Структура и перпендикулярная магнитная анизотропия электролитически осажденных пленок никеля и сплавов на его основе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Точицкий, Тадеуш Антонович

• Точицкий, Тадеуш Антонович
• кандидат физико-математических наук
• 1984

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Точицкий, Тадеуш Антонович

ВВЕДЕНИЕ.

Глава I. СТРУКТУРА И ПЕРПЕНДЖУЛЯРНАЯ МАГНИТНАЯ

АНИЗОТРОПИЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИ ОСАЖДЕННЫХ

ПЛЕНОК НИКЕЛЯ И СПЛАВОВ НА ЕГО ОСНОВЕ

Обзор литературы)

1.1. Магнитные свойства пленок с перпендикулярной анизотропией

1.2. Перпендикулярная магнитная анизотропия электролитически осавденных пленок

1.3. Текстура роста в электрически осажденных пленках.

1.4. Структура электролитически осажденных пленок никеля и сплавов на его основе

1.5. Двойнжи в электролитических осадках, имеющих ГЦК решетку.

1.6. Влияние поверхностно-активных веществ на процесс электрокристаллизации и структуру металлов и сплавов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Структура и перпендикулярная магнитная анизотропия электролитически осажденных пленок никеля и сплавов на его основе»

Ускорение научно-технического прогресса требует сосредоточения усилий на решении такой важнейшей проблемы, как "создание химико-технологических процессов получения новых веществ и материалов с заданными свойствами" /1.1/. Поиски путей решения этих задач привели к созданию новых магнитных материалов, среди которых важное место занимают тонкие магнитные пленки (ТМИ). Это обусловливается многообразием и необычностью их свойств по сравнению с магнитными свойствами массивных материалов. На основе магнитных пленок возможно создание различных микроэлектронных устройств при малой потребляемой мощности и высокой плотности размещения схемных элементов. В физике магнитных пленок особый интерес представляет выяснение природы наведенной магнитной анизотропии. Ее изучение представляет также большое практическое значение, так как с ней тесно связаны доменная структура и процессы перемагничивания пленок.

В настоящее время проявляется большой интерес к пленкам с магнитной анизотропией, перпендикулярной их плоскости. Пленки с перпендикулярной анизотропией (ПА) весьма перспективны для использования в устройствах оптической записи быстро протекающих процессов в качестве магнитоуправляемых дифракционных решеток (2.2, 3.9), а также при вертикальном способе записи информации (3.10).

Пленки с ПА являются в последние годы предметом интенсивного исследования. Основное внимание при этом сосредоточено на вопросах, связанных с выяснением природы перпендикулярной анизотропии, теоретическом и экспериментальном исследовании распределения намагниченности в пленках. Выяснение природы ПА в электролитически осажденных магнитных пленках самым непосредственным образом связано с исследованием структуры пленок, поскольку структурные механизмы в большинстве случаев вносят решающий вклад в ее формирование. Структура магнитных пленок определяется условиями восстановления ионов на катоде и характером роста электролитических осадков металлов и сплавов. Однако необходимо учитывать также особенности осаждения пленок с ПА, связанные с наличием добавок или примесей в растворе и малой толщиной осадка. Перед исследователями стоит сложная задача установления связи между параметрами, характеризующими процесс электрокристаллизации, структурой и магнитными свойствами тонких пленок. Решение этой задачи позволит практически получать пленки с необходимыми характеристиками для использования в технике.

В связи с этим в настоящей работе поставлены следующие задачи:

1. Изучить текстуру, морфологию поверхности и тонкую структуру электролитических пленок никеля и сплавов на его основе с перпендикулярной магнитной анизотропией.

2. Исследовать механизм влияния поверхностно-активных веществ на структуру электролитических пленок с перпендикулярной магнитной анизотропией.

3. Оценить вклад различных источников в формирование перпендикулярной магнитной анизотропии электролитически осажденных пленок.

Актуальность темы. Результаты исследования имеют большое значение для выяснения механизма формирования перпендикулярной магнитной анизотропии в электролитически осажденных пленках, а также выявления закономерностей изменения структуры электроосажденных слоев в зависимости от условий получения. Они представляют также большой интерес при практическом получении пленок с заданными характеристиками, необходимыми для использования в различных устройствах микроэлектроники.

