Исследование газосодержания электровакуумных приборов СВЧ среднего и высокого уровня мощности с целью снижения давления остаточных газов и сохранения вакуума в отпаянных приборах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Корепин, Геннадий Федосиевич

• Корепин, Геннадий Федосиевич
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Корепин, Геннадий Федосиевич

Сокращения.

Основные обозначения.

Введение.

Глава 1. Формирование атмосферы остаточных газов ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощности.

1.1. Основные принципы откачки.

1.2. Термическое обезгаживание материалов ЭВП.

1.3. Обезгаживание электродов электронной бомбардировкой.

1.4. Обезгаживание в среде водорода и других газов.

1.5. Ионно-плазменная очистка электродов ЭВП.

1.6. Способы снижения давления остаточных газов отпаянных ЭВП.

1.7. Современные задачи совершенствования технологии откачки мощных ЭВП СВЧ и приборов среднего уровня мощности.

1.8. Модель отпаянного прибора как динамической системы формирования атмосферы остаточных газов.

1.9. Модель прибора и откачного поста как единого целого.

1.10. Выводы.

Глава 2.Управление процессом откачки ЭВП.

2.1. Измерение давлений и встроенный МЭН.

2.1.1. Перепад давлений между ЭВП и преобразователем откачного поста.

2.1.2. Перепад давлений по ЭВП и эффективная быстрота откачки.

2.2. Контроль процесса откачки ЭВП и встроенный МЭН.

2.2.1. Достаточность обезгаженности ЭВП и его отдельных узлов.

2.2.2. Выбор и обоснование критериев откачки.

2.3. Особенности процесса откачки.

2.3.1. Термическое обезгаживание ЭВП.

2.3.2. Минимальное время обезгаживания.

2.4. Выводы.

Глава 3. Исследования эффективности процесса откачки на разных этапах технологического процесса.

3.1. Определение эффективности процесса откачки отпаянного ЭВП.91.

3.1.1. Проверка давления остаточных газов.

3.1.2. Исследование поверхностного содержания газов с непрерывным нагревом отпаянного ЭВП.

3.1.3. Исследование поверхностного содержания газов с циклическим нагревом КПУ отпаянного ЭВП.

3.1.4. Исследование поверхностного содержания газов с нагревом отпаянного ЭВП и циклическим нагревом КПУ.

3.2. Определение эффективности процесса обезгаживания отпаянного

ЭВП при высоковольтной тренировке.

3.2.1. Газовыделение в процессе предварительной высоковольтной тренировки.

3.2.2. Газовыделение в процессе динамической высоковольтной тренировки и настройки ЭВП.

3.2.3. Определение основного вида газа в ЭВП с аномально высоким давлением остаточных газов.

3.2.4. Практическое определение критического времени обезгаживания.

3.3. Выводы.

Глава 4. Технологический процесс откачки и течеисканияЭВП.

4.1.Методика отработки технологии откачки.

4.2. Обезгаживание ЭВП.

4.3. Высоковольтная тренировка ЭВП, откачанных по разным режимам обезгаживания.

4.4. Особенности процесса откачки.

4.5. Обзор критериев процесса откачки ЭВП.

4.6. Результаты использования и внедрения разработанных технологических процессов откачки ЭВП.

4.7. Проблема течеискания отпаянных ЭВП.

4.8. Расчет требуемой чувствительности течеискателя.

4.9. Методы поиска течей отпаянного ЭВП.

4.10. Классификация течей.

4.11. Условия герметизации течей.

4.12. Исследование вакуумных характеристик ЭВП после процесса герметизации течей.

4.13. Полумагнетронный МЭН.

4.14. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование газосодержания электровакуумных приборов СВЧ среднего и высокого уровня мощности с целью снижения давления остаточных газов и сохранения вакуума в отпаянных приборах»

Новые рубежи техники производства ЭВП СВЧ непосредственно связаны с требованиями их применения: увеличения мощности излучения, расширения рабочей полосы частот, снижения уровня шумов и уменьшения массы и габаритов, увеличения долговечности. Обеспечение многих требований зависят от состояния вакуума отпаянных ЭВП СВЧ.

Развитие науки и техники в настоящее время требует разработки и производства ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощности, в которых применяются многолучевые потоки электронов.

Характерной особенностью конструкции современных мощных многолучевых клистронов (МЛК) является наличие большого количества узких пролетных каналов, и соответствующих мощных электронных пушек. Такая конструкция ЭВП создает трудности эвакуации газа через узкие пролетные каналы и проблему обработки пушек из-за большой мощности подогревателя катода.

Недостаточный уровень вакуума способствует процессам распыления катодов и снижает их долговечность. Повышенное давление стимулирует также процессы переноса материалов внутри ЭВП. Увеличенная концентрация остаточных газов приводит к рассеянию электронного потока и к ухудшению взаимодействия его с высокочастотным полем, что вызывает снижение выходной мощности и повышает уровень шумов.

Повышенный уровень адсорбированных газов на поверхностях электродов приводит к росту вероятности возникновения электрических пробоев между электродами, что недопустимо в работе радиолокационных станций (РЛС) и ускорителей заряженных частиц.

Обычно используемые критерии откачки дают сбой, так как количество поверхностных газов остается на достаточно высоком уровне, что препятствует нормальному функционированию ЭВП. Простое увеличение длительности и температуры обезгаживания не приводит к желаемому результату.

Продвижение в область коротких длин волн миллиметрового диапазона требует качественного изменения технологии откачки ЭВП [1. .9].

Применение традиционной технологии откачки однолучевых клистронов не приводит к достаточному уровню обезгаживания МЛК, что требует разработки новых подходов к технологическому процессу откачки. Близкие проблемы имеются у ламп бегущей волны (ЛБВ) и атомно-лучевых трубок (АЛТ), где каналы, по которым откачивается газ, имеют недопустимо большое сопротивление потоку газов.

Одной из причин низкого уровня обезгаживания ЭВП является недостаточный уровень знаний физико-химических процессов с участием поверхностных газов и газов вакуумного объема ЭВП, как при их изготовлении, так и при эксплуатации.

Процесс формирования газовой среды в ЭВП в основном происходит во время откачки. На этот процесс влияют не только детали прибора, но и условия формирования вакуума в средствах откачки. Обратный поток газа из трубопроводов откачного поста оказывает существенное влияние на состав остаточных газов в приборе и на наличие их в адсорбированном состоянии на стенках оболочки ЭВП [10,11].

