Моделирование и исследование технологии получения мультикристаллического кремния в индукционной печи с холодным тиглем тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.09.10, кандидат технических наук Кичигин, Вячеслав Владимирович

• Кичигин, Вячеслав Владимирович
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кичигин, Вячеслав Владимирович

ВВЕДЕНИЕ

1. СПОСОБЫ ПРОИЗВОДСТВА МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

1.1. Кремний и его виды

1.2. Производство металлургического кремния

1.3. Современные технологии очистки металлургического кремния и получение поли-, мульти- и монокристаллического кремния для фотоэлектрических преобразователей

1.3.1. Химические способы очистки кремния с получением поликристаллической структуры

1.3.2. Получение слитков кремния с моно- или мультикристаллической структурой

1.4. Критерии выбора эффективной технологии выращивания мультикристаллического кремния

1.5. Получение мультикристаллического кремния методом направленной кристаллизации

1.6. Выводы по главе

2. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ И ТЕПЛОВЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ИНДУКЦИОННОЙ ПЛАВКЕ КРЕМНИЯ В ХОЛОДНОМ ТИГЛЕ

2.1. Электро- и теплофизические свойства кремния

2.2. Трёхмерная математическая модель электромагнитного поля индукционной системы для плавки кремния

2.3. Трёхмерная тепловая математическая модель

2.4. Выбор частоты тока

2.5. Исследование режимов плавки кремния в индукционной печи с использованием математических моделей

2.6. Сравнение экспериментально полученных данных с результатами численного моделирования

2.7. Выводы по главе

3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНДУКЦИОННОЙ ПЕЧИ ДЛЯ ПЛАВКИ КРЕМНИЯ НА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОМ СТЕНДЕ

3.1. Описание экспериментального стенда

3.2. Критерии разработки конструкции индукционной печи с холодным тиглем для плавки кремния

3.3. Исследование стартового нагрева и тепловых характеристик плавки кремния в холодном тигле

3.3.1. Организация стартового нагрева

3.3.2. Исследование ИПХТ кремния

3.4. Исследование характеристик непрерывно-последовательной кристаллизации расплава кремния в холодном тигле

3.5. Выводы по главе

4. ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРЫ СЛИТКА И ОЦЕНКА

ЭФФЕКТИВНОСТИ ТЕХНОЛОГИИ

4.1. Исследование фронта кристаллизации расплава кремния в тигле и анализ структуры полученного слитка

4.2. Исследование температурного поля в слитке мультикристаллического кремния

4.3. Оптимизация конструкции индукционной печи с холодным тиглем

4.4. Обобщение результатов исследований и оценка эффективности разработанной технологии

4.5. Выводы по главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Моделирование и исследование технологии получения мультикристаллического кремния в индукционной печи с холодным тиглем»

АКТУАЛЬНОСТЬ ТЕМЫ. Согласно статье 21 федерального закона № 35 - ФЗ «Об Электроэнергетике» [1], принятого Государственной думой 21 февраля 2003 года, одним из основных направлений государственной политики в сфере повышения энергетической эффективности электроэнергетики, является- поддержка использования возобновляемых источников энергии. К таким источникам энергии относятся энергия солнца, энергия ветра, энергия вод и так далее. На фоне глобальных проблем, связанных с использованием атомной энергетики (последние события в Японии, 11 марта 2011 года, атомная станция «Фукусима») и на фоне периодического удорожания традиционных источников энергии, таких как нефть, уголь, газ, можно ожидать, что в ближайшие годы эта поддержка будет только усиливаться. Кроме того, более 70 % территории России это районы, где основными источниками электроэнергии* являются автономные топливные электростанции и альтернативой таким электростанциям могут выступать системы на основе солнечных электростанций: В пользу использования солнечной энергии выступает и тот факт, что среднегодовые суммы поступающего солнечного излучения, во многих районах России* больше, чем на территориях Германии и Испании, где уже массово применяют солнечные установки [2].

