Глубокая очистка газов методом мембранного газоразделения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, доктор технических наук Дроздов, Павел Николаевич

• Дроздов, Павел Николаевич
• доктор технических наук
• 2005

Оглавление диссертации доктор технических наук Дроздов, Павел Николаевич

Введение

1. Литературный обзор

1.1. Краткая историческая справка

1.2. Проницаемость и селективность непористых полимерных мембран.

1.3. Теоретические основы разделения газов в мембранном элементе.

1.3.1. Модель полного перемешивания

1.3.2. Модель идеального вытеснения в напорном канале с поперечным током в дренажном канале

1.3.3. Модель идеального вытеснения в напорном канале с полным перемешиванием в дренажном канале

1.3.4. Модель идеального вытеснения в напорном канале с нулевым давлением в дренажном канале (вакуумный режим).

1.3.5. Влияние градиента концентрации на процесс разделения в мембранном элементе

1.3.5.1. Влияние концентрационной поляризации

1.3.5.2. Влияние продольного перемешивания

1.4. Мембранные элементы и аппараты с рециркуляцией

1.4.1. Мембранные элементы с рециркуляцией по пермеату и с рециклом по выходному потоку

1.4.2. Многоступенчатые каскады и каскады типа "непрерывная мембранная колонна"

1.5. Гибридные мембранные процессы

1.5.1. Мембранные элементы с рециркуляцией и дополнительной конденсацией

1.5.2. Аппараты, сочетающие мембранное разделение с ректификацией или с абсорбцией

1.6. Выводы. Постановка задачи

2. Определение проницаемости и селективности газоразделительных мембран

2.1. Методика определения проницаемости газов и паров воды

2.2. Методика определения коэффициента разделения

2.3. Результаты и обсуждение

2.3.1. Проницаемость летучих гидридов элементов Ш-У1 групп для мембраны типа "Силар"

2.3.2. Проницаемость перфторированной сульфокатионитовой ионообменной мембраны

2.3.3. Проницаемость мембраны на основе ацетата целлюлозы

2.3.4. Зависимость коэффициента разделения от концентрации примеси

3. Глубокая очистка газов в мембранных элементах

3.1. Обоснование необходимости использования высокоэффективных мембранных элементов

3.1.1. Зависимость степени разделения от концентрации примеси.

3.1.2. Сравнение единичного мембранного элемента для режима идеального вытеснения и набора элементов в режиме полного перемешивания.

3.2. Глубокая очистка газов в вакуумном режиме и режиме поперечного

3.2.1. Математическая модель процесса глубокой очистки газов в радиальных и прямоугольных плоскопараллельных элементах с учетом продольного перемешивания

3.2.2. Безотборный режим работы мембранных элементов

3.2.3. Экспериментальная часть

3.2.4. Мембранные элементы с перфорированными сульфокатионитовыми ионообменными мембранами

3.3. Глубокая очистка газов в элементах с противоточным режимом

3.3.1. Радиальные противоточные мембранные элементы

3.3.2. Процесс глубокой очистки газов с рециклом выходного потока

4. Мембранные установки для концентрирования примесей, их сочетание с мембранными модулями глубокой очистки газов

4.1. Непроточные мембранные элементы

4.2. Мембранные элементы с рециркуляцией по пермеату

4.3. Глубокая очистка газов от неконденсирующихся примесей в каскадах типа "непрерывная мембранная колонна"

4.4. Глубокая очистка газов от примеси паров в каскадах типа "непрерывная мембранная колонна"

5. Глубокая очистка газов комбинированным методом

5.1. Очистка хлористого водорода от примеси постоянных газов совмещенным методом, включающим абсорбцию и первапорацию.

5.2. Изучение процесса, совмещающего ректификацию и мембранное разделение

6. Глубокая очистка германа, силана и хлористого водорода методом мембранного газоразделения

6.1. Глубокая очистка германа, силана и хлористого водорода от взвешенных частиц

6.2. Глубокая очистка германа и силана

Выводы

Список основных обозначений

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Глубокая очистка газов методом мембранного газоразделения»

Метод разделения газов с помощью непористых полимерных мембран является сравнительно новым процессом разделения, нашедшим применение в промышленности [1-3]. К его достоинствам относится непрерывность, низкая энерго - и материалоемкость, относительная простота применяемых массообменных аппаратов. Процессы разделения проводятся при комнатной температуре без фазовых превращений, не создают вредных выбросов и не требуют реагентов. Имеется возможность изменения эффективности разделительного процесса путем изменения свойств полимерного материала мембраны, повышения селективности и проницаемости. Например, значение селективности (отношение величины проницаемости) кислорода и азота ряда разработанных мембран изменяется от нескольких единиц до нескольких десятков [4-11].

Метод мембранного газоразделения начинает изучаться для выделения примесных компонентов из газовой смеси и получения чистых газов. Для этих целей метод может использоваться самостоятельно, или совместно с другими процессами. Так в [12] описано получение гелия с суммарным содержанием л примесей менее 10" %(об.) с помощью полимерных мембран, а в [13] -система получения гелия с содержанием примесей ниже 10"3 %(об.), в которой совмещаются процессы мембранного газоразделения и адсорбция со сдвигом давления. В работе [14] теоретически и экспериментально исследовано получение из воздуха кислорода с чистотой более 99 %(об.) с помощью мембранной колонны в сочетании с адсорбцией со сдвигом давления. Выделение диоксида углерода из отходящих газов и его получение с чистотой более 95 %(об.) обсуждается в [15]. Степень выделения диоксида углерода может достигать 96,6 % [16].

Полимерные мембраны начали использоваться для получения из воздуха чистого азота, о чем ряд фирм сообщили практически одновременно в [17-21]. Здесь мембранный метод используется самостоятельно [для получения азота с чистотой до 99,95 %(об.)] или в сочетании с методом каталитического гидрирования с дополнительно введенным водородом [для получения азота с чистотой 99,995 %(об.)]. Получение газа высокой чистоты за счет удаления диоксида углерода и воды описано в [22]. В очищенном продукте (в качестве которого выступает газ, не прошедший через мембрану) концентрация СОг снижается до уровня, ниже 4-10' %(об.), а содержание примеси воды уменьшается более чем на два порядка.

Изучение мембран различного типа при очистке газов от углеводородов и фторированных углеводородов проводилось в [23,24], а при очистке газообразного хлора - в [25,26].

С помощью полимерных мембран предложено проводить глубокую очистку выбросных газов из атомных электростанций от радиоактивного криптона и ксенона [27]. В этом случае необходимо использовать многоступенчатые каскадные методы разделения.

Глубокая очистка четырехфтористого углерода от примесей фреонов, образующихся в результате травления обрабатываемых поверхностей, изучалась в [28]. Показано, что мембраны на основе полидиметилсилоксана обладают высокой селективностью в системе СР4 - примеси фреонов и могут быть использованы для получения чистого четырехфтористого углерода.

В [29] полимерные мембраны применяли при извлечении водорода из его смеси с силаном, отводимой из реактора для получения высокочистого кремния и последующего возвращения силана снова в реактор, а также для отделения Н2 и НС1 от трихлорсилана, выходящего из реактора гидрохлорирования кремния.

Выделение таких гидридов, как арсин или силан из смеси с постоянными газами описано в [30].

Считается, что методы мембранного газоразделения обладают большими потенциальными возможностями при решении экологических задач [31, 32]. Возможно выделение примесных компонентов, выбрасываемых в настоящее время в окружающую среду. (<

Проницаемость паров воды существенно отличается от проницаемости газов [33-35], поэтому мембранные методы могут быть эффективны для удаления примеси воды из газовых потоков. В работах [22,36-38] показано, что с помощью полимерных мембран содержание воды в газах может быть снижено в 10 - 100 раз, что необходимо, например, перед транспортировкой природного газа по трубопроводам.

Следует отметить, что глубокая очистка газов от примеси воды до уровня 1-10"4 -1-10-5 %(об.) и ниже является актуальной задачей в микроэлектронике [39]. Содержание других лимитирующих примесей в высокочистых газах находится на таком же уровне [40,41]. Для достижения такой низкой г концентрации примеси необходимо обеспечить существенно большую степень очистки газа в мембранном аппарате, чем реализуемая в известных работах. Производство высокочистых газов, как правило, является малотоннажным [42], поэтому проблема высокой производительности не стоит так остро, как проблема высокой степени разделения в мембранном аппарате. Здесь не требуется такая высокая производительность, как в случае известного использования метода мембранного газоразделения. Например, при осушке природного газа производительность отдельной установки может достигать 58300 м3/ч [38], что намного выше, чем в случае получения высокочистых веществ.

По сравнению с традиционными методами глубокой очистки газов, мембранный метод может оказаться более экономичным и эффективным для очистки ряда веществ. Так, по сравнению с методом низкотемпературной ректификации, мембранное разделение проводится при комнатной температуре и в отсутствии фазовых превращений. Отсутствие жидкой фазы при работе с такими взрывоопасными веществами, как летучие неорганические гидриды, существенно увеличивает безопасность метода мембранного газоразделения. По сравнению с абсорбционными и химическими методами очистки исследуемый метод является непрерывным и не требует применения каких либо реагентов.

Вследствие этого разработка мембранного метода глубокой очистки газов является актуальной задачей.

Разработка мембранного метода глубокой очистки газов связана с решением крупной научной проблемы - созданием научных основ глубокой очистки газов с помощью непористых полимерных мембран, а также с созданием технологии глубокой очистки газов методом мембранного газоразделения.

В соответствии с этим в настоящей работе были поставлены следующие задачи:

1. Разработка научных основ глубокой очистки газов методом мембранного газоразделения, включающих:

- Разработку математической модели процесса глубокой очистки газов от легкопроникающих примесей с учетом продольного перемешивания в радиальных и прямоугольных плоскопараллельных мембранных модулях в вакуумном режиме и режиме поперечного тока. Проведение проверки модели для радиальных мембранных модулей.

