Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе системы двойных оксидов ZrO2-GeO2 тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.11, кандидат технических наук Борило, Лариса Николаевна

• Борило, Лариса Николаевна
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Борило, Лариса Николаевна

Введение

1 Физико-химические закономерности получения тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов 2Ю2 и ве

1.1 Современные подходы к синтезу веществ и материалов

1.2 Современное состояние проблем по физикохимии тонкопленочных материалов

1.2.1 Место тонкопленочного состояния вещества в химическом знании

1.2.2 Определение и классификация тонких пленок

1.2.3 Отличительные особенности тонкопленочного состояния вещества

1.2.4 Особенности методов получения тонких пленок

1.3 Получение материалов с использованием золь-гель процессов

1.4 Физико-химическое изучение системы 7Ю2-0е

1.4.1 Диоксид германия и материалы на его основе

1.4.2 Диоксид циркония и материалы на его основе

1.4.3 Двойные оксиды 2Ю2-0е02 и материалы на их основе

1.5 Использование пленок в различных областях современной технике

1.5.1 Применение тонких пленок

1.5.2 Требования современной технике к пленкам

1.6 Постановка цели и задач исследования

2 Исходные вещества. Методики синтеза и исследования свойств материалов

2.1 Исходные вещества для получения тонкопленочных материалов

2.2 Методика синтеза тонкопленочных материалов

2.2.1 Подготовка подложек

2.2.2 Методика приготовления растворов и получения пленок

2.3 Исследование изменения вязкости со временем старения пленкообразующих растворов

2.4 Методики исследования состава, структуры и свойств полученных материалов

2.4.1 Рентгенофазовый анализ

2.4.2 Диференциально-термический анализ

2.4.3 ИК-спектроскопия

2.4.4 Изучение оптических свойств пленок

2.4.5 Электрофизические исследования

2.4.6 Адгезия пленок

2.4.7 Растровая электронная микроскопия

2.4.8 Атомно-силовая микроскопия

2.4.9 Химическая устойчивость

2.4.10 Кислотно-основные свойства поверхности

3 Физико-химические процессы, протекающие в пленкообразующих растворах

3.1 Основные физико-химические процессы, обусловливающие получение пленок по золь-гель технологии

3.2 Пленкообразующие растворы на основе тетрахлорида германия

3.3 Пленкообразующие растворы на основе оксохлорида циркония

3.4 Свойства пленкообразующих растворов для получения пленок на основе двойных оксидов Zr02-Ge

4 Физико-химические исследования процессов формирования тонких оксидных пленок системы Zr02-Ge

4.1 Образование пленки на поверхности твердого тела

4.2 Процессы, протекающие при нанесении пленкообразующего раствора на подложку

4.3 Физико-химические процессы, протекающие при формировании пленок на основе Zr02, Ge

4.4 Физико-химические процессы, протекающие при формирования пленок на основе двойных оксидов Zr02-Ge

5. Физико-химические свойства и структура пленок двойных оксидов Zr02-Ge

5.1 Изучение фазового состава полученных пленок

5.2 Изучение структуры пленок двойных оксидов

Zr02-Ge

5.3 Свойства пленок на основе двойных оксидов Zr02-Ge

5.4 Изучение кислотно-основных свойств системы Zr02-Ge

5.5 Модифицирование поверхности катализаторов на основе цеолитов марки ZSN двойными оксидами Zr02-Ge

6. Технологическая схема получения. Области практического использования

6.1 Построение математических моделей процессов нанесения оксидных пленок из ПОР

6.2 Технологическая схема получения и модифицирования тонкопленочных и дисперсных материалов

6.3 Критерии управления составом и структурой полученных материалов

6.4 Области практического использования полученных тонкопленочных материалов

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе системы двойных оксидов ZrO2-GeO2»

В последние годы интенсивно развивается новое научное направление, связанное с получением и изучением наноматериалов (НМ). К наноматериалам относятся нанопорошки с размером меньше 100 нм, стеклообразные и кристаллические материалы, в объеме которых распределены элементы структуры с наноразмерами, а также пленки и волокна с наноразмерной толщиной [1-3]. Среди тонкопленочных и дисперсных систем перспективными являются материалы, полученные на основе простых и сложных оксидов элементов Ш-У групп, в частности малоизученной в тонкопленочном состоянии системы Хг02-0о02. Особенно успешно такие материалы применяются в быстро развивающихся областях электронной техники, светотехнической промышленности, строительной индустрии [1,4-8]. Свойства тонкопленочных и дисперсных наносистем отличаются от свойств материалов в массивном состоянии. Это связано с тем, что в таких системах существенное влияние на свойства оказывают факторы дисперсности (отношение площади поверхности к объему твердого тела) и гетерогенности (многофазности) [9-12]. В связи с этим изучение особенностей тонкопленочного состояния вещества, физико-химических закономерностей их получения, исследование процессов в тонких слоях, а также анализ состава, структуры и свойств представляет немалый научный и практический интерес.

