Хромато-масс-спектрометрический анализ силана высокой чистоты тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.02, кандидат химических наук Созин, Андрей Юрьевич

• Созин, Андрей Юрьевич
• кандидат химических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат химических наук Созин, Андрей Юрьевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. СВОЙСТВА СИЛАНА, МЕТОДЫ СИНТЕЗА, ИСТОЧНИКИ ПРИМЕСЕЙ, МЕТОДЫ АНАЛИЗА. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

1.1. Физические и физико-химические свойства силана.

1.2. Химические свойства силана.

1.3. Методы синтеза силана.

1.4. Источники примесей в силане.

1.5. Методы анализа силана.

1.5.1. ИК-спектроскопия.

1.5.2. Масс-спектрометрия.

1.5.3. Газовая хроматография.

1.5.4. Хромато-масс-спектрометрия.

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

ГЛАВА 2. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АНАЛИЗА

2.1. Случайные и систематические погрешности, возникающие при анализе силана.

2.2. Исследование влияния различных факторов на формирование систематических погрешностей.

2.2.1. Исследование стабильность примесей в силане и образцах сравнения.

2.2.2. Влияние разложения вещества-основы.

2.2.3. Влияние следов воды и кислорода на определение примесей.

2.2.4. Влияние "памяти" системы дозирования на определение примесей.

2.3. Расчёт погрешности определения примесей.

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ АНАЛИЗА СИЛАНА

3.1. Разработка системы дозирования силана в хромато-масс-спектрометр.

3.2. Выбор хроматографических колонок и условий хроматографического разделения силана и примесей.

3.3. Контейнеры для хранения образцов силана и газовых смесей.

3.4. Условия детектирования примесей.

3.5. Качественный анализ.

3.6. Количественный анализ.

3.6.1. Методы количественного анализа.

3.6.2. Приготовление образцов сравнения.

3.6.3. Пределы обнаружения примесей.

3.7. Результаты анализа образцов силана.

3.8. Правильность определения примесей.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Хромато-масс-спектрометрический анализ силана высокой чистоты»

Актуальность работы. Силан (SiHLf) высокой чистоты является исходным материалом для получения высокочистого кремния по гидридной технологии. Использование силана в технологии получения кремния обусловлено тем, что к нему могут быть достаточно легко применены физико-химические методы глубокой очистки [1]. Начиная с 80-х годов 20-го века, интерес к кремнию, как к перспективному материалу для микро- и наноэлектроники постоянно возрастает [2]. В настоящее время высокочистый силан применяется для получения поликристаллического кремния и его эпитаксиальных слоев, легирования полупроводниковых соединений, производства детекторов ядерных и инфракрасных излучений, высоковольтных и сильноточных переключателей, разработки квантового компьютера, создания физически обоснованного эталона массы на базе высокочистого изотопно-обогащенного кремния 28Si [2-6]. Есть основания полагать, что в дальнейшем области применения изотопно-обогащенного кремния в науке и технике будут расширяться [7-9].

Широкое применение кремния в высокоточных технологиях обусловливает высокие требования к чистоте используемого силана. В соответствии с современными требованиями в моносилане лимитируется содержание примесей перманентных газов, углеводородов, дисилана, хлорсиланов, воды на уровне, не превышающем 5-10'3-М0"5 мол.% [10]. Кремний для уточнения числа Авогадро не должен содержать примесей г 11 углерода и кислорода более 2-10 , бора не более 5-10 и других элементов не более п-1015 ат./см3 [11]. Методами, позволяющим контролировать примеси на таком уровне являются газовая хроматография и хромато-масс-спектрометрия [12, 13]. Среди них наиболее перспективным является хромато-масс-спектрометрия. К важнейшим достоинствам этого метода относятся высокая чувствительность, возможность быстрого (от нескольких секунд) проведения идентификации примесей, индивидуальное определение хроматографически не

разделённых веществ. Пока данный метод не нашёл широкого распространения для анализа силана. Одной из объективных причин редкого его использования является сложность дозирования силана в хромато-масс-спектрометрическую систему [12].

