Синтез и физико-химические закономерности формирования золь-гель методом тонкопленочных и дисперсных наноматериалов оксидных систем элементов III - V групп тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, доктор химических наук Борило, Людмила Павловна

• Борило, Людмила Павловна
• доктор химических наук
• 2003

Оглавление диссертации доктор химических наук Борило, Людмила Павловна

Введение

Глава 1. Современное состояние проблемы по физико-химии тонкопленочных и дисперсных наноматериалов

1.1 Место тонкопленочного состояния вещества в химическом знании

1.2 Определение и классификация тонких пленок

1.3 Отличительные особенности тонкопленочного состояния вещества

1.3.1 Тонкие твердофазные пленки как объекты коллоидной химии и физико-химии наносистем

1.3.2 Размерный фактор и влияние его на свойства веществ и материалов

1.3.3 Влияние гетерогенности на свойства веществ

1.3.4 Реакционная способность и образование метастабильных фаз тонких 33 пленок

1.3.5 Примеры отличия физико-химических свойств тонких пленок

1.4 Использование пленок в различных областях современной технике

1.5 Физико-химические основы получения тонкопленочных и дисперсных 44 материалов

1.5.1. Современные подходы к синтезу веществ и материалов

1.5.2. Алгоритм целенаправленного синтеза веществ и материалов

1.5.3. Особенности методов получения наноматериалов

1.6 Постановка цели и задач исследования

Глава 2. Методы синтеза. Методы исследования и исходные 59 вещества

2.1 Методы получения тонких пленок

2.2 Получение пленок из пленкообразующих растворов

2.3 Методика приготовления растворов. Исходные вещества

2.3.1 Пленкообразующие вещества и растворители

2.3.2 Приготовление пленкообразующих растворов

2.4 Роль поверхности подложки при формировании пленок

2.4.1 Текстура поверхности подложки

2.4.2 Свойства подложки, обусловленные ее химическим составом

2.4.3 Подготовка поверхности подложки и взаимодействие между атомами 76 на поверхности

2.5 Методы исследования состава, структуры и свойств полученных 78 материалов

Глава 3. Физико-химические закономерности, процессов протекающих в пленкообразующих растворах

3.1 Основные физико-химические процессы, обуславливающие получение 95 пленок по золь-гель технологии

3.2 Особенности пленкообразующих свойств растворов

3.3 Пленкообразующие растворы на основе соединений кремния, титана и 99 тантала

3.4 Пленкообразующие свойства растворов на основе соединений 103 циркония и гафния

3.5 Свойства пленкообразующих растворов с добавками нитратов РЗЭ

3.6 Свойства пленкообразующих растворов на основе тетраэтоксисилана и 110 соединений тантала и висмута

3.7 Свойства пленкообразующих растворов на основе тетраэтоксисилана и 112 оксихлорида циркония

3.8 Влияние различных факторов на пленкообразующие свойства 116 растворов

3.9 Свойства пленкообразующих растворов на основе оксохлорида гафния 128 и хлорида иттрия

3.10 Физико-химические закономерности в пленкообразующих растворах

Глава 4. Изучение процессов формирования оксидных составляющих в тонкопленочном и массивном состоянии

4.1 Образование пленки на поверхности твердого тела

4.2 Процессы, протекающие при нанесении пленкообразующего раствора 136 на подложку

4.3 Физико-химические процессы формирования пленок на основе оксидов 141 кремния и титана

4.3.1 Исследование процессов получения пленок и порошков оксидов 141 кремния и титана из ПОР

4.3.2 Процессы формирования пленок на основе системы Si02-Ln

4.3.3 Процессы формирования пленок на основе систем БЮг-ВгОз,

Si02-Ta

4.4 Физико-химические процессы, протекающие при формировании пленок 157 на основе оксидов циркония и гафния

4.4.1 Изучение процессов формирования пленок Zr

4.4.2 Исследование процессов формирования пленок НЮг, НЮг-УгОз

4.4.3 Физико-химические процессы формирования пленок Zr02, НЮг из 167 ПОР на основе МОСЬЗНгО-ацетилацетон-СгНбОН- Н

4.5 Образование сложных оксидов на основе соединений циркония

4.5.1 Изучение процессов формирования пленок гЮг-УгОз

4.5.2 Изучение процессов формирования пленок Zr02-Si

4.6 Закономерности формирования простых и сложных оксидов

Глава 5. Физико-химические свойства и структура полученных пленок

5.1 Изучение физико-химических свойств, структуры и термоустойчивости 184 пленок Si02, ТЮг

5.2 Особенности структуры и свойств тонкопленочных систем БЮг-ЬпгОз

5.3 Свойства пленок двойных оксидов БЮг-ВгОз, Si02-Ta

5.3.1 Изучение свойств подложки и сформированной на ней пленки

5.3.2 Свойства пленок систем БЮг-ВгОз, БЮг-ТагОб

5.4 Свойства пленок оксидов циркония и гафния

5.4.1 Фазовый состав, структура и свойства пленок ZrOr- Si

5.4.2 Структура и свойства пленок на основе гЮг-УгОз

5.4.3 Свойства пленок системы НЮг-УгОз

5.5 Основные особенности состава, структуры и свойств полученных 224 тонкопленочных материалов

Глава 6. Физико-химическое изучение композиционных материалов, 226 полученных из ПОР и ультрадисперсного алюминия

6.1 Свойства системы ПОР - ультрадисперсный алюминий

6.2 Процессы формирования пленок системы БЮг-А^Оз

6.3 Процессы формирования дисперсных композиционных материалов

6.4 Свойства системы Si02-xY203-AI

6.5 Изучение устойчивости металл-оксидных композиционных материалов

Глава 7. Технологическая схема получения тонкопленочных и 239 дисперсных материалов, области практического использования

7.1 Построение математических моделей процессов нанесения оксидных 239 пленок из ПОР

7.2 Технологическая схема получения пленок из пленкообразующих 241 растворов

7.3 Критерии управления, составы и структура полученных материалов

7.4 Области практического использования полученных материалов

7.4.1 Многослойные интерференционные покрытия для галогеновых ламп

7.4.2 Использование светоперераспределяющих покрытий для 247 выращивания растений в закрытом грунте

7.4.3 Применение отрезающих УФ-излучение покрытий в разрядных 248 лампах

7.4.4 Износостойкие покрытия для технологической оснастки 249 светотехнического производства

7.4.5 Металл-оксидные композиции в качестве геттерных материалов

7.4.6 Другие области использования полученных материалов

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Синтез и физико-химические закономерности формирования золь-гель методом тонкопленочных и дисперсных наноматериалов оксидных систем элементов III - V групп»

Наука о материалах занимает одно из ведущих место в развитии технического прогресса. Интерес к материалам не случаен, если учесть, что почти пятая часть национального продукта промышленно развитых стран связана с производством природных и искусственных материалов, роль которых неуклонно возрастает. Можно привести массу примеров, когда реализация технических идей сдерживалась отсутствием материалов с требуемыми свойствами, и только появление новых материалов с улучшенными свойствами приводило к ^ качественному скачку производства, созданию новых полезных изделий [1-7].

Отличительным признаком материала от вещества является композиционная структура и дисперсность, а общепринятая формула физико-химического анализа "состав - свойство", характерная для вещества, преобразовывается для материала, по мнению академика Тананаева, в формулу "состав - структура - дисперсность - свойство" [8]. В общем случае материал - это совокупность химических индивидов, объединенных в единую гетерогенную макросистему с комплексом физико-химических, целевых, практически полезных свойств и обладающих потребительской стоимостью.

Неиссякаемым источником создания новых материалов являются их композиции, позволяющие вовлекать в сферу техники различные классы веществ; тем самым появляется возможность в широких пределах и в различных комбинациях варьировать комплексом физико-химических и целевых свойств материала [9-13]. Функциональные возможности для использования композиционных материалов (КМ) расширяются, если их композиционная структура представляет или включает тонкопленочную или дисперсную композиции. Варьируя химическим составом, композиционной структурой этих соединений, можно создавать термодинамически стабильные и местабильные материалы [14-18].

Наиболее ранними исследованиями, касающимися композиционных материалов, были работы, посвященные изучению природных и искусственно созданных дисперсных КМ [1]. Особое, решающее развитие КМ придали возникающие порошковые безотходные технологии получения конструкционных материалов - инструментальные изделия. Начиная с конца 60-х - начала 70-х годов, наметились новые принципы создания КМ, включающие комплексное ♦ изучение механических свойств материалов и связывающих их применение с реальной и композиционной структурой материала. Практически исследованиями академика Панина В.Е., Францевича И.Н., Еременко В.М. заложены физические основы композиционного материаловедения. Исследованиями академика Третьякова Ю.Д. Алесковского В.В., Болдырева В.В. и Швейкина Г.П. и других заложены химические принципы направленного создания материалов [18-29].

В последние годы интенсивно развивается новое научное направление, связанное с получением и изучением наноматериалов (НМ). К наноматериалам относятся нанопорошки с размером меньше ЮОнм, стеклообразные и кристаллические материалы, в объеме которых распределены элементы структуры с наноразмерами, наноразмерные образования на поверхности различных материалов, пленки и волокна с наноразмерной толщиной [22]. Большинство промышленно развитых стран приняли национальные программы исследований в области исследования наносистем. В России, несмотря на отсутствие федеральной специализированной программы, в последние годы резко возобновился интерес к этой проблеме [30-43]. Среди тонкопленочных и дисперсных систем перспективными являются материалы, полученные на основе простых и сложных оксидов элементов III-V групп и ультрадисперсного алюминия. Особенно успешно такие материалы применяются в быстро развивающихся областях электронной техники, светотехнической промышленности, строительной индустрии [22-30].

Свойства тонкопленочных и дисперсных наносистем отличаются от свойств материалов в массивном состоянии. Это связано с тем, что в таких системах существенное влияние на свойства оказывают факторы дисперсности (отношение площади поверхности к объему твердого тела) и гетерогенности (многофазности). В связи с этим изучение особенностей тонкопленочного состояния вещества, физико-химических закономерностей их получения, исследование процессов в тонких слоях, а также анализ состава, структуры и свойств представляет немалый научный и практический интерес [1,2,14-16,26].

Важнейшей задачей неорганической химии и химического материаловедения является синтез неорганических веществ и разработка новых функционально-чувствительных материалов. Получение материалов с комплексом заданных физико-химических и эксплуатационных свойств является сложной задачей [14,19, 57]. Для этого необходимо глубокое теоретическое осмысление связи особенностей структуры и состава соединений с теми или иными физическими, химическими, биологическими и другими свойствами; компьютерное моделирование, а также привлечение экспериментальных данных. Параллельно необходимо проводить детальное исследование процессов, протекающих при синтезе и формировании структуры образца, а также условий работы и эксплуатации. Упрощение и сокращение пути поиска и синтеза веществ, обладающих заданными свойствами, и создание на их основе новых функциональных материалов является задачами целенаправленного синтеза (ЦНС) [55-56, 58]. Особую актуальность и значение они приобретают в связи с ускорением темпов развития современной техники и технологий. Целенаправленный синтез объединяет основы неорганического синтеза, химическое прогнозирование основы научных исследований и, как правило, сопряжен с исследованиями в параллельных областях физики, биологии, электроники, медицины. Несмотря на то, что в настоящее время накоплен значительный материал по этой проблеме, строгая теория прогноза свойств твердофазных систем (особенно реальных неупорядоченных, а также тонкопленочных) находится в начале своего развития. Не совсем еще раскрыто влияние термодинамических и кинетических параметров твердо- и жидкофазных систем на фазовые и структурные превращения, протекающие в процессе синтеза материала, а также при взаимодействии с внешней средой. Без понимания механизмов реакций и влияния условий синтеза на формирование границы реакционного фронта и промежуточного состава невозможно решить задачи управляемого синтеза неорганических веществ и материалов.

