Влияние модификации пленок Ленгмюра-Блоджетт диметилоктадециламмониевой соли полиамидокислоты на их электрофизические и оптические свойства тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат химических наук Горин, Дмитрий Александрович

• Горин, Дмитрий Александрович
• кандидат химических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат химических наук Горин, Дмитрий Александрович

Список условных обозначений и сокращений

Введение

Глава 1. Анализ особенностей формирования ленгмюровских монослоев и получения полимерных пленок Ленгмюра-Блоджетт, их физико-химические, оптические и электрофизические свойства

1.1. Монослои высокомолекулярных соединений на границе

раздела фаз вода- воздух

1.2. Ленгмюровские монослои молекул соли полиамидокислоты, получение полиамидных и полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт

1.3. Микрорельеф, оптические свойства полиамидных и полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт

1.4. Электрофизические и фотоэлектрические свойства полиамидных и полиимидных пленок, полученных методом полива и методом Ленгмюра-Блоджетт

1.5. Электрофизические свойства структур металл-диэлектрик -металл, металл- диэлектрик-полупроводник, где в качестве диэлектрика используются пленки Ленгмюра-Блоджетт

1.6. Выводы по главе

Глава 2. Реактивы, техника и методика измерений и расчета

2.1. Реактивы

2.2. Описание модернизированной установки УНМ

2.3. Получение исследуемых образцов

2.4. Эллипсометрический метод исследования ПЛБ

2.5. Исследования микрорельефа и спектральных свойств ПЛБ

2.6. Методы исследования электрофизических свойств

МДП и МДМ-структур, содержащих ПЛБ

2.7. Выводы по главе

Глава 3. Формирование ленгмюровских монослоев, получение и микрорельф пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты

3.1. Диаграммы сжатия и кривые стабильности монослоев соли полиамидокислоты и их зависимость от температуры

3.2. Стабильность смешанных монослоев "органический краситель-соль полиамидокислоты"

3.3. Диаграммы сжатия смешанных монослоев "органический краситель-соль полиамидокислоты" и их зависимость от температуры

3.4. Получение пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты. Коэффициент переноса.

3.5. Топограммы поверхности пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты

3.6. Выводы по главе

Глава 4. Влияние термической имидизации, введения органических красителей на оптические свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты

4.1. Термическая имидизация пленок Ленгмюра-Блоджетт

4.2. Показатели преломления и толщины полиамидной и полиимидной пленок Ленгмюра-Блоджетт

4.3. Спектральные характеристики пленок Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты, содержащих органические красители

4.4. Результаты эллипсометрических исследований пленок Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты содержащих органические красители.

4.5. Выводы по главе

Глава 5. Электрофизические свойства системы пленка Ленгмюра

-Блоджетт - неорганическая подложка и влияние на них термической имидизации соли полиамидокислоты

5.1. Электрофизические свойства системы пленка Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты- неорганическая подложка

5.2. Влияние термической имидизации ПЛБ соли полиамидокислоты на электрофизические свойства МДП-структур её содержащих.

5.3. Влияние изменения влажности на электрофизические свойства планарных структур металл-полиамидная пленка

Л енгмюра-Б л о джетт-металл

5.4. Влияние освещенности на электрофизические свойства структур пленка Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты- неорганическая подложка

5.5. Выводы по главе

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Влияние модификации пленок Ленгмюра-Блоджетт диметилоктадециламмониевой соли полиамидокислоты на их электрофизические и оптические свойства»

Упорядоченные молекулярные ансамбли, создаваемые методом Ленгмю-ра-Блоджетт (ЛБ) являются перспективным объектом для разработки элементной базы электронных приборов на молекулярном уровне и использования в тонкой химической технологии (создание рецепторных центров твердотельных сенсоров в том числе и медицинского применения, мембран и т.д.). Задача создания молекулярных устройств с заданными функциями не может быть решена без использования высокомолекулярных соединений. Это обусловлено их высокой термостойкостью и возможностью управления физико-химическими свойствами, образуемых ими пленок. Одним из примеров пленок получаемых на основе высокомолекулярных соединений являются полиимидные пленки Ленгмюра-Блоджетт (ПЛБ). Полиимидные ПЛБ находят применение в качестве ориентирующих слоев в жидкокристаллических ячейках, позитивных фоторезистах, диэлектрических покрытиях [1]. Изготовлению полиимидных ПЛБ обычно предшествует стадия получения ПЛБ соли полиамидокислоты и далее её имидизации термическим, химическим способами или облучением УФ- излучением. В большинстве случаев используется химический метод имидизации, другие методы и их влияние на электрофизические, оптические и физико-химические свойства ПЛБ изучены в меньшей степени.