Имеющиеся в литературе данные по примесному составу силана относятся к синтезированному из силицида магния или полученному диспропорционированием триэтоксисилана и трихлорсилана [14]. Состав такого силана с содержанием примесей на уровне Ю^-Ю"5 % хорошо изучен [15, 16]. Отсутствуют данные по исследованию примесного состава силана, получаемого по моноизотопной технологии- из тетрафторида кремния. Поэтому изучение примесного состава силана в широкой области концентрации, в том числе ниже мол.%, особенно для изотопнообогащённого силана, является актуальной задачей.

Цель работы. Целью настоящей работы являлась разработка методики хромато-масс-спектрометрического анализа силана высокой чистоты, в том числе изотопно-обогащенного, получаемого из тетрафторида кремния. Для этого было необходимо решить следующие задачи:

1. Определить условия высокочувствительного хромато-масс-спектрометрического анализа силана, включающие выбор хроматографических колонок, изготовление системы пробоотбора, выбор условий детектирования примесей.

2. Провести идентификацию примесей в силане на уровне ниже МО'4 мол.%.

3. Установить и учесть факторы, формирующие систематические погрешности определения примесей.

4. Разработать методику количественного определения примесей с пределами обнаружения 10'6-10"7 мол.%.

5. Доказать правильность выполнения анализа силана.

Научная новизна.

Впервые проведено хромато-масс-спектрометрическое исследование

О Я примесного состава силана изотопно-обогащенного ( Silii) и природного изотопного состава, полученного из тетрафторида кремния. Идентифицировано 42 примесных вещества. Впервые определены примеси циклопропана, непредельных углеводородов С4, пентана, некоторых алкилпроизводных силана, непредельных фторсодержащих углеводородов, ксенона, гексафторида серы.

Исследована устойчивость примесей в силане. Показано, что концентрации примесей этилена, тетрафторэтилена, дисилана являются нестабильными при хранении.

Подобраны условия анализа, не приводящие к статистически значимому изменению примесного состава на уровне концентраций 10'6-10"7 мол. %. На основе расчёта сечений ионизации примесей разработана методика безэталонного хромато-масс-спектрометрического определения недоступных для градуировки веществ. Определены коэффициенты чувствительности детектирования установленных в силане примесей.

Практическая ценность работы.

Разработана методика хромато-масс-спектрометрического анализа силана высокой чистоты с возможностью определения 42 веществ с пределами обнаружения 8-10"б-9-10"8 мол.%. Методика анализа применялась для контроля ло чистоты силана, использованного для получения монокристалла Si для создания физически обоснованного эталона массы и уточнения числа Авогадро. Результаты исследования примесного состава различных фракций, полученных при очистке силана, применяются для изучения поведения примесей в процессе его ректификации. Разработанный подход определения недоступных для выполнения градуировки примесей, может быть использован для анализа широкого круга различных веществ.

Исследования проводились в рамках программы фундаментальных исследований РАН "Новые материалы и вещества - основа создания нового поколения техники, технологии и решения социальных задач" (Раздел "Высокочистые вещества и материалы на их основе"), в рамках проекта Международного научно-технического Центра №1354 "Разработка методов получения и изучение свойств изотопно-чистых полупроводниковых материалов для использования в современных технологиях", а также в рамках международного проекта "Авогадро".

Положения, выносимые на защиту:

1. Результаты исследования возможности применения кварцевых капиллярных PLOT колонок с адсорбентами Porapak Q, модифицированным силикагелем и политриметилсилилпропином для разделения примесей в силане с последующим масс-спектрометрическим детектированием.

2. Результаты идентификации и количественного определения примесей в образцах изотопно-обогащенного силана и природного изотопного состава.

3. Результаты исследования стабильности силана, примесей в нём и образцов сравнения при хранении и во время выполнения анализа.

4. Разработка методики безэталонного определения содержания примесей в силане, для которых отсутствуют экспериментально рассчитанные коэффициенты чувствительности детектирования.

