Развитие методов учета матричных эффектов при рентгеноспектральном микроанализе минерального вещества тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, Павлова, Людмила Анатольевна

• Павлова, Людмила Анатольевна
• 1985

Оглавление диссертации Павлова, Людмила Анатольевна

ВВЕДЕНИЕ.

Глава I. СОВРЕМЕННЫЕ СПОСОБЫ УЧЕТА ЭФФЕКТОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОНОВ И ВОЗБУЖДАЕМОГО МИ РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ ПРИ РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОМ МИКРОАНАЛИЗЕ (РСМА)

1.1 Использование метода Монте-Карло для определения состава вещества . II

1.2 Методы оС-коррекции в РСМА.

1.3 Методы раздельного введения поправок на матричные эффекты

1.4 Задачи и направления исследовании .«.*•

Глава П. ИЗУЧЕНИЕ МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ

РАСПРЕДЕЛЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПО

ГЛУБИНЕ ОБРАЗЦА, УЧЕТ МАТРИЧНЫХ ЭФФЕКТОВ.

2.1 Имитация траектории электрона

2.2 Распределение характеристического рентгеновского излучения по глубине образца сложного химического состава.

2.3 Расчет распределения тормозного рентгеновского излучения по глубине мишени

2.4 Учет поглощения рентгеновского излучения образцом

2.5 Способ учета дополнительного возбуждения характеристическим излучением.

2.6 Выводы.

Глава Ш. НОВЫЙ ВАРИАНТ СПОСОБА (^-КОРРЕКЦИИ ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО МИКРОАНАЛИЗА

3.1 Определение коэффициентов влияния

3.2 Расчет химического состава вещества с помощью коэффициентов влияния

3.3 Выбор условий анализа и метрологические характеристики методики.

3.4 Выводы.

Глава 1У. ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ РСМА И ЭКСПЕРШЕНТАЛЬ

НАЯ ПРОВЕРКА МЕТОДИК АНАЛИЗА

4.1 Программа расчета состава образцов методом Монте-Карло.

4.2 Программа расчета состава вещества с помощью метода сС-коррекции

4.3 Вычисление результатов количественного электрон-нозондового микроанализа z/if-методом.

4.3.1 Упрощенное выражение для расчета фактора обратного рассеяния электронов

4.3.2 Изучение условий сходимости системы уравнений, решаемой методом последовательных приближений

4.3.3 Алгоритм и программа расчета состава вещества на ЭВМ большой и средней мощности.

4.3.4 Использование ЭВМ малой мощности для обработки результатов РСМА.

4.4 Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Развитие методов учета матричных эффектов при рентгеноспектральном микроанализе минерального вещества»

Актуальность работы.В настоящее время эентгеноспектральный микроанализ (РСМД) является одним из основных аналитических методов для исследования состава мелких зерен линералов непосредственно в природных ассоциациях. Изучение состава вещества в микрообъемах имеет большое значение для решения генетических вопросов, выяснения физико-химических условий мине-ралообразования, оценки перспектив поиска полезных ископаемых. В 5олыпинстве случаев информация, получаемая с помощью электронного зонда недоступна другим аналитическим методам.

Высокие требования к точности определения концентраций элементов при разнообразии химического состава исследуемых объектов выдвигают задачу количественного микроанализа в ряд сложных проблем аналитической химии. Успешное развитие любого инструментального летода анализа, правильность его количественных результатов в значительной мере зависят от точности и полноты описания физических явлений, лежащих в основе определений. В практике РСМА традиционным является раздельное введение поправок на матричные эффекты, так называемый jf/lf-метод. В каждом конкретном случае формулы, используемые в z/if-методах для расчета поправок, содержат параметры, подобранные для определенных экспериментальных условий. Для объективной оценки результатов необходимо иметь независимый метод лчета эффектов взаимодействия электронов и возбуждаемого ими рентгеновского излучения с веществом. Это особенно важно в связи j тем, что данные РСМА часто (в силу малого объема объекта исследования) невозможно проверить другими аналитическими методами.

Вычислительные особенности методов численного моделирования, особенно метода Монте-Карло, позволяют считать их перспективными з точки зрения обеспечения адекватности описания происходящих в веществе процессов реальной картины возбуждения. Однако применительно к PGMA эти методы недостаточно разработаны. Имеющиеся способы . вычислений из-за сложности используемых моделей часто оказываются не доведенными до практической реализации. Для применения расчетов методом Монте-Карло в аналитической практике необходимо максимальное упрощение модели и создание вариантов, не требующих больших затрат машинного времени.

Сложность процессов, происходящих в веществе при возбуждении рентгеновского излучения пучком электронов, вызывает необходимость широкого использования электронно-вычислительной техники как на стадии разработки методики, так и для обработки результатов анализа. С этим связана потребность создания алгоритмов и программ расчета состава для ЭВМ разного класса.

Широкое внедрение в практику аналитических лабораторий комплексов микроанализатор-ЭВМ малой или средней мощности вьщвинуло актуальную задачу оптимизации методов расчета, проводимого непосредственно по ходу выполнения анализа. Для повышения производительности таких комплексов необходимо развитие способов анализа, отличающихся корректностью расчетов и простотой их практической реализации на ЭВМ. В этом плане определенные надежды возлагаются на методы оС-коррекции, развитые в РСМД относительно слабо.

Целью настоящей работы является дальнейшее развитие методов учета матричных эффектов при РСМА. Дости жение поставленной цели предполагает решение ряда теоретических и методических вопросов, включающих: изучение возможности применения метода Монте-Карло, учитывающего статистический характер возбуждения аналитического сигнала, для определения поправок на матричные эффекты с целью создания независимого от ьif -приближения метода их учета; разработуу способов анализа для микроаналитических комплексов, позволяющих повысить их производительность; создание программного обеспечения РСМА для ЭВМ разной мощности яа основе независимых методов учета матричных эффектов.

Научная новизна, работы заключается в зледугощем.

Методом Монте-Карло установлены закономерности распределения характеристического и тормозного рентгеновского излучения по глу-5ине объекта исследования. На основе этого предложен упрощенный зпособ расчета функции распределения характеристического рентгеновского излучения по глубине образца сложного химического состава.

