Исследование и разработка мультисенсорных датчиков газов на основе тонких слоёв углеродных нанотрубок и производных графена тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Стручков Николай Сергеевич

• Стручков Николай Сергеевич
• кандидат наук
• 2025

Оглавление диссертации кандидат наук Стручков Николай Сергеевич

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА УНТ

1. 1 Электрофизические свойства углеродных нанотрубок и сеток на их основе

1.2 Моделирование электрофизических характеристик сеток УНТ

1.3 Механизмы газочувствительности УНТ

1.4 Методы повышения чувствительности и селективности датчиков на основе углеродных наноматериалов

1.5 Выводы к главе

Глава 2. РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ АЭРОЗОЛЬНОГО НАНЕСЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СЛОЁВ ДАТЧИКОВ ГАЗА

2.1 Материалы и оборудование

2.2 Технология нанесения и методы исследования тонких пленок углеродных наноматериалов

2.3 Оптимизация параметров нанесения для повышения однородности пленок углеродных наноматериалов

2.4 Способ удаления остаточного растворителя из слоев углеродных наноматериалов, полученных аэрозольным распылением

2.5 Выводы к главе

Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ УНТ НА ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ИХ СЕТОК

3.1 Резистивный отклик на воздействие паров воды и аммиака

3.2 Схемотехническое моделирование зависимости интенсивности резистивного отклика на воздействие газа от поверхностной концентрации УНТ

3.3 Исследование температурной зависимости сопротивления и отклика

3.4 Оценка погрешности детектирования NHз

3.5 Выводы к главе

Глава 4. СОЗДАНИЕ СЕЛЕКТИВНЫХ ДАТЧИКОВ ГАЗА НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ

4.1 Газочувствительные наноструктурированные слои на основе гетероконтактов УНТ/Ам-вОГ

4.2 Использование массива измерительных преобразователей на основе УНТ и Ам-вОГ для распознавания КНз при различной влажности

4.3 Мультисенсорные газовые датчики на основе тонких слоев производных графена

4.4 Выводы к главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

БЛАГОДАРНОСТИ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Приложение А

Приложение Б

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка мультисенсорных датчиков газов на основе тонких слоёв углеродных нанотрубок и производных графена»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность работы. Активное исследование новых материалов и развитие машинных алгоритмов в последнее десятилетие способствовало появлению нового класса высокоселективных газоаналитических приборов «электронный нос», предназначенных для распознавания газов и летучих органических соединений, а также их смесей. Задача анализа состава газовых смесей актуальна в области экологического мониторинга при анализе содержания в воздухе аварийно химически опасных веществ, в медицинской диагностике при экспресс-исследованиях состава выдыхаемого воздуха на наличие признаков заболеваний, а также при контроле качества продукции в промышленном производстве. Cелективность распознавания широкой номенклатуры соединений газоанализаторами этого класса достигается за счет использования массива измерительных преобразователей, работающих на одном или нескольких физических принципах, выходной сигнал которых анализируется посредством методов машинного обучения. Однако существующие технологии изготовления измерительных преобразователей (электрохимических, каталитических, полупроводниковых, оптических), не позволяют в полной мере добиться миниатюризации и интегрирования большого массива преобразователей с существенно варьируемой перекрестной чувствительностью в едином датчике. Одним из перспективных направлений является разработка первичных преобразователей концентрации газа в электрический сигнал на основе тонких пленок полупроводниковых наноматериалов. Ведущие в этой области отечественные научные организации проводят испытания мультисенсорных датчиков на основе различных полупроводниковых материалов, включая наночастицы оксидов металлов (Лаборатория Наноматериалов, Сколтех), полимеров (Лаборатория молекулярных сенсорных технологий и устройств, ИСПМ РАН), максенов и углеродных наноматериалов (Кафедра «Физика», СГТУ). Последние, включающие углеродные нанотрубки и различные производные графена, обладают рядом преимуществ, а именно комнатной рабочей температурой, стабильностью к воздействию больших концентраций газов, возможностью варьирования перекрестной чувствительности методами химической модификации, восстановлением при нормальных условиях, а также низким пределом чувствительности к донорно/акцепторным газам.

Для изготовление мультисенсорного датчика на поверхность массива электродов локально наносят тонкие слои углеродных наноматериалов различного химического состава, либо модифицируют отдельные области с целью изменения его перекрестной чувствительности. Наиболее технологичным методом нанесения таких слоев является аэрозольное распыление. Однако для получения однородных пленок метод требует усовершенствования с учетом низкой

стабильности дисперсий и их агломерации при высыхании на поверхности подложки. Морфология формируемых слоёв является существенным фактором, определяющим электрические и газочувствительные свойства пленок. Другим недостатком аэрозольного распыления является наличие остаточного растворителя в формируемых слоях при использовании высококипящих органических растворителей.

Повышение чувствительности преобразователей, наряду с увеличением их количества в мультисенсорном датчике и варьированием селективности, является важной задачей. Рекордные значения резистивного отклика демонстрируют гетероконтакты между различными полупроводниковыми материалами, открывая дорогу к созданию газочувствительных Ван-дер-Ваальсовых нанокомпозитов. Высокая чувствительность за счет изменения сопротивления контактов может проявляться не только в нанокомпозитах, но и в односоставных слоях, например сетках несортированных УНТ. Лучшее понимание роли гетероконтактов в газочувствительности сеток УНТ, а также разработка методов формирования нанокомпозитов УНТ с другими наноматериалами позволят продвинуться в создании высокочувствительных преобразователей на их основе.

Цель работы заключалась в разработке селективных мультисенсорных датчиков газов на основе тонких слоёв УНТ, производных графена и их смеси. Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1. Разработать методику нанесения однородных наноразмерных слоев углеродных наноматериалов на кремниевые подложки аэрозольным распылением дисперсии;

2. Исследовать электрические характеристики (ВАХ, амплитуду шума, температурный коэффициент сопротивления) и резистивный отклик тонких пленок углеродных наноматериалов на воздействие аммиака и паров воды;

3. Разработать мультисенсорные датчики на основе массива газочувствительных слоев из углеродных наноматериалов на единой подложке с варьируемой перекрестной чувствительностью за счет: 1) варьирования морфологии слоя, 2) использования материалов с различными типами функциональных групп;

4. Разработать эквивалентную схему сеток УНТ для схемотехнического моделирования характера зависимости их резистивного отклика на воздействие газа от поверхностной концентрации УНТ на подложке;

5. Создать резистивный преобразователь на основе гетероконтактов УНТ с аминированным восстановленным оксидом графена в наноструктурированном слое;

6. Выполнить распознавание паров аммиака при различной влажности методом линейного дискриминантного анализа выходного сигнала мультисенсорного датчика на основе тонких слоёв УНТ, аминированного восстановленного оксида графена и их смеси.

Научная новизна.

• Установлен эффект увеличения электрической проводимости слоёв углеродных наноматериалов, полученных аэрозольным распылением дисперсии, а также резистивного отклика сеток УНТ на аммиак в результате удаления остаточного растворителя при воздействии муравьиной кислоты с концентрацией не менее 99,7 %, в том числе и при нормальных условиях;

• Предложен способ схемотехнического моделирования влияния поверхностной концентрации УНТ на величину резистивного отклика к аммиаку, учитывающий различные механизмы газочувствительности;

• Предложен способ создания наноструктурированного газочувствительного слоя, обладающего повышенным резистивным откликом к аммиаку, за счет формирования гетероконтактов между УНТ и аминированным восстановленным оксидом графена;

• Установлено, что добавление измерительных преобразователей на основе наноструктурированного слоя УНТ и аминированного восстановленного оксида графена в состав мультисенсорного датчика повышает эффективность классификации и распознавания аммиака методом линейного дискриминантного анализа до 1,5 раз при концентрации аммиака в диапазоне 50-400 ррт и различной влажности.

Достоверность и обоснованность научных положений и полученных результатов обеспечивались их воспроизводимостью и использованием современных методов экспериментального и теоретического исследования. Научные результаты исследования не противоречат известным российским и зарубежным работам.

Практическая значимость работы.

• Разработана методика нанесения однородных тонких слоев УНТ и производных графена с толщиной от 5 нм посредством аэрозольного пневматического распыления их дисперсий в органических растворителях;

• Предложен способ повышения электропроводности слоёв УНТ и производных графена, нанесенных жидкостными методами, до 10 раз посредством удаления остаточного растворителя из слоев воздействием муравьиной кислотой;

• Предложен способ повышения чувствительности к малым концентрациям аммиака (50-400 ррт) до 4 раз резистивных измерительных преобразователей на основе сеток УНТ,

полученных аэрозольным распылением дисперсии содержащих №метилпирролидон, посредством воздействия муравьиной кислотой;

• Разработан технологический процесс создания на единой подложке мультисенсорных датчиков газов на основе слоев углеродных наноматериалов с варьируемой перекрестной чувствительностью для селективного детектирования паров воды, аммиака и различных спиртов;

• Создан наноструктурированный слой на основе Ван дер Ваальсовых гетероконтактов УНТ и аминированного восстановленного оксида графена с повешенным на 70% резистивным откликом на воздействие аммиака по сравнению с откликом слоя из УНТ;

• Создан мультисенсорный датчик газа на основе слоёв УНТ, аминированного восстановленного оксида графена и их наноструктурированного слоя, демонстрирующий селективное детектирования паров воды и аммиака.

Основные положения и результаты работы, выносимые на защиту:

1) Разработанная методика локального аэрозольного распыления при сверхмалом удельном расходе дисперсии на поверхность с увеличенной смачиваемостью обеспечивает формирование однородных наноразмерных слоев углеродных нанотрубок и производных графена, пригодных для создания первичных резистивных измерительных преобразователей для детектирования газов;

2) Обработка муравьиной кислотой наноразмерных слоёв карбоксилированных углеродных нанотрубок или карбоксилированного графена, полученных технологией аэрозольного нанесения дисперсии в №метилпирролидоне или его смеси с водой, снижает электрическое сопротивление до 10 раз и повышает резистивный отклик углеродных нанотрубок на воздействие аммиака с концентрацией 50-400 ррт на 20-80 %;

3) Уменьшение поверхностной концентрации карбоксилированных углеродных нанотрубок на подложке сопровождается возрастанием вклада контактного сопротивления между углеродными нанотрубками в общее сопротивление их слоя, что обуславливает повышение резистивного отклика на аммиак и модуля температурного коэффициента сопротивления слоя;

4) Применение мультисенсорного датчика на основе наноструктурированных слоёв углеродных нанотрубок и аминированного восстановленного оксида графена, а также слоёв производных графена с варьируемой толщиной или типом функциональных групп обеспечивает

достоверное распознавание аммиака с концентрацией от 400 ppm в осушенном воздухе и при наличии паров воды.

Личный вклад автора. Все результаты, представленные в данной работе, получены автором лично либо в соавторстве при его непосредственном участии. В работах посвященных созданию мультисенсорных датчиков на основе производных графена, участие автора заключалась в изготовлении датчиков, исследовании их морфологии и электрических характеристик, а также выполнение классификаций откликов.

Апробация результатов. Материалы диссертации были представлены на следующих российских и международных конференциях и отмечены специальными дипломами (Приложение А).

1) 26-я и 27-я Всероссийские межвузовские научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2019, 2020» (Зеленоград, 18 - 19 апреля 2019 г, 01 - 09 октября 2020 г.) (диплом за первое место в секции «Наноэлектроника» 2020 г)

2) 14th International Conference Advanced Carbon Nano Structures (ACNS'2019). Saint-Petersburg, Russia, July 1-5, 2019

3) 5th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN" April 22-25, St. Petersburg, 2019.

4) International Conference on Emerging Trends in Engineering, Science and Technology (ICRISET-2018)

5) Graphene 2019, June 25-28, Rome, Italy

6) 15th International Conference Advanced Carbon Nano Structures (ACNS'2021). Saint-Petersburg, Russia, June 28-July 2, 2021.

7) The 14th International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021) Zvenigorod, October 4-8, 2021

8) Школа-конференция с международным участием по оптоэлектронике, фотонике и нанобиоструктурам Saint Petersburg OPEN Май 24-27, Санкт-Петербург, 2022. (диплом за лучшую презентацию)

Полученные результаты теоретических и экспериментальных исследований были использованы при выполнении проекта FSMR 2020-0017, выполненного в рамках соглашения (договора) с Министерством образования и науки Российской Федерации о предоставлении субсидий федеральным бюджетным и федеральным автономным учреждениям на финансовое обеспечение выполнения государственного задания на оказание государственных услуг, а также проекта МК-4010.2022.4, проводимого в рамках грантов Президента Российской Федерации для

государственной поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук 2022, а также в опытно-конструкторской деятельности ООО «Графсенсорс» и ООО «НИИИТ» по созданию прототипа мультигазового анализатора класса «электронный нос». Копии актов об использовании результатов диссертационной работы в Приложении Б.

Публикации. По результатам работы было опубликовано 7 статей в журналах и сборниках, входящих в базы данных Web of Science и Scopus (в том числе 4 работы в журналах Q1, одна работа в журнале Q2), а также в перечне ВАК. Было сделано 9 устных и стендовых докладов на российских и международных конференциях. Получено 5 патентов на изобретение.

