Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.07, кандидат технических наук Угольников, Сергей Викторович

• Угольников, Сергей Викторович
• кандидат технических наук
• 1998

Оглавление диссертации кандидат технических наук Угольников, Сергей Викторович

СОДЕРЖАНИЕ

Стр.

Введение

1. Обработка поверхности твёрдого тела потоком

твёрдых частиц

1.1. Виды обработки поверхности

1.2. Обработка различных материалов, состояние поверхности

1.3. Используемые модели взаимодействия частиц с поверхностью. Недостатки существующих моделей

Выводы по разделу 1

2. Динамическое взаимодействие частиц различной конфигурации с поверхностью

2.1. Динамическое состояние частиц в потоке

2.2. Напряжённо-деформированное состояние поверхностного слоя

при воздействии частиц на поверхность

2.3. Износ частицы при её взаимодействии с поверхностью

2.4. Взаимодействие потока частиц с поверхностью

2.5. Температурное поле на поверхности обрабатываемой детали

3. Методы исследования, оборудование

3.1. Установка измерения прочности частиц порошков и облоя

3.2. Установка измерения динамической твёрдости материалов

3.3. Установка измерения динамических характеристик пластин из различных материалов при ударном локальном возбуждении

3.4. Установка обработки микроприборов потоками твёрдых частиц

Выводы по разделу 3

4. Исследование процесса финишной обработки микро -приборов в пластмассовых корпусах потоком твёрдых частиц

4.1. Структурные дефекты элементов микроприбора

4.2. Анализ прочности выводов и сцепления облоя с выводами

4.3. Рельеф поверхности выводов и корпуса микроприбора

после обработки

4.4. Рекомендации по оптимизации технологического процесса обработки микроприборов потоком твёрдых частиц

Выводы по разделу 4 ----------------------------

Общие выводы

Литература

Приложение

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц»

Введение

Обработка поверхности материалов потоком твёрдых частиц является широко используемым технологическим процессом в металлургии, машиностроении, приборостроении. Такой вид обработки позволяет решить ряд задач — очистка поверхности от загрязнения, придание ей декоративного вида, очистка литья, размерная обработка, упрочнение поверхностного слоя и т. д. [1 - 5].

Подобный технологический процесс находит применение в микроэлектронике в производстве микроприборов с пластмассовым корпусом на этапе финишной обработки.

Основная цель процесса - удаление дефектов в виде заусенцев и об-лоя, повышение качества поверхности и декоративных свойств приборов.

Требования к порошкам, используемым в обработке микроприборов -химическая инертность материала порошка, твёрдость частиц выше твёрдости обрабатываемых материалов, размер частиц значительно меньше размера наименьших элементов приборов (<200 мкм), подвергаемых обработке.

Обрабатываемыми элементами прибора являются металлические элементы (вывода) и пластмассовый корпус. Поверхность металлических выводов в исходном состоянии соответствует поверхности листа после прокатки с развитым рельефом, где присутствует большое число структурных дефектов в виде трещин и рисок.

Поверхность пластмассового корпуса микроприбора после прессования имеет сложный рельеф и также не отличается высоким качеством.

Существующий технологический процесс обработки микроприборов обладает рядом существенных недостатков. Он дорогой, малопроизводительный, требует специальных экзотических порошков. Такие порошки представляют собой косточковую крошку от абрикосов с размером частиц

500-2500 мкм. Крупные частицы порошка часто разрушают элементы выводов приборов, поскольку размер этих элементов меньше размера бомбардирующей частицы. Удар массы крупных частиц по прибору приводит к высоким динамическим напряжениям, что в ряде случаев заканчивается разрушением элементов микросхемы.

Качество обработки определяется и структурными изменениями. Так при ударе частицы о поверхность в зоне воздействия формируется очаг пластической деформации с импульсным изменением температуры [40].

В связи с высокой конкуренцией на рынке микроприборов задача снижения стоимости процесса с заметным повышением качества обработки приборов крайне актуальна. Это объясняется и тем, что микроприборы в пластмассовых корпусах являются массовыми, поскольку они дешёвые и их применение чрезвычайно широкое. Следовательно оптимизация технологического процесса — задача, включающая комплекс исследований, в том числе динамики напряжённо-деформированного состояния микроприборов, структурных изменений материалов, механо-физических явлений в зоне взаимодействия бомбардирующей частицы с поверхностью.

На сегодняшний день во многих работах предпринята попытка разработать теорию процесса взаимодействия потока частиц с поверхностью материала [6 - 10]. Однако приемлемой теории, позволяющей понять явление в момент взаимодействия частицы с поверхностью нет, а следовательно нет и подходов к выбору оптимальных режимов обработки.

Цель работы: Исследование процесса взаимодействия потока твёрдых микрочастиц с поверхностью материала, разработка технологических рекомендаций и оптимизация процесса финишной обработки микроприборов.

Актуальность работы определяется необходимостью повышения качества обработки и снижения её себестоимости.

Новизна исследования заключается в разработке теоретических положений и определения принципов выбора режимов обработки микроприборов, размеров частиц и материала обрабатывающего порошка.

Научное и прикладное значение:

1. Разработана методика выбора размера частиц и её геометрии.

2. Разработана методика анализа разрушения облоя на элементах микроприборов.

3. Разработана методика оценки прочности микрочастиц порошка.

4. Разработана методика оценки температуры в очаге взаимодействия частиц с поверхностью.

5. Разработана более дешёвая технология, основанная на использовании мелкофракционных природных порошков окислов с овальной формой частиц.

На защиту выносятся:

1. Результаты исследования воздействия частиц порошка на поверхность элементов прибора.

2. Результаты исследования состояния поверхности элементов прибора.

3. Результаты исследования свойств порошка в процессе обработки поверхности прибора.

Результаты исследований изложены в диссертации следующим образом. Первый раздел посвящён обработке поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц. Рассмотрены виды обработки поверхности, обработка различных материалов, состояние поверхности, используемые модели взаимодействия частиц с поверхностью и недостатки существующих моделей.

Во втором разделе исследуется динамическое взаимодействие частиц различной конфигурации с поверхностью. Рассмотрены следующие вопросы: динамическое состояние поверхностного слоя при воздействии

частиц на поверхность, износ частицы при её взаимодействии с поверхностью, взаимодействие потока частиц с поверхностью, температурное поле на поверхности обрабатываемой детали.

В третьем разделе представлены методы исследования и оборудование. Приводятся схемы и описываются принципы действия установок измерения прочности частиц порошков и облоя, измерения динамической твёрдости материалов, измерения динамических характеристик пластин из различных материалов при ударном локальном возбуждении, обработки микроприборов потоками твёрдых частиц.

Четвёртый раздел посвящен изучению процесса финишной обработки микроприборов в пластмассовых корпусах потоком твёрдых частиц. Рассматриваются структурные дефекты элементов микроприбора. Проводится анализ прочности выводов и сцепления облоя с выводами. Исследован рельеф поверхности выводов и корпуса микроприбора после обработки. Даются рекомендации по оптимизации технологического процесса обработки микроприборов потоком твёрдых частиц.

