Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.07, доктор технических наук Василенко, Николай Васильевич

• Василенко, Николай Васильевич
• доктор технических наук
• 1999

Оглавление диссертации доктор технических наук Василенко, Николай Васильевич

Глава 1. ПРОБЛЕМЫ ПОСТРОЕНИЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ВОЛНОВОГО ДВИЖЕНИЯ

1.1. Анализ перспектив развития исполнительных систем вакуумного напылительного оборудования

1.2. Внутрикамерные и приводные механизмы исполнительных систем оборудования электронной техники

1.3. Опытно-промышленные образцы оборудования электронной техники

1.4. Структурные схемы исполнительных систем оборудования электронной техники

1.5. Постановка задачи исследований

Глава 2. ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ШАРИКОВЫХ ЗУБЧАТО-ТОРЦЕВЫХ ПЕРЕДАЧ

2.1. Модель процесса вакуумного осаждения вещества на поверхности подложки

2.2. Шариковые зубчато-торцевые передачи в качестве механизма вращательно-поступательного перемещения

2.3. Анализ работоспособности основных элементов зацепления шариковых зубчато-торцевых передач

2.4. Влияние эксплуатационного износа и технологических погрешностей на кинематическую точность шариковых зубчато-торцевых передач

2.5. Разработка инженерной методики расчета шариковых зубчато-торцевых передач

Выводы по главе

Глава 3. ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА

ОСНОВЕ ВОЛНОВЫХ РЕЗЬБОВЫХ ПЕРЕДАЧ

3.1. Особенности волнового винтового движения в ВРП

3.2. Аналитическое выражение составляющих погрешностей положения ведомого звена ВРП

3.3. Исследование характера распределения зазоров между витками гибкого и жесткого звеньев ВРП

3.4. Анализ влияния усилий в зацеплении на точностные характеристики ВРП

3.5. Исследование радиальной жесткости регулируемых генераторов ВРП

Выводы по главе 3'

Глава 4. ПОСТРОЕНИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ

ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА

ОСНОВЕ ВОЛНОВЫХ РЕЕЧНЫХ МЕХАНИЗМОВ

4.1. Классификация ВРМ. Выбор базовой схемы и анализ ее особенностей^

4.2. Исследование геометрических и кинематических параметров ВРМ

4.3. Оптимизация параметров ВРМ по тяговой способности и к.п.д.

4.4. Исследование жесткости ВРМ

4.5. Оценка долговечности ВРМ и инерционных параметров динамической системы

Выводы по главе

Глава 5. НАУЧНЫЕ ОСНОВЫ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ ПАР ТРЕНИЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ОСНОВЕ ВОЛНОВОГО ДВИЖЕНИЯ

5.1. Общие положения

5.2. Принципы подбора материалов для узлов трения, работающих в вакууме

5.3. Механизмы изнашивания и разрушения контактирующих поверхностей

5.4. Пути повышения износостойкости деталей пар трения, работающих в вакууме

5.5. Твердосмазочные покрытия для работы в вакууме

Выводы по главе

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения»

Электронная техника - новое и интенсивно развивающееся научное направление, вызванное к жизни повышением эффективности современного производства.

Вакуумные исполнительные системы стали реальностью сегодняшнего дня в современном технологическом производстве. Их широкое использование в электронной технике - задача настоящего и ближайшего будущего, которая не может быть решена с использованием только классических механизмов - зубчатых, червячных, винтовых передач. Элементная база вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники должна удовлетворять следующим требованиям: обладать малым весом и габаритами, возможностью работы в условиях вакуума с перепадом температур от 0°С до + 800°С, а также стойкостью против различного вида излучений. Этим требованиям наиболее полно удовлетворяют исполнительные системы, построенные на волновых резьбовых, волновых реечных механизмах и шариковых передачах. Поэтому синтез и анализ вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, является задачей актуальной и своевременной.

Основной задачей теоретических и экспериментальных исследований явилось создание элементной базы вакуумных исполнительных систем (ИС) на основе волновых резьбовых, реечных и шариковых передач и на их основе ИС с заданными параметрами работоспособности.

Теоретические исследования проводились на основе законов теоретической механики, теории механизмов и машин, теории точности, вакуумной техники и динамики твердого тела с несколькими степенями свободы с использованием аналитических и численных методов решения, на основе положений молекулярно-механической теории трения.

При проведении экспериментальных исследований применялись методики прямых и косвенных измерений методом тензометрии, с последующей обработкой результатов методами теории вероятностей и математической статистики. Теоретические исследования, обработка результатов экспериментов выполнялись с использованием ЭВМ, что позволило повысить точность и эффективность исследований.

Получена математическая модель формирования слоя конденсата в произвольной точке подложки. Разработаны математические модели формирования показателей работоспособности волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, позволяющие на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние элементов, а также интенсивность изнашивания сопрягаемых элементов, которая, в свою очередь, зависит от правильного выбора материалов, смазок и диффузионного насыщения поверхности трения металлами.

На основании теоретических и экспериментальных исследований резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач разработаны конструкции исполнительных систем для оборудования электронной техники. Новизна предложенных технических решений подтверждена 70 авторскими свидетельствами на изобретения и патентами РФ.

Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим корректным математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, а также экспериментальными исследованиями опытных образцов исполнительных систем оборудования электронной техники.

Результаты исследований и разработок переданы для использования и внедрены в исполнительных системах вакуумных роботов и манипуляторов (НПО ПМ г.Красноярск), в конструкциях манипуляторов перегрузчиков с волновыми реечными поступательными приводами (НИИ ПОЛЮС), с шариковыми зубчато-торцевыми передачами для преобразования движения в вакууме в исполнительных системах карусельного типа, отвечающих требованиям высокой кинематической точности и воспроизводимости перемещений, а также используются в учебном процессе по курсу «Детали машин и основы конструирования» в МИЭМ (г.Москва), в КПИ и CAA (г.Красноярск).

Использование полученных результатов легло в основу ряда разработок автора, внедренных на предприятиях МЭИ, MOM, МОП и АН РФ. Экономический эффект от внедрения результатов работы составил более 1,3 млн. рублей.

Теоретическое обобщение вопросов, связанных с синтезом и анализом вакуумных исполнительных систем для оборудования электронной техники на основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач и широкое внедрение технических решений исполнительных систем вносит значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса РФ.

На защиту выносится:

1. Четырехуровневый синтез-анализ вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники включающих в себя синтез-анализ собственно систем, исполнительных устройств, узлов и деталей.

2. Математическая модель формирования слоя конденсата на подложке.

3. Математические модели работоспособности волновых, резьбовых механизмов и шариковых передач, позволяющие на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние элементов исполнительных систем, устройств и деталей.

4. Результаты теоретических и экспериментальных исследований волновых резьбовых передач, реечных механизмов, шариковых зубчато-торцевых передач.

5. Принцип проектирования узлов трения, работающих в вакууме.

6. Комплекс алгоритмов и программ машинного расчета и методика конструирования исполнительных систем оборудования электронной техники на 6 основе волновых резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач.

7. Использование результатов работы при создании оборудования ЭТ на различных предприятиях Российской Федерации.

По теме доклада опубликовано 13 статей, сделано 27 докладов на Международных, Всесоюзных конференциях и конференциях стран Содружества Независимых Государств, издано 6 учебных пособий и два учебника для специальности «Электронное машиностроение», один из которых удостоен премии Правительства РФ в области науки и техники за 1997 г.

Новизна предложенных технических решений защищена 70 авторскими свидетельствами СССР и патентами РФ.

Диссертационная работа состоит из введения, 5 глав, общих выводов, списка литературы из 211 наименований и приложения, содержащего описание экспериментальных стендов и установок, программного машинного расчета и акты, подтверждающие практическое использование результатов работы.

Заключение диссертации по теме «Оборудование производства электронной техники», Василенко, Николай Васильевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Анализ современных исполнительных систем вакуумного оборудования ЭТ показал, что для повышения их надежности и долговечности необходимо создание надежных и долговечных герметичных исполнительных механизмов поступательного и вращательного движения, обеспечивающих: поток газовыделения из пар трения не более 10"9м3/Пас"'; скорость перемещения исполнительного органа от 2-10"6 до1 м с"1; осевую нагрузку от 0,01 Н до 200 Н;точность позиционирования 0,005 мм; наработку на отказ не менее 400 часов и выдержку прогрева до 850°С.

2. Анализ существующих герметичных механизмов поступательного и вращательного движения позволяет сделать заключение, что для создания высокоточных вакуумных ИС с несколькими степенями подвижности наиболее перспективным является использование волновых герметичных резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач, удовлетворяющих требованиям по точности перемещения, нагрузочной способности и герметичности с вводом нескольких независимых движений в вакуум. Эти передачи целесообразно применять для формирования слоя конденсата на подложке.

3. Разработанные математические модели формирования показателей работоспособности таких механизмов и передач, позволяет уже на этапе проектирования оценить кинематическую погрешность, люфт, к.п.д. и напряженно-деформированное состояние гибких элементов. Установлено, что наибольшее влияние на величину кинематической погрешности оказывают зазоры в контактных парах и технологические ошибки, а также интенсивность изнашивания сопрягаемых элементов, которая в свою очередь, связана с энергетическими параметрами поверхности трения.

Основным принципом, который должен быть положен , в основу проектирования узлов трения, работающих в вакууме, является обеспечение в заданном диапазоне скоростей и нагрузок режима нормального трения. Это достигается правильным выбором материалов, смазок и диффузионным насыщением поверхности трения металлами.

На основе анализа конструкций технологического оборудования, машин и механизмов, предложена классификационная схема типовых узлов трения исполнительных устройств космических аппаратов и технологического оборудования, получены новые экспериментальные результаты количественного влияния технологических параметров поверхностных слоев на величину износа узлов трения. Построены формальные модели процесса изнашивания подвижных сопряжений, работающих с пластичными смазочными материалами.

Выполнена автоматизация процесса построения формальных моделей изнашивания подвижных сопряжений.

Разработан и автоматизирован инженерный метод расчета долговечности и надежности узлов трения, в том числе с металлоплакирующими смазочными материалами.

Созданы базы данных триботехнической информации, физико-механических и триботехнических свойств конструкционных и смазочных материалов, как базовых элементов автоматизированной системы, построен и программно реализован алгоритм автоматизированного формирования технологических процессов и выбора технологических параметров поверхностей трения с высокой долговечностью и надежностью.

4. По результатам исследования шариковых зубчато-торцовых передач вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники можно констатировать следующее:

- впервые в практике создания шариковых передач с параллельными валами теоретически обосновано применение передач с шариковыми промежуточными телами качения в механизмах привода и преобразования движения вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники;

- на основе комплексной оценки работоспособности шарикового зацепления разработана модель вакуумной шариковой зубчато-торцовой передачи и инженерная методика расчета и проектирования шариковых зубчато-торцовых передач механизмов вакуумных исполнительных систем оборудования электронной техники;

- разработанная методика инженерного расчета ШЗТП, взаимосвязывающая параметры долговечности, прочности и точности передачи, позволяет проектировать механизмы с заданными технико-эксплуатационными показателями при их работе, как в вакууме, так и в атмосфере;

- исследования вакуумных параметров шариковой передачи- показали высокую надежность передачи и перспективность применения в вакуумных исполнительных системах роботов и манипуляторов;

- основными параметрами шариковой передачи, влияющими на качественные показатели зацепления, являются диаметр шариков и радиус их установки на колесе-обойме;

- установлено, что основным критерием работоспособности шариковых зубчато-торцовых передач в механизмах привода и преобразования движения высоковакуумных манипуляторов является износ колеса-обоймы, который приводит к увеличению динамических нагрузок и снижению кинематической точности;

- разработаны специальные вакуумные шариковые передачи и опытнопромышленные образцы целевых механизмов привода и преобразования движения для оборудования ЭТ. Лабораторные и производственные испытания показали их высокую работоспособность, эксплуатационную надежность и точность.

