Вакуумное газоструйное осаждение фторполимерных пленок с кластерами серебра тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.02.05, кандидат физико-математических наук Сафонов, Алексей Иванович

• Сафонов, Алексей Иванович
• кандидат физико-математических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Сафонов, Алексей Иванович

Введение.

Глава I. Современные методы осаждения полимерных, металлополимерных микро- и наноразмерных структур. Методы диагностики полученных материалов.

1.1 Основные методы осаждения фторполимерных пленок в вакууме.

1.1.1 Плазмохимическая полимеризация.

1.1.2 Методы, основанные на диспергировании основного материала.

1.1.3 Осаждение методом Н\УСУБ.

1.2 Методы получения наночастиц серебра.

1.2.1 Диспергирование.

1.2.2 Конденсационные методы.

1.3 Методы получения металлополимерных пленок.

1.4 Основные методы диагностики полимерных и металлополимерных пленок и нанокомпозитов.

1.5 Выводы и результаты по главе.

Глава II. Осаждение фторполимерных пленок газоструйным методом.

2.1 Использование продуктов термического разложения политетрафторэтилена (ПТФЭ) в качестве предшественника фторполимера.

2.1.1 Описание экспериментальной установки. Методика проведения эксперимента.

2.1.2 Оценки параметров сверхзвуковой струи.

2.1.3 Анализ осажденных пленок.

2.1.4 Масс-спектрометрические измерения в струе.

2.2 Использование продуктов пиролиза окиси гексафторпропилена (ОГФП) в качестве предшественника фторполимера.

2.2.1 Описание экспериментальной установки. Методика экспериментов.

2.2.2 Анализ осажденной пленки.

2.2.3 Масс-спектрометрические измерения продуктов пиролиза ОГФП в струе.

2.3 Выводы и результаты по главе.

Глава Ш.Синтез серебряных наночастиц газоструйным методом.

3.1 Создание высокотемпературного источника паров серебра для осаждения наночастиц.

3.1.1 Схема источника.

3.1.2 Конструкция, основные элементы источника.

3.2 Определение областей формирования наночастиц в газоструйном методе.

3.3 Влияние параметров торможения на средний диаметр синтезируемых наночастиц при газоструйном осаждении.

3.3.1 Влияние температуры источника на размер осажденных наночастиц серебра.

3.3.2 Влияние давления смеси аргона и паров серебра в источнике на размер осажденных наночастиц серебра.

3.3.3 Установление зависимости размера осажденных кластеров от параметров в источнике.

3.4 Выводы и результаты по главе.

Глава IV. Осаждение металлополимерных пленок газоструйным методом.

4.1 Разработка и создание экспериментальной установки по осаждению металлополимерной пленки.

4.2 Осаждение металлополимеров с различной структурой.

4.2.1 Осаждение металлополимеров с различной концентрацией серебра.

4.2.2 Осаждение металлополимеров с регулируемым средним размером наночастиц серебра.

4.3 Антибактериальные свойства осажденной пленки.

4.3.1 Влияние концентрации серебра в металлополимере на бактерицидные свойства.

4.3.2 Влияние размера наночастиц серебра на бактерицидные свойства.

4.3.3 Определение оптимального времени осаждения.

4.3.4 Определение времени сохранения антибактериальных свойств полученными металлополимерами.

4.5 Выводы и результаты по главе.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Вакуумное газоструйное осаждение фторполимерных пленок с кластерами серебра»

Современные тенденции получения новых материалов основываются на создании композиционных материалов с наноразмерной структурой. Наночастицы - прекрасные строительные блоки, разнообразные по составу, строению и свойствам и в этом смысле универсальные, идеально подходящие для конструирования функциональных наноматериалов и устройств - электролюминесцентных, сенсорных, в качестве магнитных или флуоресцентных меток в биологии, в качестве светоизлучающих диодов и лазеров, в катализе, электронике и других областях. Обусловлено это тем, что объекты вещества размером от ЮОнм до 0,2нм (размер молекулы) имеют свойства, которые сильно отличаются от свойств этих веществв массиве [1]. Это изменение свойств объясняется в основном двумя факторами:

- Большое отношение площади к объему. Например, для частицы размером 30 нм на поверхности находятся 5% атомов, для частицы 10 нм - 20%, для частицы 3 нм - 30% атомов. Увеличение удельной площади поверхности (на ед. массы) приводит к увеличению химической активности вещества за счет поверхностных молекул.

