Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе полиакрилонитрила и соединений меди тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Аль-Хадрами Ибрахим Сулейман Абдулла

• Аль-Хадрами Ибрахим Сулейман Абдулла
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Аль-Хадрами Ибрахим Сулейман Абдулла

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. СОВРЕМЕННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ХИМИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ ГАЗОВ.

1.1. Химические сенсоры газов.

1.2. Полупроводниковые химические сенсоры газов.

1 ■ I

1.2.1. Полупроводниковые неорганические сенсоры газов.

1.2.2. Полупроводниковые органические сенсоры газов.

1.3. Методы получения металлсодержащих органических материалов.

1.4. Механизм газовой чувствительности полупроводниковых материалов.

1.5. Выводы.

Глава 2. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕНСОРНЫХ

ЭЛЕМЕНТОВ ИЗ ПЛЁНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРОВ СОСТАВА ПОЛИАКРИЛОНИТРИЛ/СиС12.

2.1. Выбор состава плёнкообразующего раствора.

2.2. Выбор способа нанесения плёнкообразующего раствора на подложку.

2.3. Инфракрасный отжиг полученных образцов.

2.4. Выводы.

Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ МЕДЬСОДЕРЖАЩИХ

ПЛЁНОК ПОЛИАКРИЛОНИТРИЛА.

3.1. Определение толщины полученных пленок.

3.2. Определение фазового состава полученных плёнок.

3.3. Исследование структуры полученных плёнок.

3.4. Исследование морфологии поверхности полученных плёнок.

3.5. Исследование удельного сопротивления полученных плёнок.

3.6. Выводы.

Глава 4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ

ХАРАКТЕРИСТИК ОБРАЗЦОВ СЕНСОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ.

4.1. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе полиакрилонитрила и соединений меди»

В последнее время развитие науки и техники требует создания новых материалов, обладающих специфическими физико-химическими свойствами. С одной стороны получила развитие область, связанная с проводящими и наполненными полимерами, с другой, большой интерес вызывают углеродные материалы (в частности нанотрубки, нановолокна и т. д.).

Из органических полимерных материалов активно исследуются макроциклические соединения (например, фталоцианины, порфирины), являющиеся ароматическими макроциклами с уникальной сопряженной п-системой, которая и определяет их сущность как особых по химической и термической стойкости органических полупроводников.

В последнее время интенсивно исследуются пленки электропроводящих полисопряженных полимеров, свойства которых могут быть изменены в широких пределах путем изменения структуры и состава полимерной матрицы. В качестве материалов для микро - и наноэлектроники находят применение металлополимерные нанокомпозиты, представляющие собой равномерно диспергированные наночастицы (5 - 100 нм) неорганических веществ (металлов) и их соединений в полимерной матрице. Сочетание свойств органических и неорганических веществ раскрывает широкие возможности для контролируемого получения материалов с заданными свойствами. Наибольший интерес представляет применение таких материалов в качестве газочувствительного элемента при разработке сенсоров газов, каковым отводится не последняя роль в мониторинге окружающей среды в связи с необходимостью создания портативных устройств контроля состояния атмосферы. Повышенные требования к характеристикам сенсорных устройств вызывают также необходимость поиска и разработки новых технологических процессов, позволяющих получать газочувствительные материалы с заданными характеристиками.

Таким образом, тема диссертационной работы, связанная с разработкой технологии изготовления и исследованием свойств сенсорных элементов на основе тонких пленок медьсодержащего полиакрилонитрила (ПАН), представляется современной и актуальной.

В области исследований свойств тонких пленок недостаточно изученными остается целый ряд вопросов. Не до конца изучено влияние технологических режимов формирования пленок, их состава, морфологии поверхности, структуры на электрофизические свойства и газочувствительные характеристики тонкопленочных материалов.

В связи с этим целью диссертационной работы является изготовление сенсорных элементов на основе ПАН и соединений меди. В связи с этим необходимо решить следующие задачи:

1. Разработать технологию изготовления электропроводящих, полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

2. Получить по разработанной технологии образцы электропроводящих полимерных пленок ПАН с различным содержанием соединений меди.

3. Исследовать состав, морфологию поверхности и структуру полученных образцов.

4. Исследовать электропроводящие свойства полученных образцов.

5. Определить газочувствительные характеристики сенсорных элементов на основе электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

Объектами исследования являлись сенсорные элементы на основе ПАН и соединений меди.