В заключении приведены общие выводы по результатам исследования.

Результаты работы внедряются на А. О. "Ангстрем".

Отдельные положения работы докладывались на межвузовских научно-технических конференциях "Микроэлектроника и информатика" в 1996,1997, 1998 годах.

По теме диссертации опубликованы 2 статьи.

Автор выражает благодарность научному руководителю профессору Тимофееву Владимиру Николаевичу, а также преподавателям и сотрудникам кафедры "Техническая механика" за помощь во время работы над диссертацией.

1. Обработка поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц

1.1. Виды обработки поверхности

В настоящее время остается актуальной задача разработки технологии обработки поверхностей различных изделий потоком твёрдых частиц. Это связано с тем, что улучшение качества продукции, повышение её надёжности и долговечности в значительной степени зависят от чистоты поверхностей, как обрабатываемых, так и необрабатываемых. Немалое значение имеет чистота и подготовленность поверхностей для последующих металлических и неметаллических покрытий — как способа улучшения антикоррозионных и других особых свойств деталей [1 - 18].

Обработку поверхности потоком твёрдых частиц применяют практически во всех отраслях промышленности различными методами [14, 19-39].

Очистку металлических деталей, отливок, поковок, используемых в строительстве и производстве строительных материалов осуществляют дробеструйным, гидродробеструйным и дробемётным методами [19, 20, 29, 30, 32]. Целью такой обработки является очистка и подготовка поверхности для нанесения антикоррозионных материалов. После дробеструйной или дробемётной обработки поверхность становится шероховатой с высотой микровыступов в металле до 50 мкм, а в камне 75-100 мкм. Такой рельеф способствует лучшей адгезии с антикоррозионными составами покрытия [31].

В основном обработке подвергаются изделия из стали. Это элементы каркаса зданий и сооружений (колонны, балки, прогоны,

фермы, мосты, башни, эстакады); элементы ограждения (ёмкости, резервуары для воды, нефти, газа); трубы разного назначения; арматура, различные закладные и соединительные части для железобетона, древесины, пластмасс [14, 19, 20, 31].

В литейном производстве применяется дробеструйная или дробе-мётная обработка отливок с целью удаления заусенцев и пригара. Такая обработка обеспечивает достаточно высокую чистоту поверхности и несколько увеличивает ее шероховатость, что способствует росту сцепления покрытия с деталью и повышению стойкости покрытия. При механической обработке отсутствие на деталях пригара и окалины благоприятно сказывается на стойкости режущего инструмента [21 - 32].

В машиностроении обработка поверхностей деталей потоком твёрдых частиц осуществляется с целью устранения дефектов на поверхности, повышения твёрдости поверхностного слоя, создания микрорельефа при подготовке поверхности к нанесению покрытия. Для такой обработки используются дробеструйные, гидродробеструйные, гидропневмодробеструйные и дробемётные методы. Данная обработка обеспечивает повышение износостойкости, сопротивления усталости, контактной выносливости и других эксплуатационных свойств обрабатываемых деталей на 20-50% [30]. Наиболее часто обрабатывают потоком твёрдых частиц тяжелонагруженные детали машин и механизмов, от работоспособности которых зависят надёжность и долговечность изделий в целом. Так, например, в автомобилестроении дробеструйной и дробемётной обработке подвергаются детали сложной конфигурации (пружины, рессоры, шатуны, лопатки), которые невозможно обрабатывать другими методами [29, 33, 34, 37, 40, 56, 57, 59].

В приборостроении и производстве изделий электронной техники обработка поверхностей деталей потоком твёрдых частиц применяется в

основном для подготовки поверхности к нанесению покрытия, маркировки, придания поверхности соответствующего внешнего вида, что способствует повышению коррозионной стойкости деталей [3,7, 11, 12, 13].

В машиностроении, как и в приборостроении, используются детали, изготовленные из пластмасс. Такие детали также подвергаются обработке потоком твёрдых частиц с целью удаления заусенцев, облоя, литников [41, 42].

Для удаления глянца с поверхности пластмассовых деталей, что обеспечивает требуемую адгезию лакокрасочного покрытия, используют дробеструйную обработку [50].

Из указанных выше методов обработки наиболее широко используются два основных — дробеструйная и дробемётная очистка, отличающиеся способом сообщения скорости твёрдым частицам [29, 30, 32]. В дробемётных установках частицы приобретают требуемую скорость в аппаратах метательного (роторного) типа, а в дробеструйных установках — в аппаратах струйного типа, использующих энергию сжатого воздуха [27, 29, 30, 32].

Частным случаем дробеструйного являются гидродробеструйный и гидропневмодробеструйный методы. Источником кинетической энергии в этих случаях выступают жидкость и газ с жидкостью соответственно [30, 40, 43].

Дробемётная и дробеструйная очистки близки по технологическому назначению, но отличаются по эксплутационным показателям: энергоёмкости, степени механизации и производительности оборудования, условиям труда, конструктивной сложности оборудования [28 - 34].

В энергетическом отношении дробеструйная очистка значительно уступает дробемётной. Для сообщения заданной скорости 1 кг дроби в дробеструйном аппарате требуется в 8-12 раз больше энергии, чем в

дробемётном, вследствие низкого КПД компрессоров, питающих заводскую магистраль сжатым воздухом, потерь в подводящих трубопроводах и главное, неполного использования энергии воздушного потока в сопле. По производительности дробеструйные аппараты также уступают дробемётным [29].

Дробемётные аппараты не только не требуют, но даже не допускают участия оператора в процессе очистки, т. е. в принципе являются автоматами. Эксплуатация дробеструйных аппаратов практически невозможна без оператора, вынужденного находиться непосредственно около зоны очистки, для которой характерны повышенный уровень шума и запыленность воздуха, близкая к предельно допустимой по санитарным нормам [29, 30].

Достоинства дробеструйной очистки по сравнению с дробемётной состоят в относительной простоте и более высокой эксплуатационной гибкости оборудования. Дело в том, что дробемётные установки помимо собственно дробемётного аппарата обязательно имеют комплекс устройств для циркуляции дроби в системе (бункер-сборник, элеватор, промежуточные транспортёры), а также устройства для перемещения деталей относительно факела дроби (подвесной транспортёр в камере непрерывного действия, вращающийся стол на тележке или тележку на поворотном круге в камере периодического действия) [30, 32].

В дробеструйных установках перечисленные элементы могут отсутствовать, что упрощает конструкцию, снижает их стоимость и высвобождает производственную площадь. Эти достоинства во многих случаях оказываются решающими, в особенности для мелких и средних цехов с небольшим годовым объёмом производства [30].

В данной работе нас будет интересовать только дробеструйная обработка поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц. Под

твёрдыми частицами будем понимать химически инертные в условиях технологического процесса металлическую дробь, песок, кварцевый песок, порошки из микросфер, порошки из косточковой крошки [44 - 49].

