Селективное определение газов полупроводниковыми сенсорами тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.02, доктор химических наук Шапошник, Алексей Владимирович

• Шапошник, Алексей Владимирович
• доктор химических наук
• 2005

Оглавление диссертации доктор химических наук Шапошник, Алексей Владимирович

Введение.

Глава 1. Металлоксидные газовые сенсоры и их селективность (обзор литературы). ф 1.1. Полупроводниковые сенсоры.

1.2. Адсорбция на поверхности полупроводников.

1.3. Химические процессы на поверхности полупроводниковых сенсоров.

1.4. Модели газочувствительности.

1.5. Влияние природы газочувствительного слоя на селективность.

1.6. Мультисенсорные системы.

1.7. Шумы и автоколебательные процессы в полупроводниковых ® сенсорах.

1.8. Использование мембранных покрытий для повышения селективности.

1.9. Нестационарный температурный режим сенсоров.

1.10. Определение запахов полупроводниковыми сенсорами.

Глава 2. Измерительная установка и методика эксперимента.

2.1. Изготовление сенсоров.

2.2. Общее описание лабораторной установки.

2.3. Методика приготовления газовых смесей.

2.4. Определение сенсорных свойств при фиксированной температуре.

2.5. Определение сенсорных свойств при термосканировании.

2.6. Методика проведения шумовых измерений.

2.6.1. Общие положения.

2.6.2. Конструкция блока измерения шумов.

2.6.3. Конструкция измерительной ячейки.

2.6.4. Расчет спектральной плотности мощности шума.

2.6.5. Оценка погрешности измерений.

2.6.6. Выбор напряжения смещения.

2.6.7. Подготовка образцов к шумовым измерениям.

2.6.8. Методика исследования спектральных характеристик шума сенсора.

2.6.9. Методика исследования статистических характеристик шума сенсора.:.

2.6.10.Методика исследования релаксации шума.

2.6.11.Методика исследования деградации сенсора.

Глава 3. Металлоксидные газочувствительные слои.

3.1. Количественное описание сенсорных свойств.

4 3.2. Газочувствительные слои Sn02.

3.2.1. Общая характеристика Sn02, как сенсорного материала.

3.2.2. Нелегированные слои S11O2. ф 3.2.3. Газочувствительные слои SnCVPd и SnC^-Pt.

3.2.4. Газочувствительные слои SnCVAu-Cu.

3.2.5. Газочувствительные слои SnCVSb-La.

3.3. Газочувствительные слои на основе V2O5 и Nb2Os.

3.3.1. Нелегированные слои У205-ЫЬ205.

3.3.2. Газочувствительный слой X^Os-NI^Os-Pt.

3.4. Газочувствительные слои 1п20з.

3.5. Газочувствительные слои ZnO.

3.6. Селективность и стабильность сенсоров.

Глава 4. Определение газов мультисенсорными системами.

4.1. Подбор сенсоров и особенности представления результатов анализа.

4.2. Обработка данных мультисенсорных систем методом главных компонент.

4.2.1. Понятие главных компонент.

4.2.2. Вычисление главных компонент.

4.2.3. Основные свойства главных компонент.

4.2.4. Представление данных при определении газов «электронным носом» при помощи метода главных компонент.

4.3. Обработка данных с помощью искусственных нейронных сетей.

4.3.1. Нейронные сети и принципы их использования.

4.3.2. Обработка данных «электронного носа» искусственными ^ нейронными сетями.

Глава 5. Низкочастотные шумы в полупроводниковых сенсорах.

5.1. Шумы сенсоров, находящихся в эквирезистивных условиях.

5.1.1. Спектральные характеристики шума сенсоров в эквирезистивных 4 условиях.

5.1.2. Статистические характеристики шума сенсоров в эквирезистивных условиях.

Ф 5.2. Релаксация шума сенсора.

5.3. Влияние легирования на характер шума сенсора.

5.4. Шумы сенсоров, находящихся в различных газовых средах.

5.4.1. Шум сенсоров в нейтральной среде.

5.4.2. Шум сенсоров в воздушной среде.

5.4.3. Шум сенсоров в смеси воздуха с газами-восстановителями.

5.4.4. Зависимость шумовых характеристик сенсоров от концентрации газов-восстановителей.

5.4.5. Влияние хемосорбции на спектральные и статистические характеристики шума.

5.5. Автоколебательные процессы в полупроводниковых сенсорах.

5.5.1. Автоколебания в среде паров этанола.

5.5.2. Автоколебания в среде «воздух + угарный газ».

5.5.3. Термическая модель автоколебательных процессов на поверхности полупроводниковых сенсоров, легированных благородными металлами.

5.6. Селективность полупроводниковых сенсоров при одновременном определении их электрокондуктивных и шумовых характеристик.

5.7. Деградационные процессы в газовых сенсорах и их диагностика.

5.7.1. Шумы в условиях термической деградации.

5.7.2. Шумы при деградации, вызванной высокой концентрацией активного газа.

5.7.3. Шумы при деградации, вызванной протеканием автоколебательного процесса.

Глава 6. Модификация поверхности газочувствительных слоев.

6.1. Селективность сенсоров после нанесения газоразделительных покрытий.

6.1.1. Покрытия на основе полиимидов.

6.1.2. Покрытия на основе полидиметилсилоксанов.

6.1.3. Покрытия на основе NAFION (МФ4-СК).

6.1.4. Покрытия на основе полиперфторстирола и их нанесение методом поверхностной фотополимеризации.

6.1.5. Покрытия на основе тетрафторэтилена и их нанесение методами CVD.

6.1.6. Изменение характеристик сенсоров в результате нанесения мембранных покрытий.

6.2. Селективность сенсоров после нанесения порфиринов.

6.3. Определение газов «электронным носом», состоящим из однотипных сенсоров Sn02-Pd с мембранными покрытиями.

6.4. Определение газов «электронным носом», состоящим из полупроводниковых сенсоров различных типов с мембранными покрытиями.

Глава 7. Термосканирование полупроводниковых сенсоров.

7.1. Особенности динамического нагрева полупроводниковых сенсоров.

7.2. Выбор режима изменения температуры сенсора.

7.3. Определение газов в нестационарном температурном режиме.

7.4. Обработка результатов термосканирования.

Глава 8. Распознавание запахов полупроводниковыми сенсорами.

8.1. Определение запахов мультисенсорной системой.

8.2. Определение запахов термосканированием одиночного сенсора.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Селективное определение газов полупроводниковыми сенсорами»

Определение состава газовой среды является важной практической задачей. Существующие методы анализа, такие, как газовая хроматография, не позволяют решить все проблемы, связанные с необходимостью создания относительно недорогих, компактных, простых в обращении приборов, предназначенных для определения компонентов газовых сред, а также для распознавания запахов. Для решения таких проблем все чаще используют химические сенсоры - компактные устройства, в которых химические или хемосорбционные процессы приводят к появлению электрических сигналов.

Одни из самых распространенных типов химических сенсоров -полупроводниковые- металлоксидные сенсоры. Их достоинствами являются высокая чувствительность, малые размеры, экспрессность анализа. Недостаток полупроводниковых сенсоров - низкая селективность. Вследствие этого применение подобных устройств ранее ограничивалось количественным анализом однокомпонентных систем или систем, которые можно было бы условно считать однокомпонентными (например, угарный газ в воздухе). Однако в настоящее время перед сенсорикой ставятся новые задачи - сочетание качественного и количественного анализа газов или паров, а также распознавание запахов. Это связано с практическими проблемами медицины, в частности, диагностики различных форм диабета, других нарушений обмена веществ, легочных заболеваний. Селективное детектирование газов способно решить практические проблемы криминалистики, связанные с обнаружением взрывчатых, отравляющих и наркотических веществ. Высокая избирательность полупроводниковых сенсоров требуется при их использовании в «электронных носах», которые уже применяются для нужд пищевой промышленности и систем сертификации товаров.

