Влияние особенностей состава и технологии получения наноразмерных пленок Ленгмюра-Блоджетт на их показатель преломления и толщину тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Гецьман, Максим Александрович

• Гецьман, Максим Александрович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Гецьман, Максим Александрович

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность

Цель работы и задачи исследований

Научная новизна

Практическая значимость результатов

Защищаемые положения

Апробация работы

Количество публикаций

Глава 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

§1.1.Введение

§ 1.2. Эллипсометрический метод исследования

§1.2.1 .Основное уравнение эллипсометрии

§ 1.2.2. Прямая и обратная задачи эллипсометрии

§ 1.3. Показатель преломления и толщина пленок Ленгмюра-Блоджетт

§1.3.1. Определение комплексного показателя преломления диэлектрических и полупроводниковых подложек

§1.3.2. Результаты расчета показателя преломления и толщины наноразмерных пленок в предположении модели изотропной однослойной непоглощающей на длине волны измерения пленки

§1.3.3. Определение комплексного показателя преломления пленок, поглощающих на длине волны измерения

§1.3.4. Учет анизотропии при определении показателя преломления и толщины наноразмерных пленок

§ 1.3.5. Особенности исследования многослойных пленочных структур

§1.3.6. Возможности исследования физико-химических процессов, происходящих в наноразмерных пленках под действием внешних воздействии

§ 1.3.6.1. Фотополимеризация. УФ-фотолиз.

§1.3.6.2. Исследование межмолекулярных взаимодействий на основе показателя преломления монослоев

§1.3.6.3. Исследование связи эллипсометрических параметров с характеристиками поверхностного барьера полупроводника в области субмонослойных покрытий

§ 1.4. Выводы

Глава 2. УЧЕТ ВЛИЯНИЯ ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ НА ПОВ ЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ НА РЕЗУЛЬТАТЫ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ

§2.1. Введение

§2.2. Описание модели и методики расчета

§2.2.1. Расчет показателей преломления и поглощения подложки

§2.2.2. Матричный метод исследования многослойных разнородных пленочных систем

§2.2.3. Определение толщины и показателя преломления однослойных прозрачных непоглощающих покрытий методом Холмса

§2.3. Результаты моделирования

§2.4. Эксперимент и его результаты

§2.5. Выводы

Глава 3. ВЛИЯНИЕ КОЛИЧЕСТВА УГЛЕВОДОРОДНЫХ РАДИКАЛОВ В МОЛЕКУЛЕ И ПОВЕРХНОСТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОКАЗАТЕЛЬ ПРЕЛОМЛЕНИЯ И ТОЛЩИНУ ПЛЕНОК ЛЕНГМЮРА-БЛОДЖЕТТ НА ОСНОВЕ Р-ЦИКЛОДЕКСТРИНОВ

§3.1. Мономолекулярные слои и пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе (3-циклодекстринов с различным числом алкильных цепей

§3.1.1. Введение

§3.1.2. Описание проведенного эксперимента

§3.1.2.1. Номограммы. Номограмма Арчера

§3.1.3. Результаты и обсуждение

§3.1.3.1. Ленгмюровские монослои

§3.1.3.2. Пленки Ленгмюра-Блоджетт Р-ЦД

§3.2. Исследование неоднородности показателя преломления и толщины по поверхности наноразмерных органических слоев - пленок

Ленгмюра-Блоджетт на основе Р-циклодекстрина

§3.2.1. Введение

§3.2.2. Основные данные об экспериментальных установках

§3.2.3. Данные об объектах исследования.

§3.2.4. Методики получения исследуемых образцов

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Влияние особенностей состава и технологии получения наноразмерных пленок Ленгмюра-Блоджетт на их показатель преломления и толщину»

§4.1.2. Описание проведенного эксперимента 104

§4.1.3. Обсуждение результатов 108

§4.2. Показатель преломления и толщина наноразмерных органических пленок соли полиамидокислоты при адсорбции красителя 111

§4.2.1. Введение 111

§4.2.2. Получение исследуемых образцов и методы исследования 112

§4.2.3. Описание проведенного эксперимента. 114 §4.2.3.1. Определение характеристик поглощающих пленок методом

Малина-Ведемана 115

§4.2.4. Полученные результаты и их обсуждение. 116 §4.3. Влияния термической имидизации на оптические параметры органических слоев на основе соли полиамидокислоты 121

§4.3.1. Введение 121

§4.3.2. Описание эксперимента 122

§4.3.3. Обсуждение результатов 125

§4.4. Выводы 125

ЗАКЛЮЧЕНИЕ 128

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 13 О

ПРИЛОЖЕНИЯ: 142

Приложение 1. Комплекс программ эллипсометрического исследования. Описание. 142

Приложение 1.1. Описание программ эллипсометрического исследования.

