Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.07, доктор технических наук Кеменов, Владимир Николаевич

• Кеменов, Владимир Николаевич
• доктор технических наук
• 2000

Оглавление диссертации доктор технических наук Кеменов, Владимир Николаевич

Введение

Глава 1. Физические и методологические основы проектирования 12 вакуумных систем оборудования высоких технологий.

1.1 Состояние и тенденции развития оборудования высоких вакуумных 12 технологий.

1.2 Современные физические представления о процессах 32 взаимодействия пучков заряженных частиц с молекулами остаточных газов и материалами поверхности.

1.3 Критерии выбора средств формирования остаточных вакуумных 42 сред в вакуумно-технологическом оборудовании.

1.4 Современное состояние и прогноз развития средств откачки для 51 оборудования высоких технологий.

1.5 Концепция трехэтапной системы автоматизированного 59 проектирования высоковакуумного оборудования.

Выводы

Глава 2. Применение и развитие методов прогнозирования и 66 математического моделирования при создании новых поколений средств получения высокого вакуума и вакуумных систем оборудования на их основе.

2.1 Методика прогнозирования изменения показателя технического 66 уровня элементной базы вакуумных систем.

2.2 Реализация системного подхода при проектировании вакуумных 72 систем оборудования высоких технологий.

2.2.1 Многокритериальная база данных и принцип построения 72 многоуровневой системы выбора оптимальных средств откачки

2.2.2 Первая стадия выбора вакуумных насосов в подсистеме II 78 уровня.

2.2.3 Вторая стадия выбора вакуумных насосов в подсистеме II 85 уровня.

2.3 Модель проектирования оптимальной компоновки 89 вакуумных агрегатов.

2.4 Базовые откачные модули и интегрированные вакуумные 94 системы.

Выводы.

Глава 3. Решение теоретических и прикладных проблем создания 105 диффузионных высоковакуумных насосов с улучшенными параметрами.

3.1 Анализ новых технических решений.

3.2 Основные этапы развития теории диффузионных насосов.

3.3 Математическая модель захвата молекул откачиваемого газа 122 струей пара.

3.4 Вывод кинетического уравнения для функций распределения 129 молекул откачиваемого газа с учетом направленного движения рабочей струи и пространственной неоднородности концентрации молекул пара.

3.5 Расчет скорости откачки диффузионного высоковакуумного 135 насоса.

3.6 Исследование влияния конструкции маслоотражателей на 158 характеристики насоса.

Выводы.

Глава 4. Пути улучшения параметров турбомолекулярных насосов.

4.1 Мировой и отечественный опыт создания и развития 164 турбомолекулярных высоковакуумных насосов.

4.2 Методы улучшения эксплуатационных параметров 170 высоковакуумных турбомолекулярных насосов.

4.3 Математическая модель процесса откачки 176 высоковакуумными многомодульными турбомолекулярными насосами.

Выводы.

Глава 5. Создание и исследование криогенных насосов.

5.1 Пути развития криогенных насосов.

5.2 Метод расчета параметров криогенных насосов в 196 молекулярно-вязкостном режиме течения газа.

5.3 Исследование и разработка криогенных насосов и вакуумных 205 систем на их основе.

Выводы.

Глава 6. Теоретические основы создания улавливающих устройств для 216 интегрированных вакуумных систем на базе турбомолекулярных, криогенных и диффузионных насосов.

6.1 Выбор эффективных средств защиты вакуумных систем от 216 попадания паров рабочей жидкости со стороны форвакуумных насосов.

6.2 Исследование эксплуатационных характеристик 225 каталитических ловушек и разработка метода их расчета.

6.3 Оценка эффективности применения каталитических ловушек.

6.4 Высоковакуумные ловушки для диффузионных насосов.

6.5 Способы повышения эффективности высоковакуумных 243 ловушек.

Выводы.

Глава 7. Использование результатов работы при создании научно- 252 исследовательского и промышленного оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники.

7.1 Пути реализации результатов работы.

7.2 Разработка и внедрение средств получение высокого и 254 сверхвысокого вакуума.

7.2.1 Промышленная серия диффузионных высоковакуумных 254 насосов общего и специального применения.

7.2.2 Серия комбинированных геттерных магниторазрядных 272 насосов.

7.2.3 Промышленная серия турбомолекулярных насосов общего и специального назначения.

7.3 Разработка вакуумных агрегатов и специальных вакуумных систем технологического оборудования.

7.3.1 Агрегатированная система форвакуумной и криогенной откачки для многомодульной линии ЦМД-СБИС.

7.3.2 Высоковакуумные системы установок ионной имплантации.

7.3.3 Сверхвысоковакуумные системы для технологических модулей линии финишной сборки фотоэлектронных приборов.

7.4 Разработка, исследование и внедрение в производство технологического оборудования высоких вакуумных технологий.

7.4.1 Особенности создания многомодульного высоковакуумного оборудования.

7.4.2 Многомодульная линия финишной сборки фотоэлектронных преобразователей III поколения.

7.4.3 Многомодульная установка непрерывного действия для нанесения металлических покрытий при изготовлении интегральных схем.

7.4.4 Специализированный комплекс криогенных термостатирующих установок для создания криоэлектронных приборов и обеспечения технологического контроля гибридных схем.

7.4.5 Научно-исследовательское сверхвысоковакуумное 344 оборудование.

7.5 Графоаналитическая модель определения 348 конкурентоспособности технологического оборудования. Выводы 353 Заключение по работе. 355 Список литературы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники»

Анализ состояния и тенденций развития современной электронной техники в промышленно развитых странах свидетельствует о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для их реализации.

Одним из факторов, определяющих уровень и надежность оборудования этого класса, является его способность формировать необходимые для соответствующих технологических процессов вакуумные условия.

Вакуумные системы промышленного и научно-исследовательского оборудования создаются на основе унифицированной элементной базы, наиболее ответственной частью которых являются средства откачки.

Сегодня уже стало невозможным без создания современных конкурентоспособных средств получения вакуума, отвечающих мировым достижениям по техническим параметрам, решать задачи, связанные с разработкой высоковакуумного и сверхвысоковакуумного оборудования для производства изделий микроэлектроники, СВЧ и фотоэлектронных приборов, реализации молекулярной твердотельной инженерии, получения сверхчистых металлов и сплавов.

Следует подчеркнуть, что аналогичные требования возникают при создании высоковакуумного оборудования для проведения исследований, стимулированных потребностями энергетики, физики плазмы, атомной и ядерной физики, физики элементарных частиц, космической техники.

В последние годы этим направлениям посвящаются многие работы во всех странах мира.

В настоящее время около 30 зарубежных фирм, в том числе Alcatel (Франция), Leybold (Германия), Edwards (Англия), Varían (США), Balzers (Швейцария), Mitsubishi Heavy Industries LTD (Япония) и др. поставляют на мировой рынок различные типы вакуумных насосов, обеспечивающих получение вакуума в диапазоне 104 - 10"9 Па.

Возрождение отечественной науки и техники невозможно без восстановления утраченных собственных возможностей создания элементной базы вакуумной техники и технологического оборудования высоких вакуумных технологий.