В настоящей работе были применены различные подходы к повышению селективности полупроводниковых сенсоров - нанесение на их поверхность тонких газоразделительных покрытий, использование нестационарных температурных режимов, анализ шумовых характеристик сенсоров. Первый из использованных методов является шагом к созданию «умных» материалов, способных уверенно определять качественный состав среды. Второй метод отражает общую тенденцию физической химии постепенного ухода от идеологии равновесных процессов и повышению интереса к неравновесным и к нестационарным процессам. Особенности аналитов, проявляющиеся через их хемосорбционные и химические процессы, могут быть выявлены полнее при создании заведомо нестационарных условий, например, при варьировании состава газовой фазы, или температуры сенсора, или электрического потенциала. Наиболее эффективным методом следует считать варьирование температуры сенсора. Кинетические параметры хемосорбционных и химических процессов существенно зависят от температуры системы. Изменение температуры приводит как к изменению скоростей химических процессов, так и к смещению равновесия адсорбция-десорбция, что отражается на электрофизических характеристиках сенсора.

Сенсорные материалы обладают высокой каталитической активностью, а гетерогенные каталитические процессы окисления-восстановления нередко имеют автоколебательную кинетику. Автоколебательные процессы на каталитических поверхностях (например, на платине) были обнаружены достаточно давно, но механизм этих процессов до сих пор является предметом дискуссий. Полупроводниковые сенсоры являются исключительно удобными модельными объектами исследования автоколебательных процессов на каталитических поверхностях по целому ряду причин. Основным методом исследований таких процессов является кондуктометрия, а амплитуда колебаний электропроводности в полупроводниках несравнимо выше, чем в металлах, так как полупроводники имеют значительно меньшую концентрацию свободных носителей заряда. «Островковый» характер распределения металла-катализатора по поверхности полупроводникового сенсора позволяет обнаружить интересное явление - пространственно-временное сопряжение химических автоколебательных процессов, которое проявляется в большей или меньшей степени при изменении поверхностных концентраций реагентов и температуры катализатора. Параметры автоколебательных процессов определяются составом газовой среды, поэтому также могут быть использованы для качественного и количественного анализа.

Ранее в научных исследованиях в основном ограничивались определением средней линии показаний прибора, а отклонения от средней линии рассматривались как помеха измерениям. Однако в последнее время все чаще предпринимаются попытки придания информационной значимости флуктуациям измеряемой величины, «шуму». Полупроводниковые сенсоры являются прекрасными модельными объектами при исследовании шумов в полупроводниках. Это связано с наличием в структуре сенсоров огромного количества поверхностных состояний, способствующих генерации шума большой мощности. Таким образом, определение спектрального состава шума полупроводниковых сенсоров может привести к лучшему пониманию протекающих в сенсоре и на его поверхности физических, хемосорбционных и химических процессов.

Работа выполнялась в соответствии с координационным планом Научного Совета РАН по адсорбции и хроматографии на 2000-2004 г. (Раздел 2.15.11.5 - «Исследование механизмов газоразделения на полупроводниковых сенсорах») и планом НИР ВГАУ (Тема № 6).

Цель работы: Разработка новых методов качественного и количественного определения газов и распознавания запахов сложных объектов на основе анализа нестационарных процессов в полупроводниковых сенсорах как в стационарных условиях (установление шумовых характеристик), так и при варьировании температурного режима, а также модифицирование поверхности сенсоров полимерными газоразделительными покрытиями с целью повышения их селективности. Для достижения этой цели были поставлены следующие задачи:

1. Разработать методики получения газочувствительных слоев и нанесения на их поверхность термостойких полимерных газоразделительных покрытий. Определить оптимальные условия для работы полученных сенсоров, сочетающие долговременную стабильность с достаточно высокой чувствительностью.

2. Установить характеристики полупроводниковых сенсоров с мембранными покрытиями: чувствительность к отдельным газам, а также селективность.

3. Разработать методику получения информации о качественном и количественном составе газовых сред с помощью набора полупроводниковых сенсоров (в том числе с мембранными покрытиями) -«электронного носа». Провести эксперименты, направленные на селективное определение состава газовых систем, а также распознавание запахов сложных объектов с помощью «электронного носа».

3. Разработать методику измерения низкочастотного токового шума полупроводниковых сенсоров в широком спектральном диапазоне, при различных величинах транспортного тока, при варьировании температуры сенсора и концентраций детектируемого газа. Разработать соответствующий данной методике лабораторный измерительный комплекс.

4. Получить и проанализировать экспериментальные данные по спектральному составу и статистическим характеристикам низкочастотного шума металлоксидных сенсоров при разных температурах и концентрациях детектируемых газов. Разработать методику применения шумовых измерений для повышения селективности полупроводниковых газовых сенсоров.

5. Найти взаимосвязь между спектральным составом низкочастотного токового шума и деградационными изменениями в металлоксидных полупроводниковых сенсорах. Разработать методику диагностирования деградационных изменений в газовых сенсорах по шумовым измерениям.

6. Выявить механизмы влияния хемосорбционных и химических процессов на шум полупроводниковых сенсоров, разработать модели, описывающие данные процессы.

7. Разработать методику, позволяющую в результате периодического изменения температуры полупроводниковых сенсоров извлекать максимум информации о качественном и количественном составе газовой среды.

8. Оптимизировать методику анализа многомерных данных, полученных при использовании мультисенсорных систем, а также при термосканировании одиночного сенсора с помощью искусственных нейронных сетей.

Научная новизна. Впервые получены полупроводниковые сенсоры с газоразделительными полимерными покрытиями. Определены их сенсорные свойства по отношению к широкому кругу газов и паров. Проведен качественный и количественный анализ газов и паров с помощью «электронного носа», включающего полупроводниковые сенсоры с полимерными мембранными покрытиями. Показана возможность эффективного использования сенсоров с полимерными покрытиями для определения запахов пищевых продуктов.

Впервые определены закономерности изменения спектрального состава и статистических характеристик низкочастотного (ниже 1 Гц) шума металлоксидных пленок на основе Sn02 вследствие адсорбции активных газов. Произведены измерения спектрального состава шума сенсора в инфранизкочастотной области. Показано влияние хемосорбции на спектральную плотность мощности шума, экспериментально установлены его качественные и количественные параметры. Показано, что в суммарный шум полупроводниковой структуры вносят вклады процессы различной природы, активизирующиеся при различных внешних условиях. Предложена методика повышения селективности полупроводниковых сенсоров путем совместных измерений шумовых и электрокондуктивных параметров.

Впервые исследованы деградационные процессы в газовых сенсорах методом шумовой спектроскопии. Обнаружена связь деградационных процессов с низкочастотным шумом, которая позволяет выявлять и прогнозировать деградационные изменения в газочувствительных структурах. Предложена методика диагностики деградационных изменений в газовых сенсорах по результатам измерения их НЧ-шума.

Впервые получены и систематизированы данные по влиянию температуры среды на параметры автоколебательных процессов - период и амплитуду колебаний, а также предложена интерпретация температуры как параметра, отвечающего за пространственно-временное сопряжение макропроцесса в микрогетерогенной системе.

Термосканирование сенсоров в окислительных и нейтральных газовых средах позволило уточнить вклады различных процессов, определяющие электрокондуктивность сенсоров при различных температурах.

Практическая значимость работы.