Дополнительный путь расширения областей практического применения пленок ЛБ на основе соли полиамидокислоты состоит в модификации их физических и химических свойств при введении в монослои добавок различной природы. Следует также отметить, что в литературе, посвященной исследованию физических и химических свойств полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт, практически отсутствует сравнительный анализ их свойств со свойствами широко используемых в практики полиимидных пленок, полученных методом "полива". Такой анализ позволил бы оценить роль организованных структур в изменении свойств как самих полиамидных и полиимидных матриц, так и иммобилизованных в них молекул - зондов.

Таким образом, исследование различных способов модификации электрофизических, оптических и физико-химических свойств ПЛБ на основе соли полиамидокислоты позволит расширить области их практического применения и представляется весьма актуальным.

В связи с выше изложенным целью работы явилось установление закономерностей формирования ленгмюровских монослоев и пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты и исследование их оптических и электрофизических свойств при термической имидизации, введении органических красителей.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1) исследовать влияние температуры субфазы на поведение смешанных монослоев соли полиамидокислоты на границе раздела фаз "вода - воздух" при сжатии;

2) получить пленки Ленгмюра-Блоджетт на неорганических подложках из монокристаллического кремния р и п- типа, кварца, стекла и проанализировать топограммы микрорельефа поверхности полученных пленок;

3) получить спектральные (УФ-, ИК- и видимый диапазоны) характеристики и определить показатель поглощения, показатель преломления и толщину пленок Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты и системы "соль полиамидокислоты - органический краситель" различного состава и способа получения;

4) изучить влияние процесса термической имидизации на спектральные характеристики, показатель преломления, толщину и электрофизические свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт диметилоктадециламмониевой соли полиамидокислоты;

5) изучить воздействие света и изменение влажности на электрофизические свойства систем: пленка Ленгмюра - Блоджетт на основе соли полиамидокислоты - неорганическая подложка

Научная новизна:

1. обнаружено уменьшение и отсутствие изменения коэффициента переноса монослоев соли полиамидокислоты от числа нанесенных слоев по Ъ-т\ту и по У-типу, соответственно;

2. на основе анализа микрорельефа поверхности полиамидной пленки Лен-гмюра-Блоджетт выявлены дефекты типа "зона преимущественного роста";

3. определен (эллипсометрический метод) показатель преломления и толщина пленки Ленгмюра-Блоджетт до и после имидизации диметилоктадецилам-мониевой соли полиамидокислоты;

4. показана зависимость величины гистерезиса вольт-фарадных характеристик структур металл - диэлектрик - полупроводник (МДП) от толщины диэлектрической пленки Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты и установлено влияние процесса имидизации на величину и направление обхода петли гистерезиса вольт-фарадных характеристик МДП-структур.

5. проведено сравнение электрофизических и оптических свойств полиимид-ных пленок, полученных по технологии Ленгмюра-Блоджетт и методом полива.

Практическая значимость работы.

Полученные результаты уточняют и расширяют представления о влиянии внутренней упорядоченности в полиимидных пленках на их оптические и электрофизические свойства, а также влиянии процесса термической имидизации на электрофизические и оптические свойства структур: неорганическая подложка -пленка Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты.

Установлена возможность использования пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты в качестве промежуточного слоя для увеличения фототока в структурах алюминий - монокристаллический кремний р- и п-типа, что может найти применение для улучшения параметров и характеристик фотопреобразующих устройств.

Показано влияние влажности на электрофизические свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты. Предложено учитывать этот факт при использовании пленок Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты в качестве диэлектрических и пассивирующих покрытий и создании датчиков влажности.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Данные о влиянии температуры на поведение смешанных монослоев соли полиамидокислоты при сжатии и некоторые закономерности их переноса на неорганические подложки.

2. Результаты экспериментальных исследований влияния термической имиди-зации диметилоктадециламмониевой соли полиамидокислоты на оптические и электрофизические свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт.

3. Увеличение фототока в структурах алюминий - монокристаллический кремний, при использовании полиамидных и полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт в качестве промежуточного слоя.

4. Данные о влиянии изменения влажности на электрофизические свойства структур металл-диэлектрик-металл, содержащих пленку Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты.

Личный вклад автора заключается в исследовании поведения монослоев на основе соли полиамидокислоты на границе раздела вода - воздух и их переноса на неорганические подложки методом Ленгмюра-Блоджетт, анализ их микрорельефа; исследовании электрофизических свойств продольных и поперечных структур металл-диэлектрик-металл, металл-диэлектрик-полупроводник, содержащих пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты и влияние на них изменения освещенности и влажности; исследовании влияния термической имидизации, введения красителей на оптические и электрофизические свойства пленок Ленгмюра - Блоджетт.

