупроводниковых материалов.

4) Разработанный прибор на основе статического фурье-спектрометра обладает высокой скоростью измерения - время регистрации не более 10 с, высокой чувствительностью ~ 10 мкВт, и максимальным разрешением ~ 6 см"1.

5) На основе предложенной оптической схеме разработан рамановский фурье-спектрометр с разрешением не хуже 8 см"1.

С практической точки зрения основные результаты работы способствуют развитию отечественного приборостроения, соответствующего современным тенденциям мирового стандарта. В рамках данной работы были получены основные результаты:

1. Решена проблема влияния геометрических размеров и однородности (диффузно-рассеивающих) полихроматических источников излучения на характеристики интерференционной картины (контраст, спектральное разрешение, параметр сигнал-шум и др.).

2. Предложена оптическая схема статического фурье-спектрометра с максимальным разрешением 6 см"1 и возможностью работы с протяженными диффузно-рассеивающими источниками.

3. Результаты работы позволяют создавать малогабаритные, виброза-щищенные аналитические приборы для экологического контроля окружающей среды, химической, сельскохозяйственной продукции и измерения концентраций примесей в полупроводниковых материалах. Подобные приборы легко встраиваются в системы контроля реального времени на промышленных предприятиях.

4. На основе разработанной оптической схемы, создан и опробован рамановский фурье-спектрометр для инфракрасной области спектра 0.7 1.1мкм. Данный вид прибора необходим для проведения научных исследований и получения данных при исследовании наноразмерных структур.

5. Разработанные в диссертации инженерно-технические решения, алгоритмы и методы эксперимента использованы при внедрении в серийное производство прибора для рутинного анализа веществ в инфракрасной области спектра (0.7 1.1мкм). Данный прибор разработан в ходе опытно-конструкторской разработки в фирме аналитического приборостроения ООО «Люмэкс» (Россия).

6. По результатам работы был получен патент на изобретение статического фурье-спектрометра.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Белаш, Александр Олегович

Заключение

По результатам, полученными в данной работе можно сделать следующие выводы:

1) Созданы расчетно-теоретические модели, описывающие принцип работы статического фурье-спектрометра, позволяющего обосновать возможность его использования в инфракрасной области спектра (среднего и ближнего диапазона).

Согласно расчетам интерференционная картина локализована на отражающих поверхностях куба, которые оптически, выходным объективом сопряжены с ПЗС матрицей. Основным компонентом, обеспечивающим необходимую светосилу, является сферическое зеркало. Интерференционная картина расположена вблизи центра кривизны сферического зеркала, за счет этого обеспечивается минимальная величина сферической аберрации, комы, дисторсии и хроматических аберраций.

2) Разработанная оптическая схема на основе интерференционного куба и зеркально-линзовой согласующей оптики делает возможным работать не только с точечными источниками излучения, но и с протяженными диф-фузно-рассеивающими объектами. Для решения большинства задач БИК анализа достаточно разрешения 16 см"1, что соответствует 260 полосам в плоскости ПЗС матрицы (рассчитано для к = 1 мкм). Для качественной обработки 2-х мерного изображения интерференционной картины необходима ПЗС матрица размером 2048 х 256 пикселей, т.е. 8 пикселей на интерференционную полосу. Это накладывает требования в зеркально-линзовой системе фокусировки - 30 линий/мм (при длине матрицы 25 мм).

3) Экспериментально отработаны методы преобразования ин-терферограммы в спектр. На основании данных методов было создано программное обеспечение для промышленного образца статического фурьеспектрометра ближнего инфракрасного спектрально диапазона. Реализованы различные режимы работы матрицы: line - binning (аппаратное суммирование строк) и scan area (передача двухмерного изображения интерференционной картины). Для обеспечения максимального быстродействия (время регистрации одной интерферограммы в режиме line-binning не более 2 с) для работы выбраны ПЗС матрицы без затвора (электронного или механического) производства Hamamatsu (Япония). Это позволяет использовать разработанный статический фурье-спектрометр для контроля технологических процессов в режиме реального времени.

4) На основании полученных методов обработки результатов и разработанной оптической схемы получен опытный образец статического фурье-спектрометра для спектрального диапазона 1.2 н- 20 мкм, который позволяет осуществлять измерение параметров полупроводниковых материалов.

5) Проведенные расчетно-теоретические исследования показали, что на основании предложенной оптической схемы можно создать раманов-ский фурье-спектрометр ближнего инфракрасного диапазона, с возбуждающей частотой излучений 785 нм и разрешением не хуже 8 см"1. Для увеличения уровня полезного сигнала ПЗС матрицы, реализован режим управления длительность импульсов задержки на ПЗС матрице (без затвора). Вместе с режимом line-binning такой подход позволяет дополнительно увеличить чувствительность прибора в 10 раз. Экспериментальные результаты подтверждают правильность расчетов и реализацию режимов работы ПЗС матрицы: разрешение такого прибора не менее 8 см"1.