§1. Введение 142

§2. Определение комплексного показателя преломления изотропной подложки 143

§3. Модель однослойная изотропная не поглощающая пленка -поглощающая подложка 146

§3.1. Определение толщины и показателя преломления прозрачных покрытий методом Холмса. 146

§3.2. Определение толщины и показателя преломления прозрачных покрытий с помощью построения Ч'-Д-номограмм Арчера 148

§4. Программа определения характеристик поглощающих пленок методом Малина-Ведемана 148

§5. Программа решения прямой задачи эллипсометрии для многослойных прозрачных структур на изотропной подложке 152

Приложение 1.2. Листинг программ эллипсометрического исследования. 158

§1. Программа расчета комплексного показателя преломления изотропной подложки 158

§2. Программа расчета показателя преломления и толщины изотропной непоглощающей пленки на изотропной подложке методом

Холмса 159

§3. Программа расчета показателя преломления и толщины изотропной непоглощающей пленки на изотропной подложке с помощью построения номограмм Арчера 161

§4. Программа определения характеристик поглощающих пленок методом Малина-Ведемана 165

§5. Программа решения прямой задачи эллипсометрии для многослойных прозрачных структур на изотропной подложке. 169

Приложение 2. Список основных работ автора диссертации 172

Приложение 3. Акт о внедрении результатов диссертационной работы 175

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность

Наноразмерные слои органических молекул нашли широкое применение в различных областях науки и техники и являются перспективным объектом для разработки элементной базы электронных приборов на молекулярном уровне, таких как: селективные химические и биологические сенсоры и датчики, оптические носители информации, МДП-транзисторы, ориентирующие слои в ЖК-ячейках, позитивные фоторезисторы, фотодиоды, диэлектрические покрытия и др.

В последнее время благодаря совершенствованию технологии, успехам органического синтеза появились новые объекты исследования наноразмерные органические пленки на полупроводниковых и диэлектрических подложках.

Для применения наноразмерных органических слоев в электронике необходимо исследование электрофизических свойств структур, их содержащих. Решение таких задач в большинстве случаев требует знания толщины и показателя преломления наноразмерных пленок.

Одним из эффективных методов определения показателя преломления и толщины является эллипсометрия, позволяющая определить свойства исследуемого объекта по изменению состояния поляризации монохроматического света после отражения от поверхности образца или прохождения через него. Известные достоинства метода, такие, как высокая чувствительность, экспрессность, отсутствие возмущающего и разрушающего воздействия на объект, делают его весьма привлекательным при исследовании слоистых структур.

К достоинствам технологии Ленгмюра-Блоджетт для получения пленок относится возможность варьирования химического состава и строения молекулы и технологических параметров с целью получения пленок с заданными параметрами.

При применении эллипсометрии к исследованию таких систем возникает ряд проблем, которые, в частности, связаны с тем, что технология получения наноразмерных органических слоев, например, методом Ленгмюра-Блоджетт, происходит не только в контакте с атмосферной средой, но и с водной средой. Переходный слой, возникающий при этом на подложке, может быть сравним с толщиной наносимых слоев и оказывает существенное влияние на результаты эллипсометрических исследований самих слоев.

В литературе отсутствуют сведения о том, как влияет на показатель преломления и толщину количество углеводородных радикалов в молекуле, количество нанесенных слоев, а также давление нанесения пленок Ленгмюра-Блоджетт (ПЛБ), однако знание данных особенностей позволило бы варьировать параметры ПЛБ и структур, их содержащих.

Объектами исследования явились пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе Р-циклодекстрина (ЦД) и соли полиамидокислоты (сПАК). Выбор данных веществ был обусловлен следующим:

- ЦД являются типичными природными молекулами-рецепторами, обладая гидрофобной полостью, способны образовывать комплексы «гость-хозяин» с широким кругом органических и неорганических молекул и ионов, что обусловило их широкое применение во многих областях науки и техники. Новые возможности применения уникальных свойств ЦД, в частности, при конструировании селективных сенсоров, позволяет технология Ленгмюра-Блоджетт (ЛБ). Структура молекулы ЦД позволяет прививать к основанию различное количество радикалов.

- сПАК является веществом, для которого возможна реакция циклизации, которая сопровождается удалением углеводородных радикалов, что позволяет выяснить влияние радикалов на показатель преломления и толщину ПЛБ.

Цель работы и задачи исследований

Целью данной работы явилось: - исследование влияния особенностей состава и технологии получения на показатель преломления и толщину наноразмерных органических пленок Ленгмюра-Блоджетт.

Для достижения указанной цели решались следующие задачи:

1. Исследование влияния переходного слоя на подложке на погрешность определения с помощью эллипсометрии показателя преломления и толщины органических наноразмерных пленок. Обоснование возможности использования эффективных значений показателя преломления и поглощения подложки.