Совокупность исследований, выполненных в Томском университете, положила основу создания научных основ целенаправленного получения и исследования КМ с комплексом свойств различного функционального назначения. Светоперераспределяющие и химически чувствительные тонкопленочные и дисперсные КМ открывают в светотехнической промышленности принципиально новые возможности создания надежных, энергоэкономичных, экологически благоприятных источников света [2,15,59-64]. Решение задач по созданию тонкопленочных материалов с функционально изменяющимися свойствами позволяет создавать новые светоперераспределяющие экраны для источников света, кроме того, появляются возможности использования их для остекления теплиц и зданий [61-64]. Функциональные возможности КМ могут быть расширены с использованием гибридных металл-неметаллических составляющих различной природы в виде тонкопленочных и дисперсных нанокомпозиций (НК) [41-42, 5960]. Изменяя композицию М-Д, Д-М-Д можно создавать НК с заданным комплексом электрофизических , оптических, механических свойств и других свойств. В дисперсных КМ Д-М-Д можно изменять механические и химические характеристики КМ. Примеров можно привести большое количество. На наш взгляд, практический интерес могут представлять различные металл-оксидные нанокомпозиции.

В настоящее время все методы получения тонкопленочных и дисперсных наноматериалов можно разделить на две большие группы, получаемые по конденсационным или диспергационным маршрутам [37]. Однако при получении гибридных нанокомпозитов бывает трудно достичь равномерного распределения входящих компонентов, что приводит к неоднородности свойств материалов. Особенность золь-гель метода получения наносистем заключается в возможности синтеза новых материалов, существенном снижении температуры их формирования, высокой химической однородности многокомпонентных систем за счет равномерного (на молекулярном уровне) распределения компонентов в исходном растворе. Возможность управления свойствами получаемых материалов в процессе синтеза, а также простота и доступность этого метода способствуют применению его в промышленных масштабах. щ Опубликованные в отечественной и зарубежной литературе данные позволяют судить лишь о некоторых свойствах тонкопленочных и дисперсных наноматериалов на основе простых и сложных оксидов элементов III-V групп, полученных в основном физическими методами. Что же касается механизмов формирования НК из пленкообразующих растворов (ПОР) по золь-гель технологии, влияния условий формирования на структуру, физико-химические и целевые свойства, то эти вопросы практически в литературе отсутствуют. Полностью отсутствуют данные по изучению диаграмм состав-свойство для тонкопленочных систем и влиянию размерного фактора на свойства тонкопленочных материалов, исследованию свойств систем на основе гибридных композиций на основе тонких пленок и ультрадиспесных металлов. Поэтому для успешного использования наноматериалов в массовой технологии необходимо систематическое исследование указанных аспектов.

Цель работы заключалась в исследовании процессов получения тонкопленочных неорганических наносистем золь-гель методом и в установлении взаимосвязи между условиями синтеза, составом, структурой, размерными факторами и физико-химическими свойствами веществ и материалов.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1) Изучение физико-химических процессов, протекающих в пленкообразующих растворах на основе алкоксисоединений, солей неорганических кислот, комплексных соединений элементов III-V групп в этиловом спирте и выявление факторов, обусловливающих их пленкообразующие свойства.

2) Определение основных стадий и закономерностей формирования простых и сложных оксидов элементов III-V групп в тонкопленочном и дисперсном состоянии золь-гель методом, установление оптимальных условий их получения.

3) Изучение физико-химических свойств, построение диаграмм состав-свойство для двухкомпонентных тонкопленочных систем.

4) Выявление влияния размерного фактора, поверхности подложки на структуру и свойства тонкопленочных и дисперсных оксидных материалов.

5) Исследование условий формирования НМ на основе ультрадисперсного алюминия и ПОР на структуру и свойства полученных материалов, выявление особенностей поведения металла в оксидной матрице.

6) Определение областей и путей практического применения синтезированных материалов.

Научная новизна

Впервые проведено комплексное изучение физико-химических процессов получения пленок и порошков простых и сложных оксидов на основе элементов III-V групп из пленкообразующих растворов и определена последовательность основных стадий их формирования. Установлено различие в процессах формирования тонкопленочных и объемных систем, обусловленное влиянием размерного фактора, природой и каталитической способностью поверхности подложки, приводящее к изменению лимитирующей стадии образования пленок, по сравнению с порошками. Установлено с помощью атомно-силовой и электронной микроскопии, что полученные тонкопленочные материалы представляют собой наносистемы с толщиной пленок от 20 до 100 нм и размерами кристаллитов 20-40 нм.

Показано, что пленкообразующие свойства определяются стадией образования золя и зависят от способности исходных веществ вступать в реакции гидролиза, поликонденсации, комплексообразования и образовывать в растворе ассоциаты со структурными единицами в виде цепей, циклов, каркасов. Пленкообразующей способностью обладают этоксисоединения кремния и титана, хлориды титана и тантала, оксохлориды и ацетилацетонаты циркония и гафния.

Большей стабильностью по анионной составляющей, обладают растворы на основе хлоридов и ацетилацетонатов металлов, по катионной - стабильности и пленкообразованию способствует увеличение радиуса и заряда катиона. Выявлены временные интервалы пригодности ПОР для получения качественных пленок, находящиеся в области от созревания раствора до стадии образования геля.

Обнаружено влияние непленкообразующих компонентов растворов (солей неорганических кислот РЗЭ, висмута, частиц УДП алюминия) на пленкообразующие свойства растворов. Показано, что соли неорганических кислот выступают в качестве электролита-стабилизатора коллоидных растворов и существенно расширяют интервал пленкообразующих свойств растворов, причем увеличение концентрации электролита и увеличение заряда ядра по ряду РЗЭ повышают устойчивость системы к агрегации и коагуляции частиц, ведущих к образованию пространственной структуры полимера и переходу раствора в гелеобразное состояние, а частицы дисперсных металлов способствуют гидролитической поликонденсации в растворе и быстрому переходу раствора из золя в гель.

Процессы формирования простых и сложных оксидов в тонкопленочном и дисперсном состоянии протекают через ряд последовательных стадий и включают: испарение адсорбированной воды и спирта, гидролиз и конденсацию продуктов гидролиза, окисление этоксигрупп, термическое разложение солей и удаление газообразных продуктов, сгорание органических остатков, процессы кристаллизации. В результате проведенных исследований было установлено, что процессы, протекающие в тонком слое, энергетически более выгодны: происходит снижение температуры формирования пленок по сравнению с порошками, снижение энергии активации процессов, идущих на поверхности подложки.

Впервые установлено влияние размерного фактора на структуру и свойства пленок, заключающегося в стабилизации метастабильных и высокотемпературных фаз в наносистемах. Выявлено экстремальное изменение в свойствах пленок при толщинах пленок 50-80 нм, обусловленное существованием метастабильных наноструктурных состояний. Обнаружено влияние ориентирующего действия подложки и условий формирования на получение пленок с аморфной и кристаллической структурой.

Впервые установлена взаимосвязь между физико-химическими свойствами пленок двойных оксидов (Si02-3203, ЭЮг-ЭОг, Si02-3205, Zr02-3203, НГО2-Э203), их составом и структурой. Показано образование пленок на основе твердых растворов, химических соединений, механических смесей, слоистых и с включениями другой фазы. Построены диаграммы состав-свойство для тонкопленочных наносистем, предложены критерии получения пленок заданного состава и свойств.

Металл-оксидные композиции, полученные из ультрадисперсного алюминия и спиртового раствора тетроэтоксисилана с добавками нитрата иттрия, представляют собой частицы металла, распределенные в оксидном каркасе. Совокупность химических процессов, протекающих при формировании композиции АкБЮгхУгОз, обеспечивает высокую пористость и дефектность оксидного каркаса, обладающего высокой адгезией к месту нанесения, что облегчает процесс окисления алюминия и способствует эффективным газопоглощающим свойствам таких материалов.

Полученные результаты и установленные закономерности дают новые, более глубокие представления о синтезе и природе физико-химических процессов, протекающих на различных стадиях золь-гель процессов получения тонкопленочных и дисперсных оксидных систем, а также свойствах наноматериалов. Эти закономерности можно использовать при разработке теоретических основ целенаправленного синтеза веществ и материалов с заданными физико-химическими свойствами, выявление особенностей физико-химии тонкопленочного и дисперсного состояния вещества и нанотехнологий.

В работе защищаются следующие положения:

1. Совокупность научных положений, закономерностей и механизмов формирования тонкопленочных и дисперсных наносистем золь-гель методом на основе простых и сложных оксидов элементов III-V групп, ультрадисперсного алюминия, включающие процессы, протекающие:

- в пленкообразующих растворах;

- в тонком слое на поверхности подложки;

- в композициях на основе ультрадисперсного алюминия.

2. Влияние поверхности подложки и размерных факторов наносистем на структуру и свойства полученных тонкопленочных материалов.

3. Взаимосвязь между условиями синтеза, составом, соотношением компонентов и физико-химическими свойствами тонкопленочных и дисперсных систем.

4. Составы и способ получения тонкопленочных наноматериалов золь-гель методом, обеспечивающие широкий спектр свойств пленок и их стабильность во времени.

5. Способность ультрадисперсного алюминия сохранять газопоглощение кислорода в композиционном материале, полученном из пленкообразующего раствора.

Личный вклад автора

Диссертация является итогом многолетних исследований, проведенных на кафедре неорганической химии и в отделе «Новые материалы» Томского госуниверситета под руководством и при непосредственном участии автора. Автору принадлежит обоснование методологии данных исследований; непосредственное участие в экспериментах по получению и изучению свойств тонкопленочных и дисперсных наносистем, установление закономерностей и механизмов получения материалов золь-гель методом; анализ, интерпретация и обобщение полученных результатов.

Практическое значение и реализация результатов работы

На основе тонких пленок из Si02, ТЮ2 и Zr02 были получены многослойные интерференционные покрытия типа Ti02—(Si02—TiO)n, Zr02-(Si02-Zr02)n, где n = 1, 2, 3. Из слоев с оптической толщиной nd = 250-270 нм были изготовлены теплоотражающие покрытия для ближней ИК-области спектра, имеющие коэффициент отражения до 80 % в ИК-области, при пропускании видимого излучения до 90 %. Покрытия были нанесены на колбы галогенных ламп, проведены производственные испытания. При рабочей температуре колба галогенной лампы (Т = 870-970 К) имеет стабильные оптические характеристики.

Созданы покрытия для разрядных ламп ДРТ и на их основе организовано опытное производство безозоновых УФ-облучателей бактерицидного и эритемного действия.

Тонкопленочные светоперераспределяющие экраны на основе многослойных оксидов внедрены во ВНИИС и НПО «Лисма» г. Саранск; используются на производствах ТРТЗ г.Томск, ООО «ПИК», ООО «Эмет» при создании газорядрядных, безозоновых и галогеновых ламп с повышенной светоотдачей, а также при создании миниатюрных ламп нового поколения. На ОАО «Томскводпроект», ФГУП НИИПП г. Томск апробированы тонкопленочные светоперерастределяющие покрытия для стекол.

На Томском электроламповом заводе и ООО «Эмет» проведено производственное апробирование геттерных композиционных материалов на основе пленкообразующих растворов и ультрадисперсного алюминия БЮг-Y2O3-AI, позволяющих улучшить светотехнические характеристики источников света и их срок службы.

Показано использование оксидных наносистем в космическом приборостроении. Проведено апробирование их в качестве защитных и упрочняющих покрытий при производстве деталей технологической оснастки, при получении пористых керамических и полимерных композиционных материалов в опытном производстве на ОАО «Томскводпроект».