- Введение понятия о безотборном режиме процесса глубокой очистки газов в мембранном модуле.

- Теоретическое и экспериментальное определение влияния рецикла выходного потока и рециркуляции по пермеату на процесс разделения в мембранном модуле.

- Разработку математического описания каскадов типа "непрерывная мембранная колонна" для процесса глубокой очистки газов.

- Экспериментальное определение проницаемости летучих гидридов элементов III - YI групп и зависимости коэффициента разделения на непористых полимерных мембранах от концентрации примеси в интервале от 10% (об.) до 3-Ю"7 % (об.).

2. Решение важной научно-технической проблемы создания технологии глубокой очистки газов методом мембранного газоразделения, включающей:

- Разработку высокоэффективного противоточного радиального мембранного модуля и его практическое применение для глубокой очистки газов.

- Разработку высокоэффективных каскадов типа "непрерывная мембранная колонна" и их применение для процесса глубокой очистки газов от примеси паров и неконденсирующихся примесей.

- Разработку комбинированных методов глубокой очистки веществ, сочетающих ректификацию и мембранное газоразделение, а также абсорбцию и первапорацию.

- Создание технологии глубокой очистки моногермана от примеси воды, а моносилана от примеси хлорсиланов, лимитирующих чистоту этих гидридов, а также очистки моносилана, моногермана и хлористого водорода от взвешенных частиц. Разработку технологии глубокой очистки постоянных газов от примеси воды и углеводородов.

Научная новизна диссертационной работы заключается в следующем:

1. Впервые получены экспериментальные значения проницаемости летучих гидридов элементов III - YI групп и показана возможность их глубокой очистки методом мембранного газоразделения.

2. Впервые показано, что величина коэффициента разделения (селективность) газоразделительных полимерных мембран для газовых смесей

1 7 не зависит от концентрации примеси при ее значении 1-10" т 3*10" % (об.).

3. Найдено, что величина степени разделения в мембранном модуле с уменьшением концентрации легкопроникающей примеси увеличивается и достигает максимального значения. Впервые введено понятие безотборного процесса глубокой очистки газов в модуле и с его помощью проведено сравнение радиального и прямоугольного модуля.

4. Впервые получено аналитическое выражение для степени разделения радиального и прямоугольного плоскопараллельного мембранного модуля в вакуумном режиме и режиме поперечного тока с учетом продольного перемешивания в случае глубокой очистки газов. Установлены теоретические и экспериментальные закономерности глубокой очистки газов в радиальных мембранных модулях в условиях, близких к вакуумному режиму. Экспериментально определена степень разделения мембранного модуля с газоразделительной мембраной типа «Силар» и ионообменной перфторированной сульфокатионитовой мембраной МФ-4СК.

5. Разработана математическая модель процесса глубокой очистки газов в противоточных радиальных мембранных модулях с учетом рецикла выходного потока. Проведено сравнение расчетных и экспериментальных данных и показано их хорошее согласие.

6. Рассмотрены мембранные модули с рециркуляцией по пермеату, а также каскады типа "непрерывная мембранная колонна" и проведено их сравнение для глубокой очистки газов.

7. Рассмотрена глубокая очистка веществ комбинированным методом, включающим ректификацию и мембранное газоразделение, а также абсорбцию и первапорацию.

Практическая значимость работы состоит в следующем:

1. Впервые на основе теоретических и экспериментальных данных созданы радиальные противоточные мембранные модули и каскады на их основе, которые позволяют проводить глубокую очистку газов от легкопроникающих неконденсирующихся примесей, а также от примеси паров.

2. Показано, что проведение процесса в режиме рецикла выходного потока в случае использования высокоселективных мембран, обладающих низкой проницаемостью по основному компоненту, позволяет существенно увеличить степень разделения и производительность мембранного модуля. Также найдено, что введение режима рецикла выходного потока позволяет существенно расширить рабочий интервал отношения давлений в полостях мембранного модуля, что дает возможность использовать компрессоры с меньшей степенью сжатия.

3. Впервые предложен новый метод, сочетающий абсорбцию и первапорацию, апробированный при получении хлористого водорода из смеси хлористого водорода с водородом или аргоном.

4. На радиальном противоточном мембранном модуле проведена глубокая очистка гелия и аргона от примеси воды, а на каскаде типа "непрерывная мембранная колонна" - очистка аргона от углеводородов.

5. Проведена глубокая очистка моногермана и моносилана от примеси металлов в виде взвешенных частиц. На радиальном противоточном модуле определена эффективность очистки моносилана от хлорсиланов, а также моногермана от примеси воды. Определены электрофизические параметры эпитаксиальных структур, полученных газофазной эпитаксией из очищенного высокочистого моногермана. Метод глубокой очистки моносилана внедрен на ООО «Фирма «Хорст».

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Дроздов, Павел Николаевич

ВЫВОДЫ

1. Впервые измерена величина коэффициента проницаемости летучих неорганических гидридов элементов Ш-У1 групп (В2Н6, 81Н4, ОеН4, РН3, АэНз, Н28е) и хлорсиланов ^¡НгСЬ, 81НС13, 8Ю4) для мембраны на основе полидиметилсилоксана типа «Силар».

Показана высокая селективность мембраны данного типа для ряда смесей. Разработана методика определения коэффициента разделения на непористых полимерных мембранах при низкой концентрации примеси. Показано, что величина коэффициента разделения газоразделительных полимерных мембран не зависит от концентрации примеси при ее значении 1-10"1 %(об.) ч- 3-Ю"7 % (об.).

2. Найдено, что в мембранном модуле величина степени разделения с уменьшением концентрации легкопроникающей примеси возрастает и достигает максимального значения. Поэтому в случае глубокой очистки газов градиент концентрации примеси и связанное с ним продольное перемешивание также будет достигать максимального значения.

Впервые введено понятие безотборного режима процесса глубокой очистки газов в мембранном модуле, которое характеризует предельный режим мембранного модуля. Предложено использовать данный режим при разработке методики сравнения мембранных модулей, в частности, радиального и прямоугольного. Найдено, что радиальные модули имеют г большую степенью разделения, чем прямоугольные.

3. Разработана математическая модель процесса глубокой очистки газов с учетом продольного перемешивания в радиальном и прямоугольном плоскопараллельном мембранном модуле в вакуумном режиме и в режиме поперечного тока и получены выражения для степени разделения в аналитическом виде. Предельные случаи соответствуют режиму идеального вытеснения и полного перемешивания. Разработана математическая модель процесса глубокой очистки газов в противоточных радиальных мембранных модулях с учетом рецикла выходного потока и продольного перемешивания, хорошо описывающая экспериментальные результаты. Показано, что проведение процесса в режиме рецикла выходного потока позволяет существенно расширить рабочий интервал отношения давлений в полостях мембранного модуля, что дает возможность использовать компрессоры с меньшей степенью сжатия. В случае использования высокоселективных мембран, обладающих низкой проницаемостью по основному компоненту, введение рецикла выходного потока позволяет существенно увеличить производительность мембранного модуля.

4. Экспериментально установлены закономерности глубокой очистки газов в радиальных мембранных модулях в условиях, близких к вакуумному режиму. Найдено, что с уменьшением высоты напорного канала, увеличением перепада давления на мембране и ее проницаемости, значение степени разделения возрастает, что объясняется уменьшением влияния продольного перемешивания на процесс массопереноса. Показано, что в этом режиме величина степени разделения имеет предельное значение. Для газоразделительных мембран это связано с остаточным давлением газа в дренажном канале. В случае использования ионообменной перфторированной сульфокатионитовой мембраны МФ-4СК при очистке газа от примеси воды, предельное значение величины степени разделения связано в первую очередь со снижением скорости переноса паров воды через мембрану с уменьшением парциального давления паров.

5. Впервые на основе расчетных и экспериментальных данных разработан высокоэффективный противоточный радиальный мембранный модуль, перспективный для глубокой очистки газов. Экспериментальные значения степени разделения в этом модуле являются самыми высокими среди приведенных в литературе. Например, в случае очистки гелия от паров воды на ацетатцеллюлозной мембране с коэффициентом разделения сс = 36, получена величина степени разделения Р = 1,2-104. Установлено влияние величины отношения давлений Р в дренажном и напорном каналах соответственно, на глубокую очистку газов. Из расчетных и экспериментальных данных показано, что в случае сравнительно невысоких значений селективности мембраны, основное изменение степени разделения наблюдается в интервале величины отношений давлений от 1 до 0,1. С дальнейшим снижением величины Р увеличение степени разделения происходит не столь значительно. Энергозатраты на проведение процесса в этом случае существенно возрастают.

6. Установлены теоретические и экспериментальные закономерности глубокой очистки газов в мембранных модулях с рециркуляцией по пермеату, а также каскадах типа "непрерывная мембранная колонна". Найдено, что для глубокой очистки газов в случае одинаковых параметров процесса данные каскады с оптимальным вводом питания обладают более высокой степенью разделения, чем мембранные модули с рециркуляцией. Показано, что разработанный каскад типа "Трехмодульная мембранная колонна" на основе радиальных противоточных мембранных модулей перспективен для глубокой очистки газов от примесей в газообразной форме. Применительно к разделению аргона с примесью пропана с коэффициентом разделения 6,8 получена максимальная степень разделения - 1,8-104 в каскаде типа МК и 8,5-104 в каскаде типа ТМК. При этом без секции обогащения степень отбора продукта не превышает 2%, а в каскаде типа МК и ТМК она составляет соответственно 87 и 98%.

