Технология получения оксидных систем CeO2-SiO2 и CeO2-SnO2 в тонкопленочном и дисперсном состояниях из пленкообразующих растворов и их свойства тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.11, кандидат наук Халипова, Ольга Сергеевна

• Халипова, Ольга Сергеевна
• кандидат наук
• 2014

Оглавление диссертации кандидат наук Халипова, Ольга Сергеевна

Оглавление

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ОКСИДА ЦЕРИЯ(1У) И ОКСИДНЫХ СИСТЕМ Се02-8Ю2, Се02-8п02 В ТОНКОПЛЕНОЧНОМ И ДИСПЕРСНОМ СОСТОЯНИЯХ

1.1 Особенности тонкопленочного состояния как одного из наноразмерных состояний вещества

1.2 Получение и свойства пленок Се02, Се02-8Ю2, Се02-8п02

1.2.1 Методы получения Се02 в тонкопленочном состоянии

1.2.2 Методы получения композитных тонких пленок Се02-8Ю2 и Се02-8п02

1.2.3 Оптические свойства тонких пленок Се02, Се02-8Ю2 и Се02-8п02

1.3 Получение и свойства Се02, Се02-8Ю2, Се02-8п02 в дисперсном состоянии

1.3.1 Методы получения дисперсного Се02

1.3.2 Методы получения дисперсных композитов Се02-8Ю2 и Се02-8п02

1.3.3 Структура и свойства материалов на основе Се02, Се02-8Ю2 и Се02-8п02

1.3.3.1 Структура Се02, Се02-8Ю2 и Се02-8п02

1.3.3.2 Каталитическая активность оксида церия(1У) и оксидных систем Се02-8Ю2 и Се02-8п02

1.4 Кислородная нестехиометрия оксида церия(1У) в дисперсном и тонкопленочном состояниях

ГЛАВА 2. ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА. МЕТОДИКИ СИНТЕЗА И ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ ОКСИДНЫХ СИСТЕМ И МАТЕРИАЛОВ НА ИХ ОСНОВЕ

2.1 Методика синтеза пленок и порошков Се02, Се02-8Ю2, Се02-8п02 из ПОР

2.2 Методы исследования состава и процессов протекающих в ПОР

2.2.1 Метод вискозиметрии

2.2.2 Метод ИК спектроскопии

2.2.3 Метод УФ спектроскопии

2.2.4 Метод определения среднего размера частиц в ПОР

2.3 Методы исследования процессов формирования оксидных систем Се02-8Ю2, Се02-8п02 из ПОР

2.3.1 Метод термического анализа

2.3.2 Метод рентгенофазового анализа

2.4 Методы исследования свойств оксидов систем Се02-8Ю2, Се02-8п02 в тонкопленочном состоянии

2.4.1 Методы изучения морфологии поверхности пленок

2.4.2 Метод измерения сопротивления пленок

2.4.3 Методы изучения оптических свойств пленок

2.5 Методы исследования свойств оксидов систем Се02-8Ю2, Се02-8п02 в дисперсном состоянии

2.5.1 Методы изучения морфологии оксидов в дисперсном состоянии

2.5.2 Метод определения площади удельной поверхности и размера пор оксидов в дисперсном состоянии

2.5.3 Метод определения кислотно-основных свойств поверхности твердых тел

2.5.4 Методика исследования сорбционных свойств

2.5.5 Метод исследования каталитической активности системы Се02-8п02

Глава 3. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРОВ: СОСТАВ ПОР, СТАДИИ ПРОЦЕССОВ ИХ ФОРМИРОВАНИЯ

Глава 4. ФОРМИРОВАНИЕ ОКСИДОВ Се02 И ОКСИДНЫХ СИСТЕМ Се02-8Ю2 И Се02-8п02 ИЗ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРОВ

4.1 Термическая устойчивость ПОР на основе нитрата церия(Ш) с салициловой кислотой

4.2 Термическая устойчивость спиртовых ПОР на основе нитрата церия(Ш) и салициловой кислоты с добавками тетраэтоксисилана и хлорида олова(1У)

Глава 5. СВОЙСТВА ПЛЕНОК Се02, Се02-8Ю2 И Се02-8п02, ПОЛУЧЕННЫХ ИЗ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРОВ

5.1 Свойства пленок Се02

5.2 Свойства оксидных систем Се02-8Ю2 и Се02-8п02 в тонкопленочном состоянии

5.3 Рекомендации по практическому применению тонкопленочных материалов Се02-8п02 и Се02-8Ю2

Глава 6. СВОЙСТВА Се02 И ОКСИДНЫХ СИСТЕМ Се02-8Ю2 И Се02-8п02, ПОЛУЧЕННЫХ ИЗ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРОВ В ДИСПЕРСНОМ СОСТОЯНИИ

6.1 Свойства порошков Се02

6.2 Свойства оксидных систем Се02-8Ю2 и Се02-8п02 в дисперсном состоянии

6.3 Каталитические свойства оксидной системы Се02-8п02

Выводы

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Технология получения оксидных систем CeO2-SiO2 и CeO2-SnO2 в тонкопленочном и дисперсном состояниях из пленкообразующих растворов и их свойства»

введение

Создание новых функциональных материалов на основе оксидов металлов (катализаторов, противоэлектродов электрохромных устройств, твердооксидных топливных элементов, защитных покрытий солнечных батарей), в том числе оксида церия(1У), является перспективной областью научных исследований, соответствующей приоритетным направлениям научно-технологического развития РФ «Технологии получения и обработки функциональных наноматериалов». Широкое применение в промышленности получили композитные материалы Се02-8Ю2 и Се02-8п02 благодаря легкости перехода церия между окисленной и восстановленной формами Се3+^Се4+. Оксиды олова(1У) и кремния(1У) оказывают влияние на данное равновесие, а также повышают термическую стабильность и коэффициент пропускания в видимой области спектра оксида церия(ГУ).

Известные физические и комбинированные методы получения оксидных систем Се02-8Ю2 и Се02-8п02 в дисперсном и тонкопленочном состояниях, в основном, энергозатратны и требуют использования дорогостоящего оборудования. Предлагаемые в химических методах синтеза пленок растворы приобретают пленкообразующую способность в высокощелочной среде или при введении поверхностно-активных веществ, что не безопасно с экологической точки зрения. Существующая информация о влиянии условий синтеза и соотношения компонентов в оксидных системах Се02-8Ю2 и Се02-8п02 на их свойства противоречива и ограничена. Поэтому актуальной задачей в настоящее время является разработка новых составов пленкообразующих растворов (ПОР), установление зависимости в ряду условия синтеза из ПОР - состав, свойства поверхности оксидных систем Се02—8Ю2 и Се02—8п02 — функциональные свойства материалов на их основе и разработка технологии получения оксидных систем Се02-8Ю2 и Се02-8п02 в тонкопленочном и дисперсном состояниях с заданными свойствами.

Работа выполнена в соответствии с научным направлением кафедры неорганической химии НИ ТГУ «Создание физико-химических принципов для целенаправленного синтеза и модифицирования композиционных и наноструктурных полифункциональных материалов» в рамках работы по темплану НИР ТГУ № 1.29.09. (2008-2013 г.); и ГЗ № 1432 от 29 января 2014 г, при поддержке фонда содействия

развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере (программа «У.М.Н.И.К.» № 6540 р/8715 от 20.01.2009 и № 7450р/10262 от 29.01.2010) и гранта (стипендия Президента РФ для обучения за рубежом студентов и аспирантов российских вузов в 2012/2013 учебном году на проведение научных исследований в инженерной школе СЫгшеРапзТесЬ (г. Париж, Франция)).

Объект исследования - пленки и порошки Се02-8Ю2, Се02-8п02, полученные из ПОР.

Предмет исследования - процессы формирования порошков и пленок Се02-8Ю2 и Се02-8п02 в результате термической деструкции спиртовых ПОР на основе соли церия(Ш) и салициловой кислоты с добавками хлорида олова(1У) и тетраэтоксисилана (ТЭОС), их свойства.

Цель работы заключается в разработке технологии получения оксидных систем Се02-8Ю2 и Се02-8п02 в тонкопленочном и дисперсном состояниях из пленкообразующих растворов и установлении влияния параметров синтеза и соотношения компонентов в системе на структуру и свойства (оптические, каталитические) материалов на их основе.

Для достижения цели были поставлены следующие задачи:

- исследовать физико-химические закономерности основных стадий процессов формирования ПОР на основе Се(К03)з-С6Н40НС00Н-8пС14-С2Н50Н и Се(М03)3-С6Н40НС00Н-81(С2Н50)4-С2Н50Н, установить зависимость между составом, размером частиц в растворе и свойствами синтезируемых оксидных материалов;

- исследовать процессы термической деструкции ПОР Се(КОз)з-СбН4ОНСООН-8пС14-С2Н5ОН и Се0Юз)з-С6Н40НС00Н-81(С2Н50)4-С2Н50Н, определить основные стадии и температурные характеристики формирования оксидов Се02-8п02, Се02-8Ю2 для оптимизации режимов термообработки;

- выявить влияние технологических параметров синтеза (вязкость, состав ПОР, хотж , ^нагр., и0Хл.; состав образцов) на толщину, фазовый состав, морфологию, оптические и каталитические свойства тонкопленочных и дисперсных материалов на основе Се02-8п02, Се02-8Ю2;

- установить режимы получения каталитически активных дисперсных материалов на основе Се02-8п02, апробировать данные материалы в качестве катализаторов глубокого окисления углеводородов.

- установить режимы получения оптически прозрачных пленок на основе Се02-8Ю2 для разработки защитных покрытий солнечных батарей и исследовать их свойства. Научная новизна.

1. Установлено, что процесс формирования ПОР Се(>Юз)з-СбН4(0Н)С00Н-С2Н50Н идет за счет разрушения водородных связей между молекулами растворителя С2Н5ОН, гидролиза Се(1ЧОз)з, взаимодействия продуктов гидролиза с салициловой кислотой, электростатического взаимодействия образовавшегося нитрата гидроксосалицилата церия(Ш) с молекулами спирта, в результате чего раствор приобретает пленкообразующую способность. Введение 8пС14 вызывает незначительное разрушение межмолекулярных связей в ПОР Се(М0з)з-С6Н4(0Н)С00Н-С2Н50Н и не оказывает влияние на его пленкообразующую способность. Тогда как введение ТЭОС за счет реакции поликонденсации приводит к формированию в растворе полимерного каркаса, в результате чего пленкообразующая способность ПОР увеличивается.

2. Установлено, что добавление ТЭОС и 8пС14 в состав ПОР Се(К03)з-СбН4(0Н)С00Н-С2Н5ОН приводит к увеличению температуры его разложения с 425 °С до 600 °С. Уменьшение температуры синтеза Се02 из ПОР Се(КОз)з-С6Н4(ОН)СООН-С2Н5ОН на 100 °С по сравнению с разложением Се(К03)3 происходит за счет более низкой энергии активации процесса термолиза соединения церия(Ш) с органическим лигандом в ПОР.

3. Установлено, что увеличение содержания 8Ю2 в составе пленки Се02-8Ю2 приводит к повышению ее равномерности по толщине и росту кислородной нестехиометрии оксида церия(1У), в результате чего увеличивается прозрачность данных пленок в видимой области спектра до 90-98 %.

4. Установлено, что увеличение равномерности распределения оксидов церия(1У) и олова(1У) на носителе, достигаемое за счет использования ПОР Се(Ы03)3-С6Н4(ОН)СООН-8пС14-С2Н5ОН, способствует повышению их каталитической активности.

Практическая значимость.

1. Разработаны новые составы ПОР на основе нитрата гидроксосалицилата церия(Ш) с добавлением ТЭОС и хлорида олова(1У) для синтеза оксидов систем Се02-8п02, Се02-8Ю2 в дисперсном и тонкопленочном состояниях.

2. Разработана технология получения (параметры и схема синтеза) нанесенных на стекловолокно композиций Се02-8п02 из ПОР Се(М03)3-С6Н4(0Н)С00Н-8пС14-

С2Н5ОН, которые проявляют каталитическую активность в реакции глубокого окисления углеводородов (акт прилагается).

3. Предложена функциональная схема и параметры синтеза оптически прозрачных пленок Ce02-Si02, которые могут быть рекомендованы в качестве защитных покрытий для солнечных батарей. Полученные материалы апробированы на опытном производстве ООО УНПП «ПИК» (акт прилагается).