Рассмотрим оборудование для обработки деталей потоком твёрдых частиц. Установки для обработки состоят из дробеструйного аппарата с механизмом подачи деталей под струю частиц и вспомогательных устройств (циклонов, систем вентиляции, фильтров). Так как никакой разницы в конструкции и принципе действия между аппаратами, работающими на дроби, металлическом и кварцевом песке, порошке из косточковой крошки нет, то все они в дальнейшем для краткости будут называться дробеструйными [29, 30].

Дробеструйные аппараты преобразуют потенциальную энергию сжатого воздуха, поступающего из цеховой пневмомагистрали, в кинетическую энергию потока твёрдых частиц. В промышленности распространены аппараты двух систем: всасывающей и нагнетательной [29-31].

В аппаратах всасывающей системы (рис. 1.1) струя воздуха, поступающего из магистрали 5 в смесительную камеру 4, создает разряжение как в камере, так и в патрубке 6. Благодаря эжекции, в патрубок 6 засасывается атмосферный воздух, который и транспортирует частицы из бункера в смеситель 4. Здесь частицы подхватываются потоком воздуха, поступающего из основной магистрали, направляются в сопло 3 и затем, в виде струи 2, на поверхность детали 1.

В аппаратах нагнетательной системы (рис. 1.2) частицы из бункера 4 через клапан 3 попадают в бункер 2, находящийся под давлением воздуха (рис. 1.2а). Из бункера 2 частицы поступают в смесительную камеру 1 под действием сжатого воздуха и подхватываются потоком воздуха, который поступает из магистрали по шлангу 5. Смесь воздуха с

Рис. 1.1. Схема аппарата всасывающей системы: 1 — поверхность детали; 2 — струя частиц; 3 —сопло; 4 — смесительная камера; 5 — воздух, поступающий из магистрали;6 — патрубок

Рис. 1.2. Схема аппарата нагнетательной системы (а) и сопла (б): 1 - смесительная камера; 2 — бункер; 3 - клапан; 4 - бункер; 5,6 - шланги; 7 - сопло; 8 — струя частиц; 9 — поверхность детали

частицами по шлангу 6 поступает к соплу 7 (рис. 1.26) и затем в виде струи 8 направляется на поверхность 9.

В аппаратах обеих систем количество частиц, выбрасываемых в зону очистки в единицу времени ("производительность по частицам"), не регулируется и зависит от давления воздуха в магистрали, конструкции и диаметра проточной части сопла, характера применяемых частиц и других факторов. Однако в аппаратах нагнетательной системы при прочих равных условиях расход воздуха на 15-25% выше и, следовательно, несколько выше производительность по частицам [29].

В литейном производстве и машиностроении используются дробеструйные установки, технические характеристики которых представлены в табл. 1.1 [28 - 31].

Таблица 1.1 Характеристики дробеструйных установок

Показатель Г-147 Г-146 Г-93А Г-47 Г-148

Масса детали, кг 10-15 —- 10 0,5 0,5

Габаритные размеры детали, мм — 1,5x2,5 0,4x0,7 — —

Масса загрузки, кг — — — 25-50 150

Масса частиц в бункере, кг 250 250 100 100 150

Давление воздуха в сети, атм 5-6 5-6 4-5 4-5 4-5

Расстояние от сопла до обра- 150-250 150-250 100-150 100-150 100-150

батываемой поверхности, мм

Угол между направлением струи и обрабатываемой поверхностью не менее 45°.

В электронной промышленности для очистки поверхности микросхем в пластмассовом корпусе от облоя используется установка

снятия облоя, представляющая собой аппарат всасывающей системы [38, 39]. Установка имеет следующие характеристики: Масса обрабатываемой детали, кг — 0,02-0,05 Габаритные размеры детали, мм — 230x30; 230x65 Масса частиц в бункере, кг — 10-30

Давление воздуха в сети, атм. — 4-6 Расстояние от сопла до

обрабатываемой поверхности, мм — 90-110.

В авиационной промышленности обработку пластмассовых деталей с целью удаления глянца с поверхности осуществляют также на дробеструйных установках с параметрами обработки [50]: давление воздуха в подводящем воздухопроводе 1-3 атм, расстояние от сопла до обрабатываемой поверхности 50-150 мм, скорость перемещения сопла относительно обрабатываемой поверхности 0,03-0,05 м/с.

Сопло является одной из наиболее ответственных деталей дробеструйной установки. От конструкции, размеров проточной части и материала, из которого изготовлено сопло, существенно зависит производительность дробеструйной обработки [29, 30, 51].

Диаметр проточной части сопла определяет производительность аппарата по частицам (расход частиц), расход сжатого воздуха и производительность процесса обработки. Эти данные могут колебаться в широких пределах в зависимости от технологических и эксплуатационных факторов: фракционного состава частиц, типа аппарата, длины сопла, диаметра подводящих воздухопроводов, требуемого качества поверхности и материала обрабатываемых деталей, их конфигурации и т. д. [30, 31]. Это подтверждают данные, приведённые в табл. 1.2 - 1.4.

Таблица 1.2

Расход дроби (песка) (кг/ч) [30]

Частицы Диаметр сопла, мм

6 8 10 12 14 16 18 20 22

Чугунный песок 100 135 185 230 280 345 400 460 530

Кварцевый песок 40 55 75 95 115 140 160 185 215

Примечание: давление воздуха в магистрали 4-5 атм.

Таблица 1.3

•5

Расход сжатого воздуха аппаратами всасывающей системы (ж/ч) [30]

Давление воздуха в магистрали, атм Диаметр сопла, мм

8 10 12 14 16 18 20

5 180 265 330 415 480 540 560

4 145 210 280 350 410 450 475

3 120 170 230 290 340 365 420

Таблица 1.4

Производительность процесса обработки чугунным и кварцевым песком

(см2/мин) [30]

Давление воздуха в магистрали, атм Диаметр сопла, мм

8 10 12 14 16 20

5 670 710 740 770 755 630

4 545 585 610 630 620 540

3 420 460 485 500 500 440

Из таблиц следует, что по мере увеличения диаметра сопла и прочих равных условиях растёт расход частиц (дроби, песка) и воздуха, а также до определённых пределов и производительность процесса обработки.

Снижение производительности после достижения некоторого критического диаметра сопла можно объяснить увеличением бокового рассеяния частиц. При этом, в зависимости от размеров обрабатываемых деталей, определённое количество частиц перестаёт поступать в зону обработки, вследствие чего снижается не только производительность, но и экономичность процесса.

Кроме габаритных размеров деталей, на выбор диаметра сопла оказывают влияние размер основной фракции частиц, тип применяемого оборудования и давление воздуха в магистрали [29-31].

Многообразие этих факторов не позволяет дать однозначные рекомендации по выбору оптимального диаметра сопла, применительно к конкретным условиям производства.