5. По результатам исследований волновых резьбовых передач можно констатировать следующее:

- создана методика расчета зазоров в зацеплении волновой резьбовой передачи, позволяющая прогнозировать погрешность перемещения исполнительного органа;

- выполнение второй нарезки на гибком элементе позволило улучшить показатели точности исполнительных механизмов на 70%;

- введение пескоструйной обработки гибкого элемента позволяет уменьшить поток газоотделения в 5 раз;

- экспериментальные исследования волновой резьбовой передачи показали, что она имеет высокую работоспособность, к.п.д. 0,75, наработку на отказ более 400 часов, кинематическую погрешность ± 5 мкм;

- разработанная научно-обоснованная методика проектирования волновых резьбовых передач позволяет на основе требований вакуумного технологического оборудования рассчитывать конструктивные параметры основных элементов ВРП. Разработан ряд конструкций исполнительных механизмов для предприятий электронной промышленности.

6. По результатам исследований реечных механизмов можно констатировать следующее:

- разработана базовая модель волнового реечного механизма, для которой установлена связь кинематических, силовых, упругих и инерционных характеристик с ее геометрическими и фрикционными параметрами при обеспечении постоянства контактных линий и выборе зазора в многопарном зацеплении ведущих звеньев с рейкой; выведены математические зависимости и разработан алгоритм оптимизационного синтеза геометрических параметров профиля зуба рейки и закона движения толкателя по условию минимизации габаритов ВРМ;

- получены выражения для определения выходного перемещения рейки, коэффициента перекрытия, волнового передаточного отношения, скоростей и ускорений звеньев; составлены математические выражения, определяющие силовую нагруженность элементов ВРМ от действия внешнего усилия, приложенного к рейке, при наличии и отсутствии предварительного натяга в зацеплении;

- выведены расчетные зависимости для определения геометрических параметров силового ролика толкателя и коэффициента распределения нагрузки вдоль линии контакта;

- поставлена и решена задача оптимизации размеров толкателя по минимуму коэффициента передачи усилия в механизме;

- составлены расчетные зависимости для определения баланса и потерь мощности в кинематических парах и вычисления среднего значения к.п.д. за цикл движения ВРМ;

- предложенные методы позволили рассчитать и спроектировать для предприятия НПО ПМ и некоторых других конструкцию манипулятора перегрузчика с волновыми реечными поступательными приводами;

- разработана модель упругой системы приводного элемента и эквивалентной схемы ведущих толкателей ВРМ для оценки статических характеристик динамической системы. Их исследования показали, что в общем балансе системы наибольшей податливостью обладают направляющие толкателей и приводной вал генератора волн. За счет деформаций упругой системы нагрузки при двухпарном зацеплении распределяются примерно (± 3,5%) поровну между ведущими толкателями;

- экспериментальными исследованиями образцов ВРМ, проведенными на специально разработанных стендах и высокоточном измерительном оборудовании, установлено удовлетворительное соответствие расчетных и экспериментальных характеристик к.п.д. и статической жесткости. Оценка точности ВРМ показала, что основными составляющими погрешности перемещения рейки являются: отклонение фазового положения кулачка, ошибки шагов зубьев рейки и установки роликов толкателей, а также погрешности углов профиля зуба рейки; на основании проведенных теоретических и экспериментальных исследований разработана инженерная методика расчета и проектирования приводных модулей поступательного перемещения (ПМПП) на базе ВРМ, позволяющая проектировать ПМПП по заданным технико-экономическим требованиям, включая частично герметизированное общепромышленное исполнение.

7. На основании теоретических и экспериментальных исследований резьбовых, реечных механизмов и шариковых передач разработаны конструкции исполнительных систем оборудования ЭТ. Новизна

320 предложенных технических решений подтверждена 69 авторскими свидетельствами СССР на изобретения и патентами РФ. Результаты комплекса работ по разработке элементной базы исполнительных систем ОЭТ приняты к промышленному внедрению и внедрены на предприятиях оборонной промышленности, общего и среднего машиностроения, электронной и аэрокосмической техники, АН РФ, а также в учебном процессе в САА, КГТУ, МГИЭМ и др. вузах.

Основным результатом диссертационной работы можно считать решение проблемы синтеза и анализа исполнительных систем оборудования ЭТ на основе шариковых зубчато-торцевых передач, волновых резьбовых и реечных механизмов.

Теоретическое обобщение вопросов, связанных с синтезом и анализом исполнительных систем оборудования ЭТ, широкое внедрение технических решений ИС вносит значительный вклад в ускорение научно-технического прогресса Российской Федерации.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Василенко, Николай Васильевич, 1999 год

1. Ковалев J1.K. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники // Обзоры по электронной технике. Лазерная техника и оптоэлектроника. - М: ЦНИИ Электроника, 1982. - Сер. И.-Вып. 2(886). С. 3-8.

2. Ковалев Л.К. Теоретические основы проектирования, создание и освоение вакуумного напылительного оборудования для производства изделий квантовой электроники. Дисс. докт. техн. наук: 05.27.07. М., 1985. - 546 с. - (ДСП)

3. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк., 1986. - 320 с.

4. Аналитическое приборостроение /Каталог ЦНИИ Электроника. М.: ЦНИИ Электроника, 1983. - 75 с. - (ДСП).

5. Буркова Л.В., Фролов Г.И. Физические свойства и применение пленок ТЬ-Fe // Препринт № 352Ф, Красноярск, 1985. 96 с.

6. Система производства и анализа эпитаксиальных пленок МВЕ 500. Техническое описание № 253.

7. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для молеку-лярно-лучевой эпитаксии //Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование. М.: ЦНИИ Электроника, 1981. - Сер. 7. - Вып. 17 - 52 с. (828).

8. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк., 1986. - 320 с.

9. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, 1975.-336 с.

10. Ю.Минайчев В.Е. Теоретические основы разработки функциональных устройств и систем и создание комплекта вакуумного оборудования для производства тонкопленочных структур интегральных схем: Дисс. .докт. техн. наук: 05.27.07. М. 1984. - с. 44 - (ДСП).

11. Ашин'ов С.А., Блинов Н.Г., Деулин Е.А. Выбор оптимальной емкости внутрикамерных устройств однопозиционных УВН с учетом надежности их элементов. Электронная техника //. Технология, организация производства и оборудование. 1979. Сер. 7. Вып. 4. -12 с.

12. Лашер Пол, Недле Уолтер, Чай Янг. Использование автоматизированной молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания тонких полупроводниковых слоев //Электроника. М., 1980. - том 53. - № 19 (597). - С. 49-61.о

13. А.С. 274561 ССР, МКИ Г 16. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме /К.А. Владимиров, Л.К. Ковалев, М.И. Медников, Б.И. Макаров (СССР). № 1247126/25-27. Опубл. 24.06.1970. Бюл. № 21 //Открытия. Изобретения. - 1970. - № 21 - С. 143.

14. Manipulators and accessories. Riber S.A. (France)., 1976, TechnicalBrochure NR 245E, 6 p.

15. High precision manipulators and accessories/ Varian (USA), 1977, VAC 2372, 777, Section 18,8 p.

16. Блинов Н.Г., Ельчанинов Е.И., Мелехин Ю.Я., Панкратов Л.М. Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок. //Справочные материалы по электронной технике. 1969. - Вып. 1 (17). - 108 с.

17. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М. -: Высшая школа, 1979. - 69 с.

18. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю.А., Смышляев Н.С. Передачи движения в вакуум //Обзорная информация криогенное и кислородное машиностроение. М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. - ХМ-6. - с. 21.

19. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис. . канд.техн.наук. 05.27.07. М., 1971. - 17 с. - (ДСП).

20. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дисс. .канд. техн. наук: 05.27.07. М., 1978.-220 с.-(ДСП).

21. Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа. Отчет

22. КПИ. Рук. Н.В. Василенко. Исполнители Усаков В.И., Лимаренко Г.Н., Морозов А.Н. и др. ГР № 31037980, Инв. № 02.83.0052772. -Красноярск, 1983, 286 с.-(ДСП).

23. Создание волновых передач для манипуляторов, работающих в сверхвысоком вакууме. Отчет /КПИ. Рук. Н.В.Василенко. Исполнители: Усаков В.И., Лимаренко Г.Н., Морозов А.Н. и др. ГР № 79045890, инв. № 53451. -Красноярск, 1982. 278 с. - (ДСП).

24. Создание волновых герметичных вводов возвратно-поступательного движения для установок ЖФЭ. Отчет /КПИ. Рук. Н.В.Василенко. Исполнители: Усаков В.И., Колесников Ю.П., Соловьюк В.М. и др. ГР № 80030722, инв. № 60012. - Красноярск, 1983. - 302 с. - (ДСП).

25. А.С. № 1173099 ССР, МКИ3 Г16Н 1/24. Передача /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Л.К. Ковалев (СССР). № 3689829/ 25-28. Опубл. 15.08.85. Бюл. № 30 // Открытия. Изобретения. - 1985. - № 30. - С. 137.

26. А.С. № 1203292 ССР, МКИ3 Г16Н 1/24. Ввод вращательного движения /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, А.Г. Беляев (СССР) № 3764538/25-08. Опубл. 07.01.86. // Бюл. № 1 // Открытия. Изобретения. -1986. -№ 1.-С. 165.

27. Кундель В.Н., Василенко Н.В., Морозов А.Н. Передачи с шариковыми промежуточными телами // Информ. Листок. Красноярск: - ЦНТИ, 1984. - № 262.

28. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Автореф. дис. канд.техн. наук. М., 1978. -с. 20 (ДСП).

29. Ковалев Л.К. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники // Обзоры по электронной технике. Лазерная техника и оптоэлектроника. М.: ЦНТИ Электроника, 1982. - Сер. II. - Вып. 2 (886).

30. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для молеку-лярно-лучевой эпитаксии //Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование. М.: ЦНИИ Электроника, 1981.-Сер. 7.-Вып. 17-52 с. (828).

31. Шаумян Г.А. Комплексная автоматизация производственных процессов. М.: Машиностроение, 1973, 639 с.

32. Волчкевич Л.И., Кузнецов М.М., Усов Б.А. Автоматы и автоматические линии. М.: Высшая школа, 1976, Т. 1-230 с. Т. 2, 336 с.

33. Волчкевич Л.И., Ковалев М.П., Кузнецов М.М. Комплексная автоматизация производства. М.: Машиностроение, 1983, 270 с.

34. Камышный Н.И., Старозубов B.C. Конструкция и наладка токарных автоматов и полуавтоматов. М.: Высшая школа, 1971.

35. Камышный Н.И. Механизмы питания автоматических станков. М.: Маш-гиз, 1951.

36. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис. . канд.техн.наук. 05.27.07. -М., 1971. 17 с. - (ДСП).

37. Методы анализа поверхностей. Под ред. А.Зандерны./ Пер. с англ. под ред. Кораблева В.В., Петрова H.H. М.: Мир, 1979, 327 с.

38. Полашегг Х.Д. Анализ поверхностей тонких пленок основы и результаты. - Köln,: Leubold - Heraus, Werksgruppe Vacuum - Verfahrenstechnik/ Printed in Federal Republic of Germany, p. 45.

39. Система производства и анализа эпитаксиальных пленок МВЕ 500. Техническое описание № 253.

40. Физика поверхностей. Исследования, технология, применение. Paris; Riber, Rueil. Malmaison Sedex. Printed in France Secretariat Paris. P. 48.

41. Cho A.Y. Recent developments in molecular beam epitaxy (MBE) J.Vac.Sci Technol, 1979, v. 16, N 2, pp. 275-284.

42. JIaniep Пол, Недле Уолтер, Чай Янг. Использование автоматизированной молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания тонких полупроводниковых слоев //Электроника. М., 1980. - том 53. - № 19 (597). - С. 49-61.

43. Lusher P.E. Crystal growth by molecular beam epitaxy Solid State Technol, 1977, N 12, pp. 43-52.5 6. Александрова A.T. Оборудование электронного производства. M., "Энергия", 1974, 384.

44. Александрова А.Т. Исследование процессов дестабилизации параметров системы «механизм контролируемая вакуумная среда» и разработка теоретических основ проектирования оптимальных механизмов. - Автореф. дисс. . докт. техн. наук. - М., 1979, с. 46 (ДСП).

45. Александрова А.Т., Ковалев Л.К. Волновой роторный форвакуумный насос. Труды МИЭМ «Электровакуумное машиностроение», вып. 29. М.: МИЭМ, 1973, с. 11-14.

46. Некрасов М.И. Исследование шариковых волновых генераторов с редукцией для волновых вакуумных вводов вращения оборудования электронной техники. Автореф. дисс. . канд. техн. наук. - М., 1973, с. 32 (ДСП).