Апробация работы. Основные результаты работы доложены и обсуждены на международных и всероссийских конференциях, в том числе: Всероссийских с Международным участием конференциях «Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии» (Томск, 2008, 2012, 2013) и «Химия и химическая технология в XXI веке» (Томск, 2012); Всероссийских конференциях «Физика и химия высокоэнергетических систем» (Томск, 2009), «P3M-2013» (Северск, 2013) и «Исследования и достижения в области теоретической и прикладной химии» (Барнаул, 2010, 2011, 2013); XIX Менделеевском съезде по общей и прикладной химии (Волгоград, 2011), XIV международной научно-технической конференции «Наукоемкие химические технологии» (Тула, 2012), Международных конференциях стран СНГ «Золь-гель-2012» (Севастополь, Украина, 2012) и «Золь-гель-2014» (Суздаль, 2014). Основные положения, выносимые на защиту:

- роль органического лиганда (салициловой кислоты), ТЭОС и хлорида олова(ГУ) в процессах формирования ПОР Се(Ж)3)3-СбН4ОНСООН-С2Н5ОН, Ce(N03)3-C6H4OHCOOH-SnCl4-C2H5OH и Ce(N03)3-C6H40HC00H-Si(C2H50)4-C2H50H;

- основные стадии термической деструкции ПОР, энергия активации, температурные режимы формирования оксидов Ce02-Sn02, Ce02—Si02;

- зависимость оптических, каталитических и сорбционных свойств оксидных систем Ce02-Sn02, Ce02—Si02 в дисперсном и тонкопленочном состояниях от соотношения в них оксидов и параметров синтеза;

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 6 глав, выводов и списка литературы. Материал изложен на 154 страницах, включая 20 таблиц, 68 рисунков и список литературы из 246 наименований.

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 9 статей в журналах, рекомендованных ВАК РФ, входящих в базы данных Scopus и Web of Science, и 19 материалов конференций и тезисов докладов.

Глава 1. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ОКСИДА ЦЕРИЯ(1У) И ОКСИДНЫХ СИСТЕМ Се02-8Ю2, Се02-8п02 В ТОНКОПЛЕНОЧНОМ И ДИСПЕРСНОМ СОСТОЯНИЯХ

1.1 Особенности тонкопленочного состояния как одного из наноразмерных

состояний вещества

Согласно общепринятому мнению [1-4] наноматериалов - это материалы, обладающие качественно новыми физико-химическими и функциональными свойствами, размер которых хотя бы в одном измерении составляет -менее 100 нм. Данные материалы классифицируют либо по числу измерений, в которых рассматриваемый объект лежит в рамках нанодиапазона [1], либо по числу измерений, в которых объект лежит вне нанодиапазона [2, 3]. Придерживаясь второго подхода, при рассмотрении наноматериалов, выделяют:

- нульмерные структуры — наночастицы, квантовые точки, нанокристаллиты;

- одномерные структуры - нановолокна, нанотрубки, нанонити;

- двумерные структуры - наноразмерные пленки и покрытия;

- трехмерные структуры - объекты микро- и макромира, состоящие из наноразмерных частиц, нанопористые структуры.

Особое внимание в настоящее время уделяется получению и изучению свойств тонких пленок, толщина которых не превышает 1000 нм, относящихся согласно представленной выше классификации к двумерным наноматериалам. Важной составляющей при определении свойств и реакционной способности тонких пленок, как и всех нанообъектов, согласно Сергееву Г.Б. [5], являются размерные эффекты:

- внутренний (собственный) - связанный с изменением в поверхностных, объемных и химических свойствах частицы;

- внешний - связанный с воздействием внешних сил, например, изменение активности наночастиц за счет взаимодействия с адсорбируемым реагентом [5].

Основную роль играют внутренние эффекты. С уменьшением размера наночастиц растет доля числа атомов, находящихся на поверхности, так как количество последних определяется отношением площади поверхности частицы к ее объему. В отличие от

атомов в объеме твердого тела, у атомов на поверхности связи не насыщены (существуют не все связи с соседними атомами), в результате чего возможно возникновение искажений кристаллической решетки у поверхности [4]. Это приводит к тому, что с уменьшением размера частиц изменяются физические (механические, электрические, магнитные, кинетические фазовые превращения) свойства наноматериалов: наблюдается снижение температуры фазовых превращений и теплопроводности, рост электросопротивления, твердости и износостойкости [3]. Кроме того, развитая поверхность наночастиц, наличие структурных дефектов и координационно-ненасыщенных атомов определяет их высокую реакционную способность по сравнению с веществами в компактном состоянии [1].

Отличительная черта тонких пленок, по сравнению с трехмерными наноматериалами, заключается в том, что их свойства определяются в основном состоянием поверхностных атомов. Именно поэтому при рассмотрении свойств пленок столь важное значение приобретает такой размерный фактор, как толщина пленок, определяющая отношение площади удельной поверхности к объему твердого тела [6], т.е. долю поверхностного слоя пленки по сравнению со слоями в объеме. Как и в случае наночастиц, состояние поверхности пленки определяет ее реакционную способность [1]. В работе [7] показано, что, когда значение толщины пленок снижается до значения длины свободного пробега электрона, наблюдается уменьшение их проводимости, что связано с рассеиванием электронов по поверхности. Так, при изучении пленок БпОг, полученных на кремниевых подложках, авторами работы [8] установлено, что сопротивление пленок практически не зависит от их толщины в диапазоне от 80 до 400 нм, тогда как при толщине 40 нм сопротивление пленок резко возрастает (в ~10 раз) (рисунок 1.1 а).

10

1,0

сЗ 0,1

0

-о

1 I ■

1 * ■_■ ■ 1 ' ■ ■ » * ■ ■ ■ ■

100 200 300 400

70 60 50 40 30 20 10 0

О 100 200 300 400 Толщина пленок, нм

Толщина пленок, нм

Рисунок 1.1 - Сопротивление (а) и газовая чувствительность (б) пленок БпОг [8]

Это может быть связано с размерным эффектом. В ходе исследования газовой чувствительности пленок оксида олова(1У) к N02 в атмосфере воздуха при температуре 350 °С авторами данной работы отмечено, что отклик пленок в газовой среде увеличивается с уменьшением их толщины (рисунок 1.1 б).

Таким образом, тонкие пленки, являясь наноматериалами, подчиняются влиянию размерного фактора. Большая площадь значения поверхности по сравнению с объемом твердого тела в пленках, по сравнению с трехмерными наноматериалами, определяет их особые физико-химических и функциональных свойства.

1.2 Получение и свойства пленок Се02, Се02-8Ю2, Се02-8п02 1.2.1 Методы получения Се02 в тонкопленочном состоянии

В настоящее время разработано множество методов синтеза Се02 в тонкопленочном состоянии [7-76], каждый из которых имеет достоинства и недостатки. Все методы синтеза пленок Се02, в зависимости от природы процессов, лежащих в их основе, можно разделить на три группы [6, 7, 9]: химические, физические и комбинированные (рисунок 1.2).

Классическим химическим методом получения оксидных пленок редкоземельных элементов (РЗЭ) является метод модифицирования поверхности подложки путем ее термического окисления [7], называемый также «окислением металлического зеркала». В основе данного метода лежит реакция окисления свеженанесенного на подложку слоя металлического церия в токе воздуха или сухого кислорода при нагревании. В качестве подложки используют монокристаллический кремний [10], слюдяные [11] и платиновые (Р1(111)) [12] пластины. Как отмечается авторами работы [10], окисление Се протекает в течение нескольких минут уже при 300-350 °С, однако получить пленки с воспроизводимыми параметрами в таких условиях не удается.

Напротив, в работе [13] описан синтез тонких (15 нм) пленок Се02, отличающихся равномерностью по толщине и стехиометрическим составом при 300 °С в диффузионной печи в атмосфере 02. Авторы отмечают, что качество покрытия Се02 зависит от равномерности нанесенного на подложку слоя металлического церия.

Согласно литературным данным [6, 7, 10-13] основным недостатком рассматриваемого метода является необходимость предварительного нанесения на подложки слоя церия, равномерность которого предопределяет равномерность оксидной пленки.

Рисунок 1.2 — Методы получения Се02 в тонкопленочном состоянии

Впервые осаждение оксидных пленок из растворов предложено акад. И.В. Гребенщиковым. Под его руководством получены кремнеземные пленки из раствора тетраэтоксисилана [14]. Позднее данный метод применен для синтеза пленок Ce02-Si02- Так, в работе [15] показано, что пленки Ce02-Si02, с содержанием оксида церия(1У) 25^49 вес. % и толщиной менее 180 нм, получены разложением при 200500 °С полимерной пленки, образованной в результате нанесения на подложку спиртового пленкообразующего раствора (ПОР) на основе Ce(N03)3 и тетраэтоксисилана методом центрифугирования.

При выборе пленкообразующих веществ опираются на ряд требований, предложенных Н.В. Суйковской [14]:

- растворение в различных органических полярных жидкостях;

- легкий гидролиз в присутствии небольшого количества воды;

- распад в процессе гидролиза на летучие продукты гидролиза и нерастворимую часть;

- обеспечение адгезии пленок с поверхностью носителя (возможно за счет наличия в

пленкообразующем веществе (ПОВ) функциональных групп ОН- С1-, 1ЧН2- и др.). Данные требования выполнимы при правильном выборе растворителя. Так, например, использование ацетона или этилового спирта с небольшим содержанием воды (4— 6 масс. %), характеризующихся хорошей смачиваемостью поверхности твердотельных подложек и низкой температурой испарения (Т^п. = 56,1 и 78,3 °С, соответственно), предотвращает агломерацию частиц в ПОР и способствует протеканию реакций диссоциации и гидролиза ПОВ [14, 18]. За счет оптимального соотношения компонентов в растворе достигается необходимое значение вязкости, раствор приобретает пленкообразующую способность и, прочно связываясь с подложкой, образует однородную пленку в тонком слое [7]. Последующая термическая обработка ПОР на подложке приводит к образованию оксидов РЗЭ в результате разложения промежуточных продуктов гидролиза ПОВ и удаления органических остатков.

Для нанесения ПОР на подложку применяют способ центрифугирования, заключающийся в нанесении определенного количества ПОР на быстро вращающуюся подложку с последующим его перераспределением по всей ее площади за счет центробежных сил, и способ вытягивания, основанный на медленном погружении и вытягивании подложки из раствора. В отличие от центрифугирования, способ вытягивания позволяет получать двухсторонние покрытия на подложках сложных форм. Пленки Се02 из ПОР могут быть получены на стеклянных [19], никелевых [20-23] и др. подложках. На основании литературных данных [19-28] нами предложена обобщенная схема получения пленок методом осаждения из ПОР (рисунок 1.3).

В качестве ПОВ применяют как соли церия(Ш, IV) с кислотным остатком органической кислоты, так и соли с кислотным остатком неорганической кислоты: 2,4-пентадионат церия(Ш) [24], ацетат церия(Ш) [20], 2-этилгексаноата церия(Ш) [25], нитрат церия(Ш), хлорид церия(Ш) [26, 19, 21], нитрат аммония церия(^) [27] и др. В работе [16] показано, что при использовании оксалатов РЗЭ возможно получать пленки, состоящие из агрегатов 100 нм [16], при использовании алкоголятов РЗЭ —5 нм [17]. В качестве растворителей в работах в основном используются спирты: этиловый, метиловый или бутиловый.

Авторами работы [19] показана возможность получения пленок Се02 толщиной 300 нм термической обработкой при 500 °С 5 минут нанесенного центрифугированием

ПОР на основе СеС13 и лимонной кислотой. Отмечается, что увеличение количества органического лиганда в 2 раза приводит к росту толщины покрытий до 1 мкм. Пленки Се02 толщиной 50 нм получают из ПОР на основе Се(Ж)3)3 с ацетилацетоном [26]. Термическую обработку пленок проводят в атмосфере аргона с 4 % Н2 при 600-1000 °С [26]. Термическую обработку в атмосфере Аг-4 % Н2 проводят для предотвращения окисления № подложек [25, 21, 24].

Рисунок 1.3 — Схема получения пленок Се02 из ПОР

Метод осаждения пленок из ПОР имеет множество достоинств: отсутствие необходимости использования дорогостоящего оборудования и создания вакуума; возможность нанесения двустороннего покрытия на подложку сложной формы из ПОР при комнатной температуре; большое число параметров синтеза (время созревания, осаждения и термической обработки ПОР, скорость его нанесения на подложку и отжига, температура обработки), позволяющих варьировать свойствами получаемых пленок. Предлагаемые в настоящее время способы синтеза пленок Се02, заключающиеся в приготовлении ПОР из предварительно осажденных частиц оксида, усложняют данный метод, а стабилизация реологических свойств ПОР путем введения в их состав токсичных поверхностно-активных веществ ((ПАВ): диэтаноламин [27],

ацетилацетон [26] и др. (рисунок 1.3)) - является небезопасной с экологической точки зрения.

