Повышение электрической прочности межэлектродных промежутков многолучевых клистронов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Вашин Сергей Александрович

• Вашин Сергей Александрович
• кандидат наук
• 2023

Оглавление диссертации кандидат наук Вашин Сергей Александрович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ОБЕСПЕЧЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ЭВП

1.1 Основные причины развития внутривакуумных пробоев

1.2 Меры по повышению электрической прочности ЭВП

1.3 Способы повышения электрической прочности с помощью процесса высоковольтной тренировки

1.3.1 Высоковольтная тренировка ЭВП на постоянном напряжении

1.3.2 Высоковольтная тренировка ЭВП на переменном напряжении

1.3.3 Высоковольтная тренировка ЭВП в импульсном режиме

1.3.4 Анализ способов высоковольтной тренировки

1.4 Выводы

ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ГАЗОВ С ПОВЕРХНОСТЕЙ ЭЛЕКТРОДОВ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ ПРОЧНОСТЬ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ ПРОМЕЖУТКОВ ОТПАЯННЫХ МЛК

2.1 Использование встроенного магнитного электроразрядного насоса для откачки и определения давления остаточных газов отпаянных ЭВП

2.2 Исследование частоты электрических пробоев межэлектродных промежутков от давления остаточных газов в отпаянных МЛК

2.3 Процессы переноса газов в объеме отпаянных МЛК

2.4 Влияние процессов переноса газов в отпаянных МЛК на ток утечки межэлектродных промежутков

2.5 Электрическая прочность межэлектродных промежутков в МЛК при давлении остаточных газов выше 10-5 Па

2.5.1 Оценка числа молекул водорода, поглощаемых катодом при его работе

2.6 Десорбция адсорбированных газов электрическим полем в отпаянных МЛК

2.6.1 Десорбция газов на межэлектродном промежутке сетка-анод

2.6.2 Десорбция газов на межэлектродном промежутке сетка - катод

2.6.3 Исследование десорбции газов с поверхностей электродов в МЛК с

натеканием

2.7 Выводы

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК ВЫСОКОВОЛЬТНОЙ ТРЕНИРОВКИ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩИХ ПОВЫШЕННУЮ ЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ ПРОЧНОСТЬ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ ПРОМЕЖУТКОВ МЛК

3.1 Анализ дефектов ЭВП после технологического процесса откачки

3.1.1 Оценка величины энергии пробоя необходимой для разрушения острий

3.2 Увеличение электрической прочности отпаянных МЛК при высоковольтной тренировке и повышенном давлении остаточных газов

3.3 Методика одновременной высоковольтной тренировки межэлектродных промежутков отпаянных МЛК среднего и высокого уровня мощности

3.4 Методика снижения токов автоэлектронной эмиссии межэлектродного промежутка сетка-анод в отпаянных МЛК

3.5 Определение и снижение токов утечки изоляторов отпаянных ЭВП

3.5.1 Методика определения токов утечки изоляторов

3.5.2 Методика снижения токов утечки изоляторов

3.5.3 Определение предельного напряжения высоковольтной тренировки изоляторов ЭВП среднего уровня мощности

3.6 Выводы

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СПОСОБОВ ПОВЫШЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ МЛК

4.1 Исследование причин появления токов утечки внутри изоляторов в процессе откачки МЛК и возможности их устранения

4.2 Исследование масс-спектра остаточных газов при натекании МЛК в процессе его откачки

4.3 Выбор способа сварки узлов малогабаритных МЛК

4.3.1 Анализ способов сварки пушек малогабаритных МЛК

4.3.2 Анализ ВАХ в дефектных малогабаритных МЛК по параметрам токов утечки

4.4 Проблема поиска сложных течей и условия их герметизации

4.4.1 Течеискание в отпаянных ЭВП

4.4.2 Исследование сложных течей с балластным (дополнительным) объемом

4.3.3 Особенности герметизации течей с балластным объёмом

4.5 Разработка и исследование детонационных поглотителей СВЧ-энергии с увеличенной прочностью сцепления покрытия с подложкой

4.5.1 Выбор материала покрытия поглотителей СВЧ - энергии и способа его нанесения

4.5.2 Разработка технологии подготовки поверхности перед детонационным напылением с целью повышения прочности сцепления покрытий с