2. Изучение влияние количества углеводородных радикалов в молекуле и поверхностного давления на показатель преломления и толщину пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе Р-циклодекстринов.

3. Исследование зависимости показателя преломления и толщины на монослой пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты от числа монослоев, адсорбции красителя и термической имидизации.

Научная новизна

1. Определено влияние количества привитых алкильных цепей и поверхностного давления нанесения на толщину и показатель преломления пленок Ленгмюра-Блоджетт Р-циклодекстринов с 1, 3 и 5 привитыми алкильными цепями.

2. Эллипсометрическим методом исследована однородность наноразмерных органических слоев (пленки Ленгмюра-Блоджетт) р-циклодекстринов с 1, 3 и 5 привитыми алкильными цепями.

3. Исследовано влияние адсорбции красителя в полиамидных пленках Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты на толщину и показатель преломления этих пленок.

4. Исследовано влияние количества нанесенных слоев пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты на среднюю толщину монослоя и их показатель преломления.

Практическая значимость результатов

1. Разработана методика исследования, алгоритмы и программы для обработки результатов эллипсометрических измерений в рамках следующих моделей: а) изотропная поглощающая подложка; б) изотропная непоглощающая пленка на изотропной поглощающей подложке; в) изотропная поглощающая пленка на изотропной поглощающей подложке; г) многослойная разнородная изотропная поглощающая пленка на изотропной поглощающей подложке.

Разработанный комплекс программ и методика исследования используется на кафедре физики полупроводников, Лаборатории №32 НИИМФ СГУ, НИИ «Волга».

Описание программ и их листинг приведен в приложениях А и Б.

2. Эллипсометрически определено влияние количества радикалов и давления нанесения на показатель преломления и толщину наноразмерных пленок Ленгмюра-Блоджетт Р-циклодекстринов с 1, 3 и 5 привитыми алкильными цепями.

3. Проведены исследования влияния адсорбции красителя в полиамидных пленках Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты, а так же влияние термической имидизации на показатель преломления и толщину этих пленок.

5. Исследовано влияние количества нанесенных слоев пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты на их среднюю толщину монослоя и показатель преломления.

6. Численно показана возможность замены структуры «подложка -переходной слой» на подложку с эффективными оптическими параметрами при определении толщины и показателя преломления наноразмерной пленки на подложке с неизвестным переходным слоем. Показано, что введение эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки позволяет уменьшить погрешность последующих эллипсометрических исследований параметров наноразмерных слоев.

Защищаемые положения

1) Экспериментально установлено увеличение показателя преломления пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе Р-циклодекстрина с увеличением количества углеводородных радикалов в интервале давлений нанесения 25 -35 мН/м. При дальнейшем увеличении давления нанесения показатель преломления пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе Р-циклодекстрина не зависит от числа алкильных радикалов. Данные экспериментальные факты объясняются уменьшением расстояния между углеводородными радикалами при увеличении их количества в одной молекуле и достижением предельной плотности в случае высоких (> 45 мН/м) давлений нанесения.

2) Показатель преломления и средняя толщина монослоя пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты увеличиваются с ростом количества нанесенных слоев, что связано с уменьшением расстояния между углеводородными радикалами в монослое и степени гребнеобразного взаимного проникновения углеводородных радикалов.

3) Установлено, что погрешность эллипсометрического определения толщины и показателя преломления наноразмерной органической пленки, нанесенной на подложку с переходным слоем, линейно зависит от отношения толщин переходного слоя и пленки, и нелинейно от отношения их показателей преломления. Численным моделированием доказано, что применение эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки позволяет учесть наличие переходного слоя на подложке и уменьшить погрешность в определении показателя преломления и толщины наноразмерных органических пленок.

Апробация работы

Основные результаты работы докладывались на следующих конференциях:

1. Международная научно-техническая конференция «Актуальные проблемы электронного приборостроения», Саратов, СГТУ, 20-22 сентября-2000 г.,

2. Ш-я международная конференция «Оптика, оптоэлектроника и технологии», Ульяновск, 2001 г.,

3. 4-я научная молодежная школа «Наноматериалы, нанотехнологии, наноструктруры и методы их анализа», Санкт-Петербург, 20-22 ноября 2001г.,

4. IV-я международная конференция «Оптика, оптоэлектроника и технологии», Ульяновск, 2002 г.,

5. 5-я научная молодежная школа «Микро- наносистемная техника (материалы, технологии, структуры и приборы)» - Санкт-Петербург, 2002 г.,

6. V-я международная конференция «Оптика, оптоэлектроника и технологии», Ульяновск, 2003 г.,

7. Научно-техническая конференция «Перспективные направления развития электронного приборостроения»- Саратов, СГТУ, 2003,

