Газовые сенсоры на основе пленок SnO2-x для "Электронного носа" тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.10, кандидат технических наук Слепнева, Марина Анатольевна

• Слепнева, Марина Анатольевна
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Слепнева, Марина Анатольевна

ВВЕДЕНИЕ

1. МЕТАЛЛООКСИДНЫЕ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ

1.1. Газовые сенсоры на основе диоксида олова

1.1.1. Методы изготовления тонких металлооксидных пленок

1.1.2. Диоксид олова, как материал для газочувствительных сенсоров

1.1.3. Модель электропроводности пленок SnOx

1.1.4. Принцип работы газовых сенсоров на основе S11O2-X

1.1.5. Изменение структуры поликристаллических пленок в процессе: отжига

1.2. Легирование диоксида олова

1.3. Влияние каталитических добавок на свойства сенсоров

1.4. Влияние влажности на свойства сенсоров

1.5. Матрица газовых сенсоров 40 Выводы по первому разделу

2. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ОЛОВА С РАЗЛИЧНЫМИ ДОБАВКАМИ

2.1. Конструкция и технология изготовления газочувствительных сенсоров

2.2. Формирование и стабилизация свойств пленок температурными отжигами

2.3. Газочувствительные свойства сенсоров

2.3.1. Установка для исследования газочувствительных свойств сенсоров

2.3.2. Исследование газочувствительных свойств сенсоров с различными пленками

2.3.3. Исследование влияния продолжительной термообработки на газочувствительные свойства сенсоров с различными добавками

2.4. Обсуждение результатов

Выводы по второму разделу

3. МАТРИЦА ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ

3.1. Установка матричного газового анализатора для реализации проекта "Электронный нос"

3.1.1. Блок ручного управления температурой нагревателей

3.1.2 Камера газового анализа

3.1.3. Блок ручного измерения

3.1.4. Описание интерфейсной платы сбора данных L

3.2. Методика исследования газовой чувствительности 111 3.3 Результаты исследования параметров матрицы сенсоров

3.3.1. Исследование стабильности сопротивления матрицы газовых сенсоров

3.3.2. Исследование стабильности чувствительности матрицы сенсоров

3.3.3. Исследование зависимости чувствительности матрицы сенсоров от дозы вводимого вещества

3.4. Исследование влияния условий окружающей среды на свойства сенсоров

3.5. Обсуждение результатов 132 Выводы по третьему разделу 134 ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ 135 СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 137 Приложение

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Газовые сенсоры на основе пленок SnO2-x для "Электронного носа"»

Актуальность темы. В настоящее время в связи с резко ухудшайся экологической обстановкой, а также частыми утечками взрывоопасных газов существует практическая необходимость в создании производительных, точных и дешевых сенсоров для обнаружения и измерения предельно допустимой концентрации канцерогенов. В последние пять-семь лет наряду с совершенствованием существующих сенсоров на основе керамики, толстых и тонких пленок двуокиси олова, использующихся для детектирования допустимых концентраций СО, СН4 и других газов, за рубежом интенсивно развиваются исследования по поиску новых материалов и созданию приборных устройств типа «электронного носа» на основе матриц сенсоров, отличающихся составом, наличием различных аддитивов, каталитических и пористых покрытий, варьируемой рабочей температурой. Важность создания таких устройств достаточно очевидна, т.к. позволяет решать проблемы мониторинга атмосферы и контроль заводских условий, медицинских проблем и задач пищевой промышленности. Особый интерес представляет исследование возможности различать пары таких реактантов, как спирты, эфир, бензол, ацетон, а также различных парфюмерных жидкостей.

Несмотря на большое число статей, посвященных физико-химическим проблемам работы оксидных сенсоров, и моделям гетерогенных реакций на их поверхности до настоящего времени не существует однозначного понимания особенностей этих реакций, что не в последнюю очередь связано с большим набором методов получения оксидных пленок для газовых сенсоров и вариаций технологических условий их приготовления. Это в значительной мере затрудняет достижение воспроизводимости параметров сенсоров, их стабильности и избирательности. Создание сенсора, реагирующего только на один реагент, не представляется возможным в силу общности окислительных и восстановительных реакций для всех веществ.