Повышение селективности полупроводниковых сенсоров с помощью нанесения на их поверхность полимерных мембранных покрытий позволяет уверенно проводить качественное и количественное определение газов и паров. Селективные полупроводниковые сенсоры могут применяться для решения широкого круга задач медицинской диагностики (например, для определения форм диабета и легочных заболеваний) и криминалистики (поиск отравляющих, наркотических и взрывчатых веществ). Определение запаха может быть использовано при сертификации пищевых продуктов (чая, кофе, молока, соков), а также при их производстве.

Предложена методика, позволяющая увеличить объем полезной информации, полученной при термосканировании полупроводниковых сенсоров и использовать эту информацию для качественного и количественного анализа среды и для определения запахов.

Совместное проведение шумовых и электрокондуктивных измерений показало принципиальную возможность повышения селективности полупроводниковых сенсоров. Кроме того, шумовые измерения позволили оценить характерные времена хемосорбционных процессов и предложить модель автоколебательных процессов на каталитических поверхностях. Взаимосвязь деградационных процессов с генерируемым низкочастотным шумом позволяет использовать низкочастотную шумовую спектроскопию в качестве неразрушающего метода диагностики состояния газовых сенсоров.

Положения, выносимые на защиту:

Методы модифицирования газочувствительных поверхностей с целью повышения селективности полупроводниковых сенсоров, основанные на нанесении полиамидкислоты, сополимера полидиметилсилоксана-ариленсульфоноксида и перфторированного полимера МФ-4СК из растворов, полиперфторстирола поверхностной фотополимеризацией, политетрафторэтилена термическим распылением в вакууме.

Эффект повышения чувствительности сенсора после нанесения на его поверхность тонких полимерных покрытий.

Методика качественного и количественного определения состава газовой среды, а также распознавания запахов с помощью набора селективных полупроводниковых сенсоров, основанная на использовании искусственных нейронных сетей.

Модели, описывающие шумовые характеристики сенсора в газовых средах трех типов: 1) нейтральной, в которой отсутствуют процессы хемосорбции, 2) однокомпонентной, включающей вещество, способное хемосорбироваться на поверхности сенсора, 3) многокомпонентной, в которой находятся вещества, способные не только к хемосорбции, но также и к химическому окислительно-восстановительному взаимодействию на каталитической поверхности.

Методика определения качественного состава газовой среды, основанная на сопоставлении электрокондуктивных и шумовых характеристик полупроводниковых газочувствительных структур.

Неразрушающая методика диагностики состояния полупроводниковых сенсоров, использующая анализ спектрального состава шума.

Оптимизация метода определения качественного и количественного состава газовой среды при циклическом изменении температуры полупроводникового сенсора, основанная на обработке кинетических зависимостей электропроводности с помощью искусственных нейронных сетей.

Заключение диссертации по теме «Аналитическая химия», Шапошник, Алексей Владимирович

253 ВЫВОДЫ

1. Разработаны методы нанесения на поверхность газочувствительных слоев сенсора термоустойчивых полимерных покрытий, обладающих газоразделительными свойствами - полиимидов, полидиметилсилоксанов, перфторстирола и других. Среди этих методов - нанесение покрытий из раствора полимера, поверхностная фотополимеризация из газовой фазы, вакуумное термонапыление. Экспериментально определены оптимальные режимы работы сенсоров с полимерными покрытиями - при температуре 200 °С стабильность показаний сочетается с достаточно высокой чувствительностью.

2. Проведено сравнение селективности сенсоров до и после нанесения полимерных покрытий. Обнаружен эффект повышения отклика сенсора после нанесения мембранных покрытий толщиной до 150 нм. Данный эффект объясняется высокой сорбционной способностью материалов покрытий, в результате которой концентрация аналита в слое полимера превышает концентрацию аналита в газовой среде.

Разработана система, включающая сенсоры с полимерными мембранными покрытиями, позволяющая проводить качественный и количественный анализ газовых сред. Проведено селективное определение водорода, угарного газа, аммиака, ацетона, метанола, этанола и других веществ в воздухе. Использование искусственных нейронных сетей позволило эффективно обрабатывать информацию, получаемую от мультисенсорной системы.

3. Разработана методика измерения низкочастотного токового шума полупроводниковых сенсоров в широком спектральном диапазоне, при различных величинах транспортного тока, при варьировании температуры сенсора и концентраций детектируемого газа. Разработан соответствующий данной методике лабораторный измерительный комплекс.

4. Получены и проанализированы данные по спектральному составу и статистическим характеристикам низкочастотного шума металлоксидных сенсоров при разных температурах и концентрациях детектируемых газов. Показано, что мощность шума определяется различными составляющими - собственным шумом полупроводника, имеющим фликкерный характер, шумом, связанным с процессами хемосорбции и шумом, вызванным протеканием на газочувствительном слое химических процессов. Определено изменение спектрального состава низкочастотного токового шума и его статистических характеристик при деградационных изменениях в металлоксидных полупроводниковых сенсорах. Предложена модель автоколебательных процессов на поверхности, удовлетворительно согласующаяся с экспериментальными данными. Разработана методика повышения селективности сенсоров за счет одновременного определения электрокондуктивных и шумовых характеристик.

5. Определено изменение спектрального состава низкочастотного токового шума и его статистических характеристик при деградационных изменениях в металлоксидных полупроводниковых сенсорах. Показано, что понижение чувствительности сенсора сопровождается переходом шума к фликкерному виду. Разработана методику диагностирования деградационных изменений в газовых сенсорах по шумовым измерениям.

6. Оптимизированы методики анализа многомерных данных, полученных при использовании мультисенсорных систем. Получены экспериментальные данные, показывающие возможность селективного определения газов-аналитов с помощью «электронного носа», состоящего из полупроводниковых сенсоров.

7. Разработана методика, позволяющая в результате периодического изменения температуры полупроводниковых сенсоров извлекать максимум информации о качественном и количественном составе газовой среды. Проведена оценка вклада отдельных факторов, определяющих электропроводность сенсора при различных температурах.

8. «Электронный нос», а также термосканирование одиночного сенсора были успешно использованы для распознавания запахов сложных объектов - различных сортов чая, кофе, табака и молочных продуктов.

Список литературы диссертационного исследования доктор химических наук Шапошник, Алексей Владимирович, 2005 год

1. Мясников И.А. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях / И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А.Завьялов -М.: Наука, -1991. -327 с.

2. Васильев Р.Б. Неорганические структуры как материалы для газовых сенсоров / Р.Б. Васильев, Л.И. Рябова, М.Н. Румянцева, A.M. Гаськов / Успехи химии.-2004.-Т. 73, # 10.-С. 1019-1038.

3. Каттралл Р. Химические сенсоры / Р. Каттралл. М.: Научный мир, 2000.- 144 с.

4. Бутурлин А.И. Полупроводниковые датчики на основе металлоксидных полупроводниковых сенсоров / А.И. Бутурлин, Г.А. Габузян, Н.А. Голованов и др. // Зарубежная электронная техника. 1983. - № 10. - С. 318.

5. Крылов О.В. Гетерогенный катализ / О.В. Крылов М.: «Академкнига», 2004. - 679 с.

6. Becker Th. Air pollution monitoring using tin-oxide-based microreactor systems / Th. Becker, St. Muhlberger, C.B. Braumuhl / Sensors and Actuators. -2000. V. В 69. - P. 108-119.

7. Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химия поверхности полупроводников / Ф.Ф. Волькенштейн М.: «Наука», 1973. - 400 с.

8. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции / Ф.Ф. Волькенштейн М.: «Наука», 1987, -432 с.

9. Киселев В.Ф. Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках и диэлектриках / В.Ф. Киселев, О.В. Крылов М.: «Наука», 1979, - 253 с.