Используемые методики. Контроль качества и определение параметров полученных сенсоров осуществлялись с помощью микроскопии атомных сил, интерференционной микроскопии, спектроскопии поглощения видимого и ИК-излучения, рентгеноструктурного анализа. Измерения поверхностного сопротивления и температурной зависимости удельного сопротивления пленок производились на автоматизированном стенде.

Научная новизна. В работе были получены следующие научные результаты:

1. Впервые получены образцы электропроводящих полимерных пленок на основе ПАН и соединений меди.

2. Определена структура полученных электропроводящих полимерных пленок, представляющая собой аморфную матрицу ПАН, содержащую донорно - акцепторные комплексы вида (С=>1) Си, и распределенными в ней кристаллическими включениями соединений меди (Си, Си20,СиС1).

3. Определено влияние содержания меди и температуры ИК-отжига на морфологию поверхности и структуру образцов пленок.

4. Определено влияние содержания соединений меди и температуры ИК-отжига на электропроводность образцов пленок.

5. Определено влияние морфологии поверхности, структуры и электропроводности образцов пленок на газочувствительные характеристики сенсорных элементов на их основе.

Практическая значимость

1. Разработана технология изготовления сенсорных элементов на основе электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

2. Разработан сенсорный элемент на диоксид азота. Основные положения

1. Технология получения электропроводящих полимерных пленок ПАН, содержащих соединения меди.

2. Сенсорный элемент на диоксид азота. Апробация работы.

Материалы диссертации обсуждались на следующих конференциях:

2-я Ежегодная научная конференция студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН (Ростов-на-Дону, 2006); 10-й

Юбилейный международный молодежный форум «Радиоэлектроника и молодежь в XXI веке» (Украина, Харьков, 2006); 8-я Всероссийская научная конференция студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (Таганрог, 2006); VI Международная научная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (Кисловодск, 2006); 10-я Международная научно-техническая конференция и школа-семинар «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники» (Дивноморское, 2006); VII Международная научная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (Кисловодск, 2007); 3-я Ежегодная научная конференция студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН (Ростов-на-Дону, 2007).

Публикации.

По материалам диссертационной работы опубликованы 13 печатных работ, из них 3 статьи и 10 работ в сборниках трудов конференций.

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 114 наименований. Общий объем диссертации составляет страниц 114, включая 49 рисунков, 11 формул и 12 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Аль-Хадрами Ибрахим Сулейман Абдулла

Основные результаты и выводы работы заключаются в следующем:

1. Оценка толщины полученных пленок интерференционном методом показала, что ее величина находится в диапазоне от 0,01 до 0,6 мкм и определяется содержание меди и температурой ИК-отжига.

2. По результатам рентгенофазового анализа показано, что структура пленок представляет собой аморфную матрицу ПАН, содержащую донорно — акцепторные комплексы вида (С=>1) Си, и распределенными в ней кристаллическими включениями соединений меди (Си, Си20,СиС1).

3. Определено влияние содержания меди в пленках на их структуру: повышение концентрации соединений меди в пленках приводит к снижению содержания тройных связей и повышению содержания сопряженных связей.

4. Определено влияние температуры ИК-отжига на структуру пленок: увеличение температуры ИК-отжига приводит к уменьшению содержания тройных связей и увеличению содержания сопряженных связей.

5. Установлено, что и повышение содержания меди в образцах, и повышение температуры РЖ-отжига приводит к снижению содержания донорно - акцепторных комплексов вида (С=К) Си в полимерной цепи ПАН.

6. Определено влияние содержания меди на морфологию поверхности пленок: повышение концентрации соединений меди в пленках приводит к увеличению площади их поверхности.

7. Определено влияние температуры ИК-отжига на морфологию поверхности пленок: увеличение температуры ИК-отжига приводит к уменьшению площади их поверхности.

8. Определено влияние содержания меди и температуры ИК-отжига на электропроводность пленок: и повышение содержания меди, и температуры ИК-отжигом приводит к увеличению их электропроводности.

9. Определена температурная зависимость удельного сопротивления пленок: с повышением температуры удельное сопротивление снижается по экспоненциальному закону, что указывает на полупроводниковый характер их проводимости.

10. На основании проведенного анализа исследованных свойств пленок медьсодержащего ПАН отобраны образцы, удовлетворяющие требованиям к сенсорным элементам.