подложкой

4.5.3 Технология нанесения детонационных покрытий с повышенной прочностью сцепления с подложкой

4.5.4 Напыление и исследование поглотителей СВЧ-энергии, нанесенных детонационным методом

4.6 Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СОКРАЩЕНИЯ

ЛИТЕРАТУРА

Приложение. Акты внедрения результатов диссертации

162

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение электрической прочности межэлектродных промежутков многолучевых клистронов»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность проблемы. В современной радиоэлектронной аппаратуре широко применяются электровакуумные приборы сверхвысоких частот (ЭВП СВЧ) - многолучевые клистроны (МЛК), лампы бегущей волны (ЛБВ), магнетроны и др. Одним из основных требований, предъявляемых к ЭВП СВЧ, является необходимость обеспечения высокой эксплуатационной надежности, в том числе -сохранение электрической прочности в процессе их эксплуатации. Возникновение токов утечки и развитие пробоев в межэлектродных промежутках ЭВП СВЧ приводит к потере приборами своего функционального назначения. В связи с этим обеспечение высокой электрической прочности является одной из основных задач, возникающих при разработке ЭВП СВЧ, их изготовлении и эксплуатации [1].

Вопросы обеспечения электрической прочности межэлектродных промежутков ЭВП исследовали многие отечественные и зарубежные исследователи: Бондаренко Б.В., Гиваргизов Е.И., Горфинкель Б.И., Григорьев Ю.А., Емельянов А.А., Гуляев Ю.В., Егоров Н.В., Елинсон М.И., Елецкий А.В., Бахтизин Р.З., Махов В.И., Рахимов А.Т., Синицын Н.И., Соминский Г.Г., Татаринова Н.В., Масленников С.П., Месяц Г.А., Фурсей Г.Н., Шредник В.Н., Шешин Е.П., Шестеркин В.И., Проскуровский Д.И., Литвинов Е.А. и многие другие.

В ходе проведенных ими исследований электрической прочности было показано, что нарушения электрической прочности вакуумной электроизоляции могут быть связаны с микроразрядами, пробоями и паразитными токами между электродами ЭВП (токами утечки). При этом появление токов утечки по изоляторам электронной пушки связано с образованием проводящих пленок снаружи или внутри, а токи утечки в межэлектродном промежутке в основном обусловлены автоэлектронной эмиссией с острых выступов и неровностей на поверхностях электродов, термоэлектронной эмиссией, ионным током [1-22].

Для улучшения электрической прочности вакуумной электроизоляции предлагалось применение высоковольтной тренировки от различных источников

напряжения (переменного, постоянного или импульсного). Способ высоковольтной «холодной» тренировки от источников постоянного тока с разрядным конденсатором рассматривался в качестве основного [4]. Однако, описанные в литературе технологии (методики) одновременной тренировки (при фиксированных напряжениях процесса) и смена полярности (с минусовой на плюсовую) высоковольтного источника постоянного напряжения не всегда позволяли снизить токи утечки межэлектродных промежутков в ЭВП.

Кроме того, в связи с требованиями увеличения электрической прочности разрабатываемых современных ЭВП (помимо высоковольтной тренировки межэлектродных промежутков), а также с целью снижения количества свободных частиц в вакуумном объеме и напылений на керамические изоляторы появилась необходимость совершенствования конструкции и технологии изготовления приборов СВЧ.

Несмотря на достаточно большое количество теоретических и экспериментальных работ, связанных с исследованием электрической прочности МЛК, ряд задач на момент постановки диссертационной работы оставался малоизученным.

В МЛК с давлением остаточных газов 10-6...10-7 Па проведение высоковольтной тренировки в отпаянных приборах затруднено в связи с малым числом пробоев или их отсутствием. На момент постановки работы не была также полностью решена задача определения и снижения токов утечки изоляторов с учетом целостности изоляторов при высоковольтной тренировке.

Кроме этого, отсутствовали покрытия поглотителей СВЧ-энергии с высокой прочностью сцепления, исключающие появление свободных частиц в вакуумном объеме прибора.

Производство современных МЛК с предельными характеристиками и высокой напряженностью электрического поля между электродами ставит задачи по продолжению исследований в области разработки практических технологий (методик) высоковольтной тренировки отпаянных МЛК (после откачки), а также технологических методов повышения электрической прочности.

