Низкочастотные шумы металлооксидных газочувствительных структур тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Угрюмов, Роман Борисович

• Угрюмов, Роман Борисович
• кандидат физико-математических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Угрюмов, Роман Борисович

Введение

Глава 1. Низкочастотный шум в поликристаллических полупроводниках.

1.1 Металл оксидные газочувствительные структуры

1.2 Структура маталлокисных поликристаллических пленок

1.3 Низкочастотный шум в полупроводниках

1.4 Экспериментальные данные по измерению низкочастотного шума в полупроводниках

1.5 Эмпирическое обобщение экспериментальных данных

1.6 Физические модели НЧ шума

Глава 2. Измерительная установка и методика эксперимента

2.1 Общее описание лабораторной установки

2.2 Методика приготовления газовой смеси

2.3 Конструкция блока измерения шумов

2.4 Методика проведения шумовых измерений

2.3.1 Общие положения

2.3.2 Расчет спектральной плотности мощности шума

2.3.3 Оценка погрешности измерений

2.5 Изготовление газочувствительных слоев

2.6 Конструкция измерительной ячейки

2.7 Методика исследования сенсорных характеристик ГЧС

2.8 Выбор напряжения смещения

2.9 Подготовка образцов к шумовым измерениям

2.10 Методика исследования влияния хемосорбции на спектральные характеристики шума ГЧС

2.11 Методика исследования влияния хемосорбции на статистические характеристики шума ГЧС

2.12 Методика исследования релаксации шума

2.13 Методика исследования деградации сенсора

Глава 3. Экспериментальные данные

3.1 Влияние легирования на шумы ГЧС

3.1.1 Влияние легирования на спектральные характеристики шума

3.1.2 Влияние легирования на статистические характеристики шума

3.2 Исследование релаксации шума ГЧС на основе Sn02-Pd(2.5%)-Pt(0.5%)

3.3 Исследование шумовых и сенсорных характеристик золь-гельных ГЧС

3.3.1 Шум золь-гельных ГЧС в эквирезистивных условиях

3.3.2 Шум золь-гельных ГЧС в разных газовых средах

3.4 Исследование спектральных и статистических характеристик шума ГЧС на основе Sn02-Pd(2.5%)-Pt(0.5%)

3.4.1 Спектральные характеристики шума в эквирезистивных условиях

3.4.2 Статистические характеристики шума в эквирезистивных условиях

3.4.3 Температурная зависимость шума в нейтральной среде

3.4.4 Температурная зависимость шума в воздушной атмосфере

3.4.5 Температурные зависимости шум ГЧС в присутствии активных газов

3.4.6 Зависимости шума ГЧС от концентрации активных газов

3.5 Генерация автоколебаний в ГЧС на основе SnC>2-Pd(2.5%)-Pt(0.5%)

3.6 Повышение селективности ГЧС шумовыми измерениями

3.7 Деградационные процессы в газовых сенсорах

3.7.1 Шумы в условиях ускоренной термической деградации

3.7.2 Шумы при деградации, вызванной высокой концентрацией активного газа 97 3.7.3 Шумы при деградации, вызванной протеканием автоколебательного процесса

Глава 4. Обсуждение результатов

4.1 Модификация поверхности

4.2 Релаксации шума

4.3 Влияние хемосорбции на спектральные и статистические характеристики шума

4.4 Модель автоколебательных процессов

4.5 Гауссовость и стационарность

4.6 Деградация ГЧС

4.6.1 Области деградации

4.6.2 Термическая деградация

4.6.3 Деградация ГЧС при высокой концентрации активного

4.6.4 Деградация вследствие протекания автоколебательного процесса

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Низкочастотные шумы металлооксидных газочувствительных структур»

В настоящее время все более широкое применение для определения состава газовых сред находят полупроводниковые сенсоры. Однако эти устройства обладают недостаточной избирательностью и проявляют повышенную по сравнению с традиционными полупроводниковыми приборами (диоды, триоды, КМОП-структуры и т.д.) склонность к деградации.