Результаты работы используются в учебном процессе в курсах «Химия твердых веществ» и «Неорганические материалы», в рамках спецкурсов проводится лаборатория «Целенаправленный синтез тонкопленочных материалов», выполняются курсовые, дипломные работы, магистерские и кандидатские диссертации.

Работа выполнялась в соответствии с основным направлением научных исследований кафедры неорганической химии и отдела «Новые материалы» Томского госуниверситета «Химия полифункциональных материалов, объектов окружающей среды и химической технологии» по госбюджетной теме Министерства образования РФ «Изучение физико-химических закономерностей целенаправленного синтеза и модифицирования полифункциональных материалов», по программам и грантам: «Разработка новых строительных материалов на основе вспененного силикатного сырья и полимерных композиций с неорганическими наполнителями», «Разработка композиционных наноматериалов на основе элементов III-V с экологической направленностью»

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Борило, Людмила Павловна

выводы

1. Разработан целенаправленный подход к получению тонкопленочных и дисперсных наноматериалов оксидных систем золь-гель методом, состоящий из четырех основных технологических стадий, основу которых составляют процессы в растворе и на поверхности подложки - конденсационный, коагуляционный и кристаллизационный, что позволяет получать тонкие пленки простых и сложных оксидов с толщиной от 20 до 150 нм аморфной и кристаллической структуры с размерами кристаллитов 20-30 нм, широким спектром свойств и стабильностью их во времени, а также металл-оксидные дисперсные системы с размерами УДП металла в оксидной матрице до 100 нм.

2. Исследованы физико-химические процессы, протекающие в пленкообразующих растворах на основе различных соединений элементов III-V группы. Показано, что пленкообразующая способность растворов связана с начальной вязкостью, обусловленной процессами гидролиза, поликонденсации и комплексообразования в растворах и ограничена во времени. Определено, что пленкообразующей способностью в растворах этилового спирта обладают только соединения элементов IV и V групп. Установлено время созревания растворов, область существования раствора со стабильными пленкообразующими свойствами, область старения раствора и определены причины в различии пленкообразующих свойств растворов:

-этоксисоединения Si и Ti имеют малый интервал пленкообразующих свойств вследствие образования в растворе открытых цепей и циклов, усиливающих процессы конденсации и коагуляции и перехода раствора из золя в гель;

-растворы солей оксохлоридов, ацетилацетонатов Zr и Hf, тертахлорида Ti, пентахлорида Та за счет образования более устойчивых структур в виде каркасов и полиэдров в растворе сохраняют пленкообразующие свойства в течение длительного времени, увеличение заряда катиона и введение ацетилацетон-иона способствует стабилизации пленкообразующих свойств;

-добавки солей неорганических кислот (непленкообразующих компонентов) выступают в качестве электролита - стабилизатора коллоидных растворов, в отличие от добавок УДП алюминия второго непленкообразующего компонента, усиливающего гелеобразование в растворе, за счет образования алюмосиликатных связок.

3. Установлена последовательность основных стадий процессов формирования пленок и порошков простых и сложных оксидов из пленкообразующих растворов на различных подложках, включающих конденсацию раствора на поверхности подложки, удаление адсорбционной воды, окисление этоксигруппы, разложение гидроксидов солей неорганических кислот, перегруппировку в комплексах и сгорание органических продуктов. Обнаружено влияние размерного фактора и поверхности подложки на процессы гидролиза и окисления этоксигруппы, находящихся в тонком слое, что изменяет лимитирующую стадию образования пленок по сравнению с порошками, снижает температуру их формирования и энергию активации. Определены различия в процессах образования пленок сложного состава: показано, что соли РЗ элементов снижают температуру формирования пленок Si02-Ln203 (где Ln - Y, La, Hd, Gd, Ho, Er) вследствие образования более пористой структуры, связанной с разложением солей, и ускоряют процессы окисления этоксисреды; добавки УДП алюминия вызывают процессы структурирования в системе, приводящие к затруднению разложения полисилоксанов и увеличению температуры формирования пленок БЮг-АЬОз по сравнению с Si02; при высоких концентрациях ВЬОз в системе Si03-Bi203 образуются силикаты, что повышает температуру их формирования до 1173 К.

4. Проведено комплексное изучение физико-химических свойств полученных наноматериалов в зависимости от условий синтеза, соотношения компонентов в пленках, типа подложки, на которую нанесена пленка, и структурой, впервые построены диаграммы состав-свойство для тонкопленочных оксидных наносистем:

-варьирование концентраций Э20з в системах Si02-3203 обеспечивает формирование мелкодисперсных, крупнодисперсных, кристаллических, с включениями второй фазы, слоистых композиционных структур. В зависимости от состава и концентрации добавки показатель преломления меняется от 1,16 до 1.80, диэлектрическая проницаемость - от 4,6 до 20. Обнаружены составы с аномально низким (1,16-1,40) значением показателя преломления по ряду РЗЭ, что объясняется образованием слоистой структуры пленки с эффектом оптического просветления;

-показано, что введение в состав пленки 2тОг-Y2O3 (НГОг-УгОз) в количестве до 30% приводит к образованию твердых растворов. В пленках на основе кубической модификации ZrC^, устойчивость которой обусловлена образованием кислородных вакансий в решетке Zr02; увеличение содержания Э203 в пленке выше 50-70 мол. % приводит к значительному снижению показателя преломления, повышающего рассеивание света, что связано с формированием многофазной системы, в состав которой, кроме Zr02, входят оксиды Э20з.;

- в составе полученных пленок Si02-Zr02 диоксид кремния находится в рентгеноаморфной форме, диоксид циркония - в основном тетрагональной и кубической модификации, в пленках с содержанием Zr02 40-85 мол. % обнаружено образование циркона, содержание которого определяется соотношением оксохлорид циркония/тетраэтоксисиланов в ПОР (достигая максимума при молярном соотношении 1:1);

- структура пленок изменяется от аморфной до поликристаллической и определяется режимом термообработки, природой подложки: пленки, полученные на стеклянных подложках, имеют аморфную структуру; на подложках из кварца, кремния, поликора и сапфира - аморфную и поликристаллическую; увеличение температуры обжига приводит к уплотнению пленки и способствует образованию поликристаллической пленки для Zr02 и НЮг преимущественно моноклинной и кубической модификации, для ТЮ2 - модификации рутила.

5. Впервые проведено исследование влияния фактора дисперсности (толщины) на структуру и свойства полученных пленок. Влияние толщины пленок на оптические характеристики проявляется в резком увеличении показателя преломления пленок с уменьшением толщины для всех систем в области от 20 до 120 нм и объясняется образованием метастабильных наноструктурных состояний. Показано, что для тонкопленочных наносистем Zr02-Si02; ггОг-УгОз наблюдается изменение свойств в области от 70 до 100 нм, что обусловлено стабилизацией метастабильной высокотемпературной кубической модификациями Zr02, имеющей более высокие значения показателя преломления.

6. Впервые из пленкообразующих растворов сформированы дисперсные композиционные системы с развитым силикатным каркасом и распределенными в нем частицами УДП алюминия, повышенной реакционной способностью, что обусловлено совокупностью химических процессов, протекающих при формировании композиции, способствующих образованию развитой геттерной матрицы, обеспечивающей высокую пористость и дефектность оксидного каркаса, а также высокую газопоглощающую способность к кислороду.

7. Разработанные тонкопленочные материалы могут быть использованы при производстве ультрафиолетовых облучателей с покрытиями на лампах, отрезающих жесткое ультрафиолетовое излучение, а также в качестве ИК-отражающих покрытий на галогеновых лампах, защитно-декоративных покрытий, обладающих высокой термохимической и механической устойчивостью, металл-оксидные материалы на основе УДП алюминия - в качестве газопоглощающих материалов. Созданные материалы прошли испытания в производственных условиях.

Список литературы диссертационного исследования доктор химических наук Борило, Людмила Павловна, 2003 год

1.И., Козик В.В., Борило Л.П. и др. Полифункциональные неорганические материалы на основе природных и искусственных соединений. -Томск: Изд-во Томск, ун-та, 2002. -359 с.

2. Серебренников В.В., Якунина Г.М., Козик В.В., Сергеев А.Н. Редкоземельные элементы и их соединения в электронной технике. -Томск: Изд-во Томск, ун-та, 1980.-156 с.

3. Неорганическое материаловедение в СССР. Киев.: Наукова думка. -1988,-718 с.

4. Рао Ч. Н., Гонпакришнан Дж. Новые направления в химии твердого тела: структура, синтез, свойства, реакционная способность и дизайн материалов. Новосибирск: Наука, 1990.-516 с.

5. Третьяков Ю.Д., Лепис X. Химия и технология твердофазных материалов. -М.: Наука, 1985. -198 с.

6. Вест А. Химия твердого тела. -М.: Мир, 1988. Т.1.2. -990с.

7. Фистуль В.И. Новые материалы. Состояние, проблемы, перспективы. -М.: МИСИС, 1995.

8. Федоров В.Б. Тананаев И.В. //Журнал ВХО им. Д.И. Менделеева.- 1987, Т. 32. -№ 1.-С.43.

9. Современные композиционные материалы. / Под ред. Л.Браутмана, Р.Крока. Пер. с англ. Под ред. Светлова И.Д. М.: Мир, -1979. -672 с.

10. Соколовская Е.М., Гузей Л.С. Физико-химия композиционных материалов." М.: МГУ. 1976.-256 с.

11. Химия твердого тела и функциональные материалы. / Под. Ред. Бамбу-рова В.Г.,Ивановского А.Л. Екатеринбург: Изд. Ин-та химии твердого тела. 2000. - 465 с.

12. Сайфулин Р. С. Неорганические композиционные материалы. М.: Химия, 1983. -280 с.

13. Сайфулин Р.С. Композиционные покрытия и материалы. М.: Химия.,1977.-272 с

14. Третьяков Ю. Д., Метлин Ю. Г. //Журн. хим. о-ва им. Д. И. Менделеева. -1991- Т. XXXVI.- N 3. С. 265-270.

15. Борило Jl.П. Тонкопленочные неорганические наносистемы. Томск: Изд-во Том. ун-та, 2003. -134 с.

16. Козик В.В., Серебренников В.В., Главацкий Ю.Ф., Абакумов Е.П. Источники света и РЗЭ. Томск: Изд-во Томск, ун-та, 1981.-176 с.

17. Кутолин С.А., Чернобровкин Д.И. Пленочное материаловедение редкоземельных соединений. М.: Металлургия,1981.-178 с.

18. Козик В.В. Химия твердых веществ. Томск.: Изд-во ТГУ, 1985. -125 с.

19. Алесковский В. Б. Курс химии надмолекулярных соединений. Л.: Изд-во Ленинградск. ун-та, 1990. - С. 40-75.

20. Ивановский А.Л., Швейкин Г.П. Квантовая химия в материаловедении. -Екатеринбург: Изд-во Екатеринбург, 1997. -395 с.

21. Швейкин Г.П., Гусев А.И., Алямовский С.И., Зайнулин Ю.Г. Структурные вакансии в соединениях переменного состава. / Успехи химии.- Т. LV.-1986.- №12.-С. 2067-2085.

22. Беляев А.В. Методы получения неорганических неметаллических нано-частиц. М: Изд-во МХТУ им. Д.И.Менделеева, 2003.-79с.

23. Алесковский В.Б. Химия твердых веществ. М.: Высшая школа, 1978.252 с.

24. Болдырев В.В. Химия твердого тела. М.: Знание, 1982.- 64 с.

25. Болдырев В.В., Ляхов Н.З., Чупахин А.П. Химия твердого тела.: Знание, 1988. -54 с.

26. Кутолин С.А., Нейч А.И. Физическая химия цветного стекла. М.: Строй-издат, 1988.-294 с.

27. Кузнецов Ф.А. Проблемы электронного материаловедения. -Новосибирск: Наука, 1986.- 168 с.

