Физико-химические процессы в системах плазма-полимер и плазма-раствор-полимер тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, доктор физико-математических наук Титов, Валерий Александрович

• Титов, Валерий Александрович
• доктор физико-математических наук
• 2009

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Титов, Валерий Александрович

Введение.

Глава 1. Взаимодействие неравновесной плазмы с полимерными материалами: физико-химические и технологические аспекты.

1.1. Прикладные проблемы, решаемые с использованием плазмохимической обработки полимерных материалов.

1.2. Изменение состава и свойств поверхности полимеров при плазмохимической обработке.

1.3. Образование газообразных продуктов взаимодействия плазмы с полимерами.

1.4. Кинетика процессов взаимодействия неравновесной плазмы с полимерами.

1.5. О механизмах процессов взаимодействия плазмы с полимерами

1.6. Генерация активных частиц в неравновесной плазме.

1.6.1. Плазма кислорода.

1.6.2. Плазма азота и смесей азот - кислород.

1.6.3 Плазма аргона и смесей аргон - кислород.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические процессы в системах плазма-полимер и плазма-раствор-полимер»

Актуальность темы. Изучение кинетики и механизмов реакций, протекающих в неравновесной плазме, является важной проблемой физической химии. Одно из динамично развивающихся направлений исследований связано с процессами взаимодействия неравновесной плазмы с полимерами и с разработкой методов поверхностной модификации полимерных материалов и изделий из них. Прикладные эффекты плазмохимической обработки включают в себя увеличение смачиваемости и адгезионных свойств поверхности, придание биосовместимости изделиям из синтетических полимеров, регулирование транспортных характеристик мембран и их селективности и многие другие. Более 15 лет в промышленности эксплуатируется оборудование для обработки полимерных пленок и текстильных тканей в плазме пониженного давления, обеспечивая экономичность и экологическую чистоту производственных процессов. Однако многие фундаментальные аспекты взаимодействия неравновесной плазмы с полимерами не выяснены, что сдерживает развитие плазмохимических технологий.

Плазма пониженного давления, контактирующая с обрабатываемым полимером, - достаточно сложный объект физико-химического исследования. Это связано не только с сильной неравновесностью системы, которая проявляется в отклонении распределений скоростей электронов от максвелловского, а заселенностей внутренних степеней свободы атомов и молекул от больцмановского. Важно значительное превышение средней энергии электронов над энергией тяжелых частиц, которое приводит к определяющей роли электронных соударений в инициировании химических реакций и к невозможности изолированного изучения химических превращений и физических процессов в плазме. Многообразие активных частиц, достигающих поверхности обрабатываемых материалов, делает гетерогенные процессы принципиально многоканальными, причем вклады отдельных каналов могут быть неаддитивны. Существенным является наличие обратных связей между физическими параметрами плазмы, которые определяют ее химическую активность, и инициированными действием плазмы гетерогенными реакциями. Тесная взаимосвязь процессов в плазме и в конденсированной фазе позволяет говорить о единой физико-химической системе плазма - полимер. Обратные связи, обусловленные как изменением набора элементарных процессов в плазме вследствие появления продуктов реакций, так и изменением граничных условий для активных частиц из-за модифицирования поверхности, являются причиной нелинейности системы плазма - полимер.

Важной задачей является разработка новых плазмохимических методов модифицирования полимеров с использованием разрядов атмосферного давления. Наряду с такими достаточно изученными видами разряда, как коронный и поверхностно-барьерный, внимание исследователей привлекает тлеющий разряд атмосферного давления, стабилизированный быстрым потоком газа, а также различные виды газового разряда с жидкими электролитными электродами. Сведения о физико-химических характеристиках последних фрагментарны, а возможности их использования для модифицирования полимерных материалов практически не изучены.

Таким образом, выяснение кинетических закономерностей и механизмов образования активных частиц плазмы и продуктов их реакций с полимерами, взаимосвязей между физическими характеристиками плазмы и ее химической активностью, а также выявление физико-химических особенностей разрядов с жидкими электродами являются актуальными проблемами. Решение этих проблем тесно связано с разработкой научных основ плазмохимических технологий и инженерных методов расчета реакторов для модифицирования полимеров.

Цель работы - выявление механизмов физико-химических процессов, определяющих кинетику образования активных частиц в плазме кислородсодержащих газов и продуктов их взаимодействия с полимерами, а также поиск новых методов модифицирования поверхности полимерных материалов с использованием разряда атмосферного давления с жидким электролитным катодом.

Для достижения цели необходимо решить следующие задачи.

1. Установить механизмы образования и гибели активных частиц плазмы; разработать кинетические модели, которые позволяют рассчитывать потоки активных частиц на поверхность обрабатываемых материалов; выполнить экспериментальную проверку моделей.

2. Исследовать кинетику образования газообразных продуктов реакций и состав функциональных групп в поверхностном слое полимера в условиях известных и регулируемых потоков активных частиц на обрабатываемую поверхность, предложить схему вероятных реакций, которые приводят к образованию продуктов.

3. Исследовать влияние газообразных продуктов реакций на физические параметры плазмы, кинетику генерации активных частиц, а также целевого гетерогенного процесса, проанализировать возможные каналы такого влияния.

4. Экспериментально получить и проанализировать комплекс физико-химических характеристик разряда атмосферного давления с электролитным катодом, исследовать возможности его использования для модифицирования полимерных материалов; сравнить результаты модифицирования, достигаемые в плазме пониженного давления и в системе плазма - раствор.

Научная новизна. В работе получены следующие новые результаты.

1. Установлены механизмы процессов, определяющих состав активных частиц и их потоки на обрабатываемую поверхность в плазме смесей N2 - О2 и Аг - Ог при пониженном давлении. Разработаны модели, которые позволяют на основе совместного решения кинетического уравнения Больцмана, уравнений колебательной и химической кинетики находить концентрации компонентов плазмы в согласии с результатами опытов, рассчитывать скорости образования и гибели активных частиц и их потоки на поверхность обрабатываемого материала.

2. Впервые получены систематические данные о кинетике выделения газообразных продуктов воздействия кислородсодержащей плазмы на полиэтилен, полипропилен, полиэтилентерефталат в стационарных условиях и на начальном нестационарном этапе плазмохимического процесса.

3. На примере плазмы кислорода и воздуха показано наличие отрицательной обратной связи между потоком продуктов гетерогенных реакций в газовую фазу и скоростью генерации активных частиц, а, как следствие, -скоростью целевого гетерогенного процесса. Выделены основные каналы влияния газообразных продуктов на свойства плазмы.

4. На основе комплекса экспериментальных данных показано, что разряд атмосферного давления с жидким электролитным катодом может быть классифицирован как нормальный тлеющий разряд, физико-химические характеристики которого тесно связаны с процессами переноса компонентов раствора (жидкого катода) в газовую фазу; показана неравновесность плазмы такого разряда.

5. Впервые показано, что обработка полимеров в системе плазма - раствор приводит к образованию на поверхности кислородсодержащих групп, предложены новые методы модификации полипропиленовых материалов (пленок, хирургических нитей, нетканых волокнистых материалов) порфиринами, металлопорфиринами, аспирином, соединениями меди и серебра.

Защищаемые научные положения:

- механизмы процессов и кинетические модели, которые позволяют в согласии с опытом рассчитать состав, скорости образования и гибели активных частиц и их потоки на поверхность обрабатываемых материалов в плазме смесей кислорода с азотом и аргоном;

- кинетические закономерности и вероятные механизмы образования газообразных продуктов и функциональных групп в модифицированном слое полимеров при воздействии кислородсодержащей плазмы низкого давления;

- каналы влияния газообразных продуктов гетерогенных реакций на физические параметры плазмы и на кинетику генерации активных частиц;

- новые данные о физико-химических характеристиках разряда атмосферного давления с жидким электролитным катодом, включая функцию распределения электронов по энергиям, заселенности колебательных уровней компонентов плазмы, спектральный состав излучения, влияние процессов переноса компонентов раствора в газовую фазу на характеристики плазмы;

- результаты исследования модификации поверхности полимеров в растворах, активируемых действием разряда атмосферного давления; возможные практические приложения модификации полимеров в системе плазма - раствор.

Научно-практическое значение работы. Данные о кинетических характеристиках образования активных частиц плазмы и разработанные кинетические модели могут быть использованы при изучении кинетики и механизмов плазмохимического модифицирования широкого круга полимерных материалов.

Поскольку неравновесная плазма в потоке воздуха используется в промышленных реакторах для обработки текстильных материалов, результаты работы полезны для оптимизации технологических процессов и диагностики плазмы.

Комплекс данных о физико-химических характеристиках разряда атмосферного давления с жидким электролитным катодом и о модифицировании полимеров в системе плазма - раствор создает основу для развития физической химии процессов в системе плазма - раствор - полимер.

Предложенные в работе новые методы поверхностной модификации полипропилена ацетилсалициловой кислотой и ионами металлов могут найти применение при создании материалов медицинского назначения.

Разработанные установки и методики, а также результаты исследования используются в учебном процессе ИГХТУ в курсах лекций и лабораторных практикумах по дисциплинам «Вакуумно-плазменные процессы и технологии» и «Методы экспериментального исследования поверхности» при подготовке магистров по направлениям 550700 и 551607.

Работа выполнялась в рамках координационного плана Минвуза СССР «Ионно-импульсные технологии» (пп. 5.24,5.25), научно-технической программы Комитета по высшей школе Миннауки РФ «Фундаментальные проблемы взаимодействия плазмы с поверхностью (раздел 10.1)», научно-технической программы «Университеты России» (1995 - 1997), а также при поддержке грантов Госкомитета по делам науки, высшей школы и технической политики Российской Федерации (1993-1994, 1997) и Российского фонда фундаментальных исследований (проекты № 00-02-17101, 2000 - 2002, № 04-0217525, 2004-2006, 07-02-00578, 2007, 2008).

Апробация результатов работы. Результаты диссертационной работы представлены на следующих семинарах, конференциях и симпозиумах: постоянно действующий семинар «Получение, применение и исследование низкотемпературной плазмы» имени профессора JI.C. Полака (Москва, ИНХС им. А.В. Топчиева РАН, 2004, 2005, 2008); Всесоюзная конференция молодых ученых и специалистов по физической химии «Физическая химия - 90» (Москва, 1990); Научно-техническая конференция «Физика и механика композиционных материалов на основе полимеров» (Гомель, 1990, 1991); Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (Рига, 1991; Плес, 1995, 2002; Иваново, 2005, 2008); Международная научная конференция "Физика и техника плазмы" (Минск, 1994); 14th International Symposium on Plasma Chemistry (Prague, Czech Republic, 1999); Всероссийская конференция по физике газового разряда (Рязань, 1998, 2000); Всероссийская конференция «Молекулярная физика неравновесных систем» (Иваново, 1999, 2000, 2001); Всероссийская конференция "Прикладные аспекты химии высоких энергий" (Москва, 2001, 2004); China-Russia - Korea International Symposium on Chemical Engineering and New Material Science (Russia, 2003; Korea, 2004; China, 2005; Russia, 2007); 9th International Symposium "High Technology Plasma Processes" (St-Petersburg, 2006); 2nd International Workshop on Plasma Physics (Kiten, Bulgaria, 2006); 28th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (Prague, Czech Republic, 2007), XVIII Менделеевский съезд по общей и прикладной химии (Москва, 2007), XXXVI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС (Звенигород, 2009).

Публикации. Основное содержание диссертации отражено в двух главах монографий, 36 статьях в российских научных журналах из списка ВАК, 8 статьях в рецензируемых зарубежных журналах, в тезисах 41 доклада и 3 патентах на изобретения.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Титов, Валерий Александрович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. На основе экспериментальных исследований и численного моделирования установлены механизмы процессов, определяющих кинетику образования и гибели активных частиц плазмы разряда постоянного тока в смесях N2 — О2 и Аг - 02. а. Разработаны кинетические модели, которые позволяют в согласии с экспериментальными данными рассчитывать концентрации активных частиц плазмы, а также их потоки на поверхность обрабатываемого материала при заданных значениях плотности тока разряда, температуры газа и приведенного электрического поля E/N. б. Определены каналы переноса энергии из плазмы на поверхность полимера, обусловленные молекулярной теплопроводностью, рекомбинацией атомов и заряженных частиц, дезактивацией колебательно- и электронно-возбужденных молекул. в. Выделены основные процессы, формирующие неравновесную функцию распределения электронов по энергии, заселенности колебательных и электронных состояний основных компонентов плазмы, диссоциацию молекул кислорода.