Получение материалов с комплексом заданных физико-химических и эксплуатационных свойств является сложной задачей. Для этого необходимо глубокое теоретическое осмысление связи особенностей структуры и состава соединений с теми или иными физическими, химическими и другими свойствами; компьютерное моделирование, а также привлечение экспериментальных данных. Параллельно необходимо проводить детальное исследование процессов, протекающих при синтезе и формировании структуры образца, а также условий работы и эксплуатации. Упрощение и сокращение пути поиска синтеза веществ, обладающих заданными свойствами, и создание на их основе новых функциональных материалов является задачами целенаправленного синтеза (ЦНС) [13-14].

Для успешного применения новых функциональных материалов на основе двойных оксидов циркония и германия и разработки технологии их изготовления необходимо установить взаимосвязь между технологическими и целевыми свойствами, составом, структурой и условиями их получения. В настоящее время в отечественной и зарубежной литературе еще недостаточно изучены вопросы, касающиеся процессов образования пленок из пленкообразующих растворов, на основе спиртовых растворов оксохлорида циркония и тетрахлорида германия, не установлено влияние условий формирования двойных оксидов на физико-химические свойства и структуру их пленок. Кроме того, отсутствуют данные по изучению диаграмм состав - свойство системы 7г02-0е02 в тонкопленочном состоянии и исследованию свойств систем на основе гибридных композиций с использованием модифицированных дисперсных порошков.

Цель работы: разработка составов, технологии получения и модифицирования золь-гель методом тонкопленочных и дисперсных материалов на основе оксидов системы 7г02-0е02, установление взаимосвязи между их составом, структурой, физико-химическими и эксплуатационными свойствами и применение их в качестве функциональных покрытий и катализаторов.

Для достижения цели были поставлены следующие задачи: 1.Определить пленкообразующую способность спиртовых растворов на основе оксохлорида циркония и тетрахлорида германия, а также временной интервал стабильности их свойств, в течение которого возможно получение пленок и дисперсных систем с заданными характеристиками.

2.Изучить физико-химические процессы, протекающие при формировании тонких пленок на основе оксидов циркония и германия из ПОР, разработать оптимальные условия их получения.

3.Установить влияние состава ПОР и условий получения на фазовый состав, структуру и свойства пленок Zr02-Ge02.

4.0пределить условия модифицирования дисперсных систем двойными оксидами циркония и германия с применением золь-гель технологии.

5.Разработать рекомендации по технологии получения и модифицирования, а также практическому применению тонкопленочных и дисперсных систем на основе оксидов системы Zr02-Ge02.

Диссертационная работа выполнялась в соответствии с научным направлением работ кафедры неорганической химии и отдела «Новые материалы» Томского государственного университета по госбюджетной теме Министерства образования и науки РФ «Изучение физико-химических закономерностей целенаправленного синтеза и модифицирования полифункциональных материалов» (ЕЗН гос. per. №01200610030); в рамках федеральной целевой научно-технической программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники» на 2002-2006 годы (государственный контракт № 02.442.11.7303).

Заключение диссертации по теме «Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов», Борило, Лариса Николаевна

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

1. Установленная последовательность основных стадий получения пленок системы оксидов 2г02-Се0г из пленкообразующих растворов на основе этилового спирта, оксохлорида циркония и тетрахлорида германия включает: комплексообразование, гидролиз и поликонденсацию в ПОР; поликонденсацию на подложке и удаление с ее поверхности низкомолекулярных продуктов; дегидратацию гидроксидов и формирование оксидной пленки при термообработке.

2. Спиртовые растворы на основе оксохлорида циркония и тетрахлорида германия обладают пленкообразующими свойствами в интервале вязкости от 2,3-10"3Па-с до 5,5-10"3Па-с. Показано, что пленкообразующая способность растворов обусловлена образованием тетрамерного гидроксокомплекса для оксохлорида циркония и реакциями гидролитической поликонденсации для тетрахлорида германия. Пленки с воспроизводимыми свойствами получаются при выдержке ПОР до 30 суток со дня приготовления раствора на основе тетрахлорида германия и до 12 месяцев для растворов сложного состава, в зависимости от концентрации оксохлорида циркония в растворе.

3. Процессы формирования простых и сложных оксидов из ПОР в результате термической обработки протекают через ряд последовательных стадий: испарение физически адсорбированной воды, спирта и химически связанной воды, сгорание этоксигрупп, разложение продуктов гидролиза ПОР с образованием оксидов. Установлены оптимальные режимы термической обработки тонких пленок: термостатирование при температуре 60-80°С в течение 30 мин и отжиг при температурах 700-900°С в течение 60 мин.

4. Установлено, что структура пленок изменяется в зависимости от условий получения (состав раствор, режим термообработки, природа подложки) от аморфной до поликристаллической. Пленки на основе диоксида германия остаются аморфными при температуре отжига до 900°С в течение 5 часов. Для пленок Ъг02 при отжиге в интервале температур от 500 до 900°С происходит их кристаллизация и переход из кубической и тетрагональной модификации в моноклинную. В пленках на основе двойных оксидов Zr02-Ge02 в области концентраций от 30 до 70 мол.% ве02 при температурах отжига 800°С обнаружено образование германата циркония состава 2г0е04 тетрагональной модификации.

5. Для пленок ЪгОг-ве02 при соотношении оксидов 50:50 мол.% (температура отжига 900°С), установлена упорядоченная фрактальная наноструктура пленок с высотой образования 2,6 нм и размерами кольца диаметром 50 нм, такие пленки характеризуются наличием двух фаз: тетрагональной модификации диоксида циркония и структуры шеелита 2Юе04.