8. XVI European Chemestry at Interfaces Conference, Russia, Vladimir, 14-18 May, 2003 ,

9. VI международная конференция «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросхемы», Ульяновск, 2004 г.

Количество публикаций

По теме диссертации опубликовано 18 научных работ (спосок приведен в приложении 3), в том числе 4 статьи в реферируемых научных журналах из списка ВАК, 2 работы в научных сборниках, 1 работа - глава в учебном пособии, 11 научно-технических трудов на международных конференциях.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Гецьман, Максим Александрович

§4.4. Выводы

Эллипсометрическим методом установлено, что показатель преломления диметилоктадециламмониевой сПАК пленки равен 1.500±0.016, а толщина, приходящаяся на один монослой, в среднем составляет 1.8±0.2 нм, однако существует тенденция увеличения показателя преломления полиамидной ПЛБ с ростом количества ее монослоев (рис.4.3) [65].

Сравнение толщины монослоя диметилоктадециламмониевой сПАК (1.8 нм) и диметилгексадециламмониевой сПАК (1.5-1.65 нм [65, 104, 105])

Заключение

Можно сделать следующие основные выводы:

1. Пренебрежение переходным слоем на подложке приводит с существенным погрешностям при последующем определении показателя преломления и толщины слоев, нанесенных на эти подложки. Натурными и численными экспериментами показана целесообразность замены структуры «подложка - переходный слой» подложкой с эффективными оптическими свойствами при определении толщины и показателя преломления наноразмерных пленок, нанесенных на подложки с неизвестными переходными слоями. По величине эффективных показателей преломления и поглощения можно судить о наличии переходного слоя на поверхности подложки. Эффективный показатель преломления пЭф уменьшается, а эффективный показатель поглощения к^ увеличивается с увеличением толщины слоя окисла с10к, моделирующего переходный слой. Так, к примеру, при увеличении с!ок до 15 нм (пок=1.46) уменьшается эффективный показатель преломления кремниевой подложки пэф от 3.86 до 3.57, а эффективный показатель поглощения к^ увеличивается от 0.02 до 0.99.

2. Погрешность определения толщины и показателя преломления пленки зависит как от отношения толщин переходного слоя и пленки, так и от отношения их показателей преломления. Так, при толщине переходного слоя, составляющего лишь 5% от толщины пленки (с10к/с!пл=5%), погрешности в определении толщины пленки при пренебрежении переходным слоем составляет 4.5%, а при использовании эффективных показателей - 0.4%. Так, если ппл больше показателя преломления переходного слоя в 1.13 раза (ппл/пок=1.13), погрешность в определении толщины с1пл при использовании эффективных показателей подложки составляет 1.3%, а при использовании значений показателей преломления и поглощения чистой подложки — более 11%. Установлено, что изменение толщины переходного слоя незначительно влияет на точность определения толщины и показателя преломления нанесенной пленки при использовании эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки. В силу разных причин переходный слой может существенно измениться после нанесения на него пленки, однако даже при изменении переходного слоя, например, в четыре раза, с 10% от толщины пленки до 40% получаем, что при использовании эффективных значений показателя преломления и поглощения погрешность увеличивается всего на «1.8%.

3. Показано, что число привитых алкильных цепей влияет на свойства получаемых пленок ЛБ. Обнаружено увеличение показателя преломления и толщины пленок ЛБ на основе Р-ЦД с увеличением количества алкильных цепей для давлений 25, 30 и 35 мН/м. При давлениях нанесения выше плато, наблюдаемого у ЦД-З, показатель преломления не зависит от числа алкильных цепей.

4. Результаты эллипсометрических исследований ПЛБ на основе ЦД-З дают возможность предположить, что при значении поверхностного давления на изотерме выше плато на поверхности водной субфазы происходит образование бислойной структуры.

5. Получено, что наиболее однородные пленки по исследуемым параметрам (толщине и показателю преломления) - пленки ЦД-5, полученные при давлениях нанесения 71=35 - 45 мНУм. Самыми неоднородными являются ПЛБ на основе ЦД-З. Для ПЛБ на основе ЦД-1 и

ЦД-З наблюдается повышение степени однородности с увеличением поверхностного давления.

6. Показатель преломления и средняя толщина монослоя сПАК увеличивается с увеличением числа нанесенных слоев, что может быть связано с увеличением плотности пленки на поверхности водной фазы. Показатель преломления и толщина монослоя перестает зависеть от числа нанесенных слоев после процесса термической имидизации.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Гецьман, Максим Александрович, 2005 год

1. Ежовский Ю.К. Поверхностные наноструктуры — перспективы синтеза и использования // Соровский образовательный журнал. 2000. Т.6. №1. С.56-63.