Апробация работы. Основные результаты работы были представлены на Студенческой научной конференции Колледжа прикладных наук СГУ (Саратов, 1997), Всероссийской конференции молодых ученых "Современные проблемы теоретической и экспериментальной химии" (Саратов, 1997), Международной конференции "Оптика полупроводников" (Ульяновск, 1998), Международной XXXVI научной студенческой конференции " Студент и научно- технический прогресс" (Новосибирск, 1998), XXIV Европейском конгрессе по молекулярной спектроскопии ( Прага, 1998), Научно-технической конференции "Проблемы экологической безопасности Нижнего Поволжья в связи с разработкой и эксплуатацией нефтегазовых месторождений с высоким содержанием нефти и газа" (Саратов, 1998), Научно-технической конференции "Проблемы экологической безопасности Нижнего Поволжья" - (Астрахань, 1999), Международной конференции " Диэлектрики -2000" (Санкт-Петербург, 2000), Международной конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения (АПЭП-2000)"(Саратов, 2000).

Публикации: по результатам работы опубликовано 13 работ в отечественной и зарубежной печати.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа изложена на 155 страницах, включая введение, пять глав, список использованных источников (111 источников). Работа содержит 39 рисунков и 9 таблиц. В первой главе представлен обзор литературы, в котором особое внимание уделялось анализу результатов исследований по получению и свойствам полиамидных и полиимидных монослоев и пленок. Во второй описаны реактивы, техника и методика эксперимента и расчета. В третьей главе описано исследование ленгмюровских монослоев, получение ПЛБ и их микрорельеф. В четвертой главе описаны оптические свойства полиамидных и полиимидных ПЛБ. В пятой главе представлены результаты исследования электрофизических свойств систем: ПЛБ на основе сПАК - неорганическая подложка.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Горин, Дмитрий Александрович

Выводы

1. Получены пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе диметилоктадециламмониевой соли полиамидокислоты, проведена их > модификация термическим способом, введением органических красителей и изучены оптические и электрофизические свойства модифицированных ПЛБ. Установлено влияние имидизации диметилоктадециламмониевой соли полиамидокислоты на оптические и электрофизические свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт: увеличение показателя преломления с 1.51±0.02 до 1.69±0.01 и уменьшение толщины монослоя с 1.9±0.3 нм до 0.7±0.2 нм; изменения в спектрах поглощения в ПК- и УФ-области; уменьшение величины и изменение направления обхода петли гистерезиса вольт-фарадных характеристик структур металл - пленка Ленгмюра-Блоджетт - кремний с "поляризационного" на "инжекционный".

2. Показано, что поведение смешанных монослоев на основе системы "соль полиамидокислоты - органический краситель" при сжатии зависит от температуры субфазы, причем для системы конго красный -соль полиамидокислоты при температурах 20°С и выше наблюдается изотерма сжатия, имеющая ярко выраженный минимум, который отсутствует на изотермах сжатия при уменьшении температуры субфазы до 16 °С и менее. Для смешанных монослоев соль полиамидокислоты - бензопурпурин минимум на изотермах сжатия не наблюдается в интервале температур субфазы от 7 °С до 28 °С. Установлено, что более высокой стабильностью в смешанных слоях с солью полиамидокислоты обладают более гидрофобные красители родамин Б и бензопурпурин по сравнению с менее гидрофобными родамином 200В и конго красным. Добавка красителей конденсирует монослой соли иолиамидокислоты, причем азокрасители конденсируют монослой сильнее, чем ксантеновые.

3. Обнаружено отсутствие зависимости значения коэффициента переноса от числа слоев при нанесении слоев по У-типу и уменьшение > коэффициента переноса монослоев соли полиамидокислоты по Ъ-типу с увеличением их числа, которое связано с ростом экспериментально обнаруженных дефектов.

4. При исследовании зарядовых свойств МДП-структур, содержащих пленки Ленгмюра-Блоджетт сПАК, методом высокочастотных вольт-фарадных характеристик (ВФХ) установлено, что величина гистерезиса ВФХ структур увеличивается с ростом числа монослоев соли полиамидокислоты, заряд в пленке имеет отрицательный знак.

5. Показана возможность использования пленки Ленгмюра-Блоджетт на основе соли полиамидокислоты в качестве промежуточного слоя для контакта алюминий - монокристаллический кремний, который позволяет увеличить величину фототока.