Объём и структура диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка сокращений и списка литературы (267 наименований), двух приложений, содержащих акты о внедрении результатов диссертационной работы (Приложение А) и достижения автора (Приложение Б). Материал работы изложен на 157 страницах печатного текста, включает 73 рисунка, 8 таблиц.

Глава 1. ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА УНТ

В настоящей главе описываются теоретические основы функционирования УНТ и их сеток в качестве хеморезистивных датчиков газов, паров воды и органических соединений. В первом разделе приведено краткое описание электрофизических свойств одиночных УНТ и их сеток. Второй раздел посвящен описанию электрических эквивалентных моделей сеток УНТ, применяющихся для моделирования их электрических и теплофизических характеристик. В третьем разделе описаны механизмы газочувствительности УНТ и их сеток, предложенные в литературе. В заключительном разделе главы описаны примеры реализации газочувствительных слоев из УНТ и нанокомпозитных структур на их основе.

1.1 Электрофизические свойства углеродных нанотрубок и сеток на их основе

Пионерская работа, посвященная углеродным нанотрубкам (УНТ) была опубликована С. Иидзимой и коллегами в 1991 года и содержала результаты исследования углеродных нанотрубок, их структуры, физических свойств и методов получения [1]. УНТ является аллотропной формой углерода, представляющей собой цилиндрическую полую трубку из одного или нескольких гексагональной кристаллической решеток, образующих одностенные (ОУНТ) или многостенные УНТ (МУНТ). Ввиду большого аспектного соотношения, УНТ могут рассматриваться как одномерные объекты. Угол между ориентацией углеродной решётки и осью нанотрубки определяет её хиральность и обозначающуюся парой индексов (т, п). Хиральность в совокупности с диаметром определяет ширину запрещенной зоны, позволяя выделить несколько типов УНТ: истинно металлические (м-УНТ) и полупроводниковые УНТ (п-УНТ), часть из которых обладает малой шириной запрещенной зоны и при комнатной температуре демонстрируют квазиметаллические свойства [2]. Образование запрещённой зоны в полупроводниковых УНТ обусловлено периодичностью самозамкнутой на себя углеродной решётки, накладывающей ограничение на возможные состояния по энергии и формируя запрещенную зону при определенных соотношениях индексов хиральности [3]. Ширины запрещённой зоны в длинных п-УНТ зависит от их радиуса по закону ~0.6 эВ/нм [4] и обычно варьируется в диапазоне от 1.3 до 0.5 эВ.

1.1.1 Электрический транспорт в одиночных УНТ

Электрическая проводимость одиночных ОУНТ может быть в общем виде описана формулой:

« = + (1)

где G0=2e2/h квант проводимости, а 2G0~ 6,5 кОм соответствует проводимости одного баллистического канала, l длина УНТ, X длина свободного пробега, а Rc контактное сопротивление. Основными источниками рассеяния являются: дефекты при низких температурах, акустические фононы при температуре близкой к комнатным и оптическим фононам при повышенной температуре или высоком напряжении смещения. Длина свободного пробега при комнатной температуре в м-УНТ может составлять для акустических фононов ~1 мкм, для высокоэнергичных фононов 10 нм (что обуславливает увеличение рассеяния при увеличении напряжения смещения) [5]. Длина свободного пробега в п-УНТ несколько меньше и составляет до 1 мкм [6] (Таблица 1).

Измерения удельного сопротивления УНТ осуществляться массивом электродов или методом подвижного зонда АСМ [7], при этом учитывается контактное сопротивление (рис 1а). Удельное сопротивление металлических и полупроводниковых УНТ сопоставимы (Таблица 1). Пучки УНТ обладают меньшим удельным сопротивлением, чем одиночные УНТ. Ток насыщения через ОУНТ составляет порядка ~20-30 цА. Дополнительное снижение удельного сопротивление возможно посредством допирования УНТ воздействием сильных кислотах, однако снижение сопротивления составляет порядка ~30 % [8].

Таблица 1 Оценка длины свободного пробега и удельного сопротивление ОУНТ при комнатной температуре

Тип УНТ Длина свободного пробега, мкм Удельное сопротивление, кОм/мкм Конфигурация электродов Ссылка

м-УНТ 1.6 4 Au - АФМ зонд [5]

м-УНТ 0.7 11 Pd [9]

п-УНТ 0.4 -

п-УНТ 1 7 Cr/Au (нижний) [6]

ОУНТ - 4-17 Au - АФМ зонд [7]

60

а 40

■Ьй *—*

о

о:

20

-■-!-1-1-1-1- •А!

Т1 • -

Си Iй ^ ^ Сг •N1

-0,1 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 (еУ)

(б)

Рисунок 1. Удельное и контактоное сопротивление УНТ. (а) Зависимость сопротивление УНТ от длины при комнатной температуре [6]; (б) зависимость контактного сопротивление УНТ/металл от работы выхода металла [10]

Сопротивление контакта с металлом также вносит существенный вклад в общее сопротивление и тип ВАХ характеристик одиночных п-УНТ вследствие формирования барьера Шоттки с металлом (рис. 1б) [10]. В отличии от контакта классических полупроводников с металлами, в которых вследствие эффекта пиннинга уровня Ферми высота барьера обусловлена поверхностными состояниями, в контактах УНТ-металл высота потенциального барьера существенно зависит от работы выхода металла [11]. В нижнем контакте УНТ-металл (когда УНТ лежит на поверхности металла) пиннинг уровня Ферми оказывается малосущественным фактором из-за высокой плотности состояний в УНТ [12, 13]. Однако при полном покрытии УНТ металлом, все же предсказывается существенное изменение электронной структуры и появление уровней в запрещенной зоне УНТ, обусловленное гибридизацией металла с углеродом. Высокая энергия связи металла с углеродом также снижает ширину туннельного барьера, наличие которого вызывает нелинейность контактов даже с м-УНТ. Эффект сильнее проявляется при малых диаметрах УНТ, вследствие повышения реакционной способности углерода с уменьшением диаметра. В большинстве работ минимальная высота барьера для дырок и сопротивление контакта к УНТ p-типа предсказывается для электродов из Pd, а максимальная для Л1, что хорошо согласуется с экспериментальным результатам [14]. Помимо работы выхода материала и энергии связи материала с УНТ, сопротивление также существенно снижается с увеличением длины контакта, но выходит в насыщение уже при длине контакта порядка 1 -3 мкм [15]. Изменение уровней наблюдается также за пределами области контакта с электродами, так согласно данным моделирования металл-индуцированные состояния могут находиться на расстоянии до 5 нм [16], а длина области обеднения может составлять единицы микрометров [17], что соответствует результатам пространственного измерения фотоиндуцированного тока [18,

19]. Дополнительного снижения контактного сопротивления можно добиться путем термического отжига или допирования, способствующих, в первом случае, лучшему физическому контакту с УНТ [20] и совпадению уровней Ферми во втором [21]. Однако наиболее низкое сопротивление реализуется при формировании карбидов металлов при высокотемпературном отжиге контактов УНТ, например, с Мо.

В самих УНТ значения работы выхода, полученные путем расчета и измерения различными методами, в среднем для несортированных сеток составляет 4.8 эВ [22]. При этом работа выхода может зависеть от длины УНТ и морфологии сеток [23], а также типа УНТ. В то время как для м-УНТ характерно небольшое увеличение работы выхода с увеличением диаметра и отсутствие зависимости от хиральности, у п-УНТ работа выхода значительно снижается с увеличением диаметра [24]. Наличие функциональных групп, повышает работу выхода МУНТ, наибольший рост наблюдается при наличии карбоксильных групп [25], по другим данным карбонильные [26], вклад структурных дефектов значительно менее существенный.

1.1.2 Свойства контактов УНТ-УНТ

Одним из наиболее ранних исследований контактов между УНТ стала работа Фюррера и др. [27], в которой исследовалась ВАХ пересекающихся ОУНТ различных типов при температуре 50 К и напряжении на затворе -25 В. Контакты между м-УНТ, также как и между п-УНТ продемонстрировали омическую ВАХ. При этом сопротивление контакта между м-УНТ составляло порядка 200 кОм, что соответствует вероятности туннелирование между УНТ порядка 2% и соответствует теоретическим расчетам. Сопротивление между п-УНТ оказалось незначительно выше, порядка 500 кОм, однако, измерение осуществлялось по двух зондовой схеме, поэтому результат может быть завышенным. ВАХ Ван-дер-Ваальсового гетероконтакта (далее просто гетероконтакта) п- и м-УНТ имела нелинейный характер, обусловленный барьером Шоттки с высотой порядка 300 мэВ. Протекание обратного тока может быть обусловлено туннелированием через барьер. Сопротивление в линейной области составило порядка 10 МОм. Значения сопротивления контакта между м-УНТ, полученное в работе [28], при комнатной температуре составляет 26 кОм. В работе [29] продемонстрировано, что контакт между п-УНТ также может обладать нелинейной ВАХ, существование потенциального барьера в области контакта было подтверждено результатами сканирующей фотоэлектронной микроскопии. В работе [30] наличие потенциального барьера между контактирующими УНТ было обнаружена и для Y- и Х-конфигурации, с амбиполярной и униполярными ВАХ, и высотами барьера 150 и 230 мэВ, соответственно. Предположительным механизмом транспорта через барьер, является туннелирование.

Альтернативным способом измерения контактного сопротивления является сканирование проводящим зондом вдоль контактирующих УНТ (Рис. 2а,б). Согласно результатам полученным в работе [8] сопротивление контактов одиночных УНТ (без указания типа) составляет ~98 кОм, контакта УНТ с пучком 230 кОм, и нескольких пучков со среднем и большим диметром 294 кОм и 2.7 МОм, соответственно, однако, последнее также включает в себя сопротивление между УНТ внутри пучка. Некоторые контакты, не демонстрирует скачкообразного изменения сопротивления, что авторы работы связывают с металлическим характером контактирующих УНТ и пучка. Однако исходя из АСМ изображений, это может быть связано с особенностью контактов Y-типа. Также был продемонстрирован эффект трехкратного снижения сопротивления контакта в результате допирования в HNO3, и кратный рост сопротивления в результате высокотемпературного (1000 °С) отжига в инертной среде. В заключении работы авторы демонстрируют существование линейной зависимости между удельным сопротивлением сетки и сопротивлением контактов, что свидетельствует о существенной роли контактов в общей проводимости.

а)

Ь)

J: X junctions N = 42

R, = 180±20 kfi

I I I

00 aoo 300 doc soo Contact resistance (kQ)

k

dl

pristine X junctions, d > 1 nm 28

R, = 112 ± 13 kQ

50 100 ISO 200 250 300

Contact resistance (kQ)

10 12 14

Resistance per unit length (Q/|jm)

all Y junctions N^=28

R. = 58 ± 9 kQ

100 200 300 400 500 600

Contact resistance (kQ)

28 3 | N

Rj=112±13kQ с I p

ll II II

HIM03 treated X junctions, d > 1 nm

= 9

= 40 ± 8 kQ

150 200 250 300

Contact resistance (kQ)

4 6 В 10 12 14

Resistance per unit length (Q/|jm)

(в) (б)

Рисунок 2. Контактное сопротивление УНТ/УНТ. (а) Зависимость сопротивления контактов между УНТ от диаметра пучков и (б) гистограммы распределения контактного и удельного сопротивления УНТ до и после обработки в НЫОэ [31]; (в) Гистограмма контактных сопротивлений пучков УНТ с различным диаметром (А одиночна УНТ 1.2-1.8 нм, В одиночные УНТ и пучки с малым диаметром 2.5-4.5 нм, С пучки с малыми диаметром 4.5-6.8 нм, D пучки с большим диаметром 7-14 нм) I до и II после обработки в кислоте и термического отжига III [8]

Сходные результаты были получены в работе [31] (Рис. 2в), однако при этом демонстрировалось уменьшение контактного сопротивление с ростом диаметров пучков. При этом сопротивление контактов между одиночными УНТ превосходят сопротивление контактов пучков практически на порядок, исходя из чего можно предположить, что в этих случаях может реализовываться гетероконтакт между м- и п-УНТ. ВАХ при этом сохраняет линейность.

В работе [32] сопротивление контактов варьировалось в диапазоне 10к0м до 500МОм, при этом сопротивление не коррелировало с диаметром пучка, а также не поддавалось классификации для выявления контактов п- и м-УНТ. Было установлено, что кратковременное воздействие НЫОэ способствует уменьшению сопротивления всех контактов с 107 до 106, что исключает влияние обработки на высоту барьера Шоттки в гетероконтактах между п- и м-УНТ, а также п-УНТ с различной хиральностью, и связанно, по мнению авторов, с удалением остаточных ПАВ или диффузии молекул кислоты в области контакта.

