Макрокинетика и процессы переноса в газовом разряде пониженного давления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.17, доктор физико-математических наук Опарин, Владимир Борисович

• Опарин, Владимир Борисович
• доктор физико-математических наук
• 2005

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Опарин, Владимир Борисович

НАУЧНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ИЗУЧЕНИЯ

МАКРОКИНЕТИКИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

1.1. Особенности экспериментального исследования тлеющего разряда

1.2. Структура и свойства тлеющего разряда

1.3. Устройство кинетической установки и особенности масс-спектрометрического анализа газовой фазы

1.3.1 Проточные и беспроточные реакторы тлеющего разряда

1.3.2 Анализ корректности кинетических исследований разряда с помощью масс-спектрометрии

1.4. Гравиметрический и зондовый контроль тлеющего разряда

1.5. Методика исследования структуры и свойств полимерных пленок

Глава

ЭВОЛЮЦИЯ СТАБИЛЬНЫХ ПРОДУКТОВ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В ТЛЕЮЩЕМ

РАЗРЯДЕ

2.1 Кинетика газовой фазы при разряде в среде тетрафторэтилена

2.2 Кинетика газовой фазы в смеси тетрафторэтилена с водородом и кислородом

2.3. Кинетика газовой фазы в среде гексафторбензола

2.4. Кинетика эволюции газовой фазы в среде этилена и ацетилена

2.5. Кинетика образования вторичных продуктов в тлеющем разряде

2.6. Макрокинетические закономерности тлеющего разряда

2.6.1. Неравновесность и лимитирующие процессы в разряде

2.6.2. Квазистационарность условий в разряде

2.7. Функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ)

2.7.1. Энергия электронов и параметр подобия (Е / N)

2.7.2. Зависимость ФРЭЭ от параметра подобия (£/л

2.8. Макрокинетическое описание химических превращений в нестационарных условиях тлеющего разряда

2.8.1. Лимитирование химических стадий и переменный коэффициент скорости реакций разложения мономера

2.8.2. Макрокинетика синтеза вторичных продуктов 112 2.9. Микрокинетические особенности тлеющего разряда

Глава 3.

КИНЕТИКА РАЗРЯДА В ЧЕТЫРЕХХЛОРИСТОМ КРЕМНИИ

3.1 Известные особенности разложения тетрахлорсилана

3.1.1 Установка и экспериментальные условия

3.2. Основные экспериментальные результаты

3.2.1. Экспериментальная кинетика плазмохимического разложения тетрахлорсилана

3.2.2. Макрокинетика газовой фазы разряда в смеси £/С/4 + О

3.3. Возможные направления плазмохимических процессов

3.4. Механизм разложения 5/С/4 в бескислородном разряде

3.4.1. Электронный удар

3.4.2. Влияние реакций с радикалами

3.5. Окисление тетрахлорсилана

3.5.1. Окисление с предварительной диссоциацией 5/С/

3.5.2. Окисление атомарным кислородом молекул 5/С/

3.5.3. Инверсия механизма убыли

Глава 4.

КИНЕТИКА ФОРМИРОВАНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ

ПЛЕНОК В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ 160 4.1. Общие известные закономерности формирования полимера в разряде

4.1.1. Процессы и механизмы полимеризации в разряде

4.1.2. Распределение скоростей полимеризации в тлеющем разряде по зонам

4.1.3. Образование мелкодисперсной фазы в тлеющем разряде

4.2. Экспериментальная макрокинетика формирования полимера в тлеющем разряде на электродах

4.3. Влияние ионной составляющей тока разряда на полимеризацию

4.4. Образование ионных «теней» на электроде

4.5. Формирование полимерной пленки вне разряда

4.5.1. Кинетика полимеризации на подложке под плавающим потенциалом

4.5.2. Пространственное распределение скоростей полимеризации в реакторе

4.5.3. Изучение пространственного распределения скоростей полимеризационных процессов с помощью диэлектрических нитей

4.5.4. Пространственное распределение температуры в реакторе

4.6. Макрокинетическое описание процессов полимеризации в нестационарной беспроточной системе

4.7 Структура и свойства полимерных пленок

4.7.1. ИК и ЭСХА спектры полимерных пленок

4.7.2. Физико-механические свойства полимерных пленок

Глава

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ПЕРЕНОСА В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ

5.1 Формирование тепловых и макропотоков полимерных частиц в реакторе

5.2 Осевое распределение температуры в разряде

5.3. Температурные волны в разряде

5.4. Скорости конвективного движения макрочастиц

5.5. Скорость конвективного потока газа в реакторе

5.6. Концентрация макрочастиц в конвективном потоке

5.7. О длине свободного пробега макрочастиц в потоке

5.8. Общий характер процессов образования и осаждения полимера вне разряда

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Макрокинетика и процессы переноса в газовом разряде пониженного давления»

Создание перспективных материалов с новыми уникальными свойствами невозможно без развития новых направлений их синтеза. Это предполагает в свою очередь развитие нетрадиционных технологий получения и модификации материалов. Одним из актуальных направлений современных технологий являются микро и нанотехнологии, которые наряду с новыми свойствами получаемых продуктов, позволяют модифицировать уже известные материалы, придавая им другие качества [1-4].

Перспективным методом получения такого рода материалов является использование газового разряда в области низких давлений. Это направление - низкотемпературная плазма в химически активной среде -позволяет создавать материалы, которые получить обычными средствами невозможно.

АКТУАЛЬНОСТЬ рассмотрения вопросов макрокинетики и механизмов формирования полимера в газовом разряде определяется практическим использованием плазмохимических технологий для антикоррозионной защиты различных материалов и устройств, модификации поверхностей, создания мембран, диэлектрических и антифрикционных слоев, фрактальных агрегатов наноразмеров. Однако целый ряд нерешенных проблем не позволяет целенаправленно получать необходимые свойства материалов, оптимизировать технологические процессы. Существует разрыв между исследованием процессов полимеризации и проектированием технологий. Это, в свою очередь, требует новых экспериментальных и теоретических подходов к изучению микро и макромеханизмов электроразрядных процессов, которые бы позволили, в конечном счете, моделировать реальные процессы плазмохимического синтеза.

В тлеющем разряде в среде химически активных газов недостаточно изученными являются как макрокинетика процессов образования полимера на поверхности и в объеме, так и ее связь с газофазными процессами, включая механизмы возникновения конвективных потоков дисперсных частиц, их динамика и влияние на конечный продукт. Имеющиеся работы в этих направлениях являются неполными, поэтому опираться на них с целью разработки конкретного технологического процесса - не представляется возможным.

Одним из направлений данной работы было изучение макрокинетики процессов формирования полимера на электродах и в плазме, включая генерацию дисперсной фазы в объеме и ее пространственный перенос. Другое направление связано с изучением ведущих физических и химических процессов протекающих в газовом разряде. Изучение этих неравновесных механизмов, протекающих в объеме и на поверхности, представляет с одной стороны самостоятельную научную ценность, а с другой позволяет моделировать реальные плазмохимические процессы.

Исследования последних лет показывают, что неравновесные процессы в низкотемпературной плазме позволяют значительно расширить состав материалов и области их применения. В низкотемпературной плазме реализуются условия для осаждения, напыления и агрегации, что позволяет образовывать полимерные, а также неорганические пленки, свойствами которых можно управлять в процессе их нанесения, создавать фрактальные агрегаты, структура которых определяет их новые физические и механические свойства [5.8, 230.240]. Подобные пленки и структуры можно получить в газовом разряде низкого давления. При этом процессы синтеза легко управляемы и совместимы с современными высокотехнологичными производствами, например микроэлектроники.