На практике наиболее распространены сопла диаметром 6-12 мм. Меньшие значения рекомендуются для обработки мелких и средних деталей сложной конфигурации. Для обработки крупных деталей следует использовать сопла диаметром 10-12 мм [29, 30, 31, 52].

Далее рассмотрим технологии дробеструйной обработки поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц.

Процесс обработки деталей потоком твёрдых частиц характеризуется прежде всего материалом и гранулометрическим составом частиц, а также давлением сжатого воздуха и диаметром проточной части сопла.

В строительном, литейном производстве и машиностроении, по данным [29 - 31] для обеспечения высоких технологических и технико-

экономических показателей процесса обработки, металлические частицы должны удовлетворять следующим основным требованиям: а) материал, форма и размеры частиц должны соответствовать материалу обрабатываемых деталей и требованиям к качеству их поверхности; б) частицы должны иметь высокую очищающую способность (производительность) процесса; в) частицы должны иметь достаточно высокую износостойкость.

Очищающая способность частиц характеризуется площадью поверхности, очищенный в единицу времени, и зависит от формы и материала частиц. Частицы должны иметь остроугольную форму с числом граней не менее четырёх. Остроугольные зёрна по сравнению со сферическими обладают более высокой очищающей способностью. Именно поэтому металлический песок по сравнению с круглой дробью обеспечивает более высокую производительность процесса очистки [44, 45].

Исследования процесса очистки различных деталей и образцов чугунным, стальным и кварцевым песком показали, что производительность при использовании чугунного и кварцевого песка примерно одинакова, а при использовании стального песка примерно на 10% выше. В табл. 1.5 приведены основные свойства металлических частиц и кварцевого песка, используемых для очистки поверхности деталей в литейном производстве, строительстве, машиностроении [30, 44 -49].

Таблица 1.5

Основные свойства металлических частиц и кварцевого песка

Частицы Твердость зерна НВ, кг/мм2 Форма зерна Хрупкость, склонность к раскалыванию

Дробь из отбеленного чугуна 300-500 Сферическая (круглая) Имеется

Чугунный песок, колотый из дроби 300-500 Многогранная остроугольная Имеется

Чугунный песок из стружки после механической обработки до 250 Многогранная остроугольная Повышенная

Стальной литой песок из стали Ц18Н9Т до 180 Каплеобразная Отсутствует

Стальной песок, колотый из дроби с 20% до 300 Многогранная остроугольная Имеется

Алюминиевый песок из стружки до 70 Многогранная остроугольная Незначительная

Алюминиевый литой песок с 5-7% Бе до 100 Каплеобразная Незначительная

Алюминиевый песок из расплава до 70 Кристаллическая Незначительная

Кварцевый песок Наибольшая из всех песков Многогранная остроугольная Наибольшая из всех песков

Износостойкость частиц характеризуется их способностью длительно сохранять высокие очищающие свойства. Острые грани частичек от многократного соприкосновения с обрабатываемой поверхностью притупляются и частично теряют очищающую способность. Износ и округление острых граней, а также интенсивность измельчения частиц и превращение их в более мелкие фракции и пыль зависит прежде всего от материала частиц и их механических свойств.

В [30] приведён анализ выбора материала твёрдых частиц для обработки деталей, изготовленных из различных материалов. Все материалы разбиты на три группы:

1) Железоуглеродистые сплавы (конструкционные и низколегированные стали и чугуны).

2) Специальные сплавы (высоколегированные коррозионностойкие, жаропрочные и жаростойкие сплавы и стали).

3) Цветные сплавы.

Обработка (очистка) деталей из конструкционных и низколегированных сталей и чугунов обычно производится чугунным или стальным песком (дробью).

Детали из большинства железоуглеродистых сплавов — чугуна, малоуглеродистой стали, легированной стали и других после обработки (очистки) чугунным, стальным и кварцевым песком имеют одинаковую коррозионную стойкость.

При прочих равных условиях уменьшение размера основной фракции частиц, несколько снижая производительность процесса, в то же время обеспечивает повышение чистоты обрабатываемой поверхности.

Наилучшие результаты очистки отливок из чёрных сплавов под последующую механическую обработку или грунтовку обеспечивает песок или дробь фракций 1,5-2 мм. Для очистки стальных заготовок деталей и инструмента наиболее целесообразно применять песок фракций 0,5-1,0 мм. Для очистки деталей под высокопрочные и гидростойкие покрытия следует использовать песок фракций 0,3 мм.

Для обработки деталей из коррозионностойких сталей, жаростойких сплавов чугунный песок непригоден. Поверхности деталей из этих материалов после очистки чугунным песком имеют жёлтый оттенок, который в дальнейшем усиливается. После испарения влаги на деталях можно видеть сильную поверхностную коррозию. Однако, после обработки кварцевым песком такие детали не корродируют. Всё это

говорит о способности твёрдых частиц чугуна внедряться в поверхность деталей из специальных сталей, создавая условия для коррозии [30, 44].

Чугунный песок непригоден также и для очистки деталей из специальных сталей и сплавов под последующие покрытия.

Наиболее удовлетворительные результаты получены при очистке деталей из нержавеющих и жаропрочных сталей высококремнистым стальным песком с 20% 81. По производительности и качеству очистки этот песок не уступает, а по коррозионной стойкости очищенных поверхностей приближается к кварцевому песку [44, 49].

Для деталей из цветных (алюминиевых и магниевых) сплавов песок из железоуглеродистых сплавов (чугунный, стальной) непригоден. После очистки таких деталей чугунным песком на поверхности деталей появляется жёлтый оттенок, свидетельствующий о коррозии вкраплённых частиц чугуна. При дальнейшем хранении таких деталей на воздухе коррозия усиливается, в особенности на деталях из магниевых сплавов [44, 45].

Для очистки деталей из алюминиевых и магниевых сплавов эффективно использовать песок из алюминиевого сплава АЛЮ. Кроме того, для очистки применяется литая алюминиевая дробь [44, 45].

По коррозионной стойкости детали, очищенные алюминиевым песком и дробью, не уступают деталям, очищенным кварцевым песком. По производительности процесса очистки наилучшие результаты даёт кристаллический песок из расплава, далее литая дробь и на последнем месте — песок из стружки [30, 44, 45].

Как отмечалось выше, обработка (очистка) поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц используется в производстве микроприборов. Суть её заключается в удалении облоя и заусенцев с поверхности микроприборов, имеющих пластмассовый корпус. Облой

должен быть удалён как с поверхности металлических выводов микросхем, так и между выводами, выполненными из цветных сплавов. Учитывая тот факт, что габаритные размеры и толщина выводов малы, а корпус микросхем изготовлен из пластмассы, применять для обработки твёрдые частицы из металла нельзя, т. к. это может привести к обрыву выводов и разрушению корпуса микросхем. Поэтому для обработки микросхем применяют более лёгкий порошок из косточковой крошки (из косточки абрикоса). Основная фракция частиц — 1500-2500 мкм. Форма зерна — многогранная остроугольная. Твёрдость зерна НВ = 164 кг/мм2. Плотность зерна р = 1,2 г/см3. Частицы имеют склонность к разрушению, а следовательно и к быстрому износу. Так уже после 20 циклов обработки наблюдается изменение фракционного состава до 1300-2300 мкм, а после 80 циклов до 500-1500 мкм. Форма зерна изменяется от многогранной остроугольной до овальной. Это объясняется тем, что в процессе взаимодействия частиц с поверхностью происходит разрушение вершин и рёбер частиц.