2. Впервые получены, проанализированы и обобщены систематические данные о кинетике выделения газообразных продуктов, которые образуются при взаимодействии плазмы воздуха с полиэтиленом, полипропиленом, полиэтилентерефталатом в стационарных условиях и на начальном нестационарном этапе процесса, предложены вероятные схемы реакций образования продуктов.

3. На основе полученных экспериментальных результатов и данных литературы проанализированы температурные зависимости скоростей травления и образования газообразных продуктов реакций при обработке полимеров в активной зоне плазмы и в области потокового послесвечения, а также источники нагрева полимера. Показано, что основной канал нагрева при обработке в послесвечении разряда - тепловой эффект химической реакции. В активной зоне плазмы в суммарный тепловой эффект соизмеримый вклад вносит теплоперенос из объема плазмы и тепловой эффект химической реакции.

4. Продемонстрирована самосогласованность системы плазма - полимер. Показано, что в плазме кислорода и воздуха, реагирующей с полимерными материалами, существует отрицательная обратная связь между потоком продуктов гетерогенных реакций в газовую фазу и скоростью генерации активных частиц. Следствием этого является уменьшение скоростей гетерогенных реакций (целевого гетерогенного процесса). Выделены основные каналы влияния газообразных продуктов реакций на свойства плазмы. На примере плазмы кислорода проанализировано влияние продуктов на функцию распределения электронов по энергиям и на коэффициенты скоростей процессов с участием электронов. Показано, что накопление продуктов приводит к обеднению ФРЭЭ быстрыми электронами и к снижению скоростей образования активных частиц.

5. Получена комплексная информация о внутренних параметрах плазмы разряда атмосферного давления с электролитным катодом. Найдена напряженность электрического поля в плазме, температура газа, эффективная колебательная температура молекул азота и ОН, рассчитана неравновесная функция распределения электронов по энергиям, средняя энергия электронов и их концентрация. Показано, что плазма такого разряда является неравновесной системой, состав и свойства которой в значительной мере определяются процессами переноса компонентов растворителя и растворенного вещества в газовую фазу под действием ионной бомбардировки жидкого катода. На основе экспериментальных значений катодного падения потенциала в разряде атмосферного давления выполнены оценки коэффициентов электронной эмиссии из электролитных катодов. Показано, что коэффициенты эмиссии значительно ниже, чем в случае тлеющего разряда пониженного давления с металлическими электродами.

6. Впервые показано, что обработка полимеров в растворах, активированных действием разряда атмосферного давления, приводит к эффектам, подобным тем, что достигаются при окислении в плазме пониженного давления: образованию полярных кислородсодержащих групп и повышению поверхностной энергии материала. При этом не наблюдается значительного травления материала с образованием низкомолекулярных окисленных фрагментов макроцепей.

7. На основе выполненных исследований предложены новые методы модификации полипропиленовых материалов (пленок, хирургических нитей, нетканых волокнистых материалов) порфиринами, металлопорфиринами, аспирином, соединениями меди и серебра. Хирургические шовные нити, модифицированные аспирином, обладают противовоспалительным действием, а нетканые полипропиленовые материалы, модифицированные соединениями меди и серебра, - антимикробным эффектом.

Заключение

Неравновесная плазма пониженного давления является уникальным инструментом модифицирования свойств полимерных материалов и изделий из них. К настоящему времени выяснены основные физико-химические и технологические эффекты воздействия плазмы на высокомолекулярные соединения, определилась сфера практических применений плазмохимической обработки полимеров, отдельные процессы реализованы в промышленности. Особенно актуальной стала проблема оптимизации конструкций плазмохимических реакторов и параметров их работы. Решение этой задачи связано как с проблемами физики химически активной плазмы, так и физической химии полимеров.

Модели, базирующиеся на совместном решении кинетического уравнения Больцмана, уравнений колебательной и химической кинетики, позволяют при минимальном наборе входных параметров, которые находятся из экспериментов, рассчитать потоки активных частиц плазмы на поверхность обрабатываемого материала. Этот подход целесообразно использовать для анализа предельных возможностей плазмы как источника активных частиц.

Сопоставление потоков частиц разных типов со скоростями гетерогенных процессов позволит сделать заключения об относительной роли активных частиц в наблюдаемых химических превращениях. Для регулирования потоков частиц на поверхность целесообразно не только изменять условия горения разряда (ток, давление, состав исходного газа), но и состояние стенки реактора, а таюке исследовать результаты воздействия послесвечения плазмы на полимеры.

Плазма пониженного давления, контактирующая с обрабатываемым полимером, характеризуется не только сильной неравновесностью, но и наличием обратных связей между физическими параметрами, определяющими химическую активность плазмы, и инициированными ее действием гетерогенными реакциями. Эти обратные связи могут быть обусловлены как изменением набора элементарных процессов в газовой фазе из-за появления продуктов реакций, так и граничных условий для активных частиц в результате модифицирования поверхности. Взаимосвязь процессов в плазме и в контактирующей с ней конденсированной фазе позволяет говорить о единой физико-химической системе плазма - полимер. Для учета обратных связей и построения моделей реагирующей системы плазма - полимер необходима систематическая информация о закономерностях образования продуктов химических реакций и об их влиянии на свойства плазмы.

Практическое применение неравновесной плазмы для реализации многих гетерогенных процессов обусловлено ее высокой химической активностью при относительно невысоких температурах обрабатываемых материалов. Однако с большой активностью плазмы связана низкая селективность инициируемых ее действием гетерогенных химических реакций. Представляется важным найти такие условия, при которых активность плазмы сочеталась бы с избирательностью воздействия. Принципиальные возможности решения этой проблемы дает плазменная активация химических процессов в растворах электролитов [3]. В случае плазмы, взаимодействующей с раствором, (как и для любых других плазмохимических систем) необходимо знание физики разряда, механизмов и кинетики образования активных частиц, а также механизмов их реакций в растворе. Все эти вопросы в настоящее время изучены явно недостаточно, хотя исследования химических эффектов, вызываемых самой простой плазменно-растворной системой: тлеющим разрядом с электролитными электродами, - начались около ста лет назад. Возможности использования плазменно-растворных систем для модифицирования полимерных материалов практически не изучены.

Таким образом, выяснение кинетических закономерностей и механизмов образования активных частиц плазмы и продуктов их реакций с полимерами, взаимосвязей между физическими характеристиками плазмы и ее химической активностью, а также выявление физико-химических особенностей разрядов с жидкими электродами являются актуальными проблемами. Сказанное определяет цель и задачи данной диссертационной работы, сформулированные во введении.

ГЛАВА 2. Методы исследования процессов взаимодействия неравновесной плазмы с полимерами

2.1. Исследование физико-химических процессов в системе плазма пониженного давления - полимер

2.1.1. Схема экспериментальной установки

Для исследования процессов в плазме пониженного давления использовали установку, схема которой показана на рис. 2.1. Разряд постоянного тока возбуждали в цилиндрических реакторах, выполненных из стекла марки С 52-1 с внутренним диаметром 3 см.

Для откачки газа из реактора использовали вращательный масляный насос ЗНВР-5Д. Регулировку давления и потока газа осуществляли игольчатым натекателем. Давление измеряли U-образным манометром с регистрацией разницы уровней катетометром КМ-6, расход газа - капиллярным расходомером, который предварительно калибровали методом газовой бюретки при нормальных условиях. Рабочей жидкостью расходомера и манометра было силиконовое масло, которое обезгаживали прогревом до полного прекращения газовыделения при давлении ~ 1 Па. Абсолютная точность измерения давления

1 7 составляла 1 Па, а расхода газа - Iх 10 молекул/с (относительная погрешность составляла от 10 % при малых расходах до 2 % при больших).

Для регистрации спектров излучения плазмы использовали монохроматор МСД (дифракционная решетка 1200 штр./мм, диапазон длин волн 200 -1000 нм, линейная дисперсия ~1,0 нм/мм) с фотоэлектрическим преобразователем (ФЭУ-106). Напряжение на фотоэлектронный умножитель подавали от стабилизированного источника ВС-22. Фототок усиливался нановольтамперметром Р 341 и регистрировался потенциометром КСП-4 или Н-306.

Состав стабильных нейтральных компонентов газовой фазы определяли с помощью масс-спектрометров ИПДО-2А и MX 7304, ионные источники которых имели автономную дифференциальную безмасляную систему откачки (электроразрядный насос НОРД-250). Отбор пробы осуществляли через диафрагму диаметром 20 мкм, которая расположена в боковом отростке реактора на расстоянии 5 см от зоны плазмы.

Конструкция реактора с полыми цилиндрическими электродами, расположенными в отростках, позволяла обрабатывать образцы полимерных материалов (пленки или текстильные ткани) как непосредственно в положительном столбе разряда, так и в зоне потокового послесвечения плазмы, не меняя положение образца относительно места отбора пробы газа в датчик масс-спектрометра. При этом для возбуждения разряда использовали разные пары электродов.

Полимерные образцы размещали в реакторе в виде кольца (цилиндра), плотно прилегающего к стенке. Температуру стенки в зоне размещения образца поддерживали с помощью внешнего теплообменника, соединенного с термостатом UT-2/77. Температуру обрабатываемой поверхности материала измеряли термопарой медь-константан (диаметр 0,1 мм), помещенной в запаянный тонкостенный стеклянный капилляр, диаметр которого в месте расположения спая термопары не превышал ~(0,5 - 1) мм. Термопару вводили с торца реактора вдоль стенки и плотно прижимали к образцу за счет упругости капилляра.

2.1.2. Измерение напряженности продольного электрического поля и потока положительных ионов на стенку реактора

Напряженность электрического поля (Е) на оси разряда определяли двумя зондами, расположенными в центральной части трубки нормально к силовым линиям. Зонды изготовлены из вольфрам-рениевого сплава, длина неизолированной части зондов составляла 3 мм, диаметр - 0,02 мм, расстояние между зондами - 7 см. Для компенсации тока в зондовой цепи использовали внешний источник напряжения УИП-1. Компенсация считалась достаточной, если ток не превышал 1х10"8 А. Вольтметр не регистрировал изменения компенсирующего напряжения при двукратном увеличении этого тока, что обеспечивало систематическую ошибку, определяемую классом точности прибора. Расчет показал, что основная погрешность в определении Е — случайная, ее максимальная величина не превышала ±3 % (5 измерений, доверительная вероятность 0.9).

Плотность потока положительных ионов на стенку реактора находили из вольтамперной характеристики плоского стеночного зонда. Обработку ионной ветви зондовой характеристики проводили следующим образом. Зависимость ионного тока /+ от потенциала зонда V имеет вид [213]:

1едея * (1-77)", (2.1)

4 Vtt где Vt = eV rf=-; Тс, Ti - температура электронов и ионов соответственно; кТ:

S - площадь поверхности зонда; п - показатель степени, который, согласно различным теориям ионного тока, может принимать значения от 0,5 до 1,5. Вольтамперную характеристику измеряли до больших отрицательных относительного плазменного потенциалов («100 В), где ее вид заведомо определялся только ионным током, а затем аппроксимировали выражением (2.1) с последующей экстраполяцией к плавающему потенциалу (потенциалу стенки) (V )

Vf. Плотность потока положительных ионов вычисляли как Г. = - -. f + Se

Случайная погрешность Г+ не превышала ± 20 % (3 измерения, доверительная вероятность 0.9).

2.1.3. Методика измерений иитенсивиостей линий и полос излучения

Интенсивность излучения плазмы определяли путем сравнения с излучением эталонного источника света (светоизмерительная лампа СИ-8-200У). Лампу устанавливали на двойном фокусном расстоянии таким образом, чтобы изображение тела накала проецировалось кварцевой линзой на входную щель монохроматора в натуральную величину. Диафрагма между входной щелью и источником света обеспечивала условия, при которых размер щели существенно меньше размеров излучающего тела. Диаметр линзы и фокусное расстояние были таковы, что входной объектив монохроматора был "не заполнен". В этом случае число квантов, попадающих во входную щель за секунду, равно: где с - скорость света; А, - длина волны; е(А,,7) - степень черноты вольфрамового тела накала; т - коэффициент пропускания линзы; Бщ - площадь входной щели монохроматора; 5л - площадь линзы; Д>. -интервал регистрируемых одновременно длин волн, С2 = 1,43868 см-К, Д>=(сШсЬс)Дх, где (сШсЬс) - обратная дисперсия монохроматора, Ах - ширина входной щели.