7. Разработана математическая модели, проведены расчеты и показано, что каскад типа "трехмодульная мембранная колонна" с дополнительной конденсацией является более эффективным, чем приведенные в литературе аппараты применительно к глубокой очистке газов от примеси паров. Каскад типа "трехмодульная мембранная колонна" с конденсацией экспериментально исследован на смеси аргона с примесью гептана. Показано, что концентрация примеси гептана на выходе из секции извлечения может быть уменьшена в 1,2x104 раз по сравнению с исходной. Из секции обогащения в этом случае отбирается жидкий гептан. Степень извлечения примеси составляет более 99,99%.

8. Проведен расчет процесса глубокой очистки веществ комбинированным методом, включающим ректификацию и мембранное газоразделение, а также абсорбцию и первапорацию. Показана высокая селективность метода абсорбционной первапорации при получении хлористого водорода из смеси хлористый водород - водород (аргон) и его высокая эффективность при очистке от взвешенных частиц субмикронных размеров.

9. С помощью непористой полимерной мембраны на основе полидиметилсилоксана (типа «Силар», «Лестосил») проведена глубокая очистка моногермана и моносилана от примеси металлов в виде взвешенных частиц. На радиальном противоточном мембранном модуле снижено содержание лимитирующих примесей хлорсиланов в моносилане более чем на два порядка, а содержание примеси воды в моногермане на три порядка до уровня 2-10"6 % (об.).

Содержание примеси в полученных из моногермана эпитаксиальных слоях германия уменьшалось более чем на порядок до уровня < 1-10 см" . Метод глубокой очистки моносилана внедрен на ООО «Фирма «Хорст». Высокочистый моносилан поставляется на все предприятия микроэлектронной промышленности России и республики Беларусь.

10. В диссертационной работе решена крупная научная проблема -разработка научных основ глубокой очистки газов с помощью непористых полимерных мембран и создание технологии глубокой очистки газов методом мембранного газоразделения, имеющая важное хозяйственно-экономическое значение для получения высокочистых газов.

СПИСОК ОСНОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ

Р - давление, Па; Р' - парциальное давление, Па; С - концентрация, моль, д.; Ь - поток, моль/с; v - удельный поток, моль/м -с; V - скорость, м/с; Р - фактор разделения, равный отношению концентрации примеси; Ро- фактор разделения в безотборном режиме; Э - коэффициент продольного перемешивания, м2/с; Яо-радиус (длина) рабочей части мембраны, м; III - радиус для вывода газовой смеси из напорного канала, м; И. - координата по радиусу (длине) мембраны, м; О

П - коэффициент проницаемости, моль-м/м -с-Па; - проницаемость, О моль/м -с-Па; £ -доля выходного потока из напорного канала, поступающая в дренажный канал; - высота зазора в полости; Ф - вырожденная гипергеометрическая функция; Ре -диффузионное число Пекле; 8М - площадь

О 9 мембраны, м ; Бм вых общая площадь мембраны, м ; Бп - растворимость в полимере, моль/м3-Па; - растворимость в жидкости, моль/м3-Па; Ьм, См - поток и концентрация примеси на выходе из полости низкого давления отдельного мембранного элемента, соответственно; 9- доля отбора газовой смеси; а- поперечное сечение канала; ос - коэффициент разделения; о* -эффективный коэффициент разделения; - идеальный коэффициент

разделения; 8 - толщина, м; р - плотность, моль/м3.

ИНДЕКСЫ

А - примесь; В - основной компонент бинарной смеси; 1 - полость высокого давления (ПВД); 2 - полость низкого давления (ПНД); п - полимер; м -мембрана; к - конденсатор; ж - жидкость; вх - вход; М,вх - вход в мембранный элемент в безотборном режиме; 1вх, 2вх, Звх - вход в первый, второй, третий мембранные элементы, соответственно; вых - выход; 2вых, Звых - выход из напорного канала второго и третьего мембранных элементов соответственно; 1 м, 2м - выход из дренажного канала первого и второго мембранных элементов соответственно; отб - отбор; рец - вход в полость низкого давления из полости высокого давления; р - радиальный; п - прямоугольный.

Пояснения к остальным обозначениям, носящим локальный характер, приводятся при их появлении.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Дроздов, Павел Николаевич, 2005 год

1. Ежов В.К., Кушнарев С.В. Разделение газовых смесей при помощи полимерных мембран // Теорет. основы хим. технол.1986. Т.20. № 5. С. 600-606.

2. Ямпольский Ю.П. Новые полимерные материалы газоразделительных мембран // Высокомолек. соед. (Б ) 1993. Т.35. №1. С. 51-62.

3. Тепляков В.В., Дургарьян С.Г. Обогащение воздуха кислородом с ф использованием полимерных мембран // М.: Тр. института МХТИ им.

4. Д.И.Менделеева. 1982. Вып. 122. С. 108-117.

5. Полоцкая Г.А., Кузнецов Ю.П., Ромашкова К.А. и др. Композиционная газоразделительная мембрана полиамидоимид-поли-2,6-диметил-1,4-фениленоксид // Высокомолек. соед. (А) 1992. Т.34. №10. С. 167-173.

6. Кириченко В.И., Тимашев С.Ф., Ершова J1.A. и др. // Получение и модификация газоразделительных мембран. Обзорн. инф. Сер. Научн.-технич. прогнозы в обл. физ. хим. исследов. М.: НИИТЭХИМ. 1989. 135 с.

7. Kaner R.B., Anderson M.R., Matter B.R., Reiss Н. Membranes having ф selective permeability // Пат. 5096586 США. Заявл. 28.8.90. Опубл. 17.3.92. BOI1. D 67/00.

8. Jian X. G., Dai Y., Zeng L., Xu R. X. Application of poly(phthalazinone ethersulfone ketone)s to gas membrane separation // J. Appl. Polym. Sci. 1999. V.71. №14. P.2385-2390.

9. Johnson B.M., Baker R.W., Matson S.L. et al. Liquid membranes for the production of oxygen-enriched air. II. Facilitated transport membranes // J. Membr.• Sci. 1987. V.31.P.31-67.

10. Tsuchida E., Nishide H., Ohyanagi M., Kawakami H. Facilitated transport of molecular oxygen in tie membrane of polymer-coordinated cobalt Schiff base complex // Macromol. 1987. V.20. P.1907-1912.

11. Kusuki Yoshihiro, Ishihara Karuhiko Method of preparation high purity gas • by multiple step gas separation // Пат. 5064446 США. Заявл. 26.5.88. Опубл.1211.91. BOID 53/22.

12. Asahara К., Taneda M. New treatment system of helium // Kobe Steel Eng. Rets. 1989. V.38. №3. P.37-40.

13. Tsuru Т., Hwang S.-T. Production of high purity oxygen by continuous membrane column combined with PSA oxygen generator // Ind. and Eng. Chem. Res. 1994. V.33. №2. P.311-316.

14. Schell W.G. Membranes can efficiently separate C02 from mixtures // Oil and Gas J. 1983. V.81. №33. P.52-56.ф 16. Watanabe H. C02 removal from synthetic natural gas for city gas use // J.

15. Membr. Sci. 1999.V.154. P.121-126.17. .Membranes, generate N2 of ultrahigh purity // Chem. Eng. (USA). 1990. V.97. №11. P. 19,21

16. Ultra pure nitrogen is available using membranes process // Eng. "Gr. Brit." 1990. V.71. №6. P.25.

17. Rice A.W. Process for capturing nitrogen from air using gas separation membranes // Пат. 4894068 США. Заявл. 27.12.88. Опубл. 16.01.90. BOI D 53/22.ф 20. Technology membrane based plants separate nitrogen // Chem. and Eng.

18. News. 1990. V.66. №44. P.21.

19. Campbell M.J. Membrane process and system for nitrogen production // Пат. 4960579 США. Заявл. 01.04.88. Опубл. 02.10.90. BOI J 8/02.

20. May-Britt Hagg Membrane purification of Cl2 gas II. Permeabilities as function of temperature for Cl2, 02, N2, H2 and HC1 in perfluorinated, glass and carbon molecular sieve// J. Membr. Sci. 2000. V.177. P.108-128.

21. Stern S. A., Wang S.-C. Permeation cascades for the separation of krypton and xenon from nuclear reactor atmospheres //AIChE J. 1980. V.26. №6. P.891-901.

22. Roberts D.L., Ching G.D. Recovery of freon gases with silicone rubber ф membranes // Ind. Eng. Chem. Process Des. Dev. 1986. V.25. № 4. P.971-973.

23. Hsieh S.-T., Keller G.E. Gas separation by semi permeable membranes // Пат. 4941893 США. Заявл. 19.09.89. Опубл. 17.07.90. BOI D 53/22.

24. Bouard P., Labrune P., Villermet A., Gastiger M. Process for the separation of a gaseous hydrides with the aid of a membrane // Пат. 5503657 США. Заявл.1409.94. Опубл. 02.04.96. BOI D 53/22

25. Бэррер Р. Диффузия в твердых телах. М.:И.Л. 1948. 504 с.

26. Hwang S.T., Choi С.К., Kammermeyer К. Gaseous transfer coefficients in membranes // Separat. Sci. 1974. V.9. № 6. P.461-478.

27. Применение мембранной технологии для осушки природного газа. Аналитический обзор. МНИЦМНТК «Мембраны». Владимир. 1992. 43 с.

28. Хасино Я., Тоёмото К. Способ очистки ацетилена // Заявка 61-229830

29. Япония. Заявл. 5.04.85. Опубл. 14.10.86. С07 С 11/24.

30. Пух Н.Н., Сапрыкин В. Л., Рожанчук В.Н. и др. Влага в газовых потоках при разделении воздуха на мембранах с полыми волокнами гравитон // Химич. технол. 1990. № 1. С.65-68. ® 38. Шелл В.Д. Разделение газов с помощью избирательных мембран //

31. Нефть, газ и нефтехимия за рубежом. 1982. № 10. С. 117-120.