47. Амосова Э.П. Исследование напряженного, деформированного состояния гибкого колеса и некоторых качественных характеристик волновой зубчатой передачи в герметизированное пространство. Автореф. дисс. . канд. техн. наук. -М., 1971, с. 16.

48. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю.А., Смышляев Н.С. Передачи движения в вакуум //Обзорная информация криогенное и кислородное машиностроение. М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. - ХМ-6. - с. 41.

49. Усаков В.И. Разработка и исследование волновых зубчатых передач механизмов ввода и формирования движения в высоком вакууме. Автореф. дисс. . докт. техн. наук. -М., 19819, с. 20 (ДСП).

50. Отчет о научно-исследовательской работе: «Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа». Н.В.Василенко, Морозов А.Н. Усаков В.И. и др. Инв. № 02.83.0052772. -Красноярск, 1983, ГР № 81037980, с. 220 (ДСП).

51. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, 1975, с. 249-301.

52. Блинов Н.Г., Ельчанинов Е.И., Мелехин Ю.Я., Панкратов Л.М. Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок. В кн.% «Справочные материалы по электронной технике». - 1969. - Вып. 1 (17). - с. 108.

53. Данилин Б.С., Минайчев В.В. О рациональном использовании средств для высоковакуумных установок осаждения тонких пленок. «Электронная техника», Сер. 3, Микроэлектроника, 1973, вып. 2, с. 76-80.

54. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.: Энергия, 1972, 256 с.

55. Данилин Б.С., Минайчев В.Е. Некоторые вопросы вакуумной техники при напылении тонких пленок. В сб. «Физика металлических пленок». Киев,: «Наукова думка», 1969, вып. 26, с. 77-87.

56. Caswell Hollis L. Physics of TinFilm, Academic Press, New York and London, 1964, v. 1.

57. Roberts R.W. and Pierre L.E. "Science", 1965, v. 147, N 3665, p. 1529-1541.

58. Бушенин Д.В., Деулин E.A., Марусов B.A., Синодеев И.В., Борейко А.И. Сверхвысоковакуумный планетарный резьбовой ввод поступательного движения. М., МВТУ им. Н.Э.Баумана, проспект.

59. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 184 с.

60. Хруничев Ю.А., Амосова Э.П., Деулин Е.А., Блинов И.Г., Попов E.H., Борейко А.И., Литвин Н.К., Дорошенкова E.H. Вводы вакуумные волновые.

61. М., МВТУ им. Н.Э. Баумана, проспект ВДНХ, 1979.

62. Усольцев М.В. Исследование кинематики и КПД вакуумных волновых муфт для приводов электровакуумного и полупроводникового оборудования. Автореф. дисс. . канд. техн. наук. /МИЭМ)-М., 1974, с. J6 (ДСП).

63. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ. М.: Мир, 1964, с. 715.

64. Кульбачный О.И. Механизмы для передачи вращения из герметизированного объема и их сравнительный анализ. В сб.: Проектирование зубчатых механизмов. - М.: Всесоюзный заочн. машиностроит. ин-т, 1971, с. 107-132.

65. Рот JI. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ. М.: Энергия, 1971, с. 464.

66. Отчет о научно-исследовательской работе: Создание волновых передачдля манипуляторов, работающих в сверхвысоком вакууме. Н.В.Василенко, В.И.Усаков, Г.Н.Лимаренко, Ю.П. Колесников и др. Красноярск, 1982. -№ ГР 79045890. 278 с. - (ДСП).

67. Тарасов Л.В. Лазеры и их применение. М., Радио и связь. 1983, с. 152.

68. Летохов B.C., Устинов Н.Д. Мощные лазеры и их применение. М., Сов. Радио, 1980.

69. Веников Г.В. Оптические вычислительные системы. М., Знание, 1976.

70. Реди Дж. Промышленное применение лазеров. Пер. с англ. М., Мир, 1981.

71. A.C. СССР № 631275, кл. В23Г9/10. Способ обработки изделий с циклоидальным профилем в торцовом сечении. Морозов А.Н. и др. (Б.И. № 31, 1978).

72. Водоватов Ф.Ф., Чельный A.A., Бейко В.П., Либенсон М.Н. Лазеры в технологии. Под ред. М.Ф.Стельмаха. М., Энергия, 1975.

73. Шашков Ю.М. Выращивание монокристаллов методом вытягивания. М., Металлургия, 1982.

74. Kvapil Ji., Perner В., Kvapil Jo. Purity and Doping Possibilities of A1203 and YAG Molten in Mo Crucibles and Crystals Growh from this Melt/ "Cristall undTechnik", 1980, Bd. 15H10, S. 1163-1166.

75. Васецкий Б.Г., Ковалев Jl.К., Пятибоков Л.К. Оборудование для выращивания монокристаллов. -Электронная промышленность. 1977, В. 5 (59), с. 35.

76. Березкина М.М., Ковальский Г.А. Источник ионов сотового типа. Электронная промышленность, 1981, в. 7-8 (103-104), с. 95-97.

77. Березкина М.М., Дмитриев В.В., Ковалев Л.К., Ковальский Г.А., Щербакова С.Н. Растровая ионно-лучевая пушка для очистки поверхности твердых тел ионной бомбардировкой. Электронная промышленность, 19.81, в. 7-8(103-104), с. 100.

78. Tisone Т.С., Cruzan P.D. Low-voltage Triode Sputtering with a confined Plasma. "J.Vac. Sci and Technol", 1975, vol. 12, N3, p. 677.

79. Сони K.K. Установка для выращивания монокристаллов. Патент Японии № 51-47153 от 13.12.1976, №47 105072 от 20.10.1972.100. "Single Cristal Lithium Niobate" "Solid State Technol", 1977, vol. 20, N 8, p. 108.

80. Автоматическое управление процессом выращивания кристалла. Патент Великобритании № 1.465.191, МКИ В01. J 17/18, НКИ G 3N 23.02.1977.

81. Устройство для контроля веса и диаметра выращиваемых кристаллов. Патент США № 3.394.983, МКИ В01 17/20, НКИ 23-273, 27.01.1976.

82. Регель В.Р. Получение профилированных кристаллов и изделий. -Вестник АН СССР, 1977, № 11, с. 49-56.

83. Antonow P.L., Nikonorow S.P. Physical Problems in Crystal Growth by the Stepanov Method. "J.Cryst. Growth", 1980, vol. 50, N 1, pp. 3-7.

84. Novak R. The Production of EFG Sapphire Ribbon for Heteroepitaxial Silicon Substrates. "J.Cryst. Growth", 1980, vol. 50, N 1, pp. 143-150.

85. Крагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение, 1973, с. 216.•

86. Ванштейн В.Э., Трояновская Г.И. Сухие смазки и самосмазывающиеся материалы. М., Машиностроение, 1968, с. 179.

87. Гарбар И.Н. Исследование износа зубчатых передач в вакууме. Вестник машиностроения, 1979, № 5, с. 20-22.

88. Ю9.Духовской Е.А. и др. Установка ВВТ-1 для исследования процессов трения материалов в вакууме и разряженных газовых средах при температуре до 1000 °С. В сб. Трение и изнашивание при высоких температурах. М., Наука, 1973, с. 5-7.

89. О.Кедрин Л.Ф. Исследование трения металлов в.различных средах. Машиностроение, 1956, № 11.

90. Лебедев В.М., Ашейчик А.А. Влияние газовой среды на трение пар в режиме избирательного переноса. Изв. ВУЗов. Машиностроение, 1980, № 1,с. 23-27.

91. Лозовский В.Н. Схватывание в прецизионных парах трения. В сб. О природе схватывания твердых тел., М., Наука, 1968, с. 96-103.

92. Любарский И.М. и др. О трении в условиях вакуума. ФХММ, 1967, № 3, с. 74-80.

93. Медников М.И., Цукерман Э.М. Исследование пар трения в условиях вакуума и космоса. В сб. Вопросы ракетной техники, 1964, №11.

94. Осипов В.Г., Запарин Ю.Л. Напряженное состояние и пластичность при деформации металлов. М., Наука, 1966, с. 102.

95. Постников В.И., Гарабар И.Н., Логинов В.В. Исследование износа приборных зубчатых передач в вакууме. Изд. ВУЗов. Машиностроение, 1976, № 5, с. 72-75.

96. Работоспособность узлов сухого трения в вакууме при высоких температурах. В сб. Вопросы ракетной техники, 1966, № 4.

97. Семенов А.П, Трение и адгезионное взаимодействие тугоплавких материалов при высоких температурах. М., Машиностроение, 1972, № 160.

98. Сентерюхина Л.Н., Опарина Е.М. Твердые дисульфидированные смазки. М., Химия 1966, с. 165.

99. Haltner A.J. The Application of Ultra High Vacuum Techniques to Studies of Fraction and Wear, XNVST, Pergamon Press, 1964.

100. Ган К.Г., Ивашов E.H., Григорьев И.Ю. О влиянии дозировки пластичной смазки на моменты трения малогабаритных шарикоподшипников. «Подшипниковая промышленность», 1981, № 2.

101. Горюнов В.М. Металлоплакирующие смазки в тяжелонагруженных шарнирах. В кн. Тепловая динамика и моделирование внешнего трения. М., Наука, 1975, с. 102-105.

102. Евдокимов В.Д., Костюк A.A. Применение твердой смазки для уменьшения износа при реверсивном движении. Вестник машиностроения, 1975, №8, с. 40-41.

103. Криулин A.B. Сульфоционирование стали и чугуна. М.-Л.: Машиностроение, 1972.

104. Курилов Г.В., Удовенко В.Ф., Воонцек Н.И., Сентерюхина Л.Н. и др. Работоспособность твердых смазочных покрытий. Вестник машиностроения, 1962, № 12, ч. 25-27.

105. Лебедев В.М., Ашейчик Л.А., Смирнов H.A. Методы повышения долговечности антифрикционных твердосмазочных покрытий. Трение и износ, 1980, т. 1, № 3, с. 543-547.

106. Лобашев В.Н. Способы получения и свойства твердосмазочных покрытий на основе дисульфида молибдена. В сб. Смазочное действие молибдена при воздействии радиации и других факторов. М.: Атомиздат, 1976, с. 14-19.

107. Любарский И.М. и др. Поведение твердых смазочных покрытий на основе дисульфида молибдена при трении в условиях вакуума. Химия и технология топлив и масел, 1961, № 5.

108. Майорова Л.А. Смазочная способность дисульфида молибдена и дисульфида вольфрама при тяжелых режимах трения. В сб. Методы оценки противозадирных и противоизносных свойств смазочных материалов. М.: Наука, 1969, с. 66-71.

109. Макаров Ю.В. Твердосмазочные покрытия на основе синтетического дисульфида молибдена для работы в экстремальных условиях. Вестник Машиностроения, 1981, № 12, с. 33-35.

110. Неустроев Г.И., Айрапетян H.A., Котков Ю.К. Антифрикционные характеристики конструкционных сталей после низкотемпературного цианирования. Труды МАДИ, М., 1969, вып. 174, с. 99-104.

111. ИЗ.Нитакай А. Твердые смазки «Дзюнкацу», 1976. Т. 21, № 2, с. 61-67.

112. Семенов А.П. Создание износостойких и антифрикционных покрытий и слоев на поверхностях трения деталей машин новыми методами. Трение и износ, 1982, т. 3, № 2, с. 343-572.

113. Такаги В. Смазка в глубоком вакууме. «Дзюнкацу», 1972, т. 17, № 5, с. 271-278.

114. Трение, изнашивание и смазка. Справочник в 2-х книгах. Под ред. Кра-гельского И.В. и Алисина B.B. М.: Машиностроение, 1979.

115. Трояновская Г.И. Применение самосмазывающихся материалов при ро-тапринтной смазке. Вестник машиностроения, 1974, № 4, с. 51-54.

116. Медников М.И., Лобачев С.Ю., Ковалев Л.К., Владимиров К.А., Макаров М.И. Кристаллодержатель для сверхвысоковакуумного электронографа.: Приборы и техника эксперимента. № 1 М.: 1974, с. 217-219.

117. Surface Analysis/ The complete approach/ Physical Electronics, JNG. Date sheet 1048, 1, 1977. Printed in U.S.A., p. 30.

