Разработка и исследование кулачково-зубчатого вакуумного насоса тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.04.06, кандидат технических наук Саликеев, Сергей Иванович

• Саликеев, Сергей Иванович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Саликеев, Сергей Иванович

Основные условные обозначения и термины

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА I. БЕЗМАСЛЯНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

1.1. Типы безмасляных вакуумных насосов

1.2. Профилирование роторов бесконтактных двухроторных насосов

1.2.1. Теоретическое профилирование

1.2.2. Действительное профилирование

1.3. Методики определения перетечек через щелевые каналы

1.4. Задачи исследования

ГЛАВА II. РАЗРАБОТКА КУЛАЧКОВО-ЗУБЧАТОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА

2.1. Конструкция разработанного КЗВН

2.2. Теоретический профиль роторов. Анализ влияния основных геометрических размеров КЗВН на его характеристики

2.3. Действительное профилирование роторов КЗВН

ГЛАВА III. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ОТКАЧНЫХ

ХАРАКТЕРИСТИК КЗВН

3.1. Программа испытаний и описание экспериментального стенда

3.2. Методика проведения испытаний и результаты измерений

3.3. Оценка погрешности измерений

ГЛАВА IV. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОВОДИМОСТИ ЩЕЛЕВЫХ КАНАЛОВ БЕСКОНТАКТНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

4.1. Экспериментальное исследование проводимости щелевых каналов

4.1.1. Описание экспериментального стенда для исследования проводимости щелевых каналов

4.1.2. Методика измерений

4.1.3. Результаты измерений и их обсуждение

4.2. Расчет проводимости щелевых каналов при малых перепадах давлений в ламинарном режиме течения

4.3. Расчет проводимости щелевых каналов при произвольных перепадах давлений в ламинарном режиме течения

4.4. Методика расчета проводимости каналов, образованных криволинейными стенками произвольной геометрии

ГЛАВА V. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ОТКАЧНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК

5.1. Основные положения и допущения математической модели

5.2. Описание математической модели и ее реализации на ЭВМ

5.3. Результаты моделирования откачных характеристик КЗВН основные результаты и вывода

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование кулачково-зубчатого вакуумного насоса»

На современном этапе развития науки и техники технологические процессы, происходящие в вакууме, вносят все больший вклад в промышленное производство. В таких областях как микроэлектроника, медицина, пищевая промышленность, металлургия, нефтехимическое производство, атомная энергетика, энергосберегающие технологии и многих других вакуум стал их неотъемлемой частью.

Наряду с расширением области применения вакуума, ужесточаются требования к его качеству. Это, прежде всего, чистота вакуума, т.е. отсутствие следов рабочих жидкостей, паров воды и других загрязнений. Такие процессы, как напыление тонких пленок, очень чувствительны к содержанию паров углеводородов в откачиваемом объеме. Их присутствие ухудшает адгезионные свойства, чистоту поверхности, однородность напыляемого слоя и т.д. В пищевой промышленности, как и в медицине, присутствие паров углеводородов абсолютно недопустимо. В металлургии вакуумный переплав позволяет получать металлы, свободные от растворенных газов, что значительно улучшает их физические свойства. Получение сверхчистых материалов также требует вакуума, свободного от паров рабочих жидкостей. Поэтому актуальным является поиск средств получения вакуума, позволяющих исключить или хотя бы уменьшить возможность попадания загрязнений в откачиваемый объем.

В настоящее время в вакуумной технике отдается предпочтение использованию безмасляных средств откачки и исследованиям в области разработки новых средств безмасляной откачки и модернизации старых. Анализ тенденций развития рынка вакуумного оборудования показывает рост сектора безмасляных средств получения вакуума на 6,6% по отношению ко всем остальным [1-3].

Чистый высокий и сверхвысокий вакуум получают насосами поглотительного типа: электрофизическими, криогенными, адсорбционными, а также механическими турбомолекулярными насосами на магнитных или газодинамических опорах [4]. Но они могут работать только при определенном предварительном разрежении, например, геттерные насосы требуют для запуска давление ниже 1 Па.