Апробация работы. Результаты работы докладывались и обсуждались на Аналитическом Русско-германо-украинском симпозиуме "ARGUS-9" (Киев, 2005); ХШ-й конференции "Высокочистые вещества и материалы. Получение, анализ, применение" (Н. Новгород, ННГУ им. Н.И. Лобачевского, 2007); Международном конгрессе "International Congress on Analytical Sciences ICAS-2006" (Москва, 2006); 3-м Нижегородском совещании "Высокочистый моноизотопный кремний. Получение, анализ, свойства и применение" (Н. Новгород, ИХВВ РАН, 2006); городском семинаре по химии высокочистых веществ (Н. Новгород, ИХВВ РАН, 2006); девятой, десятой конференции молодых учёных-химиков г. Н. Новгорода (Н. Новгород, ННГУ им Н.И. Лобачевского 2006, 2007); конкурсе работ молодых учёных (Н. Новгород, ННГУ им Н.И. Лобачевского, ИХВВ РАН, 2005); XI, XII Нижегородской сессии молодых учёных (химия, физика, биология, медицина) (Н. Новгород, 2006,2007).

Публикация результатов. По теме работы опубликованы 2 статьи в научных журналах и тезисы 7 докладов на научных конференциях.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, 3 глав, выводов и списка цитируемой литературы. Работа изложена на 130 страницах машинописного текста, включая 29 рисунков, 33 таблицы и библиографию из 109 наименований.

Заключение диссертации по теме «Аналитическая химия», Созин, Андрей Юрьевич

ВЫВОДЫ

1. Установлена природа примесей в изотопно-обогащенном силане и в силане природного изотопного состава, полученных из тетрафторида кремния и гидрида кальция. Идентифицировано 42 примесных вещества. Обнаруженными примесями являются постоянные газы, ксенон, диоксид углерода, углеводороды СрС5, фтор- и хлорсодержащие углеводороды, гидриды элементов 4-6 групп Периодической системы, гомологи силана, алкилпроизводные силана, дисилоксан, гексафторид серы. Примеси гексафторида серы, ксенона и фторуглеводородов, характерны для изотопно-обогащенного силана.

2. Исследована стабильность примесей в силане, образцах сравнения, а также влияние материала контейнеров на стабильность примесей. Показано, что изменение концентрации примесей в течение времени анализа силана

4 статистически незначимо по сравнению со случайной погрешностью.

3. Разработана система дозирования силана в хромато-масс-спектрометр, позволяющая использовать для анализа величину пробы, не превышающую 70 мкг, что в 20-150 раз меньше, чем для известных методик.

4. Разработан безэталонный метод определения в силане веществ, W недоступных в индивидуальном состоянии, основанный на корелляционнои

KJ зависимости коэффициентов чувствительности детектирования примесеи от их сечений ионизации. Погрешность определения коэффициентов чувствительности для рассмотренных веществ составляет 14-32 %.

5. Достигнутые пределы обнаружения примесей составляют 8-10 -9-10 мол. % и находятся на уровне лучших мировых. Для циклопропана, 1-бутена, 2-бутена, метилпропена, n-C5Hi2, фторсодержащих углеводородов, хлорметана, трисилана, диэтилсилана, дисилилметана, гексафторида серы они получены впервые. Для аргона, германа, хлорэтана, дисилана, алкилпроизводных силана, дисилоксана пределы обнаружения ниже известных в 2-100 раз

6. Правильность результатов анализа доказана методом варьирования величины пробы и сравнением с результатами определения газохроматографическим и ИК-спектроскопическим методами.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Созин, Андрей Юрьевич, 2007 год

1. Девятых, Г. Г. О гидридном методе получения элементов особой чистоты / Г. Г. Девятых // Труды по химии и химической технологии. -Горький. - 1962. - вып. 2. - С. 221-224.

2. Производство и потребление высокочистого моносилана за рубежом / Е. П. Белов, Ю .П. Григораш, Е. Н. Лебедев, А. И. Горбунов, И. Н. Литвиненко // Высокочистые вещества. 1990. -№ 3. - С. 67-70.

3. Becker, P. The silicon-28 path to the Avogadro constant first experimtnts and outlook / P. Becker et al. // IEEE Transactions on instrumentation and measurement. - 1995. Vol. 45, № 2. - P. 522-525.