Необходимо отметить большое разнообразие плазмохимических процессов. Реакции многофазны и протекают с разными скоростями в различных точках реактора на локализованных поверхностях и в объеме. В разряде происходит образование полимерных пленок на электродах и дисперсных частиц в плазме, а также различных газообразных продуктов синтеза. К этому следует добавить процессы конвективного переноса дисперсной фазы в реакторе и ее эволюцию во времени. Все эти составляющие процесса синтеза существенным образом влияют на свойства конечного продукта. Однако неравновесность условий разряда определяет с одной стороны, сложность физических и химических процессов, а с другой, позволяет получать материалы с особыми свойствами.

Пленки, полученные на основе фторуглеродов и кремнийнеорганических материалов, образуют антифрикционные, защитные, отражающие и просветляющие покрытия. Их используют для создания мембран. Из материалов на основе кремния получают просветляющие покрытия с переменным коэффициентом преломления, которые необходимы для оптико-волоконной техники. Покрытия, полученные в режимах, при которых образуются фрактальные пленочные и кластерные структуры, позволяет создавать материалы с феноменальными свойствами, имеющими сверхвысокую прочность и аномально низкую плотность.

Недостаточная изученность механизмов плазмохимических реакций и их макрокинетики, а так же отсутствие адаптированных к реальным реакторам моделей, позволяющим описывать такую кинетику - не дает возможность проектировать оптимальную технологию создания материалов и инженерно рассчитывать условия их получения. Поэтому приходится в каждом случае подбирать как исходные материалы, так и соответствующие режимы разряда, что значительно повышает трудоемкость создания новых технологий.

Таким образом, изучение механизмов реакций, систематизация процессов, сопровождающих плазмохимический синтез, в том числе и явлений переноса, изучение влияния указанных процессов на свойства и структуру конечного продукта, позволили бы решить многие проблемы связанные с созданием материалов с новыми свойствами, а моделирование - позволило бы оптимизировать имеющиеся и проектировать новые технологические процессы.

Исследование процессов, протекающих в тлеющем разряде, открывает возможности и для изучения других неравновесных и нестационарных явлений, протекающих, например, при горении, детонации в лазерохимии. Изучение этих процессов создает новые возможности для создания высокоэффективных технологий, что является актуальной задачей.

ЦЕЛЬ РАБОТЫ - изучение физико-химической кинетики, а также процессов переноса в нестационарных условиях тлеющего разряда в среде химически активных веществ по всем основным направлениям синтеза, и разработка для этого экспериментальных и теоретических методик и моделей.

В этой связи необходимо было решить следующие основные задачи:

• обоснования и разработки комплексной методики изучения макрокинетических закономерностей, как эволюции газовой фазы, так и осаждения полимера на различных поверхностях в замкнутых неравновесных плазмохимических системах;

• обоснования квазистационарности процессов в закрытых системах;

• установления лимитирующих и ведущих стадий для основных плазмохимических процессов;

• измерение конверсии исходного вещества в газообразные и полимерные продукты синтеза, в том числе и в дисперсные частицы в объеме;

• исследования конвективного массопереноса, в частности физической кинетики макрочастиц и влияния этих процессов на структуру и свойства формируемых полимерных пленок.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА.

Впервые экспериментально изучены и теоретически рассмотрены на основе материального баланса процессы переноса. Возникновение макропотоков в замкнутом реакторе является наименее изученной областью разряда, несмотря на их важную роль в формировании свойств и структуры пленок. Впервые созданные в работе модели, описывают механизмы возникновения конвективного переноса и соответствующие распределения дисперсных частиц по размерам и скоростям. Теоретическое рассмотрение процессов, протекающих в конвективном потоке макрочастиц из разряда, позволило выявить новый механизм их коагуляции.

Принципиально новым является использование одновременно большого набора современных аналитических средств, что позволило создать новую методику комплексного изучения разряда, применимую для исследования других веществ. В работе использовались: масс-спектрометрия, кварцевая гравиметрия, оптическая и электронная микроскопия, ИК и ЭСХА спектроскопия, интерферометрия, микрозонды, микротензометрия. Только такой комплексный, многосторонний подход делает возможным достоверное и надежное исследование происходящего в разряде сложного плазмохимического процесса. Для теоретической обработки и интерпретации результатов применялось компьютерное моделирование.

Следует отметить, что в литературе отсутствует такое комплексное рассмотрение процессов синтеза, когда изучались практически все важные стороны макрокинетики плазмохимических процессов. Как правило, авторы используют для изучения один - два метода, что не позволяет сопоставить различные стороны разрядных процессов, связать их в единую макрокинетическую картину.

В низкомолекулярной области широко применялась кинетическая масс-спектрометрия, достоинство которой состоит в том, что она представляет собой прямой метод получения кинетических кривых газофазной среды. В высокомолекулярной области применение пьезорезонансного контроля

8 О микромасс позволило с точностью до 10" кг (по толщине пленки ~ 1А ) проследить кинетику осаждения твердой фазы не только на поверхности электродов, но и в других точках пространства реактора, что позволило составить пространственное представление о процессах полимеризации, определить конверсию исходного вещества в дисперсные продукты. Применение этого метода, совместно с зондовыми измерениями, позволило получить температурные поля, как в разряде, так и вне его, обнаружить и рассчитать конвективные потоки дисперсных частиц из разряда.

В конечном счете, такой подход впервые позволил получить распределение конверсии по различным каналам и составить общую макрокинетическую модель превращения исходного вещества в конечные продукты. Полученные результаты можно использовать для инженерных расчетов реальных технологических процессов.

Получен ряд новых практических и теоретических результатов:

• разработана оригинальная методика исследования механизмов плазмохимических реакций, позволяющая в комплексе изучать различные стороны разряда;

• впервые с применением комплексной методики из экспериментальных данных воссоздана временная эволюция вещества по всем основным направлениям его превращений;

• впервые разработана модель начальных стадий окисления тетрахлорсилана в ВЧ разряде;

• впервые обнаружен эффект «ионной тени», свидетельствующий о важной роли ионной бомбардировки в полимеризации на поверхности;

• впервые рассчитаны параметры конвективных динамических потоков, возникающих в плазмохимическом замкнутом реакторе;

• впервые рассчитаны распределения макрочастиц по скоростям движения в конвективных потоках в зависимости от их диаметра;

• впервые предложена модель коагуляции частиц в потоке, у которых скорость движения зависит от диаметра, определена средняя длина свободного пробега макрочастиц.

ОСНОВНЫЕ ЗАЩИЩАЕМЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ

1. Разработанная методика комплексного изучения процессов газоразрядной полимеризации с целью изучения их макрокинетики, которая включает в себя использование экспериментальных методов, позволяющих контролировать материальный баланс по всем основным направлениям синтеза.

2. Механизмы формирования и модель роста массы полимерной пленки на различных локализованных поверхностях:

• на поверхности электродов реализуется активационно-рекомбинационный механизм с активацией поверхности высокоэнергетичными ионами и последующим присоединением молекул, радикалов, олигомерных, а так же дисперсных частиц из разряда;

• вне электродов - формирование пленки имеет характер осаждения макрочастиц, которые выносятся из разряда конвективным макропотоком.

•процессы формирования пленок на электродах и вне разряда лимитированы первичной стадией электронного удара с разложением исходного вещества, который протекает наиболее эффективно в катодной области разряда с образованием радикалов. Коэффициент скорости этой стадии обратно пропорционален давлению.

3. Модели формирования тепловых потоков при разряде в ТФЭ и ГФБ и осевое распределение температуры в разрядном промежутке.

4. Механизм и модель образования газодинамического макропотока в реакторе, выносящего дисперсные макрочастицы из зоны разряда, причинами которого являются градиенты температур. Макрочастицы имеют распределение по скоростям радиального движения в зависимости от диаметра частиц.

5. Механизм и модель коагуляции в потоке макрочастиц, которые имеют широкое распределение по размерам и скоростям движения. Основным механизмом коагуляции и роста размеров частиц является прилипание мелких частиц, имеющих большие скорости движения к более крупным частицам.