Метод синтеза пленок Се02 путем термического испарения в вакууме

заключается в нагревании испаряемого вещества (ИВ) в вакууме до определенной температуры, его переносе к более холодной подложке и последующей конденсации на ней [7, 9]. В зависимости от способа нагревания данный метод разделяют на 4 вида:

- резистивное испарение, когда нагревание ИВ осуществляется при помощи специального нагревателя-испарителя с омическим нагревом [9].

- взрывное испарение или метод «вспышки», когда нагревание небольшого количества ИВ происходит мгновенно при его попадании на поверхность испарителя, нагретого электрическим током до температуры испарения летучего вещества [9, 13]

- электронно-лучевое испарение, когда локальный нагрев ИВ, закрепленного на поверхности анода, осуществляется путем бомбардировки электронными лучами, эмитируемыми накаленной нитью катода [29-36].

- лазерное испарение, когда локальный нагрев ИВ осуществляется под воздействием лазерного излучения [37^17].

Методом резистивного и взрывного испарения получение пленок осуществляется непосредственно из порошка Се02. Так, в работе [9] описан метод резистивного испарения порошка Се02 из Та- и \¥-ленточных испарителей (Р = Ю-2 Па; Тиспар = 16001800 °С; скорости испарения 0,1-5 нм/с, Тподлж = 100-150 °С). Полученные образцы представляют собой аморфные пленки Се02 нестехиометрического состава. Недостатком данного метода является взаимодействие ИВ с материалом испарителя при длительном нагреве. Данный недостаток устраняется при синтезе пленок методом «вспышки». В работе [13] 200-500 нм пленки Се02 получены на монокристаллическом кремнии испарением в вакууме 10_3—10-2 Па при Тподлж. = 175-300 °С. Несмотря на хорошую воспроизводимость свойств пленок метод не находит широкого применения из-за трудностей выбора материала испарителя с Тразлж > 2000 °С, невзаимодействующего с ИВ и поддержания постоянным значения Тподлж [9].

В отличие от рассмотренных выше методов при е-лучевом и лазерном испарениях для предотвращения электролизации отдельных частиц требуется предварительная подготовка ИВ: прессование порошка Се02 под давлением с последующим прокаливанием на воздухе 1-5 ч при 1400-1500 °С [29, 40] или 6 ч при 160 °С [42]. В

методе е-лучевого изменения скорости осаждения, давление и температура подложки оказывают влияние на свойства оксидных пленок. При скорости осаждения 0,010,05 нм/с и давлении 10"6 Topp на кремниевых подложках образуются поликристаллические пленки Се02 [30]. При скорости 0,05-0,4 нм/с формируются пленки с более низкой кристалличность и высокой дефектностью Се(Э2 по кислороду [31, 32]. Увеличение ТП0Длж. от 25 до 400 °С приводит к росту кристаллитов оксида церия(1У) от 3 до 25 нм, вследствие их спекания [36].

Так как источник электронов находится в непосредственной близости от ИВ, то в ходе электронно-лучевого испарения возможна частичная ионизация молекулярного потока ИВ и его реагирование с материалом катода, что приводит к снижению воспроизводимости свойств пленок [9]. С целью устранения данного недостатка в ряде работ [29, 33-35] предлагается проводить обработку пленок в ходе синтеза ионными пучками Аг+ [29] и/или 02+[35]. Авторы отмечают, что в результате этого увеличивается компактность полученных пленок и уменьшается размер кристаллитов Се02. При проведении лазерного испарения в основном используют KrF (с длиной волны (X.) 248 нм) [38, 40, 41, 44, 45, 47]; ХеС1 (к = 308 нм) [39, 46], Nd:Y3Al50i2 (YAG) (X, = 266 нм) [43] лазеры. Скорость осаждения пленок при лазерном испарении ниже, чем при е-лучевом испарении, и составляет 0,005-0,08 нм/с. Авторами работы [38] установлено, что снижение скорости осаждения (лазер - KrF, Тподлж = 700 °С, Р(02) = 700 Topp) от 0,03-0,07 нм/с до 0,017 нм/с приводит к снижению толщины пленок Се02 с 90 до 40 нм. Структуру пленок определяет давление 02: недостаточное давление (менее 810_2мбар) может привести к формированию аморфных пленок [41]. Как и в случае электронно-лучевого испарения, увеличение Тподлж от 25 до 700 °С в ходе лазерного осаждения пленок Се02 приводит к росту размера их кристаллита от 17 до 52 нм, и как следствие возрастанию толщины с 220 до 270 нм [40].

Метод получения пленок термическим испарением в вакууме является сложным с точки зрения осуществления технологического процесса: требуется создание вакуума, дорогостоящее оборудование, нагреватели из специального материала, поддержание температуры подложки. Несмотря на необходимость осуществления подготовки ИВ (прессование в таблетки) наиболее распространены методы лазерного и е-лучевого испарения благодаря тому, что исключают взаимодействие ИВ с материалом испарителя и как следствие загрязнение пленок.

Среди плазменных технологий получения тонких пленок Се02 используют высокочастотное (ВЧ) (<50 МГц) и радиочастотное (РЧ) (-13,56 мГц) магнетронные распыления [7]. В основе магнетронного распыления лежит бомбардировка мишени ИВ высокоэнергетическими ионами из плазмы, формируемыми в рабочем газе газовым разрядом, который возникает при подаче напряжения между термокатодом и анодом. Удерживание образуемых в тлеющем разряде электронов магнитным полем приводит к росту концентрации ионов в плазме и тем самым способствует увеличению скорости осаждения пленок. Для осуществления распыления, как и в случае лазерного испарения, необходимо предварительное таблетирование ИВ. Получение пленок оксида церия(1У) методом ВЧ магнетронного распыления керамической мишени Се02 в атмосфере чистого кислорода описано в работе [48]. Хотя данные о свойствах синтезируемых пленок не представлены, авторами установлено, что температура подложки оказывает влияние на их ориентацию: пленки с постоянной ориентацией, изготавливаемые в качестве буферного подслоя для высокотемпературных сверхпроводников (ВТСП), формируются при Тподлж > 870 °С. Атмосфера и давление газов не оказывают влияния на состав оксида, как показано в работе [49], при получении пленок диоксида церия толщиной 40 нм стадийным распылением мишени Се02 в токе аргона и смеси аргона с кислородом. В настоящее время многие ученые [50-58] занимаются развитием метода РЧ магнетронного распыления. Распыление мишени Се02 проводят в токе 02 [50, 57] Ar [58] или же смеси 02/Аг [51, 55-57] при давлении ниже Ю^1 Па с нагреванием подложки или отжигом пленок после осаждения. Данным методом получают пленки Се02 разной толщины: 200 нм (Р = Ю-4 Па; в токе 02/Аг; Тподлж. = 600 °С [53]) и 0,3-10 нм (Р = 10 Па; в токе 02/Аг; Тподлж = 735 °С [54]). Пленки, полученные магнетронным распылением, характеризуются большей адгезией, чем пленки, осажденные методом термического испарения в вакууме при равных скоростях напыления, в результате более высокой энергии конденсируемых на подложке частиц, за счет которой они не осаждаются, а внедряются в структуру подложки. Таким образом, магнетронное распыление позволяет с высокой скоростью получать пленки Се02 стехиометрического состава с контролируемой толщиной и высокой адгезией к подложке. Однако необходимость применения дорогостоящего оборудования и высокие энергетические затраты являются недостатками этого метода.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Халипова, Ольга Сергеевна, 2014 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. Жабрев В.А. Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В.А. Жабрев, В.Т. Калинников, В.И. Марголин, А.И. Николаев, В.А. Тупик. - СПб.: ЭЛМОР, 2012.-328 с.

2. Третьяков Ю.Д. Основные направления фундаментальных и ориентированных исследований в области наноматериалов / Ю.Д. Третьяков, Е.А. Гудилин // Успехи химии. - 2009. - Т. 78 (9). - С. 865-888.

3. Азаренков H.A. Основы нанотехнологий и наноматериалов: учебное пособие / H.A. Азаренков, A.A. Веревкин, Т.П. Ковтун. - Харьков: Харьков, нац. ун-т имени В. Н. Каразина, 2009. - 69 с.

4. Балоян Б.М. Наноматериалы. Классификация, особенности свойств, применение и технологии получения: учебное пособие / Б.М. Балоян, А.Г. Колмаков, М.И. Алымов, A.M. Кротов. - М.: 2007. - 125 с.

5. Сергеев Г.Б. Размерные эффекты в нанохимии / Г. Б.Сергеев // Российский химический журнал (Ж. Рос. хим. об-ва им. Д.И.Менделеева). - 2002. - T.XLVI. -№5.-С. 22-29.

6. Серебренников В.В. Редкоземельные элементы и их соединения в электронной технике / В.В. Серебренников, Г.М. Якунина, В.В. Козик, А.Н. Сергеев. - Томск: изд-во Том. ун-та, 1979. - 143 с.

7. Верещагин В.И. Полифункциональные неорганические материалы на основе природных и искусственных соединений /' В.И. Верещагин, В.В. Козик,

B.И. Сырямкин, В.М. Погребенков, Л.П. Борило. - Томск: изд-во Том. ун-та, 2002. -359 с.

8. Takeshi Ohgakia. Synthesizing Sn02 thin films and characterizing sensing performances / Takeshi Ohgakia, Ryota Matsuoka, Ken Watanabe, Kenji Matsumoto, Yutaka Adachi, Isao Sakaguchi, Shunichi Hishita, Naoki Ohashi, Hajime Haneda // Sensors and Actuators B. - 2010. - Vol. 150. - P. 99-104.

9. Кутолин С. А. Пленочное материаловедение редкоземельных соединений/

C.А. Кутолин, Д.И. Чернобровкин. -М.: Металлургия, 1981. - 175 с.

10. Борисенко А.И. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике/ А.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Приходько, М.М. Митникова, Л.Ф. Чепик- Л.: Наука, 1972.- 114 с.

11. Murgulescu I.G. Proc. 2nd Collog. Fhin Films / I.G. Murgulescu, E. Costenu. -Budapest: 1968.-449 p.

12. Breinlich C. Growth structure and electronic properties of ultrathin cerium oxide films grown on Pt(l 11) / C. Breinlich, J.M. Essen, E. Barletta, K. Wandelt // Thin Solid Films. -2011.-Vol. 519.-P. 3752-3755.

13. Максимчук H.B. Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2010. - № 5. - 6. - С. 54-59.

14. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких пленок/ Н.В. Суйковская. -Л.: Химия, 1971.-230 с.

15. Capoomont Y., Nguyen-Van-Dang, Massenet О., Chakraverty В.К. // Solid State Communs. - 1972. - Vol. 10. - № 8. - P. 672.

16. Новиков В.В. // Вопросы радиоэлектроники, сер. ТПО. - 1971. - вып. 1. - С. 34.

17. Mazdiyasni К.С. Conferent jornecs etudes Solid, firemen devises: Discuss / K.C. Mazdiyasni, C.T. Hunch. - Paris: 1967. - 28.

18. Трушникова Л.В. Получение наноразмерных оксидов церия, меди, кобальта и никеля / Л.В. Трушникова, В.В. Соколов, В.В. Баковец, Ю.И. Веснин, Т.Д. Пивоваров // сборник второй всероссийская конференция по наноматериалам «НАНО 2007». - Новосибирск.: изд-во НГУ, 2007 - С. 248

19. Amita Verma. Effect of citric acid on properties of Ce02 films for electrochromic windows / Amita Verma, A.K. Bakhshi, S.A. Agnihotry // Solar Energy Materials and Solar Cells. - 2006. - Vol. 90. - P. 1640-1655.

20. Stewart E. Studies of solution deposited cerium oxide thin films on textured Ni-alloy substrates for YBCO superconductor / E. Stewart, M.S. Bhuiyan, S. Sathyamurthy M. Paranthaman // Materials Research Bulletin. - 2006. - Vol. 41. - P. 1063-1068.

21. Chen S. Biaxially textured Ce02 seed layers and thin films on Ni substrates by chemical solution deposition using inorganic cerium nitrate as a precursor / S. Chen, S.S. Wang, K. Shi, Q. Liu, Z. Han // Physica. - 2005. - Vol. 419. - P. 7-12.