6. Обнаружено уменьшение на два порядка сопротивления планарных МДМ- структур, содержащих полиамидную ПЛБ по сравнению с аналогичными структурами без ПЛБ при изменении влажности окружающей среды и связанное с диффузией молекул воды в ПЛБ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Горин, Дмитрий Александрович, 2000 год

1. Арсланов.В.В. Полимерные монослои и пленки Ленгмюра Блоджетт. Влияние химической структуры полимера и внешних условий на формирование и свойства организованных,молекулярных ансамблей // Усп. химии. -1994. -Т.63, № 1. - С.3-42.

2. Блинов Л.М. Физические свойства и применение ленгмюровских моно-и мультимолекулярных структур // Усп. химии.- 1983. -Т.52, Вып. 8. С. 1263-13Q0.

3. Блинов Л.М. Ленгмюровские пленки // Усп. Физ. наук,- 1988. -Т.155, Вып. 3. С. 443-475.

4. Адамсон А. Физическая химия поверхностей М.: Мир, 1979. -568 с.

5. Kakimoto М., Suzuki М., Konishi Т, Imai У., Iwamoto У., Hino Т. Preparation of mono- and multilayer films of aromatic polyimides using Langmuir Blodgett technique. // Chem. Lett. - 1986. - P.823-826.

6. Кухарь В.П., Мищенко Н.И., Цурук В.В., Петраш С.Ю., Шелудько Е.В, Толмачов А.В., Крайнов И.П. Получение и исследование молекулярной структуры пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе полиимидов. // Докл. АН. Укр. ССР. 1991, №3. С.119-123.

7. Холманский А.С., Румянцев Б.М., Гольдинг И.Г.,Выгодский Я.С., Котов Б.В., Чурочкина Н.А.,Скворцов С.И . Спектрально-люминесцентные свойства и электропроводность полиимидных ленгмюровских пленок // Жур. физ. химии -1990. № 6. С.1630 - 1637.

8. Kim Т., Park J., Choi J., Kang D. 7i-A-isoterms and electrical properties of polyamic acid alkylamine salts (PAAS) Langmuir-Blodgett films. // Thin Solid Films -1996. V.284-285.- P.500-504.

9. Kakimoto M., Morikava A. Measurement of the long alkyl chain tilting angle of Langmuir Blodgett of polyamik acid alkilamine salts // J. Colloid and Interface Sci. - 1988. -Vol. 121 -P.599.

10. Емельянов Ю.Л., Синицин C.B., Луневич А .Я., Глобова И.И., Федоров А.Н., Хатько В.В. Исследование структурных превращений в полиимидных пленках Ленгмюра- Блоджетт методом ренгеновской рефлектрометрии // Поверхность, 1993. №6. С.95-99

11. Федоров Е.Ю., Кузьмин Н.Г., Коряев Е.Н., Холкина Т.В Знакосинтезирующая электроника: структура и физическая химия полиимидных ориентирующих пленок Саратов: СГАП, 1999.-208 с.

12. Yuba Т., Kakimoto М., Imai Y., Morphology of LB Films of Poliamic Acid Long Alkil Amine Salt of Speading Solvents // Kobushi Robanshu, 1994, Vol. 51, № 12. -P.813-818

13. Sorita Т., Miyake S., Fujioka H., Nakajima. H. Dependence of In- Plane Ariisotropy in polyimide Langmuir-Blodgett Films on Molecular Weight of Poliyamic Acid // Jap. J. Appl. Phys. Pt. 1. 1991. V.30. P. 131-135.

14. Baker S., Seki A. and Seto J. The preparation of high quality Y-type polyimide Langmuir Blodgett films // Thin Solid Films. - 1989. - Vol.180. - P .263-270.

15. Fujiwara I., C. Ishimoto, J. Seto. Scanning tunneling microscopy study of a polyimide Langmuir- Blodgett film // J. Vac. Sci. Technol. (B) 1991. Vol. 9, №2. P.1148-1153.

16. Y. Zhu, W. Xing, Y. Li, M. Ding, G. Sun, D. Guo, T. Lu. Direct deposition and characterisation of Langmuir-Blodgett monolayers of soluble polyimides. // Thin Solid Films. 1997. - Vol.303.- P.282-286.

17. Арсланов.В.В. Полимерные монослои и пленки Ленгмюра Блоджетт. Полиреакции в организованных молекулярных ансамблях; Структурные превращения и свойства // Успехи химии. -1991, -Т.60. № 6. - С.1115-1189.

18. Susuki М. .Photosenstive polyimide Langmuir Blodgett from 4-( 17 -oktadecinyl) pyridine and polyamic acid // Thin Solid Films. - 1989. - Vol. 80. -P.253 -261.

