Взвешенные частицы в высокочистых летучих веществах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, доктор химических наук Лазукина, Ольга Петровна

• Лазукина, Ольга Петровна
• доктор химических наук
• 2002

Оглавление диссертации доктор химических наук Лазукина, Ольга Петровна

ВВЕДЕНИЕ. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ, ЦЕЛИ И

ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

ГЛАВА 1. Взвешенные частицы в высокочистых летучих веществах (литературный обзор).

1.1. Негомогенные примеси - специфический класс 24 примесей в высокочистых веществах.

1.2. Обнаружение частиц в высокочистых веществах и 29 материалах. Развитие методов исследования взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах. j 2 Влияние субмикронных частиц на свойства высокочистых материалов для микроэлектроники и волоконной оптики. Современные требования к допустимому уровню содержания частиц в высокочистых веществах.

1.4. Источники взвешенных частиц в высокочистых ле- 42 тучих веществах, химический состав частиц.

1.4.1. Образование частиц в процессах физической и хими- 42 ческой конденсации.

1.4.2. Поступление частиц в высокочистые летучие веще- 46 ства извне, источники «готовых» частиц.

1.4.3. Химический состав взвешенных частиц в высокочис- 49 тых летучих веществах.

1.5. Методы определения спектра размеров частиц в 54 жидкостях и газах, их применимость к определению частиц в высокочистых летучих веществах.

1.5.1. Разрушающие контактные методы с предваритель- 56 ным выделением частиц из пробы.

1.5.2. Разрушающие контактные методы без предваритель- 57 ного выделения частиц из пробы.

1.5.3. Разрушающие бесконтактные методы.

1.5.4. Неразрушающие контактные методы.

1.5.5. Неразрушающие бесконтактные методы.

1.6. Оптические счетчики для определения частиц в вы- 64 сокочистых средах.

1.6.1. Счетчики для определения частиц в воздухе чистых 65 зон и транспортных газах.

1.6.2. Определение частиц в основных технологических га- 67 зах.

1.6.3. Определение частиц в высокочистых жидких средах.

1.7. Основные цели и задачи работы.

ГЛАВА 2. Разработка высокочувствительных методов опреде- 78 ления размеров взвешенных частиц в высокочистых веществах.

2.1. Метод лазерной ультрамикроскопии.

2.2. Автоматизированный лазерный анализатор для опре- 87 деления спектра размеров субмикронных частиц в высокочистых летучих веществах методом лазерной ультрамикроскопии.

2.2.1. Определение частиц в высокочистых летучих жидкостях.

2.2.2 Определение частиц в расплаве высокочистой серы.

2.2.3. Определение частиц в высокочистых летучих веще- 97 ствах в газовой фазе.

2.2.4. Определение оптических микронеоднородностей в 102 высокочистых стеклах.

2.3. Взаимосвязь переделов обнаружения по размеру и концентрации в методе лазерной ультрамикроскопии.

ГЛАВА 3. Снижение пределов обнаружения по размеру и чис- 111 ленной концентрации при определении взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах методом лазерной ультрамикроскопии

3.1. Бесконтактный счетчик ядер конденсации испари- 111 тельного типа

3.1.1. Конструкция и принцип действия бесконтактного 114 счетчика ядер конденсации испарительного типа.

3.1.2. Градуировочная характеристика счетчика и его мет- 117 рологические характеристики.

3.2. Счетчик ядер конденсации для определения взве- 123 шенных частиц в высокочистых летучих веществах в газовой фазе.

3.2.1. Конструкция и принцип действия

3.2.2. Температурные условия зоны конденсации

3.2.3. Парциальное давление паров октана в зоне конден- 128 сации. Профиль пересыщения по длине конденсационной трубы.

V) 3.2.4. Градуировочная характеристика счетчика. Диапазоны определяемых размеров и численных концентраций.

3.2.5. Диффузионные потери.

3.2.6. Зависимость размера сконденсировавшихся капель 135 от температуры зоны конденсации.

3.2.7. Сопоставление спектров размеров частиц, получен- 137 ных на разработанном конденсационном счетчике и диффузионном спектрометре аэрозолей (ДСА)

3.3. Влияние смачиваемости частиц на правильность on- 137 ределения их размера методом варьирования пересыщения

3.3.1. Работа образования адсорбционной пленки на части- 138 це

3.3.2. Условие конденсационного укрупнения частиц. 141 ^ Сравнение с кельвиновской моделью.

3.4. Концентрирование взвешенных частиц в жидкостях с 146 применением постоянного электрического поля.

3.4.1. Модель предлагаемого метода и ее теоретическое 146 обоснование.

3.4.2. Разработка конструкции электроконцентратора

3.4.3. Результаты экспериментов и их обсуждение

3.4.4. Теоретическое обоснование полученных закономер- 155 ностей процесса электроконцентрирования

ГЛАВА 4. Исследование спектров размеров частиц и их устой- 160 $ чивости в высокочистых летучих веществах.

4.1. Продолжение спектров размеров частиц в кластер- 160 ную область в высокочистых летучих хлоридах.

4.2. Спектры размеров и источники частиц в высокочис- 171 тых летучих неорганических гидридах.

4.2.1. Спектры размеров частиц >0,04 мкм в высокочистом 171 силане.

4.2.2. Спектры размеров кластерных частиц в высокочис- 173 тых летучих неорганических гидридах.

4.2.3. Образование кластеров в процессах снижения давле- 175 ния как потенциальный источник частиц в высокочистых летучих неорганических гидридах. Влияние эффекта Джоуля-Томсона.

4.3. Спектры размеров и устойчивость частиц в высоко- 178 чистых металлорганических соединениях.

ГЛАВА 5. Устойчивость парогазовых эмульсий в высокочистых 186 летучих хлоридах.

5.1. Парогазовые эмульсии как возможный вид негомогенных примесей в высокочистых летучих хлоридах. Обнаружение пузырьков субмикронных размеров в высокочистом оксихлориде фосфора.

5.1.1. Поведение дисперсных систем при фильтрации.

5.1.2. Поведение дисперсных систем в процессах затверде- 191 вания и плавления.

5.1.3. Влияние нагревания - охлаждения.

5.1.4. Воздействие электрического поля.

5.1.5. Эволюция дисперсных систем при хранении.

5.2. Исследование устойчивости парогазовых пузырьков 196 к диффузионному растворению.

5.3. Агрегативная устойчивость парогазовых эмульсий в 201 высокочистом оксихлориде фосфора.

5.4. Границы области относительной устойчивости паро- 206 газовых эмульсий в оксихлориде фосфора.

ГЛАВА 6. Исследование спектров размеров частиц и их устой- 212 чивости в транспортных газах

6.1. Спектры размеров и источники частиц в транспорт- 212 ных газах.

6.1.1. Спектры размеров частиц в кислороде.

6.1.2. Спектры размеров частиц в высокочистом азоте

6.1.3. Спектры размеров частиц в высокочистом аргоне.

6.1.4. Спектры размеров частиц в транспортных газах в об- 220 ласти 3 нм - 1 мкм. Достигнутый уровень чистоты по частицам.

6.2. Содержание частиц в высокочистых газах после 221 фильтрации. Исследование эффективности волокнистых и мембранных фильтров в интервале размеров частиц 3 нм - 0,5 мкм

6.2.1. Волокнистые фильтры.

6.2.2. Мембранные фильтры

6.3. Стабилизация уровня содержания частиц в высокочистых газах. Подавление источников образования частиц при глубокой очистке газов от примеси воды. Разработка метода криофильтрации.

ВЫВОДЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Взвешенные частицы в высокочистых летучих веществах»

цели и задачи исследования

Актуальность работы. Взвешенные частицы в высокочистых веществах входят в класс негомогенных примесей - включений другой фазы, находящихся в различных агрегатных состояниях. Негомогенные примеси отличаются своим поведением от растворенных примесей в процессах глубокой очистки, хранения и использования высокочистых веществ и оказывают специфическое и, как правило, негативное воздействие на свойства получаемых материалов. Негомогенные примеси являются источником растворенных примесей, лимитирующих проявление примесно чувствительных свойств, а также могут приводить к появлению поверхностных и объемных дефектов в получаемом материале [1-4].

Негомогенные примеси представляют собой отдельный класс примесей, для которых необходимо учитывать не только их элементный и молекулярный состав, но и агрегатное состояние и размеры. Высокочистое вещество поэтому может рассматриваться не только как предельно разбавленный истинный, но и коллоидный раствор.

Параметрами, наиболее сильно влияющими на поведение негомогенных примесей в процессах глубокой очистки, хранения и использования высокочистых веществ и на свойства получаемых из них материалов, являются их химический состав и физическое (агрегатное) состояние, а также спектр размеров частиц (зависимость численной концентрации негомогенных примесей от их размера) и его временная устойчивость.

Исследование данных параметров требует развития специальных методов анализа. К изучению негомогенных примесей применимы и методы коллоидной химии. В целом проблема негомогенных примесей в высокочистых веществах является комплексной, требующей рассмотрения на стыке нескольких разделов физической и коллоидной химии, физики фазовых переходов и аналитической химии высокочистых веществ.

Методы определения взвешенных частиц в высокочистых средах, часто химически нестойких и агрессивных, должны удовлетворять ряду условий, связанных с возможной нестабильностью исследуемого вещества, могущей приводить к образованию дисперсной фазы в образце в процессе его отбора, хранения и анализа, а также при контакте с внешней средой: быть неразрушающими, допускать герметизацию пробы и ограничиваться ее небольшим объемом.

С конца 50-х годов 20 века развитие производства высокочистых материалов для микроэлектроники, волоконной и силовой оптики потребовало ускоренного изучения источников появления микрочастиц в высокочистых веществах. Контролю и нормировке стали подлежать частицы в технологических жидких средах и транспортных газах, а также воздухе производственных помещений. Последняя потребность вызвала к жизни индустрию специальных помещений для работы с чистыми веществами [3]. Появились многочисленные стандарты, нормирующие содержание частиц в различных средах [5].

Тем не менее сведений о составе, поведении и источниках взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах, являющихся исходными для многих процессов микро- и наноэлектроники, в волоконной и силовой оптике в научных публикациях крайне мало.