Практическая значимость

В работе решена важная практическая задача макрокинетического описания и расчета целого ряда плазмохимических процессов. Созданные модели позволяют оптимизировать и инженерно рассчитывать реальные технологические процессы в различных реакторах, получать продукты с заданными свойствами. В работе создана комплексная методика, позволяющая изучать все основные направления синтеза в разряде, и которая применима для исследования макрокинетики газовых разрядов в других веществах. Полученные с использованием этой методики сведения вносят существенный вклад в развитие научных направлений: макрокинетики нестационарных и неравновесных плазмохимических систем, физической кинетики формирования и эволюции газовой и дисперсной фазы. АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ.

Результаты работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях, симпозиумах совещаниях: Всесоюз. конф. по физике прочности и пластичности, Куйбышев 1979, 4 Всесоюз. конф. по механике полимерных и композитных материалов «Мехпол - 80», Рига 1980, Всесоюз. конфер. по интеграции и нетермической стимуляции технологических процессов микроэлектроники, Москва 1981, 8 Всесоюз. симпозиума по механохимии и механоэмиссии твердых тел, Таллин, 1981, Всесоюз. конфер. по повышению долговечности и надежности машин и приборов, Куйбышев, КптИ 1981, Всесоюз. конфер. «Повышение долговечности и надежности машин и приборов», Куйбышев, 1981, 1 Всесоюз. Симп. по макрокинетике и химической газодинамике, Черноголовка, ОИХФ АН СССР, 1984, 9 Всесоюз. Конф. по физике прочности и пластичности металлов и сплавов, Куйбышев, 1986, 4 Всесоюз. конфер. по масс-спектрометрии, Сумы, 1986, . 2 Всесоюз. семинара " Высокочастотный разряд в волновых полях". - Куйбышев . -1989, "2 Международный симп. по теоретической и прикладной плазмохимии" (18ТАРС-95), Матер, симп. - Иваново. - 1995, 15 Международной конференции «Физика прочности и пластичности материалов», Тольятти, 2004.

По материалам диссертации опубликовано 31 работа, в том числе два авторских свидетельства на изобретения.

Заключение диссертации по теме «Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва», Опарин, Владимир Борисович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Впервые разработана и реализована комплексная методика изучения макрокинетики процессов в неравновесном НЧ тлеющем разряде. Основой методики является применение нестационарной беспроточной системы, и кинетических методов изучения эволюции материального баланса по всем направлениям синтеза, а также зондовых методов, тензометрии, ИК и ЭСХА спектроскопии, электронной микроскопии для контроля свойств образующегося полимера.

2. Показано, что скорости процессов синтеза в разряде, в том числе дисперсного полимера, определяются скоростью диссоциации исходного соединения с образованием радикалов. Оценки скоростей реакции и процессов релаксации, показывают, что в тлеющем разряде в химически активных газах возможно применение метода стационарных концентраций, который существенно облегчает макрокинетическое описание плазмохимических процессов.

3. Впервые получены кинетические масс-спектры в ВЧ разрядеБЮ^, 02 и их смесей различного состава, характеризующие изменяющийся компонентный состав газовой фазы внутри плазмохимического реактора на всех стадиях разряда и дающие представление о фрагментации молекул под действием электронного удара и динамике процессов окисления. Определены скорости уменьшения концентрации исходных продуктов и синтеза новых: 5/2СУб,£/зС/8, БЮ, 5/02 > $¡£12О ■

4. Впервые показано, что скорость диссоциации соединения электронным ударом в ВЧ разряде быстро растет с увеличением тока и

2 —1 уменьшением давления (~/ , Р ). Резкий рост скорости при увеличении разрядного параметра У / Р может быть объяснен изменением ФРЭЭ -возрастанием средней энергии электронов и их числа в области порога диссоциации (около 5 эВ) 5/С/

5. Впервые определено, что введение в систему кислорода ускоряет расход 5/С/4 и ТФЭ в 20-200 раз, что свидетельствует о ведущей роли окисления молекул активированным кислородом. Обнаружены два различных направления окисления в зависимости от содержания кислорода в смеси. Скорость окисления для всех смесей и во всех режимах пропорциональна току разряда, что связано с неизменностью ФРЭЭ и скорости активации кислорода.

6. Получено пространственное распределение скоростей осаждения полимера в реакторе и изучена кинетика этого процесса. Инициирующей стадией процесса полимеризации на поверхности электродов является образование активных частиц - радикалов в объеме и центров роста (макрорадикалов) на поверхности в результате ионной бомбардировки, о чем свидетельствует впервые обнаруженный эффект «ионной тени». Формирование полимера на поверхностях вне разряда определяется осаждением макрочастиц, выносимых конвективными макропотоками из разряда.

7. Впервые определен материальный баланс по всем основным направлениям синтеза в разряде и составлена единая макрокинетическая модель. Она опирается на лимитирование разрядных процессов первичной стадией разложения исходного вещества электронным ударом. Это позволило определить постоянные феноменологические коэффициенты скоростей основных процессов в разряде, не зависящие от условий разряда и размеров реактора. Модель позволяет описывать эволюцию газовой фазы разряда по стабильным продуктам и рост массы полимера по двум различным каналам - пленки на поверхности электродов и дисперсных макрочастиц в объеме.

8. Показано, что микро- и макроструктура, а также физико-механические свойства полимерных пленок однозначно определяются вкладом различных каналов в формирование полимера, в частности поступлением на поверхность дисперсных частиц. С увеличением плотности тока и уменьшением давления на электродах увеличиваются процессы сшивки, что не отражается на формировании полимера вне разряда. Различие в механизмах формирования пленок подтверждается также ИК и ЭСХА спектрами полимера.

9. Впервые проведены расчеты скоростей конвективных движения газовой среды и дисперсных макрочастиц. Показано, что импульсный разряд на переменном токе создает быстро затухающие тепловые волны, а имеющиеся градиенты температур в реакторе приводят к возникновению конвективных газодинамических потоков, передающих свой импульс макрочастицам. Скорость частиц в потоке падает с ростом их диаметра ~1 /г.

10. Впервые предложена и рассчитана коагуляция макрочастиц в газодинамическом потоке. Коагуляция происходит между частицами, которые сильно отличаются по размерам и скоростям движения. Определена средняя длина свободного пробега макрочастиц в конвективном потоке, их концентрации и распределение по размерам. Отмечено, что в беспроточном реакторе возникает замкнутый макропоток, в результате чего макрочастицы в течение разряда многократно проходят через разрядный промежуток, что обеспечивает их быстрый рост.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Экспериментальное и теоретическое исследование макрокинетики плазмохимических процессов в нестационарных и неравновесных газоразрядных системах является одним из важных направлений развития теории и практики неравновесной физико-химической кинетики.

Многообразие процессов, инициируемых разрядом, потребовало привлечения современных методов для исследования разных его сторон. В работе были использованы такие методы, как:

• кинетическая масс-спектрометрия для изучения эволюции газовой фазы стабильных продуктов, в том числе и олигомерных;

• пьезорезонансная гравиметрия для исследования процессов осаждения на различных локализованных поверхностях и процессов переноса;

• ните-зондовый и термозондовый методы, для изучения конвективных макропотоков, возникающих в разряде и температурных полей в реакторе;

• электронная и оптическая микроскопия, ИК и ЭСХА методы, тензометрия и другие.

Такой впервые примененный многосторонний подход позволил получить комплекс новых сведений по макрокинетике плазмохимических процессов, изучить неизвестные ранее явления, сопоставить условия разряда со свойствами полимерных пленок. Применение нестационарного метода -замкнутого реактора, позволило выявить параметры, определяющие плазмохимические механизмы, отделить первичные разрядные процессы от вторичных, определить материальный баланс по всем основным ветвям синтеза конечных продуктов. Исследования, проведенные по широкому кругу направлений, позволили:

• установить основные направления синтеза в разряде;

• выделить и изучить ведущие стадии плазмохимических процессов, приводящих к эволюции состава газовой фазы и образования полимера в объеме и на поверхности;

• исследовать конвективные потоки газа и дисперсных макрочастиц в реакторе, определить причины их возникновения и основные параметры, смоделировать коагуляцию макрочастиц в таких потоках;

• смоделировать температурные поля в разряде;

• определить концентрации макрочастиц в потоке, и их распределения по размерам и скоростям движения;

• создать общую модель макрокинетики газоразрядных процессов в химически активных газах, применимую для расчета технологических режимов в реакторе любого объема.