Электрический шум, генерируемый полупроводниковым слоем, содержит важную информацию о состоянии поверхности этого полупроводника. Ввиду того, что электрофизические параметры металлооксидных полупроводниковых газочувствительных структур (ГЧС) почти целиком определяются состоянием их поверхности, представляется весьма важным исследовать их шумовые характеристики. С одной стороны, это определяется практическими нуждами полупроводниковой газовой сенсорики и связано с повышением селективности, а также с контролем качества газочувствительных газовых сенсоров. С другой стороны, полупроводниковые ГЧС являются исключительно удобными модельными системами, позволяющими исследовать общие закономерности возникновения нестационарных процессов при стационарных условиях.

Несмотря на то, что в литературных источниках содержится немало сведений о характере шумов в полупроводниковых материалах вообще и в полупроводниковых сенсорах в частности, эта информация относится, в первую очередь, к шумам в частотном диапазоне выше 1 Гц. Однако характерные времена реконструкции и/или релаксации поверхности вследствие хемосорбционных и химических процессов на поверхности полупроводниковых ГЧС слишком велики для того, чтобы эти процессы могли найти адекватное отображение при "высокочастотных" (выше 1 Гц) измерениях. Возможно, вследствие этого, существующие сведения о влиянии хемосорбционных процессов на низкочастотные (т.е. ниже 1Гц) шумы фрагментарны и практически не систематизированы. Отсутствуют данные по исследованию НЧ шумов ГЧС в условиях протекания в них деградационных процессов. Представляется важным выяснение качественных и количественных закономерностей данных процессов. Поэтому в настоящей работе была поставлена задача исследования низкочастотных шумовых характеристик металлооксидных ГЧС.

Работа выполнялась в соответствии с координационным планом Научного Совета РАН по адсорбции и хроматографии на 2000-2004 г. (Раздел 2.15.11.5. -"Исследование механизмов газоразделения на полупроводниковых сенсорах") и планом НИР ВГАУ (Тема №6)

В настоящей работе бала поставлена цель - определение спектральных и статистических характеристик низкочастотного (НЧ) токового шума ГЧС на основе Sn02. в различных газовых средах и выявить влияние на эти характеристики хемосорбционных и деградационных процессов. Для достижения этой цели были поставлены следующие задачи:

1. Разработать методику измерений НЧ токового шума ГЧС в широком спектральном диапазоне, при различных величинах транспортного тока, температурах и концентрациях детектируемого газа. Разработать соответствующий данной методике лабораторный измерительный комплекс.

2. Определить влияние легирования металлооксидных ГЧС добавками Pd и Pt на характер генерируемого им НЧ токового шума.

3. Обнаружить явление релаксации мощности шума при резком изменении состава газовой фазы. Определить спектральный состав шума и его статистические характеристики в эквирезистивных условиях. Получить и проанализировать данные по спектральному составу и статистическим характеристикам НЧ шума металлооксидных ГЧС при разных температурах и концентрациях детектируемых газов. Разработать методику применения шумовых измерений для повышения селективности газовых сенсоров.

4. Определить изменение спектрального состава НЧ токового шума металлооксидных газочувствительных структур и его статистических характеристик при деградационных изменениях в газочувствительных слоях.

Разработать методику диагностирования деградационных изменений в газовых сенсорах по шумовым измерениям.

5. На основе анализа экспериментальных данных настоящей работы и анализа литературных источников выявить наиболее вероятные механизмы влияния хемосорбционных и деградационных процессов на НЧ шум металлооксидных газочувствительных структур, разработать модель, объясняющую данное влияние и провести его численное моделирование.