Многолетний опыт работы автора в качестве научного руководителя ряда разработок вакуумного технологического оборудования электронной промышленности и главного конструктора отрасли по средствам откачки, позволили обобщить полученные на предприятиях НПО «Вакууммашприбор», НИИВТ им. С.А. Векшинского, АОЗТ «ТЭВАК», «ОАО «Вакууммаш»», фирме «Leybold-Vakuum GmbH» результаты за период с 1968 по 2000 год и, с учетом мирового уровня развития электроники и вакуумной техники, сосредоточить усилия на наиболее важных проблемах создания вакуумного электронного машиностроения в стране.

В соответствии с этим возникла необходимость сформулировать критерии, предъявляемые к средствам формирования вакуума для оборудования высоких технологий, в том числе в условиях взаимодействия пучков заряженных частиц с молекулами остаточных газов и конструкционными материалами.

Наиболее важными для этих условий характеристиками высоковакуумных средств является постоянство быстроты действия в широком диапазоне давлений и решение проблемы снижения селективности откачки различных газов.

Перечисленным требованиям более всего удовлетворяют диффузионные, турбомолекулярные и криогенные насосы.

В связи с этим была поставлена задача улучшения эксплуатационных характеристик вакуумных систем на основе насосов перечисленных типов и создание новых моделей.

В частности основное внимание при создании новых моделей диффузионных насосов было сосредоточено на проблеме сведения к минимуму обратного потока паров рабочей жидкости, в турбомолекулярных насосах - на разработке метода гибкого формирования состава остаточной газовой среды и регулирования быстроты действия, в криогенных насосах нового типа - обеспечение их работоспособности в условиях молекулярно-вязкостного режима течения газа.

Не менее важными аспектами работы явились: разработка метода оптимального выбора насосов при проектировании вакуумных систем в условиях предпочтительного удовлетворения требований технологических процессов, а также разработка метода выбора оптимальной компоновки и режимов функционирования многомодульного высоковакуумного оборудования в едином вакуумном цикле, в том числе для линии сборки фотоэлектронных приборов (ФЭП) третьего поколения.

В соответствии с поставленными задачами на защиту выносятся следующие вопросы:

Концепция трехэтапной системы автоматизированного проектирования оборудования высоких технологий по схеме «средства откачки - вакуумные агрегаты - технологическое оборудование»;

Методика прогнозирования изменений показателя технического уровня элементной базы оборудования высоких технологий с целью определения момента времени для своевременного принятия решений по модернизации техники; Модель и математическое обеспечение многоуровневой системы оптимального выбора средств откачки на стадии проектирования вакуумных систем;

Развитие теории, результаты комплексных исследований и компьютерного моделирования проточной части диффузионных вакуумных насосов;

Принцип, математическая модель и результаты исследований впервые предложенной конструкции многомодульного высоковакуумного турбомолекулярного насоса с возможностью гибкого регулирования быстроты действия и предельного остаточного давления;

Метод расчета параметров криогенных насосов в молекулярно-вязкостном режиме течения газа;

Теория, исследование, компьютерное моделирование и создание улавливающих устройств для форвакуумных и высоковакуумных средств откачки в интегрированных вакуумных системах;

Модели структурного и параметрического синтеза вариантов компоновок многомодульного высоковакуумного оборудования электронной техники;

Новые технические решения при создании комплексов высоковакуумных средств откачки, вакуумных агрегатов и технологического оборудования высоких вакуумных технологий различного назначения;

Метод оценки конкурентоспособности технологического вакуумного оборудования и его элементной базы.

Работа состоит из 7 глав, в которых последовательно излагаются вынесенные на защиту вопросы.

В первой главе рассмотрено состояние и тенденции развития оборудования высоких вакуумных технологий, сформулированы требования к вакуумным системам оборудования, в том числе использующих в технологических целях пучки заряженных частиц, а также анализируются возможность и перспективы использования в оборудовании современных средств откачки. Завершается глава изложением концепции трехэтапной системы автоматизированного проектирования по схеме: «средства откачки - вакуумные агрегаты -технологическое оборудование», используемой автором при создании высоковакуумного оборудования электронной техники.

Во второй главе рассмотрены вопросы применения и развития методов прогнозирования и математического моделирования при создании новых поколений средств получения вакуума.

Одним из наиболее важных параметров, оценивающих эффективность элементной базы вакуумной техники, является показатель технического уровня. Предлагаемая методика прогнозирования изменения этого показателя во времени реализована на примере анализа его изменения для серийных диффузионных насосов серии НВДМ и НВДС, а также агрегатов АВДМ.

В этой же главе изложены этапы реализации системного подхода при выборе средств откачки для конкретных технологических процессов, приводится математическое обеспечение метода и примеры его использования на практике.

Третья глава посвящена развитию теории диффузионных высоковакуумных насосов.

Развит метод решения кинетического уравнения Больцмана, учитывающий физические условия работы диффузионных насосов.

Получено решение кинетического уравнения Больцмана в виде разложения в ряд по степеням параметра, равного отношению молекулярных масс откачиваемого газа и пара рабочей жидкости. На основе найденного решения в аналитическом виде получена явная зависимость быстроты действия от основных параметров.

С целью повышения эффективности работы диффузионного насоса разработан метод определения оптимального объема рабочей жидкости, основанный на теплофизической модели процесса подготовки пара в кипятильнике.

Приведены также результаты экспериментальных исследований отечественных насосов типа БРЫ.

В четвертой главе рассмотрено современное состояние и тенденции развития турбомолекулярных насосов и возможности совершенствования их эксплуатационных характеристик. Приводятся новые технические решения автора, математическая модель многомодульного турбомолекулярного насоса и рекомендации по практическому использованию предложенного принципа.

Пятая глава содержит анализ известных разработок криогенных насосов. Приводится конструкция криогенного насоса, предназначенного для работы в молекулярно-вязкостном режиме течения газа, математическая модель для определения его быстроты действия и результаты экспериментальных исследований.

Шестая глава посвящена вопросам создания и исследования форвакуумных каталитических ловушек и высоковакуумных шевронных охлаждаемых ловушек.

В седьмой заключительной главе приводятся результаты реализации концепции трехэтапной системы автоматизированного проектирования технологического и научно-исследовательского оборудования электронной техники, созданного под руководством и

11 при активном участии автора. Рассмотрены наиболее интересные результаты исследований, осуществленных автором при создании оборудования.

Диссертация изложена на 374 страницах, содержит 19 таблиц, 157 рисунков и список литературы из 224 источников.

По теме диссертации осуществлено 88 публикаций, в том числе получено 33 авторских свидетельства на изобретения и 2 патента РФ, сделано 30 докладов на научно-технических конференциях, симпозиумах и семинарах.

Автор выражает глубокую благодарность коллективам специалистов упомянутых выше предприятий за долголетнюю совместную работу в проведении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ.

1. Физические и методологические основы проектирования вакуумных систем оборудования высоких технологий.