Таким образом, многостороннее изучение и систематизация процессов плазмохимического синтеза проведенное в данной работе, позволило решить многие проблемы связанные с разработкой и созданием новых технологических решений. Модели, предложенные в работе и изученные особенности осаждения полимеров на различных локализованных поверхностях, позволяют рассчитывать технологический процесс синтеза и условия осаждения для получения конечного продукта с заданными свойствами.

Исследование неравновесных и нестационарных процессов в плазмохимии создает также новые возможности для изучения других динамических нестационарных процессов, протекающих, например, при горении, детонации, в лазерохимии.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Опарин, Владимир Борисович, 2005 год

1. Ткачук Б.В., Колотыркии В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы. М.:Химия, 1977. - 233 с.

2. Ясуда X. Полимеризация в плазме. М.: Мир, 1988. - 376 с.

3. Liepins R., Sakaoku K. Submicron Polymer Powder in Electrodeless RF Induced Plasma Initiated Polymerization//! Appl. Polym. Sci. 1972. - V.16, Ms 10.-C. 2633-2645.

4. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.; Наука, 1987. - 590 с.

5. Ю.Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной фторсодержащей плазме. В кн.: Химия плазмы. - М.: Энергоиздат, 1983, вып.10, с.108-146.

6. П.Виноградов Г.К., Словецкий Д.И., Федосеева Т.В. Экспериментальное исследование параметров плазмы тлеющего разряда в тетрафторметане.// Теплофизика высоких температур, 1983, т.21, №6, с. 1083-1090.

7. H.Kobayashi, А. Т. Bell, М. Shen, Macromolecules, 1974, v. 7, p.

8. M. Niinomi, Yanagihara, Plasma diagnostics of polymerizing benzene plasma, in: «Plasma Polymerization (M. Shen, A. T. Bell, eds.). p. 87, ACS Symp. Ser.,v. 108, Am. Chem. Soc., Washington. D. C., 1979.

9. G. Smolinsky, M. J. Virile. J. Macromul. Sri. Chew., 1976. v. A10, p. 473.

10. Зынь.В.И., Опарин В.Б., Потапов В.К. Кинетическая масс-спектрометрия молекулярных продуктов полимеризации фторуглеродов в тлеющем разряде / Химия высоких энергий, 1989, т.23, №1, с.75-80.

11. Blinow L.M.,Golovkin A.G., Kaganov L.I.Oparin V.B.,Zyn V.I, Razhavski A.G.,Sterenberg A.M., Tetrachlorosilane consum-ption in radio frequency glow dischchfige, Plasma Chem. A Plasma Proc., 1998, v. 18,№2,p. 509-533.

12. Саксонский B.A. Кинетика полимеризации ряда углеводородов в ВЧ-разряде низкого давления.: Дисс. Канд. .физ.-мат. Наук 01.04.17 -Химическая физика в том числе физика горения и взрыва.- М.-1985.-152 с.

13. Бейнон Дж. Масс-спектрометрия и ее применение в органической химии.-М.:Мир, 1964.-691 с.

14. Будзикевич Г., Джерасси К.,Уильям Д. Интерпретация масс-спектров органических соединений. М.:Мир,1966.-323с.

15. Агафонов И.Л., Девятых Г.Г. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты. М.: Наука, 1980. - 333с.

16. Справочник химика. М.: - Л.: - Химия,1967, т.4.с.526.

17. Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. М.: Энергия, 1978. - 247 с.

18. Виноградов Г.К. и др. Исследование пространственных распределений скорости пленкообразования в разрядах пониженного давления.// Химия высоких энергий, 1980, т.14, №5, с.461-468.

19. Чан П., Тэлбот Л., Турян К. Электрические зонды в неподвижной и движущейся плазме.- М.: Мир, 1978.- 201с.

20. Санжаровский А.Т. Методы расчета внутренних напряжений в полимерных и лакокрасочных покрытиях. Докл. АН СССР, 1960, т. 135, с. 58-61.

21. Русанов В.Д., Фридман A.A. Физика химически активной плазмы. -М.: Наука, 1984.-414 с.

22. Словецкий Д.И. Диссоциация электронным ударом. В кн.: Химия плазмы. - М.: Атомиздат, 1977, вып.4, с.156-202.

23. Иванов A.A., Соболева Т.К. Неравновесная плазмохимия. М.: Атомиздат, 1978.-264 с.

24. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме.- М.: Атомиздат, 1968.-412 с.

25. Кондратьев В.Н., Никитин Е.Е. Кинетика и механизм газофазных реакций. М.: Наука, 1974. - 558 с.

26. Словецкий Д.И., Дерюгин А.А. Моделирование механизма разложения тетрафторметана в тлеющем разряде.// Химия высоких энергий, 1982, т. 16, №6, с 540 546.

27. Selwin G.S., Kay Е. /Spatially resolved optical emission studies of fluorocarbon RF plasma through the use of UV transmitting optical fibers./ Plasma Chem. Plasma Proc., 1985, v.5, №2 p. 183. 199.

28. Словецкий Д.И. Кинетика образования и гибели продуктов разложения тетрафторметана в неравновесных газовых разрядах. //Химия высоких энергий, т.15,№ 6,1981, с. 560-562.

29. Мадорский С. Термическое разложение полимеров. М.: Мир, 1967.328.

30. Иванов С.И. Масс- спектрометрическое исследование полимеризации ТФЭ в ВЧ разряде. // Химия высоких энергий, 1979, т.13 с. 70 -74.

31. Barnes R.M. / Induktive coupled plasma spectroscopy. Proc. 6-th Int. Symp. Plasma Chem. Montreal: Mc.Gill Universiti, 1983,v.2, p.419-424.

32. Smolinsky G., Flamm D. L. / J. Appl. Phys., 1979, 50, s.4982.

33. Mogab C.J., Adams A.C., Flamm D. L./ J. Appl. Phys., 1978, 49, s.3796

34. Вирин Jl.H. и др. Ион-молекулярные реакции в газах. М.: Наука, 1979.-548 с.

35. Кондратьев В.Н. Константы скорости газофазных реакций.- М.: Наука, 1971.-351 с.

36. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.: Наука, 1980, 310 с.

37. Александров Д.Е. Модель газофазных процессов в СВЧ разряде пониженного давления 02/SiCl4/SF6 при осаждении слоев Дисс. .канд.физ.-мат.наук. М.: ИОФАН СССР, 1987.

38. Rowe H.D. Realtime multichannel emission spectroscopy of S1CI4 plasmas / Prok/ 5th Int. Con. Ion and plasma assisted techniques, IPAD- 85,1. Munich,1985,p.67.

39. Siefert W., Montges J., Bauch H., Time resolved emission spectroscopy for PICVD fiber perform preparation / Proc Optical Fiber Commutation Conf., OFC-86, Atlanta, Georgia, 1986.p.80.

40. Sartre A., Dasort J., Deux J. Origin of the OH impurity in silicon performs obtained by oxidation of SICI4 in a plasma torch // J.Optics, 1984,v.l5, №5, р.302.304/.

41. Manory R., Grill A., Carmi U., Avni R. Decomposition and polymerization of SiCU in a microwave plasma // Plasma Chem. Plasma Proc., 1983,№2 P.245.248.

42. Avni R., Carmi U., Rosenthal I., et al. / Dissociation mechanism of SiCl4 to Si in low pressure microwave plasmas of argon and argon with hydrogen // Thin Solid Films, 1983, v. 107, №3, p.235.244.