1.1.3 Электрический транспорт в сетках УНТ

Электрические свойства сеток УНТ определяются существенно большим числом факторов, ввиду их полидисперсного характера, т. е. содержания УНТ с различным диаметром, существенно отличающиеся по своим электрофизическим характеристикам, а также наличием м- и п-УНТ. Помимо разницы собственной проводимости УНТ, существенную роль играют контакты между отдельными УНТ, в то время как влияние контакта с электродами становится незначительным (за исключением коротких каналов с ориентированными УНТ). Контактное сопротивление зависят от типа контактирующих УНТ, поэтому можно выделить 3 группы контактов: 1) между двумя п-УНТ, 2) между двумя м-УНТ, 3) гетероконтакт между п- и м-УНТ. Относительное содержание контактов разных типов может варьироваться путем сепарирования УНТ. Так в сетках из несепарированных УНТ соотношение м-УНТ и п-УНТ составляет 1:2. Современные методы сепарации позволяют добиться более 99,9% содержания однотипных УНТ. Однако, несмотря на большие успехов в этой области сепарирования УНТ [33], в большинстве случаев полидисперсный характер сеток УНТ сохраняется ввиду различия хиральности, диаметра, длине, и как следствие, различной запрещенной зоной, работой выхода и т.д. Помимо этого существуют и другие факторы, влияющие на электрические свойства сеток, такие как рассеяния на ловушках в подложке или остаточных ПАВ, туннельные барьеры в контактах, обусловленные остаточными полимерами или органическими растворителями, дефектами в самих УНТ, экранирование в пучках или агломератах и др. [34] (рис. 3а).

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Стручков Николай Сергеевич, 2025 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Iijima S. Helical microtubules of graphitic carbon // Nature. - 1991. - T. 354, № 6348. - C. 56-58.

2. Saito R., Fujita M., Dresselhaus G., Dresselhaus M. S. Electronic-structure of chiral graphene tubules // Applied Physics Letters. - 1992. - T. 60, № 18. - C. 2204-2206.

3. Charlier J.-C., Blase X., Roche S. Electronic and transport properties of nanotubes // Reviews of Modern Physics. - 2007. - T. 79, № 2. - C. 677-732.

4. Yang J., Dong Q. L., Jiang Z. T., Zhang J. The calculation of energy gaps in small single-walled carbon nanotubes within a symmetry-adapted tight-binding model // Chinese Physics B. - 2010. - T. 19, № 12.

5. Park J.-Y., Rosenblatt S., Yaish Y., Sazonova V., Üstünel H., Braig S., Arias T. A., Brouwer P. W., McEuen P. L. Electron-Phonon Scattering in Metallic Single-Walled Carbon Nanotubes // Nano Letters. - 2004. - T. 4, № 3. - C. 517-520.

6. Li S. D., Yu Z., Rutherglen C., Burke P. J. Electrical properties of 0.4 cm long single-walled carbon nanotubes // Nano Letters. - 2004. - T. 4, № 10. - C. 2003-2007.

7. De Pablo P. J., Gómez-Navarro C., Colchero J., Serena P. A., Gómez-Herrero J., Baró A. M. Nonlinear Resistance versus Length in Single-Walled Carbon Nanotubes // Physical Review Letters. - 2002. - T. 88, № 3.

8. Nirmalraj P. N., Lyons P. E., De S., Coleman J. N., Boland J. J. Electrical Connectivity in Single-Walled Carbon Nanotube Networks // Nano Letters. - 2009. - T. 9, № 11. - C. 3890-3895.

9. Purewal M. S., Hong B. H., Ravi A., Chandra B., Hone J., Kim P. Scaling of Resistance and Electron Mean Free Path of Single-Walled Carbon Nanotubes // Physical Review Letters. - 2007. - T. 98, № 18.

10. Fediai A., Ryndyk D. A., Seifert G., Mothes S., Claus M., Schröter M., Cuniberti G. Towards an optimal contact metal for CNTFETs // Nanoscale. - 2016. - T. 8, № 19. - C. 1024010251.

11. Leonard F., Tersoff J. Role of Fermi-level pinning in nanotube Schottky diodes // Physical Review Letters. - 2000. - T. 84, № 20. - C. 4693-4696.

12. Svensson J., Campbell E. E. B. Schottky barriers in carbon nanotube-metal contacts // Journal of Applied Physics. - 2011. - T. 110, № 11. - C. 111101.

13. Mizutani T., Ohno Y., Kishimoto S. Electrical properties of carbon nanotube FETs //2008 International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. - IEEE, 2008. - С. 1-8.

14. Franklin A. D., Farmer D. B., Haensch W. Defining and Overcoming the Contact Resistance Challenge in Scaled Carbon Nanotube Transistors // ACS Nano. - 2014. - T. 8, № 7.

- C.7333-7339.

15. Lan C., Zakharov D. N., Reifenberger R. G. Determining the optimal contact length for a metal/multiwalled carbon nanotube interconnect // Applied Physics Letters. - 2008. - T. 92, № 21. - C. 213112.

16. Kim Y.-H., Sung Kim H. Anomalous length scaling of carbon nanotube-metal contact resistance: An ab initio study // Applied Physics Letters. - 2012. - T. 100, № 21. - C. 213113.

17. Léonard F., Tersoff J. Novel Length Scales in Nanotube Devices // Physical Review Letters. - 1999. - T. 83, № 24. - C. 5174-5177.

18. Freitag M., Tsang J. C., Bol A., Yuan D., Liu J., Avouris P. Imaging of the Schottky Barriers and Charge Depletion in Carbon Nanotube Transistors // Nano Letters. - 2007. - T. 7, № 7. - C. 2037-2042.

19. Ahn Y. H., Tsen A. W., Kim B., Park Y. W., Park J. Photocurrent Imaging of p-n Junctions in Ambipolar Carbon Nanotube Transistors // Nano Letters. - 2007. - T. 7, № 11. - C. 3320-3323.

20. Woo Y., Duesberg G. S., Roth S. Reduced contact resistance between an individual single-walled carbon nanotube and a metal electrode by a local point annealing // Nanotechnology.

- 2007. - T. 18, № 9. - C. 095203.

21. Chen J., Klinke C., Afzali A., Avouris P. Self-aligned carbon nanotube transistors with charge transfer doping // Applied Physics Letters. - 2005. - T. 86, № 12. - C. 123108.

22. Suzuki S., Bower C., Watanabe Y., Zhou O. Work functions and valence band states of pristine and Cs-intercalated single-walled carbon nanotube bundles // Applied Physics Letters.

- 2000. - T. 76, № 26. - C. 4007-4009.

23. Su W., Leung T.-C., Li B., Chan C. T. Work function of small radius carbon nanotubes and their bundles // Applied physics letters. - 2007. - T. 90, № 16. - C. 163103.

24. Zhao J., Han J., Lu J. P. Work functions of pristine and alkali-metal intercalated carbon nanotubes and bundles // Physical Review B. - 2002. - T. 65, № 19. - C. 193401.

25. Ago H., Kugler T., Cacialli F., Salaneck W. R., Shaffer M. S., Windle A. H., Friend R. H. Work functions and surface functional groups of multiwall carbon nanotubes // The Journal of Physical Chemistry B. - 1999. - T. 103, № 38. - C. 8116-8121.

26. Gong B., Ikematsu A., Waki K. Impacts of structure defects and carboxyl and carbonyl functional groups on the work function of multiwalled carbon nanotubes // Carbon. -2017. - T. 114. - C. 526-532.

27. Fuhrer M. S., Nygard J., Shih L., Forero M., Yoon Y. G., Mazzoni M. S. C., Choi H. J., Ihm J., Louie S. G., Zettl A., McEuen P. L. Crossed nanotube junctions // Science. - 2000.

- T. 288, № 5465. - C. 494-497.

28. Park J. W., Kim J., Yoo K. H. Electrical transport through crossed carbon nanotube junctions // Journal of Applied Physics. - 2003. - T. 93, № 7. - C. 4191-4193.

29. Lee E. J., Balasubramanian K., Burghard M., Kern K. Spatially Resolved Potential Distribution in Carbon Nanotube Cross-Junction Devices // Adv. Mater. - 2009. - T. 21. - C. 2720-2724.

30. Kim D.-H., Huang J., Shin H.-K., Roy S., Choi W. Transport Phenomena and Conduction Mechanism of Single-Walled Carbon Nanotubes (SWNTs) at Y- and Crossed-Junctions // Nano Letters. - 2006. - T. 6, № 12. - C. 2821-2825.

31. Znidarsic A., Kaskela A., Laiho P., Gaberscek M., Ohno Y., Nasibulin A. G., Kauppinen E. I., Hassanien A. Spatially resolved transport properties of pristine and doped singlewalled carbon nanotube networks // The Journal of Physical Chemistry C. - 2013. - T. 117, № 25.

- C. 13324-13330.

32. Stern A., Azoubel S., Sachyani E., Livshits G. I., Rotem D., Magdassi S., Porath D. Conductivity Enhancement of Transparent 2D Carbon Nanotube Networks Occurs by Resistance Reduction in All Junctions // The Journal of Physical Chemistry C. - 2018. - T. 122, № 26. - C. 14872-14876.

33. Gao W., Adinehloo D., Li X., Mojibpour A., Yomogida Y., Hirano A., Tanaka T., Kataura H., Zheng M., Perebeinos V., Kono J. Band structure dependent electronic localization in macroscopic films of single-chirality single-wall carbon nanotubes // Carbon. - 2021. - T. 183. -C. 774-779.

34. Zorn N. F., Zaumseil J. Charge transport in semiconducting carbon nanotube networks // Applied Physics Reviews. - 2021. - T. 8, № 4.

35. Behnam A., Ural A. Computational study of geometry-dependent resistivity scaling in single-walled carbon nanotube films // Physical Review B. - 2007. - T. 75, № 12.

36. Jack D., Yeh C., Liang Z., Li S., Park J., Fielding J. Electrical conductivity modeling and experimental study of densely packed SWCNT networks // Nanotechnology. - 2010.

- T. 21, № 19. - C. 195703.

37. Hecht D., Hu L. B., Gruner G. Conductivity scaling with bundle length and diameter in single walled carbon nanotube networks // Applied Physics Letters. - 2006. - T. 89, № 13.

38. Zhang K., Zou J. P., Zhang Q. Roles of inter-SWCNT junctions in resistive humidity response // Nanotechnology. - 2015. - T. 26, № 45.

39. Li J. T., Zhang S. L. Conductivity exponents in stick percolation // Physical Review E. - 2010. - T. 81, № 2.

40. Bekyarova E., Itkis M. E., Cabrera N., Zhao B., Yu A. P., Gao J. B., Haddon R. C. Electronic properties of single-walled carbon nanotube networks // Journal of the American Chemical Society. - 2005. - T. 127, № 16. - C. 5990-5995.

41. Tripathy S., Bose B., Chakrabarti P. P., Bhattacharyya T. K. Resistive Analysis of Scattering-Dependent Electrical Transport in Single-Wall Carbon-Nanotube Networks // Ieee Transactions on Electron Devices. - 2020. - T. 67, № 12. - C. 5676-5684.

42. Yanagi K., Udoguchi H., Sagitani S., Oshima Y., Takenobu T., Kataura H., Ishida T., Matsuda K., Maniwa Y. Transport Mechanisms in Metallic and Semiconducting Single-Wall Carbon Nanotube Networks // Acs Nano. - 2010. - T. 4, № 7. - C. 4027-4032.

43. Wang X., Gao W., Li X., Zhang Q., Nanot S., Haroz E., Kono J., Rice W. Magnetotransport in type-enriched single-wall carbon nanotube networks // Physical Review Materials. - 2018. - T. 2, № 11. - C. 116001.

44. Itkis M. E., Pekker A., Tian X., Bekyarova E., Haddon R. C. Networks of semiconducting SWNTs: contribution of midgap electronic states to the electrical transport // Accounts of Chemical Research. - 2015. - T. 48, № 8. - C. 2270-2279.

45. Piao M., Joo M. K., Na J., Kim Y. J., Mouis M., Ghibaudo G., Roth S., Kim W. Y., Jang H. K., Kennedy G. P., Dettlaff-Weglikowska U., Kim G. T. Effect of Intertube Junctions on the Thermoelectric Power of Monodispersed Single Walled Carbon Nanotube Networks // Journal of Physical Chemistry C. - 2014. - T. 118, № 46. - C. 26454-26461.

46. Jackson R. K., Munro A., Nebesny K., Armstrong N., Graham S. Evaluation of Transparent Carbon Nanotube Networks of Homogeneous Electronic Type // ACS Nano. - 2010. - T. 4, № 3. - C. 1377-1384.

47. Beard M. C., Blackburn J. L., Heben M. J. Photogenerated Free Carrier Dynamics in Metal and Semiconductor Single-Walled Carbon Nanotube Films // Nano Letters. - 2008. - T. 8, № 12. - C. 4238-4242.

48. Blackburn J. L., Barnes T. M., Beard M. C., Kim Y.-H., Tenent R. C., McDonald T. J., To B., Coutts T. J., Heben M. J. Transparent conductive single-walled carbon nanotube networks with precisely tunable ratios of semiconducting and metallic nanotubes // ACS nano. -2008. - T. 2, № 6. - C. 1266-1274.

49. Shin D.-W., Lee J. H., Kim Y.-H., Yu S. M., Park S.-Y., Yoo J.-B. A role of HNO3 on transparent conducting film with single-walled carbon nanotubes // Nanotechnology. - 2009. -T. 20, № 47. - C. 475703.