Научная новизна. Проведено комплексное исследование вкладов различных механизмов формирования перпендикулярной магнитной анизотропии в электролитических пленках. Исследована роль двойнико-вания в ГЦК решетках в формировании структуры и морфологии поверхности тонких электролитических пленок. Впервые проведена оценка вклада двойникования в формирование перпендикулярной магнитной анизотропии в пленках. Изучены тонкая структура, текстура и морфология поверхности электролитически осажденных слоев, примыкающих к подложке.

Практическая ценность. Полученные результаты о связи тонкой структуры и перпендикулярной магнитной анизотропии пленок могут быть использованы в качестве физических основ для разработки технологии получения электролитических пленок с заданными характеристиками, необходимыми для использования в устройствах микроэлектроники .

В работе выносятся на защиту следующие положения:

1. Результаты исследования текстуры и морфологии поверхности электролитически осажденных пленок никеля, никель - железо и никель - железо - молибден и переходных слоев пленка-подложка, позволившие выбрать оптимальные режимы электролиза для получения пленок с перпендикулярной магнитной анизотропией.

2. Полученный на основе экспериментальных исследований вывод о том, что кристаллиты в электролитически осажденных пленках с ПА состоят из чередующихся слоев роста в нормальной и двойниковой ориентации. Слои роста с границами когерентных двойников в свою очередь разбиваются на блоки (субзерна), разделенные зонами с повышенной концентрацией искажений кристаллической решетки или малоугловыми границами. В зависимости от условий электрокристаллизации, текстуры осадка, а также ориентации плоскостей {ill} в кристаллите слои роста располагаются под определенными углами к плоскости пленки.

3. Предложенный механизм формирования послойно-столбчатой структуры в электроосажденных пленках с ПА, заключающийся в том, что блоки (субзерна) чередующихся слоев роста в нормальной и двойниковой ориентации могут располагаться один над другим, образуя тем самым столбики в пределах зерна. Ориентация столбиков определяется текстурой пленки и направлением плоскостей двойнико-вания {IIi) в кристаллите. При текстуре [ill] , которую имеют пленки, осажденные из электролитов с сахарином, столбики разделяются большеугловыми или некогерентными двойниковыми границами и ориентируются по нормали к плоскости образца.

4. Результаты анализа различных источников перпендикулярной магнитной анизотропии, показывающие, что обусловленная двойнико-ванием послойно-столбчатая структура вносит основной (до 70%) вклад в формирование ПА электролитически осажденных пленок.

5. Предложенный механизм влияния поверхностно-активных веществ на формирование структуры и перпендикулярной магнитной анизотропии электролитически осажденных пленок.

Апробация работы. Материалы работы докладывались на У1 Всесоюзной школе-семинаре по новым материалам для микроэлектроники (Саранск, 1979); Всесоюзном совещании педвузов по магнетизму (Иркутск, 1980), Всесоюзной школе-семинаре по новым магнитным материалам для микроэлектроники (Ашхабад, 1980).

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 10 научных работ.

Объем и структура работы. Работа изложена на 195 листах машинописного текста, содержит 44 рисунка, 16 таблиц и список цитируемой литературы, включающий 153 наименований. Работа состоит из введения, литературного обзора (глава I), описания методики эксперимента (глава 2), экспериментальной части (главы 3, 4 и 5), основных результатов и выводов и списка литературы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Точицкий, Тадеуш Антонович

- 175 -ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Методами электронной микроскопии и электронографии исследованы текстура и морфология поверхности пленок никеля, никель -железо и никель - железо - молибден с перпендикулярной магнитной анизотропией, осажденных из сернокислых электролитов. Установлено, что пленки Ni и Лli-Fe имеют текстуру [ПО] , пленки

Nl-Fe-Mo - текстуру [211] + [100] ; при осаждении из электролитов, содержащих сахарин, происходит смена текстур роста на ось [III] . Выяснена связь текстуры с морфологией поверхности пленок. Установлена закономерность изменения морфологии поверхности пленок в зависимости от текстуры.

2. В работе установлено, что природа материала и структура подложки оказывают существенное влияние на структурное состояние и толщину переходного слоя пленка - подложка. Показано, что соответствующим выбором подложки можно воздействовать на характер изменения параметра решетки, внутренних напряжений, регулировать концентрацию дефектов и водорода в переходных слоях пленок, а также изменять толщину перехода пленок в закритическое состояние.