10. Хи С. Grain size effects on gas sensetivity of porous Sn02 based elements / C. Xu, J. Tamaki, N. Miura, N. Yamazoe // Sensors and Actuators. - 1991. - V. В, # 3. - P.147-155.

11. Yamazoe N. Effects of additivies on semiconductor gas sensors / N. Yamazoe, Y. Kurokawa, T. Seiyama // Sensors and Actuators. 1983. - V. B4. -P. 283-289.

12. Matsushima S. Electronic interaction between metal additivies and tin dioxide in tin dioxide based gas sensors / S. Matsushima, Y. Teraoka, N. Yamazoe // Japan J. Appl. Phys. - 1988. -V. 27, # 3. - P. 1798-1802.

13. Рябцев C.B. Исследование механизмов сенсибилизации допированных газовых сенсоров / С.В. Рябцев, Е.А. Тутов, А.Н. Лукин, А.В. Шапошник // Сенсор. 2001. - №1. - С. 26-30.

14. Рябцев С.В. Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно-легированных газовых сенсорах / С.В. Рябцев, Е.А. Тутов, Е.Н. Бормонтов, А.В. Шапошник // Физика и техника полупроводников. 2001. - Т. 35, № 7. - С. 869-873.

15. Barsan N. Conduction model in gas-sensing SnC>2 layers: grain-size effects and ambient atmosphere influence / N. Barsan // Sensors and Actuators. 1994. -V.B 17.-P. 241-246.

16. Ogawa H. Hall measurement studies and electrical conduction model of tin dioxide ultrafine particle films / H. Ogawa, M. Nishikawa, A. Abe // J. Appl. Phis. 1982. - V. 53, # 6. - P. 4448-4456.

17. Morrison S. Selectivity in semiconductor gas sensors / S. Morrison // Sensors and Actuators. 1987. - V. В 12. - P. 425-440.

18. Ozaki Y. Enhanced long-term stability of Sn02-based CO gas sensors modified by sulfuric acid treatment / Y. Ozaki, S. Suzuki, M. Morimitsu // Sensors and Actuators. 2000. - V. B62. - P. 220-225.

19. Yamaura H. Mechanism of sensetivity promotion in CO sensor using indium oxide and cobalt oxide / H. Yamaura, K. Moriya, N. Miura // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 65. - P. 39-41.

20. Yamaura H. Indium oxide-based gas sensor for selective detection of CO / H. Yamaura, T. Jinkawa, J. Tamaki // Sensors and Actuators. 1996. - V. В 35-36.-P. 325-332.

21. Yoon D. CO gas sensing properties of ZnO-CuO composite / D. Yoon, J. Yu, G. Choi // Sensors and Actuators. 1998. - V. В 46. - P. 15-23.

22. Comini E. Carbon monoxide responce of molybdenum oxide thin films deposited by different techniques / E. Comini, G. Faglia, G. Sberveglieri // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 68. - P. 168-174.

23. Comini E. CO sensing properties of titanium and iron nanosized thin films / E/ Comini, V. Giudi, C. Frigeri // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77. - P. 16-21.

24. Yu J. Selective gas detection of CuO- and ZnO-doped Sn02 gas sensor / J. Yu, G. Choi // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 75. - P. 56-61.

25. Ivanovskaya M. The features of thin film and ceramic sensors at the detection of CO and N02 // M. Ivanovskaya, P. Bogdanov, G. Faglia, G. Sbeveglieri // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 68. P. 344-350.

26. Lee H.-J. Enhancement of CO sensitivity of indium oxide-based semiconductor gas sensor through ultro-thin cobalt adsorption / H.-J. Lee, J.-H. Song, Y.-S. Yoon // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 79. - P. 200-205.

27. Moon W. Selective gas detection of Sn02-Zn2Sn04 composite gas sensor / W. Moon, J. Yu, G. Choi // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 80. - P. 2127.

28. Schweizer-Berberich M. The effect of Pt and Pd surface doping on the responce of nanocrystalline tin dioxide gas sensors to CO / M. Schweizer-Berberich, J.G. Zheng, U. Weimar // Sensors and Actuators. 1996. - V. В 31. -P. 71-75.

29. Cirera A. CO-CH4 selectivity enhancement by in situ Pd-catalysed microwave Sn02 nanoperticles for gas detectors using active filter / A. Cirera, A. Cabot, A. Comet // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 78. - P. 151 -160.

30. Рембеза С.И. Влияние примеси палладия на газочувствительные свойства пленок диоксида олова / С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, О.И. Борсякова, Е.С. Рембеза // Сенсор. 2001. - № 2. - С. 11-20.

31. Yamada Y. Zn-Sn-Sb-0 thin film sensor for ppm-level N02 detection / Y. Yamada, K. Yamashita, Y. Masuoka // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77.-P. 12-15.

32. Steffes H. Fabrication parameters and N02 sensitivity of reactively PF-sputtered 1П2О3 thin film / H. Steffes, C. Imawan, F. Solzbacher // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 68. - P. 249-253.

33. Curio А. 1п20з and М0О3-1П2О3 thin film semiconductor sensors: interaction with N02 and 03 / A. Curio, N. Barsan, M. Ivanovskaya // Sensors and Actuators. 1998. - V. В 47. - P. 92-99.

34. Kudo M. Sensing functions to NO and O2 of №>205- or Ta205-loaded ТЮ2 and ZnO / M. Kudo, T. Kosaka, Y. Takahashi // Sensors and Actuators. 2000. -V.B69.-P. 10-15.

35. Kim T. Sensing characteristics of dc reactive sputtered W03 thin film as an NOx gas sensor / T.S. Kim, Y.B. Kim, K.S. Yoo // Sensors and Actuators. -2000.-V. В 62.-P. 102-108.

36. Penza M. Tungsten trioxide (W03) sputtered thin films for a NOx gas sensor / M. Penza, M. Tagliente, L. Mirenghi // Sensors and Actuators. 1998. - V. В 50.-P. 9-18.

37. Penza M. NOx gas sensing characteristics of WO3 thin films activated by noble metals (Pd, Pt, Au) layers / M. Penza, C. Martucci, G. Caccano // Sensors and Actuators. 1998. V. В 50. - P. 52-59.

38. Bittencourt C. Influence of the doping method on the sensitivity of Pt-doped screen-printed Sn02 sensors / C. Bittencourt, E. Llobet, P. Ivanov // Sensors and Actuators. 2004. - V. В 97. - P. 67-73.

39. Jinkawa T. Relationship between ethanol gas sensitivity and surface catalitic property of tin oxide sensors modified with acidic or basic oxides / T. Jinkawa,

40. G. Sakai, J. Tamaki // Journal of Molecular Catalysis. 2000. - V. A 155. - P. 193-200.

41. Liu X. A novel high perfomance ethanol gas sensor based on CdO-Fe2C>3 semiconductor materials / X. Liy, Z. Xu, Y. Liu // Sensors and Actuators. V. В 52.-P. 270-273.

42. Varghese O. High ethanol sensetivity in sol-gel derived Sn02 thin films // O. Varghese, L. Malhotra, G. Sharma // Sensors and actuators. 1999. - V. В 55. -P. 161-165.

43. Ryzhikov A. Hydrogen sensitivity of Sn02 thin films doped with Pt by laser ablation / A. Ryzhikov, A. Shatokhin, F. Putilin, M. Rumyantseva, A. Gaskov // Sensors and Actuators. 2004. - V. B. - P.

44. Zhao S. Enhancement of trimethilamine sensitivity of M0CVD-Sn02 thin film gas sensor by thorium / S. Zhao, P. Wei, S. Chen // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 62. - P. 117-120.

