Синтез углеродистых пленок в неизотермической плазме на подложках различных типов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.01, кандидат технических наук Ерузин, Александр Анатольевич

• Ерузин, Александр Анатольевич
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ерузин, Александр Анатольевич

Введение.

1. Механизм процесса полимеризации углеводородов.

1.1. Процесс ступенчатой полимеризации.

1.2. Процесс цепной полимеризации.

1.3. Процесс полимеризации присоединением.

1.4. Процесс свободнорадикальной полимеризации.

1.5. Процесс ионной полимеризации.

1.6. Зависимость механизма полимеризации от типа углеводородного мономера.

1.7. Процесс радиационной полимеризации.

1.8. Пиролиз углеводородов.

1.9. Полимеризация парилена.

2. Основные свойства неравновесной плазмы тлеющего разряда и процессы полимеризации в неравновесной плазме.

2.1. Способы создания и характеристики неравновесной плазмы.

2.1.1. Тлеющий разряд постоянного тока.

2.2. Факторы, определяющие кинетику плазмохимического взаимодействия.

2.3. Полимеризация углеводородов в неравновесной плазме.

2.3.1. Механизм процесса полимеризации в неравновесной плазме.

2.3.2. Влияние природы мономера на механизм процесса полимеризации.

2.3.3. Зависимость состава полимеров, полученных в разряде, от исходного состава газовой фазы.

2.4. Влияние и связь основных параметров разряда на процесс полимеризации.

2.5. Кинетика полимеризации ацетилена.

3. Структура поверхности подложек.

3.1. Кристаллическая структура металлической подложки.

3.1.1. Электронная структура металлической подложки.

3.1.2. Структура металлической подложки и ее изменение в процессе адсорбции.

3.2. Структура природных полимеров.

3.2.1. Кристаллическая структура целлюлозы.

3.3. Искусственные полимеры.

3.3.1. Структура искусственных полимеров.

4. Взаимодействие неравновесной углеводородной плазмы с поверхностью древесины и материалов с различными химическими и физическими свойствами.

4.1. Методика проведения экспериментов.

4.1.1. Описание экспериментальной установки.

4.1.2. Описание работы на установке. Схема установки.

4.2. Проведение исследований.

4.2.1. Методика проведения эксперимента.

4.2.2. Методика проведения ИК-спектроскопического анализа.

4.2.3. Методика проведения рентгенофазового анализа.

4.2.4. Методика проведения анализа с помощью растровой электронной микроскопии.

4.2.5. Исследование пористой структуры полимерного покрытия на древесине.

4.2.6. Исследование относительной поверхностной прочности полимерного покрытия на древесине.

4.2.7. Исследование акустических свойств образцов древесины до и после плазменной обработки.

4.2.8. Методика измерения угла смачивания.

5. Исследование технологических характеристик работы спирального водоохлаждаемого катода (СВК).

6. Результаты исследования процесса получения карбенового покрытия в тлеющем разряде постоянного тока на ацетилене на подложки различной химической природы.

6.1. Подложки из природных полимеров.

6.1.1. Результаты измерения пористости еловой древесины до и после осаждения полимерной пленки.

6.1.2. Результаты исследования относительной поверхностной прочности древесины.

6.1.3. Исследование гидрофильности и угла смачивания органическими жидкостями плазмохимического полимерного покрытия на еловой древесине.

6.1.4. Изучение морфологии карбенового покрытия на косых срезах еловой древесины.

6.1.5. Результат исследования акустических свойств древесины до и после нанесения карбенового покрытия.

6.1.6. Результаты исследования ИК-спектра карбенового покрытия на подложке природного полимера.

6.1.7. результаты рентгенофазового анализа полученных карбеновых пленок.

6.1.8. Оценка скорости роста карбеновой пленки на подложках из природного полимера.

6.2. Подложки из искусственных полимеров.

6.2.1. Изучение морфологии карбенового покрытия на подложках из искусственных полимеров.

6.2.2. Оценка скорости роста карбеновой пленки на подложках из искусственных полимеров.

6.2.3. Результаты исследования ИК-спектра карбенового покрытия на искусственных полимерах.

6.3. Металлические подложки.

6.3.1. Изучение морфологии карбенового покрытия на металлических подложках.