- Доминирование квантовых эффектов. При размерах объекта в десятки нанометров и меньше, начинают играть особую роль квантовые эффекты, что сильно меняет оптические, магнитные и электрические свойства вещества. Например: частицы золота в зависимости от размера имеют красный, синий или зеленый цвет.

В медицине в последнее время возрос интерес к использованию препаратов, содержащих серебро. Это интерес обусловлен тем, что лекарственные препараты, содержащие ионы серебра, имеют высокие антибактериальные и антивирусные свойства. В отличие от большинства антибиотиков они не токсичны, не имеют аллергических реакций.

Исследователи из института электрохимии им. А.Н.Фрумкина РАН и института микробиологии РАН изучили бактерицидные свойства наночастиц серебра размером около 10 нм по отношению к дрожжевым клеткам СагиШаийНв и обнаружили, что они значительно превосходят токсическое действие ионов серебра [2, 3]. Причем механизмы действия ионов и наночастиц серебра, как оказалось, различны. Исследование показало, что внесение в питательную среду с микроорганизмами наночастиц серебра приводитк разрушению поверхности клеточных мембран. Иначе действуют ионы серебра, которые связываются с белками и липидами клеточных мембран, что ведет к изменению так называемого трансмембранного потенциала (характеризующего ионную проводимость клеточной мембраны). Если ионы серебра не влияют на рост дрожжевых клеток, то наночастицы угнетают процесс ферментации. Авторы исследования считают, что «наносеребро» может использоваться в качестве более эффективного бактерицидного агента, особенно в случаях, когда нельзя повышать содержание токсичных ионов серебра. Схожие выводы были получены в других работах [4-6].

Однако наноразмерные частицы не могут долго оставаться в свободном состоянии. Вследствие своей высокой активности они сливаются (коагулируют) в более крупные частицы, теряя свои уникальные свойства. По этой причине, существует не так много путей синтеза материалов на основе наночастиц. Решением данной проблемы является внесение наночастиц в матрицы различных типов (углеродные, полимерные и др.) для стабилизации их наноразмерного состояния [7, 8]. В качестве такой стабилизирующей матрицы для медицинского применения вполне подходят полимеры.

В металлополимерных композитах полимер (полимерная матрица) выступает в роли стабилизатора химически активных частиц металла, препятствуя их агрегации. Процесс формирования металлополимерных композитов может сопровождаться взаимодействием полимера с металлом, которое осуществляется либо физической адсорбцией, либо путем образования химических связей с функциональными группами полимера. При этом матрица должна обеспечить "доступ" к активным частицам металла для получения требуемого эффекта.

Одним из перспективных полимеров для использования в качестве матрицы являются фторполимеры, в частности, потому что фторполимеры обладают высокой химической и биологической инертностью.

В настоящее время известно множество исследований по разработке методов создания металлополимерных материалов с наноразмерной структурой [9]. При этом следует решать следующие проблемы:

- создать частицы металла требуемого размера;

- поместить их в полимерную матрицу для стабилизации их наноразмерного состояния;

- обеспечить необходимую концентрацию активных частиц;

- создать полимерную матрицу с необходимой пористостью;

- подобрать полимер с приемлемыми для применения свойствами: температурной стойкостью, биологической совместимостью, прочностью, адгезией и пр.

Этот не полный перечень требований к технологии получения материала, очевидно, предполагает не только разработку собственно метода получения, но и исследования полученных образцов самыми современными методами с целью определения состояния, как вещества частиц, так и вещества матрицы, а также их возможных взаимодействий.

Суть предлагаемого метода газоструйного осаждения металлополимеров заключается в одновременном осаждении полимера и металла из двух струй: газа-предшественника фторполимерной матрицы и потока инертного газа несущего наночастицы серебра. Изменением газодинамических параметров струй можно регулировать структуру и состав осаждаемых металлополимеров.

Целями данной работы являются:

- Создание метода вакуумного газоструйного осаждения фторполимерных пленок с кластерами серебра;

- Получение данным методом металлополимерной пленки, состоящей из кластеров серебра внесенных во фторполимерную матрицу, обладающую высоким и стойким бактерицидным эффектом.