Коэффициент чувствительности оптической системы К(к) находили как отношение показаний регистрирующего прибора L(X) к значениям п(Х), вычисленным по (2.2):

На рис. 2.2 показана геометрия оптической системы, для которой проводили расчет освещенности входной щели разрядом.

Ширина входной щели много меньше радиуса диафрагмы h«R, расстояние от плазмы до щели много больше радиуса столба плазмы (Li+L2)»Ro и входной объектив монохроматора "не заполнен". Поэтому можно считать, что радиус-вектор г, проведенный из любой точки плазмы нормально к входной щели, опирается на поверхность, равную площади щели 5 и г «Z, где Z -координата точки, из которой исходит излучение.

2.2)

К(л) = ф)/п(л)>

2.3) r z

Рис. 2.2. Геометрия оптической системы: 1 - входная щель монохроматора, ограниченная по высоте диафрагмой; 2 - диафрагма; 3 - положительный столб.

Если / - число квантов, излучаемых единицей объема в единицу времени, то их число, попадающее во входную щель и излучаемое объемом плазмы радиусом R, равно:

R2TCZ}

2.4) о о z2

Другие участки плазмы, для которых r>R , дают j^iffj1^-7-^

Z2K R где

4tvZ

-dxdydz

2.5)

Г =R fz] 2 J —

7 V I У UJ

X* =

ZR

Y" =

Y-R, A у (ХЛ

UJ A 1

Соотношения (2.4) и (2.5) аналогичны, но записаны в разных координатах. Величины Y и У при заданном значении Z определяют наружный радиус кольца R*>R, излучение которого попадает во входную щель, а множитель в квадратных скобках в (2.5) описывает уменьшение высоты щели, связанное с диафрагмированием. Использовали диафрагму радиусом R=0,2 см. В этом случае расчет по соотношениям (2.4) и (2.5) показывает, что при 7=const средний радиус цилиндра, из которого собирается излучение, равен 0.41 см. Если радиальное распределение интенсивности излучения описывается функцией Бесселя, то измеряемая величина примерно на 10% меньше значения интенсивности на оси разряда.

Соотношения (2.4) и (2.5) позволяют связать интенсивность излучения на оси плазмы /о с числом квантов п, попадающих в монохроматор, выражением п = FI0 , (2.6) где F - эффективный излучающий объем, определяемый геометрией системы измерений.

Если L(k) - показания измерительного прибора в максимуме спектральной линии или на участке ДА- (при длине волны А,) полосы с неразрешенной вращательной структурой, то интенсивности линии /д или полосы /п определяются соотношениями

J=[/C(A)F]-1Z(A), (2.7)

In=F-')L{t)[K{X)b,YcU ■ (2-8)

Интегрирование в (2.8) ведется по всей вращательной структуре полосы.

Оценки погрешности, которая обусловлена неточностью определения температуры тела накала и других величин, определяющих значения К(к) и F, показали, что эти факторы приводят к погрешности определения абсолютных интенсивностей не выше ~ 20 % в длинноволновой области (600 - 850 нм) и 35 % при 400 нм. Погрешность относительных измерений интенсивности, найденная по воспроизводимости результатов, составляла —10 — 20 % (5 измерений, доверительная вероятность 0,9).

2.1.4. Определение температуры газа

Поступательная температура нейтрального газа является важной характеристикой неравновесной плазмы. От нее зависят плотность частиц, скорости процессов переноса, константы скоростей и скорости химических реакций. Определение температуры в неравновесных условиях - нетривиальная задача, поскольку ни один из известных методов не может быть использован без предварительного анализа и обоснования. Так, измерения по доплеровскому уширепию линий затруднены из-за относительно низкой температуры и, как следствие, малой величины измеряемого эффекта. К тому же часто наблюдается аномальное уширение. При использовании термопары необходимо учитывать влияние на результаты измерений таких факторов, как наличие неравновесных источников нагрева, обусловленных рекомбинацией атомов (радикалов) и дезактивацией возбужденных частиц на термопаре, ее радиационный нагрев и охлаждение и т.п. Свести к минимуму влияние отмеченных факторов позволяет использование метода двух термопар [213].

В данной работе для определения температуры использован метод, основанный на измерении интенсивностей вращательных линий электронно-колебательных полос излучения [214]. В плазме смесей O2-N2 использовали вращательные линии ^-ветви электронно-колебательной полосы N2 (С3Пи, V=0 -83ng, V=2); в плазме 02 и смесей 02-Ar - линии /'-ветви полосы (0-0) молекулы 02. В плазму аргона для определения температуры вводили малую добавку азота (<1%).

Отождествление вращательной температуры с поступательной возможно, если распределение молекул по вращательным уровням возбужденного электронного состояния подчиняется распределению Больцмана и в системе завершилась вращательно-поступательная релаксация. Последнее требует, чтобы выполнялось условие Trot« тг, где xrot и тг — характерное время вращательной релаксации и время жизни излучающего возбужденного состояния, соответственно. Величину xrot можно оценить следующим образом: где V - скорость относительного движения молекул-партнеров по соударению, а — газокинетическое сечение для сталкивающихся молекул, N — концентрация частиц газа, Z - среднее число соударений, необходимое для вращательной релаксации, т - приведенная масса, р — давление, Т — температура газа, к -константа Больцмана.

2.9)

В табл. 2.1.приведены основные процессы гибели состояния blI,g+ и соответствующие им характерные времена. Согласно данным [189], Z=10, газокинетический диаметр молекулы 02 составляет 3.56 А [215]. Для типичных величин iV=ri016 см"3 и V=104 см'с"1, получим Trot «Ю-8 с. Сопоставление этих величин показывает, что условие завершения вращательной релаксации выполняется.

Для состояния С3Пи, V=0 молекулы азота в плазме пониженного давления тг=4,45х Ю"8 с, частота тушения в столкновениях с молекулами азота и кислорода примерно в десять раз ниже (соответствующие оценки приведены далее) и условие trot << хт в плазме пониженного давления не выполняется. Однако это состояние возбуждается преимущественно прямым электронным ударом из основного состояния N2(X), и вращательное распределение возбужденного электронно-колебательного состояния «копирует» соответствующее распределение для N2(X).

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Титов, Валерий Александрович, 2009 год

1. Елецкий А.В. Плазмохимические методы получения углеродных наноструктур // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Тематический том X1.- 5. Прикладная химия плазмы / Под ред. Ю.А. Лебедева, Н.А. Платэ, В.Е. Фортова. М.: ЯНУС-К, 2006. С. 223 - 262.

2. Орликовский А.А. Плазма в субмикронной технологии микроэлектроники // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том 4 / Под ред. В.Е. Фортова М.: Наука, 2000. С.370 - 386.

3. Кутепов A.M., Захаров А.Г., Максимов А.И. Вакуумно-плазменное и плазменно-растворное модифицирование полимерных материалов. М.: Наука, 2004. 496 с.

4. Максимов А.И. Использование неравновесной плазмы в текстильной и легкой промышленности // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том 4 / Под ред. В.Е. Фортова. М.: Наука, 2000. С.399 404.

5. Maximov A.I., Gorberg B.L., Titov V.A. Possibilities and problems of plasma treatment of fabrics and polymer materials // In book: Textile Chemistry Theory, Technology, Equipment/New-York: NOVA Science Publishers, 1997. P. 225-245.

6. Максимов А.И. Физико-химические основы технологических процессов в неравновесной плазме // Неравновесная плазма. Т 4. Плазмохимическая технология: Сборник под ред. В.Д. Пархоменко и Ю.Д. Третьякова. Новосибирск: Наука, Сиб. отд. 1991. С. 77-91.

7. Пономарев А.Н., Василец В.Н. Кинетика и механизм химического взаимодействия НТП с полимерами // Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том 3 / Под ред. В.Е. Фортова. М.: Наука, 2000. С. 374 382.

8. Morent R., De Geyter N., Vtrshuren J., De Clerck K., Leys C. Non-thermal plasma treatment of textiles // Surf and Coat. Technol. 2008. V. 202. P. 3427 3449.

9. Гильман А.Б. Воздействие низкотемпературной плазмы как эффективный метод модификации поверхности полимерных материалов // Химия высоких энергий. 2003. Т. 37, № 1. С. 20 26.

10. Василец В.Н., Тихомиров Н.А., Пономарев А.Н. Исследование действия плазмы высокочастотного разряда на поверхность полиэтилена // Химия высоких энергий. 1978. Т. 12, № 5. С. 442 446.

11. Василец В.Н., Тихомиров Н.А., Пономарев А.Н. Исследование накопления стабильных продуктов при воздействии плазмы низкого давления на поверхность полиэтилена // Химия высоких энергий. 1979. Т. 13, № 2. С. 171174.

12. Василец В.Н., Тихомиров Н.А., Пономарев А.Н. Исследование действия плазмы стационарного высокочастотного разряда низкого давления на поверхность полиэтилена//Химия высоких энергий. 1981. Т. 15, № 1. С.77-81.

13. Пономарев А.Н. Радиационная химия и плазмохимия // Химия высоких энергий. 1991. № 5. С. 387-395.

14. Багиров М.А., Гезалов Г.Б., Керимов М.К. Применение метода ЭПР для изучения электрического старения полимерных диэлектриков // Высокомолекулярные соединения. 1977. Т. Б19, № 7. С. 746 747.

15. Kuzuya М., Yamashiro Т., Kondo S., Sugito М., Mouri М. Plasma-induced surface radicals of low-density polyethylene studied by electron spin resonance // Macromolecules. 1998. V. 31. № 10. P. 3225 3229.

16. Kuzuya M., Kondo S., Sugito M., Yamashiro T. Peroxy radical formation from plasma-induced surface radicals of polyethylene as studied by electron spin resonance // Macromolecules. 1998. V. 31. № 10. P. 3230 3234.

17. Bamford C.H., Jenkis A.D., Ward J.C. Tesla coil method for producing free radicals from solid // Nature. 1960. V. 186. P. 712-714.

18. Новоселов И.В., Шишлов H.M., Ионов В.И., Сангалов Ю.А. Изучение обработанных плазмой ВЧ разряда полимеров методом ЭПР-спектроскопии // Химия высоких энергий. 1991. Т. 25, № 2. С. 166 170.

19. Poll H.-U., Kleemann R., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberflachen II. Entstehung freier radikale durch einwirkung einer Glimmentladung // Acta Polym. 1981. V. 32, № 3. S. 139-143.

20. Wakida Т., Takeda K., Tanaka J., Takagishi T. Free Radicals in cellulose fibers treated with low temperature plasma // Text. Res. J. 1989. V. 59, № 1. P. 49-53.

21. Wakida Т., Takeda K., Kawamura H., Tanaka J., Takagishi T. ESR spectra of fibers treated with low temperature plasma// Chem. Express. 1987. V. 2, № 11. P. 711-714.

22. Гильман А.Б., Венгерская Л.Э., Григорьева Г.А., Потапов В.К. Изменение свойств поверхности поликарбоната под действием тлеющего низкочастотного разряда // Химия высоких энергий. 1999. Т. 33. № 6. С. 467-470.

23. Стефанович Н.Н., Радциг В.А., Виленский А.И., Владыкина Т.Н., Кротова Н.А. Исследование влияния тлеющего разряда на поверхность политетрафторэтилена методом ЭПР // Докл. АН СССР. 1971. Т. 199. № 2. С. 398- 401.

24. Пучкин Ю.Н., Байдаровцев Ю.П., Василец В.Н., Пономарев А.Н. Исследование накопления радикалов в политетрафторэтилене под действием плазмы тлеющего разряда низкого давления. // Химия высоких энергий. 1983. Т. 17. №4. С. 368-371.