6.3.2. Оценка скорости роста карбена на металлической подложке.

6.3.3. Результаты исследования ИК-спектров карбена на металлической подложке.

6.3.4. Исследование диэлектрических свойств карбеновых покрытий.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Синтез углеродистых пленок в неизотермической плазме на подложках различных типов»

Проблеме взаимодействия разрядов разного типа с газообразными углеводородами и другими элементорганическими веществами, приводящих к образованию порошков полимерных материалов в объеме реакционного пространства и пленок на поверхности мишеней, посвящено большое число работ [1-8]. Поверхностные пленки при этом могут быть получены в тлеющем разряде как постоянного, так и переменного тока. Однако, до сих пор для этих целей практическое применение получили, в основном, высокочастотные разряды [5-8]. В зависимости от параметров разряда, получаемые таким образом из углеводородов пленки при парциальном давлении мономеров порядка 5-400Па, имеют брутто формулу СНх, различную плотность и свойства, что позволило разделить углеродистые пленки на три группы:

А - плотный аморфный углерод, 0,16< х <0,60.

В - алмазоподобные углеродистые пленки, 0< х <0,05.

С - твердый аморфный углерод, с промежуточным содержанием водорода 0,05< х <0,16.

Принадлежность пленки к той или иной группе определяется в основном энергией, приобретаемой в плазме атомами и углеводородными радикалами, а также ионами углерода. Чем больше выделяется энергии в зоне разряда, тем выше плотность и твердость пленки и тем меньше в углеродистой пленке водорода. Углеродистые пленки, полученные в плазме, обладают целым рядом уникальных свойств: высокой твердостью (приближающейся к твердости алмаза при х-+0) и износостойкостью, низким коэффициентом трения, высоким удельным электрическим сопротивлением, полупроводниковыми свойствами, управляемой гидрофильностью, прозрачностью в ИК-диапозоне и даже в видимой области при х->0, высокой химической стойкостью в растворах кислот (плавиковой, азотной, соляной и их смесях). Свойства конкретных пленок определяются параметрами плазмохимического процесса в разряде: напряжением на катоде, плотностью энергии вблизи поверхности мишени, парциальным давлением углеводорода и химическим составом газообразных примесей, потенциалом смещения вблизи поверхности мишени.

Ранее [10] было показано, что процесс полимеризации углеводорода в плазме тлеющего разряда постоянного тока, несмотря на свои недостатки, обладает и рядом преимуществ. Например, при одинаковой мощности разряда достигается более высокая скорость полимеризации и более однородное пространственное распределение полимера по поверхности мишени, при этом оборудование отличается простотой и относительной дешевизной.

Нанесение пленок и обработка в неравновесной плазме позволяет решить многие проблемы, которые не удаётся разрешить на данный момент другими известными способами. Например, известно [11-14], что в результате обработки полимеров в неравновесной плазме изменяется угол смачиваемости, молекулярная масса и химический состав наружного слоя, толщина которого составляет 1-10мкм. Считается, что именно смачиваемость материала определяет его адгезионные характеристики [79-84]. При обработке в плазме тлеющего разряда кислорода органических полимеров (природных и искусственных) происходит специфическое взаимодействие, связанное с образованием атомарного кислорода в основном и энергетическом состоянии, метастабильными молекулами кислорода в состоянии 1Aq озона. Все эти компоненты отличаются высокой окислительной способностью при низких температурах. Концентрация кислорода в состоянии 1Aq достигает 30% об.

Схема химического взаимодействия может быть представлена в форме CmHnOk + (О(Зр), 02 (1 Aq), Оз} СО2 + СО + Н2О

Образование летучих компонентов при электроразрядном окислении органических материалов способствует очистке поверхности. Изменение смачиваемости происходит, в основном, путем прививки кислородосодержащих (-С=0, -ООН, ОН) групп к молекулам полимера. Скорость такого окисления чрезвычайно высока. В работе [15] было показано, что в тлеющем разряде на газовой смеси аргон + углеводород (декан, октан, этанол, толуол, пропан-бутан, гексаметилдисилозан и т.д.) в течение 3-5сек. можно получить образцы бумаги полностью не смачиваемые водой.