43. Biderman H., Martinu L., Slavinska D. Plasma deposition and properties of composite metal-hard carbon films // Pure Appl. Cem., 1988, v.60, №5, P.607.618.

44. Grossman E., Grill A., Avni R. Effect of frequency on the deposition of microcrystalline silicon from SiCU in low pressure RF plasmas // Plasma Chem. Plasma Proc., 1982, v.2, №2 p.341. .359.

45. Mexmain J.M., Morvan D.,Bourdin S, et all. Thermodynamic study of the ways of preparing silicon and its applications to the preparation of photjvoltaic silicon by plasma techniques // Plasma Chem. Plasma Proc., 1983, v.3, №4 p.393.,.420.

46. Hollahan J.R., Deposition of plasma silicon oxide thin films in a production planar reactor//J. Electrochem. Soc., 1979, v. 126, №6, p.930.934.

47. Reinborg A.R., Plasma deposition of silicon containg films // J. Electron. Materials, 1979, v.8, №3, p.345.375.

48. Гурвич JI.B., Карачевцев Г.В., Кондратьев B.H. и др. Энергии разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону. М.: Наука, 1974.-352 с.

49. Глушко В. П. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. М.: Изд. АН СССР. 1962. T.l. С.491.

50. Саксонский В.А., Щуров А.Н., Потапов В.К. /Особенности кинетики осаждения полимерных пленок в импульсном ВЧ разряде.// Докл. АН СССР. 1985. Т.280, № I. С.137-140.

51. Сивухин A.B. Общий курс физики, т.2, М.: Наука. 1990, 592с.

52. Образование, движение и конденсация кремнийорганических полимерных аэрозолей в тлеющем разряде /Зынь В.И., Потапов В.К., Тузов Л.С., Штеренберг A.M. // Химия высоких энергий, 1986, т.20, №6, с. 541-547.

53. Breitbarth F., Tiller H.J.,Reinhardt W./Plasma chemical reactions weakly decomposed CCL4// Plasma Chem. Plasma Proc., 1985, v.5, №4 p.293.316.

54. Иванов Ю.А., Эпштейн И.Л. Условия образования порошка в тлеющих разрядах в углеводородах // Химия высоких энергий. 1984. - Т. 18, № 5. - С. 462-467.

55. Гаранин Г.С., Иванов Ю.А., Тимакин В.Н. Исследование роли макрочастиц в процессе плазмохимической полимеризации // Химия высоких энергий. -1981. Т.15, № 3. - С. 183-184.

56. S. V. Vladimirov, К. Ostrikov Self-Organization and Dynamics of Nanoparticlesin Chemically Active Plasmas for Low-TemperatureDeposition of Silicon and Carbon-Based Nanostructured Films 1// Plasmas and Polymers, Vol. 8, No. 2, June 2003.

57. M.R.Havens, K.S. Mayhan, J. James // J. Appl. Polym. Sci. 1978. - v.22, -C. p.2793-2801.

58. Тузов Л.С., Штеренберг A.M., Жуланов Ю.В. Экспериментальные основы изучения процесса образования макрочастиц в тлеющем разряде // Ж. физ. химии. 1987. - Т.61, № 3. - С. 856-858.

59. Electron Microscopy Studies of Plasma Polymerized Organosilicon Thin Films / J. Grebowicz, T. Pakula, A.M. Wrobel, M. Kryszewski // Thin Solid Films.-1980.-V.65,№3.C. 351-359.

60. Словецкий Д.И. Разложение углеводородов в тлеющем разряде. // Химия плазмы. -1981. вып. 8. - С. 189-230.

61. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Модель процесса травления материалов в галогеносодержащей газоразрядной плазме./ Физика и химия обработки материалов, 1977, № 4, с. 8-13.

62. Штеренберг A.M. Макрокинетика формирования дисперсной фазы в объеме газоразрядных систем пониженного давления.: Дисс. . док. физ.-мат. наук: 01.04.17 Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва. -М.- 1995.-379 с.

63. Эмануэль Н.М. , Кнорре Д.Г. Курс химической кинетики. -М.: Высшая школа, 1974. 400 с.

64. Heinecke R.A.H. Control of relative etch rates of SiOp and SI in plasma etching. // Sol. -St. Electron, 1975, v. 18, N 2,p. 1146-1147.

65. Celenti D, Benenson D.M./Measurments of velocity within a filly developed plasma/Proc. 6 th Int. Symp. Plasma Chem. Montreal: Mc.Gill Universiti, 1983,v.l, p. 126.131.

66. Martinu L., Biderman H./Monitoring the deposition of metall -doped polymer films using optical emission spectroscopy.// Plasma Chem. Plasma Proc., 1985, v.5, p.81-87.

67. Catherine Y.,Zamouche A. Glow discharge deposition of Tetramethylsilane films.// Plasma Chem. Plasma Proc., 1985, v.5, p.353-368.

68. Agostino R., Cramarossa F., Benedictis S.,/Chemical mechanisms in CnF2n+2 (H2 or C2F4) discharges./ Proc. 6 th Int. Symp. Plasma Chem. Montreal: Mc.Gill Universiti, 1983,v.4, p.394.399.

69. Agostino R., Cramarossa F., Benedictis S., Fracassi F./ Optical emission spectroscopy and actinometry in CCI4-CI2 RF discharges./ Plasma Chem. Plasma Proc., 1984, v.5,№3, p.163-168.

70. Breitbarth F., Rottmayer S., /Investigation of radical reactions in C2CI4/O2discharges by ESR, mass and emission spectroscopy.// Plasma Chem. Plasma

71. Proc., 1986, v.6,№4, p.381-398.

72. On the use of actinometric emission spectroscopy in SF6 O2 RF discharges.// Agostino R., Cramarossa F., Benedictis S., Fracassi F.Laska L. Masek K. // Plasma Chem. Plasma Proc., 1985, v.5,№3, p.239-253.

73. Lergon H.G. Venugopalan M./Mass spectrometer vail probe diagnostics of Ar discharges containing SF6 and /or O2 reactive ions in etching plasmas// Plasma Chem. Plasma Proc., 1984, v.4,№2, p. 107-118.

74. Agostino R., Benedictis S., Cramarossa F./ RF plasma decomposition of CnF2n+2 and CF4-C2F4 mixtures during silicon etching or fluorpolymer deposition// Plasma Chem. Plasma Proc., 1984, v.4,№l, p. 1-14.

75. Немцова И.Г., Пржонский A.M. Состав ионного потока на полимерную пленку, образующуюся при разряде в смеси. //Химия высоких энергий. 1983. Т. 17, № 3. с. 279-281.

76. Паркин А.А. Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлек285трических структур. Дисс.канд.техн.наук. Киев: Институт кибернетики АН УССР. 1982.-206 с.

77. Зынь В.И., Паркин A.A. Масс-спектрометрическое исследование плазмохимической полимеризации стирола. /В кн.: Ш Всесоюзн. симпоз. по плазмохимии "Плазмохимия-79". Тез.докл. М.: ИНХС АН СССР, 1979. С. 185187.

78. Оптико-электронные методы изучения аэрозолей. / Под ред. С.П. Беляева, Н.К. Никифорова, В.В. Смирнова, Г.И. Щелчкова М.: Энергоиздат, 1981.-232 с.

79. Зынь В.И., Потапов В.К., Штеренберг A.M. Кинетика изменения масс-спектров и молекулярного состава газовой фазы тлеющего разряда в парах ГМДСА и ГМДСО // Химия высоких энергий. 1986. - Т.20, № 1. - С.76-81.

80. Штеренберг A.M. Масс-спектрометрический контроль состава газовой фазы тлеющего разряда при полимеризации кремнийорганических соединений // Тез. докл. 4 Всес. конф. по масс-спектрометрии, Сумы. 1986, ч.7. -С. 76-77.