6) Полученные результаты работы использованы компанией ООО «Люмэкс» для создания промышленного образца статического фурье-спектрометра ближнего инфракрасного диапазона, с разрешением 16 см 1 для работы с диффузно-рассеивающими объектами, в качестве которых выступают различного рода порошки.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Белаш, Александр Олегович, 2012 год

Список литературы

1. Тонков М.В. Фурье-спектроскопия - максимум информации за минимум времени // Соросовский образовательный журнал. 2001. Т.7. № 1. С. 8387.

2. Морозов А.Н., Светличный С.И. Основы фурье-спектрорадиометрии.

М.: Наука, 2006. 276 с.

3. Патент SU №1494693. Статический фурье-спектрометр для видимой области спектра. Заявл. 04.05.1987. Опубл. 27.01.1995.

4. Гиль С.В., Егорова JI.B., Лещева И.Е., Строганова А.Ю. Исследование интерференционного поля статического фурье-спектрометра // ОМП, 1988. № 1. С. 10-14.

5. Егорова Л.В., Лещева И.Е., Попов Б.Н., Строганова А.Ю. Статический быстродействующий фурье-спектрометр с линейным ПЗС-формирова-телем изображения. // ОМП, 1989. № 4.. 27-28.

6. Патент RU 2313070. Интерференционный спектрометр. Заявл.

05.12.2006. Опубл. 20.12.2007.

7. Патент RU № 70575. Статический мульплексный дисперсионный спектрометр. Заявл. 16.07.2006. Опубл. 27.01.2008.

8. Смит А. Прикладная ИК-спектроскопия. М.: Мир, 1982. - 328 с.

9. Herrmann К. Wissensspreichen Infrarottechnik // Fachbuchverlag Leipzig. 1990. P. 436.

10. Егорова Л.В., Ермаков Д.С., Кувалкич Д.Г. Малогабаритный статический фурье-спектрометр видимого и ближнего инфракрасного диапазонов спектра // ПТЭ, 1992. № 6. С. 208-209.

11. Ciurczak Е.W. Molecularspectroscopy Workbench Revisiting the Polarization interferogramm // Spectroscopy, 2005. V. 20. № 2. P. 64-68.

155

12. Hatae Т., Howard J., Hirano Y., Naito O., Nakatsuka H., Yoshida H. Development of Polarization Interferometr Based on Fourier Transform Spectroscopy for Thomson Scattering Diagnostics. // Plasma and Fusion Research: Regular Articles. 2007. V. 2. P. 10-26.

13. Калашников E.B., Рачкулин C.H. Поляризационный интерферометр. М.: Наука, С. 368-372.

14. Patent № US 6,222,627 В1 // Wollaston Prizm use of it in a fourier-transform spectrometer. 24.04.2001.

15. Patent № US 7,092,101 B1 // Methods and systems static multimode multiplex spectroscopy. 15.08.2006.

16. Patent № US 2004/0114148 QA1 // Miniaturized Holographic Fourier Transform spectrometer with Digital aberration correction. 17.06.2004.

17. Patent № US 6,930/781, B2 // Miniaturized Holographic Fourier Transform spectrometer with Digital aberration correction. 16.08.2005.

18. Бабенко B.A., Гуревич С.Б., Константинов В.Б., Левушкин В.М., Малой А.Р. Голографический интерферометр-коллерятор, работающий в реальном режиме времени // Письма в ЖТФ, 2003. Т. 29, № 12. С. 83-88.

19. Burmasov V.S., Doroshkin А.А., Knyazev В.A., Matveenko A.N., Fedotov M.G. Spatially-encoded Fourier spectrometer: prospects for plasma studies // Plasma Devices and Operations, 1999. Vol. 7. P. 181-193.

20. Глаголев K.B., Голяк И.С., Голяк И.С., Есаков А.А., Корниенко В.Н., Ко-чиков И.В., Морозов А.Н., Светличный С.И., Табалин С.Е. Методика получения и обработки спектральной информации с помощью статического фурье-спектрометра // Оптика и спектроскопия. 2011, Т. 110. №3. С. 486-492.

21. Князев Б.А., Бурмасов B.C., Любас Г.А. Статический фурье-спектрометр (лабораторный практикум) // Новосибирск: НГУ, 1994. 24 с.

22. Brachet F. Static Fourier transform spectroscopy breadboards for atmospheric chemistry and climate // URL:

http://smsc.cnes.fr/SIFTI/publis/FBrachet_SPIE_Glasgow.pdf (дата обращения: 25.04.2012).

23. Brachet F., Hebert P.J. SIFTI, a sounder based on a new instrument concept: static Fourier transform interferometry // URL:

http://smsc.cnes.fr/IASI/PDF/confl/Hebert-paper.pdf (дата обращения: 25.04.2012).

24. URL: http://www.astrium-space.com (дата обращения: 25.04.2012).

25. Зайдель А.Н., Островская Г.В., Островский Ю.И. Техника и практика спектроскопии / М.: Наука, 1972. - 376 с.

26. Бабушкин А.А., Бажулин П.А., Королев Ф.А., Левшин А.В., Прокофьев В.К., Стриганов А.Р. Методы спектрального анализа. М.: МГУ, 1962. 510 с.

