Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.07, кандидат технических наук Коган, Иосиф Леонидович

• Коган, Иосиф Леонидович
• кандидат технических наук
• 1999

Оглавление диссертации кандидат технических наук Коган, Иосиф Леонидович

Введение

Глава I. Анализ теории и практики создания высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей

101. Общие положения.

1о2о Теоретические вопросы определения чувствительности

1в30 Стабильность чувствительности . .».

1.4, Нижний предел измерения

1р5. Развитие теоретических представлений о верхнем пределе измерения

1.6с. Обзор конструкций и методов измерения.

Выводы к главе I.^.

Глава 2о Теоретические аспекты разработки ионизационных преобразователей

Раздел 2.1. Развитие теории верхнего предела измерения

§ I. Основные положения

§ 2С Работа преобразователя при стабилизации тока эмиссии в катодной и анодной цепях питания

§.3. Влияние формы распределения потенциала электрическо-) поля на величину J-$<Aolx .* . « . о . » „

§ 4о Влияние пространственного заряда в „ . 0 0 . 0 « « . 75 Резюме ооооооо«. . «о. « « о о а « о

Раздел 202о Теоретические вопросы, связанные с компенса-лей фонового тока при измерениях

§ I. Введение, измерения с учетом нормированного значения энового тока „ » о » » .«.».

§ 2. Разностный метод модуляции ионного тока 0 0 0 о »

§ 3. Метод амплитудной модуляции .ооооооо.

ЗРбЗЮМб ооооооо»о*о»»«****о«оа««*

Заключение диссертации по теме «Оборудование производства электронной техники», Коган, Иосиф Леонидович

РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ И ВЫВОДЫ

В ходе проведения работы получены новые теоретические и прикладные результаты.

1. Разработана теория верхнего предела измерения ионизационного преобразователя, основанная на теории ионизационного усиления Таун-сенда, в которой указывается связь м&жду характером зависимости ионного тока от давления, распределением электрического поля в межэлектродном пространстве и способом стабилизации тока эмиссии.

Теория позволяет:

- объяснить преимущество использования для расширения верхнего предела измерения стабилизации тока эмиссии в катодной цепи питания по сравнению со стабилизацией в анодной цепи;

- обосновать возможность управления ходом зависимости ионного тока от давления путем изменения величины тока эмиссии, при этом, исходя из распределения электрического поля в области ионизации, можно прогнозировать характер влияния тока эмиссии на эту зависимость;

- дополнить концепцию построения электродной системы преобразователя для измерения более высоких давлений - с целью снижения влияния фактора ионизационного усиления распределение потенциала в области ионизации должно представлять выпуклую вверх зависимость.

2. Предложено развитие теории методов модуляции ионного тока, включающее:

- классификацию, позволяющую большое разнообразие методов свести в соответствии с характером воздействия на формирование модулированного сигнала ионного тока к двум основным группам: разностный (дискретный) метод и метод амплитудной (амплитудно- импульсной) модуляции;

- общие соотношения разностного метода модуляции для оценки статической погрешности и нижнего предела измерения, а также переходного тока, вызванного переключением режима питания;

- формулировку условий и корректное доказательство возможности реализации метода амплитудной модуляции, при котором устраняется не только рентгеновский фон преобразователя, но и фон, вызванный электронно-стимулированной десорбцией ионов.

3. Проведенные экспериментальные исследования различных конструкций преобразователей Байарда-Альперта и с цилиндрическим внешним коллектором выявили:

- для обоих типов преобразователей существует оптимальное значение тока эмиссии, при котором характеристика преобразования линейна до более высокого давления;

- оптимальное значение тока эмиссии индивидуально для каждой конструкции к определяется ее геометрией и режимом напряжений питания;

- характер влияния величины тока эмиссии на линейность характеристики связан с формой распределения электрического поля в области ионизации и находится в соответствии с предложенной теорией верхнего предела измерения.

Научно-технические результаты работы. а. Впервые создан отечественный безмагнитный ионизационный пре

-\0 образователь, имеющий нижний предел измерения 2 ДО Па. б. На основании экспериментальных исследований преобразователей Байарда-Альперта и с цилиндрическим внешним коллектором:

- выработан подход к определению режима работы, позволяющий расширить верхний предел измерения;

- определены режимы работы ранее разработанных преобразователей, при которых их верхние пределы измерения превышают номинальные значения;

- найден путь оптимизации конструкции Байарда-Альперта, позволяющий без использования дополнительного электрода расширить диапазон измерения.