На сегодняшний день развитие использования возобновляемых источников, энергии затруднено без поддержки государства, поскольку стоимость 1 кВт-ч-энергии остаётся на высоком уровне, составляя порядка 35 центов за 1 кВт-ч [3]. Во многих странах, где электростанции от возобновляемых источников энергии включены в энергосистемы, принят тариф подачи (feed-in tariff) [4]. Потребители оплачивают услуги по предоставлению электроэнергии по специальным, заниженным тарифам. В частности, по программе Министерства энергетики США рост наземной фотоэнергетики за период с 2000 по 2020 год должен составить от 7 до

15 ГВт/год. В этом случае примерно 15% энергии, вырабатываемой для-использования в жилых домах, будет получаться при помощи солнечных батарей. Препятствием к широкому использованию солнечных батарей является высокая стоимость ФЭП, поскольку около 80 % общей стоимости составляет цена материала, на основе которого изготовлены ФЭП.

Наиболее актуальными материалами для ФЭП, на сегодняшний день являются кремний 81 и арсенид галлия СаАэ, причём последний представляет собой гетерофотопреобразователи со структурой' АЮаАБ -ваАБ. КПД гетероструктурных ФЭП находится на уровне 35 - 40 % [5], но дефицит и высокие затраты на производство галлия, (ва), делают не выгодным использование- ОэАб для производства- ФЭП наземного применения. Сравнительно* дешёвым и наиболее перспективным материалом для изготовления ФЭП наземного применения является-кремний. Коэффициент полезного действия, промышленно выпускаемых кремниевых ФЭП находится на уровне- 15—20%, а ресурс работы достигает 20 лет [6]. На себестоимость кремниевых ФЭП' влияет цена исходного , материала - кремния электронного качества, с содержанием примесей, 10'6 %-(здесь и далее массовые проценты), цена-которого, в 60 -1201 раз превышает стоимость килограмма металлургического кремния с содержанием примесей около 0,5 %. Столь высокая' чистота кремния является излишней, так, как для- изготовления эффективных ФЭП наземного применения кремний может содержать электрически активных примесей в количестве до 10"3-10"4%. Кремний с таким содержанием" примесей называется солнечным кремнием.

В настоящее время для снижения стоимости, изготовления ФЭП' используются отходы кремния, образующиеся при производстве изделий микроэлектроники. Однако, ожидается, что в ближайшее время потребности в кремнии для фотоэлектрических преобразователей превысят то количество материала, которое может быть получено из отходов полупроводникового производства, в 2 — 4 раза. Это связано с тем, что рост промышленного производства солнечных элементов значительно опережает темпы роста производства кремния для микроэлектроники. Переход на сырье солнечного качества позволяет снизить себестоимость ФЭП.

При производстве слитков кремния, служащих исходным сырьём для изготовления подложек ФЭП наземного применения, наиболее экономически выгодной является плавка поликристаллического кремния солнечного качества с последующей направленной кристаллизацией расплава. Продуктами подобного передела кремния являются слитки квадратного или прямоугольного сечения со столбчатой структурой, получившей название мультикристаллической. Размеры столбчатых кристаллов значительно превышают размеры поликристаллов.

Основную массу блоков мультикристаллического* кремния получают в кварцевых тиглях, направленной, кристаллизацией расплава. Недостатком технологии является необходимость в использовании одноразовых тиглей из высокочистого кварца, стоимость которых нельзя не принимать во внимание при расчете себестоимости мультикристаллического слитка кремния и периодичность процесса. Альтернативным способом получения, мультикристаллического* кремния-является индукционная плавка в холодном тигле, позволяющая! совместить незагрязняющий индукционный метод нагрева с незагрязняющим способом плавки в гарнисаже и непрерывно-последовательной кристаллизацией расплава в слиток квадратного поперечного сечения характеризующегося крупноблочной мультикристаллической структурой и чистотой не ниже чистоты исходной шихты. Это позволяет значительно уменьшить себестоимость блоков кремния с незначительно меньшим, или таким же коэффициентом преобразования солнечного света в электричество.

В России, начиная с 2008 года после спада производства, развивается производство поликристаллического кремния. Его производят путём очистки металлургического кремния, получаемого в больших количествах в дуговых печах, используя сименс-процесс. Далее возможны два варианта: в первом случае поликристаллический кремний экспортируется и уже за пределами России производится, используя различные методы, мульти- или монокристаллический кремний. Во втором случае поликремний используется для производства монокристаллического кремния методом Чохральского и полученный продукт так же отправляется за границу. И на этом участие России в дальнейшей технологической цепи заканчивается. Таким образом, получается, что в Российской промышленности производится либо полуфабрикат (поликремний), или же очень дорогой монокремний, но в обоих случаях весь полученный продукт экспортируется.