45. Imawan C. TiOx-modified NiO thin films for H2 gas sensors: effect of TiOx-overlayer sputtering parameters / C. Imawan, F. Solzbacher, H. Steffes // Sensor and Actuators. 2000. - V. В 68. - P. 184-188.

46. Dirksen J. NiO thin-film formaldehyde gas sensor / J. Dirksen, K. Duval, T. Ring // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 80. - P. 106-115.

47. Kanazawa E. Metal oxide semiconductor N20 sensor for medical use / E. Kanazawa, G. Sakai, K. Shimanoe // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77. -P. 72-77.

48. Акимов Б.А. Сенсорные свойства по отношению к сероводороду и электропроводность поликристаллических пленок Sn02 (Си) / Акимов

49. Б.А., Албул А.В., Гаськов A.M. // Физика и техника полупроводников. -1997. Т. 31, № 4. - С. 400-404.

50. Yuanda W. Thin film sensors of Sn02-Cu0-Sn02 sandwich structure to H2S / W. Yuanda, T. Maosong, H. Xiuli // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 79. -P. 187-191.

51. Jianping L. H2S sensing properties of Sn02-based thin film / L. Jianping, W. Yue, G. Xiaoguang // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 65. - P. 111-113.

52. Rumyantseva M. Nanocomposites Sn02/Fe203: Wet chemical synthesis and nanostructure characterisation / M. Rumyantseva, V. Kovalenko, A. Gaskov // Sensors and Actuators. 2005. - V. B. - P.

53. Рембеза С.И. Особенности конструкции и технологии изготовления тонкопленочных металлоксидных интегральных сенсоров газов / С.И. Рембеза, Д.Б. Просвирин, О.Г. Викин, Г.А. Викин, В.А. Буслов, Д.Ю. Куликов // Сенсор. 2004. - № 1. - С. 21-28.

54. Рембеза С.И. Микроструктура и физические свойства тонких пленок Sn02 / С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, Е.С. Рембеза, О.И. Борсякова // Физика и техника полупроводников. 2001. - Т. 35, № 7. - С. 796-799.

55. Рембеза С.И. Исследование свойств пленок диоксида олова, полученных методами магнетронного напыления / С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, О.И. Подкопаева, Е.С. Рембеза // Известия ВУЗов. Электроника. 1999.-№ 1-2.-С. 23-26.

56. Румянцева М.Н. Легирующие примеси в нанокристаллическом диоксиде олова / М.Н. Румянцева, О.В. Сафонова, М.Н. Булова, Л.И. Рябова, A.M. Гаськов // Известия академии наук. Серия химическая. -2003.- №6. -С. 1-21.

57. Румянцева М.Н. Газочувствительные материалы на основе диоксида олова / М.Н. Румянцева, О.В. Сафонова, М.Н. Булова, Л.И. Рябова, A.M. Гаськов // Сенсор. 2003. - № 2. - С. 21 -29.

58. Васильев Р.Б. Гетероструктуры на основе нанокристаллических оксидов металлов для газовых сенсоров // Р.Б. Васильев, Л.И. Рябова, М.Н. Румянцева, A.M. Гаськов // Сенсор. 2001. - № 2. - С. 18-26.

59. Акимов Б.А. Проводимость структур на основе легированных нанокристаллических пленок Sn02 с золотыми контактами / Б.А. Акимов, A.M. Гаськов, М. Лабо // Физика и техника полупроводников. 1999. -Т. 33,№2.-С. 205-207.

60. Гаськов A.M. Выбор материалов для твердотельных газовых сенсоров / A.M. Гаськов, М.Н. Румянцева // Неорганические материалы. 2000. - № 3. -С. 369-378.

61. Рембеза С.И. Нужен ли человечеству искусственный нос? / С.И. Рембеза // Природа. 2005. - № 2. - С. 5-12.

62. Hahn S. Investigation of СО/СН4 mixture measured with differently doped Sn02 sensors / S. Hahn, N. Barsan, U. Weimar // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 78.-P. 64-68.

63. Marquis B. A semiconductor metal oxide sensor array for the detection of NOx and NH3 / B. Marquis, J. Vetelino // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77.-P. 100-110.

64. Lim J.-W. Heating power-controlled micro-gas sensor array / J.-W. Lim, D.-W. Kang, D.-S. Lee // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77. - P. 139-144.

65. Lee D.-S. Recognition of volatile organic compounds Sn02 sensor array and pattern recognition analysis / D.-S. Lee, J.-K. Jung, J.-W. Lim // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77. - P. 228-236.

66. Martin M. Application of artificial neural networks to calculate the partial gas concentrations in a mixture / M. Martin, J. Santos, J. Agapito // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 77. - P. 468-471.

67. Negri R. Identification of pollutant gases and its concentrations with a multisensor array / R. Negri, S. Reich // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 75.-P. 172-178.

68. Carotta M. Array of thick film sensors for atmospheric pollutant monitoring / M. Carotta, G. Martinelli, L. Crema // Sensors and Actuators. 2000. - V. В68.-P. 1-8.

69. Hong H.-K. Portable electronic nose system with gas sensor array and artificial neural network / H.-K. Hong, C. Kwon, S.-R. Kim // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 66. - P. 49-52.

70. Калмыкова E.H. Разработка пьезокварцевых иммуносенсоров для проточно-инжекционного анализа высоко- и низкомолекулярных соединений / Е.Н. Калмыкова, Т.Н. Ермолаева, С.А. Еремин //Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 2002. - Т. 43, № 6. - С. 398-402.

71. Ермолаева Т.Н. Пьезокварцевые биосенсоры для определения органических соединений в воде и воздухе / Т.Н. Ермолаева, Е.Н. Калмыкова, T.J1. Лаврентьева // Микросистемная техника. 2001. - № 9. -С. 21-28.

72. Ермолаева Т. Н. Сравнительная характеристика пьезорезонансных сенсоров паров органических соединений / Т.Н. Ермолаева, Т.Л. Лаврентьева // Микросистемная техника. 2001. - № 8. - С. 8-13.

73. Ермолаева Т.Н. Чувствительный пьезокварцевый сенсор для определения фенола в воздухе / Т.Н. Ермолаева, Т.Л. Лаврентьева, А.Е. Середкин, Я.И. Коренман // Журнал прикладной химии. 2001. - Т. 74, № 2.-С. 197-202.

74. Ермолаева Т.Н. Способ определения летучих фенолов в воздухе рабочей зоны методом пьезокварцевого микровзвешивания / Т.Н. Ермолаева, Т.Л. Лаврентьева // Гигиена и санитария. 2000. - № 6. - С. 6971.

75. Калмыкова Е.Н. Пьезокварцевый иммуносенсор для проточного определения сульфопрепаратов в жидкостях / Е.Н. Калмыкова, М.В. Милонов, Е.В. Мелихова, С.А. Еремин, Т.Н. Ермолаева // Сенсор. 2005. -№2.-С. 17-24.

76. Шапошник А.В. Поверхностная фотополимеризация метилметакрилата под действием импульсного лазерного ультрафиолетового излучения / А.В. Шапошник, Г.А. Григорьева, В.К. Потапов / Журнал физической химии.1987. Т. 61, № 9. - С. 2523-2524.

77. Шапошник А.В. Поверхностная фотополимеризация стирола под действием лазерного УФ-излучения / А.В. Шапошник, Г.А. Григорьева,

78. B.М. Матюк и др. // Химия высоких энергий. 1988. - Т. 22, № 3. - С.267-271.

79. Шапошник А.В. Роль адсорбции в поверхностной фотополимеризации стирола под действием лазерного УФ-излучения / А.В. Шапошник, Г.А. Григорьева, В.А. Саксонский, В.К. Потапов // Химия высоких энергий.1988. Т. 22, № 4. - С. 373-376.