В качестве насосов предварительной откачки долгие годы используются вакуумные насосы с масляным уплотнением. Они позволяют получать, как средний, так и низкий вакуум и работают с выхлопом в атмосферу. Однако эти насосы являются источником углеводородных загрязнений, так как в них используется вакуумное масло для уплотнения зазоров, смазки и охлаждения движущихся внутренних частей. Обратный поток паров масла из форвакуум-ных пластинчато-роторных насосов в откачиваемое технологическое оборудование может составлять величину 2-50 мг/ч-см2 [5]. При неправильной эксплуатации или нештатной работе насоса объем загрязнений может быть во много раз больше. Еще один существенный недостаток этих насосов - возможность химического взаимодействия рабочих жидкостей с откачиваемыми газами.

Использование специальных низковакуумных водяных или азотных ловушек значительно снижает поток загрязнений из насоса в откачиваемый объем. Но и они не могут полностью гарантировать предотвращение попадания паров рабочих жидкостей в откачиваемый объем.

Средний вакуум уже долгое время получают хорошо зарекомендовавшими себя двухроторными насосами типа Руте. Эти насосы надежны, долговечны и позволяют получать безмасляный вакуум при давлениях 0,1. 1 ООО Па. Отсутствие контакта между роторами позволяет эксплуатировать их'с высокой частотой вращения (более 3000 об/мин), что обеспечивает большую, чем у вакуумных насосов с масляным уплотнением, быстроту действия при тех же габаритах. Недостатком насосов типа Руте является необходимость установки форвакуумного насоса на его выходе. Как правило, в качестве форвакуумных насосов используются вакуумные насосы с масляным уплотнением, что сводит на нет преимущества насосов типа Руте по созданию безмасляной среды. Использование для насоса типа Руте форвакуумной ступени, свободной от паров рабочих жидкостей, позволит решить проблему получения чистого вакуума на этапе предварительной откачки.

Двухроторные кулачково-зубчатые вакуумные насосы обеспечивают более совершенный процесс сжатия (внутреннее сжатие) по сравнению с насосами типа Руте и могут работать с выхлопом в атмосферу. Однако их быстрота действия ниже, чем у насосов типа Руте.

Агрегат, состоящий из ступени типа Руте на входе и двух - трех кулач-ково-зубчатых последовательно включенных ступеней, установленных на одних валах, позволяет совместить лучшие стороны насоса типа Руте и ку-лачково-зубчатого вакуумного насоса (КЗВН): высокую быстроту действия и высокую степень повышения давления. Такой агрегат позволяет получить давление ~ Ша, что вполне достаточно для насоса предварительной откачки. Одноступенчатый КЗВН также представляет интерес как самостоятельное низковакуумное средство откачки.

Если насосы типа Руте на сегодняшний день достаточно хорошо исследованы, то методики расчета КЗВН не существует.

Целью данной работы является разработка кулачково-зубчатого вакуумного насоса для получения низкого вакуума и исследование его откачных характеристик.

Диссертация состоит из 5 глав и приложений.

В первой главе проведен обзор конструкций безмасляных механических вакуумных насосов. Рассмотрены методы профилирования роторов. Проведен анализ методик расчета перетеканий через щелевые каналы в вязкостном режиме. Приведено сравнение расчета по данным методикам с экспериментальными данными.

Во второй главе представлен разработанный и изготовленный одноступенчатый КЗВН и теоретический профиль кулачково-зубчатых роторов. Рассмотрено влияние характерных размеров КЗВН на объемы парной и перевальной полостей и, соответственно, на быстроту действия и предельное остаточное давление насоса.

В третьей главе приведены экспериментальные откачные характеристики КЗВН при работе с выхлопом в атмосферу и с форвакуумным насосом. Дается описание экспериментального стенда, методики проведения эксперимента и рассчитывается погрешность измерений.

