Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Ануфриева, Ирина Викторовна

• Ануфриева, Ирина Викторовна
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ануфриева, Ирина Викторовна

Введение.

Глава 1. Формирование остаточной газовой среды в современном оборудовании высоких вакуумных технологий. И

1.1 .Технологические требования к составу остаточной газовой среды базовых технологических процессов электронной техники. И

1.2. Методы создания оптимальных вакуумных систем оборудования базовых технологий электронной техники.

1.3. Пути развития безмасляных форвакуумных насосов в отечественной и мировой практике.

Выводы.

Глава 2. Создание безмасляных форвакуумных насосов на основе высокочувствительных сварных сильфонов и мембран.

2.1. Опыт использования сильфонов в качестве герметичной рабочей полости переменного объема.

2.2. Анализ функциональных схем двухступенчатых безмасляных форвакуумных насосов на основе высокочувствительных мембран и сильфонов.

2.2.1. Мембранные форвакуумные насосы.

2.2.2. Сильфонно-поршневые двух- и трехступенчатые насосы.

2.2.3. Сильфонные насосы линейной и коаксиальной структуры.

2.3. Анализ конструкций сильфонно-поршневых и сильфонных двухступенчатых безмасляных форвакуумных насосов.

2.3.1. Сильфонно-поршневые двухступенчатые насосы.

2.3.2. Двухступенчатые сильфонные форвакуумные насосы линейной и коаксиальной структуры.

2.4. Особенности расчета быстроты действия сильфонно-поршневых и сильфонных двухкамерных насосов.

Выводы.

Глава 3. Метод расчета проводимости элементов вакуумной системы произвольной формы.

3.1. Общие положения.

3.2. Алгоритм метода пробной частицы.

3.3. Исследования процессов столкновения молекул между собой и с поверхностями элементов вакуумной системы.

3.4. Расчет проводимости канала сложной формы с изменяющимися геометрическими размерами.

Выводы.

Глава 4. Теоретические исследования откачных характеристик двухступенчатых форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складывающихся сильфонов.

4.1. Анализ геометрических параметров сильфонов, образующих рабочую полость переменного объема форвакуумных насосов.

4.2. Анализ геометрических параметров второй ступени сильфонно-поршневых насосов.

4.3. Исследования откачных характеристик параметрического ряда двухступенчатых сильфонно-поршневых и сильфонных двухкамерных форвакуумных насосов.

Выводы.

Глава 5. Экспериментальные исследования основных эксплуатационных характеристик безмасляных форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складывающихся сильфонов и перспективы развития.

5.1. Цели и задачи экспериментальных исследований.

5.2. Экспериментальное исследование откачных характеристик сильфонно-поршневых и сильфонных форвакуумных насосов.

5.2.1. Методика экспериментальных исследований.

5.3. Экспериментальное исследование структуры покрытия и 131 характера износа контактной поверхности поршня второй ступени сильфонно-поршневого насоса методом сканирующей зондовой микроскопии.

5.3.1. Обоснование метода исследований.

5.4. Экспериментальная оценка ресурса сильфонных камер 142 форвакуумных насосов с использованием метода рентгеновской дифрактометрии.

5.4.1. Экспериментальная установка.

5.4.2. Методика экспериментальных исследований.

5.4.3. Расчет ресурса с использованием метода оценки остаточных 149 напряжений.

5.5. Перспективные разработки сильфонно-поршневых и сильфонных 152 двухступенчатых форвакуумных насосов с «охранным» вакуумом.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники»

Анализ тенденций развития современной вакуумной техники как в отечественной, так и в мировой практике свидетельствует о растущих потребностях создания особо «чистых» вакуумных условий для технологических и научных целей, а также о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий в ведущих отраслях промышленности, среди которых одно из первых мест занимает электронная техника.

Аналогичная потребность возникает в приборостроительной, аэрокосмической технике, в прецизионной металлургии, в уникальных процессах атомной и термоядерной энергетики, физике элементарных частиц, в набирающих темпы процессах развития высоковакуумной нанотехнологии.