11. Определение коэффициента газочувствительности отобранных образцов показало, что сенсорные элементы дают заметный отклик на газ-окислитель (акцептор) - диоксид азота и слабый отклик на газ-восстановитель - аммиак, что позволяет говорить об их селективности к диоксиду азота.

12. Изменение содержания меди в сенсорном элементе и температуры его ИК-отжига отражается на газочувствительности образцов: коэффициент газочувствительности увеличивается при повышении содержания меди в образцах для низких температур ИК-отжига (500° С) и уменьшается для более высоких (600 и 700° С).

13. Анализ значений времени отклика и времени восстановления образцов сенсорных элементов показал, что эти газочувствительные характеристики зависят от содержания меди и температуры ИК-отжига. Наилучшие показатели времени отклика составляют 3-4 секунды, а времени восстановления - 19 - 20 минут.

14. Исследования влияния температуры нагрева образцов на газочувствительность показали, что максимальные значения коэффициента газочувствительности достигаются при комнатной температуре (22° С).

15. Исследования влияния влажности воздуха на величину газочувствительности образцов показали независимость коэффициента газочувствительности от величины относительной влажности.

16. На основании проведенного анализа газочувствительных характеристик исследованных сенсорных элементов был выбран образец с их оптимальным набором и изготовлен макет сенсора на диоксид азота.

12. Емельянов Ю.Л., Томченко A.A. Твердотельные газовые сенсоры: перспективные направления исследований. // Приборы и системы управления. 1998. №7. С. 37 - 40.

13. Бутурлин А.И. и др. Газочувствительные датчики на основе металлооксидных полупроводников. // Зарубежная электронная техника. 1989. №10. С.З.

14. Румянцева М. Н., Сафонова О.В., Булова М.Н., Рябова Л,И., Гаськов А.М. Газочувствительные материалы на основе оксида олова. //Сенсор. 2003. №2. С.8 - 33.

15. Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Борсякова О.И. Свойства нанокристаллических пленок Sn02 для датчиков газов. // Микросистемная техника. 2001. №7. С. 14 - 18.

16. Галямов Б.Ш., Завьялов С.А., Куприянов Л.Ю. Особенности микроструктуры и сенсорные свойства нанонеоднородных композитных пленок. // Физическая химия и поверхностные явления. 2000. Т.74. № 3. С. 459 - 465.

17. Бубнов Ю.З. Металлоксидные газовые сенсоры. // Петербургский журнал электроники. 1998. № 1. С. 59 - 62.

18. Маслов Л.П., Румянцева В.Д., Ермурацкий П.В. Пленочные химические сенсоры токсичных газов и паров. // Приборы и системы управления. 1997. №1. С. 29-31.

19. Гаськов А.М., Румянцева М.Н. Выбор материалов для твердотельных газовых сенсоров.// Неорганические материалы. 2000. Т. 36. №3. С. 369 -378.

20. Лугин В.Г., Жарский И.М. Использование термоэлектрических эффектов тонких пленок оксидов индия и олова для создания газовых сенсоров. // микросистемная техника. 2001. № 10. С. 10- 15.

21. Иванова О.М., Крутоверцев С.А. Перспективные материалы чувствительных слоев газовых сенсоров. // В тез. докл. I межд. науч.-техн.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Аль-Хадрами Ибрахим Сулейман Абдулла, 2008 год

1. Роберт В. Кааттралл. Химические сенсоры. М.: Научный мир. 2000. с. 144.

2. Маслов Л.П., Сорокин С.И., Иванова О.М., Крутоверцев С.А. Избирательность и чувствительность к аммиаку сенсоров, созданных на основе поливалентных элементов-комплексообразователей. // Журнал физической химии. 1994. Т. 68. № 7. С. 1323 1326.

3. Филаретов Г.Ф. Датчики и приборы для применения в задачах экологического мониторинга. // Приборы и системы управления. 1996. №5. С. 26-28.

4. Эггинс Б. Химические и биологические сенсоры. М.: Техносфера. 2005. 336с.

5. Золотов Ю.А. Химические сенсоры. // Журнал аналитической химии. 1990. Т. 45. № 7. С. 1255 1258.

6. Мясоедов Б.Ф., Давыдов A.B. Химические сенсоры: возможности и перспективы. // Журнал аналитической химии. 1990. Т. 45. Вып. 7. С. 1259 1278.