Для достижения этих целей необходимо решить следующие задачи:

1. Создать экспериментальный участок для газоструйного осаждения полимерных и металлополимерных пленок.

2. Изучить процесс осаждения фторполимерной матрицы с заданными параметрами.

3. Разработать источник кластеров серебра и исследовать синтез кластеров при газоструйном осаждении.

4. Получить фторполимерные пленки с кластерами серебра с различной структурой.

5. Изучить свойства осажденных металлополимерных пленок.

В настоящей работе проведено исследование процессов при газоструйном осаждении фторполимерных пленок, кластеров серебра и металлополимеров при их совместном осаждении. При этом проведены исследования свойств и строения полученных материалов, которые сопоставлены с газодинамическими и другими условиями их получения. В работе получены новые научные результаты:

1. Разработан и реализован газоструйный метод осаждения металлополимерных плёнок из продуктов пиролиза политетрафторэтилена или окиси гексафторпропилена при низком давлении.

2. Методами масс-спектрометрии установлен состав компонент, образующихся при пиролизе окиси гексафторпропилена, выделены основные радикалы, ответственные за полимеризацию в условиях эксперимента.

3. Разработан и создан источник кластеров серебра с диапазоном размеров кластеров от 5 до 80 нм. Изучены характеристики источника, определяющие процесс управления размерами наночастиц.

4. Разработана методика и установлены оптимальные газодинамические параметры для получения металлополимера на основе кластеров серебра внесённых во фторполимерную матрицу и изучены его свойства.

5. Установлено, что полученный металлополимер с концентрацией серебра от 5 до 100% обладает существенно более сильными антибактериальными свойствами по сравнению с серебром в массиве.

6. Обнаружен эффект значительного снижения антибактериальных свойств полученных металлополимеров в диапазоне концентраций серебра от 75 до 90%.

Положения, выносимые на защиту:

1. Разработан метод газоструйного осаждения фторполимерных плёнок из продуктов пиролиза политетрафторэтилена (ПТФЭ) и окиси гексафторпропилена (ОГФП). Показана возможность эффективного управления структурой пленки изменением температуры в реакторе.

2. С помощью масс-спектрометрических измерений продуктов пиролиза ПТФЭ и ОГФП исследовано изменение химического состава газа в потоке за соплом в зависимости от температуры торможения. Показано, что повышение температуры в ударных слоях (в область диска Маха и перед подложкой) приводит к дополнительному пиролизу компонент в струе.

3. Создан высокотемпературный источник кластеров серебра. Изучены характеристики источника при использовании аргона в качестве несущего газа в диапазоне температур торможения 900 - 1000 °С и давлении торможения 200 - 450 Па. Установлены области формирования кластеров в источнике.

4. Разработан метод и создано устройство для газоструйного осаждения металлополимеров с заданной структурой из раздельных потоков полимеробразующего газа и смеси аргона и паров серебра на примере осаждения фторполимеров с кластерами серебра. Показано влияние температуры в источниках на структуру и состав получаемых металлополимеров.

5. Установлено, что серебряно-фторполимерные покрытия с содержанием серебра от 5 до 100% при среднем диаметре кластеров от 15 до 80 нм обладают высокими антибактериальными свойствами в отношении к штаммам микроорганизмов: Сальмонелла (Salmonella typhimurium), Синегнойная палочка (Pseudomonas aeruginosa), Золотистый стафилококк (Staphylococcus aureus) и E.Coli в сравнении с массивным серебром. Обнаружен эффект значительного снижения антибактериальных свойств полученных металлополимеров в диапазоне концентраций серебра от 75 до 90%.

Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы и приложений.

Заключение диссертации по теме «Механика жидкости, газа и плазмы», Сафонов, Алексей Иванович

4.5 Выводы и результаты по главе

1. Создана экспериментальная установка и разработан метод газоструйного осаждения фторполимерной пленки с кластерами серебра.

2. Исследованы основные способы влияния на изменение концентрации серебра и среднего диаметра инкапсулированных наночастиц при газоструйном осаждении металлополимерной пленки.

3. Показано влияние структуры осажденной серебряно-фторполимерной пленки на ее антибактериальные свойства. Предложены рекомендации по получению металлополимеров с максимальными бактерицидными свойствами.