Таким образом, работа по увеличению электрической прочности МЛК, модернизация, исследование технологии изготовления МЛК, а также разработка эффективных методик высоковольтной тренировки, является актуальной.

Цель работы - повышение электрической прочности многолучевых клистронов различного уровня выходной мощности. Основные задачи исследований:

- разработка методик высоковольтной тренировки, снижающих токи утечки (токи автоэлектронной эмиссии и токи по изоляторам) и длительность процесса высоковольтной тренировки МЛК;

- исследование влияния величины давления газов в отпаянных МЛК на процесс высоковольтной тренировки;

- исследование распределения температуры на поверхности прибора в зависимости от величины рассеиваемой на нем мощности при наличии токов утечки по изолятору и токов автоэлектронной эмиссии;

- определение влияния технологических процессов изготовления приборов (сварки малогабаритных клистронов, откачки) на величины токов утечки по изоляторам;

- исследование изменения величин давлений при наличии сложных течей в дополнительных полостях (дефектах) материалов отпаянных МЛК;

- разработка технологии нанесения покрытия, стойкого к осыпанию, при изготовлении поглотителя СВЧ-энергии для МЛК.

Объект исследований - многолучевые клистроны разного типа. Предмет исследования:

- технологии (методики) высоковольтной тренировки;

- процессы высоковольтной тренировки при повышенных давлениях остаточных газов в отпаянных МЛК и изменениях температуры поверхностей приборов;

- определение параметров температурной обработки катода и качественной оценки состава остаточных газов в процессе откачки МЛК;

- процессы изменения давления остаточных газов при поиске и герметизации сложных течей в МЛК;

- детонационная технология нанесения поглощающих СВЧ-энергию покрытий.

Направления исследования:

- научные и методологические основы построения процесса высоковольтной тренировки с учетом вида тока утечки межэлектродного промежутка МЛК;

- качественное и количественное определение состава газов в вакуумном объеме МЛК;

- методы исследования и контроля потока десорбированных газов в отпаянных МЛК при подаче напряжения на межэлектродный промежуток;

- определение и разделение токов утечки по внешней и внутренней поверхности изоляторов вакуумной оболочки МЛК;

- исследование влияния процесса откачки на образование и устранение проводящих пленок на изоляторах МЛК;

- исследование возможности применения детонационных покрытий из оксида титана в качестве поглотителей СВЧ-энергии в МЛК с целью увеличения прочности сцепления их с подложкой.

Научная новизна работы:

1. Впервые показано, что повышение давления остаточных газов в отпаянных МЛК от 2Д-10-4 до 1,6-10-3 Па обеспечивает ускорение процесса высоковольтной тренировки приборов и снижение токов автоэлектронной эмиссии за счет возрастания частоты пробоев на межэлектродных промежутках.

2. Установлено, что в процессе проведения одновременной тренировки межэлектродных зазоров сетка-катод и сетка-анод повышение напряжения на аноде МЛК (промежуток сетка-анод) до пробивного значения позволяет получать пробои на другом промежутке (промежуток сетка-катод), за счет чего снижаются токи автоэлектронной эмиссии на межэлектродном промежутке сетка-катод.

3. На основе экспериментальных исследований процесса высоковольтной тренировки показано, что во время разогрева проводящей пленки изолятора собственным током при температуре изолятора не превышающей 170°С обеспечивается сохранность изолятора и снижение токов утечки.

4. Повышение напряжения до пробивного значения и разогрев изолятора ЭВП током автоэлектронной эмиссии до 170°С в процессе высоковольтной тренировки

позволяет снизить значительные (от 1 до 10 мА) токи автоэлектронной эмиссии межэлектродного промежутка сетка-анод.

5. Температура нагрева поверхностей МЛК в процессе высоковольтной тренировки линейно зависит от выделяемой мощности на тренируемом вакуумном промежутке.

6. Применение новой технологии детонационного напыления, а также разработанных способов подготовки поверхности подложки позволяет получать покрытие поглотителя СВЧ-энергии из ТЮ2 с прочностью сцепления ~ 40 МПа.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Создание в отпаянном изделии повышенного давления на уровне от 2,1-10-4 до 1,6-10-3 Па при высоковольтной тренировке МЛК обеспечивает ускорение процесса тренировки в 2...3 раза и снижение токов утечки до 5.20 раз (Пат. №2 2656147 РФ).