19. Полимиды класс термостойких полимеров/ Бессонов М. П., Котон М.М., Кудрявцев В.В., Лайус Л.А. - Л.: Наука, 1983.- 328 с.

20. Штыков C.H., Климов Б.Н, Смирнова Т.Д, Глуховской Е.Г.,

21. Истрашкина Е.В., Сумина Е.Г., Свойства пленки Ленгмюра-Блоджетт на основеметилового оранжевого и полиамидокислоты. // Журн. физ. химии, 1997, Т.71, №7. -С. 1292-1295.

22. Русанова Т.Ю.Получение, люминесцентные и протолитические свойства пленок Ленгмюра-Блоджетт с иммобилизованными хромофорными соединениями Дисс. канд.хим.наук.- Саратов, 1999 г.150. С

23. Акимов И. А., Черкасов Ю. А., Черкашин М.И. Сенсибилизированный фотоэффект. М.: Наука, 384 с.

24. Iwamoto М., Kasachara S., Yoneda Y., Iriyama К., Y. Nishikato. Fabrication of fine patterns by positive working resists using a polyimide Langmuir-Blodgett film system. Thin Solid Films . -1992. Vol. 210/211. - P. 461.

25. Борщаговский Е.Г, Гецко О. М., Лозовский В.З., Снитко О.В., Юрченко И.А. О переносе энергии вдоль слоя молекул адсорбированных на поверхности твердого тела // Укр. Физ. журнал, 1987. т.32, №10. -С.1503-1508.

26. Szentpaly L.V., Mobus D. and Kuhn Н. Proof of Energy Transfer and Absence of Electron Injection in Spectral Sensitization of Evaporated AgBr by Oxacarbonozianine. // J. Chem. Phys.-1970. -Vol.52, №9. -P.4618-4626.

27. Зайцев В.Б., Козлов C.H., Родионова Е.Г. Сенсибилизация ионной миграции по поверхности диоксида кремния молекулами красителя. // Поверхность. -1993., №3. С.85-89

28. Киселев В.Ф, Козлов С.Н., Плотников Г.С. О стимулировании разрядки глубоких уровней диэлектрика путем электронного возбуждения адсорбированных молекул. // Письма в ЖТФ. 1981. Том.7, вып. 16, - С.992-995

29. Киселев В.Ф., Львов Ю. М., Плотников Г.С,. Постникова. О.А, Оптическая память в структурах кремний- фталоцианиновые пленки Ленгмюра-Блоджетт // Микроэлектроника. 1990. том 19, вып. 4. - С. 341

30. Знаменский Д.А., Моисеев.Ю.Н., Мостепаненко В.Н., Панов В.И., Тодуа П.А. Сканирующая силовая микроскопия мономолекулярных слоев стеарата кадмия // Поверхность. 1992. № 7. - С .98.

31. Heckl Wolwgan.H. Scanning tunneling microckopij of organik and biomolecules // Thin Solid Films . -1992. Vol. 210/211. - P. 640 -647.

32. Seidl M., Scurr V., Brugger A., Volz E., Voit H. Zinc oxide thin films preparaded by means of Langmuir-Blodgett multilayers. // Appl. Phys. -1999. A68.-P.81-8534. http://www.ntmdt.ru

33. Sotobayshi, Schiling T. and Tesche B. Scanning Tunneling Microckopy of Polyimide Monjlayers Prepared by the Langmuir-Blodgett Technique.// Langmuir. 1989, Vol. 6,-P.1246-1250.

34. Engelsen D. Ellipsometry of anisotropi films // J. Opt. Soc. of America. 1971. Vol. 61, №11.-P. 1460.

35. Тренин Л.Ю., Константинова. Эллипсометрическое исследование анизотропии Ленгмюровской пленки арахината свинца // Поверхность 1992. № 5. - С.82.

36. Кручинин Л.Г., Репинский С.М., Свешникова Л.Л.,.Лувинец Э.М., Долина И.П., Сысоева Н.П. Эллипсометрическое исследование фотополимеризации моно- и мульти слоев диацетиленов // Поверхность. 1991. №12. - С. 5-11.

37. Kakimoto М., Morikava A. Measurement of the long alkil chain tilting angle of Langmuir Blodgett of polyamik acid alkilamine salts // J. Colloid and Interface Sci. - 1988. -Vol. 121.-P.599.

38. Бекетов Г.В., Казанцева З.И. Применение эллипсометрии для исследования пленок Ленгмюра-Блоджетт // Эллипсометрия в науке и технике. Вып.2 / отв. ред. чл.-корр. АН СССР Свиташев, к.ф.-м.н. А.С.Мардетов. Новосибирск. ИФПСО АН СССР. 1990. - С. 134-139.

