Зоны генерации рентгеновского излучения и вторичных электронов в полимерных системах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат физико-математических наук Виноградов, Артем Евгеньевич

• Виноградов, Артем Евгеньевич
• кандидат физико-математических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Виноградов, Артем Евгеньевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1 Взаимодействие электронного пучка с веществом.

1.2 Параметры области диссипации энергии электронного зонда.

1.3 Методы основанные на решении уравнения переноса.

1.4 Методы смешанного моделирования.

1.5 Метод Монте-Карло.

1.6 Условия возбуждения информативных сигналов.

1.7 Элементарные процессы повреждения в органических соединениях.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА МОДЕЛИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ

ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С ПОЛИМЕРАМИ.

2.1. Исходные положения модели.

2.2 Алгоритм построения электронных траекторий в веществе

2.3 Программная реализация процесса взаимодействия.

2.4. Рождение и траектории движения вторичных электронов.

2.5. Вычисление эмиссии рентгеновского излучения.

ГЛАВА 3. ЗОНЫ ГЕНЕРАЦИИ ВТОРИЧНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ И

РЕНТГЕНОВСКИХ КВАНТОВ.

3.1 Вторичные электроны.

3.2 Зона генерации рентгеновского излучения.

3.3. Экспериментальные измерения зон генерации.

ГЛАВА 4. ЗОНЫ ГЕНЕРАЦИИ ВТОРИЧНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ В

ГРАДИЕНТНЫХ СТРУКТУРАХ.

ГЛАВА 5. ЗОНА ГЕНЕРАЦИИ И РАДИАЦИОННАЯ

ДЕСТРУКЦИЯ ПОЛИМЕРОВ.

5.1 Структурно-концентрационные изменения в зоне генерации вторичных электронов и рентгеновского излучения.

5.2 Распределение поглощенной дозы по сечению зон генерации излучения.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Зоны генерации рентгеновского излучения и вторичных электронов в полимерных системах»

Актуальность работы. Настоящая работа посвящена исследованию взаимодействия электронных пучков и рентгеновских квантов с легкими полимерными матрицами и разработке компьютерной модели, описывающей эти взаимодействия.

Электронно-зондовый микроанализ давно утвердился как эффективный аналитический метод исследования твердых тел, позволяющий получать разнообразную информацию об элементном и химическом составах, фазовом состоянии, композиционной неоднородности материалов. Однако имеющиеся в настоящее время многочисленные методические разработки относятся, главным образом, к неорганическим объектам традиционного материаловедения с достаточно высокими средними атомными номерами (Z), высокой электропроводностью и радиационно-термической стабильностью. Менее изучены органические объекты, среди которых важное место занимают синтетические, природные и биологические полимеры. В большинстве своем они - диэлектрики с невысокими Z, низкой термостабильностью и подвержены необратимым радиационно-химическим превращениям под действием возбуждающего, электронного зонда в достаточно широком диапазоне ускоряющих напряжений. Существенные трудности для таких систем также возникают при использовании ЭД-детекторов, с одной стороны, и практической невозможностью применить для этого волновые спектрометры, - с другой. К этому следует прибавить, что до недавнего времени отсутствовала детальная информация о локальности и чувствительности микроанализа применительно к органическим объектам.

Знания об обратно рассеянных электронах средней энергии имеют большое значение в электронной микроскопии, электронной микролитографии, определении толщины различных пленок и т.д. По этой причине существует большой практический интерес к теории, которая описывала бы этот процесс как можно полнее.

Цель работы заключалась в проведении численных и экспериментальных исследований взаимодействия электронного пучка и рентгеновского излучения с легкими полимерными матрицами и построение компьютерной модели описывающей эти процессы.

В диссертации решались следующие конкретные задачи:

• изучение взаимодействия электронного пучка с легкими полимерными матрицами.

• экспериментальное определение размеров зон генерации вторичных электронов и рентгеновского излучения в легких полимерных матрицах.

• построение компьютерной модели взаимодействия электронного пучка с легкими полимерными матрицами.

• построение компьютерной модели рождения рентгеновского излучения в легких полимерных матрицах при взаимодействии с электронным пучком.