28. Фистуль В.И. Физика и химия твердого тела. -М.: Металлургия,1995, Т.1,2.

29. Горелик С.С., Дашевский М.Л. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. -М.: Металлургия, 1988.

30. Валиев Р.З., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. М.: Логос, 2000. - 272 с.

31. Андриевский Р.С. Наноструктурные материалы состояние разработок и перспективы II Перспективные материалы. - 2001. - №6. - С. 5 - 12.

32. Губин С.П. Что такое наночастица? Тенденции развития нанохимии и на-нотехнологии //Журнал РХО. 2000. - №6. - С. 24 - 29.

33. Андриевский Р.С. Термическая стабильность наноматериалов // Успехи химии. 2002. -Т. 7. - С. 967 - 981.

34. Долгушев Н.В., Суворов С.А. Низкоразмерное состояние вещества. Свойства, описание, параметризация. -СПб.: Изд-во С.-Петерб.ун-та,2001.-190с.

35. Гусев. А. И., Ремпель А.А. Нанокристаллические материалы. М.: Физ-матлит, 2001.-224 с.

36. Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем: Материалы IV Всероссийской (международной) конференции. М.: Изд-во МИФИ, 2002. 427 с.

37. Мелихов И.В. Физикохимия наносистем: успехи и проблемы //Вестник РАН. -2002. Т. 72, -№ 10. -С. 900-909.

38. Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований // Под ред. М.К.Роко, Р.С.Уильямса и П.Аливисатоса . -М.: Мир. 2002. -287с.

39. Морохов И.Д., Трусов С.П., Чижик С.П. Ультрадисперсные металлические среды. -М.: Атомиздат, 1997. -264 с.

40. Сергеев Г.Б. Нанохимия. -М.: Изд-во МГУ. -2003. -287с.

41. Помогайло А.Д. Гибридные полимер-неорганические нанокомпозиты // Успехи химии -2000.Т.-1- С.60-82

42. Помогайло А.Д. Розенберг А.С.Уфлленд Н.Е. Наночастицы металлов в полимерах. -М.: Химия, 2000.-762с.

43. Петров Ю.И. Физика малых частиц. -М: Наука. 1982

44. Ивлев В.М., Трусов J1.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. -М.: Металлургия, 1988. -С. 25-38.

45. Поут Дж., Ту К., Мейер Дж. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции /Пер. с англ. Под ред. В.Ф.Киселева. -М.: Мир, 1982. -382 с.

46. Фишер Холл. Технология толстых и тонких пленок. -М.: Мир, 1972. -С. 46.

47. Берри Р., Холл П., Гаррис М. Тонкопленочная технология. -М.: Энергия, 1972.

48. Борисенко А.И., Николаев J1.В. Тонкослойные стеклоэмалевые и стекло-керамические покрытия. -Л.: Наука, 1972. -156 с.

49. Борисенко А.И., Новиков В.В., Приходько Н.Е., Митникова М.М., Чепик Л.Ф. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. -Л.: Наука, 1972. -114 с.

50. Палатник Л.С., Сорокин В.К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения.-М.: Энергия, 1973. -295 с.

51. Физика тонких пленок / Под ред. Г. Хасса, Р.Э. Туна; Пер. с англ. М.: Мир, 1972. Т.5. -С. 104-111.

52. Холленд Д. Нанесение тонких пленок в вакууме. -М.: Госэнергоиздат, 1963. -260 с.

53. Технология тонких пленок: Справочник /Под ред. Л. Мейселал, Р. Глэнга. М.: Сов. радио, 1977. -935 с.

54. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. -Л.: Химия, 1971. -230 с.

55. Козик В.В., Борило Л.П. Создание научных основ целенаправленного синтеза неорганических материалов // Химики ТГУ на пороге третьего тысячелетия. -Томск: Изд-во Том. ун-та, 1998. -С. 6-16.

56. Целенаправленный синтез неорганических веществ и материалов: Отчет по НИР. № госрегистрации 02.900.00.51.95. :М„ 1995. -130 с.

57. Болдырев В.В. Химия твердого состояния на рубеже веков//Журнал РХО им. Менделеева. -2000. -№ 6. -С. 14-19.

58. Козик В.В. Создание научных основ целенаправленного синтеза неорганических веществ и материалов. // В сб. аннотированных отчетов по госбюджетным НИР .- Томск: Изд-во Томск, ун-та, 1992, вып. 4.

59. Отчет по НИР. Разработка теплоотражающих экранов. Томский госуниверситет, № гос. регистрации 0181.101.46.32.- Томск, 1985.- 202 с.

60. Отчет по НИР. Исследование путей усовершенствования экономичных ламп накаливания. Томский госуниверситет, № гос. регистрации 01.840013923.-Томск, 1984.- 20 с.

61. Козик В.В., Главацкий Ю.Ф., Зиновьева С.П. Неорганические покрытия в светотехнике. / В сб. "Новые неорганические материалы", деп. № 3186/79, Черкассы.

62. Козик В.В., Главацкий Ю.Ф., Дмитриева О.А., Серебренников В.В. Тонкопленочные экраны для перераспределения излучения источников света. / Электротехническая промышленность.- № 2.- 1986.- С23-31

63. Иванцев А.С. Применение селективных покрытий в источниках света. -Светотехника.-1979.- № 12.- С. 1-6.

64. Веснин Ю.И. Вторичная структура и свойства кристаллов. -Новосибирск, Изд-во ИНХ СОРАН , 1997,-102с.

65. Алесковский В.Б. Стехиометрия и синтез твердых соединений. -Л.: Наука, 1976. -140 с.

66. Алесковский В.Б. Принципиальные условия синтеза твердых соединений постоянного состава // Направленный синтез твердых веществ: Межвузовский сборник / Под ред. В.Б.Алесковского. -Л.: ЛГУ, 1987. Вып. 2.-С. 3-6.

67. Меррифельд Р.Б. Химия полипептидов. -М.: Мир, 1977. -153 с.

68. Кольцов С. И. Химические превращения на поверхности твердых веществ. -Л.: ЛГУ, 1984. -176 с.

69. Кольцов С.И., Алесковский В.Б., Волкова А.А. Синтез твердых веществ заданного состава и строения методом молекулярного наслаивания // Адсорбаты, их получение, свойства и применение: Труды 3-го Всесоюз. совещ. по адсорбции. -Л.: Наука, 1971. -С. 29-34.

70. Сыркова О.В., Цветкова В. К. Получение композиционных материалов методом межфазной поликонденсации // Направленный синтез твердых веществ: Межвузовский сборник /Под ред. В.Б. Алесковского. Л.: Изд-во ЛГУ, 1987. Вып.2. -С. 133-141.

71. Модифицирование кремнезема в сорбции, катализе и хроматографии. / Под ред. Г.В.Лисичкина. -М.: Химия. 1986.-156с.

72. Фролов Ю.Г. Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы. -М.: Химия, 1988. -464 с.

73. Щукин Е.Д., Перцов А.В., Амелина К. А. Коллоидная химия . М.: Высшая школа. 1992.-248 с.

74. Рединберг П.А. Поверхностные явления в дисперсных системах . -М.: Наука, 1979. -315с.

75. Петрунин В.Ф., Ильин А.П. Проблемы терминологии в области малых частиц и порошков //Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. -М.: МИФИ, 2002. -С. 29.

76. Петрунин В.Ф. Тенденции развития научно-технического направления ультрадисперсных (нано-) материалов //Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. -М.: МИФИ, 2002. -С. 25-28.

77. Адамсон А. Физическая химия поверхностей . -М.: Мир. 1979

78. Зенгуил Э. Физика поверхности . -М.: Мир. 1990

79. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. / Под ред. Волькенштейна. -М.: Мир, 1980.-488 с.

80. Джонсон Д. Термодинамические аспекты неорганической химии /Под ред. Я.Х. Гринберга. -М.: Мир, 1985. -С. 8-31.

81. Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции. -М.: Химия. 1978.

82. Харрисон У. Электронная структура и свойства твердых тел. -М.: Мир, 1983. 4.1. 380 е.; 4.2.-332 с.

83. Физикохимия твердого тела. // Сб. статей Под ред. Б. Сталинского. -М.: Химия, 1972.-С. 175-210.

84. Будников П.П., Гжестинг Д.М. Реакции в смесях твердых веществ. -М.: Стройиздат, 1963. -236 с.

85. Кульков С.Н. Структурные методы анализа наносистем // Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. -М.: МИФИ, 2002. -С. 297.

86. Уваров Н.Ф., Болдырев В.В. Размерные эффекты в химии гетерогенных систем // Успехи химии. -2001. Т.70, -№ 4. -С.307-329

87. Борило Л.П., Шульпеков A.M., Турецкова О.В. Тонкопленочные покрытия на основе оксидов циркония и кобальта //Стекло и керамика. -2002. -№ 4. -С.30-32.

88. Лисицын В.М. Материаловедение и источники света // Материалы для источников света и светотехнических изделий. -Саранск: Изд-во Морд, ун-та, 1990. -С. 4-13.

89. Н. Gleiter. In Deformation of Poiycrystals / RISO National Laboratory. 1981 C.15

90. R.Birringer. H. Gleiter, H.-P. Klein. Phys. Len. 102, 365. 1984

91. R.Birringer, U.Herr, H. Gleiter. Trans. Jpn. Inst. Men. Suppl., 27., 43, 1986

92. Александов Л.И., Иванцов А.С. Многослойные и сеточные структуры для источников света. -Новосибирск.: Наука, 1981.-137 с.

93. Козик В.В., Борило Л.П., Ривец И.А. Светоотражающие экраны из тонкопленочных композиционных материалов на основе алюминия // Конструирование и технология изготовления космических приборов. -М.: Наука, 1988. -С. 206-211.

94. Источники света //Сёмэй Гаккайси. 1981. Т. 65, № 8. С. 343-351. Пер. № 14403/3, 1983. Lagneborg R. Development of new metallic materials. Rapport, 1983.

95. Козик В.В., Егорова Л.А., Ильин А.П., Борило Л.П. Некоторые свойства металл-оксидных КМ на основе высокодисперсного алюминия: "Физикохимия УДП". -Томск: Изд-во ТПИ, 1990. 4.1. -С. 28-36 .

96. Козик В.В., Кашапов Р.Г., Егорова Л.А., Борило Л.П. Исследование процессов формирования оксидного каркаса и окисления дисперсного композиционного материала Al-Si02-Y203 //Журнал прикладной химии, 1991. № 1. -С. 75-79.

97. Козик В.В., Борило Л.П. Тонкопленочные и дисперсные материалы на основе SiC>2, Y2O3 и ультрадисперсного алюминия // Материалы VI Всероссийской (международной) конференции «Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем». -М.: МИФИ, 2002. -С. 409-410

98. Физическое металловедение / Под ред. Р.У.Кана и П. Хаазена; Пер. с англ. -М.: Металлургия, 1987. Т.З. -112 с.

99. Вугман С.М., Литвинов B.C. // Светотехника. 1983. № 12. -С.6.

100. Патент № 7311648. Франция, 1975. Лампы накаливания с инфракрасным фильтром.

101. Brett J. Radiation-conserving incandescent lamps // Journal of IES. 1980. July.

102. Spura S. A sputtered boost for iamp efficiency // Optical Spectra. 1980. March.

103. Lichtquellen erhchen ihren wirkungs VOJ nachrichten. № 41/10. 1980. October.

104. Brett J., Fontana R.P. Development of high energy-conserving incandescent lamps // Journal of IES. 1980. July. P. 197.

105. Физические основы надежности интегральных схем/ Под ред. Ю.Г. Миллера. -М.: Советское радио, 1976. -С. 286.

106. Смирнов В.И., Матта Ф.Ю. Теория конструкций контактов в электронной аппаратуре. -М.: Сов. радио, 1974. -С. 126.