6. Пленки системы 2Ю2-0е02 обладают хорошей адгезией к подложкам из стекла, кварца и кремния, однородные по толщине, составу и свойствам, беспористые, химически стойкие, являются широкозонными полупроводниками. Полученные пленки, в зависимости от состава, имеют удельное сопротивление 108-1012 Ом-см, значения ширины запрещенной зоны 4,5-5,1 эВ, показателя преломления от 1,69 до 2,16, диэлектрической проницаемости в радиочастотном диапазоне от 5,52 до 11,35.

8. Определены оптимальные условия модифицирования катализаторов на основе цеолита марки 28М-5 золь-гель методом оксидами 7Ю2-Се02: время модифицирования 24 час при температуре 25°С, с последующим термостатированием при температуре 60-80°С в течение 20 мин и термообработкой при температуре 700°С в течение 60 мин. Лабораторные испытания цеолитсодержащего катализатора, модифицированного оксидами циркония и германия золь-гель методом, в процессе конверсии пропан-бутановой смеси, показали увеличение выхода этилена на 4% по сравнению с исходным цеолитом.

9. На основании полученных результатов даны рекомендации по выбору оптимальных технологических режимов с целью управления процессами получения пленок системы ЪгОг~Се02 с заданным комплексом эксплуатационных свойств. В зависимости от практической задачи, они могут быть использованы в качестве защитных, перераспределяющих излучение (в УФ, видимом и ИК диапазоне) и декоративных покрытий, а также для модифицирования цеолитсодержащих катализаторов. Разработанные тонкопленочные материалы использованы при производстве безозоновых медицинских и бытовых приборов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Борило, Лариса Николаевна, 2007 год

1. Верещагин В.И., Козик В.В., Борило Л.П., Погребенков В.М., Сырямкин В.И. Полифункциональные неорганические материалы на основе природных и искусственных соединений. Томск: Изд-во Том. ун-та, 2002. -359 с.

2. Мелихов И.В. Физикохимия наносистем: успехи и проблемы //Вестник РАН. 2002.- Т. 72, № 10. - С. 900-909.

3. Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований // Под ред. М. К. Роко, Р.С.Уильямса и П.Аливисатоса .- М.: Мир, 2002. 295с.

4. Серебренников В.В., Якунина Г.М., Козик В.В., Сергеев А.Н. Редкоземельные элементы и их соединения в электронной технике. Томск: Изд-во Томск, ун-та, 1980.- 156 с.

5. Pao Ч. Н., Гонпакришнан Дж. Новые направления в химии твердого тела: структура, синтез, свойства, реакционная способность и дизайн материалов.-Новосибирск: Наука, 1990.- 516 с.

6. Шабанова H.A., Попов В.В., Саркисов П.Д. Химия и технология нанодисперсных оксидов.-М.: ИКЦ «Академия», 2006. 309 с.

7. Третьяков Ю.Д., Лепис X. Химия и технология твердофазных материалов. -М.: Наука, 1985.- 198 с.

8. Вест А. Химия твердого тела: В 2 т. М.: Мир, 1988. - Т.1-2.

9. Федоров В.Б. Тананаев И.В.//Журнал ВХО им. Д.И. Менделеева. 1987.Т. 32. № 1. - С.43-48

10. Алесковский В. Б. Курс химии надмолекулярных соединений. Л.: Изд-во Ленинградск. ун-та, 1990. -С.40-75.

11. Алесковский В.Б. Химия твердых веществ. М.: Высшая школа, 1978.252 с.

12. Борило Л.П. Тонкопленочные неорганические наносистемы. Томск.: Изд-во Том. ун-та, 2003. - 134 с.

13. Третьяков Ю. Д., Метлин Ю. Г. // Журн. хим. о-ва им. Д. И. Менделеева.1991.- Т. XXXVI, № 3.- С. 265-270.

14. Козик В.В., Борило Л.П. Создание научных основ целенаправленного синтеза неорганических материалов// Химики ТГУ на пороге третьего тысячелетия. Томск: Изд-во Том. ун-та, 1998.- С. 6-16.

15. Козик В.В. Химия твердых веществ. Томск.: Изд-во Том. ун-та, 1985.125 с.

16. Алесковский В.Б. Стехиометрия и синтез твердых соединений.- JL: Наука, 1976,- 140 с.

17. Алесковский В.Б. Принципиальные условия синтеза твердых соединений постоянного состава // Направленный синтез твердых веществ:Межвузовский сборник / Под ред. В.Б.Алесковского. -JL: ЛГУ, 1987.- Вып. 2.- С. 3-6.

18. Кольцов С. И. Химические превращения на поверхности твердых веществ. -Л.: ЛГУ, 1984.- 176 с.

19. Козик В.В. Создание научных основ целенаправленного синтеза неорганических веществ и материалов. // В сб. аннотированных отчетов по госбюджетным НИР. Томск: Изд-во Томск, ун-та,- 1992, вып. 4.

20. Валиев Р.З., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. М.: Логос, 2000. - 272 с.

21. Андриевский P.C. Наноструктурные материалы состояние разработок и перспективы // Перспективные материалы. - 2001. - №6. - С. 5 - 12.