4. Годисов, О. H. Получение изотопно-чистого поликристаллического кремния и исследование его свойств / О. Н. Годисов // Физика и техника полупроводников. -2001. Т. 35, вып. 8. С. 913-915.2 о I

5. Tsubouchi, N. Epitaxic growth of pure Si thin films using isotopically 4 purified ion beams // N. Tsubouchi et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2001. - Vol. 40, ~1. P. 1283-1285.

6. Moffat, H. K. Gas phase and surface reaction in Si doping of GaAs by silanes / H. K. Moffat, T. F .Kuech, P.- J. Wang // J. Ciyst. Growth. 1988. - Vol. 93, № 5. -P. 594-601.

7. Девятых, Г. Г. Получение высокочистого моноизотопного кремния-28 / Г. Г. Девятых, А. Д. Буланов, А. В. Гусев // Доклады академии наук. 2001. - Т. 376, №4.-С. 492-493.

8. Capinski, W. S. Thermal conductivity of isotopically enriched Si // W. S. Capinski etal. // Appl.phys. lett.- 1997. Vol. 71,№ 15.-P. 2109-2111.

9. Bulanov, A. D. The highly isotopic enriched 99,9 %., high-pure 28Si single cristall / A. D. Bulanov [et al.] // Cryst. Res. Technol. 2000. Vol. 35, № 9. - P. 1023-1026.

10. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш, А. И. Горбунов, И. Н. Литвиненко. М., 1989. -37 с.1. Ой

11. Becker, P. Large-scale production of highly enriched Si for the precise determination of the Avogadro constant / P. Becker et al. // Meas. Sci. Technol. -2006. Vol. 17.-P. 1854-1860.

12. Крылов, В. А. Анализ высокочистых летучих веществ / В. А. Крылов // Журн. аналит. химии. 2002. - Т. 57, № 8. - С. 790-802.

13. Крылов, В. А. Проблемы анализа высокочистых летучих агрессивных веществ / В. А. Крылов // Российский химический журнал. 2002 - Т. 44, № 4. -С. 71-75.

14. Klokner, Н. J. Hochreines monosilan fur die elektronikindustrie-synthese, reinigung und charakterisierung / Н, J. Klokner, M. Eschwey // Chem. Ing. Tech. -1988. Vol. 60, №11.- P. 815-826.

15. Taylor, P. A. Purification techniques and analytical methods for gaseous and metallic impurities in high-purity silane / P. A. Taylor // Journal of Crystal Growth. -1988.-Vol. 89,- P. 28-38.

16. Девятых, Г. Г. Летучие неорганические гидриды особой чистоты / Г. Г. Девятых, А. Д. Зорин. М.: Наука, 1974. - 206 с.

17. Tindal, С. Н. The vibration -rotation spectrum of SiH, / С. H. Tindal, J. W. Straley, H.H. Nielsen // The physical review. 1942. - Vol. 62. - P. 151-159.

18. Stevenson, D. P. The structure of fhosphine and related hydrides / D. P. Stevenson // The journal of chemical physics. 1940. Vol.8. - P. 285-287

19. Gunn, S. R. The hearts of formation of H2Se and H2Te correlations of simple covalent hydrides / S. R. Gunn // J. Phys. Chem. 1964. Vol. 68. - P. 949-952.

20. Gunn, S. RThe heats of formation of some unstable gaseous hydrides / S. R. Gunn, L. G. Green // J. Phys. Chem. 1961. Vol. 65. - P. 779-783.

21. Осипов, О.А. Справочник по дипольным моментам. М. : Высшая школа, 1965. -251 с.

22. Плотность простейших летучих гидридов элементов III-VI групп / А. Д. Зорин, И. В.Руновская, С. Б. Ляхманов, JI. В. Юданова // Журн. неорг. химии. -1967.-вып. 12.-С. 2529-2534.

23. Woolsey, G. J. The critical constants of the inert gases and of hydrogen compounds having the same namber of electron per molecule / G. J. Woolsey // J. Am. Chem. Soc. 1937. Vol. 59. - P. 1577-1578.

24. Kobe, K. A. The critical proerties of elements and compounds / K. A. Kobe, R. E. Lynn // Chem. Rev. 1953. Vol. 52. - P. 117-236.