107. Федотов Я.А. Основы физики полупроводниковых приборов. -М.: Сов. радио, 1970.-268С.

108. Гариянов С.А. Диэлектрическая изоляция элементов интегральных схем. -М.: Сов. радио, 1975.-178с.

109. Ковтонюк Н.Ф. Электронные элементы на основе структур полупроводник-диэлектрик. -М.: Энергия, 1976.-318с.

110. Белевцев А.Г. Микроминиатюризация радиоэлектронной аппаратуры. -М.; Л.: Энергия, 1965.

111. Демин В.В., Гореликов Н.И., Готра З.Ю. Пленочные микросхемы и миниатюризация. -Львов: Каменяр, 1972.

112. Чопра К.Л. Электрические явления в тонких пленках. -М.: Мир, 1972.

113. Шнаревич Е.И., Рыбинский О.А., Злобин В.А. Диэлектрики интегральных схем. -М.: Энергия, 1975.

114. Микроэлектроника / Пер. с англ.; Под ред. Н.П. Богородицкого. -М.: Сов. радио, 1966.

115. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера и Р. Донована. -М.: Мир, 1969.

116. Мякиненков В.И., Щеглова В.В. Диэлектрические пленки в опто-электронике. -М.: Электроника, 1975.

117. Калинкин И.П., Алесковский В.Б., Симашкевич А.В. Эпитаксиаль-ные пленки соединений АВ. -Л.: Изд-во ЛГУ, 1978. -156 с.

118. Осаждение из газовой фазы / Под ред. К.Пауэлла, Дж. Оксли, Дж. Брюгера. -М.: Атомиздат, 1970. -472 с.

119. Фест У.М., Стил С.Р., Риди Д.У. Получение пленок химическим осаждением из паровой фазы // Физика тонких пленок / Под ред. Г. Хасса, Р.Э. Крока. -М.: Мир, 1972. Т.5. -С. 245-314.

120. Семченко Г.Д. Золь-гель процесс в керамической технологии. Харьков, 1997. -143 с.

121. Попович. Н.В.Федоров В.В. Особенности кинетики процесса синтеза люминисцентых материалов золь-гель методом // Стекло и керамика .-2000.-№3 С.8-10

122. Fraunhofer J. Gesammelte Schriften. Munchen: Keisen Akademie. 1888.

123. Faraday M. Experimtntal researches in Ch. And Phys. London, 1859. Tayler. Francis.

124. Любавин H.H. Техническая химия. -M.: Изд-во МГУ, 1983. Т.2. -С. 520.

125. Mylins F. Deutsch. Mech. Ztg. 1, n.1. 1908.

126. Труды, посвященные памяти акад. И.В. Гребенщикова: Сб. статей /Под ред. К.С. Евстроньева. -М.: Оборонная промышленность, 1956. -338 с.

127. Гребенщиков И.В., Фаворский Т.А. //Труды ГОИ. М., 1931. Т.7. Вып.42.

128. Гребенщиков И.В. //Труды ГОИ. -М., 1929. Т.5. Вып.45.

129. Гребенщиков И.В. // Известия АН СССР. Отделение техн. наук. 1938.-№ 1.-С.З.

130. Blodgett К. Phys. Rev. 15.> 591. 1939.

131. Суйковская Н.В. Двухслойное просветление оптики. Изд-во ГОИ, 1947. С. 42.

132. Козик В.В., Борило Л.П. Химия твердых веществ и неорганические материалы (методические рекомендации). -Томск: Изд-во ТГУ, 1987. -26 с.

133. Айлер Р. Химия кремнезема.-М.: Мир, Т.1. 1982.-416с.

134. Александров А.Г. //Оптико-механическая промышленность. 1969. № 3. -С. 35.

135. Шеффер Г. Химические транспортные реакции. -М.: Мир, 1964.

136. Hewis В., Bull I. //PPS., 1967. 18, 226.

137. Whitmore R.E., Vosen I.H. // J. EEE Trans. Parts, Mater. Pakad. 1965. № 1. P. 10.

138. Практикум по химии твердых веществ / Под ред. С.И. Кольцова. -Л.: Изд-во ЛГУ, 1985. -224 с.

139. Казакова И.Л., Вольхин В.В., Жарныльская Л.М. Фазовые превращения Zr02 в смесях оксидов А120з и Zr02, полученные золь-гель методом // Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. -М.: МИФИ, 2002. -С. 297.

140. Аввакумов Е.Г., Карачгиев Л.Г., Ляхов И.З. Особенности формирования дисперсных частиц, получаемых золь-гель и механохимическими методами //Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. -М.: МИФИ, 2002. -С. 128-129.

141. Разуваев Г.А., Грибов В.Г., Домрачев Г.А. Металлорганические соединения в электронике. -М.: Наука, 1972. -476 с.

142. Гребенщиков И.В., Власов А.Г., Непорент Б.С., Суйковская Н.В. Просветление оптики. -М.: Гостехиздат, 1946.

143. Борило Л.П. Физико-химическое изучение композиционных материалов на основе Si02, оксидов РЗЭ и ультрадисперсного алюминия /Дис. . канд. хим. наук. Томск, 1992. -152 с.

144. Козик В.В., Борило Л.П., Мальчик А.Г. Физико-химическое исследование процессов формирования порошков и пленок Si02 из пленкообразующих растворов // Журн. приклад, химии. -1996. -Т.69 -№ 2.-С.224-227

145. Андрианов К. А. Полимеры с неорганическими главными цепями молекул. -М.: Изд-во АН СССР, 1962. -326 с.

146. Андрианов К.А. Кремнийорганические соединения. -М.: Госхимиз-дат, 1955. -487 с.

147. Новоселова Л.Н. Особенности пленкообразования продуктов гидролиза тетраэтоксисилана //Журнал прикладной химии. -1982. Т. 8. -С. 1867-1869.

148. Расторгуев Ю.И., Кузнецова О.В. Структурирование гидролизатов тетраэтоксисилана //Журнал прикладной химии. -1985. Т.З. -С. 630-634.

149. Horowitz Н.Н., Metzer G. A New Analysic of Termo-gravimetric traces // Analytical Chemistry, Sapt. 1963. Vol. 35. № 10. P. 1464-1467.

150. Capoomont Y., Nguyen-Van-Dang, Massenet O., Chakraverty B.K. // Solid State Communs. 1972. Vol. 10. № 8. P. 672.

151. Mazdiyasni K.C., Hunch C.T. Coferent jornecs etud Solid, finement devises, Saslay, 1967, Paris, 9-27, Disciss, 28, 1968.

152. Аткарская А.Б. Регенерация растворов в золь-гель технологии // Стекло и керамика. -1997. -№ 9. -С. 8-10.

153. Аткарская А.Б. Изменение свойств пленкообразующих растворов при старении II Стекло и керамика. -1997. -№ 10. -С. 14-18

154. Яковлев А.Д. Порошковые краски. -Л.: Химия, 1987. -214 с.

155. Гегузин Л.Е. Физика спекания. -М.: Наука, 1967. -360 с.

156. Jonach В. Fachberichte. Huttenpcoxis Metallweiterverarbeitung. 1978. №4. P. 267-271.

157. Kingery W.D. Introduction to Ceramics. John Wiley Sons, Inc. New York, 1960.

158. Дистлер Г.И., Москвин В.В. Оптические свойства аддитивно окрашенных кристаллов //Доклады АН. -1971. Т. 201. -№ 4. -С.891-899.

159. Kashchiev D. Recent progress an the Theory of Thin Film Growth //Lenfase Science. 1979. V. 86. P. 14-27.

160. Ondris M. in R, Niedermayer Proceedings of the International Simpo-siom on Basic Problems in Thin Film Physics. Goettingen, 1966.

161. Lange H. Grenzen der Zichterzeugung als Materialproblem. Tech-nische Rundschau, 1983, № 11.- P. 7-14.

162. Spura S. A sputtered boost for iamp efficiency . Optical Spectra.-March.- 1980.

163. Brett J., Fontana R.P. Development of high energy-conserving incandescent lamps. Journal of IES.- July.-1980.- P. 197.

164. Jordam E.L. Diffusion Mack for Germanium. // J. Electrochem. Soc. -108.-№ 5.-1961.- P. 478

165. Данков П.Д., Игнатов И.А. Электронографические исследования оксидных и гидрооксидных пленок на металлах. -М.: Изд-во АН СССР, 1953.

166. Штреккельмахер В. //Пленочная микроэлектроника / Под ред. Л. Холленда. -М.: Мир, 1968. -258 с.

167. Повещенко В.П., Коспочико И.Г., Трофимова Ж.П. Исследование фазового состава пленок на основе окислов циркония, гафния и иттрия. // ОМП.- 1984.- №5.-С. 29-30.

168. Бокштейн С.З., Гинзбург С.С., Кишкин С.Т., Разумовский И.М. // Поверхность. Физика, химия, механика. -1984. №1. - С. 5-19.

169. Вилков Л.В.,Пентина Ю.В. Физические методы исследовваний в химии. Структурные методы и оптическая спектроскопия. -М.: Высшая школа. 1987.

170. Вилков Л.В., Пентина Ю.В. Физические методы исследования в химии. Резонансные и электрооптические методы. -М.: Высшая школа. 1989.

171. Вудраор Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. -М.: Мир, 1989.

172. Экспериментальные методы химической кинетики /Под ред. Н.А. Эмануэля и Г.Б. Сергеева.- М.: Высшая школа . 1980.

173. Динисов Е.Т. Саркисов О.М. Лихтенитейн Г.И. Химическая кинетика . -М.: Химия. 2000

174. Тарараева Е.Н., Иванов О.С. Двойные диаграммы состояния циркония. / В сб. Диаграммы состояния металлических систем. М.: Наука. -1971.-С. 31-38.

175. Ляшко А.П. Особенности взаимодействия с водой и структура субмикронных порошков алюминия: Диссертация . кад. хим. наук. Томск:1. Томск: 1988. - 178 с.

176. Alien Т. Partlete size measurement. London: Chapman and Hall. -1981.-678 p.

177. Poike R., Rieger R., Partikelgrossenanalysen > 10 u, m. Mess metho-den and Sehuricrighelten. // Chem. Ind. Techn. -1978.- B. 50.- № 5.- P. 143.

178. Gandela В., Perimutter D. Pore structutes and Kinetles of the thermal decom position of AI(OH). // AlChE Journal. 1986.- V.32. - № 9. - P. 15321945.

179. Acanin V.N., Vityaz P.A., GiuMio-va N.P. Influnee of the ruperties of an oxide film on the oxidation of aluminium powderro. // React. Kinet. and Catal. Lett. -1985.- V. 27.- № 2.- P. 396-397.

180. Глухов B.M., Данилюк А.Ю. Термографическая оценка процессов полиморфных превращений в оксидной пленке частиц алюминия. // Физика аэродисперсных систем. Киев: Вища школа. -1984. - № 25.- С. 68871.

181. Синевский B.C., Волков В.Д., Калинин В.Д. Коррозия и защита алюминиевых сплавов. М.: Металлургия. - 1986. - 300 с.

182. Thompson G.E., Xu Y., Skeldon P., Wood G.G. AcJcilc oxidation of aluminium. // Phil. Mag. B. -1987. V. 55. - N 6. - P. 651-666.

183. Белоусова B.H., Зелева Г.М. Лабораторный практикум по курсу "Методы иследования адсорбентов и катализаторов. Томск: изд. Томск, ун-та. - 1977. -110 с.

184. Горощенко О.Г. Физико-химический анализ гомогенных и гетерогенных систем. Киев.: Наукова думка. -1977. - С. 490.

185. Tahakashi Т., Yamomoto 0. et all. // Electrochem Soc. V. 120.- № 10. -P. 1654.

186. Киреев B.A. Методы расчета в термодинамике химических реакций. М.: -Химия. -1970. - 520 с.