Однако известно, что ряд газовых реагентов может приводить к увеличению сопротивления, в то время как большинство вызывают уменьшение, вследствие удаления с поверхности оксидов ионов кислорода, определяющих высокое сопротивление сенсоров в результате эффекта поля в атмосфере содержащей кислород. Таким образом, необходимо, чтобы чувствительность сенсоров в матрице «Электронного носа» была различной для набора реагентов, подлежащих определению. Также достаточно очевидна и важность проблемы идентификации паров вещества, которая, как правило, решается методом сравнения реакции на реагент сенсоров матрицы с заранее полученным «шаблоном», что можно сделать только с применением вычислительных средств.

В связи с вышесказанным

Целью данной работы являлись разработка и исследование ряда сенсоров на основе двуокиси олова, как с известными, так и новыми аддитивами и катализаторами, и создание на их основе матрицы сенсоров, составляющей основу устройства типа «Электронный нос» для идентификации набора паров органических жидкостей. Работа является продолжением исследований, проводившихся на кафедре «Полупроводниковая электроника» МЭИ (ТУ) последние несколько лет.

Для этого было необходимо решить следующие задачи:

1. Отработать технологию получения реактивным магнетронным напылением с последующей термообработкой пленок БпОг-х с аддитивами Sb, In-Sb, W с каталитическими покрытиями Pt и-металлопорфиринами.

2. Исследовать их чувствительность к парам спиртов (этилового, метилового, изопропилового), ацетона, эфира, бензола и ряда других реактантов.

3. Исследовать стабильность их параметров в процессе хранения и эксплуатации при различных рабочих температурах и влажности окружающей атмосферы.

4. Создать установку и отработать методику использования матрицы сенсоров в устройстве типа «Электронный нос» с последующей компьютерной обработкой результатов измерения для исследования возможности идентификации реактантов.

Объектом реализации указанных исследований являются тонкопленочные нанокристаллические сенсоры на основе диоксида олова, полученные реактивным магнетронным напылением на подложках из кварца с шероховатой поверхностью.

Научная новизна

1. Впервые созданы и исследованы сенсоры на основе пленок Sn02-X) полученных магнетронным реактивным напылением с одновременным введением двух аддитивов Sb и In, обладающие повышенной чувствительностью к парам ряда органически веществ.

2. Впервые созданы и исследованы сенсоры на основе пленок Sn02.x> полученные магнетронным реактивным напылением с аддитивом W, отличающихся высокой чувствительностью к бензолу.

3. Впервые исследовано каталитическое влияние металлопорфиринов, нанесенных на поверхность сенсоров с аддитивами Sb и W. В случае Sb обнаружено превосходящее каталитическое действие металлопорфирина по сравнению с Pt. В случае W, напыление, как порфиринов, так и Pt не улучшает чувствительности сенсоров.

4. Впервые обнаружено воздействие паров этилового эфира на сенсоры, приводящее к увеличению их сопротивления в определенном диапазоне рабочих температур, что увеличивает вероятность идентификации эфира.

5. Впервые создан макет устройства «Электронный нос» на основе матрицы из 24 разработанных сенсоров, отличающихся по селективности.

Показана перспективность разработанных сенсоров для использования их в данном устройстве и решения ряда практических задач, связанных с идентификацией паров ряда химических реактантов.

Достоверность результатов обеспечена воспроизводимостью и самосогласованностью полученных данных, применением стандартной измерительной аппаратуры и приемов обработки данных, непротиворечивостью с результатами других исследователей.

Практическая значимость работы заключается в совершенствовании технологии создания сенсоров на основе пленок SnC^-x, полученных магнетронным реактивным напылением с рядом новых аддитивов, что позволяет расширить возможность их использования в матрице макета устройства типа «Электронный нос». В разработке указанного макета и определения его эффективности и применимости для идентификации паров широкого набора жидких органических реактантов.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Одновременное введение двух аддитивов в газочувствительный слой сенсоров позволяет не только регулировать концентрацию носителей заряда, но и значительно повысить чувствительность и селективность сенсоров, вследствие особенностей формирования поверхности, в частности на примере одновременного введения аддитивов In и Sb.