В числе задач, направленных на формирование «чистого» вакуума с регламентированным составом остаточной газовой среды весьма актуальной становится проблема создания надежных и экономичных безмасляных средств создания предварительного разрежения в высоковакуумных системах.

Чистота технологической вакуумной среды, при этом, определяется отсутствием в составе остаточных газов углеводородных соединений и химически активных газов, а также других загрязнений, генерируемых исполнительными системами оборудования, в том числе абразивной пыли, которая может привести к повреждению самого насоса.

Стремление удовлетворить комплекс перечисленных требований стимулировало проведение работ в этом направлении.

Достаточно отметить, что в настоящее время более 20 зарубежных фирм разрабатывают и выпускают на мировой рынок около 40 моделей безмасляных форвакуумных насосов [1].

Заслуженной репутацией пользуются безмасляные форвакуумные насосы фирмы Alcatel (Франция), представляющие собой сочетание молекулярного и мембранного насосов [2].

Хорошо зарекомендовали себя форвакуумные насосы, выпускаемые фирмой Leybold Vacuum GmbH (Германия), а также безмасляные насосы фирмы Edwards (Англия) [4], Hitachi (Япония) и Varian (США) [5] и др. Безмасляный форвакуумный насос выпускается в ОАО «Вакууммаш» (Казань) [7].

Однако широкому распространению насосов, выпускаемых зарубежными фирмами, препятствуют высокие цены и сложность технического обслуживания [6].

В то же время конкурентная борьба за рынки сбыта безмасляных форвакуумных насосов вынуждают фирмы, занятые их выпуском, непрерывно совершенствовать существующие и создавать новые модели современных средств откачки.

Несмотря на интенсивные поиски новых технических решений в наиболее развитых странах мира по созданию безмасляных форвакуумных насосов, возможные варианты создания новых конструкций, удовлетворяющих требованиям по эксплуатационным характеристикам и стоимости, еще не исчерпаны [3].

В связи с этим в настоящей работе была поставлена задача создания нового поколения экономичных, безмасляных форвакуумных насосов, гарантирующих получение «чистого» вакуума, свободного от углеводородных соединений с массовыми числами свыше 44 и исключения жидкой смазки и какой-либо рабочей жидкости. В соответствии с этими требованиями возникла необходимость поиска принципиально новых технических решений, в числе которых автором было предложено несколько конструктивных вариантов, использующих в качестве рабочей камеры герметичную полость переменного объема в виде высокочувствительных мембран и сварных складывающихся сильфонов.

Для получения вакуума на уровне 30-50 Па была предложена серия двухступенчатых сильфонно-поршневых и сильфонных насосов.

Решение поставленной задачи с доведением ее до создания действующих образцов перечисленных вариантов насосов, потребовало проведения комплекса поисковых, конструкторских работ, теоретических и экспериментальных исследований для обеспечения возможности широкого использования форвакуумных насосов этого типа в современном высоковакуумном технологическом оборудовании.

В соответствии с поставленной задачей на защиту выносятся следующие вопросы:

1. Систематизированная классификация современных форвакуумных насосов с учетом последних достижений отечественной и мировой практики, в том числе предложенного в работе нового подкласса деформационных насосов сильфонного типа.

2. Комплекс впервые предложенных в диссертационной работе новых технических решений и созданный на их основе ряд безмасляных форвакуумных насосов с использованием герметичных упругодеформируемых рабочих камер переменного объема, образованных мембранными сварными складывающимися сильфонами высокой чувствительности из высокопрочных конструкционных материалов.

3. Результаты теоретических и экспериментальных исследований эксплуатационных характеристик сильфонно-поршневых и сильфонных безмасляных форвакуумных насосов, в том числе:

- исследование откачных характеристик

- оценка ресурса работы сильфонных камер по величине возникающих в сильфоне напряжений с использованием метода рентгеновской дифрактометрии

- исследование характера износа контактных поверхностей поршня сильфонно-поршневых насосов методом сканирующей зондовой микроскопии с целью выбора оптимальных конструкционных материалов и покрытий по критерию износостойкости.