Заключение диссертации по теме «Оборудование производства электронной техники», Кеменов, Владимир Николаевич

Основные результаты работы состоят в следующем:

1. На основе анализа статистических данных изменения показателя технического уровня (Т), широко используемых серийных высоковакуумных насосов НВДМ, НВДС и агрегатов АВДМ предложена математическая модель, описывающая динамику изменения показателя технического уровня. Совместное решение уравнений, одно из которых описывает динамику изменения технического уровня, а второе отражает планируемую динамику его развития, позволяет определить «критическую» точку, которая в случае убывания функции Г(/) свидетельствует о необходимости принятия срочных мер по улучшению технического уровня рассматриваемого объекта или найденное время ^, свидетельствует о пределе его ресурса.

Предложенная модель является универсальной для непрерывно совершенствующихся технических объектов, к которым относится элементная база вакуумных систем технологического оборудования.

2. Разработана многоуровневая система оптимального выбора средств откачки, в которой предпочтительными являются параметры технологического процесса с последующим учетом трех классов параметров: эксплуатационных, экономических и конструктивных, каждый из которых имеет свой весовой коэффициент. Разработанное математическое обеспечение метода сводится к получению дискриминантных функций сравниваемых насосов, наименьшее значение которых соответствует лучшему варианту.

3. Развит метод решения кинетического уравнения Больцмана, учитывающий физические условия работы диффузионных насосов.

Получено решение кинетического уравнения Больцмана в виде разложения в ряд по степеням параметра, равного отношению молекулярных масс откачиваемого газа и пара рабочей жидкости.

На основе найденного решения в аналитическом виде получена явная зависимость быстроты действия от основных параметров: молекулярного веса откачиваемого газа, температуры пара в испарителе, длины струи пара, угла наклона стенки корпуса, радиуса сопла и величины зазора в критическом сечении сопла и др.

Полученные результаты являются основой для компьютерного моделирования оптимальных параметров проточной части диффузионного насоса.

4. Предложена новая модель турбомолекулярного насоса в многомодульном исполнении, в котором роторные модули имеют независимый привод, позволяющий в широком диапазоне регулировать их частоту вращения и, следовательно, осуществить гибкое регулирование общей быстроты действия и состава остаточной газовой среды. Разработана математическая модель процесса откачки насосом этого типа.

5. На основе классической задачи о движении границы фазового перехода и уравнения адсорбции разработана математическая модуль процесса криосорбционной откачки в молекулярно-вязкостном режиме течения газа.

На основе предложенной теории был рассчитан и создан макетный образец бустерного криогенного насоса типа БК-200Ф, полностью подтвердивший теоретические положения.

6. Для защиты интегрированных высоковакуумных систем оборудования на базе турбомолекулярных и криогенных насосов от паров рабочих жидкостей, распространяющихся со стороны механических форвакуумных насосов, впервые предложен принцип улавливания углеводородов методом их окисления в защитном слое адсорбента-катализатора.

Определена оптимальная форма защитного слоя. Численным методом получено распределение молекул углеводородов в пространстве между защитным слоем и корпусом. Масс-спектрометрические исследования работы каталитических ловушек выявили отсутствие углеводородов (43 массы) при их эксплуатации в предписанных температурных режимах. Созданы и серийно выпускались ловушки ЛЕС-10, ЛК-25, ЛК-40.

7. Для оптимизации конденсационных высоковакуумных ловушек по критериям проводимости и отражательной способности использован численный метод пробной частицы, на основе которого методом компьютерного моделирования были определены оптимальные геометрические параметры проточной части ловушки, позволившие на порядок и более снизить величину обратного потока паров рабочей жидкости из диффузионных насосов. Получены индикатрисы рассеивания молекул откачиваемого газа на входе в насос и молекул рабочей жидкости на входе в откачиваемый объем. Ловушки ЛП-250, ЛП 400, ЛП 500, ЛП 630, ЛП 800, ЛП 1000 серийно выпускаются ОАО «Вакууммаш» и экспортируются на зарубежные фирмы.

8. На основе предложенной теории под научным руководством и при активном, участии автора разработаны, исследованы и внедрены в производство новые поколения средств получения вакуума, наиболее полно удовлетворяющие требованиям современных высоких технологий в электронной и смежных отраслях промышленности.

За период с 1968 по 2000 год был разработан широкий ряд вакуумных насосов, большинство из которых серийно выпускались на заводах отрасли, в том числе диффузионные насосы Н-160/700, Н-250/2500, Н-400/700, НВДС 63-55, НВДС-63-40, криогенные насосы НВК-2000 -ММ, НВК-5000 ММ, БК-200 Ф, турбомолекулярные насосы НВТ-160-1М, ТМН-400 МП, ТМН-100 МП, в том числе в химстойком исполнении ТМН-300Х, ТМН 1000Х, ТМН 3500Х, магниторазрядные геттерные насосы НВГМ-2, НВГМ-5. С 1995 г. ОАО «Вакууммаш» осуществляет серийный выпуск диффузионных вакуумных насосов типа DIP (DFR), созданных на основе 2 патентов автора. Насосы этого типа экспортируются на рынки Европы, Азии, Латинской Америки и их дальнейшее совершенствования в направлении повышения конкурентоспособности и технического уровня продолжается.

9. Разработаны и получили широкое распространение в промышленности вакуумные агрегаты типа АВР-160, АВМ-10, АВТ-100, АВТ-200, АВК-2000, АВК-5000, АСВ-5-1 и др., которые эксплуатировались в составе ряда вакуумно-технологического оборудования различного назначения.

10. Разработано вакуумно-технологическое оборудование, в том числе многомодульная линия финишной сборки электронно-оптических преобразователей и модульная установка непрерывного действия для нанесения металлических покрытий на подложки интегральных схем.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ ПО РАБОТЕ.

Основой развития современной электронной и смежных отраслей промышленности является широкое использование высоких технологий, большинство из которых реализуется в условиях высокого и сверхвысокого вакуума, используемого в качестве технологической среды или «инструмента» технологического воздействия.

Одним из^факторов, оценивающим эксплуатационные параметры оборудования высоких технологий является его способность формировать необходимые для конкретного технологического процесса вакуумные условия, определяемые уровнем достигнутого разрежения, составом остаточной газовой среды, способностью выдерживать потоки агрессивных газов и образующихся взрывоопасных соединений.

Последние требования, характерные для ионно-плазменных и плазмохимических технологий накладывают дополнительные требования к созданию средств получения вакуума.

Выполнение указанных требований предполагает при разработке вакуумных систем оборудования применения методов оптимального выбора средств откачки и их обоснованной интеграции с учетом технологических параметров процесса.

В то же время развитие высоких вакуумных технологий и появление новых физических принципов обработки изделий в условиях высокого вакуума требует непрерывного совершенствования характеристик вакуумных насосов в направлении повышения их быстродействия, расширения области постоянства быстроты действия в сторону высоких давлений, надежной защиты откачиваемых объемов от загрязнения парами рабочих жидкостей, возможности гибкого управления процессом формирования состава остаточной газовой среды и т.д. Перечисленными факторами обусловлена необходимость проведения работ по созданию новых конкурентоспособных вакуумных насосов, удовлетворяющих возрастающим требованиям высоких вакуумных технологий.