• моделирование зон генерации вторичных электронов для градиентной структуры в полимер-полимерных системах.

• построение компьютерной модели расчета дозы, полученной полимером при взаимодействии с электронным пучком.

Научная новизна:

Построена и апробирована компьютерная модель взаимодействия электронного пучка с легкими полимерными матрицами.

Получены размеры зон генерации для полиолефинов и галогенсодер-жащих полимеров при разных ускоряющих напряжениях первичного электронного пучка 5 -§- 25 КэВ. Установлена линейная корреляционная зависимость между расчетными и экспериментальными значениями параметров зон генерации.

Впервые получена информация об изменении размеров зон генерации вторичных электронов и плотности их распределения в градиентных структурах полимер-полимер. Предложены модели расчета искажений зон генерации в градиентах состава (концентрации).

Показана возможность использования разработанной модели для расчета распределения дозы по продольному и поперечному сечению зоны генерации.

Практическая значимость работы

Полученные данные по размерам зон генерации вторичных электронов и рентгеновского излучения могут быть использованы как справочная информация в решении практических задач в различных областях полимерного материаловедения. Построенная модель может использоваться для предсказания размеров зон генерации вторичных электронов и рентгеновских квантов различных полимерных веществ, как с градиентом концентрации, так и без него. Полученные данные по распределению электронной дозы в полимерном образце, получаемой им при микроанализе с использованием электронного пучка, могут быть использованы в микроанализе при выборе оптимальной энергии первичного пучка и проведении операций по восстановлению концентрационных профилей в области межфазных границ.

Автор выносит на защиту

• Компьютерную модель взаимодействия электронного пучка с легкими полимерными матрицами.

• Размеры зон генерации для полиолефинов и галогенсодержащих полимеров при разных ускоряющих напряжениях первичного электронного пучка 5 25 КэВ.

• Линейную корреляционную зависимость между расчетными и экспериментальными значениями параметров зон генерации.

• Результаты расчетов искажений зон генерации в градиентах состава (концентрации).

• Информацию о радиационно-химических повреждениях в зонах генерации рентгеновского излучения и вторичных электронов.

Возможность использования разработанной модели для расчета распределения дозы по продольному и поперечному сечению зоны генерации.

Апробация работы

Результаты работы докладывались и обсуждались на следующих Всероссийских и Международных конференциях: Конференция молодых ученых ИФХ РАН «Некоторые проблемы физической химии» ( Москва: 2001 г.); Международная научно-техническая конференция Приборостроение - 2002 (Винница - Алупка: 2002); XII Всероссийская конференция «Структура и динамика молекулярных систем» (Яльчик: 2004), Научно-техническая конференция Института физической химии РАН, Москва, 2003.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Виноградов, Артем Евгеньевич

ВЫВОДЫ

1. Разработана компьютерная модель взаимодействия электронного пучка с легкими полимерными матрицами. В результате моделирования рассчитаны размеры зон генерации для полиэтилена, полипропилена, поливинилхлорида при разных ускоряющих напряжениях первичного электронного пучка, изменяющихся в интервале от 5 до 25 КэВ.

2. Рассчитаны глубинные и радиальные профили распределения вторичных электронов и рентгеновских квантов и показано, что радиальные могут быть описаны функцией Гаусса. В приведенной системе координат (число вторичных электронов, приведенное к длине свободного пробега электрона (для определенной энергии), по оси ординат - глубина по оси абсцисс) получена единая кривая распределения.

3. Экспериментально получены размеры зон генерации рентгеновских квантов для легких полимерных матриц при разных ускоряющих напряжениях электронного пучка и найдена линейная корреляционная зависимость между экспериментальными и расчетными параметрами зон генерации.

4. Впервые расчетным путем получена информация о глубинных и радиальных функциях распределения вторичных электронов в градиентных структурах смесей полимеров. Получены искажения зон генерации вторичных электронов градиентной структуры поливинил-хлорид - полиэтилен и установлена их взаимосвязь с величиной градиента и ускоряющим напряжением. Сформулировано условие учета искажений функции распределения в градиентных структурах.