4. Установлено, что серебряно-фторполимерные покрытия с содержанием серебра от 5 до 100% при среднем диаметре кластеров от 15 до 80 нм обладают высокими антибактериальными свойствами в отношении к штаммам микроорганизмов: Сальмонелла (Salmonella typhimurium), Синегнойная палочка (Pseudomonas aeruginosa), Золотистый стафилококк (Staphylococcus aureus) и E.Coli в сравнении с массивным серебром.

5. Обнаружен эффект значительного снижения антибактериальных свойств полученных металлополимеров в диапазоне концентраций серебра от 75 до 90%.

Заключение

В заключение отметим основные результаты работы:

1. Разработан метод газоструйного осаждения фториолимерных плёнок из продуктов пиролиза политетрафторэтилена (ПТФЭ) и окиси гексафторпропилена (ОГФП). Показана возможность эффективного управления структурой пленки изменением температуры в реакторе.

2. С помощью масс-спектрометрических измерений продуктов пиролиза ПТФЭ и ОГФП исследовано изменение химического состава газа в потоке за соплом в зависимости от температуры торможения. Показано, что повышение температуры в ударных слоях (в область диска Маха и перед подложкой) приводит к дополнительному пиролизу компонент в струе.

3. Создан высокотемпературный источник кластеров серебра. Изучены характеристики источника при использовании аргона в качестве несущего газа в диапазоне температур торможения 900 - 1000 °С .и давлении торможения 200 - 450 Па. Установлены области формирования кластеров в источнике.

4. Разработан метод и создано устройство для газоструйного осаждения металлополимеров с заданной структурой из раздельных потоков полимеробразующего газа и смеси аргона и паров серебра на примере осаждения фторполимеров с кластерами серебра. Показано влияние температуры в источниках на структуру и состав получаемых металлополимеров.

5. Установлено, что серебряно-фторполимерные покрытия с содержанием серебра от 5 до 100% при среднем диаметре кластеров от 15 до 80 нм обладают высокими антибактериальными свойствами в отношении к штаммам микроорганизмов: Сальмонелла (Salmonella typhimurium), Синегнойная палочка (Pseudomonas aeruginosa), Золотистый стафилококк (Staphylococcus aureus) и E.Coli в сравнении с массивным серебром. Обнаружен эффект значительного снижения антибактериальных свойств полученных металлополимеров в диапазоне концентраций серебра от 75 до 90%.

Автор выражает глубокую благодарность Реброву А.К. под непосредственным руководством, которого выполнялась данная работа, а так же Тимошенко Н.И. за активное участие в обработке результатов, дискуссии, полезные замечания и помощь в оформлении результатов. Всем сотрудникам лаборатории (4.1 ИТ СО РАН) принимавшим участие в обсуждении результатов данной работы на лабораторных семинарах и в частных беседах. Зорину В.А. за помощь в решении технических вопросов. Латышеву A.B., Косолобову С.С. и Зайковскому В.И. за проведение анализов методами просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии. Варнеку В.А., Оглезневой И.М. за организацию, проведение и обсуждение результатов анализа образцов методом ИК - спектрометрии. Репину В.Е. и Сараниной И.В. за исследование антибактериальных свойств полученных образцов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Сафонов, Алексей Иванович, 2010 год

1. А.И. Гусев, А.А. Ремпель. Нанокристаллические материалы. // Изд-во «ФИЗМАТЛИТ», М., 2000.

2. Ревина А.А., Баранова Е.К., Мулюкин А.Л., Сорокин В.В. "Некоторые особенности воздействия кластерного серебра на дрожжевые клетки Candidautilis". // Электронный журнал "Исследовано в России", 139, С.1403-1409, 2005.

3. ElechiguerraJ.L., BurtJ.L., MoronesJ.R., Camacho-BragadoA., GaoX., LaraH.H., YacamanM.J. InteractionofsilvernanoparticleswithHIV-1.// Нанотехнология и наноматериалы для биологии и медицины.Ч.2.С. 127-146, 2007.

4. V.K. Rangari, G.M. Mohammad, S. Jeelanie? al. SynthesisofAg/CNT hybrid nanoparticles and fabrication of their Nylon-6 polymer nanocomposite fiber for antimicrobial applications. // ЮР Publishing, Nanotechnology 21 (2010) 095102.