Исследована зависимость глубины образования максимального рентгеновского излучения (р%таХг ) от ускоряющего напряжения и среднего атомного номера материала мишени. В результате этого получено выражение для практических расчетов pXmQx.

Предложен метод учета матричных эффектов в РСМА, в основу которого положена вероятностная модель возбуждения рентгеновского излучения.

Разработан новый вариант способа ©t-коррекции для образцов сло-кного химического состава. Способ основан на гиперболической за-зисимости поправочных функций от концентрации и применен для рас-1ета состава силикатных минералов и соединений золота и серебра.

Получено упрощенное выражение для расчета фактора обратного эассеяния электронов.

Практическая ценность работы. 1рограммное обеспечение, разработанное в диссертационной работе, внедрено в Северо-Восточном комплексном научно-исследовательском Институте ДВНЦ АН СССР (г.Магадан), Институте геохимии им.А.П.Ви-юградова СО АН СССР (г.Иркутск), Институте вулканологии ДВНЦ АН 2ССР (г.Петропавловск-Камчатский), Институте геологии ЯФ СО .АН ЗССР (г.Якутск), Дальневосточном геологическом институте ДВНЦ АН

СССР (г.Владивосток). Результаты работы по определению состава вещества на основе разных методов учета матричных эффектов могут использоваться в аналитических подразделениях научных учреждений и других организаций Министерства геологии СССР.

Теоретические положения, развитые в диссертации, используются при чтении лекций на 4 курсе химического факультета ИГУ.

На защиту выносятся следующие положения.

Способ учета матричных эффектов при РСМА методом Монте-Карло, в основу которого положена усовершенствованная автором упрощенная модель расчета, экономичная с точки зрения затрат машинного времени .

Результаты исследований с помощью метода Монте-Карло закономерностей распределения характеристического и тормозного рентгеновского излучения по глубине твердотельной мишени.

Выражения для практических расчетов глубины образования максимума характеристического рентгеновского излучения и функции распределения последнего по глубине образца сложного химического состава.

Упрощенное выражение для расчета фактора обратного рассеяния электронов.

Комплекс алгоритмов и рабочих программ расчета состава вещества на ЭВМ разной мощности с учетом матричных эффектов методом Монте-Карло, z/ip-методами и способом сс-коррекции.

Апробация работы. Основные материалы диссертации докладывались и обсуждались на У Совещании по рентгеноспект-ральным локальным исследованиям (Ыосква, 1972 г.), XI Всесоюзном совещании по рентгеновской спектроскопии и рентгеноспектральному анализу (Ростов-на-Дону, 1975 г.), расширенном заседании по рент-^еноспектральным исследованиям (Черноголовка, Московской области, [977 г.), Всесоюзном совещании "50 лет отечественного приборостроения" и ХП Всесоюзном совещании по рентгеновской спектроскопии 'Ленинград, 1978 г.), УП Всесоюзной конференции по локальным рент-пеноспектральным исследованиям и их применению (Черноголовка,Московской обл., 1979 г.), Ш Всесоюзном симпозиуме по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел (Москва, 1981 г.), Ш Сибирском семинаре по рентгеноспек-гральным методам анализа (Новосибирск, 1982 г.), УШ Всесоюзной конференции по локальным рентгеноспектральным методам исследова-шя и их применению (Черноголовка, Московской обл., 1982 г.), Совещании по химии, технологии и анализу золота и серебра (Новоси-5ирск, 1983 г.), 1У Зональном аналитическом семинаре "Рентгенов-;кие методы анализа в научных исследованиях и контроле производственных процессов" (Красноярск, 1983 г.), Х1У Совещании по рентгеновской и электронной спектроскопии (Иркутск, 1984 г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 19 ра-5от, включая тезисы докладов.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, библиографии и приложения. Общий объем составляет 178 страниц машино-шсного текста, иллюстрированного 36 рисунками и 24 таблицами. Список литературы включает 171 наименование.

Заключение диссертации по теме «Другие cпециальности», Павлова, Людмила Анатольевна

Основные результаты работы сводятся к следующему.

Методом Монте-Карло определены функции распределения характеристического рентгеновского излучения по глубине образца сложного химического состава. Изучены зависимости распределения излучения от среднего атомного номера образца и содержания определяемого элемента. Предложен упрощенный способ расчета функции распределения характеристического рентгеновского излучения по глубине образца сложного химического состава. Различия результатов расчета У(рх-) упрощенным способом и по полной схеме метода Монте-Карло составляют менее 5 % относительных при сокращении времени расчета на два порядка.

Изучена зависимость глубины максимального образования характе

- 151 ристического рентгеновского излучения от атомного номера образца и ускоряющего напряжения. Получено- выражение для практических расчетов J)XmQX для К - и А-спектров.

Методом Монте-Карло найдено распределение тормозного рентгеновского излучения по глубине твердотельной мишени. Приводятся относительные интенсивности тормозного излучения, рассчитанные на основании полученных закономерностей. Показано, что совпадение с экспериментальными результатами в пределах погрешности эксперимента, равной 10 %,

Разработан вариант метода Монте-Карло для учета матричных эффектов при РСМД образцов сложного химического состава. Метод расчета при сохранении метрологических характеристик экономичен с точки зрения затрат машинного времени.

Оценены возможности использования метода Монте-Карло при расчете состава вещества с помощью способа ^-коррекции. Разработан новый вариант способа ^-коррекции для количественного определения состава минерального вещества. Использование предлагаемого способа учета матричных эффектов при работе на микроаналитических комплексах позволяет в полтора-два раза повысить производительность аналитических работ по сравнению с традиционным Z/lF-методом. Полученные в работе результаты нашли практическое применение при автоматизированном анализе самородного золота и силикатных минералов.

Получено простое выражение для практических расчетов фактора обратного рассеяния электронов. Результаты расчета по упрощенной формуле с точностью максимум в 10 % относительных согласуются с экспериментальными значениями и расчетными данными, имеющимися в литературе.

Установлено, что сходимость системы уравнений, решаемой методом итераций, при учете матричных эффектов Z/1F-методом определяется отношением коэффициентов поглощения рентгеновского излучения и электронов.