32. Flaherty Е., Herold С., Wojciak J. et all. Reducing the effects of moisture in semiconductor gas system // Solid State Technology. 1987. July. P.69-75.

33. Девятых Г.Г., Еллиев Ю.И. Введение в теорию глубокой очистки веществ. М.: Наука.1981. 320 с.

34. Девятых Г.Г., Карпов Ю.А., Осипова Л.И. Выставка-коллекция веществ особой чистоты. М.: Наука. 2003. 236 с.

35. Воротынцев В.М. Перспективы развития технологии высокочистых ф веществ для микро и оптоэлектроники // Извест. Академии Инженерных Науким. A.M. Прохорова. Т.7. 2004. С.3-9.

36. Sengupta A., Sirkar К.К. Membrane gas separation // Progr. Filtr. Separ. 1986. № 4. P.289-415.

37. Мулдер M. Введение в мембранную технологию. М.: Мир. 1999. 513 с.

38. Кренцель Б.А. Будущее нефтехимии. Новое в науке, жизни, технике. Серия: Химия. М.: Знание. 1985. №2. С.42-43.

39. Ямпольский Ю.П. Некоторые аспекты мембранного газоразделения в нефтехимии. // Ж. Всес. химич. общества им. Д.И.Менделеева. 1989. Т.34. №6. С.679-686.

40. Nakagawa Т. Trends in development of gas separation membrane in Japan // Chem. Econ. Eng. Review 1987. V.19. №1-2-3. P.32-37.ф 50. Alpers A., Keil В., Ludtke O., Ohlrogge K. Organic vapor separation:

41. Process design with regards to high-flux membranes and the dependence on real gas behavior at high pressure applications // Ind. and Eng. Chem. Res. 1999. V.38. №10. P.3754-3760.

42. Семенова С.И., Амирханов Д.М., Вдовин П.А. и др. Применение полимерных мембран на основе фторопластов для разделения газовых смесей, содержащих агрессивные компоненты // Пластмассы. 1991. №1. С.55 57.

43. Ohio М., Ozaki О., Sato Н. Radioactive rare gas separation using a separation cell with two kinds of membranes differing in gas permeability tendency //J. of Nucl. Sci. and Technol. Jpn. 1977. V.14. №8. P.589-602.

44. Амирханов Д. М., Котенко А. А., Русанов В. Д., Тульский М. Н. Полимерные мембраны для выделения сероводорода из природного газа// Высокомолек. соед.(А-Б) 1998.Т.40. №2. С.350-357.

45. Orme С. J., Harrup М. К., Luther Т. A. et al Characterization of gas transport in selected rubbery amorphous polyphosphazene membranes// J. Membr. Sci. 2001. V.186. № 2. P.249-256.

46. Chatterjee G., Houde A.A., Stern S.A. Poly(ether urethane) and poly(ether urethane urea) membranes with high H2S/CH4 selectivity // J. Membr. Sci. 1997. V.135. P.99-106.

47. Plate N.A., Durgarjan S.G., Khotimskii V.S. et al. Novel poly(silicon olefins) for gas separations // J. Membr. Sci. 1990. V.52. №3. P.298 304.

48. Alentiev A., Drioli E., Gokzhaev et al. Gas permeation properties of phenylene oxide polymers//J. Membr. Sci. 1998. V.138. P.99-107.

49. Тульский M. H., Котенко А. А., Амирханов Д. M. Модификация полимерных газоразделительных материалов как путь совершенствования мембранной технологии // Крит, технол. Мембраны. 2000. №7. С.29-42.

50. Christen D., Rif A., Buck A., Heinzelmann W. New selective membranmitt hohem transmembranem fluss // Swiss, chem. 1986. R.8. № 3. S.38-42, 44-47.

51. Bikson В., Giglis S., Nelson J.K. Process for dehydration of gases and composite permeable membranes therefore // Пат. 5067971 США. Заявл. 6.11.90. Опубл. 26.11.91. BOID 53/22.

52. Makoto Nakao, Yoshio Sugaya, Hiroshi Mori, Hirofumi Horie Vapor permselective membrane // Пат. 4909810 США. Заявл. 26.06.89. Опубл.20.03.90. BOI D 53/22.

53. Дытнерский Ю.И., Каграманов Г.Г., Сторожук И.П. Мембранное разделение природных, технологических и выбросных смесей газов // Журн. Всесоюз. химич. общества им. Д.И. Менделеева. 1987. Т.32. №6. С.686-692.

54. Fang S.-M., Stern S.A., Frisch H.I. Effect of pressure on gas permeability coefficients. A new application of the "free volume" theory // J. Polym. Sci. Part A. 1972. V.2. P.201-219.

55. Агеев Е.П. Мембранные процессы разделения // Крит, технол. Мембраны. 2001. № 9. С.42-56.

56. Стерн С.А. в кн. Технологические процессы с применением мембран./ под ред. Р.Е.Лейси и С.Леба. М: Мир. 1976. С.303-366.

57. Koros W.J., Chern R.T., Stannet V.T., Hopfenberg H.B. A model for permeation of mixed gases and vapors in glassy polymers// J. Polym. Sci.: Polym. Physics Edition. 1981. V.19. №10. P.1513-1530.

58. Chern R.T., Koros W.J., Yui B. et al. Selektive permeation of CO2 and CH4 through Kapton polyimid: effect of penetrant competition and gas phase nonideality // J. Polym. Sci.: Polym. Physics Edition. 1984. V.22. P.1061-1084.

59. Stern S.A., Shah V.M., Hardy B.J. Structure permeability relationships in silicone polymers//J. Polym. Sci. Part В: Polym. Physics. 1987. V.25. P. 1263-1298.

60. Stern S.A., Sampat S.R., Kulkarni S.S. Tests of a "free volume" model of gas permeation through polymer membranes. II. Pure Ar, SF6, CF4 and C2H2F2 in polyethylene // J. Polym. Sci. Part B: Polym. Physics. 1986. V.24. №10. P.2149

61. Гельперин Н.И., Пебалк B.JL, Замышляев В.Г. и др. Разделение газовых смесей с помощью полимерных мембран // Теорет. основы хим. технол. 1980. Т. 14. №5. С.696-701.

62. Stern S.A., Mauze G.B., Frisch H.L. Tests of a free-volume model for the• permeation of gas through polymer membranes. CO2-C2H4, C02-C3H8, and C2H4-^ . C3H8 mixtures in polyethylene // J. Polym. Sci.: Polym. Physics Edition. 1983. V.21.1. P.1275-1298.

63. Брек Д. Цеолитовые молекулярные сита. М.: Мир. 1976. 781 с.

64. Бык С.Ш., Аксакова Г.Н. Разделение газовых смесей диффузией через непористые полимерные мембраны / Тематический обзор. ЦНИИТЭИ нефтепереработки и нефтехимической промышленности. 1980. 36 с

65. Blume I., Schwering P.J.F., Mulder M.H.V., Smolders C.A. Vapour sorption and permeation properties of poly(dimethylsiloxane) films // J. Membr. Sci. 1991.ф V.61. P.85-97.

66. Baker R.W., Yoshioka N., Mohr J.M., Khan A.J. Separation of organic vapors from air// J. Membr. Sci. 1987. V.31. P.259-271.

67. К 77. Aithal U.S., Aminabhavi T.M., Shukla S.S. Molecular transport of gases,vapors and salt solutions through polymer membranes // Polym.- Plast. Technol. and Eng. 1989. V.28. № 5-6. P.567-599.

68. McCandless F.P. Separation of binary mixtures of CO and H2 by permeationv •through polymeric films // Ind. and Eng. Chem. Process Des. and Develop. 1972. V.ll.№4. P.470-478.

69. Dhingra S.S., Marand E. Mixed gas transport study through polymeric• membranes//J. Membr. Sci. 1998. V.141. P.45-63.

70. Карпова Ю.Г., Лейтес И.Л., Корбутова З.В. и др. Исследование газопроницаемости мембраны ПВТМС диоксидом углерода при пониженном давлении //Очистка газов. Труды ГИАП. МЛ 983. С.76-80.

71. Андреев Б.М., Сиротина М.А. Влияние давления на газопроницаемость ацетатцеллюлозной мембраны при различных температурах. Моск. хим.-технол. ин-т. М.: 1990. 14 с. Деп. в ВИНИТИ 19.09.90. № 5081-В90.

72. Sada Е., Kumazawa Н., Xu P., Wang S.T. Permeation of pure carbon dioxide and methane and binary mixtures through cellulose acetate membranes. // J. Polim. Sci.B. 1990. V.28. №1. P. 113-125.

73. Li K., Acharya D.R., Hugher A. Performance of cellulose acetate permeator with permeability-influenced feed // AIChE J. 1990. V.36. №10. P. 1610-1612.

74. Файнштейн В.И., Павлов H.B. Оценка натекания примесей из воздуха в высокочистый газ, транспортируемый по полимерным трубопроводам // Высокочистые вещества. 1991. №1. С. 197-199.

75. Wood R.C. The sandwich method a proposed approach to the measurement of oxygen transmission rate through moisture sensitive barrier films // J. Test and Eval. 1984. V.12. №3. P.149-151.

76. Koros W.T., Chern R.T., Stannett V., Hopfenberg H.B. A model for permeation of mixed gases and vapors in glassy polymers // J. Polym. Sci.: Polym. Phys. Ed. 1981. V.19. №10. P.1513-1530.

77. Ежов B.K., Кушнарев C.B. Влияние относительной влажности на паро-газопроницаемость и селективность полимерных пленок // Пластмассы. 1985. №9. С.22-23.