4. Универсальный метод и алгоритм расчета проводимости внутренних каналов сильфонных камер с изменяющейся в процессе цикла геометрией, позволяющий расширить область применения расчетов для широкого круга задач, связанных с определением проводимости элементов вакуумных систем и каналов произвольной формы для режимов течения газа от молекулярного до вязкостного.

5. Конструкции сильфонно-поршневых и сильфонных двухкамерных насосов линейной и коаксиальной структуры.

6. Перспективные технические решения по созданию новых моделей экономичных сильфонных и сильфонно-поршневых насосов с «охранным» вакуумом.

Работа состоит из 5-ти глав, в которых последовательно излагаются вынесенные на защиту вопросы.

В первой главе анализируются технологические требования к составу остаточной газовой среды, необходимой для выполнения базовых вакуумных технологий электронной техники, в том числе использующих методы обработки, основанные на физических явлениях взаимодействия высокоэнергетических, электронных, ионных, оптических, рентгеновских лучей и газоразрядной плазмы с поверхностью твердого тела. Сформулированы требования к вакуумным системам оборудования этого класса.

Рассмотрены также требования к созданию вакуумных условий для процессов осаждения тонких пленок современными методами ионного легирования, молекулярно-лучевой эпитаксии и др.

Обращено внимание на необходимость формирования остаточной газовой среды строго регламентированного состава в приборах вакуумной электроники, требующего отсутствия углеводородных соединений, которые приводят к нарушению стабильности работы катода и, в конечном счете, к его «отравлению».

Наряду с этим рассмотрены методы создания оптимальных вакуумных систем оборудования электронной техники, приведен краткий обзор работ, посвященных этой проблеме и изложенных в работах Кеменова В.Н., Минайчева В.Е., Пипко А.И., Розанова JI.H., Александровой и др.

Отмечено, что наиболее полно вопрос проектирования оптимальных вакуумных систем отражен в работах Кеменова В.Н., в которых приводятся рекомендованный им перечень основных показателей параметров средств откачки и варианты оптимальных базовых вакуумных систем. Подробно анализируются пути развития и создания вариантов безмасляных форвакуумных насосов в отечественной и мировой практике.

Вторая глава посвящена вопросам создания безмасляных двухступенчатых и трехступенчатых форвакуумных насосов на основе высокочувствительных сварных сильфонов и мембран, рассмотрены функциональные схемы каждого из них и последовательность процессов откачки мембранным, сильфонно-поршневым и двухкамерным сильфонным насосом.

Приводятся конструкции насосов и их подробное описание. Обращено внимание на отсутствие жидкой смазки в поршневой ступени сильфонно-поршневого насоса за счет покрытия контактных поясков поршня алмазоподобной пленкой. Высказывается целесообразность создания сильфонных и сильфонно-поршневых насосов с «охранным» вакуумом.

В главе 3 на основе известного метода статистических испытаний предложен универсальный метод и алгоритм расчета проводимости элементов вакуумных систем от вязкостного до молекулярного режима течения газа и выполнен комплекс исследований, необходимых для оценки эксплуатационных характеристик форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных сильфонов.

В главе 4 приведены теоретические исследования вакуумных характеристик двухступенчатых форвакуумных насосов сильфонно-поршневого и сильфонного типов.

Выполнен анализ геометрических параметров сильфонов, образующих герметичную рабочую полость насосов и комплекс теоретических исследований откачных характеристик насосов. Установлена достигаемая быстрота действия насосов в зависимости от геометрических параметров сильфонных и поршневых ступеней, частоты циклов, а также уровня предельного остаточного давления в зависимости от величины совокупного «мертвого» объема в рабочей камере.

Показано, что разработанные конструкции насосов позволяют получить разрежение порядка 30-50 Па, а при условии создания во второй ступени разрежения не хуже 10 Па можно получить в Iй ступени насоса Ю-1 Па.

Глава 5 посвящена экспериментальным исследованиям, целью которых явлылось:

- оценка максимального значения ресурса работы сильфонной камеры насоса в условиях знакопеременных осевых нагрузок

- выбор оптимального покрытия контактной поверхности поршня второй ступени сильфонно-поршневых насосов по критерию износостойкости с использованием метода сканирующей зондовой микроскопии

- определение откачных характеристик сильфонно-поршневых и сильфонных двухкамерных насосов.