3. На основании электронномикроскопических и рентгенографических исследований установлено, что в пленках, электролитически осажденных при оптимальных условиях формирования ПА, кристаллиты состоят из чередующихся слоев роста в нормальной и двойниковой ориентации. Слои роста с границами когерентных двойников в свою очередь разбиваются на блоки (субзерна), разделенные зонами с повышенной концентрацией искажений кристаллической решетки или малоугловыми границами. У пленок, осажденных из электролитов с

- 176 добавкой сахарина, резко увеличивается взаимная разориентировка между соседними блоками, и границы между ними становятся болылеугловыми.

4. Показано, что в зависимости от условий электрокристаллизации и ориентации плоскостей {III} слои роста в зерне располагаются под определенными углами к плоскости пленки. При наличии аксиальной текстуры слои роста ориентируются преимущественно под одинаковыми углами к плоскости пленки во всех кристаллитах образца. В пленках, осажденных из электролитов с сахарином, наблюдается преимущественное двойникование на плоскостях {ill} , составляющих наименьшие углы с плоскостью роста пленки.

5. Предложен механизм формирования послойно-столбчатой структуры пленок никеля и сплавов на его основе с ПА, который заключается в следующем: блоки (субзерна) чередующихся слоев роста в нормальной и двойниковой ориентации могут располагаться один над другим, образуя тем самым столбики в пределах зерна. Ориентация столбиков определяется текстурой пленки и направлением плоскостей двойникования {ш} . При текстуре fill] , которую имеют пленки, осажденные из электролитов с сахарином, столбики разделяются болылеугловыми или некогерентными двойниковыми границами и ориентируются по нормали к плоскости образца.

6. Установлено, что основной вклад в формирование перпендикулярной магнитной анизотропии электролитических пленок сплавов пермаллойного состава вносит обусловленная двойникованием послойно-столбчатая структура. Магнито-статическая энергия направленных по нормали к поверхности пленки столбиков, разделенных слабомагнитными прослойками, и энергия магнитной кристаллографи

- 177 ческой анизотропии ГПУ решетки когерентных границ двойников могут составлять до 70% энергии перпендикулярной анизотропии пленки.

Б пленках никеля с более высокими значениями As существенную роль играют макронапряжения растяжения. Их вклад в энергию ПА может достигать 50%.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Точицкий, Тадеуш Антонович, 1984 год

1. Официально-документальные материалы

2. I. Постановление ХХУТ съезда КПСС по проекту ЦК КПСС "Основные направления экономического и социального развития СССР на I98I-I985 годы и на период до 1990 года". 2 марта 1981 г. В кн.: Материалы ХХУ1 съезда КПСС. М., 1981. -146 с.2. Книги

3. Ильюшенко Л.Ф., Шелег М.У., Болтушкин А.В. Электролитически осажденные магнитные пленки. изд.2-е, дополненное и переработанное. - Минск: Наука и техника, 1979. - 278 с.

4. Клюкин Л.М., Степанов Б.М. Фабриков В.А., Хромов А.В. Фотографирование на магнитные пленки. -М.: Атомиздат, 1971. -108 с.

5. Китайгородский А.И. Рентгеноструктурный анализ мелкокристаллических и аморфных тел. Изд. техн.-теоретич.литературы, М., Л., 1952. - 205 с.

6. Вассерман Г., Гривен И. Текстуры металлических материалов.-М.: Металлургия, 1969. 654 с.

7. Кочергин С.М., Леонтьев А.В. Образование текстур при элек-тро-кристаллизации металлов. М.: Металлургия, 1974. -184с.

8. Ваграмян А.Т., Петрова Ю.С. Физико-механические свойства электролитических осадков. М.: изд. АН СССР, I960. -206 с.

9. Дехтярь Л.И. Определение остаточных напряжений в покрытиях и биметаллах. Кишинев: Картя Молдовеняска, 1968. - 175 с.

10. Поперека М.Я. Внутренние напряжения электролитически осажденных металлов. Новосибирск:Зап.-Сиб.книжное изд-во,1966. 335 с.

11. Белов К.П. Упругие,тепловые и электрические явления в ферромагнетиках. М.: Гостелеиздат, 1957. - 279 с.

12. Мак Лин Д. Границы зерен в металлах. Металлургиздат, М., I960. - 322 с.

13. Хирш П.,Хови А., Николсон Р. и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. М., Мир, 1968. - 574 с.

14. Косевич В.И., Иевлев В.М., Палатник Л.С., Федоренко А.И. Структура межкристаллитных и межфазных границ. Металлургия, 1980. - 152 с.