7. Дорожкин Л.М., Розанов И.А. Химические сенсоры в диагностике окружающей среды. // Сенсор. 2001. №2. С. 2 9.

8. Дорожкин Л.М., Розанов И.А. Акустоволновые химические газовые сенсоры. // Журнал аналитической химии. 2001. Т. 56. С. 455 474.

9. Dorojkine L.M. and Mandelis A. Thermal wave pyroelectric thin film hydrogen sensor with extended dynamic range. // Opt. ing. 1997. V. 36. P. 473 481.

10. Васильев Р.Б., Рябова Л.И, Румянцева М.Н., Гаськов A.M. Газовая чувствительность границ раздела в полупроводниковых материалах. // Сенсор. 2005. №1. С. 21-47.

11. П.Петров В.В. К вопросу о чувствительности полупроводниковых химических сенсоров газа. // Сенсор. 2003. №1. С. 48 50.конф. «Сенсорная электроника и микросистемные технологии». Украина. Одесса. 1-5 июня 2004г. Изд-во: Астропринт. С. 31 32.

12. Коваленко В.В., Румянева М.Н., Гаськов A.M. и др. Каталитические и сенсорные свойства нанокомпозитов Sn02/Fe203 в процессе окисления этанола. // Неорганические материалы. 2006. Т. 42. № 10. С. 1195 1201.

13. Дулов А.А., Слинкин А.А. Органические полупроводники. М.: Наука. 1970. 128 с.

14. Salaneck W.R. and Bredas J.L. Conjugated polymers. // Solid State Communications. 1994. Vol. 92. P. 31 36.

15. Schott M. and Nechtstein M. Introduction to conjugated and conducting polymers in: Organic conductors. Ed. by: Farges J.P. Marcel Dekker: New-York. 1994. P. 495 -538.

16. Верницкая T.B., Ефимов O.H. Полипиррол как представитель класса проводящих полимеров (синтез, свойства, приложения).// Успехи химии. 1997. Т. 66. №5. С. 489-505.

17. Арсланов В.В. Полимерные монослои и пленки Ленгмюра-Блоджетт. Политиофены. // Успехи химии. 2000. Т. 69. № 10. С. 963 980.

18. Dillingham T.R., Cornelison D.M. and Townsend S.W. Structural and chemical characterization of vapor-deposited polythiophene films.// J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. Vol. 14. P. 1494 1498.

19. Samuelsen EJ. and Mardalen J. Structure of polythiophenes. In Handbook of organic conductive molecules and polymers. Ed. by: Nalwa H.S. Wiley: New-York. 1997. P. 87 120.

20. Keiss H.G. Conjugated conducting polymers. Springer-Verlag: Berlin. 1992. 300 p.

21. Овчинников А. А., Пахомов Г. Л., Спектор В. Н. Массовый эффект при сорбции аммиака на пленках дихлорфталоцианина меди. // Доклады академии наук. 1994. Т. 338. № 4. С. 489 491.

22. Пахомов Г.Л., Пахомов Л.Г., Англада М.-К., Рибо Ж.-М. Влияние адсорбции аммиака на проводимость тонких плёнок тетрабромфталоцианина меди. // Журн. физ. химии, 1997. Т. 71. № 7. С. 1268-1271.

23. Bradley J. Holliday, Thomas В. Standford, and Timothy M. Swager. Chemoresistive gas-phase nitric oxide sensing with cobalt-containing metallopolymers. // Chem. Mater. 2006. V. 18. P. 5649 5651.

24. Dixt V., Misra S.C.K., Sharma B.S. Carbon monoxide sensitivity of vacuum deposited polyaniline semiconducting thin films. // Sensor and Actuators B. 2005. V. 100. P. 90-93.

25. Яблоков М.Ю., Завьялов C.A., Оболонкова E.C. Самоорганизация наночастиц палладия при формировании металл-полимерных покрытий. // Журн. физ. химии. 1999. Т. 73. № 2. С. 219 223.

26. Cinzia Caliendo, Iiaria Fratoddi and M. V. Russo. Sensitivity of platinum-polyyne-based sensor to low relative humidity and chemical vapors. // Applied Physics Letters. 2002. V. 80. № 25. P. 4849 4851.