81. Высокочастотный разряд в тетрахлорсилане / А. Г. Головкин, В.И. Зынь, В.Б. Опарин, Л.И. Каганов, A.A. Ражавский, А. М. Штеренберг // Тез. докл. 2 Всес. семинара " Высокочастотный разряд в волновых полях". -Куйбышев. -1989.-С. 21.

82. Иванов Ю.А., Солдатова П.В., Эпштейн И.Л. /Численное моделирование кинетики превращения метана в тлеющем разряде.// Химия высоких энергий. 1985. Т. 19, № 5. С.465-470.

83. Mach R, Drost Н./ Kinetics of the methane conversion in a glow discharge up to chemical equilibrium. // Proc. 6 th Int. Symp. Plasma Chem. Montreal: Mc.Gill Universiti, 1983,v.2, p.412.417.

84. Yensen R.Y., Bell A.T.,Soong D.S./ Plasma polymerisation of Ethane// Plasma Chem. Plasma Proc., 1984, v.4,№2, p. 139-161.

85. Cañera P., Castello G., Nicchia M. /RF-plasma reactions of ligt hydrocarbons// Radiat Phys. and Chem., 1983, v.21, p.381-387.

86. Полак Л.С., Гольденберг М.Я., Левицкий A.A. Вычислительные методы в химической кинетике. М.: Наука. 1983. 280с.

87. Очкин В.И. Труды ФИАН СССР,1974, т.78, С.3.59.

88. Методы-спутники в газовой хроматографии. М.:Мир, 1972. 398с.

89. Wricht F.N, Winkler C.F. Active Nitrogen. New York; London: Acad. Press, 1968. 602 p.

90. Тодесайте P.Д. Исследование диссоциации молекул и рекомбинации атомов азота в электрических разрядах и их послесвечении: Автореф. Дисс.канд. физ.-мат. наук. М.: Ин-т нефтехимического синтеза им. А.В.Топчиева А.Н. АН СССР, 1975.

91. Зынь В.И., Опарин В.Б., Потапов В.К., Тузов Л.С./Пространственное распределение полимеризационных процессов в реакторе тлеющего разряда.//Химия высоких энергий, 1989, Т.23, № 3, С.276-281.

92. Frost L. S., Pelps А. V.// Phys. Rev., 1962,vol. 127, p. 1621 .1633.

93. Treanor С. E., Rich J.W, Rehm R.G.// J.Chem. Phys. 1968, vol.48, P-1798.1807

94. Мотт Н., Месси Г. Теория атомных столкновений: Пер. с англ. М.: Мир, 1969. 756 с.

95. Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения: Пер. с англ. М.: Изд-во иностр. лит., 1958. 604 с.

96. Атомные и молекулярные процессы: Пер. с англ./ Под ред. Д. Бейтса М.: Мир, 1965.777 с.

97. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме. М.: Атомиздат, 1968. 363 с.

98. Друкарев Г.Ф. Столкновения электронов с атомами и молекулами. М.: наука, 1978.255 с.

99. Никитин Е.Е. Теория элементарных атомно-молекулярных процессов в газах. М.: Химия, 1970. 455 с.

100. Никитин Е.Е., Уманский С.Я. Статистическая теория бимолекулярных реакций. В кн.: Химия плазмы /Под ред. Б.М.Смирнова.М.: Атомиздат, 1974, вып. 1, с. 8.66.

101. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.: Атомиздат, 1974. 455 с.

102. Пеннер С.С. Количественная молекулярная спектроскопия и излучательная способность газов: Пер. с англ. М.: Мир, 1963, 493 с.

103. Робинсон П., Холбрук К. Мономолекулярные реакции: Пер. с англ. М.: Мир, 1975,380 с.

104. Electron Microscopy Studies of Plasma Polymerized Organosilicon Thin Films / J. Grebowicz, T. Pakula, A.M. Wrobel, M. Kryszewski // Thin Solid Films.- 1980. V.65, № 3. C. 351-359.

105. Грин X., Лейн В. Аэрозоли пыли, дымы, туманы. - Л.: Химия, 1969.- 428 с.

106. Основы электрогазодинамики дисперсных систем. / И.П. Верещагин, В.И. Левитов, Г.З. Мирзабекян, М.М. Пашин. М.: Энергия, 1974.- 480 с.

107. Оптическая диагностика конверсии угольных частиц в потоке плазмы продуктов сгорания / А.Б. Кондратьев, А.П. Нефедов, О.Ф. Петров

108. A.А. Самарян // Теплофизика высоких температур. 1994. - Т.32, №3. - С. 452458.

109. Multiple Wavelength Extinction Technique for Particle Characterization in Dense Particle Clouds / R. Dittmann, H. Feld, W. Samenfink, S. Wittig // Part. Part. Syst. Charact. 1994. - V.l 1, № 5. - C. 379-384.

110. Жуланов Ю.В., Петрянов И.В., Садовский Б.Ф. Лазерный фотоэлектрический спектрометр больших ядер конденсации // Изв. АН СССР. Сер. физ. атм. и океана. 1978. - Т. 14, № 5.- С. 520-526.

111. Кинетика формирования дисперсной фазы при полимеризации кремнийорганических соединений в тлеющем разряде / A.M. Штеренберг,

112. B.К. Потапов, Л.С. Тузов, Ю.В. Жуланов // Химия высоких энергий. 1988. -Т.22, № 1.-С. 82-86.

113. Штеренберг A.M., Тузов Л.С., Потапов В.К. Кинетика роста частиц дисперсной фазы в объеме тлеющего разряда в парах гексаметилдисилазана //Химическая физика. 1989.- Т.8,№ 11. -С. 1559-1563.

114. Штеренберг A.M., Тузов Л.С. Феноменологическая модель зарождения и эволюции дисперсной фазы при полимеризации кремнийорганических соединений в тлеющем разряде // Химия высоких энергий. 1990. - Т.24, №4.-С. 351-355.

115. Тузов JI.C., Потапов В.К., Штеренберг A.M. Образование макрочастиц в реакционном объеме при полимеризации в тлеющем разряде // Тез. докл. Всес. семинара "Физика и технология тонкопленочных систем". Гомель. - 1990. - С. 46.

116. Штеренберг A.M. Моделирование кинетики формирования дисперсной фазы в приэлектродных областях тлеющего разряда // В кн. Физика и техника плазмы. Материалы конференции. Минск. 1994. - Т.1. - С. 165-167.

117. Штеренберг A.M., Потапов В.К. Макрокинетика формирования дисперсной фазы в газоразрядных системах. Самара, СамГТУ. - 1997. - 192 с.

118. Fuchs N., Oschman N. Uber die Bildung von Aerosolen. // Acta Phys. Chim., URSS. 1935. - V.3. - C. 61-78.

119. Грин X., Лейн В. Аэрозоли пыли, дымы, туманы. - Л.: Химия, 1969.- 428 с.

120. Клочков В.П., Козлов Л.Ф. и др. Лазерная анемометрия, дистанционная спектроскопия и интерферометрия. Киев.: Наукова думка, 1985.-232 с.

121. Gousbet A. A Review of Measurment of Particle Velocities and Diameters by Laser Techniques, with Emphasis on Thermal Plasma // Plasma Chem. Plasma Proc. 1985. - V.5, № 2. - C. 91-117.

122. Mannik L., Brown S.K., Chu F.Y. Meathurement of Particle Velocity in Plasma Torch Using Direct Frequency Detection of Scattered Laser Light // 7 Int. Symp. Plasma Chem. Symp. Proc. 1985. - V.4.- C. 704-709.

123. Steffenc H.D., Basse K.H., Selbach H. Measurement of Particle and Plasma Velocity in a Low Pressure Plasma Jet // 7 Int. Symp. Plasma Chem. Symp. Proc. 1985.-V.4.-C. 710-717.