Во Обоснована целесообразность определения низких предельных давлений с учетом нормированного значения фонового тока или фонового давления. Из полученной зависимости между нижним пределом измерения, нормированным значением и возможным разбросом фонового тока (фонового давления) следует, что введение одной из указанных нормированных величин позволяет более чем на полпорядка расширить нижний предел измерения. г. Показана возможность использования в ионизационном преобразователе ненакаливаемого катода на основе тонкопленочной системы металл-диэлектрик-металл с диэлектриком из оксинитрида кремния. Предложен оригинальный принцип построения электродной системы, учитывающШ особенности этого катода. д. Получены формулы и универсальные графики для расчета электростатических ловушек типа цилиндрического конденсатора, используемых для защиты электродных систем преобразователей от попадания заряженных частиц тепловых энергий при работе в космическом пространстве. е. Разработаны и изготовлены:

Ю- ВДЙ-57 (2о 10 - 1.10 Па) - сверхвысоковакуумный преобразователь экстракторной конструкции с использованием подавления тока фотоэлектронной эмиссии с коллектора ионов, ОКР принята Госкомиссией, преобразователь рекомендован к производству;

-9

- ДМЙ-55 (7.10 - I Па) - широкодиапазонный преобразователь Бай-арда-Альперта с модулятором (модификация ПШ-39-2), преобразователь включен в Госреестр средств измерения, документация передана на серийный завод-изготовитель;

-9

- ЦЦЙ-59 (5оЮ - I Па) - широко диапазонный преобразователь Бай-арда-Альперта без использования модулятора, испытаны опытные образцы;

170

-5

- ПШ-45 (5.10 - I Па) -.преобразователь стержневой конструкции для измерения давления в верхних слоях атмосферы и космосе, выпускается мелкими партиями, используется в геофизических исследованиях, установлен на орбитальной космической станции "Мир";

-8 -г

- ПМЙ-47 (5.10 - 1.10 Па) - преобразователь Байарда-Альперта для измерения давления в космосе, ОКР принята заказчиком, образцы переданы для проведения экспериментов;

-ц

- преобразователь с ненакаливаемым ЩМ- катодом (1.10 - I Па) оригинальной конструкции, опытная партия прошла технические испытания в ИСЭ СО РАН, используется для контроля давления в камерах ускорителей.

Проведенный анализ физических принципов работы, существующих конструкций и методов измерения, разработанные новые теоретические положения и экспериментальные исследования, включающие использование новых ненакаливаемых тонкопленочных катодов, позволили не только разработать современные высоковакуумные и еверхвысоковакуум-ные преобразователи общего и специального назначения, но и создают основу для дальнейшего развития этого направления вакуумметрии.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Коган, Иосиф Леонидович, 1999 год

1. Кузьмин В.В., Творогов И.В., Левина Л.Е. Вакуумметрическая аппаратура техники высокого вакуума и течеискания. М.: Энергоатомиздат, 1984. - 240с.

2. Redhead Р.А. The Sensitivity of Bayard-Alpert Gauges. J. Vac. Sci. Techn., 1969, v.6, №5, p.56-62.

3. Redhead P.A. New Hot-Filament Ionization Gauge with Low Residual Current. J. Vac. Sci. Techn., 1966, v.3. №4, p.173-180.

4. Pittaway L.G. Methode de conception des jauges a extraction a I'aide de I'ordinateur. Le Vide, 1970, №147, p.146-154.

5. Грошковский Я. Техника высокого вакуума: Пер.с польск. М.: Мир, 1975.-622с.

6. Close K.J., Yarwood J. A precision electron emission regulator. Vacuum, 1972, v.22, №2, p.45,46.

7. Моргулис Н.Д. Теория ионизационного манометра. ЖТФ, 1931, т.1, №1,с.51-63.

8. Моргулис Н.Д. К теории ионизационного манометра. ЖТФ, 1933, т.З, №8, с. 1276-1281.