Естественно, что это влечёт за собой отставание в развитии в области солнечной энергетики. Поскольку вся наукоёмкая часть производства мульти- и монокристаллического, кремния находится за пределами России, тормозя развитие отечественного8 производства и технологии. Но с другой стороны, неудивительно, почему всё производство российского поликристаллического кремния ориентировано в основном на экспорт, поскольку в России нет промышленных мощностей, способных обеспечить массовое производство мультикристаллического« кремния для подложек ФЭП. Создание таких производств является актуальной задачей, поскольку именно так возможно обеспечить самостоятельность российской промышленности в области создания ФЭП.

Путь, по которому предлагается получать мультикристаллический кремний - это непрерывное литьё с использованием ИПХТ. На сегодняшний день только в Японии и во Франции [4] разрабатывается эта технология. Несмотря на большое количество патентов, эта технология остаётся закрытой, поэтому исследование и реализация её на сегодняшний день является актуальной задачей.

ЦЕЛЬЮ ДИССЕРТАШОННОЙ РАБОТЫ является разработка и исследование технологии получения слитков мультикристаллического кремния солнечного качества, путём непрерывно-последовательной кристаллизации расплава в индукционной печи с холодным тиглем. ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЕ ЗАДАЧИ, решаемые в работе: Анализ методов и оборудования для получения кремния, используемого при производстве подложек ФЭП;

• Исследование на математической модели тепловых и электрических параметров плавки, условий кристаллизации и отжига слитка кремния;

• Разработка экспериментального исследовательского стенда;

• Разработка технологии стартового нагрева кремния;

• Разработка технологии* непрерывно-последовательной плавки кремния, в индукционной печи с холодным тиглем с получением слитка прямоугольного сечения;

• Экспериментальное исследование энергетических характеристик непрерывно-последовательной плавки кремния и сравнение результатов с теоретическими исследованиями.

МЕТОДЫ' ИССЛЕДОВАНИЯ. В работе использовались теоретические и экспериментальные исследования, на основе методов математической физики, вычислительной математики и теории индукционного нагрева. Обоснованность допущений, принятых при численных исследованиях, проверялась на результатах физического моделирования.

Для регистрации параметров плавки использовался информационно-измерительный комплекс, созданный на базе модульной системы сбора данных. В теоретических исследованиях использованы математические модели индукционной плавки в холодном тигле (ИПХТ) и разработанные на их основе программные комплексы, реализованные в среде коммерческого пакета ANS YS. Достоверность разработанных математических моделей определялась путём сравнения результатов натурных и численных экспериментов.

ОСНОВНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ, ВЫНОСИМЫЕ НА ЗАЩИТУ:

• Математические модели электромагнитного и теплового полей индукционной печи с холодным тиглем для плавки кремния;

• Критерии выбора частоты источника питания;

• Технология стартового нагрева;

• Результаты исследований параметров индукционной печи с холодным тиглем для плавки кремния.

ДОСТОВЕРНОСТЬ НАУЧНЫХ И ПРАКТИЧЕСКИХ РЕЗУЛЬТАТОВ. Достоверность научных положений, результатов и выводов диссертации подтверждена экспериментально, путём использования современной измерительной аппаратуры. НАУЧНАЯ НОВИЗНА:

• Разработан программный комплекс, включающий трёхмерные модели электромагнитного и теплового полей с модулем кристаллизации;

• Разработана технология стартового нагрева кремния в холодном тигле;

• Определены тепловые и электрические характеристики непрерывно-последовательной плавки кремния в индукционной печи с холодным тиглем с получением слитка мультикристаллического кремния солнечного качества.

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ:

• Разработана прикладная программа для автоматизированного проектирования индукционных тигельных печей (свид. о регистрации программы для ЭВМ №2010614087); г

12

• Разработана прикладная программа для расчета теплового состояния ванны расплава при зонной плавке в индукционной печи с холодным тиглем (свид. о регистрации программы для ЭВМ № 2011612615).

• Сформулированы критерии выбора частоты источника питания индукционной печи с холодным тиглем при непрерывно-последовательной направленной кристаллизации расплава кремния;

• Выработаны рекомендации по. проектированию индукционной' печи с холодным тиглем для получения мультикристаллического кремния, которые способствуют увеличению электрического КПД процесса.

• Разработаны- рекомендации по организации- стартового нагрева кремния.

ВНЕДРЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ. Результаты диссертационной работы используются в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете (СПбГЭТУ) «ЛЭТИ» в учебном процессе по дисциплинам: «Моделирование электротехнологических процессов», «Фундаментальные основы высокочастотной электротехники и электромагнитной обработки материалов».

АПРОБАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ; РАБОТЫ. Основные положения и результаты докладывались и обсуждались на Международном семинаре по индукционному нагреву-НЕ8-10 (Падуя, Италия, 2010); на XII международной конференции «Проблемы управления и моделирования в сложных системах» (21-23 июня 2010 г., Самара, Россия); на международном молодежном форуме «ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНЫЕ ЭЛЕКТРОТЕХНОЛОГИИ» (19-13 сентября 2011, Санкт Петербург), на семинаре по возобновляемым источникам энергии (март 2010, Ганноверский университет, Германия), на внутривузовских научно-технических конференциях профессорско-преподавательского состава СПбГЭТУ 2009 - 2011 год.

ПУБЛИКАЦИИ. По теме диссертации опубликовано 8 печатных работ, в том* числе одна в журнале из перечня, рекомендованного ВАК, 1 статья в другом журнале, 4 работы в научно-технических конференциях, зарегистрированы две прикладные программы.

СТРУКТУРА И ОБЪЁМ РАБОТЫ. Диссертация состоит из введения, четырёх глав, заключения, списка использованной литературы, включающего 78 наименований, и приложения. Основная часть работы изложена на 118 страницах машинописного текста. Работа содержит 50 рисунков и 8 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Электротехнология», Кичигин, Вячеслав Владимирович

Все результаты работы представлены в статье «Получение кремния солнечного качества с использованием непрерывной индукционной плавки в холодном тигле», опубликованной в издании включённого: в перечень ВАК.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основные научные и практические результаты диссертационной работы заключаются в следующем:

1. Разработан программный комплекс, включающий электромагнитную, тепловую и кристаллизационную модель в трёхмерной постановке .

2. Разработана, и исследована технология стартового нагрева кремния. Выработаны рекомендации по ведению стартового нагрева.

3. Исследованы тепловые и энергетические характеристики индукционной, печи с холодным тиглем при непрерывно-последовательной направленной кристаллизации расплава кремния.

4; Разработаны прикладные программы для анализа и автоматизированного проектирования индукционных тигельных печей.

5. Выработаны рекомендации по проектированию; индукционной иечи с холодным тиглем-для получения! мультикристаллического кремния.

6. Сформулированы критерии выбора частоты источника питания для индукционной печи; с холодным; тиглем; при непрерывно-последовательной направленнои кристаллизации расплава кремния.

На основании результатов, полученных в; работе, целесообразно; продолжить исследования в следующих направлениях:

• Исследование формы фронта кристаллизации, а также высоты и формы мениска с учётом магнитогидродинамических явлениях в расплаве;

• Разработка системы подогрева слитка мультикристаллического кремния.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кичигин, Вячеслав Владимирович, 2011 год

1. Федеральный закон №35-Ф3 «Об Электроэнергетике» // Федеральная антимонопольная служба. 2003. - 12 апреля. Режим доступа: http://www.fas.gov.ru/legislative-acts/legislative-acts16377.html.

2. Аронова, Е.С. Методика обоснования параметров систем автономного электроснабжения на базе солнечных фотоэлектрических установок Текст.: автореферат дис. . канд. Техн. наук. / Е.А. Аронова. — С.-Петерб., 2010.

3. Шкульков, A.B. Перспективы развития солнечной энергетики Доклад. / Труды Всероссийской научной школы для молодёжи. 29.11-03.12 С.-Петерб., 2010.

4. Шкульков, A.B. Солнечная энергетика и возможности индукционной гарнисажной плавки в холодном тигля для получения солнечного кремния (обзор) Текст./ A.B. Шкульков, Ю.В. Черпак и др. // 2009. С.16-19.

5. Арсенид-галиевые солнечные батареи Электронный ресурс. // Режим доступа: http://esco-ecosvs.narod.ru/2005 11/агЮ7 35.htm.

6. Solar Home Электронный ресурс. // Режим доступа: www.sоlarhome.ru.

7. Обзор рынка технического кремния в СНГ Электронный ресурс. // http://www.megaresearch.ru/files/demofile/5951 .pdf.

8. Соловьёв, О.В. Способ Электродугового восстановления кремния Текст. / О.В. Соловьёв, к.т.н. Б.П. Масенко, И.А. Хлопенова // Материалы электроники. 2005.