27. Тркаев С.М., Семенов В.Г., Курочкин В.Е., Макаров Н.А., Панчук В.В., Тер-Мартиросян А.Л., Чернэуцану К.П. Многофункциональный спектрометр для исследования поверхности и объема конденсированных сред. II. Система управления движением и накопления спектрометрической информации // Научное приборостроение, 2005. Т. 15, № 1. С. 4655.

28. Архипов В.В., Ежевская Т.Б. Описание оптической схемы и конструкции узла // Оптико-механическая промышленность, 1982. № 9. С. 31-33.

29. Андреев А.И., Горбунов Г.Г., Киселев Б.А., Милованов Ю.В., Немчук И.К. Особенности конструкции быстросканирующего фурье-спектрометра// Оптико-механическая промышленность, 1972. № 3. С. 23-26.

30. Яковлев В.Б. Анализ призменных оптических элементов НПВО // Оптико-механическая промышленность, 1989. № 7. С. 10-13.

31. Парфенов П.С., Баранов А.В., Вениаминов А.В., Орлова А.О. Комплекс для люминесцентного анализа макро- и микрообразцов в ближнем инфракрасном диапазоне // Оптический журнал, 2011. Т. 78, № 2. С. 48-52.

32. Вензель В.И., Горелов А.В. Интерферометры среднего и дальнего инфракрасного диапазона спектра ИКИ-3,5 и ИКИ-10 // Оптический журнал, 2008. Т. 75, № 1. С. 47-49.

33. Designation: Е 275 - 93. Standard practice for describing and Standard Practice for Describing and Measuring Performance of Ultraviolet, Visible, and Near-Infrared Spectrophotometers // American society for testing and materials.

34. Панчук В. E., Сачков M. E., Юшкин M. В., Якопов М.В. Интегральные методы в астрономической спектроскопии // Астрофизический бюллетень, 2010. Т. 65, № 1. С. 78-99.

35. Dvoruk S.K., Kornienko V.N., Kochikov I.V., Lel'kov M.V., Mkrozov A.N., Pozdnyakov V.A., Svetlichnyi S.I., Tabalin S.E. Processing of double-sided interferograms subject to background self-radiation of an FTIR spectrometer // Optics and spectroscopy, 2002. V. 93, № 6. P. 970-974.

36. Кальянов A.JI., Лычагов B.B.,. Лякин Д.В, Перепелицына О.А., Рябухо В.П. Оптическая низкокогерентная интерферометрия и томография // Саратов, 2009. 86 с.

37. Карасев В.Б, Гримм В.А., Котов В.В., Лосев К.Д., Смирнов С.А. Интер-ферометрический комплекс для контроля аберраций оптических систем в ик-диапазоне // Научно-технический вестник. СПб.: ИТМО, 2004. Вып. 15. С. 50-59.

38. Красильников H.H., Красильникова О.И. Получение трехмерного изображения объекта путем измерения интенсивности диффузного отражения света различными точками его поверхности // Оптический журнал, 2010. Т. 77, №6. С. 19-23.

39. Пузиков Д.Ю. Оценка солнечной засветки ПЗС матрицы прибора астроориентации // Электронный журнал Исследовано в России. URL: http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2001/124.pdf (дата обращения: 25.04.2012).

40. Маркин В .А. Пределы температурной чувствительности тепловизоров третьего поколения // Оптический журнал, 2010. Т. 77, № 2. С. 51-59.

41. Ильинский A.B., Мальцева Н.К. Метод многоспектральной имитации излучения точечных объектов // Оптический журнал, 2010. Т. 77, № 2. С. 74-78.

42. Якушенков Ю.Г. Современное состояние и тенденции развития оптико-элктронных систем с матричными приемниками излучения // Известия вузов. Приборостроение, 2005. Т. 48, № 11. С. 10-13.

43. Кирпиченко Ю.Р. Повышение контрастной чувствительности телевизионного датчика в режиме многокадрового накопления // Известия вузов. Приборостроение, 2005. Т. 48, №11. С.22-26.

44. Костевич А.Г. Влияние пространственной дискретизации на точность измерения координат изображения малоразмерного объекта // Известия вузов: Приборостроение, 2005. Т. 48, № 11. С. 34-37.

45. Жуков Д.В., Коняхин И.А. Итерационный алгоритм определения координат изображения точечных излучателей // Оптический журнал, 2009.

Т. 76, № 1.С. 43-45.

46. URL: http://www.hamamatsu.com (дата обращения 25.04.2012).

47. Шмидт В. Оптическая спектроскопия для химиков и биологов. М.: Техносфера, 2007. 364 с.

48. Ежевская Т.Б., Бубликов А.В. Основные критерии оценки качества и возможностей современных фурье-спектрометров для криминалистического анализа // Эксперт криминалист, 2006. № 3. С. 16-20.

49. Практикум по спектроскопии / под ред. JI.B. Левшина. М.: МГУ, 1975. 318 с.