118. Position Samples with Micrometet Precision and Repeata Bility High Precision manipulators and accessories VAC 2372 В.: Printed in U.S.A., 7.77., Section 18, p. 8.

119. A.C. СССР № 549334, кл. B25 J 21/00. Устройство для микроманипуляций в закрытой проточной камере. Попов Ю.А., Хохлов A.M. (Б.И. № 2, 1974 г.).

120. A.C. СССР № 274561, кл. В25 J 21/00. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме. Владимиров К.А., Ковалев Л.К., Медников М.И., Макаров В.И. (Б.И. № 21, 1970 г.).

121. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дис.канд.техн.наук. / МИЭМ) М., 1978. -220 с.-ДСП.

122. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций. Автореф. дис.канд.техн.наук. / МВТУ им. Н.Э.Баумана). М., 1971, 17с., ДСП.

123. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 184 с.

124. Попов E.H. Исследование сверхвысоковакуумных волновых зубчатых передач и создание стандартной конструкции для автоматизации и механизации вакуумного технологического оборудования. Автореф. дис.канд.техн.наук. /МВТУ им. Н.Э.Баумана)- М., 1978. - 25 с.

125. Усольцев М.В. Исследование кинематики и КПД вакуумных волновых муфт для приводов электровакуумного и полупроводникового оборудования. Автореф. дисс. канд. техн. наук. / МИЭМ)- М., 1974, с. 16 (ДСП).

126. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М. -: Высшая школа, 1979. - 69 с.

127. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ. М.: Мир, 1964, с. 715.»

128. Рот J1. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ. М.: Энергия, 1971, с. 464.

129. Турышев В.А., Василенко Н.В. Волновые герметичные передачи винт-гайка. Научные основы автоматизации производственных процессов и управления качеством в машиностроении и приборостроении // Тез. докл. (МВТУ им. Н.Э.Баумана). МВТУ, 1979. - С. 53-56.

130. А. С. СССР № 634046 СССР, М. кл 4. Г 16 H 57/00. Волновая герметичная муфта /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, В. В. Нестеренко. Опубл. 25.11.78.//Б. И. №43

131. Деулин Е.А., Амосова Э.П., Хруничев Ю.А., Смышляев Н.С. Передачи движения в вакуум // ХМ-6, Криогенное и кислородное машиностроение. -М.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1975. -57 с.

132. Марусов В.А. Создание и исследование герметичных механизмов поступательного движения для сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования: Дисс. Канд. Техн. наук / МВТУ им. Н.Э.Баумана). 1981. - 200 с.

133. Вакуумные системы и их элементы С. Фролов, Ф.А. Русак и. др. М.: Машиностроение, 1968. - 189 с.

134. Разберн Ф. Справочник по вакуумной технологии / Пер. с англ.; Под ред. Проф. P.A. Никлондра. М.: Энергия, 1972. - 441 с.

135. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 122 с.

136. Розанов JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. - 203 с.

137. Данилин Б.С., Минайчев В.Е., Пупко В.А. Сверхвысоковакуумная напы-лительная установка. // Обмен опытом в электронной промышленности.1968.-№ I.e. 12-13.

138. Блинов Н.Г., Ельчанинов Е.И., Краснов В.Г. и др. // Установка для высоковакуумного нанесения металлических пленок УВН-71П 1. Электронная промышленность. - 1972. - № 1.-е. 18-21.

139. Качанов А.И. и др. Элана установка напыления непрерывного действия // Электронная промышленность. - 1974. - № 10.-е. 24-28.

140. Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. / С.А.Ашиков, И.Г.Блинов, Е.А.Деулин и др. М.: ЦНИИэлектро-ника, 1978.-69 с.

141. Данилин Б.С., Минайчев В.Е. Некоторые вопросы вакуумной техники при напылении тонких пленок. //Физика металлических пленок. Киев,:1969,-с. 77-87.

142. Морозов В.В. Исследование автоматизированных электровакуумных установок выращивания монокристаллов из сплавов для постоянных магнитов с целью повышения их производительности. Дис. канд. техн. наук./ ВПИ). - Владимир, 1979. - 190 с.

143. Гридиев А.И. Исследование и разработка систем автоматического регулирования температуры в установках для выращивания монокристаллов из сплавов для постоянных магнитов. Дис. канд. техн. наук. /НПИ). -Новочеркасск, 1971. - 184 с.

144. Фомин В.М., Шевцов М.А. Электромеханическиое оборудование за рубежом. По материалам второй Международной выставки Электро-77 // Электрометрия, 1977. - Вып. 10 (182). - С. 15.

145. Павлов Б.И. Механизмы приборов и систем управления. JL: Машиностроение, 1972. - 205 с.

146. Ковалев JI.K. Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники. (Сер. II. Лазерная техника и опто-электроника: Обзоры по электронной технике; Вып. 2(886). М. ЦНТИ Электроника, 1982. — С. 3-8.

147. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для моле-кулярно-лучевой эпитаксии. М., 1981. - 52 с. (Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование: Обзоры по электронной технике; Вып. 17 (828).

148. Кисельман Л.А., Томашевский А.Г. Элементно-конструктивная база установок электронной и ионной спектроскопии и молекулярно-лучевой эпитаксии // Электронная промышленность. 1978. - № 11. - С. 102.

149. Small M.B. и др. Автоматизированная система для выращивания многослойных структур /GaAl/ методом жидкофазной эпитаксии. Проспект фирмы JBM, Vatson Resorch Centor 1978. - С. 27.

150. A.C. № 1173099 ССР, МКИ3 Г16Н 1/24. Передача /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Л.К. Ковалев (СССР). № 3689829/ 25-28. Опубл. 15.08.85. Бюл. № 30 // Открытия. Изобретения. - 1985. - № 30. - С. 137.

151. Ан И-Кан. Исследование шариковых передач с пересекающимися осями. Дисс. . канд.техн.наук: 05.02.02. Томск, 1973. - 180 с.

152. Бахвалов Н.С. Численные методы. М: Наука, 1975. - 27 с.

153. Беляев А.Е., Турин В.В., Ан И-Кан. Механические передачи с промежуточными телами. Расчет на прочность. М. - Томск: ВНИИМАШ. - 1985. - 99 с.

154. Гафнер С.Л., Добычин H.H. К расчету угла контакта при внутреннем соприкосновении цилиндрических тел, радиусы которых почти равны // Машиноведение. М., 1973. - № 2. - С. 40-44.

155. Гоэр Р. Толщина пленки и сопротивление качению в упруго-гидродинамическом точностном контакте // Труды Американского общества инженеров-механиков. Проблемы трения и смазки. 1971. - № 3. - С. 112-115.

156. Турин В.В. Исследование геометрии, кинематики и работоспособности плоских шариковых передач: Дисс. . канд.техн.наук: 05.02.02. Новосибирск, 1974. - 240 с.

157. Дробушевич Г.А. Программирование на ФОТРАНЕ. М.: БГУ им.1. В.И.Ленина, 1976.-270 с.

158. Дроздов Ю.Н., Рещиков В.Ф. Исследование состояния масляной пленки при относительном качении со скольжением тяжелонагруженных тел // Машиноведение. М.: 1968. - № 4. - С. 43-46.

159. Коднир Д.С. Контактная гидродинамика смазки деталей машин. М.: Машиностроение, 1976. - 304 с.

160. Коровчинский М.В. Местный упругий контакт при «близком» касании сжимаемых тел // Машиностроение. М., 1970. № 2. - С. 71.

161. Коровчинский М.В. Теоретические основы работы подшипников скольжения. М.: Машгиз, 1959. - С. 72.

162. Колчин Н.И. Механика машин. М.-Л.: Машгиз, 1963. - т.2, - С. 141.

163. Литвин Ф.Л. Теория зубчатых зацеплений. М.: Физ.-мат. 1962. - 148 с.

164. А.Н.Морозов. Шариковые зубчато-торцовые передачи для механических систем оборудования электронной техники: Дисс. канд. техн. наук: 05.27.07 М., 1984. - 205 с. - (ДСП).

165. Нежесткин Б.П., Леликов О.Г., Смирнов Н.И. Исследование долговечности зубчатых передач в вакууме //Вестник машиностроения, 1970. № 2. -с. 7-9.

166. Орлов A.B. Оптимизация рабочих поверхностей опор качения. М.: Наука, 1973.- 123 с.

167. Панасюк В.В., Теплый М.И. Определение контактных напряжений при внутреннем соприкосновении цилиндрических тел // Прикладная механика, 1971. т. VII, - Вып. 4. - С. 56.

168. Парфенов О.Д. Технология микросхем. М.: Высш.шк., 1986. - 320 с.

169. Пинегин C.B. Трение качения в машинах и приборах. М.: Машиностроение, 1976.-272 с.

170. Пинегин C.B. Контактная прочность и сопротивление качению. М.: Машиностроение, 1961. - С. 42-55.

171. Тайц Б.А. Точность и контроль зубчатых колес. М.: Машиностроение, 1972.- 187 с.

172. Тимошенко С.П. Теория упругости. М.: Наука, 1976. - С. 105-109.

173. У сов П.П. Определение зоны контакта и контактных напряжений при внутреннем соприкосновении цилиндрических тел // Машиноведение, 1981,-№6.-С. 44.

174. Чернавский С.А. Подшипники скольжения. М.: Машгиз, 1963. - С. 130132.

175. Чжен Г. Численное определение толщины упруго-гидродинамической пленки при эллиптическом контакте // Труды Американского общества инженеров-механиков. Проблемы трения и смазки, 1970. -№ 2. С. 105.

176. Штаерман И.Я. Контактные задачи теории упругости. М.: Машгиз, 1937.-С. 159-176.

177. Archard G.D., Gair F.С. The elasmohydrodynamic Lubrication of rollers. -"Proceedings of the Royal Society", 1961, Ser. A., "Mathematical and Society",1961, vol. 262, N 1306.

178. Conochie J.O., Cameron A. The Measurement of Oil-Film Thicreness in Gear Teeth, "Transactions of Oil-Film the ASME", Ser. D, Journal of Basic Engineering, March, 1960, p. 29-34.

179. Drutowski R.C. Energy Losses of Balls Rolling on plates. Simp. 1959. Gen. Motors Research Lab. Warren, Michigan Trans. ASME. Ser. D., 1959, vol. 81.

180. Heathcote H.L. The Boll bearing in maring; under test and in service. "Prac. Inst. Auto-Engineers". 1921, vol. 15. pp. 569-622.

181. Tabor D. The Mechanist of "Free" Rolling Friction J.Amer.Soc. Lubricat. Engrs. 1956, Nc.

182. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко В.А. Оборудование для моле-кулярно-лучевой эпитаксии. М., 1981. - 52 с. (Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование: Обзоры по электронной технике; Вып. 17 (828).

183. Создание волновых вводов возвратно-поступательного движения для установок жидкофазной эпитаксии: Отчет о НИР (заключ.) / Краснояр. политехи. ин-т; руководитель Н.В.Василенко. Шифр темы ДМ 120; № ГР 80030722; Инв. № 60012. - Красноярск, 1983. - 250 с.

184. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. Дисс.канд.техн.наук. / МИЭМ) М., 1978.-220 с.-(ДСП).

185. Турышев В.А., Елисеев Я.Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи // Машиностроение Вып. 9. М., 1975. -№ 9.-С. 89-99.

186. Люкшин А.И. Винтовые механизмы и передачи. М.: Машиностроение, 1982.-223 с.

187. Борисенко Г.А. Определение сопряженного осевого профиля гибкой гайки в волновой резьбовой передаче // Изв. ВУЗов. Сер. Машиностроение. -6.-1971.-С.

188. Басу С.К. Шариковые винтовые пары // Станкоинструментальная промышленность. 1960. - № 3. - С. 66-74.

189. Турпаев А.И. Сравнительный анализ шариковинтовых механизмов // Динамика машин и синтез механизмов. М., 1974. - С. 187-204.

190. Левит Г.А., Борисенко Г.А. Расчет и конструирование передачи винт-гайка качения: Руководящие материалы ЭНИМС. М., 1964. - 81 с.

191. Носатов С.П. Способы устранения люфтов // Резьбовой электромеханический привод. ладимир, 1975.-С. 10-12.