Рассмотрены перспективы дальнейшего развития предложенных конструкций в направлении разгрузки сильфонов от воздействия на сильфонную рабочую камеру насосов перепада давления, равного 0,1 МПа и снижения связанного с этим энергопотребления. При этом одним из наиболее простых конструктивных решений является использование синхронных магнитных механизмов для передачи движения вытеснителям, перемещающимся внутри сильфона и в пространстве между его наружным диаметром и внутренним диаметром «охранной» камеры.

В заключении диссертации сформулированы основные результаты работы.

Диссертация изложена на 166 страницах машинописного текста, содержит 73 рисунок, 7 таблиц и список литературы из 104 наименований.

Гпава 1. Формирование остаточной газовой среды в современном оборудовании высоких вакуумных технологий

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Ануфриева, Ирина Викторовна

Выводы к главе 5

Наиболее важные эксплуатационные характеристики, полученные расчетным путем, в процессе создания впервые предложенных безмасляных форвакуумных насосов, уточнены в результате выполненного комплекса экспериментальных исследований на специально-разработанных стендах, укомплектованных универсальным и специальном научно-исследовательским оборудованием.

В результате выполненного комплекса исследований установлено:

- быстрота действия сильфонно-поршневых и сильфонных насосов в зависимости от объема рабочей камеры от 0,1 до 16 л/с; предельное остаточное давление сильфонно-поршневых и сильфонных двухступенчатых форвакуумных насосов 30-50 Па;

- ресурс работы сильфонных камер, установленный экспериментально по уровню напряжений в гофрах сильфона, определенных с использованием метода рентгеновской дифрактометрии и последующей обработки результатов по методике, принятой в теории прочности, составил более 108 циклов;

- для обеспечения плотности контакта поршня с внутренней поверхностью цилиндра-вытеснителя в сильфонно-поршневых насосах исследован ряд покрытий, обладающих низким коэффициентом трения. По результатам исследований методом сканирующей зондовой микроскопии рекомендовано использование для нанесения на контактные пояски износостойкого алмазоподобного покрытия и покрытия фторопластом, а также подтверждена возможность использования поршня из латуни J1C-59 без покрытия;

- с целью разгрузки сильфонов в сильфонно-поршневых и сильфонных форвакуумных насосах от перепада давления 0,1 МПа и снижения, в соответствии с этим, энергопотребления предложены конструкции насосов с «охранным» вакуумом.

Заключение

Современный уровень развития высоких вакуумных технологий, в отечественной и мировой практике, основным потребителем которых является электронная техника, не снижает на данном этапе актуальности проблемы создания эффективных безмасляных вакуумных систем технологического оборудования. Особенно остро ощущается необходимость появления нового поколения простых, экономичных и надежных в эксплуатации форвакуумных безмасляных насосов, варианты которых предложены в настоящей работе.

В соответствии с этим основные выводы по комплексу теоретических, научно-технических, практических и экспериментальных результатов представленной работы сводятся к следующему.

1. С учетом достижений отечественной и мировой практики предложена классификация безмасляных форвакуумных насосов. Обращено внимание на необходимость создания принципиально новых, экономичных и надежных в эксплуатации насосов при одновременном снижении их стоимости.

2. Впервые предложен и теоретически обоснован принципиально новый метод получения безмасляного вакуума путем создания форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складывающихся сильфонов, выполненных из высокопрочных конструкционных материалов.

3. Впервые разработаны, изготовлены и исследованы двухступенчатые безмасляные форвакуумные насосы различных конструкций на основе сварных складывающихся сильфонов высокой чувствительности, в том числе:

- сильфонно-поршневые,

- сильфонные линейной структуры,

- сильфонные коаксиальной структуры.

4. В результате теоретических и экспериментальных исследований макетов насосов установлены их характеристики:

- быстрота действия в зависимости от объема рабочей сильфонной камеры в диапазоне от 0,1 до 16 л/с,

- предельное остаточное давление 30-50 Па,

- ресурс > 108 циклов,

- уровень шума < 20 дб.