22. Sen F. Transient thermal stress analysis of Ce02 thin films on Ni substrates using finite element methods for YBCO coated conductor / F Sen, E. Celik, M. Toparli // Materials and Design. - 2007. - Vol. 28. - P. 708-712.

23. Thuy T.T. A nitrilo-tri-acetic-acid/acetic acid route for the deposition of epitaxial cerium oxide films as high temperature superconductor buffer layers / T.T. Thuy, P. Lommens, V. Narayanan// Journal of Solid State Chemistry. -2010. - Vol. 183. -P. 2154-2160.

24. Ciontea L. Epitaxial growth of Ce02 thin films on cube textured NiW substrate using a propionate-based metalorganic deposition (MOD) method / L. Ciontea, T. Ristoiu, R.B. Mos, M. Nasui, T. Petrisor Jr., M.S. Gabor, A. Mancini, A. Rufoloni, G. Celentano, T. Petrisor // Materials Chemistry and Physics. - 2012. - Vol. 133. - P. 772-778.

25. Morlens S. Use of cerium ethylhexanoate solutions for preparation of Ce02 buffer layers by spin coating / S. Morlens, L. Ortega, B. Rousseau, S. Phok, J.L. Deschanvre, P. Chaudouet, P. Odier // Materials Science and Engineering. - 2003. - Vol. 104. - P. 185-191.

26. Du P. Microstructure and texture evolution of Ce02 buffer layers prepared via dip-coating sol-gel method on IBAD-YSZ/ Hastelloy substrates / P. Du, S.S. Wang, H. Chen, H. Chen, Z. Wang, J.C. Sun, Z. Han, W. Schmidt, H.W. Neumuller // Physica C. - 2007. -P. 580-583.

27. Nilgun Ozer Optical properties and electrochromic characterization of sol-gel deposited ceria films / Nilgun Ozer // Solar Energy Materials and Solar Cells. - 2001. - Vol. 68. -P. 391^100.

28. Cesar O. Avellaneda Optical and electrochemical properties of Ce02 thin film prepared by an alkoxide route / Cesar O. Avellaneda, Marcos A.C. Berton, Luis O.S. Bulhoes // Solar Energy Materials and Solar Cells. - 2008. - Vol. 92. - P. 240-244.

29. Гартманова M. Влияние кристаллографической структуры на электрические и механические характеристики пленок Се02, допированных Sm203 / М. Гартманова, В. Навратил, В. Буршикова, Ф. Кундрацик, К. Мансилла // Электрохимия. - 2011. -Т.47. -№ 5.-С. 539-551.

30. Zheng Zhou. Decoration with ceria nanoparticles activates inert gold island/film surfaces for the Co oxidation reaction / Zheng Zhou, Maria Flutzani-Stephanopoulos, Howard Saltburg // Journal of catalysis. - 2011. - Vol. 280. - P. 255-263.

31. Chong Geol Kim. Growth and analysis of Ce02 thin films on Si(l 11) Substrate Prepared by electron beam evaporation / Chong Geol Kim, Kwan Pyo Kim, Ju Bong Lee, Ki Pyung Han, Chong Yun Park, Hyun Duck Jang // Journal of the Korean Physical Society. - 1998. - Vol. 32. - № 1. - P. 64-70.

32. Durrani S.M.A. Carbon monoxide gas-sensing properties of electron-beam deposited cerium oxide thin films / S.M.A. Durrani, M.F. Al-Kuhaili, I.A. Bakhtari // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2008. - Vol. 134. - P. 934-939.

33. Huang M.Q. Textured Ce02 buffer layers on amorphous substrates by ion beam assisted deposition / M.Q. Huang, J. Geerk, S. Massing, O. Meyer, H. Reiner, G. Linker // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. - 1999. - Vol. 148. - P. 793797.

34. Kanakaraju S. Optical and structural properties of reactive ion beam sputter deposited Ce02 films / S. Kanakaraju, S. Mohan, A.K. Sood // Thin Solid films. - 1997. - Vol. 305. -P. 191-195.

35. Mansilla C. Structure, microstructure and optical properties of cerium oxide thin films prepared bu electron beam evaporation assisted with ion beams / C. Mansilla // Solid state Sciences. - 2009. - Vol. 11. - P. 1456-1464.

36. Anwar M.S. Study of nanocrystalline ceria thin films deposited by e-beam technique / M.S. Anwar, Shalendra Kumar, Faheem Ahmed, Nishat Arshi, Yong Jun Seo, Chan Gyu Lee, Bon Heun Koo // Current Applied physics. - 2011. - Vol. 11. - P. s301-s304.

37. Вирт И.С. Осаждение тонких пленок Bi2Te3 и Sb2Te3 методом импульсной лазерной абляции / И.С. Вирт и др. // Физика и техника полупроводников. - 2010. - Т. 44.

38. Develos K.D. Effect of deposition rate on the surface morphology of Ce02 films deposited by pulsed laser deposition / K.D. Develos, M. Kusunoki, M. Mukaids, S. Ohshima//Physica. - 1999. -Vol. 320.-P. 21-30.

39. Mei-Ya Li. Structural characteristic and the control of crystallographic orientation of Ce02 thin films prepared by laser ablation / Mei-Ya Li, Zhong-Lie Wang, Shou-Shan Fan, Qing-Tai Zhao, Guang-Cheng Xiong // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. - 1998. - Vol. 135. -P 535-539.

40. Balakrishnan G. A study of microstructural and optical properties of nanocrystalline ceria thin films prepared by pulsed laser deposition / G. Balakrishnan, S. Tripura Sundari,

P. Kuppusami, P. Chandra Mohan, M.P. Srinivasan, E. Mohandas, V. Ganesan, D. Sastikumar // Thin Solid Films. - 2011. - Vol. 519. - P. 2520-2526.

41. Trtik V. Study of the epitaxial growth of Ce02(001) on yttia-stabilized zirconia/Si(001) / V. Trtik, R. Aguiar, F. Sanchez, C. Ferrater, M. Varela // Journal of Crystal Grows. -

1998.-Vol. 192.-P. 175-184.

42. Shi D.Q. Relationship between epitaxial deposition and growth modes of Ce02 films / D.Q. Shi, M. Ionescu, T.M. Silver, S.X. Dou//Physica. -2003. -C384. - P. 475-481.

43. Cossarutto L., Ce02 thin films on Si(100) obtained by pulsed laser deposition / L. Cossarutto, N. Chaoui, E. Millon, J.F. Muller, J. Lambert, M. Alnot // Applied Surface Science. - 1998.-Vol. 126.-P. 352-355.

44. Lappalainen J. High carrier density Ce02 dielectrics - implications for MOS devices / J. Lappalainen, D. Kek, H.L. Tuller // Journal of the European Ceramic Society. - 2004. -Vol. 24.-P. 1459-1462.

45. Hirschauer B. Studies of highly oriented Ce02 films grown on Si(lll) by pulsed laser deposition / B. Hirschauer, G. Chiaia, M. Gothelid, U.O. Karlsson // Thin Solid Films. -

1999.-Vol. 348.-P. 3-7.

46. Wang R. Fabrication and characteristics of Ce02 films on Si(100) substrates by pulsed laser deposition / R. Wang, S. Pan, Y. Zhou, G. Zhou, N. Liu, K. Xie, H. Lu // Journal of Crystal Growth. - 1999. - Vol. 200. - P. 505-509.

47. Kang J. Crystal-orientation controlled epitaxial Ce02 dielectric thin films on Si(100) substrates using pulsed laser deposition / J. Kang, X. Liu, G.Lian, Z. Zhang, G. Xiong, X. Guan, R. Han, Y. Wang // Microelectronic Engineering. - 2001.- Vol. 56.-P. 191194.

48. Гольман E.K. Получение пленок оксида церия методом ВЧ магнетронного распыления / Е.К. Гольман, С.В. Разумов, А.В. Тумаркин // письма в ЖТФ. - 1999. -Т. 25.-вып. 11.-С. 47-56.

49. Бешенков В.Г. Эпитаксиальный рост Се02 на кремнии и распределение концентраций элементов на границе раздела / В.Г. Бешенков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -2008. -№9. _ С. 31-34.

50. Jung-Ho Yoo. A study on the microstructure and electrical properties of Ce02 thin films for gate dielectric application / Jung-Ho Yoo, Seok-Woo Nam, Sung-Kwan Kang, Yun-ha Jeong, Dae-Hong Ko // Microelectronic Engineering. - 2001. - Vol. 56. - P. 187-190.

51. Ha-Yong Lee. Controlling the texture of Ce02 films by room temperature RF magnetron sputtering / Ha-Yong Lee, Sun-Il Kim, Young-Pyo Hong, Young-Cheol Lee, Yong-Hwan Park, Kyung-Hyun Ko // Surface and coating technology. - 2003. - Vol. 173. -P. 224-228.

52. Han Wook Song. Characterization of Ce02 thin films as insulator of metal ferroelectric insulator semiconductor (MFSI) structures / Han Wook Song, Chang Seung Lee, Dong Goo Kim, Kwahgsoo No // Thin Solid Films. - 2000. - Vol. 368. - P. 61-66.

53. Varshney M. Swift heavy ion irradiation induced nanoparticle formation in Ce02 thin films / M. Varshney, A. Sharma, R. Kumar, K.D. Verma // Nuclear instruments and methods in physics research B. - 2011. - Vol. 269. - P. 2786-2791.

54. Linker G. The growth of ultra-thin epitaxial Ce02 films on r-plane sapphire / G. Linker, R. Smithey, J. Geerk, F. Ratzel, R. Schneider, A. Zaitsev // Thin Solid Films. - 2005. -Vol. 471. -P 320-327.

55. Jun Ho Kim. Textures of Ce02 films grown on biaxially textured Pt0j7Pd0;3 substrates / Jun Ho Kim, Jaeun Yoo, Dojun Youm // Thin Solid Films. - 1999. - Vol. 349. - P. 5660.

56. Chen M.Y. Effects of ion irradiation and annealing on optical and structural properties of Ce02 films on sapphire / M.Y. Chen, X.T. Zu, X. Xiang, H.L. Zhang // Physica B. -2007. - Vol. 389. - P 263-268.

57. Spankova M. Growth and recrystallization of Ce02 thin films deposited on R-plane sapphire by off-axis Rf sputtering / M. Spankova, I. Vavra, S. Gazi, D. Machajdik, S. Chromik, K. Frohlich, L. Hellemans, S. Benacka // Journal of Crystal Growth. - 2000. -Vol. 218,-P 287-293.

58. Soo Kiet Chuah. Effect of post-deposition annealing temperature on Ce02 thin film deposited on silicon substrate via RF magnetron sputtering technique / Soo Kiet Chuah, Kuan Yew Cheong, Zainovia Lockman, Zainuriah Hassan // Materials science in semiconductor processing.-2011.-Vol. 14.-P. 101-107.

59. Померанцева Е.А. Способы получения и функциональные свойства одномерных систем: методические материалы; под ред. акад. РАН, д.х.н., профессора Ю.Д.Третьякова [Электронный ресурс]. - М.: 2011. - 69 с. - Режим доступа: http://www.nanometer.rU/2009/ll/29/12595213427068/PROP_FILE_files_14/n_l.l.5_ Спецпрак_Получение+и+свойства+одномерных+систем.рсШ2(02)2014.

60. Zhitomirsky I. Electrolytic and electrophoretic deposition of Ce02 films /1. Zhitomirsky, A. Petric // Materials Letters. - 1999. - Vol. 40. - P. 263-268.

61. Yang L. Electrodeposition of cerium oxide films and composites / L.Yang, X. Pang, G. Fox-Rabinovich, S. Veldhuis, I. Zhitomirsky // Surface and Coatings Technology. -2011.-Vol. 206.-P. 1-7.

62. Shengyue Wang XPS studies of nanometer Ce02 thin films deposited by pulse ultrasonic spray pyrolysis / Shengyue Wang, Zhengping Qiao, Wei Wang, Yitai Qian // Journal of Alloys and Compounds. - 2000. - Vol. 305. - P. 121-124.

63. Petrova N.L. Spray-pyrolysis deposition of Ce02 thin films using citric or tartaric complexes as starting materials / N.L. Petrova, R.V. Todorovska, D.S. Todorovsky // Solid State Ionics. - 2006. - Vol. 177. - P. 613-621.

64. Idrissi B. El. Sprayed Ce02 thin films for electrochromic applications / B. El. Idrissi, M. Addou, A. Outzourhit, M. Regragui, A. Bougrine, A. Kachouane // Solar Energy Materials and Solar Cells. - 2011. - Vol. 69. - P. 1-8.