В настоящей работе впервые систематически исследованы закономерности изменения спектрального состава и статистических характеристик НЧ шума металлооксидных пленок Sn02 вследствие адсорбции активных газов. Впервые произведены измерения спектрального состава шума сенсора в инфранизкочастотной области. Показано влияние хемосорбции на спектральную плотность мощности шума, экспериментально установлены его качественные и количественные параметры. Показано, что в суммарный шум полупроводниковой структуры вносят вклады процессы различной природы, активизирующиеся и доминирующие при различных внешних условиях.

Впервые для исследования шумовых характеристик применен метод создания эквирезистивных условий, на основании которого была показана принципиальная возможность повышения селективности газочувствительных структур шумовыми измерениями. Впервые предложена методика повышения селективности газочувствительных структур путем совместных измерений шумовых и резистивных параметров.

Впервые исследованы деградационные процессы в газовых сенсорах методом шумовой спектроскопии. Обнаружены взаимосвязи деградационных процессов с генерируемым низкочастотным шумом, которые позволяют выявлять и прогнозировать деградационные изменения в газочувствительных слоях сенсоров. Впервые предложена методика диагностики деградационных изменений в газовых сенсорах по результатам измерения их НЧ шума.

Исследование шумов в полупроводниковых приборах стало одной из наиболее актуальных проблем современной статистической радиофизики и физики твердого тела. Шумы ограничивают чувствительность и стабильность многих радиоэлектронных устройств. Вместе с тем, электрические шумы содержат ценную информацию о динамическом поведении системы и о протекающих в ней процессах. Из анализа избыточного шума в полупроводниках можно определить некоторые параметры электронного газа, физические параметры ловушек. Низкочастотный (НЧ) шум является чувствительным индикатором деградационных процессов в полупроводниках, его уровень отражает качество полупроводниковых приборов, по измерениям мощности и спектрального состава шума прогнозируют их надежность.

Полученные результаты дают принципиальную возможность повышения селективности газовых сенсоров путем совместного проведения шумовых и электрорезистивных измерений. Кроме того, шумовые измерения позволили оценить характерные времена хемосорбционных процессов и предложить механизм автоколебательных процессов на поверхности сенсора. Взаимосвязь деградационных процессов с генерируемым низкочастотным шумом позволяют использовать низкочастотную шумовую спектроскопию в качестве неразрушающего метода диагностики состояния газовых сенсоров.

В настоящей работе на защиту выносятся следующие положения: 1. Нелегированные слои S11O2 в спектральном диапазоне 10-3-102 Гц генерируют шум вида 1/f. Внесение легирующих добавок Pd (2.5%) и Pt(0.5%) в Sn02 существенно изменяет вид частотной зависимости спектральной плотности мощности шума (СПМШ) в среде активных газов, а именно: в низкочастотной области появляется отклонение от l/f-вида. Изменение состава газовой фазы и температуры приводит к изменению спектрального состава шума.

2. Температура и концентрации активных газов влияют на спектральные и статистические характеристики НЧ шума металлооксидных ГЧС (SnCV

Pd(2.5%)-Pt(0.5%)). Характер влияния зависит от типа газовой среды и в ряде случаев более сложен, чем предсказываемый эмпирическим соотношением Хоухе. Общий вид частотной зависимости спектральной плотности мощности НЧ шума металлоксидных ГЧС, дает основания предполагать, что в результирующий шум вносят вклад механизмы различной природы.

3. Деградационные процессы влияют на спектральные и статистические характеристики низкочастотного шума металлооксидных ГЧС (Sn02-Pd(2.5%)-Pt(0.5%)). В конечном итоге деградационный процесс в ГЧС приводит к снижению мощности НЧ шума, изменяется спектральный состав: НЧ шум принимает 1/f - вид. Поведение НЧ шума деградировавшей ГЧС аналогично поведению шума нелегированного Sn02.