Разработан один из первых в СССР алгоритмов расчета концентраций элементов в образцах разнообразного сложного химического состава т -методом.

Создан комплекс программ расчета состава вещества при РСМА с учетом матричных эффектов методом Монте-Карло, Z/jF-методом и с помощью способа о(.-коррекции для ЭВМ разной мощности.

Разработанные алгоритмы и программы расчета используются в аналитических лабораториях пяти научно-исследовательских институтов и практически применены автором при выполнении многочисленных анализов, частично нашедших отражение в работах /162-171/.

Теоретические разработки, проведенные в диссертационной работе, используются при чтении лекций на 1У курсе химического факультета Иркутского государственного университета.

СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕРЛЕ ДИССЕРТАЦИИ

1. Афонин В.П., Перфильева (Павлова) Л.А., Лаврентьев Ю.Г. Программа расчета на ЭВМ концентраций элементов при рентгеноспек-тральном микроанализе проб разнообразного химического состава. -В кн.: Ежегодник 1970 (отчет Института геохимии СО АН СССР за 1970 г.). Иркутск, 1971, с. 398-402.

2. Перфильева Л.А., Афонин В.П. Программа для расчетов результатов рентгеноспектрального микроанализа на ЭВМ малой мощности.-В кн.: Ежегодник 1972 (отчет Института геохимии СО АН СССР за 1972 г.). Иркутск, 1973, с. 446-450.

3. Ложкин В.И., Афонин В.П., Соломонова (Павлова) Л.А. Оценка аппаратурной составляющей фона при возбуждении рентгеновских спектров пучком электронов. - В кн.: Ежегодник 1973 (отчет о работе Института геохимии СО АН СССР за 1973 г.). Новосибирск, 1974, с. 337-339.

4. Соломонова Л.А., Чубаров В.М., Афонин В.П. Упрощенная формула для расчета фактора обратного рассеяния электронов. - В кн.: Ежегодник 1974 (отчет о работе Института геохимии СО АН СССР за 1974г.). Иркутск, 1976, с. 326-330.

5. Вахрушев В.А., Воронцов А.Е., Соломонова JI.A. О химическом составе магнетитов из железорудных месторождений юга Сибирской платформы. - Докл. АН СССР, 1974, т. 216, № 6, с. 1376-1379.

6. Афонин В.П., Гуничева Т.Н., Пискунова Л.Ф., Ложкин В.И., Парадина Л.Ф., Финкелыптейн А.Л., Соломонова Л.А. Физические и метрологические проблемы рентгеноспектрального флуоресцентного автоматизированного анализа. - В кн.: Тезисы докладов ХП Всесоюзного совещания по рентгеновской спектроскопии. Л., 1978, с. 3.

7. Соломонова Л.А. Расчет методом Монте-Карло распределения рентгеновского характеристического излучения по глубине мишени сложного химического состава. - В кн.: Геохимические методы поисков. Методы анализа. Иркутск, 1977, с. 152-156.

8. Соломонова Л.А., Афонин В.П. Расчет методом Монте-Карло распределения спектральной плотности непрерывного рентгеновского излучения по глубине мишени. - Там же, 1979, с. 80-83.

9. Парадина Л.Ф., Соломонова Л.А., Романенко И.М., Афонин В.П. Уточнение зависимости интенсивности характеристического излучения от энергии электронов. - Там же, 1979, с. 84-87.

10. Соломонова Л.А., Афонин В.П. Расчет поправки на поглощение при рентгеноспектральном микроанализе методом Монте-Карло. - Там же, 1979, с. 83-86.

- 154

11. Соломонова JI.А., Афонин В.П., Бобров Ю.Д. Методика количественного рентгеноспектрального микроанализа минералов. - В кн.: Тезисы докладов Ш Всесоюзного симпозиума РЭМ-81. М., 1981, с. 102-103.

12. Соломонова Л.А., Афонин В.П. Учет матричных эффектов в количественном рентгеноспектральном микроанализе модифицированным методом Лачанса-Трейла. - В кн.: Восьмая Всесоюзная конференция по локальным рентгеноспектральным исследованиям и их применению: Тез. докл. Черноголовка, 1982, с. 84-85.

13. Соломонова Л.А., Бобров Ю.Д., Афонин В.П. Совершенствование программного обеспечения микрозонда Суперпро6-733. - Там же, с. 158-159.

14. Соломонова Л.А., АфонинВ.П. Способ расчета функций в образцах сложного химического состава. - В кн.: Седьмая Всесоюзная конференция по локальным рентгеноспектральным исследованиям и их применению. - Тез. докл., Черноголовка, 1979, с.59-60.

15. Соломонова Л.А., Афонин В.П. Расчет результатов рентгеноспектрального микроанализа методом Монте-Карло. - Там же,с.60-61.

16. Афонин В.П., Гуничева Т.Н., Соломонова Л.А., Пискунова Л.Ф. Некоторые особенности решения системы уравнений методом итераций при вычислении результатов рентгеноспектрального анализа многокомпонентных образцов. - В кн.: Тезисы докладов XI Совещания по рентгеноспектроскопии. - Л., 1975, с. 33-34.

17. Афонин В.П., Соломонова Л.А., Парадина Л.Ф., Айсуева Т.С. Развитие метода ({-коррекции при определении пробности золота на электронном микрозонде. - В кн.: 1У Зональный семинар "Рентгеновские методы анализа в научных исследованиях и контроле производственных процесоов." Тез. докл. Красноярск, 1983, с. 4-5.

18. Афонин В.П., Парадина Л.Ф., Соломонова Л.А., Айсуева Т.С. Методика определения пробности самородного золота на автоматичес

- 155 ком рентгеновском микроанализаторе. - В кн.: Совещание по химии, технологии и анализу золота и серебра. Тез. докл. Новосибирск, 1983, с. 93.