27. Dong X.M., Fu R.W., Zhang M.Q. etc. A novel sensor for organic solvent vapors based on conductive amorphous polymer composites: carbon black/poly(butyl methacrylate). // Polymer Bullelin. 2003 V. 50. p. 99 106.

28. Ryan M.A., Shevade A.V., Zhou H., and Homer M.L. Polymer-carbon black composite sensors in an electronic nose for air-quality monitoring. // MRS Bulletin. 2004. October. P. 714 719.

29. Liming Dai, Prabhu Soundarrajan, and Taehyung Kim. Sensors and sensors arrays based on conjugated polymers and carbon nanotubes. // Pure Appl. Chem. 2002. V. 74. №9. P. 1753 1772.

30. Киппер А.И., Новоселова A.B., Згонник В.Н., Кленин С.И. Влияние структурных особенностей на молекулярные параметры полиакрилонитрила. // Высокомолекул. соед. 1992. Т. 34. № 3. с. 85-90.

31. Kameda Т., Yamane A. and etc. Формирование ориентированной структуры в процессе сверхвытяжки насцентного порошка полиакрилонитрила. // Высокомолекул. соед. 1996. Т. 38. № 7. с. 1152-1165.

32. Renschier C.L., Sylwester А.Р., and Salgado L.V. Carbon films from polyacrylonitrile. // J. Mater. Res. 1989. V. 4. № 2. p. 452-457.

33. Берестова C.C., Щирец B.C., Селихова В.И. и др. Исследование особенностей кристаллической структуры полиакрилонитрила методами ЯМР-спектроскопии и рентгенографии. // Высокомолекул. соед. 1996. Т. 38. №9. с. 1612-1613.

34. Логинова Т.П., Бронштейн Л.М., Валецкий П.М. и др. Комплексообразование полиакрилонитрила с гексакарбонилом вольфрама. //Металлорг. хим. 1990. Т. 3. № 1. с. 160-165.

35. Дубровина Л.В., Бронштейн Л.М., Брагина Т.П., Валецкий П.М. Ассоциация макромолекул полиакрилонитрила. // Высокомолекул. соед. 1998. Т. 40. №3. с. 472-477.

36. Новоселова A.B., Згонник В.Н., Спирина Т.Н. и др. Циклизация полиакрилонитрила под влиянием анионных инициаторов. // Высокомолекул. соед. 1993. Т. 35. № 5. с. 510-514.

37. Логинова Т.П., Бронштейн Л.М. и др. Исследование термических превращений металлокарбонильных полиакрилонитрилов методом ик-спектроскопии и рентгеновской дифракции в больших углах. // Высокомолекул. соед. 1993. Т. 35. № 1. с. 28-31.

38. Земцов Л.М., Карпачева Г.П. Химические превращения полиакрилонитрила под действием некогерентного инфракрасного излучения. // Высокомолекул. соед. 1994. Т. 36. № 6. с. 919-924.

39. Трахтенберг Л.И., Герасимова Г.Н., Григорьев E.H. Нанокластеры металлов и полупроводников в полимерных матрицах: синтез, структура и физико-химические свойства. // Журн. физ. химии. 1999. Т. 73. № 2. С. 264 -276.

40. Помогайло А.Д. Полимер-иммобилизованные наноразмерные и кластерные частицы металлов. //Успехи химии. 1997. Т. 66. № 8. С. 750 -791.

41. Bene R., Pinter Z., Perczel I., Fleissher M., Ref F. High-temperature semiconductor gas sensors. // Vacuum. 2001. V. 61. P. 275 278.

42. Белышева T.B., Боговцева Л.П., Гутман Э.Е. Применение металлооксидных полупроводниковых гетеросистем для газового анализа. // Int. Sei. J. For Alt. Ener. 2004. V. 10. № 2. P. 60 66.

43. Сергеев Г.Б. Криохимия наночастиц металлов. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 1999. Т. 40. С. 312.

44. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. // Справочник. М.: Радио и связь. 1991. 528 с.

45. Суйковская H.B. Химические методы получения тонких прозрачных пленок.- JL: Химия. 1971. 200 с.

46. Fahlman M., Bredas J.L. and Salaneck W.R. Experimental and Theoretical Studies of the pi-electronic Structure of Conjugated Polymers and the Low Work Function metal. //Conjugated Polymer Interaction. Synth. Met. 1996. Vol. 78. P. 237-246.