2. Применение одновременной высоковольтной тренировки двух промежутков сетка-катод и сетка-анод с организацией маломощных пробоев энергией (0,4...2,6)10-2 Дж в промежутке сетка - анод позволяет инициировать пробой в другом промежутке сетка-катод типовых МЛК среднего и высокого уровня мощности, что обеспечивает эффективное снижение токов утечки вакуумного промежутка сетка-катод в 5.20 раз.

3. Увеличение электрической прочности клистронов за счет повышения прочности сцепления с подложкой стойкого к осыпанию покрытия поглотителя СВЧ-энергии и снижение количества свободных частиц в вакуумном объеме обеспечивается за счет применения в резонаторах МЛК поглотителей из оксида титана в виде рутила, нанесенного детонационным способом (Пат. № 2712326 РФ, Пат. № 2545883 РФ, Пат. № 2545880 РФ).

Практическая ценность работы.

1. Разработанная и внедренная в производство МЛК методика высоковольтной тренировки при повышенном давлении остаточных газов снижает время высоковольтной тренировки в 2.3 раза и токи утечки межэлектродных промежутков в 5.20 раз (Пат. РФ № 2656147).

2. Разработаны и внедрены в производство приборов три методики высоковольтной тренировки (методика одновременной тренировки двух межэлектродных промежутков, методика тренировки при значительных токах автоэлектронной эмиссии и методика испарения проводящей пленки изоляторов), применение которых снизило токи утечки межэлектродных промежутков в 5.. .20 раз.

3. Разработана и внедрена методика, позволяющая определять методом высоковольтной тренировки внешнюю и внутреннюю проводимости изоляторов ЭВП.

4. Разработан и внедрен комплекс алгоритмов (технологий) высоковольтной тренировки по повышению электрической прочности, за счет снижения и определения токов утечки межэлектродных промежутков отпаянных МЛК.

5. Разработана технология изготовления поглотителя СВЧ-энергии с помощью детонационного напыления из материала ТЮ2 с существенно более высокой прочностью сцепления с подложкой (40 МПа) по сравнению с применяемыми способами нанесения (Пат. № 2712326 РФ), а также разработаны способы повышения прочности сцепления получаемого покрытия (Пат. № 2545883 РФ, Пат. № 2545880 РФ).

Достоверность научных результатов подтверждена использованием поверенного и аттестованного современного оборудования, применением статистических методов обработки результатов обширного массива полученных в ходе выполнения диссертационной работы экспериментальных данных, сопоставлением с полученными выводами других авторов.

Обоснованность научных положений доказана лабораторными исследованиями и опытно-промышленным испытанием разработанных технологий. Основные выводы работы соответствуют известным концепциям и фундаментальным положениям теории по повышению электрической прочности ЭВП СВЧ.

Личный вклад автора заключался в формулировке целей и постановке задач исследований, выполнении большей части экспериментов, анализе и интерпретации

результатов, подготовке научных публикаций и докладов по результатам проведенных исследований. Кроме этого, разработан и внедрен в производство МЛК комплекс алгоритмов (технологий) высоковольтной тренировки. При непосредственном участии автора проведены исследования влияния распределения температуры на поверхности прибора на величину рассеиваемой на нем мощности. Совместно с соавторами исследовано влияние технологических процессов изготовления приборов (сварки малогабаритных клистронов, откачки, течеискания приборов) на величины токов утечки по изоляторам. Автором разработаны технологии и способы детонационного напыления покрытия поглотителя СВЧ-энергии из оксида титана, а совместно с соавторами исследованы возможности применения его в МЛК.

Апробация результатов работы. Основные положения диссертации были доложены и опубликованы в материалах 7-ми международных и всероссийских научно-технических конференций.

Соответствие паспорту научной специальности. Область исследования соответствует № пп. 3, 5-8 паспорта специальности 2.2.1. - «Вакуумная и плазменная электроника».

Публикации. По материалам диссертации опубликовано 30 печатных работ, 8 - в рецензируемых научных изданиях из перечня ВАК, 18 - в прочих научных журналах и изданиях, получено 4 патента РФ на изобретения.

Внедрение результатов исследований.

Результаты исследований внедрены в технологический процесс изготовления приборов СВЧ и подтверждены актами внедрения (см. Приложение).