Если вспомнить о таких природных полимерах как древесина, то опыты по нанесению на их поверхность различных органических покрытий с целью повышения их водо- и атмосферостойкости, а также сохранения акустических свойств и придания декоративного эффекта и вовсе имеет очень древнюю историю. Но все известные покрытия, чаще всего не обеспечивали полного эффекта и часто отрицательно сказывались на других функциональных параметрах древесины (особенно акустических характеристиках). В последнее десятилетие для модифицирования поверхность древесины начали применять вакуумную обработку. Плазма тлеющего разряда на кислороде, гелии, углекислом газе использовали для обработки дуба, бука. В результате увеличивалась смачиваемость поверхности с глицерофолиевымы лаками, но и снижалась прочность поверхностного слоя древесины. Авторы [9] предложили способ обработки древесины в плазме, при котором одновременно увеличивалась смачиваемость и прочность поверхностного слоя.

Процессом полимеризации из газовой фазы в неравновесной плазме безотносительно к характеристикам подложки посвящено большое число работ, обобщенных [1-2], [16-17]. Однако проблема взаимодействия с подложками полимерных пленок до сих пор не рассматривалась и свойство пленок изучались изолированно от характеристик подложек. Задача представленной работы - изучить, какое влияние оказывает природа подложки на механизм, скорость роста, а также физико-химические свойства осажденных из разряда полимерных композитов.

Заключение диссертации по теме «Технология неорганических веществ», Ерузин, Александр Анатольевич

Выводы

По результатам, полученным в процессе проведения данной исследовательской работы можно сделать следующие выводы:

1.Образование карбенов на образцах различной химической природы идет максимально быстро в условиях плазмы тлеющего разряда постоянного тока на ацетилене.

2. Для проведения полимеризации был специально спроектирован и сконструирован спиральный водоохлаждаемый катод (СВК), работающий с использованием эффекта полого катода.

3. Максимальная скорость полимеризации для ацетиленовой плазмы отвечает следующим технологическим параметрам: Напряжение (U) 1500В, плотность тока (J) 1-2 mA/см2, давление в камере (Р) 8-10 Па, Скорость потока ацетилена 320 см3н.у./мин.

4. В результате образования в поверхностном слое древесины полимерной пленке на её волокнах, под действием сил поверхностного натяжения происходит их сближение, что приводит к повышению плотности приповерхностного слоя в 1,2 раза. Этот уплотненный слой обладает гидрофобностью при сохранении воздухопроницаемости.

Уплотнение приповерхностного слоя повышает акустические характеристики древесины, а также позволяет исключить до 8 технологических операций при изготовлении дек музыкальных инструментов. Полученные экспериментальные данные имеют практическое значение при изготовлении музыкальных инструментов и легли в основу патента №2185283 от 10.01.2000. (способ обработки древесины для музыкальных инструментов).

5. Установлено, что поверхностная полимеризация (при одинаковых параметрах разряда) наблюдается на следующих подложках: сталь нерж., стекло, полипропилен, бумага, древесина. При использовании подложек типа лавсан, полиамидное волокно наблюдается объемная полимеризация без образования каких-либо композитных структур.

6. Выявлено, что скорость роста полимерной пленки зависит от природы подложки (от наличия на поверхности активных центров и их энергетического состояния). Максимальная скорость роста на стали нерж.,затем аллюминий, бумага (дерево), полипропилен.

Обнаружено, что при практически одинаковых результатах ИК-анализа (наличие во всех осажденных полимерах групп: СН2-, СН3-,

-С=С-, С-Н), при экспозиции образцов в атмосферных условиях они по-разному сорбируют атмосферные газы. Это можно объяснить тем, что от природы подложки зависит не только скорость полимеризации, но и физико-химические свойства осаждаемых полимеров (количество захваченных радикалов и степень сшитости полимерной матрицы).

167

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ерузин, Александр Анатольевич, 2004 год

1.Ясуда X. Полимеризация в плазме.- М.: Мир, 1988- 376 с.

2. Ткачук Б.В. Колотыркин В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы,- М.: Химия, 1977- 214 с.

3. Koidi P. Plasma deposition properties and structures of amorphous hydrogenated carbon films. // Material Sciense Forum, 1989.- v. 52-53.-p. 41-69.