22. Губин С. П. Что такое наночастица? Тенденции развития нанохимии и нанотехнологии П Журнал РХО. 2000. - №6. - С. 24 - 29.

23. Андриевский P.C. Термическая стабильность наноматериалов // Успехи химии. 2002. -Т. 7. - С. 967 - 981.

24. Гусев. А. И., Ремпель A.A. Нанокристаллические материалы. М.: Физматлит, 2001. - 224 с.

25. Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем: Материалы IV Всероссийской (международной) конференции. М.: Изд-во МИФИ, 2002.427 с.

26. Сергеев Г.Б. Нанохимия металлов // Успехи химии. 2001. - Т. 10. - С.915-930

27. Третьяков Ю.Д., Лукашии A.B., Елисеев A.A. Синтез функциональных нанономпозитов на основе твердофазных нанореакторов // Успехи химии-2004. Т.9.- С.974-998

28. Помогайло А.Д. Гибридные полимер-неорганические нанокомпозиты // Успехи химии -2000. Т.1.- С.60-82

29. Помогайло А.Д. Розенберг A.C. Уфлленд Н.Е. Наночастицы металлов в полимерах. М.: Химия, 2000.- 672с.

30. Сумм Б.М., Иванова Н.И. Объекты и методы коллоидной химии в нанохимии // Успехи химии. -2000. Т.69,-Вып. 11.-С.995-1008.

31. Бучаченко А.Л. Нанохимия прямой путь к высоким технологиям нового века // Успехи химии - 2003.- Т.5.- С.419-437

32. Веснин Ю.И. Вторичная структура и свойства кристаллов.- Новосибирск.: Изд-во ИНХ СОРАН, 1997. 102с.

33. Ивлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1988,- 25-38 с.

34. Поут Дж., Ту К., Мейер Дж. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции /Пер. с англ. Под ред. В.Ф.Киселева.- М.: Мир, 1982.- 382 с.

35. Фишер Холл. Технология толстых и тонких пленок.- М.: Мир, 1972.- 46 с.

36. Берри Р., Холл П., Гаррис М. Тонкопленочная технология.- М.: Энергия, 1972.-653с.

37. Борисенко А.И., Николаев Л.В. Тонкослойные стеклоэмалевые и стеклокерамические покрытия,- Л.: Наука, 1972.- 156 с.

38. Борисенко А.И., Новиков В.В., Приходько Н.Е., Митникова М.М., Чепик Л.Ф. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике.- Л.: Наука, 1972.114 с.

39. Палатник Л.С., Сорокин В.К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения.- М.: Энергия, 1973.- 295 с.

40. Физика тонких пленок /Под ред. Г. Хасса, Р.Э. Туна; Пер. с англ. М.: Мир, 1972. Т.5.С. 104-111.

41. Холленд Д. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.: Госэнергоиздат, 1963.260 с.

42. Технология тонких пленок: Справочник /Под ред. Л. Мейселал, Р. Глэнга. -М.: Сов. радио, 1977.- 935 с.

43. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок.- Л.: Химия, 1971.- 230 с.

44. Петрунин В.Ф., Ильин А.П. Проблемы терминологии в области малых частиц и порошков //Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. М.: МИФИ,-2002.- С. 29.

45. Петрунин В.Ф. Тенденции развития научно-технического направления ультрадисперсных (нано-) материалов //Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. М.: МИФИ,- 2002.- С. 25-28.

46. Фролов Ю.Г. Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы.- М.: Химия, 1988.- 464 с.

47. Щукин Е.Д., Перцов А.В., Амелина К.А. Коллоидная химия.- М.: Высшая школа, 1992.-260с.

48. Ребиндер П.А. Поверхностные явления в дисперсных системах.- М.: Наука,1979.-368с.

49. Адамсон А. Физическая химия поверхностей.- М.: Мир, 1979.-568с.

50. Зенгуил Э. Физика поверхности.- М.: Мир, 1990.-323с.

51. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. / Под ред. Волькенштейна. М.: Мир, 1980. 488 с.

52. Джонсон Д. Термодинамические аспекты неорганической химии.- М.: Мир, 1985,- 8-31 с.

53. Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции.- М.: Химия, 1978.-327с.

54. Харрисон У. Электронная структура и свойства твердых тел.- М.: Мир,-1983.- Ч.1.-380 е., Ч.2.- 332 с.

55. Физикохимия твердого тела. // Сб. статей Под ред. Б. Сталинского.- М.: Химия, 1972.-С. 175-210.

56. Уваров Н.Ф., Болдырев В.В. Размерные эффекты в химии гетерогенных систем //Успехи химии.-2001. -Т.70, № 4.

57. Беляев A.B. Методы получения неорганических неметаллических наночастиц. М.: Изд-во МХТУ им. Д.И.Менделеева, 2003. - 79с.

58. Труды, посвященные памяти академика И.В. Гребенщикова //Сб. статей /Под ред. К.С. Евстроньева. М.: Оборонная промышленность, 1956.-338с.

59. Аткарская А.Б., Киян В.И., Машир Ю.И. Взаимодействие стеклянной подложки с золь-гель растворами // Стекло и керамика,- 2001.- №5.- С. 8-11.