5. J. R. Moronese/ al. The bactericidal effect of silver nanoparticles. // IOP Publishing, Nanotechnology 16 (2005),P. 2346 2353.

6. B.A. Мальцев, O.A. Нерушев, C.A. Новопашин, С.З. Сахапов, Д.В. Смовж. Синтез металлических частиц на углеродной матрице. // Российские нанотехнологии. 2007. №5 -6. Т.2. С.85 89.

7. J. Scott, S. Majetich. Morphology, structure, and growth of nanoparticles produced in a carbon arc. // Physical Review B, Vol. 52, № 17, 1995. P. 12564 12571.

8. Бузник B.M., Фомин B.M., Алхимов А.П. и др. Металлополимерные нанокомпозиты (получение, свойства, применение). // Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2005.

9. В.П. Казаченко. Технологические методы формирования наноразмерных полимерных покрытий в вакууме. // Нанотехника, №1, 2004.

10. К.П. Гриценко. Пленки политетрафторэтилена, нанесенные испарением в вакууме: механизм роста, свойства, применение. // Рос.хим. ж., T.LII, №3, 2008.

11. Н.К. Yasuda, Y.S. Yen, S. Fusselman. A growth mechanism for the vacuum deposition of polymeric materials. //Pure & Appl. Chem., Vol. 62, №9, p.p. 1689 1698, 1990.

12. L. Wei, T. Xiaodong, L. Dongping, L. Yanhong, F. Zhiqing, C. Baoxiang. Growth of Fluorocarbon Films by Low-Pressure Dielectric Barrier Discharge. // Plasma Science and Technology, Vol. 10,1, p.p. 74 77, 2008.

13. E. J. Winder, K.K. Gleason. Growth and Characterization of Fluorocarbon Thin Films Grown from Trifluoromethane (CHF3) Using Pulsed-Plasma Enhanced CVD. // Journal of Applied Polymer Science, Vol. 78, p.p. 842-849, 2000.

14. R.W. Jaszewski, H. Schift, B. Schhyder, A. Schheuwly, P. Groning. The deposition of anti-adhesive ultra-thin teflon-like films and their interaction with polymers during hot embossing. // Applied Surface Science 143, 301-308, 1999.

15. A.M. Красовский, E.M. Толстопятое. Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме. // «Наука и техника», Минск, 1989.

16. J. Heitz, E. Arenholz, J.T. Dickinson. Particles in laser ablation of polytetrafluorethylene. // Appl. Phys. A. 69, 1999.

17. Q. Luo, X. Chen, Z. Liu, Z. Sun, N. Ming. Deposition of oriented polymer films for liquid crystal alignment by pulsed laser ablation. // Applied Surface Science 108 (1997) 89-93.

18. G.B. Blanchet. Deposition of amorphous fluoropolymers thin films by laser ablation. //Appl. Phys. Lett. 62 (5), 1993.

19. G.B. Blanchet, I. Shah. Deposition of amorphous fluoropolymers thin films by laser ablation. //Appl. Phys. Lett. 62 (9), 1993.

20. Y. Ueno, T. Fujii, F. Kannari. Deposition of fluoropolymer thin films by vacuum-ultraviolet laser ablation. // Appl. Phys. Lett. 65 (11), 1994.

21. M. Inayoshi, M. Hori, T. Goto, M. Hiramatsu, M. Nawata, S. Hattori. Formation of polytetrafluorethylene thin films by using CO2 laser evaporation and XeCl laser ablation. // J. Vac. Sci. Technol. A 14(4), 1996.

22. T. Smausz, B. Hopp, N. Kresz. Pulsed laser deposition of compact high adhesion polytetrafluorethylene thin films. // J. Phys. D: Appl. Phys. 35 (2000) 1859 1863.

23. E.M. Tolstopyatov. Ablation of polytetrafluorethylene using a continuous CO2 laser beam. // J. Phys. D: Appl. Phys. 38 (2005) 1993 1999.

24. S. Inoue, Y. Ueno, T. Fujii, F. Kannari. Deposition of fluoropolymer thin films by vacuum-ultraviolet laser ablation. // Journal of Photopolymer Science and Technology. 7, 2(1994), 373380.