4. Влияние хемосорбционных и деградационных процессов на генерируемый металлооксидной ГЧС НЧ токовый шум в первом приближение можно объяснить на базе модели реконструкции и/или релаксации поверхности вызванной протеканием хемосорбционного процесса. Резонансные составляющие в шумовых спектрах можно объяснить на основе термической модели возникновения автоколебаний при протекании гетерогенных экзотермических реакций на каталитических поверхностях.

Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на научно-методический семинаре "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (Москва, 8-12 ноября 2003 г., 8-11 декабря 2003 г., 3-6 декабря 2002 г., 3-7 декабря 2001 г.), на Всероссийской конференции "Физико-химические процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах "ФАГРАН-2002"" (Воронеж, 11-15 ноября 2002 г.), на V международной конференции "Действие электромагнитных полей на пластичность и прочность материалов" (Воронеж, 14-15 февраля 2003 г.), на XV научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов "Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления" ("Датчик-2003", Крым, Судак, 23-30 мая 2003 года.), на

Международной научно-технической конференции "Сенсорная электроника и микросистемные технологии" (Украина, Одесса , 1-5 апреля 2004 г.), на VIII и VII Всероссийской научно-техническая конференции " Методы и средства измерений физических величин." (Н. Новгород 23 декабря 2003 г., июнь 2003 г соответственно).

По теме диссертации опубликовано 32 печатные работы в виде научных статей, материалов докладов конференций и тезисов статей.

Автором самостоятельно разработана методика измерений и лабораторный измерительный комплекс, самостоятельно получены, обработаны и проанализированы все основные экспериментальные результаты, выносимые на защиту.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов, списка литературы. Работа изложена на 142 страницах, содержит 52 рисунка и 4 таблицы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Угрюмов, Роман Борисович

Выводы

1. Разработана методика измерения НЧ токового шума металлооксидных

ГЧС, которая позволяет исследовать их шумовые характеристики в

6 2 спектральном диапазоне 10" .10 Гц, при значениях напряжения смещения до 100 В., температурах от 20 до 500 °С и различных концентрации детектируемого газа (определяется природой газа). Разработан измерительный комплекс, позволяющий реализовать данную методику измерений применительно к исследуемым металлооксидным газовым сенсорам.

2. Обнаружено влияние легирования Pd и Pt на шумовые характеристики ГЧС на основе S11O2 при изменении температуры и состава газовой среды. Можно сделать предположение, что легирование создает большое количество глубоких центров, вносящих существенный вклад в суммарный токовый шум ГЧС.

3. Обнаружено явление замедленной относительно сопротивления релаксации мощности шума в ГЧС при резкой смене состава газовой фазы. Определены условия для наилучшего наблюдения данного эффекта. Предложена интерпретация данного экспериментального факта, согласно которой данный эффект вызван изменением профиля легирования или профиля распределения дефектов при изменении области пространственного заряда при хемосорбции.

4. Предложена и опробована методика создания эквирезистивных условий. Обнаружено, что в эквирезистивных условиях спектральный состав шума в разных газовых средах имеет качественно различный вид. Измерения в эквирезистивных условиях позволяют сделать вывод о принципиальной возможности повышения селективности газовых сенсоров совместным измерением резистивных и шумовых характеристик.

5. Обнаружена зависимость мощности и спектрального состава шума ГЧС от температуры, которая в ряде случаев не укладывается в эмпирическое соотношение Хоухе. Данное наблюдение свидетельствует о зависимости механизмов генерации низкочастотного шума от сложных физико-химических процессов, взаимодействия полупроводника с газовой фазой. Зависимость мощности, спектральных и статистических характеристик низкочастотного токового шума от состава среды и температуры дает возможность использовать шумовую спектроскопию в качестве одного из методов выяснения физики и химии процессов на поверхности полупроводника, позволяет определять качественный и количественный состав газовых смесей.