Формирование газовой среды ЭВП не заканчивается процессом откачки, а продолжается и после ее. Состав этой среды зависит от последующих технологических операций. Газовая среда ЭВП является изменяющейся величиной и определяется, прежде всего, наличием газообразующих примесей во время процесса откачки и обезгаживания, а после откачки в основном адсорбированными газами на поверхностях вакуумного объема.

Газы, выделяющиеся в объем прибора в процессе его технологической обработки вступают во взаимодействие с материалами ЭВП, в первую очередь с наиболее горячими, что существенно в процессе обезгаживания. Сложность и неоднозначность процесса откачки ЭВП, а также физические принципы работы самого прибора приводят к необходимости установки в приборе МЭН в качестве неотъемлемой его части.

Использование МЭН особенно оправдано в высоковольтных приборах, где велика вероятность электрических пробоев, а также в ЭВП с мощными электронными пушками и большой выходной мощностью, приводящей к разогреву выходных элементов СВЧ-тракта и газовыделению. Применение насоса ускоряет поглощение газа. МЭН диодного типа имеют низкую быстроту откачки по аргону и обладают еще одним недостатком в виде аргонной нестабильности (периодически всплески давления аргона), что усиливает распыление катода из-за его бомбардировки тяжелыми ионами.

Как правило, наибольший интерес вызывают вопросы формирования газовой среды в процессе откачки. Процессы поглощения и выделения газа, протекающие в ЭВП СВЧ после отпайки приборов весьма сложны, и их динамика недостаточно изучена.

Важной составляющей формирования газовой среды отпаянных ЭВП является газ, оказавшийся в приборе в результате натекания. В настоящее время отыскание места течи представляет собой значительную трудность. Ограничение, прежде всего, связано с недостаточной чувствительностью те-чеискателей отпаянных ЭВП (5ТО"11 м3Па/с) без применения специальных средств (омегатрона или другого масс-спектрометрического преобразователя).

Натекающие приборы после обнаружения в них места течи могут быть герметизированы. На начало работы отсутствовали ясные и точные критериев, удостоверяющих достаточность герметизации течи и отсутствие или несущественное влияние герметизации на качество и надежность работы прибора. Не было и определенных критериев физического состояния герметика в канале течи и его соответствия величине и параметрам течи.

Таким образом, тема диссертации, цель которой - снижение давления остаточных газов и сохранение вакуума в отпаянных ЭВП является актуальной.

Диссертационная работа представляет собой решение этой научной задачи, так как в процессе ее выполнения были проведены оригинальные исследования поверхностного газосодержания как в процессе откачки ЭВП, так и после его отпайки. Исследовано не только газосодержание ЭВП в процессе высоковольтной тренировки и настройки, но и даны оценка его динамики, конкретные рекомендации по использованию подобных исследований для оценки качества процессов откачки других ЭВП. Исследование газосодержания позволило сформулировать новые принципы построения технологического процесса откачки ЭВП через штенгель.

Другим альтернативным способом решения является безштенгельная откачка ЭВП, но для ее реализации требуются условия массового или серийного производства. Для сложной многофункциональной продукции разной по физическим и геометрическим параметрам такой способ не подходит. Но и любой способ откачки не отменяет индивидуальных особенностей конструкции ЭВП, учет которых представлен в диссертационной работе.

К началу работ не был достоверно определен режим откачки и обезга-живания, гарантирующий такой уровень адсорбированных газов, при котором, давление газа ЭВП после завершения электрического пробоя было бы меньше 10"4 Па, чтобы быстро восстановить функции прибора. Для решения проблемы использован комплексный подход, учитывающий не только откачку и обезгаживание, но и особенности эксплуатации и технологической обработки ЭВП после проведения процесса откачки.

Целью диссертационной работы явилось исследование физических механизмов формирования газосодержания откачиваемых и отпаянных ЭВП и на этой основе построение научно обоснованной методики по разработке технологического процесса откачки ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощностей, определение условий герметизации течей и повышения чувствительности течеискателей отпаянных ЭВП.

Основные задачи исследований: - исследование действующих технологических процессов откачки различных типов ЭВП (клистроны, магнетроны, ЛБВ, АЛТ);

- исследование поверхностного газовыделения отпаянных ЭВП в процессе высоковольтной тренировки, настройки ЭВП и при термической активации выделения газа;

- определение причин аномального повышения давления остаточного газа отпаянных ЭВП и возможностей снижения этого давления;

- теоретический расчет режима течения газа ЭВП в процессе его откачки, в том числе во время подъема температуры и обработки КПУ;

- на основе уточненных физических представлений разработка базовой методики построения технологического процесса откачки ЭВП;

- исследование процесса герметизации течей отпаянных ЭВП и определение условия их герметизации;

- разработка конструкции миниатюрного МЭН, исключающего появление аргонной нестабильности.

Объект исследований - ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощности: клистроны, ЛБВ, магнетроны, АЛТ. Предмет исследования:

- процессы откачки в части уточнения режимов быстроты подъема температуры обезгаживания, времени выдержки при температуре обезгаживания, времени обработки КПУ, времени снижения температуры;

- процессы газовыделения отпаянного ЭВП на разных этапах технологического процесса.

Направлениями исследования являются:

- научные и методологические основы построения процесса откачки ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощности, исходя из условий их применения;

- методы исследования и контроля достаточности обезгаживания отпаянных ЭВП;

- обеспечение минимальной чувствительности течеискания отпаянных ЭВП с использованием в качестве преобразователя давления МЭН - <10"п м3Па/с;

- определение критериев необходимости и достаточности условий герметизации течей ЭВП, требований к герметикам и герметизируемым материалам;

- расширение областей применения МЭН как в области исследований физических процессов, протекающих в ЭВП СВЧ, так и для технологических целей, в первую очередь для формирования атмосферы остаточных газов.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Максимально допустимая скорость подъема температуры обезгаживания ЭВП определяется необходимостью достижения режима молекулярного течения газа в элементах конструкции ЭВП для создания одинаковых условий термовакуумной обработки элементов на всех этапах обезгаживания.