19. Афонин В.П., Павлова Л.А., Парадина Л.Ф. Развитие метода сС-коррекции для расчета результатов рентгеноспектрального микроанализа сплавов золота. - В кн.: Х1У Всесоюзное совещание по рентгеновской и электронной спектроскопии. Тез. докл. Книга вторая. Иркутск, 1984, с. 76.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования Павлова, Людмила Анатольевна, 1985 год

1. Афонин В.П., 1^ничева Т.Н., Дискунова Л.Ф. Рентгено-фдуо-ресцентный силикатный анализ, - Новосибирск: Наука, Сибирское отделение, 1984. - 227 с,

2. Shimizu R., Ikuta Т., Nishigori N», Murata K. Calculation of X-ray Production in Alloy Targets by New Approach using Monte Carlo method. Jap.J. Appl. Phys*, 1970, v.9, p.1429-1430.

3. Bishop H.E. A Monte Carlo calculation on the scattering of electron in copper. Proc. Phys. Soc., 1965, v.85, N. 547, p.855-866.

4. Henoc J. and Maurice F. Characteristics of a Monte Carlo Program for Microanalysis Study of Energy Loss. In: Use. of Monte Carlo Calculations in Electron probe Microan. and Scanning Electron Microscopy, N.B.S., Ernest Ambler, 1976, p.61-96.

5. Shimizu H., Murata Shinoda Depth distribution of characteristic X-ray in microanalyses target. In: Optique des Rayons X-et Mioroanalyse. Paris, Herman, 1966, p.127-138.

6. Bethe H.A. Zur Theorie des Durchgangs Schneller Korpus-kularstrahlen durch Materie. Ann. Phys», 1930, Bd. 5, s.325-400.

7. Волков В.Ф., Еритенко A.H., Лаврентьев А.А. Расчет методом Монте-Карло интенсивности рентгеновского излучения. Ростов-на-Дону, 1975. 7 с, - Рукопись представлена Ростовским ун-том. Деп. в ВИНИТИ 23 июля 1975 г., № 2229-75.

8. Goudsmit S., Saunderson J.L. Multiple Scattering of Electrons. Phys. Rev-, 1940, v.57, p.24-29.

9. Мотт H., Месси Г. Теория атомных столкновений. М.:1. Мир, 1969. 756 с.

10. Shimizu R., Honji М., Murata К. Investigation of Energy

11. Dissipation of Electrons in A1 and Cu-Targets Ъу Monte Carlo Method. -Jap. J. Appl. Phys., 1970, v.9, N II, p.I29I-I296.

12. Henoo J., Maurice, F. Investigation of the straggling effect on characteristic X-ray emission in thiok targets. J. Phys. D: Appl. Phys., 1975, v.S, N 13, p.1542-1550.

13. Reiraer L. and Krefting E.R. The effect of scattering models on the results of Monte Carlo Calculations. In: Use of Monte Carlo Calculations in Electron probe Microanalysis and Scanning Electron Microscopy. N.X., NBS, Ernest Ambler, 1976,p.45-60.

14. Lewis H.W, Multtiple scattering in a infinite medium. Phya, Rev., 1950, v.78, N 5, p.526-529.

15. Sryzinski M. Classical theory of electronic and ionic inelastic collisions. Phys. Rev., 1959, v.115, N 2, p.374-383.

16. Koshikawa T. and Shimizu R. A Monte Carlo calculation of low-energy secondary electron emission from metals. J. Phys. D: Appl. Phys., 1974, v.7, N 9, p.I303-I3I5.

17. Pavlicek M. The modelling of quantitative X-ray mioroi. vanalysis Ъу Monte Carlo method. In: 7 Czechoslovak specrt-roscopic conf. and Till CANAS Qconf. on analytical atomic spectroscopy,). Ceske Вире jovice, 1984, v.3, s.3, p.I5.

18. Shimizu R., Nishigory N., Murata K. Monte Carlo Techni- 157 que as applied to Quantitative Electron Probe Microanalysis.- In: Proc. 6 Intern. Conf, on X-ray Optics and Microan. Univ. Tokyo Press, 1972, p.95-104.

19. Murata K., Matsukawa Т., Shimizu R. Monte Carlo Calculations on Electron Scattering in a Solid Target. Jap. <J. Appl. Phys., 197I, v.IO, N 6, p.678-686.

20. Shimizu R., Ikuta Т., Murata K. The Monte Carlo technique as applied to fundamentals of EPMA and SEM. Appl. Phys., 1972, v.43, N 10, p.4233—4249.

21. Murata К», Matsukawa Т., Shimizu R. Application of Monte Carlo calculation based on the singel scattering model to electron probe microanalysis. In; Proc. 6 Int. Conf. on X-ray Optics and Microan. Univ. Tokyo Press, 1972, p.I05-II2.

22. Reimer L. Monte Carlo Rechnungen zur Electronendlffusion. Optic, 1968, Bd.27, N 2, s.86-98.

23. McDonald T.R., Lamki A.M., Delaney C.F.G. The attenuation and backscattering of electron beams by thin films. J. Phys. D: Appl. Phys., 1971, v.4, N 8, p.1210-1217.

24. Лебедь В.И., Афонин В.П. Расчет пространственного распределения первичного характеристического рентгеновского спектра в пробе методом Монте-Карло. В кн.: Ежегодник - 1971 СибГЕОХИ. Новосибирск, 1972, с.392-396.

25. Nishigorl N., Shimizu. R., Murata К. Application of Monte Carlo calculations to> quantitative microanalysis of alloy systems. <T. Appl. Phys., 1972, v.43, N 9, p.3889-3890.

26. Афонин В.П., Егоров А.И., Лебедь В.И., Парадина Л.Ф. Разработка некоторых вопросов расчета интенсивности рентгеновских спектров, возбужденных пучком электронов. В кн.: Оптика рентгеновских лучей и микроанализ. Л., Машиностроение, 1976, с.16-19.

27. Castaing R. and Descamps J. Sur less bases physiques de 1*analyse ponctuelle par spectrographie X» J. Phys. Radium, 1955, v. 16, N 4, p.304-317.

28. Парадина Л.Ф. Интенсивность харакьеристического рентгеновского спектра, возбужденного в твердом теле. Дисс.на соиск.уч.степени канд. фаз.-мат.наук. - Иркутск, 1981. - 195 с.