Структура работы. Работа состоит из введения, 4 глав, заключения и списка литературы. Общий объем диссертации составляет 161 страницы, включая список литературы из 123 наименований, 9 таблиц и 75 рисунков.

Во введении проведен анализ существующих технологий процесса и схем высоковольтной тренировки, обоснован выбор направления исследований, показана актуальность темы диссертационной работы, сформулированы цели и задачи исследований.

В первой главе рассмотрены физические процессы, определяющие основные причины возникновения и развития электрических пробоев в ЭВП, а также меры по повышению электрической прочности приборов, связанные с устранением пробоев, токов утечки межэлектродных промежутков и микроразрядов. Рассмотрены способы высоковольтной тренировки ЭВП, параметры и схемы процесса. В результате анализа существующих методов, схем оборудования, критериев высоковольтной тренировки и проблем повышения электрической прочности межэлектродных промежутков в отпаянных ЭВП, сформулированы основные задачи исследования.

Во второй главе рассмотрено влияние величины давления адсорбированных и остаточных газов внутривакуумного объема отпаянных МЛК в процессе высоковольтной тренировки на электрическую прочность. Все расчеты величин давления и потоков остаточных газов в отпаянных приборах осуществлялись с использованием величины тока электроразрядного насоса (НЭМ). Проведены исследования десорбции газов с поверхностей МЛК, как одного из факторов нарушения электрической прочности.

Экспериментальные исследования МЛК и отработка методик высоковольтной тренировки проводилась на стенде, содержавшем балластный и ограничительный резисторы и конденсатор, подключенный параллельно к тренируемому прибору. Балластный резистор (Яв) использовался с целью «гашения» дугового разряда на межэлектродном промежутке во время прохождения пробоев. Использование ограничительного резистора (Яогр) позволило ограничить максимальный ток пробоя. Наличие конденсатора небольшой общей емкости в стенде дало возможность проводить высоковольтную тренировку межэлектродных промежутков МЛК маломощными пробоями.

Установлено, что после выключения НЭМ давление газов в отпаянном МЛК может повышаться относительно начального значения 10-6 Па за счет десорбции газов с поверхности электродов в процессе высоковольтной тренировки. После нескольких включений НЭМ с откачкой прибора до давления 10-6 Па и выдержкой с интервалом времени 5 минут (НЭМ выключен) количество

десорбированных газов на поверхности электрода может быть снижено, за счет постепенного обезгаживания поверхности в процессе высоковольтной тренировки.

Другой способ повышения давления остаточных газов в мощных МЛК связан с организацией пробоев межэлектродного промежутка и происходящими процессами перехода материала острия, находящегося на электроде, в газовую фазу с его последующей ионизацией.

В результате проведенных исследования установлено, что частота пробоев на межэлектродном промежутке типовых МЛК в процессе высоковольтной тренировки возрастала при увеличении давления газов выше 2,110-4 Па.

Результаты исследований были использованы в дальнейшем для разработки методик высоковольтной тренировки МЛК.

Показано, что появление значительных ионных токов утечки (выше 1 мА при тренировочных напряжениях) межэлектродных промежутков в герметичных отпаянных МЛК при выдержке прибора в выключенном состоянии связано с повышением давления остаточных газов выше 10-5 Па. После дополнительного обезгаживания МЛК при снижении давления остаточных газов в приборе ниже 10-6 Па токи утечки могут быть уменьшены.

В третьей главе исследованы различные алгоритмы и методики высоковольтной тренировки, позволившие снизить токи утечки межэлектродных промежутков в отпаянных МЛК, а также предложена методика определения токов утечки по изоляторам приборов.

Проведенный анализ литературных данных и оценочные расчеты показали, что для испарения одного эмитирующего выступа (острия в виде конуса) из молибдена, достаточно пробоя с энергией 1,7510-8.3,510-3 Дж.

Проведены исследования влияния параметров пробоя на процесс высоковольтной тренировки мощного МЛК. Показано, что выделившаяся в межэлектродном промежутке энергия во время высоковольтной тренировки в процессе пробоя отпаянного прибора составила (0,4.2,6)-10-2 Дж, что достаточно для разрушения большинства острий (следует отметить, что в этом случае энергия

маломощного пробоя незначительно влияла на состояние поверхности катода в процессе проведения высоковольтной тренировки).