25. Давление пара жидкого моносилана и его смеси с этиленом / А. Д. Зорин, Г. Г. Девятых, Э. Ф. Крупнова, С. Г. Краснова // Журн. неорг. химии. -1964. вып. 10. - С. 2280-2284.

26. Hogness, T.R. The thermal decomposition of silane / T. R. Hogness, T. L. Wilson, W. C. Johnson//J. Am. Chem. Soc.- 1936. Vol. 58. -P. 108-112.

27. Frietz, G. Bildung siliciumorganische verbindungen III. Mitt.: zum themischen zerfall von SiH* / G. Frietz // Zeitschrift fur naturforschung. 1952. -band. 7b.-S. 507-508.

28. White, G. Reactions of silane with unsaturated hydrocarbons / G. White, E. . G. Rochow // J. Am. Chem. Soc. 1954. Vol. 76. - P. 3897-3902.

29. Вотинцев, В. H. Кинетика и термохимия реакции термического разложения силана и германа / В. Н. Вотинцев, В. С. Михеев, В. Н. Смирнов // Высокочистые вещества. 1988. -№1. - С. 17-28.

30. Жигач, А. Ф. Химия гидридов / А. Ф. Жигач, Д. С. Стасиневич. Д.: Химия, 1969. - 676 с.

31. Другов, В. В. О механизме гидролиза силана / В. В. Другов, А. Д. Зорин, Л. С Ефремова // Журн. неорг. химии. -1971.- вып. 12. С. 3195-3199.

32. Fritz, G. Bildung, eigenschaften und reaktioned des silylphosphins / G. Fritz // Zeitschrift fur anorganische und allgemeine chemie. -1955. band 280. - S. 332— 345.

33. Пат. 2537763 США. Preparation of organosilanes / D. T. Hurd. № 143149 ; заявлено 8.02.50.; опубл. 9.01.51

34. Пат. 2786862 США. Preparation of dialkylsilanes / J. K. Wolfe, B. Hill, N. C. Cook. № 468546 ; заявлено 12.11.54.; опубл. 26.03.57

35. Johnson, W. Hydrogen compounds of silicon. I. The preparation of mono-and disilane / W. Johnson, S. Isenberg // J. Am. Chem. Soc. 1935. Vol. 57. - P. 1349-1353.

36. Steinbach, B. The preparation and properties of silyl methyl ether / B. Steinbach, A. G. McDiarmid // J. Am. Chem. Soc. 1961. Vol. 83. - P. 3384-3388.

37. The preparation and some properties of hydrides of elements of the fourth group of the periodic system and of their organic derivatives / A. E. Finholt, A. C. Bond, R. E. Wilzbach, H. I. Schlesinger // J. Am. Chem. Soc. 1947. Vol. 69. - P. 2692-2696.

38. Van Artsdalen, A. E. R. The reaction of silyl bromide with magnesium / A. E. R. Van Artsdalen, J. Gavis // J. Am. Chem. Soc. -1952. Vol. 74. P. 3196-3197.

39. Finholt, A. E. Lithium Aluminum hydride, aluminum hydride, and some of their applications in organic and inorganic chemistry / A. E. Finholt, A. C. Bond, H. I. Schlesinger // J. Am. Chem. Soc. 1947. Vol. 69. - P. 1199-1203.

40. Пат.1085505 ФРГ. Verfahren zur herstellung von wasserstofferbindungen der elemente der IV hauptgruppe des periiodischen systems mit der ordnung szahlen / H. Jenkner. № 563321; заявлено 19.09.58.; опубл. 21.07.607S ЛЛ 1Л

41. Получение высокочистого моноизотопного силана: SiFLi, SiHt, S1H4 / Г. Г. Девятых, Е. М. Дианов, А. Д. Буланов, О. Ю. Трошин, В. В. Балабанов, Д. А. Пряхин // Доклады академии наук. 2003 - Т. 391, № 5. - С. 638-639.

42. Получение высокочистого моноизотопного кремния-28 / Г. Г. Девятых, А. Д. Буланов, А.В. Гусев, П.Г. Сенников, A.M. Прохоров, Е. М. Дианов,Х.-Й. Поль // Доклады академии наук. 2001Т. 376, № 4. - С. 492-493.