Учитывая вышеизложенное, можно сформулировать требования к твёрдым частицам, используемым при обработке [29, 31].

1) Материал, форма и размеры частиц должны соответствовать материалу очищаемых деталей и требованиям к качеству их поверхности.

2) Частицы должны иметь высокую очищающую способность процесса.

3) Частицы должны иметь достаточно высокую износостойкость.

4) Твёрдость частиц должна быть выше в 1,5-2 раза твёрдости обрабатываемого материала.

При обработке микроприборов косточковой крошкой в выводах формируются структурные дефекты типа трещин. Незначительное

увеличение времени обработки (3-5 с) приводит к обрыву металлических выводов, т. е. приводит прибор к разрушению. Кроме того, происходит разрушение пластмассового корпуса микроприбора, т. к. острые грани и вершины частиц способствуют образованию трещин на поверхности.

Косточковая крошка не полностью удаляет облой из окон между выводами, поскольку размер частиц крошки больше размера окон.

Наконец, частицы косточковой крошки сами разрушаются в процессе обработки, что ведёт к частой смене порошка в бункере установки обработки микроприборов.

В связи с вышеизложенным, для оптимизации процесса обработки микроприборов необходимо выбрать новый материал частиц, удовлетворяющий перечисленным требованиям. По диаметру частицы должны быть в 2-2,5 раза меньше размеров самого мелкого элемента прибора, что является дополнительным требованием к перечисленным выше.

1.2. Обработка различных материалов, состояние поверхности

По [40, 53, 56] слой металла, имеющий отличающиеся от основной массы детали структуры, фазовый и химический состав, называют поверхностным. При обработке деталей на их поверхностях формируется микрорельеф, а в слое металла, непосредственно прилегающего к поверхности, происходят структурно-фазовые изменения, возникают остаточные напряжения [54, 55, 57].

В условиях эксплуатации поверхностный слой детали подвергается наиболее сильному физико-химическому воздействию: механическому,

тепловому, магнитоэлектрическому, световому, химическому. В большинстве случаев у детали начинают ухудшаться служебные свойства приповерхностного слоя, например, износ, эрозия, коррозия, усталостные трещины и другие разрушения. Поэтому к поверхностному слою предъявляются обычно более высокие требования, чем к основной массе детали [58, 59],

Обработка поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц относится к ударным методам поверхностного пластического деформирования (ППД) [40, 53]. При такой обработке поверхностный слой формируется в результате сложных взаимосвязанных явлений, происходящих в очаге деформирования и прилегающих к нему зонах: многократных упругих и пластических деформаций, изменения прочностных и пластических свойств деформируемого металла, трения и тепловых процессов, изменения микро- и макроструктуры, микрогеометрии самой поверхности [40, 53, 56].

Основные параметры ППД: упругая и пластическая деформации в очаге деформирования, площадь контакта инструмента с обрабатываемой поверхностью, сила воздействия на инструмент, напряжения, возникающие под действием этой силы, кратность приложения силы.

Как при статическом, так и при ударном воздействии на обрабатываемой поверхности в начале образуется отпечаток от инструмента, который затем превращается в примыкающие друг к другу следы или серию отпечатков. При нагружении твёрдого шара статической или ударной силой Р инструмент (шар) вдавливается в обрабатываемый материал (рис. 1.3а) [60 - 63]. По мере увеличения силы Р вначале происходит упругая деформация поверхности, а затем пластическая (линия ОАВ, рис. 1.36). Вследствие возникших пластических деформаций обратный процесс идет по линии B.C.

Рис. 1.3. Течение металла при вдавливании сферического индентера:

а — отпечаток: б — зависимость упругой и пластической деформаций от напряжения вдавливания а

Рис. 1.4. Зона распространения пластического деформирования по искажению прямоугольной сетки

Остаточная пластическая деформация выражается в размере отпечатка А, соответствующего ОС. Пластическое деформирование под отпечатком распространяется равномерно и как бы копирует с некоторым искажением поверхность шара (рис. 1.4). Глубина наклёпа И пропорциональна глубине отпечатка Ьь т. е. 1т = тЬ]. Для различных условий обработки коэффициент т = 2 ... 20 [40].

Зависимость между диаметром отпечатка с! и нагрузкой Р на шар при его внедрении в упругой и пластической областях описывается уравнениями Герца и Майера [62]:

где Б — диаметр шара (сферы); Е, Е] — модули упругости шара и

материала; а, и = 2 — константы пластичности.

Эти формулы справедливы для условий деформирования без учёта трения, когда контактирующие тела изотропны, подчиняются закону Гука, площадь контакта мала и нагрузки приложены перпендикулярно к обрабатываемой поверхности. Формулы показывают основные силовые зависимости при ППД.

Степень пластического деформирования характеризуется параметром £ = ё/Б. Для различных методов ППД и различных условий обработки £ =0,1 ... 0,9 [40].

Структурные составляющие имеют различную способность к упрочнению. Так для структуры мартенсита глубина наклёпанной зоны больше, чем при тех же условиях для других структур (рис. 1.5) [40, 53, 56]. Степень наклёпа различных структур, оценённая по относительному

обрабатываемого материала; ]}. — коэффициенты Пуассона шара и

А

мм

3

2 1

€ 0,20 0,35 0^5 с0,20 0,1? $45

! \ ф

г 1 1

¡гУ"

У 1

' г

•п

Гч

О О,Г $2 0,3 0 0,1 0,2 ЦЗ 0^ Ььмп а) 5)

С 0,20 0,33

1 н <Р+П

1

V. 7

Заключение диссертации по теме «Оборудование производства электронной техники», Угольников, Сергей Викторович

Общие выводы

1. Анализ основных видов обработки поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц, используемых в промышленности показал, что применяемые установки и материалы не пригодны для обработки микроприборов в пластмассовых корпусах.

2. Из рассмотрения существующих моделей взаимодействия частиц с поверхностью установлено, что их общим недостатком является отсутствие принципа подбора размера, формы и материала частиц при обработке деталей разных конфигураций из различных материалов, а также то, что модели не затрагивают обработку слоистых структур (облой на поверхности материала). Показана актуальность задачи разработки теоретических положений и принципов выбора технологических режимов обработки микроприборов, материала обрабатывающего порошка.

3. Проведён анализ напряжённо-деформированного состояния поверхностного слоя при воздействии частиц на поверхность. Представлена расчётная оценка параметров взаимодействия для различных материалов, обработанных сферическими частицами. Установлено, что глубина наклёпанного слоя не превышает 10-12% диаметра частицы.