2. Пары одних и тех же органических веществ могут, как уменьшать сопротивление сенсоров, выступая в качестве восстановителей, так и увеличивать сопротивление, способствуя возникновению отрицательно заряженных ионов на поверхности.

3. Сенсоры на основе тонких пленок БпОг-х с различными аддитивами, полученные магнетронным реактивным напылением, позволяют создать устройство типа «Электронный нос» для идентификации паров ряда органических веществ.

Апробация работы. Основные результаты работы доложены на 31, 32, 34, 35 Международных научно-технических семинарах Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах» (г. Москва, 2000, 2001, 2002, 2004), на Всероссийской конференции с международным участием «Siberian Russian Student Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials EDM'2001» (г. Новосибирск, 2001).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 5 научных работ и 6 тезисов докладов на научных конференциях, поданы две заявки на изобретение №2005126239 от 18.08.2005 «Датчик определения концентрации газов» и №2005127669 от 05.09.2005 «Датчик определения концентрации газов».

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, обзора литературы, экспериментальной части, обсуждения результатов, выводов, списка цитируемой литературы. Работа изложена на 154 страницах, содержит 63 рисунка, 11 таблиц, 18 формул и 108 библиографические ссылки.

Заключение диссертации по теме «Физика полупроводников», Слепнева, Марина Анатольевна

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Отработана технология получения газочувствительных слоев Sn02-X с различными легирующими добавками Sb, In, In-Sb, W магнетронным напылением методом составной мишени с заданной концентрацией (порядка 1 %ат.в.). Введенные в объем пленки Sn02-X добавки изменяют как абсолютные значения газовой чувствительности, так и вид температурной зависимости чувствительности. Это дает возможность использовать для распознавания газов матрицу сенсоров на основе пленок Sn02.x с различными добавками. Так же показано, что одновременное введение двух аддитивов в газочувствительный слой сенсоров позволяет, не только более оптимально регулировать концентрацию носителей заряда, но и значительно повысить чувствительность и селективность сенсоров, вследствие особенностей формирования поверхности, в частности на примере одновременного введения аддитивов In и Sb.

2. На основе проведенных исследований газочувствительных свойств пленок Sn02.x с различными добавками установлено, что сенсоры на основе пленок Sn02.x реагируют на присутствие в воздухе паров ацетона, бензола, эфира, этилового, изопропилового и метилового спиртов. Пары одних и тех же органических веществ могут, как уменьшать сопротивление сенсоров, выступая в качестве восстановителей, так и увеличивать сопротивление, способствуя возникновению отрицательно заряженных ионов на поверхности.

4. На основе проведенных исследований электрофизических свойств г пленок SnOx показан сложный характер гетерогенных реакций на поверхности, определяющих как процессы переформирования поверхности пленок, так и временную зависимость проводимости сенсоров. Показана связь указанных процессов с условиями получения пленок и вводимыми аддитивами. Установлено, что характер температурной зависимости сопротивления пленок Sn02-X в значительной степени зависит от аддитивов и нанесенной на поверхность платины, как в области преобладающего влияния ионизации донорных центров, так и в области преобладания эффекта поля, связанного с адсорбцией на поверхности кислорода, что подтверждается расчетами энергии активации, проведенными на линейных участках температурных зависимостях сопротивления.

5. Создано мультисенсорное устройство на основе 24 разработанных нами сенсоров, отличающихся добавками, технологическими режимами получения и газочувствительными свойствами. Это устройство может быть использовано для анализа паров органических веществ (различные спирты, ацетон, бензол, этиловый эфир, спиртосодержащие и парфюмерные вещества), т.к. является высокочувствительно к перечисленным реагентам. Предложен метод вычисления коэффициента корреляции для анализа полученных откликов для оценки работоспособности устройства в целом.

6. Показано, что при анализе содержания реагентов в атмосфере методом сравнения сигнала матрицы с шаблоном необходимо учитывать нелинейную зависимость чувствительности сенсоров от концентрации реагентов и формировать шаблоны для нескольких уровней концентраций реагентов.