2. Минимально необходимое время обезгаживания (^безг, ч) ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощности в диапазоне температур 673. 823 (Т, К) определяется по формуле: лЗ, 117-0,00288Т

Чюезг ' и

3. Показателем эффективности обезгаживания ЭВП является количество газа, поглощенного МЭН в процессе нагрева отпаянного ЭВП при температуре 140±20°С в течение 4±1ч.

4. Для предотвращения недопустимого газовыделения при высоковольтной тренировке отпаянного ЭВП СВЧ температура обезгаживания прибора перед обработкой катода снижается относительно 500°С на величину:

ЛТ=700(Р - 0,23), где Р, Вт/см - удельная мощность, рассеиваемая внешними поверхностями пушки при нагреве катода. Научная новизна.

Впервые расчетным путем обоснована допустимая скорость подъема температуры обезгаживания ЭВП, где критерием выступает величина общего давления газа в области высоковакуумного преобразователя откачного поста. Показано, что величина максимально допустимого давления газа откачиваемого ЭВП зависит не только от конструкции откачного поста, но от геометрии откачиваемого объема ЭВП.

Исследован способ оценки качества обезгаживания отпаянного ЭВП, который заключается в определении количества адсорбированных газов поверхностями вакуумного объема по интегральной кривой откачки встроенного МЭН в процессе нагрева отпаянного ЭВП. На основе этих измерений рассчитывается количество адсорбированного газа.

Определено минимально необходимое время обезгаживания ЭВП в диапазоне температур 400.550°С.

Впервые проведена классификация течей ЭВП, что позволило разработать новую методику течеискания, повысив ее эффективность.

Исследованы причины, снижающие чувствительность течеискателя отпаянных ЭВП и показаны возможности устранения этих причин, разработан течеискатель отпаянных ЭВП повышенной чувствительности (3-10"12 м3Па/с).

Объяснена природа широкого диапазона динамической чувствительности течеискания отпаянных ЭВП, показаны возможности ее повышения.

Исследованы необходимые и достаточные условия герметизации течей ЭВП. Определена величина течи, которая не может быть надежно герметизирована.

Достоверность научных результатов и обоснованность научных положений подтверждается достаточно хорошим совпадением расчетов по откачке ЭВП, поиску и герметизации течей с экспериментальными исследованиями, получением воспроизводимых результатов при использовании различной технологической аппаратуры и методов исследования, опыта работы и применением новых технологических процессов при изготовлении ЭВП.

Апробация работы. Основные выводы и практические результаты работы доложены и обсуждены на 7 научно-технических семинарах, 6 научно-технических конференциях, 1 научно-практической конференции, по теме диссертации опубликовано 9 статей в научно-технических журналах, входящих в перечень ВАК, получено 4 патента на изобретение.

Внедрение результатов исследований.

В результате решения комплекса теоретических и экспериментальных исследований цель работы достигута: разработана методика построения технологического процесса откачки ЭВП среднего и высокого уровня мощности, спроектированы и изготовлены две оригинальные установки: по исследованию процессов газовыделения отпаянных ЭВП и современный течеискатель отпаянных ЭВП. Полученные результаты работы связаны с выполнением ОКР по приборам «Атлант», применяемых в РЛС С-300 и С-400, АЛТ для системы ГЛОНАСС.

К ЭВП, где применяется технология откачки, соответствующая научным положениям, относятся, как приборы серийно изготавливаемые, так и на стадии их проектирования: «Атлант», «Аттис», «Амарант», «Авалон», «Астрал», «КФ-3-1КМ», «КФ-3-2КМ», «Ки-2,45-200», «КФ-3-1К», «Шегарка», «Шатер», «Ширма», «Шарик», «УВИ-128», «УВИ-130», «УВИ-139», «Шпунт», «Вспышка», «ИФ-920», «Шейх-Х», «Шейх-С)», «Шарм», «Шип», «Штык», «Шиповник», «Шайба», АЛТ «Успех», «Алтаир-2» и другие.

Разработанные автором магнитные электроразрядные насосы полумаг-нетронного типа нашли применение в ЭВП «Алант», «КФ-3-1К», «КФ-3-1КМ», «Амарант», «Авалон», «К11-2,45-200», «КФ-3-2КМ», серии приборов по теме «Долговечность», и модернизированный МЭН диодного типа в АЛТ.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, 4 глав, заключения и списка литературы. Материал изложен на 147 страницах машинописного текста, содержит 68 рисунков и 19 таблиц, а также титульный лист, оглавление на 3 страницах, список литературы на 14 страницах (148 наименований). Общий объем диссертации составляет 209 страниц.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Корепин, Геннадий Федосиевич

4.14. Выводы

Разработанную методику построения технологического процесса откачки ЭВП среднего и высокого уровня мощности рекомендуется внедрять и на других предприятиях отрасли с учетом особенностей применения приборов. При этом необходимо:

- в процессе выбора режима обезгаживания соблюдать условия молекулярного течения газа с учетом, как размеров поста, так и ЭВП;

- выбирать длительность обезгаживания в соответствии с температурой;

- режим обработки КПУ в процессе обезгаживания следует вести с учетом удельной мощности, рассеиваемой внешними поверхностями пушки;

- контролировать результаты технологии по газовыделениям отпаянного ЭВП согласно предложенным методикам.

Режим поиска течи определяется величиной и характером течи в соответствии с их классификацией, геометрическими особенностями канала течи. В процессе поиска течей следует воспользоваться комплексом предложении по совершенствованию методики поиска течей. Рекомендуется внедрение те-чеискателя отпаянных ЭВП на других предприятиях отрасли.

При использовании новых разрабатываемых или внедряемых новых герметиков следует, прежде чем использовать герметик, проверить его на соответствие условиям применения по всему предложенному комплексу испытаний. Не рекомендуется герметизации течей больших 2-10"7 м3 Па/с, так как существует риск проникновения герметика в вакуумный объем ЭВП.

Магнитный электроразрядный насос полумагнетронного типа может быть рекомендован к применению там, где требуется:

- повышенная быстрота откачки аргона и необходимо устранение аргонной нестабильности;

- большой запас активного вещества;

- экранировка керамического вывода насоса от напылений;

- более высокая быстрота действия разрядной ячейки по сравнению с ДМЭН, у которого размеры разрядной ячейки аналогичны ПМЭН.