192. Куцоконь В.А., Малошевский С.Г., Тимофеев Б.П. Применение теории вероятностей при проектировании механизмов приборов. Л.: Машиностроение, І971. - 144 с.

193. Марусов В.А. Создание и исследование герметичных механизмов поступательного движения для сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования: Дисс.канд.техн. наук / МВТУ им. Н.Э.Баумана). 1981. - 200 с.

194. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М., Машиностроение, 1974, 184 с.

195. Иосилевич Г.Б. Концентрация напряжений и деформаций машин. М.: Машиностроение, 1981, 223 с.

196. Левина З.М., Решетов Д.М. Контактная жесткость машин. М.: Машиностроение, 1971. - 210 с.

197. Чижов В.Ф. Совместное деформирование растяжимого кольца и цилиндрической оболочки // Изв. Вузов Сер. Машиностроение. 1969. - № 11. -С. 48-56.

198. Короткое В.П. Допуски на резьбовые соединения. Контроль резьбы. Приборостроение и средства автоматики: Справочник.

199. Литвин Ф.Л. Теория зубчатых зацеплений. М.: Наука, 1968. - 584 с.

200. Литвин Ф.Л. Справочник конструктора точного приборостроения. М.: Машиностроение, 1964. - С. 896.

201. Спришевский А.И. Подшипники качения. М.: Машиностроение . 1968. -48 с.

202. Вентцель Е.С. Теория вероятностей. -М.: Наука, 1969. 576 с.

203. Биргер И.А. Прочность, устойчивость, колебания. Справочник, Том 2. М.: Машиностроение, 1968. С. 59.

204. Дунаевский Б.И. Расчет сплошных балок, простых пружин (рессор) переменного поперечного сечения /Вестник машиностроения 1981 - № 4 -с. 36-38.

205. Заявка на изобретение 3982156/25-28 с приоритетом 28.11.85 Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев / Лимаренко Г.Н. Василенко Н.В., Сильченко П.Н., Лепп И.Э. Ковалев Л.К. положительное решение.

206. Зиновьев В.А., Левитский Н.И., Рубцов В.К. Особенности волновой передачи / Сб. трудов ВЗПИ, сер. Волновые передачи и мехацизмы М.: ВЗПИ, 1968 - вып. 47 - с. 11-24.

207. Иванов М.Н. Волновые зубчатые передачи. М.: Высшая школа, 1981 -184 с.

208. Лимаренко Г. Н., Василенко Н.В. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. 1984. -№3. - с. 28-32.

209. Малогабаритный манипулятор карусельного типа: Отчет по НИР /Научн. руководитель Н.В.Василенко. Исполнители: В.И.Усаков, Г.Н.Лимаренко, А.Н.Морозов и др. Гос. Per. № 81037980; Инв. № 02.83.0052772. Красноярск, КрПи, 1983. - 268 с. (ДСП).

210. Мельников Н.В., Сафонов Ю.М. Электропривод роботов / Электропривод и автоматизация промышленных установок (Итоги науки и техники),

211. M.: ВИНИТИ, 1983, т. 8. 80 с.

212. Найманов В .Я. Динамика и вопросы проектирования исполнительных механизмов и промышленных роботов. Автореферат дисс. канд.техн.наук, M. - 1981. - 25 с.

213. Нахапетян Е.Г. Оценка быстроходности механизмов позиционирования манипуляторов и промышленных роботов / Вестник машиностроения. -1976. -№ 2. -с. 51-53.

214. Патент № 2906143 (США), 1959.

215. Саломатин В.Ф. Разработка и исследование передачи червяк-рейка качения для привода подач тяжелых и уникальных станков. Дисс. канд.техн.наук. М.: 1975.

216. Справочник по сопротивлению материалов /С.С. Писаренко, А.П. Яковлев, В.В. Матвеев. -Киев: Наукова Думка, 1975. 405 с.

217. Турышев В.А., Елисеев Я.Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи. В кн.: Машиностроение. Красноярск, изд. КПИ, 1975, вып. 9. с. 83-89.

218. Турышев В.А., Соловьюк В.М. Волновая резьбовая передача в приводе штока вентиля. Сб. «Машиностроение», № 9, 1975, Красноярск, КрПИ -с. 105-106.

219. Устройство промышленных роботов / Е.И. Юревич, Б.Г.Аветиков, О.Б. Корытко и др. JL: Машиностроение, 1980. - 333 с.

220. Царенко В.И., Житомирский C.B., Николаев A.A. Автоматический манипулятор мод. УМ 160 Ф2 для металлорежущих станков / Автоматизация производственных процессов 1982. - № 5. - с. 28-30.

221. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи / Вопросы ракетной техники, 1965, № 8. с. 42-48.

222. Цейтлин Н.И. Приближенный расчет волновой передачи резьба- кольцевые канавки и расчет резьбы на удельное давление. Сб. «Волновые и цепные передачи». М.: (Мосстанкин), 1967. - с. 160-172.

223. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи. Машиностроительные материалы, конструкции и расчет деталей машин. Гидропривод, т. 4 (Итоги науки и техники), М.: ВИНИТИ, 1972. 210 с.

224. Цейтлин Н.И., Борисенко Г.А., Лагутин С.А. Геометро-кинематическое исследование волновой передачи малых подач / Машиноведение 1974. -№5.-с. 11-13.

225. Чернов Л.Б. Основы методологии проектирования машин. М.: Машиностроение, 1978. - 148 с.

226. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения / Металлорежущие станки и автоматические линии. М.: НИИМАШ, 1974. - № 12. -32 с.

227. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения с предварительным натягом / Вестник машиностроения, 1976. с. 32-36. .

228. Чурин И.Н., Герасимов А.Д. Гидростатическая передача червяк-рейка / Станки и инструмент, 1976. № 9. - с. 10-13.

229. Юдин В.А., Петрокас JT.B. Теория механизмов и машин. М.: Высшая школа, 1977. - 527 с.>

230. Янг Д.Ф. Робототехника. Л.: Машиностроение, 1979. - 300 с.

231. Анурьев В.И. Справочник конструктора-машиностроителя: В 3-х т. 5-е изд., перераб. И доп. -М.: Машиностроение, 1979.

232. Аншин С.С., Великович В.Б., Козырев Ю.Г. Общая методика испытаний автоматических манипуляторов // Станки и инструмент 1981. - № 12. С. 2-5.

233. Артоболевский И.И., Левитский Н.И., Черкунов С.А. Синтез плоских механизмов. М.: Физматгиз, 1959. - 1084 с.

234. Артюхов Е.С., Герасимов А.Д. Влияние погрешностей монтажа на нагрузочные характеристики червячно-реечных передач с гидро-статической смазкой // Станки и инструмент, 1978. № 3. - с. 14-15.

235. Артюхов Е.С., Герасимов А.Д., Лимаренко Г.Н. Червячно-реечная передача с гидростатической смазкой в продольном фрезерно-расточном станке с ЧПУ // Станки и инструмент 1979. - № 10. - с. 27-28.

236. Артюхов Е.С., Пикус М.Ю. Применение червячно-реечных передач с гидростатической смазкой в приводах подач продольно-обрабатывающих тяжелых и уникальных станках // Сб. Машиностроение Мн.: Вышейшая школа, 1978. - Вып. 1.-е. 72-75.

237. A.C. 6821 СССР. Тихоходный электродвигатель Москвитин A.A. -Опубл. Бюл. № 4, 1947.

238. A.C. 200384 СССР. Волновая передача / Лифанов Ю.Н., Гельфандбейн Я.А. Опубл. Бюл. № 16, 1967.

239. A.C. 216409 СССР. Устройство для гашения продольных колебаний стола станка портального типа / Лимаренко Г.Н. Опубл. Бюл. № 14, 1968.

240. A.C. 563527 СССР. Гидростатическая червячно-реечная передача / Чурин И.Н., Герасимов А.Д., Лимаренко Г.Н. и др. Опубл. Бюл. № 24, 1977.

241. A.C. 706618 СССР. Червячно-реечная передача с гидростатической смазкой / Артюхов Е.С., Лимаренко Г.Н. и др. Опубл. Бюл. № 48, 1970.

242. A.C. 952576 СССР. Рука манипулятора / Воробьев A.B., Неменатов Г.М. -Опубл. Бюл. №31, 1982.

243. A.C. 1043392 СССР. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев / Лимаренко Г.Н., Турышев В.А., Сенькин В.И., Василенко Н.В., Артюхов Е.С. Опубл. Бюл. № 35, 1983.

244. A.C. 1106653 СССР. Механизм линейного перемещения / Бабич A.B. и др. Опубл. Бюл. № 10, 1985.

245. Афонин A.A., Бондаренко В.И. Использование механической бегущей волны для транспортирования жидких, твердых и сыпучих материалов / Сб. Электроэнергетика и магнитная гидродинамика Киев.: Техника, 1974.-с.

246. Афонин A.A., Бондаренко В.И. Динамика электромеханических систем бегущей волны / Проблемы технической электродинамики -1975. Вып. 51-с. 106-113.

247. Афонин A.A. Электромагнитный привод линейного и поворотного движения для промышленных роботов и технологических машин автоматов // Техническая электродинамика 1982. - № 3. - с. 7-9.

248. Афонин A.A., Билозор P.P. и др. Промышленный робот с линейным электроприводом / Сб. Роботы и робототехнические системы. Материалы III Всесоюзной конференции, ч. II Челябинск, 1983. - с. 60-61.

249. Байзельман Р.Д., Цыпкин Б.В., Перель Л.Я. Подшипники качения . Справочник. М.: Машиностроение, 1975, - 572 с.

250. Беляев В.Г. Винтовые механизмы качения в станках с ЧПУ и роботах: Учебн. пособие М.: Мосстанкин, 1984. - 62 с.

251. Белов С.Ю. Разработка и исследование электроприводов с пневматическим усилителем для промышленных роботов. Дисс.канд.техн.наук Л., 1980.-239 с.

252. Белянин П.Н. Промышленные роботы М.: Машиностроение, 1975. -400 с.

253. Биргер И.А., Шерр В.Ф., Иосилевич Г.Б. Расчет на прочность деталей машин. Справочник-М.: Машиностроение, 1979. -202 с.

254. Бобров А.Н., Перченок Ю.Г. Автоматизированные фрезерные станки для объемной обработки Л.: Машиностроение, 1979 -231 с.

255. Валы и оси / Серенсен C.B., Громан М.Б., Когаев В.Г., Щнейдерович P.M. М.: Машиностроение, 1970. - 319 с.

256. Василенко Н.В., Соловьюк В.М. Волновые резьбовые передачи-приводы автоматизированных систем //Управляемые и автоматические приводы и передачи гибкой связью: Тезисы докл. VI Всесоюзной НТК. Одесса, 1980.-с. 17-18.

257. Василенко Н.В., Лимаренко Г. И. Транспортный автоматический манипулятор модульного типа с унифицированными волновыми реечными электроприводами //Робототехнические системы в текстильной и легкой промышленности: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. Л., 1984.

258. Вейц B.JI., Дендашанский В.К., Чиряев В.И. Вынужденные колебания в металлорежущих станках М.-Л.: Машгиз, 1959 - 288 с.

259. Волков Д.П., Крайнев А.Ф. Волновые зубчатые передачи Киев: Техника, 1976. - 224 с.

260. Волчкевич Л.И. Надежность автоматических линий М.: Машиностроение, 1969. - 309 с.

261. Высокоточный электромеханический модуль линейного перемещения / Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Щелок Н.И. // Информационный листок № 14-86. Серия Р 55.29.35 Красноярск: ЦНТИ, 1986. - 3 с.

262. Гельберг Б.Т. и др. Техническое обслуживание и ремонт шариковых винтовых механизмов Л.: ЛДНТП, 1985 - 32 с.

263. Гинсбург Е.Г. Волновые зубчатые передачи Л.: Машиностроение, 1969 - 158 с.

264. ГОСТ 21354-75. Передачи зубчатые цилиндрические эвольвентные. Расчет на прочность М.: Изд. стандартов, 19.

265. Гохберг У.Г., Миклишанский В.З. Расчет и испытания передачи винт-гайка качения / Станки и инструмент 1983. - № 9 - с. 21-24.

266. Груздев C.B., Корытко О.Б., Юревич Е.И. Модульные электромеханические промышленные роботы /Электротехника 1984. - № 4. - с. 4-7.