4. Построена модель износа частицы при её взаимодействии с поверхностью. Показано, что разрушение частицы определяется формированием трещин от действия растягивающих напряжений для хрупких материалов и за счёт скольжения в зоне контакта пластичных материалов.

5. Установлена зависимость плотности ударов частиц на поверхности мишени и высоты микровыступов от скорости перемещения мишени. Показано, что для получения наименьшего рельефа скорость перемещения мишени не должна превышать 5 мм/с.

6. Проведён анализ температурного поля на поверхности обрабатываемого материала. Установлено, что для металлов при взаимодействии со сферической частицей мгновенная температура на поверхности, в зависимости от времени контакта и мощности источника, может достигать температуры плавления.

7. Для проведения исследований разработаны установки и методики измерения прочности частиц порошков и облоя, динамической твёрдости материалов, динамических характеристик материалов микроприборов. Разработана схема трёхпозиционной универсальной высокопроизводительной установки финишной обработки микроприборов для работы с различными газами и с управляемой подачей микроприборов в зону обработки.

8. Изучены структурные дефекты элементов микроприбора. Показано, что основными дефектами материала корпуса являются поры размером 10-50 мкм с произвольной формой. Дефекты выводов — рельеф поверхности с высотой продольных микровыступов до 10 мкм.

Установлено, что площадь фактического контакта облоя с поверхностью выводов составляет 30-60% от контурной площади.

9. Из анализа прочности сцепления облоя с выводами установлено, что для разрушения облоя в окнах достаточно давления газового потока.

Показано, что от действия косточковой крошки напряжённое состояние в выводе не удовлетворяет условию прочности. Можно ожидать, что в наиболее слабом сечении вывода возможно развитие трещины, т. е. возможно разрушение. Обработка микроприборов стеклянными микросферами и частицами песка не приводит к разрушению выводов, т. к. напряжения от действия таких частиц много меньше предела прочности материала выводов.

10. Показано, что рельеф поверхности выводов и корпуса микроприбора после обработки различными порошками зависит от размера частиц. Так при обработке косточковой крошкой рельеф более развитый, а после обработки микросферами и песком боле слабый "выглаженный".

11. На основании проведённых исследований сформулированы рекомендации по выбору технологических параметров обработки микроприборов в пластмассовых корпусах: диаметр выходного отверстия сопла для порошков из стеклянных микросфер и овального песка [)с = 10 мм, для порошка из косточковой крошки Ос = 9 мм; расстояние от выходного отверстия сопла до обрабатываемой поверхности С =90-110 мм; давление сжатого газа р = 5 атм; время обработки микроприбора при использовании порошков из стеклянных микросфер и овального песка « 6-8 с, а при использовании косточковой крошки ~ 3-4 с. скорость перемещения микроприборов в зоне обработки 4-5 мм/с.

Частицы порошка должны быть меньше в 2-2,5 раза наименьшего размера элемента микроприбора. Форма частиц должна быть сферической или овальной.

Исходя из экономических требований, для обработки микроприборов в пластмассовых корпусах рекомендуется природный порошок из озёрного песка состава ЗЮг-СаОРегОз с частицами фракции 120-150 мкм.

Стоимость такого порошка ниже стоимости порошка из косточковой крошки в ~ 10 раз.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Угольников, Сергей Викторович, 1998 год

Литература

1. Бурке Дж., Вайс Ф. Обработка поверхности и надёжность материалов: Пер. с англ. / Под ред. Э. М. Лазарева. — М.: Мир, 1985. — 192 с.

2. Полякова К. К., Коноплянский В. С. Защитные покрытия труб. — М.: Металлургия, 1975. — 216 с.

3. Покрытия и обработка поверхности для защиты от коррозии и износа. Сб. статей / Под ред. К. Н. Стаффорда. — М.: Металлургия, 1991. — 238 с.

4. Гинберг А. М. Повышение антикоррозионных свойств металлических покрытий. — М.: Металлургия, 1984. — 168 с.

5. Достижения науки о коррозии и технология защиты от неё. Коррозионное растрескивание металлов / Под ред. М. Фонтана, Р. Стейла. — М.: Металлургия, 1985. — 488 с.

6. Рачёв X., Стефанов С. Справочник по коррозии. — М.: Мир, 1982. — 520 с.

7. Синявский В. С. Коррозия и защита алюминиевых сплавов. — М.: Металлургия, 1986. — 368 с.

8. Скалли Дж. Основы учения о коррозии и защите металлов: Пер. с англ.

— М.:Мир, 1978, —232 с.

9. Улиг Г. Г., Реви Р. У. Коррозия и борьба с ней. Введение в коррозионную науку и технику. — Л.: Химия, 1989. — 455 с.

Ю.Защитные покрытия на металлах. Сб. статей. Вып. 9. — Киев, 1975.

— 208 с.

П.Петров Н. В. Окраска металлических поверхностей. — М.: Химия, 1978.

— 368 с.

12.Скворцов К. Ф. Подготовка поверхностей деталей для нанесения покрытий. —М.: Машиностроение, 1980. — 64 с.

13.Гарбер М. И. Прогрессивные методы подготовки поверхности. — М.: Машиностроение, 1990. — 59 с.

14.Балалаев Г. А. Защита строительных конструкций от коррозии. — М.: Стройиздат, 1966. — 67 с.

15.Бахвалов Г. Т., Турковская А. В. Коррозия и защита металлов. — М.: Металлургиздат, 1959. — 268 с.

16.Обработка поверхности алюминия и его сплавов перед нанесением лакокрасочных покрытий: Научно-технический и производственный опыт, № М-59-235/23 / ЦИТЭИН. — 1959. — 57 с.

17.Марутян С. В., Бойко И. А., Голубев А. И. Активация поверхности стали путём её ударной обработки // Физика и химия обработки материалов. — 1988, — №2. — с. 74-78.

18.Покрытия и обработка поверхности для защиты от коррозии и износа. Сб. статей / Под ред. В. В. Кудинова. — М.: Металлургия, 1991. — 257 с.

19.Иванов В. К. Справочник инженера-строителя: В 2 т. — М.: Стройиздат, 1968, —2 т.

20.Голант Ш. Н. Справочник по отделочным работам. — М.: Госстрой-издат, 1961. — 317 с.

21. Соколов А. Н., Липницкий А. М. Механизация работ по обрубке и очистке литья. — М.: Машгиз, 1957. — 132 с.

22.Gesell W. Jahresübersicht Ritzverfahren und einrichtungen // Gesserei. —

1971, —Vol 58, № 18, —s. 536-544.

23.Gesell W. Jahresübersicht Putzverfahren und einrichtungen // Gesserei. —

1972. — Vol 59, № 17. — s. 535-545.

24.Horowitz J. Les installations de decapage mecanigue dans le domains de la metallurgie et indusries annexes // Schweiz, techn. z. — 1978. — Vol 75, №15-16, —s. 436-442.

25.Claning of castings // Brit. Foimdryman. — 1983. — Vol 76, № 11. — s. 193-208.