65. Patil B.B. Structural, morphological and electrical properties of spray deposited nano-crystalline Ce02 thin films / B.B. Patil, S.H. Pawar // Journal of Alloys and Compounds. -2011.-Vol. 509. -P. 414-420.

66. Харченко A.B.. Получение функциональных оксидных и фторидных пленок методом МО CSD для ВТСП кабелей второго поколения: сб. докладов X конференция молодых ученых «Актуальные проблемы неорганической химии Наноматериалы и здоровье человека» / А.В. Харченко, A.M. Макаревич, С.А. Ибрагимов. - Звенигород: 2010. - С. 27.

67. Torres-Huerta A.M. Preparation of Zn0:Ce02.x thin films by АР-MO CVD: Structural and optical properties / A.M. Torres-Huerta, M.A. Dominguer-Crespo, S.B. Brachetti-Sibaja, H. Dorantes-Rosales, M.A. Hernandez-Perez, J.A. Lois-Correa // Journal of solid state Chemistry. - 2010. - Vol. 183. - P. 2205-2217.

68. Lu Z. Crystalline quality and surface morphology of (100) Ce02 thin films grown on sapphire substrates by solid source matalorganic chemical vapor deposition / Z. Lu, R. Hiskes, S.A. DiCarolis, A.Nel, R.K. Route, R.S. Feigelson // Journal of Crystal Growth. - 1995. - Vol. 156. - P. 227-234.

69. H-G Lee. Parameters on the texture development of Ce02 films directly deposited on a Ni metal substrate by chemical vapor deposition / H-G Lee, Y-M Lee, H-S Shin, C-J Kim, G-W Hong // Materials science and engineering B. - 2002. - Vol. 90. - P. 20-24.

70. Ami T. MOCVD growth of (lOO)-oriented Ce02 thin films on hydrogen-terminated Si(100) substrates / T. Ami, M. Suzuki // Materials science and engineering - 1998. -Vol. 54.-P. 84-91.

71. Pan M. Pure and doped Ce02 thin films prepared by MOCVD process / M. Pan, G.Y. Meng, H.W. Xin, C.S. Chen, D.K. Peng, Y.S. Lin // Thin Solid films. - 1998. -Vol. 324.-P. 89-93.

72. Wang A. Buffers for high tempetature superconductor coatings. Low temperature growth of Ce02 films by metal-organic chemical vapor deposition and their implementation as buffers / A. Wang, J.A. Belot, T.J. Marks, P.R. Markworth, R. P.H. Chang, M.P. Chudzik, C.R. Kannewurf// Physica C. - 1999. - Vol. 320. - P. 154-160.

73. Lair V. Synthesis and characterization of electrodeposited samaria and samaria-doped ceria thin films / V. Lair, L.S. Zivkovic, O. Lupan, A. Ringuede // Electrochimica Acta. -2011.-Vol. 56.-P. 4638^1644.

74. Hamlaoui Y. Electrodeposition of ceria-based layers on zinc electroplated steel / Y. Hamlaoui, C. Remazeilles, M. Bordes, L. Tifouti, F. Pedraza // Corrosion Science. -2010. - Vol. 52. - P. 1020-1025.

75. Khalipova O.S. Electrochemical synthesis and characterization of Gadolinia-Doped Ceria thin films /O.S. Khalipova, V. Laira, A. Ringuede // Electrochimica Acta. - 2014. -Vol. 116.-P. 183-187;

76. Cerovic L. Electrochemical synthesis and characterization of nanorods, nanocolumnar ceria-based thin films on different glass substrates / L. Cerovic, V. Lair, O. Lupan, M. Cassir, A. Ringuede // Chemical Physics Letters. - 2010. - Vol. 494. - P. 237-242.

77. Zhu B. Transparent conducting Ce02-Si02 thin films / B. Zhu, Z. Luo, Ch. Xia // Materials Research Bulletin. - 1999. -Vol. 34.-№ 10/11.-P. 1507-1512.

78. Gupta A. Sol-gel derived cerium-oxide -silicon-oxide nanocomposite for cypermethrin detection / A. Gupta, N. Prabhakar, R. Singh, A. Kaushik, B.D. Malhotra // Thin Solid films.-2010.-Vol. 519.-P. 1122-1127.

79. M.A.C. Berton M.A.C. Thin film of Ce02-Si02: a new ion storage layer for smart windows / M.A.C. Berton, C.O. Avellaneda, L.O.S. Bulhoes // Solar Energy Materials & Solar Cells. - 2003. - Vol. 80. P. 443^149.

80. Guojia Fang. Room temperature HS sensing properties and mechanism of Ce02-Sn02 sol-gel thin films / Guojia Fang, Zuli Liu, Chuanqing Liu, Kai-lun Yao // Sensors and Actuators B. - 2000. - Vol. 66. P. 46-48.

81. Zhongwei Jiang. Highly sensitive and selective butanone sensors based on cerium-doped Sn02 thin films / Zhongwei Jiang, Zheng Guo, Bai Sun, Yong Jia, Minqiang Li, Jinhuai Liu // Sensors and Actuators.B. - 2010. - Vol. 145. - P. 667-673.

82. Shuai Chen. Photoluminescence of undoped and Ce-doped Sn02 thin films deposited by sol-gel-dip-coating method / Shuai Chen, Xiaoru Zhao, Haiyan Xie, Jinming Liu, Libing Duan, Xiaojun Ba, Jianlin Zhao // Applied Surface Science. - 2012. - Vol. 258. - C. 3255-3259.

83. Orel Z.C. Ion storage properties of Ce02 and mixed Ce02/Sn02 coatings / Z. C. Orel,

B. Orel // Journal of materials science. - 1995. - Vol. 30. - P. 2284-2290.

84. Orel Z.C. Structural and electrochemical properties of Ce02 and mixed Ce02/Sn02 / Z.C. Orel, B. Orel // Solar Energy Materials and Solar Cells. - 1996,- V.40.-C. 205-219.

85. Adriane V. Rosario Comparison of the electrochemical behavior of Ce02-Sn02 and Ce02-Ti02 electrodes produced by the Pechini method / Adriane V. Rosario, Ernesto

C. Pereira // Thin Solid Films. - 2002. - Vol. 410. - C. 1-7.

86. W.H. Koo. Song Optical properties and microstructure of Si02-Ce02 composite thin films / W.H. Koo, S.M. Jeoung, S.H. Choi, S.J. Jo, H.K. Baik, Se Jong Lee, K.M. Song // Thin Solid Films. - 2004. - Vol. 468. - P. 28-31.

87. Tomás Skála. Cerium oxide stoichiometry alteration via Sn deposition: Influence of temperature / Tomás Skála, Frantisek Sutara, Kevin C. Prince, Vladimir Matolin // Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. - 2009. - Vol. 169. - P. 2025.

88. Skoda M. Sn interaction with the Ce02(l 1 1) system: Bimetallic bonding and ceria reduction / M. Skoda, M. Cabala, V. Chab, K.C. Prince, L. Sedlacek, T. Skala, F. Sutara, V. Matolin // Applied Surface Science. - 2008. - Vol. 254. - P. 4375^1379.

89. Masek K. Sn-Ce02 thin films prepared by rf magnetron sputtering: XPS and SIMS study / K. Masek, M. Vaclavu, P. Babor, V. Matolin // Applied Surface Science. - 2009. -Vol. 255.-P. 6656-6660.

90. Tsud N. Photoemission study of the tin doped cerium oxide thin films prepared by RF magnetron sputtering / N. Tsud, T. Skala, K. Masek, P. Hanys, M. Takahashi, H. Suga, T. Mori, H. Yoshikawa, M. Yoshitake, K. Kobayashi, V. Matolin // Thin Solid Films. -2010.-Vol. 518.-P. 2206-2209.

91. Bhosale A.K. Synthesis and characterization of spray pyrolyzed nanocrystalline Si02-Ce02 thin films as passive counter electrodes / A.K. Bhosale, P.S. Shinde, N.L. Tarwal, P.M. Kadam, S.S. Mali, P.S. Patil // Solar energy Materials and solar Cells. - 2010. -Vol. 94.-P. 781-787.

92. Кузнецова C.A. Физико-химические закономерности формирования пленок оксида олова из пленкообразующих растворов: дис. ... к.х.н: 02.00.04 / Кузнецова Светлана Анатольевна. - Томск., 1998. - 126 с.

93. Noriya Izu, Sayaka Nishizaki, Toshio Itoh, MaikoNishibori, Woosuck Shin, Ichiri Matsubaras // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2009. - Vol. 136. - P. 364-370.

94. Иванов В.К. Нанокристаллический диоксид церия: синтез, структурно-чувствительные свойства и перспективные области применения / В.К. Иванов,

0.С. Полежаева, Ю.Д. Третьяков // Российский химический журнал химического общества им. Д.И. Менделеева. - М.: 2009. - T.LIII. - № 2. - С. 56-67.

95. Porqueras I. Characteristics of e-beam deposited electrochromic Ce02 thin films /

1. Porqueras, C. Person, C. Corbella, M. Vives, A. Pinyol, E. Bertran. // Solid State Ionics.-2003.-Vol. 165.-P. 131-137.

96. Шмырева A.H. Электронные сенсоры на основе наноструктурных пленок оксида церия(1У) [Электронный ресурс] / А.Н. Шмырева, А.В. Борисов, Н.В. Максимчук // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т.5. - №5-6. - С. 99-104. - Режим доступа: www. nanoRF. ru.

97. Yinzhu Jiang Changes in the structural and optical properties of Ce02 nanocrystalline films: Effect of film thickness / Yinzhu Jiang, Naoufal Bahlawane // Journal of Alloys and Compounds. - 2009. - Vol. 485. - P. L52-L55.

98. Wiktorczyk T. Preparation and optical characterization of e-beam deposited cerium oxide films / T. Wiktorczyk, P. Bieganski, E. Zielony // Optical materials. - 2012. - Vol. 34. -P. 2101-2107.

99. Соединения РЗЭ. Карбонаты, оксалаты, нитраты, титанаты: сборник; под ред. В.П. Орловский, И.Н. Чудинова. - М.: Наука, 1985. - 259 с.

100. Серебренников В.В. Курсы химии редкоземельных элементов (скандий, иттрий, лантаниды) / В.В. Серебренников. - Томск: изд-во Томск. Гос. Ун-та, 1963. - 440 с.

101. Химические свойства соединений редкоземельных элементов: сборник статей; под ред. И.В. Танаев. -М.: Наука, 1973. - 118с..

102. Штуца М.Г. Исследование свойств диоксида церия / М.Г. Штуца, A.B. Кардаполов, В.Б. Филиппов, H.A. Сысина. // Известия томского политехнического университета. -2003. - Т. 306. - № 6. - с. 94-97.

103. Трушникова Л.В. Получение наноразмерных оксидов церия, меди, кобальта и никеля / Л.В. Трушникова, В.В. Соколов, В.В. Баковец, Ю.И. Веснин, Т.Д. Пивоваров // сб. конференции. - Новосибирск: изд-во НГУ, 2007 - С. 248.

104. Полежаева О..С. Синтез нанокристаллического диоксида церия методами «мягкой химии» и изучение его структурно-чувствительных свойств: автореф. дис. ... к.х.н./ Ольга Сергеевна Полежаева. - М., 2008. - 24 с.

105. Иванов В.К. Нанокристаллический диоксид церия: свойства, получение, применение: монография / В.К. Иванов, А.Б. Щербаков, А.Е. Баранчиков, В.В. Козик- Томск: Изд-во Том. ун-та, 2013. - 284 с. (монография)

106. Иванов В.К., Фрактальная структура нанодисперсных порошков диоксида церия / В.К. Иванов, О.С. Полежаева, Г.П. Копица // Неорганические материалы - 2008. -Т. 44. -№ 3. - С. 324-330.

107. Иванов В.К. Формирование нанокристаллического диоксида церия из водно-спиртовых растворов нитрата церия(Ш) / О.С. Полежаева, Ф.Ю. Шариков, Ю.Д. Третьяков // ДАН - 2006. - Т. 411. - № 4. - С. 485^87.

108. Morris V. Comparison of the preparation of cerium oxide nanocrystallites by forward (base to acide) and reverse (acid to base) precipitation / V. Morris, P.G. Fleming, J.D. Holmes, M.A. Morris // Chem. Eng. Sci. - 2013. - Vol. 91. - P. 102-110.