78. Аканова Г.Н., Кошелев B.C., Труфанова Г.П. Влияние паров воды, содержащихся в газах пиролиза, на проницаемость водорода через мембраны из ПВТМС // Сб. Пути интенсификации процесса производства низших олефинов. М. 1985. С.84-95.

79. Леоненкова Е.Г., Смирнов С.И., Зацепин А.Г. и др. Исследование зависимости проницаемости, селективности и прочности газоразделительных ацетатцеллюлозных мембран при изменении влажности от 0 до 100 % II

80. Мембранные методы разделения смесей. Тез. докл. / Черкассы. 1991. С. 162- 163

81. Николаев Н.И. Диффузия в мембранах. М.: Химия. 1980. 232 с.

82. Рейтлингер С.А. Проницаемость полимерных материалов. М.: Химия. 1974. 269 с.

83. Беляков В.К., Хорунжий Е.Е., Карачевцев В.Г. и др. Обогащениеу, . природного газа гелием на мембранах из Силара // III Всесоюзн. конф. помембранным методам разделения смесей: Тез. докл. / Владимир. 1981. 4.2. С.319-320.

84. Тимашов С.Ф. Физико химия мембранных процессов. М.: Химия. 1988.237 с.

85. Timpe H.-J., Basse В., Muller F.W., Muller С. Sauerstoffbeweglichkeit in polymerfilmen bu niedrigen partialdrtichen // Eur. Polym. J. 1987. R.3. №.12. S.967ф 971.

86. Weller S., Steiner W.A. Engineering aspects of separation of gases -fractional permeation through membranes // Chem. Eng. Prog. 1950. V.46. P.585-590.

87. Weller S., Steiner W.A. Separation of gases by fractional permeation through membranes// J. Appl. Phys. 1950. V.21. P.279-283.

88. Хванг C.-T., Каммермейер К. Мембранные процессы разделения. M.: • Химия. 1981. 464 с.

89. Stern S.A., Walawender W.P. Analysis of Membrane Separation Parameters // Separat. Sci. 1969. V.4. P. 129-159.

90. Обогащение урана/ Под ред. С. Виллани М.: Энергоатомиздат. 1983. 320 с.• 105. Naylor R.W., Backer P.O. Enrichment calculations in gaseous diffusions: ^ . large separation factor // AIChE J. 1955. V. 1. P.95-99.

91. Николаев Н.И., Князев И.С., Лагунцов Н.И. и др. Теория оптимальных каскадов для разделения смесей на полупроницаемых мембранах. О разделительных характеристиках элемента мембранного типа // Теорет. основы хим. технологии. 1979. Т. 13. №1. С. 10-16.

92. Pan C.Y., Habgood H.W. Gas separation by permeation. I: Calculation methods and parametric analysis // Can. J. Chem. Eng. 1978. V.56. P. 197-209.

93. Pan C.Y. Gas separation by permeators with high-flux asymmetricф membranes // AIChE J. 1983. V.29. №4. P.545-552.

94. Pan C.Y. Gas separation by high-flux asymmetric hollow-fiber membrane // AIChE J. 1986. V.32. №12. P.20'20-2027.

95. С 110. Qi R., Henson M.A. Approximate modeling of spiral-wound gaspermeators // J. Membr. Sci. 1996. V.121. P. 11-24.

96. Blaisdell C.T., Kammermeyer K. Countercurrent and cocurrent gas separation // Chem. Eng. Sci. 1973. V.28. № 8. P. 1248-1255.

97. Walawender W.P., Stern S.A. Analysis of membrane separation parameters. II. Countercurrent and cocurrent flow in a single permeation stage //ф Separat. Sci. 1972. V.7. P. 553-584.

98. Stern S.A., Wang S.C. Countercurrent and cocurrent gas separation in a permeation stage. Comparison of computation methods // J. Membr. Sci. 1978. V.4. P.141-148.

99. Киселев Ю.И., Карачевцев В.Г., Гурылев А.В.и др. Моделирование одноступенчатого процесса мембранного разделения многокомпонентных газовых смесей // Теорет. основы хим. технол. 1984. №3. С.323-327.

100. Kaldis S.P., Kapantaidakis G.C., Papandopoulos T.I., Sakellaropoulos G.P.

101. Simulation of binary gas separation in hollow fiber asymmetric membranes by orthogonal collocation//J. Membr. Sci. 1998. V.142. P.43-59.

102. Rautenbach R., Dahm W. Simplified calculation of gas-permeation hollow-fiber modules for the separation of binary mixtures // J. Membr. Sci. 1986. V.28. P.319-327.

103. Smith S.W., Hall C.K., Freeman B.D., Rautenbach R Corrections for analytical gas-permeation models for separation of binary gas mixtures usingф membrane modules //J. Membr. Sci. 1996. V.l 18. P.289-294.

104. Schulz G., Werner U. Einflub der schaltungsart auf das gastrennverhalten von membranaustauschern // Verfahrenstechnik. 1983. R.17. № 6. S.357-360.

105. Бродский А.И. Химия изотопов. M.: АН СССР. 1952. 352 с.

106. Зельвенский Я.Д., Титов А.А., Шалыгин В.А. Ректификация разбавленных растворов. JL: Химия. 1974. 216 с.

107. Киргинцев А.Н., Исаенко Л.И., Исаенко В.А. Распределение примесей при направленной кристаллизации. Новосибирск: Наука. 1977. 256 с.

108. Воротынцев В.М., Малышев В.М., Мочалов Г.М., Тарабуров П.Г. ф Разделение газовых смесей методом газогидратной кристаллизации // Теор.основы хим. технол. 2001. Т.35. №2. С. 128-132.

109. Sada Е., Kumazawa Н., Wang J.-S., Koizumi М. Separation of Carbon Dioxide by Asymmetric Hollow Fiber Membrane of Cellulose Triacetate // J. Appl. Polym. Sci. 1992. V.45.№12. P.2181-2186.

110. Tranchino L., Santarossa R., Carta F. et al. Gas Separation in Membrane Unit: Experimental Results and Theoretical Predictions // Separat. Sci. Technol.• 1989. V.24. № 14. P. 1207-1226.

111. Чекалов JI.H., Талакан О.Г., Бабенков А.А., Наринский А.Г. К расчету процесса газоразделения на полых волокнах // Теорет. основы хим. технол. 1982. Т. 16. №4. С. 481-484.

112. Борисевич В.Д., Гришаев Н.Н., Лагунцов Н.И., Сулаберидзе Г.А.

113. О влиянии потерь давления в канале волоконного мембранного элемента на егоразделительные характеристики // Теорет. основы хим. технол. 1984. Т. 18. №1. С.20-24.

114. Киселев Ю.И., Ветохин В.Н. Моделирование и исследование продольных градиентов давления в мембранных газоразделительных элементах // Химич. промышл. 1986. №1. С.42-44.

115. Чекалов Л.Н., Талакин О.Г., Наринский А.Г. Исследование одноступенчатого процесса разделения газовой смеси с помощью асимметричной мембраны // Теорет. основы хим. технол. 1981. Т.15. №3.ф С.355-360.

116. Narinsky A.G. Applicability conditions of idealized flow models for gas separation by asymmetric membrane // J. Membr. Sci. 1991. V.55. P.333-347.

117. Bhattachara S., Hwang S.-T. Concentration polarization, separation factor, and Peclet number in membrane processes // J. Membr. Sci. 1997. V.132. P.73-90.

118. Ludtke O., Behling R.-D., Ohlrogge K. Concentration polarization in gas permeation//J. Membr. Sci. 1998. V.146. P. 145-157.

119. He G., Mi Y., Yue P.L., Chen G. Theoretical study on concentration polarization in gas separation membrane processes // J. Membr. Sci. 1999. V.153.ф P.243-258.

120. Haraya K., Hakuta Т., Yoshitome H., Kimura S. A study of concentration polarization phenomenon on the surface of a gas separation membrane // Separat. Sci. Technol. 1987. V.22. № 5. p.1425-1438.

121. Breuer M.E., Kammermeyer K. Effect of concentration gradients in barrier separation cells // Separat. Sci. 1967. V.2. № 3. P.319-334.

122. Груздев Е.Б., Ежов В.К., Лагунцов Н.И., Николаев Б.И. О влияниипродольной диффузии на процесс разделения газовых смесей наполупроницаемых мембранах // Инженерно-физический журн. 1986. Т.51. №6. С.916-924.

123. Киселев Ю.И., Карачевцев В.Г., Ветохин В.Н. Моделирование мембранного газоразделительного процесса с учетом диффузионного перемешивания в элементе // Теорет. основы хим. технол. 1985. Т. 19. №2. С.177-183.

124. Kothe K.D., Werner V. Einflub der axialen Ruckdiffusion auf das Trennverhalten von Gaspermeatoren// Chem.- Ing.-Techn. 1987. R.59. №1. S.80-81.

125. Косых E.B., Борисевич В.Д., Лагунцов Н.И., Николаев Б.И. О влиянии плотности упаковки на разделительные характеристики мембранного элемента // Теорет. основы хим. технол. 1990. т.24. №1. С. 127-131.

126. Rautenbach R., Struck A., Roks M.F.M. A variation in fiber properties affects the performance of defect-free hollow fiber membrane modules for air separation//J. Membr. Sci. 1998. V.150. P.31-41.

127. Lemanski J., Lipscomb G.G. Effect of fiber variation on the performance of countercurrent hollow fiber gas separation modules // J. Membr. Sci. 2000. V.167. P.241-252.

128. Марченко А. А., Чеботарев A.H. Разделение газовых смесей полимерными мембранами // Тр. YII Конференции молодых ученых. 4.1. М.: МФТИ. №3690-92 Деп. С.83-88.

129. Кириллов Ю.П., Скрягин В.Н., Енгулятов Ю.И. Моделирование глубокой очистки газов в мембранном элементе // Высокочистые вещества. 1994. №3. С.38-44.