Таким образом, создание технологического оборудования на основе новых поколений элементной базы высоковакуумных систем потребовало комплексного решения математических, материаловедческих, технологических и специальных машиностроительных проблем, которые были выполнены в работе с соблюдением концепции трехэтапного проектирования по схеме «средства откачки-вакуумные агрегаты-технологическое оборудование».

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Кеменов, Владимир Николаевич, 2000 год

1. Национальная программа развития электроники России на период 1991 -2000 гг. (Проект).

2. Каталог фирмы Balzers. 1999.

3. Каталог фирмы Alcatel. 1998.

4. Каталог фирмы Varían. 1997.

5. Каталог фирмы Leybold-Systems. 1999.

6. Технология СБИС. Кн. 1. Пер. с англ. / Под ред. С. Зп.-м Мир, 1986. 404 с.

7. Вендик О.Г., Горин Ю.Н., Попов В.Ф. Корпускулярно-фотонная технологиям. 175 с.

8. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. М.: Высшая школа, 1998. 255 с.

9. Попов В.К., Ячменов С.И. Электронная литография / Обзоры по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства, оборудование ЦНИИ электроника. М., 1985. Вып. 9. 42 с.

10. Райзер Ю.П., Кузнецов В.И., Кустов В.Л. Распределение свободных атомов и радикалов в потоке низкотемпературной плазмы / Журн. физ. Химии. 1983. Т. 7. № 6. С. 1494 1499.

11. Захаров И.С., Барбин С.И. и др. Применение магнетронного ионного реактивного распыления твердотельных модуляторов света на основе кристаллов типа силленита. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1995. 21 с.

12. Камардин А.И., Радгиабов Т.Д. Ионно-плазменные технологии и устройства нанесения покрытий. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1999. С. 41 44.

13. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь, 1986. 232 с.

14. Будилов В.В. Обеспечение эксплуатационных свойств поверхности конструкционных материалов ионно-плазменной обработкой на основе технологической наследственности. Тезисы доклада НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1995. 7 с.

15. Мальгин С.Н. Тенденции развития электронного машиностроения. Электронная промышленность. 1992. Вып. 5. С. 14 15.

16. Ковалев Л.К. Расчет конструкций камер напылительных установок методом математического моделирования. Электронная техника. Сер. 10. Квантовая электроника М.: ЦНИИ Электроника. 1975. Вып. 1.С. 42-53.

17. Sugiura H., Yamaguchi M.Crown of Dislocation- Free Silicon Films by Molecular Beam Epitawxy Sistems, Pergamon. London. 1981. C. 123 -126.

18. Ota Y., N-tipe Doping Techniques in Silicon Molecular Beam Epitaxy by Simultanius Arsenic Yon Implantation and by Antimony Evaporatich, Y Electrochem Soc., 126. 1979.

19. Быковский Ю.Ф., Дудолалов А.Г., Козленков В.П., Леонтьев П.А. Получение эиитаксиальных пленок полупроводниковых соединений с помощью импульсного твердотельного ОКГ. Термоэлектрические материалы и пленки. Л., ЛФТИ, 1976. 49 с.

20. Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии. Электронная техника. Сер. 7. № 17. 1981. С. 28-36.

21. Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. -М: Высшая школа, 1978. 72 с.

22. Александрова А.Т., Горюнов A.A., Ермаков Е.С. и др. Вакуумные манипуляторы. Электронная промышленность. 1981. С. 32-37.

23. Мальгин С.Н. Элементная база электронного машиностроения. СПб.: Изд-во РНИИ «Электронстандарт», 1993. 44 с.

24. Александрова А.Т. Функциональные устройства вакуумной механики на основе приводов управляемой упругой деформации. НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1998. С. 150 155.

25. Воссен О' Нейл. Обратное распыление материала эмитируемого с мишени при ВЧ распылении. Электроника. 1971. № 12.

26. Vossen I.L., Davidson E.B. The Intraction of photoresists with metals and oxides during RF sputter etching. I Electrochem Soc. 1972. Vol 119. № 12. C. 16-21.

27. Оборудование ионной имплантации / B.B. Симонов, Л.А. Корнилов, A.B. Шашелев, Е.В. Шокин. М: Радио и связь, 1988. 184 с.

28. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М: Радио и связь, 1987. 375 с.

29. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппарато-строении / Под ред. Саксаганского Г.Л. М: Атомиздат, 1976. 288 с.

30. Домахин И.Г., Логинова Г.С. Газовыделение анодных материалов под действием электронной бомбардировки. -Электронная техника. Сер. 5. 1971. Вып. 1(18). 113 с.

31. Петерман JI. Десорбция газа при электронной бомбардировке. Остаточные газы в электронных лампах. М.: Энергия, 1967. 192 с.

32. Данилин Б.С. Получение тонкопленочных слоев с помощью магнетронной системы ионного распыления. Зарубежная радиоэлектроника. 1978. № 4. С. 87- 105.

33. Коллеров Э.П. и др. Компактный накопитель СКН-600 -источник синхротронного излучения для литографии. ГДР, Лейпциг, 1988. Материалы научно-технической конференции. 23 с.

34. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат,1987. 263 с.

35. Duval P. Pumping clorinated gases in plasme deposition and etching systems Solid State Techn. 1981. V. 24. № 10. P. 86 — 89.

36. Duval P. High Vacuum production in the microelectronics Industry1988. P. 272.

37. Кондратов A.B., Потапенко A.A. Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники. М.: Радио и связь. 1986. 80 с.

38. Садыков К.С. Разработка методов расчета и оптимизация вакуумных диффузионных насосов / Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. Казань, 1997. 320 с.

39. Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и связь. 1983. 126 с.

40. К. Stroup Guest for Comproving LPCVD Vacuum Pump Operating Si. 1993. № 9. C. 11 12.

41. Рекламные материалы AO «Вакууммаш».

42. Semiconductor International. 1993. № 7.

43. Turbomolecular pump Si. 1993. № 8, 93.

44. Pumping Vacuum and geses Semicond Intern. 1992. № 12.

45. Артемьева И.В. Средства получения вакуума. Аналитический обзор. Cep.HI. № 11 НИИВТ. 1992. 37 с.

46. В.Н. Кеменов Новые разработки в области элементной базы вакуумной техники. Тезисы доклада XI Всесоюзной конференции «Диффузионное соединение металлических и неметаллических материалов». Москва, 1984. 35 с.

47. Борисов В.П., Кеменов В.Н., Маклаков A.A. Вакуумная техника в электронной промышленности. «Электронная промышленность». Вып. 7. 1984. С. 2-6.

48. Вакуумная техника. Справочник /Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др. М.: Машиностроение, 1992. 471 с.

49. Дюваль П. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности. М: Мир, 1992. 277 с.

50. Каталог фирмы Seiko Seiki Magnetically lévitation turbomolecular pumps. Ultra high vacuum series. 1991.

51. Горбачев С.П. и др. Расчет температурных полей в теплопоглощающих криогенных экранах. Труды НПО «Криогенмаш». Вып. 15. 1973. С. 73 -85.