В четвертой главе проведены экспериментальные и теоретические исследования проводимости щелевых каналов проточного тракта бесконтактных насосов. Приводится описание экспериментального стенда для исследования проводимости щелевых каналов и экспериментальные зависимости проводимости от среднего давления, охватывающие молекулярный, переходный и вязкостный режимы течения, для трех типов каналов в широком диапазоне изменения их размеров. Предложены уравнения для расчета проводимости щелевых каналов трех типов при малых перепадах давлений. Проведено численное исследование проводимости щелевых каналов при ламинарном течении вязкого газа. На основании полученных данных предложены соотношения для расчета проводимости щелевых каналов при произвольных перепадах давлений. Предложена методика расчета проводимости щелевых каналов произвольного сечения, основанная на аппроксимации стенок канала четырьмя дугами окружностей.

В пятой главе разработана математическая модель КЗВН для расчета откачных характеристик. Получены расчетные зависимости быстроты действия от давления на входе. Проведено сравнение экспериментальных и теоретических откачных характеристик КЗВН.

В приложении даны таблица координат теоретического профиля роторов КЗВН, оценка погрешности измерений проводимости, экспериментальные и расчетные проводимости щелевых каналов, а также акты внедрения результатов работы.

На защиту выносятся результаты экспериментального исследования разработанного одноступенчатого КЗВН, анализ влияния характерных размеров КЗВН на его откачные характеристики. Данные по экспериментальному исследованию проводимости щелевых каналов проточного тракта бескон-• тактных вакуумных насосов в молекулярном, переходном и вязкостном режимах течения. Соотношения для проводимости щелевых каналов трех типов при малых перепадах давлений. Результаты численного исследования проводимости щелевых каналов при ламинарном течении вязкого газа, представленные в виде соотношений для расчета проводимости щелевых каналов в широком интервале изменения геометрических размеров, давления на входе в канал и отношения давлений на выходе и входе. Математическая модель КЗВН для расчета откачных характеристик. ^ Работа выполнена на кафедре «Вакуумная техника электрофизических установок» Казанского государственного технологического университета.

Автор выражает глубокую благодарность научному руководителю доктору технических наук, профессору К.Б. Панфиловичу и научному консультанту кандидату технических наук, доценту А.В. Бурмистрову за внимание'и помощь в работе. Автор признателен коллективам кафедр «Вакуумная техника электрофизических установок», «Компрессорные машины и установки», «Холодильная техника и технологии» Казанского государственного технологического университета за многочисленные консультации и полезное обсуждение результатов работы, а также искренне благодарит кандидата физико-математических наук, доцента М.Д. Бронштейна за помощь при разра-ф ботке прикладных программ. Автор благодарит руководство ОАО «Вакуум-маш» и ЗАО «НИИтурбокомпрессор» за помощь при изготовлении КЗВН.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная, компрессорная техника и пневмосистемы», Саликеев, Сергей Иванович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. Проведен обзор работ по конструкциям безмасляных вакуумных насосов, методам профилирования и расчета перетечек. Показано, что кулачково-зубчатый насос способен работать с выхлопом в атмосферу при сохранении высокой быстроты действия и степени повышения давления.

2. Разработан профиль КЗВН, обеспечивающий непрерывную линию зацепления. Расчет координат профиля основан на аналитическом методе Х.И. Гохмана и реализован в виде программы на ЭВМ.

3. Исследовано влияние межосевого расстояния, угла при вершине зуба и радиуса расточки корпуса на геометрическую быстроту действия и предельное остаточное давление. Получены зависимости, позволяющие определить область оптимальных соотношений размеров насоса. На основе этого анализа разработан и изготовлен одноступенчатый КЗВН.

4. Создан экспериментальный стенд для исследования быстроты действия насоса и степени повышения давления. Измерены откачные характеристики насоса при различных частотах вращения с выхлопом в атмосферу и в агрегате с форвакуумным насосом.

5. Разработан и создан стенд для исследования проводимости щелевых каналов бесконтактных вакуумных насосов. Проведено экспериментальное исследование проводимости 44 каналов 3-х типов в молекулярном, переходном и вязкостном режимах течения газа.