5. Показана возможность использования предложенной модели для расчета поглощенных доз и их распределения по сечению зоны генерации. Расчетные данные сопоставлены с результатами прямых экспериментальных измерений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Виноградов, Артем Евгеньевич, 2005 год

1. Шульман А.Р. Фридрихов С .А. Вторично эмиссионные методы исследования твердого тела. М. Наука. 1977, с 552.

2. Reimer L., Krefting Е. The effect of scattering models on the results of Monte Carlo calculations // Use of Monte Carlo calculations in election probe microanalysis and scanning electron microscopy. Washington, 1976. P. 45—60.

3. Бронштейн И.М. Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия. М.Наука, 1969.С. 265.

4. Bethe Н.А. Ashkin J. Experimental Nuclear Physics, Wiley, New York, 1.252.1953

5. Ю.А. Новиков, A.B. Раков. Вторичная электронная эмиссия рельефной поверхности твердого тела. Российская Академия Наук. Труды института общей физики. Том 55. 1998, с. 11.

6. Броудай И.,Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. М.;Мир,1985. с 496.

7. Reimer L. Electron-specimen interactions // Scanning Electron. Microscopy. 1979. №2. P.l 11-124.

8. Попов Ю.М., Методы получения состояний с отрицательной температурой в полупроводниках. М., Труды Фиан, 1965, 31, 3.

9. Попов Ю.М.// Матер. 7-го совещ. по люминесценции (кристаллофос-форы). Тарту, 1959, с. 281.

10. Ю.Филиппов М.Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном микроанализе. Известия Академии Наук. Серия Физическая Т.57, №8 1993 г.

11. H.Bothe W. (1933). Durchgang von Elektronen durch Materie (Passage of electrons through matter), in: Handbuch der Physik, 22/2, Springer-Verlag, Berlin, W. Germany, 1-74.

12. Thummel H-W. (1974). Durchgang von Elektronen- und Betastrahlung durch Materieschichten. (Passage of electron and beta rays through films of matter.) Akademie-Verlag, Berlin, German Democratic Rep., chapters 9-11.

13. Fathers DJ, Rez P. (1979). A transport equation theory of electron backscat-tering, Scanning Electron Microsc. 1979; I: 55-66.

14. Hoffmann KE, Schmoranzer H. (1982). Inelastic and elastic multiple scattering of fast electrons described by the transport equation, in: Electron Beam Interactions, SEM, Inc., AMF O'Hare, IL (this volume), 209-215.

15. Berger MJ. (1963). Monte Carlo calculation of the penetration and diffusion of fast charged particles, in; Methods of computational physics, Vol. I, Academic Press, London-New York, 135-215.

16. Shimizu R, Murata K. (1971). Monte Carlo calculations of the electron-sample interactions in the Scanning Electron Microscope. J. Appl. Phys. 42, 387-394.

17. Kyser DF. (1981). Monte Carlo calculations for electron microscopy, microanalysis, and microlithography, Scanning Electron Microsc. 1981; I: 47-62.

18. Everhart ТЕ. (1960). Simple theory concerning the reflection of electrons from solids. J. Appl. Phys. 31, 1483-1490.

19. Thomson JJ. (1906). Conduction of electricity through gases. Cambridge University Press, Cambridge, U.K.

20. Whiddington R. (1912). The transmission of cathode rays through matter. Proc. Roy. Soc. (London), A 86, 360-370.

21. Whiddington R. (1914). The transmission of cathode rays through matter. Proc. Roy. Soc. (London), A 88, 554-560.

22. Terrill HM. (1923). Loss of velocity of cathode rays in matter. Phys. Rev. 22, 101-108.

23. Nakhodkin NG. Ostroukhov AA, Romanovskii VA. (1962a). Electron inelastic scattering in thin films, translation in: Soviet Physics-Solid State 4 (1962), 1112-1119

24. Cosslett VE, Thomas RN. (1965). Multiple scattering of 5-30 keV electrons in evaporated metal films III: Backscattering and absorption. Brit. J. Appl. Phys. 16, 779-795.

25. Niedrig H, Sieber P. (1971). Ruckstreuung mittelschneller Elektronen an di-innen Schichten. (Backscattering of fast electrons by thin foils.) Z. angew. Phys. 31, 27-37.