2. Климов Б.Н. Введение в молекулярную электронику, или что такое ГСОН // Физика полупроводников и полупроводниковая электроника: Сборник статей под общ. ред. Б.Н. Климова и А.И. Михайлова Саратов: Изд-во Гос. Унц. «Колледж», 2001. - С.22-35

3. Львов Ю.М. Ленгмюровские пленки получение, структура, некоторые применения / Львов Ю.М., Фейгин Л.А. // Кристаллография. Вып.З, т.32, 1987г. С800-815.

4. Petty М.С. Langmuir-Blodgett films. Cambrige University Press., 1996. 234 p.

5. Арсланов B.B. Полимерные монослои и пленки Ленгмюра Блоджетт. Влияние химической структуры полимера и внешних условий на формирование и свойства организованных молекулярных ансамблей // Усп. химии. 1994. Т.63, № 1. С.3-42

6. Блинов Л.М. Физические свойства и применение ленгмюровских моно-и мультимолекулярных структур // Усп. химии. 1983. Т.52, вып. 8. С. 12631300.

7. Блинов Л.М. Ленгмюровские пленки // Усп. физ. наук. 1988. Т.155, Вып. 3. С. 443-475.

8. Адамсон А. Физическая химия поверхностей: Пер. с англ. М.: Мир, 1979. 568 с.

9. Горшков М.М. Эллипсометрия и ее применение // Зарубежная электроника. 1970. №10. С.97-111.

10. Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974.

11. Громов В.К. Введение в эллипсометрию. JL: Из-во. Ленингр. Ун-та, 1986.

12. Основы эллипсометрии / Под ред. Ржанова A.B. Новосибирск, "Наука", 1979г.

13. Свиташев К.К. Оптическая эллипсометрия на пороге 21-го века / Свиташев К.К., Чикичев С.И. // Автометрия. №1. 1997. С.3-4

14. Швец В.А. Метод эллипсометрии в науке и технике века / Швец В.А., Рыхлицкий С.В. //Автометрия. №1. 1997. С.5-21

15. Пшеницын В.И. Эллипсометрия в физико-химических исследования / Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Л.: «Химия», 1986 152 с.

16. Резвый P.P. Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике. / Резвый P.P., Финарев М.С. М. ЦНИИ "Электроника", 1977

17. Аззан Р. Эллипсометрия и поляризованный свет / Аззан Р., Башара Н. М.: Мир, 1981г., 583 с.

18. Ржанов A.B. Эллипсометрические методы исследования поверхности V тонких пленок / Ржанов A.B., Свиташев К.К. // сборник науч.трудов

19. Эллипсометрия метод исследования поверхности» под ред. Ржанова A.B. Новосибирс: Наука. 1983. С.3-6

20. Биленко Д.И. Эллипсометрия диэлектрических слоев в процессе их формирования / Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Полянская В.П., Краснобаев С.Н. // Эллипсометрия — метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука Сибирское отд. 1983. С.89-93

21. Автоматический сканирующий эллипсометр ЛЭФ-801 «Микроскан» // «Выставочный центр Сибирского Отделения РАН»qù http://www.sbras.nsc.ru/expo/expo-view.asp?idl=7&id2=l

22. Хасанов T.X. Юстировка и аттестация эллипсометров. Новосибирск: Препринт 7-90. 1990. 32 с.

23. Пеньковский А.И. Автоматический эллипсометр для исследованияанизотропии твердых тел //Эллипсометрия в науке и технике. Выпуск 2. Новосибирск. 1990. с.45-50.

24. Половинкин В.Г. Определение числа решений обратной задачи эллипсометрии в заданной области параметров / Половинкин В.Г., Свиташева С.Н. //Автометрия. №4. 1999. с.94-103

25. Holmes D.A. On the calculation of thin films refractive index and thickness by ellipsometry // Appl. Optics. 1967. v.6. №1. P. 168.

26. Биленко Д.И. Эллипсометрия слоистых структур In Situ (решениеобратной задачи) / Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Дружинина Т.Ю., Краснобаев С.Н., Полянская В.П. // Оптика и спектроскопия. 1983. Т. 55. Вып. 5. С.885 -890.

27. Физика тонких пленок / под ред. Хангулова B.C., Т.1. М: «Мир», 1967 -344 с.

28. Д.И. Биленко Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев / Д.И. Биленко, В.П. Полянская, М.А. Гецьман, Д.А. Горин, A.A. Невешкин, A.M. Ященок // ЖТФ. 2005. Т.75. №6. с.69-73.

29. Полиимиды класс термостойких полимеров/ Бессонов М. П., Котон М.М., Кудрявцев В.В., Лайус Л.А. Л.: Наука, 1983.- 328 с.

30. Якушев М.В. Использование эллипсометрических измерений для высокочувствительного контроля температуры поверхности / М.В. Якушев, В.А. Швец // Письма в ЖТФ. Т.25, вып. 14. 1999. С.65-71

31. Дагман Э.Е. Аналитическое решение обратной задачи эллипсометрии при моделировании однослойной отражающей системы // Оптика и спектроскопия. 1987, Т.62. С.840-844.