39. Гаврилюк И.В., Казанцева З.И., Лаврик Ю.М., Набок.A.B., Ширшанов Ю.М., Пленки Ленгмюра Блоджетт на основе цианокриловой кислоты в качестве диэлектрических покрытий на полупроводниках. //Поверхность. -1991. №11.- С. 92.

40. М. Iwamoto, S. Shidoh. Electrical Properties of Au/Polyimide/Squarylium-Arachidic Acid junctions fabricated by the Langmuir-Blodgett technique // Jap. J. Appl. Phys. Pt. 1. 1990. V.29. P. 2031-2037.

41. Органические полупроводники./ Под ред.A.B. Топчиева,-М.: Изд. АНСССР, 1963. 317 с.

42. Лущейкин Г.А. Методы исследования электрических свойств полимеров.-М.: Химия, 1988.-.160 с.

43. Гутмане Ф. и Лайонс Л. Органические полупроводники. М.: Мир, 1970. -696. с.

44. ШувалевВ.П., Сажин Б.И., Скурихина B.C. О механизме неомической электропроводности и релаксации тока в полимерных диэлектриках // Высокомол. соед. 1975. Т.27, № 5. С.1058-1063.

45. Справочник по электротехническим материалам. Под ред. Корицкого Ю.В. В.В. Пасынкова, Б.Н. Тареева., М.: Энергоатомиздат,1986. т.1. 362с.

46. Воищев B.C., Михантьев Б.И., Сажин Б.И. и др. Электрические свойства некоторых полипиромеллитимидов // Высокомолек. соед. 1973, т.Б.15, №5. -С.361-365.

47. Воищев B.C., Сажин Б.И., Михантьев Б.И и др. Электропроводность, фотоэлектродвижущая сила и электронные спектры поглощения полипиромеллитимидной пленки и полибензооксана// Высокомолек. соед. -1973. т.Б.15, №Ю. С.775-778.

48. Воищев B.C., Колнинов О.В., Гордина Т.А. и др. Электрические, фотополупроводниковые и парамагнитные свойства полипиромеллитимидов//Высокомолек. соед.- 1974, т.Б.16, №4. С.361-365.

49. Мыльников B.C. Фотопроводимость полимеров,- Л.: Химия, 1990. 240с.

50. Sessler G.M., Hahn В. and Yoon D.Y. Electrical condaction in poliimide films

51. J. Appl. Phys. 1986. V.60. P. 318-326.

52. Корзо В.Ф., Черняев B.H. Диэлектрические пленки в микроэлектронике. М.: "Энергия", 1977. 366 с.

53. Воищев B.C. Электрические свойства гетероциклических полимеров. Автореф. канд.дисЛ., 1974.

54. Файнштейн Е.Б., Лущейкин Г.А., Игонин Б.А. Исследование особенностей электропроводности и диэлектрических потерь полипиромеллитимда с применением высокого давления. // Высокомолек. соед. 1974. т.А16, №7. -С.1677-1680.

55. Файнштейн Е.Б., Игонин Л.А., Лущейкин Г.А., Емельянова Л.Н. Исследование особенностей электропроводности и диэлектрических потерь ряда полиимидов с применением высокого давления. Высокомолек. соед., 1974, т.А16, №7, с.1677-1680.

56. Iida К., Waki М, Nakamura S. а. о. // Jap. J. Appl. Phys. Part 1. 1984. Y.23. P. 1573-1576.

57. Ieda K.,Tanimito K, Nakamura S. a. o. // Jap. J. Appl. Phys. Part 1. 1986. V.25. P. 1542-1546.

58. Day D.R. Polyimimde coatings for microelectronic applications., Masachusetts Institute of Technology, USA 1983. P.l 14-138 Перевод И-41339.

59. Davis G.C. ,Heath B.A., Gildenblat G. Polyimides. Synthesis characterization and application. New York, 1984, P.847-869 Перевод Л-21457

60. Ито. У и др. Органические материалы для электроники. Часть 1, Денси гидзюцу сого кэнюосе теса хококу, 1980. б.т. № 204, -С.1-С.87. Перевод Д-12307

61. Lin Jacob.W. Use of polyimide dielectric for microelectronic packaying and passivation layer for 1С chips. Polyimide coatings for microelectronic applications. 1983, p.229-266.

62. Itoh E., Iwamoto M. Interfical electrostatic phenomena and capacitance-voltage characteristics of ultrathin polyimide Langmuir-Blodgett films // J. Appl. Phys. 1999. V.85. P. 7239-7243.