7. Исследовано влияние влажности окружающей среды на свойства разработанных сенсоров. Обратимое увеличение относительной влажности окружающей среды на 20—40% приводит к уменьшению сопротивлений всех элементов матрицы, с временем восстановления характеристик порядка 1 часа. Изменение относительной чувствительности сенсоров матрицы при увеличении влажности происходит пропорционально, коэффициент корреляции остается почти постоянным, что позволяет идентифицировать исследуемые реагенты в указанных пределах влажности атмосферы.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Слепнева, Марина Анатольевна, 2005 год

1. J.B.W.H. Brattain, Surface properties of germanium // Bell. Syst. Tech. J. 32 — 1952.-P.l.

2. A new detector for gaseous components using semiconductive thin films / T. Seiyama, A. Kato, K. Fujushi, M. Nagatani // Anal. Chem. 34 1962.

3. N. Taguchi, Japenese Patent 45-38200.

4. N. Taguchi, Japenese Patent 47-38840.

5. N. Taguchi, US Patent 3 644 795.

6. Micromachined metal oxide gas sensors: opportunities to improve sensor performance / Isolde Simon, Nicolae Barsan, Michael Bauer, Udo Weimar // Elsevier Science B.V. 2001. - P. 1-26.

7. Figaro Products Catalogue, Figaro gas sensors 2000-series / Figaro Engineering Inc. / European Office, Oststrasse 10, 40211 Djisseldorf, Germany.

8. FIS, Product list (specifications: Sb/sp series) / FIS incorporated, May 1999.

9. UST, Product information, Umweltsensortechnik GmbH, Gewerbegebiet. Geschwenda Sud Nr.3, D-98716 Geschwenda, 1999.

10. Антоненко В., Васильев А., Олихов И. Полупроводниковые газовые сенсоры // Электроника №4 2001.

11. Gopel W. Solid state chemical sensors: atomistic models and research trends // Sensors and Actuators 1989. - P. 167-193

12. Morrison S.R. Chemical sensors // Semiconductor sensors / S.M.Sze (ed.) — 1994.-P. 383-413

13. Principles, operation and developments // Gas Sensors / G. Sberveglieri (ed.) — Kluwer, Dordrecht, 1992. - P. 33-41.

14. P.T. Moseley, J.O.W. Norris, D.E. Williams, Techniques and mechanisms in gas sensing // Adam Hilger, Bristol, 1991.

15. W. Gopel, O. Hesse, J.N.Zemel Sensors a comprehensive survey // Chemical and Biochemical Sensors - Vol.2. - Parts I and II - Weinheim, — 1991.

16. Gopel W. Ultimate limits in the miniaturization of chemical sensors I I Sensors and Actuators A 1996. - P. 83-102

17. Yong-Sahm Choe, New gas sensing mechanism for Sn02 thin-film gas sensors fabricated by using dual ion beam sputtering // Sensors and Actuators В 77 — 2001 P.200-208

18. Peculiarities of Response to CO of Pt/Sn02:Sb Thin Films / O.V. Anisimov, N.K. Maksimova, N.G. Filonov, L.S. Khludkova, E.V. Chernikov // EUROSENSORS XVII Guimaraes, Portugal, 2003.

19. Susuki K., Mizuhashi M. Thin solid films // Elsevier Science B.V. 1982.

20. Методы получения прозрачных проводящих покрытий на основе оксида олова / Козыркин Б.И., Бараненков И.В., Кощиенко А.В., Голованов Н.А. — М.: Зарубежная литература 1984.

21. J.P. Zheng, H.S. Kwok, Low resistivity indium tin oxide films by pulsed laser deposition // Appl. Phys. Lett 1993.

22. Технология СБИС / под ред. С. Зи М.: Мир - 1986.

23. Свистова Т.В., Физические свойства полупроводниковых пленок диоксида олова для датчиков газов, Автореф. дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук Воронеж, 1999.

24. Викин О.Г., Конструкция, технология и теплофизические свойства кристаллов датчиков газов в микроэлектронном исполнении, Автореф. дис. на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук — Воронеж, 2004.

25. Chopra K.L., Major S., Pandya D.К., Transparent conductors a status review //Thin Solid Films-vol. 102. - 1983.-P. 1-46.

26. Robertson J. Defect levels of Sn02 // Phys. Rev. B. vol.30. - 1984. - P. 3520-3522.

27. Милославский B.K., Лященко С.П. Оптические и электрические свойства тонких слоев двуокиси олова //Опт. и спектр. 1960. Т. 8, № 6. С. 868-874.