50. Tantang H., Ong J. Y., Loh C. L., Dong X., Chen P., Chen Y., Hu X., Tan L. P., Li L.-J. Using oxidation to increase the electrical conductivity of carbon nanotube electrodes // Carbon. - 2009. - T. 47, № 7. - C. 1867-1870.

51. Han Z. J., Ostrikov K. Controlled electronic transport in single-walled carbon nanotube networks: Selecting electron hopping and chemical doping mechanisms // Applied Physics Letters. - 2010. - T. 96, № 23.

52. Chiariello A. G., Maffucci A., Miano G. Circuit models of carbon-based interconnects for nanopackaging // IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology. - 2013. - T. 3, № 11. - C. 1926-1937.

53. Chiariello A. G., Maffucci A., Miano G. Electrical modeling of carbon nanotube vias // IEEE transactions on electromagnetic compatibility. - 2012. - T. 54, № 1. - C. 158-166.

54. Pop E., Mann D. A., Goodson K. E., Dai H. Electrical and thermal transport in metallic single-wall carbon nanotubes on insulating substrates // Journal of Applied Physics. -2007. - T. 101, № 9. - C. 093710.

55. Avedisian C. T., Cavicchi R. E., McEuen P. M., Zhou X., Hurst W. S., Hodges J. T. High temperature electrical resistance of substrate-supported single walled carbon nanotubes // Applied Physics Letters. - 2008. - T. 93, № 25. - C. 252108.

56. Mohsin K., Banadaki Y., Srivastava A. Metallic single-walled, carbon nanotube temperature sensor with self heating // Nanosensors, Biosensors, and Info-Tech Sensors and Systems 2014. - T. 9060 -International Society for Optics and Photonics, 2014. - C. 906003.

57. Dehghani S., Moravvej-Farshi M. K., Sheikhi M. H. Compact formulas for the electrical resistance of semiconducting and metallic single wall carbon nanotubes // Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures. - 2015. - T. 23, № 10. - C. 899-905.

58. Zhou X., Park J.-Y., Huang S., Liu J., McEuen P. L. Band Structure, Phonon Scattering, and the Performance Limit of Single-Walled Carbon Nanotube Transistors // Physical Review Letters. - 2005. - T. 95, № 14.

59. Xie Y., Zhong D., Fan C., Deng X., Peng L. M., Zhang Z. Highly Temperature -Stable Carbon Nanotube Transistors and Gigahertz Integrated Circuits for Cryogenic Electronics // Advanced Electronic Materials. - 2021. - T. 7, № 8. - C. 2100202.

60. Javey A., Guo J., Wang Q., Lundstrom M., Dai H. Ballistic carbon nanotube field-effect transistors // nature. - 2003. - T. 424, № 6949. - C. 654-657.

61. Pei T., Zhang Z., Wang Z., Ding L., Wang S., Peng L.-M. Temperature Performance of Doping-Free Top-Gate CNT Field-Effect Transistors: Potential for Low- and High-Temperature Electronics // Advanced Functional Materials. - 2011. - T. 21, № 10. - C. 1843-1849.

62. Durkop T., Getty S. A., Cobas E., Fuhrer M. S. Extraordinary Mobility in Semiconducting Carbon Nanotubes // Nano Letters. - 2004. - T. 4, № 1. - C. 35-39.

63. Skakalova V., Kaiser A. B., Woo Y.-S., Roth S. Electronic transport in carbon nanotubes: From individual nanotubes to thin and thick networks // Physical Review B. - 2006. -T. 74, № 8. - C. 085403.

64. Wada Y., Fujita Y., Takei K., Arie T., Akita S. Suspended single-walled carbon-nanotube field-effect transistor for gas sensing application // Japanese Journal of Applied Physics. - 2015. - T. 54, № 6S1. - C. 06FB01.

65. Maffucci A., Micciulla F., Cataldo A. E., Miano G., Bellucci S. Modeling, Fabrication, and Characterization of Large Carbon Nanotube Interconnects With Negative Temperature Coefficient of the Resistance // Ieee Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology. - 2017. - T. 7, № 4. - C. 485-493.

66. Lu R., Xu G., Wu J. Z. Effects of thermal annealing on noise property and temperature coefficient of resistance of single-walled carbon nanotube films // Applied Physics Letters. - 2008. - T. 93, № 21. - C. 213101.

67. Cagatay E., Falco A., Abdellah A., Lugli P., Ieee. Carbon Nanotube Based Temperature Sensors Fabricated by Large-Scale Spray Deposition // 2014 10th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (Prime 2014). - 2014.

68. Shiraishi M., Ata M. Conduction mechanisms in single-walled carbon nanotubes // Synthetic Metals. - 2002. - T. 128, № 3. - C. 235-239.

69. Itkis M. E., Borondics F., Yu A., Haddon R. C. Bolometric infrared photoresponse of suspended single-walled carbon nanotube films // Science. - 2006. - T. 312, № 5772. - C. 413416.

70. Dehghani S., Moravvej-Farshi M. K., Sheikhi M. H. Temperature dependence of electrical resistance of individual carbon nanotubes and carbon nanotubes network // Modern Physics Letters B. - 2012. - T. 26, № 21. - C. 1250136.

71. Dasari B. S., Taube W. R., Agarwal P. B., Rajput M., Kumar A., Akhtar J. Room temperature single walled carbon nanotubes (SWCNT) chemiresistive ammonia gas sensor // Sensors & Transducers. - 2015. - T. 190, № 7. - C. 24.

72. Kaiser A., Dusberg G., Roth S. Heterogeneous model for conduction in carbon nanotubes // Physical Review B. - 1998. - T. 57, № 3. - C. 1418.

73. Gao J., Loo Y.-L. L. Temperature-Dependent Electrical Transport in Polymer-Sorted Semiconducting Carbon Nanotube Networks // Advanced Functional Materials. - 2015. -T. 25, № 1. - C. 105-110.

74. Luo S., Liu T., Benjamin S. M., Brooks J. S. Variable Range Hopping in SingleWall Carbon Nanotube Thin Films: A Processing-Structure-Property Relationship Study // Langmuir. - 2013. - T. 29, № 27. - C. 8694-8702.

75. Blackburn J. L., Kang S. D., Roos M. J., Norton - Baker B., Miller E. M., Ferguson A. J. Intrinsic and Extrinsically Limited Thermoelectric Transport within Semiconducting Single - Walled Carbon Nanotube Networks // Advanced Electronic Materials. - 2019. - T. 5, № 11. - C. 1800910.

76. Brohmann M., Berger F. J., Matthiesen M., SchieBl S. P., Schneider S., Zaumseil J. Charge Transport in Mixed Semiconducting Carbon Nanotube Networks with Tailored Mixing Ratios // ACS Nano. - 2019. - T. 13, № 6. - C. 7323-7332.

77. Barnes T. M., Blackburn J. L., van de Lagemaat J., Coutts T. J., Heben M. J. Reversibility, dopant desorption, and tunneling in the temperature-dependent conductivity of type-separated, conductive carbon nanotube networks // Acs Nano. - 2008. - T. 2, № 9. - C. 19681976.

78. Jombert A. S., Coleman K. S., Wood D., Petty M. C., Zeze D. A. Poole-Frenkel conduction in single wall carbon nanotube composite films built up by electrostatic layer-by-layer deposition // Journal of Applied Physics. - 2008. - T. 104, № 9. - C. 094503.

79. Salehi-Khojin A., Field C. R., Yeom J., Masel R. I. Sensitivity of nanotube chemical sensors at the onset of Poole-Frenkel conduction // Applied Physics Letters. - 2010. -T. 96, № 16. - C. 163110.

80. Albert E., Abdellah A., Scarpa G., Lugli P. Electronic transport modeling with HSPICE in random CNT networks // 2012 12th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO) -IEEE, 2012. - C. 1-4.

81. Colasanti S., Robbiano V., Loghin F. C., Abdelhalim A., Bhatt V. D., Abdellah A., Cacialli F., Lugli P. Experimental and Computational Study on the Temperature Behavior of CNT Networks // Ieee Transactions on Nanotechnology. - 2016. - T. 15, № 2. - C. 171-178.

82. Topinka M. A., Rowell M. W., Goldhaber-Gordon D., McGehee M. D., Hecht D. S., Gruner G. Charge transport in interpenetrating networks of semiconducting and metallic carbon nanotubes // Nano letters. - 2009. - T. 9, № 5. - C. 1866-1871.

83. Colasanti S., Bhatt V. D., Lugli P., Ieee. 3D Modeling of CNT Networks for Sensing Applications // 2014 10th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics and Electronics (Prime 2014). - 2014.

84. Simoneau L.-P., Villeneuve J., Aguirre C. M., Martel R., Desjardins P., Rochefort A. Influence of statistical distributions on the electrical properties of disordered and aligned carbon nanotube networks // Journal of Applied Physics. - 2013. - T. 114, № 11. - C. 114312.

85. SchieBl S. P., De Vries X., Rother M., Massé A., Brohmann M., Bobbert P. A., Zaumseil J. Modeling carrier density dependent charge transport in semiconducting carbon nanotube networks // Physical Review Materials. - 2017. - T. 1, № 4.

86. Colasanti S., Bhatt V. D., Abdelhalim A., Lugli P. 3-D Percolative Model-Based Multiscale Simulation of Randomly Aligned Networks of Carbon Nanotubes // Ieee Transactions on Electron Devices. - 2016. - T. 63, № 3. - C. 1346-1351.

87. Boyd A., Dube I., Fedorov G., Paranjape M., Barbara P. Gas sensing mechanism of carbon nanotubes: From single tubes to high-density networks // Carbon. - 2014. - T. 69. - C. 417-423.

88. Salehi-Khojin A., Khalili-Araghi F., Kuroda M. A., Lin K. Y., Leburton J.-P., Masel R. I. On the Sensing Mechanism in Carbon Nanotube Chemiresistors // ACS Nano. - 2011. - T. 5, № 1. - C. 153-158.

89. Gómez-Navarro C., Pablo P. J. D., Gómez-Herrero J., Biel B., Garcia-Vidal F. J., Rubio A., Flores F. Tuning the conductance of single-walled carbon nanotubes by ion irradiation in the Anderson localization regime // Nature Materials. - 2005. - T. 4, № 7. - C. 534-539.

90. Kong J., Franklin N. R., Zhou C. W., Chapline M. G., Peng S., Cho K. J., Dai H. J. Nanotube molecular wires as chemical sensors // Science. - 2000. - T. 287, № 5453. - C. 622625.

91. Bradley K., Gabriel J. C. P., Star A., Gruner G. Short-channel effects in contact-passivated nanotube chemical sensors // Applied Physics Letters. - 2003. - T. 83, № 18. - C. 38213823.

92. Zhang J., Boyd A., Tselev A., Paranjape M., Barbara P. Mechanism of NO2 detection in carbon nanotube field effect transistor chemical sensors // Applied Physics Letters. -2006. - T. 88, № 12.

93. Liu X. L., Luo Z. C., Han S., Tang T., Zhang D. H., Zhou C. W. Band engineering of carbon nanotube field-effect transistors via selected area chemical gating // Applied Physics Letters. - 2005. - T. 86, № 24.

94. Mattmann M., Helbling T., Durrer L., Roman C., Hierold C., Pohle R., Fleischer M. Sub-ppm NO2 detection by Al2O3 contact passivated carbon nanotube field effect transistors // Applied Physics Letters. - 2009. - T. 94, № 18.

95. Peng N., Zhang Q., Chow C. L., Tan O. K., Marzari N. Sensing Mechanisms for Carbon Nanotube Based NH3 Gas Detection // Nano Letters. - 2009. - T. 9, № 4. - C. 1626-1630.

96. Hankins A., Willard T. C., Liu A. Y., Paranjape M. Role of defects in the sensing mechanism of CNTFET gas sensors // Journal of Applied Physics. - 2020. - T. 128, № 8.

97. Andzelm J., Govind N., Maiti A. Nanotube-based gas sensors - Role of structural defects // Chemical Physics Letters. - 2006. - T. 421, № 1-3. - C. 58-62.

98. Sacco L., Forel S., Florea I., Cojocaru C. S. Ultra-sensitive NO2 gas sensors based on single-wall carbon nanotube field effect transistors: Monitoring from ppm to ppb level // Carbon. - 2020. - T. 157. - C. 631-639.

99. Dube I., Jimenez D., Fedorov G., Boyd A., Gayduchenko I., Paranjape M., Barbara P. Understanding the electrical response and sensing mechanism of carbon-nanotube-based gas sensors // Carbon. - 2015. - T. 87. - C. 330-337.

100. Kamimura T., Matsumoto K. Electrical heating process for p-type to n-type conversion of carbon nanotube field effect transistors // Japanese journal of applied physics. -2005. - T. 44, № 4R. - C. 1603.

101. Kang D., Park N., Ko J.-h., Bae E., Park W. Oxygen-induced p-type doping of a long individual single-walled carbon nanotube // Nanotechnology. - 2005. - T. 16, №2 8. - C. 1048.

102. Piazza A., Giannazzo F., Buscarino G., Fisichella G., La Magna A., Roccaforte F., Cannas M., Gelardi F. M., Agnello S. Graphene p-Type Doping and Stability by Thermal Treatments in Molecular Oxygen Controlled Atmosphere // Journal of Physical Chemistry C. -2015. - T. 119, № 39. - C. 22718-22723.