80. Ulmer Н. Sensor arrays with only one or several transducer principles? The advantage of hybrid modular systems / H. Ulmer, J. Mitrovics, U. Weimar, W. Gopel // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 65. - P. 79-81.

81. Ван дер Зил А. Шум / А. Ван дер Зил. М.:Сов.радио., 1973. -189 с.

82. Букингем М. Шумы в электронных приборах и системах. / М. Букингем М.: Мир., 1986. - С.148-192.

83. Бочков Г.Н. Новое в исследованиях l/f7 шума / Г.Н. Бочков, Ю.Е. Кузовлев //Успехи физических наук. - 1983. - Т. 141, Вып 1. - С. 151 -176.

84. Коган М. Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твердых телах / М. Коган // Успехи физических наук. 1985, - Т. 145, Вып.2. - С. 281-325.

85. Денда В. Шум как источник информации / В. Денда М.:Мир, 1993,1. C. 192.

86. Шустер Г. Детерминированный хаос / Г. Шустер М.:Мир, 1988, - С. 240.

87. Скоков В.Н. 1/f Флуктуации при неравновесных фазовых переходах / В.Н. Скоков, В.П. Каверда // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: Материалы докл. науч.-техн. семинара

88. Москва, 2-5 декабря 2001 г. М.: МНТОРЭС им. А.С. Попова, - 2002. -С. 177-182.

89. Пархомов А.Г. Экспериментальные исследования инфранизкочастотных флуктуаций в полупроводниках. Закономерности. Космические ритмы / Пархомов А.Г. Препринт №2 МНТЦ ВЕНТ. - М., -1991, - С.24.

90. Bak P. Self-organized criticality / Р. Вак, С. Tang, К. Wisenfeld // Phys. Rev. A. 1988. - V 38, # 1. - P.364-374.

91. Глыбин Jl. Я. Проблема биологических часов. Новые данные о закономерностях суточного хода изменения состояния организма человека. //Биофизика. 1985, Т.30. С.717-720

92. Каверда В.П. l/f-Шум при неравновесном фазовом переходе. Эксперимент и математическая модель / В.П. Каверда, В.Н. Скоков, В.П. Скрипов // ЖЭТФ. 1998. - Т. 113, Вып.5. - С.1748-1757.

93. Тимашев С.Ф. "Новый диалог" с природой: о законе эволюции природных систем, "стреле времени" и копенгагенской интерпретации квантовой механики / С.Ф. Тимашов // Журнал физической химии. 2000. - Т.74, №1. - С. 16-30.

94. Тимашев С.Ф. О законе эволюции природных систем / С.Ф. Тимашов // Журнал физической химии. 1994. - Т.68, №12. - С.2216-2223.

95. Тимашев С.Ф. Физикохимия глобальных изменений в биосфере / С.Ф. Тимашов//Журнал физической химии. 1993. - Т.67, №1. - С.160-165.

96. Hooge F. Experimental studies on 1/f-noise / Hooge F., Kleinpenning T. Vandamme L. // Rep. Prog. Phys. 1981. - V.44, №5. - P. 479-532.

97. Соколик С.А. Совершенствование установки для исследования низкочастотного шума полупроводниковых приборов и структур / С.А. Соколик, A.M. Гуляев, И.Н. Мирошникова // Измерительная техника. -1996. -№12. -С. 57-61.

98. Kish L.B. Extracting information from noise spectra of chemical sensors: single sensor electronic noses and tongues / L.B. Kish, R. Vajtai, C.G. Granqvist // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 71. - P. 55-59.

99. Pelligrini В. Flicker-noise in the physical systems / B. Pellegrini // 15th International Conf. on Noise in Physical Sustems and 1/f Fluctuations 23-26 August 1999 Hong Kong, Ed. C. Surya. P.303-309.

100. Hori G.K. Transient kinetics in CP oxidation on platinum. / G.K. Hori, and L.D. Schmidt // J. of Cat. 1975. - V.38. - P.335-350.

101. Pikios C.A. Isothermal concentration oscillations on catalytic surfaces / C.A. Pikios, D. Luss // Chem. Eng. Sci. -1977. V.254. - P. 1750-1755.

102. Беляев В.Д. Автоколебания в гетерогенной каталитической реакции водорода с кислородом / В.Д.Беляев, М.М.Слинько, М.Г. Слинько, В.И. Тимошенко // ДАН. 1974. - Т. 214, № 5. - С. 1098-1100.

103. Ertl G. Oscillation kinetics and spatio-temporal self-organizations on catalytic surfaces / G. Ertl // Science. 1991. - V.254. - P. 1750-1755.

104. Yamamoto S.Y. Spatial coupling in heterogeneous catalysis / S.Y. Yamamoto, C.M. Surko, M.B. Maple // J. Chem. Phys. (Amer.). 1995. - V. 103,# 18.-P. 8209-8215.

105. Nitta M. Oscillation phenomenon in Th02-dopen Sn02 exposed to CO gas / M. Nitta, S. Kanefusa, Y. Taketa and M. Naradome // Appl. Phys. Lett. 1978. -V.32, №9. - P. 590-591.

106. Nitta M. Oscillation phenomenon in thick-films CO gas sensor / M. Nitta, M. Naradome // IEEE Trans. Electron Devices, 1979. V. ED-26. - P.219-223.

107. Hooge F. 1/f- noise /F. Hooge//Physica. 1976. - V.83. - P. 14-23.

108. Тимашев С.Ф. Проявление макрофлуктуаций в динамике нелинейных систем / С.Ф. Тимашов // Журнал физической химии. 1995. - Т.69, №8. -С. 1349-1354.

109. Тимашев С.Ф. Что же такое фликкер-шум в электронопроводящих системах? / С.Ф. Тимашев // Материалы докл. науч.-метод. семинара (Москва 16-19 ноября 1998 г.). М.: МНТОРЭС им. А.С. Попова, МЭИ(ТУ), 1999. С.239-260.

110. Малахов А.Н. К вопросу о природе фликкерных флуктуаций / А.Н. Малахов, А.В. Якимов // Радиотехника и электроника. 1974, - Т. 19, №11. -С. 2436-2438.

111. Якимов А.В. Диффузия примесей и дефектов и фликкерные флуктуации числа ностителей в проводящих средах / А.В. Якимов // Известия вузов. Сер. «Радиофизика». 1980. - Т. 23, №2. - С.238-243.

112. Якимов А.В. Адсорбционный механизм фликкерных флуктуаций сопротивления проводящих пленок / А.В. Якимов // Известия вузов. Сер. Радиофизика. 1982. - Т. 25, №3. - С.308-313.

113. Якимов А.В. Проблема обоснования спектра вида 1/f в термоактивационных моделях фликкерного шума / А.В. Якимов // Известия вузов. Сер. Радиофизика. 1985. - Т. 28, №8. - С. 1071-1073.

114. Hugon О. Gas separation with a zeolite filter, application to the selectivity enhancement of chemical sensors / O. Hugon, M. Sauvan, P. Benech // Sensors and Actuators. 2000. - V. 2000. - P. 235-243.

115. Schweizer-Berberich M. Filters for tin dioxide CO gas sensors to pass the UL2034 standard / M. Schweizer-Berberich, S. Strathmann, W. Gopel // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 66. - P. 34-36.

116. Kitsukawa S. The interference elimination for gas sensor by catalyst filters / S. Kitsukawa, H. Nakagawa, K. Fukuda // Sensors and Actuators. 2000. - V. 65.-P. 120-121.