187. Рябин В.А., Остроумов И.А., Свит Т.Ф. Термодинамические свойства веществ. М.: Химия, 1970.- 390 с.

188. Kern W. Soc. St. Elector., 1974, v. 17, № 25.- P. 48.

189. Уэндландт У. Термические методы анализа. М.: Мир. - 1978. -С. 54-70; 198-204.

190. Van Heek К.Н., lungen Н. Ber Bunsenges. // Physik. Chim. 72.-1968.-P. 1223-1231.

191. Satava V. // Thermochim Acta. -№1.-1971P. 423.

192. Hughes A.E. Metal colloids to Ionic crystals. // Adv. Phys. 1979. - V. 28.-P. 717.

193. Фиалко М.Б., Батырева B.A., Бирюлина B.H., Чупахина Р.А., Козик В.В., Сергеев А.Н., Шандаров С.М. Методы исследования неорганических веществ (Учебное пособие). //Томск: Изд-во Томск, ун-та, 1984.- 184 с.

194. Фиалко М.Б. Неизотермическая кинетика в термическом анализе. -Томск.: Изд-во Томск, ун-та, 1981.-110 с.

195. Плетнев Р.Н., Фотиев А.А. Оценка кажущейся энергии активации эндотермических процессов по кривым убыли массы. / В сб. Химия редких элементов. Свердловск, вып. 23, 1974.- С. 144.

196. Baker Т.К., Harris P.S. and Thomas R.B. / Surface Sci, 1984, № 46.-P. 311.

197. Lewis B. Surface Sci, 1970, № 21.- P. 273.

198. Masson A., Metios J.J. and Kern R. in: Advances in Epitaxy and Endo-taxy, Eds H.G.Schneider and V.Ruth / VEB Deutscher Verlag fur Grundstof-findustrie. Leipzig, 1971.- P. 103.

199. Ластушкина Г.Я. Исследование методами электронной спектроскопии адсорбции кислородсодержащих молекул и взаимодействия адсорбированного кислорода с СО и СН3ОН на серебре. Автореферат на со-иск. уч. ст. канд. хим. наук. Томск, 1980.- 19 с.

200. Энергия разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону. / Справочник. М.: Наука, 1974.- 351 с.

201. Липсон Г., Стипл Г. Интерпретация порошковых рентгенограмм. -М.: Мир.-1972.-215 с.

202. Ковба Л.М., Трунов В.К. Рентгенофазовый анализ. -М.: МГУ. 1976.- 232 с.

203. Основы эллипсометрии. / Под ред. А.В. Ржанова. Новосибирск: Изд-во «Наука» сибирское отделение, 1979.-424 с.

204. Накамото К. Инфракрасные спектры неорганических и координационных соединений. М.: Мир, 1966. - 410 с.

205. Козицына Л.А., Куплетская Н.Б. Применение УФ-, ИК- и ЯМР-спектроскопии в органической химии. М.: Высшая школа, 1971. -264 с.

206. Пакет прикладных программ для РФА. Версия 1 для IBM PC. Программа Ident.-Л., 1990.

207. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Мызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. М.: Химия. - 1986. -151 с.

208. Бацанов С. С. Структурная рефрактометрия. М.: Высшая школа.-1976. -154 с.

209. Комранов Б.М., Шапочных Б.А. Измерение параметров оптических покрытий. М.: Машиностроение. -1986. -130 с.

210. Зимон А.Д. Адгезия пленок и покрытий. М.: Химия. 1977.- 345 с.

211. Harrison W.A. Is SIO ctivalent on cJmlc . // IbicL. P. 105-110.

212. Harrison W.A. Ciracis. Bond-orbital model. // Phys. Rev. B. -1974. № 4. -P. 1516-1527

213. Hubner K. Chemigal boud and properties of SiO a AI Its Interfaces. -New. Volk: Pergamon. P. III.

214. Sugaro Т., Suzuka T. Calanlatlon of the enagy levels at SIO Slinten-face. // Jap. J. Appl. Phys. -1973.-12.-N 1.- P. 75-81.

215. Isu P., Ysu M., Owshinsky S.R. Elektroreriectance and Roman scattering In west Igetlon. // Solid State Connmununs. 1980.- 140 - № 9. - P. 817822.

216. Киселев А .В., Лыгин В.И. Инфракрасные спектры поверхностных соединений. М.: Наука. -1972. - 459 с.

217. Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках. М.: Энергоиздат, 1982.- 216 с.

218. Aubert A., Danroc J., Gandher A., Terrat J. Hard chrome and molib-denium coatings produced by physical vapour deposition. // Thin Solid Films.-1985.- V. 126.- № 2.- P. 61-67.

219. Воронин Л.Г., Шматов А.А. Исследование износостойкости карбидных покрытий системы Cr Ti - V - С методом симплексных решеток. // Докл. АН БССР.- 1983.- Т. 27.- № 3.- С. 238-239.

220. Оптические свойства полупроводников. Справочник. / Гавриленко В.И., Грехов А.Ш., Корбутян Я.В. и др. Киев.: Наукова думка. -1987.-С. 473-503.

221. Smith P.L., Taylor N.W. // J. Amer. ceramic Soc. V. 23.- № 4.-1961.-P. 193.

222. Frederikson B.B., Hansen D.M. // Analyt. Chem.- 35.- N 7.- 1963. P. 818.

223. Козик В.В., Хлыстун В.Г., Лещев С.В., Столярчук В.Г. Установка для снятия вольтфарадных характеристик МДП-структур. / Электронная техника, сер. "Материалы", вып. 9, 1976.-С.87-88.

224. Козик В.В., Христюков В.Г., Щерб С.Ш., Лещев С.В., Столярчук В.Г. Влияние некоторых технологических факторов на свойства границ раздела металл-диэлектрик. / Электронная техника, сер. "Материалы", вып. 9, 1977.-С.24-26

225. Козик В.В., Столярчук В.Г., Щерб С.Ш., Сухачев А.В. Исследование кинетики получения пиролитических пленок боросиликатного стекла. / В сб. "Реакционная способность вещества".- Томск.: Изд-во Томск, унта, 1977.-С .45-50

226. Конников С.Г., Сидоров А.Ф. Электроннозондовые методы исследования полупроводниковых материалов и приборов. М.: Энергия, 1978.-252 с.

227. Козик В.В. Получение и исследование свойств металлоксидных композиционных материалов. // Тезисы докладов научной конференции. Рациональное использование природных ресурсов Сибири. Томск: Изд-во ТГУ.- 1989.-С. 66.

228. Кутолин С .А., Самойлова Р.Н., Белова Л.Ф. Анализ физико-химических свойств индивидуальных веществ методом оптического отражения и поглощения // Обзор электронной техники. 1971. Вып. 2.

229. Odent G., Autrusseau-Dupperray U.H. Spectrophotometry infra-rotjge des products de thenlioiuse du nitrate d' yttrium // Rev. chem. miner. 1976. Vol. 13. P. 624-629.

230. Крешков А.П. Кремнийнеорганмческие соединения в технике. -М.: Промстройиздат. 1956. -286 с.

231. Горшков B.C., Савельев В.Г.,Федоров Н.Ф. Физическая химия силикатов и других тугоплавких соединений. -М.: Высшая школа. 1988. -340с.

232. Кузнецова Т.В., Кудряшова И.В., Тимашев В.В. Физико-химия вяжущих материалов. -М: Высшая школа. 1989.- 383 с.

233. Odent G., Antrusseau-Dupperray U.H. Thermolysed a pentha-legarate du nitrate d yttrium. // Rev. chem. miner. 1976. Vol. 13. P. 196-206.

234. Воронков М.Г., Милешкевич В.П.,Южелевский Ю.А. Силоксановая связь. Новосибирск.: Наука. 1976.-413 с.

235. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. -Л.: Машиностроение, 1973. -216 с.

236. Лучинский Г.П. Химия титана.-М.: Химия, 1971. -471 с.

237. Гидратированные оксиды элементов IV и V группы / Под ред. Ю.В. Егорова. -М.: Наука, 1986. -155 с.

238. Неорганические полимеры /Под ред. Тило. -М.: Наука, 1961. -323 с.

239. Блюменталь У.Б. Химия циркония. -М.: Изд-во иностр. лит-ра, 1963. -341 с.

240. Козик В.В., Скорик Н.А., Борило Л.П., Дюков В.В. Синтез и свойства пленок, полученных из пленкообразующих растворов на основе комплексных соединений циркония, ниобия и тантала // Журнал неорганической химии. -1995. -Т.40.-№ 10. -С. 1596-1598.

241. Дюков В.В., Кузнецова С.А., Козик В.В., Борило Л.П. Изучение пленкообразующей способности ацетилацетонатов Sn(ll), Zr(IV), Hf(IV) // ЖПХ. -2001. Т.74, вып.10. -С. 1587-1592.

242. Малетин Ю.А. Природа химической связи в р-дикетонатах 3d-металлов //Проблемы химии и применения р-дикетонатов металлов. -М.: Наука, 1982. -С. 5-11.

243. Пешкова В.М., Мельчакова Н.В. р-Дикетонаты. -М.: Наука, 1996.

244. Козик В.В., Борило Л.П., Турецкова О.В. Тонкопленочные композиционные материалы на основе БЮг и оксидов РЗЭ // Конденсированные среды и межфазные границы. -2002. Т.4.- № 3. -С. 231-235.

245. Борило Л.П. Тонкопленочные композиционные материалы на основе оксидов кремния и РЗЭ // Материалы Российской науч.-практич. конф. «Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы». -Томск: Изд-во ТГУ, 2001. -С.73-75.

246. Гутман В. Химия координационных соединений в неводных средах. -М.: Мир, 1971. -320 с.

247. Тихонова О.В., Андреева Е.П. Исследование процессов гидролиза этоксисиланов//Журнал прикладной химии. -1983.- № 1. -С. 145-152.

248. Новоселова Н.А., Ли Н.М., Сорокина В.В., Анохина Л.В. Особенности пленкообразования продуктов гидролиза ТЭС // Журнал прикладной химии. -1982. -№ 18. -С. 1862-1863.

249. Эйтель В. Физическая химия силикатов. -М.: Изд-во иностр. литры, 1962.- 145 с.

250. Торопов Н.А. Химия силикатов и окислов. -Л.: Наука, 1974. -440 с.

251. Бережной А.С. Многокомпонентные системы окислов. -Киев: Нау-кова думка, 1976. -С. 51-157.

252. Физико-химические свойства оксидов: Справочник / Под ред. Г.В. Самсонова. -М.: Металлургия, 1978. -470 с.

253. Проблемы кристаллохимии силикатов / Под ред. Н.В. Беляева. Итоги науки и техники. -М.: Кристаллохимия, 1980. Т. 14.

254. Оптические свойства полупроводников. Справочник \ Под ред. Гавриленко В.И., Грехова А.Ш. Киев.: Наукова думка. 1987. -С. 473-503.

255. Брук М.А., Павлов С.А. Полимеризация на поверхности твердых тед. -М.: Химия. 1990 . -С.55-57

256. Харитонов И.П. Островский В.В. Термическая и термоокислительная деструкция полиорганосилоксанов . -Л .: Наука. 1982. -С. 143-160.

257. Коротченко А.А., Козик В.В., Шульпеков A.M., Борило Л.П. Исследование процессов синтеза пленок системы Zr02 Э2Оз из пленкообразующих растворов (Э-В, Al, In, La, Nb). Деп. в ВИНИТИ №3418-1398 23.11.98.

258. Кузнецова С.А., Шульпеков A.M., Борило Л.П. Синтез пленок оксидов циркония и олова / VII Международ, конф. «Физико-химические процессы в неорганических материалах». -Кемерово: Изд-во КГУ, 1998. -С. 45-46.