6. Проведено численное исследование проводимости щелевых каналов при ламинарном течении вязкого газа. На основании полученных данных предложены соотношения для расчета проводимости щелевых каналов.

7. Разработана математическая модель расчета откачных характеристик КЗВН, основанная на дифференциальных уравнениях переменной массы. Получены расчетные зависимости быстроты действия от давления на входе. Расчетные и экспериментальные характеристики согласуются в пределах 12%.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Саликеев, Сергей Иванович, 2005 год

1. Ануфриева И.В., Васильев И.К., Кеменов В.Н., Нестеров С.Б., Строгова Т.С. Современное состояние рынка безмасляных форвакуумных средств откачки// Вакуумная техника и технология, №2, 2003,- С.93-99.

2. Васильева Т.С., Васильев Ю.К., Нестеров С.Б. Анализ современного состояния рынка оборудования систем создания и поддержания вакуума// Материалы XII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2005. С.79-86.

3. Розанов Л.Н. Современное состояние и перспективы развития откачных средств // Вакуумная техника и технология, Т. 14, № 2, 2004,- С.63-70.

4. Вертеш-Туняк М. Н. Абсолютно безмасляный вакуум новое ' в зарубежной. вакуумной технике// Издательство объединенного института ядерных исследований, г. Дубна, 1993. - 31 с.

5. Цейтлин А.Б., Гинденбург И.Ю. Безмасляные механические форвакуумные насосы. Криогенное и вакуумное машиностроение. Серия ХМ-6. Химнефтемаш, 1990.

6. Hablanian М.Н. The emerging technologies of oil-free vacuum pumps// Journal of Vacuum Science and Technology, v.6, 1988, pp.1177-1182.

7. Механические вакуумные насосы/ E.C. Фролов, И.В. Автономова, В.И. Васильев и др. -М.: Машиностроение, 1989. 288 с.

8. Поршневые компрессоры. Теория и расчет/ П.И. Пластинин М.: Колос, 2000. - 455 с.

9. Вакуумная техника: Справочник / Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др. М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.

10. Ю.Кузнецов В.И. Механические вакуумные насосы. М., Л.: Госэнергоиздат, 1959. - 280 с.

11. Van-Atta C.M. Theory and performance characteristics of a positive displacement rotary compressor as a mechanical Booster vacuum-pump // Nat. Sympos. Vacuum Technol. Trans. London, New York, Paris, Pergamon Press, 1957. pp.62-67.

12. Armbruster W., Lorenz A. Das maximale Kompressionsverhaltnis und der volumetrische Wirkungsgrad von Vakuum-pumpen nach dem Rootsprinzip // Vacuum-Technik. N4.1958.

13. Кузнецов В.И. Объемный КПД двухроторных вакуумных насосов,// Физика и техника вакуума. Казань, 1974. - С. 177-185.

14. Бурмистров А.В., Беляев JI.A., Мухамедзянов Г.Х. Теория двухроторных вакуумных насосов. Метод расчета располагаемой и реализуемой откачных характеристик. Казань, 1989. - 28 с. -Библиография: 10 назв. - Деп. в ЦИНТИХимнефтемаш 9.01.90. №2079 -хн89.

15. Бурмистров А.В., Беляев JI.A. Концепция объемно-скоростной откачки. Метод расчета двухроторных вакуумных насосов// Вакуумная техника и технология, 2002. т. 12. № 2. С.85-90.

16. Бурмистров А.В, Караблинов Д.Г., Бронштейн М.Д. Моделирование течения газа в межроторном канале ДВН с учетом вращения роторов // Материалы XI научно-технической конференции «Вакуумная наука, и техника». М.: МИЭМ. 2004. С.69-72.

17. Hamaher Н. Beitrag zur Berechnung des Saugvermogens von Rootspumpen // Vakuum Technik, 1970, № 8, S.216-221.

18. Лубенец В.Д., Васильев В.И. Результаты испытаний роторного вакуумного насоса с частичным внутренним сжатием// Известия вузов. Машиностроение. М., 1964. №9. - С.110-114.

19. Сакун И.А. Винтовые компрессоры. Л.: Машиностроение, 1970. 400 с.