43. Агафонов, И. JI. Получение моносилана через триэтоксисилан и хранение моносилана / И. Л. Агафонов, Г. К. Борисов, Г. Г. Девятых, А. М. Павлов, В. П. Устинов // Труды по химии и химической технологии. Горький, 1960. - вып. 1. - С. 45-50.

44. Клещевникова, С. И. Получение чистого кремния термическим разложением силана / С. И. Клещевникова, Я. Е. Покровский, Е. И. Румянцева // Журн. техн. физики. -1957. Т. 27. - С. 1645-1648.

45. Каталитическая активность анионообменных смол в реакции диспропорционирования трихлорсилана / Н.Д. Гришнова, А. В. Гусев, А. Н. Моисеев, Г. М. Мочалов, Н. В. Балановский, Т. П. Харина // Журн. прикл. химии. -1999- Т. 72, вып. 10. С. 1667-1672.

46. Девятых, Г. Г. Глубокая, очистка летучих неорганических гидридов методом ректификации / Г. Г. Девятых и др. // Методы получения и анализа веществ особой чистоты. М., 1970. - С. 42-50.

47. Трошин. О.Ю. Получение высокочистого моноизотопного силана Si28H4: дис.канд. хим. наук : 02.00.01 : защищена 26.03.04 : утв. 11.06.04. /

48. Трошин Олег Юрьевич. Н.Новгород, 2004. - 103 с.

49. Крылов, В. А. Газохроматографическое определение микропримесей углеводородов С1-С4 в тетрафториде кремния высокой чистоты / В. А. Крылов, Т. Г. Сорочкина // Журн. аналит. химии. 2005. - Т. 60, № 12. С. 1262-1266.

50. Буланов, А. Д. Получение высокочистых моноизотопных силанов 28SiH4, 29SiH4 и 30SiH4 : автореф. дис.докт. хим. наук : 02.00.01 / Буланов Андрей Дмитриевич. Н.Новгород, 2005. - 48 с.

51. Девятых, Г. Г. Получение металлов особой чистоты через летучие неорганические соединения / Г. Г. Девятых, А. С. Юшин, Л. Н. Осипова // Металлы особой чистоты. М.: Наука. 1976. - С. 105-113.

52. Ларин, Н. В. Количественный масс-спектрометрический анализ моносилана и моногермана / Н. В. Ларин, Г. Г. Девятых, И. Л. Агафонов // Журн. аналит. химии. 1967. - Т. 22, вып 2. - С. 285-288.

53. Агафонов, И. Л. Масс-спектрометрическое определение суммарного содержания органических примесей в моносилане / И. Л. Агафонов, В. М. Павлуцкая // Журн. аналит. химии. 1968. - Т. 23, №12. - С. 1878-1880.

54. Bunyard, G.B. Improved Product yield through gas purity assurance / G. B. Bunyard, R. E. Pecsar, К Lin // Semicond. Int. 1983. - Vol. 104, - P. 456-459.

55. Яшин Я. И. Физико-химические основы хроматографического разделения / Я. И. Яшин. М.: Химия, 1976. - 216 с.

56. Высокоэффективная газовая хроматография / Отв. ред. К. Хайвер. М. : Мир. 1993.-164 с.

57. Иванова Н.Т., Пригожина Л.Д., Воеводина В.В., Малаховский Ю.В., Жаров Б.В., Франгулян Л.А.// Журнал Аналитической химии. 1981. Т.36. вып.4. С.672-675.

58. Ливерко, В. Н. Газохроматографическое определение некоторых органических приёмесей в силане / В. Н. Ливерко, А. Е. Ежелева, Г. Г. Девятых // Журн. аналит. химии. 1982. - Т. 37, вып. 2. - С. 357-358.

59. Иванова, Н. Т. Аналитический контроль производства гидридов As, Р, Si, В и смесей на их основе / Н. Т. Иванова, Н. А. Веселых, В. В. Воеводина // Высокочистые вещества. -1989. № 6. - С. 102-107.