52. Беляев В.П. Криогенная техника и технология. М.: Энергоиздат, 1982. 272 с.

53. Кеменов В.Н., Зыков В.М., Иванов И.А., Динов Ю.С. Крионасос с автономным криогенератором для откачки газов в переходном режиме течения. Материалы НТК «Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуума». Луринград, 1985.С. 195 196.

54. Каталог фирмы Leybold-Vakuum. 1997.57. Edwards. 1997.

55. Проспект НПО "Сибкриотехника". 1997.

56. Вакуумная техника. Справочник / Под общ. ред. Е.С. Фролова,

57. B.Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1992. С. 363 376.

58. А.С. СССР № 387465. Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос / Желтов М.П. и др., 1967.

59. Курбатов O.K. и др. Новые магниторазрядные насосы с улучшенными вакуумными и эксплуатационными характеристиками. Материалы НТК «Физика и техника высокого вакуума». Ленинград, 1974. С. 28.

60. Топчева Т.Н. Диффузионные насосы АО НТИ 1984 г.

61. АС СССР № 1777422. Диффузионный вакуумный насос / Грошков А.Н., Голоскоков, 1992.

62. АС СССР. № 595542. Выходной патрубок диффузионного насоса / Кеменов В.Н., Леонов Л.Б., Антюхов В.Н. БИ № 8. 1978.

63. Патент США, кл. 417/54 (F04F9/00). № 4242052.

64. Патент Англия, кл. FIE (F04F9/06). № 2074245.

65. Авторское свид. ЧССР, кл. F04 U-9/08. № 186817.

66. Патент США кл. 202/158. (B01D3/14, F94 F9/00). № 4201629.

67. АС СССР № 591622. Диффузионный насос / Кеменов В.Н., Антюхов В.Н. БИ № 5, 1978.

68. Кеменов В.Н., Грошков А.Н., Соболева Л.Н. Разработка диффузионного вакуумного насоса с воздушным охлаждением со стабильной откачкой гелия. Научно-технический отчет НИИВТ. № 3511, № ГР 38925. 1988. 26 с.

69. М. Мельник. Основы прикладной статистики. М.: «Энергоатомиздат», 1983. 413 с.

70. Benard A., and van Eltern Rh. A generalization of the method of in rankings. Kon. Ned. Ak. Wet., A. 56. № 4 and jndag. Math., 15 № 4, 1953.1. C. 42-48.

71. Pitman E.J.G. (1937, 1938). Significance tests which may by applied to samples from any population. Supp. J.R. Stat. Soc., 4.119; The carrelation coefficient test. Supp. J.R. Stat. Soc. 4, 225: The analysis of vacance test. Biometrics, 29, 332.

72. Кендалл М., Стьюарт А. Теория распределений М.: Наука, 1966. 296 с.

73. Кендалл М., Стьюарт А. Статистические выводы и связи. М.: Статистика, 1975. 276 с.

74. Friedman М. (1940). A comparison of alternative tests significance for the problem of in rankings. Ann. Math. Statist, 1940. C. 9 21.

75. Кеменов B.H. Реализация системного подхода при проектировании вакуумных систем оборудования высоких технологий. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 4. 1999.С. 13 17.

76. Кеменов В.Н. Двухуровневая система выбора оптимальных средств откачки для оборудования высоких технологий. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1999. С. 186 187.

77. Кеменов В.Н. Модель оптимального выбора агрегатно-модульной компоновки. Тезисы доклада НТК «Состояние и перспективы развития вакуумной техники». Казань, 1991. С. 82 83.

78. Г. Корн, Т. Корн Справочник по математике для научных работников и инженеров М: Наука, 1968. 720 с.

79. В.М. Самойлов, В.В. Сысоев, В.Н. Кеменов, J1.H. Макаров. Модель оптимального проектирования компоновки вакуумных агрегатов (М-В сборник научных трудов. Автоматизация проектирования и управления в технологических системах). Воронеж ВТИ. 1990. С. 75-78.

80. Кеменов В.Н. Вакуумные откачные системы оборудования производства ИЭТ. Депонир. ЦНИИ «Электроника». Реферат «Электронная промышленность». Вып. 11. 1989. 9 с.

81. Кеменов В.Н. Состояние и перспективы развития систем откачки. Материалы НТК «Достижения и перспективы развития диффузионной сварки». М., 1987. С. 56 58.

82. Кеменов В.Н., Бегун O.A., Горюнов А.Н. и др. Исследование и разработка макета диффузионного насоса с повышенной стабильностью откачки гелия. Научно-технический отчет НИИВТ. № ГРУ 15414. 1985. 23 с.

83. АС СССР № 989167. Способ запуска пароструйного вакуумного насоса / Кеменов В.Н., Чухлов В.Д., Гумеров Н.М., 1983.

84. АС СССР. № 556245. Способ защиты охлаждаемого корпуса многоступенчатого пароструйного вакуумного насоса от перегрева / O.JI. Гладков, В.Н. Кеменов и др. БИ № 16, 1977.

85. Кеменов В.Н., Капустин Н.Ф., Садыков К.С. Серия диффузионных насосов с воздушным охлаждением. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996. 85 с.

86. Кеменов В.Н., Грошков А.Н., Лавыгин В.А., Уксусов A.C. и др. Новое поколение диффузионных вакуумных насосов. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1994. С. 94 95 с.

87. Кеменов В.Н., Калинкин Д.Ф., Капустин Н.Ф., Садыков К.С. Повышение безопасности работы диффузионного вакуумного насоса при работе в различных газовых средах. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996 г. С. 7 8.

88. Кеменов В.Н. Сравнительная оценка современных физических моделей работы диффузионных вакуумных насосов. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1999. С. 184 186.

89. Кеменов В.Н., Сапежинский М.Г., Балюк В.Г. и др. Исследование возможности улучшения откачных характеристик диффузионных вакуумных насосов. Тезисы доклада НТК «Вакуумная техника». Гурзуф, 1995. 131 с.

90. Кеменов В.Н., Савинский К.А. Ряд укороченных высоковакуумных паромасляных насосов. Тезисы доклада V Всесоюзной конференции «Новые разработки и исследования струйных и других типов насосов». Казань, 1972. С. 6 58.

91. A.C. СССР № 308231. Пароструйный вакуумный насос / Кеменов В.Н., Мусатов В.Н., Муралов С.Ю. Опубл. БИ № 21. 1971.

92. A.C. СССР № 393479. Пароструйный вакуумный насос. Кеменов В.Н., Денмухамедов В.Н., Леонов Л.Б., Савинский К.А., Постников1. A.A. БИ № 33, 1973.

93. A.C. СССР № 573614. Диффузионный насос / Кеменов В.Н., Опубл. БИ № 35, 1977.

94. A.C. СССР № 584101. Диффузионный насос / Кеменов В.Н. БИ №46, 1977.

95. Патент РФ № 584102. Диффузионный насос / Кеменов В.Н. БИ №46, 1977.