4. Angus j. Categorisation of dense hydrocarbons films.// Les Editions de Physigue.- 1987.-v. 17.- p. 179-187.

5. Patent 5695832, ISI Foil 001/14, № 464545. Filed 21.04.97.US Class 123/668. Carbonaceous deposit-resistent coating for engine components. / Potter T.J. Zhang Xia, Vassel W. Ridley M. R. Hetrick R.E.- p. 27.

6. US Patent 5055421, ISI H01L021/00 №458716, US Class 437/101 Method for the plasma deposition of hydrogenated, amorphous carbonusing predetermine retention times of gaseos hydrocarbons./ Birkle S. Kamermeier J. Schulte R. Winnacker A. Rittmayer G.-15 p.

7. Ерузин A.A., Гавриленко И.Б., Удалов Ю.П. Поверхностная полимеризация ацетилена в плазме тлеющего разряда постоянного тока на древесине // ФХОМ.-1999.-№6.-с. 36-41.

8. Ерузин А.А. Гавриленко И.Б. Удалов Ю.П. Полимеризация ацетилена в плазме тлеющего разряда постоянного тока на различных подложках // ФХОМ.- 1999.- №1.- с.41-43.

9. Сурис А. Л. Плазмохимические процессы и аппараты.- М.: Химия, 1989.- 304 с.

10. Будаенко Л.Г. Кузьмин М.Г. Полак Л.С. Химия высоких энергий.-М.: Химия, 1988.-368 с.

11. Словецкий Д.И. Механизм реакций в неравновесной плазме.- М.: Наука, 1980.- 310 с.

12. Бабад-Захряпин А.А. Кузнецов К. Д. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде.- М.: Атомиздат,1975,- 175 с.

13. Крапивина С.А. Горбачев И.В. Об обработке некоторых полимерных материалов в низкотемпературной плазме. // Химическая электротермия и плазмохимия.-Л.:Изд-во ЛТИ им. Ленсовета, 1989.-е. 115-121.

14. Иванов Ю. А. и др. Кинетика плазмохимической полимеризации легких (С1-С2) углеводородов в тлеющем разряде пониженного давления. //Хим. Выс. Энерг.- 1990.-t.24.- №6.- с. 541-545.

15. Ерузин А.А., Афанасьев В.Н., Гавриленко И.Б., Удалов Ю.П. Получение и свойства углеродистых пленок, полученных с помощью дугового разряда на полом катоде // ФХОМ.- 2003.-№4.-с.28-30.

16. Мухина Т.Н. Барабанова H.J1. Пиролиз углеводородного сырья.-М.: Химия, 1987. -287с.

17. Кокурин А. Д. Пиролиз циклических углеводородов // Прикл. Хим.-1966.-т. 10. №5. -с.36 -37.

18. Н. Yasuda. Т. HSU. New dielectric material // J. Polym. Sci. Chem. Ed.-1978.- v. 16.-p. 415

19. Lentz R.I. Organic Chemistry of synthetic High Polymers. -Wiley, N.Y.-1967.-p 214.

20. H. Kobayashi, A.T. Bell, M. Shen. Thin solids propertys // J.Macromol. Sci.,Chem.-1974.- v. 7.- p. 277

21. Сакорынский К.И., Панина Л. И. Полимерные сорбенты для молекулярной хроматографии. М.: Наука, 1977.-166 с.

22. Н. Yasuda, J. Reaction under plasma condition // J. Macromol. Sci. Chem.- 1976.- v10.- p. 383

23. H. Yasuda, Н. S. Marsh, M. О. , М. О. Bumgarner, N. Morosoff. Radiation chemistry of polymers // J. Appl. Polym. Sci. Chem.- 1975.-v.19.- p. 2845

24. T. Hyrotsu, H. Yasuda. Reaction under plasma condition // J. Polym. Sci. Chem. Ed.-1977.-v. 15.- p. 1195

25. H. Kobayashi, A.T. Bell, M. Shen. Gas discharge // J.Macromol. Sci. Chem.- 1974.- v. 7.- p. 277

26. T. Hyrotsu, H. Yasuda. Plasma chemistry in electrical discharges // J. Polym. Chem. Ed.-1978.- v. 16.- p. 2587

27. Yasuda H., T. Hyrotsu. Distribution of polymer deposition in plasma polymerization //J. Polym. Chem. Ed.- 1978,-v. 16.- p. 743