В нашей стране исследования взвешенных частиц в высокочистых веществах и материалах в 80-х годах проводились в Научно-исследовательском институте химических реактивов и особо чистых веществ М.С. Чупахиным с сотр., Г.З. Блюмом с сотр., в Научно-исследовательском и проектном институте редкометаллической промышленности. Разработка методов определения субмикронных частиц в газах и жидкостях проводилась в Научно-исследовательском физико-химическом институте им. Л .Я. Карпова под руководством И.В. Петря-нова, в Институте химической кинетики и горения СО АН СССР А.Н. Анкиловым с сотр. и др.

Наиболее интенсивные работы по изучению взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах проводились сотрудниками Института химии высокочистых веществ РАН (до 1988 г. - Институт химии АН СССР): решались проблемы глубокой очистки жидкостей и газов от частиц и их контроля в высокочистых средах; влияния частиц на свойства получаемых материалов; химической природы и агрегатного состояния негомогенных примесей.

Результаты первых исследований поведения взвешенных частиц при глубокой очистке летучих жидкостей дистилляционными методами, выполненные в 1976-77 гг., [6] показали, что частицы субмикронных размеров могут переходить в значительных количествах в очищаемый продукт в процессах физико-химического разделения. В дальнейшем данная проблема была рассмотрена в ее различных аспектах и на широком круге исследованных объектов. Было рассмотрено поведение негомогенных примесей при глубокой очистке летучих веществ всеми известными методами физико-химического разделения. Исследования показали чрезвычайную сложность данного процесса, часто приводящую к неожиданным результатам [7-11].

Методы исследования негомогенных примесей в высокочистых жидкостях и газах развивались параллельно с развитием методов глубокой очистки. Первое систематическое исследование взвешенных частиц в летучих неорганических гидридах и хлоридах методом электронной микроскопии, а также спектральным, рентгенофазным и электрон-нографическим методами проведено в ИХ АН СССР 1974-1978 г.г. [12

14] и было связано с выделением частиц на фильтры и подложки. Представительность пробы обеспечивалась относительно высоким суммарным содержанием примесей в анализируемых объектах, в заметных количествах присутствовали частицы микронного размера.

С конца 70-х годов в институте для определения спектров размеров частиц в высокочистых летучих веществах стал развиваться нераз-рушающий метод лазерной ультрамикроскопии.

К началу настоящей работы в 1985 г. нами была разработана аналитическая методика и создана установка для определения частиц в высокочистых летучих жидкостях методом лазерной ультрамикоскопии [15,16]. С помощью данной методики были получены спектры размеров частиц в высокочистых летучих хлоридах [17,18] и неорганических гидридах в жидкой фазе [19]. Разработанный метод применялся при исследовании процессов глубокой очистки летучих веществ от субмикронных частиц.

В 80-х, начале 90-х годов развитие микроэлектроники привело к ужесточению требований к допустимым размерам и численной концентрации частиц в различных средах: наибольшее внимание стали привлекать частицы размером менее 0,1 мкм.

Дальнейшее развитие методов глубокой очистки от частиц позволило значительно уменьшить концентрацию дисперсной фазы в высокочистых летучих веществах. Если содержание взвешенных частиц в данных объектах к началу нашего исследования составляло <10"6-10"7 мае. %, то в 2001-2002 гг. уровень содержания взвешенных частиц размером ~0,1 мкм не должен превышать 10"13 мае. %. Получены высокочистые вещества с содержанием примесей металлов на уровне 10"9 мае. %, воды и кислорода (как возможных источников поступления негомогено ных примесей) - 10' об. % [20,21]. Возрос интерес к изучению механизмов и источников образования частиц в технологических процессах, в частности, превращению молекулярных примесей в негомогенные под воздействием различных факторов.

Необходимость исследований в этой области для высокочистых летучих веществ потребовала от нас разработки методов определения частиц с более низким пределом обнаружения по размеру, в частности, метода конденсационного укрупнения; улучшения метрологических характеристик аналитических методик и увеличения экспрессности процесса измерения путем автоматизации разработанных установок; расширения круга объектов исследования за счет включения в него ранее не исследовавшихся металлорганических соединений, различных высокочистых стеклообразных материалов и др. Не было сведений об агрегатном состоянии негомогенных примесей в высокочистых летучих веществах, о частицах в кластерной области размеров (<10 нм).

Цель работы. Целью настоящей работы было определение взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах и исследование физико-химических закономерностей их поведения в этих объектах: эволюции спектра размеров, устойчивости, агрегатного состояния и источников поступления частиц. Для достижения поставленной цели было необходимо решить следующие конкретные задачи:

- разработать высокочувствительные методы определения спектра размеров взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах с низкими пределами обнаружения по размеру и создать установки на их основе;

- с использованием разработанных методов получить спектры размеров частиц в высокочистых летучих жидкостях и газах в максимально широкой области размеров, включая кластерные частицы;

- исследовать временную динамику полученных спектров и установить факторы, ее определяющие;

-исследовать агрегатное состояние негомогенных примесей в высокочистых летучих жидкостях; установить критерии устойчивости различных физических форм существования данных примесей;

- рассмотреть возможные источники поступления взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах и разработать методы и рекомендации по подавлению этих источников.

Научная новизна.

1. Впервые проведено комплексное исследование взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах: изучены спектры размеров, их устойчивость, агрегатное состояние и источники поступления частиц. Исследованы условия существования парогазовых микропузырьков в высокочистых жидкостях.

2. Впервые разработаны высокочувствительные методы определения спектра размеров частиц в высокочистых летучих веществах и лабораторные установки на их основе, позволяющие определять частицы в области размеров 3 нм - 0,2 мкм. Исследованы источники погрешностей и установлены метрологические параметры разработанных методик. Для метода лазерной ультрамикроскопии определена взаимосвязь пределов обнаружения по размеру и численной концентрации. Для метода конденсационного укрупнения получена зависимость размера укрупняемых частиц от их смачиваемости и установлены границы применимости кельвиновской модели распада пересыщенного пара. С целью снижения предела обнаружения по численной концентрации, разработан метод концентрирования частиц субмикронных размеров в высокочистых жидкостях в постоянном электрическом поле.

3. Впервые получены спектры размеров частиц в области 3 нм -0,2 мкм для высокочистых летучих хлоридов, неорганических гидридов и металлорганических соединений. Установлен сложный бимодальный вид спектров размеров частиц в кластерной области и их высокая лабильность. Численная концентрация частиц размером от 3 нм в высокочистых летучих хлоридах и неорганических гидридах составляла 107109 см"3 в жидкой фазе. После фильтрации газовой фазы через тонковолокнистые фильтры численная концентрация частиц снижалась на несколько десятичных порядков. Установлена возможность существования в жидкой фазе квазиравновесного спектра размеров частиц в субмикронной области при непрерывном гомогенном зародышеобразова-ния частиц при разложении вещества-основы.

4. Для примеси воды в высокочистых летучих неорганических гидридах в газовой фазе проведены расчеты возможности образования частиц при снижении давления газа вследствие его охлаждения (эффект Джоуля-Томсона). При перепадах давления в несколько десятков атмосфер и концентрации примеси воды не ниже 5*10"5 об. % в силане и 5 * 10-3 об. % в германе возможна гомогенная конденсация воды, приводящая к образованию стабильных частиц.

5. Изучена возможность существования микропузырьков в высокочистых летучих хлоридах. Исследована устойчивость парогазовых пузырьков в этих объектах к диффузионному растворению. Установлено, что в неполярных хлоридах (тетрахлоридах кремния и германия) парогазовые пузырьки субмикронного размера отсутствуют, тогда как в полярных (например, в оксихлориде фосфора) при наличии достаточной концентрации стабилизирующей ионогенной примеси они устойчивы. Установлены границы области относительной агрегативной и се-диментационной устойчивости парогазовых эмульсий, содержащих пузырьки субмикронного размера, в оксихлориде фосфора.

6. Для транспортных газов получены спектры размеров частиц, больших 3 нм, изучена их временная динамика и установлены причины наблюдаемой временной нестабильности спектров.

7. Получены кривые проскока для волокнистых и мембранных микрофильтров в интервале размеров частиц 3 нм - 0,5 мкм. Установлено наличие минимума на кривых в области размеров частиц 3-20 нм за счет уменьшения эффективности диффузионного захвата частиц меньшего размера волокном.

8. Предложена модель процесса и разработан метод криофильтра-ции для глубокой очистки транспортных газов от примеси воды, как одного из возможных источников поступления частиц, до уровня 10"8 об. %.

Практическая ценность и реализация результатов.

1. На основе проведенных ранее исследований создан автоматизированный лазерный анализатор по определению взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах методом лазерной ультрамикроскопии с пределом обнаружения частиц по размеру 0,04 мкм. Анализатор позволил нам определить спектры размеров негомогенных примесей и исследовать их устойчивость в высокочистых летучих хлоридах, метал-лорганических соединениях и неорганических гидридах в газовой фазе, а также расплаве серы и высокочистых халькогенидных и фторидных стеклах.

2. Для определения кластерных частиц в высокочистых летучих веществах в жидкой фазе нами разработан и создан проточный бесконтактный счетчик ядер конденсации испарительного типа с пределом обнаружения частиц по размеру 3 нм.

3. Нами разработан и создан счетчик ядер конденсации для анализа высокочистых летучих веществ в газовой фазе методом варьирования пересыщения в потоке с пределом обнаружения частиц по размеру 3 нм.

4. Нами разработана конструкция электроконцентратора, обеспечивающего выделение до 90 % частиц размером свыше 0,08 мкм из потока жидкой пробы.

5. Исследование спектров размеров и выявление источников поступления частиц позволило оптимизировать проведение процессов глубокой очистки высокочистых летучих хлоридов и неорганических гидридов методами дистилляции, ректификации, противоточной кристаллизации из расплава.

6. Установлена высокая эффективность волокнистых фильтров из перхлорвинила (фильтров Петрянова) для фильтрации высокочистых летучих неорганических гидридов. Данные фильтры в настоящее время нашли свое применение для фильтрации газов в ряде технологических процессов, осуществляемых в институте.

7. Нами разработана и создана установка для глубокой очистки кип слорода от воды методом криофильтрации до уровня 10'° об. %. Установка нашла применение в производстве кварцевых волоконных световодов и при получении высокочистого кислорода для аналитических целей.

Положения, выносимые на защиту:

1. Результаты исследования спектров размеров, устойчивости и источников взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах в области размеров частиц 3 нм — 0,2 мкм.