32. Аюпов Б.М. Выбор моделей для исследования систем диэлектрическая пленка подложка эллипсометрическим и спектрофотометрическим методами // Поверхность. 2000. №4. С.59-63.

33. Палто С.П. Алгоритм решения оптической задачи для слоистых анизотропных сред. //ЖЭТФ. 2001. Т.119, вып.4. С.638-648.

34. Blodgett of polyamik acid alkilamine salts / Kakimoto M., Morikava A. // J. Coll. Int. Sei. 1988. Vol. 121. P.599.

35. Образовский А.Е. Эллипсометрическое исследование углеводородных пленок, полученных из ионных пучков С2Н5ОН / Образовский А.Е., Плотников И.А. // http://www.lyceum.usu.ru/,asf/vnksf/tezisv6/9/3.html

36. Гаврилюк И.В. Пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе цианакриловой # кислоты в качестве диэлектрических покрытий на полупроводниках /

37. Гаврилюк И.В., Казанцева З.П., Лаврик Н.В., Набок A.B., Ширшов Ю.М. // Поверхность. 1991. №11. С.93-100.

38. Тронин А. Ю. Эллипсометрическое исследование оптической анизотропии Ленгмюровской пленки арахината свинца / Тронин А. Ю., Константинова А. Ф. //Поверхность. 1992. №5. С.82-89.

39. Тронин А.Ю. Эллипсометрическое исследование Ленгмюровской пленки бегената свинца // Оптика анизотропных сред. 1988. С. 119-120.

40. Бекетов Т.В. Применение эллипсометрии для исследования пленок Ленгмюра-Блоджетт / Бекетов Т.В., Казанцева З.И. // Эллипсометрия в науке и технике. Новосибирск. 1990. вып.2. С. 134-139.

41. Свиташев К.К. Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом / Свиташев К.К., Семененко А.И., Семененко Л.В., Соколов В.К. // ОиС. 1972.Т.32, вып.5. С. 1020-1026.1. Щ)

42. Жавнерко Г.К. Свойства и структура мономолекулярных пленок на основе Ы-октадецил-3,4:9,10-перилен-бис-дикарбоксидиимида / Жавнерко Г.К., Кучук Т.А., Агабеков В.Е., Галлямов М.О., Яминский И.В. // ЖФХ. 1999. Т.73. №7. С.1244-1248.

43. Бадмаева И.А. Фотополимеризация пленок Ленгмюра-Блоджетт длинноцепных алкиновых кислот / Бадмаева И.А., Свешникова Л.Л., Репинский С.М., Колтунов К.Ю., Шварцберг М.С., Шергина С.И., Занина A.C.,Янусоват Л.Г. //ЖФХ. 2000. Т.75.№12. С.2249-2255.

44. Кручинин В.П. Эллипсометрическое исследование фотополимеризации моно- и мультислоев диацетиленов, полученных по методу Ленгмюра-Блоджетт / Кручинин В.П., Репинский С.М., Свешникова Л.Л., Аувинен

45. Э.М., Домнин И.Н., Сысоева Н.П. // Поверхность. 1991. №12. С.5-11.

46. Бадмаева A.A. Фотолиз пленок Ленгмюра-Блоджетт бегонатов свинца, серебра и меди / Бадмаева A.A., Репинский С.М., Свешникова Л.Л., Хапов Ю.И., Кручинин В.Н., Свиташева С.Н., Терещенко O.E., Яновский Ю.А. // ЖФХ. Т.75. №5. 2001. С.924-929.

47. Асалханов Ю.И. Связь эллипсометрических параметров с характеристиками поверхностного потенциального барьера полупроводника в области субмонослойных покрытий / Асалханов Ю.И., Мартынович Е.Ф. // Поверхность. 2002. № 2. С.93-98.

48. Плотников Г.С. Физические основы молекулярной электроники / Плотников Г.С., Зайцев В.Б. М.: Физический факультет МГУ, 2000. 164 с.