15. Северденко В.П., Точицкии Э.И. Структура тонких металлических пленок. Минск, 1968. - 209 с.

16. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. Изд. "Наука",1. М., 1972. 320 с.

17. Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю,А. Рентгенографический и электрондаолтический анализ. М., "Металлургия", 1970. - 367 с.

18. Попилов Л.Я., Зайцева Л.П. Электрополирование и электротравление металлографических шлифов. М., 1963. - 410 с.

19. Современная электронная микроскопия в исследовании вещества. Отв.ред.Звягин Б.Б., Изд. "Наука", И., 1982. 284 с.

20. Пинскер З.Г. Дифракция электронов. М.-Л., Академия наук СССР, 1949. - 404 с.

21. Вайнштейн Б.К. Структурная электронография. -М., Изд-во Акад.наук СССР, 1956. 314 с.

22. Лейзеганг 3. Электронная микроскопия. Изд. ИЛ., М., 1960.240 с.2#21. Лукьянович B.M. Электронная микроскопия в физико-химических исследованиях. Изд. АН СССР, М., I960. - 274 с.

23. Техника электронной микроскопии под ред. Д.Кэя, изд. "Мир", М., 1965. 405 с.

24. Рентгенография в физическом металловедении. Под ред. Ю.А. Багаряцкого. М., Металлургиздат, 196I. 368 с.

25. Пинес Б.Я. Острофокусные рентгеновские трубки и прикладной рентгеноструктурный анализ. М., "Изд.технико-теоретической литературы", 1955. - 268 с.

26. Томас Г. Электронная микроскопия металлов. Изд. ИЛ, М., 1963. - 351 с.

27. Матулис Ю.Ю. Блестящие электролитические покрытия. Вильнюс: Минтис, 1969. - 613 с.

28. Лайнер В.И. Современная гальванотехника. М.: Металлургия, 1967. - 80 с.

29. Ваграмян А.Т., Соловьева 3,А. Методы исследования электроосаждения металлов. М.: Изд-во АН СССР, I960. - 268 с.

30. Водород в металлах. Под ред. Г. Ал ефе ль да. и И.Фелькля. -М.: Мир, 1981, т.I. 69 с.

31. Вонсовский С.В. Магнетизм. М.: Наука, 1971. - 1032 с.

32. Бозорт Р. Ферромагнетизм. М.: Наука, 1971. - 1032 с.

33. Structure of Electrodeposited "Over-Critical" Films.-Phys*

34. Мицек A.M. К теории закритического состояния тонких ферромагнитных пленок. В кн.: Физика магнитных пленок. -Иркутск, 1968, с.83-87.

35. Кринчик Г.С., Верхозин А.Н. Исследование структуры ферромагнетиков на магнитооптической установке с микронным разрешением. ЮТФ, 1966, т.51, в.5, с. 1321-1327.

36. Chikazumi S. Epitaxial Growth and Magnetic Properties of Single-Crystal Films of Iron, Nickel and Permalloy.- J.Appl. Phys., 32, 1961, p.81-82.

37. Клюкин JI.M., Никитин В.А., Фабриков В.А., Хромов А.В. Тепловая запись оптических изображений на тонкую ферромагнитную пленку. ФММ, 1969, т.27, в.4, с. 615-621.

38. Фишер Р.Д., Таранто Д. Вертикальная магнитная запись. -Электроника, 1982, т.55, №19, с. 33-39.

39. Blois R.W. Ferromagnetic Domains in Thin Single-Crystal Nickel Platelets.- J.Appl. Phys. 56, N5, 1965, p.1647-1658.

40. Данков П.Д. Кристаллохимический механизм взаимодействияповерхности кристалла с чужеродными элементарными частицами.- ЖФХ, 1946, т.20, в.8, с. 853-867.

41. Maeda Н. Rotatable Anisotropy and Perpendicular Anisotropy of Annealed Electrodeposited Nickel Films,- Japan, J. Appl. Phys., 1969, v.8, p.80 8.

42. Maeda H. Perpendicular Anisotropy of Electrodeposited Thin Nickel Films Containing Phosphorous.- Japan, J.Appl. Phys., 1969, v. 8, p. 978.

43. Maeda H. Perpendicular Anisotropy of Electrodeposited Nickel and Nickel-Phosphorous Films.- J.Phys,Soc.Japan, 1970, v.29, N2, p.311-J22.