109. Matijevic E. Preparation and properties of monodispersed colloidal particles of lanthanide compounds. 1. Gadolinium, europium, terbium, samarium and cerium(III) /

E. Matijevic, W.P. Hsu // J. Coll. Int. Sci. - 1987. - Vol. 118. - P. 506-522.

110. Hirano M. Hydrothermal synthesis of nanocrystalline cerium(IV) oxide powders / M. Hirano, E. Kato // J. Am. Ceram. Soc. - 1999. - Vol. 82. - P. 786-788.

111. Hirano M. Preparation of monodispersed cerium(IV) oxide particles by thermal hydrolysis: influence of the presence of urea and Gd dopping on their morphology and growth / M. Hirano, M. Inagaki // J. Mater. Chem. - 2000. - Vol. 10. - P. 473-477.

112. Wang S. Shape-controlled synthesis of Ce(0H)C03 and Ce02 microstructures / S. Wang,

F. Gu, C. Li, H. Cao // J. Cryst. Growth. - 2007. - Vol. 307. - P. 386-394.

113. Zhang D. Facile synthesis of ceria rhombic microplates / D. Zhang, L. Huang, J. Zhang , L. Shi // J. Mater. Sci. - 2008. - v. 43. - P. 5647-5650.

114. Zhang F. Ceria nanoparticles: Size, size distribution and shape / F. Zhang, Q. Jin, S.W. Chan // J. Appl. Phus. - 2004. - v. 95. - p. 4319 - 4326.

115. Zhang F. Cerium oxide nanoparticles: size-selective formation and structure analysis / Zhang F., Chan S.-W., Spanier J.E., Арак E., Jin Q., Robinson R.D., Herman I.P. // Appl. Phus. Lett. - 2002. - Vol. 80. - P. 127-129.

116. Полежаева О.С., Ярошинская Н.В., Иванов В.К.// Журнал неорганической химии. -2007.-Т. 52,-№8.-С. 1266-1271.

117. Кнотько А.В. Химия твердого тела / А.В. Кнотько., И.А. Пресняков, Ю.Д. Третьяков. - М.: академия, 2006. - 304 с.

118. Atlas of Eh-pH diagrams. Intercomparison of thermodynamic databases. Geological Survey of Japan Open File Report No.419. National Institute of Advanced Industrial Science and Technology. Research Center for Deep Geological Environments. Naoto TAKENO. May 2005, 285 стр.

119. Садыков B.A. Оксидные катализаторы: сб. лекций «Курс повышения квалификации по катализаторам и каталитическим процессам». - Новосибирск.: Изд-во ин-т катализа им. Т.К. Борескова, 2002. - С. 87-126.

120. Колько В.П. Структурное исследование высоко дисперсных диоксидов церия / В.П. Колько, Э.М. Мороз, В.В. Кривенцов, и др.// Журнал Фазовые переходы, упорядоченные состояния и новые материалы. - 2007. - С. 1

121. Пахарукова В.П. Структурные особенности оксидных медноцерийциркониевых катализаторов: автореф. дис. ...к.х.н ./ Вера Павловна Пахарукова. - Новосибирск., 2008.-20 с.

122. Тарасова Д.В. Синтез золей диоксида церия ионообменным методом / Д.В. Тарасова, Е.А. Бовина, A.M. Сергеев, // коллоидный журнал. - 2007. - Т. 69, № 2.-С. 251-255.

123. Sunisa Supakanapitak, Virote Boonamnuayvitaya, Somnuk Jarudilokkul Synthesis of nanocrystalline Ce02 particles by different emulsion methods // Materials Characterization. - 2012. - Vol. 67. - P. 83-92.

124. Иванов В.К. Структурно-чувствительные свойства и биомедицинские применения нанодисперсного диоксида церия / В.К. Иванов, А.Б. Щербаков, А.В. Усатенко // Успехи химии, 2009. - Vol. 79 (9).

125. Bumajdad A. Microemulsion-based synthesis of Ce02 powders with high surface area and high-temperature stabilities / A. Bumajdad, M.I. Zaki, J. Eastoe, L. Pasupulety // Langmuir. - 2004. - Vol. 20. - P. 11223-11233.

126. Gupta S. TEM/AFM investigation of size and surface properties of nanocrystalline ceria / S. Gupta, P. Brouwer,. S. Bandyopadhyay, S. Patil, S.Briggs, J. Jain, S. Seal.// J. Nanosci. Nanotechnol. - 2005. -Vol. 5.-P. 1101-1107 .

127. Lee J.S. Synthesis of nano-size ceria powders by two-emulsion method using sodium hydroxide / J.S. Lee, J.S. Lee, S.Ch. Choi // Mater. Lett. - 2005. - Vol. 59. - P. 395-398.

128. Chane-Ching J.Y., Chopin Т. Патент США № 5733361 Опубл. 31.03.1998.

129. Патент 5891412 США (1999).

130. Патент 5344588 США (1994).

131. Baker J.M., Morvan М., Sehgal A., Wo S. Патент США № 20060241008 Опубл. 26.10.2006.

132. Cabane В., Nabavi М. Патент США № 6033677 Опубл. 03.07.2000.

133. Perez J.M. Synthesis of biocompatible dextran-coated nanoceria with pH-dependent antioxidant properties / J.M. Perez, A. Asati, S. Nath, C. Kaittanis. // Small. - 2008. -Vol. 4.-P. 552-556.

134. Patil S. Surface-derivatized nanoceria with human carbonic anhydrase II inhibitors and fluorophores: A potential drug delivery device / S. Patil, S. Reshetnikov, M.K. Haldar et al. // J. Phys. Chem. C. - 2011. - №. 437. - №5. - P. 8437-8442.

135. Yadav T.P. Synthesis of nanocrystalline cerium oxide by hight energy ball milling / T.P. Yadav, O.N. Srivastava// Ceramics international. -2012. - Vol. 38. - P. 5783-5789.

136. T.P. Yadav, O.N. Srivastava Synthesis of nanocrystalline cerium oxide by high energy ball milling // Ceramics International - 2012. - 38. - P. 5783-5789

137. Иванов B.K. Нанокристаллический диоксид церия: синтез, структурно-чувствительные свойства и перспективные области применения / В.К. Иванов, О.С. Полежаева, Ю.Д. Третьяков// Российский химический журнал химического общества им. Д.И. Менделеева. - М.: 2009. - Т. LIII. - № 2. - с. 56-67.

138. Hirano М, Kato E.J., Mater. Sci. Lett. - 1996. - Vol. 15, p. 1249-1250.

139. Wu N.C., Shi E.W., Zhang Y.Q., Li W.J., J. Am. Ceram. Soc. - 2002. - Vol. 85., p. 2462-2468.

140. Tok A.I.Y., Boey F.Y.C., Dong Z„ Sun X.L., J. Mater. Proc. Tech. - 2007. - Vol. 190, P. 217-222.

141. Lakhwani S., Rahaman M.N., J. Mater. Res. - 1999. - Vol.14. - P. 1455-1461.

142. GaoF., lu Q., Komarneni S.J., Nanosci. Nanotech. - 2006. - Vol. 6.-P. 3812-3819.

143. Yang H. Microwave-assisted synthesis of ceria nanoparticles / H. Yang, C. Huang, A. Tang et. al. //Mat. Res. Bull. -2005. -V. 40. - P. 1690-1695.

144. Bonamartini Corradi A., Bondioli F., Ferrari A.M., Manfredini Т., Ibid. - 2006. - Vol.41. -P. 38-44.

145. Sara Samiee Effects of different precursors on size and optical properties of ceria nanoparticles prepared by microwave-assisted method / Sara Samiee, Elaheh K. Goharshadi // Materials Research Bulletin. - 2012. - Vol. 47. - P. 1089-1095.

146. Zhou Y. Electrochemical synthesis and sintering of nanocrystalline cerium (IV) oxide powders / Y. Zhou, R.J. Philips, J. Switzer // J. Am. Ceram. Soc. - 1995. - V. 78(4). - P. 981-85.

147. Седнева Т.А. Получение наноразмерного диоксида церия в электромембранном процессе / Т.А. Седнева, Э.П. Лошкин // Серия критическая технология. Мембраныю - 2008. - Т. 2(38). - С. 3-9.

148. Reddy В.М. Nanosized Ce02-Si02, Ce02-Ti02 and Ce02-Zr02 mixed oxides: influence of supporting oxide on thermal stability and oxygen storage properties of ceria / B.M. Reddy, A. Khan // Catalysis Surveys from Asia. - 2005. - 9. - P. 155-171.

149. Yu Q., Textural, structural and morphological characterizations and catalytic activity of nanosized Ce02-M0x (M = Mg2+, Al3+, Si4+) mixed oxides for CO oxidation / Q. Yu, X. Wu, Ch. Tang, L. Qi, B. Liu, F. Gao, K. Sun, L. Dong, Y. Chen // Journal of Colloid and interface Science. - 2011. - 354. - P. 341-352.

150. Lei H. Preparation of silica/ceria nano composite abrasive and its CMP behavior on hard disk substrate / H. Lei, F. Chu, B. Xiao, X. Tu, H. Xu, H. Qiu // Microelectronic Engineering - 2010 - 87. - P. 1747-1750.

151. Valinasab M., Anomalous low high transition of ceria doped Sn02 sensors exposed to synthetic automobile exhaust gas / M. Valinasab, A.A. Khodadadi, S. Mohajerzadeh, M. Khaghani // Sensors and Actuators B. - 2005. - Vol. 106. - P. 816-822.

152. Zeng Xianrong Study on ceria-modified Sn02 for CO and CH4 oxidation /Zeng Xianrong, Zhang Rongbin, Xu Xianglan, Wang Xiang // Journal of rare earths. - 2012. - Vol. 30. -№ 10.-P. 1013-1019.

153. Gambhire A.B. Synthesis and characterization of high surface area Ce02-doped Sn02 nanomaterial /А.В. Gambhire, M.K. Lande, S.B. Kalokhe, M.D. Shirsat, K.R. Patil, R.S. Gholap, B.R. Arbad // Materials Chemistry and Physics. - 2008. - Vol. 112. - P. 719722.

154. Jyothi TM Formation of anisaldehyde via hydroxymethylation of anisole over Sn02-Ce02 catalysts // Catalysis Letters. - 2000. - 64. - P. 151-155.

155. Bagal L.K. Studies on the resistive response of nickel and cerium doped Sn02 thick films to acetone vapor // Ceramics International. - 2012. - 38. - P. 6171-6179.

156. Peng Song Preparation, characterization and acetone sensing properties of Ce-doped Sn02 hollow spheres / Peng Song, Qi Wang, Zhongxi Yang // Sensors and Actuators B. -2012,- 173.-P. 839-846.

157. J. Li, Y. Hao, H. Li, M. Xia, X. Sun, L. Wang Direct synthesis of Ce02/Si02 mesostructured composite materials via sol-gel process // Microporous and Mesoporous Materials. - 2009. - 120. P. 421^125.

158. Silveira G. Electrooxidation of nitrite on a silica-cerium mixed oxide carbon paste electrode / G. Silveira, A. de Morais, P.C.M. Villis, C.M. Maraneze, Y. Gushikem, A.M.S. Lucho, F.L. Pissetti // Journal of Colloid and Interface Science. - 2012. - Vol. 369.-P. 302-308.

159. Pourfayaz F. Ceria-doped Sn02 sensor highly selective to ethanol in humid air // Sensors and Actuators B. - 2008. - Vol. 130. - P. - 625-629.

160. Pouretedal H.R., Photocatalytic activity of mixture of Zr02/Sn02, Zr02/Ce02 and Sn02/Ce02 nanoparticles // Journal of Alloys and Compounds. - 2012. - 513. P. 359364.

161. Suzana Mihaiu Sn02 and Ce02-doped Sn02 materials obtained by sol-gel alkoxide route / Suzana Mihaiu, Liana Marta, Maria Zaharescu // Journal of the European Ceramic Society.-2007.-27.-P. 551-555.

162. Pourfayaz F. Ce02 doped Sn02 sensor selective to ethanol in presence of CO, LPG and CH4 / F. Pourfayaz, Y. Mortazavi, A. Khodadadi, S.S. Mohajerzadeh // Sensors and Actuators B. - 2005. - 108. - P. 172-176.

163. Wu Shide Synthesis and photocatalytic property of Ce-doped Sn02 / Wu Shide, Li Chao, Wei Wei, Wang Huanxin, Zhu Youqi, Song Yanliang // Journal of rare earths. - 2010. -Vol. 28.-P. 16-18.

164. Wang Azelee Investigation of the Pore Texture of Sn02-Ce02 composite oxides / Wang Azelee, Philip G. Harrison // Journal of Sol-Gel Science and technology. - 1997. -Vol. 9.-P. 41-52.