25. П.Н. Гракович, Л.Ф. Иванов, Jl.A. Калинин, И.JI. Рябченко, Е.М. Толстопятов, A.M. Красовский. Лазерная абляция политетрафторэтилена. // Рос.хим. ж., T.LII, №3, 2008.

26. Т.И. Трофимова. Курс физики. // Издательский центр «Академия», 2007.

27. Dhananjay S. Bodas, Sheetal J. Patil, A. B. Mandale, S. A. Gangal. RF Sputter Deposition of Poly(tetrafluoroethylene) Films as Masking Materials for Silicon Micromachining. // Journal of Applied Polymer Science, vol. 9, 1183-1192, 2004.

28. Wen-Cai Wang. Ultrathin Fluoropolymer Films Deposited on a Polymide (Kapton) Surface by RF Magnetron Sputtering of Poly(tetrafluoroethylene). // Plasma Process. Polym., 4, 88-97, 2007.

29. Y. Zhang, G.H. Yang, E.T. Kang, K.G. Neoh, W. Huang, A.C.H. Huan, S.Y. Wu. Deposition of Fluoropolymer Films on Si(100) Surface by RF Magnetron Sputtering of Poly(tetrafluoroethylene). // American Chemical Society, Langmuil, 18, 6373-6380, 2002.

30. HynekBiederman. Organic film prepared by polymer sputtering. // J. Vac. Sci. Technol. A 18(4), 2000.

31. Dhananjay S. Bodas, S. A. Gangal. RF sputtered polytetrafluoroethylene a potential masking material for MEMS fabrication process. // J. Micromech. Microeng., vol. 15, 1102-1113, 2005.

32. S. Iwamori. Adhesion and Tribological Properties of Sputtered Polymer Thin Films with Thermally Stable Polymer Targets. // Journal of the Vacuum Society of Japan, vol. 50, №10, 2007.

33. С. Мадорский. Термическое разложение органических полимеров. // Издательство «МИР», М., 1967.

34. Т.С. Nason, J.A. Moore, Т.-М. Lu. Deposition of amorphous fluoropolymer thin films by thermolysis of Teflon amorphous fluoropolymer. // Appl. Phys. Lett. 60 (15), p.p. 1866-1868, 1992.

35. B.L. Halpern, J.J. Schmitt, J.W. Golz, Y. Di, D.J. Johnson. Gas jet deposition of thin films. //

36. Applied Surface Science 48/49, p.p. 19-26, 1991.

37. А.К.Ребров, Н.И.Тимошенко, P.С. Шарафудинов, А.В.Шишкин. Напыление тефлоноподобных пленок на поверхность из сверхзвуковой струи в вакууме. // В сб. Нанокомпозиты: исследования, производство и применение, с. 119-122, 2004.

38. А.К.Ребров, Н.И.Тимошенко, А.В.Шишкин. Осаждение тонких тефлоноподобных пленок из сверхзвуковой струи C2F4 в вакууме. // ДАН, т.399, №6, с.766-770, 2004.

39. A.K. Rebrov, R.S. Sharafudinov, A.V. Shishkin, N.I. Timoshenko. Free C2F4 Jet Deposition of Thin Teflon-like Films. // Plasma Processes and Polymers, Vol. 2, Issue 6, p.p. 464-471, 2005.

40. B.A. Crudenl, K.K. Gleason, H.H. Sawin. Ultraviolet absorption measurements of CF2 in the parallel plate pyrolitic chemical vapor deposition process. // J. Phys. D: Appl. Phys. 35, p.p. 480486, 2002.

41. K.K.S. Lau, J. Caulfield, K.K. Gleason. Structure and Morphology of Fluorocarbon Films Grown by Hot Filament Chemical Vapor Deposition. // Chem. Mater., 12, p.p. 3032-3037, 2000.

42. K.K.S. Lau, K.K. Gleason. Particle functionalization and encapsulation by initiated chemical vapor deposition (iCVD). // Surface & Coatings Technology 201, p.p. 9189-9194, 2007.

43. T.P. Martin, K.K.S. Lau, K. Chan, Y. Mao, M. Gupta, W.S. O'Shaughnessy, K.K. Gleason. Initiated chemical vapor deposition (iCVD) of polymeric nanocoatings. // Surface & Coatings Technology 201, p.p. 9400-9405, 2007.