9. ООО БДК Электронный ресурс. // Режим доступа: http://39262.ru.all-biz.info /

10. Библиотека ГОСТов Электронный ресурс. // Режим доступа: http://vsegost.eom/Catalog/l 8/18125.shtml

11. Наумов, A.B. Рынок солнечной энергетики кризис и прогнозы Текст.

12. A.B. Наумов // Материалы электронной техники. 2009 - №2(46). С. 412.

13. Фалькевич, Э.С. Технология полупроводникового кремния Текст. / Э.С. Фалькевич, Э.О. Пульнер, И.Ф. Червонный и др. М.: Металлургия, 1992.-408с.

14. Нитол Электронный ресурс. // Режим доступа: www.nitolsolar.com.

15. Петров, Ю.Б. Индукционная плавка окислов Текст./ Ю.Б. Петров. JL: Энегоатомиздат. Ленингр. Отд-ние, 1983. - 104 е., ил.

16. Арзамасов, Б.Н. Материаловедение Текст. / Б.Н. Арзамасов, И.И. Сидорин, Г.Ф. Косолапов и др. -М.: Машиностроение, 1986.-384 е., ил.

17. Кузьминов, Ю.С. Фианиты. Основы технологии, свойства, применение Текст. // Ю.С. Кузьминов, В.В. Осико. М. «Наука», 2001.

18. R. Emeis, 1953; Siemens, Erlangen

19. Пфанн, В. Зонная плавка Текст. / В. Пфанн. М., 1960.

20. Вигдорович, В.Н. Совершенствование зонной перекристаллизации Текст. / В.Н. Вигдорович. М., 1974.

21. Ратников, Д.Г. Бестигельная зонная плавка Текст. / Д.Г. Ратников. -М., 1976.

22. Справочник Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.graphitel. Ru/index.php?id=363.

23. Басин, A.C. Получение кремниевых пластин для солнечной энергетики: Методы и технологии Текст. / A.C. Басин, A.B. Шишкин. -Новосибирск: ИТ СО РАН, 2000. 196с.

24. Kasjanow H. Dreidimensionale Effekte im nichtlinearen elektro-thermischen EFG-System für die Kristallzüchtung von Silizium-Folien für die Photovoltaik Dissertation, VDI VERLAG, 2007.

25. Sumco Co Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.sumcosi.com.

26. Ciszek, T.F. Growth and properties of 100. and [111] dislocation free Siliconcrystals from a cold crucible Text. / T.F. Ciszek. Journal of Crystal Growth 70 (1984). - P. 324—329.

27. Пат. 4572812 (США) Method and apparatus for casting conductive andrsemicondactive materials/ Ciszek; Theodore F. (Evergreen, CO).

28. Sumco Co Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.sumcosi.com.

29. Emix Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.emix.fr.

30. Пат. 4915723 (США) Apparatus for casting silicon with gradual cooling/ Kyojiro Kaneko; Jun-Ya Masuda.

31. Вельский, С.С. Изучение параметров кристаллизации на свойства и структуру мультикремния Текст. / С.С. Вельский, Н.В. Немчинов, Б.А. Красин // Современные наукоёмкие технологии. №8. — 2006.

32. Krascrystal Электронный ресурс. // Режим доступа: http://\vww.krascrystal.com/ru/products/2-silicon/5-monoplast.

33. Jiuan Wie. Modeling and improvement of silicon ingot directional solidification for industrial production systems Text. / Jiuan Wei, Hui Zhang, Lili Zheng, Chenlei Wang, Bo Zhao. Solar Energy Materials & Solar Cells 93 (2009).- P. 1531-1539.

34. Durand, F. Electromagnetic continuous pulling process compared to current casting processes with respect to solidification characteristics Text. / F. Durand. Solar Energy Materials & Solar Cells 72 (2002). - P. 125-132.

35. Пат. ЕР 1930483 Al (Германия) Silicon electromagnetic casting apparatus and method for operating said apparatus/ Kyojiro Kaneko; Wakayama Kainan-shi.

36. Dour, G. Continuous solidification of photovoltaic multicrystalline silicon from an inductive cold crucible Text. / G. Dour, E. Ehret, A. Laugier, D. Sarti, M. Gamier, F. Durand. Journal of Crystal Growth 193 (198). - P. 230-240.