49. Винокуров Д.А. Самоорганизующиеся наноразмерные кластеры InP в матрице InGaP/GaAs и InAs в матрице InGaAs/InP / Д.А.Винокуров,

50. В.А.Капитонов, О.В.Коваленков, Д.А.Лившиц, З.Н.Соколова, И.С.Тарасов,

51. Ж.И.Алферов // ФТП. 1999. Т.ЗЗ. Вып. 7. С.858-862

52. Стащук B.C. Эллипсометрические исследования влияния слоя окисла на оптические характеристики некоторых переходных металлов / Стащук B.C., Шкурат В.И. // Эллипсометрия метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука. 1983. С.35-37

53. Аюпов Б.М. Определение оптических постоянных полупроводниковых материалов методом эллипсометрии / Аюпов Б.М., Сысоева Н.П., Титова Е.Ф. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск: Наука, 1987, С.136-139

54. Любинская Р.И. Исследование неоднородных структур с использованием иммерсионных эллипсометрических измерений / Любинская Р.И., Мардежов

55. A.C., Швец В.А. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск: Наука, 1987, с.59-67

56. Биленко Д.И. Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев / Д.И. Биленко,

57. B.П. Полянская, М.А. Гецьман, Д.А. Горин, A.A. Невешкин, A.M. Ященок // ЖТФ. 2005. Т.75. №6. С.69-73.

58. Егоров Г.А. Эллипсометрия субтонких прозрачных пленок / Егоров Г.А., Иванова Н.С., Потапов Е.В. // ОиС. 1974. Т.36. Вып.4., С.773 776.

59. Янклович А.И. Регулярные мономолекулярные структуры ПАВ пленки Ленгмюра-Блоджетт. // в кн. Успехи коллоидной химии. Л.: Химия, 1991.1. C.263-291.

60. Штыков С.Н. Эллипсометрическое исследование полиамидных и полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт / С.Н. Штыков, Б.Н. Климов, Д.А. Горин, М.А. Гецьман, К.Е. Панкин //ЖФХ. 2004. Т.78. №3. с.503-506.

61. Швец В.А. Развитие метода эллипсометрии для исследования неоднородных слоистых структур : Автореферат дисс. канд.физ.-мат.наук., Новосибирск, 1988, 17 с.

62. Штейнман A.A. Циклодекстрины // Журн. Всерос. хим. о-ва. 1985. Т.30.5. C.514-518.

63. Szejtli J. Introduction and General Overview of Cyclodextrin Chemistry // Chem. Rev.- 1998.- Vol. 98, N5.- P.1743-1753.

64. Li S. Cyclodextrins and Their Application in Analytical Chemistry / S. Li, W.C. Purdy // Chem. Rev.- 1992.- Vol.92, N.9.- P. 1457-1470.

65. Hedges A.R. // Chem. Rev. 1998. V.98. №5. P.2035.

66. Rekharsky M.V., Inoue Y. // Chem. Rev. 1998. V.98. P. 1875.

67. Steed J.W., Atwood J.L.// Supramolecular Chemistry, Wiley, Chichester, 2000.

68. Janshoff A. Monofunctionalized P-Cyclodextrin as Sensor Elements for the detection of Small Molecules / A. Janshoff, C. Steinem, A. Michalke, C. Henke, H.-J. Galla // Sensors and Actuators B.-2000.- Vol.70.- P.243-84.

69. Yang R-H. A Host-Guest Optical Sensor for Aliphatic Amines Based on Liphophilic Cyclodextrin / R.-H. Yang, K. Wang, D. Xiao, X.-H. Yang //Fresenious J. Anal. Chem.- 2000.- Vol.367.- P.429-435.

70. Croft A.P. Synthesis of Chemically Modified Cyclodextrins / A.P. Croft, R.A. Barysch // Tetrahedron.- 1983.- Vol.39, №4.- P.1417-1474.

71. Zhang P. Formation of Amphiphilic Cyclodextrins via Hydrophobic Esterification at the Secondary Hydroxyl Face / P. Zhang, Ch.-Ch. Ling, A.W. Coleman, H. Parrot-Lopez, H. Galons // Tetrahedron Letters.-1991.-Vol.32, №5.-P.2769-2770.

72. Ueno A., Breslow R. // Tetrahedron Lett. 1982. V.23. P.3451.

73. Khan A.R., Fordo P., Stine K.J., D'Souza V.T. // Chem. Rev. 1998. V.98. № 5. P.1977.

74. Kawabata Y. Langmuir-Blodgett Films of Amphiphilic Cyclodextrins / Y. Kawabata, M. Matsumoto, T. Nakamura, M. Tanaka, E. Manda //Thin Solid Films.-1988.-Vol. 159.- P. 353-358.

75. Kobayshi K. Monomolecular layer formation of amphiphilic cyclodextrin derivatives at the air/water interface / K. Kobayashi, K. Kajikumo, H. Sasabe, W. Kholl // Thin Solid Films. 1999. - Vol. 349. - P. 244-249

76. Schalchli A. Structure of a Monomolecular Layer of Amphiphilic

77. Cyclodextrins / A. Schalchli, JJ. Bennatar, P. Tchoreloff, P. Zhang, A.W. Coleman//Langmuir.-1993.-Vol.9, №.8.-P. 1968-1970.

78. Matsumoto M. Molecular Recognition by Amphiphilic Cyclodextrins in Langmuir-Blodgett Films / M. Matsumoto, M. Tanaka, R. Azumi, H. Tachibana, T. Nakamura Y. Kawabata // Thin Solid Films.- 1992.- Vol.210/211.- P.803-805.