5. Получены аналитические зависимости для расчета быстроты действия и предельного остаточного давления с учетом геометрических параметров и конструктивных особенностей сильфонных рабочих камер.

6. В применении к рабочим камерам сильфонных форвакуумных насосов со сложной формой внутренних каналов впервые предложена универсальная математическая модель и алгоритм расчета проводимости каналов произвольных геометрических форм и размеров при режиме течения газа от молекулярного до вязкостного. Компьютерная обработка математической модели для предложенных сильфонных насосов позволила установить реальную быстроту действия с учетом быстроизменяющихся размеров каналов в процессе работы насоса в вязкостном режиме течения газа.

7. На основе ряда новых технических решений с целью разгрузки сильфона от воздействия перепада давления 0,1 МПа и снижения энергопотребления предложены простые и надежные конструкции двухступенчатых сильфонных и сильфонно-поршневых насосов с «охранным» вакуумом, образующимся вокруг наружной поверхности сильфона в процессе выполнения основного цикла.

9. В результате проведения ресурсных испытаний с использованием метода рентгеновской дифрактометрии определены напряжения, возникающие в гофрах циклически деформируемых сильфонов, используемые для оценки ресурса, принятого в теории прочности, который о составил более 10 циклов.

10. По результатам исследования методом сканирующей зондовой микроскопии характера износа контактных поверхностей поршня сильфонно-поршневых насосов в условиях имитирующих реальные условия эксплуатации, получены рекомендации по выбору параметров и состава покрытий.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ануфриева, Ирина Викторовна, 2004 год

1. Быков Д.В., Кеменов В.Н., Арменский Е.В., Александрова А.Т. и др. Исследование состояния использования вакуумной техники и технологии в электронном производстве и других отраслях промышленности. Научно-технический отчет М. МГИЭМ. 1997.

2. Цейтлин А.Б., Гинденбург И.Ю. Безмасляные механические форвакуумные насосы. М. ЦНИИХИМНЕФТЕМАШ. 1990.

3. Артемьева И.В., Корнева Н.В., Соловьева Т.Е., Цейтлин А.Б., Амосова Л.М. и др. Аналитические обзоры «НИИВТ им. С.А. Векшинского». 1991-1993.

4. Каталоги фирмы Edwards 1993-1999.

5. Каталоги фирмы Varian 1995-1998.

6. Ануфриева И.В., Васильев Ю.К., Кеменов В.Н., Нестеров С.Б., Строгова Т.С. Структуры мирового рынка безмасляных насосов. Материалы 10-й НТК «Вакуумная наука и техника». Т. 1. Судак 2003 г.

7. Каталог ОАО «Вакууммаш» г. Казань, 2001 г.

8. Мартынов В.В. Общая характеристика электронных технологий и оборудования. Машиностроение. Энциклопедия. М. Машиностроение. Технология, оборудование и системы управления в электронном машиностроении. Т. III-8 под ред. Панфилова Ю.В. 2000 г.

9. Вакуумная техника Справочник / Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова М.: Машиностроение. 1992. 471 с.

10. Ю.Борисов В.П., Кеменов В.Н., Маклаков А.А. Вакуумная техника электронной промышленности. «Электронная промышленность». Вып. 7. 1984 г., с. 2-6.11 .Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. М.: Высшая школа. 1998. 266 с.

11. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М.: Радио и связь. 1987 г. 375 с.

12. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппаратостроении / под ред. Саксаганского Г.Л. М.: Атомиздат. 1978 г. 375 с.

13. Колеров Э.П. и др. Компактный накопитель СКН-600 источник синхротронного излучения для литографии. ГДР Лейпциг. 1988. Материалы МНТК.

14. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.: Энергия. 1972 г. 256 с.

15. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для очистки и травления материалов. М.: Энергоатомиздат. 1987 г. 264 с.

16. Симонов В.В., Корнилов JI.A. Шашелев А.В., Шокин Е.В. Оборудование ионной имплантации. М.: Радио и связь. 1988. 184 с.

17. Ревелева М.А. Ионная имплантация. М.: Машиностроение. 2000 г. Энциклопедия . Т. III-8 под ред. Панфилова Ю.В. с. 121-136.