60. Определение содержания постоянных газов в гидрдах элементов IV-VI 4 групп периодической системы / А. Е. Ежелева, Г. Е. Снопатин, М. Ф. Чурбанов,

61. Т. П. Припасова, Б. Г. Второв // Журн. аналит. химии. 1978. - Т. 33, вып 11.-С. 2151-2155.

62. Газохроматографическое определение микропримесей Н2, 02, Ar, N2, СО, С02 и углеводородов высокочистом моносилане / В. М. Воротынцев Г. М. Мочалов, А. К. Матвеев, А. В.Малышев, И. В. Воротынцев // Журн. аналит. химии. 2003. - Т. 58, № 2. - С. 178-181.

63. Ежелева, А. Е. Газохроматографический анализ высокочистых летучих неорганических гидридов III-VI групп Периодической системы / А. Е. Ежелева, Л. С. Малыгина, Г. Е. Снопатин // Успехи газовой хроматографии. Казань, 1982. вып. VI.-С. 284-295.

64. Ежелева, А. Е. Газохроматографическое определение примесей неорганических веществ в моносилане /А. Е. Ежелева, JI. С. Малыгина, М. Ф. Чурбанов /Журн. аналит. химии. 1980. - Т. 35, вып. 10. - С. 1972-1975.

65. Ежелева, А. Е. Применение пламенно-фотометрического детектора при газохроматографическом анализе летучих неорганических гидридов особой чистоты / А. Е. Ежелева, Г. Е. Снопатин, JI. С. Малыгина // Журн. аналит. химии.-1979.-Т. 34,вып. 12.-С. 2308-2311.

66. Trace gas detection in high purity gases for semiconductor fabrication with a new GC/MS system / I. Morisaco, T. Kato, Y. Ino, K. Schaefer // Int. J. Mass Spectrom. Ion Phys. 1983. - Vol. 48, - P. 19-22.

67. Cambria, T. Identification and removal of impurities in silane and dichlorsilane gas streams / T. Cambria, J. McManus // Solid State Technology.1990. Vol. 50,-P. 95-98.

68. РМГ 29-99. Рекомендация по межгосударственной стандартизации ГСИ. Метрология. Основные термины и определения. Минск. : Изд-во стандартов, 2000. - 91 с.

69. M. Itoh, К. Iwata, М. Mitsuzuka Additional reactions of silane with ethylene or acetylene in the gas phase on metal oxides. // Applied Catalysis A: General. 2001. 217. P. 185-189.

70. Allen, Robert H., Richards, Douglas M. пат США 859146. March 27.1992.

71. Вотинцев, В. H. Кинетика и термохимия реакции термического разложения силана и германа // В. Н. Вотинцев, В. С. Михеев, В. Н. Смирнов // Высокочистые вещества. 1988. - № 12. - С. 17-28.

72. Neudorfi, P. Mechanism of the Thermal Decomposition of Monosilane // P. Neudorfi, A. Jodhan, 0. P. Strausz // The Journal of Physical Chemistry. 1980. -Vol. 84, №3.-P. 338-339.

73. Матье, Ж. Курс теоретических основ органической химии / Ж. Матье, Р. Панико. М.: Мир, 1975. - 556 с.

74. Th. Noy, С. Cramers. The Effect of Column Characteristics of the Minimum Analyte Concentration and the Minimum Detectable Amount in Capillary Gas

75. Chromatography //Journal of High Resolution Chromatography Communications. 1988. V. 11. P. 264-270.

76. Крылов, В. А. Газохроматографический анализ высокочистых летучих хлоридов : дис. докт. хим. наук : 02.00.02 : защищена 22.05.91 : утв. 07.09.91 / Крылов Валентин Алексеевич. -Н. Новгород, 1991. 459 с.

77. Берёзкин, В. Г. Политриметилсилилпропин как адсорбент в капиллярной газовой хроматографии / В. Г. Берёзкин, А. А. Королёв, В. С. Хотимский // Доклады академии наук. 2000.- Т. 370, № 2. - С. 200-204.

78. Применение капиллярнрй газовой хроматографии для анализа высокочистого силана на содержание углеводородов / В. А. Крылов, В. Г. Берёзкин, О. Ю. Чернова, Ю. М. Салганский, А. Ю. Созин // Журн. аналит. химии. 2005. - Т. 60, № 9. - С. 958-962.