96. A.C. СССР № 590494. Способ защиты охлаждаемого корпуса многоступенчатого пароструйного вакуумного насоса / Кеменов В.Н., Костиков Ф.М., Савинский К.А. БИ № 4, 1978.

97. Патент РФ № 1742526. Пароструйный вакуумный насос. Кеменов

98. B.Н., Грошков А.Н., Уксусов A.C.

99. A.C. СССР № 595543. Диффузионный насос / Кеменов В.Н., Назаров Л.Н., Симонов В.В. БИ № 8, 1978.

100. A.C. СССР № 1354872. Диффузионный вакуумный насос 26.05.86, 1987.

101. Скобелкин В.И., Ющенкова Н.И. Теория пароструйного вакуумного насоса. ЖТФ. Т. XXIV. Вып. 10. 1954. С. 1879 1821.

102. Ребров А.К. Состояние теории и возможные пути развития струйной вакуумной техники. В сб. научных трудов «Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки» под ред. Кутателадзе С.С., Новосибирск. 1985. С. 7 18.

103. Г. Берд. Молекулярная газовая динамика. М.: Мир, 1987. 319 с.

104. Кеменов В.Н. Сравнительная оценка современных физических моделей работы диффузионных вакуумных насосов. Материалыконференции «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1999. С. 184 — 186.

105. Кеменов В.Н., Сапежинский М.Г. Математическое моделирование процессов откачки во входной полости диффузионного насоса. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 1. 1999. С. 21-30.

106. Кеменов В.Н. Анализ методов математического моделирования диффузионных вакуумных насосов. «Вакуумная техника и технология. Т. 9. № 2. 1999. С. 23 -85.

107. Лифшиц И.М., Питаевский Л.Л. Физическая кинетика. Сер. «Теоретическая физика». Т. X. М.: Наука. 1979. 528 с.

108. Ющенкова H.H. Исследование структуры несимметричной сверхзвуковой струи в вакууме. М.: Из-во АН СССР, 1964. С. 343 -354.

109. Булгаков A.B., Николаев Г.Ф., Приходько Г.В., Садыков Г.С. Структура струи паров вакуумного насоса, истекающей из звукового сопла. В сб. «Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки». Новосибирск. 1985. С. 127- 136.

110. Белоцерковский О.М., Яницкий В.Е. Проблемы численного моделирования течений разреженного газа. «Успехи механики». Т. 1. Вып. 12. С. 69-112.

111. Соболь И.М. Численные методы Монте-Карло. М.: Наука, 1973. 311 с.

112. Коган М.Н. Динамика разреженного газа. М.: Наука, 1967. 440 с.

113. Чимпен С., Каулинг Т. Математическая теория неоднородных газов. М.: ИЛ, 1960. 510 с.

114. Becker W. Eine neue Molekularpumpe Vacuum - Technic. № 7. 1998. S. 149- 152.

115. Becker W. Zur Theorie Turbomolekular pump - Vacuum - Technic. № 10. 1961. S. 132- 135.

116. Becker W. Über eine neue Molekularpumpe. Advances in Vacuum Seirce and Technologi. Vol. 1. Pergamon Press. 1960. P. 173 176.

117. Kruger С., Shapiro A Vacuum Pumping with a blated Axial Flow Pergamon Press. 1960. P. 117 - 140.

118. Sawada Т., Suzuki M., Taniguchi O. The axial molecular pump. Part 1. Sehent Papers Inst Phys. An ehem. Ree. 1968. № 2. P. 49 61.

119. Sawada Т., Suzuki M., Taniguchi O. The axial flow molecular pump. Part 2. Bull of the ISME. Vol. 14. 1971. № 67. P. 48 57.

120. Sawada Т., Suzuki M., Taniguchi O. The axial flow molecular pump. Part 3. Bull of the ISME. Vol. 16. 1973. №94. P. 312-318.

121. Беляев Л.А. О расчете параметров молекулярных турбонасосов / В кн: Вакуумная техника. Вып. 1. Казань. Татарское кн. изд-во, 1968. С. 58-64.

122. Беляев Л.А. Метод расчета турбомолекулярных вакуум -насосов. Химическое и нефтяное машиностроение. 1970. № 6. 18 с.

123. Фролов Е.С. Турбомолекулярные вакуумные насосы. М.: Машиностроение. 1980. 119 с.

124. Кондрашев B.C. Вопросы расчета и теории молекулярных турбонасосов. Межвузовский сб. Московского института радиотехники, электроники и автоматики. 1978. № 2. 226 с.

125. Кондрашев B.C. Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов. Труды МИЭМ. Вып. 9. 1970. С. 131-155.

126. Кондрашев B.C., Волчкевич Л.И., Демешкевич Т.Б. Турбомолекулярные насосы современные сверхвысоковакуумные средства безмасляной откачки. Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. № 12. 1969. С. 112 - 117.

127. Демихов К.Е. Исследование и расчет ступени турбомолекулярного вакуум-насоса. Автореферат диссертации на соискание уч. степ, к.т.н. (МВТУ им. Н.Э. Баумана). 14 с.

128. Демихов К.Е., Пыжов И.Н. Модель процесса переноса молекул газа межлопаточными каналами рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. Химическое и нефтяное машиностроение. № 1. 1977. С. 26-27.

129. Фролов Е.С., Демихов К.Е., Никулин Н.К. Расчет откачной характеристики турбомолекулярного вакуум-насоса. Изв. Вузов. Машиностроение. 1973. № 2. С. 79 82.

130. Черепнин Н.В. Эволюция турбомолекулярных насосов за рубежом. Обзоры по электронной технике. Сер. «Технология, организация производства и оборудования». Вып.6 (646). М.: ЦНИИ Электроника. 1976. 36 с.

131. Бычкова А.Д., Саксаганский Г.Л. и др. Результаты испытаний турбомолекулярного насоса при откачке тяжелых изотопов водорода. Труды Всесоюзной конференции по инженерным проблемам термоядерных реакторов. Л. НИИЭФА, 1977. Сер. II. 255 с.

132. Леонов Л.Б. Пути развития турбомолекулярных насосов. Электронная техника. Сер. 7. Вып. 3 (112). 1982. С. 55 58.

133. Цейтлин А.Б. Состояние, тенденции и перспективы развития турбомолекулярных насосов. Аналитический обзор. Сер. II. Вакуумная техника. Вып.2 (215). 1986. 55 с.

134. Balzers Vacuumtechnik, 1985 г.

135. Henning H.H., Knorr G. Heue luftgekühlte lagunabhängige Turbomolekularpumpen für Industrie and Forschung Vacuum - Technik. 1981. №4, 34.41 c.

136. Harald Betsch Geeignete Fetschmiersystem halten die Temperatur an Spindellagerungen niedrig, Maschinenmarkt. 1980. № 36, 47. 50 c.