103. Zhao J. J., Buldum A., Han J., Lu J. P. Gas molecule adsorption in carbon nanotubes and nanotube bundles // Nanotechnology. - 2002. - T. 13, № 2. - C. 195-200.

104. Jhi S.-H., Louie S. G., Cohen M. L. Electronic properties of oxidized carbon nanotubes // Physical Review Letters. - 2000. - T. 85, № 8. - C. 1710.

105. Ghsemi A., Ashrafi F. Density functional theory (DFT) study of O2, N2 adsorptions on H-capped (4, 4) single-walled carbon nanotube // Res. J. Appl. Sci. Eng. Technol. - 2012. - T. 4, № 15. - C. 2523-2528.

106. Grujicic M., Cao G., Singh R. The effect of topological defects and oxygen adsorption on the electronic transport properties of single-walled carbon-nanotubes // Applied Surface Science. - 2003. - T. 211, № 1-4. - C. 166-183.

107. Silva-Tapia A. B., Garcia-Carmona X., Radovic L. R. Similarities and differences in O2 chemisorption on graphene nanoribbon vs. carbon nanotube // Carbon. - 2012. - T. 50, № 3. - C. 1152-1162.

108. Muckley E. S., Nelson A. J., Jacobs C. B., Ivanov I. N. Multimodal probing of oxygen and water interaction with metallic and semiconducting carbon nanotube networks under ultraviolet irradiation // Journal of Photonics for Energy. - 2016. - T. 6, № 2. - C. 025506.

109. Valentini L., Armentano I., Lozzi L., Santucci S., Kenny J. Interaction of methane with carbon nanotube thin films: role of defects and oxygen adsorption // Materials Science and Engineering: C. - 2004. - T. 24, № 4. - C. 527-533.

110. Derycke V., Martel R., Appenzeller J., Avouris P. Controlling doping and carrier injection in carbon nanotube transistors // Applied Physics Letters. - 2002. - T. 80, № 15. - C. 2773-2775.

111. Heinze S., Tersoff J., Martel R., Derycke V., Appenzeller J., Avouris P. Carbon nanotubes as Schottky barrier transistors // Physical Review Letters. - 2002. - T. 89, № 10.

112. Cui X. D., Freitag M., Martel R., Brus L., Avouris P. Controlling energy-level alignments at carbon nanotube/Au contacts // Nano Letters. - 2003. - T. 3, № 6. - C. 783-787.

113. Jung S., Hauert R., Haluska M., Roman C., Hierold C. Understanding and improving carbon nanotube-electrode contact in bottom-contacted nanotube gas sensors // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2021. - T. 331. - C. 129406.

114. Kang D., Park W. Electrical responses by effects of molecular adsorption on channel and junctions of carbon nanotube field effect transistors // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2008. - T. 41, № 10. - C. 102007.

115. Na P. S., Kim H., So H.-M., Kong K.-J., Chang H., Ryu B. H., Choi Y., Lee J.-O., Kim B.-K., Kim J.-J. Investigation of the humidity effect on the electrical properties of singlewalled carbon nanotube transistors // Applied Physics Letters. - 2005. - T. 87, № 9. - C. 093101.

116. Zahab A., Spina L., Poncharal P., Marliere C. Water-vapor effect on the electrical conductivity of a single-walled carbon nanotube mat // Physical Review B. - 2000. - T. 62, № 15. - C. 10000-10003.

117. Han J. W., Kim B., Li J., Meyyappan M. Carbon Nanotube Based Humidity Sensor on Cellulose Paper // Journal of Physical Chemistry C. - 2012. - T. 116, № 41. - C. 22094-22097.

118. Someya T., Kim P., Nuckolls C. Conductance measurement of single-walled carbon nanotubes in aqueous environment // Applied Physics Letters. - 2003. - T. 82, № 14. - C. 23382340.

119. Chikkadia K., Muotha M., Beckmanna N., Romana C., Hierolda C. Suppression of cross-sensitivity to humidity in pristine, suspended single-walled nanotube NO2 sensors // Procedia Engineering. - 2014. - T. 87. - C. 704-707.

120. Tang D., Ci L., Zhou W., Xie S. Effect of H2O adsorption on the electrical transport properties of double-walled carbon nanotubes // Carbon. - 2006. - T. 44, № 11. - C. 2155-2159.

121. Kokabu T., Inoue S., Matsumura Y. Effect of molecular coverage on the electric conductance of a multi-walled carbon nanotube thin film // Chemical Physics Letters. - 2016. - T. 654. - C. 9-12.

122. Muckley E. S., Nelson A. J., Jacobs C. B., Ivanov I. N. Effect of UV irradiation on adsorption/desorption of oxygen and water on carbon nanotubes // Conference on Organic Photonic Materials and Devices XVIII; Spie. - T. 9745: Proceedings of SPIE - San Francisco, CA, 2016. -.

123. Schedin F., Geim A. K., Morozov S. V., Hill E. W., Blake P., Katsnelson M. I., Novoselov K. S. Detection of individual gas molecules adsorbed on graphene // Nature materials. - 2007. - T. 6, № 9. - C. 652-655.

124. Phan D.-T., Chung G.-S. Effects of rapid thermal annealing on humidity sensor based on graphene oxide thin films // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2015. - T. 220. - C. 1050-1055.

125. Pati R., Zhang Y., Nayak S. K., Ajayan P. M. Effect of H2O adsorption on electron transport in a carbon nanotube // Applied Physics Letters. - 2002. - T. 81, № 14. - C. 2638-2640.

126. Bell R. A., Payne M. C., Mostofi A. A. Does water dope carbon nanotubes? // The Journal of Chemical Physics. - 2014. - T. 141, № 16. - C. 164703.

127. Watts P. C. P., Mureau N., Tang Z. N., Miyajima Y., Carey J. D., Silva S. R. P. The importance of oxygen-containing defects on carbon nanotubes for the detection of polar and nonpolar vapours through hydrogen bond formation // Nanotechnology. - 2007. - T. 18, № 17.

128. Ellison M. D., Good A. P., Kinnaman C. S., Padgett N. E. Interaction of water with single-walled carbon nanotubes: Reaction and adsorption // Journal of Physical Chemistry B. -2005. - T. 109, № 21. - C. 10640-10646.

129. Cao C. L., Hu C. G., Fang L., Wang S. X., Tian Y. S., Pan C. Y. Humidity Sensor Based on Multi-Walled Carbon Nanotube Thin Films // Journal of Nanomaterials. - 2011.

130. Jung D., Han M., Lee G. S. Humidity-sensing characteristics of multi-walled carbon nanotube sheet // Materials Letters. - 2014. - T. 122. - C. 281-284.

131. Bulusheva L. G., Sysoev V. I., Lobiak E. V., Fedoseeva Y. V., Makarova A. A., Dubois M., Flahaut E., Okotrub A. V. Chlorinated holey double-walled carbon nanotubes for relative humidity sensors // Carbon. - 2019. - T. 148. - C. 413-420.

132. Lee Y., Yoon J., Kim Y., Kim D. M., Kim D. H., Choi S.-J. Humidity Effects According to the Type of Carbon Nanotubes // IEEE Access. - 2021. - T. 9. - C. 6810-6816.

133. Randeniya L. K., Martin P. J. Removal of strongly-bound gases from single-walled carbon nanotubes without annealing or ultraviolet light exposure // Carbon. - 2013. - T. 60. - C. 498-505.

134. Chen X.-P., Yang N., Jiang J.-K., Liang Q.-H., Yang D.-G., Zhang G.-Q., Ren TL. Ab Initio Study of Temperature, Humidity, and Covalent Functionalization-Induced Bandgap

Change of Single-Walled Carbon Nanotubes // IEEE Electron Device Letters. - 2015. - T. 36, № 6. - C. 606-608.

135. Cao D., Pang P., He J., Luo T., Park J. H., Krstic P., Nuckolls C., Tang J., Lindsay S. Electronic Sensitivity of Carbon Nanotubes to Internal Water Wetting // ACS Nano. - 2011. -T. 5, № 4. - C. 3113-3119.

136. Ling Y. F., Gu G. R., Liu R. Y., Lu X. J., Kayastha V., Jones C. S., Shih W. S., Janzen D. C. Investigation of the humidity-dependent conductance of single-walled carbon nanotube networks // Journal of Applied Physics. - 2013. - T. 113, № 2.

137. Tai Y., Lubineau G. Human - finger electronics based on opposing humidity -resistance responses in carbon nanofilms // Small. - 2017. - T. 13, № 11. - C. 1603486.

138. Feng X., Irle S., Witek H., Morokuma K., Vidic R., Borguet E. Sensitivity of Ammonia Interaction with Single-Walled Carbon Nanotube Bundles to the Presence of Defect Sites and Functionalities // Journal of the American Chemical Society. - 2005. - T. 127, № 30. -C. 10533-10538.

139. Wongwiriyapan W., Inoue S., Honda S., Katayama M. Adsorption Kinetics of NO2 on Single-Walled Carbon Nanotube Thin-Film Sensor // Japanese Journal of Applied Physics. -2008. - T. 47, № 10. - C. 8145-8147.

140. Robinson J. A., Snow E. S., Badescu S. C., Reinecke T. L., Perkins F. K. Role of defects in single-walled carbon nanotube chemical sensors // Nano Letters. - 2006. - T. 6, № 8. -C. 1747-1751.

141. Li Y., Hodak M., Lu W. C., Bernholc J. Mechanisms of NH3 and NO2 detection in carbon-nanotube-based sensors: An ab initio investigation // Carbon. - 2016. - T. 101. - C. 177183.

142. Yamada T. Equivalent circuit model for carbon nanotube Schottky barrier: Influence of neutral polarized gas molecules // Applied Physics Letters. - 2006. - T. 88, № 8.

143. Auvray S., Borghetti J., Goffman M. F., Filoramo A., Derycke V., Bourgoin J. P., Jost O. Carbon nanotube transistor optimization by chemical control of the nanotube-metal interface // Applied Physics Letters. - 2004. - T. 84, № 25. - C. 5106-5108.

144. Suehiro J., Imakiire H., Hidaka S., Ding W. D., Zhou G. B., Imasaka K., Hara M. Schottky-type response of carbon nanotube NO2 gas sensor fabricated onto aluminum electrodes by dielectrophoresis // Sensors and Actuators B-Chemical. - 2006. - T. 114, № 2. - C. 943-949.

145. Bondavalli P., Legagneux P., Pribat D. Sub ppm Gas Sensing Using a CNTFET-Based Sensor Array Fabricated Using Different Metals as Electrodes // Journal of the Korean Physical Society. - 2009. - T. 54, № 1. - C. 510-513.

146. Jones F. E., Talin A. A., Leonard F., Dentinger P. M., Clift W. M. Effect of electrode material on transport and chemical sensing characteristics of metal/carbon nanotube contacts // Journal of Electronic Materials. - 2006. - T. 35, № 8. - C. 1641-1646.

147. Bondavalli P., Gorintin L., Feugnet G., Lehoucq G., Pribat D. Selective gas detection using CNTFET arrays fabricated using air-brush technique, with different metal as electrodes // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2014. - T. 202. - C. 1290-1297.

148. Guerin H., Le Poche H., Pohle R., Buitrago E., Badia M. F. B., Dijon J., Ionescua A. M. Carbon nanotube gas sensor array for multiplex analyte discrimination // Sensors and Actuators B-Chemical. - 2015. - T. 207. - C. 833-842.

149. Helbling T., Pohle R., Durrer L., Stampfer C., Roman C., Jungen A., Fleischer M., Hierold C. Sensing NO2 with individual suspended single-walled carbon nanotubes // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2008. - T. 132, № 2. - C. 491-497.

150. Battie Y., Ducloux O., Thobois P., Dorval N., Lauret J. S., Attal-Tretout B., Loiseau A. Gas sensors based on thick films of semi-conducting single walled carbon nanotubes // Carbon. - 2011. - T. 49, № 11. - C. 3544-3552.

151. Seo K., Park K. A., Kim C., Han S., Kim B., Lee Y. H. Chirality- and diameter-dependent reactivity of NO2 on carbon nanotube walls // Journal of the American Chemical Society. - 2005. - T. 127, № 45. - C. 15724-15729.

152. Hong H. P., Kim J. H., Lee C. J., Min N. K. In-plane impedancemetric ammonia sensing of solution-deposited, highly semiconductor-enriched single-wall carbon nanotube submonolayer network gas sensors // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2015. - T. 220. - C. 27-32.

153. Min S. J., Kim J. W., Kim J. H., Choi J. H., Park C. W., Min N. K. Effect of Varying the Semiconducting/Metallic Tube Ratio on the Performance of Mixed Single-Walled Carbon Nanotube Network Gas Sensors // Journal of Nanomaterials. - 2017. - T. 2017.

154. Jeon M., Choi B., Yoon J., Kim D. M., Kim D. H., Park I., Choi S. J. Enhanced sensing of gas molecules by a 99.9% semiconducting carbon nanotube-based field-effect transistor sensor // Applied Physics Letters. - 2017. - T. 111, № 2.