26.Никитин А. И., Чумак Б. Н., Ушаков В. И. О дробемётной очистке отливок // Литейное производство. — 1977. — № 8. — с. 28-29.

27.Мышкина М. И., Лобанова К. Н. Литейное производство: Библиографический указатель литературы за 1955 г. — М.: Машгиз, 1959. — 106 с.

28.Свешников Д. А. Применение дробеструйной очистки поковок от окалины взамен химического травления: Научно-технический опыт № М-60-209/ЦИТЭИН. — 1960. — 54 с.

29.Дробеструйная обработка деталей: Библиографический справочник. — М.: Машгиз, 1960. — 134 с.

30.Дёвкин М. М., Севастьянов Н. Д. Очистка поверхностей деталей металлическим песком. —М.: Машиностроение, 1968. — 67 с.

31.Ардаев В. Б. Пескоструйщик. — М.: Стройиздат, 1970. — 91 с.

32.Дробемётная очистка отливок: Библиографический указатель литературы за 1950-1975 г.—М.: Металлургия, 1977. — 436 с.

33.Семёнов И. Т. Обдувка поверхности деталей дробью. — М.: Оборонгиз, 1948, —58 с.

34.Самсонов Ф. Л. Обработка автомобильных деталей дробью для повышения усталостной прочности // Автомобильная промышленность. — 1948.

— №2, —с. 12-15.

35.Технология металлов и конструкционные материалы / Под ред. Б. А. Кузьмина. — М.: Машиностроение, 1989. — 495 с.

36.Технология конструкционных материалов: Учебное пособие для ВУЗов / Под ред. А. М. Дальского. — М.: Машиностроение, 1990. — 352 с.

37.Справочник технолога-машиностроителя / Под ред. А. Г. Косиловой, Р. К. Мещерякова. — М.: Машиностроение, 1985. — 496 с.

38.Справочник технолога-приборостроителя / Под ред. Е. А. Скороходова.

— М.: Машиностроение, 1980. — 463 с.

39.Ушакова С. Е. Технология конструкционных материалов в электронном машиностроении: Учебное пособие по курсу "Технология конструкционных материалов". — М.: МИЭТ, 1984. — 118 с.

40.Одинцов JI. Г. Упрочнение и отделка деталей поверхностным пластическим деформированием: Справочник. — М.: Машиностроение, 1987.

— 330 с.

41.Обработка металлов и пластмасс. Сб. статей / Под ред. А. Я. Гоголева.

— Новочеркасск, 1970. — 109 с.

42.Обработка неметаллических материалов. Сб. науч. тр. АН УССР / Под ред. В. В. Рогова. — Киев: ИСМ, 1982. — 147 с.

43.Гуляев А. В. Гидропескоочистка деталей от окалины: Промышленно-экономический бюллетень / Свердовский СНХ. — 1958. — № 2.

44.Дудник И. Р. Применение металлического абразива для очистки деталей: Бюллетень обмена производственно-техническим опытом / Московский Дом техники. — 1958. — № 12.

45.Ефимов Ф. Т., Фролов Н. Г. Металлические дробь и песок. — М.: Машгиз, 1963. — 124 с.

46.Ясногорский И. 3. Способ производства чугунной и стальной дроби: Бюллетень изобретений / ЦБТИ. — 1960. — № 2.

47 .Myers R. Blast Cleaning Abrasives and Their Application // Foundry Marg. and Technol. — 1977. — Vol 105, № 11, 42, 44, 46.

48.Gessell W. Strahlmittelfragen // Fachber Huttenprax. Metallweiterverarb. — 1979, —№6, —s. 491-493.

49.Абраменко Ю. E. Повышение качества дроби для очистки отливок // Вестник машиностроения. — 1984. —№4. С. 63-64.

50.Абразивная обработка деталей из неметаллических материалов под окраску: Технологические рекомендации / НИАТ. — 1988. — 58 с.

51.Варенцов Б. В. Сопло пескоструйного аппарата с минералокера-мической втулкой: Научно-технический опыт № 1272/20/ТЭКСО. — 1955. —49 с.

52.Кудрявцев Ю. Г. К вопросу экономической стойкости минералокерами-ческих сопел: Технико-экономический бюллетень / Челябинск — 1958. — № 1.

53.Папшев Д. Д. Отделочно-упрочняющая обработка поверхностным пластическим деформированием. — М.: Машиностроение, 1978. — 152 с.

54.Обработка давлением тугоплавких металлов и сплавов. — М.: Металлургия, 1975, —439 с.

55.Ящевицин П. И., Минаков А. П. Упрочняющая обработка нежёстких деталей в машиностроении. —Минск: Наука и техника, 1986. — 215 с.

56.Полевой С. Н., Евдокимов В. Д. Упрочнение металлов: Справочник. — М.: Машиностроение, 1986. — 320 с.

57.Саверин М. М. Дробеструйный наклёп. Теоретические основы и практика применения. — М.: Машгиз, 1955, — 312с.

58.Экспериментальные исследования конструкционной прочности машиностроительных материалов и деталей машин / Под ред. И. В. Кудрявцева. — М.: Машиностроение, 1967. — 258 с.

59.Вопросы прочности крупных деталей машин / Под ред. И. В. Кудрявцева. — М.: Машиностроение, 1976. — 306 с.

60.Папшев Д. Д. Эффективность методов отделочно-упрочняющей обработки // Вестник машиностроения. — 1983. — № 7. — с. 42-44.

61.0лейник Н. В., Кычин В. П., Луговской А. Л. Поверхностное динамическое упрочнение деталей машин. — Киев.: Техника, 1984. — 151 с.

62.Расчёты пластического деформирования металлов. Сб. статей / Под ред. А. Д. Томлёнова. — М.: Наука, 1975. — 135 с.

63.Полухин П. И. Сопротивление пластической деформации металлов и сплавов: Справочник. —М.: Металлургия, 1983. — 352 с.

64.Хает Л. Г., Гах В. М., Левин В. И. Упрочнение твердосплавного режущего инструмента поверхностным деформированием. — М.: НИИМАШ, 1981. — 54 с. — (Обзор. Сер. 2).

65.Туманов А. Т. Поверхностный наклёп высокопрочных материалов. — М.:ВИАМ, 1971, —252 с.

66.Саверин М. М. Тепловой эффект процесса дробеструйного наклёпа // Вестник машиностроения. — 1951. — № 10. — с. 21-27.

67.Кудрявцев П. И. Нераспространяющиеся усталостные трещины. — М.: Машиностроение, 1982. — 173 с.

68.Петросов В. В. Гидродробеструйное упрочнение деталей и инструмента. — М.: Машиностроение, 1977. — 165 с.

69.Браславский В. М., Бараз А. А. Деформационное упрочнение деталей машин // Вестник машиностроения. — 1983. — № 7. — с. 61-63.

70.Иосилевич Г. Б., Точилкин А. А., Кривная Л. С. К проектированию процессов упрочняющей обработки поверхности пластическим деформированием // Вестник машиностроения. — 1978. — № 7. — с. 39-41.