63. Iwamoto M., Fukuda A. Surface potential of polyimide Langmuir-Blodgett films deposited on metal electrodes // Jap.J. Appl. Phys. Pt.2.-1990.V.29, № 4.- P. L638-L640.

64. Rao V. J., Kulkarni V. S. Interface barrier height in n-GaAs(100)/ Langmuir-Blodgett film structures // Thin Solid Films.- 1991. -Vol. 198,- P. 357-362.

65. Dharmasuda I.M., Roberts G.G., M.C. Petty Cadmium Telluride/Langmuir film photovoltaic structures// Electronic Letters.- 1980. -Vol.16, №6. P.201-P.202.

66. Дешевой A.C., Матвеева H.K., Мягков И.В. Электрические параметры структуры кремний- полимолекулярные слои Ленгмюра- Блоджетт- металл. //Микроэлектроника. 1985. том 24, вып. 4. - С.359-362.

67. Матвеева Н.К., Пасеков В.Ф., Савельева Л.В. МДП- структуры с ленгмюровскими пленками на антимониде индия.// Микроэлектроника. -1991. том 20, вып. 5. С.501-503.

68. Германенко A.B., Ларионова В.А., Миньков Г.М., Рут. О.Э Пленка Ленгмюра-Блоджетт в качестве диэлектрика в МДП- транзисторе на основе CdxHgi-xTe.// Физика и техника полупроводников. 1992. том 26, вып. 12. - С. 2137-2138.

69. Гиновкер A.C., Репинский С.М., Свешникова Л.Л., Чернобережский .Ю.М., Янклович А.И., Получение мультимолекулярных слоев и исследование их свойств с помощью МДП-систем. // Поверхность. -1984, №2. С.116.-121.

70. Казанцева З.И., Лаврик М., Набок A.B., Нестеренко Б.А., Ширшев Ю.М., Близнюк В.М. Физические свойства диэлектрических пленок Ленгмюра -Блоджетт на кремнии // Укр. физ. ж. 1989. - Т.34, № 19. - С.1398-1404.

71. Дешевой A.C., Матвеева Н.К., О поверхностных состояниях МДП-структур с диэлектриком из слоев Ленгмюра- Блоджетт на основе фталоционина кобальта. //Микроэлектроника. 1989. том 18, № 6. - С.565-С.567

72. М.С. Petty, Langmuir-Blodgett films.- Cambrige University Press.-1996. -234 p.

73. Знаменский Д.А. "Электрофизические свойства структур металл-полимерная Ленгмюровская пленка" Дис. к. ф. м. н. 124 е., Сб.рефератов НИР и ОКР сер. 16, 5-1992 С.24

74. Знаменский Д.А., Леонтович Б. Н., Максимовский С.Н., Сидоров П.П., Тодуа П.А., Уласюк В.Н. Электрофизические свойства ленгмюровских МДП-структур на основе арсенида галия // Краткие сообщения по физике, ФИАН -1990, №8.-С.18-С.20

75. Стриха В.И., Бузанева Е.В. Физические основы надежности контактов металл- полупроводник в интегральной электронике.- М: Радио и связь, 1987. -256 с.

76. Репинский С.М. Организованные молекулярные ансамбли, как рецепторные центры твердотельных химических датчиков // Журн. структ. химии. -1993. -Т.34, № 6. С. 86-89.

77. Чечиль О.В., Николаев E.H. Использование ПЛБ в качестве регистрирующих слоев оптической информации. // Усп. Химии . -1990. Т.59. №11. - С.1888 -1904.

78. Веденеев С.И., Георгебиани А.Н.,Левит А.Д., Рамбиди Н.Г., Тодуа П.А., Шестокова Е.Ф., Ельтазаев Б.П. Излучательные и электрофизические свойства МДП- структур на основе CdS и Ленгмюровской пленки // ФТП, 1988. т 22, вып.5. -.С.936-938.

79. Саввш Ю.М., Толмачев О.В., Кудшова М.О., Ткачев. В.О. Фотоэлектричш властивост! кремнешвого нашвпроводника модифщрованного шивкой Ленгмюра-Блоджетт // Укр. Фз. Журн.- 1994. Т.39.,№4. С. 472-476

80. Головина А. П., Левшин Л.В. Химический люминесцентный анализ неорганических веществ.-М.: Химия, 1978. -245 с.

81. Мчедлов-Петросян Н.О. Химическое равновесие многофункциональных соединений ксантенововго и трифенилметанового рядов в неводных средах. Дис.д-ра хим. наук. Харьков: ХГУ,1992.-619 с.

82. Jones Т.Р., Porter M.D. Optical pH sensor based on the chemical modification of a porous polymer film // Anal. Chem.-1988. -Vol.60. -P.404-406.