124. A.M. Штеренберг, В.К. Потапов. Макрокинетика формирования дисперсной фазы в газоразрядных системах./ СамГТУ, Самара, 1997, 188 с.

125. Зынь В.И., Паркин А.А, Штеренберг A.M. Влияние гравитации на формирование полимерной пленки в тлеющем разряде // Химия высоких энергий. 1983. - Т. 17, № 3. - С. 280-282.

126. Поверхностный макрорельеф пленки, получаемой газоразрядной по290лимеризацией / В.И. Зынь, В.К. Потапов, JI.C. Тузов, A.M. Штеренберг // Химия высоких энергий. 1985. - Т.19, № 2. - С. 155-159.

127. Зынь.В.И., Опарин В.Б./ Эффект тени при полимеризации в катодной плазме тлеющего разряда // Химия высоких энергий, 2001, т.35, № 4, с. 313314.

128. L.F. Tompson, G. Smolinsky//J. Appl. Polym. Sci.- 1972. -V. 16, p. 11791184.

129. Grebowich.I, Pakula T., Wrobel A.M. Electron microscopy studies of plasma polumerised organosilicon thin films // Thin Solid Films, 1980, v.65, №3, p.351- 359.

130. Castonguay J., Theoret A./Proprites eltctrigues de minses films de polumeres formes dans une decharg RF a partir de monomtres organiques semiconducteurs// Thin Solid Films, 1980, v.69, №1, p.85.97.

131. Varshney S.K., Beaty C.L./Formation of silicon carbide and nitride by vapour-phase reaction.//Ceram. Eng. Sci. Proc.,1982,v.3, №9, p. 555-564.

132. Wrobel A.M., Wertheimer M.R., Schreiber H.P./Polymerisation of organosilicones in microwave discharges//J.Macromol. Sci. A Chem.,1980,v.A14, №3, p. 321. .337.

133. Kay E., Levenson L.L., James W.J /Organotin polumers formed by glow discharge polumerisation.//J.Phys. Chem., 1980,v.84, №12, p. 1365-1368.

134. Catherine Y.,Zamouche A./Glow discharge deposition of Tetramethylsilane films//Plasma Chem. Plasma Proc.,1985, v.5, №4, p.353.368.

135. Clark D.T., Shuttleworth D./ Plasma polumerisation. An ESCA investigation of polumers sinthesised bu excitation of Inductivtly coupled RF plasma in periluorobenzene and perfluorociclohexane.// J. Polym. Sci. Polym. Chem.- 1980. v.18, №1, p.27.46.

136. M.Hudis./J.Appl. Polym. Sci., 1972. v.16, №1, p.2397.

137. H. Yasuda, T. Hsu. / Polym. Sci., Polym. Chetn. Ed„ 1977, v. 15. p. 81.

138. N. Morosoff, B. Crist, M. Bumgarner, T. J. Macrcimol. Sci. Cliem., 1976, v. A10, p. 451.

139. Экспериментальное исследование образования полимерных пленок в неравновесной фторуглеродной плазме. / Виноградов Г.К., Иманбаев Г.Ж., Полак JI.C., Словецкий Д.И.//Химия высоких энергий. 1983. Т. 17, № 4. с.372-377.

140. Пехович В.И., Жидких В.М. Расчеты тепловых режимов твердых тел.1. Л.: Энергия. 1976. с.233.

141. Проявление газоразрядного подобия в напряженных пленках,полученных полимеризацией в тлеющем разряде /Зынь В.И., Опарин В.Б, Паркин А.А., Потапов В.К., Тузов Л.С.// Химия высоких энергий, 1984, Т. 18, № 5, С.472-475.

142. Опарин В.Б. Внутренние напряжения в полимерных пленках и структура тлеющего разряда // Известия Тульского государственного университета. Сер. физика, №4, 2004, стр. 101. 108.

143. Смит А. Прикладная ИК-спектроскопия. Основы, техника, аналитическое применение. М.: Мир, 1982. - 328 с.

144. Nakanishi К., Solomon Р.Н., Infrared Absorbtion Spectroscopy. -Holden- Day, 1977.-286 c.

145. Inagaki N., Kishi A. Glow Discharge Polymeryzation of Tetramethyl-silane Investigated by Infrared Spectroscopy and ESCA // J. Polym. Sci. Polym. Chem. Ed. 1983.-V.21.-C. 1847-1852.

146. Infrared Spectroscopy of a Dusty RF Plasma / W.W. Stoffels, E. Stoffels, G.M.W. Kroesen, M. Haverlag, J.H.W.G. Den Boer, F.G. De Hoog // Plasma Sources Sci. and Technos. 1994. - 3, № 3. - C. 320-324.

147. Шиммель Г. Методика электронной микроскопии. М.: Мир, 1972.-300 с.

148. Основы аналитической электронной микроскопии. / Дж. Дж. Грен, Дж. И. Гольдштейн, Д.К. Джой, А.К. Ролинг./ М.: Металлургия, 1990, 584 с.

149. Dusty Plasmas: Physics, Chemistry, and Technological Impacts in Plasma Processing, A. Bouchoule, ed., J. Wiley, New York, (1999).

150. Boufendi L., Bouchoule A. Particle Nucleation and Growth in a Low-pressure Argon-silane Discharge // Plasma Sources Sci. and Technos. 1994. - 3, № 3. - C. 262-267.

151. Electron Microscopy Studies of Plasma Polymerized Organosilicon Thin Films / J. Grebowicz, T. Pakula, A.M. Wrobel, M. Kryszewski // Thin Solid Films.- 1980. V.65, № 3. C. 351-359.

152. Еловиков C.C. Электронная спектроскопия. M.: Изд-во МГУ, 1992.-94 с.

153. Зигбан К., Нордлинг К. и др. Электронная спектроскопия. М.: Мир, 1971.-493 с.

154. Tajima I., Yamamoto М. Spectroscopic Study of Chemical Structure of Plasma-Polymerized Hexamethyldisiloxane // J. Polym. Sci. Polym. Chem. Ed. -1985.-V.25.-C. 615-622.

155. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.В. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. М.: Наука, 1981. 142 с.

156. Образование и стабилизация свободных радикалов /Под ред. А.Басс, Г.Бройда: Пер.с англ. М.: Изд-во Инострлит., 1962. 622 с.

157. Ross J., Mazur P. /J. Cem. Phys. 1961, vol.35, p. 19-38.

158. Snidtr N. Ross J., / J. Cem. Phys. 1966, vol.44, p. 1087-1094.

159. Алексеев Б.В. Явления переноса в химически реагирующих газовых смесях//В кн. «Очерки физики и химии плазмы» /Под ред. Л.С.Полака. М.: Наука, 1971, с.88-112.

160. Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и связь, 1983.

161. Полак Л.С., Овсянников А.А., Словецкий Д.И., Вурзель Б.М. Теоретическая и прикладная плазмохимии. М.; Наука, 1975. - 303 с.

162. Биберман Л.М., Воробьев B.C., Якубов И.Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982. - 374 с.

163. Елецкий А.В., Чифликян Р.В. Вопросы нетепловой контракции положительного столба тлеющего разряда //Химия плазмы/Под ред. Б.Н. Смирнова Вып.15. М.: Энергоатомиздат, 1989. с.266.

164. Naidu M.S., Prasad A.N./ J. Phys. Ser.D// Appl. Phys. 1972 v.5,№ 3, p.983.

165. Coburn L.W., Kay E. Some chemical aspects of the fluorocarbon plasma etching of silicon and it's compounds. IBM G. Res, Develop., 1979, v.23, N 1, p. 33-41.

166. Coburn G.W., Wisiters H.F. Plasma etching a discussion of mechanisms. // Vac. Sci. Technol., 1979, v. 16, N 2, p.391-403.

167. MT.Masuoka, H.Vasuda and N.Morosoff. Glow Discharge Polymerization of Hexafluoraethane. A Model System for CAP Mechanisms of Polymer Formation.// Polymer Preprints, v. 19, N 2,1976, p.498-501.