130. Кириллов Ю.П., Скрягин В.Н., Енгулятов Ю.И, Кузнецов Л.А. Учет влияния продольного перемешивания в мембранном элементе на глубину очистки газа // Высокочистые вещества. 1995. №3. С.50-56.

131. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А., Приписнов А.Г. Влияние продольного перемешивания на процесс глубокой очистки газов методом диффузии через полимерные мембраны // Высокочистые вещества. 1987. №4. С.137-141.

132. Matson S.L., Lopez J., Quinn J.A. Separation of gases with synthetic membranes // Chem. Eng. Sci. 1983. V.38. № 4. P.503-524.

133. Stern S.A., Perrin J.E., Naimon E.J. Recycle and multimembrane permeators for gas separations // J. Membr. Sci. 1984. V.20. P.25-43.

134. Лагунцов Н.И., Груздев Е.Б., Косых Е.В., Кожевников В.Ю.г—

135. Применение рециркуляционных схем соединения мембранных аппаратов для разделения газовых смесей. М.: Препринт/МИФИ. 013-91. 1991. 20 с.

136. Tsuru Т., Hwang S.-T. Permeators and continuous membrane columns with• retentate recycle // J. Membr. Sci. 1995. V.98. P.57-67.

137. Pan C.Y., Habgood H.W. An analysis of single-stage gaseous permeation process // Ind. Eng. Chem. Fundam. 1974. V.13. P.323-331.

138. Hwang S.-T., Thorman J.M. The continuous membrane column //AIChE J. 1980. V.26.№4. P.558-566.• 160. Hwang S.-T., Yuen K.H., Thorman J.M. Gas separation by a continuous ^ , membrane column // Separat. Sci. and Technol. 1980. V. 15. № 4. P. 1069-1990.

139. Груздев Е.Б., Ежов B.K., Косых E.B. и др. О разделительных характеристиках трехмодульной мембранной колонны // Теорет. основы хим. технологии. 1989. Т.23. № 2. С. 195-201.

140. Seok D.R, Kang S.G., Hwang S.-T. Separation of helium and hydrocarbon mixtures by a two membrane colymn // J. Membr. Sci. 1986. V.27. № 1. P. 1 -11.

141. Schulz G., Michele H., Werner U. Membrane rectification columns for gas ^ separation and determination of the operating lines using the McCabe-Thiele diagram

142. J. Membr. Sci. 1982. V.l 2. P.183-194.

143. Yoshisato R.A., Hwang S.-T. Computer simulation of a continuous membrane column//J. Membr. Sci. 1984. V.l8. P.241-250.

144. Kao Y.-K, Qiu M.-M., Hwang S.-T. Critical evaluations of two membranetr gas permeator designs: continuous membrane column and two stripper in series // Ind. Eng. Chem. Res. 1989. V.28. P.1514-1520.

145. Милевская E.B., Ветохин B.H., Тлебаев M.B. Математическоемоделирование процесса выделения азота из воздуха в мембранной колонне //

146. Применение методов кибернетики в хим. технол. Теория и практика. М. МХТИ им. Д.И.Менделеева. 1987. С.5-11. Деп. в ВИНИТИ 20.07.87. №5227-В.

147. Rautenbach R., Dahm W. Gas permeation module design and arrangement // Chem. Eng. and Process. 1987. V.21. №.3. P. 140-150.

148. Rautenbach R. Process design and optimization // Pr. nauk Inst. ochr. ^ ~ srodow Pwrocl. 1986. №57. P.275-341.

149. Lababidi H., Al-Enezi G.A., Ettouney H.M. Optimization of module configuration in membrane gas separation // J. Membr. Sci. 1996. V.l 12. P. 185-197.

150. Xu J., Agrawal R. Gas separation membrane cascades. I. One compressor cascades with minimal energy losses due to mixing // J. Membr. Sci. 1996. V.l 12. P.l 15 -128.

151. Laguntsov N.I., Gruzdev E.B., Kosykh E.V., Kozhevickov V.Y. The use of recycle permeator systems for gas mixture separation // J. Membr. Sci. 1992. V.67.• P. 15-25.

152. Suchiro Т., Yamanaka Т., Mizoguchi К. A novel continuous membrane column for separating solutes by dialysis // J. Chem. Eng. Jap. 1990. V.23. №1. P.l10-112.

153. Cohen K. The Theory of isotope separation as applied to the large-scale production of U-235. New-York.: McGraw Hill. 1951. 165 p.

154. Бенедикт M., Пигфорд Т. Химическая технология ядерных материалов. М.: Атомиздат. 1960. 528 с.

155. Werner U. Aufbereitung von Bio-und Erdgasen mit Membranverfahren // GWF Gas/Erdgas. 1985. R.126. № 1. S.25-29.

156. Розен A.M. Теория разделения изотопов в колоннах. М.: Атомиздат. 1960. 439 с.

157. Колокольцев H.A., Лагунцов Н.И. К теории разделительных каскадов при больших обогащениях на разделительных элементах // Атомная энергия. 1969. Т.27. №6. С.560-561.

158. Лагунцов Н.И Особенности расчета идеальных каскадов с произвольным обогащением на ступени // Атомная энергия. 1973. Т.35. №3. С.205-207.

159. Agrawal R., Xu J. Gas separation membrane cascades II. Two compressor cascades//J. Membr. Sei. 1996. V.l 12. P.129-146.

160. Agrawal R., Xu J. Gas separation membrane cascades utilizing limited numbers of compressors // AIChE J. 1996. V.42. P.2141-2154.

161. Agrawal R. A simplified method for synthesis of gas separation membrane cascades with limited numbers of compressors // Chem. Eng. Sei. 1997. V.52. P. 1029-1044.

162. Dahm W., Paul H., Rautenbach R., Kolibach J. Losungsmitterlückgewinnung durch gaspermeation // Chem.- Ing.- Techn. 1988. R.60. № 1. S.48-50.

163. Feng X., Huang R.Y.M. Organic vapor/gas mixture separation by membrane. A parametric study // Separat. Sei. and Technol. 1992. V.27. №15. P.2109- 2119.

164. Baker R.W. Process for recovering organic vapor from air // Пат. 4553983 США. Заявл. 31.07.84. Опубл. 19.11.85. BOI D53/22.

165. Paul H., Philipsen C., Gerner F.J., Strathmann H. Removal of organic vapors from air by selective membrane permeation // J. Membr. Sei. 1988. V.36. P. 363-372.

166. Ohlrogge K., Peinemann K.-V., Wind J., Behling P.-D. Membranes, modules and membrane apparatus for vapor recovery // Proc. Int. Congr. on Membranes and Membrane Proc. ICOM' 90: Abstracts / Chicaco. V.l. P.437-439.

167. Ohlrogge K., Herbst M., Scheel H. et all Hybridverfahren zur Abluftreinigung//Chem.-Ing.-Techn. 2002. R.74. №12. S.1679-1685.

168. Baker R.W., Wijmans J.G. Two-stage membrane process and apparatus //- *

169. Пат.5256295 США. Заявл. 11.09.92. Опубл.26.10.93. BOI D 53/22.

170. Leemann M., Eigenberger G., Strathmann H. Vapor permeation for the recovery of organic solvents from waste air streams: separation capacities andprocess optimization//J. Membr. Sei. 1996. V.l 13. P.313-322.

171. Cha J.S., Malik V., Bhaumik D. et all Removal of VOCs from waste gas streams by permeation in a hollow fiber permeator // J. Membr. Sci. 1997. V.128. P.195-211.

172. Cha J.S., Li R., Sirkar K.K. Removal of water vapor and VOCs from ® nitrogen in hydrophilic hollow fiber gel membrane permeator // J. Membr. Sci.1996. V.119. P.139-153.

173. Collins M.C. Mass transport through polymeric membranes // J. Phys. Chem. 1985. V.89. P.213-217.

174. Сапрыкин B.JI. Мембранное газоразделение. 6. Комбинирование мембранных и немембранных способов разделения (Обзор) // Химич. технол. 1992. №3. С.20-31.

175. Davis J.C., Valus R.J., Eshraghi R., Velikoff A.E. Facilitated transport membrane hybrid systems for olefin purification // Separat. Sci. and Technol. 1993. V.28. №1-3. P.463-476.

176. Maclean D.L., Krishnamurthy R., Lerner S.L. Argon recovery from hydrogen depleted ammonia plant purge gas utilizing a combination of cryogenic and non- cryogenic separating means // Пат. 4687498 США. Опубл. 18.08.87.1С4 Fф 25 J 3/00.

177. Шелехин А.Б., Тепляков В.В., Бекман И.Н. Математическое описание процессов газопереноса в мембранных абсорберах // Теорет. основы хим. технол. 1992. Т.26. №4. С.570-573.

178. Bessarabov D.G., Jacobs Е.Р., Sanderson R.D., Beckman .I.N. Use of nonporous polymeric flat-sheet gas-separation membranes in a membrane-liquid contactor: experimental studies // J. Membr. Sci. 1996. V.113. P.275-284.

179. Бекман И.Н., Бессарабов Д.Г., Сандерсон P.Д. Диффузионныепроцессы в абсорбционном модуле мембранного контактора // Вестн. МГУ. Сер.2. 2000. Т.41. № 4. С.266-270.

180. Бекман И.Н., Бессарабов Д.Г., Сандерсон Р.Д. Разделение газовой смеси в абсорбционном модуле мембранного контактора //Вестн. МГУ. Сер. 2. 2001. Т.42. №1. С.60-66.

181. Девятых Г.Г., Зорин А.Д. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. М.: Наука. 1974. 208 с.