18. Ляпин В.М. Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии. Машиностроение. Энциклопедия. М. Машиностроение. Т. III-8. 2000 г. с. 412-414.

19. Хруничев Ю.А. Типовой технологический маршрут изготовления электровакуумных приборов. Машиностроение. Энциклопедия. М.: Машиностроение Т. III-8. 2000 г. с. 600-619.

20. Степаньянц Ю.Р. Термовакуумная обработка электровакуумных приборов. Машиностроние. Энциклопедия. М.: Машиностроение Т. III-8. 2000 г. с. 682-702.

21. А.И. Пипко, В.Я. Плисковский, Е.А. Пенчко. Оборудование для откачки электровакуумных приборов. М.: Энергия. 1965. 462 с.

22. Данилин Б.С., Минайчев В.Е. Основы конструирования вакуумных систем. М.: Энергия. 1971 г. 386 с.

23. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства. М.: Энергия. 1974 г. 386 с.

24. Черепнин Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. М.: Советское радио. 1967 г. 408 с.

25. Розанов JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа. 1990.

26. Розанов JI.H. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение. 1975.336 с.

27. Кеменов В.Н. Двухуровневая система выбора оптимальных средств откачки для оборудования высоких технологий. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф. 1999.

28. Кеменов В.Н. Реализация системного подхода при проектировании вакуумных систем оборудования высоких технологий. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 4. 1999 г. с. 13-17.

29. Ануфриева И.В., Кеменов В.Н., Нестеров С.Б., Строгова Т.С. Современное состояние рынка безмасляных средств откачки. Ж. «Вакуумная техника и технология». Т. 13. № 2. 2003 г.

30. Ануфриева И.В. Новый безмасляный двухступенчатый форвакуумный насос на основе высокочувствительного сварного сильфона. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Судак. 2003 г.

31. High Vacuum International Edwards, 1988. 34.Small vacuum pump series Ulvac 1988.35.0дзава О. Разработка сухого вакуумного насоса Синку 1988. с. 100 -103.

32. Habbanian M. The Emerging technologies of oil-free vacuum pumping. I Vac Sei Technol. A 1988 V 6 № 3 p 1177 1183.

33. Totally oil-free vacuum pumping Soling State Technologi 1988 V 31 №5 p 78.

34. ADP-80 Alcatel dry pump and systems, 1988.

35. Eugo Ю. Кикута P. Многоступенчатый сухой вакуумный насос. Этбара дзихо 1987 № 138, с. 12 17.

36. Dryvac Ml.001 Leybold AG 1989.

37. Berges H-P Goetz oil-free vacuum pumps of compact design vacuum 1988. V 38 № 8 10, p 761 - 763.

38. С.И. Салнкеев, A.B. Бурмистов, К.Б. Панфилович. Профилирование роторов и разработка безмасляного двухроторного кулачково-зубчатого вакуумного насоса. Материалы IX НТК «Вакуумная наука и техника». 2002 г.

39. Varian dry vacuum pump for complete oil free vacuum - Vacuum 1988. V 38. № 3.

40. AC СССР № 334403 кл. F 04B 03.07.1971 г.

41. AC СССР № 387137 кл. F 04В 06.10.1973 г.

42. АС СССР № 580350 кл. F 04В 29.10.1979 г.

43. АС СССР № 666297 кл. F 04В 14.06.1980 г.

44. АС СССР № 754102 кл. F 04В 14.06.1980 г.

45. Александрова А.Т., Ковалев JI.K. Волновой роторный форвакуумный насос. Труды МИЭМ вып. 29, С. 1973.

46. Власов В.З. Общая теория оболочек. М. 1947.

47. Шачнев В.А. Корректности некоторых задач безмоментной теории оболочек отрицательной кривизны. Прикладная математика. Том 33, с. 676-687.

48. Власов В.З. К теории безмоментных оболочек вращения. Известия АН СССР ОТН № 5, 1955, с. 55 54.

49. Данилов А.И., Чернышев Г.Н. Жесткость и изгибаемость оболочек отрицательной кривизны, используемых в волновых передачах. Изв. АН СССР. Механика твердого тела. № 5, 1978. С. 163 169.