28. Физико-химические свойства полупроводниковых веществ: Справочник. Под ред. Самсонова А.А. М.: Наука 1978. - 390 с.

29. Preparation and characterization of nanostructured materials for an artifitial olfactory sensing system / F. Quaranta, R. Rella, P. Siciliano, S. Capone, C. Distante, M. Epifani, A. Taurino // Sensors and Actuators В 84 2002. - P. 55-59.

30. Mitsudo H., Gas Sensors// Ceramic 1980. - №15. - P. 339-345.

31. Williams D.E. Conduction and gas response of semiconductor gas sensors — 1987.-P. 72-123.

32. Ф.Ф.Волькенштейн, Физико-химия поверхности полупроводников М.: Наука - 1973.

33. Surface state trapping models for Sn02-based microhotplate sensors / Junhua Ding, Thomas J. McAvoy, Richard E. Cavicchi, Steve Semancik// Sensors and Actuators В vol. 3930 - 2001. - P. 1-17.

34. D. Kohl, Surface processes in the detection of reducing gases with Sn02-based devices // Sensors and Actuators 1989. - P. 71-114.

35. S.C. Chang, J. Vacuum Sci. Technol. vol. 17 (1) -1980. - P. 366.

36. J.H. Lunsford, Catalyst Rev. vol.144 - 1^73.-P. 751.

37. Solid state gas sensors / Edited by P.T.Mosley, B.C. Toffilt Adam Silgers -Bristol and Philadelphia, 1996. - P. 147-256.

38. The effect of additives in tin oxide on the sensitivity and selectivity to Nox and CO /1. Sayago, J.Gutierrez, L. Ares, J.I. Robla, M.C. Horrillo, J. Getino, J: Rino, J.A. Agapito // Sensors and Actuators В 26-27 1995. - P. 19-23.

39. M. Sauvan, C. Pijolat, Selectivity improvement of Sn02 films by superficial metallic films // Sens. Actuators В 58 1999. - P. 295-301.

40. Specific palladium and platinum doping for Sn02-based thin film sensor arrays / K.D. Schierbaum, J. Geiger, U.Weimar, W. Gopel // Sens. Actuators В 13 -1993. -P. 143-147.

41. M.A. Ponce, С.М. Aldao, M.S. Castro, Influence of particle size on the conductance of Sn02 thick films // J. Eur. Ceramic Soc. 23 2003. - P. 21052111.

42. L. Olvera, R. Asomoza, Sn02 and Sn02: Pt thin films used as gas sensors // Sens. Actuators В 45 -1997. P. 49-53.

43. T. Maosong, D. Guorui, G. Dingsan, Surface modification of oxide thin film and its gas-sensing properties // Appl. Surf. Sci. 171 2001. - P. 226-230.

44. A. Heilig, N. Barsan, U. Weimar, W. Gopel, Selectivity enhancement of Sn02 gas sensors: simultaneous monitoring of resistances and temperatures // Sens. Actuators В 58 1999. - P. 302-309.

45. Morphological analysis of nanocrystalline Sn02 for gas sensor application / A. Dieguez, A. Romano-Rodryguez, J.R. Morante, U. Weimar, M.Schweizer-Berberich, W. Gopel // Sens. Actuators В 31 1996. - P. 1-8.

46. Wolfgang Gopel, Klaus Dieter Schierbaum, Sn02 sensors: current status and future prospects // Sensors and Actuators В 26-27 1995. - P. 1-12.

47. Технология тонких пленок / Справочник Под редакцией JI. Майссела, Р. Глэнга - Т.2. - М.: Сов радио - 1977.

48. Симаков В.В. Теоретические основы расчета конструкционных и эксплутационных параметров химических газовых сенсоров, изготовленных по микроэлектронной технологии: Автореф. дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук Саратов, 1999.

49. Кисин В.В. Тонкопленочные полупроводниковые газочувствительные резисторы и устройства на их основе, Автореф. дис. на соискание ученой степени доктора технических наук Саратов, 2000.