191

Заключение

В связи с необходимостью создания ЭВП СВЧ среднего и высокого уровня мощности и повышения их эффективности в части обеспечения вакуумных условий их работы проведены исследования формирования газосодержания: процессов откачки и обезгаживания, предварительной высоковольтной тренировки, настройки, течеискания отпаянных ЭВП, герметизации течей, поддержания сверхнизких давлений ЭВП. В исследованиях использовался комплексный подход формирования газосодержания от процессов откачки до создания условий обеспечения вакуума при эксплуатации ЭВП.

Основные научные и практические результаты работы заключаются в следующем:

1. Разработана методика построения оптимального технологического процесса откачки и обезгаживания ЭВП высокого и среднего уровня мощности, что позволило снизить поверхностное газосодержание в 20. .50 раз.

2. Установлено что быстрота подъема температуры обезгаживания ЭВП ограничивается необходимостью создания одинаковых условий обезгаживания всех конструктивных элементов ЭВП и определяется обеспечением режима молекулярного течения газа во всех элементах конструкции ЭВП на всех этапах обезгаживания.

3. Установлено, что быстрота подъема температуры обезгаживания ЭВП зависит не только от проводимости вакуумной системы откачного поста и штенгеля ЭВП, но и от проводимостей и габаритных размеров конструктивных элементов откачиваемого ЭВП.

4. Доказано, что если соблюдение молекулярного течения газа контролируется по величине установленного давления газа при температуре 293К, показываемого преобразователем давления откачного поста, то режим молекулярного течения газа ЭВП автоматически обеспечивается при повышенной температуре и учета температурной транспирации не требуется.

5. Показано упрощенным расчетом и подтверждено практическими исследованиями, что в процессе обезгаживания ЭВП по динамике изменения давления газа может быть установлена последовательная смена известных механизмов газовыделения. Доказано практическими исследованиями, что время смены механизмов газовыделения зависит от свойств материалов и качества подготовки прибора к процессу откачки, что требует увеличения необходимого времени обезгаживания ЭВП в 1,5 раза относительно средней величины критического времени, соответствующего времени перехода механизмов газовыделения.

6. Доказано экспериментально, что для каждой температуры существует минимальное время обезгаживания, ниже которого его эффективность снижается. На основании исследования смены механизмов определено минимально необходимое время обезгаживания в диапазоне температур 400.550°С. Минимально время, гарантирующее достаточность обезгаживания ЭВП СВЧ с жидкостной системой охлаждения составляет: при 400°С - 15 часов, 450°С -11 часов, 500°С - 8 часов, 550°С - 6 часов.

7. Доказано экспериментально, что удельная мощность величиной не более 0.23 Вт/см , рассеиваемая внешними поверхностями пушки от накальной цепи подогревателя при термовакуумной обработке катода в процессе высокотемпературного обезгаживания прибора, которая соответствует температуре внешних поверхностей пушки не выше 110°С, не приводит к повышенному газовыделению в процессе высоковольтной тренировки прибора, если максимальная температура обезгаживания ЭВП не превышает 500°С.

8. Показано, что если удельная мощность, рассеиваемая всеми поверхностями пушки от накальной цепи подогревателя превышает 0,23 Вт/см , то необходимо снизить температуру обезгаживания ЭВП перед термовакуумной обработкой катода, при этом величина снижения температуры ЭВП определяу ется степенью превышения удельной мощности 0,23 Вт/см . Условия снижения температуры обезгаживания распространяются на ЭВП, у которых электронные пушки имеют внешнюю поверхность керамического изолятора не экранированную снаружи ее металлическим экраном.

9. Установлено, что при использовании активных конкурирущих газов, облегчающего процесс откачки ЭВП, в частности водорода, необходимо учитывать физико-химические процессы, происходящие не только в приборе, но и в средствах откачки и вакуумной системы откачного поста. Определена максимальная величина давления водорода при обезгаживании прибора (1,33-10" Па), при коотором не происходит повышение давления остаточных газов отпаянного ЭВП.

10. Доказано, что выбором режима потока водорода в процессе откачки и обезгаживания ЭВП можно управлять парциальным давлением водорода в пределах одного порядка, как в вакуумной системе откачного поста, в том числе после окончания подачи потока водорода, так и отпаянном ЭВП.

11. Обоснована расчетом и доказана практически целесообразность оценки поверхностного содержания газов вакуумного объема ЭВП нагревом отпаянного ЭВП при температуре 140±20°С в течение 4±1 часов и измерения количества этих газов с помощью встроенного МЭН. Результаты измерений показывают эффективность процесса откачки и обезгаживания ЭВП любой мощности.

12. Доказано, что одним из объективных критериев эффективности обезгаживания отпаянного ЭВП является величина газовыделения, возникающая в процессе предварительной высоковольтной тренировки пробоями, контролируемая по величине тока МЭН. Чем ниже величина газовыделения, тем эффективнее процесс откачки и обезгаживания ЭВП и меньше частота возникновения пробоев.

13. Впервые разработана классификация течей отпаянных ЭВП и оптимизирована методика их поиска, что позволило снизить в 1,5.2 раза время течеи-скания.

14. Исследованы и показаны условия и пути дальнейшего повышения чувствительности течеискателей отпаянных ЭВП на основе встроенных МЭН, которые в основном определяются уровнем стабилизации напряжения источника питания МЭН, низким уровнем шумов измерительной аппаратуры малых токов, обеспечением условий стабилизации тока разряда МЭН, высоким уровнем сопротивления изолятора вывода МЭН.

15. Спроектирован и изготовлен течеискатель отпаянных ЭВП на современной элементной базе, имеющий чувствительность 3-10"12 м3Па/с в режиме по

15 3 иска течи методом обдува пробным газом и до 5-10" м Па/с в циклическом режиме поиска течи.

16. Доказано упрощенным расчетом и показано практически, что динамическая чувствительность течеискания зависит не только от параметров самого течеискателя и объема ЭВП, но от геометрических параметров канала течи.

17. Впервые разработан и внедрен в производство отечественный магнитный электроразрядный насос полумагнетронного типа с быстротой действия 0,001 м3/с. В 1,6 раза увеличена быстрота действия МЭН АЛТ при неизменных габаритах и массе насоса.

18. Доказано расчетом и показано практически, что герметизация течей

7 3 больших 2-10" м Па/с не гарантирует отсутствие проникновения герметика в вакуумный объем ЭВП через канал течи. Сформулированы требования к разработке нового поколения герметиков в зависимости от областей их применения.