6. Получен ряд эмпирических соотношений, описывающих частотную зависимость спектрального состава шума ГЧС в различных газовых средах. Представлена термическая модель возникновения автоколебательного процесса в многокомпонентной среде, не противоречащая наблюдаемым в настоящей работе экспериментальным данным. Результаты математического моделирования позволили предсказать возможность быстрой деградации сенсора при большой интенсивности автоколебательного процесса, что было обнаружено экспериментально.

7. При протекании деградационых процессов в ГЧС происходит изменение мощности и спектрального состава его токового шума. Можно предположить, что, уменьшение мощности шума происходит вследствие уменьшения дефектности поверхности, постепенной ее пассивации вследствие естественного ее движения в сторону термодинамического равновесия. Обнаружен новый механизм деградации, который возможно связан с протеканием автоколебательных процессов в ГЧС. Шумовые измерения могут быть использованы в качестве неразрушающего метода контроля для выявления рабочих режимов сенсора и выявления в нем деградационых изменений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Угрюмов, Роман Борисович, 2005 год

1. Виглеб Г. Датчики: Устройство и применение /Пер. с нем.-М.:Мир.-1989. 196с.

2. Таланчук П.М., Голубков С.П., Маслов В.П. Сенсоры в контрольно-измерительной технике.- К.: Техника, 1991.-175 с.

3. Максимович Н.П, Дышел Д.Е.,Еремина Л.Э. Полупроводниковые сенсоры для контроля состава газовых сред //Журнал. Аналит.химии.-1990.-Т.45.-№7.-С.1312-1316.

4. Lampe U., Weiler K.,Schaumburg Н. Gassensoren auf Halbleiterbasis / J. Elektronik.-1988.-№9.-S.93-97

5. Евдокимов A.B., Муршудли M.H., Подлепецкий Б.И., Ржанов А.Е., Фоменко С.Р., Филлипов В.И. Якимов С.С. Микроэлектронные датчики химического состава газов.// Зарубежная электронная техника.-1988.-№2.-С.З-39.

6. Мясоедов Б.Ф., Давыдов А.В. Химические сенсоры: возможности и перспективы. //Журн. аналит. химии. 1990.-Т.45.-№7.-С. 1259-1278.

7. Мясников И.А.,Сухарев В.Я, Куприянов Л.Ю.,Завьялов С.А. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях. -М.:Наука, 1991.-327 с.

8. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.:Мир.-1980. -488с.

9. Гриневич B.C., Сердюк В.В., Смынтина, В.А. Филевская JI.H. Физико-химический механизм формирования параметров газовых сенсоров на основе оксидов металлов. //Журнал аналитической химии. 1990.-t.45.-вып.8.-с. 1521-1525.

10. Petritz R.L. Theory Photoconductivity in Semiconducting Films. — Phys. Rev. 1956. Vol. 104.№6.P. 1508-1516

11. Cottrel A.H. Dislocation and Plastic Flow in Crystals. —Oxford.-.Clarendon Press, 1953

12. Н.Киселев В.Ф. Поверхностные явления в полупроводниках и диэлектриках.-М.:Наука,1970.-399 с.320

13. Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химия поверхности полупроводников М.: Наука, 1973 400 с.

14. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции.-М.:Наука, 1987, 1987.-432 с.

15. Примаченко В.Е.,Снитко О.В. Физика легированной металлами поверхности полупроводников.-Киев.-наук.думка.-1988.-232 с.

16. Gautheron В., Labeau М., Delabouglise G., Scmatz U., Undoped and Pd-doped Sn02 thin films for gas sensors. // Sensors and Actuators, B.15. 1993, P.357-362

17. Matsushima S., Teraoka Y., Miura N., Yamazoe N. /Electronic Interaction between Metal Additives and Tin Dioxide in Tin Dioxide-Based Gas Sensors.// Appl.Phys. V.27, 1988,P. 1798-1802

18. Watson J., Ihokura K.,The Tin dioxide gas sensor.//G.S.V. Coles. Meas. Sci. Technol., 1993, P.717-719

19. Влияние примеси палладия на газочувствительные свойства пленок диоксида олова. / Рембеза С.И., Свистова Т.В., Борсякова О.И., Рембеза Е.С.//Сенсор,№2 2001 С.39-42

20. Акимов Б.А. Гаськов A.M. Лабо М. И др. Проводимость структур на основе легированных нанокристаллических пленок Sn02 с золотыми контактами. //ФТП.- 1999.-№2.-Т.ЗЗ .-с.205-207

21. Ван дер Зил А. Шум.- М.:Сов.радио., 1973.