50. Сысоев В.В. Исследование газочувствительности тонких пленок оксида олова и возможности их применения для распознавания газов, Автореф. дис. на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук — Саратов, 1999.

51. Джадуа Мунир Хльайль, Электропроводность сенсорных слоев диоксида олова модифицированной толщины, Автореф. дис. на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Саратов, 1999.

52. Ireneusz Kocemba, Slavomir Szafran, Jacek Rynkowski, The properties of strongly pressed tin oxide-based gas sensors // Elsevier Science B.V. 2001. - P. 28-32.

53. Madon, Morrison, Catalysis Background // Chemical sensors with Solid State Devices 1989. - P. 476-523.

54. A.Cabot, A.Vila, J.R.Morante, Analysis of the catalytic activity and electrical characteristics of different modified SnC>2 layers for gas sensors // Sensors and Actuators В 2002.

55. Material properties and the influence of metallic catalysts at the surface of highly dense Sn02 films / J. Wollenstein, H. Bottner, M. Jaegle, W.J. Becker, E. Wagner // Sensors and Actuators В 70 2000. - P. 196-202.

56. Compatibility of CO gas sensitive Sn02/Pt thin film with silicon integrated circuit processing / Rajnish K. Sharma, Zhenan Tang, Philip C.H. Chan, Johnny K.O. Sin, I-Ming Hsing // Sensors and Actuators В 64 2000. - P. 49-53.

57. Material properties and the influence of metallic catalysts at the surface of highly dense SnC>2 films / J. Wollenstein, H. Bottner, M. Jaegle, W.J. Becker, E. Wagner // Elsevier Science B.V. 2000. - P. 196-202.

58. J.Mizsei, Activating technology of SnC>2 layers by metal particles from ultra thin metal films // Sensors and Actuators В 1993.

59. Dong Hyun Kim, Sang Hoon Lee, Kwang-Ho Kim, Comparison of CO-gas sensing characteristics between mono- and multi-layer Pt/SnC>2 thin films // Sensors and Actuators В 77 2001. - P. 427-431.

60. Gas sensing characteristics of Sn02 thin film fabricated by thermal oxidation of a Sn/Pt double layer / Chang-Hyun Shim, Dae-Sik Lee, Sook-I. Hwang, Myoung-Bok Lee // Elsevier Science B.V. 2002. - P. 121-133.

61. On the role of catalytic additives in gas-sensitivity of Sn02 -Mo based thin film sensors / M. Ivanovskaya, P. Bogdanov, G. Faglia, P. Nelli, G. Sberveglieri, A. Taroni // Sensors and Actuators B77 2001. - P. 268-274.

62. Ji Haeng Yu, Gueong Man Choi, Selective CO gas detection of CuO- and ZnO-doped Sn02 gas sensor// Elsevier Science B.V. -2001. P. 56-61.

63. Influence of the catalytic introduction procedure on the nano-Sn02 gas sensor performances. Where and how stay the catalytic atoms? / A. Cabot, A. Dieguez, A. Romano-Rodriguez, J.R. Morante, N. Barsan // Elsevier Science B.V. 2001. - P. 98-106.

64. J.O.W.Norris, The role of precious metal catalysts / Solid state gas sensors -Edited by P.T.Moseley, B.C.Tofield, Adam Hilger, Bristol and Philadelphia, 1991 -P. 124-150.

65. О. Зинченко, Новое оружие против невидимого врага // Международный Общественно-политический Еженедельник "Зеркало недели" № 50 (525) — Декабрь, 2004.

66. Е. Моргунова, Электронный нос чует рак легких // "Литературная газета" №32 (5935) - Август, 2003

67. Сенсоры измерительных систем / Ж. Аш с соавторами Том 2. — М. — Мир - 1992. - 323-352 стр.

68. R. Ionescu, A. Vancu, A. Tomescu, Time-dependent humidity calibration for drift corrections in electronic noses equipped with Sn02 gas sensors // Sensors and Actuators В 69 2000. - P. 283-286.

69. Study on sensing properties of tin oxide CO gas sensor with low power consumption / Kyoung Ran Han, Chang Sam Kim, Keon Taek Kang, He Jin Koo // Elsevier Science B.V. 2001. - P. 135-144.