25. Kuzuya M., Ito H., ICondo S., Noda N., Noguchi A. Electron spin resonance study of the special features of plasma-induced radicals and their corresponding peroxy radicals in polytetrafluoroethylene// Macromolecules. 1991. V. 24. № 25. P. 66126617.

26. Митченко Ю.И., Фенин B.A., Чеголя A.C. Образование активных центров при модифицировании волокон газовым разрядом // Химические волокна. 1989. № 1.С. 35 -36.

27. Inagaki N. Plasma surface modification and plasma polymerization. Lancaster: Technomic Publishing Company, Inc, 1996.

28. Kuzuya M., Noguchi A., Ishikawa M., Koide A., Sawada K., Ito H., Noda N. Electron spin resonance study of free-radical formation and its decay of plasma-irradiated poly(methacrylic acid) and its esters // J. Phys. Chem. 1991. V. 95. № 6. P 2398-2403.

29. Садова С.Ф. Использование низкотемпературной плазмы в отделке шерстяных материалов // Химия высоких энергий. 2006. Т. 40. № 2. С. 83 95.

30. Semionescu С.1., Macoveanu М.М., Olaru N. Grafting of polymers under conditions of radiofrequency cold plasma // Cellulose Chem. Technol. 1976. V. 10. P. 197-207.

31. Ward T.L., Jung H.Z., Hinoisa O., Benerito R.R. Effect of cold plasma on polysaccharides // Surf. Sci. 1978. V. 76. № 1. P. 257-273.

32. Friedrich I., Kiihn G., Gahde I. Untersuchungen zur plasmaatzung von polymeren. I. Structuranderungen von polymeren nach plasmaatzung // Acta Polymerica. 1979. Bd. 30. № 8. S. 470 477.

33. Hudis M., Prescott L.E. Surface crosslinking of polyethylene produced by ultraviolet radiation from hydrogen glow discharge // J. Polym. Sci. 1972. V. B10. № 3. P. 179- 183.

34. Clark D.T., Dilks A. ESCA applied to polymers. XV. RF glow discharge modification of polymers, studied by means of ESCA in terms of direct and radiativeenergy-transfer model // J. Polym. Sci.: Polym. Chem. Ed. 1977. V. 15. № 10. P. 23212345.

35. Hudis M. Surface crosslinking of polyethylene using a hydrogen glow discharge // J. Appl. Polym. Sci. 1972. V. 16. P. 2397-2415

36. Василец B.H., Тихомиров Jl.А., Пономарев A.H. Исследование действия плазмы ВЧ разряда на поверхность полиэтилена // III Всесоюзный симпозиум по плазмохимии: Тезисы докл. М.: Наука, 1979. Т. 1. С. 261 -263.

37. Чичагова Ж.С., Тихомиров JI.A. Исследование действия плазмы газового разряда на каучук СКН-26 // Химия высоких энергий. 1985. Т. 19. №6. С. 544547.

38. Тихомиров JI.A. Исследование действия плазмы газового разряда на каучук СКФ-26 // Химия высоких энергий. 1990. Т. 24. № 2. С. 171 175.

39. Чичагова Ж.С., Тихомиров JI.A. Исследование действия плазмы газового разряда на полиметилфенилвинилсилоксановый каучук // Химия высоких энергий. 1991. Т. 25. №2. С. 176- 180.

40. Тихомиров JI.A. Сравнительное исследование действия воздушной плазмы и озона на полиметилфенилвинилсилоксановый каучук СКТФ-803 // Химия высоких энергий. 1990. Т. 24. № 2. С. 171.

41. Визен Е.И., Гильман А.Б., Шибряева JI.C., Сосновская JI.H., Ришина А.А. Модификация полипропилена с помощью тлеющего низкочастотного разряда в воздушной среде // Высокомолекулярные соединения. 1996. Т. 38А, № 8. С. 1297-1301.

42. Poncin-Epaillard F., Chevet В., Brosse J.S. Functionalization of polypropylene by a microwave (433 MHz) cold plasma of carbon dioxide. Surface modification or surface degradation? // Eur. Polym. J. 1990. V. 26, № 3. P. 333-339.

43. Калачев A.A., Клюшина T.A., Шапиро A.M., Кофман B.A., Артамонова С.Д., Платэ Н.А. Плазмохимические превращения в полиэтилене различной надмолекулярной структуры// Высокомолекулярные соединения. 1987. Т. А 29, № 1. С. 180-187.

44. Василец В.Н., Тихомиров Н.А., Пономарев А.Н. Оценка вклада УФ-излучения плазмы в процессе накопления стабильных продуктов при плазменной обработке полиэтилена // Химия высоких энергий. 1981. Т. 15, № 2. С. 147-152.

45. Terlingen J.G.A., M. ter Beek, Feijen J. Functionalization of UHMW poly(ethylene) membranes by a carbon dioxide plasma treatment // Proc. of 12th Int. Symp. on Plasma Chem. Minneapolis, Minnesota, USA, August 21-25, 1995. V. 1. P. 215-220.

46. Golub M.A., Cormia R.D. ESCA study of poly(vinilidene fluorid), tetrafluoroehtylene-ehtylene copolymer and polyethylene exposed to atomic oxygen //Polymer. 1989. V. 30, №9. P. 1576-1581.

47. Foerch R., Mclntyre N.S., Hunter D.H. Modification of polymer surfaces by two-step plasma sensitized reactions // J. Polym. Sci. A: Polym. Chem. 1990. V. 28. P. 803809.

48. O'Kell S., Henshaw Т., Farrow G., Aindow M., Jones C. Effects of low-power treatment on polyethylene surfaces // Surface and Interface Anal. 1995. V. 23. P. 319327.

49. Foerch R., Mclntyre N.S., Hunter D.H. Oxidation of polyethylene surfaces by remote plasma discharge: a comparison study with alternative oxidation methods // J. Polym. Sci.: Part A: Polym. Chem. 1990. V. 28. P. 193-204.

50. Tsutsui K., Iwata A., Ikeda S. Plasma surface treatment of polypropylene-containing plastics // J. Coating Technol. 1989. V. 61, № 776. P. 65-72.

51. Occhiello E., Morra M., Morini G., Garbassi F. Oxygen-plasma-treated interfaces with air, water, and epoxy resins: Part 1. Air and water // J. Appl. Polym. Sci. 1991. V. 42, № 2. P. 551-559.

52. Amoroux J., Arefl F., Spartacus P., Mournet S., Goldman M. Evolution of the wettability and the adhesion of polymeric materials treated by a non equilibrium plasma // Polymer Mater. Sci. and Eng. Proc. Asc. Div. 1987. V. 56. P. 332-336.

53. Clark D.T., Dilks A. ESCA applied to polymers. XXIII. RF glow discharge modification of polymers in pure oxygen and helium-oxygen mixture // J. Polym. Sci.: Polym. Chern. Ed. 1979. V. 17, № 4. P. 957-976.

54. Aouinti M., Bertrand P., Poncin-Epaillard F. Characterization of polypropylene surface treated in a C02 plasma // Plasmas and polymers. 2003. V. 8. N 4. P. 225235.

55. Hollander A., Behnisch J., Zimmerman H. Chemical derivatization as a mean to improve contact angle goniometry of chemically heterogeneous surfaces // J. Polym. Sci.: Part A: Polym. Chem. 1994. V.32. P.699-709.

56. Suzuki M., Kishida A., Iwata H., Ikada Y. Graft copolymerization of acrylamide onto a polyethylene surface pretreated with a glow discharge // Macromolecules. 1986. V. 19, N 7, P. 1804-1808.

57. Choi H.-S, Kim Y.-S., Zhang Y.n, Tang S., Myung S.-W., Shin B.-C. Plasma-induced graft copolymerization of acrylic acid onto the polyurethane surface // Surf. Coat. Technol. 2004. V. 182, N 1, P. 55-64.

58. Sun M.W., Liao J.D., Wang M.C., Chen C.Y. Immobilized protein on polypropylene non-woven fabric initiated by microwave plasma // Proc. of 14th Int. Symp. on Plasma Chem. Prague, Czech Republic, August 2-6, 1999. V. 4. P. 17791784.

59. Гриневич В.И., Максимов А.И. Воздействие низкотемпературной кислородной плазмы на докозан // Химия высоких энергий. 1982. Т. 16, № 1. С. 76-79.

60. Bagley B.G., Quinn W.E., Mogab С.J., Vasile M.J. The effect of reactor configuration on the oxygen plasma conversion of an organosilicon to Si02 // Mater Lett. 1986. V.4. № 3. P. 154 158.

61. Choi C.H., Tang C.H., Paraszcak J., Babich E. Mechanism of oxygen plasma etching of polydimethylsiloxane films// Appl. Phys. Lett. 1985. V. 46, № 1. P. 31 -33.

62. Чалых A.E., Петрова И.И., Динзбург Б.Н, Лукьянович В.М., Смирнова Н.В. Применение метода газоразрядного травления для изучения структуры смесей полимеров// Высокомолекулярные соединения. 1973. Т. 15(A), № 11. С.2598-2600.

63. Чалых А.Е., Хрусталев Ю.А., Устинова В.М., Лукьянович В.М., Кротова Н.А. Электронно-микроскопическое исследование распределения наполнителей в резинах методом травления активным кислородом // Коллоидный журнал. 1973. Т. 35, № 2. С. 397 400.

64. Петрова И.И., Чалых А.Е., Авганов А.А., Лукьянович В.М. Температурные условия травления полимеров в плазме высокочастотного кислородного разряда// Высокомолекулярные соединения. 1973. Т. 15 (А), № 6. С.1421 -1425.

65. Friedrich J., Wittrich Н., Gahde J. Untersuchungen zur Plasmaatzung von Polymeroberflachen zur Verbesserung der Hafteigenschaften der Polymere // Acta Polym. 1980. B.31, N 1. S. 59-62.о

66. Golub M.A., Wydeven T. Reactions of atomic oxygen (0( P)) with various polymer films // Polym. Degrad. and Stabil. 1988. V. 22, N 4. P. 325-338.

67. Poncin-Epaillard F., Brosse J.C., Falher T. Cold plasma treatment: surface or bulk modification of polymer films? // Macromolecules. 1997. V. 30. № 15. P. 4415.

68. Менагаришвили В.М. Кинетика и механизм взаимодействия активного кислорода с пленками полимеров: Дис. . канд. хим. наук. Иваново, ИХТИ. 1990. 186 с.

69. Кутепов A.M., Максимов А.И. Динамическое поведение химически реагирующей плазмы пониженного давления // Теоретические основы химической технологии. 1998. Т. 32. № 4. С. 411 421

70. Гриневич В.И., Максимов А.И. Травление полимеров в низкотемпературной плазме // Применение низкотемпературной плазмы в химии / Под ред. JT.C. Полака. М.: Наука, 1981. С.135-169

71. Hong J., Truica-Marasescu F., Martinu L., Wertheimer M.R. An investigation of plasma-polymer interactions by mass-spectrometry // Plasmas and Polymers. 2002. V. 7.N3.P. 245-260.

72. Hansen R.H., Shonhorn H. A new technique for preparing low surface energy polymers for adhesive bonding. // J. Polym. Sci. Part B. 1966. V. 4. N 3. P. 223 -229.

73. Mathias E., Miller G.H. The decomposition of polytetrafluoroethylene in a glow discharge // J. Polym. Sci. 1967. V. 71. № 8. P. 2671-2675.

74. Гриневич В.И., Максимов А.И. Разложение полимеров в низкотемпературной кислородной плазме // Химия высоких энергий. 1983. Т. 17, №6. С. 523-526.

75. Гриневич В.И., Максимов А.И., Рыбкин В.В. Исследование действия низкотемпературной плазмы на поверхность полиэтилена // Химия высоких энергий. 1982. Т. 16, № 6. С. 547 550.

76. Hiraoka К., Nakamura Т., Matsugana К. Decomposition of PCB's in a hydrogen glow discharge plasma // Chem. Lett. 1980. № 7. P. 791 792.

77. Kogoma M., Turban G. Mechanism of etching and surface modification of polyimide in RF and LF SF6-02 discharges // Plasma Chem. and Plasma Proc. 1986. V. 6, №4. P. 349-380.

78. Turban G., Rapeaux M. Dry etching of polyimide in 02-CF4 and 02-SF6 plasmas // J. Electrochem. Soc. 1983. V. 130. № 12. P. 2231 2236.