28. A. R. Westwood. Plasma deposited thin films // J. Polym. Chem. Ed.-1971,-v. 3.- p. 103

29. H. Yasuda. Glow discharge polymerization // Polym. Chem. Ed.-1979.-v. 3.-p.103

30. Lamaze С. E. Amorphous carbon films prepared by glow discharge from acttylene // J. Appl. Polym. Sci. -V.15.- p.2277

31. N. Inagakt Improving the inner surface of polymer tubes by subjecting to glow discharge // J. Appl. Polym. Sci.-1981.- v. 26.-p. 3425

32. ИК-спекгроскопия в неорганической технологии. Зинюк Р.Ю., Балыков А.Г., Гавриленко И. Б., Шевякова A. M.-J1: Химия, 1983.-158с.

33. СмитА. Прикладная ИК-Спектроскопия.- М.: Мир, 1982.- 328 с.

34. Плаченов Т. Г. Колосенцев С. Д. Порометрия.- Л.: Химия, 1988.176 с.

35. Уголев Б. Н. Древесиноведение с основами лесного товароведения.- М.: Лесная промышленность, 1986.-520 с.

36. R. G. Lentz. Organic Chemystry of Synthetic High Polymers.- Wiley, New York.-1967-p.348.

37. P. G. Flory. Prynciples of Polymer Chemystry // Cornel Univ, Ithaca New York, -1953.-p.458-473

38. J. H. Hollahan. A.T. Bell. Technigues and application of plasma chemistry. -Willey, New York,-1967.-p.324

39. F. W. Billmeyer. Same property of the gas discharge //Textbook of Polymer Science. -2 nd ed., Willey, New York, -1971.-p.254-259

40. Велихов Е.П. Ковалев A.C., Рахимов A.T. Физические явления в газоразрядной плазме.- М.: Наука, 1987.- с.26.

41. Крапивина С. А. Плазмохимические технологические параметры. -Л.: Химия , 1981.- с. 46-53

42. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда.-М.: Госатомиздат, 1961.-е. 272-280

43. Крапивина С. А. Низкотемпературная газоразрядная плазма и ее применение в технологических процессах.- Учеб. Пособ.-Л.: ЛТИ им Ленсовета, 1987.- 79 с.

44. Кокурин А. Д. Процессы горения в химической технологии и металлургии.- Черноголовка.: Изд. А.Н. СССР, 1975.- 217 с.

45. Еремин Е.Н. Основы химической кинетики.- М.: Высшая школа, 1976.- 276 с.

46. A. Chapiro. Radiation Chemistry of Polymers.-Willey ,New York, -1964.

47. H. Melville, G. Govenlock. Experimental method in gas reaction.-Macmillian, London.-1964.-p. 234

48. Виноградов Г. К. Плазменная полимеризация, обзор // Химия высоких энергий.-1986.- №3.-с. 195-213.

49. Установка ННВ 6,6 И1. Эксплутационная документация. ИЕВГ. 681311001, т.2,-1986.

50. Зубехин А.П. Страхов В.И., Чеховский В. Г. Физико-химические методы исследования не металлических и силикатных материалов. -Учеб. Пособ.- СПб.: Синтез, 1995,- 202 с.

51. Meming R. Tolle Н. J. Properties of polymeriec laxers of hydrogenated amorphous carbon produced by a plasma chemycal vapour deposition process 2, tribological and mecanical properties. // Thin Solid Film.- 1986.-V. 43.-p. 31-41

52. Электрические свойства стекла. / Петровская М. Л., Страхов И. Л.: изд. ЛТИ им Ленсовета, 1987.- 37 с.

53. А. К. Болдырев, В. И. Михеев, Дубинина М. Л. Таблица межплоскостных расстояний d/n для железного, медного, и молибденового антикатодов.;- Металлургиздат, 1950.- 274 с.

54. Гиллер Р. Л. Таблицы межплоскостных расстояний, т. 2. Межплоскостные расстояния для медного анода.- М.: Недра, 1966.315 с.