182. Ежов В.К., Поправкин Н.А. О некоторых силоксановых газоразделительных материалах // III Всесоюзн. конф. по мембранным методам разделения смесей: Тез. докл. / Владимир. 1981. 4.2. С.24.

183. Малиновский Е.К., Сиволов Е.Г. Сорбционные и газоразделительные свойства перфторированных ионообменный мембран по парам воды. // Журн. прикл. химии. 1992. Т.65. №12. С.2728-2731.

184. Kesting R.E. Phase Inversion Membranes // Materials Science of Synthetic Membranes/ Lloyd D.R. Ed. ACS Symposium Series. №269. Washington. D.C.: American Chemical Society. 1985. P. 131-164.

185. Костров Ю.А., Егоров H.A., Гладкая Л.Б. и др. Асимметричные газоразделительные полые волокна из ацетата целлюлозы // Мембранные методы разделения смесей. Тез. докл. / Черкассы. 1991. С. 157-158.

186. Справочник химика. Под редакцией Б.П.Никольского. Л.М.: Госхимиздат. Т.1. 1962. 1072 с.

187. Pye D.G., Hoehn Н.Н., Panar М. Measurement of gas permeability of polymers. II. Apparatus for determination of permeabilities of mixed gases and vapors//J. Appl. Polym. Sci. 1976. V.20. P.287-301.

188. Ежелева A. E, Батурина H. M, Казаков В. П., Крылов В.А. Газохроматографическое определение фосфина в высокочистом германе //Завод, лаб. 1987. Т. 53. № 3. С.18-20.

189. Waterford C.J., Winks R.G. Loss rates of phosphine associated with various materials used in laboratory fumigation apparatus // J. Stored Prod. Res. 1986. R.22. № 1. S.25-27.

190. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А., Крылов В.А., Ежелева А.Е. Концентрирование примеси фосфина в германе методом диффузии через полимерную мембрану // Высокочистые вещества. 1989. №4. С.236-239.

191. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А., Семенова С.И., Карачевцев В.Г. Исследование проницаемости летучих неорганических гидридов элементов III VI групп через полимерные мембраны типа «Силар» // Высокочистые вещества. 1988. №3. С.205-207.

192. Девятых Г.Г., Балабанов В.В., Зверева В.И., Орловский П.А. Некоторые вопросы получения летучих неорганических гидридов особой чистоты // Гидриды, галиды и металлоорганические соединения особой чистоты. М.: Наука. 1976. С. 70- 77.

193. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А., Медведев П.Г. Глубокая очистка газов от примеси воды с помощью перфторированных сульфокатионитовых мембран // Высокочистые вещества. 1994. №6. С.5-11.

194. Тверской В.А., Шевлякова Н.В., Бузин A.B. и др. Влияние влаги на газопроницаемость сульфокатионитовых мембран // Высокомолек. соед. (Б). 1989. Т.31. №9. С.700-703.

195. Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. Коэффициент разделения в системах аргон примеси при проницаемости через полимерную мембрану типа «Силар» // Высокочистые вещества. 1987. №4. С.71-73.

196. Prasad R. Two stage membrane dryers // Пат. 5205842 США Заявл. 13.2.92. Опубл.27.4.93. BOI D 53/22.

197. Общий курс процессов и аппаратов химической технологии. Кн. 2 / Айнштейн В.Г., Захаров М.К., Носов Г.А. и др. М.: Химия. 2000. 1760 с.

198. Чекалов JI.H., Талакин О.Г., Наринский А.Г. Бабенков A.A. К расчетумембранных газоразделительных аппаратов с последовательным соединением мембранных элементов// Теорет. основы хим. технол. 1983. Т. 17. №1. С. 109110.

199. Дроздов П.Н., Колотилов Е.Ю., Воротынцев И.В., Волков В.В., ® Хотимский B.C. Ресурсосберегающие мембранные технологии глубокойочистке газов для микроэлектроники // Известия Академии Инженерных Науким. A.M. Прохорова. №7. 2004. С.61-69.

200. MacLean D.L., Stookey D.J., Metzger T.R. Fundamentals of gas permeation//Hydrocarbon Procès. 1983. V.62. №8. P.47-51.

201. Иго Иоситоси, Сайто Юкихиро, Доя Мунэцугу, Асакава Сиро Модуль для разделения смеси газов // Патент 56-37003 Япония. Заявл. 31.08.79. Опубл. 10.04.81. В 01 13/00.

202. Райхельт Хеми Технис. Райхельт Каталог ч.1. Внешторгиздат. ф 1981.146 с.

203. Mears W.Y., Vanderkooi N., Murphy K.P. Procede de separation de gas // Пат. 1412837 Франция. Заявл. 30.10.63. Опубл.28.10.64.

204. С 242. Foucras J., Rodet G. Appareil á membranes planes utilisable notamment enperméation gazeuse et procédé pour son obtention // Пат. 2383694 Франция. Заявл. 18.03.88. Опубл. 13.10.78. В OI D 53/22.

205. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. и др. Глубокая очистка газов мембранным методом // YII Всесоюзн. конф. по получению и анализу веществ особой чистоты: Тез. докл./ Горький: ГГУ. 1985. 4.1. С.62-63.г г'

206. Камке Э. Справочник по обыкновенным дифференциальным уравнениям. М.: Наука, 1965. 704 с.

207. Бейтмен Т., Эрдейи А. Высшие трансцендентные функции. Гипергеометрические функции. М.: Наука. 1973. Т.1. 296 с.

208. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Чичеткин В.И. Глубокая очистка газов и жидкостей мембранными методами // XIV Мендел. Съезд по общей и прикладной химии: Реф. докл. и сооб./ М.: Наука. 1989. 4.2. С.226.

209. Дроздов П.Н, Воротынцев И.В. Безотборный режим мембранных газоразделительных модулей // Теорет. основы хим. технол. 2003. Т.37. №5. С.525-529.

210. Дроздов П.Н., Воротынцев И.В. Безотборный режим мембранных газоразделительных элементов //Всероссийск. науч. конф. "Мембраны-2001": Тез. докл./ Москва: 2001. С. 118.

211. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. Глубокая очистка газов методом диффузии через полимерные мембраны // IY Всесоюзн. конф. по мембранным методам разделения смесей: Тез. докл. / М.: НИИТЭИ. 1987. Т.З. С.37-40.

212. Рид Р., Праусниц Дж., Шервуд Т. Свойства газов и жидкостей: Справочное пособие. Л.: Химия. 1982. 592 с.

213. Шервуд Г., Пигфорд Р., Уилки Ч. Массопередача. М.: Химия. 1982. 696 с.

214. Касаткин А.Г. Основные процессы и аппараты химическойтехнологии. М.: Госхимиздат. 1960. 830 с.

215. Гельперин Н.И., Пебалк B.JL, Костанян А.Е. Структура потоков и эффективность колонных аппаратов химической промышленности. М.: Химия. 1977. 264 с.

216. Sakai Т. Gas permeation properties of solid polymer electrolyte (SPE)membranes //J. Electrochem. Soc. 1985. V.132. № 6. P.1328 1332.

217. Девятых Г.Г., Воротынцев B.M., Дроздов П.Н., Носырев С.А. Устройство для глубокой очистки газов // Авторское свидетельство СССР, № 1503123 от 22.04.1989. 1989. Приоритет от 02.06.1987.

218. Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. Устройство для глубокой очистки газов // Патент РФ, №1503123 от 22.04.1989. Приоритет от 02.06.1987.

219. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N., Kirillov Y.P. Theoretical and ф experimental study of high purification of gases in countercurrent membrane element

220. Euromembrane-2000: Abstracts/ Jerusalem: 2000. V.2. P.286.

221. Воротынцев B.M., Дроздов П.Н., Кириллов Ю.П., Скрягин В.К. ^ Глубокая очистка аргона и гелия от воды методом диффузии черезацетатцеллюлозную мембрану // Теорет. основы хим. технол. 1999. Т. 33. №2. С. 184-189.

222. Drozdov P.N., Kirillov Y.P., Kolotilov E.Y., Vorotyntsev I.V. High purification of gas in radial membrane element // Desalination. 2002. V.146. P.249-254.ф 264. Воротынцев B.M., Дозоров B.A., Кириллов Ю.П., Дроздов П.Н.,

223. Носырев С.А. Влияние давления на разделительную способность полимерных мембран при глубокой очистке газов // Высокочистые вещества. 1990. №1. С. 111-115.

224. Воротынцев B.M., Дроздов П.Н Глубокая очистка веществ методом мембранного газоразделения // Высокочистые вещества. 1994. №3. С.7-20.

225. Воротынцев В.М. Дроздов П.Н., Носырев С.А. Глубокая очистка газов от примеси воды на полимерных мембранах // X конф. по химии высокочистых веществ: Тез. докл. / Нижний Новгород: ИХВВ РАН. 1995. С.8.

226. Дроздов П.Н., Носырев С.А. Глубокая очистка аргона и германа от примеси воды методом диффузии через полимерные мембраны // Высокочистые вещества. 1993. №3. С. 111-114.

227. Воротынцев В.М, Дроздов П.Н., Кириллов Ю.П. Глубокая очистка аргона и тетрагидрида германия от примеси воды методом мембранного газоразделения // Журн. прикл. химии. 2002. Т.75. №2. С.249-252.

228. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н. Кириллов Ю.П. Глубокая очистка аргона, германа и гелия от воды методом мембранного газоразделения // Всероссийск. науч. конф. «Мембраны-2001»: Тез. докл./ Москва: 2001. С.116.

229. Vorotyntsev V.M., Kirillov Y.P., Drozdov P.N. Separation ability of a countercurrent membrane module in the regime of retentate flow recycle // Euromembrane 2004: Abstracts/ Hamburg. Germany. 2004. P.80.