37. Durand, F. The electromagnetic cold crucible as a tool' for melt preparationand continuous casting Text. / F. Durand. International Journal of Cast Metals Research. - 2005. - Vol. 18 No. 2. - P. 93-107.

38. Пат/ ЕР 1254861 B1 (Германия) Silicon continuous casting method/ Kenichi Wakayama Sasatani; Naritoschi Nara Kimura; Masakazu Hyogo Ohnishi.

39. Немков B.C., Демидович В.Б. Теория и расчет устройств индукционного нагрева. Л.:Энергоатомиздат, 1988.

40. Басов, К.А. ANSYS в примерах и задачах Текст. / К.А.Басов; под общ. Ред. Д.Г.Красковского. М.: КомпьютерПресс, 2002.

41. Чигарёв, А.В. ANSYS для инженеров: Справ. Пособие Текст. / А.В.Чигарёв, А.С.Кравчук, А.Ф.Смалюк. М.: Машиностроение-1, 2004.

42. Басов, К.А. ANSYS, справочник пользователя Текст. / К.А.Басов. М.: ДМК Пресс, 2005.

43. Глушко, В.П., Термодинамические свойства индивидуальных веществ Текст. / В.П. Глушко, Л.В. Гуревич, изд-во «Наука», Москва, 1979г., стр. 229.

44. Hull R. Properties of Crystalline Silicon Text. / R. Hull. INSPEC, London, 1999.

45. Magomedov, Ya. B. High-Temperature Thermal Conductivity of Silicon in the Solid and Liquid States Text. / Ya. B. Magomedov and G. G. Gadjiev // ISSN 0018-151X, High Temperature. -2008. Vol. 46, No. 3. - P. 422-424.

46. Magomedov, Ja. B. Thermal and electrical conductivity of silicon in solid and liquid states Text. / Ja.B. Magomedov and G.G. Gadjiev // Institute of Physics Daghestan Scientific Center of RAS.

47. Koujima Endo, R. Calculation of density and heat capacity of silicon by ' molecular dynamics simulation Text. / R. Koujima Endo, Y. Fujihara,

48. M. Susa. Ookayama, Meguro-ku, Tokyo, 152-8552, Japan.

49. Химик Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.xumuk.ru/spravochnik/223.html.

50. Hiroshi Kawamura. Normal- spectral emissivity of undercooled liquid silicon Text. / Hiroshi Kawamura, Hiroyuki Fukuyama, Masahito Watanabe and Taketoshi Hibiya // Meas. Sci. Technol. 16 (2005). 386-393. - P. 386-393.

51. Егоров, С.Г. Уменьшение влияния тепловой конвекции на качество монокристаллического кремния Текст. / С.Г.Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Цветные металлы. 2009. - N 2. - С. 76-78

52. Roberts, R.B. Thermal expansion reference data: silicon 300-850 K. J. Phys. D: Appl. Phys., 14 (1981). -L163-6, P: L163-L166.

53. Сильвестер, П. Метод конечных элементов для радиоинженеров, и инженеров-электриков Текст. / П.Сильвестер, Р.Феррари. М.: Мир, 1986.

54. Позняк. И.В. Моделирование и исследование индукционных систем для плавки металла в проводящих и непроводящих тиглях Текст.: дис. . канд. Техн. наук. / И.В .Позняк. С.-Петерб., 1999.

55. Мюллер, Г. Выращивание кристаллов из расплава. Текст. / Г. Мюллер. М.: Мир, 1991.

56. Горюшин, Г.А. Тепловые процессы при кристаллизации в двухфазных системах Текст. / Сборник докладов междунродного молодёжного форума «Энергоэффективные электротехнологии»ю Санкт-Петербург, 2011. С. 76.

57. Слухоцкий, А.Е. Установки индукционного нагрева Текст. / А.Е. Слухоцкий Л.: Энегоиздат. Ленингр. Отд-ние, 1981.

58. Kaneko, К. Present status and future prospects of electro-magnetic casting for silicon solar cells Text. / K. Kaneko, R. Kawamura and T. Misawa.

59. СН3365-4/94/0000-0030. First WCPEC. - Dec. 5-9. 1994. - Hawaii. - P. 30-33.

60. Кичигин, В.В. Получение кремния солнечного качества с использованием непрерывной индукционной плавки в холодном тигле Текст. / В.В. Кичигин, И.В. Позняк, А.Ю. Печенков и др. // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ» СПб., 2011. - Вып.4. - С.53-57.