50. Kulcke A., Gurschler С., Spock G. On-line classification of synthetic polymers using near infrared spectral imaging. // Journal of Near Infrared Spectroscopy. V.ll. № 1. 2003. P.71-81.

51. Near Infrared Spectroscopy: fundamentals, practical aspects and analytical applications // J. Braz. Chem., 2003 Mar./Apr. V. 14. № 2. P. 198-219.

52. Алексеев E.P., Чеснокова O.B. Решение задач вычислительной математики в пакетах Mathcad 12, Matlab 7, Maple 9 // Москва. NT Press, 2006. -494 с.

53. Старовойтов А.Ц., Тутатчиков В .С. Двухмерный алгоритм Кули-Тьюки для систем с отсчетами прямоугольного вида. // URL: http://conf.sfu-kras.ni/sites/mn2010/pdf/6/99a.pdf (дата обращения: 25.04.2012)

54. Солонина А.И., Арбузов С.М. Цифровая обработка сигналов. Моделирование в MATLAB. СПб.: БХВ-Петербург, 2008. 806 с

55. Herrmann К., Walther L. Wissensspeicher infrarottechnik // Leipzig: Fachbuchverl, 1990. 438 c.

56. Peter R. Griffiths, James A. De Haseth. Fourier transform infrared spectrometry// Chemical analysis, 1986. V. 83.

57. Крылов A.C., Втюрич A.H., Герасимов Ю.В. Обработка данных инфракрасной фурье-спектроскопии // Красноярск, 2005. С. 48.

58. Дьяконов В.П. Matlab - новые возможности в технологии спектроскопии и спектрометрии // Компоненты и технологии, 2011. № 11. С. 133-146.

59. Евтюшкин А.В., Филатов А.В., Брыскин В.М. Отладка и адаптация методов интерферометрической обработки космических радарных изображений для картирования вертикальных подвижек грунтов // URL: http://www.uriit.ru/otchet2009/2_3.pdf (дата обращения 25.04.2012).

60. Fearn Т., Davies М.С. A comparison of Fourier and wavelet transform in the processing of near infrared spectroscopic data // Journal of Near Infrared Spectroscopy, 2003. V. 11. № 1. P. 3-15.

61. Сизиков B.C. Устойчивые методы обработки результатов измерений. СПб.: СпецЛит, 1999. 240 с.

62. Двойнишников С.В. Устойчивый метод расшифровки интерферограмм с пошаговым сдвигом // Компьютерная оптика, 2007. Т.31. №2. С. 22-25.

63. Грейсух Г.И., Ежов Е.Г., Земцов А.Ю., Степанов С.А. Разработка методов и программных средств подавления шумов в интерферограммах на этапе их предварительной обработки // Компьютерная оптика, 2005. В. 28. С. 140-144.

64. Солонина А.И., Арбузова С.М. Цифровая обработка сигналов. Моделирование в Matlab. СПб., 2008. 806 с.

65. Дьяконов В.П. Matlab - новые возможности в технологии осциллографии // Компоненты и технологии, 2010. № 10. С. 133-144.

66. Шуп Т. Решение инженерных задач на ЭВМ. М.: Мир, 1982. 236 с.

67. Вишняков Г.Н., Лощилов К.Е. Оптические схемы измерения формы трехмерных объектов методом проекции полос // Оптический журнал, 2011. Т. 78, №2. С. 42-47.

68. Красильников H.H. Реставрация изображений с учетом их структуры // Оптический журнал, 2009. Т. 76, № 2. С. 7-12.

69. Ле Зуй Туан, Кирилловский В.К. Разработка алгоритма и программы для расширения возможностей метода оценки качества изображения оптических схем // Оптический журнал, 2009. Т. 76, № 1. С. 19-23.

70. Рябухо В.П., Перепелицина O.A. О локализации интерференционных полос в частично когерентном свете // Физическое образование в вузах, 2001. Т. 7. В. 2. С.15-27.

71. Мошкин Б.Е., Максименко C.B., Шакун A.B., Засова Л.В. Влияние качества юстировки фурье-спектрометра на аппаратную функцию // Оптический журнал, 2011. Т. 78, № 3. С. 43-50.

72. Боле X., Боттема М., Циклер А. Интерферометр SISAM и простой интерферометр Майкельсона со сферическими зеркалами для космических применений // Инфракрасные методы в космических исследованиях. М.: Мир, 1977. 384 с.

73. Каверин Л.В. Характеристики приемно-усилительных трактов быстро-сканирующего фурье-спектрометра и их взаимосвязь // Оптико-механическая промышленность, 1981. № 9. С. 36-38.

74. Шаров Е.М. Абсолютная привязка интерферограмм по разности хода в фурье-спектрометре // Оптико-механическая промышленность, 1981. № 1. С. 46-48.

75. Гусарова Н.И., Лушников Д.С., Маркин В.В., Одиноков С.Б., Поздняков В.В. Изготовление голограммных зеркал для систем ночного видения // Оптический журнал, 2011. Т. 78, № 2. С. 36-41.