71.Проволоцкий А. Е., Ясев А. Г. Иммитационное моделирование процесса обработки потоком абразивных частиц // Известия ВУЗов. Машиностроение. — 1987. — № 4. — с. 112-116.

72.Билик Т. М. Жидкостно-абразивная обработка металлов. — М.: Машгиз, 1961, —67 с.

73.Основные направления применения и исследования гидроабразивной обработки / А. Е. Проволоцкий // Тез. докл. на республиканской научно-технической конф. "Прогрессивные технологические процессы и повышение эффективности механической обработки труднообрабатываемых и неметаллических материалов". — Днепропетровск, 1983. — с. 137-139.

74.Моделирование элементарного акта контактного взаимодействия при абразивной обработке / В. С. Гришин // Тез. докл. на республиканской научно-технической конф. "Прогрессивные технологические процессы и повышение эффективности механической обработки труднообрабатываемых и неметаллических материалов". — Днепропетровск, 1983. — с. 162-165.

75.Сегерлинд Л. Применение метода конечных элементов. — М.: Мир, 1979, —92 с.

76.Крагельский И. В. Основы расчётов на трение и износ. — М.: Машиностроение, 1977. — 526 с.

77.Абразивная и алмазная обработка материалов: Справочник / Под ред. А. Н. Резникова. — М.: Машиностроение, 1977. — 235 с.

78.Лойцянский Л. Г. Механика жидкости и газа: Учебное пособие для ВУЗов. — М.: Наука, 1987. — 840 с.

79.Пирумов У. Г., Росляков Г. С. Численные методы газовой динамики: Учебное пособие для ВУЗов. — М.: Высшая школа, 1987. — 232 с.

80.Резибуа П., Де Ленер М. Классическая кинетическая теория жидкостей и газов: Пер. с франц. — М.: Мир, 1980. — 423 с.

81.Газовая динамика. Механика жидкости и газа / Под ред. А. И. Леонтьева. — М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1997. — 667 с.

82.Газовая динамика. Сб. статей / Под ред. Л. В. Комаровского. — Томск: Изд-во Томского универститета, 1991. — 111с.

83 .Газовая динамика. Сб. статей / Под ред. А. М. Буденчикова. — Томск: Изд-во Томского универститета, 1987. — 194 с.

84.Качанов Л. М. Основы теории пластичности. — М.: Наука, 1969-419 с.

85.Хилл Р. Математическая теория пластичности. — М.: ГИТТЛ, 1956. — 523 с.

86.Пластическая деформация металлов и сплавов / Под ред. П. И. Полухина. — М.: Металлургия, 1975. — 312 с.

87.Соколовский В. В. Построение полей напряжений и скоростей в задачах пластического течения // Инженерный журнал. — 1961. — Т. 1. — в. 3. с. 34-37.

88.Голденблат И. И. Некоторые вопросы механики деформируемых сред.

— М.: ГИТТЛ, 1955. — 253 с.

89.Качанов JI. М. Механика пластических сред. — М.: Гостехиздат, 1948.

— 348 с.

90.Теория пластических деформаций металлов / Под ред. Е. П. Унксова, А. Г. Овчинникова. — М.: Машиностроение, 1983. — 598 с.

91.Тимошенко С. П., Гудьер Дж. Теория упругости. —М.: Наука, 1979. — 560 с.

92.Лейбензон Л. С. Курс теории упругости. -— М.: Гостехиздат, 1947. — 427 с.

93 .Новожилов В. В. Теория упругости. — М.: Судопромгиз, 1958. — 517с.

94.Вишняков Я. Д., Пискарёв В. Д. Управление остаточными напряжениями в металлах и сплавах. — М.: Металлургия, 1989. — 253 с.

95.Давиденков Н. Н. Динамические испытания металлов. — М.: ОНТИ, 1934, — 112с.

96.Варнелло В. В. Распространение пластической деформации при шариковой пробе. —Новосибирск: Трансжелдориздат, 1952. — 247 с.

97.Ляв А. Математическая теория упругости. — М.: Гостехиздат, 1935. — 537 с.

98.Филлипс К. Д. Разрушение стекла: В кн. Разрушение. — М.: Мир, 1976.

— 1т. — с. 19-57.

99.Тимофеев В. Н. Пористые однородные и композиционные материалы с порошками из сплошных и полых сферических частиц: Дис. ...доктора технич. Наук. — М., 1990. — 345 с. ЮО.Красулин Ю. .JI. Взаимодействие металла с полупроводником в твёрдой фазе. — М.: Наука, 1971. — 120 с.

101.Боуден Ф. П., Тейбор Д. Трение и смазка твёрдых тел. — М.: Машиностроение, 1968. — 521 с.

102.Булат С. И. Деформируемость структурно неоднородных сталей и сплавов. — М.: Металлургия, 1975. — 350 с.

ЮЗ.Хоникомб Р. Пластическая деформация металлов: Пер. с англ. — М.: Мир, 1972, —400 с.

104.Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. — М.: Мир, 1967. — 352 с.

105.Лыков А. В. Тепломассообмен: Справочник. — М.: Энергия, 1978. — 480 с.

Юб.Механика интегральных структур: Лабораторный практикум / Под ред.

В. Н. Тимофеева. — М.: МИЭТ, 1993. — 86 с. 107.Тимофеев В. Н. Способ определения прочности керамических микробаллонов при сжатии и оценке прочности материала их стенки при растяжении // Физика и химия обработки материалов. — 1985. — № 4.

— с. 132-134.

Ю8.Кузнецов О. А., Погалов А. И., Сергеев В. С. Прочность элементов

микроэлектронной аппаратуры. — М.: Радио и связь, 1990. — 144 с. Ю9.Парфёнов Е. М., Камышная Э. Н. Проектирование конструкций РЭА.

— М.: Радио и связь, 1990. — 272 с.

1 Ю.Аш Ж. Датчики измерительных систем. — М.: Мир, 1992. — 424 с. 111.Основы механики и сопротивления материалов: Лабораторный практикум / Под ред. В. А. Летягина. — М.: МИЭТ, 1997. — 187 с.

112.Хасуй А., Моригаки О. Наплавка и напыление. — М.: Машиностроение, 1985. — 238 с.

113.Справочник по пластическим массам / Под ред. В. М. Катаева, В. А. Попова. — М.: Химия, 1975. — 568 с.

114.Потт Дж. Основы механики разрушения. — М.: Металлургия, 1978. — 255 с.

115.Беляев Н. М. Сопротивление металлов. — М.: ГИТЛ, 1958. — 850 с.

116.Энциклопедия неорганических материалов / Под ред. И. М. Федор-ченко. — Киев: Главная редакция УСЭ, 1977. — Т. 2. — 813 с.

117.Основы взаимозаменяемости и технические измерения: Лабораторный практикум / Под ред. Е. В. Николаевского. — М.: МИЭТ, 1980. — 89 с.