79. Кувалдина Е.В., Любимов В.К., Максимов А.И., Рыбкин В.В. Исследование температурных зависимостей скоростей травления полиимидной пленки в плазме кислорода // Химия высоких энергий, 1990, Т. 24, № 5, С. 471 474.

80. Рыбкин В.В., Кувалдина Е.В., Любимов В.К. Сравнительный анализ травления полиимидной пленки в плазме 02 и смеси O2-CF4 // Химия высоких энергий, 1993, Т. 27, № 1, с. 83 87.

81. Александрова С.Н., Гриневич В.И., Ильин И.Ю., Чеснокова Т.А. Воздействие кислородной плазмой на поверхность полиамидимидной пленки //Химия высоких энергий. 1991. Т. 25. №2. С. 171-175.

82. Yasuda Н. Plasma for modification of polymers // J. Macromol. Sci.: Chem. 1976. V. 10. N3. P. 383-420.

83. Ясуда X. Полимеризация в плазме. М.: Мир, 1988. 376 с.

84. Taylor G.N., Wolf Т.М. Oxygen plasma removal of thin polymer films // Polym. Eng. Sci. 1980. V. 20. N 16. P.1087 1092.

85. Шарнина Л.В. Научные основы и технологии отделки текстильных материалов с использованием низкотемпературной плазмы, новых препаратов и способов колорирования. Дисс. . докт. техн. наук. Иваново, Ивановский гос. хим.-технол. университет. 2006. 335 с.

86. Poll H.-U., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberlachen. I. Plasma Polymer - Wechselwirkung // Acta Polymerica. 1980. B.31, N 12. S. 757766.

87. Кувалдина E.B., Рыбкин B.B., Терехина E.A., Титов В.А. Кинетические закономерности травления полиэтилентерефталата в плазме кислорода // Химия высоких энергий. 1994. Т. 28, № 5. С. 422-425.

88. Кувалдина Е.В., Любимов В.К., Рыбкин В.В. Константа скорости и вероятность взаимодействия атомарного кислорода с полиимидной пленкой // Химия высоких энергий. 2000. Т. 34. № 6. С. 456-459

89. Кувалдина Е.В., Рыбкин В.В., Терехина Е.А., Титов В.А. Вероятность и константа скорости химического взаимодействия атомов кислорода с пленкойполиэтилентерефталата // Химия высоких энергий. 1994. Т. 28. № 4. С. 359360.

90. Бровикова И.Н., Менагаришвили С. Д., Рыбкин В.В. Вероятности гетерогенной гибели и тепловые эффекты при взаимодействии атомов кислорода с пленками ПВХ // Химия высоких энергий. 1992. Т. 26, № 4. С. 381382.

91. Joubert J., Paniez P., Pelletier J., Pons M. Etching of polymers by oxygen plasmas: influence of viscoelastic properties // Appl. Phys. Letter. 1991. V. 58. № 9. P. 959.

92. Eggert L., Abraha W. Plasmaatzen diinner Schichten organischer Polymere. Teil II. Einflusse der processparameter // Acta Polymer. 1989. V. 40. № 12. P. 726.

93. Harada K. Plasma etching durability of polymethylmethacrylate //J. Appl. Polym. Sci. 1981. V. 26. № 6. P. 1961.

94. Мокроусов К.Я., Орликовский А.А. Исследование процесса травления полиметилметакрилата в низкотемпературной плазме // Труды Ин-та общей физики. 1987. Т. 8. С. 115.

95. Рыбкин В.В., Менагаришвили С.Д. Температурные зависимости скоростей плазмохимического травления некоторых полимеров // Химия высоких энергий. 1993. Т. 27. № 6. С. 71.

96. Vucanovic V., Takacs GA., Matuszak ЕА. et al. Polyimide etching and passivation in an 02-CF4-Ar microwave plasma//J. Vac. Sci. Technol. 1986. V. A4. N 3. P. 698.

97. Robb F.Y. Hydrogen plasma etching of organics // J. Electrochem. Soc. 1984. V. 131. N7. P. 1670.

98. Lamontage В., Wrobel A.M., Jalbert G., WerthimerM.R. Large-area microwave plasma etching of polyimide//J. Phys. D: Appl. Phys. 1987. V. 20. P. 844.

99. Ершова Э.С., Максимов А.И., Менагаришвили С.Д., Менагаришвили В.М. Гравиметрические исследования окисления графита и полиэтилена вкислородном тлеющем разряде // Химия высоких энергий. 1983. Т. 17. № 6. С. 527

100. Cook J.M., Benson B.W. Applications of ESR spectroscopy to oxidative removal of organic materials // J. Electrochem. Soc. 1983. V. 130. P. 2459.

101. Wydeven Т., Golub M.A., Narcinda R. Etching of plasma-polymerized tetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene, and sputtered polytetrafluoroethylene induced by atomic oxygen 0(3P). // J. Appl. Polym. Sci. 1989. V. 37. P. 3343.

102. Валиев К.А., Мокроусов КЯ., Орликовский А.А. Исследование кинетики травления полиметилметакрилата в низкотемпературной плазме // Поверхность. Физика, химия, механика. 1987. № 1. С. 53.

103. Буланьков Н.И., Кувалдина Е.В., Любимов В.К., Рыбкин В.В. Кинетические закономерности травления некоторых полиимидных материалов в кислородной плазме // Химия высоких энергий. 1992.Т. 26. №5. С. 471.

104. Менагаршивили С.Д., Рыбкин В.В. Кинетические закономерности травления пластифицированного поливинилхлорида в плазме кислорода и ее послесвечении // Химия высоких энергий. 1994. Т. 28. № 2.С. 187.

105. Joubert О., Paniez P., Pons М., Pelletier J. Polymer behavior under plasma etching: influence of physical properties on kinetics and durability // J. Appl. Phys. 1991.V. 70. N2. P. 977.

106. Эмануэль H.M., Бучаченко А.Л. Химическая физика молекулярного разрушения и стабилизации полимеров. М.: Наука, 1988. 368 с.

107. МагуновА.Н. Теплообмен неравновесной плазмы с поверхностью. М.: Физматлит, 2005. 312 с.

108. Рыбкин В.В., Менагаришвили С.Д., Максимов А.И., Менагаришвили В.М. Тепловые эффекты при действии активированного кислорода на поверхность полиэтилентерефталата // Теплофизика высоких температур. 1994. Т.32, № 6. С. 955-957.

109. Дорофеев Ю.И., Скурат В.Е. Фотохимические процессы под действием вакуумного ультрафиолетового излучения // Итоги науки и техники. Сер. Радиационная химия. Фотохимия. М.:ВИНИТИ, 1983. Т. 3. 178 с.

110. Рэнби Б., Рабек Я. Фото деструкция, фотоокисление, фотостабилизация полимеров / Пер. с англ. В.Б. Иванова. Под ред. Н.М. Эмануэля. М.: Мир, 1978. 675 с.

111. Милинчук В.К., Клиншпонт Э.Р., Пшежецкий С.Я. Макрорадикалы. М.: Химия. 1980. 264 с.

112. Пономарев А.Н., Максимов А.И., Василец В.Н., Менагаришвили В.Н. О фотоокислительной деструкции ПЭ и ПВХ при одновременном действии ВУФ-излучения и активного кислорода // Химия высоких энергий. 1989. Т. 23. №3. С. 231 -232.

113. Tagawa M., Yokoto K. Atomic oxygen-induced polymer degradation phenomena in simulated LEO space environments: How do polymers react in a complicated space environment? // Acta Astronautica. 2008. V. 62. P. 203 -211.

114. Dorai R, Kushner M.J. A model for plasma modification of polypropylene using atmospheric plasma discharges // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. 666 — 685.

115. Bhoj A.N., Kushner M.J. Continuous processing of polymers in repetitively pulsed atmospheric pressure discharges with moving surfaces and gas flow // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. P. 6953 6968.

116. Akishev Yu., Grushin M., Dyatko N., Kochetov I., Napartovich A., Trushkin N., Due T.M., Descours S. Studies on cold plasma polymer unteraction by example of PP- and PET-films // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. V. 41. 235203.

117. Gousset G., Touzeau M., Vialle M., Ferreira C.M. Kinetic model of dc oxygen glow discharge // Plasma Chem. Plasma Proc. 1989. V. 9, N 2. P. 189-206.

118. Ferreira C.M., Gousset G. A consistent model of the low-pressure oxygen positive column // J. Appl. Phys. 1991. V. 24, N 5. P. 775-778.

119. Gousset G., Ferreira C.M., Pinheiro M., Sa P.A., Touzeau M., Vialle M., Loureiro J. Electron and heavy-particle kinetics in low pressure oxygen positive column // J. Appl. Phys. 1991. V. 21, N 3. P. 290-300.

120. Rybkin V.V., Bessarab A.B., Kuvaldina E.V., Maximov A.I., Titov V.A. Self-consistent analysis of low-temperature oxygen plasma and processes of its interaction with some polymer materials // Pure and Appl. Chem. 1996. V. 68, N 5. P. 10411045.

121. Рыбкин B.B., Бессараб А.Б., Максимов А.И. Численное моделирование положительного столба тлеющего разряда в кислороде // Теплофизика высоких температур. 1995. Т. 33, № 2. С. 185-190.

122. Рыбкин В.В., Бессараб А.Б., Максимов А.И. Анализ источников нагрева газа в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур. 1996. Т. 34, № 2. С. 181-186.

123. Pinheiro M.J., Gousset G., Granier A., Ferreira M.C. Modelling of low-pressure surface wave discharges in flowing oxygen: Electrical properties and species concentrations // Plasma Sources Sci. Technol. 1998. V. 4, N 7. P. 524-536.

124. Gordiets В., Ricard A. Production of N, О and NO in N2-02 glow discharge // Plasma Sources Sci. Technol. 1993. V. 2. P. 158 163.

125. Gordiets В., Ferreira C.M., Guerra V.L., Loureiro J., Nahorny J., Pagnon D., Touzeau M., Vialle M. Kinetic model of a low-pressure N2-02 flowing glow discharge // IEEE Trans. Plasma Sci. 1995. V. 23, N 4. P. 750-768.

126. Nahorny J., Ferreira C.M., Gordiets В., Pagnon D., Touzeau M., Vialle M. Experimental and theoretical investigation of a N2-02 DC flowing glow discharge // J. Phys. D: Appl. Phys. 1995. V. 28. N 4. P. 738 747.

127. Gordiets В., Ferreira C.M., Nahorny J., Pagnon D., Touzeau M., Vialle M. Surface kinetics of N and О atoms in N2-02 discharges // J. Appl. Phys. 1996. V. 29. P. 10211031.

128. Guerra V.L., Loureiro J. Non-equilibrium coupled kinetics in stationary N2-02 discharges // J. Phys. D: Appl. Phys. 1995. V. 28. P. 1903 1918.

129. Guerra V.L., Loureiro J. Self-consistent electron and heavy-particle kinetics in a low-pressure N2-02 glow discharge// Plasma Sources Sci. Technol. 1997. V. 6. P. 373 -385.

130. Guerra V.L., Loureiro J. Kinetic model of a low-pressure microwave discharge in N2-02 including the effects of O" ions on the characteristics for plasma maintenance // Plasma Sources Sci. Technol. 1999. V. 8, № 1. P. 110-124.

131. Исламов Р.Ш., Кочетов И.В., Певгов В.Г. Анализ процессов взаимодействия электронов с молекулой кислорода// Препринт № 169. М.: ФИАН СССР. 1977. 27 с.

132. Mazek К., Ruzicka Т., Laska L. Electron collision rates in oxygen glow discharge // Czech. J. Phys. 1978. V. 28, № 4. P. 1321-1334.

133. Kajita S., Ushiroda S., Kondo V. Influence of the dissociation process of oxygen on the electron's warm parameters in oxygen // J. Appl. Phys. 1990. V. 67, №9. P. 4015-4023.

134. Lawton S.A., Phelps A.V. Excitation of the b'Eg"1" state of 02 by low energy electrons // J. Chem. Phys. 1978. V. 69, № 3. P. 1055-1068.