47. Вертопрахов В.H., Никулина JI.Д., Игуменов И.К. Синтез оксидных сетнетоэлектрических тонких пленок из металлоорганических соединений и их свойства. // Успехи химии. 2005. Т. 74. № 8. С. 797 819.

48. Межинский Г.Х., Седмалис У.Я., Валиниекс Ю.Р. Растворная и золь-гель технологии как диспергационные и структурообразующие методы синтеза стекол. // Изв. АН Латв. ССР. 1986. №5. С. 525 531.

49. Рябцев C.B., Тутов Е.А. Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно-легированных газовых сенсорах. // Физика и техника полупроводников. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 869 872.

50. Зиновьев К.В., Вихлянцев О. Ф., Грибов О.Г. Получение окисных пленок из растворов использование их в электронной технике. // М. ЦНИИ. Электроника. 1974. 62 с.

51. Акимов Б.А., Албуш A.B., Гаськов. Сенсорные свойства по отношению к сероводороду и электропроводность поликристаллических пленок Sn02(Cu). // Физика и техника полупроводников. 1997. Т.31. №4. С. 400 -405.

52. Ковальчук Е.П., Аксиментьева Е.И., Томилов А.П. Электросинтез полимеров на поверхности металлов. // М.: Химия. 1991. 224 с.

53. Nakamura Т. and Kawabata Y. Conductive Langmuir-Blogett Films. // Techno Japan. 1989. Vol. 22. P. 8-17.

54. Штыков С. H., Коренман Я. И., Русанова Т. Ю., Горин Д. А., Калач А. В. Пленки Ленгмюра-Блоджетт как эффективные модификаторы пъезокварцевых сенсоров. // Доклады академии наук. 2004. Т. 396. № 4. С. 508-510.

55. Коренман Я.И., Калач А.В., Панкин К.Е., Штыков С.Н. Определение нитроалканов Ci С3 в воздухе с применением пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе p-циклодекстрина. // Сенсор. 2002. № 4. С. 32 - 35.

56. Коренман Я.И., Калач А.В., Панкин К.Е., Штыков С.Н. Применение пъезосенсоров на основе пленок Ленгмюра-Блоджетт арахисовой кислоты для детектирования нитроалканов в воздухе. // Сенсор. 2002. №2. С. 14 -17.

57. Бехштедт Ф., Эндерлайн Р. Поверхности и границы раздела полупроводников. М.: Мир. 1990.

58. Henrich V.E., Сох P.A. The surface science of metal oxides. Cambridge University press, Cambridge. 1996.

59. Мэни А. Связь между физическими и химическими процессами на поверхности полупроводников. / В сб. Новое в исследовании поверхности твердого тела. Т.2. (Ред. Т. Джайядевайя, Р. Ванселов). М.: Мир. 1977. С. 306.

60. Souteyrand Е. Transduction electrique pour la detection de gas. In Les capteurs chimiques / Ed. С Pijolat С CMC2. Lyon. 1997. P. 52.

61. Мясников И.А., Сухарев В.Я., Куприянов Л.Ю., Завьялов С.А. Полупроводниковые сенсоры для физико-химических исследований. М.: Наука. 1991.

62. Аль-Хадрами И.С. Полупроводниковые структуры, содержащие тонкие органические пленки. // Материалы VIII Всероссийской научной конференции студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления», Таганрог 2006, с. 261-262.

63. Аль-Хадрами И.С. Органические пленки полупроводники химических сенсоров. // VIII Всероссийская научная конференция студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления», Таганрог 2006, с. 388-389.

64. Аль-Хадрами И.С. Полупроводниковые газовые сенсоры. // Материалы 10-го Юбилейного Международного Молодежного форума «Радиоэлектроника и молодежь в XXI веке ». Харьков: Изд-во Харьковский национальный университет радиоэлектроники. 2006. с. 141.

65. Аль-Хадрами Ибрахим.С.А., Королев А.Н. Возможности и перспективы химических сенсоров. // Известия ТРТУ, №9, 2006 с.84-88.

66. Паушкин Я.М., Вишнякова Т.П., Лунин А.Ф., Низова С.А. Органические полимерные полупроводники. // Изд-во: Химия. М. 1971. С. 226.

67. Каргин В.А., В.А. Акутин В.А. и др. Энциклопедия полимеров. // Изд-во: Советская энциклопедия. М. 1972.