20. Мацубара К. Безмасляные винтовые вакуумные насосы // Синку. -1988. Т.31, №2.-С.118-125.

21. Хисамеев И.Г., Максимов В.А. Двухроторные винтовые и прямозубые компрессоры.- Казань, ФЭН, 2000. 637 с.

22. Состояние и направление развития спиральных компрессоров. Г.С. Кочетова, И.А. Сакун. Холодильное машиностроение. Серия ХМ-7. ЦИНТИхимнефтемаш, 1990. 54 с.I

23. Бюллетень иностранной коммерческой информации, 1986, №83, с.4.

24. Мозгина В.И. Спиральный компрессор. Экспресс-информация, Серия ХМ-7. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1986, №2. - С.1-4.

25. Revue General du Froid, 1984, №3, pp.182-183.

26. Hablanian H. Aufbau und Eigenchaften werschiedener olfreier Vakuumpumpen fur den Grob- und Feinvakuumbereich// Vakuum in der Praxis, 1990, №2, pp.96-102.

27. Weatherston R. Rotary compressor (Calspan Corp.). Патент США, Кл. 418-9, (F 04 С 13/00, F 04 С 17/10), №3941521, заявл. 28.08.74, № 501034, опубл. 2.03.76.

28. Compresseur rotatif pour fluides (Frischwelt Anstalt), Франц. патент, Кл F 04 С 17/00, № 2120354, заявл. 30.12.70., опубл. 18.08.72.

29. Ритре. Langer Paul. BSA Mascbinenfabrik Paul G. Langer GmbH. Заявка 3502862 ФРГ. Заявл. 29.01.85, № P3502862.9, опубл. 30.04.86. МКИ F 04 С 2/16.

30. Perfectionnement aux pompes rotatives. (Andre, Femand Pescher). Франц. патент, кл. F 05g, № 1447794, заявл. 24.09.65, опубл. 20.06.66.

31. Garland Milton W., Dreksler Moshe Y., Rotary compressor (Frisk Co.). Патент США, кл. 230-152, № 3291384, заявл. 15.09.65, опубл. 13.12.6б!

32. Максимов В.А., Карибуллина Ф.Р. Роторные компрессоры. Учебное пособие. КГТУ. Казань, 2005. 75 с.

33. Berges Н P., Gotz D., Oil-free vacuum pumps of compact design// Vacuum, 1988, vol.38, №8-10, pp.761-763.

34. Wycliffe H. Mechanical high-vacuum pumps with an oil-free swept volume// Journal of Vacuum Science and Technology, 1987, v5, pp.260826011.

35. Hablanian M.H. The emerging technologies of oil-free vacuum pumps// Journal of Vacuum Science and Technology, 1988, v.6, pp.1177-1182.

36. Гохман Х.И. Теория зацепления, обобщенная и развитая путем анализа, Одесса, 1886.-456 с.

37. Литвинов Ф.Л. Теория зубчатых зацеплений. М., Наука, 1968, 584 с.

38. Роторные компрессоры/ А.Г. Головинцов, В.А. Румянцев, В.И. Ардашев и др. М.: Машиностроение, 1964. - 315 с.

39. Ибраев A.M. Повышение эффективности работы роторных нагнетателей внешнего сжатия на основе анализа влияния геометрических параметров на их характеристики. Дисс. канд. тех. наук, Казань, 1987. - 208 с.

40. Гавриленко В.А. Зубчатые передачи в машиностроении. М: Машгиз, 1962.- 531 с.

41. Шишков В.А. Образование поверхностей резанием по методу обкатки. -М.: Машгиз, 1951.

42. Ибраев A.M., Чекушкин Г.Н. Расчет действительного профиля роторов нагнетателей внешнего сжатия // Известия вузов СССР. Машиностроение, 1985, №10. С.61-66.

43. Саксаганский Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980. 216 с.

44. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. 207 с.

45. Нестеров С.Б., Васильев Ю.К., Андросов А.В. Расчет сложных вакуумных систем, МЭИ, Москва, 2001, 180 с.