26. Hohn F-J, Niedrig H. (1972). Elektronenruckstreuung an diinnen Metall-und Isolatorschichten. (Electron backscattering at thin metallic and dielectric films.) Optik 35, 290-295.

27. Lenard P. (1918). Quantitatives iiber Kathodenstrahlen aller Geschwindig-keiten. (Quantitative values concerning cathode rays of all velocities.) C. Winter's Universitatsbuchhandlung, Heidelberg 1918.

28. Bethe HA, Rose MB, Smith LP. (1938). The multiple scattering of electrons. Proc. Am. Phil. Soc. 78, 573-585.

29. Archard GD, (1961). Backscattering of electrons. J. Appl. Phys. 32, 15051509.

30. Thummel H-W. (1981). Konzept perzentiler Diffusionstiefen schneller Elek-tronen. (Concept of diffusion depths of fast electrons describing the fraction of diffused electrons.) Isoto-penpraxis 17, 55-61.

31. Tomlin SG. (1963). The back-scattering of electrons from solids. Proc. Phys. Soc. 82, 465-466.

32. Kanaya K, Okayama S. (1972). Penetration and energy-loss theory of electrons in solid targets. J. Phys. D: Appl. Phys. 5, 43-58.

33. Зб.Капауа K, Ono S. (1976). Consistent theory of electron scattering with atoms in electron microscopes. J. Phys. D: Appl. Phys. 9, 161-174.

34. Капауа К, Ono S. (1978). The energy dependence of a diffusion model for an electron probe into solid targets. J. Phys. D: Appl. Phys. 11,1495-1508.

35. Kanaya K. (1982). Interaction of electron beam with the target in scanning electron microscope, in: Electron Beam Interactions, SEM, Inc., AMF O'Hare, IL (this volume), 69-98.

36. Radzimski Z. (1978). The backscattering of 10-120 keV electrons for various angles of incidence. Acta Physica Polonica A 53, 783-790.

37. ЗЭ.Готт Ю.В., Явлинский Ю.Н. "Взаимодействие медленных частиц с веществом и диагностика плазмы", Атомиздат, 1973 г.

38. Lewis H.W., Phys. Rev., 78, 526 (1955)

39. Spenser L.W., Phys. Rev., 98, 1957 (1955)

40. Niedrig H. (1981). Simple theoretical models for electron backscattering from solid films, Scanning Electron Microsc. 1981; I: 29-46.

41. Werner U. (1978). Theoretische und experimentelle Unter-suchungen zur Elektronen-Riickstreuung am Festkorper. (Theoretical and experimental investigations on the electron backscattering from solids.) Doctoral thesis,115

42. Martin-Luther-Universitat Halle-Wittenberg (available from the Deutsche Staatsbibliothek, Berlin, German Democratic Republic).

43. Werner U, Bethge H, Heydenreich J. (1982). An analytic model of electron backscattering for the energy range of 10-100 keV. Ultramicroscopy 8, 417428.

44. Dudek HJ. (1982b). Electron beam interaction with thin films results of a model calculation, in: Proc. 10th Intern. Congr. Electron Microscopy, Hamburg 1982, published by Deutsche Gesellschaft fur Elektronenmikroskopie, Frankfurt, Germany, 257-258.

45. Body ZT. (1962). On the backscattering of electrons from solids. Brit. J. Appl. Phys. 13,483-485.

46. Афонин В.П., Лебедь В.И, "Метод Монте-Карло в рентгеноспектраль-ном микроанализе" Новосибирск, Наука, 1989г.

47. Afonin V. P. Monte Carlo methods in electron probe microanalysis // Abstracts Vlll-th Conference on analytical atomic spectroscopy.— C. Bu-dejovice, 1984.—P. 11—12.

48. Ермаков С. M. Метод Монте-Карло и смежйые вопросы.— М.: Наука, 1971, с. 327.

49. Михайлов Г. А. Некоторые вопросы теории методов Монте-Карло.— Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние, 1974. 142 с.

50. David. С. Joy. Monte Carlo modeling for Electron Microscopy and Microanalysis. New York. Oxford University Press. 1995.