79. Nakahara H. Selective Inclusion of Naphthalene Derivatives by Monolayers of Amphiphilic Cyclodextrins at the Air-water Interface / H. Nakahara, H. Tanaka, K. Fukuda, M. Matsumoto, W. Tagaki //Thin Solid Films.- 1996.- Vol.284/285.-P.687-690.

80. Ling С-С., Darcy R., Risse W. // J. Chem. Soc. Chem. Commun. 1993. P.438.

81. Гутман Ф. Органические полупроводники / Гутман Ф., Лайонс Л. : Пер. с англ. М.: Мир, 1970. 696 с.ф 90. Органические полупроводники / Под ред. A.B. Топчиева. М.: Изд-во АН1. СССР, 1963.-317 с.

82. Као К. Перенос электронов в твёрдых телах. 4.1. / Као К., Хуанг В. М.: Мир, 1984.-350 с.

83. Као К. Перенос электронов в твёрдых телах. В двух частях. Ч. 2 / Као К., Хуанг В.: Пер. с англ. -М.: Мир, 1984. 350 с.

84. Левченко Е.Б. Молекулярное зодчество / Левченко Е.Б., Львов Ю.М. // Природа. 1990. №3. С.3-11.

85. Ковальчук М.В. Молекулярный конструктор Ленгмюра-Блоджетт / Ковальчук М.В., Клечковская В.В., Фейгин Л.А. // Природа.2003. №12. С.11-19

86. Максимычев A.B., Степина Н.Д., Матюхин В.Д., Воробьев A.B., Тимашев // ЖФХ. 1997. Т.71. № 12. С.2216.

87. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Перевод с английского Брандон Д., Каплан У., "Техносфера" 2004, 377 стр.

88. Petty М.С. //Thin Solid Films. 1992. V.210/212. P. 417.

89. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Перевод с английского Брандон Д., Каплан У., "Техносфера" 2004, 377 стр.

90. A.A. Батаев (ред.). Физические методы контроля структуры и качества материалов / Батаев А. А., Батаев В. А., Тушинский Л. И., Которое С. А., Буторин Д. Е. // Учеб. пособ. Новосибирский гос. технический ун-т

91. Новосибирск, 2000. 154 с. : рис.

92. Fujiwara I. Scanning tunneling microscopy study of a polyimide Langmuir-Blodgett film / I. Fujiwara, C. Ishimoto, J. Seto // J. Vac. Sei. Technol. (B).-1991.- Vol. 9, №2.- P. 1148-1153.

93. Baker S. The Preparation of High Quality Y-type Polyimide Langmuir-Blodgett films / S. Baker, A. Seki, J. Seto // Thin Solid Films. 1989. - Vol.180. -P .263-270.

94. Штыков C.H. Наноразмерные гетероструктуры: пленка Ленгмюра-^ Блоджетт на основе ß-циклодекстрина монокристалический кремний / С.Н.

95. Р Штыков, Б.Н. Климов, К.Е. Панкин, Д.А.Горин, М.А.Гецьман, Г.И.

96. Курочкина, А.Е. Глазырин, М.К. Грачев // Оптика, оптоэлектроника и технологии: Труды междун.конф. Ульяновск: УлГУ, 2002г., с. 147

97. Kim Т., Park J., Choi J., Kang D. // Thin Solid Films. 1996. V.284-285. P. 500.

98. Szejtli J. Introduction and General Overview of Cyclodextrin Chemistry //

99. Chem. Rev.- 1998.- Vol. 98, N5.- P. 1743-1753.

100. Холманский A.C., Румянцев Б.М., Гольдинг И.Г. и др. // ЖФХ. 1990. № 6. С.1630.

101. Свиташева С.Н. Особенности решения обратной задачи эллипсометрии для сильно поглощающих пленок // Автометрия. 1996. №4. С.119

102. Tronin A., Shapovalov V. Ellipsometric model for two-dimensional phase transition in Langmuir monolayer // Thin Solid Films. 1998. 313-314. P.785

103. Климов Б.Н. Эллипсометрическое исследование пленок Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты содержащих органический краситель Родамин Б / Б.Н. Климов, Д.А. Горин, С.Н. Калашников, М.А. Гецьман // Автометрия, 2002, №2, с. 115-119

104. Kinalekar M.S. Simultaneous determination of a-, P- and y-cyclodextrins by LC / M.S. Kinalekar, S.R. Kulkarni, P.R. Vavia // Journal of Pharmaceutical and Biomedical Analysis.- 2000,- Vol.22.- P.661- 666.

105. Kakimoto M, Suzuki M, Imai Y, Iwamoto M, Hino T. // Chem. Lett. 1986. P. 823.