76. Горбунов. Г.П., Лазарев А.И., Малютин В.Н., Джаранян A.A. Комплекс обзорно-спектрометрической аппаратуры МФС-Б // Оптический журнал, 2000. Т. 67. № 5. С. 62-68.

77. Магеррамов В.А. Зеркальные системы телескопов синхронного наблюдения // Оптический журнал, 2001. Т. 68, № 10. С. 45-48.

78. Досколович Л.Л., Моисеев М.А., Петрова О.И. Светодиодная система подсветки на основе модулей, формирующих равномерную освещенность гексагональной области // Оптический журнал, 2011. Т. 78, № 2. С. 30-35.

79. Дмитриев И.Ю. Методы энергетической калибровки многоканальных сканирующих оптико-электронных приборов // Оптический журнал,

2008. Т. 75, № 11. С. 42-46.

80. Novi A., Basile G., Citterio О., Ghigo M., Caso A., Cattaneo G., Svelto G.F. Lightweight SiC foamed mirrors for space applications // Spie digital library. URL: http://dx.doi.org/10.1117/12.447323 (дата обращения 25.04.2012).

81. Гвоздек M. Справочник по технике для видеонаблюдения. Планирование, проектирование, монтаж. М.: Техносфера, 2010. 544 с.

82. Дмитриев И.Ю. Методы энергетической калибровки многоканальных сканирующих оптико-электронных приборов // Оптический журнал, 2008. Т. 75, № 11. С. 42-46.

83. Парфенов П.С., Литвин А.П., Баранов А.В., Вениаминов А.В., Ушакова Е.В. Калибровка спектральной чувствительности приборов для ближней инфракрасной области // Журнал прикладной спектроскопии, 2011. Т. 78, №3. С. 460-466.

84. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М., Недра. 1968. - 254 с.

85. Belash А.О., Bocharova T.Y. Stationary FT-spectrometer for measurement diffusion reflectivity samples of NIR region. // 14-th International Workshop on new Approaches to High-Tech: Nano-Design, Technology, Computer Simulation. Finland. 2011.

86. Патент RU № 2436038. Статический фурье-спектрометр. Заявл. 02.07.2010. Опубл. 10.12.2011.

87. Manzardo О. Micro-sized fourier spectrometers // Neuchatel, 2002. - 118c.

88. Фриш С.Э., Тиморева A.B. Курс общей физики. М.: Физматлит, 1961. Т.З. 608 с.

89. Жарский И.М., Новиков Г.И. Физические методы исследования в неорганической химии. М.: Высш. шк., 1988. 271 с.

90. Кияшко Б.В. Оптические системы обработки сигналов на основе анизотропных сред. //Квантовая электроника. 1995. Т. 22. № 10. С. 1037-1043.

91. Киреев П.С. Физика полупроводников. М.: Высшая школа, 1975. 584 с.

92. Гавриленко В.И., Грехов A.M., Корбутяк, Д.В. Литовченко В.Г. Оптические свойства полупроводников. Киев: Наукова думка, 1987. 608 с.

93. Павлов П.В., Хохлов А.Ф. Физика твердого тела. М.: Высшая школа, 2000. 496 с.

94. Уханов Ю.И. Оптические свойства полупроводников. М.: Наука, 1977. 368 с.

95. Питер Ю., Кардона М. Основы физики полупроводников. М.:

Физматлит, 2002. 560 с.

96. Рассеяние света в твердых телах // Под ред. М. Кардоны. М.: Мир, 1979.

392 с.

97. Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках. М.: Наука, 1973. 432 с.

98. Бирман Дж. Пространственная симметрия и оптические свойства твердых тел. М.: Мир, 1978. Т.2. 352 с.

99. Борн М., Вольф Э. Основы оптики // М.: Наука, 1973.

100. Ишанин Г.Г., Панков Э.Д., Андреев A.JL, Полыциков Г.В. Источники и приемники излучения. СПб.: Политехника, 1991. 239 с.

101. Гвоздек М. Справочник по технике для видеонаблюдения. Планирование, проектирование, монтаж. М.: Техносфера. 532 с.

102. URL: http://www.ispoptics.com/PDFs/PDFCatalog/Page27.pdf (дата обращения 25.04.2012).

103. ЧесноковВ.В., ЧесноковД.В., НикулинД.М. Интерференционые светофильтры с перестраиваемой полосой пропускания // Приборостроение,

2009. Т.52. № 6. - с. 63-67.

104. Raghavachari, R Near-infrared Application in Biotechnology // Marsel

Decker, Ney York, 2000.

105. Sanderson R.B., Scott H.E. A high resolution far infrared interferometer //

Appl. Optics, 1971. V. 10. -P. 1097-1102.

106. Малышев В.И. Введение в экспериментальную спектроскопию. М.:

Наука, 1979. 450 с.

107. Белл Р. Дж. Введение в фурье-спектроскопию. М.: Мир, 1975. 382 с.

108. Бендат Дж., Пирсол А. Применение корреляционного и спектрального анализа. М.: Мир, 1983. 312 с.