61. Kyojiro Kaneko. Recent Status on Electromagnetic Casting Text. / Kyojiro Kaneko, Keita Nakagawa, Tomohiro Onizuka, Ken-ichi Sasatani, Nobuyuki Kubo, Michio Kida. 260-100 Funoo, Kainan, Wakayama, 642-0001, Japan. - P. 2-7.

62. Шатунов. A.H. Моделирование и исследование индукционных систем с разрезным проводящим тиглем при плавке оксидных материалов Текст.: дис. . канд. Техн. наук. / А.Н.Шатунов. — С.-Петерб., 2008.

63. Недопекин, Ф.В. Моделирования гидродинамических и тепломассообменных процессов в металлургических технологиях Текст. / Ф.В. Недопекин, В.В. Белоусов // Вестник УдмуртскогоУ

64. Университета. 2008. Вып. 1. - С. 189-199.

65. Kudryash, М. Experimental investigation of induction melting in cold crucible for high temperature processing of oxides using HF transistor power supply, VDI VERLAG, 2011.

66. GlobalMarket Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.globalmarket.com/product-info/polvcrystalline-silicon-solar-panel-184327.html.

67. Kaneko, К. Recent Status on Electromagnetic Casting Text. / Kaneko, K., Nakagawa, K., Tomohiro Onizuka, Kenichi Sasatani, Nobuyuki Kubo, Michio Kida // SUMCO SOLAR Corporation 260-100. - Funoo, Kainan, Wakayama. - 642-0001. - Japan. - P. 2-7.

68. Печенков, А.Ю. Исследование процесса и разработка оборудования для индукционной плавки кориума Текст.: дис. . канд. Техн. наук. /

69. А.Ю. Печенков. С.-Петерб., 2001.

70. Kaneko, К. Operation and crystalline properties of electro-magnetic casting Text. / K. Kaneko, R. Kawamura, T. Onizuka, K. Sasatani. CH3365-4/94/0000-1652. - First WCPEC. - Dec. 5-9, 1994. - Hawaii. - P. 16521655.

71. Kaneko, K. Cold Crucible induction casting of semi-conductor silicon for solar cell Text. / K. Kaneko, T. Misawa and K. Tabata. 01608371/90/0000-0674. - P. 674-677.

72. Brend B. Am Iaufenden Meter Text. / B. Brend. J. Photon November 2006.-P. 104-108.

73. Пат. ЕР 1947221 A2 (Германия) Casting method for polycrystalline silicon/ Kenichi Sasatani, Keita Nakagawa, Tomohiro Onizuka, Nobuyuki Kubo -Kainan-shi Wakayama 642-0001 (JP).

74. Кузакова, Н.И. Изучение макро- и микроструктуры кремния Текст. / Н.И. Кузакова, Н.В. Немчинова, Б.А. Красин // «Современныепроблемы науки и образования». Российская Академия Естествознания№6 часть 3, 2007 год.

75. Абдюханов, И.М. Разработка основ технологии производства металлургического кремния повышенной чистоты для наземной фотоэнергетики Текст. / И. М. Абдюханов. Рос. Хим. Ж. (Ж. Рос. Хим. Об-ва им. Д.И. Менделеева). - 2001. - т. XLV, № 5-6.

76. Gribov, B.G. Preparation of High-Purity Silicon for Solar Cells Text. / B. G. Gribov and К. V. Zinov'ev. Inorganic Materials. - Vol. 39, No. 7. - 2003. - P. 653-662. Translated from Neorganicheskie Materialy. - Vol. 39, No. 7, 2003.-P. 775-785.

77. Franke, D. Silicon ingot casting: process development by numerical simulations Text. / D. Franke, Т. Rettelbach, С. Häßler, W. Koch, А. Müllerc. Solar Energy Materials & Solar Cells 72 (2002). - P. 83-92.

78. Articleworld.org Электронный ресурс. // Режим доступа: http://www.articleworld.org/index.php/Czochralski process.

79. Dr. Wlifred von Ammon, SILTRONIC AG, Ach

80. Hitoshi Sasaki. Temperature Dependence of the electrical resistivity of molten silicon Text. / Hitoshi Sasaki, Atsushi Ikari, Kazutaka Terashima and Shigeyuki Kimura. Jpn. J/ Appl. Phys. Vol. 34(1995). - P. 3426-3431.

81. И.Л. Кнунянц. Краткая химическая энциклопедия. Том 1А-Е. 1961.