9. Хавкин Л.П. К теории ионизационного манометра. ЖТФ, 1956, т.26, №10, с.2356-2360.

10. Мак-Даниэль И. Процессы столкновений в ионизационных газах: Пер. с англ. М.: Мир, 1967. - 832с.

11. Хастед Дж. Физика атомных столкновений: Пер. с англ. М.: Мир, 1965.-710с.

12. Pittaway L.G. Electron trajectories in ionization gauges. J. of Physics D: Appl. Phys, 1970, v.3, №7, p.1113-1121.

13. Blechschmidt D. A miniature extractor gauge for the UHV. J. Vac. Sci. Techn., 1974, v.11, №16, p.1160-1165.

14. Watanabe F. Point collector ionization gauge with spherical grid for measuring pressures below 10"11 Pa. J. Vac. Sci. Techn. A, 1987, v.5, №2, p.242-248.

15. Wood S.D., Tilford C.R. Long-term stability of two types of hot cathode ionization gauges. J. Vac. Sci. Techn. A, 1985, v.3, №3, p.542-545.

16. Poulter K.F., Sutton C.M. Long term behaviour of ionization gauges. Vacuum, 1981, v.31, №3, p.147-150.

17. Jousten К., Röhe P. Instability of the spatial electron current distribution in hot cathode ionization gauges as a source of sensitivity changes. J. Vac. Sei. Techn. A, 1995, v.13, №4, p.2266-2270.

18. Лекк Дж. Измерение давления в вакуумных системах: Пер. с англ. М.: Мир, 1966, 208с.

19. Edelmann Chr. Glühkathoden-Ionisationsmanometer für hohe Drücke im Vakuumbereich. Vakuum in der Praxis, 1991, №4, s.290-296.

20. Гапонов В.И. Электроника. Часть I. M.: Физматгиз, 1960,516с.

21. Grosse G., Harten U„ Jitschin W., Gentsch H. Secondary electrons in ion gauges. J. Vac. Sei. Techn. A, 1987, v.5, №5, p.3242-3243.

22. Harten U., Grosse G., Jitschin W., Gentsch H. Surface effects on the stability of hot cathode ionization gauges. Vacuum, 1988, v.38, №3, p.167-169.

23. Tilford C.R. Sensitivity of hot cathode ionization gages. J. Vac. Sei. Techn. A, 1985, v.3, №3, p.546-550.

24. Рентгеновские лучи: Пер. с нем. М.: Инострлитература, 1960.-468с,

25. Мишетт А. Оптика мягкого рентгеновского излучения: Пер. с англ. М.: Мир, 1989. - 352с.

26. Redhead P.A., Hobson J.P. Total pressure measurements below 10"10 torr with non-magnetic ionization gauges. Brit. J. Appl. phys., 1965, v. 16, p. 1555-1566.

27. Pittaway L.G. The design and operation of a new extractor gauge for UHV pressure mesurements. Vacuum, 1974, v.24, №7, p.301-305.

28. Schütze H.J., Ehlbeck H.W. The X-ray Limit in Ionization Gauges. Trans, of the EIGHTH Nat. Vac. Symp., 1961, Pergamon press, v. 1, p.451-459.

29. Naler L. Proc. 7-th Intern. Vac. Congr. and 3rd Intern. Conference of Solid Surfaces, Vienna, 1977, p.199.

30. Соммер А. Фотоэмиссионные материалы: Пер. с англ. М.: Энергия, 1973. - 176с.

31. Gentsch Н. Inertes lonisationsvakuummeter mit extrahierendem Kollector (EXKOLL). Vakuum-Techn., 1987, Bd36, H.3, s.67-74.

32. Redhead P.A. Ultrahigh vacuum pressure measurements: Limiting processes. J. Vac. Sei. Techn. A, 1987, v.5, №5, p.3215-3223.

33. Edelmann Chr. Über den Einfluß von Elementarprozessen an Festkörperoberflächen auf die Druckanzeige von Glühkatoden-lonisationsmanometem. Wiss. Z. Techn. Univers. Dresden, 1978, Bd27, H.2, s.309-314.