2. Высокочувствительные методы определения спектра размеров частиц в высокочистых летучих веществах в интервале размеров 3 нм -0,2 мкм и разработанные нами экспериментальные установки:

- автоматизированный лазерный анализатор для определения частиц в высокочистых летучих веществах методом лазерной ультрамикроскопии и его метрологические характеристики;

- бесконтактный проточный счетчик ядер конденсации испарительного типа с варьированием степени пересыщения для определения частиц в высокочистых летучих веществах в жидкой фазе и его метрологические характеристики;

- счетчик ядер конденсации для определения частиц в высокочистых летучих веществах в газовой фазе и его метрологические характеристики.

3. Результаты изучения агрегатного состояния негомогенных примесей в высокочистых летучих хлоридах; условия устойчивости парогазовых пузырьков.

4. Результаты исследования спектров размеров, устойчивости и источников взвешенных частиц в транспортных газах в области размеров частиц 3 нм - 1,0 мкм.

Апробация работы: Основные результаты работы неоднократно докладывались на городском семинаре по химии высокочистых веществ, а также на VIII Всесоюзном симпозиуме по химии неорганических фторидов (Полевское, 1987), на VIII Всесоюзной конференции по методам получения и анализа высокочистых веществ (Горький, 1988), на Международном симпозиуме «Membranes for Gas and Vapor Separation» (Суздаль, 1989), на II Всесоюзном семинаре-совещании «Применение халькогенидных стеклообразных полупроводников в оптоэлек-тронике» (Кишинев, 1989), на II Всесоюзной конференции по анализу неорганических газов (Ленинград, 1990), на X и XI Конференциях по химии высокочистых веществ (Нижний Новгород, 1995, 2000), на II Всероссийской конференции по анализу объектов окружающей среды «Экоаналитика-96» (Краснодар, 1996), на Международном конгрессе по аналитической химии (Москва, 1997), на Всероссийской конференции «Высокочистые вещества и материалы для ИК техники» (Нижний Новгород, 1997), на Международной конференции «1998 Winter Conference on Plasma Spectrochemistry» (Скоттсдейл, Аризона, США, 1998), на III Всероссийской конференции по анализу объектов окружающей среды «Экоаналитика-98» (Краснодар, 1998), на Международной конференции «5th International European Aerosol Conference» (Эдинбург, Шотландия, 1998), на Международной конференции «9th Annual Meeting of SETAC-Europe «Quality of Life and Environment in Cultured Landscapes» (Лейпциг, Германия, 1999), на Всероссийской конференции «Химический анализ веществ и материалов» (Москва, 2000), на Международной конференции «6th International European Aerosol Conference» (Дублин, Ирландия, 2000), на Всероссийской конференции «Актуальные проблемы аналитической химии» (Москва, 2002).

Публикации. Основное содержание диссертации опубликовано в 26 статьях в научных журналах и доложено на 17 международных и отечественных научных конференциях; тезисы докладов (26) опубликованы.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, шести глав, выводов и списка цитируемой литературы. Работа изложена на 274 стр. машинописного текста, включая 80 рисунков, 20 таблиц и библиографию из 345 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Лазукина, Ольга Петровна

выводы

1. Разработаны высокочувствительные методы определения размеров взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах в интервале 3 нм - 0,2 мкм. Исследована временная устойчивость и источники взвешенных частиц и микропузырьков в высокочистых летучих хлоридах, неорганических гидридах и металлорганических соединениях.

Полученные результаты являются существенным вкладом в развитие химии высокочистых веществ.

2. Разработан автоматизированный лазерный анализатор для определения взвешенных частиц в высокочистых жидкостях и газах методом ультрамикроскопии, обладающий низким пределом обнаружения частиц по размеру. Анализатор нашел применение для нахождения спектра размеров частиц и исследования его устойчивости в высокочистых летучих хлоридах, неорганических гидридах и металлорганических соединениях в области размеров частиц 0,04<*/<0,2 мкм. Установлены метрологические характеристики разработанных методик анализа. Найдена связь между пределами обнаружения частиц по размеру и численной концентрации.

3. Разработана автоматизированная установка для определения оптических неоднородностей в высокочистых стеклах, прозрачных в оптическом диапазоне, в области размеров микровключений 0,04<*/<0,2 мкм.

4. Для снижения предела обнаружения по размеру частиц в высокочистых летучих веществах разработан метод их укрупнения путем конденсации на поверхности частиц паров исследуемого вещества (при анализе жидкостей) либо паров специально вводимого второго компонента (при анализе газов). Разработанный метод позволил на порядок уменьшить размер определяемых частиц.

5. Разработан бесконтактный счетчик ядер конденсации испарительного типа, позволяющий определять в высокочистых жидкостях частицы размером d>3 нм. В конструкции счетчика используется переиспарение пробы анализируемой жидкости и укрупнение частиц паром исследуемого вещества при варьируемой степени его пересыщения.

Разработан счетчик ядер конденсации позволяющий определять в высокочистых газах частицы размером d>3 нм. Анализ проводится в потоке пара специально вводимого рабочего вещества, инертного по отношению к анализируемого газу, при варьируемой степени его пересыщения.

Определены метрологические характеристики разработанных счетчиков. Для повышения точности определения размера частиц изучена зависимость размера укрупняемых частиц от их смачиваемости паром рабочего вещества и установлены границы применимости кель-виновской модели распада пересыщенного пара.

6. Для анализа жидкостей с низкой численной концентрацией взвешенных частиц разработан метод электроконцентрирования частиц субмикронных размеров в постоянном электрическом поле. Создана конструкция концентратора, обеспечивающего выделение до 90 % частиц размером d>0,08 мкм из потока анализируемой жидкости.

7. Исследованы спектры размеров, их устойчивость и источники взвешенных частиц в высокочистых летучих хлоридах в области размеров 3 нм — 0,2 мкм. Впервые обнаружено, что численная концентрация частиц размером d>3 нм в данных объектах высока и составляет 107-109 см"3. Спектр размеров частиц часто имеет бимодальный характер, что свидетельствует о различных механизмах образования частиц, входящих в каждую моду. Установлена высокая лабильность спектров размеров частиц в кластерной области, их временная нестабильность. Численная концентрация кластерных частиц определяется эффективностью процесса глубокой очистки.

8. Исследованы спектры размеров, их устойчивость и источники взвешенных частиц в высокочистых летучих неорганических гидридах в области размеров 3 нм — 0,2 мкм. Численная концентрация частиц размером d>3 нм в данных объектах сопоставима с концентрацией кластерных частиц в высокочистых летучих хлоридах. Фильтрация исследованных гидридов через волокнистые фильтры (ФП) снижала значение концентрации частиц на несколько десятичных порядков. Установлена высокая устойчивость данных фильтров в летучих неорганических гидридах.

9. Исследованы спектры размеров, их устойчивость и источники взвешенных частиц в высокочистых металлорганических соединениях в области размеров 0,04<*/<0,2 мкм.

10. В высокочистых летучих полярных хлоридах впервые обнаружены устойчивые парогазовые пузырьки размером сотые доли микрометра. Показано, что в неполярных тетрахлоридах кремния и германия парогазовые пузырьки отсутствуют, тогда как в полярном оксихлориде фосфора пузырьки субмикронных размеров устойчивы при наличии стабилизирующей примеси - хлористого водорода - в концентрации С >0,7 мол. %.

11. Показано, что применение тонковолокнистых фильтров позволяет получать высокочистые транспортные и основные технологические газы, в которых численная концентрация частиц, размером d>3 нм, ниже пределов обнаружения применяемых аналитических методик. Установлено, что на кривых зависимости величины проскока тонковолокнистых фильтров от размера частиц в интервале 5-20 нм имеется минимум, который может быть объяснен ослаблением диффузионного захвата волокном частиц меньшего размера.

12. Разработан метод криофильтрации для глубокой очистки транспортных газов от примеси воды, как одного из возможных источников частиц, и создана установка, позволяющая получать газы, свободные от воды до уровня 10"8 об. %.

Список литературы диссертационного исследования доктор химических наук Лазукина, Ольга Петровна, 2002 год

1. Девятых Г.Г., Еллиев Ю.Е. Ведение в теорию глубокой очистки веществ. М.: Наука, 1981. 320 с.

2. Рябенко Е.А., Ефремов А.А., Блюм З.Г. /Производство особо чистых веществ — комплексная научно-техническая проблема. //Высокочистые вещества. 1987. №3. С.5-9.

3. Чистые помещения. /Под ред. И. Хаякавы. М.: Мир, 1990. 456 с.

4. Fair R.B. /Challenges to Manufacturing Submicron, Ultra-Large Scale Integrated Circuits. //Proceedings of the IEEE. 1990. V.78. №11. P. 16871704.

5. Дарда Л.В., Микулина О.Г., Кузнецова Ю.С. /Высокочистые химикаты основа развития ряда приоритетных отраслей промышленности за рубежом. //Высокочистые вещества. 1987. №4. С. 10-25.

6. Девятых Г.Г., Гусев А.В., Воротынцев В.М., Еллиев Ю.Е. /К вопросу о глубокой очистке веществ от взвешенных частиц методом ректификации. //Доклады АН СССР. 1977. Т.235. №2. С.351-353.

7. Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Черняев С.Н. /Влияние скорости потока пара на эффективность глубокой очистки жидкостей от взвешенных частиц субмикронных размеров в насадочных ректификационных колоннах. //Доклады АН СССР. 1983. Т.273. №5. С.1172-1175.

8. Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н. /Глубокая очистка веществ от взвешенных частиц методом пленочной ректификации с воздействием на пар температурного поля. //Доклады АН СССР. 1980. Т.252. №3. С.671-673.

9. Девятых Г.Г., Родченков В.И., Буевич Ю.А., Качемцев А.Н., Сороч-кин A.M., Мурский Г.Л. /Модель массообмена в эмульгационной ректификационной колонне. //Доклады АН СССР. 1987. Т.297. №3. С.661-664.

10. Девятых Г.Г., Балабанов В.В., Зверева В.И., Шишов В.Н. /Определение размера и состава взвешенных частиц в летучих неорганических гидридах. //Доклады АН СССР. 1976. Т.230. №2. С.342-343.

11. Девятых Г.Г., Шишов В.Н., Балабанов В.В., Ларин Н.В., Зверева В.И., Родченков В.И. /Определение примесей в виде взвешенных частиц в летучих неорганических гидридах. //Журнал аналитической химии. 1977. Т.32. №8. С.1578-1582.

12. Н.Девятых Г.Г., Зверева В.И., Балабанов В.В., Шишов В.Н. /Твердые взвешенные частицы в летучих неорганических гидридах. //В сборнике: Методы получения и анализа веществ особой чистоты. М.: Наука, 1978. С. 161-165.