155. Someya T., Small J., Kim P., Nuckolls C., Yardley J. T. Alcohol vapor sensors based on single-walled carbon nanotube field effect transistors // Nano Letters. - 2003. - T. 3, № 7. - C. 877-881.

156. Dai J. Y., Giannozzi P., Yuan J. M. Adsorption of pairs of NOx molecules on singlewalled carbon nanotubes and formation of NO + NO3 from NO2 // Surface Science. - 2009. - T. 603, № 21. - C. 3234-3238.

157. Rigoni F., Freddi S., Pagliara S., Drera G., Sangaletti L., Suisse J. M., Bouvet M., Malovichko A. M., Emelianov A. V., Bobrinetskiy, II. Humidity-enhanced sub-ppm sensitivity to ammonia of covalently functionalized single-wall carbon nanotube bundle layers // Nanotechnology. - 2017. - T. 28, № 25.

158. Kumar D., Chaturvedi P., Saho P., Jha P., Chouksey A., Lal M., Rawat J., Tandon R. P., Chaudhury P. K. Effect of single wall carbon nanotube networks on gas sensor response and detection limit // Sensors and Actuators B-Chemical. - 2017. - T. 240. - C. 1134-1140.

159. Sharafeldin I., Garcia-Rios S., Ahmed N., Alvarado M., Vilanova X., Allam N. K. Metal-decorated carbon nanotubes-based sensor array for simultaneous detection of toxic gases // Journal of Environmental Chemical Engineering. - 2021. - T. 9, № 1. - C. 104534.

160. Lee C. Y., Strano M. S. Understanding the dynamics of signal transduction for adsorption of gases and vapors on carbon nanotube sensors // Langmuir. - 2005. - T. 21, № 11. -C. 5192-5196.

161. Abdellah A., Abdelhalim A., Loghin F., Kohler P., Ahmad Z., Scarpa G., Lugli P. Flexible Carbon Nanotube Based Gas Sensors Fabricated by Large-Scale Spray Deposition // Ieee Sensors Journal. - 2013. - T. 13, № 10. - C. 4014-4021.

162. Chikkadi K., Muoth M., Maiwald V., Roman C., Hierold C. Ultra-low power operation of self-heated, suspended carbon nanotube gas sensors // Applied Physics Letters. -2013. - T. 103, № 22. - C. 223109.

163. Chen G., Paronyan T. M., Pigos E. M., Harutyunyan A. R. Enhanced gas sensing in pristine carbon nanotubes under continuous ultraviolet light illumination // Scientific reports. -2012. - T. 2, № 1. - C. 1-7.

164. Piloto C., Mirri F., Bengio E. A., Notarianni M., Gupta B., Shafiei M., Pasquali M., Motta N. Room temperature gas sensing properties of ultrathin carbon nanotube films by surfactant-free dip coating // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2016. - T. 227. - C. 128-134.

165. Chang Y. W., Oh J. S., Yoo S. H., Choi H. H., Yoo K. H. Electrically refreshable carbon-nanotube-based gas sensors // Nanotechnology. - 2007. - T. 18, № 43.

166. Kim B., Norman T. J., Jones R. S., Moon D.-i., Han J.-w., Meyyappan M. Carboxylated single-walled carbon nanotube sensors with varying pH for the detection of ammonia and carbon dioxide using an artificial neural network // ACS Applied Nano Materials. -2019. - T. 2, № 10. - C. 6445-6451.

167. Lim S. C., Yoon J. H., Duong D. L., Cho Y. W., Kim T. H., Kim S. M., Hwang H. R., Lee Y. H. Different mechanism of capacitance change for gas detection using semiconducting and metallic single-walled carbon nanotubes // Current Applied Physics. - 2015. - T. 15, № 3. -C. 377-382.

168. Truong D. V., Linh B. T., Kien N. M., Anh L. T. L., Tu N. C., Chien N. D., Lam N. H. Development of NH3 Gas Sensors at Room Temperature Based on Modified Carbon Nanotubes // Materials Transactions. - 2020. - T. 61, № 8. - C. 1540-1543.

169. Nekrasov N., Bobrinetskii I., Nevolin V., Khartov S. Improving the selectivity of carbon nanotube-based gas sensors via UV irradiation // International Conference on Micro-and Nano-Electronics 2018. - T. 11022 -SPIE, 2019. - C. 235-240.

170. Freddi S., Emelianov A. V., Bobrinetskiy, II, Drera G., Pagliara S., Kopylova D. S., Chiesa M., Santini G., Mores N., Moscato U., Nasibulin A. G., Montuschi P., Sangaletti L. Development of a Sensing Array for Human Breath Analysis Based on SWCNT Layers Functionalized with Semiconductor Organic Molecules // Advanced Healthcare Materials. - 2020. - T. 9, № 12.

171. Freddi S., Drera G., Pagliara S., Goldoni A., Sangaletti L. Enhanced selectivity of target gas molecules through a minimal array of gas sensors based on nanoparticle-decorated SWCNTs // The Analyst. - 2019. - T. 144, № 13. - C. 4100-4110.

172. Seekaew Y., Wisitsoraat A., Phokharatkul D., Wongchoosuk C. Room temperature toluene gas sensor based on TiO2 nanoparticles decorated 3D graphene-carbon nanotube nanostructures // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2019. - T. 279. - C. 69-78.

173. Geng Y., Ren Y., Wang X., Li J., Portilla L., Fang Y., Zhao J. Highly sensitive and selective H2S sensors with ultra-low power consumption based on flexible printed carbon-nanotube-thin-film-transistors // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2022. - T. 360. - C. 131633.

174. Li Y. X., Li G. H., Wang X. W., Zhu Z. Q., Ma H. W., Zhang T., Jin J. Poly(ionic liquid)-wrapped single-walled carbon nanotubes for sub-ppb detection of CO2 // Chemical Communications. - 2012. - T. 48, № 66. - C. 8222-8224.

175. Van Quang V., Van Dung N., Sy Trong N., Duc Hoa N., Van Duy N., Van Hieu N. Outstanding gas-sensing performance of graphene/SnO2 nanowire Schottky junctions // Applied Physics Letters. - 2014. - T. 105, № 1. - C. 013107.

176. Cai B., Yin H., Huo T., Ma J., Di Z., Li M., Hu N., Yang Z., Zhang Y., Su Y. Semiconducting single-walled carbon nanotube/graphene van der Waals junctions for highly sensitive all-carbon hybrid humidity sensors // Journal of Materials Chemistry C. - 2020. - T. 8, № 10. - C. 3386-3394.

177. Yan D. L., Xia S. G., Li S. Y., Wang S. Y., Tan M., Liu S. Y. Electrophoretic deposition of multiwalled carbon nanotubes onto porous silicon with enhanced NO2-sensing characteristics // Materials Research Bulletin. - 2021. - T. 134.

178. Duong V. T., Nguyen C. T., Luong H. B., Luu L. A., Nguyen D. C., Nguyen H. L. Enhancement of the NH3 gas sensitivity by using the WO3/MWCNT composite-based sensors // Advances in Natural Sciences-Nanoscience and Nanotechnology. - 2019. - T. 10, № 1. - C. 6.

179. Schütt F., Postica V., Adelung R., Lupan O. Single and Networked ZnO-CNT Hybrid Tetrapods for Selective Room-Temperature High-Performance Ammonia Sensors // ACS Applied Materials & Interfaces. - 2017. - T. 9, № 27. - C. 23107-23118.

180. Ferreiro-Gonzalez M., Barbero G. F., Ayuso J., Alvarez J. A., Palma M., Barroso C. G. Validation of an HS-MS method for direct determination and classification of ignitable liquids // Microchemical Journal. - 2017. - T. 132. - C. 358-364.

181. Fitzgerald J. E., Bui E. T. H., Simon N. M., Fenniri H. Artificial Nose Technology; Status and Prospects in Diagnostics // Trends in Biotechnology. - 2017. - T. 35, № 1. - C. 33-42.

182. Zhao Z. Z., Tian F. C., Liao H. L., Yin X., Liu Y., Yu B. A novel spectrum analysis technique for odor sensing in optical electronic nose // Sensors and Actuators B-Chemical. - 2016. - T. 222. - C. 769-779.

183. Buck L. B. Unraveling the sense of smell (Nobel lecture) // Angewandte ChemieInternational Edition. - 2005. - T. 44, № 38. - C. 6128-6140.

184. Valente J., Munniks S., de Man I., Kooistra L. Validation of a small flying e-nose system for air pollutants control: A plume detection case study from an agricultural machine // 2018 IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics (ROBIO) -IEEE, 2018. - C. 1993-1998.

185. Esteves C. H. A., Iglesias B. A., Ogawa T., Araki K., Hoehne L., Gruber J. Identification of Tobacco Types and Cigarette Brands Using an Electronic Nose Based on Conductive Polymer/Porphyrin Composite Sensors // Acs Omega. - 2018. - T. 3, № 6. - C. 64766482.

186. Bieganowski A., Jozefaciuk G., Bandura L., Guz L., Lagod G., Franus W. Evaluation of Hydrocarbon Soil Pollution Using E-Nose // Sensors. - 2018. - T. 18, № 8.

187. Herrero J. L., Lozano J., Santos J. P., Suarez J. I. On-line classification of pollutants in water using wireless portable electronic noses // Chemosphere. - 2016. - T. 152. - C. 107-116.

188. Adib M., Eckstein R., Hernandez-Sosa G., Sommer M., Lemmer U. SnO2 Nanowire-Based Aerosol Jet Printed Electronic Nose as Fire Detector // Ieee Sensors Journal. -2018. - T. 18, № 2. - C. 494-500.

189. Guntner A. T., Koren V., Chikkadi K., Righettoni M., Pratsinis S. E. E-Nose Sensing of Low-ppb Formaldehyde in Gas Mixtures at High Relative Humidity for Breath Screening of Lung Cancer? // Acs Sensors. - 2016. - T. 1, № 5. - C. 528-535.

190. Le Maout P., Wojkiewicz J. L., Redon N., Lahuec C., Seguin F., Dupont L., Mikhaylov S., Noskov Y., Ogurtsov N., Pud A. Polyaniline nanocomposites based sensor array for breath ammonia analysis. Portable e-nose approach to non-invasive diagnosis of chronic kidney disease // Sensors and Actuators B-Chemical. - 2018. - T. 274. - C. 616-626.

191. Berna A. Z., Trowell S., Cynkar W., Cozzolino D. Comparison of metal oxide-based electronic nose end mess spectrometry-based electronic nose for the prediction of red wine spoilage // Journal of Agricultural and Food Chemistry. - 2008. - T. 56, № 9. - C. 3238-3244.

192. Loutfi A., Coradeschi S., Mani G. K., Shankar P., Rayappan J. B. B. Electronic noses for food quality: A review // Journal of Food Engineering. - 2015. - T. 144. - C. 103-111.

193. Scott S. M., James D., Ali Z. Data analysis for electronic nose systems // Microchimica Acta. - 2006. - T. 156, № 3-4. - C. 183-207.

194. Варежников А., Мусатов В., Сысоев В. Газоаналитическое устройство на основе нановолоконных мультисенсорных чипов и нейросетевых алгоритмов // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2011. - T. 4, № 4 (62). - C. 75-79.

195. Jurs P. C., Bakken G. A., McClelland H. E. Computational Methods for the Analysis of Chemical Sensor Array Data from Volatile Analytes // Chemical Reviews. - 2000. -T. 100, № 7. - C. 2649-2678.

196. Romashkin A. V., Levin D. D., Rozanov R. Y., Nevolin V. K. The formation of photoresist film with thicknesses from 0.7 microns to 100 microns on surfaces with considerable relief by spray coating on the heated substrate //International Conference on Micro-and Nano-Electronics 2016. - SPIE, 2016. - Т. 10224. - С. 408-414.

197. Ferrari A. C., Basko D. M. Raman spectroscopy as a versatile tool for studying the properties of graphene // Nature Nanotechnology. - 2013. - T. 8, № 4. - C. 235-246.

198. Yang H. P., Hu H. L., Wang Y. Y., Yu T. Rapid and non-destructive identification of graphene oxide thickness using white light contrast spectroscopy // Carbon. - 2013. - T. 52. -C. 528-534.

199. Nayak B., Panda A. K., Ray P., Ray A. R. Formulation, characterization and evaluation of rotavirus encapsulated PLA and PLGA particles for oral vaccination // Journal of Microencapsulation. - 2009. - T. 26, № 2. - C. 154-165.

200. Chen X., McGurk S. L., Davies M. C., Roberts C. J., Shakesheff K. M., Tendler S. J. B., Williams P. M., Davies J., Dawkes A. C., Domb A. Chemical and morphological analysis of surface enrichment in a biodegradable polymer blend by phase-detection imaging atomic force microscopy // Macromolecules. - 1998. - T. 31, № 7. - C. 2278-2283.

201. Maeda Y. et al. Preparation and characterization of transparent and conductive thin films of single-walled carbon nanotubes //Nanoscale. - 2011. - Т. 3. - №. 4. - С. 1904-1909.