22. Букингем М. Шумы в электронных приборах и системах. /Пер. с англ. Ред.

23. B.Н. Губенкова //1986. М.: Мир. С. 148-192

24. Бочков Г.Н., Кузовлев Ю.Е. /Новое в исследованиях 1/f/ шума. //Успехи физических наук. 1983. Т. 141. Вып 1. С. 151 -176

25. М.Коган /Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твердых телах.//Успехи физических наук. 1985, Т.145.Вып.2.С 281-325

26. Денда В. Шум как источник информации: Пер. с нем. М.:Мир, 1993, С. 192

27. C.Ф.//Журнал физической химии, 2000, Т.74 №1, С. 16-30350 законе эволюции природных систем./ Тимашов С.Ф.//Журнал физической химии, 1994, Т.68 №12, С.2216-2223

28. Физикохимия глобальных изменений в биосфере. / Тимашов С.Ф.//Журнал физической химии, 1993, Т.67 №1, С. 160-165

29. Hooge F., Kleinpenning Т. Vandamme L. Experimental studies on 1/f-noise. Rep. Prog. Phys. 1981. V.44, №5 P.479-532

30. Совершенствование установки для исследования низкочастотного шума полупроводниковых приборов и структур./ С.А. Соколик, A.M. Гуляев, И.Н. Мирошникова.//Измерительная техника. 1996 г. №12, С. 57-61

31. Pelligrini В. 15 International Conf. on Noice in Physical Sustems and 1/f Fluctuations 23-26 August 1999 Hong Kong, Ed. C. Suiya P.303-309

32. Transient Kinetics in CP Oxidation on Platinum. / G.K. Hori, and L.D. Schmidt. //J. of Cat. 1975. V.38. P.335-350

33. Oscillation phenomenon in thick-films CO gas sensor. / M. Nitta, M. Naradome.// IEEE Trans. Electron Devices 1979 V.ED-26 P.219-223

34. Macrae A.U., Levinstein Н. Rhys. Rev., 1960, V.l 19, P.62

35. Maple T.G., Bess L., Gebbie H.A. J. Appl. Phys., 1955, V. 26, P.490

36. Pearson G.L., Montgomery H.C., Feldman W.L. Ibidem, 1956, V.27, P.91

37. Noble V.E., Thomas J.E. Ibidem, 1961, V32, P. 1709

38. Garrett C.G., Brattain W.H. Phys. Rev., 1955, V.99, P.376

39. Hooge F. 1/f-noise.-Physica 1976, V.83, P. 14-23

40. Проявление макрофлуктуаций в динамике нелинейных систем./Тимашов С.Ф.//Журнал физической химии 1995, Т.69, №8, С.1349-1354

41. Что же такое фликкер-шум в электроннопроводящих системах? / Тимашов С.Ф. // Материалы докл. нау.-метод. семинара (Москва 16-19 ноября 1998 г.). М.:МНТОРЭС им. А.С. Попова, МЭИ(ТУ), 1999, С.239-260.

42. Тест гауссовости 1/F шума / G. Ferrante, А.Б. Якимов, и др. // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: Материалы докл. науч.-техн. семинара (Москва, 2-5 декабря 1998 г.) М.: МНТОРЭС им. А.С. Попова, 1999. С. 177-182.