109. Дворук С.К., Корниенко В.Н. Кочиков И.В. и др. Обработка двусторонних интерферограмм с учетом собственного фонового излучения фурье-спектрорадиометра // Оптика и спектроскопия, 2002. Т. 93. № 5. С. 884889.

110. Дворук С.К., Дроздов М.С., Корниенко В.Н и др. Особенности обработки интерферограмм фурье-спектрорадиометра при наличии собственного фонового излучения // Вестн. МГТУ. Естеств. Науки, 2002. №2. С. 3-15.

Ш.Ковязин P.P. Двухмерное восстановление фазы интерферограммы // URL: http://ysa.ifmo.ru/data/publications/BOOK001/paper020.pdf (дата обращения 25.04.2012).

112. Химия нашими глазами / под ред. Я.И. Герасимова М.: Наука, 1981. 528 с.

ИЗ. Горелик B.C. Комбинационное рассеяние света // Соровский образовательный журнал, 1997. №6. С. 91-96.

114. Ахманов С.А., Коротеев Н.И. Спектроскопия рассеяния света и нелинейная оптика, нелинейнооптические методы активной спектроскопии комбинационного и рэлеевского рассеяния // Успехи физических наук, 1977. Т. 123. Вып. 3. С. 405-471.

115. Ларионов А.И. Спектроскопия комбинационного рассеяния // URL: http://www.nanometer.ru/2009/06/09/intemet_olimpiada_155836.html (дата обращения 25.04.2012).

116. Накамото К. ИК-спектры и спектры KP неорганических и координационных соединений. М.: Мир, 1991. 536 с.

117. Сущинский М.М. Вынужденное рассеяние света. М: Наука, 1985. 176 с.

118. Таланов В.М., Ерейская Г.П., Юзюк Ю.И. Введение в химию и физику наноструктур и наноструктурированных материалов. М.: Естествознание, 2008. 389 с.

119. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы / под ред. В.В.Лучинина, Ю.М.Таирова. М.: Физматлит, 2006. 552 с.

120. Баранов A.B., Бобович Я.С., Петров В.И. Спектроскопия резонансного гиперкомбинационного рассеяния света // Успехи физических наук, 1990. Т. 160. Вып. 10. - с. 35-72.

121. Когерентно-оптические методы в измерительной технике и биофотонике /под ред. В .П. Рябухо, В.В. Тучина. Саратов: Саттелит, 2009. 127 с.

122. Зуев В.Е., Землянов A.A., Копытин Ю.Д. Нелинейная оптика атмосферы. М.: Гидрометеоиздат, 1989. 255 с.

123. Зуев В.Е., Титов Г.А. Оптика атмосферы и климат. М.: Спектр, 1996.

271 с.

124. Волков C.B., Яцимирский К.Б. Спектроскопия расплавленных солей. Киев: Наукова думка, 1977. 223 с.

125. Киселева Д.В. Применение рамановской микроспектроскопии для исследования структурных особенностей биогенного апатита // Ежегодник-2009, Тр. ИГГ УрО РАН. Вып. 157, 2010. С. 332-335.

126. Последнее достижение в спектроскопии комбинационного рассеяния // URL: http -.//resources.renishaw. com/ details/download(119808)(31960) (дата

обращения 25.04.2012).

127. Архипов B.B. Фурье-спектрометр для исследования атмосферного озона // Приборы и техника эксперимента, 2011. № 2. С. 161-162.

128. Букалов С.С. Опыт применения рамановских (КР) спектрометров «Horiba Jobin Yvon» // Аналитика и контроль, 2007. T.l 1. № 1. С.61-63.

129. Коронкевич В.П., Соболев B.C., Дубнищев Ю.Н. Лазерная интерферометрия. Новосибирск: Наука, сибирское отд., 1983. 216 с.

130. Коронкевич В.П., Ханов В.А. Современные лазерные интерферометры. Новосибирск: Наука, сибирское отд., 1985. 184 с.

131. Balistreri M.L.M., Korterik J. P., Kuipers L., and van Hulst NF. Phase mapping of optical fields in integrated optical waveguide structures // J. Lightwave Technol, 2001. V. 19. P. 1169-1176.

132. Balistreri M.L.M., Gersen H., Korterik J. P., Kuipers L., and van Hulst N.F. Tracking femtosecond laser pulses in space and time // Science, 2001. V. 294. P. 1080-1082.

133. Fulck E., Hammer M., Otter A.M., et al. Amplitude and phase evolution of optical fields inside periodic photonic structures // J. Lightwave Technol, 2003. V.21.P. 1384-1393.

134. Betzig E., Isaacson M., and Lewis A. Collection mode near-field scanning optical microscopy // Appl. Phys. Lett., 1987. V.51. P. 2088.

135. Rhodes S.K., Nugent K.A., and Roberts A. Precision measurement of the electromagnetic fields in the focal region of a high-numerical-aperture lens using a tapered fiber probe // J. Opt. Soc. Am. A. 2002, V. 19. P. 1689-1693.

136. Horsch I., Kusche R., Marti O., Weigl В., and Ebeling K.J. Spectrally resolved near-field mode imaging of vertical cavity semiconductor lasers // J. Appl. Phys, 1996. V. 79. P. 3831-3834.