230. Воротынцев B.M., Кириллов Ю.П., Дроздов П.Н Глубокая очистка газов мембранным методом в режиме рецикла выходного потока // Теорет. основы хим. технологии. 2003. т.37. №1. С.58-63.

231. Воротынцев В.М., Кириллов Ю.П., Дроздов П.Н. Влияние параметров продольного перемешивания на глубину очистки газов в мембранном элементе с рециклом выходного потока // Теорет. основы хим. технологии. 2005. Т.39. №4. С.420-425.

232. Латышев ВВ., Гурьянов В.Г. Аслиддинова М.Ю. и др. Получение водорода высокой чистоты при использовании мембран на палладиевой основе // Высокочистые вещества. 1991. №3. С. 122-131.

233. Крылов В.А. Красотский С.Г., Саркисов A.B. и др. Применение твердоэлектролитной ячейки на основе стабилизированного диоксида циркония для концентрирования примесей постоянных газов в кислороде // Высокочистые вещества. 1991. №1. С.205-210.

234. Аржанников В.А., Крылов В.А., Неуймин А.Д. и др. Получение высокочистого кислорода методом электропереноса через мембрану из стабилизированного диоксида циркония // Высокочистые вещества. 1987. №1. С.106-108.

235. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Медведев П.Г. Концентрирование примесей в газах в непроточных мембранных элементах // Высокочистые вещества. 1995. №4. С.93-98.

236. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н. Концентрирование примесей в газах в непроточных мембранных элементах // X конф. по химии высокочистых веществ: Тез. докл. / Нижний Новгород: ИХВВ РАН. 1995. С.59.

237. Мюллер Г., Гнаук Г. Газы высокой чистоты. М.: Мир. 1968. 236 с.

238. Дженнингс В., Рапп А. Подготовка образцов для газохроматографического анализа. М.: Химия. 1986. 166 с.

239. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Колесов C.B. Разделительная способность мембранных элементов с рециркуляцией при концентрировании примесей из газов //Высокочистые вещества. 1991. №5. С.57-62.

240. Vorotyntsev V.M, Matveev А.К., Drozdov P.N., Kolotilov E.Y. Separative power of membrane element with recirculation in concentration of impurities from gases // Euromembrane-99: Abstracts / Luven: 1999. V.2. P.223-224.

241. Воротынцев B.M., Дроздов П.Н., Носырев C.A Глубокая очистка газов в каскадах типа "Непрерывная мембранная колонна" //Мембранные методы разделения смесей: Тез. докл./ Черкассы: НИИТЭХИМ. 1991. С. 191192.

242. Дроздов П.Н., Носырев С.А. Глубокая очистка газов на каскадах типа "непрерывная мембранная колонна" // X конф. по химии высокочистых веществ: Тез. докл. / Нижний Новгород: ИХВВ РАН. 1995. С.58.

243. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н. Сравнение разделительной способности каскадов типа «непрерывная мембранная колонна» при глубокой очистке веществ //Высокочистые вещества. 1991. №5. С.51-56.

244. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N. Ultrapurification of Gases in a "Continuous membrane column" cascades // Euromembrane-99: Abstracts / Luven: 1999. V.2. P.225.

245. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N., Muraviev D.V. The comparison of processes of mixture separation and gases high purification // Euromembrane-99: Abstracts / Luven: 1999. V.2. P.193.

246. Николаев Н.И., Князев И.С., Лагунцов Н.И. и др. Расчет и анализ симметричных каскадов из мембранных элементов для разделения газовых смесей // Теорет. основы хим. технол. 1979. Т. 13. № 4. С.486-494.

247. Князев И.С., Лагунцов Н.И., Сулаберидзе ГА. К расчету мембранных разделительных каскадов без смешения // Теорет. основы хим. технол. 1981. Т. 15. № 1. С.36-40.

248. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А., Медведев П.Г. Глубокая очистка газов в каскадах типа «непрерывная мембранная колонна» // Высокочистые вещества. 1993. №5. С.29-36.

249. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н, Медведев П.Г. Эксергетический анализ процессов глубокой очистки газов на каскадах типа «непрерывная мембранная колонна» // Высокочистые вещества. 1994. №6. С.77-83.

250. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N. Ultrapurification of Gases in a "Continuous membrane column" cascades // Separat, and Purificat. Technol. 2001. V.22-23. P.367-376.

251. Воротынцев B.M., Дроздов П.Н., Носырев С.А. Очистка газов от паров органических веществ с помощью полимерных мембран // Междунар. конф. «Фундам. и приклад, проблемы охраны окруж. среды»: Тез. докл. /

252. Томск: ТГУ. 1995. Т.З. С.233.

253. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Малышев В.М., Колотилов Е.Ю. Глубокая очистка газов в каскадах типа «непрерывная мембранная колонна» с дополнительным конденсационным устройством // Всероссийск. науч. конф.

254. Мембраны-98»: Тез. докл./ Москва: 1998. С.228.

255. Ц 297. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н, Колотилов Е.Ю. Глубокая очисткагазов от примесей конденсирующихся веществ на каскадах типа Непрерывная мембранная колонна//Теорет. основы хим. технол. 2001. Т.35. №3. С.276-281.

256. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N Ultrapurification of Gases in a Continuous membrane column cascade // Desalination 2002. V.147. P. 433-438.

257. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N., Kolotilov E.Y., Matveev A.K. High purification of gases of an impurity of condensed substances on cascades of a type "Continuous membrane column" // Euromembrane-2000: Abstracts/ Jerusalem: 2000.1. V.2. P.287.

258. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N., Kolotilov E.J., Vorotyntsev I.V. High purification of substances by a gas separation method. // Abstract of 1st Italian

259. Russian Workshop "Membrane Technology for a Sustainable Industrial Production".

260. Cetraro. Italy: 2003. P.81.

261. Воротынцев B.M., Дроздов П.Н., Колотилов Е.Ю. Разделение газовых смесей методом абсорбционной первапорации // Теорет. основы хим. технол. 2001. Т.35. №3. С.276-281.

262. Дроздов П.Н., Колотилов Е.Ю., Воротынцев И.В, Муравьев Д.В.

263. Выделение хлористого водорода и аммиака из абгазов производства микроэлектронных изделий методом абсорбционной первапорации // Известия Академии Инженерных Наук им. A.M. Прохорова. № 7. 2004. С. 142-149.

264. Vorotyntsev V.M., Drozdov P.N., Kolotilov E.Y. Gas mixtures separation by an absorbing pervaporation method // Desalination. 2002. V. 149. P.23-27.

265. Рамм B.M. Абсорбция газов. M.: Химия. 1966. 768 с.

266. Франк Каменецкий Д.А. Диффузия и теплопередача в химической ® кинетике. М.: Наука. 1987. 490 с.

267. Зюльковский 3. Жидкостная экстракция в химической промышленности. JI.: Госхимиздат. 1963. 480 с.

268. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Колотилов Е.Ю. Мембранные технологии выделения хлористого водорода из абгазов химических производств // Всероссийск. науч. конф. «Мембраны-98»: Тез. докл./ Москва: 1998. С.230.

269. Дроздов П.Н., Колотилов Е.Ю., Воротынцев И.В. Глубокая очистка газов совмещенным методом адсорбции и первапорации // XI конф. по химии высокочистых веществ: Тез. докл./ Нижний Новгород: ИХВВ РАН. 2000. С.43.

270. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Колотилов Е.Ю. Выделение хлористого водорода из газовых смесей методом абсорбционной первапорации. // Всероссийск. науч. конф. «Мембраны-2001»: Тез. докл./Москва: 2001. С.117.

271. Drozdov . P.N, Vorotynsev I.V. Ammonia Permeability through Acetate Cellulose Membrane. // Euromembrane 2004: Abstracts/ Hamburg. Germany. 2004. P. 199.

272. Воротынцев B.M., Дроздов П.Н. Совмещенный метод ректификации и диффузии через полимерные мембраны при глубокой очистке веществ // Журн. прикл. химии. 1997. Т.70. №10. С.1682-1685.

273. Лазукина О.П. Негомогенные примеси в высокочистых веществах: дисперсный состав природа и устойчивость. // Высокочистые вещества. 1991. №2. С.33-42.

274. Шишов В. Н., Дуринов И. Ю., Балабанов В. В. и др. Снижение пределов обнаружения примесей и улучшение сходимости результатов анализа высокочистого моногермана химико-атомно-эмиссионным методом // Высокочистые вещества. 1988. № 6. С. 165-172.

275. Шишов В. Н., Дуринов И. Ю., Дроздов П. Н., Носырев С. А. Химико-спектральный анализ высокочистых моногермана и моносилана с пределом обнаружения 10"8 Ю"10 мае. % II Высокочистые вещества. 1991. № 1. С. 154157.

276. Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А.,

277. Махмутов Ф.А. Способ очистки летучих гидридов от взвешенных частиц // Авторское свидетельство СССР, № 1300840 от 01.12.1986. Приоритет от 19.02.85.

278. Левинский М.И., Мазанко А.Ф., Новиков И.Н. Хлористый водород и соляная кислота. М.: Химия. 1985. 160 с.

279. Крылов В.А., Лазукина О.П., Воротынцев В.М. Способ определения параметров дисперсной системы // Авторское свидетельство СССР, №790966. / Опубл. 1980. Бюл. №24.

280. Кузнецов O.A., Дроздов П.Н., Носырев С.А. и др. Влияние метода очистки германа на концентрацию примеси в эпитаксиальных слоях германия // X конф. по химии высокочистых веществ: Тез. докл. / Нижний Новгород: ИХВВ РАН. 1995. С.224-225.

281. Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. Глубокая очистка силана от примеси хлорсиланов с помощью мембран на основе полидиметилсилоксана // X конф. по химии высокочистых веществ: Тез. докл. / Нижний Новгород: ИХВВ РАН. 1995. С.60.