34. Han S.W., Jitschin W., Röhl P., Grosse G. Performance of the bent beam ionization gauge in ultrahigh vacuum measurements. Vacuum, 1988, v.38, №12, p.1079-1082.

35. Hseuh H.C., Lanni C. Summary Abstract: A thin-collector Bayard-Alpert gauge for 10"12 Torr vacuum. J. Vac. Sei. Techn. A, 1987, v.5, №5, p.3244-3246.

36. Schylz G.J. Characteristics of the Bayard-Alpert Ionization Gauge at Pressures abobe 10^ mm Hg. J. Appl. Phys., 1957, v.28, №10, p.1149-1152.

37. Schylz G.J., Phelps A.V. Ionization Gauges Measuring Pressures up to the Millimeter Range. Rev. Sei. Instr., 1957, v.28, № 12, p.1051-1055.

38. Peacock R.N., Peacock N.T. Sensitivity variation of Bayard-Alpert gauges with and without closed grids from 10'+ to 1 Pa. J. Vac. Sei. Techn. A, 1990, v.8, №4, p.3341-3344.

39. Peacock R.N., Peacock N.T. The effects of closed grid ends and emission current on the sensitivity of B-A gauges in the range 1CTV to 1 Pa. -Vacuum, 1990, v.41, №7-9, p.2139.

40. Reich G, Schulz W. Probleme bei Verwendung von lonisationsvakuummetern im Druckbereich oberhalb 10"* Torr. Proc. 4 -Intern. Vac. Congr., Manchester, 1968, p.661-665.

41. Энгель А. Ионизованные газы: Пер. с англ. ~М.: Физматгиз, 1959.-332с.

42. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992.535с.

43. Kuo Y.H. An approach to the non-linearity of an ionization vacuum gauge at the upper limit of the measured pressure. Vacuum,1981, v.31, №7, p.303-308.

44. Edelmann Chr., Kiessling J. Zur oberen Druckmeßgrenze von Glükatoden-Ionisationsmanometern. Exp. Technik der Phys., 1978, Bd26, №5, s.569-577.

45. Kudzia J., Slowko W. Numerical method of calculating ion current in a high pressure ionization gauge. Vacuum, 1981, v.31, №8/9, p.359-363.

46. Ohsako N. A new wide-range B-A gauge from UHVto 10"1 Torr. J. Vac. Sei. Techn., 1982, v.20, №4, p.1153-1155.

47. Wang Yu-zhi. A fundamental theory of high pressure hot cathode ionization gauges. Vacuum, 1984, v.34, №8/9, p.775-778.

48. Sutton C.M., Poulter K.F. A new reference ionization gauge for vacuum pressure measurement in the range 10"* to 1 Pa. Vacuum,1982, v.32, №5, p.247-251.

49. Hirata M., Ono M. Pressure dependence of the sensitivity of a triode gauge. Vacuum, 1990, v.41, №7-9, p.2093-2095.

50. Hirata M„ Ono M. Reduction of space charge effect on the sensitivity of a triode gauge. J. Vac. Sci. Techn. A., 1991, v.9, №3, p. 1986-1990.

51. Творогов И.В. Ионизационный манометрический преобразователь со стабильной чувствительностью. IV Всесоюзная научно-техническая конференция "Физика и техника высокого вакуума", Тезисы докладов, Ленинград, 1974, с.126,127.

52. Redhead Р.А. Modulation of Bayard-Alpert gauges. J. Vac. Sci. Techn., 1967, v.4, №2, p.57-62.

53. Edwards D., Lanni C. Self-modulating ion gauge. J. Vac. Sci. Techn., 1980, v.17, №1, p.355-356.

54. Кузьмин В. В. Модуляция коллекторного тока в ионизационных вакуумметрах. Научные приборы, 1982, №2(25), с.36-45.

55. Chen J.Z., Suen C.D. An axial-emission ultrahigh vacuum gauge. J. Vac. Sci. Techn., 1982, v.20, №1, p.88-91.

56. Hua Z.Y. , Yang X.L., Qiu S.Y. and al. A group of terminal-flow UHV gauges. J. Vac. Sci. Techn., 1982, v.20, №4, p.1144-1147.