44. Полерека М.Я., Золотковский B.C. Изучение перпендикулярной анизотропии Fe-Ni пленок на основе измерения гальваномагнитных эффектов. Изв. АН СССР, сер. физ., 1972,т. ХХХУТ, J& 6, с. II89-II94.

45. Армянов С.А., Полукаров Ю.М. Расчет магнитострикции и равновесного расположения вектора намагниченности в слоях сплавов железо-кобальт. ФММ, 1978, т.46, в.5, с. 936-941.

46. Лайнер Е.В., Расторгуев Л.Н. Методы исследования текстурыв электролитических осадках. Заводская лаборатория, 1966, № 10, с. 1212-1219.

47. Fisher R.D. The influence of residual stress on the magnetic characteristics of electrodeposited nickel and cobalt.- J.Electrochem.Soc., 1962, v.109, N6, p.479 -585.

48. Барабошкин A.H. Об устойчивости плоского фронта роста осадка при электрокристаллизации из расплавленных солей.-Труды института электрохимии Уральского фил. АН СССР, 1966, в.8, с.85-93.

49. Барабошкин А.Н., Мартемьянова З.С. О механизме текстуры роста. Электрохимия, 1976, т.ХП, в.6, c.IOII.

50. Барабошкин А.Н. и др. Текстуры роста металлов, электроосаж-денных из расплавленных солей. Электрохимия, 1978,т.Х1У, в. I, с.9-15.

51. Леммлейн Г.Г. Процесс геометрического отбора в растущем агрегате кристаллов. Доклады АН СССР, 1945, т.ХЛУШ,1. Ш 3, с. 177-180.

52. Горбунова К.М. Закономерности образования и роста кристаллов при электролизе. В сб.: Труды второй конференциипо коррозии металлов АН СССР, 1943, с.142.

53. Пангаров Н.А. Ориентация кристаллитов при электроосаждении металлов. В сб.: Рост кристаллов. - М.: Наука, 1979,с. 71-97.

54. Пангаров Н., Рашков С. О преимущественной ориентации кристаллов электролитически отложенного гексагонального кобальта. Изв. Ин-та физико-химии Болгарии, 1962, I,с. 79-101.

55. Пангаров Н., Добрев Д. О преимущественной ориентации кристаллов электролитически осажденного железа. Изв.Ин-та физико-химии Болгарии, 1962, 2, с.101-116.

56. Поветкин В.В., Жихарев А.И., Захаров M.G.0 текстуре элек-троосажденного сплава железо-никель. Электрохимия, 1975, II, в.II, с.1689-1691.

57. Бокрис Дж., Дамьянович А.В. В кн. Современные аспекты электрохимии. -М.: Мир, 1967, с.330-370.

58. Горбунова К.М., Шишаков Н.А. Электронографическое исследование электролитических осадков никеля. Изв. АН СССР, сер.физ., 1953, т.17, с.242-245.

59. Полукаров Ю.М. Исследование строения и магнитных характеристик электролитических осадков ферромагнитных металлов и сплавов в зависимости от условий их получения. ЖФХ,1958, 5, с.I008-I0I5.

60. Полукаров Ю.М. Образование дефектов кристаллической решетки в электроосажденных металлах. М.: Электрохимия, 1968, с. 72-113.

61. Schlotterer H.Z. Structur elektrolytischer schichten im Endwachstum. Kristallographie, Bd.119, 1964, s. 321 -356 .

62. Полукаров Ю.М., Семенова З.В. Определение вероятности возникновения дефектов упаковки кристаллической решеткив электролитических осадках никеля. Электрохимия, 1968, т.4, с. 568-570.

63. Пинес Б.Я. , Кузнецова Р.И. Изменение субмикропористости в электролитических пленках металлов при нагревании и под нагрузкой. Физика твердого тела, 1961, т.З, с.1475-1479.

64. Ваграмян А.Т., Барабошкина Н.К. Исследование отражательной способности и структуры электролитического осадка никеляв тонких слоях. ЖФХ, 1966, ХД, № I, с.63-67.

65. Reimer L. Der Einflu^ der Kristallitgrose auf die Koerzitiv-kraft electrolytisch niedergeschlagener und aufgedampfeter Nickel- und Eisenschichten. Z.Naturforschung, 1956, Ъ.112, H8, s.649-655.