46. Строгова Т.С., Нестеров С.Б., Васильев Ю.К. Области применения методов анализа молекулярных потоков // Материалы XI научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2004. -С.47-51.

47. Печатников Ю.М. Инженерно-физическая модель газовых потоков при среднем вакууме // Журнал технической физики. 2003. Т.73., Вып.8. . С.40-44.

48. Печатников Ю.М. Расчет проводимости вакуумных систем// Вакуумная техника и технология. 1996. Т.6, №2. - С.5-14.

49. Печатников Ю.М. Применение метода вероятностного моделирования для решения фундаментальных и прикладных задач вакуумной техники // Материалы XI1 научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2005. С.42-43.

50. Бурмистров А.В., Бронштейн М.Д. Уравнения для расчета проводимости каналов, образованных цилиндрическими поверхностями V/ Материалы X научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2003. С.90-92.

51. Бурмистров А.В., Караблинов Д.Г., Бронштейн М.Д. Уравнения для расчета проводимости различных видов щелевых каналов в молекулярном режиме течения// Вакуумная техника и технология, 2004, Т 14, № 1. С.9-13.

52. Гинзбург И.П. Истечение вязкого газа из подвижной щели. Вестник Ленинградского университета. Механика. №11. 1953.

53. Идельчик И.Е. Справочник по гидравлическим сопротивления. М., Машиностроение, 1975. 559 с.

54. Гейнце В. Введение в вакуумную технику. М. Л.: Госэнергоиздат, 1960.- 512 с.

55. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964. -715 с.

56. Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика. Ч. 1. М.: Наука, 1991. - 600 с.

57. Лойцянский Л.Г. Механика жидкости и газа. М.: Наука, 1987. - 840 с.

58. Шлихтинг Г. Теория пограничного слоя. М.: Издательство иностранной литературы, 1956. - 528 с.

59. Саликеев С.И., Бурмистров А.В., Панфилович К.Б. Профилирование роторов кулачково-зубчатого вакуумного насоса// Тепломассообмен-ные процессы и аппараты химической технологии: Межвуз. сб. научн. тр.; КГТУ. Казань, 2001. С.139-144.

60. Саликеев С.И., Бурмистров А.В., Панфилович К.Б. Профилирование роторов и разработка безмасляного двухроторного кулачково-зубчатого вакуумного насоса// Материалы IX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2002. -С.85-89.

61. Бурмистров А.В. Влияние частоты вращения роторов на предельное остаточное давление двухроторных вакуумных насосов// Материалы IX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2002. -С.81-85.

62. Бурмистров А.В. Исследование процесса объемно-скоростной откачки. Разработка метода расчета двухроторных вакуумных насосов. Дисс. канд. техн. наук. - Казань, 1992, - 187 с.

63. Рабинович С.Г. Погрешности измерений. Д.: Энергия, 1978. - 262 с.

64. Кудряшов Ж.Р., Рабинович С.Г. Методы обработки результатов наблюдений при косвенных измерениях. Труды ВНИИМ, 1974. Вып. 172(232), - С.3-58.

65. Сагдеев Д.И., Шафеева Г. Д., Хубатхузин А. А., Борисов В.Б., Мухаметзянов Г.Х. Основы научных исследований.: Метод, указания, 4.1/Казан.гос.технол.ун-т, Казань, 1999. 36 с.

66. Новицкий П.В., Зограф И.А. Оценка погрешностей результатов измерений. Д.: Энергоатомиздат, 1991. - 301 с.

67. Кузьмин В.В. Вакуумные измерения. М.: Издательство стандартов, 1992.-228 с.

68. Ерохин А.В., Кузьмин В.В. Экспериментальное определение вакуумной проводимости малых отверстий// Измерительная техника. -1969, №6. С.26.

69. Гумеров. Н.М., Путиловский Ф.Д. Хуснуллин Ф.Х. Экспериментальная установка для определения проводимости элементов вакуумных систем// Физика и техника вакуума. Казань, 1974. - С.117-119.