60. Аткарская А.Б., Киян В.И. Микротвердость золь-гель пленок различной структуры // Стекло и керамика. -2000.-№7.-С. 5-8.

61. Тананаев И.В. Химия германия, М.: 1996, -198с.

62. Химия и технология редких и рассеянных элементов, ч. II / под ред. К.А. Большакова. Изд. 2-е, перераб. И доп.-М.: Высшая школа, 1976.-С.295.

63. Блюменталь У.Б. Химия циркония.- М.: Изд-во иностр. лит-ра, 1963 -341 с.

64. Илюшин Г.Д. Фазообразование в системе Li0H-Zr02-Ge02-H20 при 500°С и 0,1 ГПА // Неорганические материалы.-2002.-Т.38.-Вып.12.-С. 1462-1469.

65. Болдырев В.В. Химия твердого состояния на рубеже веков // Журнал РХО им. Менделеева.- 2000,- № 6.- С. 14-19.

66. Разработка теплоотражающих экранов: Отчет по НИР./ Том. гос. ун-т; рук. Козик В.В.-Томск, 1985.-202 с. № ГР 0181.101.46.32.- Инв. №197

67. Исследование путей усовершенствования экономичных ламп накаливания: Отчет по НИР./ Том. гос. ун-т; рук. Козик В.В. -Томск, 1984.-20 с. № ГР 01.840013923.- Инв. №252.

68. Козик В.В., Главацкий Ю.Ф., Зиновьева С.П. Неорганические покрытия в светотехнике. // Новые неорганические материалы деп. № 3186/79, Черкассы.

69. Борило Л.П., Шульпеков A.M., Турецкова O.B. Тонкопленочные покрытия на основе оксидов циркония и кобальта //Стекло и керамика. -2002,- № 4,-С.30-32.

70. Лисицын В.М. Материаловедение и источники света // Материалы для источников света и светотехнических изделий. Саранск: Изд-во Морд, ун-та,1990.-С. 4-13.

71. Gleiter H. In Deformation of Poiycrystals //RISO National Laboratory,- 1981-C.15

72. R.Birringer. H. Gleiter, H.-P. Klein. Phys. Len. 102, 365. 1984

73. R.Birringer, U.Herr, H. Gleiter . Trans. Jpn. Inst. Men. Suppl., 27., 43, 1986

74. Александров Л.И., Иванцов A.C. Многослойные и сеточные структуры для источников света. Новосибирск.: Наука, 1981.- 137 с.

75. Козик В.В., Борило Л.П., Ривец И.А. Светоотражающие экраны из тонкопленочных композиционных материалов на основе алюминия // Конструирование и технология изготовления космических приборов.- М.: Наука,-1988.-С. 206-211.

76. Источники света //Сёмэй Гаккайси. 1981. Т. 65, № 8. С. 343-351. Пер. № 14403/3, 1983. Lagneborg R. Development of new metallic materials. Rapport, 1983.

77. Козик B.B., Кашапов Р.Г., Егорова Л.А., Борило Л.П. Исследование процессов формирования оксидного каркаса и окисления дисперсного композиционного материала Al-Si02-Y203 // Журнал прикладной химии.1991.-№ 1.- С. 75-79.

78. Козик В.В., Борило Л.П. Тонкопленочные и дисперсные материалы на основе Si02, Y203 и ультрадисперсного алюминия // Материалы VI Всероссийской (международной) конференции «Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем».- М.: МИФИ,- 2002.- С. 409-410

79. Whitmore R.E., Vosen I.H. //J. ЕЕЕ Trans. Parts, Mater. Pakad. 1965. № 1. P. 10.

80. Практикум по химии твердых веществ /Под ред. С.И. Кольцова. -JL: Изд-во ЛГУ, 1985.- 224 с.

81. Казакова И.Л., Вольхин В.В., Жарныльская Л.М. Фазовые превращения Zr02 в смесях оксидов А1203 и Zr02, полученные золь-гель методом // Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф. -М.: МИФИ,- 2002,- С. 297.

82. Аввакумов Е.Г., Карачгиев Л.Г., Ляхов И.З. Особенности формирования дисперсных частиц, получаемых золь-гель и механохимическими методами83 // Сб. науч. трудов VI Всероссийской конф.- М.: МИФИ,- 2002.- С. 128129.

83. Разуваев Г.А., Грибов В.Г., Домрачев Г.А. Металлорганические соединения в электронике.- М.: Наука, 1972.- 476 с.

84. Гребенщиков И.В., Власов А.Г., Непорент Б.С., Суйковская Н.В. Просветление оптики.- М.: Гостехиздат, 1946.

85. Козик В.В., Борило Л.П., Мальчик А.Г. Физико-химическое исследование процессов формирования порошков и пленок Si02 из пленкообразующих растворов // Журн. прикладн. химии.-1996.- № 2.

86. Lange H. Grenzen der Zichterzeugung als Materialproblem. Technische Rundschau. - 1983. - № 11.- P. 7-14.

87. Spura S. A sputtered boost for iamp efficiency . Optical Spectra.- March.-1980.

88. Brett J., Fontana R.P. Development of high energy-conserving incandescent lamps. Journal of IES.- July.- 1980.- P. 197.