43. К вопросу о природе фликкерных флуктуаций,/ Малахов А.Н., Якимов А.В.// Радиотехника и электроника 1974, Т. 19,№11, С.2436-243 8.

44. Диффузия примесей и дефектов и фликкерные флуктуации числа ностителей в проводящих средах. /Якимов А.В.// Известия вузов. Сер. «Радиофизика», 1980, Т. 23, №2, С.238-243

45. Адсорбционный механизм фликкерных флуктуаций сопротивления проводящих пленок./Якимов А.В.// Известия вузов. Сер. «Радиофизика», 1982, Т. 25, №3, С.308-313

46. Проблема обоснования спектра вида 1/f в термоактивационных моделях фликкерного шума. /Якимов А.В.// Известия вузов. Сер. «Радиофизика», 1985, Т. 28, №8, С.1071-1073

47. Подвижные дефекты: источник 1/f шума. /Якимов А.В.// Известия вузов. Сер. «Радиофизика», 1993, Т. 36, №8, С.843-847

48. Компьютерный контроль процессов и анализ сигналов / А.П. Кулаичев //НПО "Информатика и компьютеры" Москва 1999. с. 328-330.

49. Цифровой спектральный анализ и его приложения / Марпл C.JI Пер. с англ. /Под ред. Рыжака И.С. М.:Мир, 1990., с 260-266

50. Цифровая обработка информации для задач оперативного управления в электроэнергетике / Рабинович М.А. Москва Изд. "НЦ ЭНАС" 2002 с.342-345

51. Электронные измерительные приборы и методы измерений./Ф.Мейзда Москва изд."Мир" 1990 с.507

52. Малышев В.В., Писляков А.В. Быстродействие полупроводниковых металлоксидных толстопленочных сенсоров и их чувствительность к различным газам в воздушной газовой среде., Сенсор. 2001. № 1, С. 2-15.

53. Микропроцессорные системы и микроэвм в измерительной технике /Под. Ред проф.А.Г.Филлиппова Москва изд."Энергоатомиздат" 1995. 365 с.

54. Анализ флуктуаций интенсивности фильтрованного 1/f шума для выявления подвижных дефектов в полупроводниках./ Якимов А.Б. // Известия вузов. Радиофизика. 1997. Т.40, №9. С.1155-1163.

55. Spatial Coupling in Heterogeneous Catalysis. / Yamamoto S.Y., Surko C.M., Maple M.B. //J. Chem. Phys (USA). 1995. V.103. N18. P8209-8215.

56. Горяченко В.Д. Элементы теории колебаний. М.: Высш. шк., 2001, 395 с.

57. Кузнецов B.C. Сандомирский В.Б.// Кинетика и катализ, 1962, т. 3, с.724.

58. Болтакс Б.И. Диффузия в полупроводниках: Физматгиз, 1961.

59. Garner W.E. Adv. in Catal., 1957, v.9, p. 169.

60. Barry T.I., Stone F.S. -Proc. Roy. Soc., 1960, v. A255, p. 124.8 8. Автоколебания в гетерогенной каталитической реакции водорода с кислородом./ Беляев В.Д., Слинько М.М, .Слинько М.Г., Тимошенко В.И.// ДАН Т.214, №5 С.1098-1100.

61. Isothermal Concentration Oscillations on Catalytic Surfaces. / C.A. Pikios, D. Luss. // Chemical Engineering Science. 1977, V.32 P. 191-194

62. Spatial Coupling in Heterogeneous Catalysis. / Yamamoto S.Y., Surko C.M., Maple M.B. //J. Chem. Phys (USA). 1995. V.103. N18. P8209-8215.

63. Шапошник A.B., Угрюмов Р.Б., Воищев B.C., Слиденко A.M./ Условия возникновения автоколебательных процессов при адсорбции газов на каталитических поверхностях.// Сорбционные и хроматографические процессы, 2004, Т.4, Вып. 2, С. 176-181