55. X-ray diffraction date cards, USA. ASTM.

56. Михеев В. И. Рентгенометрический определитель минералов. -Мосгосиздат,1957.- 580 с.

57. Миркин Л. И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов.- М.: Физматгиз, 1961.- 595 с.

58. Соловьева О. Н. Костржитцкий А. Н. Об адсорбционной и адгезионной активности оксида, модифицированного в тлеющем разряде // Физика и химия обработки материалов.- 1990.- №2.- с. 6064.

59. Ройх И. Л. Жаров В. А., Горелова О. Н. Особенности адгезии вакуумноосажденных слоев к стеклу и ситаллу, обработанных тлеющим разрядом // Электр. Обраб. Матер.-1976.- №5.- с. 31-34.

60. Aoki Y. Aoyama S. Vetake H. Substrate serfase cleaning by low-energy ion bombardement for higt guality thin film formation. // J. Vac. Sci. Technology.-1993.- v.2.- p.2

61. Журавлев Б. И. Технологический источник ионов // ПТЭ.-1983.-№3.- с. 215-219.

62. Стогний Б. И., Демченко А. И. Источник ионов реактивных газов // ПТЭ.- 1990.- №5.- с. 42-44.

63. Рязанцев С. С. Гавриленко И. Б., Удалов Ю. П. Использование эффекта полого катода для подготовки диэлектрических подложек перед напылением //Ж. Физика и химия обр. матер. 1996.-№4.-с.42-43.

64. Велихов Е.П., Ковалев А.С., Рахимов А.Т. Физические явления в газоразрядной плазме.- М.: Наука, 1987.- с.26.

65. Крапивина С.А. Плазмохимические технологические процессы.-Л. Химия, 1981.- с.46-53.

66. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда.-Госатомиздат, 1961.-с.272-280.

67. Еремин Е.Н. Элементы газовой электрохимии.-М.: Изд-во московского ун-та, 1968.- с.29-50.

68. Guo Т., Scuseria G. Е. Intermolecular interactions in Fullerites. // Chem. Phys. Lett. -1992.- v.259.- p.527-258.

69. Камочкина Е.Б. Низкотемпературное электроразрядное окисление углеродистой составляющей сырья и продуктов химической электротермии. Дисс. на к.т.н., Л, 1986.

70. Kay E., Coburn I., Dilks A. Departure from LTF in a recombination oxygen plasmas under low densities. // Topics in Current chemistry.-1981.-N 1.- p. 1-10.

71. Hollahan J.R. Application of low-temperature plasmas to chemical and physical analysis. Techniques and application of plasma chemistry. Interscience Publication, New York, London, Sidney, Toronto.- 1974.-p.229-253.

72. Бабад-Захряпин А. А., Кузнецов Г. Д. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде.- М.: Атомиздат, 1975.- с.90-97.

73. Светцов В.И., Чеснокова Т.А. Травление арсенида галлия в водородном разряде // Физика и химия обработки материалов.-1985.- №4.- с. 135-136.

74. Саидов М.С., Кадыров М.А., Шамуратов Х.А. Водородное травление поверхности карбида кремния // Физика и химия обработки материалов,- 1985.- №4.- с. 136-138.

75. Кондратьев В.Н., Никитин Е.Е. Кинетика и механизм газофазных реакций.- М.: Наука, 1975. 758 с.

76. Morse P.M. Excitation of molecular rotation-vibration by electron impact. // Phys. Rev.-1953.- v.90.- N1.- p.51-53.

77. Елецкий A.B., Назарян A.O., Смирнов Б.М. Баланс энергии электронов в разряде молекулярного кислорода // Теплофизика высоких температур-1983.- №2.- с.385-387.

78. Хворостовская Л.Э. Исследование процессов с участием нормальных и метастабильных атомов кислорода в тлеющем разряде. Автореф. дисс. на соиск. канд. физ-мат наук. -Л.: ЛГУ, 1972.-21 с.

79. Сергеев П.А., Словецкий Д.И. Колебательное возбуждение и диссоциация молекул N2, Н2, 02 в неравновесной плазме // Тез. докл. 3-го Всес. симп. по плазмохимии. "Плазмохимия -79".- М., 1979.- с. 132-136.