70. Саликеев С.И., Бурмистров А.В., Панфилович К.Б. Проводимость щелевых каналов, образованных цилиндрическими поверхностями, в вязкостном режиме// Материалы XI научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ. 2004. С.57-62.

71. Бурмистров А.В., Саликеев С.И., Панфилович К.Б. Исследование течения газа в каналах вакуумных насосов и систем// Известия вузов. Машиностроение, 2003, №2. С.19-25.

72. Бурмистров А.В. Расчет проводимости каналов переменного сечения с движущимися стенками при молекулярном режиме // Вакуумная техника и технология, 2005, Т 15, № 3. С.287-294.

73. Пипко А.И., Плисковский B.JL, Пенчеко Е.А., Конструирование и расчет вакуумных систем 3-е изд., перераб. и доп.- М.: Энергия, 1979.- 504 с.

74. Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика. Ч. 2. М.: Наука, 1991.- 304 с.

75. Патанкар С. Численные методы решения задач теплообмена и динамики жидкости. М.: ЭнергоАтомИздат, 1984. 149 с.

76. Fluent Inc. Fluent 6.1 Users Guide, Lebanon, 2003.

77. Саликеев С.И., Бурмистров A.B., Бронштейн М.Д. Исследование протечек газа через щелевые каналы в вязкостном режиме// Компрессорная техника и пневматика, 2005, № 7, С. 19-23.

78. Бурмистров А.В., Караблинов Д.Г. Исследование проводимости каналов роторного механизма двухроторных вакуумных насосов типа Руте в молекулярном режиме// Компрессорная техника и пневматика, 2003, № 4, С.25-28.

79. Мамонтов М.А. Вопросы термодинамики тела переменной массы. -Тула: Приокское книжн. изд., 1970. 87 с.

80. Фотин Б.С. Рабочие процессы поршневых компрессоров. Авторе^, дисс. докт. техн. наук. - Ленинград, 1974. - 34 с.

81. Фотин Б.С. Штейград Л.А. Расчет рабочего процесса ступени поршневого компрессора //Исследования в области компрессорных машин. Тр. Ш Всесоюз. конф. по компрессоростроению. Казань, 1974.-С.5-12.

82. Беженцев И.С., Приданцев А.С., Хамидуллин М.С., Чекушкин Г.Н. Особенности математического моделирования рабочих процессов и результаты разработок роторных компрессоров// Тез. докл. VIII Весоюзн. конф. по компрессоростроению. Сумы, 1989. С. 139.

83. Васильев В.И. Процесс сжатия газа в рабочей полости роторного вакуум-насоса при переменном количестве рабочего тела// Тр. МГТУ, 1971, №146. -С.11-23.

84. Воронков С.С., Прилуцкий И.К., Фотин Б.С. Математическая модельвысокооборотного поршневого двухступенчатого компрессора// Расчетjи экспериментальные исследования холодильных машин и компрессорных машин. -М.: ВНИИхолодмаш, 1982. С.43-53.

85. Ибраев A.M., Хисамеев И.Г., Чекушкин Г.Н. Расчет рабочих процессов компрессоров внешнего сжатия// Тез. докл. VI Всесоюзн. конф. по компрессоростроению. Д., 1981. - С.118-119.

86. Пластинин П.И. Расчет и исследование поршневых компрессоров с использованием ЭВМ. Итоги науки и техники. Сер. Насосостроение и компрессоростроение. Холодильное машиностроение. Т.2. - М.: ВИНИТИ, 1981.- 168 с.

87. ЮО.Прилуцкий И.К., Фотин Б.С. Анализ критериальных уравнений нестационарного теплообмена математических моделей поршневых компрессоров// Тр. ЛПИ, 1982, №384. С.75-91.

88. Петриченко P.M., Оносовский В.В. Рабочие процессы поршневых машин. Л.: Машиностроение, 1972. - 168 с.

89. Ю2.Пластинин П.И., Тварчеладзе А.К. Введение в математическое моделировании поршневых компрессоров. Учебное пособие. М.: МВТУ, 1976.-78 с.