44. K.K.S. Lau, K.K. Gleason. Thermal Annealing of Fluorocarbon Films Grown by Hot Filament Chemical Vapor Deposition. // J. Phys. Chem. 105, p.p.2303-2307, 2001.

45. H. Matsumura, A. Masuda, H. Umemoto. Present status and future feasibility for industrial implementation of Cat-CVD (Hot-Wire CVD) technology. // Thin Solid Films, 501, p.p. 58-60, 2006.

46. H. Yasuoka, M. Yoshida, K. Sugita, K. Ohdaira, H. Murata, H. Matsumura. Fabrication of PTFE thin films by dual catalytic chemical vapor deposition method. // Thin Solid Films, 516, p.p. 687690,2008.

47. K.K.S. Lau, S.K. Murthy, H.J. Pryce Lewis, J. Caulfield, K.K. Gleason. Fluorocarbon dielectrics via hot filament chemical vapor deposition. // Journal of Fluorine Chemistry 122, p.p. 93-96, 2003.

48. K.K.S. Lau, Y. Mao, H.J. Pryce Lewis, S.K. Murthy, B.D. Olsen, L.S. Loo, K.K. Gleason. Polymeric nanocoatings by hot-wire chemical vapor deposition (HWCVD). // Thin Solid Films, 501, p.p. 211-215, 2006.

49. K.K.S. Lau, J.A. Caulfield, K.K. Gleason. Variable angle spectroscopic ellipsometry as fluorocarbon films from hot filament chemical vapor deposition. // J. Vac. Sci. Technol. A 18(5), p.p.2404-2411,2000.

50. S.J. Limb, C.B. Labelle, K.K. Gleason, D. J. Edell, E.F. Gleason. Growth of fluorocarbon polymer thin films high CF2 fractions and low dangling bond concentrations by thermal chemical vapor deposition. //Appl. Phys. Lett. 68 (20), p.p. 2810-2812, 1996.

51. Н.Г. Рамбиди, А.В. Березкин. Физические и химические основы нанотехнологий. // ФИЗМАТЛИТ, Москва, 2008.

52. А.Д. Помогайло, А.С. Розенберг, А.С. Уфлянд. Наночастицы металлов в полимерах. // М.: Химия, 2000.

53. Золкин А.С. Экспериментальное исследование расширения пара магния в вакуум. // Диссертация на соискание ученой степени к. физ. мат. н., Новосибирск, 1992.

54. Бочкарев А.А., Золкин А.С., Шухов Ю.Г. Источник атомарного и кластированного потока пара металла // Приборы и техника эксперимента. 1988. Т. 1. С. 37.

55. Бочкарев А.А., Золкин А.С., Шухов Ю.Г. Испаритель для осаждения вакуумных покрытий // а.с. № 1566780. 1990.

56. Е. Kay. Synthesis and Properties of Metal Clusters in Polymeric Matrices. // Proc. of "International Symposium on Metal Clusters", Heidelberg, Vol.3, N.2/3, 1986.

57. G.A. Ozin, C.G. Francis, H.X. Hubert, M.P. Andrews, L.S. Nazar. // Coord. Chem. Rev.,1983, 48,203.

58. T. Susumu, I. Masayuki, T. Kanji. // Bull. Inst. Atom. Energy Kyoto, 1993, 83, 85.

59. А.К.Ребров, А.И.Сафонов, Н.И.Тимошенко. Способ газоструйного нанесения наноразмерных металлополимерных покрытий. // Патент на изобретение № 2403317. Приоритет от 19 января 2009г.

60. Ю.И. Головин. Введение в нанотехнику. // М.: Машиностроение, 2007.

61. Ч. Пул, Ф. Оуэне. Нанотехнологии. // М.: ТЕХНОСФЕРА, 2007.

62. Р. Драго. Физические методы химии. // М.: «МИР», Т.1, 1981.

63. J. Schmitt и В. Halpern. Method and apparatus for the gas jet deposition of conducting and dielectric thin solid films and products produced thereby. // US Patent 5725672, 1985.

64. A.E. Beylich. Structure and Applications of Jets. Rarefied Gas Dynamics // Proc. 21st RGD Symp., edited by R. Brun. 1999, V.l, pp. 553-566.