89. Jordam E.L. Diffusion Mack for Germanium. // J. Electrochem. Soc. 108. -№5.-1961.- P. 478

90. Данков П. Д., Игнатов И. А. Электронографические исследования оксидных и гидрооксидных пленок на металлах. М.: Изд-во АН СССР, 1953.

91. Вилков Л.В., Пентина Ю.В. Физические методы исследований в химии. Структурные методы и оптическая спектроскопия.- М.: Высшая школа, 1987.- 347с.

92. Вилков Л.В., Пентина Ю.В. Физические методы исследования в химии. Резонансные и электрооптические методы. М.: Высшая школа, 1989.-320с.

93. Вудраор Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. -М.:Мир,1989.-348с.

94. Экспериментальные методы химической кинетики / Под ред. H.A. Эммануэля, Г.Б. Сергеева М.:-Высшая школа. 1980

95. Динисов Е.Т. Саркисов О.М. Лихтенитейн Г.И. Химическая кинетика. М.: Химия, 2000, -212с.

96. Gandela В., Perimutter D. Pore structutes and Kinetles of the thermal decom position of AI(OH). //AlChE Journal. 1986,- V.32. - № 9. - P. 1532-1945.

97. Thompson G.E., Xu Y., Skeldon P., Wood G.G. AcJcilc oxidation of aluminium. // Phil. Mag. B. 1987. - V. 55. - N 6. - P. 651-666.

98. Белоусова B.H., Зелева Г.М. Лабораторный практикум по курсу «Методы исследования адсорбентов и катализаторов». Томск: Изд-во. Том. ун-та, 1977. - 110 с.

99. Горощенко О.Г. Физико-химический анализ гомогенных и гетерогенных систем. Киев.: Наукова думка, 1977. - С. 490.

100. Tahakashi Т., Yamomoto 0. et all. // Electrochem Soc. V. 120.- № 10. -P. 1654.

101. Фиалко М.Б., Батырева В.А., Бирюлина В.Н., Чупахина P.A., Козик В.В., Сергеев А.Н., Шандаров С.М. Методы исследования неорганических веществ (Учебное пособие). -Томск: Изд-во Томск, ун-та, 1984.- 184 с.

102. Фиалко М.Б. Неизотермическая кинетика в термическом анализе. -Томск.: Изд-во Томск, ун-та, 1981.- 110 с.

103. Энергия разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону. / Справочник. М.: Наука, 1974.- 351 с.

104. Липсон Г., Стипл Г. Интерпретация порошковых рентгенограмм. М.: Мир. - 1972,-215 с.

105. Ковба Л.М., Трунов В.К. Рентгенофазовый анализ.- М.: МГУ, 1976. -232 с.

106. Основы эллипсометрии. / Под ред. A.B. Ржанова. Новосибирск: Изд-во «Наука» сибирское отделение, 1979. - 424 с.

107. Накамото К. Инфракрасные спектры неорганических и координационных соединений. М.: Мир, 1966. - 410 с.

108. Козицына J1.A., Куплетская Н.Б. Применение УФ-, ИК- и ЯМР-спектроскопии в органической химии. М.: Высшая школа, 1971. - 264 с.

109. Пакет прикладных программ для РФА. Версия 1 для IBM PC. Программа Ident. Jl., 1990.

110. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Мызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. М.: Химия, 1986. - 151 с.

111. Бацанов С. С. Структурная рефрактометрия. М.: Высшая школа, 1976.-154 с.

112. Комранов Б.М., Шапочных Б.А. Измерение параметров оптических покрытий. М.: Машиностроение, 1986. -130 с.

113. Зимон А.Д. Адгезия пленок и покрытий. М.: Химия, 1977.- 345 с.

114. Методические материалы к практическим занятиям по определению кислотно-основных свойств поверхности / Иконникова К.В., Иконникова Л.Ф., Саркисов Ю.С., Минакова Т.С. Томск.: Из-во Том-ун. 2003- 28с.

115. Борило Л.П., Козик В.В., Мальчик А.Г. Физико-химическое исследование процессов формирования порошков и пленок Si02 из пленкообразующих растворов //Журнал прикладной химии. -1996. -Т.69. -№ 2. С.224-227.

116. Борило Л.П., Шульпеков А.М., Турецкова О.В. Полифункциональные тонкопленочные материалы на основе оксидов //Стекло и керамика. -2002. -№ 2. -С. 20-23.

117. Борило Л.П., Грязнов Р.В., Козик В.В., Мальчик А.Г. Физико-химическое изучение процессов формирования пленок Та205 и Та205 Si02 из пленкообразующих растворов // Журная прикладной химии. - 2001. -Т.74. - Вып.1. -С. 18-21.

118. Борило Л.П., Грязнов Р.В., Козик В.В., Шульпеков A.M.

119. Тонкопленочные материалы на основе Si02 и Zr02, полученные из растворов // Известия РАН. Неорганические материалы. 2001. -Т.37. - №7. -С.828-831.

120. Борило Л.П., Козик В.В., Скорик H.A., Дюков В.В. Синтез и свойства пленок, полученных из пленкообразующих растворов на основе комплексных соединений циркония, ниобия и тантала // Журнал неорганической химии. -1995. -Т.40. -№ 10. -С. 1596-1598.