66. Козлов В.М. О роли выделяющегося водорода в образовании структурных несовершенств при электрокристаллизации Ni

67. Электрохимия, 1982, т.18, в.10, с.1353-1358.

68. Wright J., Goddard G. The Lattice Constants and Magnetic

69. Anisotropy Constants of Electrodeposited Single Crystal Films of Hexagonal Close-packed Nickel. J.Phil.Mag.1965, 11, P.485.

70. Schneider R., Albert L., Fiscer H. Nachweis eingebauter Fremdstoffmolekule in elektrolitisch abgeschiedenen Nickel. Metalloberflache, 1967, 21, s.65-67.

71. Поветкин В.В., Ковенский М.М. Основы морфологической классификации структур гальванических покрытий. Электрохимия, 1983, т.19, в.II, с.1498-1501.

72. Мамонтов Е.А., Козлов В.М., Курбатова Л.А. 0 механизме образования дефектов структуры электролитической меди, полученной при нестационарных условиях электролита. Электрохимия, 1976, т.12, в.4, с.508-510.

73. Мамонтов Е.А., Козлов В.М. 0 механизме образования тонкой структуры электролитического железа. Электрохимия,1969, т. 5, в.10, с.1158-1162.

74. Козлов В.М., Мамонтов Е.А. Электронномикроскопическое исследование тонкой структуры электролитического железа.

75. ФММ, 1969, т.27, b.I, с.190-192.

76. Петров Ю.Н. Электрояяомикроскопическое исследование структуры электролитического железа, полученного из хлористого электролита, содержащего гидразин. Электронная обработка металлов, 1973, т.2, с.28-31.

77. Арбузов МЛ1., Бушуев Е.С., Леонтович А.Л.Тонкая кристаллическая структура электролитических осадков железа, полученных при различных режимах электролиза. Изв.ВУЗов,физика, 1969, $ 2, с.40-44.

78. Жихарев А.И., Жихарева И.Г. Структурные особенности и сравнительная оценка коррозийной стойкости электролитического Ш , легированного некоторыми металл шли. Электрохимия, 1979, т.15, с.1097-1099,

79. Поветкин В.В., Захаров ГЛ.С. Влияние условий электроосаждения на морфологию железо-никелевых покрытий. Химия и химическая технология, 1979, т.22, в.1, с.59-62.

80. Поветкин В.В. и др. Электронномикроскопическое исследование структуры электроосажденных железо-никелевых сплавов.-Физика и химия обработки материалов, 1976, т.6, с.116-118.

81. Ильюшенко Л.Ф., Костюк-Кульгавчук Л.П. Изучение влияние условий электролиза на микроструктуру поверхности и свойства пермаллоевых пленок. Весщ АН БССР, сер.физ.-мат. наук, 1972, В 5, с.125-127.

82. Поветкин В.В., Захаров М.С. К вопросу образования дефектов упаковки в электроосажденных железо-никелевых покрытиях.-Электрохимия, 1978, т.14, 4, с.559-602.

83. Поветкин В.В. 0 структуре электроосажденных сплавов t/i-Fe-Co Электрохимия, 1969, т.15, 5, с.761-762.

84. Pashley D.W. , StovrallM.J., Electron Microscopy and Diffraction of Twinned Structures in Evaporated Films of Gold. Phil. Mag., 1963, 8, p.1605-1610.

85. Косевич B.M., Лункин В.Я., Удовенко А.А. Исследование структуры двойниковых границ рекристаллизационного типав пленках серебра. ФММ, 1978, т.46, в.З, с.625-633.

86. Luborsby F.E. Electrodeposited Films.- IEEE Trans, on

87. Magnetics, 1968, v.4, N1, p.19-21.

88. Luborsky F.E., Barber W.D, Kinetics of Annealing of Permalloy Films with Increasing Concentrations of Sulfur. J.Appl.Phys. 968, v. 39, p.746-748.

89. Luborsky F.E., Magnetic Properties and Annealing Behavior of Electrodeposited NiFeS Thin Films. J.Appl.Phys., 1967, 38, p.1445-1447.

90. Матулис Ю.Ю. Труды совещания по вопросам применения поверхностноактиввых веществ при электролитическом осаждении металлов, Вильнюс, 1957, с. 35-39.

91. Левин А.И. О влиянии адсорбции ПАВ на кинетику электродных процессов при электроосаждении металлов. Электрохимия и расплавы. Наука, И., 1974, с.67-72.