65. H.Z. Ashkenas, F.S.Sherman. The structure and utilization of supersonic free jets in low density wind tunnels. // In: Rarefied Gas Dynamic. / Acad. Press. 1966. V. 2.

66. A.K. Ребров. Динамика расширения газа в вакуум. // Сборник докладов 4-го Международного симпозиума «Вакуумные технологии и оборудование», ИПЦ «Контраст», 2001, с. 6-15.

67. Г. Берд. Молекулярная газовая динамика. // Издательство «МИР», М., 1981.

68. NIST Chemistry WebBook (http://webbook.nist.gov/chemistry).

69. А.С. Rastogi, S.B. Desu. Characterization of polymeric fluorinated carbon m(C:Fx)nthin films with low dielectric constant. // Appl. Phys. A 83, p.p.57 66, (2006).

70. B.A. Cruden, K.K. Gleason, H.H. Sawin. Ultraviolet absorption measurements of CF2 in the parallel plate pyrolytic chemical vapourdepositopn process. // Appl. Phys. 35. 2002. P.480 486.

71. M.JI. Александров, Ю.С. Куснер. Газодинамические молекулярные, ионные и кластированные пучки. // Изд-во «НАУКА», Ленинград. 1989. С. 271.

72. Н.Б. Варгафтик. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. // Гос. изд-во физико-математической литературы, М., 1963.

73. А.К. Ребров. О газодинамической структуре высоконапорных струй низкой плотности. // Сборник статей «Проблемы теплофизики и физической гидродинамики». Изд-во «Наука», Новосибирск. 1974.

74. Kai Li, Fu-Shen Zhang. A novel approach for preparing silver nanoparticles under electron beam irradiation.//J. Nanopart. Res. 12,P-P. 1423-1428,2010.

75. Jun Lin, Weilie Zhou, C. J. O'Connor. Formation of ordered arrays of gold nanoparticles from СТАВ reverse micelles. //Materials Letters, Vol.49, P-P. 282-286, 2001.

76. И.В. Мелихов. Физико-химическая эволюция твердого тела. // М., Издательство «БИНОМ. Лаборатория знаний», 2006.

77. O.F. Hagena. Formation of silver clusters in nozzle expansion. // Z. Phys. D. Atoms, molecules and Clusters 20, P-P.425 428, 1991.

78. O.F. Hagena. Silver clusters from nozzle expansions. // Z. Phys. D. Atoms, molecules and Clusters 17, P-P. 157 158, 1990.

79. Бочкарев А.А. и др. // Фазовые переходы в чистых металлах и бинарных сплавах: Сб. науч. ст. Новосибирск: Изд-во ИТФ СО РАН, с. 133-145, 1980.

80. W. Knauer. Formation of large metal clusters by surface nucleation. // J. Appl. Phys., 62, p. 841, 1987.

81. А.И. Гусев. Эффекты нанокристаллического состояния в компактных металлах и соединениях. // Успехи физических наук, Том 168, №1, с. 55 -81, 1998.

82. Таблицы физических величин. // Справочник по редакцией И.К. Кикоина. М., АТОМИЗДАТ., 1976.87. http://www.radiomaster.ru/cad/mcl2/glava08/index06.php1 1С

83. Halpern, B.L. and Schmitt, J.J. Multiple jets and moving substrates: Jet Vapor Deposition of multicomponent thin films. // J. Vac. Sci. Technol. A, 12:1623, 1994.

84. J.R. Morones, J.L. Elechiguerra, A. Camacho et al. The bactericidal effect of silver nanoparticles. //Nanotechnology, 16, p.p. 2346-2353, 2005.

85. J.L. Elechiguerra, J.L. Burt, J.R. Morones et al. Interection of silver nanoparticles with HIV 1. // Journal of Nanobiotechnology, 3:6, 2005.

86. M.A. Радциг, И.А. Хмель. Действие наночастиц серебра на бактерии: жизнеспособность, образование биопленок и QUORUM SENSING регуляция. // Rusnanotech '08, Сборник тезисов докладов научно-технологических секций, Том 2, с. 296 298, 2008.

87. I. Perelshtein, G. Applerot, N. Perkas et al. Sonochemical coating of silver nanoparticles on textile fabrics (nylon, polyester and cotton) and their antibacterial activity. // Nanotechnology, 19, 245705,2008.