135. Trajmar S., Williams W., Kupperman A. Angular Dependence of Electron Impact Excitation Cross Sections of 02 // J. Chem. Phys. 1972. V. 56, № 8. P. 37593765.

136. Wakiya D. Differential and integral cross sections from the ground state // J. Phys.: B. 1978. V. 11. N22. P. 3931-3938.

137. Garret B.C., Redmon L.T., McCurdy C.W., Redmon WJ. Electronic excitation and dissociation of 02 and S2 by electron impact // Phys Rev. 1985. V. 32, N 6. P. 33663375.

138. Wakiya D. Optically allowed transitions from the ground state // J. Phys.: B. 1978. V.l 1. N 22. P. 3913-3930.

139. Price D.A., Moruzzi J.L. Ionization in mixtures of oxygen and carbon monoxide // J. Appl. Phys. 1973. V. 6, N 2. P. 17-19.

140. Sukhum N., Prasad A.N., Graggs J.D. Electron attachment and detachment in oxygen//J.Appl.Phys.- 1967.- V.18, №6.-P.785-792.

141. Corbin R.J., Fromhold L. Electron avalanches in oxygen and in mixtures of 02 and H2. Determination of the first Townsend coefficient a // Phys.Rev.A. 1974. V.10,№ 6. P. 2273-2279.

142. Wagner K.H. Ionization, electron attachment-detachment and charge-transfer in oxygen and air // Z.Physik. 1971. V.241, №3.- P.258-270.

143. Бровикова И.Н., Рыбкин B.B., Бессараб А.Б., Шукуров A.JI. Кинетические характеристики диссоциации молекул кислорода в положительном столбе разряда постоянного тока// Химия высоких энергий. 1997. Т. 31, № 2. С. 146148.

144. Rapp D., Briglia D. Total cross sections for ionization and attachment in gases by electron impact. I. Positive ionization // J. Chem. Phys. 1965. V. 43, № 5. P. 14641479.

145. Mark T.D. Cross sections for single and double ionization of N2 and 02 molecules by electron impact from threshold up to 170 eV // J. Chem. Phys. 1975. V. 63, №9. P. 3731-3737.

146. Tate J.I., Smith R.T. The efficiencies of ionization and ionization potentials of various gases under electron impact // Phys. Rev. 1932. V. 39, № 1. P. 270-277.

147. Рыбкин В.В. Физическая химия процессов в системе неравновесная плазма кислорода полимер. Дисс. . докт. хим. наук. Иваново: ИХР РАН, 2000. 287 с.

148. Laher R.R., Gilmore F.R. Update excitation and ionization cross sections for electron impact on atomic oxygen // J. Phys. Chem. Ref. Data. 1990. V. 19, N 1. P.277-304.

149. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.:Атомиздат.-1974. 456 с.

150. Becher К.Н., Groth W., Schurath U. Reaction of O^Ag) with ozone // Chem. Phys. Lett. 1972. V.14. № 4. P. 489-492.

151. Slanger T.G., Black G. The product channels in the quenching of O^S) by 02(a'Ag) // J. Chem. Phys. 1981. V. 75, № 5. P. 2247-2251.

152. Дворянкин A.H., Ибрагимов Л.Б., Кулагин Ю.А., Шелепин Л.А. Механизмы электронной релаксации в атомно-молекулярных средах. // Химия плазмы / Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Энергоатомиздат. 1987. Вып. 14. С. 102127.

153. Slanger T.G., Black G. Interactions of 02(УЕ+е) with 0(3P) and 03// J. Chem. Phys. 1979. V. 70, № 7. P. 3434-3443.

154. Zinn J., Sutherland C.D., Stone S.N., Dunkan L.M. Ionospheric effects of rocket exhaust products-NEAO-C. Skylab // J. Atmosph. Terr. Phys. 1982. V. 44, № 12. P. 1143-1171.

155. Kenner R.D., Ogryzlo E.A. Deactivation of 02(A3Zu+) by 02, О and Ar // Int. J. Chem. Kinet. 1980. V. 12, № 7. P. 502-508.

156. Young R.A., Black G. Deactivation of 0(!D) // J. Chem. Phys. 1967. V. 47, № 7. P. 2311 -2318.

157. Arnold J., Comes F.J. Photolysis of ozone in ultraviolet region: Reactions of 0(!D), 02(!Ag) and 02* // J. Chem. Phys. 1980. V. 47, № 1. P. 125-130.

158. Atkinson R., Welge K.H. Temperature dependence of O('S) deactivation by C02, 02, N2 and Ar// J. Chem. Phys. 1972. V. 57, № 9. P. 3689-3693.

159. Смирнов Б.М. Возбужденные атомы. М.: Энергоиздат.1982. 232 с.

160. Slanger T.G., Black G. 0(!S) quenching by 0(3P) // J. Chem. Phys. 1976. V. 64, № 9. P. 3 763-3766.

161. Морозов И.И., Темчин С.М. Кинетика реакций синглетного кислорода в газовой фазе. Химия плазмы / Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Энергоатомиздат. 1990. Вып. 16. С. 39-77.

162. Lefebre М., Pealat М., Taran J.P. Diagnostic of plasmas by CARS (coherent anti-Stokes Raman scattering) // Pure and Appl. Chem. 1992. V. 64, № 5. P. 685689.

163. Izod T.P.J., Wayne R.P. The reaction and deactivation of O^b'lg+)// Proc. Roy. Soc. 1968. V. A308. P. 81-94.

164. Derwent R.G., Thrush B.A. Measurement on 02'Ag and 021Sg+ in discharge flow system // Trans. Faraday Soc. 1971. № 7. P. 2036-2043.

165. Wertheimer M.R., Fozza A.C., Hollander A. Industrial processing of polymers by low-pressure plasmas: the role of VUV radiation // Nuclear Instr. and Methods in Phys. Res. B. 1999. V. 151. P. 65-67.

166. Александров Н.Л., Сон Э.Е. Энергетическое распределение и кинетические коэффициенты электронов в газах в электрической поле / Химия плазмы. Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат. 1980. Вып. 7. С. 35-75.

167. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.: Наука. 1980.310 с.

168. Александров Н.Л., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. I. Невозбужденные молекулы // Физика плазмы. 1978. Т. 4, № 1. С. 169-175.

169. Александров H.JI., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. II. Колебательно-возбужденные молекулы // Физика плазмы. 1978. Т. 4, № 5. С. 1182-1186.

170. Кочетов И.В., Певгов В.Г., Полак JI.C., Словецкий Д.И. Скорости процессов, инициируемых электронным ударом. Азот и углекислый газ./ Плазмохимические процессы. Под ред. JI.C. Полака. М.: Ин-т нефтехимического синтеза АН СССР. 1979. С. 4-28.

171. Словецкий Д.И. Влияние электронного удара и электронно-возбужденных состояний на реакции распада молекул / Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме. Под ред. JI.C. Полака. М.: Наука. 1974. С. 3-47.

172. Иванов Ю.А., Полак JI.C. Энергетическое распределение электронов в низкотемпературной плазме/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат. 1975. Вып. 2. С. 161-198.

173. Ferreira С.М., Loureiro J. Electron excitation rates and transport parameters in high-frequency N2 discharges // J. Appl. Phys. 1989. V. 22. P.76-82.

174. Loureiro J. Nitrogen dissociation rate and N(4S) densities in N2 glow discharge// Chem. Phys. 1991. V. 157. N 1-2. P. 157-168.

175. Полак JI.C., Словецкий Д.И., Урбас А.Д., Федосеева Т.В. Релаксационные измерения и механизмы возбуждения электронно-колебательных уровней молекул в тлеющем разряде в азоте // Химия плазмы / Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат. 1978. В.5. С. 242-279.

176. Очкин В.Н. Савинов С.Ю., Соболев Н.Н. Механизмы формирования распределений электронно-возбужденных молекул по колебательно-вращательным уровням в газовом разряде// Труды ФИАН СССР. М.: Наука. 1985. Т. 158. С. 6-85.

177. Неравновесная колебательная кинетика / Под ред. М. Капителли. М.: Мир. 1989. 392 с.

178. Словецкий Д.И., Тодесайте Р.Д. Исследование механизма разложения молекул азота в тлеющем разряде. I. Экспериментальное исследование разложения азота в тлеющем разряде // Химия высоких энергий. 1973. Т. 7. № 4. С. 291-296.

179. Батанов Г.М., Грицинин С.И., Коссый И.А. СВЧ-разряды высокого давления // Труды ФИАН СССР. 1985. Т. 160. С. 174-203.

180. Русанов В.Д., Фридман А.А. Физика химически активной плазмы. М.: Наука. 1984. 415 с.

181. Борисов Н.Д., Гуревич А.В., Милих Г.М. Искусственная ионизированная область в атмосфере М.: ИЗМИР АН СССР. 1985. 184 с.

182. Физика и химия газовых разрядов в пучках СВЧ-волн/ Труды ИОФАН РАН. Под ред. A.M. Прохорова. 1994. Т. 47. 144 с.

183. Kossyi I.A., Kostinsky A.Yu., Matveyev A.A., Silakov V.P. Kinetic scheme of the non-equilibrium discharge in nitrogen-oxygen mixtures// Plasma Sources Sci. Technol. 1992. V. 1. N 3. P. 207 220.

184. Александров Н.Л., Высикайло Ф.И., Исламов Р.Ш. Функция распределения электронов в смеси N2-02=4:l // Теплофизика высоких температур. 1981. Т. 19, № 1. С. 22-27.

185. Masek К. Electron gas in discharge plasma in air // Czech. J. Phys. 1984. V. 34, N 7. P. 655-664.

186. Золотарев B.O., Кудряшова И.В. Исследования колебательной релаксации смеси азота и кислорода с учетом ангармонизма молекул// Химическая физика. 1990. Т. 9. №2. С. 278-279.

187. Гордиец Б.Ф., Мамедов Ш.С., Осипов А.И., Шелепин А.А. О распределении колебательной энергии в газовых смесях // Теоретическая и экспериментальная химия. 1973. Т. 9. В. 4. С. 460-479.

188. Мнацаканян А.Х., Найдис Г.В. Баланс колебательной энергии в разряде в воздухе // Теплофизика высоких температур. 1985. Т. 23, № 4. С. 640-646.

189. Куликов В.Н., Мицук В.Е. Скорость диссоциации молекул кислорода в импульсном СВЧ разряде в воздухе// Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. Вып. 3. С. 233-235.

190. Александров Н.Л., Кончаков A.M. Диссоциация молекул кислорода в СВЧ разряде в воздухе // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 6. С. 4-7.

191. Ferreira C.M., Loureiro J. Electron transport parameters and excitation rates in argon//J. Phys. D: Appl. Phys. 1983. V. 16. P. 1611-1621.

192. Ferreira C.M., Loureiro J. Electron energy distribution and excitation rates in high-frequency argon discharges// J. Phys. D: Appl. Phys. 1983. V. 16. P. 24712483.

193. Ferreira C.M., Loureiro J. Characteristics of high-frequency and direct-current argon discharges at low pressure: a comparative analysis// J. Phys. D: Appl. Phys. 1984. V. 17. P. 1175-1188.

194. Ferreira C.M., Loureiro J., Ricard A. Populations in the metastable and resonance levels of argon and stepwise ionization effects in a low-pressure argon positive column// J. Phys. D: Appl. Phys. 1985. V. 57. P.82-90.

195. Karoulina E.V., Lebedev Yu. A. Computer simulation of microwave and DC plasmas: comparative characterization of plasmas // J. Phys. D: Appl. Phys. 1992. V. 25. №3. P. 401.

196. Карулина E.B., Лебедев Ю.А. О соотношении характеристик плазмы неравновесных самостоятельных разрядов СВЧ и постоянного тока // Плазмохимия-91. М.: ИНХС АН СССР. 1991. С. 7-44.

197. Иванов Ю.А, Рытова Н.М, Солдатова И.В, Тимакин В.Н, Эпнггейн И.Л. Активные частицы в гетерогенных реакциях в тлеющих разрядах в смесях инертных газов с водородом и метаном // Плазмохимия-91.М.: ИНХС АН СССР, 1991, С. 172-208.

198. Байсова Б.Т., Струнин В.И., Струнина Н.Н.,. Худайбергенов Г.Ж Абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда// Журнал технической физики. 2003. Т. 73. Вып. 8. С. 31-33.