202. Geng H. Z. et al. Effect of acid treatment on carbon nanotube-based flexible transparent conducting films //Journal of the American Chemical Society. - 2007. - Т. 129. - №. 25. - С. 7758-7759.

203. Kaempgen M., Duesberg G. S., Roth S. Transparent carbon nanotube coatings //Applied surface science. - 2005. - Т. 252. - №. 2. - С. 425-429.

204. Liu Q. et al. Free-standing highly conductive transparent ultrathin single-walled carbon nanotube films //Journal of the American Chemical Society. - 2010. - Т. 132. - №. 46. -С. 16581-16586.

205. Tenent R. C. et al. Ultrasmooth, large - area, high - uniformity, conductive transparent single - walled - carbon - nanotube films for photovoltaics produced by ultrasonic spraying //Advanced materials. - 2009. - Т. 21. - №. 31. - С. 3210-3216.

206. Wang X., Sparkman J., Gou J. Strain sensing of printed carbon nanotube sensors on polyurethane substrate with spray deposition modeling //Composites Communications. - 2017. - Т. 3. - С. 1-6.

207. Kozono M., Sato H. Resistance change characteristics of spray-deposited carbon nanotube thin film with bending deformation //Japanese Journal of Applied Physics. - 2020. - Т. 59. - №. SG. - С. SGGH07.

208. Ma D. et al. Solvent-Free Process to High-Flux Ultrafiltration Membranes: Spray Coating of Water-Dispersed Carbon Nanotubes //ACS ES&T Water. - 2022. - Т. 2. - №. 5. - С. 895-903.

209. Xie B. et al. Engineering carbon nanotubes enhanced hydrophobic membranes with high performance in membrane distillation by spray coating //Journal of Membrane Science. -2021. - Т. 625. - С. 118978.

210. Ren Y., Li M., Li X., Geng Y., Wang X., Zha J. o. High-performance flexible fully-printed all-carbon thin film transistors and ultrasensitive NH 3 sensors //Journal of Materials Chemistry C. - 2021. - Т. 9. - №. 6. - С. 2133-2144.

211. Struchkov N. S. et al. Uniform graphene oxide films fabrication via spray-coating for sensing application //Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures. - 2020. - Т. 28. - №. 3. - С. 214-220.

212. Патент №2693733 Российская Федерация, МПК C01B 32/198, B82B 3/00, C01B 32/158, G01N 27/04. Способ получения тонких слоёв оксида графена с формированием подслоя из углеродных нанотрубок : №2018147203 : заявл. 28.12.2018 :

опубл. 04.07.2019 / Ромашкин А.В., Стручков Н.С., Левин Д.Д., Поликарпов Ю.А., Комаров И.А., Калинников А.Н., Нелюб В.А., Бородулин А.С. ; заявитель и патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана // Yandex.ru : патенты. URL: https://yandex.ru/patents/doc/RU2693733C1_20190704 (дата обращения: 02.11.2024).

213. Fischer B. J. Particle convection in an evaporating colloidal droplet // Langmuir. -2002. - T. 18, № 1. - C. 60-67.

214. Kissinger G., Kissinger W. Hydrophilicity of silicon-wafers for direct bonding // Physica Status Solidi a-Applied Research. - 1991. - T. 123, № 1. - C. 185-192.

215. DeRosa R. L., Schader P. A., Shelby J. E. Hydrophilic nature of silicate glass surfaces as a function of exposure condition // Journal of Non-Crystalline Solids. - 2003. - T. 331, № 1-3. - C. 32-40.

216. Bergin S. D., Sun Z. Y., Rickard D., Streich P. V., Hamilton J. P., Coleman J. N. Multicomponent Solubility Parameters for Single-Walled Carbon Nanotube-Solvent Mixtures // Acs Nano. - 2009. - T. 3, № 8. - C. 2340-2350.

217. Polikarpov Y. A., Romashkin A. V., Struchkov N. S., Levin D. D. High Uniform Carbon Nanotube Thin Films Spray Deposition on Substrates with Patterned Structures Having Height Difference // 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) -IEEE, 2019. - C. 1980-1985.

218. Pham V. H., Cuong T. V., Hur S. H., Shin E. W., Kim J. S., Chung J. S., Kim E. J. Fast and simple fabrication of a large transparent chemically-converted graphene film by spray-coating // Carbon. - 2010. - T. 48, № 7. - C. 1945-1951.

219. Shi H. F., Wang C., Sun Z. P., Zhou Y. L., Jin K. J., Yang G. Z. Transparent conductive reduced graphene oxide thin films produced by spray coating // Science China-Physics Mechanics & Astronomy. - 2015. - T. 58, № 1.

220. Ibrahim A. F. M., Lin Y. S. Synthesis of graphene oxide membranes on polyester substrate by spray coating for gas separation // Chemical Engineering Science. - 2018. - T. 190. - C. 312-319.

221. Tegou E., Pseiropoulos G., Filippidou M. K., Chatzandroulis S. Low-temperature thermal reduction of graphene oxide films in ambient atmosphere: Infra-red spectroscopic studies and gas sensing applications // Microelectronic Engineering. - 2016. - T. 159. - C. 146-150.

222. Levin D., Romashkin A., Polikarpov Y. A., Struchkov N., Kireynov A., Komarov I. Increase of composite structures strength by carbon fiber surface modification with spray deposited carbon nanotubes // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - T. 683 -IOP Publishing, 2019. - C. 012087.

223. Zhou P., Yu H., Zou W., Wang Z., Liu L. High - Resolution and Controllable Nanodeposition Pattern of Ag Nanoparticles by Electrohydrodynamic Jet Printing Combined with Coffee Ring Effect // Advanced Materials Interfaces. - 2019. - T. 6, № 20. - C. 1900912.

224. Goh G. L., Saengchairat N., Agarwala S., Yeong W. Y., Tran T. Sessile droplets containing carbon nanotubes: A study of evaporation dynamics and CNT alignment for printed electronics // Nanoscale. - 2019. - T. 11, № 22. - C. 10603-10614.

225. Rabchinskii M. K., Ryzhkov S. A., Besedina N. A., Brzhezinskaya M., Malkov M. N., Stolyarova D. Y., Arutyunyan A. F., Struchkov N. S., Saveliev S. D., Diankin I. D. Guiding graphene derivatization for covalent immobilization of aptamers // Carbon. - 2022. - T. 196. - C. 264-279.

226. Патент №2743559 Российская Федерация, МПК B01D 12/00, B82Y 40/00, C01B 32/17, C01B 32/158. Способ удаления остаточного растворителя из слоёв на основе углеродных нанотрубок : №2019145361 : заявл. 31.12.2019 : опубл. 19.02.2021 / Нелюб В.А., Калинников А.Н., Бородулин А.С., Орлов М.А., Комаров И.А., Ромашкин А.В., Стручков Н.С., Левин Д.Д., Поликарпов Ю.А., Александров Е.В. ; заявитель и патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана // Yandex.ru : патенты. URL: https://yandex.ru/patents/doc/RU2743559C1_20210219 (дата обращения: 02.11.2024).

227. Воронин А. С. и др. Формирование и исследование композитных прозрачных электродов поли (3, 4-этилендиокситиофен) полистиролсульфонат/одностенные углеродные нанотрубки //Письма в Журнал технической физики. - 2017. - Т. 43. - №. 17. -С. 12-19.

228. McCarthy J. E. et al. Fabrication of highly transparent and conducting PEDOT: PSS films using a formic acid treatment //Journal of Materials Chemistry C. - 2014. - Т. 2. - №. 4. -С. 764-770.

229. Chernyak S. A., Ivanov A. S., Strokova N. E., Maslakov K. I., Savilov S. V., Lunin V. V. Mechanism of Thermal Defunctionalization of Oxidized Carbon Nanotubes // The Journal of Physical Chemistry C. - 2016. - T. 120, № 31. - C. 17465-17474.

230. 217. Mac Kernan D., Blau W. Exploring the mechanisms of carbon-nanotube dispersion aggregation in a highly polar solvent // EPL (Europhysics Letters). - 2008. - T. 83, № 6. - C. 66009.

231. Mu L. W., Shi Y. J., Chen L., Ji T., Yuan R. X., Wang H. Y., Zhu J. H. N-Methyl-2-pyrrolidone C1-C4 carboxylic acid : a novel solvent system with exceptional lignin solubility // Chemical Communications. - 2015. - T. 51, № 70. - C. 13554-13557.

232. Какорин И. А. Возможность применения наноструктур в стоматологии //Международный журнал гуманитарных и естественных наук. - 2022. - №. 4-2. - С. 129131.

233. Geng Y., Wang S. J., Kim J. K. Preparation of graphite nanoplatelets and graphene sheets //Journal of colloid and interface science. - 2009. - Т. 336. - №. 2. - С. 592-598.

234. Zhao J. et al. Electronic properties of carbon nanotubes with covalent sidewall functionalization //The Journal of Physical Chemistry B. - 2004. - Т. 108. - №. 14. - С. 42274230.

235. Rabchinskii M. K., Sysoev V. V., Glukhova O. E., Brzhezinskaya M., Stolyarova D. Y., Varezhnikov A. S., Solomatin M. A., Barkov P. V., Kirilenko D. A., Pavlov S. I., Baidakova M. V., Shnitov V. V., Struchkov N. S., Nefedov D. Y., Antonenko A. O., Cai P., Liu Z., Brunkov P. N. Guiding Graphene Derivatization for the On - Chip Multisensor Arrays: From the Synthesis to the Theoretical Background // Advanced Materials Technologies. - 2022. - C. 2101250.

236. Sysoev V. V., Goschnick J., Schneider T., Strelcov E., Kolmakov A. A Gradient Microarray Electronic Nose Based on Percolating SnO2 Nanowire Sensing Elements // Nano Letters. - 2007. - T. 7, № 10. - C. 3182-3188.

237. Abdellah A. et al. Scalable spray deposition process for high-performance carbon nanotube gas sensors //IEEE Transactions on Nanotechnology. - 2013. - Т. 12. - №. 2. - С. 174181.

238. Sarkar T. et al. Calixarene-functionalized single-walled carbon nanotubes for sensitive detection of volatile amines //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2018. - Т. 268. - С. 115-122.

239. Gautam S. et al. Enhanced response and improved selectivity for toxic gases with functionalized CNT thin film resistors //Integrated Ferroelectrics. - 2018. - Т. 186. - №. 1. - С. 65-70.

240. Orlando A. et al. The Influence of Surfactants on the Deposition and Performance of Single-Walled Carbon Nanotube-Based Gas Sensors for NO2 and NH3 Detection //Chemosensors. - 2023. - Т. 11. - №. 2. - С. 127.

241. Struchkov N.S., Kozlovskaya E.A., Tsarik K.A., Lashkov A.V., Levin D.D., Romashkin A.V. On the mechanism of CNT network NH3 sensitivity: modeling and experimental study of the density effect //Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Физико-математические науки. - 2022. - Т. 15. - №. S3. 3. - С. 151-156.

242. Teerapanich P., Myint M. T. Z., Joseph C. M., Hornyak G. L., Dutta J. Development and Improvement of Carbon Nanotube-Based Ammonia Gas Sensors Using Ink-Jet Printed

Interdigitated Electrodes // Ieee Transactions on Nanotechnology. - 2013. - T. 12, № 2. - C. 255262.

243. Aoki N. et al. The transport property at cross-junction of multiwall carbon nanotubes //Physics of Semiconductors. - 2005. - T. 772. - C. 1035-1036.

244. Rigoni F., Drera G., Pagliara S., Goldoni A., Sangaletti L. High sensitivity, moisture selective, ammonia gas sensors based on single-walled carbon nanotubes functionalized with indium tin oxide nanoparticles // Carbon. - 2014. - T. 80. - C. 356-363.

245. 245. Kingrey D., Khatib O., Collins P. G. Electronic Fluctuations in Nanotube Circuits and Their Sensitivity to Gases and Liquids // Nano Letters. - 2006. - T. 6, № 7. - C. 15641568.

246. Macdonald T. J., Tune D. D., Dewi M. R., Bear J. C., McNaughter P. D., Mayes A. G., Skinner W. M., Parkin I. P., Shapter J. G., Nann T. SWCNT photocathodes sensitised with InP/ZnS core-shell nanocrystals // Journal of Materials Chemistry C. - 2016. - T. 4, № 16. - C. 3379-3384.

247. Rigoni F. et al. Enhancing the sensitivity of chemiresistor gas sensors based on pristine carbon nanotubes to detect low-ppb ammonia concentrations in the environment //Analyst. - 2013. - T. 138. - №. 24. - C. 7392-7399.

248. Bannov A. G. et al. Investigation of pristine graphite oxide as room-temperature chemiresistive ammonia gas sensing material //Sensors. - 2017. - T. 17. - №. 2. - C. 320.

249. Hoerter M. et al. Chemical interaction of gaseous ammonia and water vapour with polyacrylic acid layers //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2008. - T. 134. - №. 2. - C. 743749.

250. Liu L. et al. Humidity-activated ammonia sensor with excellent selectivity for exhaled breath analysis //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2021. - T. 334. - C. 129625.

251. Wang X. et al. Reduced graphene oxide hybridized with WS2 nanoflakes based heterojunctions for selective ammonia sensors at room temperature //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2019. - T. 282. - C. 290-299.