13. Крылов В.А., Лазукина О.П., Лазарев С.Е. /Определение негомогенных примесей в высокочистых летучих веществах. //Высокочистые вещества. 1987. №5. С.25-41.

14. Singer Р.Н. /Trends in Gas Management and Use. //Semiconductor International. 1998. V.21.№4. P.lll 114.

15. Peters L. /SEMATECH Creates a Budget for Process- Induced Defects. //Semiconductor International. 1998. V.21. №1. P.40.

16. Френкель Я.Л. Кинетическая теория жидкостей. Л.: Наука, 1975. 592 с.

17. Девятых Г.Г., Осипова Л.И., Малышев К.К. /Выставка-коллекция веществ особой чистоты. //Неорганические материалы. 2000 № 6. С.1285-1296.

18. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Ковалев И.Д., Осипова Л.И., Яньков С.В., Волкова Е.Н. /Примесный состав образцов Выставки-коллекции веществ особой чистоты. II. Летучие хлориды. //Высокочистые вещества. 1990. №4. С.7-17.

19. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Ковалев И.Д., Осипова Л.И., Яньков С.В., Волкова Е.Н. /Примесный состав образцов Выставки-коллекции веществ особой чистоты. IV. Летучие неорганические гидриды. //Высокочистые вещества. 1991. №4. С.7-13.

20. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Ковалев И.Д., Осипова Л.И., Яньков С.В. /Примесный состав образцов Выставки-коллекции веществ особойчистоты. Летучие элементорганические соединения. //Высокочистые вещества. 1993. №1. С.27-39.

21. Девятых Г.Г., Степанов В.М., Чурбанов М.Ф., Крылов В.А., Яньков С.В. /Закономерности распределения примесей по концентрации в высокочистых веществах. //Доклады АН СССР. 1980. Т.254. №3. С.670-674.

22. Крылов В.А., Лазукина О.П., Голубев А.В., Шишов В.Н., Стручкова О.П. /Агрегатное состояние примесей металлов и кремния в высокочистых тетрахлоридах углерода, германия и олова. //Журнал аналитической химии. 1984. Т.39. №4. С.678-682.

23. Servis S., Stern М., Webb W. //W. Trans. Soc. AIME. 1958. V.212. P.361.

24. Левитин B.B., Суслопаров Г.Д. /Электрономикроскопическое и элек-троногафическое исследование карбидных частиц аустенитной нержавеющей стали. //Доклады АН СССР. 1959. Т. 129. №2. С.318-321.

25. Eckhardt G. /Precipitate in gallium arsenide single crystals. //J. Appl. Phys. 1962. V.33. №3. P 1016-1017.

26. Weisberg L.R. //J. Appl. Phys. 1962. V.33. №6. P.l817.

27. Крупкин П.Л., Фролов И.А. /Скопления примесей в полупроводниковых материалах. //Высокочистые вещества. 1989. №5. С.5-14.

28. Кунц Д.Е., Саливен М.В. /Приготовление и применени ультрачистой воды для обработки деталей электронных приборов. //В кн. «Очистка деталей электронных приборов». М.-Л., 1964. С.63-76.

29. Кунц Д.Е., Федер Д.О., Томас К.О. /Очистка в электронной промышленности. //Там же. С. 170-190.

30. Rai-Choudhyry R. /Micron homogeneities in melt and vapor crown silicon. //J. Crystal. Growth. 1971. V. 10. №4. P.291-301.

31. Nes E., Washlurn J. /Precipitation in high purity silicon single crystals. // J. Appl. Phys. 1971. V.42. №9. P.3562-3574.

32. Димова В.П. /Остаточные примеси в зонноочищенном цинке. //Известия АН СССР. Серия «Металлы». 1971. №5. С.219-220.

33. Палатник А.С., Гладких Л.И., Фукс М.Я., Швецова З.И. /Металлические включения в синтетических поликристаллах алмаза. //Физика твердого тела. 1973. Т. 15. №7. С.2029-2033.

34. Ravi K.V. /The heterogeneous precipitation of silicon oxides in silicon. //J. Electrochem. Soc. 1974. V.121. №8. P. 1090-1098.

35. Галицкий H.B., Прохоров C.T. /Электронно-микроскопическое исследование твердых хлоридов из пылевых камер титанового производства. //Коллоидный журнал. 1964. Т.26. №2. С. 163-164.

36. Коган Б.Я., Чуркин B.JI. /О природе остаточных потерь в фототроп-ных затворах. //Оптика и спектроскопия. 1969. Т.27. №3. С.530-532.

37. Частов А.А., Лебедев О.Л. /Нелинейное рассеяние мощного светового потока коллоидными растворами. //Журнал экспериментальной и теоретической физики. 1970. Т.58. №3. С.848-853.

38. Юшин А.С., Нечунеев Ю.А. /Влияние примесей взвешенных частиц на чистоту гидридного германия. //В сборнике: Получение и анализ веществ особой чистоты. М.: Наука, 1976. С.134-135.

39. Нашельский А .Я. Монокристаллы полупроводников. М.: Металлургия, 1978. 200 с.

40. Девятых Г.Г., Бочкарев Э.П., Воротынцев В.М. /Разработка метода и аппаратуры термодистилляционной очистки трихлорсилана. //VI Всесоюзная конференция по методам получения и анализа высокочистых веществ. Тезисы докладов. Горький, 1981. С.41-42.

41. Юшин А.С., Кузнецов В.А., Панасенко А.Г. /Влияние примесей в виде взвешенных частиц размером 0,1-0,01 мкм на релеевское рассеяние в области спектра 0,6-20 мкм. //Получение и анализ чистых веществ. Межвузовский сборник. Горький: ГТУ, 1982. С.46-47.

42. Конов А.С., Лаптев А.Ю., Воротынцев В.М., Чечеткин В.И. /Влияние субмикронных частиц в отражающей оболочке на потери в волоконных световодах типа кварц-полимер. //Там же. С.48-50.

43. Попенко В.Ф., Щекотов П.Д., Коробов И.В., Зонтов B.C. /Газообразные технологические среды в производстве материалов микроэлектроники. //Высокочистые вещества. 1987. №3. С.222-230.

44. Коробов И.В., Попенко В.Ф., Щекотов П.Д., Кушнарева Е.Г., Задо-рожный В.И., Осипова Н.Г. /Особо чистые жидкие среды для производства изделий электронной техники. //Там же. С.231-237.

45. Девятых Г.Г., Гусев А.В., Воротынцев В.М., Степанов В.М. /Исследование зависимости коэффициента распределения взвешенных частиц между жидкостью и паром от их размера. //Доклады АН СССР. 1977. Т.234. №2. С.355-357.

46. Девятых Г.Г., Гусев А.В., Воротынцев В.М. /О поведении взвешенных частиц при перегонке жидкостей. //Теоретические основы химической технологии. 1976. Т. 10. №4. С.614-617.

47. Гусев А.В. /Исследование глубокой очистки веществ от взвешенных частиц дистилляционными методами. //Дис. . канд. хим. наук. Горький, 1977. 121 с.

48. Аглиулов Н.Х. /Получение высокочистых летучих хлоридов. //Дис. . докт. хим. наук. Горький, 1979. 271 с.

49. Чурбанов М.Ф. /Получение высокочистых халькогенов. //Дис. . докт. хим. наук. Горький, 1981. 327 с.

50. Николаев А.Е. /Глубокая очистка четыреххлористого кремния методом противоточной кристаллизации из расплава. // Дис. . канд. хим. наук. Горький, 1981. 172.C.

51. Дроздов П.Н. /Глубокая очистка жидкостей от взвешенных частиц методом пленочной ректификации с воздействием на пар температурного градиента. //Дис. . канд. хим. наук. Горький, 1983. 149 с.

52. Воротынцев В.М. /Глубокая очистка жидкостей от взвешенных частиц субмикронных размеров дистилляционными методами. //Дис. . докт. хим. наук. Горький, 1985. 354 с.

53. Шамраков Д.А. /Получение высокочистого дихлорсилана. //Дис. . канд. хим. наук. Горький, 1987. 141 с.

54. Малышев В.М. /Глубокая очистка жидкостей от взвешенных частиц субмикронных размеров кристаллизационными методами. //Дис. . канд. хим. наук. Горький, 1989. 138 с.

55. Родченков В.И. /Глубокая очистка методом ректификации в режиме эмульгирования летучих веществ для производства волоконных световодов. //Дис. . докт. хим. наук. Горький, 1990. 270 с.

56. Кеткова Л.А. /Межфазное распределение взвешенных частиц субмикронных размеров при дистилляции. //Дис. . канд. хим. наук. Нижний Новгород, 1992. 170 с.

57. Гусев А.В., Шишов В.Н., Ларин Н.В., Воротынцев В.М., Мишина Е.М. /Спектральный анализ жидкостей на содержание взвешенныхчастиц германия. //Журнал аналитической химии. 1976. Т.31. №6. С.1150-1153.

58. Воротынцев В.М., Игнатьев С.В. /Определение содержания микрочастиц в особо чистых веществах. //V Всесоюзная конференция по методам получения и анализа веществ особой чистоты. Тезисы докладов. М.: Наука, 1976. С. 142.

59. Шишов В.Н. /Анализ летучих неорганических гидридов и летучих хлоридов особой чистоты на содержание примесей нелетучих веществ методом эмиссионной спектроскопии. //Дис. .канд. хим. Наук. Горький, 1978. 133 с.

60. Крылов В.А., Лазукина О.П., Воротынцев В.М. /А.С. 790066 (СССР) Способ определения параметров дисперсной системы. //Бюллетень изобретений. 1980. №7.

61. Девятых'Г.Г., Крылов В.А., Лазукина О.П., Доронина Л.Н., Голубев А.В. /Исследование электрофореза в тетрахлоридах углерода, кремния, германия и олова. //Коллоидный журнал. 1984. Т.46. №5. С.1019-1021.

62. Лазукина О.П. /Исследование взвешенных частиц субмикронных размера в высокочистых тетрахлоридах углерода, кремния, германия и олова методом лазерной ультрамикроскопии. //Дис. .канд. хим. наук. Горький, 1984. 144 с.

63. Петрик А.Г., Шварцман Л.Я., Семенов А.И., Макаров Г.Г. /Особенности ректификации при образовании взвешенных частиц. //Труды по химии и химической технологии. Получение и анализ чистых веществ. Межвузовский сб. Горький: ГТУ, 1973. выпуск 4(35). С.34-35.

64. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Лазукина О.П., Лазарев С.Е., Семенов С.В., Лазукин В.Ф., Родченков В.И., Варьгин В.В. /Бесконтактный счетчик ядер конденсации испарительного типа. //Высокочистые вещества. 1990. №3. С.198-204.

65. Девятых Г.Г., Воротынцев В.М. /Высокочистые хлориды для волоконных оптических световодов. Обзор. //Высокочистые вещества. 1987. №2. С.12-25.81 .Hiils Е. //Specialty Chemicals. 1985. V.5. №4. р.ю.

66. Девятых Г.Г., Чурбанов М.Ф. /Развитие понятия «высокочистое вещество». //Высокочистые вещества. 1987. №2. С.5-11.

67. Мильвидский М.Г. Полупроводниковые материалы в современной технике. М.: Наука, 1986. 143 с.

68. Рытвин Е.И. Жаропрочность платиновых сплавов. М.: Металлургия, 1987. 200 с.

69. Duffalo J.M., Monkowski J.R. //Solid State Technology. 1984. №3. P.109.

70. Cook J.M., Donohoe K.G. //Solid State Technology. 1991. №4. P.l 19.

71. Cheung S.D., Roberg R.P. /An Inside Look at Measuring Particles in Process Equipment. //Microcontamination. 1987. V.5. №5. P.45-50,94,96.

72. Requirements for electronic grade water. ASTM. 1988.

73. Harder N. //Solid State Technology. 1990. №10. P. SI.

74. Chemicals for electronics. Baker Chemikalien. 1992/93.

75. Merk Electronic Chemicals. Process Chemicals. MEGA Selectipur.1990.

76. US General Services Administration Federal Standard: Clean Room and Work Station Requirements, Controlled Environment. FED-STD-209d, June 15, 1988. Washington, DC.

77. Cooper D.W. /Towards Federal Standard 209E: Partial Versus Complete Inspection of Clean Air Zone. //J. of Environmental Sciences. 1989. №3. P.31-33.

78. Lippold H.-J., Reichert f. //VDI-Ber. 1988. №693. B.135.

79. Gilbert S. //Semiconductor International. 1992. V.15. №3. P.52.

80. Singer P.H. // Semiconductor International. 1992. V.15. №1. P.52-56.

81. Hart J.J., McDermott W.T., Holmer A.E., Natwora Jr. J.R. /Particle Measurement in Speciality Gases. //Solid State Technology. 1995. V.38. №9. P.l 10-116.

82. Monosilane. Рекламный проспект фирмы Alphagas. 1992.

83. Semiconductor Gases and Equipment. International Catalog European Edition. 1990.

84. Specialty Gases and Equipment. Проспект фирмы Air Products. 1992.

85. PF (Purifier/filter). Рекламный проспект фирмы Ultra Pure Systems Inc. 1993.

86. Cunningham J.A. /The Remarkable Trend in Defect Densities and Chip Yields. //Semiconductor International. 1992. V.15. №6. P.86-88,90.

87. Iscoff R. /How Specialty Gas Delivery Impacts the Uptime Equation. //Semiconductor International. 1992. V.15. №1. P.45-47.

88. Iscoff R. /Specialty Gas Cylinders: Help Wanted. //Semiconductor International. 1992. V.15. №5. P.42-46.

89. Singer P.H. /How to Ensure Chemical Purity. //Semiconductor International. 1995. V.18. №5. P.61-66.

90. Flaherty E.T., Johns L., Amato A.F. /Particle and Metal Contamination in Gas Cylinders //Solid State Technology. 1992. V.35. №1. P.S1-S6.

91. Ohmi Т., Nakamura M., Ohki A., Kawada K., Hirao K. /Trace Moisture Analysis in Specialty Gases //J. Electrochem. Soc. 1992. V.139. №9. P.2654-2658.

92. Wang H.-C., Udischas R. /Counting Particles in High Pressure Electronic Specialty Gases. //Solid State Technology. 1994. V.37. №6. P.97-107.

93. Amari M., Funahashi I., Plante W. /Understanding Gas System Contamination Through the Evaluation of Used Filters. //Solid State Technology. 1991. V.34. №6. P.S1-S7.

94. Fine S.M., Johnson A.D., Langan J.G., Choi B.-S., McGuire J.T. /Using Organosilanes to Inhibit Adsorption in Gas Delivery Systems. //Solid State Technology. 1996. V.39. №4. P.93-97.

95. Okuama K., Huang D.D., Seinfeld J.H., Tani N., Matsui I. /Gas-Phase Nucleation in GaAs Thin Film Preparation by Metal Organic Chemical Vapor deposition. //Jpn. J. Appl. Phys. 1992. V.31. Pt.l. №1. P.l-l 1.

96. Whitby E., Hoshino M. /Particle Size Distribution in a Low Pressure SiH4:02:He Chemical Vapor Deposition Reactor. //J. Electrochem. Soc. 1996. V.143. №10. P.3397-3404.

97. Wen H.Y., Kasper G., Montgomery D. /Nucleation of Trace Amounts of Condensible Vapor in an Expanding Gas Jet. //J. Aerosol Science. 1988. V.19. №1. P.153-156.

98. Wang H.-C., Wen H.Y., Kasper G. /Factors Affecting Particle Content in High Pressure Cylinder Gases //Solid State Technology. 1989. V.32. №5. P.155-158.

99. Periasamy R., Chen F.-L., Ensor D.S., Donovan R.P. /Particles in High Pressure Cylinder Gases: Gas to Particle Conversion During Expansion. //J. Environmental Science. 1988. V.31. №4. P.20-25.

100. Bhadha P.M., Greene E.R. /Joule-Thomson Expansion and Corrosion in HC1 Systems //Solid State Technology. 1992. V.35. №7. P.S3-S7.

101. Zhao J., Liu B.Y.H., Kuehn Т.Н. /The Formation of Water Aerosols During Pump-Down of Vacuum Process Tools. //Solid State Technology. 1990. V.33. №9. P.85-89.

102. Ye Y., Liu B.Y.H., Pui D.Y.H. /Condensation-Induced Particle Formation during Vacuum Pump Down. //J. Electrochem. Soc., 1993. V.140. №5. P.1463-1468.

103. Monkowski J.R., Freeman D.W. /In Situ Contamination Monitoring for Realtime Control of Process Equipment. //Solid State Technology. 1990. V.33. №7. P.S13-S17.

104. Peters L. /20 Good Reasons to Use In Situ Particle Monitors. //Semiconductor International. 1992. V.15. №11. P.52-57.

105. Kasper G., Wen H.Y., Wang H.-C./Developing Particle Standards for Cylinder Gases//Microcontamination. 1989. V.7. №1. P. 18-24.

106. Wang H.C. /Particle Specification fo Grade 10/0.2 Nitrogen in High-Pressure Gas Cylinders //SEMI Standards, Particle Subcommittee minutes. May 21, 1991.

107. Wen H.Y., Kasper G. Characterization of Particle Content of Compressed Cylinder Gases //J. Aerosol Res., Japan. 1988. V.3 . №1. P. 4953.

108. Wang, H.C. Doddi G., Jurcik B. Establishing a Particle Test Sequence for Selecting UHP Gas Valves //Microcontamination. 1993. V.ll. №4. P.25-31.

109. Whitby E., Hoshino M. /Development of a Low-Pressure Aerosol Sampler //Rev. Sci. Instrum. 1995. V.66. №7. P.3955-3965.

110. Bourscheid G., Sawyer K.W., Greene L. et al. /Valve Technology for the ULSI Era. //Solid State Technology. 1991. V.34. №11. P.S1-S5.

111. Lee J.-K., Rubow K.L., Pui D.Y.H., Liu B.Y.H. /Comparative Study of Pressure Reducers for Aerosol Sampling from High Purity gases //Aerosol Science. Technology. 1995. V.23. P.481-490.

112. Laly S., Nakagawa K., Kimijima T. et al. /Determination of Particle-Bound Metallic Impurities in Semiconductor Grade Gases. 1. Silane. //Analytical Chemistry. 1996. V.68. N24. P.4312-4315.

113. Девятых Г.Г., Дианов E.M., Плотниченко В.Г., Скрипачев И.В., Чурбанов М.Ф., Шипунов В.А. /Гетерофазные примесные включения в волоконных световодах из халькогенидных стекол //Высокочистые вещества. 1990. №4. С. 192-197.

114. Прокофьев А.К. /Определение физико-химических и химических форм следовых элементов в природных водах. //Успехи химии. 1983. Т.52. №3. С.483-498.

115. Matteson M.Y. Filtration. New York: Basel, 1987. 629 p.

116. Burba P., Shkinev V., Spivakov B.Ya. / On-line Fractionation and Characterization of Aquatic Humic Substances by Means of Sequential-Stage Ultrafiltration. //Fresenius J. Anal. Chem. 1995. V.351. №1. P.74-82.

117. Ройтман Л.И., Павлович Ю.А., Брайнина Х.З. / Использование инверсионных электрохимических методов в анализе природных вод. //Журнал аналитической химии. 1981. Т.36. №5. С.1008-1018.

118. Клименко А.П. Методы и приборы для измерения концентрации пыли. М.: Химия, 1978. 208 с.

119. Пащенко С.Э., Куценогий К.П., Лазарева Л.С., Бакланов A.M., Пащенко А.Э. /Количественный анализ многокомпонентных аэрозолей методами электронной микроскопии. //Коллоидный журнал. 1982. Т.44. №4. С.790-794.

120. Kim D., Норке Р.К. //Aerosol Science, and Technology. 1988. V.9. №2. P.133

121. Baltensperger U., Gaggeler H.W., Jost D.T. //J. Aerosol Science. 1988. V.19. №7. P.931-934.

122. Whitby K.T., Liu B.Y.H., Pui D.Y.H. /Portable Electrical Analyzer for Size Measurement of Submicron Aerosols. //J. of the Air Pollution Control Association. 1974. V.24. №11. P.1067-1072.

123. Кирш А.А., Загнитько A.B. /Способ измерения среднего размера аэрозольных частиц и устройство для его осуществления. //А.с. СССР №879405. Б.и. 1981. №41.

124. Pui D.Y.H., Liu B.Y.H. /Advances in Instrumentation for Atmospheric Aerosol Measurement. //TSI J. of Particle Instrumentation. 1989. V.4. №2. P.3-20.