267. Детали и механизмы металлорежущих станков / Под ред. Д.Н. Решетова: В 2-х т. М.: Машиностроение, 1972. - 528 с.

268. Добролюбов А.И. К теории дискретно-волнового движения /Доклады АН БССР 1980 -№ 1, т. 24. с. 999-1002.

269. Дунаевский Б.И. Расчет сплошных балок, простых пружин (рессор) переменного поперечного сечения /Вестник машиностроения 1981 - № 4 -с. 36-38.

270. Жуков Ю.Н., Смирнов С.Д. Промышленные роботы и трансманипуляторы важное звено создания гибких автоматизированных производств /Электротехника - 1984. - № 4. - с. 2-4.

271. Зиновьев В.А., Левитский Н.И., Рубцов В.К. Особенности волновой передачи / Сб. трудов ВЗПИ, сер. Волновые передачи и механизмы М.: ВЗПИ, 1968 - вып. 47 - с. 11 -24.

272. Иванов М.Н. Волновые зубчатые передачи. -М.: Высшая школа, 1981 -184 с.

273. Исполнительные механизмы приводов подач подвижных узлов металлорежущих станков с ЧПУ: Обзор / Кордыш Л.М. и др. М.: НИИМАШ, 1980.-57 с.

274. Казак С.А. Динамика мостовых кранов М.: Машиностроение, 1968. -332 с.

275. Казанский В.М., Малинин Л.И. Условия рационального сопряжения двигателя и редуктора в электроприводе промышленных роботов. В сб.: Электромеханическое обеспечение автоматических комплексов. - Новосибирск: НЭТИ, 1979 - с. 9-18.

276. Калабин С.Ф. Кинематический и силовой расчет плунжерной передачи. -В сб.: Теория передач в машинах. М.: Машиностроение, 1966 - с. 172180.

277. Калабин С.Ф. Коэффициент перекрытия плунжерной передачи. В сб.: Механические передачи, вып. 7 - Ижевск, ротапринт Ижевского механического института, 1975.

278. Ковалев H.A. Передачи гибкими колесами. М.: Машиностроение. 1979- 200 с.

279. Козырев В.В. Планетарные механизмы преобразования вращательного движения в поступательное / Вестник машиностроения 1983. - № 10. - с. 14-17.

280. Козырев Ю.Г. Промышленные роботы. Справочник. М.6 Машиностроение, 1983. - 376 с.

281. Коренная Л.И. Гидромеханические исследования волнового двигателя. Автореферат дисс.кад.техн.наук. Киев. 1980 - 23 с.311 .Кудрявцев В.Н. Детали машин. Л.: Машиностроение, 1980 - 464 с.

282. Лапин А.П. Передачи с промежуточными звеньями и их классификация.- Сб.: Теория передач в машинах. Труды III совещания по основным проблемам теории машин и механизмов. М.: Машгиз, 1963 - 157-167 с.

283. З.Левин А.И. К методике динамического расчета исполнительных механизмов промышленных роботов. В кн.: Металлорежущие станки и автоматические линии. - М.: НИИМАШ, 1975 - вып. II - с. 15-22.

284. Левина З.М., Бойм А.Г. Исследование роликовых опор для направляющих станков / Станки и инструмент, 1976. - № 10. - с. 20-23.

285. Левина З.М., Решетов Д.М. Контактная жесткость машин. М.: Машиностроение, 1971. - 264 с.

286. Левит Г.А. Расчет передач винт-гайка качения (шариковых) / Станки и инструменты 1963. - № 5 - с. 8-15.

287. Левитский Н.И. Кулачковые механизмы. М.: Машиностроение, 1964. -287 с.

288. Левитский Н.И. Теория механизмов и машин. -М.: Наука, 1979. 576 с.

289. Лещенко В.А. Станки с числовым программным управлением. М.: Машиностроение, 1979. - 592 с.

290. Лимаренко Т.Н., Артюхов Е.С. Разработка, изготовление и исследование гидростатической червячно-реечной передачи для приводов подачи стола тяжелых станков с ЧПУ. Отчет по НИР, № ГР 74005859. Минск, - 1979.

291. Лимаренко Г. Н., Василенко Н.В. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. 1984. -№3. - с. 28-32.

292. Малогабаритный манипулятор карусельного типа: Отчет по НИР / Руководитель Н.В.Василенко. Исполнители: В.И.Усаков, Г.Н.Лимаренко, А.Н.Морозов и др. Гос. Per. № 81037980; Инв. № 02.83.0052772. Красноярск, КрПи, 1983. - 268 с. (ДСП).

293. Марголин JI.В. Планетарная передача винт-гайка качения с резьбовыми роликами / Станки и инструмент, 1970. - № 4. -1. - с. 42-43.

294. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. М.: Машиностроение, 1974, 182 с.

295. Металлорежущие станки и автоматы / Под ред. A.C. Проникова. М.: Машиностроение, 1981. -479 с.

296. Механические передачи с шариковыми промежуточными телами. А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Н.В. Василенко Красноярск: - КрПИ, 1981. -24 с.

297. Мельников Н.В., Сафонов Ю.М. Электропривод роботов / Электропривод и автоматизация промышленных установок (Итоги науки и техники), М.: ВИНИТИ, 1983, т. 8. 80 с.

298. Найманов В.Я. Динамика и вопросы проектирования исполнительных механизмов и промышленных роботов. Автореферат дисс. канд.техн.наук, М. - 1981. - 25 с.

299. Нахапетян Е.Г. Оценка быстроходности механизмов позиционирования манипуляторов и промышленных роботов / Вестник машиностроения. -1976.-№ 2.-с. 51-53.

300. Нахапетян Е.Г. Экспериментальное исследование динамики механизмов промышленных роботов. В кн.: Механика машин. Вып. 53 - М.: Наука, 1978.-с. 110-122.

301. Нюйрингер Хаач. Исследование индукционного компрессора / Прикладная магнитная гидро и газодинамика. Труды VI симпозиума по инженерным проблемам магнитной гидродинамики (пер. с англ.) М.: Наука, 1968 -с. 21-24.

302. Панов A.A. Динамические нагрузки при работе портального манипулятора / Станки и инструмент, 1981. - № 2. - с. 13-14.

303. Панов A.A. Определение точности позиционирования и быстродействия автоматического манипулятора / Станки и инструмент, 1981. - № 5. - с. 3-4.

304. Патент № 2906143 (США), 1959.

305. Пляскин И.И. Оптимизация технических решений в машиностроении. -М.: Машиностроение, 1982. 176 с.

306. Попов H.H. Расчет и проектирование кулачковых механизмов М.: Машиностроение, 1980. - 214 с.

307. Починко Е.Л., Александров А.К., Цыганов Г.М. Очистка поверхностей изделий электронной техники / Обзоры по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. М.: ВНИИ «Электроника», 1982, вып. 12 (884). - 54 с.

308. Промышленная робототехника / A.B. Бабич, И.В. Калабин и др. Под ред. Я.А. Шифрина М.: Машиностроение, 1982. - 415 с.

309. Промышленная робототехника и гибкие автоматизированные производства: Опыт разработки и внедрения. / Под ред. Проф. Е.И. Юревича. Л.: Лениздат, 1984.-223 с.

310. Промышленный робот для сборки «Электротехника», 1984, 79 № 7, 315.

311. Проспект фирмы Ямазаки, Япония.

312. Пуш В.Э., Р. Пичерт, Сосенкин В.Л. Автоматические станочные системы. М.: Машиностроение, 1983. - 319 с.

313. Ратмиров В.А., Чурин И.Н., Шмутер С.Л. Повышение точности и производительности станков с программным управлением. М.: Машиностроение, 1980.-252 с.

314. Редукторы и мотор-редукторы общемашиностроительного применения: Справочник / Л.С. Бойко, А.З. Высоцкий, Э.Н. Галиченко и др. М.: Машиностроение, 1984. - 247 с.

315. Решетов Д.Н. Работоспособность и надежность деталей машин. М.: Высшая школа, 1974. - 206 с.

316. Решетов Д.Н. Детали машин. М.: Машиностроение, 1984. 655 с.

317. Решетов Д.Н. Кулачковые механизмы. М.: Машгиз, 1953. - 408 с.

318. Ротбарит Е.А Кулачковые механизмы. Л.: Судостроениепромгиз , 1960. -508 с.

319. Румянцев A.B. Технология изготовления кулачков. М.: Машиностроение, 1969.-208 с.

320. Саломатин В.Ф. Разработка и исследование передачи червяк-рейка качения для привода подач тяжелых и уникальных станков. Дисс. канд.техн.наук.-М.: 1975.

321. Справочник металлиста т. 1 М.: Машиностроение, 1976. - с. 40.

322. Справочник по сопротивлению материалов /С.С. Писаренко, А.П. Яковлев, В.В. Матвеев. -Киев: Наукова Думка, 1975. 405 с.

323. Тимофеев А.Н. Расчет и конструирование несущих конструкций модулей степеней подвижности промышленных роботов. Учебн. пособие. - Д.: ЛПИ, 1982-80 с.

324. Точность и надежность станков с числовым программным управлением / Под ред. A.C. Проникова. М.: Машиностроение, 1982. - 256 с.

325. Турышев В.А., Елисеев Я.Г., Василенко Н.В. Кинематические характеристики волновой резьбовой передачи. В кн.: Машиностроение. Красноярск, изд. КПП, 1975, вып. 9. - с. 83-89.

326. Турышев В.А., Соловьюк В.М. Волновая резьбовая передача в приводе штока вентиля. Сб. «Машиностроение», № 9, 1975, Красноярск, КрПИ -с. 105-106.

327. Устройство промышленных роботов / Е.И. Юревич, Б.Г.Аветиков, О.Б. Корытко и др. Л.: Машиностроение, 1980. - 333 с.

328. Царенко В.И., Житомирский C.B., Николаев A.A. Автоматический манипулятор мод. УМ 160 Ф2 для металлорежущих станков / Автоматизация производственных процессов 1982. - № 5. - с. 28-30.

329. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи / Вопросы ракетной техники, 1965, № 8. с. 42-48.

330. Цейтлин Н.И. Приближенный расчет волновой передачи резьба-кольцевые канавки и расчет резьбы на удельное давление. Сб. «Волновые и цепные передачи». М.: (Мосстанкин), 1967. - с. 160-172.

331. Цейтлин Н.И., Цукерман Э.М. Волновые передачи. Машиностроительные материалы, конструкции и расчет деталей машин. Гидропривод, т. 4 (Итоги науки и техники), М.: ВИНИТИ, 1972. 210 с.

332. Цейтлин Н.И., Борисенко Г.А., Лагутин С.А. Геометро-кинематическое исследование волновой передачи малых подач / Машиноведение 1974. -№5.-с. 11-13.

333. Цукерман Э.М. Выбор геометрических параметров волновой зубчатой передачи / Вестник машиностроения 1964. - № И. - с. 23-28.

334. Чернов Л.Б. Основы методологии проектирования машин. М.: Машиностроение, 1978. - 148 с.

335. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения / Металлорежущие станки и автоматические линии. М.: НИИМАШ, 1974. - № 12. -32 с.

336. Чурин И.Н., Соломатин В.Ф. Передача червяк-рейка качения с предварительным натягом / Вестник машиностроения, 1976. с. 32-36.

337. Чурин И.Н., Герасимов А.Д. Гидростатическая передача червяк-рейка / Станки и инструмент, 1976. № 9. - с. 10-13.

338. Юдин В.А., Петрокас JT.B. Теория механизмов и машин. М.: Высшая школа, 1977.-527 с.

339. Основы робототехники: Учебное пособие / К.Д. Никитин, В.П. Понама-рев, А.Ю. Смолин, Н.В. Василенко. Красноярск: Изд-во Красноярск, унта, 1986. -208с.

340. Основы робототехники: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, К.Д. Никитин, В.П. Понамарев, А.Ю. Смолин. Томск: МГЦ "РАСКО" при изд-ве "Радио и связь", 1993. - 480с.

341. Механизмы и устройства радиоэлектронной техники: Учебное пособие /Н.В. Василенко, И.Ю. Григорьев, E.H. Ивашов и др. М.: МГИЭМ, 1994 -250с.