137. Alcatel. Вакуумная техника каталог компонентов. 1985 - 1986. 149. Vacuum - Technik. Bd. 34. № 6. 1985. С. 13 - 17.

138. Henning H.H., Caspar H.P. Walzlagerungen in Turbomolecularpumpen Vacuum - Technik. 1982. Bd. 31. № 4. C. 21 -24.

139. Balzers Turbomolecularpumpen. TPH 050, TPU050, 1983.

140. Composite Type Molecular pump Technocrat. V. 17. № 1. 1984. C. 57-61.

141. Pumps turbomolecular Laboratory Equipment. V. 22. № 2. 1985. C. 91 -98.

142. Edwards. Edwards wide Range of Turbo Pumps -1. Vac Sci Technol.

143. A. V. 3.№2. 1985. C. 78-80.

144. Technocrat. V. 18. № 6. 1985. C. Ill 113.

145. A.C. СССР № 992837. Турбомолекулярный вакуумный насос / Кеменов В.Н., Леонов Л.Б. БИ № 4, 1983.

146. А.С. СССР № 688708. Способ регулирования производительности турбомолекулярного насоса / Кеменов В.Н., Леонов Л.Б. БИ № 36. 1979.

147. А.С. СССР № 29, 567848. Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос / Кеменов В.Н., Алексашин В.А., Кузнецов

148. B.Н., Леонов Л.Б. БИ № 29. 1977.

149. А.С. СССР № 909324 Турбомолекулярный вакуумный агрегат / Кеменов В.Н., Леонов Л.Б. БИ№ 8. 1982.

150. Цейтлин А.В. Современное состояние и перспективы развития вакуумной техники. ЦНИТИХИМНЕФТЕМАШ. 1986. С. 35 52.

151. Каталог фирмы Leybold-Heraues. 1993.

152. Каталог фирмы Ulvac. 1998.

153. A new Refrigerator IE Spectrum. 1982. V. 19. № 8. С. 186 - 190.

154. Физико-технические основы криогеники. Справочник / Под ред. М.П. Малюкова. М.: Энергия, 1973. 392 с.

155. Микулин Е.И. Криогенная техника. М.: Машиностроение, 1978. 248 с.

156. Беляков В.П. и др. Высокоэффективный криосорбционный насос новой конструкции. В кн. «Вопросы современной криогеники». М.: Внешторгиздат, 1975. С. 341 359.

157. Беляков В.П. Особенности начальной стадии переходного процесса в криогенной системе. Изд. Вузов. Машиностроение, 1977. № 9. С. 60 64.

158. Беляков В.П. Криогенная техника и технология. М.: Энергоиздат, 1982. 272 с.

159. Хефер Р. Криовакуумная техника. М.: Энергоатомиздат, 1983 г.

160. Юферов В.В., Сороковой Л.Г. К вопросу о криозахвате. «Вопросы атомной науки и техники». Сер. «Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум». Вып. 1. Харьков. ФТИ АН УССР. 1971. С. 158-161.

161. Moore R.V. Criopumping in the free-molecular, flow regime Trans of the Nat Vac. Simp. 1962. P. 426 438.

162. Боровик Е.С., Гришин С.Ф., Гришина Е.Я. Абсолютный конденсационный насос ЖТФ. 1970. № 3. С. 581 - 586.

163. Боровик Е.С., Гришин С.Ф., Лазарев Б.Г. О предельном вакууме криоконденсационных насосов. ПТЭ. 1960. № 1. С. 116-118.

164. Суслов А.Д., Гороховский Г.А. и др. Криогенные газовые машины. М.: Машиностроение, 1982. 315 с.

165. Минайчев В.Е. Вакуумные крионасосы. Энергия., 1976. 152 с.

166. Быков Д.В. Точные решения уравнения баланса для структуры с сорбирующимися стенками. Межвузовский сб. МИЭМ. 1988. С. 112114.

167. Боярина М.Ф. Взаимодействие нераспыляемых газопоглотителей с водородом и окисью углерода. Электронная техника. Сер. Генераторные, модуляторные и рентгеновские приборы. Вып. 1. 1970. С. 68-74.

168. Быков Д.В., Вислоух В.Е., Кондрашева О.И. Нераспыляемые газопоглотители на основе порошковых материалов. Материалы НТК «Технология формирования материалов из порошков». 49 с.

169. Быков Д.В., Вислоух В.Е., Глебов Г.Д., Шугалей О.И. Низкотемпературный геттер. Материалы НТК «Криогенные средства получения вакуума». Харьков. 1977. 36 с.

170. Минайчев В.Е., Зыков В.М. Крионасосы. М.: ЦНИИ «Электроника». 1972. 73 с.

171. Кеменов В.Н., Богачева Е.А., Зыков В.М. и др. Вакуумно-криогенная установка на базе низкофонового гелиевого криостата. Научно-технический отчет НИИВТ № 3529. 1988, № ГР У 46780, 25 с.

172. Кеменов В.Н., Зыков В.М., Иванов И.А. Крионасос для работы в области давлений 1-100 Па. «Электронная промышленность». Вып. 6. 1988.16 с.

173. Назаров A.C. и др. Исследование защитных свойств сорбционной и комбинированной ионной ловушек для механических вакуумных насосов, ВН и ДВН Научно-технический отчет НИИВТ. № 1246. 1967.

174. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1979.

175. A.C. СССР № 706574. Вакуумная система / Щавелев БИ. № 48. 1979.

176. Balzers Catalyser trap URB040 BP 800006 RE (8108, Лихтенштейн, 1983 г.). 8 с.

177. Патент 102239 (ФРГ) Verhaften und vorriditung zum Abpumpen von arganischen Dämpfen / th Kraus.

178. Крылов О.В., Шибанова М.Д., Глубокое каталитическое окисление углеводородов. Проблемы кинетики и катализа, 1982. Т. 18. № 1. 18-23 с.

179. Марголис Л.Я. Окисление углеводородов на гетерогенных катализаторах. M.: Химия, 1977. 321 с.

180. Голодец Г.И. Гетерогенно-каталитические реакции с участием молекулярного кислорода. Киев: Наукова думка, 1977. 203 с.

181. Loy В. Delmon Preparation of catalyses 3 rd/Ed Elsevier Sei. Publ. Co. Amsterdam. 1979. C. 271 -285.

182. Промышленные катализаторы газоочистки. Каталог / Мин-химпром. Новосибирск: Изд. ИК СО АН СССР, 1984.

183. Каталиаторы и процессы, разработанные Институтом катализа СО АН СССР и СКТБ катализаторов МХП: Каталог / Минхимпром. Новосибирск: Изд. ИК СО АН СССР, 1984.

184. Кеменов В.Н., Дубинский В.А. форвакуумные каталитические ловушки типа ЛК. Тезисы доклада НТК. Состояние и перспективы развития вакуумной техники. Казань, 1991. С. 160-161.

185. Кеменов В.Н., Дубинский В.А. Особенности эксплуатации каталитических ловушек типа ЛК. Тезисы доклада НТК «Состояние и перспективы развития вакуумной техники». Казань, 1991. 157 с.

186. Кеменов В.Н., Минайчев Х.М., Усачев Н.Я. и др. Экспресс-тестирование катализаторов для форвакуумных ловушек. Электронная техника. Сер. 4. Вып. 1. 1989. С. 33 37.