259. Козик В. В., Борило Л.П., Шульпеков А. М. Фазовый состав и свойства пленок диоксида циркония, легированного оксидами трехвалентных элементов // Неорганические материалы. -1999. Т. 35. -№ 3. -С. 346-347.

260. Козик В. В., Кузнецова С.А., Борило Л.П., Шульпеков А. М. Изучение формирования пленок оксида циркония и олова из пленкообразующих растворов. Деп. в ВИНИТИ № 1280-В99 от 22.04.99.

261. Борило Л.П., Турецкова О.В., Грязнов Р.В., Шульпеков А. М. Изучение физико-химических процессов формирования пленок оксида циркония и оксида кремния из пленкообразующих растворов. Деп в ВИНИ-ТИ.№97-В00 19. 01.2000.

262. Борило Л.П., Шульпеков А. М., Турецкова О.В., Грязнов Р.В. Синтез и свойства пленок на основе двойных оксидов циркония и кобальта. Деп в ВИНИТИ. № 96-В00 19.01.2000.

263. Борило Л.П., Шульпеков А. М., Турецкова О.В., Козик А.В. Полифункциональные тонкопленочные оксидные материалы //Материалы региональной научно-практич. конф. "Полифункциональные химические материалы и технологии". -Томск: ТГУ, 2000. -С. 25-26.

264. Борило Л.П., Козик В.В., Шульпеков А. М. Пленки двойных оксидов циркония и железа // Журнал прикладной химии. -2000. Т.73, вып.11. -С. 1872-1876.

265. Козик В.В., Шульпеков А. М., Борило Л.П. Синтез, фазовый состав и оптические характеристики тонких пленок системы Zr02-Y203 // Изв. РАН. Неорганические материалы. -2001. Т.37. -С. 56-59.

266. Иванов Ю.Ф., Пауль А.В., Конева Н.А. Стабилизация высокотемпературной модификации диоксида циркония // Стекло и керамика. -1991. № 9. -С. 22-23.

267. Козик В.В., Борило J1.П. Диаграммы состав-свойство тонкопленочных систем Si02-Ln203 (Ln Y, La, Nd, Се, Но. Ег). Деп. в НИЙТЭХИМ г. Черкасссы. № 92-XII-90. № 92-ХП-90. Реферат опубл. в Библиогр. указ. 1990. № 5.-С. 127.

268. Каппо Y. Discussion on the double oxides formation in the systems of Zr02-Si02, Zr02-Ti02 and Ti02-Si02 //T.Mater. Sci lett. 1990. Vol. 9, № 7. P. 765-767.

269. Oxyden diffusion in Y203 containing tetragonai zirconia polycrystals (Y - TZP): Pap. Int. conf. chem. Electron. Ceram. Mater., Jackson, Wyo, Aug. 17-22, 1990 / Jkuma Yasuro // NJSt Spec. Publ. 1991. № 804. P. 283288.

270. Lagothetis E.M. Air-to-fuel sensors based jn oxyden // Ceram. Eng. and Sci. Proc. 1987. Vol. 8. № 9-10. P. 1058-1073.

271. Торопов H.A., Бондарь И.А., Лазарев A.H., Смолин Ю.Н. Силикаты редкоземельных элементов и их аналоги. -Л.: Наука, 1971. -285 с.

272. Торопов Н.А., Базарковский В.П., Лапин В.В. Диаграммы состояния силикатных систем. -М.: Наука, 1965.-546 с.

273. Тресвятский С.Г. Периодичность в ряду РЗЭ и строение диаграмм состояния систем из их окислов // Неорганические материалы. -1984. Т. 20. -№ 3.-С. 440-444.

274. Портной К.И., Тимофеева И.И. Спровочник. Кисловодные соединения редкоземельных элементов. -М.: Металлургия. -1986.- 480 с.

275. Козик В.В., Серебренников В.В., Сергеев А.Н., Якунина Г.М. Твердофазное взаимодействие тонких пленок Y203 и Si02. // В сб. "Кинетика и механизм химических реакций в твердом теле". -Новосибирск: Изд-во ИФХиМС, 1977.

276. Серебренников В.В., Апексеенко Л.А. Курс химии редкоземельных элементов. -Томск.: ТГУ. 1963. —437 с.

277. Фиалко М.Б., Кумок В.Н. Лекции по планированию эксперимента. -Томск: Изд-во Том. ун-та, 1977. -80 с.

278. Козик В.В., Кашапов Р.Г., Росошек С.К. Построение математической модели процесса формирования оксидных пленок из растворов // Методы исследования в химии и химической технологии. -1986. № 12.

279. Clandel В., Hambouse Y., Veron I. Etude de la decomposition termiglie du nitrate de cerium (III)//Ruil. Soc. Shim. France. 1963. №2. P. 409.

280. Сергеев A.H. Тугоплавкие оксиды и их соединения в тонком слое. -Томск: Изд-во Том. ун-та, 1989. -С. 298.

281. Арсеньев Г.А., Глушкова Б.В. и др. Соединения редкоземельных элементов. Цирконаты, гафнаты, ниобаты, танталаты, антимонаты. -М.: Наука, 1985.-261 с.

282. Борило Л.П., Шульпеков А. М., Турецкова О.В. Тонкопленочные солнцезащитные покрытия на основе оксидов циркония и кобальта //Материалы науч.-практич. конф. «Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий». -Томск: Изд-во ТПУ. 2000. Т.1. -С.29-31.

283. Борило Л.П., Дюков В.В. Физико-химические процессы синтеза пленок Zr02 из ацетилацетонатных пленкообразующих растворов //Полифункциональные материалы". -Томск: Изд-во ТГУ, 2001. -С.45-49.

284. Борило Л.П., Шульпеков A.M., Турецкова О. В. Синтез и свойства пленок на основе двойных оксидов циркония и кобальта // Полифункциональные материалы. -Томск: Изд-во ТГУ, 2001. -С.71-76.

285. Борило Л.П., Козик В.В., Шульпеков А. М. Синтез и свойства тонких пленок Zr02-Ni0 //Полифункциональные материалы. -Томск: Изд-во ТГУ, 2001. -С.77-82.

286. Панасюк Г.П., Амбарцумян С.Г., Будова Г.П. и др. Формирование структуры аморфного кремнезема при гидролизе тетраэтоксисилана с последующей термообработкой // Неорганические материалы. Т. 24.-№5.-1988.- С.775-783.

287. Гуртов В.А., Кузнецов А.В. Репникова Е.А. Структура тонких пленок гафния и диоксида гафния на кремнии // Неорганические материалы. -1986. Т.22. - №6. - С.963-965.

288. Повещенко В.П., Костюченко Н.Г., Холодов В.М. и др. Исследование фазового состава пленок на основе окислов циркония, гафния и иттрия // Опт.-Мех. Промышленность. 1984. - №5. - С. 28-30.

289. Толстой В.П. Синтез тонкослойных структур методом ионного наслаивания //Успехи химии. 1993. - Вып.З. - С. 260 - 265.

290. Шека И.А., Карлышева К.Ф. Химия гафния. Киев: Наукова думка, 1972.-656 с.

291. Хитрова В.И., Киселева З.Г. Исследование окислов гафния в тонких пленках // Кристаллография. 1975. - Т. 20. - Вып. 2. - С. 392-398.

292. Шевченко А.В., Лопато Л.М., Кирьякова И.Е. Взаимодествие НЮг с Y2O3, Н02О, ЕГ2О3, ТГП2О3, УЬгОз и LU2O3 при высоких температурах // Неорганические материалы. 1984. - Т. 20. - №12. - С. 1991 - 1996.

293. Wilder D.R., Buckley J.D., Stacy D.W., Johnston J.К. Characterization and control of the destructive crystalline transformation in hafnium oxide // Collog. int. CNRS. 1972. - №205. - P. 335 - 345.

294. Боганов А.Г., Руденко B.C., Макаров Л.П. Рентгенографическое исследование двуокисей циркония и гафния при температурах до 2750 °С // Доклады АН СССР. -1965. Т. 160. - №5. - С. 1065 -1068.

295. М. Balog, М. Schieber, S. Patai, М. Michman Thin films of metal oxides on silicon by chemical vapor deposition with organometallic compounds // J. Cryst. Growth. -1972. Vol.17. - P.298 - 301.

296. El-Shanshory J.A., Rudenko V.A., Ibrahim I.A. Polymorphic behavior of thin evaporated films of zirconium and hafnium oxides // J. Amer. Ceram. Soc. 1970. - Vol. 53. - №5. - P. 264 - 268.

297. Заславский A.M., Мельников A. M., Зверлин A.B. Полиморфизм оксидов AI, Ti, Zr и Hf в пленках //Журнал неорганической химии. 1993. -Т. 38. - №3. - С. 439 - 440.

298. Золотарев В.М., Широкшина З.В., Тихомиров Г.П. Влагосодержа-ние и структура тонких пленок окислов // Оптико механическая промышленность. - 1974. - №10. - С. 24 - 28.

299. Спиридонов Ф.М., Комиссарова Л.Н., Кочаров А.Г. и др. Система НЮ2-У20з //Журнал неорганической химии. 1969. - Т. 14. - Вып. 9. - С. 2535 - 2540.

300. Волченкова З.С., Зубанкова Д.С. Фазовый состав и электропроводность системы НЮ2-У2Оз // Тр. / Ин-т электрохимии УНЦ АН СССР. -1976.-Вып.23.-С. 83-88.

301. Диоксид гафния и его соединения с оксидами редкоземельных соединений/под ред. Келер Э.К. Л.: Наука,1984. - 176 с.

302. Практикум по коллоидной химии / под ред. Лаврова И.С.- М.: Высшая школа, 1983. 216 с.

303. Практикум по коллоидной химии / под. ред. Воюцкого С.С., Панин P.M.- М.: Химия 1974. 224 с

304. Трубачев В.Г., Товстолыткин А.И., Шпак А.П. Магнитные и структурные особенности тонких пленок тантала с осью симметрии пятого порядка. // Письма в ЖЭТФ 1994 - Т. 59, № 11 - 12. - С. 751 - 753.

305. Farhad G., Fatman Т., Galip Т. Comparison of the deposition methods on the optical and structural properties of the sol gel ТагОб thin thin films. U 35th IUPAC Congr., Istanbul, 14-19 Aug., 1995.-p. 318.

306. Горощенко Я.Г. Химия ниобия и тантала. Киев: «Наукова думка», 1965.-482 с.

307. Спицын В.И., Мартыненко Л.И. Неорганическая химия М.: Изд-во МГУ, Ч. II, 1991.-474 с.

308. Гибало И.М. Аналитическая химия ниобия и тантала. М.: Изд-во «Наука», 1967.-350 с.

309. Баранников Г.И. Действие смесей плавиковой кислоты и перекиси водорода на металлы ниобий и тантал. //Журнал прикладной химии -1956-Т. 29, № 8.-С. 1283-1287.

310. Химия и технология редких и рассеянных элементов / Под ред. К.А. Большакова М.: Высшая школа, 1976. Ч. III. - 320 с.

311. Самсонов Г.В., Константинов В.И. Тантал и ниобий. М.: Металлургия, 1959.-264 с.

312. Wang С.С., Zaininger К.Н., Duffy М.Т. Vapor deposition and characterization of metal oxide thin films for electronic applications. // Radio Corporation of America Review- 1970-v. 31, №4. -p. 728-741.

313. Wardlaw W. Alkoxides old and new. // Journal of the chemical society -1956. № 10.-p. 4004-4014.

314. Bradley D.C., Chakravarti B.N., Wardlaw W. Structural chemistry of the alkoxides. Part8. Isomeric butoxides and pentyloxides of niobium. II Journal of the chemical Society- 1958. № 1. p. 99-101.

315. Kofstad P. On The Defect Structure of Ta205. // The Journal of Electrochemistry Society 1962 - v. 109, № 9. - p. 776 - 781.