342. Конструирование механических систем автоматики: Учебное пособие для вузов /Н.В. Василенко, Н.И. Галибей, Л.Н. Логинов, Г.Г. Назаров. -Красноярск: Красноярск. Книжн. изд-во; Сиб. аэрокос. акад., 1997.

343. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н. Исследование некоторых характеристик волнового реечного механизма // Вестник машиностроения. 1984. - №3. -с. 28-32.

344. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н. Синтез геометрических параметров зацепления реечного механизма с волновым характером взаимодействия звеньев //Известия вузов. Машиностроение. 1986. - №2. - С. 67-71.

345. Василенко Н.В., Сильченко П.Н. Исследование влияния напряженно-деформированного состояния гибкого винта на надежность вакуумной передачи винт-гайка //Повышение долговечности и надежности машин и приборов: Тезисы докл. Всесоюзной НТК .- Куйбышев, 1981.

346. Василенко Н.В., Соловьюк В.М. Волновые резьбовые передачи-приводы автоматизированных систем //Управляемые и автоматические приводы и передачи гибкой связью: Тезисы докл. VI Всесоюзной НТК. Одесса, 1980.

347. Василенко Н.В., Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники. (ДСП) //Автореф. дис.канд.техн. наук. -М.: МИЭМ, 1978. -26 с, ил.

348. Василенко Н.В. Сверхвысоковакуумные манипуляторы на базе волновых передач В кн. Создание, внедрение и серийное освоение сверхвысокова-куумных устройств, оборудования и технологий для электронной техники - М.: ЦНИИ Электроника, 1983 - 72с., ил. (ДСП).

349. Василенко Н.В., Лимаренко Г. И. Транспортный автоматический манипулятор модульного типа с унифицированными волновыми реечными электроприводами //Робототехнические системы в текстильной и легкой промышленности: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. Л., 1984.

350. Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Усаков В.Н. Сравнительные исследования манипуляторов на пять и шесть степеней подвижности с волновыми вводами // Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуума: Тезисы докл. Всесоюзной НТК. Л., 1985.

351. Василенко Н. В. Перспективы и опыт использования волновых и зубчатых, муфтовых и реечных передач в качестве передаточных механизмов

352. Тезисы докл. Республиканской МТК "Совершенствование методов расчета, конструирования и технологии производства спироидных, гипоидных и червячных передач и редукторов" Устинов: Устиновский дом НТК, 1986 - 5с.

353. Василенко Н. В. Волновой модуль поступательного движения на две степени подвижности исполнительных звеньев Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 43-86, 1986 - Зс., ил.

354. Василенко Н. В. Волновой электромеханический вращательный модуль на две степени подвижности исполнительных звеньев — Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 44-86, 1986, Зс., ил.

355. Василенко Н.В. Линейный модуль с волновым резьбовым вводом -Красноярск: Красноярский межотраслевой ЦНТИ, инф. листок № 46-86, 1986 -Зс.

356. Василенко Н. В. Модульные конструкции роботов на базе волновых и зубчато-торцовых передач //Тезисы докл. НТК «Устройства и системы автономных объектов» Красноярск: Красноярский дом техники НТО, 1987 -Зс.

357. Акустическая эмиссия и износ режущего инструмента /Н. В. Василенко, В. В. Шильдин, Э. А. Петровский и др. //Труды П-го Международного симпозиума по акустической эмиссии. Фукуоки, Япония, 1992.

358. Методы и средства обеспечения качества деталей на основе управления инструментом /И. В. Василенко, В. В. Летуновский, В. В. Шильдин, Э. А. Петровский //Труды 4-й Международной конференции по неразрушаю-щему контролю. Бостон, США, 1991.

359. Технические требования и качество контроля покрытий на высокопрочных твердых сплавах /Н. В. Василенко, В. В. Летуновский, В. В. Шильдин и др. // Труды 2-й Международной конференции по неразрушающему контролю трубопроводов. М.: 1991.

360. Василенко Н. В., Летуновский В. В., Петровский Э. А. Диагностики состояния поверхностных слоев материалов изнашиваемых систем //Неразрушающий контроль и диагностика свойств композитов и изделий из них: Труды Международной конференции. Рига, 1991.

361. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Исследование фрактальных микроструктур алюмоборнитридных горячепрессованных электрокерамик //Труды 12-й Всеобщей конференции по физике конденсированного вещества. Прага, Чехословакия, 1992.

362. Бульбик Я. И., Василенко Н. В., Козлов А. Г. Преобразователи для мониторинга электромагнитных и геометрических параметров слоистых структур //Труды 13-й Международной конференции по неразрушающему контролю. Сан-Паулу, Бразилия, 1992.

363. Василенко Н. В. Волновые зубчатые и резьбовые механизмы в приводах вращательного и поступательного движений механических систем промышленных роботов // «Зубчатые передачи 95»: Труды международного конгресса. - Болгария, София, 1995.

364. Применение исполнительных устройств на основе /-координат в вакуумном автоматизированном оборудовании /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, М. В. Курчанова и др. //Сборник научный трудов. Тула: ТулПИ, 1995.-С. 73-79.

365. Василенко Н. В., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. Принцип инвариантности при создании технологии по переработке разнородных материалов с применением вакуума // Тезисы докладов НТК "Вакуумная наука и техника/. Гурзуф» 1995. - С. 103.

366. А. С. СССР № 634046 СССР, М. кл 4. Г 16 Н 57/00. Волновая герметичная муфта /Н. В. Василенко, В.А. Турышев, В. В. Нестеренко. Опубл. 25.11.78.//Б. И. №43.

367. I.A. С. СССР № 664263. Электропривод /Н. В. Василенко, А. П. Курилин. Опубл. 25.05.79. //Б. И. № 19.

368. А. С. СССР № 696224. Дисковый кулачок /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, Ю. П. Колесников, Я. Г. Елисеев. Опубл. 05.11.79 //Б. И. №41.

369. A.C. СССР № 696226. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, Ю. П. Колесников, Я. Г. Елисеев. Опубл. 05.11.79. // Б. И. № 41.

370. A.C. СССР № 727917. Волновая герметичная передача-муфта /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, В.В. Нестеренко. Опубл. 15.04.80 //Б.И. № 14.

371. A.C. СССР № 756112. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, Я.Г. Елисеев, Ю.П. Колесников. -Опубл. 05.08.80. // Б.И. № 30.

372. A.C. СССР № 737287. Волновая герметичная передача /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, В.М. Соловьюк, Н.И. Цейтлин. Опубл. 05.06.80. //Б.И. №21.

373. А. С. СССР № 787753. Волновой линейный привод /Н. В. Василенко, В. А. Турышев, В. М. Соловьюк, Н. И. Цейтлин. Опубл. 15.12.80. // Б. И. № 46.

374. A.C. СССР № 832171. Волновая герметичная передача-муфта /Н.В. Василенко, В.А. Турышев, В.В. Нестеренко. Опубл. 23.05.81. //Б. И. № 19.

375. A.C. СССР, № 843108. Электропривод линейного и вращательного движения /КВ. Василенко, А.П. Курилин. Опубл. 30.06.81. // Б.И. № 24.

376. A.C. 1043392 СССР. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев / Василенко Н.В., Лимаренко Г.Н., Турышев В.А. и др. Опубл. 23.09.84. // Б.И. № 35.

377. A.C. СССР № 1083464. Шпаговый манипулятор /Н.В. Василенко,1. A.A. Никитин. 1984.

378. A.C. СССР № 1147883. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.К. Прокопенко. Опубл. 30.03.85. //Б.И. № 12.

379. A.C. СССР № 1163074. Волновая передача /Н.В. Василенко,

380. B.А. Турышев, Ю.П. Колесников и др. Опубл. 23.06.85. //Б.И. № 23.

381. A.C. СССР № 1173099. Передача /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, Л.К. Ковалев. Опубл. 15.08.85. //Б.И. № 30.

382. А. С. СССР 1244415. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев /Н.В. Василенко, Г.Н. Лимаренко, Е.С. Артюхов. Опубл. 15.07.86. // Б.И. № 26.

383. A.C. СССР № 1216491. Передача для параллельных валов с шариковыми промежуточными телами /Н.В. Василенко, В.Н. Кундель, А.Н. Морозов. -Опубл. 07.03.86. //Б.И. №9.

384. A.C. СССР № 1216492. Передача для параллельных валов с промежуточными телами /Н.В. Василенко, В.Н. Кундель, А.Н. Морозов, Л.К. Ковалев. Опубл. 07.03.86. //Б.И. № 9.

385. A.C. СССР № 1203292. Ввод вращательного движения /Н.В. Василенко, А.Н. Морозов, В.Н. Кундель, А.Г. Беляев. Опубл. 07.01.86. // Б.И. № 1.

386. A.C. СССР № 1260626. Кулачковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, В.И. Усаков, О.В. Носов. Опубл. 30.09.86. //Б. И. № 36.

387. A.C. СССР № 1274922. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме /Н.В. Василенко, A.A. Никитин, Л.К. Ковалев. Опубл. 17.12.86. //Б. И. № 45.

388. A.С. СССР № 1298464. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев /Н.В. Василенко, Г.Н. Лимаренко, П.Н. Сильчен-ко и др. Опубл. 23.03.87. //Б. И. № 11.

389. A.C. СССР № 1352116. Волновая винтовая передача. /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.М. Соловьюк, Ю.В. Павлюк, Опубл. 15.11.97. //Б.И. №42.

390. A.C. СССР № 1384868. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, Н.И. Сергиенко и др. Опубл.3003.88.//Б. И. № 12.

391. A.C. СССР № 1578392» Генератор волновой резьбовой передачи /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, И.П. Бернацкий, А.Б. Усов. Опубл. 15.07.90.//Б. И. №26.

392. A.C. СССР № 1615155. Устройство для производства монтажных работ /В.Г. Анопченко, Н.В. Василенко, Г.И. Григоров, О.В. Донченко — Опубл. 23.12.90.//Б. И. №47.

393. A.C. СССР № 1525375. Шариковинтовая передача /Н.В. Василенко, В.В. Гузов, В.В. Гузова, В.Н. Кундель. Опубл. 30.11.89. // Б.И. №

394. A.C. СССР № 1506204. Волновая винтовая передача /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, Г.Н. Лимаренко и др. Опубл. 07.09.89. // Б.И. № 33.

395. A.C. СССР № 1499028. Регулируемый дисковый генератор волновой передачи. /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.М. Соловьюк. Опубл.0709.89. //Б.И. № 29.

396. A.C. СССР № 1675601. Волновая передача /Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.Н. Кундель и др. Опубл. 07.09.91. //Б.И. № 33.

397. A.C. СССР № 1643924. Способ определения отклонения диаметра отверстия детали от номинального методом обкатывания /Н.В. Василенко, П.А. Свинин, Г.И. Григоров, В.А. Моисеев. Опубл. 23.04.91. //Б. И. № 15.

398. A.C. СССР № 1682693. Волновая реечная передача с промежуточными звеньями в виде клиньев /Н.В. Василенко, И.Э. Лепп, В.Н. Кундель и др. -Опубл. 07.10.91.//Б.И. №37.

399. A.C. СССР № 1604600. Адаптивный манипулятор /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.И. Григоров. Опубл. 07.11.90. //Б.И. №41.

400. A.C. СССР № 1628428. Телескопическая штанга /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.И. Григоров. (ДСП).

401. A.C. СССР № 1609046. Устройство для исследования поверхности планет солнечной системы /Н.В. Василенко, О.В. Донченко. (ДСП).

402. A.C. СССР № 1676195. Манипулятор /Н.В. Василенко, О.В. Донченко. -(ДСП).

403. A.C. СССР № 1660433. Запорное устройство магистрали. /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.Ф. Фролов. (ДСП).

404. A.C. СССР № 1693841. Способ перемещения объекта в космическом пространстве и устройство для его осуществления /Н.В. Василенко, О.В. Донченко, Г.И. Григоров. (ДСП).

405. A.C. СССР № 1726234. Модуль манипулятора /Н.В. Василенко, О.В. Донченко. (ДСП).

406. A.C. СССР № 1643924. Способ определения отклонения диаметра отверстия детали от номинального методом обкатывания /Н.В. Василенко, П.А. Свинин, Г.И. Григоров, В.А. Моисеев. Опубл. 23.04.91. //Б.И. № 15.