51. Reimer L. Transmission electron microscopy. Berlin 1997. Pp 488-494.

52. Joy D.C. and Luo S. 1989, Scanning, 11:176. Luo S, Thang Y. and Wu Z. 1987 Microscopy. 148:289.

53. Gryzinski M. 1965. Phys. Rev. A 138:336

54. Bruining H. 1954, Physics and Applications of Secondary Electron Emission. Pergamon Press: London.61 .Chung M. And Everhart Т.Е. 1977, Phys. Rev В 15:4699.

55. Lewis H. W., Phys. Rev. 78, 526(1950).

56. Green M., Proc. Phys. Soc. 82, 204(1963).

57. Морис. Ф., Мени Л., Тиксье Р., Микроанализ и растровая электронная микроскопия. Под ред. Боровского И.Б., Москва. Металлургия. 1985 151 с.

58. October 1-3, 1975. Issued December 1976.117

59. Goudsmit S., Saundorson J, L., Phys. Rev. 57, 24 (1940).

60. Wentzel G., Z. Phys. 40, 590 (1927).

61. Spencer L. V., Phys. Rev. 98, 1597(1955).

62. В e t h e H. A., Handb. d. Phys. 24, 519 (1933). (Berlin, Springer — Verlag).

63. Nelms А. Т., Nat. Bur. Stand., Circular 577 (1956). (Washington, National Bureau of Standards).

64. Стоянова И. Г., Белавцева Е. М.//Изв. АН СССР. Сер. физ. 1959. Т. 23. С. 754.

65. Стоянова И. Г., АнаскинИ. В. Физические основы методов просвечивающей электронной микроскопии. М.: Наука, 1972.

66. Castaing JI.X/Adv. in Electronics and Electron Physics. N. Y.: Acad. Press, 1960. V. 13. P. 317.

67. Королюк В. If., Лаврентьев Ю- Г. //Рентгеновский микроанализ с электронным зондом в минералогии. Л.: Наука, 1980. С. 7.

68. Almost G. S., Blaki R. /., Ogilve R. E. et aL/tt. Appl. Phys. 1965. V. 36. P. 1848.

69. Friskney C. F., Haworth C. W.//J. Appl. Phys. 1967. V. 38. P. 3796.

70. Reimer: Irradiation changes in organic and inorganic objects. Lab. Invest. 14, 1082 (1965).

71. L. Reimer, J Spruth: Information about radiation damage of organic molecules by electron diffraction. J.Microsc. Spectr. Electron. 3, 579 (1978).

72. K. Stenn, G.F. Bahr: Specimen damage caused by the beam of the transmission electron microscope, a correlative consideration. J. Ultrastruct. Res. 31,526(1970).

73. D.T. Grubb, A. Keller: Beam-induced radiation damage in polymers and its effect on the image formed in the electron microscope, in Electron Microscopy 1972 (IoP, London 1972) p.554.

74. R.M. Glaeser: Radiation damage and biological electron microscopy, in Ref.1.12, p.205.

75. Е. Zeitler (ed.). Cryomicroscopy and Radiation Damage (North-Holland, Amsterdam 1982), published also in Ultramicroscopy 10, 1-178 (1982); further conference report in Ultramicroscopy 14, 163-315 (1984).

76. M.S. Isaacson: Inelastic scattering and beam damage of biological molecules, in Ref.1.12, p.247.

77. D.F. Parsons: Radiation damage in biological materials, in Ref.1.12, p.259.

78. D.T. Grubb, G.W. Groves: Rate of damage of polymer crystals in the electron microscope: dependence on temperature and beam voltage. Philos. Mag. 24,815 (1971).

79. R.M. Glaeser, K.A. Taylor: Radiation damage relative to transmission electron microscopy of biological specimens at low temperature: a review. J. Microsc. 112, 127(1978).

80. V.E. Cosslett: Radiation damage in the high resolution electron microscopy of biological materials: a review. J. Microsc. 113, 113 (1978).