165. Deflorian F. Evaluation of mechanically treated cerium(IV) oxides as corrosion inhibitors for galvanized steel / F. Deflorian, M. Fedel, S. Rossi, P. Kamarchik // Electrochimica Acta.-2011.-Vol. 56.-P. 7833-7844.

166. Lopez I. The synthesis of high surface area cerium oxide and cerium oxide/silica nanocomposites by the silica aquagel-confined co-precipitation technique / I. Lopez, T. Valdes-Solis, G. Marban // Microporous and Mesoporous Materials. - 2010. -Vol. 127.-P. 198-204.

167. Reddy B.M., Gunugunuri К. Reddy, Lakshmi Katta Structural characterization and dehydration activity of Ce02-Si02 and Ce02-Zr02 mixed oxides prepared by a rapid microwave-assisted combustion synthesis method / Benjaram M. Reddy, Gunugunuri K. Reddy, Lakshmi Katta // Joutnal of Molecular Catalysis A: Chemical. - 2010. - Vol. 319. -P. 52-57.

168. Dejun Liu Gas sensing mechanism and properties of Ce-doped Sn02 sensors for volatile organic compounds / Dejun Liu, Tianmo Liu, Hejing Zhang, Chengling Lv, Wen Zeng, Jianyue Zhang // Materials Science in Semiconductor Processing - 2012. - Vol. 15. - P. 438-444.

169. Corma A. Synthesis and catalytic properties of thermally and hydrothermally stable, high-surface-area Ce02-Si02 mesostructured composite materials and their application for the removal of sulfur compounds from gasoline / A. Corma, J.Y. Chane-Ching, M. Airiau, C. Martinez // Journal of Catalysis. - 2004. - Vol. 224. - P. 441^148.

170. Gunko V.M. Structural characteristics of mixed oxides M0x/Si02 affecting photocatalytic decomposition of methylene blue / V.M. Gunko, J.P. Blitz, B. Bandaranayake, E.M. Pakhlov, V.I. Zarkov et. all. // Applied Surface Science. - 2012. -Vol. 258.-P. 6288-6296.

171. Леонов А.И. Высокотемпературная химия кислородных соединений церия / А.И. Леонов. - Л.: изд-во «Наука». - 1969. - 201 с.

172. Ормонт Б.Ф. Структуры неорганических веществ / . Б.Ф. Ормонт. - Л.: 1950. -454 с.

173. Загайнов И.В. Синтез и каталитические свойства мезопористых наноматериалов на основе Се02: дис....к.х.н. -М.: 2013. - 139 с.

174. Урусов В. С. Теоретическая кристаллохимия, -М.: Изд-во МГУ, 1987. - 275 с.

175. Z.W. Jiang, Z. Guo, В. Sun, Y. Jia, M.Q. Li, J.H. Lui // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2010. - Vol. 145. - P. 667-673.

176. Jingjie Lui Low-temperature Co oxidation over Cu0-Ce02/Si02 catalysts: Effect of Ce02 content and carrier porosity / Jingjie Lui, Wei Chu, Huiyuan Xu, Chengfa Jiang, Tao // Journal of natural gas chemistry. - 2010. - Vol. 19. - P. 355-361.

177. Mei-Na Guo Nano-sized Ce02 with extra-high surface area and its activity for CO oxidation / Mei-Na Guo, Cun-Xia Guo, Ling-Yun Jin, Yue-Juan Wang, Ji-Qing Lu, Meng-Fei Luo // Materials Letters. - 2010. - Vol. 64. - P. 1638-1640.

178. Славинская E.M. Синтез и физико-химическое исследование Pd-Ce оксидных катализаторов низкотемпературного окисления мнооксида углерода / Е.М. Славинская, А.И. Воронин, И.Г. Данилова и др. // Кинетика и катализ. - 2009. - Т. 50ю - № 6. - С. 853-857.

179. Пат.2404854 Российская Федерация, МПК B01J23/00, B01J37/03, B01J37/04. Способ получения термически стабильного катализатора полного окисления углеводородов и моноокиси углерода/ Галанов С.И., Сидорова О.И.. Мутас И.Н., Попов В.Н., Дунаевский Г.Е., Борило Л.П.. Козик В.В.; заявитель и патентообладатель Томский гос. ун-т. - опубликован 27. 11.2010. - 8 с.

180. Sun Mingjuan Effect of structure of Ce0HC03 Precursor of Ce02 on its Catalytic performance / Sun Mingjuan, Zou Guojun, Xu Shan, Wang Xiaolai // Chinese journal of Catalysis.-2012.-Vol. 33.-P. 1318-1325.

181. Крылов O.B. Гетерогенный катализ: учеб. пособие для вузов/ О.В. Крылов. - М.: Академкнига, 2004. — 679 с.

182. William С. Investigation of the structure and activity of V0x/Ce02/Si02 catalysts for methanol oxidation to formaldehyde / William C. Vining, Jennifer Strunk, Alexis T. Bell // Journal of catalysis.- 2012. -Vol. 285. -P. 160-167.

183. Deshpande S., Patil S., Kuchibhatla S., Appl. Phys. Lett. 87 (2005) 133113.

184. Kosacki I. Raman scattering and lattice defects in nanocrystalline Ce02 thin films / // Solid State Ionics. - 2002. - Vol. 149. - P. 99-105.

185. Shengyue Wang Study of the Raman spectrum of Ce02 nanometer thin films / Shengyue Wang, Wei Wang, JianZuo, YitaiQian // Materials Chemistry and physics. - 2001. - 68. -P. 246-248.

186. Graham G.W. Empirical-method for determining Ce02 -particle size in catalysts by raman-spectroscopy / G.W. Graham, W.H. Weber, C.R. Peters, R. Usmen // J. Catal. -1991.-Vol. 130.-P. 310-313.

187. Weber W.H. Raman - study of Ce02 -2nd-order scattering, lattice-dynamics, and particle-size effects / W.H. Weber, K.S. Hass, J.R. McBride // Phus. Rev. - 1993. - B. 48. -P. 178-185.

188. Spanier J.E. Size-dependent properties of Ce02_y nanaoparticles as studied by Raman scattering / J.E. Spanier, R.D. Robinson, F. Zhang et al // Phys. Rev. B. - 2001. - Vol. 64.-P. 245407.

189. Иванов B.K. Кислородная нестехиометрия нанокристаллического диоксида церия /

B.К. Иванов, А.Е.Баранчиков, О.С. Полежаева, Г.П. Копица, Ю.Д. Третьяков // Журнал неорганической химии. - 2010. - Т. 55. - №3. - С. 364-367.

190. Wu L.J. Oxidation state and lattice expansion of Ce02.x nanoparticles as a function of particle size / L.J. Wu, H.J. Wiesmann, A.R. Moodenbaugh et al // Phys. Rev. B. - 2004. -Vol. 69.-P. 125415

191. Deshpande S. Size dependency variation in lattice parameter and valency states in nanocrystalline cerium oxide / S. Deshpande, S. Patil, S.V.N.T. Kuchibhala, S. Seal // Appl. Phys. 2005.-Vol. 87.-P. 133113.

192. Kar S. Direct room temperature synthesis of valence state engineered ultra-small ceria nanoparticles: Investigation on the role of ethylenediamine as a capping agent / S. Kar,

C. Patel, S. Santra // J. Phys. Chem. C. - 2009 - Vol. 113. - P. 4862-4867.

193. Paun C. Polyhedral Ce02 nanoparticlesA size-dependent geometrical and electronic structure / C. Paun, O.V. Safonova, J. Szlachetco et al // J. Phys. Chem. C. - 2012. -Vol. 116.-P. 7312-7317.

194. Колько В.П. Структурное исследование высокодисперсных диоксидов церия / В.П. Колько, Э.М. Морозов, В.В. Кривенцов, Д.А. Зюзин // Изв. РАН. Сер. Физ. -2007.-Т. 71 - №5. - С. 718-721.

195. Masui Т. Characterization of Cerium(IV) oxide ultrafine particles prepared using reversed micelles / T. Masui, K. Fujiwara, K. Machida, G // Cham. Mater. - 1997. - v. 9. -p. 2197-2204.

196. Yinzhu Jiang Changes in the structural and optical properties of Ce02nanacrystalline films: Effect of film thickness / Yinzhu Jiang // Journal of Alloys and compounds. -2009.-485.-P. L52-L55.

197. Эрдей-Груз Т. Явления переноса в водных растворах: пер. с англ./ Т. Эрдей-Груз; под ред. Н.С. Лидоренко, Ю.А. Мазитова. - М.: Мир, 1976. - 596 с.

198. Отрошко H.A. Вязкость растворов хлоридов кальция и никеля в метаноле в интервале температур 25-55 °С / H.A. Отрошко, О.Н. Калугин // Весник Харьковского национального университета. - 2005. - № 669. Химия. - Вып. 13(36). -С. 175-183.

199. Полуместная К.А. Оценка ион-ионных и ион-дипольных взаимодействий в кислых и щелочных растворах глицина по величинам коэффициентов уравнения Джонса-Дола / К.А. Полуместная, A.A. Федосова, О.В. обрешова // Сорбционные и хроматографические процессы. - 2008. - Т.8. - Вып. 1. - С. 123-128.

200. Попович Н.В. Особенности кинетики процесса синтеза люминесцентных материалов золь-гель методом. / Н.В. Попович, В.В. Федоров // Стекло и керамика. - 2000. - № 3. - С. 8-10.

201. Фролов Ю.Г. Курс коллойдной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы: учеб. для вузов / Ю.Г. Фролов. — М.: Химия, 1989. - 464 с.

202. Казицына Л.А. Применение УФ,ИК и ЯМР-спектроскопии в органической химии / Л.А. Казицина, Н.Б. Куплетская. - М.: Высшая школа, 1971. - 264 с.

203. Браун Д. Спектроскопия органических соединений/ Д. Браун. - М.: Мир, 1992. -300 с.

204. Накамото К. ИК-спектры и спектры KP неорганических и координационных соединений/ К. Накоамото. - М.: Мир, 1991. - 456 с.

205. Волков В.А. Коллоидная химия.(Поверхностные явления и дисперсные системы)-М.: 2001. Электронная книга [http://www.twirpx.com/file/254258/] - дата скачивания 30.06.2014.

206. Фиалко М.Б. Неизотермическая кинетика в термическом анализе / М.Б. Фиалко. -Томск: изд-во Том. ун-та. -1981.-110 с.

207. Ковба Л.М. Рентгенофазовый анализ/ Л.М. Ковба, В.К. Трунов. - М.: МГУ, 1976. -232 с.

208. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии/ В.Л. Миронов. -Нижний Новгород.: изд-во Рос. Акад. наук Инст. Физ. микроструктур, 2004. -114 с.

209. Гоулдстейн Дж. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: Книга 1. Пер. с англ. (P.C. Гвоздорев и Л.Ф. Комоловой, под ред В.И. Петрова) / Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э., -М.: Мир, 1984.-303 с.

210. Беляев А.Е. Физические методы диагностики в микро- и наноэлектронике. /

A.Е. Беляев, Н.С. Болтоыкц, Е.Ф. Венгер и др.: под общ. ред. проф. Беляева А.Е., проф. Конаковой Р.В. - Харьков: ИСМА. - 2011. - 284 с.

211. Пшеницын В.И. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях/

B.И. Пшеницын, М.И. Абаев, Н.Ю. Лызлов. - Л.: Химия, 1986. - 151 с.

212. Швец В.А., Спесивцев Е.В. Эллипсометрия. Учебно-методическое пособие к лабораторным работам / В.А. Швец , Е.В. Спесивцев - Новосибирск.: 2013. - 87 с.

213. Минакова Т.С. Адсорбционные процессы на поверхности твердых тел / Т.С. Минакова. - Томск.: Изд-во Том. ун-та, 2007. - 284 с.

214. Гошу Й.В. Изучение процесса адсорбции хрома(У1) на оксиде железа(Ш)// сб. статей 4-ой Международной конференции «Сотрудничество для решения проблемы отходов» / Гошу Й.В., Царев Ю.В., Костров В.В я тебе обязателно напишу, - Харьков:-2007. - С. 265-268.

215. Иванов Д.В. Влияние подвижности кислорода на реакционную способность перовскитов состава Lai_xSrxMn03 в реакции окисления метана / Иванов Д.В., Пинаев Л.Г., Садовская Е.М., Исупова Л.А. // кинетика и катализ. - 2011. - Т. 52. -№3. - С. 410-418.