407. A.C. СССР № 1713065. Устройство для прецизионного перемещения -изделий //J1.JI. Андреева, Г.К. Антонова, Н.В. Василенко и др.- Опубл. 15.02.92.//Б. И. №35.

408. A.C. СССР № 1679085. Волновая передача /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев. Опубл. 23.09.91. //Б. И. № 35.

409. A.C. СССР № 1733907. Механизм перемещения /Н.В. Василенко, Е. Н. Ивашов, М. А. Куликов и др. Опубл. 15.05.92 1ГБ. И. № 18.

410. A.C. СССР № 1740826. Волновая герметичная передача /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, C.B. Степанчиков. Опубл. 15.06.92. // Б. И. № 22.

411. A.C. СССР № 1753091. Устройство для гашения колебаний /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 07.08.92 //Б. И. № 29.

412. A.C. СССР № 1765571. Устройство для амортизации /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 30.09.92 //Б.И. №36.

413. A.C. СССР. № 1783195. Волновой зубчатый редуктор /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 23.12.92 //Б.И. № 47.

414. A.C. СССР № 1805245. Волновая герметичная передача/Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 30.03.93 //Б.И. № 12.

415. A.C. СССР № 1810393. Испаритель для вакуумных установок /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев и др.- Опубл. 23.04.93. //Б.И. № 15.

416. A.C. СССР № 1827400. Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме /В.В. Буланкин, Н.В. Василенко, E.H. Ивашов и др. - Опубл. 15.07.93 //Б. И. № 26.

417. Патент РФ № 2000356. Испаритель для вакуумных установок /Л.Л. Андреева, Н.В. Василенко, E.H. Ивашов и др. Опубл. 07.09.93. //Б.И. 33-36.

418. Патент РФ № 2001488. Электрический микродвигатель постоянного тока для работы в экологически чистых средах /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 15.10.93 //Б. И. 37-38.

419. Патент РФ № 2007500. Устройство для нанесения покрытий в вакууме /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 15.02.94.//Б. И. №3.

420. Патент РФ № 2008198. Пространственный механизм / Н.В. Василенко, E.H. Ивашов; С.М. Оринчев, C.B. Степанчиков. Опубл. 28.02.94 //Б.И. №4.

421. A.C. СССР № 1787760. Манипулятор / Н.В. Василенко, Ю.П. Колесников, В.Н. Кундель и др. Опубл. 15.01.93 //Б. И. № 2.

422. A.C. СССР № 1825909. Виброизолирующая подвеска с угловым позиционированием /Н.В. Василенко, Л.Г. Шайморданов. Опубл. 07.07.93 //Б. И. № 25.

423. Патент РФ № 2001133. Способ извлечения благородных металлов из деталей и узлов конструкций электронной промышленности /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, Опубл. 15.10.93 //Б.И. № 37-38.

424. Патент РФ № 2010215. Способ определения состояния поверхности трения /Н.В. Василенко, В.В. Летуновский, O.A. Григорьева, Э.А. Петровский. Опубл. 30.03.94 //Б. И. № 6.

425. Патент РФ № 2011411. Дозатор сыпучих материалов /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев, Ю.С. Родионов. Опубл. 30.04.94 //Б.И. № 8.

426. Патент РФ № 2011908. Волновая муфта /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, С.М. Оринчев. Опубл. 30.04.94 //Б. И. № 8.

427. Патент РФ № 2011415. Способ переработки разнородных материалов /Н.В. Василенко, E.H. Ивашов, В.А. Титов. Опубл. 30.04.94 //Б. И. № 8.

428. Патент РФ № 2011078. Зубчатая передача с торцевыми зубьями /Н.В. Василенко, И.П. Бернацкий, В.А. Титов. Опубл. 15.04.94 //Б.И. № 7.

429. Патент РФ № 2011196. Устройство для неразрушающего контроля методом акустической эмиссии /Н.В. Василенко, И.Ю. Кузнецов, A.B. Петрученя и др. Опубл. 15.04.94 //Б. И. № 7.

430. Патент РФ № 2030337. Устройство позиционирования платформы / Н.В. Василенко, Г.Ф. Фролов, О.В. Донченко, В.Н. Кундель. Опубл. 10.03.95 //Б. И. № 7.

431. Патент РФ № 2041850. Устройство для выгрузки сыпучих материалов из бункера /Н. В. Василенко, Ю. П. Колесников, В. Н. Кундель и др. Опубл. 20.08.95//Б. И. №23.

432. Патент РФ № 2028927. Манипулятор /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, С.М. Оринчев, С. В. Степанчиков. Опубл. 20.02.95 //Б. И. № 5.

433. Патент РФ № 2041288. Устройство для загрузки испарителей в вакуумном напылительном оборудовании /Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, С.М. Оринчев, С. В. Степанчиков. Опубл. 09.08.95 // Б. И. № 22.

434. Патент РФ № 2040342. Способ переработки разнородных материалов /Н.В. Василенко, Е. Н. Ивашов. Опубл. 27.07.95 //Б. И. № 21.

435. Патент РФ № 2044082. Способ извлечения благородных металлов из деталей и узлов конструкций электронной промышленности / Н.В.Василенко, E.H. Ивашов. Опубл. 20.09.95 //Б. И. № 26.

436. Патент РФ № 2086417. Пьезопривод /Н.В. Василенко, И.Ю. Григорьев, E.H. Ивашов, C.B. Степанчиков. Опубл. 10.08.97. //Б. И. № 22.

437. The models and algorithms system for CAD of the spacecraft control system through design//14 IFIP Conf. on System Modelling and Optimization, Zurich, 1991/A. Antamoshkin, N. Vasilenko, J. Knjazjkin, N. Smirnov, M. Volovik.

438. System Aspects in design of complicated control system//lst IF AC Workshop on New Trends in Design of Control Systems, Smolenice,1994/A. Antamoshkin, N.Smirnov, N. Vasilenko, M.Volovik.

439. Василенко H.B., Лебедев B.M., Смирнов H.A. Работоспособность металлических трибосопряжений узлов трения машин: Учебное пособие. Изд. 2, перераб. и дополн. - Красноярск, CAA, 1996. - 155 с.

440. A. Antamoshkin, I.Kovalev, N.Smirnov, N. Vasilenko. The problem of multi-criteria in decision-making Support system //Pr. Of DGOR. Un. Hohenheim, Stuttgard, 1997. 5 p.

441. Шариковые зубчато-торцовые передачи для механических систем оборудования электронной техники: Автореферат дисс. канд. техн. наук (05.02.12) /А.Н. Морозов; научн. руководители А.Е. Беляев, Н.В. Василенко. М„ МВТУ им. Н.Э. Баумана, 1984. 16 с. - (ДСП).

442. Создание и исследование запорной арматуры и герметичного привода штанги захвата с использованием волновой передачи: Отчет по НИР (в 3-хкн.) / КПИ. Научн. руководитель Н.В. Василенко. № ГР 80059986. Красноярск, 1983. - 350 с.

443. Разработка систем шлюзовой загрузки-выгрузки в вакуумно-технологический объем установки: Отчет по НИР (в 3-х кн.) / КПИ. научн. руководитель Н.В. Василенко. Инв. № 02850004737. Красноярск, 1984. -328 с.

444. Создание и исследование высокоскоростного робота-перегрузчика: Отчет по НИР / КПИ. научн. руководитель Н.В. Василенко. № ГР 01850010970. Красноярск, 1985. - 113 с.

445. Разработка и исследование приводов манипуляторов для перемещения напыляемых изделий в вакуумной установке «Мир-1»: Отчет по НИР / КПИ. научн. руководитель Н.В. Василенко. № ГР 018600871331. Красноярск, 1987.-240 с.

446. Создание волновых герметичных вводов возвратно-поступательного движения для установок ЖФЭ: Отчет по НИР / Руководитель Н.В. Василенко. ГР № 80030722, инв. № 02.83.0054051. Красноярск: КрПИ, 1983. -317 с.-(ДСП).

447. Малогабаритный вакуумный манипулятор карусельного типа: Отчет по НИР /Научн. Руководитель Н.В.Василенко. ГР № 81037980, Инв. № 02.83.0052772. -Красноярск, 1983, 268 с. (ДСП).

448. Аксенов А.Ф. Трение и изнашивание металлов в углеводородных жидкостях. -М.: Машиностроение, 1977. 152 с.

449. Ахматов A.C. Молекулярная физика граничного трения. М.: Физмат гиз, 1963.-472 с.

450. Безъязычный В.Ф. Расчет режима обработки, обеспечивающего комплекс параметров поверхностного слоя и точность обработка/Справочник. Инженерный журнал. 1998. - № 9. - С. 13-18.

451. Крагельский И. В., Добычин М. Н., Комбалов В. С. Основы расче-тов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. 526 с.

452. Костецкий Б.И. Сопротивление изнашиванию деталей машин. М.: Машгиз, 1959.-478 с.

453. Носовский И.Г. Влияние газовой среды на износ металлов. Киев.: Техника, 1968.- 181 с.

454. Капустин Н.М. Разработка технологических процессов обработки деталей на станках с помощью ЭВМ. М.: Машиностроение, 1976. - 228 с.

455. Поверхностная прочность материалов при трении/Б.И.Костецкий, И.Г.Носовский, А.К.Караулов и др. Киев: Техника, 1976. - 296 с.

456. Проников A.C. Надежность машин. М.: Машиностроение, 1978. - 592 с.

457. Подольский Ю.Я., Корепова И.В. Виды процессов заедания при граничной смазке//Методы оценки противоизносных и противозадирных свойств смазочных материалов. М.: Наука, 1969. - С. 35-45.

458. Демкин Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей. М.: Наука, 1970.-228 с.

459. Barkfn P., Tuoshy E.I. A Contact Resistance Theory for Rough Hemispherical silver Contact in Air and in Vacuum. IEFE Traus., on Power, Apparatus and Systems, 1965. - V. PAS-84. - № 12. - P. 1132-1143.

460. Хайнике Г. Трибохимия. M.: Мир, 1987. - 584 с.

461. Kendall К., Tabor D. An Ultrasonic Study of the Area of Contact between Stationary and Sliding Surfaces. Proc. Roy. Soc., 1971. - A33. - P. 321-340.

462. Archard J.F. Friction between metal surfaces//Wear, 1986. V. 113. - № 1. -P. 3-16.

463. Блюмен A.B. К вопросу о кинетике процессов трения и изнашивания и метод

464. Dowson D., Taylor С.М. A Survey of Researchon Tribology and Future Priorities. Wear. - 1985. - V. 106. - P. 347-358.

465. Евдокимов Б.А., Колесников В.И., Тетерин А.И. Планирование и анализ экспериментов при решении задач трения и износа. М.: Наука, 1980. -228 с.

466. Браун Э.Д., Евдокимов Ю.А., Чичинадзе А.В. Моделирование трения и изнашивания в машинах. М.: Машиностроение, 1982.

467. Дроздов Ю.Н., Павлов В.Г., Пучков В.Н. Трение и износ в экстремальных условиях. М.: Машиностроение, 1986. - 223 с.

468. Адлер Ю.П. Введение в планирование эксперимента. М.: Металлургия, 1969,- 159 с.

469. Организация группового производства/С.П.Митрофанов, В.А.Петров, В.А.Титов и др. JL: - Лениздат, 1980. - 288 с.

470. Применение ЭВМ в технологической подготовке серийного производства/С.П.Митрофанов, Ю.А.Гульнов, Д.Д.Куликов и др. М.: Машиностроение, 1981. - 287 с.

471. Планирование физического эксперимента

472. Рыжов Э.В., Суслов А.Г., Федоров В.П. Технологическое обеспечение эксплуатационных свойств деталей машин. М.: Машиностроение, 1979. -176 с.

473. Суслов А.Г. Технологическое обеспечение и повышение качества деталей. Разработка новых методов обработки//Справочник. Инженерный журнал. 1998. - № 9. - С. 9-13.

474. Усаков В.И., Никитин А.В. Обеспечение "тотального" качества на предприятиях группы SKF/ЛЗестник машиностроения.-1995.-№ 2.-С.38-43.

475. Седов Л.И. Методы подобия и размерности в механике. 10-е изд., доп. -М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит, 1987. - 432 с.

476. Налимов В.В. Теория эксперимента. М.: Наука, 1971. - 208 с.

477. Федоров В.В. Теория оптимального эксперимента. М.: Наука, 1971. -312с.