187. Кеменов В.Н., Дубинский В.А., Дмитриев Р.В. Форвакуумная каталитическая ловушка ЛС4ТК. Электронная промышленность. Вып. 6. 1998. 18 с.

188. A.C. СССР Вакуумная каталитическая ловушка. Кеменов В.Н., Дубинский В.А. № 1670174 БИ № 30. 1991.

189. Кеменов В.Н., Дмитриев Р.В., Лавыгин В.А., Дубинский В.А. и др. Исследование и разработка макета каталитичексой ловушки для защиты вакуумных камер отпаров масла из механических насосов. Научно-технический отчет НИИВТ № 3427. 1987. № ГР У 31456.

190. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: ИЛ, 1950. 695 с.

191. Кеменов В.Н., Сапежинский М.Г. Расчет параметров системы «высоковакуумная защитная ловушка диффузионный вакуумный насос». Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1999. 100 с.

192. D.W. Jones, С.А. Tsonis J. Vac. Sei. Technol. № 1. 1964. С. 17 32.

193. Каталог ОАО «Вакууммаш» г. Казань. 1999.

194. Каталог фирмы Leybold Vakuum GmbH, 1999, В10.09.

195. Кеменов В.Н., Назаров Исследование влияния средств откачки на процессы науглероживания чистых поверхностей индия. Материалы НТК «Состояние и перспективы развития вакуумной техники». Казань, 1991. 86 с.

196. Кеменов В.Н., Зыков В.М., Суворов A.C. Высоковакуумная откачная система. Научно-технический отчет НИИВТ № 3537, 1988. № ГРУ 38933. 18 с.

197. Кеменов В.Н., Саксаганский Г.Л., Егоров С.А. и др. Высоковакуумный комплекс для термоядерной обработки сверхпроводящей модельной катушки термоядерного реактора и ТЭР. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1998. С. 134 — 135.

198. Кеменов В.Н., Грошков А.Н., Токарева В.К. Разработка специального диффузионного вакуумного насоса дли линии вакуумной обработки ЦЭЛТ. Научно-технический отчет НИИВТ. № 3324. 1985. № ГР У 11227. 21 с.

199. A.C. СССР № 1777422. Диффузионный вакуумный насос / Кеменов В.Н., Грошков А.Н., Голоскоков В.В., 1992.

200. Кеменов В.Н. К оптимизации количества рабочей жидкости в диффузионном вакуумном насосе типа DFR. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 1. 1999. С. 17-20.

201. Кеменов В.Н., Капустин Н.Ф., Садыков К.С. Новое поколение диффузионных вакуумных насосов типа DFR. «Вакуумная техника и технология». Т. 6. № 2. 1996. С. 38 39.

202. Кеменов В.Н., Капустин Н.Ф., Садыков К.С. Модернизация диффузионных насосов типа DFR. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1997. С. 61 62.

203. Кеменов В.Н., Калинкин Д.А., Капустин Н.Ф., Садыков К.С. Оценка эффективности работы диффузионного вакуумного насоса серии DFR при переходе на жидкость DC-704. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996. 85 с.

204. Кеменов В.Н., Капустин Н.Ф., Садыков К.С. Промышленная серия диффузионных вакуумных насосов типа DFR. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996. 7 с.

205. Кеменов В.Н., Калмыков С.А., Кузнецов А.И. Безмасляные турбомолекулярные вакуумные насосы с магнитной подвеской ротора. Электронная промышленность. Вып. 7. 1988. 51 с.

206. Кеменов В.Н., Шишловский С.С. Контор Е.И. Разработка конструкции геттерного магниторазрядного насоса типа «НВГМ-5». Научно-технический отчет. № 3399. 1985. № ГР У 27287. 22 с.

207. Кеменов В.Н., Шишловский С.С., Буренко Б.П. и др. Исследование по созданию базового комбинированного геттерного магниторазрядного вакуумного насоса типа «НВГМ-5». Научно-технический отчет. № 3336. 1985. № ГР У 11229. 51 с.

208. Кеменов В.Н., Буренко Б.П. Шишловский С.С. Контор Е.И Комбинированные сверхвысоковакуумные геттерные магнито-разрядные насосы. Электронная промышленность. № 7. 1988. 34 с.

209. Кеменов В.Н., Симонов B.B. Вакуумные системы для установок ионной имплантации. Материалы НТК «Физика и техника высокого вакуума и сверхвысокого вакуума». Ленинград. 1985. С. 195 196.

210. Кеменов В.Н., Зыков В.М., Бочагова Е.А. Высоковакуумная откачная система для установок ионной имплантации. Материалы1. отраслевой конференции «Промышленная технология и оборудование ионной имплантации». Нальчик. 1988. 17 с.

211. Кеменов В.Н., Бочагова Е.А., Грибанов A.M., Зыков В.М. система криогенной откачки. «Электронная промышленность». № 7. 1988. 59 с.

212. Кеменов В.Н., Лавыгин В.А., Мусатов В.Н., Назаров Л.Н. Сверхвысоковакуумный откачной агрегат «Электронная промышленность». № 7. 1988. 43 с.

213. Кеменов В.Н., Лавыгин В.А., Зыков В.М. и др. Исследование и разработка модуля форвакуумной откачки линии ГАП ЦМД СБИС. Научно-технический отчет НИИВТ № 3406, 1986, № ГР У 24176, 35 с.

214. Кеменов В.Н., Лавыгин В.А., Комков В.А. и др. Исследование и разработка сверхвысоковакуумных откачных систем для вакуумно-технологических модулей установки финишной сборки ФЭП. Научно-технический отчет НИИВТ № 3395. 1986. № ГР У 15094. 28с.

215. Кеменов В.Н., Лавыгин В.А., Назаров Л.Н. и др. Исследование и разработка модуля активации катодных узлов для высокопроизводительной установки финишной сборки ФЭП III поколения. Научно-технический отчет НИИВТ № 3491. 1987. № ГР У 38920.

216. A.C. СССР № 1509879. Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов с микроканальной пластиной и анодным узлом. Кеменов В.Н., Назаров Л.Н., Куклев и др., 1987.

217. A.C. СССР № 1478888. Приспособление спутник для линии сборки фотоэлектронных приборов в вакууме. Кеменов В.Н., Деулин Е.А., Сапеко H.H. и др., 1989.

218. Кеменов В.Н., Назаров Л.Н., Мусатов В.Н. и др. Исследование и разработка модульной установки непрерывного действия для нанесения покрытий при изготовлении ИС. Научно-технический отчет М.: НИИВТ № 3171. 1984. № ГР У 85061. 39 с.374

219. Кеменов В.Н., Зыков В.М., Львов М.П. и др. Специализированный комплекс термостатирующих установок на криогенные температуры для обеспечения технологического контроля гибридных схем. Научно-технический отчет НИИВТ № 3546, 1988. № ГР У 46779. 27 с.

220. Кеменов В.Н. ЬеуЬоЫ вакуумный мир. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1997. С. 4 - 11.

221. Кеменов В.Н., Динамика развития вакуумно-технологического оборудования в России в контексте мирового научно-технического прогресса. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1998. С. 9-25.