252. Sima Z. et al. Ultra-low concentration detection of NH3 using rGO/Cu2O nanocomposites at low temperature //Journal of Materials Science: Materials in Electronics. -2021. - T. 32. - №. 17. - C. 22617-22628.

253. Struchkov N. S. et al. Aminated reduced graphene oxide-carbon nanotube composite gas sensors for ammonia recognition //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2024. -C. 136088.

254. Ye Z. et al. Excellent ammonia sensing performance of gas sensor based on graphene/titanium dioxide hybrid with improved morphology //Applied Surface Science. - 2017. - Т. 419. - С. 84-90.

255. Duong V. T. et al. Ultralow-detection limit ammonia gas sensors at room temperature based on MWCNT/WO3 nanocomposite and effect of humidity //Solid State Sciences. - 2021. - Т. 113. - С. 106534.

256. Yang M. et al. Gas sensors based on chemically reduced holey graphene oxide thin films //Nanoscale research letters. - 2019. - Т. 14. - С. 1-8.

257. Ly T. N., Park S. Highly sensitive ammonia sensor for diagnostic purpose using reduced graphene oxide and conductive polymer //Scientific reports. - 2018. - Т. 8. - №. 1. - С. 18030.

258. Guo Y. et al. Hierarchical graphene-polyaniline nanocomposite films for highperformance flexible electronic gas sensors //Nanoscale. - 2016. - Т. 8. - №. 23. - С. 1207312080.

259. Andre R. S. et al. Enhanced and selective ammonia detection using In2O3/reduced graphene oxide hybrid nanofibers //Applied Surface Science. - 2019. - Т. 473. - С. 133-140.

260. Sysoev V. V. et al. A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements //Nano letters. - 2007. - Т. 7. - №. 10. - С. 3182-3188.

261. Rabchinskii M. K. et al. Toward On-Chip Multisensor Arrays for Selective Methanol and Ethanol Detection at Room Temperature: Capitalizing the Graphene Carbonylation //ACS Applied Materials & Interfaces. - 2023. - Т. 15. - №. 23. - С. 28370-28386.

262. Патент №2775201 Российская Федерация, МПК G01N 27/12, B82Y 40/00. Газоаналитический мультисенсорный чип на основе графена и способ его изготовления : №2021128656; заявл. 30.09.2021; опубл. 28.06.2022 / Рабчинский М.К, Варежников А.А., Сысоев В.В, Рыжков С.А., Столярова Д.Ю., Соломатин М.А, Кириленко Д.А., Стручков Н.С., Брунков П.Н., Павлов С.И., заявитель и патентообладатель ООО "ГрафСенсорс" // Yandex.ru : патенты. URL: https://yandex.ru/patents/doc/RU2775201C1_20220628 (дата обращения: 02.11.2024).

263. Патент №22780953 Российская Федерация, МПК G01N 27/12, B82Y 40/00. Мульти-графеновый газовый сенсор на основе производных графена и способ его изготовления : №2022101421; заявл. 23.01.2022; опубл. 04.10.2022 / Рабчинский М.К, Варежников А.А., Сысоев В.В, Стручков Н.С., Столярова Д.Ю., Соломатин М.А, Байняшев А. М., Рыжков С.А., Байдакова М.В., Шнитов В.В., Лихачев А.И., Павлов С.И., Кириленко Д.А.; заявитель и патентообладатель ООО "ГрафСенсорс" // findpatent.ru : Патентный поиск,

Поиск патентов и изобретений РФ и СССР. URL: https://findpatent.ru/patent/278/2780953.html (дата обращения: 02.11.2024).

264. Rabchinskii M. K., Varezhnikov A. S., Sysoev V. V., Solomatin M. A., Ryzhkov S. A., Baidakova M. V., Stolyarova D. Y., Shnitov V. V., Pavlov S. S., Kirilenko D. A., Shvidchenko A. V., Lobanova E. Y., Gudkov M. V., Smirnov D. A., Kislenko V. A., Pavlov S. V., Kislenko S. A., Struchkov N. S., Bobrinetskiy, II, Emelianov A. V., Liang P., Liu Z., Brunkov P. N. Hole-matrixed carbonylated graphene: Synthesis, properties, and highly-selective ammonia gas sensing // Carbon. - 2021. - T. 172. - C. 236-247.

265. Rabchinskii M. K., Sysoev V. V., Ryzhkov S. A., Eliseyev I. A., Stolyarova D. Y., Antonov G. A., Struchkov N. S., Brzhezinskaya M., Kirilenko D. A., Pavlov S. I., Palenov M. E., Mishin M. V., Kvashenkina O. E., Gabdullin P. G., Varezhnikov A. S., Solomatin M. A., Brunkov P. N. A Blueprint for the Synthesis and Characterization of Thiolated Graphene // Nanomaterials. - 2022. - T. 12, № 1.

266. Rabchinskii M. K., Ryzhkov S. A., Kirilenko D. A., Ulin N. V., Baidakova M. V., Shnitov V. V., Pavlov S. I., Chumakov R. G., Stolyarova D. Y., Besedina N. A., Shvidchenko A. V., Potorochin D. V., Roth F., Smirnov D. A., Gudkov M. V., Brzhezinskaya M., Lebedev O. I., Melnikov V. P., Brunkov P. N. From graphene oxide towards aminated graphene: facile synthesis, its structure and electronic properties // Scientific Reports. - 2020. - T. 10, № 1.

267. Патент №2776335 Российская Федерация, МПК G01N 27/12. Газовый детектор на основе аминированного графена и наночастиц оксидов металлов и способ его изготовления : №2021133993; заявл. 22.11.2021; опубл. 18.07.2022 / Рабчинский М.К, Варежников А.А., Сысоев В.В, Стручков Н.С., Столярова Д.Ю., Соломатин М.А, Антонов Г.А., Рыжков С.А., Павлов С.И., Кириленко Д.А.; заявитель и патентообладатель ООО "ГрафСенсорс" // patents.google.com. URL: https://patents.google.com/patent/RU2753185C1/ru (дата обращения: 02.11.2024).

153

Приложение А

Акты о внедрении

У !5Г irik,'l МО

J][K1fHiKl"p

Л.КТ

ûfi WCIKM h30F-H ni 11 : M ffif!V,J-rA

ДИМСртчИМНИОЙ рпбвЕЫ СГр>'ЧЖСПШ 1 llflNVL.IM L LÎWC^^I 14^

KojJiiocifH в oocraps* председатель Hnoinil li. K., ukmili иомисеии: К. A. E(iif"iкг и л. ÉJ. ^дддчг cocramjlil шцгташнИ ¡ht о тгн. тш ретуЮ.тиТЫ рм>ищй н □[ш.ктп'*6ç"i*

р....... II.' IL-fUll.k CrpjfUtilÎI.IM H. С. I'IL"!I DtmrDltlItt .LlL^e-piumtMJbl- I [BÔOtbl

■■]1сс;ршси111мие и ршрйшжа чуЛтИЯИа^рньЕ! дщршш Г1ПОР на шныя Limita

рппогргуflou H ирчнзпошгыл ГрпфсШи ИС1И1 1ь1и>Н2ИЫ Б щучпня pu.jptl6iKl I учеЙ11йЫ процсгееНяцимо.....if i£. ИЫЛСЛОВОПТЯl.çmim vulihupull1t"1VIИ"11 ИОВЛуичН!!«

I. Pf3)JM¥M hCTiiWPiliaHH 11 i.lfOUiLCU ||КЦ!4[И[Ч11........ .....«Ж ШЩЩЖ .............*

ICIIH-.M ;i i ......... .-.ICTHÏ/." IM ПрГО....................................11 ПК ........ЙЦИН iLLLk' IL4 и.'им n

ччейппч мр'щч-.-! арцрсу «Ниипеишмншш л Lr^ti цымиют

2 ("v: iy .и.тш i™ нсслсдом" ия iиочужтанзыъя ы.к iEoPitn ш имтипмлянядр-ив ячюие углерадий* никиилгарналпв были ййшнылшны |][нг кйптоЛиетш проекта

...................3h лроИЩИВДга в ...................... uaopa) с адмггерствйи нвуш и

iihcwl-no йСр-аюмымя PiMOhUCKirift ФедсрийщМ п «Йедостяп ivuriK l_v6. ii.iiii- фетиши.......

яатгжгшии и 11.-_: i■ j" | : i11■ ■ i ! -1*■-1 fl*tci!lcr4hum )r4prtçaeshllu. hi □ ф| i -щ ilxjmlil' «йы£1с:ч£е1 i1c BbUlOOKICMJI ГКулирСТПеНВЦТЧ ЙВДПНМ! ИН BK4V 'ии ГОL4I ДЯрСТШЗЩЙ! ¡(ЙЛ vr

3 ftîyjl........ ИССДеДйБЖНШ nmmyjICTWLïilJ.llIJ Сиойцп CCIOJ VU l'I IÎÏ'MU . ■."!!. I

при выполпегит проекта MEÎ-40H).2022.4 яРпзрпГшг^ методик i^-f-M и p:n.i.i 11:' (Н1Н0стр)чту1И1р01ан»ьи таючуилиитсЛьни* сшив с высокой «Jbasrmoifccri.io ми oc-imiic углеродны™ irUPIÎTpj'fliMi t КОШаКТП-НИ Я Dltttt ipqi|ifiii: И Mi rmij|]l КИ S hVLai c|njllu rpniki.MhMLiLTû и t^uK-Jx. гршггею Прешжятв Риссийикой ФыгбрШИИ JDI* Гиудартгви^^и НСУ^ррЖИИ росснчисяиудашх - КШЕДИ.ШПШ hjivk.

ЦродоелититЬ KïîimctflH-

ЙИДе:

р> КН.:'|И>Я1ГГе;Т|| НОЦ ЗМНТ,

профессор

В. К 1 к.........

п IJUCI IE.1 >;ЙРН ULCIIH ;

I |l . Il1 II I lil I L ' I ГI^ HllIK

[ I IL.. LTD^ILIEI i' rtnyiJHiil ¿оттуда™

АКТ

внедрения научно-технических результатов диссертационной работы Стручков Николая Сергеевича

Результаты диссертационной работы на соискание ученой степени кандидата технических наук инженера НОЦ ЗМНТ, НИУ МИЭТ Стручкова И. С на тему «Исследование и разработка мультисенсорных датчиков тазоь на основе тонких слоев углеродных нанотрубок и производных графена» были ис пользе вд] ил ООО ТрафСелсорс1' п процессе разработки мультисенсорных газовых датчиков. В частности, в производственный процесс ООО "ГрафСенсорс" был ¡г внедрены:

- технологический процесс пневматического аэрозольного нанесения тонких однородных пленок для создания биосемсороп кз оеноче производных графе на

- технологический процесс локального пневматически™ аэрозольного нанеся щн различный производных графе на шея создании мультйсенсориых газозналитнческих пнггоа

I '^геральный директор

и-ч. г-« 1

(НЛЭ«НИИИТ|. {«*} 786-44-5В

111511, г. КупКвва, Я. 2», ьтр. 1Г. Шв@аеп50п.ги

пом. XIV, тт. 3, ком. 1Р, 11. 52 www.saiiaQn.nj НИМ ТП14в*Иг1*1П ПТШ*-М)1 ЙГ РИ СОЮ10 +Т1В21Л

АКТ

внедрения научно-технических результата» диссертационной работы Стручков Николаи Сергеевича

Настоящим актом подтверждается, что результат*)! диссертационного работы на соискание ученой степени кандидата технический на у« инженера НОЦЗМНТ. НИУ ШЭ1 С-ручкова Николая Сергеевича на тему «Исследование и разработка мулы и сенсорных датчиков газов на оснеее тонких слоев углеродным нам отрубок и производных графе нал не пользовались ООО "НИ ИНТ" в процессе разработки прототипов мульти сенсорных газоанализаторов. В частности, в составе прототипов разрабатываемого оборудования использовались мультиэлекгродные чипы с газочувовителъным слоем на основе производных графе на, изготовленные согласнотехнологическому процессу разработанному Стручковым Н.С.

сенсОн

тнтгтпптг/пгэны гхив^1г янпМи'ЮТ&рР

156

Приложение Б

Наградные дипломы и сертификаты

Saint Petersburg OPEN 2022

9th International Schoo! and Conference May 24-27, 2022

Ofen

CONFERENCE

taecylfcjutil на^-лнь*

Ф<тд

ТПЛЛУ РЛН им. Ж.И. Ллфгршш

SERTIFICATE -

ES

^ И ■ ■ CM.r-ntwp&ypfuKK

ПОЛИТЕХ

: ан* г - р г L

щау.тскикчю-кмй умииррсчтп

,c"pie— for the best presentation is hereby given to

Gbp

for the work entitled

Cm- _A-veoU^^U^ ej_члУогг^ iUt^i^lj^ к^^л^и

Head of Program Committee Alexey E. •- ^

f3

:■ Vv

Corr. member RAS Zhukov

AAA U ™

INSCIENCE ¡0 ooo«нт-мдт* фОТОНИКА

НД>«ИЫЕ ■ РЕШЕНИИ

SAINT PETERSBURG, Ri SSJA