70. Low temperature NO2 sensitivity of nano-particulate Sn02 film for work function sensors / A. Karthigeyan, R.P. Gupta, K. Schamagl, M. Burgmair, M. Zimmer, S.K. Sharma, I. Eisele // Sensors and Actuators В 78 -2001. P. 69-72.

71. Claude Delpha, Maryam Siadat, Martine Lumbreras, An electronic nose for the discrimination of forane 134a and carbon dioxide in a humidity controlled atmosphere // Sensors and Actuators В 78 2001. - P. 49-56.

72. Heiland G., Kohl D., Chemical sensor Technology // ed. T. Seiyama vol. 1, ch. 2.-P. 15-38.

73. Morrison S.R., The Chemical Physics of Surfaces // 2nd edn 1990.

74. Henrich V.A., Сох P.A., The Surface Science of Metal Oxides 1994. - P. 312.

75. N.Barsan, U.Weimar, Understanding the fundamental principles of metal oxide based gas sensors; the example of CO sensing with БпОг sensors in the presence of humidity // Journal of Physics: Condensed Matter 2003. - P. 46-54.

76. Michael George, Wolfgang J. Parak, Hermann E. Gaub, Highly integrated surface potential sensors // Sensors and Actuators В 69 2000. - P. 266-275.

77. M. Fleisher, H. Meixner, Selectivity in high-temperature operated semiconductor gas-sensors // Sensors and actuators В 52 — 1998. P. 179-187.

78. Electronic noses inter-comparison, data fusion and sensor selection in discrimination of standard fruit solutions 7 P. Boilot, E.L. Hines, M.A. Gongora, R.S. Folland // Sensors and Actuators В 88 2003. - P. 80-88.

79. Титов A.B., Исследование динамических режимов работы газовых сенсоров с целью повышения их избирательности, Автореф. дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук М. - 2004.

80. W. Gopel, From electronic to bioelectronic olfaction, or from artificial "moses" to real noses // Sensors and Actuators В 65 — 2000. P. 70-72.

81. Патент РФ № 2114422, G 01 N 27/12 1998.

82. Сарач О. Б. Создание газовых сенсоров на основе тонких пленок диоксида олова. Дис. канд. Техн. Наук. М. - 2004. - 180 с.

83. Особенности технологии и свойства тонкопленочных сенсоров на основе Sn02, полученных реактивным магнетронным напылением / А.М.Гуляев, О.Б.Мухина, О.Б.Сарач, А.В.Титов и др. // Сенсор 2001. - АНО "ИРИСЭН" -С. 10-21.

84. Реактивное магнетронное напыление на постоянном токе пленок Sn02, предназначенных для газовых сенсоров / А.С. Шипалов, A.M. Гуляев, О.Б. Мухина, О.Б. Сарач // Тезисы докладов XI конференции по физике газового разряда Рязань - 2002. - С. 28-30.

85. Макеты газовых сенсоров на основе тонких пленок Sn02 / A.M. Гуляев, Р.С. Закируллин, О.Б. Мухина О.Б. Сарач // Тезисы докладов международной конференции по электротехническим материалам и компонентам 1995, Крым-М.: МЭИ-С. 48.

86. Формирование структуры газочувствительных слоев диоксида олова, полученных реактивным магнетронным распылением / P.M. Вощилова, Д.П. Димитров, Н.И. Долотов и др. // Физика и техника полупроводников — т.29, вып. 11 1995. - Стр. 1987-1993.

87. Свидетельство об официальной регистрации РосПатент №2005126239 от 18.08.2005, Датчик определения концентрации газов, Гуляев A.M., Мухина О.Б., Сарач О.Б., Слепнева М.А.

88. Давыдов С.Ю., Мошников В.А., Томаев В.В., Адсорбционные явления в поликристаллических полупроводниковых сенсорах / Учеб. Пособие, СПбГЭТУ СПб - 1998. С. 56.

89. Слепнева М.А., Чеховский Д.А., Гаврина С.А., Влияние влажности на газочувствительные пленки Sn02 // Тезисы докладов 11 Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов

90. Радиоэлектроника, электротехника и энергетика» (1—2 марта 2005г. Москва) -М.:МЭИ-С. 196-198.