50. Данилов А.И. Метод конструирования оптимальных гибких элементов волновых герметичных вводов движения. Дисс. к.т.н. науч. рук. Александрова А.Т. М. МИЭМ 1976 г.

51. Гольденвейзер А.А. Математическая жесткость поверхностей и физическая жесткость оболочек. Изв. АН СССР МТТ 187 с. № 6.

52. Шиленко Е.С. Исследование и разработка гибких металлических оболочек волновых форвакуумных насосов для технологического оборудования электронной техники. Дисс. к.т.н. науч. рук. Александрова А.Т., М. МИЭМ 1982 г.

53. Патент 63369 Германия Машина для перекачки горячего газа. 1891 г.

54. Вопросы космической энергетики / Пер. с англ. Под ред. А.А. Кулалдина, С.В. Тимашева, М. Мир. 1971. 350 с.

55. Довгялло A.M., Докторов О.Ю. Экспериментальная методика определения гидропотерь при работе складывающегося мембранного сильфона в гидравлической камере / Проблемы и перспективы развития двигателестроения. СГАУ. 1998 г. С. 220-223.

56. А ИСИЯМА Фирма «Нихон Сиру Ору» Сварные сильфоны и их эффективное применение // Ж. Юацу сэккей. 1968. Т6. № 9. С. 60-61.

57. Довгялло А.И., Великанов А.Г., Сукчев В.М. Исследование процесса сжатия в сильфоном микрокомпрессоре. Самарский аэрокосмический ун-т. Самара. 1998 г. Сер. XII. Вып. I. С. 191-195.

58. Докторов О.Ю. Разработка и исследование сильфонного микрокомпрессора для бортовых систем охлаждения летательных аппаратов. Автореферат дисс. к.т.н. Самара. СГАУ им. С.П. Королева. 2001 г. 23 с.

59. Сильфоны. Расчет и проектирование / под ред. Л.Е. Андреевой. М.: Машиностроение. 1975 г. 156 с.

60. Довгялло А.И. Сильфонные термомеханические преобразователи. Самарский научный центр РАН Самара, 2000 г. 182 с.

61. Ануфриева И.В., Васин В.В., Ветров В.А., Горюнов А.А., Кеменов В.Н. Мембранный безмасляный вакуумный насос. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Т. I. с. 228-229. 2003 г.

62. Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов А.А., Ануфриева И.В., Кеменов В.Н., Львов Б.Г. Сильфонно-поршневой насос. Патент на полезную модель № 38750. Бюл. № 19. 2004 г.

63. Ануфриева И.В. Сильфонный двухкамерный форвакуумный насос линейной структуры. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Судак. 2004 г.

64. Ануфриева И.В., Васин В.А., Кеменов В.Н. Сильфонный двухступенчатый безмасляный насос. Патент на полезную модель № 38853. Бюл. № 19. 2004 г.

65. Ануфриева И.В., Кеменов В.Н., Эминов П.А. Методы расчета проводимости элементов вакуумных систем каналов произвольной формы для любого режима течения газа. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Судак. 2004 г.

66. ГОСТ 217-54-76 Сильфоны сварные металлические

67. ГОСТ 217-54-81 (ТУ25-2472-066-88). Сильфоны сварные металлические.

68. Андреева Л.Е. Упругие элементы приборов. М. Машиностроение. 1975 г. 156 с.

69. Соболь И.М. Численные методы Монте-Карло. М.: Наука, 1973. 311 с.

70. Белоцерковский О.М., Яницкий В.Е. Проблемы численного моделирования течения разреженного газа. Успехи механики. Т. I. вып. 12. С. 69-112.

71. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Т. 6. М. Наука. 1986 г.

72. Саксаганский Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М. Атомиздат. 1980 г. 216 с.

73. Г.Корн, Т.Корн Справочник по математике для научных работников и инженеров. М. наука. 1968 г. 720 с.

74. Кошмаров Ю.А., Рыжов Ю.А. Прикладная динамика разреженного газа. М.: Машиностроение. 1977. 184 с.