19. Показаны условия герметизации течей и требования к герметикам и герметизируемым материалам течей. Разработаны рекомендации улучшения условий герметизации течей при изменении внешних условий: давления и температуры. Заданы требования к разработке нового поколения герметиков в зависимости от областей их применения.

20. На основе результатов исследования разработаны эффективные технологические процессы совмещенного обезгаживания КПУ и оболочки ЭВП, как в атмосфере водорода, так и без него. К приборам, в которых использованы полностью или частично научные положения, относятся, как ЭВП серийно изготавливаемые, так и на стадии их проектирования (более 30 типов), в частности:

Атлант», «Аттис», «Амарант», «Авалон», «Астрал», КФ-3-1КМ, КФ-3-2КМ, Ки-2,45-200, КФ-3-1К, «Шегарка», «Шатер», «Ширма», «Шарик», УВИ-128, УВИ-130, УВИ-139, «Шпунт», «Вспышка», ИФ-920, «Шейх-Х», «Шейх-С)», «Шарм», «Шип», «Штык», «Шиповник», «Шайба», «Удача», «Успех-5», СД-109-ЗАМ», «СД-109-ЗБМ», Алтаир-2.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Корепин, Геннадий Федосиевич, 2012 год

1. Девятков Н.Д. Развитие советской электровакуумной СВЧ-электроники // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. - 1977. - вып. 11. - С. 3-20.

2. Гельвич Э.А. Мощные коплексированные СВЧ-изделия. // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1982. - Вып. 12. - С. 18-25.

3. Ребров С.И., Сазонов В.П. Оценка перспектив развития различных направлений сверхвысокочастотной электроники // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1982. - вып. 12. - С. 5-17.

4. G.Faillon, J.P.Devillinger. Elmrovemets in the performance characteristics of 6 Hz earth-station Klystrons. Microwave Journal. - 1980. - № 7. - P.57.

5. G.W.Ewell, D.S.Zadd, J.C.Butterworth. High Power Millimeter-Wave Radar

6. Transmitters. // Microwave Journal. 1980. - №8. - P.57.2

7. Magnetron occupying just 10 cm puts out 250 W. Electronic Design. - 1980.- № 25. P.48.

8. Новоселец В.И. О вакуумных пробоях в многолучевых мощных пролетных клистронах на высшем и основном виде колебаний // Электронная техника. Сер.1. СВЧ техника.- 2008. - № 2. - С. 53-61.

9. Татаринова Н.В. Вакуумная электроизоляция (обзор) // Вакуумная техника и технология. 2003. - Т. 13. - № 1. - С. 3-28.

10. V.A. Kurnaev, N.V. Tatarinova. Erosion of PFC materials induced by poroelec-tron emission // Journal of Nuclear Materials. 1995 - P.939 - 942.

11. Воронин В.И., Конюшков Г.В., Лемякин А.А. Откачка электровакуумных приборов с разнесением частей // Радиотехника. 2010. - №6. - С. 23-28.

12. Черепнин Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. М.: Советское радио, 1967. - С. 408.

13. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Советское радио, 1973. - С. 384.

14. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла.- М.: Мир,. 1967.-С.506.

15. Современная вакуумная техника. Сборник статей; пер. с англ. под ред.

16. Черепнина Н.В. Иностранная литература, 1963. - С.415.

17. Розанов J1.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 2007. - С.391.

18. Сорбционные процессы в вакууме. Пер. с англ. под ред. Мызникова К.Н. -М.: Атомиздат, 1966.-С.313.

19. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники; пер с англ. М.: Мир, 1964.-С.715.

20. Пипко А.И., Плисковский В .Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1979. - С. 504.

21. Ларин М.П., Богданов В.В. Методы снижения десорбции поверхностей сверхвысоковакуумных камер на 3-5 порядков //Тезисы докладов Всероссийского семинара «Вакуумная техника и технология -2002». Санкт-Петербург. - 2002. - С. 6.

22. Саксаганский Г.Л., Котельников Ю.Н., Малеев М.Д., Смирницкая Г.В., Юферов В.Б. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппарато-строении. М.: Атомиздат, 1976. - С.288.

23. В Гейнце. Введение в вакуумную технику. Пер. с нем. М. - Л.: Госэнер-гоатомиздат, 1960. - С.511.

24. Тренд ел енбург Э. Сверхвысокий вакуум. Пер. с нем. под редакцией. Меньшикова М.И. - М.: Мир, 1966. - С.286.

25. Malev М. D. Gas absorbtion and outgasing of metals. // Vacuum. 1973. Vol.23. N. 2. P.43-50.

26. Edelman C., Kunz I. Remarks concerning the interpretation of longterm outgasing rate measurements with the help of the rise of pressure method be theory of Malev. // Vacuum, 1995. Vol. 46 N. 2. P. 159 163.

27. Сытник А.Я. Газовыделение и активировка металлопористого катода в условиях откачки электровакуумного прибора // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1980. - Вып. 12. - С. 27-29.

28. Сытник А.Я., Бугаева A.M., Гурьянов Н.И. Откачка малогабаритного генератора О-типа с прессованным металлопористым катодом // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1981. - Вып.8. - С. 44-46.

29. Сытник А .Я., Дюбуа Б.Ч. Влияние водорода на обезгаживание и активирование катодов на основе сплава палладия с барием. // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1976. - Вып.6. - С. 68-71.

30. Сазонов В.Н. Анализ газовыделения металлов при электронной бомбардировке как метод контроля состояния поверхности // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1971. - Вып. 9. - С. 46-50.

31. Коноплев В.Е., Сазонов В.Н., Эфрос В.Я. Предварительное обезгаживание деталей ЭВП электронным лучом // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1973. - Вып.7. - С. 105-106.

32. Кудинцева Г.А., Мельников А.И., Морозов А.В., Никонов Б.П. Термоэлектронные катоды. М. - Д.: Энергия, 1966. - С.366.

33. Подкопаева Н.Н, Чистякова М.А., Шепсенвол А.В. Влияние газовой среды в процессе разложения карбонатов на свойства оксидного катода // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1973. -Вып.1. - С. 76-88.

34. Сиваков Е.П. О возможности восстановления окиси бария атомарным водородом // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1974. - Вып.7. - С. 78-86.