79. Справочник химика. Изд. 2-е испр.: в 6 т. / Гл. ред. Б. П. Никольский. -Л.: Химия, 1964. Т. 2. - 1168 с.

80. Термодинамические константы веществ. Выпуск 4. ч. 1. Таблицы принятых значений / Под ред. В. П. Глушко. М.: 1970. - вып. 4, ч. 1. 509 с.

81. Анваер, Б. И. Газовая хроматография неорганических веществ / Б. И. Анваер, Ю. С. Другов. М.: Химия. 1976. - 240 с.

82. Аглиулов, Н. X. Лабораторная ректификационная плёночная колонна для выделения ниже- и вышекипящих примесей / Н. X. Аглиулов, Г. Г. Девятых // Заводская лаборатория. 1961. Т. 27. - С. 350-353.

83. Kelen, G. P. van der The mass spectra of mono- and digermane / G.P. van der Kelen, C. van der Vondel // Bulleten des societes chimiques Belgas. 1960. Vol. 69.-P. 504-516.

84. Масс-спектр моногермана / И. Л Агафонов, Г. Г. Девятых, И. А. Фролов, Н. В. Ларин // Журн. физ. химии. 1962. - Т. 36, вып. 6. - С. 13671368.

85. Neuert, Н. Massenspectrometrische untersuchung von SiH2, SeH2, PH3, SiH4 und GeH} / H. Neuert, H. Clasen // Zeitschrift fur naturforschung. 1952. - band. 7a. -S. 410-416.

86. Агафонов, И. Л. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты / И. Л. Агафонов, Г. Г. Девятых. М.: Наука, 1980. - 336 с.

87. Сидоров, Л. Н. Масс-спектральные термодинамические исследования / Л. Н. Сидоров, М. В. Коробов, Л. В. Журавлёва. М. : Изд. Моск. Университета, 1985. - 208 с.

88. Агафонов, И. Л. Взаимосвязь атомной и молекулярной рефракции и полной ионизации / И. Л. Агафонов, А. Л. Агафонова // Журн. физической химии. 1964. - Т. 38, №2. - С. 356-360.

89. Агафонов, И. Л. Взаимосвязь величин относительной электроотрицательности и атомной рефракции / И. Л. Агафонов // Журн. неорганической химии. 1959. - Т. 4, вып. 6. - С. 1270-1276.

90. Otwos, J. W. Cross-sections of molecules for ionization by electrons / J. W. Otwos, D. P. Stevenson //J.Amer. Chem. Soc 1956. - Vol. 78, № 3. - P. 546-551.

91. Lampe, F. W. Cross sections for ionization by electrons / F. W. Lampe, J. L. Franklin, F. H. Field // J.Amer. Chem. Soc.- 1957. Vol. 79, № 23. - P. 61296132.

92. Mann, J. B. Ionization Cross Sections of the Elements Calculated from Mian-Square Radii of Atomic Orbitals / J. B. Mann // The Journal of Chemical Physics. 1967. - Vol.46, №5. - P. 1646-1651.

93. Семёнов, Г.А. Применение масс-спектрометрии в неорганической химии / Г. А. Семёнов, Е. Н. Николаева, К. Е Францева. JI. : Химия, 1976. -151 с.

94. Бацанов, С. С. Структурная рефрактометрия / С. С. Бацанов. М. : Высшая школа, 1976. - 304 с.

95. Бацанов, С. С. Вычисление электронной поляризуемости атомов с промежуточным характером связей / С. С. Бацанов // Журн. физической химии.1956. - Т. 30, вып. 12. - С. 2640-2648.

96. Сербер, Д. Линейный регрессионный анализ / Д. Сербер. М. : Мир, 1980.-456 с.

97. Основы аналитической химии. Изд. 2-е.: в 2 т. / под ред. Ю. А. Золотова. М.: Высшая школа, 2000. - 351 с.

98. ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002. Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Ч. 1.Основные положения и определения. -М.: Изд-во стандартов, 2002. 29 с.