29. Love D., Сох Ы.(х., ScottL V.D. A versatile atomic number correction for electron probe; microanalysis. Д. Phys. DJAppl. Phys. | 1978, v.II, N I, p.7-21.

30. Ruste J., Gantois M. A quantitative analysis of very light elements by the electron probe microanalyses J. Phys. D: Appl. Phys., 1975, v.8, N 7, p.872-890.

31. Love (x. , Scott T.D. Evaluation of a new correction procedure for quantitative electron probe microanalysis. J. Phys. D: Appl. Phys., 1978, v.II, N 10, p.I369-I376.

32. Castalng R. Application of Electron Probes to Local Chemical and CristallograpMc Analysis. Ph. D. Thesis.- Univ. of Paris, 1951. 200 c.

33. Poole D.M.j Thomas P.M. Atomic Number Effects in Mic-roprobe analysis. In: X-ray Optics and X-ray Microan. N.V., Acad. Press., 1963, p.4II-4I4.

34. Poole D.M., Thomas P.M. Correction of atomic number effects in microprobe analysis. The Electron Microprobe. N.Y., Wiley, 1966, p,269-275.

35. Ziebold Т.О. and Ogilvie R.E. An empirical method for electron microanalysis. Anal. Chem., 1964, v.36, N 2., p.322--327.

36. Ziebold Т.О. and Ogilvie R.E. Correlations of empirical calibrations for electron microanalysis. In: The Electron Microprobe. N.Y», Wiley, 1966, p.378-389.

37. Ingersoll R.M., Taylor J.E. and Derouin D.N. The application of the Ziebold correction procedure for probe data to three ternary copper-base alloys. Adv. X-ray Analysis, 1966, v.9, p.273-288.

38. Lachance G>R., and Traill R.J. A practical solution to the Matrix problem in X-ray Analysis.I Method. Canadian Spectroscopy, 1966, v.II, p.43-48.

39. Lachance G.R. Rundamental Coefficients for X-ray Spect-roscopycal Analysis. Can. Spectrosc., 1970, v.15, N 3, p.67-71, 76.

40. Lachance (x.R., and Trail R.J. A practical solution to the matrix problem in X-ray analysis. И Application to multi-component alloy system. Canad. Spectroscopy, 1966, v.II,p. 63-71.- 159

41. Вепсе А.Е. and АГЬее A.L. Empirical correction factors for the electron Microanalysis of silicates and oxides. — J. of Geology, 1968, v.76, N 4, p.382-403.

42. Ziebold Т.О. and Ogllvie R.E. The electron microanalyser and its applications. Cambridge: Mass., Massachusetts Institute of Technology, Depaptment of Metallurgy, 1966. - 117 p.

43. Albee A.L., Ray Z. Correction Factors for Electron Probe Microanalysis of Silicates, Oxides, Carbonates, Phosphates and Sulfate. Anal. Chem., 1970, v.42, N 12, p.I408-I4I4.

44. Старых В.В., Рудашевский Н.С., Медведева Э.М. Поправочные коэффициенты для количественного рентгеноспектрального микроанализа фаз окисннх систем. Зав.лаб., 1980, т.46, № 2, с .121-122.

45. Hirata К. and Okumura Т. Delta correction, a new simple correction method for EPMA Quantitative Analysis (I): Description of Delta Correction. In: Jeol.News. 1976, v.I5E,1. N 2, p.1-23.

46. Hirata K. and Okumura T. Delta correction, a new simple correction method for EPMA Quantitative Analysis (11): A Guide to Calculation. In: Jeol news. 1977, N I, p.1-25.

47. Kale G.B. and Khera S.K. A Correction Constant for Rapid Microprobe Analysis of Multicomponent Metallic Systems. X-ray Spectrom., 1981, v.10, N 3, p.126-127.

48. Лаврентьев Ю.Г., Кузнецова А.И., Нестеренко Г.В., Маликов Ю.И. Рентгеноспектральный микроанализ самородного золота. В кн.: Геология и геофизика. Новосибирск, Наука, 1982, № 2, с.83-87.

49. Панкратов А.А. Расчет состава с помощью "гиперболических" коэффициентов в методе локального рентгеноспектрального анализа. В кн.: Восьмая Воесоюзн.конф. по локальным рвнтге-носпектр. исследованиям и их применению. Черноголовка, 1982, с. 77-79.

50. Castaing R. Electron ргоЪе microanalysis. In: Advances in Electronios and Physics. I960, v.XIII, p.317-384.

51. Castaing R. et Henoc J. Repartition en protondeur du rayonnement caraoteristique. In: X-ray Optics and Microan. Hermann, 1966, p.120-127.

52. Штройбель П., Боровский И.Б. Экспериментальный способ получения функции ионизации . Шизика металлов и металловедение, 1969, т.28, вып.1, с.57-66.

53. Vignes A. and Dez G. Distribution in depth of the primary X-ray emission in anticathodes of titanum and lead. Brit. J. Appl. Phys., 1968, ser.2, v.I, N 10, p.I309-I322.

54. Brown J.D., Parobek L. Absorption correction cuves obtained from masurements of the production of X-rays as a function of depth. In: Adv. X-ray Analysis. 1972, v.16, p.198-205.

55. Biichner A.R., Pitsch W. A new correction for absorption and atomic number in quantitative microprobe analysis of metals. Zeitschrift fur Metallkunde, 1971, Bd.62, H.5,s.392-400.

56. Дищдан C.A., Куприянова T.A., Кулаева T.B. Проникновение электронов в объект и распределение рентгеновского излучения при электроннозондовом возбуждении. Изв. АН СССР, Сер.физ., 1968, J& 7, с.ПЗО-ПЗЗ.

57. Куприянова Т.А. Исследование распределения рентгеновского излучения при электроннозондовом возбуждении. Дисс. на соиск.уч.степени канд.физ.-мат.наук. - М., 1970. - 167 с.

58. Shimizu R., Murata К., Shinoda G. Depth distribution of characteristic X-ray in Microanalyser target. In: Opti-que des Rayons X-et Microan., Paris, Hermann, 1966, p.127-138.

59. Philibert J. A method for Calculating the Absorption Correction in Electron Probe Microanalysis. In: X—ray Optics and X-ray Microan. N.Y,, Acad. Press, 1963, p.379-392.