35. Чистякова М.А., Подкопаева Н.Н., Першина J1.H. Применение водорода для повышения отбора тока с оксидного катода // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1977. - Вып.7. - С. 123-131.

36. Киселев А.Б., Коноплев В.Е., Эфрос В.Я. О применении водорода при откачке ЭВП с оксидным катодом // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1977. - Вып. 1. - С. 80-89.

37. Maloney С.Е., Riohardson N. Sume results of anger spectroscopy and Emission Microscopy Applied to Impregnated Cathodes // Applications of Sinfece Science. 1982. - Vol.8, № х/2. - P.2-12.

38. Lambert R.M., Compne C.M. A Convement electrical dischange method eliminating hydrocarbon contrannitation from sbainless steel UHV Systems // J. Vac. Sci. Technol. 1974. - Vol. 11,- P.330.

39. Астафьев А.Я. О контроле процесса откачки электровакуумных приборов // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1964. - Вып.9. - С. 164173/

40. Product Catalog. 2008, Varían.

41. Vacuum Technology. 2008, Pfeiffer Vacuum.

42. Астраханцева Н.Ф., Джуринский К.Б., Коноплев В.Н. Обезгаживание узлов в среде аргона // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1972. -Вып.6. - С. 87-92.

43. Moseson R., Nicherson L.W. Application of low energy sputtering for thin film deposition. Semicond. Prod. And Solid State Technol. - 1964. - Vol.7, № 12. -P.33-36.

44. Seeman J.M. Ion Sputtered thin film. AIAA Bull. - 1965. Vol.2, № 36. -P.97-98.

45. Hullurt E.O. The preparation metal film. Rev. Sei. Instruments. — 1934. -Vol.5.-P.85-88.

46. Gunterschulze A. kathodenzerstäubung . Die electrochemische Zerstäubung. -Z. Phys. 1926, № 36. - P.563.

47. Веденеев В.И. Энергия разрыва химических связей и потенциалы ионизации // Справочник. М.: Издательство АН СССР. - 1962.

48. Bergh A.A. Atomic hydrogen as of reducing agent. The Bell Syst. Technol. J. - 1965. - Vol. XLIV, № 2. - P.261.

49. Змиевской Ю.Н., Токарев B.C. Ионное травление деталей ПУЛ // Вопросы радиоэлектроники. Сер.4. 1966. Вып.1. - С.56.

50. Токарев B.C. Влияние ионной обработки деталей электровакуумных приборов на их параметры // Электронная техника. Сер. Технология и организация производства. 1966. - Вып.5. - С.41.

51. Балакирева Н.З., Куренная О.И., Отмахова Н.Г. Исследование очистки поверхностей деталей в плазме тлеющего разряда // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1968. - вып.Ю. - С. 133-138.

52. Спиридонов Ю.С. Ионно-плазменная очистка электровакуумных приборов в ходе откачки // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1971. -вып.1.-С. 116.

53. Спиридонов Ю.С. Обработка ПУЛ с помощью СВЧ плазмы // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1972. -вып.4. - С.48.

54. Сенькин О.С., Спиридонов Ю.С. Очистка вакуумных систем в плазме. //Электронная промышленность. 1974. - вып.5. - С.27.

55. О' Kane D.F., Mittal K.Z. Plasma cleaning of metal surfaces // Vac. Sei. and Technol. 1970. - №7. - P.552.

56. Техника высокого вакуума под ред. Морана М., пер с франц. № 33-849. Под ред С.И. Гоникберга Практический курс вакуумной техники - М.: -МЭП.- 1965.-С. 174.

57. Лекк Дж. Измерение давления в вакуумных системах. Пер. с англ. М.: Мир. - 1966.-С.208.

58. Vacuum Technology. 2010. Pfeiffer Vacuum.

59. Глебов Г.Д. Поглощение газов активными металлами. М—Л.: Госэнер-гоиздат, 1961. С. 184.

60. Маханов В.И. Сорбционная активность высокопористого титана // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1987. -Вып.З. - С. 58-61.

61. Быков Д.В., Пустовойт Ю.М., Столяров В.Н., Кондрашова О.И., Петров B.C. Способ получения ультравысокого вакуума с помощью нераспыляемых геттеров // Вакуумная техника и технология. 2002. - Т. 12, № 1. - С.5-10.

62. Иевлев А.П., Любимов М.Л., Маликова И.П., Мишкин А.Г. Применение губчатого титана в качестве нераспыляющегося газопоглотителя // Вопросы радиоэлектроники. Сер.1. Электроника. 1959. -Вып.4. - С. 162.

63. Демина Т.И. Миниатюрный газопоглотитель генератор водорода // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1977. -Вып.6. - С. 104-105.

64. Волчкевич А.И. Геттерные насосы с омическим нагревом // материалы 12 научно-технической конференции Вакуумная наука и техника М.: МИЭМ -2002-С. 335-337.

65. Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы. М.: Энергия. - 1970. - С.112

66. Алямовский И.В. Электронные пучки и электронные пушки. М.: Советское радио. 1966.-С. 187.

67. Благодарный В.В., Григорова Н.П. Оптимизация откачки и тренировки ЛОВ // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1984. - Вып.1. - С. 53-55.

68. Молчанова Г.В. Исследование эффективности обработки электровакуумных приборов водородом в процессе откачки // Электронная техника. Сер. 1.

69. Электроника СВЧ. 1976. - Вып.1. - С. 87-92.

70. Татаринова Н. В. Влияние процессов в порах поверхностей электродов на вакуумную электроизоляцию: дисс. доктора физико-математических наук. -М.: МИФИ.- 1998.-С. 303.

71. Вилков А.Н. Электрический пробой и энерговыделение во время пробоя в ЭВП СВЧ О-типа в схеме с постоянным напряжением на катоде // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1997. - вып.2. - С. 34 - 39.

72. Латам Р. Вакуумная изоляция установок высокого напряжения. //Лондон 1981 - перевод с англ. -М.: Энергоатомиздат, 1985. - С. 187.

73. Сливков И.Н. Электрический пробой и разряд и разряд в вакууме. М.: Атомиздат, 1966. - С.298.

74. Саксаганский Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы. М.: Энерго-атомиздат, 1988. - С. 280.

75. Ланис В.А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М.: Госатом-энергоиздат, 1963. - С. 264.

76. Волчкевич А.И. Высоковакуумные адсорбционные насосы. М.: Машиностроение, 1973. - С. 158.

77. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, 1975.-С. 336.

78. Саксаганский Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980. - С.216.

79. Астафьев А.Я. Контроль процесса откачки. Повышение надежности электронных приборов СВЧ в процессе их производства. - Под общей редакцией С.И. Реброва. - НИИЭТ, 1968. - С.304-319.

80. Корепин Г.Ф. Простой способ отбраковки натекающих и "газных" ЭВП // Электронная техника. Сер.1. СВЧ техника - 1999. - № 2. - С. 42-43.

81. Корепин Г.Ф. Термовакуумная обработка ЭВП // 100 лекций по повышению квалификации ИТР под редакцией Королева А.Н. Фрязино. - ФГУП «НПП «Исток», 2005. - Т.1. - 4.2. - С.169-204.

82. Корепин Г.Ф. Термовакуумная обработка электронной пушки и вероятность электрических пробоев высоковольтных ЭВП // Вакуумная техника и технология. 2007. - Т.17, № 2. - С.123-130.

83. Татаринова Н.В., Новиков Н.Е., Соколов B.C., Волков Н.В., Воробьев В.Л. Эрозионно-эмиссионные процессы, индуцированные плазмой в микропорах поверхности // Известия РАН. Серия физическая. - 1992. - Т. 16, № 7. - С. 65-66.

84. Зильберман М.М., Когель М.Л. Вакуумный пробой в высоковольтном триоде с оксидноникелевым катодом // материалы 10ой научно технической конференции «Вакуумная наука и техника». Материалы конференции. -МИИЭМ. - 2002. - С. - 331- 333.

85. Чистяков П.Н., Радиановский А.Л., Татаринова Н.В., Новиков Н.Е., Тре-щикова Д.С. Пробой вакуума при контролируемом состоянии поверхностей электродов // Журнал технической физики. 1972. - T.XL11, № 4. - С.821-825

86. Корепин Г.Ф. Критическое время обезгаживания ЭВП СВЧ. // Вакуумная техника и технология. 2007. - Т.17, № 3. - С. 167-175.

87. Schittko F.J. Gasabgemessungen von festen Oberflachen. //Vakuum-Technik -1963.-Bd. 12, H5.-S.24.

88. Чесноков Б.П. Воздействие облучения на обезгаживание вакуумирован-ных объектов // материалы 10ой научно технической конференции «Вакуумная наука и техника». Материалы конференции. - МИИЭМ. - 2002.1. С. 12-15 .

89. Корепин Г.Ф., Полевич А.И. Определение причин повышения давления в вакуумной системе в процессе откачки электровакуумных приборов // Материалы научно-технического семинара «Вакуумная техника и технология». -Санкт-Петербург. 2004. - С. 103-104

90. Попов В.Ф. Остаточные газы в металлокерамических электровакуумных приборах // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1970. - Вып.З. -С. 124-128.

91. Розанов Л.Н. Десорбционное газовыделение конструкционных вакуумных материалов // Вакуумная техника и технология. 2011. - Т.21, № 2. -С.143-150.

92. Лапшин С.А., Шинова В.И. Влияние температурных условий эксплуатации на парциальные давления газов ЭВП // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1973. - вып.4. - С. 89- 101

93. Корепин Г.Ф., Юнаков А.Н. Стоки и истоки поверхностных газов отпаянных ЭВП // Вакуумная техника и технология. Тезисы докладов научно-технической конференции «Вакуумная техника и технология-2010». -Санкт-Петербург. - 2010. - Т.20, № 2. - С.56.

94. Фискис А.Я. Оптимизация режимов обезгаживаиия ЭВП СВЧ на основе определения источников газовыделения // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ 1971. - Вып. 10. - С. 81-88.

95. Сытник А .Я., Переварюха С.Н. Криодокачка остаточных газов из ЭВП // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1978. - Вып.1. - С. 85-87.

96. Астраханцева Н.Ф., Маркин Б.В. Контроль качества обезгаживания электродов электронной пушки малошумящих усилителей // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1989. - Вып.2. - С. 58-60.

97. Корепин Г.Ф. Особенности контроля герметичности отпаянных ЭВП // Тезисы докладов Всероссийского семинара «Вакуумная техника и технология 2002». - Санкт-Петербург. - 2002. - С. 16-17.

98. Остаточные газы в электронных лампах. // Пер. с англ. Под редакцией Г.Д.Глебова. М.: 1967. - С.289.

99. Корепин Г.Ф, Юнаков А.Н. Стоки и истоки поверхностных газов отпаянных ЭВП // Вакуумная техника и технология. 2010. - Т.20, №2. - С.71-76.

100. Корепин Г.Ф., Юнаков А.Н. Поверхностное газосодержание и термовакуумная обработка электронной пушки высоковольтных ЭВП // Материалы 12-ой научно-технической конфренции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ -2005. С. 89-93.

101. Волчкевич А.И., Демешкевич Т.Б., Орлов К.Н. Сокращение цикла откачки ЭВП // Тезисы докладов конференции «Получение и сохранение вакуума». ЦНИИ Электроника. - 1972. - С10-11.

102. Пошехонов П.В. Исследование механизмов пробоя высоковольтных импульсных модуляторных приборов и методы повышения их электрической прочности. Автореферат дис. на соискание уч. ст. д.т.н. - РРТИ. - Рязань. -1966.

103. Корепин Г.Ф., Пугнин В.И., Юнаков А.Н. Определение источника газовыделения в процессе высоковольтной тренировки ЭВП // Наукоемкие технологии 2005. - Т.6, № 5. - С.47-50.

104. Корепин Г.Ф., Полевич А.И. Динамика коэффициента компрессии фор-вакуумного насоса по водороду // Вакуумная техника и технология. 2004. -Т. 14, №3. с. 139-147.

105. Розанов JI.H. Десорбционное газовыделение вакуумных систем // Вакуумная техника и технология. 2004. - Т. 14, № 2. - С.205-211.

106. Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. Физические величины. -Справочник.-М.: Энергоатомиздат, 1991.

107. Корепин Г.Ф. Проблемы откачки металлокерамических ЭВП СВЧ // Электронная техника. Сер.1. СВЧ техника. - 2008. - № 4. - С. 23-46.