80. Крапивина С.А. Высокочастотный тлеющий разряд и его активационное действие // М.У., Л.: 1987.- с.16-20.

81. Holland L., Ojha S.M. The effect of a carrier on the residence time of atoms in arc discharge plasma. // Vacuum, 1976.- v.26.- N6.- p.223-235.

82. Holland L., Ojha S.M. Dissociation of molecules in plasma and gas: the energy. //Vacuum.-1976.- v.26.- N2.- p.63-61.

83. Holland L. On the coupling of electron and vibrations energy distribution in H2, N2 and CO. // J. Vac. Sci. Technol.- 1977.- v.14.- N1.-p.5-12.

84. Gleit C.E., Holland W.D. A study of reaction mechanism of methan in a radiofrequency glow discharge plasma. // Ann. Chem.- 1962.- v.34.-p. 1454-1457.

85. Мак-Таггарт Ф. Плазмохимические реакции в электрических разрядах.- М.: Атомиздат, 1972.-264 с.

86. Carter R.L., Greening W.J. Chemical reaction in the glow discharge plasma // American Nuclear Society, Nuclear Eng. And Congress.-1955.-p.1141-1149.

87. Gleit C.E. Gas-phase free radical reaction in the glow-discharge plasma. //Adv. Chem. Ser.- 1969.- N80.- p.232-234.

88. Jones S.S., Woodruif E.M. Plasma reactions of nitrogen/oxygen carriers. //J. Carbon.-1971.- v.9.- p.259-264.

89. Guelbransen E.A., Andrew K.F. Thermodynamic properties of the graphite. // Ind. Eng. Chem.- 1952,- v.44.- N10.- p. 1034-1037.

90. E. Kay, Invited Pap. Int. Round Table Polym. Treat, IUPAC Symp.

91. A. Dilks, E. Kay. Plasma diagnostics of polymerizing gaseous hydrocarbons// J.Macromol. Sci. Chem.-1979.- v. 108.- p. 195

92. M. Bumgarner, J. J. Hillman, H. Yasuda J. The effect of Hydrogen of the plasma polemerization //Appl. Polym. Sci.-1975.- v. 19.- p. 531

93. Yasuda H. Glow Discharge Polymerization // J. Appl. Polym. Sci. -1981.-v. 16.- p. 199-293.

94. T. Shu, H. Yasuda. Some aspects of plasma polymerization hydrogenated carbon composition // J. Polym. Chem. Ed. -1978.- v. 16.-p. 415-425.

95. H. Yasuda Critical evaluation of conditions of plasma polymerization // J. Macromol. Sci. Chem.Ed. -1981.- v. 16.- p. 199.

96. A. R. Westwood. Hydrogenated carbon composition // Eur. Polym. Sci.- 1979.-v. 3.- p. 103.

97. A. R. Westwood. A review of recent advances in plasma engineering // Eur. Polym. Sci.-1971.- v. 7.-p. 363

98. В. Романовский. Физико-химия твердого тела.- М.: Химия, 1972.- 117 с.

99. Mott N.F. Jones Н. Theory of the Properties of metals and alloys.-Oxford Univ. Press.-1936.-p.223

100. Goodennougt J.B. Magnetism an the chemical bond.- J. Wiley, New York, 1963.-p. 143

101. Ponec V. Et. Al. Property of the d-elements // J. Of catalysis. 1965.-v.4.-p. 485-491

102. Sachtler W. M., Dorgelo G. Property of the thin solids films of metals // J. H. Chem. Phys. -1957.-v.54.-p.27-30

103. Sachtler W. M., Dorgelo G. The structure of the metals surface before and after gas absorption // J. H. Chem. Phys.-1960.-v.69.-p.25-28

104. Suhrmann R. Change the Fermy-level after the surface gas absorption//J. Phys. Chem.-1962.-v.35.-p.155-158

105. Davisson C. J. Germer. Surface modification of low energy electrons in vacuum // J. H. Phys. Rev. -1927.-v.30.-p.705-708

106. May J. W. Hydrogen deactivation of the d-metals surface in vacuum // Ind. End Chem.-1965.-v. 57.-p. 19-22

107. В. Шретер, К. X. Лаутеншлегер., X. Бибрак . Химия, 1986.- 648 с.