121. Борило Л.П., Дюков В.В., Кузнецова С.А., Козик В.В. Изучение пленкообразующей способности ацетилацетонатов Sn(II), Zr(IV), Hf(IV) // Журнал прикладной химии. -2001. -Т.74. -ВыпЛО. -С. 1587-1592.

122. Горохов Е.Б., Володин В.А., Марин Д.В. и др. Влияние квантово-размерного эффекта на оптические свойства нанокристаллов Ge в пленках Ge02 // Физика и техника полупроводников.-2005.-Т.39.-Вып.10.-С.1210-1217

123. Ролдугин В.И. Самоорганизация наночастиц на межфазных поверхностях // Успехи химии.- 2004.-Вып. 73 (2).- С.123-151.

124. Петрунин В.Ф., Попов В.В., Чжу Хунчжи. Тимофеев A.A. Синтез нанокристаллических высокотемпературных фаз диоксида циркония // Неорганические материалы.-2004.-Т.40.-Вып. 3.-С.303-311.

125. Александров В.И., Батыгов С.Х., Вишнякова М.А. и др. Влияние состава и термообработки на зарядовые состояния собственных и примесных дефектов в твердых растворах Zr02-Y203 // Физика твердого тела.-1984.-Т.26.-Вып.5.-С.1313-1318.

126. Полежаев Ю.М., Т.М. Барбина Т.М., Полежаев В.Ю. Исследование совместно осажденных гидроксидов циркония и элементов подгруппы скандия и лантаноидов при нагревании // Неорганические материалы.-1994.-Т.30.-Вып.7.-С.959-962.

127. Леонов А.И., Костиков Ю.П., Иванов И.К. О природе электропроводности твердых растворов в системе Z1O2-Y2O3 // Неорганические материалы.-1980.-Т. 16.-Вып.9.-С. 1576-1579.

128. Кобаса И.М. Материалы на основе диоксидов титана, циркония, гафния и тория // Химия и химическая технология.-2001.-Т.44.-Вып.6.- С. 146152.

129. Печенюк С.И., Михайлова Н.Л.,Кузьмич Л.Ф. Физико-химическое исследование ксерогелей оксигидроксидов титана (IV) и циркония (IV) // Синтез и свойства неорганических соединений.-2003.-Т.48.-Вып. 9.-С.1420-1425.

130. Шарыгин Л.М. Получение сферогранулированного гидроксида циркония (IV) золь-гель методом // Журнал прикладной химии.-2002.-Т. 75.-Вып. 9.-С. 1427-1430.

131. Сухарев Ю.И., Руднева В.В., Стексов A.M. Особенности полимеризации гидратированного диоксида циркония при его дегидратации //Неорганические материалы. -1986,- Т.22.-Вып. 5. С.787-790.

132. Котова Н.М. Прутченко С.Г., Яновская М.И. Получение монодисперсных порошков Z1O2-Y2O3 на основе алкоголятов // Неорганические материалы. -1994.-Т.30.-Вып.З.-С.387-390.

133. Иванова A.C., Федотов М.А., Литвак Г.С., Мороз Э.М. Формирование высокодисперсных образцов на основе диоксида циркония // Неорганические материалы.-2000.-Т.36.-Вып.4.-С.440-446.

134. Белоус А.Г., Пашкова Е.В., Макаренко А.Н. и др. Фазовые превращения при термообработке гидроксидов ZrO(OH)2, FeOOH и Y(OH)3 // Неорганические материалы. -2001.-Т.37.-Вып.З.-С.314-319.

135. Олейников H.H., Пентин И.В., Муравьева Г.П., Кецко В. А. Исследование метастабильных высокодисперсных фаз, формируемых на основе Zr02 // Журнал неорганической химии. 2001.-Т.46.-Вып.9.-С.1413-1420

136. Коленько Ю.В., Бурухин A.A., Чурагулов Б.Р. и др. Синтезгидротермалтным методом нанокристаллических порошков различных кристаллических модификаций Zr02 и Ti02 // Журнал неорганической химии.-2002.-Т.47.-Вып. 11 .-С. 1755-1762.

137. Иванов В.К., Баранов А.Н., Мазо Г.Н. и др. Синтез диоксида церия с различной фрактальной размерностью поверхности // Журнал неорганической Химии.-2003.-Т.48.-Вып.3.-С.366-370.

138. Козик В.В., Борило J1.H., и др. Тонкопленочные наносистемы на основе двойных оксидов циркония и германия. // Известия Томского политехнического университета. 2006. - Т. 309. - № 5 - С. 64-68

139. Фиалко М.Б., Кумок В.Н. Лекции по планированию эксперимента. Томск: Изд-во Том. ун-та, 1977. 80 с.

140. Сальников В.В. Влияние F-центров на оптические и адсорбционные свойства легированных кристаллов Zr02 // Неорганические материалы. -2000.-Т.36.-Вып.5.-С.582-587.

141. Кулькова С.Е., Мурыжникова О.Н. Электронная структура и оптические свойства диоксида циркония // Неорганические материалы,-2000.-Т.36.-Вып. 1 .-С.45-50.

142. Козик В.В., Шульпеков A.M., Борило Л.П. Структура и оптические свойства тонких пленок Zr02, Zr02-Y203, Zr02-Fe203 // Известия вузов. Физика. -2002.-Вып.12.-С.77-78.

