| Тема диссертации |
Автор |
Год |
|
|
Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
|
Андрианов, Андрей Михайлович |
2000 |
|
|
Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
|
Ковалев, Анатолий Андреевич |
2000 |
|
|
Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
|
Кеменов, Владимир Николаевич |
2000 |
|
|
Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
|
Хаханин, Сергей Юрьевич |
2000 |
|
|
Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования
|
Пересадько, Андрей Григорьевич |
2000 |
|
|
Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
|
Васин, Владимир Анатольевич |
2000 |
|
|
Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
|
Сосунов, Александр Геннадьевич |
2000 |
|
|
Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
|
Невшупа, Роман Александрович |
1999 |
|
|
Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения
|
Василенко, Николай Васильевич |
1999 |
|
|
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок: Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса
|
Тыщишин, Василий Васильевич |
1999 |
|
|
Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
|
Коган, Иосиф Леонидович |
1999 |
|
|
Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц
|
Угольников, Сергей Викторович |
1998 |
|
|
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
|
Балашов, Владимир Николаевич |
1998 |
|
|
Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования
|
Михальцов, Евгений Петрович |
1998 |
|
|
Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
|
Тупик, Виктор Анатольевич |
1998 |
|