137. Adelmann Ch., Hetzler J., Scheiber G., et al. Experiments on the depolarization near-field scanning optical microscope // Appl. Phys. Lett., 1999. V. 74. P. 179.

138. Hosaka N. and Saiki T. Near-field fluorescence imaging of single molecules with a resolution in the range of 10 nm // J. Microsc., 2001. V.202. P. 362364.

139. Fischer U.Ch., Durig U.T., and Pohl D.W. Near-field optical scanning microscopy in reflection // Appl. Phys. Lett., 1988. V.52. P. 249.

140. Trabesinger W., Kramer A., Kreiter M., Hecht В., and Wild U.P. Single-molecule near-field optical energy transfer microscopy // Appl. Phys. Lett., 2002. V.81.P.2118-2120.

141. Trabsinger W., Kramer A., Kreiter M., Hecht В., and Wild U P. Single-molecule near-field optical energy transfer microscopy with dielectric tips //J. Microsc., 2003. V. 209. P. 249-253.

142. Vickery S.A. and Dunn R. C. Scanning near-field fluorescence resonance energy transfer microscopy//Biophys., 1999. V. 76. P. 1812-1818.

143. Swan A.K., Moiseev L.A., Cantor C.R., et al. Toward nanometer-scale resolution in fluorescence microscopy using spectral self-interference // IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron, 2003. V. 9. P. 294-300.

144. Balistreri M.L.M., Korterik J. P., Kuipers L., and van HulstN.F. Observations of phase singularities in optical fields in waveguide structures // Phys. Rev. Lett., 2000. V. 85. P. 294-297.

145. Навотный Л., Хехт Б. Основы нанооптики.М., Физматлит. 2009. С.484.

146. Воробьев Л.Е., Ивченко Е.Л., Фирсов Д.А., Шалыгин В.А. Оптические свойства наноструктур. СПб.: Наука, 2001. 188 с.

147. Российские нанотехнологии, 2008. Т. 3. № 1-2.

148. Combined Raman and FT-IR spectroscopy // URL: http://resources.renishaw.com/ru/details/download(3 889) (дата обращения 25.04.2012).

149. Валах М.Я., Голиней Р.Ю., Джаган В.Н., Красильник З.Ф., Литвин О.С., Лобанов Д.Н., Милехин А.Г., Никифоров А.И., Новиков A.B., Пчеляков О.П., Юхимчук В.А. Спектроскопия комбинационного рассеяния света и электроотражение самоорганизованных SiGe-наноостровков, сформированных при различных температурах // Физика твердого тела,

2005. Т. 47. Вып. 1.С. 54-57.

150. Клаудер Д., Сударшан Э. Основы квантовой оптики. М.: Мир, 1970.

430 с.

151. Володин В.А., Ефремов М.Д., Якимов А.И., Михалёв Г.Ю., Никифоров А.И., Двуреченски A.B. Определение из данных спектроскопии комбинационного рассеяния света состава и деформаций в наноструктурах на основе GexSii.x, с учетом вклада гетерограницы // Физика и техника полупроводников, 2007. Т. 41. Вып. 8. С. 950-954.

152. Бессолов В.Н., Жиляев Ю.В., Коненкова Е.В., Федирко В.А. Раманов-ская и инфракрасная спектроскопии нанокристаллов GaN, выращенных хлорид-гидридной эпитаксией на оксидированном кремнии // Физика и техника полупроводников, 2003. Т. 37. Вып. 8. С. 964-967.

153. Андреева Т.Л., Малюгин A.B. Тонкая структура спектра рэлеевского рассеяния света в молекулярных газах // Успехи физических наук, 1986.

Т. 150. Вып. 4. С 525-560.

154. Тауц Я. Оптические свойства полупроводников в видимой и ультрафиолетовой областях спектра // Успехи физических наук, 1968. Т.

94. Вып. З.С. 501-534.

155. Давыдов С.Ю., Мошников В.А., Томаев В.В. Адсорбционные явления в поликристаллических полупроводниковых сенсорах: Учеб. Пособие. СПб.: СПбГЭТУ, 1998. 56 с.

156. Воробьев Л.К. Голуб Л.Е. Данилов С.Н. Ивченко Е.Л. Фирсов Д.А. Шалыгин В.А. Оптические явления в полупроводниковых квантово-раз-мерных структурах// СПб.: СПбГТУ, 2000. 156 с.

157. Равич Ю.И., Ефимова Б.А., Смирнов И.А. Методы исследования полупроводников в применении к халькогенидам свинца PbTe, PbSe и PbS. М.: Наука: глав. ред. физ.-мат. лит., 1968. 384 с.

158. Новотный Л., ХехтБ. Основы нанотехники. М.: Физматлит, 2009. 484 с.

159. Fearn Т., Davies А.М.С. A comparison of Fourier and wavelet transforms in the processing of near infrared spectroscopic data: Part 1. Data compression // Journal of near infrared spectroscopy, 2003. V. 11, № 1. P. 3-15.