199. Takechi К, Lieberman М.А. Effect of Аг addition to an 02 plasma in inductively coupled, traveling wave driven, large area plasma source: 02/Ar mixture plasma modeling and fotoresist etching // J. Appl. Phys. 2001. V. 90. P. 3205-3211.

200. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. М.: Наука, 1981. 143 с.

201. Очкин В.Н. Спектроскопия низкотемпературной плазмы. М.: Физматлит, 2006. 472 с.

202. Таблицы физических величин: Справочник / Под ред. И.К. Кикоина М.: Атомиздат, 1976.

203. Noxon J.F. Optical emission from 0(*D) and 02(b'Zg+) in ultraviolet photolysis of 02 and C02// J.Chem.Phys. 1970. V.52, №4. P. 1852-1873.

204. Gilpin R., SchiffHJ., Welge K.H. Photodissociation of 03 in the Hartley band. Reaction of 0(*D) and O^E/) with 03 and 02// J. Chem. Phys. 1971. V.55, № 3. P.1087-1093.

205. Slanger T.G. Vibrational excitation of 02(b1Eg+) // Can. J. Phys. 1986. V. 64, № 12. P. 1657-1663.

206. Burch D.E., Gryvnak D.A. Strengths, widths and shapes of the oxygen lines near 13000 cm1 (7620 A) // Appl.Optics. 1979. V.8, № 7. P. 1493-1499.

207. Губанов A.M. Исследование наблюдаемой интенсивности электронно-колебательных полос двухатомных молекул с неразрешенной вращательной структурой // Оптика и спектроскопия. 1971. Т. 30, № 2. С. 211.

208. Аржанок В.В., Мельников В.В., Скутов Д.К. и др. Измерение газовой температуры в тлеющем разряде в азоте с быстрой прокачкой // Журнал прикладной спектроскопии. 1987. Т. 48, № 4. С. 728.

209. Новгородов М.З., Очкин В.Н., Соболев Н.Н. Измерения колебательных температур в ОКГ на С02// Журн. техн. физики. 1970. Т. 40. Вып. 6. С. 12681275.

210. Кузнецова Л.А., Кузьменко Н.Е., Кузяков Ю.Я., Пластинин Ю.А. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул / Под ред. Р.В. Хохлова. М.: Наука, 1980. 319 с.

211. Nichols R. W. Transition probabilities of aeronomically important spectra I I Annales de Geophysique. 1964. V. 20. № 2. P. 144-181.

212. Кузьменко H.E., Кузнецова Л.А., Кузяков Ю.Я. Факторы Франка-Кондона двухатомных молекул. М.: Изд-во МГУ, 1984. 344 с.

213. Huber К.Р., Herzberg G. Molecular spectra and molecular structure. IV. Constants of Diatomic Molecules. N.Y.: Litton Educational Publishing, Inc., 1979.

214. Тихонов A.H., Самарский А.А. Уравнения математической физики. M.: Изд. технико-теоретической лит-ры. 1953. 680 с.

215. Рыбкин В.В., Кувалдина Е.В., Смирнов С.А., Титов В.А., Иванов А.Н. Кинетические закономерности начальных стадий взаимодействия плазмы кислорода с поверхностью полиимид a Kapton-H // Химия высоких энергий. 1999. Т. 33. № 6. С. 463-466

216. Вилков Ю.А., Пентин Л.В. Физические методы исследования в химии. М.: Мир, 2003. 683 с.

217. Беллами Л. Инфракрасные спектры сложных молекул. М.: Изд-во иностранной лит-ры, 1963. 590 с.

218. Дехант И., Данц Р., Киммер В., Шмольке Р. Инфракрасная спектроскопия полимеров. М.: Химия, 1976.

219. Магунов А.Н., Мудров Е.В. Измерение краевого угла смачивания методом диаграммы отраженного света // Приборы и техника эксперимента. 1990. № 5. С. 227-230.

220. Кинлок Э. Адгезия и адгезивы: наука и технология. М.: Мир, 1991.

221. Энциклопедия полимеров. М.: Советская энциклопедия. 1977. Т. 3.

222. Webster H., Bair E.J. Ozone ultraviolet photolysis. IV. 02*+0(3P) vibrational energy transfer // J. Chem. Phys. 1972. V. 56, № 12. P. 6104-6108.

223. Kiefer J.H. Effect of V-V-transfer on the rate of diatomic molecule dissociation // J. Chem. Phys. 1972. V. 57. № 5. P. 1938.

224. Физико-химические процессы в газовой динамике. Компьютеризированный справочник: В 3 т./ Под ред. Г.Г. Черного и С.А.Лосева. М.: Изд-во МГУ, 1995. Т. 1: Динамика физико-химических процессов в газе и плазме. 350 с.

225. Никитин Е.Е., Осипов А.И., Уманский С.Я. Колебательно-поступательный обмен энергией при столкновениях гомоядерных двухатомных молекул // Химия плазмы. / Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат, 1989. Вып. 15. С. 323.

226. Гершензон Ю.М., Никитин Е.Е., Розенштейн В.Б., Уманский С.Я. Взаимодействие колебательно-возбужденных молекул с химически активными атомами // Химия плазмы / Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат. 1978. Вып. 5 С. 3.

227. Мнацаканян А.Х., Найдис Г.В. Баланс колебательной энергии в разряде в воздухе // Теплофизика высоких температур. 1985. Т. 23, № 4. С. 640-646.

228. Смит Я. Передача колебательной энергии в столкновениях с участием свободных радикалов. В кн.: Неравновесная колебательная кинетика / Под ред. М. Капителли. М.: Мир, 1989. С. 136.

229. Бухарин Е.В., Лобанов А.Н. Сечения колебательной релаксации молекул ^(X'SgjV) при столкновениях с атомом 0(3Р). Расчет методом Монте-Карло//

230. Тезисы докл. IV Всесоюзного симпозиума по плазмохимии. Часть I. Днепропетровск: Днепропетровский химико-технологический ин-т, 1984. С. 5253.

231. Дмитриева И.К., Зеневич В.А. Влияние колебательного возбуждения азота на константу скорости реакции N2(V) + О —> NO + N. Теоретико-информационное приближение//Химическая физика. 1984. Т. 3, № 8. С. 10751080.

232. Полак Л.С., Гольдберг М.Я., Левицкий А.А. Вычислительные методы в химической кинетике. М.: Наука. 1984. 280 с.

233. Гершензон Ю.М., Розенштейн В.Б., Уманский С.Я. Гетерогенная релаксация колебательной энергии молекул // Химия плазмы. Вып. 4 / Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат. 1977. С.61.

234. Холодков И.В., Рыбкин В.В. Анализ сечений процессов взаимодействия электронов с молекулой NO // Материалы I Всероссийской научной конференции "Молекулярная физика неравновесных систем". Иваново: Ивановский гос. ун-т, 1999. С. 22.

235. Hall R.I., Trajmar S. Scattering of 4.5 eV electrons by ground (X3E"g) state and metastable (a!Ag) oxygen molecules // J. Phys. B: Atom and Mol. Phys. 1975. V. 8, № 12. P. 293-296.

236. Khakoo M.A., Newell W.R., Smith A.C.H. Electron impact excitation from a!Ag state of molecular oxygen // J. Phys. B. 1983. V. 16, № 10. P. 317-322.

237. Burrow P.D. Dissociative electron attachment from the O^a'Ag) state // J. Chem. Phys. 1973. V. 59, № 9. P. 4922-4931.

238. Буланьков Н.И., Кувалдина E.B., Любимов B.K., Рыбкин В.В. Анализ применимости метода малых добавок аргона для оптической диагностики плазмы кислорода, содержащей примеси С02, СО и Н2// Журн. прикл. спектроскопии. 1991. Т. 54. № 5. С. 851-854.

239. Inn E.C.Y., Tanaka Y. Absorption coefficient of ozone in the ultraviolet // J. Opt. Soc. Amer. 1953. V. 43. № 4. P. 329-330.

240. Александров H.JI. Отлипание электронов от ионов О' и 02~ возбужденными молекулами в газоразрядной воздушной плазме // ЖТФ. 1978. Т. 48, № 7. С. 1428.

241. Смит К., Томсон Р. Численное моделирование газовых лазеров. М.: Мир, 1981.515 с.

242. Jannuzzi М.Р., Jeffries J.B., Kaufman F. Product channels of the N2(A Eu ) + 02 interaction // Chem. Phys. Lett. 1982. V. 87. № 6. P. 570.

243. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Справочник по атомной и молекулярной физике М.: Атомиздат, 1980. 240 с.

244. Piper L.G. Quenching rate coefficients for N2(a '5Y) // J. Chem. Phys. 1987. V. 87. №3. P. 1625.

245. Yaron M., Von Engel A., Vidaud P.H. The collisional quenching of 02*('Ag) by NO and C02 // Chem. Phys. Lett. 1976. V. 37. № 1. p. 159.

246. Дидюков А.И., Кулагин Ю.А., Шелепин JI.А., Ярыгина В.Н. Анализ скоростей процессов с участием молекул синглетного кислорода // Квантовая электроника. 1989. Т. 16. № 5. С.892.

247. O'Brien R.J., Myers G.H. Direct flow measurement of O^b'Eg*) quenching rates// J. Chem. Phys. 1970. V. 53. № Ю. P. 3832.

248. Baulch D.L., Cox R.A., Crutzen P.J. Evaluated kinetic and photochemical data for atmospheric chemistry: Supplement III J. Phys. Chem. Ref. Data. 1982. V. 11 № 2. P. 327.

249. Puech V., Torchin L. Collision cross sections and electron swarm parameters in argon // J. Phys. D: Appl. Phys. 1986. V. 19. № 12. P. 2309.

250. Радциг A.A., Смирнов Б.М. Параметры атомов и молекул. Справочник. М.: Энергоатомиздат, 1986. 344 с.

251. Ivanov V.V., Klopovskii K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. Nonlocal nature of the electron spectrum in a glow-discharge at low gas pressure // Plasma Physics Reports. 2000. V. 26. № 11. P. 1046.

252. Смирнов Б.М. Физика слабоионизованного газа. М.: Наука, 1978. 416 с.

253. Полак JI.C., Овсянников А.А., Словецкий В.И., Вурзель Ф.Б. Теоретическая и прикладная плазмохимия. М.: Наука, 1975. С. 113.

254. Veis P., Cernogora G., Magne L. A double pulse discharge technique for the study of oxygen recombination // Proc. of ESCAMPIG96. Poprad, Slovakia. 1996. August 27-30. Topic 3. P. 255.

255. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Бриггса Д. и Сиха М.П. М.: Мир. 1987. 435 с.

256. Клещев Н.Ф., Костыпкина Т.Д., Бескова Г.С., Моргунова Е.Т. Аналитический контроль в основной химической промышленности. М.: Химия. 1992.272 с.

257. Бровикова И.Н., Рыбкин В.В. Температурная зависимость вероятностилгетерогенной рекомбинации атомов О Р на поверхности кварцевого стекла // Химия высоких энергий. 1993. Т. 27, № 4. С. 89-92.

258. Gousset G., Panafieu P., Touzea U.M., Vialle M. Experimental study of DC oxygen glow discharge by V.U.V. absorption spectroscopy // Plasma Chem. Plasma Proc. 1987. V.7, №> 4. P. 409-427.

259. Денисов E.T. Окисление и деструкция карбоцепных полимеров. Л.: Химия, 1990.

260. Дорофеев Ю.И. Газообразные продукты травления полиэтилена атомами 0(3Р) с участием молекул кислорода 02(X3Sg"), 02(b1E+g), 02(a'Ag) и возможный механизм их образования // Химия высоких энергий. 2004. Т. 38, № 4. С. 255 -259.

261. Turban G., Papeaux М. Dry etching of polyimide in 02-CF4 and 02-SF6 plasmas//J. Electrochem. Soc. 1983. V. 130. №. 11. P. 2231-2236.

262. Максимов А.И., Рыбкин В.В., Кувалдина Е.В. Влияние химически реагирующих граничных поверхностей на окислительную деструкцию полиимида в неравновесной плазме // Химия высоких энергий. 1995. Т.29. № 1. С.60 62.