57. Chen J.Z., Suen C.D., Kuo Y.H. An axial emission self-modulating ion gauge. Vacuum, 1984, v.34, №6, p.641, 642.

58. Уэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума: Пер. с англ. -М.: Мир, 1988,- 366с.

59. Pittaway L.G. The design and operation of a new extractor gauge for UHV pressure measurements. Vacuum, 1974, v.24, №7, p.301-305.

60. Fujii Y., Inoue H., Mima H., Kanematsu F. Nude Type Modified Extractor Gauge. J. Vac. Soc, Jap., 1982, v.25, №4, p.179-181.

61. Fujii Y., Inoue H., Mima H., Kanematsu F. Modified extractor gauge. J. Vac. Sci. Techn. A, 1983, v.1, №1, p.90-94.

62. Schuemann W.C. A Photo-Current supressor gauge for the Measurement of verylow pressures. Trans, of the NINTH Nat. Vac. Symp. of the American Vac. society, 1962, p.428-430.

63. Schuemann W.C. Ionization Vacuum Gauge with Photocurrent supression. Rev. sci. instr., 1963, v.34, №8, p.700-702.

64. Chen N.Z., Suen C.D., Kuo Y.H. An Axial-Emission Supressor Gauge. J. Vac. Soc. Jap., 1982, v.25, №4, p.185-188.

65. Helmer J.C., Hayward W.H. Ion Gauge for Vacuum Pressure Measurements below 1 • 10-10 torr. Rev. sci. instr., 1966, v.37, №12, p. 1652-1654.

66. Benvenuti С., Hauer M. Improved Helmer gauge for measuring pressures down to 10"12 Pascal. Proc. 8th Int. Vac. Congr., Paris, 1980, v.2, p.199-202.

67. Suen C.D., Chen J.Z., Kuo Y.H. An axial-emission bent beam gauge. Vacuum, 1990, v.41, №7-9, p.1805, 1806.

68. Акцепторная заявка №20110-86 (Япония). Kn.H01J41/04. Ионизационный экстракторный манометр с электродом, модулирующим ионный ток: Авт. Ватанабэ Ф.

69. Watanabe F. Ion spektroscopy gauge: total pressure measurements down to 10"й Pa with discrimination against electron-stimulateg-desorption ions. J. Vac. Sei. Tech. A, 1992, v.10, №5, p.3333-3339.

70. Watanabe F. New type ionization gauge for UHV. J. Vac. Soc. Jap., 1981, v.24, №6, p.353-359.

71. Watanabe F., Hiramatsu S., Ishimaru H. Modulating Ion Current Pressure Gauge. J. Vac. Soc. Jap., 1982, v.25, №7, p.506-518.

72. Watanabe F., Hiramatsu S., Ishimaru H. Modulating ion current pressure gauge. Vacuum, 1983, v.33, №5, p.271-278.

73. Hara Y., Komaki S. Modulating Ion Vacuum Gauge SVC 8300 Series. - IONICS (Jap.), 1985, v.9, №119, p.43-50.

74. Watanabe F., Hiramatsu S., Ishimaru H. Using the modulating ion current gauge for total pressure measurements below 10'yo Torr without errors caused by electron-stimulated ion desorption. J. Vac. Sei. Techn. A, 1984, v.2, №1, p.54-56.

75. Watanabe F., Ishimaru H. Separation of gas phase and electron-stimulated-desorption ions in the modulated-ion-current pressure gauge. J. Vac. Sei. Techn. A, 1987, v.5, №5, p.2924-2926.

76. Meyer E.A., Herb P.G. Performance Study of the Orbitron Ionization Gauge. J. Vac. Sei. Techn., 1967, v.4, №2, p.57-62.

77. Edelmann Chr. Stand und Entwicklungstendenzen der Totaldruckmessung in der Vakuumtechnik. Vakuum-Techn., 1985, Bd34, H.6, s.162-180.

78. Айнбунд MP., Поленов Б.В. Вторичные электронные умножители открытого типа и их применение. М.: Энергоиздат, 1981.- 139с.

79. Li Wang-kui, Qin Ju-mei, Zhang Qi-znan, Ding Li-hua. Research on the measurement of ultra high vacuum. Proc. 8th Int. Vac. Congr., Paris, 1980, v.2, p.195-198.