160. Kulcke A., Gurschler C., Spock G., Leitner R., Kraft M. On-line classification of synthetic polymers using near infrared spectral imaging // Journal of near infrared spectroscopy, 2003. V. 11, № 1. P. 71-81.

161. Шик А.Я., Бакуева Л.Г., Мусихин С.Ф., Рыков С.А. Физика низкоразмерных систем. СПб.: Наука, 2001. 160 с.

162. Купцов А.Х., Жижин Г. Н. Фурье-спектры комбинационного рассеяния и инфракрасного поглощения полимеров. М.: Физматлит, 2001. 656с.

163. Бирман Дж. Пространственная симметрия и оптические свойства твердых тел. М.: Мир, 1978. Т.1. 388 с.

164. Ахманов С.А. Никитин С.Ю. Физическая оптика. М.: Изд-во МГУ:

Наука, 2004. 656 с.

165. Шик Л.Я., Бакуева Л.Г., Мусихин С.Ф., Рыков С.А, Физика низкоразмерных систем. СПб.: Наука, 2001. 160 с.

166. Фальковский Л.А. Оптические свойства графена и полупроводников типа А4В6 // Успехи физических наук, 2008. Т. 178. № 9. С. 923-934.

167. Олейник С.В., Хацевич Т.Н. Исследование двухлинзовых объективов-ахроматов как базовых элементов светосильных объективов приборов ночного видения // Оптический журнал, 2009. Т. 76, № 1. С. 64-66.

171

168. Оптико-электронные компоненты для спектроскопии URL: http://www.oceanoptics.ru/probes.html (дата обращения 25.04.2012).

169. Designation: Е 1840 - 96. Standard guide for Raman shift standards for spectrometer calibration // American society for testing and materials.

170. Брандмюллер И., Мозер Г. Введение в спектроскопию комбинационного рассеяния света. М.: Мир, 1964. 628 с.

171. Калашников Е.В., Рачкулик С.Н. Поляризационный интерферометр.// Труды конференции «Прикладная оптика-2006». Т.1. С.368-372.

172. Крылов A.C., Втюрин А.Н., Герасимова Ю.В. Обработка данных инфракрасной Фурье-спектроскопии // Красноярск: Институт физики СО РАН, 2005. 48 с.

173. Раман-спектрометры (спектрометры комбинационного рассеяния) // URL:http://www.intertech-

corp .ru/aboutproduct.asp?gr= 15 &subgr=3 5&prid= 114 (дата обращения 25.04.2012).

174. Чистые помещения / под ред. А. Е. Федотова. М.: Асинком, 2003. 576 с.

175. Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации. М.: Клинрум, 2002. 304 с.

176. Гайгал И.В. Параметры чистого помещения // МГУПИ, 2011. 11 с.

177. Семибратов М.Н. Технология оптических деталей. М.: Машиностроение, 1978. С 410.

178. Латыев С.М. Конструирование точных (оптических) приборов. СПб.:

Политехника, 2007. 576 с.

179. Литвиненко О.Н. Основы радиоптики. Киев: Техника, 1974. С. 206.

180. Heland J., Schafer К. Analisis of aircraft exhaust with Fourer-transform infrared emission spectroscopy // Ibid, 1997. V. 36. P. 4922-4931.

181. Справочник конструктора оптико-механических приборов / под ред. В. А. Панова. Л.: Машиностроение, 1980. 742 с.

172

182. Справочник технолога-оптика / под ред. С. М. Кузнецова, Н. Окатова. Л.: Машиностроение, 1983. 414с.

183. Иванов A.B. Прочность оптических материалов. Л.: Машиностроение,

1989. 144 с.

184. Дич Л.З., Латыев С.М., Рукавицын H.H. Алгоритмический способ коррекции температурной погрешности сферометра // Оптик.-мех. пром-сть, 1989. №4.

185. Краузе В. Конструирование приборов. В 2-х ч. // М.: Машиностроение,

1987. Ч. 1.384 е.; Ч. 2 376 с.

186. Сокольский М.Н. Допуски и качество оптического изображения. Л.:

Машиностроение, 1989. 221 с.

187. Кулагин В.В., Михайлов H.A. Учебное пособие по конструированию деталей и узлов оптических приборов. 4.1. Типовые оптич. детали. Л.:

ЛИТМО, 1975. 82 с.

188. Кожевников Ю.Г. Оптические призмы. М.: Машиностроение, 1984.

148 с.

189. Маламед Е.Р. Конструирование оптических приборов космического базирования: Учеб. пособие. СПб: ГИТМО (ТУ), 2002. 292 с.

190. Справочник технолога-оптика / под ред. М.А Окатова. — 2-е изд., пере-раб. и доп. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.

191. Путилин Э.С. Оптические технологии. Санкт-Петербург, ИТМО. 2006.

С.108.

192. Михельсон Н. Н. Оптические телескопы. М.: Наука, 1976. 510 е..

193. Обзор оптических клеев // URL:

http://www.labor-microscopes.ru/technologys/kleil .html (дата обращения

25.04.2012).