316. Colon D.C., Doyle W.P. Absorption Spectra of Vanadium, niobium and tantalum pentoxides // The Journal of Chemical physics 1961 - v. 35, № 2. -p. 752-753.

317. Ниобий и тантал. / Зеликман А.Н., Коршунов Б.Г., Елютин А.В. М.: Металлургия, 1990. - 296 с.

318. Костикова Г.П., Королькова Д.В. Электронная структура кластерных комплексов переходных металлов с лигандами слабого и сильного поля. // Успехи химии 1985 - Т. 54, № 4. - С. 591 - 613.

319. Файрбротер Ф. Химия ниобия и тантала. М.: Химия1972. - 280 с.

320. Коттон Ф., Уилкинсон Дж. Современная неорганическая химия. -М.: Мир, Ч. 3, 1969.-592 с.

321. Борило Л.П., Шульпеков A.M., Турецкова О.В. Многофункциональные тонкопленочные материалы на основе оксидов р-, d-элементов //Вопросы химии и химического материаловедения. -Томск: Изд-во Том. ун-та, 2002. -С. 30-32.

322. Скорик НА, Борило Л.П.,Коротченко Н.М. Неорганическая химия. Лабораторные, практические и семинарские занятия / Учебное пособие для ВУЗов. -Томск: Из-во ТГУ, 1998 , Т.1.Т.2

323. Борило Л.П., Иконникова К.В., Козик В.В., Иконникова Л.Ф. Установление связи между «локальными» и «коллективными» свойствами оксидов кремния, висмута, циркония / Материалы науч.-практич. конф.

324. Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий». -Томск: Изд-во ТПУ. 2000. Т.1. -С. 55-59.

325. Борило Л.П., Грязнов Р.В. Получение и изучение свойств тонких прозрачных пленок SiC>2-Zr02 // Материалы науч.-практич. конф. «Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий». -Томск: Изд-во ТПУ. 2000. Т.1. -С.40-41.

326. А.С. № 895243 СССР от 01.09.1981. Способ изготовления экранов для источников света. / В.В.Козик, В.К.Богатырев, В.В.Серебренников, Ю.Ф.Главацкий, Ю.В.Планкин.

327. А.С. № 1042109 СССР от 14.05.1983. Способ изготовления экрана для источников света. / В.В.Козик, В.А.Касаткин, Ю.В.Планкин, В.В.Серебренников.

328. А.С. № 1267984 СССР от 01.07.1986. Газопоглотитель. / В.В.Козик, В.В.Серебренников, О.П.Климентенко, А.П.Ильин, Н.А.Яворовский.

329. А.С. № 1277249 СССР от 15.08.1986. Газопоглотитель. / В.В.Козик, В.В.Серебренников, Н.А.Яворовский, А.П.Ильин, О.П.Климентенко, Ю.Г.Хвесевич, А.Т.Токарев.

330. Clandel В., Hambouse Y., Veron I. Etude de la decomposition termiglie du nitrate de cerium (III). // Ruil. Soc. Shim. France. 1963. - № 2. - P. 409.

331. Козик В.В., Егорова Л.А., Кутолин С.А., Фролов Ю.А. Физико-химический анализ и прогнозирование газопоглощающих материалов в системе. / Тез.: "Физико-химический анализ", Фрунзе: 1985.-С.57

332. Козик В.В., Серебренников В.В. Металл-диэлектрические композиции некоторых неорганических веществ. // В сб. Поверхность и новые ма-териалы.-Свердловск: 1984.-С.98-101

333. Климентенко О.П. и др. Взаимодействие высокодисперсного алюминия с кислородом в области низких давлений. / Журн. Известия вузов. Физика. Томск: 1986. - С. 49-50. - Деп. в ОНИИТЭХИМ, № 1163-XU-86.

334. Буланов В.Я., Кватер J1.И. и др. Диагностика металлических порошков. М.: Наука. -1983. - 278 с.

335. Lyashko А.Р. et al. Interaction of syper-fin dispersed AI powderswith water. // React. Kinet. Catal. Lett. 1988.- v 37.- № 1, -P. 139-144.

336. Алюминий: свойства и физическое металловедение: справ, изд. -Пер. с англ. / Под ред. Дж.Е.Хэтча М.: Металлургия. - 1989. - 422 с.

337. Мондельфо Л.Ф. Структура и свойства алюминиевых сплавов. Пер. с англ. М.: Металлургия. - 1979. - 640 с.

338. Лякишев Н.П., Морохов И.Д., Алехин В.П. Ультрадисперсные порошки и материалы на их основе. // Фунд. науки. нар. х-ву. - М.: 1990. -С. 211-213.

339. Козик В.В., Алексеева Т.П., Главацкий Ю.Ф., Лещев С.В., Серебренников В.В. Влияние добавок РЗМ к алюминию на эффективность поглощения примесного кислорода в аргоне замкнутой системы. // Журал прикладной химии. 1983.- Т.6, № 1.

340. Крючков Ю.И. Определение газосодержания керамических материалов. //Стекло и керамика, № 19, 1997.- С. 24-26.

341. А.С. № 748570 СССР от 02.03.1980. Суспензия для изготовления газопоглотителей. / В.В.Козик, В.В.Серебренников, Ю.Ф.Главацкий, В.Н.Радюшкина, О.П.Климентенко.

342. Главацкий Ю.Ф., Климентенко О.П., Козик В.В., Лещев С.В., Оди-нецкий А.В., Серебренников В.В., Токарев А.Т. Исследование эффективности циркониевого геттера ламп накаливания. // В сб. Труды ВНИИИС, Саранск: 1980.- вып.11.-С. 83-88.

343. Pfaff G., Reynders P. Angle dependent optical effects deriving from submicron structures of films and pigments // Chem. Rev. - 1999. - Vol. 99. -№7.-P. 1963- 1981.

344. Козик B.B., Хвесевич Ю.Г., Климентенко О.П., Серебренников В.В. Поглощение кислорода цирконий-алюминиевыми сплавами. // Журнал прикладной химии. 1984.-Т. 57, № 5.

345. Мюллер А., Рой С. Нанообъекты на основе оксидов металлов: реакционная способность, строительные блоки для полимерных структур и структурное многообразие // Успехи химии. -2002. Т.71 ,№12-С.1107-1120.

346. Физико-химия ультрадисперсных систем. / Пол ред. Тананаева И.В., -М.: Наука. 1987.-240с.

347. Ляхов Н.З. Химия твердого тела. -Новосибирск: Изд-во НГУ, 1991, -148 с.

348. Годовиков А.А. О связи свойств элементов со структурой и свойствами минералов. -Ленинград.: Наука. 1988. -с.113.

349. Иконникова Л.Ф., Минакова Т.С., Нечипоренко А.П. Применение индикаторного метода для исследования поверхности кислотности сульфида цинка марки «для оптической керамики» //Журнал прикладной химии, -1990 .-№ 8

350. Борило Л.П., Шульпеков A.M., Турецкова О.В. Полифункциональные тонкопленочные материалы на основе оксидов // Стекло и керамика, -2003. -№2. -С. 20-23.

351. Борило Л.П., Грязнов Р.В. Процессы формирования тонких пленок Zr02-SiC>2 из растворов при высоких температурах // Вопросы химии и химического материаловедения / Под ред. Б.М. Марьянова. -Томск: Изд-во Том. ун-та, -2002. -С. 8-12.

352. Грязнов Р.В., Козик В.В., Борило Л.П., Мальчик А.Г. Физико-химическое изучение процессов формирования пленок ТагОб и ТагОб -Si02 из пленкообразующих растворов // Журнал прикладной химии. -2001.-Т.74, вып.1. -С.18-21.

353. Грязнов Р.В., Козик В.В., Борило Л.П., Шульпеков A.M. Тонкопленочные материалы на основе БЮг и Zr02, полученные из растворов // Неорганические материалы. -2001. -Т.37, -№7. -С.828-831.

354. Борило Л.П., Козик А.В., Мухин А.С. Получение и изучение физико-химических свойств керамических материалов на основе жидкого стекла // Сб. «Полифункциональные материалы». -Томск: изд-во ТГУ, 2001. -С. 83-89.

355. Козик В.В., Слижов Ю.Г. и др. Study of structure gas phase at a po-lymerizaation it is orthophthalic polyester resin // XXX Congress on Chromatography and Technical Affines // Abstract book, Vaalensia, 18.04.2001. -P. 82

356. Борило Л.П., Козик А.В., Мухин А.С. Целенаправленный синтез композиционных материалов на основе жидкого стекла и природных силикатов // Вопросы химии и химического материаловедения /Под ред. Б.М. Марьянова. -Томск: Изд-во Том. ун-та, 2002. -С. 13-19.

357. Верещагин В.И., Борило Л.П., Козик А.В. Пористые композиционные материалы на основе жидкого стекла и природных силикатов // Стекло и керамика. 2002. -№9. - С. 26-28.

358. Козик В.В., Шульпеков A.M., Борило Л.П. Структура и оптические свойства тонких пленок Zr202; Zr202 У20з ; Zr202 - Fe2C>3 // Известие ВУЗов . Физика - 2002. -№12. - С.77-78

359. Козик В.В., Борило Л.П., Кашапов Р.Г., Егорова Л.А. Исследование процессов формирования оксидного каркаса и окисление дисперсного композиционного материала Al-Si02-Y203 // Журнал прикладной химии. -1991. -№ 1. -С.75-79

360. Козик В.В., Дмитриева О.А., Коротченко А.А., Борило Л.П. Способ изготовления отражающего покрытия для источников света: А.с. № 1261519 от 1.06.86.

361. Козик В.В., Шульпеков А. М., Борило Л.П. Синтез, фазовый состав и оптические характеристики тонких пленок системы Zr02-Y203 // Изв. РАН. Неорганические материалы. -2001. -Т.37. -С. 56-59.

362. Борило Л.П., Шульпеков A.M., Турецкова О. В. Синтез и свойства пленок на основе двойных оксидов циркония и кобальта // Полифункциональные материалы. -Томск: Изд-во ТГУ, 2001.- С.71-76.

363. Борило Л.П. Получение и исследование свойств металл-оксидных композиционных материалов // В сб. «Рациональное использование природных ресурсов Сибири», тез. Докл. Томск, Изд-во ТГУ, 1989. -с.66.

364. Козик В.В., Кашапов Р.Г., Борило Л.П. Целенаправленный синтез и исследования светотехнических материалов // В сб. Междун. Конфер. Химия твердого тела.-Одесса, 1990, ч. 1, -с. 129.

365. Кузнецова С.А., Скорик Н.А., Козик В.В., Борило Л.П. Газочувствительные тонкопленочные материалы на основе диоксида олова // Сб. научных трудов «Перспективные материалы, технологии, конструкции». Вып. 5. -Красноярс, 1999, -С. 55-57.

366. Борило Л.П., Козик А.В. Керамические материалы на основе природных силикатов // Материалы науч.-практич. Конф. «Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий». -Томск: изд-во ТПУ. Т. 1.2000. -С.103-105.

367. Борило Л.П., Иконникова Л.Ф., Козик В.В., Минакова Т.С., Иконникова К.В. Диаграмма «рНсусп.-состав» и ее свойства // Сб. «Полифункциональные материалы». -Томск: изд-во ТГУ, 2001.- С. 45-49.

368. Изучение закономерностей целенаправленного синтеза неорганических веществ и разработка новых функционально-чувствительных материалов // Отчет по НИР № гос.регистрации 01970006238. Томск, ТГУ. 2000, -117с.

369. Козик В.В., Кузнецова С.А., Борило Л.П. Получение пленок Zr02, НЮ2 ,Sn02 из комплексных соединений // Химия в интересах устойчивого развития. -2003, -Т.11.-№5, -С.739-742.