81. Z.M. Bacq, P. Alexander: Fundamentals of Radiobiology (Pergamon, Oxford 1961).

82. A.J. Swallow: Radiation Chemistry of Organic Compounds (Pergamon, Oxford 1960).

83. Dertinger, H. Jung: Molekulare Strahlenbiologie (Springer, Berlin, Heidelberg 1968).

84. H.C. Box: Cryoprotection of irradiated specimens, in Ref.1.12, p.279.

85. J. Hiittermami: Solid-state radiation chemistry of DNA and its constituents. Ultramicroscopy 10, 25 (1982).

86. R. Spehr, H. Schnabl: Zur Deutung der unterschiedlichen Strahlen-Empfindlichkeit organischer Molekiile: Z. Naturforsch. A 28, 1729 (1973).

87. H. Schnabl: Does removal of hydrogen change the electron energy-loss spectra of DNA bases? Ultramicroscopy 5, 147 (1980).

88. L. Reimer, J. Spruth: Interpretation of the fading of diffraction patterns from organic substances irradiated with 100 keV electrons at 10-300 K. Ultrami-croscopy 10,199 (1982).

89. J. Vesely: Electron beam damage of amorphous synthetic polymers. Ultra-microscopy 14, 279 (1984).

90. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В 2 кн.: Пер. с англ. / Дж.Гоулдстейн, Д.Ньюбери, П.Эчлин И др. М.: Мир, 1984. Кн. I. 303 е.; Кн. 2. 348 с.

91. Количественный электронно-зондовый микроанализ: Пер. с англ. / Под ред. В.Скотта, Г.Лава. М.: Мир, 1986.352 с.

92. Микроанализ и растровая электронная микроскопия./ Под ред. Ф.Мориса, Л.Мени, Р.Тиксье. М.: Металлургия, 1985. 408 с.

93. Рид. С. Электронно-зондовый микроанализ. М.:Мир 1979.-423 с.

94. Батырев В.А. Рентгеноспектральный электронно зондовый микроанализ. М.: Металлургия. 1982.- 151 с.

95. Локальные методы анализа материалов. / И.Б. Боровский, Ф.Ф. Водо-ватов, А.А. Щупов, В.Т. Черепин. М.: Металлургия. 1973. -296 с.

96. Практическая растровая электронная микроскопия /Под ред. Дж. Го-улдстейна и Г. Яковица. М.:Мир. 1978.-656с.

97. Bishop Н.Е. 1976, in Use of Monte Carlo Calculations in Electron Probe Microanalysis and Scanning Electron Microscopy. NBS Special Publication #460. P.5

98. ICRU 1983, Stopping Powers of Electrons and Positrons, Report #37 to International Committee on Radiation Units.

99. Berger M.J. and Seltzer S.M. 1964 Studies in Penetration of Charged Particles in Matter, Nuclear Science Series report #39, NAS-NRC Publication 1123, p.205

100. Rao-Sahib T.S and Wittry D.B 1974, J. Appl. Phys. 45:5060.120

101. С.J. Ashley J.C. and Ritchie R.H. 1979. Surface Science, 81:427

102. Koshikawa T. And Shimizu R 1974. J. Appl. Phys, 7:1303.

103. MurataK, KyserD.F and Ting C.H. 1981. J. Appl. Phys. 52:4396.

104. Evans R.D 1955. The Atomic Nucleus(McGraw Hill: New-York),p576.

105. A.E. Чалых. А.Д.Алиев. A.E. Рубцов. Электронно -зондовый микроанализ в исследовании полимеров, М.: Наука. 1990, 192 с.

106. Алиев А.А. Дисс.канд. физ.-мат. Наук. ИФХ АН СССР, М.: 1984.

107. Вокаль М.В. Дисс. .канд. хим. Наук. ИФХ РАН, М.: 2004.

108. Справочник по специальным функциям, М.: "Наука", 1979, 131 с.

109. А.Е. Чалых. Диффузия в полимерных системах, М.: Химия, 1987, 312 с.

110. В .В Громов. Дисс. физ.-мат. Наук. ИФХ РАН, М.: 2000.

111. С.Е. Вайсберг Энциклопедия полимеров Т.З с.255.1977.

112. M.S. Isaacson: Specimen damage in the electron microscope, in Principles and Techniques of Electron Microscopy, Vol.7, ed. by M.A. Hayat (Van Nostrand-Reinhold, New York 1977) p.l

113. L. Reimer: Review of the radiation damage problem of organic specimens in electron microscopy, in Ref.1.12, p.231.