68. Кнунянц И.Л. Химическая энциклопедия. // Науч. изд-во: Большая российская энциклопедия. М. 1992.

69. Зиновьев К.В., Вихлянцев О. Ф., Грибов О.Г. Получение окисных пленок из растворов использование их в электронной технике. // М.: ЦНИИ. Электроника. 1974. 62 с.

70. Логинова Т.П. Процессы иммобилизации гексакарбонилов металлов VI в группы на полимерных матрицах с нитрильными группами. Автореферат дисс. на соискание уч. ст. к. х. н. М. 1991.

71. Стильбанс Л.С., Розенштерн Л.Д., Айрапетянц A.B. и др. Органические полупроводники. // Под ред. A.B. Топчиева. М.: Изд. АН СССР. 1963. 319с.

72. Bhuiyan А.Н., Bhoraskar S.V., Rayopadhye N.R. // Thin Solid Films. 1988. V.162. N1. P.188-195.

73. Bhuiyan A.H., Bhoraskar S.V. // Thin Solid Films. 1988. V.162. N2. P.333-342.

74. Никольского Б.П. Справочник химика. Изд-во: Химия.М.1965.Т.З. с.1008.

75. Аппельт, Гейнц. Введение в методы микроскопического исследования. М.: Медгиз., 1959 г. — 425 с.

76. Бриггса В., Сиха М. JL. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. М.:Мир,1987.-800 с.

77. Новоселова А.В., Згонник В.Н., Спирина Т.Н. и др. Циклизация полиакрилонитрила под влиянием анионных инициаторов. // Высокомолекул. соед. 1993. Т. 35. № 5. с. 510-514.

78. Наканиси К. Инфракрасные спектры и строение органических соединений. М.: Мир.1995.

79. Rafil A. Basheer • Shehdeh Jodeh. Electrically conducting thin films obtained by ion implantation in pyrolyzed polyacrylonitrile // Mat Res Innovat (2001)4:131-134.

80. Аль-Хадрами Ибрахим.С.А., Королев A.H. Исследование процесса комплексообразования хлорида меди в структуре полиакрилонитрила. // Известия ЮФУ. Технические науки. 2008. № 1 (78). С. 219-220.

81. Магонов Д. Digital instruments, www.di.com, 1999.

82. Бронштейн И. H., Семендяев К. А. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов. М.: Наука, 1986.-352 с.

83. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросистем. Изд-во: Высшая школа. М. 1980. с. 328.

84. Петров В.В. Автоматизированный стенд для калибровки сенсоров газа. // В тез. Докл. 1 межд. науч.-техн. Конф. «Сеносрная элекетроника имикросистемные технологии» Украина, Одесса, 1-5 июня 2004г. Изд-во «Астропринт» С.288-289.

85. Аль-Хадрами, А.Н. Королев, JI.M. Земцов, Г.П Карпачева, Т.В. Семенистая. Исследование электропроводности ИК-пиролизованного медьсодержащего полиакрилонитрила. // Изв. Выс. Учеб. Завед. Материалы электронной техники. 2008, №1,с. 16-19.

86. Safonova O.V., Rumyantseva M.N., Ryabova L.I., Labeau M., Delabouglise G., Gaskov A.M. // Materials Science and Engineering. 2001. В 85. P. 43 49.

87. Назарова Т.Н. Разработка и исследование газового сенсора на основе тонкопленочных материалов состава sio2snoxagoy. Дис. на соискание уч. ст. к.т.н. ТРТУ.2006.133с.

88. Аль-Хадрами И.С., Королев А.Н., Семенистая Т.В. , Назарова Т.Н., Петров В.В. Исследование сенсорных свойств медьсодержащего полиакрилонитрила. // Изв. Вузов Электроника. 2008,№1, с.20-25.

89. Виглеб Г. Датчики: Пер. с нем.-М.: Мир, 1989. С.196.

90. О внедрении результатов кандидатской диссертации Аль -Хадрами Ибрахим С.А

91. Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе полиакрилонитрила и соединений меди»

92. Об использовании результатов кандидатской диссертации Аль-Хадрами И.

93. Разработка технологии изготовления и исследование сенсорных элементов на основе полиакрилонитрила и соединений меди» в учебном процессе Технологического института Южного федерального университетав. г. Таганроге

94. Зам. зав кафедрой ХиЭ по учебной работе, к.п.н., доцент1. Н.В. Гусакова