168. Плазмохимические реакции и процессы /Под ред.Л.С.Полака. -М.: Наука,-1977. 216 с.

169. Колотыркин В.М., Гильман А.Б., Цапук А.К. Получение органических пленок под действием электронов, УФ-света и в тлеющемразряда / Успехи химии, 1967, т.36, вып.8, с.1380-1405.

170. Виноградов Г.К., Иванов Ю.А. Плазмохимическая полимеризация органических соединений. В кн.: Химические реакции в низкотемпературной плазма/ Под рад. Л.С.Полака. М.: ИНХС АН СССР, 1977, с. 142-169.

171. Виноградов Г.К., Иванов Ю.А. О механизме плазмохимической полимеризации. В кн.: Плазмохимические процессы. М.: Наука, 1979, с.64-83.

172. Grodman I. The formation of thin polymer films in the gas discharge. -1. Polymer Sei., 1960, 44, N 144, p.551-552.

173. Heisen A. Uber die Bildung dunner Kohlenschichten in einer in Benzolatmosphase frennen den Glimmentladung. //Angew. Physik, 1958, 2, N 1, p.22-35.

174. Williams Т., Edwards I.H. The glow discharge polymeri zation process. //Trans. Inst. Metal. Finish, 1966, 44, N 3, p.l 19-122.

175. Deutsch H, Zum mechanism des Wachstum von Palymerschich-ten in Glimmentladundin-Beitr.// Plasma Phys., 1977, Bd. 17, S.343-350.

176. Lam D.K., Baddour R.F., Stancel A.F. A mechanisms and kinetics study of polymeric thin-film deposition in glow dis charge. //1. Macromol. Sei., 1976, A 10 (3), p.421-450.

177. Kobayashi H., Shen M., Bell A.T. Effect of reaction conditions on the plasma polymerization of ethylene. // G. Macromol. Sei., 1974, A 8 (2), p.373

178. Виноградов Г.К., Иванов Ю.А. Плазмохимическая полимеризация органических соединений. В кн.: Химические реакции в низкотемпературной плазме/ Под рад. Л.С.Полака. М.: ИНХС АН СССР, 1977, с.142-169.

179. Словецкий Д.И., Кочка Я., Стухлик И. Масс-спектральное исследование стабильных продуктов разложения моносилана в тлеющемразряде. // Химия высоких энергий, 1983, т. 17, № 5, с.476-478.

180. Егоров Н.П., Комаров В.П., Куприянов С.Е. Масс-спектрометрическое исследование элементарных процессов в плазме газового разряда. В кн.: Химия плазмы /Под ред.Б.М.Смирнова, М.: Атом-издат, 1974, вып.1, с.203-233.

181. Пржонский A.M. Применение масс-спектрометрии для исследования плазмохимических процессов. В кн.: Тепло и массообмен в плазмохимических процессах. Минск, ИТМО, 1982, с. 123-146.

182. Зынь В.И., Паркин A.A., Ткачук Б.В. Кинетические закономерности в масс-спектрах при полимеризации в тлеющем разряде. // Теоретическая, и эксперимент.химия, 1981, т. 17, № 5, с.605-610.

183. Моргулис Н.Д., Пржонский A.M. Положительные и отрицательные ионы в газоразрядной плазме.// Физика плазмы, 1976, т.2, № 4, с.683-688.

184. Егоров Н.П., Комаров В.Н. Масс-спектрометрическое исследование ионного состава тлеющего разряда.// Журн. техн. физики, 1974, т.44,№ 8, с.1765-1769.

185. Бондаренко A.B. Масс-спектрометрический анализ ионов в прикатодной области тлеющего разряда. Полый катод. // Журн. техн. физики, т.46, вып.12, с.253-256.

186. Бондаренко A.B. Масс-энергетический анализ ионов в при катодной области тлеющего разряда. // Журн. техн. физики, 1975, т.45, №2, с.308-311.

187. Przhonscki A.M., Nemtseva N.G. Investigation of composition of ion flux inciden upon dielectrical surface from methane-xenon plasma. Proc. XV. Int. Conf. Phen. ioniz. gas., Minsk, 1981, p.311-312.

188. Виноградов Г.К. и др. Экспериментальное исследование образования полимерных пленок в неравновесной фторуглеродной плазма. // Химия высоких энергий, 1983, т. 17, № 4, с.372-377.

189. Щуров А.Н. и др. Заряд дисперсных полимерных частиц втлеющем разряде.// Журн.физ.химии, 1979, т.53; № 4,с.930-934.

190. Иванов Ю.А. Гетерогенные стадии процесса плазмохимической полимеризации в тлеющем разряда. В кн.: Применение низкотемпературной плазмы в химии. - М.: Наука, 1981, с.53-59.

191. Штеренберг A.M. Моделирование кинетики формирования дисперсной фазы в процессах плазмохимической полимеризации кремнийорганических соединений в тлеющем разряде // Вестн. Самар. Гос. Техн. Ун-та. Сер. физ.-мат. науки, Самара. 1996, № 4. - С.204-208.

192. Brewer А.К., Westhaver J.W. //J. Phys. Cem. 1929, vol.35, p.883.

193. Капцов H.A. Электрические явления в газах и вакууме. -М.: Изд-во техн.и теорет.лит., 1950. 835 с.

194. Emeleus E.G. The forces acting on dust in positive columns. // Int. I. Electronics, 19S1, v.50, N 2, p. 109-117.

195. Гильман А.Б. и др. О полимеризации некоторых полифторированных ароматических соединений в тлеющем разряде.//Высокомол. соед., 1982, Т.23А, № I, с.155-160.

196. Гильман А.Б. и др. О полимеризации фторзамещенных производных бензола в тлеющем разряде. //Высокомол. соед., 1983, т.25А, № 5, С.1050-1055.

197. K.Nakajima, A.T.Bell, M.Shen, M.Millard. Plasma polymerization of Tetrofluoroethylene. //J of Appl. Polyrn. Sei., 1979,23, p.2627-2637.

198. Филатов B.H., Сысоев A.A. и др. Образование полимерной пленки297под действием ионной бомбардировки. // Химия высоких энергий, 1981, т. 15, № 5, с.474-476.

199. Опарин В.Б. Свойства полимеров, полученных полимеризацией в плазме и возможности их применения в нефтяной отрасли// Известия Самарского научного центра РАН, сер. Проблемы нефти и газа, 2004, стр. 136151.

200. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Автоэмиссионные и взрывные процессы в газовом разряде. Новосибирск: Наука, 1982, с.68.

201. S. V. Vladimirov, N. F. Cramer, and P. V. Shevchenko/ Phys. Rev. E60, 7369(1999).

202. S. V. Vladimirov and N. F. Cramer / Phys. Rev. E62, 2754 (2000).

203. Опарин В.Б. Конвекция и коагуляция в тлеющем разряде в среде гексафторбензола// Известия Самарского научного центра РАН, том 6, № 1, 2004, стр. 119-128.

204. S. V. Vladimirov and О. Ishihara /Phys. Plasmas 3, 444 (1996).

205. К. N. Ostrikov, S. Kumar, and H. Sugai / J. Appl. Phys. 89, 5919 (2001).

206. S. Hong, J. Berndt, and J. Winter, Proc. Third Intl. Conf. Dusty Plasmas (ICPDP-2002), Durban, South Africa, May 20-24,2002, С14.

207. К. Takahashi and K. Tachibana / J. Appl. Phys. 89, 893 (2001).

208. Опарин В.Б. Процессы переноса в тлеющем разряде химически активных газов// Вестник СамГТУ, сер. «Физико-математические науки», вып. 30,2004, стр.150 165.

209. P. Roca i Cabarrocas / J. Non-Cryst. Solids, 266-269, 31 (2000).раз,2,2,1.е.м28