80. Volter J., Berndt H., Kramp K.-D. Bayard-Alpert-Manometer mit La B5- Kathode und Kleiner-Emission. Vakuum-Techn., 1966, Bd15, №1/2, s.17-19.

81. Брандер Р.У., Тодхилл А. Холодные катоды из карбида кремния. Карбид кремния. (Сборник статей): Пер. с англ - М ' Мир1972. с.271-278.

82. Dobrott J R., Oman R.M. An ionisation gauge using a Sic p-n junction electron emitter. J.Vac. Sci. Teehn., 1970, v.7, №1, p.214,215.

83. Windsor E.E. A sensitive high vacuum gauge using an electron multiplier. Vacuum, 1970, v.20, №1, p.7-9.

84. Воробьев Г А. и др. Авт. свид. СССР №510982 от 18.12.1975.вб.Янкелевич Ю.Б. Тонкопленочная система металлдиэлектрик-металл в режиме ненакаливаемого источника электронов. Изв. АН СССР, серия физическая, 1979, т.43, №3, с.547-552.

85. Хатников В.И., Янкелевич Ю.Б. Исследование потока электронов из МДМ-катода. Электронная техника, 1978, вып. 7, №4, с.21-24.

86. Смирнов В.И. Курс высшей математики, т. IV, ч.1. М.: Наука, 1974. -336с.

87. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда. Пер. с англ. М.: Атомиздат, 1961. - 323с.

88. Watanabe F., Hiramatsu S., Ishimaru H. A modulated-emission pressure gauge system. Vacuum, 1984, v.34, №6, p.673,674.

89. Бочевский B.B. и др. Автоматический цифровой вакуумметр с безнакальным ионизационным преобразователем. ПТЭ, 1988, №4, с.126-128.

90. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппаратостроении. /Под ред. Г.Л.Саксаганского. М.: Атомиздат, 1976. - 288с.

91. Лаврентьев М.А., Шабат Б.В. Методы теории функций комплексного переменного. М.: Наука, 1973. - 736с.

92. Нейман Л.Р., Демирчян Н.С. Теоретические основы электротехники, т.2. Л.: Энергия, 1967. - 408с.

93. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика, т.1. М.: Наука, 1973. -215с.

94. Крылов В.И. Приближенное вычисление интегралов. М.: Наука, 1967.-500с.

95. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко ЕА. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1979. - 504с.

96. Пенчко Б.А. Воздухостойкий ионизационный манометр.-ПТЭ, 1961, №1, с. 170-173.

97. Коган И.Л. Вопросы расширения верхнего предела измерения ионизационных преобразователей давления.-Сб. тезисов докладов «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1994,с.114.

98. Коган И.Л. Теоретический анализ верхнего предела измерения ионизационного преобразователя давления .- ВТТ, 1966, №1, с.3-8.

99. Коган И.Л. Ионизационный преобразователь давления с диапазоном измерения 5.10 -1Па. ВТТ,1997, №3.с. 12-17

100. Коган И. Л. Теоретические аспекты методов модуляции ионного тока в ионизационных преобразователях давления.-ВТТ, 1998, №3, с.25-30

101. Коган И.Л., Ничипорович Г.А. Ионизационный преобразователь с нижним пределом измерения 10 Па.-ВТТ,1992,№2,с. 5-9

102. Коган И. Л. и др. Исследование верхнего предела измерения давления ионизационных преобразователей Байарда-Альперта- Тезисы докладов конференции «Физика и техника высокого вакуума», Л. Л 985 (часть2), с. 173.

103. Коган И.Л. Работа высоковакуумных ионизационных преобразователей в области верхнего предела измерения,- ВТТ, 1996,№3,с. 16-22

104. Коган И.Л. Ионизационный преобразователь давления на диапазон измерения 10 -1Па. Сб. тезисов докладов «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, 1994, с. 107

105. Алексеев М.К. и др., Коган И.Л. Аппаратура для измерения термобарических параметров верхней атмосферы земли,- Труды 5 Всесоюзного совещания по исследованию динамических процессов в верхней атмосфере, Москва, 1985, с.258-261.

106. Донской И.А., Коган И.Л. и др. Электронный ионизационный преобразователь давления.- А.с.№1462130,1988г.