60. Reuter W. The ionisation Function and Its Application to the Electron Probe Microanalysis of Thin Films. In:4* К

61. Proc. 6 Int. Conf. on X-ray Optics and Microan. Tokyo,Univ.- 162

62. Tokyo Press, 1972, p.I2I-I30.

63. Cosslett V.E. and Thomas R.N. Multiple scattering of 5-30 kev electrons in evaporated metal films. I Total transmission and angular distribution. Brit. J. Appl. Phys., 1964, v.I5, N 8, p.883-907.

64. Heinrich K.F.J. Electron probe microanalysis by specimen current measurement. In: X-ray Optics and Microan. Paris, Herman, 1966, p.159-167.

65. Tong M. Methode de correction en microanalyse. J. Microscopie, 1969, v.8, p.276-306.

66. Bothe W. Durchgang von Electronen durch Materie. Hand-buch der Physik, 1933, 22/2, s.I-70.

67. Webster D.L., Clark H., Hansen W.W. Effects of Kathode-Ray Diffusion on Intensities in X-ray Spectra. Phys. Rev., 1931, v.37, p.II5-I35.

68. Рвдник В.И., Боровский И.Б. К методике количественного локального рентгеноспектрального анализа. Зав.лаб., 1967, т.ЗЗ, № 8. с.955-961.

69. Боровский И.Б., Рвдник В.И. Распределение интенсивности рентгеновского излучения в массивном аноде. Изв.АН СССР, сер.фиэ., 1967, т.31, Jfe 6, с.1009-1015.

70. Borovskii I.B., Rydnik Y.I. The theory of quantitative electron probe microanalysis. In: Quantitative Electron Probe Microanalysis. N.B.S., Spec. Publ., N 298, 1968, p. 3552.

71. Махов А.Ф. 0 проникновении электронов в твердые тела. Физика тв.тела, I960, т.2, И 9, с.2167-2184.

72. Dupuoy G., Perrier F., Yerdier P., Arnal F. Transmission d1electrons monocinetiques a travers des feuilles metal-liques minces. Compt. rend., 1965, t.260, p.6055-6060.

73. Dekker A. Solid State Physics, 1958, v.6, p.251.

74. Green Ы., Cosslett V.E. The Efficiency of Production of Characteristic X-radiation in Thick Targets of a Pure Element. Proc. Phys. Soo., 1961, y.78, p-I206-I2I7.

75. Parobek L., Brown J.D. The atomic Number and Absorption Correction in Electron Microprobe Analysis of Low Electron Energies. X-Ray Spectr., 1978;, v.7, N I, p.26-30.

76. Панкратов A.A. Формула расчета функции В кн.: Восьмая Всесоюзн.конф. по локальным рентгеноспектр.исслед. и их применению. Черноголовка, 1982, с.75-77.

77. Criss J.W. and Birks L.S. Intensity formulae for computer solution of multicomponent electron probe specimens.- In: The Electron Microprobe. N.Y., Wiley, 1966, p.217-236.

78. Гоулдстейн Дд. и Яковиц 1. Практическая растровая электронная микроскопия. М.: Мир, 1978. - 656 е., илл.

79. Packwood R.H., Brown J.D., A Gaussian Expression to Describe Curves for Quantitative Electron probe Microanalysis. X-ray Spectrom., 1978, v. 10, N3, p. 138-146.

80. Brown J.D*, Packwood R»H. Quantitative Electron probe microanalysis using Gaussian curves. X-ray Spectrom., 1982, v.II, N 4, p.187-193.

81. Thomas P.H. A method for correcting atomic number effects in electron probe microanalysis. Atomic Energy Research, Establ. Rep., AERE-R-4593, 1964, 16 p.

82. Duncumb P. and Read S»J.B. The calculation of stopping power and backscatter effects in electron probe microanalysis.- In: Quantitative Electron Probe Microanalysis. N.B.S., Spec. Publ., 1968, N.298, p. 133-154.

83. Belk J.A. Quantitative microanalysis of complex alloys.- In: X-ray Optics and X-ray Microanalysis. Paris, Herman,1966, p.214-224.

84. Smith J.V. X-ray emission microanalysis of rock-forming minerals. J. Geology, 1965, v.73, N 6, p.830-864.

85. Duncumb P. and Shields P.K. Effect of critical exita-tion potential on the absorption correction. In: The electron microprobe. N 4, Wiley, 1966, p.284-295.

86. Peissker E. Vergleich verschiedener korrekturverfahren fur die quantitative electronens trahilmicroanalyse. Micro-chim. Acta, 1967, suppl.2, s.156-172.

87. Heinrich K.P.J. Common sources of error in eleotron probe microanalysis. Adv. X-ray Analysis, 1968, v.II,p.40-55.

88. Duncumb P., Shields-Mason P.K., da Casa C. Accuracy of atomic number and absorption corrections in electron probe microanalysis. In: V Int. Congr. on X-ray Optics and microanal. Berlin-Heidelberg-N.Y., Springer-Verlag, 1969,p.146-150.

89. Heinrich K*F.J. The absorption correction model for microprobe analysis. In: Abstract of the second Nat. Conf. on Electron Microprobe Analysis. Boston, Mass, 1967, pap.7.

90. Theisen R. Eine vollstandige analytische korrektir-prozedur fur quantitative Electronen strahlmikroanalyse.- Microchim Acta, 1966, suppl.I, s.129-138.

91. Reed S.J.B. Caracteristic fluorescence correction in electron-probe microanalysis. Brit.J. Appl. Phys., 1965,v.16, N 7, p.913-926.

92. Springer G. Die Berechnung von korrekturen fur die quantitative Electronenstrahl-Microanalyse. Fortschr. Mineral., 1967, Bd.45, H.I, s.103-124.

93. Berger M.J», Seltzer S.M. Tables of energy losses- 164 and ranges of electrons and positrons. Washington: National Academy of Science, National Rerearch Council Publ. 1133, D.C., 1964. - 205 p.

94. Heinrich K.F.J., Yakowitz H. Absorption of Primary X-rays in Electron Probe Microanalysis. Anal. Chem., 1975, v.47, N 14, p.2408-24II.