75. Коган М.Н. Динамика разреженного газа. М.: Наука, 1967. 440 с. 81.Чимпен С., Каулинг Т. Математическая теория неоднородных газов.1. М.: ИЛ, 1960. 510 с.

76. Г. Берд. Молекулярная газовая динамика. М.: Мир, 1987. 319 с.

77. Ганзбург Л.Б., Вейц В.Л. Бесконтактные магнитные механизмы. Из-во Ленинградского университета. 1985 г. с. 151.

78. Ганзбург Л.Б. Экранированные синхронные магнитные и электромагнитные муфты. Л., ЛДНТП. 1965. 36 с.

79. Ганзбург Л.Б. Магнитный планетарный редуктор. Промышленное применение токов высокой частоты. Труды ВНИИТВЧ, вып. 5. Л.,1964, с. 95-99.

80. Ганзбург Л.Б. Экранированные магнитные электромагнитные муфты поступательного перемещения. Промышленное применение токов высокой частоты. Труды ВНИИТВЧ, вып. 6. Л., 1965, с. 196-198.

81. Ганзбург Л.Б. Расчет экранированной одноименнополюсной синхронной муфты. Промышленное применение токов высокой частоты. Труды ВНИИТВЧ, вып. 6. Л., 1965, с. 181-195.

82. Ганзбург Л.Б., Глуханов Н.П., Рейфе Е.Д., Федотов А.И. Механизмы с магнитной связью. Л., 1973. 272 с.

83. Ганзбург Л.Б., Картузов Г.И., Манохин А.С. Скалярный магнитный потенциал в области с двухсторонней трапецеидальной зубчатостью. Труды СЗПИ, 1975, № 35, с. 62-70.

84. Уманский Я.С. Рентгенография металлов и полупроводников. Изд-во «Металлургия». 1969 г. 496 с.

85. Рентгеновские лучи. Энциклопедия физики. Т. 30. Перевод с нем. ИЛ. 1960 г.

86. Хейкер Д.М., Зевин Л.С. Рентгеновская дифрактометрия. Физматгиз. 1963 г.

87. Тейлор А. Рентгеновская металлография. Изд-во «Металлургия»,1965.

88. Уманский Я.С. Рентгенография металлов. Изд-во «Металлургия», 1967.

89. Ануфриева И.В. Создание малоинерционных термосорбционных компрессов для работы в вакууме. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника», 2001 г., стр. 50.

90. Ануфриева И.В., Васин В.В., Ветров В.А., Горюнов А.А., Кеменов В.Н. Мембранный безмасляный вакуумный насос. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Т. I. с. 228-229. 2003 г.

91. Fischer Е., Memmsen Н. Monte Carlo comput ations pf. molecular flow in pumping speed test domes-vacuum 17, 309 (1967)

92. Suetsugu Y. Application of the Monte Carlo Method to Pressure Calculation J. Vac Sci Technol. 1996 A 14(1) p245

93. Нестеров С.Б., Васильев Ю.К., Андросов A.B. Расчет сложных вакуумных систем. М. МЭИ 2001 г. 180 с.

94. Кеменов В.Н., Капустин Е.Н., Зилова О.С. Исследование структуры тонкопленочных покрытий методом сканирующей зондовой микроскопии. Материалы научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». Судак. 2002 г.

95. Нестеров С.Б., Кеменов В.Н., Зилова О.С., Ануфриева И.В. Изучение топографии поверхности сорбентов с помощью сканирующей зондовой микроскопии. Материалы V-ro международного симпозиума «Вакуумная техника и оборудование. Харьков. 2002 г., с. 29-33.

96. С.Б. Нестеров, В.Н. Кеменов, О.С. Зилова, И. В. Ануфриева. Изучение топографии поверхности сорбентов с помощью методов сканирующей зондовой микроскопии. Материалы научно-технической конференции.

97. Бухараев А. А. Диагностика поверхности с помощью сканирующей зондовой микроскопии. Заводская лаборатория 1997. № 5. С. 10-27.

98. Суслов А.А., Чижик С.А. Сканирующие зондовые микроскопы. Материалы, технологии, инструменты. 1997. № 3. с. 78-89.