92. Фрумкин А.Н., Дамаскин Б.Б. Адсорбция органических соединений на электродах. В кн.: Современные аспекты электрохимии. Изд-во "Мир", М., 1967, с.170-258.

93. Гамбург Ю.Д. Соосаждение неметаллических примесей при электрокристаллизации. Электрохимия. Итоги науки, 1971, т.7, с.114-150.

94. Ильюшенко Л.Ф., Усс B.C., Грибковская Л.Г., Костюк-Кульгав-чук Л.П. Влияние поверхностноактивных добавок на процесс электролитического осаждения и свойства магнитных пленок.-Весщ АН БССР, сер.хим.наук, 1978, № 3, с.46-50.

95. Елманова В.А., Успенский А.С., Бондаренко Г.В., Дегтярева Т.Г. В сб.: Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок. Красноярск, 1968, с.24.

96. Созин Ю.И. Получение полюсных фигур текстурованного металла электронографическим методом. ФММ, I960, т.9, с.892-896.

97. Созин Ю.И. К вопросу исследования текстуры прокатки электронографическим методом. ФММ, 1959, т.8, с.240-248.

98. Коваленок Р.В., Смушков И.В. К методике и точности гармонического анализа формы интерференционных линий. Кристаллография, 1963, т.8, J6 3, с.494-496.

99. Уоррэн Б.И. Рентгенографическое изучение деформированных металлов. В сб.: Успехи физики металлов. М., Металлург-издат, 1963, т.5, с.172-237.

100. Пинес Б.Я., Березняк Н.Т. К определению микроискажений у пластически деформированных поликристаллических тел. -ЖТФ, 1954, т.24, В 2, с.329-336.

101. Висков Л. С. Модификация метода анализа тонкой структуры поликристаллов повышенной точности. Зав.лабор.,1977, т.43, В 5, с.556-559.

102. Каган А.С., Сновидов В.М. Анализ формы дифракционных линий низкоотпущенного мартенсита. ФММ, 1965, т.19, J& 2, с.191-198.

103. Каган А.С. К анализу формы дифракционных линий методом моментов. Кристаллография, 1971, т.16, № 4, с.696-702.

104. Вишняков Я.Д., Иванов А.Н., Перегудов М.Н. О применении метода моментов для определения характеристик тонкой структуры кристаллических материалов. Кристаллография, 1968, т.13, в.6, с.1093-1095.

105. Кобелев В.В. Новый метод измерения анизотропии ферромагнитных пленок. ФММ, 1962, т.13, J£ 3, с.467-470.

106. Точицкий Т.А., Ильюшенко Л.Ф., Грибковская Л.Г. Текстура роста электролитически осажденных пленок. В сб.:Физика магнитных пленок, Саранск, 1979, с.142-144.

107. Точицкий Т.А., Ильюшенко Л.Ф., Грибковская Л.Г. Исследование образования текстуры в электролитически осажденных пленках сплавов никель-келезо-молибден. Изв. АН БССР, сер. физ.-мат.наук, № 4, 1979, с.89-96.

108. Гинберг A.M., Лайнер Б.Д. Влияние структуры медной подложки на структуру электроосажденного никеля. ЖПХ, 1962, ,№ 12, 35, с.2679-2683.

109. Точицкий Т.А., Грибковская Л.Г., Ильюшенко Л.Ф.Влияние подложки на текстуру роста и морфологию поверхности электролитически осажденных пленок сплава Fe-hli-Mo . В сб.: Физика магнитных пленок. Иркутск, 1980, с.154-157.

110. Левин А.И. В сб.: Теория химического строения, строения и реакционной способности. Изд-во Латвийского совета научн. инж.-техн.обществ, 1961, с.179-182.

111. Грибковская Л.Г. Получение и исследование свойств электроосажденных магнитных пленок системы железо-никель-молибденс перпендикулярной анизотропией. Дис.канд.физ.-мат.наук.-Минск, 1975. - 167 с.

112. Костюк-Кульгавчук Л.П. Изучение влияния ультразвукового поля на физико-химические свойства электролитически осажденных пермаллоевых пленок. Дис.канд.физ.-мат.наук. - Минск, 1975. - 161 с.

113. Ушаков А.И. Исследование кристаллической структуры и магнитных свойств полиморфных железоникелевых и железокобальтовых пленок. Дис.канд.физ.-мат.наук. - Иркутск, 1976. - 156 с.