117. Weh T. Optimization of physical filtering for selective high temperature H2 sensors / T. Weh, M. Fleischer, H. Meixner // Sensors and Actuators. 2000. - V.B68.-P. 146-150.

118. Wada K. Improvement of gas-sensing properties of Sn02 by surface chemical modification with diethoxydimethylsilane / K. Wada, M. Egashira // Sensors and Actuators. 1998. - V. В 53. P. 147-154.

119. Wada K. Hydrogen sensing properties of Sn02 subjected to surface chemical modification with ethoxysilanes / K. Wada, M. Egashira // Sensors and Actuators. -2000. V. В 62. - P. 211-219.

120. Wada K. Improvement of gas-sensing properties of a Pd/Sn02 sensor by Si02 coating films formed by dipping method / K. Wada, M. Egashira // J. Ceram. Soc. Jpn. 1998. - V. 106. - P. 84-88.

121. Wada К. Gas-sensing properties of Pd/Sn02 sensors dipped in a diethoxydimethylsilane sol solution / K. Wada, M. Egashira // J. Ceram. Soc. Jpn. 1998. - V. 106. - P. 621-626.

122. Frietsch M. CuO catalytic membrane as selectivity trimmer for metal oxide gas sensors / M. Frietsch, F. Zudock, J. Goschnick // Sensors and Actuators. -2000.-V. В 65.-P. 379-381.

123. Schweizer M. Pulsed mode of operation and artificial neural network evaluation for improving the CO selectivity of Sn02 gas sensors / M. Schweizer-Berberich, M. Zdralek, U. Weimar // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 65. -P. 91-93.

124. Romppainen P. Effect of water vapour on the CO responce behaviour of tin dioxide sensors in constant temperature and temperature-pulsed modes of operation / P. Romppainen, V. Lantto, S. Leppavuori // Sensors and Actuators. -1990.-V. В l.-P. 73-78.

125. Ortega A. An intelligent detector based on temperature modulation of a gas sensor with a digital signal processor / A. Ortega, S. Marco, A. Perera // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 78. - P. 32-39.

126. Lee A.P. Temperature modulation in semiconductor gas sensing / A.P. Lee, B.J. Reedy // Sensors and Actuators. 1999. - V. В 60. - P. 35^2.

127. Ratton L. A comparative study of signal processing techniques for clustering microsensor data (a first step towards an artificial nose) / L. Ratton, T. Kunt // Sensors and Actuators. 1997. - V. В 41. - P. 105-120.

128. Cavicchi R.E. Optimized temperature-pulse sequences for enhancement of chemically specific response patterns from micro-hotplate gas sensors / R.E. Cavicchi, J.S. Suehle, K.G. Kreider // Sensors and Actuators. 1996. - V. В 33. -P. 143-146.

129. Huanga X. Rectangular mode of operation for detecting pesticide residue by using a single Sn02-based gas sensor / X. Huanga, J. Liu, D. Shao // Sensors and Actuators. 2003. - V. В 96. - P. 630-635.

130. Ionescu R. Wavelet transform-based fast feature extraction from temperature modulated semiconductor gas sensors / R. Ionescu, E. Llobet // Sensors and Actuators. 2002. - V. В 81. - P. 289-295.

131. Kunt T. Optimization of temperature programmed sensing for gas identification using micro-hotplate sensors / T. Kunt, T. McAvoy, R. Cavicchi // Sensors and Actuators. 1998. - V. В 53. - P. 24-43.

132. Heilig A. Gas identification by modulation temperatures of Sn02-based thick film sensors / A. Heilig, N. Barsan, U. Weimar // Sensors and Actuators. -1997.-V.B 43.-P. 45-51.

133. Bachinger T. Handbook of machine olfaction / T. Bachinger, H. Baltes, M. Cole, J. Cometto-Muniz, T. Dickinson, C. Di Natale, P. Evans, J. Gardner. -Weinheim (Germany): WILEY-VCH, 2003. 581 p.

134. Galdikas A. Response time based output of metal oxide gas sensors applied to evaluation of meat freshness with neural signal analysis / A. Galdikas, A. Mironas, D. Senuliene // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 69. - P. 258265.

135. Brezmes J. Correlation between electronic nose signals and fruit quality indicators on shelf-life measurements with pinklady apples / J. Brezmes, E. Llobet, X. Vilanova// Sensors and Actuators. -2001. -V. В 80. P. 41-50.

136. Maekawa T. Odor identification using a Sn02-based sensor array / T. Maekawa, K. Suzuki, T. Takada // Sensors and actuators. 2001. - V. В 80. - P. 51-58.

137. Romain A.-C. Use of a simple tin oxide sensor array to identify five malodours collected in the field // A.-C. Romain, J. Nicolas, V. Wiertz // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 62. - P. 73-79.

138. Ehrmann S. Application of a gas sensor microarray to human breath analysis / S. Ehrmann, J. Jungst, J. Goschnick // Sensors and Actuators. 2000.- V. В 65.-P. 247-249.

139. Ryabtsev S.V. Application of semiconductor gas sensors for medical diagnostics / S.V. Ryabtsev, A.V. Shaposhnick, A.N. Lukin, E.P. Domashevskaya // Sensors and Actuators. 1999. - В 59. - P. 26-29.

140. Capone S. Monitoring of rancidity of milk by means of an electronic nose and a dynamic PCA analysis / S. Capone, M. Epifani, F. Quarante // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 78. - P. 174-179.

141. Малышев B.B. Быстродействие полупроводниковых металлоксидных толстопленочных сенсоров и их чувствительность к различным газам в воздушной газовой среде / В.В.Малышев, А.В.Писляков // Сенсор. 2001.- №1. С. 2-15.

142. Якимов А.В. Подвижные дефекты: источник 1/f шума / Якимов А.В. // Известия вузов. Сер. «Радиофизика». 1993. - Т. 36. - №8. - С.843-847.

143. Кулаичев А.П. Компьютерный контроль процессов и анализ сигналов / А.П. Кулаичев-М.: "Информатика и компьютеры", 1999. С. 328-330.

144. Марпл C.JI. Цифровой спектральный анализ и его приложения / C.JI. Марпл. Пер. с англ. М.: Мир, 1990. - С. 260-266.

145. Рабинович М.А. Цифровая обработка информации для задач оперативного управления в электроэнергетике / М.А. Рабинович М.: "НЦ ЭНАС", 2002. - С. 342-345.

146. Угрюмов Р.Б. Методика измерения низкочастотных токовых шумов в полупроводниковых сенсорах газа / Р.Б. Угрюмов, А.В. Шапошник, B.C. Воищев // Приборы и техника эксперимента. 2004. - №3. - С. 85-91.

147. Угрюмов Р.Б. Установка для измерения инфранизкочастотного шума в полупроводниковых газочувствительных структурах / Р.Б. Угрюмов, А.В. Шапошник, B.C. Воищев // Измерительная техника. 2004. - №7. - С.41-45.

148. Мейзда Ф. Электронные измерительные приборы и методы измерений / Ф. Мейзда М.: Мир, 1990. - С. 507.

149. Филиппов А.Г. Микропроцессорные системы и микроэвм в измерительной технике / А.Г. Филиппов М.: Энергоатомизда, 1995. - 365 с.

150. Якимов А.Б. Анализ флуктуаций интенсивности фильтрованного 1/f шума для выявления подвижных дефектов в полупроводниках / Якимов А.Б. // Известия вузов. Радиофизика. 1997. - Т.40, №9. - С. 1155-1163.

151. Bae J. Improved selectivity of oxide semiconductor type gas sensor using compensation element / J. Bae, D. Yun, C. Park // Sensors and Actuators. -2001. -V. В 75. P. 160-165.