125. Differential Mobility Particle Sizer. Проспект фирмы TSI (США).

126. Liu B.Y.H., Pui D.Y.H. /On the Performance of the Electrical Aerosol . Analizer. //J. Aerosol Science. 1975. V.6. №1. P.249-264.

127. Horton K.D., Mitchel J.P., Nichols A.L. /Experimental Comparison of Electrical Mobility Aerosol Analyzer. //TSI J. Particle Instrumentation. Double issue: 1988. V.3. №2 1989.V.4. №1. P.3-19.

128. Bartz Н., Fissan Н., Helsper С. Kousaka Y., Okuyama К. et al. /Response Characteristics for Four Different Condensation Nucleus Counter to particles in the 3-50 nm Range. //J. Aerosol Science. 1985. V.16. №5. P.443-456.

129. Scheibel H.G., Porstendorfer J. /Counting Efficiency and Detection Limit of Condensation Nuclei Counters for Submicrometer Aerosol. //J. Colloid and Interface Science. 1986. V.109. №1. P.261-274.

130. Sinclair D., Hoopes G.S. A Continuous Flow Condensation Nucleus Counter//J. Aerosol Science. 1975. V.6. №1. P.l-7.

131. Kousaka J., Niida Т., Okyama К., Tanaka H. /Development of a Mixing Type Condensation Nucleus Counter. //J. Aerosol Science. 1982. V.13.№3.P.231-240.

132. Мавлиев P.A., Анкилов A.H., Бакланов A.M., Горбунов A.M., Ka-куткина Н.А., Куценогий К.П., Пащенко С.Э., Макаров В.И. /Использование сетчатой диффузионой батареи для определения дисперсности аэрозоля. //Коллоидный журнал. 1984. Т.46. №6. С.1136-1141.

133. Ichitsubo Н., Hashimoto Т., Alonso М., Kousaka Y. /Penetration of Ultraflne Particles and ion Clusters Through Wire Screens. //Aerosol Science. and Technology. 1996. V.24. №19. P.l 19-127.

134. Бутенин A.B., Коган Б.Я. /Кавитационная камера для счета сверхмалых поглощающих частиц в жидкостях. //Приборы и техника эксперимента. 1974. №5. С.175-177.

135. Noble С.A., Nordmeyer Т., Salt К. et al. //Trends in Analytical Chemistry. 1994. V.13. №5. P.218.

136. Reents Jr. W.D., Downey S.W., Emerson A.B., Mujsce A.M. Muller A.J., Siconofli D.J., Sinclair J.D., Swanson A.G. /Single Particle Carac-terization by Time-of-Flight Mass Spectrometry. //Aerosol Science and Technology. 1995. V.23. №1. P.263-270.

137. Hinz K.-P., Kaufmann R., Spengler B. /Similtaneous Detection of Po-zitive and Negative Ions from Single Airborne Particles by Real-time Lazer Mass Spectrometry. //Aerosol Science and Technology. 1996. V.24. №4. P.233-242.

138. Allen J., Gould R.K. /Mass Spectrometric Analyzer for Individual Aerosol Particles. //Rev. Sci. Instrum. 1981. V.52. №6. P.804-809.

139. Быковский Ю.А., Запов B.B., Узиенко Д.А. /Лазерный анализатор элементного состава аэрозолей в газах. //Приборы и техника эксперимента. 1993. №2. С.244-245.

140. Murphy D.M., Thompson S.D. /Lazer Ionization Mass Spectroscopy of Single Aerosol Particles. //Aerosol Science and Technology. 1995. V.22. №3. P.237-243.

141. Белов H.H. /Вероятность оптического пробоя в аэрозоле. //Доклады АН СССР. 1986. Т.289. №6. С.1370-1372.

142. Белов Н.Н. /Рассеяние излучения плазмой оптического разряда в аэрозолях. //Журнал технической физики. 1989. Т.59. №5. С.14-19.

143. Белов Н.Н. /Рассеяние света на сгустках плазмы оптического пробоя в газе и прозрачном диэлектрике. //Журнал технической физики. 1991. Т.61. №1. С.47-50.

144. Рабинович Ф.М., Кондуктометрический метод дисперсионного анализа. Л.: Химия, 1970. 176 с.

145. Гранулометрия. Проспект фирмы Coultronics France S.A.

146. Gaehwiller С. //Powder Technology. 1980. V.25. №1. P.l 1.

147. Hasapidis K., Kumar K., Sarto G. //Int. Labmate. 1988. V.13. №6. P. 14.

148. Dhadwal H.S., Ross D.A. //2nd World Congr. «Part. Technol.». Kioto, Sept. 19-22. 1990. Pt.l. P.427.

149. Malvern System 4700C. Проспект фирмы Malvern Instruments Limited (England).

150. Coulter Model N4 series. Submicron Particle Size Analysis. Проспект фирмы Coultronics France S.A.

151. Introducing Autodilution NICOMP Model 370 Submicron Particle Sizing System. Проспект фирмы Hiac/Royco Products (USA).

152. Шифрин К.С. Рассеяние света в мутной среде. М.: Гостехиздат, 1951. 188 с.

153. Иванов А.П. Оптика рассеивающих сред. Минск: Наука и техника, 1969. 592 с.

154. Эскин В.Е. Рассеяние света растворами полимеров. М.: Наука, 1973.350 с.

155. Reischl G.P., Majerowicz A., Ankilov A., Eremenko S., Mavliev R. /J. Aerosol Science. 1991. V.22. №2. P.223.

156. Luftpartikelzahler ULPC. PMS. //Grimm Labor Technik GmBH.

157. Pour PMS, une Particle est une Particule. //Analusis. 1990. V.18. №3. P.35.

158. Particle Counter Micro-LPC 0710. PMS. //Solid State Technology. 1990. V.33. №11. P.46. Circle 308.

159. Интернет-сайт фирмы PMS: http://www.pmeasuring.com

160. Luft- und Flussgkeitspartikelzahler. Met One. // Grimm Labor Technik GmBH.

161. Compteurs de Particules et Systemes Centralises pour Salles Blaches Met One. //Analusis. 1990. V.18. №3. P.33.

162. Met One Changes the Face of Particle Counting. //Проспект фирмы Met One (USA).

163. How to Cut Your Certification Cost in Half. //Проспект фирмы Met One (USA).

164. Airborne Particle Counter. Met One. //Solid State Technology. 1990. V.33. №10. P.l 14. Circle 326.

165. Интернет-сайт компании Pacific Scientific Instruments: http://www.particle.com

166. Hiac/Royco Model Airborne Particle Counting System. //Проспект фирмы Hiac/Royco Products.

167. Laser Particle Counter Micro LPC-101-HP. // Solid State Technology. 1991. V.34. Circle 352.

168. Gilbert S. /0.01 Micron Facility Defines State-of-the-Art. //Semiconductor International. 1990. V.13. №10. P.64-68.

169. Kasper G., Wen H.Y. /А Gas Filtration System for Concentration of 10"5 Particles/cm3. //Aerosol Science and Technology. 1986. V.5. №1. P.167-185.

170. Grant D.C. / Generation and Maintenance of Process Gases with Extremely Low Particles Levels. //TSI J. of Particle Instrumentation. 1988. V3. №1. P.3-11.

171. Johnson E.M., Johnson B.R., Herweyer S.K., Huang M.-T. /An Automated CNC Based Filter Tester for Fast Penetration Testing of HEPA and ULPA Media. //Solid State Technology. 1990. V.33. №9. P.l 13-117.

172. Stolzenburg M.R., McDermott W.T., Schwarz A. /Performance Studies of Ultrahigh Efficiency Membrane Filters Using a 3.5 nm Particle Detector. //J. Aerosol Science. 1988. V.19. №7. P.1015-1018.

173. Niida Т., Wen H.Y., Udischas R., Kasper G. /Counting Efficiency of Condensation Nuclei Counters in N2, Ar, CO2 and He. //J. Aerosol Science. 1988. V.19. №7. P.1417-1420.

174. Agarwal J.K., Sem G.J. /Continuous Flow, Single-Particle-Counting Condensation Nucleus Counter. //J. Aerosol Science. 1980. V.ll. №2. P.343-357.

175. Интернет-сайт компании TSI Incorporated: http://www.tsi.com

176. Keady P.B., Denier V.L., Sem G.J., Stolzenburg M.R., McMurry P.H. /А Condensation Nucleus Counter Designed for Ultraflne Particles Detection Above 3 nm Diameter. //Lect. Notes Phys. 1988. V.309. P.l 90

177. Stolzenburg M.R., McMurry P.H. /А Theoretical Model for an Ultra-fine Aerosol Condensation Nucleus Counter. //Aerosols. Ed. by Liu B.Y.H., Pui D.Y.H., Fissan H.J. Elsvier: New York, 1984. P.59.

178. Stolzenburg H.R., McMurry P.H. /Aerosols: Formation and Reactivity. //2nd Int. Aerosol Conf. Berlin Pergamon Press: New York, 1986. P.786.

179. Keady P.B., Quant F.R., Sem G.J. //Proceedings of 32nd Annual Meeting of the Institute of Environmental Science. 1986. P.445.

180. Now the CNC-1100 Gives You a Choice. Met One. //Solid State Technology. 1990. V.33. №11. P.24. Circle 24.

181. Condensation Nucleus Counter. Met One //Solid State Technology. 1990. V.33. №7. P. S19. Circle 358.

182. Klockner H.-J., Eschwey M. /Hochreines Monosilan fur die Elektronikindustrie Synthese, Reingung und Charakterisierung //Chem.-Ing.-Tech. 1988. V.60. №11. P.815-821.

183. Borden P. /Monitoring Particles in Vacuum Process Equipment. //Microcontamination. 1990. V.8. №3. P.47-51.

184. Szymanski W.W. /Application of the TSI Model 3753 Laser Particle Counter for Airborne Particle Measurement in Vacuum Environments. //TSI J. Particle Instrumentation. 1992. V.5. №1. P.3-7.

185. Inside In Situ Sensing. //Semiconductor International. 1992. V.15. №11. P.55.

186. Particle Counters with Unequalled Sensitivity, Accuracy and Reliability. Kowa. //Semiconductor International. 1990. V.13. №11. Circle 59.

187. Model 346 a Laser-Based Sensor Measuring Particles from 0,5 micron in Liquids. //Проспект HIAC/Royco Products.

188. Liquidborne Particle Counting Systems Series 4100. //Проспект HIAC/Royco Products.

189. Хюлст ван де Г. Рассеяние света малыми частицами. М.: Изд-во иностр. лит. 1961. 536 с.