263. Захаров А.Г., Максимов А.И., Титова Ю.В. Физико-химические свойства плазменно-растворных систем и возможности их технологических применений // Успехи химии. 2007. Т. 76. № 3. С. 260 278.

264. Malik М.А., Ghafar A., Malik S.A. Water purification by electrical discharges // Plasma Sources Sci. Technol. 2001. V. 10, № 1. P. 82 91.

265. Sato M. Environmental and biotechnological applications of high-voltage pulsed discharges in water // Plasma Sources Sci. Technol. 2008. V. 17, D01024021 (7pp).

266. Locke B.R., Sato M., Sunka P., Hoffmann M.R., Chang J.S. Electrohydraulic discharge and nonthermal plasma for water treatment // Ind. Eng. Chem. Res. 2006. V. 45. №2. P. 882.

267. Mezei P., Cserfalvi T. Electrolyte cathode atmospheric glow discharges for direct solution analysis // Appl. Spectr. Rev. 2007. V. 42. P. 573 604.

268. Баковец В.В., Поляков О.В., Долговесова И.П. Плазменно-электролитическая анодная обработка металлов. Новосибирск: Наука, сиб. отд., 1991. 168 с.

269. Бабиков Д.А., Сон Э.Е. Эмиссия электронов в тлеющем разряде с жидким электролитным катодом // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1997. № 9. С. 47 52.

270. Bruggeman P., Liu Jingjin, Degroote J., Kong M.G., Vierrendeels J., Leys C. DC excited glow discharge in atmospheric pressure air in pin-to-water electrode systems // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. V. 41. 215201 (11 pp).

271. Бугаенко Л.Т., Кузьмин M.H., Полак Л.С. Химия высоких энергий. М.: Химия, 1988.

272. Brescansin L.M., Lima А.Р., Gibson T.L., МсКоу V., Huo W.M. Studies of electron-molecule collisions: applications to e-H20// J. Chem. Phys. 1986. V. 85, №4. P. 1854-1858.

273. Gianturco F.A., Scialla S. Energy electron scattering from water molecules // J. Chem. Phys. 1987. V. 87, № 11. P. 6468-6473.

274. Shyn T.W., Cho S.Y. Vibrationally elastic scattering cross section of water by electron impact // Phys. Rev. A. 1987. V. 36, № 11. P. 5138-5142.

275. Danjo A., Nishimura H. Elastic scattering of electrons from H20 molecule// J. Phys. Soc. Japan. 1985. V. 54, № 4. P. 1224-1227

276. Sucora O., Mori S., Katayama Y. Total cross sections for electrons and positrons collising with H20 molecules// J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1986. V. 19, № 10. P. 4373-4378.

277. Zecca A., Karwasz G., Oss S., Grisenti R., Brusa R.S. Total absolute cross sections for electron scattering on H20 at intermediate energies // J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1987. V. 20, № 4. P. 133-136.

278. Pack J.L., Voshal K.E., Phels A.V. Drift velocities of slow electrons in krypton, xenon, deuterium, carbon monoxide, carbon dioxide, water vapor, nitrous oxide and ammonia // Phys. Rev. 1962. V. 127, № 6. P. 2084-2089.

279. Bayes K.D., Kievelson D., Wang S.C. Measurement by cyclotron resonance of molecular cross sections for elastic collisions with 295 К electrons// J. Chem. Phys. 1962. V. 37, № 6. P. 1217-1225.

280. Tice R., Kievelson D. Cyclotron resonance in gases. Cross sections for dipolar gases and for C02 // J. Chem. Phys. 1967. V. 46, № 12. P. 4748-4754.

281. Соколов В.Ф., Соколова Ю.А. Полные сечения рассеяния электронов на молекулах H2S и Н20 в области энергий электронов 0 10 эВ// Письма в ЖТФ. 1981. Т. 7, №. 10. С. 627-631.

282. Itikawa Y. Rotational transition in an asymmetrictop molecule by electron collision // J. Phys. Soc. Japan. 1972. V. 32, №1.P. 217-226.

283. Jain A., Thompson D.G. Rotational excitation of CH4 and H20 by slow electron impact//J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1983. V. 16, № 16. P. 3077-3098.

284. Jung К., Antoni Th., Muller R., ICochem K.H., Ehrhardt H. Rotational excitation of N2, CO and H20 by low-energy electron collisions// J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1982. V. 15, №19. P. 3535-3555.

285. Seng G., binder F. Vibrational excitation of polar molecules by electron impact. II. Direct and rezonant excitation in H20// J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1976. V. 9, № 14. P. 2539-2551.

286. Stockdale J.A.D. Fate of electrons with energies less than 100 eV// Radiat. Res. Proc. 6th Int. Congr. Radiat. Res., Tokyo. 1979, Tokyo. P. 100-108.

287. Itikawa Y. Electron-impact vibrational excitation of H20 // J. Phys. Soc. Japan. 1974. V. 36, № 4. P. 1127-1132.

288. Shimamura I. Cross sections for collisions of electrons with atoms and molecules // Sci. Papers I.P.C.R. 1989. V. 82. P. 1-51.

289. Belie D.S., Landau M., Hall R.I. Energy and angular dependens of H~(D~) ions produced by dissociative electron attachment to H20 (D20)// J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1981. V. 14, № 1. P. 175-190.

290. Schulz G.J. Excitation and negative ions in H20// J. Chem. Phys. 1960. V. 33, №6. P. 1661-1664.

291. Melton C.E., Neece G.A. Cross sections for capture of low energy electrons in H20 vapor// J. Chem. Phys. 1971. V. 55, № 9. P. 4665-4666.

292. Compton R.N., Christophorou L.G. Negative-ion formation in H20 and D20 // Phys. Rev. 1967. V. 154, № l.P. 110-116.

293. Бучельникова H.C. Эффективные поперечные сечения захвата медленных электронов некоторыми галоидосодержащими молекулами, 02 и Н20// ЖЭТФ. 1958. Т. 39, №.5. С. 1119-1130.

294. Месси Г. Отрицательные ионы. М.: Мир. 1979. 754 с.

295. Parr J.E., Moruzzi J.L. Electron attachment in water vapor and ammonia// J. Phys. D: Appl Phys. 1972. V. 5, № 3. P. 514-524.

296. Gallagher J.W., Beaty E.C., Dutton J., Pitchford L.C. An annotated compilation and appraisal of electron swarm data in electronegative gases // J. Phys. Chem. Ref. Data. 1963. V. 12, № 1. P. 109-152.

297. Бычков В.Л., Елецкий A.B., Смирнов Б.М. Кинетические коэффициенты электронов и процессы электрон-молекулярных соударений в слабоионизованной плазме// Химия плазмы. Сб. под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат. 1983. Вып. 10. С. 146-168.

298. Morgan L.A. Electron impact excitation of water// J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1998. V. 31, № 22. P. 5003-5011.

299. Lassettre E.N., Skerbele A., Dillon M.A., Ross K.J. High-resolution study of electron-impact spectra at kinetic energies between 33 and 100 eV and scattering angles to 16°// J. Chem. Phys. 1968. V. 48, № 11. P. 5066-5096.

300. Trajmar S., Williams W., Kuppermann A. Detection and identification of triplet states of H20 by electron impact // J. Chem. Phys. 1971. V. 54, № 5. P. 2274-2275.

301. Chutjian A., Hall R.I., Trajmar S. Electron-impact excitation of H20 and D20 at various scattering angles and impact energies in the energy-loss range 4.2-12 eV // J. Chem. Phys. 1975. V. 63, № 2. P. 892-899.

302. Theodorakopoulos G., Petsalakis I.D., Nicolaides C.A., Buenker R.J. Configurationinteraction study of the oscillator strengths for the B'A, X'A, and

303. D'A, X!Aj transitions of the water molecule// J. Chem. Phys. 1985. V. 100, № 3. P. 331-337.

304. Claydon C.R., Segal G.A., Taylor H.S. Theoretical interpretation of the optical and electron scattering spectra of H20// J. Chem. Phys. 1971. V. 54, № 9. P. 37993816.

305. Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме / Под ред. Л.С. Полака. М.: Наука. 1974. С. 30.

306. Khare S.P., Meath W.J. Cross sections for the direct and dissociative ionization of NH3, H20 and H2S by electron impact// J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1987. V. 20, №9. P. 2101-2116.

307. Mark T.D., Egger F. Cross-sections for single ionization of H20 and D20 by electron impact from threshold up to 170 eV// Int. J. Mass Spectrom. and Ion Phys. 1976. V 20, № l.P. 89-99.

308. Schutten J., de Heer F.J., Moustafa H.R., Boerboom A.J.H., Kistemaker J. Cross- and partial-ionization cross sections for eletrons on water vapor in the energy range 0.1-20 keV // J. Chem. Phis. 1966. V. 44, № 10. P. 3924-3928.

309. Bolorizadeh M.A., Rudd M.E. Angular and energy dependence of cross sections for ejection of electrons from water vapor// Phys. Rew. A. 1986. V. 33, № 2. P. 882-887.

310. Orient О .J., Srivastata S.K. Electron impact ionization of H20, CO, C02 and CH4 // J. Phys. B: Atom. Mol. Phys. 1987. V. 20, № 15. P. 3923-3936.

311. Хаксли JI., Кромптон P. Диффузия и дрейф электронов в газах / Пер. с англ. М.: Мир. 1977. С. 610-611.

312. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочное издание. Т. 1. Кн. 1. М.: Наука, 1978. 496 с.

313. Сальников В.А., Старик A.M. Численный анализ энергетических характеристик газодинамических лазеров на продуктах сгорания углеводородных топлив // Теплофизика высоких температур. 1995. Т. 33. № 1. С. 121.

314. Staack D., Farouk В., Gutsol A., Fridman A. Spectroscopic studies and rotational and vibration temperature measurements of atmospheric pressure normal glow plasma discharge in air // Plasma Sources Sci. Technol. 2006. V. 15. P. 818 -827.

315. Lu X., Laroussi М. Atmospheric pressure glow discharge in air using a water electrode // IEEE Trans. Plasma Sci. 2001. V. 33. № 2. P. 272 273.

316. Mezei P., Cserfalvi T. Charge densities in the electrolyte cathode atmospheric glow discharges (ELCAD)// Eur. Phys. J. Appl. Phys. 2007. V. 40. P. 89 - 94.

317. Грим А. Спектроскопия плазмы. M. : Атомиздат. 1969. 452 с.

318. Gai Ке, Dong Yanjie. Liquid phase auramine oxidation induced by plasma with glow discharge electrolysis// Plasma Sources Sci. Technol. 2005. V. 14. P. 589 -593.

319. Денисов E.T. Кинетика гомогенных химических реакций. М.: Высшая школа. 1988. 391 с.

320. Шляпников Ю.А., Кирюшкин С.Г., Марьин А.П. Антиокислительная стабилизация полимеров. М.: Химия. 1986. 256 С.

321. Койфман О.И., Агеева Т.А. Синтез, свойства и применение порфиринполимеров // Высокомолекулярные соединения. С. 2004. Т. 46, № 12. С. 2187-2215.

322. В.А. Титов, Т.Г. Шикова, Т.А. Агеева, О.В. Горнухина, И.А. Вершинина, О.А. Голубчиков Модифицирование полипропилена путем постплазменной прививки порфиринов // Электронная обработка материалов. 2004. Вып. 6. С. 53-60

323. Котова C.JI. Особенности сенсибилизированной генерации синглетного кислорода в газовую фазу при фотовозбуждении твердофазных систем на основе тетрафенилпорфирина. Автореферат дис. . канд. хим. наук. М.: ИХФ РАН, 2004.

324. Соловьева А.Б., Котова C.JL, Тимашев П.С., Завьялов С.А., Глаголев Н.Н., Востовский Г.В. Фотосенсибилизированная генерация синглетного кислорода напыленными слоями тетрафенилпорфирина // Журнал физической химии. 2003. Т. 77. № 1.С. 104-111.

325. CuCl2 solutions) // Proc. of the 28th International Conference on Phenomena in1.nized Gases (28th ICPIG). Prague, Czech Republic. 2007. P. 2282 2284.a77. V. Titov, T. Shikova, V. Rybkin, A. Kulentsan, T. Ageeva and H.-S. Choi