95. Лаврентьев Ю.Г., Чернявский Л.И., Смирная 3.И. Оптимизация методов нахождения поправки на атомный номер. В кн.: Восьмая Всесоюзн.конф. по локальным рентгеноспектральным исследованиям и их применению, Черноголовка, 1982, с.60-62.

96. Бердичевский Г.В., Лаврентьев Ю.Г., Чернявский Л.И., Вадаш П.И. Нахождение функции поглощения в рентгеновском микроанализе с помощью экспериментальных данных. Зав.лаб.,1976, т.42, £ 6, с.664-670.

97. Philibert J. L'analyse quantitative en mic. nalysepar sond electronique . Metaux: Corrosion Industries, 1964, 465, p.157-194, 1964, 466, p.216-268, 1964, 469, p.325-407.

98. Сидоров А.Ф., Рудашевский H.C. Фрагмент программы "Челнок" дня обработки результатов количественного РСМА. -"Гипотетика". В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л., Машиностроение,1980,вып.23, с.189-203.

99. Андрущенко Н.С. Математическая обработка данных количественного микрорентгеноспектрального анализа. В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л., Машиностроение, 1975, вып.17, с.179-192.

100. Лаврентьев Ю.Г., Бердичевский Г.В., Чернявский Л.И. Модель "эффективной глубины" в рентгеноспектральном микроанализе. Зав.лаб., 1979, т.49, £ II, с.998-1003.

101. НО. Tanuma S., Nagashina К. An improved alsorption correction based on a Gaussian ionisation distribution model- 165 for electron probe microanalysis. Speotrochim. Acta, 1981, v.36 B, N 7, p.757-761.

102. Ильин Н.П., Лосева Л.Г. Количественный рентгеноспект-ральный микроанализ. Зав.лаб., 1967, т.33, № 8, с.951-954.

103. Wolf R.C., Carries Т.С. Quantitative Microprobe Analysis: A basio for Universal Atomic Number Correction tables. In: Electron Probe Microanal. N.Y. — London, 1969, p. 73115.

104. Wittry D.B. Methods of quantitative electron probe Analysis. Adv. in X-ray Anal., 1964, v.7, p.395-418.

105. Henoc J. Fluorescence excited by the continuum. -In: Quantitative Electron probe Microanalysis. NBS, Spec. Publ.

106. N 298, Washington, 1968, p.197-214.

107. Poole D.M. Progress in the correction for the atomic number effect. In: Quantitative electron probe Microanal. N.B.S., Spec. Publ. N 298, 1968, p.93-131.

108. Beaman D.R. Evaluation of correction Procedures Used in Electron Probe Microanalysis with Emphasis on Atomic Number Interval 13 to 33. Anal. Chem., 1967, v.39, N 4, p.418-426.

109. Beaman D.R. A computer program for Use in Quantitative Electron Probe Microanalysis. Microchim. Acta, 1969,N I, s. 117—129.

110. Scott Y.D. and Love G. Correction procedures in quantitative electron-probe microanalysis. Ibid., p.27.

111. Helgesson C.I. Absorption correction calculation of electron probe microanalysis data by a computer. In: X-ray Optics and Microanalysis. Paris, Hermann, 1966, p.284-295.

112. Лаврентьев Ю.Г., Бердичевский Г.В., Поспелова Л.Н., Чернявский Л.И. О методах введения поправки на поглощение при рентгеноспектральном микроанализе с электронным зондом. Зав.лаб., 1974, т.40, Jfe 8, с.951-958.

113. Лаврентьев Ю.Г. О методах введения поправки на атомный номер при рентгеноспектральном микроанализе с электронным зондом. Зав.лаб., 1981, т.47, Jfc 6, с.32-39.

114. Love Gr., Сох M.G.C., Scott V.D., Assessment of phy~li-bert's absorption correction models in electron-probe microanalysis. J. Phys. D: Appl. Phys., 1975, v.8, p.I686-I702.

115. Andersen C.A., Hasler M.F. Extension of electron microprobe techniques to bioochemistry by use long wavelength X-rays. In: X-ray Optics and Microanalysis. Paris, Hermann, 1966, p.310-327.

116. Bishop H.E. The prospects for on improved absorption correction in electron probe microanalysis. J.Phys. D:Appl. Phys., 1974, v.7, p.2009-2020.

117. Love G., Cox IH.G.C., Scott V.D. Assessment of Bishop's absorption correction model in electron probe microanalysis. J. Phys. D: Appl. Phys., 1976, v.9, N I, p.7-13.

118. Бердичевский Г.В., Лаврентьев Ю.Г., Чернявский Л.И. О влиянии потенциала возбуждения на величину поправки на поглощение в рентгеновском микроанализе, В кн; Оптика рентгеновских лучей и микроанализ. Л., Машиностроение, 1976, с.35-38.

119. Heinrich K.F.J. X-ray absorption uncertainty. In: The Elecron Microprobe. N.Y., Wiley, 1966, p.296-377.

120. Theisen ft., Togel K., Volath D. Massenschwachungs ko-effizienten von Rontgenlinirn. Mikrochim. Acta, 1967, supl. II, s.16-24.

121. Bishop H.E. Some Electron Backscattering Measurements for solid targets. In: Optique des Rayons x-et Microanalyse. Paris, Hermann, 1967, p.153-158.

122. Love G., Cox M.G. and Scott Y.D. Electron probe microanalysis using oxygen X-rays: I Mass absorption coefficients.- J. Phys. D: Appl. Phys., 1974, v.7, N 15, p.2I3I-2I42.

123. Love &., Cox M.G. and Scott, V.D. Electron probe microanalysis using oxygen X-rays: II Absorption correction models.- J.Phys. D: Appl» Phys., 1974, v.7, N 15, p.2142-2155.

124. Love G„ and Scott Y.D. A critical appraisal of some recent correction procedures for quantitative electron probe microanalysis. J. Phys. D: Appl. Phys., 1980, v.13, N 6, p.995-1004.