190. Борен К., Хафмен Д. Поглощение и рассеяния света малыми частицами. М.: Мир, 1986. 664 с.

191. Mie G. //Ann. Physik. 1908. V.25. Р.377.

192. Rayleigh, Lord. //Phil. Mag. 1899. V.47. P.375.

193. Леонов Р.К., Захаров С.И., Дмитриева И.А., Гандельман Г.М. /Методы исследования роли поглощающих микровключений в разрушении прозрачных диэлектриков лазерным излучением. I. Пассивные методы. //Там же. 1978. Т.5. №6. С.1279-1290.

194. Handbook of Chemistry and Physics. 33-th edition. / ed. by Ch.D. Hodgman. Cleveland, Ohio, USA: Chemical Rubber Publishing Co, 1951. 1413 p.

195. Kaiser H. Two Papers on Limit of Detection of a Complete Analytical Procedure. L.: Hilger, 1968. 78 p.

196. Рождественская Н.Б., Горбачева Э.Н., Рябинин A.H. /Установка для определения коэффициента рассеяния света в жидкости абсолютным методом. //Приборы и техника эксперимента. 1977. №4. С.241-243.

197. Devjatukh G.G., Karpov U.A., Krylov V.A., Lazukina O.P. /Laser-Ultramicroscopic Method of Determining Suspended Particles in High-Purity Liquids. /Яа1ата. 1987. №1. P. 133-141.

198. Суда К. /Прибор для анализа распределений размеров субмикронных частиц по рассеянию света.//Приборы для научных исследований. 1980. Т.51. №8. С.32-42.

199. Беляев С.П., Никифоров Н.К., Смирнов В.В., Щелчков Г.И. Оптико электронные методы изучения аэрозолей. М.: Энергоиздат, 1981. 232 с

200. Кузьмин С.В. /Особенности определения спектров размеров и концентраций частиц ультрамикроскопическим методом с лазерным освещением. //Коллоидный журнал. 1984. Т.46. №2. С.355-358.

201. Анкилов А.Н., Бородулин А.И., Куценогий К.П., Гришин Ю.А., Семенов А.Г. /Датчик фотоэлектрического анализатора аэрозольных частиц с оптическим способом формирования счетного объема. //Там же. 1978. Т.40. №3. С.426-434.

202. Лазукина О.П.,. Ширяев B.C., Андрианов В.В., Борисенков В.И. /Автоматизированная система регистрации оптических неоднород-ностей в стеклах. //Высокочистые вещества. 1994. №2. С. 129-137.

203. Минаев B.C. //Электронная промышленность. 1980. выпуск 86(92)-9(93). С.67.

204. Shibata S., Hariguchi М., Junguji К. //Electron. Lett. 1981. V.17. №21. Р.775.

205. Химнец В.В. Квантовая электроника. /Межведомственный республиканский сборник. Киев: Наукова думка, 1982. Т.23. С.64.

206. Крылов В.А., Лазукина О.П., Кеткова Л.А., Буланов А.Д., Адам-чик С.А., Кобыща Д.Г. /Определение взвешенных частиц субмикронного размера в высокочистой сере методом лазерной ультрамикроскопии. //Журнал аналитической.химии. 2000. Т. 55. №3. С.326 -328.

207. Менковский М.А., Яворский В.Т. Технология серы. М.: Химия, 1985. 327 с.

208. Девятых Г.Г., Чурбанов М.Ф. Высокочистые халькогены. Нижний Новгород: Изд-во ННГУ, 1997. 244 с.

209. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Чурбанов М.Ф., Лазукина О.П. /Исследование оптических неоднородностей во фторцирконатном стекле методом лазерной ультрамикроскопии. //Высокочистые вещества. 1988. №1. С. 216-220.

210. Соболева Н.А., Берковский А.Г., Чечик О.Н., Елисеев Р.Е. Фотоэлектронные приборы. М.: Наука, 1965. 181 с.

211. Coutier М. /Note sur une Nouvelle Propriete de l'Air. //J. Pharm. Chim. 1875.V.22. P.165-173.

212. Nolan P.J., Pollak L.W. //Proc. Roy. Irish Acad. 1946. V.51A. P.9-31.

213. Helsper C., Niesner R. //J. Aerosol Science. 1985. V. 16. №5. P.457-461.

214. Scholz J. //Meterol.Z. 1932. V. 49. P.381.

215. Haberl J.B. //J. Amer. Phys. Chem. Assoc. 1977. V. 27. №146. P. 321.

216. Chen B.T., Merser T.T. /An Extension the Kyle theory for Determining Particle Concentration by Statistics. //J. Aerosol Science. 1982. V.13. №1. P.29-35.

217. Chen B.T., Merser T.T. /А New Technique to Measure Number Concentration of Submicrometer Particles: Theoiy and Experiment. //J. Aerosol Science. 1985. V.16. №5. P.477-487.

218. Коган Я.И., Бурнашева З.А. /Укрупнение и измерение ядер конденсации в непрерывном потоке. //Журнал физической химии. 1960. Т. 34. №12. С.2630-2639.

219. Касаткин А.Г. Основные процессы и аппараты химической технологии. М.: Химия, 1971. С.302.

220. Амелин А.Г. Теоретические основы образования тумана при конденсации пара. М.: Химия, 1972. 304 с.

221. Jaenicke R. //J. Aerosol Science. 1980. V.l 1. №3. P.263.

222. Dreiling V., Jaenicke R. //Lect. Notes Phys. 1988. V.309. P. 194.

223. Pui D.Y.N., Liu B.Y.N., McKenzie R.L. //Aerosol Science and Technology. 1984. V.3.P.107.

224. Жигач А.Ф., Стасиневич Д.С. Химия гидридов. JL: Химия, 1969. 676 с.

225. Справочник по физико-техническим основам криогеники. /Под ред Малкова М.П. М.: Энергоатомиздат, 1985. 432 стр.

226. Рид Р., Шервуд Т. Свойства газов и жидкостей. Д.: Химия, 1971. 704 с.

227. Pollak L.W., Metnieks A.L. //Geofic. Рига Appl. 1959. V.42. №1. P.89.

228. Кеткова Л.А., Крылов В.А., Лазукина О.П. /Влияние смачиваемости частиц на правильность определения их размера методом варьирования пересыщения. //Высокочистые вещества. 1994. №3. С. 129138.

229. Fletcher N.H. //J. Chem. Phys. V.29. P.572.

230. Krastanow L.L. //Meterorolog. Z. 1940. V.57. P.357.

231. Шелудко А., Тошев Т.Б., Ппатиканов. Современная теория капиллярности. Л,: Химия, 1080. С.275.

232. Белослудов В.Р., Набутовский В.М. /Силы Ван-дер-Ваальса и термодинамика сферической пленки. //Физика твердого тела. 1976. Т.18. №5. С.1275-1280.

233. Русанов А.И., Куни Ф.М. /Случай устойчивого зародыша в термодинамике нуклеации на ядрах. //Доклады АН СССР. 1991. Т.318. №6. С.1410-1412.

234. Оно С., Кондо С. Молекулярная теория поверхностного натяжения в жидкостях. М.: Изд-во иностр. лит. 1963. 291 с.

235. Дерягин В.Б., Чураев Н.В. Смачивающие пленки. М.: Наука, 1984. 159 с.

236. Дерягин Б.В., Чураев Н.В., Муллер В.М. Поверхностные силы. М.: Наука, 1987.399 с.

237. Папырина Л.А. /Смачивание слабоискривленных твердых поверхностей. //Коллоидный журнал. 1990. Т.52. №5. С.876-881.

238. Адамсон А. Физическая химия поверхностей. М.: Мир, 1979. 268 с.

239. Tadros Н.Е., Adamson A.W. //J. Colloid and Interface Science. 1974. V.49. №2. P.184.

240. Hough D.B., White L.R. //Adv. Colloid and Interface Science. 1980. V.14. №1. P.3.

241. Krylov V.A., Lazukina O.P., Pryakhin D.A. /Electric Concentration of Suspended Particles of Submicron Size in Water. //International Congress on Analytical Chemistry. Moscow, Russia. June 15-21, 1997. Collected Abstracts. V.2. P.O-25.

242. Devyatykh G.G., Krylov V.A., Lazukina O.P., Pimenov V.G. /Preconcentraton of Impurities in High-Purity and Drinking Water. //ICP1.formation Newsletter, Vol. 23, Special Edition, January 1998. P.282-283.

243. Брок Т. Мембранная фильтрация. М.: Мир, 1987. 464 с.

244. Щукин Е.Д. Перцов А.В., Амелина Е.А. Коллоидная химия. М.: Московский университет, 1982. 352 с.

245. Духин С.С., Дерягин Б.В. Электрофорез. М.: Наука, 1976. 326 с.

246. Духин С.С. Электропроводность и электрокинетические свойства дисперсных систем. Киев: Наукова думка, 1975.

247. Вербич С.В., Гребенюк О.В. /Проблемы электрофильтрования дисперсных систем. //Химия и технология воды. 1991. Т. 13. №12. С.1059-1076.

248. Духин С.С., Гребенюк В.Д., Стрижак Н.П., Шилов В.Н. /Электрофильтрование суспензий с применением непроводящих коллекторов. //Коллоидный журнал. 1977. Т.39. №1. С.23-29.

249. Семенихин Н.М., Пономарев М.И., Веселов Ю.С., Подорван Н.И. /Концентрирование дисперсных частиц и микроорганизмов в неоднородном электрическом поле. //Журнал прикладной химии. 1977. Т.50. №7. С.1477-1482.

250. Духин С.С., Куриленко О.Д., Гребенюк В.Д. /Коллоидно-химические проблемы электрофильтрования дисперсий. //Коллоидный журнал. 1975. Т.37. №5. С.859-865.

251. Грановский М.Г., Лавров И.С., Смирнов О.В. Электрообработка жидкостей. Л.: Химия, 1976.

252. Эстрелла-Льопис В.Р., Духин С.С., Шилов В.Н. /Об энергии взаимодействия двух сферических коллоидных частиц во внешнем электрическом поле. //Коллоидный журнал. 1974. Т.36. №6. С.1140-1144.

253. Некрасов Б.В. Основы общей химии. М.: Химия, 1973.