83. Полиимиды новый класс термостойких полимеров/ Адрова H.A., Бессонов М.И., Лайус Л.А., Рудаков А.П. - Л.: Наука, 1968.- 211с.

84. Установка для получения ленгмюровских пленок УМН-2. Техническое описание и инструкция по эксплуатации.-М.: НИИОПИК.-1986.-46.с.

85. Чечель О.В., Николаев Е.И. Устройства для получения пленок Ленгмюра-Блоджетт. // Приборы и техника эксперимента. -1991., №4, С. 19

86. Громов В.К. Введение в эллипсометрию, Л: Изд. Ленинградского университета, 1986г.

87. Аззан Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет, М: Мир, 1981г.

88. Бочкин О.И., Брук В.А., Никифоровна Денисова С.Н. Механическая обработка полупроводниковых материалов. Учеб. пос. М:., " Высшая школа",. 1973. -152с.

89. Овсюк В.Н. Введение в физику структур металл-диэлектрик -полупроводник, ч.П. Учебное пособие для студентов физического факультета. НГУ, 1977.- 69с.

90. Овсюк В.Н. Поверхностные состояния в полупроводниках. Учебное пособие. НГУ, 1980.-91с.

91. Колющко В.М., Каплан Г.Д. C-V- метод измерений параметров МОП-структур.-ЦНИИИ В Серия 3."Микроэлектроника" -1977 г. -82 с.

92. Гуртов В.А. Сборник задач по физике поверхности полупроводников. Учебное пособие Петрозоводск, 1985. -92 с.

93. Зи С. Физика полупроводниковых приборов: В 2-х книгах. Кн.1. Пер. С англ. -2-е перераб. и доп. изд.- М.: Мир, 1984. 456 с.

94. Лепёхин A.C., Горин Д.А., Получение и исследование свойств пленок Ленгмюра- Блоджетт, содержащих Родамин 200В.// Студенческая науч. конф. колледжа прикладных наук СГУ. Сб. докл. Саратов: Изд-во ГосУНЦ " Колледж", 1997. С.66-70.

95. Климов Б.Н., Калашников С.Н., Лепёхин, A.C. Горин Д.А. Эллипсометрическое исследование пленок Ленгмюра Блоджетт на основе соли полиамидокислоты // Тр. Междунар. конф. " Оптика полупроводников". Ульяновск: Изд- во УлГУ, 1998. - С. 181.

96. Свиташева С.Н. Особенности решения обратной задачи эллипсометрии для сильно поглощающих пленок. // Автометрия, 1996. №4, с. 119-125.

97. Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: "Советское радио", 1974г, 200 с.

98. Климов Б.Н., Горин Д.А., Калашников С.Н., Гецман М.А. Эллипсомметрическое исследование пленок Ленгмюра-Блоджетт соли полиамидокислоты содержащих органический краситель родамин Б. // Автометрия, 2000. № (принята к печати) v

99. Автор выражает глубокую признательность и благодарность научному руководителю член- корр. РАЕН, д.т.н., профессору Климову Борису Николаевичу и научному консультанту действительному члену РАЕН, д.х.н, профессору Штыкову Сергею Николаевичу.

100. Автор выражает благодарность бессменному соруководителю своих курсовых и дипломной работы (выполненных по тематике диссертационной работы), своему наставнику, ведущему инженеру кафедры физики полупроводников Глуховскому Евгению Геннадьевичу.

101. Автор благодарит доцента КФПП, к.ф-.м.н. Науменко Геннадия Юрьевича за всестороннюю поддержку, внимание и ценные консультации по научной работе.

102. Автор выражает благодарность, ассистенту кафедры аналитической химии, к.х.н. Русановой Татьяну Юрьевну за помощь в работе и плодотворное сотрудничество.

103. Автор выражает благодарность профессору Биленко Д.И. и сотрудникам лаборатории возглавляемой им Полянской В.П и Мельниковой Т.Е. за возможность использовать для измерений эллипсометр ЛЭФ-ЗМ, ценные консультации и помощь.

104. Автор выражает благодарность д.ф.- м.н Яфарову Р.К. зав. лаборатории филиала института радиоэлектроники РАН за возможностьиспользовать атомно-силовой микроскоп, а сотрудникам Сысуеву C.B. и аспиранту Карасеву С.А. за проводимые на нем измерения.

105. Автор выражает благодарность доценту, к.ф.-м.н, Федоренко Я.Г.- Vза ценные консультации в интерпретации результатов электрофизических измерений.

106. Автор выражает благодарность родителям, жене и всем нашим родственникам и друзьям за моральную и материальную помощь и поддержку.