108. Корепин Г.Ф., Климова H.H., Сытник А.Я. Критическое время обезгаживания ЭВП СВЧ // Тезисы докладов научно-технического семинара «Вакуумная техника и технология-2003». Санкт-Петербург. - 2003. - С.117.

109. Мишкин А.Г. Получение и сохранение сверхвысокого вакуума в приборах СВЧ. Справочные материалы МЭП. - 1966. - С.85.

110. Гильманов К.С., Любимов М.Л., Мишкин А.Г. Опыт откачки мощных ЭВП СВЧ разными вакуумными системами // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1973. - Вып.4. - С. 102-108.

111. Бударников В.Н. Откачка ЭВП с электронным обезгаживанием

112. Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1980. - Вып.4. - С. 69-72.

113. Корепин Г.Ф. Поверхностное газосодержание отпаянных ЭВП // Вакуумная техника и технология. 2007. - Т. 17, № 4. - С.285 - 292.

114. Деулин Е.А., Родина Е.А. Адсорбированная вода как источник растворенных газов в конструкционных материалах // Вакуумная техника и технология. 2003. - Т. 13, № 2. - С.77-82

115. Розанов JI.H. Масс-спектрометрический метод контроля герметичности вакуумных систем // Тезисы докладов Всероссийского семинара «Вакуумная техника и технология-2002». Санкт-Петербург. - 2002. - С.3-7.

116. Корепин Г.Ф., Киселев А.Б. Способ измерения изменения парциальных давлений газов в мощном электровакуумном приборе. // Патент РФ № 2306551, зарегистрирован 20.09.2007.

117. Бакуменко A.B., Киселев А.Б., Корепин Г.Ф., Морозов O.A., Соколов A.M. // Способ реставрации электровакуумных приборов с оксидным катодом. Патент РФ № 2243611, зарегистрирован 27.12.2004.

118. Бакуменко A.B., Земчихин Е.М., Киселев А.Б., Корепин Г.Ф., Лопин М.И. // Способ реставрации электровакуумных СВЧ-приборов большой мощности. Патент РФ № 2244979, зарегистрирован 20.01.2005.

119. Повышение надежности электронных приборов СВЧ в процессе их производства. Под общей редакцией С.И. Реброва // НИИЭТ. 1968.

120. Закиров Ф.Г., Ильин В.Н. Методы контроля герметичности отпаянных ЭВП // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1975. - Вып.1. - С. 98-103.

121. Волчкевич А.И. Некоторые особенности работы магниторазрядного насоса в области давлений < 10~ш торр. // материалы 12 научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». М.: МИЭМ - 2005 - С. 87 - 88.

122. Молчанова Л.Г., Скакун А.И. Ионизационный метод контроля герметичности отпаянных ЭВП СВЧ // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ.-1974.-Вып. 12.-С. 100-105.

123. Молчанова Л.Г. Смирнов Ю.Н., Рязанов В.А., Боряков Д.М., Денисов А.Ф. Высокочувствительная установка контроля герметичности отпаянных

124. ЭВП ионизационным методом // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1979. - Вып.5. - С. 71-74.

125. Молчанова Л.Г., Милютин Д.Д., Кузьмин Ф.П. Обнаружение течей в отпаянных электровакуумных приборах // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1971. - Вып.7. - С. 63-67.

126. Курбатов O.K. Оптимизация конструкции магниторазрядных насосов // Вакуумная техника и технология. 2005. - Т.15, № 2. - С.121-126.

127. Курбатов O.K. Метод измерения быстроты действия малогабаритных магниторазрядных насосов, исключающий эффект откачки манометрических преобразователей // Вакуумная техника и технология. 2005. - Т.15, № 2. -С.117-118.

128. Волкова Н.И., Самарцев И.И., Юхвидин Я.А. Миниатюрный электроразрядный насос // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. 1974. -вып.б.-С. 98-100.

129. Рейхрдель Э.М., Шеретов Э.П. О механизме зажигания разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях в высоком вакууме // ЖТФ. Т. 35, № 7. - С.1255-1261. Плюс 132.

130. Волкова Н.И., Корепин Г.Ф., Самарцев И.И. Особенности запаздывания зажигания разряда миниатюрных магнитных электроразрядных насосов // Сборник научных трудов НТС «Вакуумная техника и технология-2009». -Санкт-Петербург. 2009. - С.27-29.

131. Корепин Г.Ф. О применении магнитных электроразрядных насосов ЭВП СВЧ // Вакуумная техника и технология. Тезисы докладов научно-технической конференции «Вакуумная техника и технология-2011». - Санкт-Петербург. - 2011. - Т.21, № 2. - С.80-82.

132. Корепин Г.Ф. Особенности проводимости вакуумного промежутка // Вакуумная техника и технология. Тезисы докладов Всероссийского семинара «Вакуумная техника и технология-2003». - Санкт-Петербург. - 2003. - .118.

133. Корепин Г.Ф., Полевич А.И. Поиск течей в отпаянных ЭВП // Тезисы докладов научно-технического семинара «Контроль герметичности-2000». -Санкт-Петербург. 2000. - С.4.

134. Корепин Г.Ф., Котюргин Е.А., Полевич А.И. Повышение чувствительности поиска течей отпаянных ЭВП СВЧ // Тезисы докладов научно-технического семинара «Контроль герметичности-2001». Санкт-Петербург. - 2001. - С.10-11.

135. Корепин Г.Ф. Ограничение чувствительности течеискания отпаянных ЭВП //Вакуумная техника и технология. Тезисы докладов Всероссийского семинара «Вакуумная техника и технология-2006». - Санкт-Петербург. -Т. 16, № 1. - 2006. - С.23-24.

136. Корепин Г.Ф., Стефаненко A.A. Классификация течей ЭВП СВЧ // Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника. Материалы юбилейной научно-технической конференции. 2003. - № 1. - часть 1. - С. 45-51.

137. Кривопустова Е.В., Розанов JT.H. Определение требований герметичности при различных условиях испытаний и эксплуатации // Вакуумная техника и технология. 2009. - Т. 19, № 1. - С.31-32.146. Реклама фирмы SPI, 1998.

138. Яворский Б.М., Детлаф A.A. Справочник по физике. М.: Наука, 1971, С.487.

139. Корепин Г.Ф. Условия герметизации течей ЭВП СВЧ // Материалы научно-технической конференции. «Вакуумная наука и техника» - М.: МИ-ЭМ, 2004-С. 100-104.