216. Неорганическая химия: учеб для вузов Ю.Д. Третьяков [и др.]; под ред. Ю.Д. Третьякова. - М.:Химия, 2001. - 471 с.

217. Козик В.В. Синтез пленок Се02 из солей церия (III) /В.В. Козик, С.А. Кузнецова, О.С. Халипова // Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии: сб. статей Всероссийской с международным участием конф. -Томск, 2008. - Т. 2. -

C. 216-219;

218. Козик В.В. Получение тонких пленок диоксида церия из растворов салицилата церия (III) / В.В. Козик, С.А. Кузнецова, О.С. Халипова // Журнал Химическая технология. - 201 Ою - Т. 11. - вып. 4. - С. 203-208;

219. Халипова О.С. Процессы формирования пленкообразующего раствора на основе салицилата церия(Ш) / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Тезисы докладов XLVI Всероссийской конференции по проблемам математики, информатики, физики и химии. - Москва. - 2010. - С. 85-86;

220. Халипова О.С. Состав и свойства композитных пленок Ce02-Si02, полученных из пленкообразующего раствора / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Журнал неорганической химии. - 2014. - Т. 59. - № 9. - С. 1143-1147;

221. Гапоненко Н.В.// Журнал прикладной спектроскопии. - 2002. - Т. 69. - №1. С. 5-21.

222. Пичугина A.A. Синтез пленок Се02 с добавкой Si02/ A.A. Пичугина, О.С. Халипова // Химия и химическая технология в XXI веке: материалы XIII Всероссийской научно-практической конференции имени профессора Л.П. Кулева студентов и молодых ученых с международным участием. - Томск. - 2012. — Т.1. - С. 106-108;

223. Халипова О.С. Синтез и свойства пленок Ce02-Sn02 / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Журнал неорганической химии. -2013. - Т.58.-№ 8.-С.1005-1010;

224. Халипова О.С. Получение тонких пленок оксидов Sn02, ZnO, Се02 из пленкообразующих растворов / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Тезисы докладов XIX Менделеевского съезда по общей и прикладной химии. -Волгоград. - 2011. - С. 201;

225. Козик В.В. Получение тонких композитных пленок Ce02-Si02 / В.В. Козик, О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.К. Иванов, Ю.Д. Третьяков// ДАН, серия «Химия» вестник. - 2012. - Т.444. - № 3. - С. 172-175;

226. Халипова О.С. Синтез пленок Si02:Ce и Si02:Sn по золь-гель технологии / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Золь-гель-2012: тезисы второй конференции стран СНГ. - Севастополь. - 2012. - С. 122;

227. Халипова О.С. Влияние добавки тетраэтоксисилана на формирование пленкообразующего раствора соли церия(Ш) / О.С. Халипова // Полифункциональные химические материалы и технологии: материалы Общероссийской с международным участием научной конференции, посвященной 80-летию химического факультета ТГУ. - Томск. - 2012. - С. 96-98;

228. Халипова О.С. Формирование пленкообразующих растворов на основе салицилатов олова(1У) и церия(Ш) / О.С. Халипова // Химия и химическая технология в XII веке:

материалы X юбилейной научно-практической конференции студентов и аспирантов. - Томск. - 2009. - С. 79-80;

229. Халипова О.С. Влияние салициловой кислоты на процесс термолиза пленкообразующего раствора на основе нитрата церия (III) / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Ползуновский вестник. - 2011. - № 4. - С. 74-77;

230. Химическая Энциклопедия: В 5т. -М.: Советская Энциклопедия, Большая Российская энциклопедия, 1988-1998.

231. Халипова О.С Формирование Се02 при термической деструкции высушенных растворов на основе нитрата церия (III) / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Фундаментальное и прикладное материаловедение: сб. тр. VIII Международной научной школы конференции. - Барнаул. - 2011. - С. 110-115;

232. Халипова О.С. Физико-химические процессы формирования пленок Ce02-Si02 и Ce02-Sn02 / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Полифункциональные химические материалы и технологии: материалы Общероссийской с международным участием научной конференции. - Томск. - 2013. - С. 49-50;

233. Козик В.В. Влияние условий синтеза на свойства тонких пленок оксида церия(1У) /

B.В. Козик, С.А. Кузнецова, О.С. Халипова // Ползуновский вестник. - 2010. - № 3. -С. 208-211;

234. Козик В.В. Влияние условий синтеза на свойства тонких пленок Се02/ В.В. Козик,

C.А. Кузнецова, О.С. Халипова // Наука в информационном пространстве: материалы V научно-практической конференции. - Днепропетровск. - 2009. - С. 85-89;

235. Халипова О.С. Влияние морфологии поверхности на оптические свойства пленок Се02/ О.С. Халипова // Проблемы естествознания: материалы Молодежной научной конференция ТГУ. - Томск. - 2009.;

236. Козик В.В. Свойства и морфология поверхности пленок Се02 / В.В. Козик, С.А. Кузнецова, О.С. Халипова // Химия - XII век: новые технологии, новые продукты: материалы XII научно-практической конференции. - Кемерово. - 2009. -С.137-139;

237. Стоянов А.О. и др. // Методы и объекты химического анализа. 2013.Т. 8. № 3. С. 104-118.

238. Халипова О.С. Золь-гель синтез оптически прозрачных материалов на основе Се02-Si02 / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Актуальные вопросы добычи, производства и применения редкоземельных элементов в России: материалы Всероссийской конференция по редкоземельным материалам «P3M-2013». -Северск. - 2013. — С. 83.

239. Халипова О.С. оптические свойства и дефектность поверхности тонкопленочных материалов на основе Ce02-Si02 / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Золь-гель-2014: тезисы третьей конференции стран СНГ. - Суздаль. - 2014. - С. 7273;

240. Халипова О.С. Кислотные свойства поверхности нанопорошков Се02 / О.С. Халипова // Физика и химия высокоэнергетических систем: материалы V Всероссийской конференции молодых ученых. - Томск. - 2009. - С. 586-588;

241. Халипова О.С. Получение сорбентов на основе Се02 / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Наукоемкие химические технологии - 2012: тезисы докладов XIV международной научно-технической конференции. - Тула. - 2012. - С. 369;

242. Халипова О.С. Адсорбционные свойства оксида церия(1У) / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик // Ползуновский вестник. - 2013. - № 1. - С. 74-77;

243. Халипова О.С. Влияние условий синтеза на состояние поверхности оксида церия (IV) / О.С. Халипова // Ломоносов - 2011: материалы XVIII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых. - Москва.;

244. Халипова О.С. Синтез нанопорошков Се02 из высушенных растворов / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Функциональные наноматериалы в катализе и энергетике: тезисы докладов 2-й всероссийской школы конференции молодых ученых. - Екатеринбург. - 2009. - С. 32-34;

245. Халипова О.С. Синтез каталитически активных материалов Ce02/Sn02 с применением пленкообразующего раствора / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова, В.В. Козик, С.И. Галанов // Неорганические материалы. - 2013.-Т.49.-№ 7, - С. 729-732;

246. Халипова О.С. Синтез тонкопленочных материалов Ce02:Sn02 из пленкообразующего раствора / О.С. Халипова, С.А. Кузнецова // Химия под знаком «СИГМА» исследования, инновации, технологии: тр. Всероссийской научной молодежной школы - конференции. - Омск. - 2012. - С. 110—111.

«Акт о внедрении результатов научно-исследовательской (опытно-конструкторской) работы»

«УТВЕРЖДАЮ» Генеральный директор ЪОО УНПП "ПИК" Б.А. Елфимов

'«№<15» мая 2014 г.

АКТ

о внедрении результатов научно-иселе,

(онытно-конструкторскон) работы

Разработка Кафедры неорганической химии и Отдела «Новые материалы для электротехнической и химической промышленности» ФГБОУ В ПО «Национального исследовательского Томского государственного университета»

(название разработчика)

а именно защитное покрытие для солнечных батарей на основе системы оксид церия(1У) и оксид олова(1У).

(полное наименование разработки или перечня разработок)

переданная ООО УНПП «ПИК»._

(название организации (предприятия) - заказчика)

апробирована с 21.10.2013г. по 15.05.2014г. на основании соглашения о совместных

исследованиях_между_НИ_ТГУ_и_ООО_УНПП

«ПИК»._

(по хоздоговору,.госбюджету, внутриминистерскому (внутриведомственному) заказам.

договору на передачу научных достижений, договору о соцсодружестве; дата начала и окончания работы)

внедрена с 25 мая 2014 года в ООО УНПП «ПИК»_

(организация (предприятие), где внедрена(ы) разработка(и))

в составе производства миниатюрных источников света, а также защитных покрытий на поверхности стекла от ионизирующего излучения_

(наименование объекта, в состав которого вошло практическое применение вузовской разработки)

в соответствии с соглашением о совместных исследованиях между НИ ТГУ и ООО УНПП «ПИК»_

(документы, на основании которых проводилось внедрение разработки (ок) вуза,

по какому плану проводилась работа) Назначение внедренной(ых) разработки(ок): позволяет изменять положение края полосы поглощения УФ-излучения, регулировать интенсивность светопропускания в диапазоне длин волн 400-1000 им, поглощать ионизирующее излучение

(раскрыть конкретные рабочие функции внедренной разработки(ок))

Вид внедрения: опытный образец_

_(эксплуатация изделий и сооружений, изготовление продукции (серийное, уникальное, единичное

производство), выполнение производственных работ)

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ВНЕДРЕНИЯ

1. Организационно-технические преимущества: снижение себестоимости, материало- и энергозатрат на технологию нанесения покрытия на стекло; повышение надежности и экологической безопасности способа получения покрытий; улучшение эксплуатационных характеристик материалов, развитие научно-технических

исследований_

(параметры, характеризующие степень качественного улучшения функциональных или эксплуатационных

показателей по сравнению с базовым или заменяемым вариантом)

Характеристики внедренных тонкопленочных материалов _состава СеОг-ЭЮг на стекле_

Параметр Состав пленок СеОг-8Ю2(масс.%)

20 50 80

Показатель преломления п 1,62 1,55 1,48

Оптическая толщина (п с1), нм 54 47 35

Коэфф. пропускания света в диапазоне длин волн 400-1000 нм, % 85-97 93-98 96-98

2. Социальный эффект существенное улучшение потребительских свойств

(подробно раскрыть конкретный вид эффекта: охрана окружающей среды,

продукции, охраны окружающей среды, развитие науки и научных

исследований_

повышение престижа страны: совершенствование структур управления: развитие науки и научных

исследований и т.д.)

3. Экономический эффект от внедрения разработки (о к) достигнут за счет__

не_рассчитывался_______

(характеристика экономии материальных, энергетических и трудовых ресурсов, сокращение капитальных

вложений, повышение качества продукции и т.д.)

Зам. генерального директора ООО УНГТП «ПИК» -------- Сорокин

<2-

«Акт о практическом апробировании результатов НИР»

«УТВЕРЖДАЮ» щгор по НР НИ ТГУ И.В. Ивонин г«'2:2>>^ентября 2014 г.

Акт

о практическом апробировании результатов НИР № от «22» сентября 2014г.

Наименование объекта - Катализатор дожига углеводородов СЛ-Ц, на основе композиционных материалов состава 20 масс. % Се02~80 масс. % 8пО? нанесенных на поверхность стекловолокнистого носителя. Образцы предоставлены аспирантом кафедры Неорганической химии ФГАОУ ВО НИ ТГУ О.С. Халиповой.

Дата проведения испытания: с 16.09.2014 г по 19.09.2014г. Номера образцов:

№ 1- образец состава 20 Се0г-80 ЗпО? (масс. %), полученный из ПОР СеОЮУЬ-8пСЬ-СйНаОНСООН-С2НрН;

№ 2- образец состава 20 Се0?-80 8пО? (масс. %). полученный из раствора 5п(Ы02)1 и ПОР СеЖ02),-аН£0НС00Н-С2Н<0Н;

Цель отбора пробы: Измерение каталитической активности образцов процесса дожига метана.

Результаты испытаний

№ образца Наименование показателя

8уд , м/г Температура начала конверсии метана, °С Максимальное значение конверсии метана, % Скорость окисления метана при 700 °С, моль/гс Продукт реакции

1 <3 350 100 2,59-10"5 С02, Н20,

2 350 100 1,05 10"5 С02, Н20,

Зав. лаборатории каталитических исследований ФГАОУ ВО «Национального исследовательского Томского государственного университета», д.ф-м.н.

с.н.с. лаборатории каталитических исследований ФГАОУ ВО «Национального исследовательского Томского государственного университета», к.х.

.А. Курзина

С.И. Галанов