143. Туреновская Е.П., Яновская М.И., Турова Н.Я. Использование алкоголятов металлов для получения оксидных материалов // Неорганические материалы. -2000.-Т.36.-Вып,3.-С.330-341.

144. Каракчиев Л.Г., Авакумов Е.Г., Винокурова О.Б.и др. Формирование нанодисперсного диоксида циркония при золь-гель и механохимических методах синтеза // Журнал неорганической химии.-2003.-Т.48.-Вып.Ю.-С.1589-1595.

145. Подзорова Л.И., Ильичева A.A., Михйлина H.A. и др. Влияние условий синтеза золь-гель методом порошков в системе Zr02-Ge02-Al203 на их фазовый состав // Неорганические материалы.-2001.-Т.37.-Вып.1.-С.60-66.

146. Никитин Д.С., Жуков В.А., Перков В.В. и др. Получение и структура пористой керамики из нанокристаллического диоксида циркония // Неорганические материалы.-2004.-Т.40.-Вып.7.-С.869-872.

147. Шевченко В.Я., Глушкова В.Б., Панова Т.Н. и др. Получение ультрадисперсных порошков тетрагонального твердого раствора в системе Zr02-Ce203 // Неорганические материалы.-2001.-Т.37.-Вып.7.-С.821-827

148. Y.F. Mei, G.G. Siu, Х.Н. Huang, K.W. Cheah, Z.G. Dong, L. Fang, M.R.Sheng, X. L.Wu, X.M. Bao. Growth and optical properties of Ge oxide thin film on silicon substrate by pulsed laser deposition/ Physics Letter A 331 (2004) 248-251.

149. Yawen Zhang, Shu Jin, Chunsheng Liao, C.H. Yan. Microstructures and optical properties of nanocrystalline rare earth stabilized zirconia thin films deposited by a simple sol-gel method /Materials Letter 56 (2002) 1030-1034.

150. Chen Zolkov, David Avnir and Robert Armon. Tissue-derived cell growth on hybrid sol-gel films /Materials Chemistry (2004) 14 2200-2205.

151. U.Aust, S. Benfer, M. Dietze, A.Rost, G.Tomandl. Development of microporous ceramic membranes in the system Ti02-Zr02 /Journal of Membrane Science 281 (2006) 463-471.

152. Crain Bullen, Paul Mulvaney, Cinzia Sada, Maurizio Ferrari, Alessandro Chiasera and Alessandro Martucci. Incorporation of a highly luminescent semiconductor quantum dot in ZrCVSiC^ hybrid sol-gel glass film / Materials Chemistry (2004) 14 1112-1116

153. Lange Т., Njoroge W., Weis H., Beckers M.,Wutting M. Physical properties of thin Ge02 films produced by reactive DC magnetron sputtering //Thin Solid films.-2000.-82-89

154. Yoshimura N., Itoi M. Electrical properties of Z1O2 thin film prepared by sol-gel method // Properties and Application of Dielectric Materials.-199 l.-Jule 812. 177-180.

155. Stanley S.K., Coffer S.S., Ekerdt J.G.Interactions of germanium atoms with silica surfaces // Applied Surface science.-2005.-XXX-XXX.-l-5

156. Nozaki C.,Tabata К., Suzuki E. Synthesis and characterization of homogeneous germanium-substituted tin oxide by using sol-gel method //Journal of solid state chemistry.-2000.-154.-579-583

157. Zhang Q.,Li X., Shen J., Wu G.,Wang J.,Chem L. Zr02 .thin films and Zr02/Si02 optical reflectin filters deposited by sol-gel menhod //Materials Letter.-2000.-45.-311-314.

158. Козик В.В., Борило Л.Н., Чернов Е.Б., Лыскова Е.А. Получение и изучение свойств тонких пленок двойных оксидов Zr02-Ge02, Hf02-Ge02 // Полифункциональные химические материалы. Материалы Российской научно-практической конф. Томск, 2004. С.85-86

159. Борило Л.Н, Лыскова Е.А. // Материалы Всероссийской конфер. «Получение и свойства веществ и полифункциональных материалов, диагностика, технологический менеджмент» Томск: Изд-во ТГУ, 2004, С.32

160. Борило Л.Н. Синтез и изучение свойств тонкопленочных наноматериалов на основе двойных оксидов Zr02-Ge02 // Сборник материалов международной школы -конференции молодых ученых «Физикаи химия наноматериалов» Томск: Изд-во ТГУ, 2005, С.545-548.

161. Козик В.В, Борило Л.Н., и др. Синтез и изучение свойств тонких пленок на основе двойных оксидов ХтОг-веСЬ // Конденсированные среды и межфазные границы.-2006.-Т.8.-№2. с. 117-121

162. Бричкова Ю.В., Борило Л.Н., Пшеничникова А.В. Тонкопленочные материалы на основе оксидов элементов 1У-У группы периодической системы // Фундаментальные проблемы новых технологий 3-я Всероссийская конференция молодых ученых, Томск, 2006.- С.379-381.

163. Козик В.В., Борило Л.Н. Получение и изучение свойств тонких пленок на основе двойных оксидов 2г02-0е02 // Химия и химическая технология 2006. -Т.49 -Вып. 9-С.106-109.