254. Эстрелла-Льопис В.Р., Духин С.С., Смирнов О.В. /Критерий необратимой коагуляции в электрическом поле. //Коллоидный журнал. 1972. Т.34. №2. С.306-307.

255. Зимон А.Д. Адгезия пыли и порошков. М.: Химия, 1976.

256. Gonzales-Mozuelos P., Medina-Noyola М., D'Aguanno В., Mendez-Alkaraz J.M., Klein R. /Cocentration Profiles of a Colloidal Mixture Near a Charged Wall.//J. Chem. Phys. 1991. V.95. №3. P.2006-2011.

257. Gonzales-Mozuelos P., Medina-Noyola M. /Rescaled Mean Spherical Approximation for Wall-Particle Correlation in Colloidal Suspensions. //J. Chem. Phys. 1990. V.93. №3. P.2109-2115.

258. Gonzales-Mozuelos P., Medina-Noyola M. /Electrostatic Trapping of a Colloidal Monolayer Near a Charged Wall. //J. Chem. Phys. 1991. V.94. №2. P. 1480-1486.

259. Резников Г.Д., Гонтарь Ю.В. /Число и распределение по размерам частиц взвешенных веществ в питьевой воде, как показатель ее безопасности и качества осветления. //Химия и технология воды. 1993. Т. 15. №9-10. С.666-673.

260. Крылов В.А., Лазукина О.П., Лазарев С.Е., Орлов А.С. /Образование взвешенных частиц в процессе фотолитического разложения высокочистого диметилкадмия. //Высокочистые вещества. 1991. №5. С. 100-104.

261. Физика и химия соединений АИВУ1. /Под ред. С.А. Медведева. М.: Мир, 1970. С.461.

262. Шевердина Н.М., Кочешков К.А. Методы элементоорганической химии. Цинк. Кадмий. М.: Наука, 1964. 322 с.

263. Лушников А.А., Сутугин А.Г. /Современное состояние теории гомогенной нуклеации. //Успехи химии. 1976. Т.45. №3. С.385-415.

264. Байдаков В.Г. Достижимый перегрев криогенных и низкокипя-щих жидкостей /Обзоры по теплофизическим свойствам веществ. М.:ИВТАН, 1985. №3. 94 с.

265. Зонтаг Г., Штренге К. Коагуляция и устойчивость дисперсных систем. JL: Химия, 1973. 454 с.

266. Мартин Дж. Доэрти Р. Стабильность микроструктры металлических систем. М.: Атомиздат, 1978. 280 с.

267. Посон П. Химия МОС. М.: Мир, 1970. 238 с.

268. Губин С.П. Химия кластеров. М.: Наука, 1987. 262 с.

269. Лазукина О.П. /Негомогенные примеси в высокочистых веществах: дисперсный состав, природа, устойчивость. //Высокочистые вещества. 1991. №2. С.33-42.

270. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Лазукина О.П. /Негомогенные примеси в высокочистых веществах для микроэлектроники и волоконной оптики. //Высокочистые вещества. 1992. №2. С. 115-122.

271. Перепелкин К.Е., Матвеев B.C. Газовые эмульсии. Л.: Химия, 1979. С. 197.

272. Акуличев В.А. /Гидратация ионов и кавитационная прочность воды. //Акустический журнал. 1966. Т.12. №2. С.160-165.

273. Сиротюк М.Г. /Стабилизация газовых пузырьков в воде. //Там же. 1970. Т. 16. №2. С.237-240.

274. Девятых Г.Г., Краснова С.Г., Осипова Л.И. /Поверхностное натяжение хлоридов Ilia группы. //Журнал физической химии. 1981. Т.55. №3. С.750-751.

275. Крылов В.А., Лазукина О.П., Лазарев С.Е. /Парогазовые пузырьки субмикронных размеров основной вид негомогенных примесей в высокочистом оксихлориде фосфора //Высокочистые вещества. 1992. №1. С.80-85.

276. Черкасов А.Н., Желтков В.В., Мчедлишвили Б.В., Самохина Г.Д., Булыгин А.Н., Третьякова С.П., Козлова Т.И., Потокин И.Л. /О влиянии соотношения размера частицы и поры на селективность мембраны. //Там же. 1978. Т.40. №6. С. 1150-1160.

277. Маргулис М.А. Звукохимические реакции и сонолюминесценция. М.: Химия, 1986. 289 с.

278. Воюцкий С.С. Курс коллоидной химии. М.: Химия, 1976. 512 с.

279. Gutman V. /Ionic reactions in solutions of certain chlorides and oxy chlorides //J. Phys. Chem. 1959. V.63. №3. P.378-383.

280. Неводные растворители. /Под ред. P.M. Валдингтона. М.: Наука, 1980. 282 с.

281. Gutman V. //Monatshelte fur Chemie. 1959. B.90. №2. S.239.

282. Лазарев C.E., Лазукина О.П. /Исследование агрегатного состояния негомогенных примесей в высокочистых веществах. II. Агрегативная устойчивость парогазовых эмульсий в высокочистом окси-хлориде фосфора. //Высокочистые вещества. 1991. №2. С. 156-159.

283. Дерягин Б.В. /Устойчивость коллоидных систем. //Успехи химии. 1979. Т.48. №4. С.675-721.

284. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Справочник по по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980. С.240.

285. Ахадов Я.Ю. Диэлектрические свойства чистых жидкостей. М.: Изд—во стандартов, 1972. С.412.

286. Лифшиц Е.М. /Теория молекулярных сил притяжения между конденсированными телами. //Докл. АН СССР. 1954. Т.94. №4. С.643-646.

287. Шутилов В.А. Основы физики ультразвука. Л.: Изд-во ЛГУ, 1980. С.280.

288. Перник А.Д. Проблемы кавитации. Л.: Судостроение, 1966. 439 с.

289. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Лазукина О.П., Лазарев С.Е., Грачева Н.А. /Определение частиц в транспортных газах на диффузионном спектрометре аэрозолей. //Высокочистые вещества. 1992. №3. С.118-124.

290. Жуланов Ю.В., Садовский Б.Ф., Невский И.А., Петрянов И.В. /Лазерный спектрометр субмикронных аэрозолей. //Коллоидный журнал. 1977. Т.39. №6. С.1064-1069.

291. Schatzberg P. /Solubility of water in several normal alkanes from C7 to Ci6//J. Phys. Chem. 1963. V.67. №4. P.776-781.

292. Schicht H.H. //Swiss Contam. Contr. 1988. V.l. №6. P.15.

293. Reust В. //Swiss Contam. Contr. 1988. V.l. №6. P.21.

294. Filters for cleanrooms. //Filter and Separ. 1990. V.27. №5. P.333.

295. Gotlinsky В., Tousi S. //Solid State Technology. 1989. V.32. №3. P.51.

296. Караченцев В.Г., Амелина H.B., Куц Г.И., Коробов И.В., Кушна-рева Е.Г. /Фильтрующие материалы из фторированных полимеров (обзор). //Пластические массы. 1991. №1. С.58-61.

297. Zievers J.F., Eggerstedt P., Zievers E.C. //Amer. Ceram. Soc.Bull. 1991. V.70.№1.P.108.

298. Wide range of filtration products on show. // Filter and Separ. 1990. V.27. №2. P.91,94,97.

299. Крылов B.A., Лазукина О.П., Грачева H.A., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н. /Исследование эффективности волокнистых и мембранных фильтров при фильтрации воздуха в интервале размеров частиц 0,003-0,5 мкм. //Высокочистые вещества. 1994. №3. С.45-54.

300. Yasuoka S. //J. Jap. Soc. 1990. V.56. №12. P.2185.

301. Грин X., Лейн В. Аэрозоли пыли, дымы, туманы. Л.: химия, 1969. 428 с.

302. Фукс Н.А., Стечкина И.Б. /К теории волокнистых аэрозольных фильтров. //Доклады АН СССР. 1962. Т.147. №5. С.1144-1146.

303. Стечкина И.Б., Фукс Н.А. /Исследование в области волокнистых аэрозольных фильтров. 1 Расчет диффузионного осаждения аэрозолей в волокнистых фильтрах. //Коллоидный журнал. 1967. Т.29. №2. С.260-265.

304. Кирш А.А., Фукс Н.А. /Исследования в области волокнистых аэрозольных фильтров. Сопротивление систем параллельных цилиндров. //Там же. 1967. Т.29. №5. С.682-686.

305. Кирш А.А., Фукс Н.А. /Исследования в области волокнистых аэрозольных фильтров. Диффузионное осаждение аэрозолей в волокнистых фильтрах. //Там же. 1968. Т.ЗО. №6. С.836-841.

306. Кирш А.А., Стечкина И.Б., Фукс Н.А. /Экспериментальное определение эффективности волокнистых фильтров в области максимального проскока частиц. //Там же. 1969. Т.31. №2. С.227-232.

307. Ушакова Е.Н., Козлова В.И., Петрянов И.В. /Закономерности улавливания аэрозолей фильтрующими материалами ФП. //Там же. 1973. Т.35. №5. С.993-994.

308. Петрянов И.В., Кощеев B.C. Лепесток. М.: Наука, 1984. 216 с.

309. Zagainov V.A., Sutugin A.G., Petrianov-Sokolov I.V. //J. Aerosol Science. 1976. V.7. P.389.

310. Heidam N.Z. НАШ. Environ. 1981. V. 15. №6. P.891.

311. Spurny K.R., Lodge J.P., Frank E.R., Sheesley D.C. //Environ. Sci. Techn. 1969. V.3. P.453.

312. Начинкин О.И. Полимерные микрофильтры. M.: Химия, 1985. 216 с.

313. Володин В.Ф., Ясминов А.А., Дубровин Н.В., Леонов И.К., Сергеев С.С., Глейзер С.В. /О возможности загрязнения особо чистых веществ в процессе микрофильтрации. //Высокочистые вещества. 1987. №2. С.67-73.

314. Петрянов И.В., Басманов П.И. Методы получения и анализа веществ особой чистоты. М.: Наука, 1970. С.70.

315. Девятых Г.Г., Крылов В.А., Лазукина О.П., Лазарев С.Е., Максимов Г.А., Семенов С.В., Хоршев В.А., Щапин С.М. /Глубокая очистка кислорода от воды методом криофильтрации. //Высокочистые вещества. 1990. №2. С. 108-112.

316. Лифшиц И.М., Слезов В.В. /О кинетике диффузионного распада пересыщенных твердых растворов. //Журнал экспериментальной и теоретической физики. 1958. Т.35. №2(8). С.479-492.