125. Ruste J. and Seller C.C.R. Academ. Science Press., Paris, 1977, B.284, p.507-510.

126. Philibert J., Tixier R. Some problems with quantitative electron probe microanalysis. In: Quantitative Eleotron- 168 robe Microanalysis. N.B.S., Spec. Publ. N 298, 1968, p.13-33.

127. Бердичевский Г.В., Лаврентьев Ю.Г., Чернявский Л.И. На-шдение концентраций элементов при количественном рентгено-(пектраяьном микроанализе минералов. Геология и геофизика, !977, № 3, с.153-158.

128. Beaman D.R., Isasi J .A. A critical examination of computer programs used in quantitative eleotron microprobe analysis. Anal. Chem., 1970, v.42, N 13, p.I540-I568.

129. Colby J.W. Magic IV-a new impoved version of magic.-In: Proc. 6th Nat. Conf. on Electr. Probe Anal. Pittsburg, Pennsylvania, 1971, p.I7A-I7B.

130. Paduch J. and Barszcz A. A multifunctional Monte Carlo program for quantitative electron probe microanalysis. In: 7th Czechoslovac Spectroscopic conf. and VIIIth CANAS. Ceske BUDEJOVICE, 1984, v.3, s.3, p.61.

131. Парадина Л.Ф., Афонин В.П. Расчет эффективности протонного, электронного и флуоресцентного способов возбуждения рентгеновских К-спектров в тонких пленках. В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л., Машиностроение, 1979, вып.16, с,62-66.

132. Афонин В.П. Исследование влияния спектрального состава первичного излучения на интенсивность длинноволновой рентгеновской флуоресценции. Дис. на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук. - Иркутск, 1968. - 178 с.

133. Green М. The target absorption correction in X-ray microanalysis. In: X-ray Optics and Microanalysis. N.Y., Acad. Press, 1963, p.361-377.

134. C. Яковиц X., Геинрих К. Неопределенность во введении поправки на поглощение. В кн.: Физические основы рентгеноепект-рального локального анализа. М., Наука, 1973, р.179-197.

135. Ранзетта Г., Скотт В. Расчет влияния атомного номера и поглощения рентгеновских лучей на результаты микроанализа при помощи электронных вычислительных машин. В кн. : Физические основы рентгеноспектрального анализа. М., Наука, 1973, р.158-167.

136. Duncumb P. and Shields D.K. Effect of critical excitatiozi potential on the absorption correction. In: The Electron Mioroprobe. N.Y., Wiley, p.284-295.

137. Финкелыптейн А.Л., 1^ничева Т.Н., Афонин В.П. Учет матричных эффектов методом -коррекции при рентгенофяуорес-центном силикатном анализе. Журн.аналит.химии, 1984, т.39,1. J& 3, с.397-403.

138. Остроумов Г.В. Методические основы исследования химического состава горных пород, руд и минералов. М.: Недра, 1979. - 400 с.

139. Bearden J.A. X-ray wavelengths and X-ray atomic levels. Rev. Mod. Phys., 1967, v.39, N I, p.78-124.

140. Fink R.W., Jopson R.C., Mark H., Switt C.D. Atomic fluorescence Yields. Rev. Mod. Phys., 1966, v.38, N 3,p.513-540.

141. Bishop H.E. The absorption and atomic number corrections in electron probe X-ray microanalysis. Brit. J. Appl. Phys. (J. Phys. D), 1968, ser.2, v.I, p.673-684.

142. Springer G. The Lose of X-ray Intensity due to Backscattering of electrons in Microanalysis targets. Mic-rochim. Acta, 1966, N 3, Heft, p.587-595.

143. Thoma C. PrUfung der korrekturverfaren fur absorption, ordnungszahl und sekundare Fluoreszenz durch variation der Anregungsspannung und des Entnhmewinkels. Micrichim. Acta, 1970, suppl. IV, p.I02-II3.

144. Brown D.B., Wittly D.B., Kyser D. Prediction of X-ray production and electron scattering in electron probe analysis using and transport equation. J.Appl. Phys., 1969, v.40, N 4,p.1627-1636.

145. Конев A.A., Афонин В.П., Перфильева Л.А., Ущаповская З.Ф. «Пдерфишерит из скарнов Тажерана. В кн.: Вопросы минералогии горных пород и руд Восточной Сибири. Иркутск, 1972,с.15-22.

146. Глазунов О.М., Афонин В.П., Перфильева Л.А., Фролова Л.П. Первичная форма концентрации К и в гипербазитах. -Геохимия, 1973, гё 4, с.622-625.

147. Коваленко Н.И., Соломонова Л.А., Афонин В.П. О составе флюидной фазы в системе онгонит H^O-HS1. В кн.: Ежегодник1973 (отчет о работе Института геохимии за 1973 г.). Новосибирск, 1974, с.288-294.

148. Коваль П.В., Соломонова Л.А. О парагенезисе двух альбитов в гранитоидах. Докл.АН СССР, 1975, т.222, № 3, с.697-701.

149. Вахрушев В.А., Воронцов А.Е., Соломонова Л.А. О химическом составе магнетитов из железорудных месторождений юга Сибирской платформы. Докл.АН СССР, 1974, т.216, $ 6, с.1376-1379.

150. Коваленко В.И., Соломонова Л.А., Афонин В.П. Результаты исследования онгонитов с помощью рентгеновского зонда. В кн.: Ежегодник 1973 (отчет о работе Института геохимии СО АН СССР за 1973 г.). Новосибирск, 1974, с.101-104.

151. Коваленко Н.И., Завьялова Л.Л., Соломонова Л.А. Результаты исследования системы "гранит HgO-H?" с помощью рентгеновского микроанализатора. В кн.: Геохимия эндогенных процессов. Иркутск, 1977, с.180-185.

152. Сандимирова Г.Н., Соломонова Л.А., Похольченко Ю.А.

153. Рентгеноспектральный метод определения отношения Rb/Sr для целей геохронологии. В кн.: Геохимические методы поисков. Методы анализа. Иркутск, 1979, с.112-117.

154. Воронцов А.Е., Амецшнов А.А., Соломонова Л.А., Рома-ненко И.М. Клинопироксен-шкроильменитовые сростки из диа-терм Юга Сибирской платформы. Изв.АН СССР, 1983, № 8, с.29-34.