152. Fleischer M. Selective gas detection with high-temperature operated metal oxides using catalytic filters / M. Fleischer, S. Kornely, T. Weh // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 69. - P. 205-210.

153. Лазарев В.Б. Электропроводность окисных систем и пленочных структур / В.Б. Лазарев, В.Г. Красов, И.С. Шаплыгин М.: Наука, 1979. -167 с.

154. Лазарев В.Б. Химические и физические свойства простых оксидов металлов / В.Б. Лазарев, В.В. Соболев, И.С. Шаплыгин М.: Наука, 1983. -239 с.

155. Ryabtsev S.V. Application of semiconductor gas sensors in medical diagnostics / S.V. Ryabtsev, A.V. Shaposhnik, A.N. Lukin, E.P. Domashevskaya // Proc. of "Eurosensors-XI", Warsaw, 1997. -V. 2. P.81-82.

156. Steffes H. Enhancement of N02 sensing properties of I^C^-based thin film using an Au or Ti surface modification / H. Steffes, C. Imawan, F. Solzbacher // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 78. - P. 106-112.

157. Yamaura H. Mechanism of sensitivity promotion in CO sensor using indium oxide and cobalt oxide / H. Yamaura, K. Moriya, N. Miura // Sensors and Actuators. 2000. - V. В 65. - P. 39-41.

158. Кельнер Р. Аналитическая химия / Р. Кельнер, Ж.-М. Мерме, М. Отто М.: Мир, 2004. - Т. 2. - С. 517-567.

159. Шараф М.А. Хемометрика / М.А. Шараф, Д.Л. Иллмэн, Б.Р. Ковальски Ленинград: Химия, 1989. - 269 с.

160. Харман Г. Современный факторный анализ / Г. Харман М.: Статистика, 1972.-С. 122.

161. Айвазян С.А. Прикладная статистика: классификация и снижение размерности / С.А. Айвазян, В.М. Бухштабер, И.С. Енюков, Л.Д. Мешалкин; Под ред. С.А. Айвазяна М.: Финансы и статистика, 1989. -607 с.

162. Ллойд Э. Справочник по прикладной статистике / Э. Ллойд, У. Ледерман, С.А. Айвазян, М.: Финансы и статистика, 1990. - 526 с.

163. Дубров A.M. Компонентный анализ и эффективность в экономике / A.M. Дубров, М.: Финансы и статистика, 2002. - 350 с.

164. Боровиков В.П. STATISTICA® / В.П.Боровиков, И.П.Боровиков, М.: Филин, 1997.-С. 493-494.

165. Суровцев И.С. Нейронные сети / И.С. Суровцев, В.И. Клюкин, Р.П. Пивоварова Воронеж: ВГУ, 1994. - 224 с.

166. Уоссермен Ф. Нейрокомпьютерная техника: теория и практика / Ф. Уоссермен М: Мир, 1992. - 322 с.

167. Мкртчян С.О. Нейроны и нейронные сети (введение в теорию формальных нейронов) / С.О Мкртчян М: Энергия, 1971. - 232 с.

168. Qin S. J. A new approach to analyzing gas mixtures / S. J. Qin, Z. J. Wu // Sensors and Actuators. 2001. - V. В 80. - P. 85-88.

169. Угрюмов Р.Б. Спектральные и статистические характеристики шума полупроводниковых газовых сенсоров в эквирезистивных условиях / Р.Б. Угрюмов, А.В. Шапошник, B.C. Воищев // Журнал технической физики. -2004. Т.74, № 7. - С. 134-136.

170. Угрюмов Р.Б. Релаксация шума в полупроводниковых газовых сенсорах / Р.Б. Угрюмов, А.В. Шапошник, B.C. Воищев //

171. Конденсированные среды и межфазные границы. 2003. - Т. 5, №4. -С.435-438.

172. Угрюмов Р.Б. Шумовые характеристики газовых сенсоров при хемосорбции / Р.Б.Угрюмов, А.В.Шапошник, В.С.Воищев // Конденсированные среды и межфазные границы. 2004. - Т.6, №3. - С.289-292.

173. Пригожин И. Современная термодинамика. От тепловых двигателей до диссипативных структур / И. Пригожин, Д. Кондепуди. М.: Мир, 2002. -461 с.

174. Шапошник А.В. Определение газов при совместном исследовании резистивных и шумовых характеристик полупроводниковых сенсоров / А.В. Шапошник, Р.Б. Угрюмов, B.C. Воищев, С.В. Рябцев // Журнал аналитической химии. 2005. - Т.60, № 4. - С. 420-424.

175. Угрюмов Р.Б. Исследование гауссовости и стационарности шума газочувствительных пленок Sn02 / Р.Б. Угрюмов, А.В.Шапошник, B.C. Воищев // Известия вузов. Радиофизика. 2004. - Т. XLVII, №9. - С. 784788.

176. Способ изготовления полупроводникового чувствительного элемента. Патент РФ № 2096775, 6G01N27/12 / С.В. Рябцев, А.В. Шапошник. Заявл. 04.05.95, опубл. 20.11.97.

177. Тимашев С.Ф. Физикохимия мембранных процессов / С.Ф.Тимашев -М.: Химия, 1988.-240 с.

178. Дьяконова О.В. Ионообменные свойства полиамдкислотных пленок с различной степенью имидизации / О.В. Дьяконова, В.В. Котов, В.Ф.

179. Селеменев, B.C. Воищев // Журнал физической химии. 1998. - Т. 72, № 7. -С. 1275-1277.

180. Котов В.В. Структура и электрохимические свойства катионообменных мембран на основе частично имидизированной полиамидкислоты / В.В. Котов, О.В. Дьяконова, С.А. Соколова, В.И. Волков // Электрохимия. 2002. - Т. 38, № 8. - С. 994-997.

181. Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок / Б.С. Данилин -М.: Энергия, 1967. 312 с.

182. Шапошник А.В. Селективность полупроводниковых сенсоров с мембранными покрытиями / А.В. Шапошник, Н.С. Демочко, А.Г. Буховец, В.В. Котов, С.В. Рябцев // Сорбционные и хроматографические процессы. 2005. - Т. 5, № 5. - С. 712-718.

183. Яковлев П.В. Определение газов полупроводниковыми сенсорами с полимерными покрытиями / П.В.Яковлев, А.В.Шапошник, B.C.Воищев, В.В.Котов, С.В.Рябцев // Журнал аналитической химии. 2002. - Т. 57, №3. - С. 326-329.

184. Shaposhnik A. SnOi/Pd sensors with polymer coatings for the selective measurement of gas concentrations / A. Shaposhnik, A. Vasiliev, N. Demochko, S. Ryabtsev // Proc. of "Eurosensors-XIX", Barcelona, 2005. V. 2. - P. 91-93.

185. Демочко Н.С. Селективное детектирование паров этанола и ацетона системой полупроводниковых сенсоров / Н.С. Демочко, А.В. Шапошник, Р.Б. Угрюмов, А.А. Васильев, С.В. Рябцев // Сенсор. 2005. - № 2. - С. 3438.

186. Кирнов Д.А. Термосканирование полупроводниковых сенсоров: выбор режима / Д.А. Кирнов, А.В. Шапошник, С.В. Рябцев, А.В. Юкиш, А.А. Васильев // Сенсор. 2004. № 4. - С. 16-20.

187. Шапошник А.В. Контроль качества продуктов с помощью искусственного обоняния / Шапошник А.В., Полянский К.К., Демочко Н.С., Пономарев А.Н. // Молочная промышленность. 2005. - № 8. - С. 5354.