Разработанная методика уменьшения времени высоковольтной тренировки отпаянных мощных МЛК, основанная на выборе оптимального давления в приборе при высоковольтной тренировке, позволяющего создать достаточное количество тренирующих пробоев при минимальном отравляющем влиянии на катод клистрона, защищена патентом (Пат. № 2656147 РФ).

В соответствии с разработанной методикой для повышения величины давления остаточных газов в приборе на начальном этапе тренировки необходимо проводить высоковольтную тренировку промежутка сетка-анод с выключенным НЭМ. Процесс повышения давления в МЛК на этом этапе происходит за счет явлений, связанных с десорбцией газов с поверхности электрода, и, вследствие этого, возникающих пробоев на межэлектродном промежутке сетка-анод в начале высоковольтной тренировки. С помощью кратковременного включения НЭМ в течение 1.2 секунд давление остаточных газов снижают до (2,1 ■ 10-4 ...1,6-10-3) Па.

Плазма, возникающая в межэлектродном пространстве (электроны; десорбированные газы; пары металлов, включая ионы и нейтральные атомы металлов), создает благоприятные условия для дальнейших пробоев межэлектродного промежутка сетка-катод. В результате пробоев разрушаются центры (острия) автоэлектронной эмиссии, при этом токи утечки межэлектродных промежутков снижаются. В конце высоковольтной тренировки остаточные газы в МЛК откачиваются с помощью НЭМ до давления 10-7 Па.

Проведенные исследования показали, что оптимальным давлением для процесса высоковольтной тренировки, при котором термоэлектронная эмиссия катода мощных МЛК после проведения высоковольтной тренировки не менялась, являлось давление (2,110-4.1,6 10-3) Па.

При разработке методики высоковольтной тренировки межэлектродного промежутка МЛК необходимо установление вида тока утечки и точное местоположение области его протекания. Чаще всего выделяют два вида токов утечки между электродами ЭВП - это токи утечки по изоляторам и утечки,

связанные с автоэлектронной эмиссией с поверхностей электродов. Особенно сложным является определение местоположения области утечки по изоляторам приборов, так как в этом случае могут быть проводимости по поверхности изоляторов как снаружи, так и внутри прибора. Проведенные исследования показали, что, если вольт-амперные характеристики (ВАХ) межэлектродного промежутка в обеих полярностях в координатах ток-напряжение совпадают, то ток утечки является проводимостью по керамическому изолятору прибора. При этом определение проводимости внешней поверхности керамических изоляторов может быть получено за счет использования искусственно внесенного проводника, например, отрезка проволоки. С этой целью проволока устанавливалась в центре изолятора между электродами исследуемого межэлектродного промежутка, а электроды изолятора соединялись между собой. Наличие тока в цепи после подачи напряжения на проволоку и электроды изолятора свидетельствовало о том, что ток утечки происходил по наружной поверхности изолятора.

Для снижения токов утечки по изоляторам ЭВП необходимо обеспечить испарение проводящей пленки за счет омического разогрева собственным током без пробоев межэлектродного промежутка. Снижение токов утечки при сохранности целостности изолятора обеспечивалось ограничением мощности разогрева.

На основе проведенных исследований разработана технология снижения внутренних токов утечки по керамическому изолятору электронной пушки. При использовании разработанной технологии осуществлялась подача определенной величины высокого напряжения на тренируемый межэлектродный промежуток, которое с учетом тока утечки изолятора, а также возникающей электронной эмиссии между проводящими его участками приводило к выделению мощности, позволяющей нагревать проводящую пленку. Уменьшение тока утечки происходило за счет испарения пленки при ее нагреве. В рамках разработанной технологии высоковольтной тренировки подбиралось такое напряжение высоковольтной тренировки, при котором ток утечки вначале увеличивался до максимального значения, а затем снижался до исходного в течение 1.3 минут.

Обычно процесс выдержки происходил без пробоев с незначительным уменьшением тока утечки. Повышение напряжения производилось пошагово, а высоковольтная тренировка продолжалась до тех пор, пока ток утечки изолятора не снижался до допустимого значения (1доП).

В работе [23] было определено, что для исключения растрескивания изолятора в процессе высоковольтной тренировки его температура не должна превышать 170°С. При проведении экспериментальных исследований в ходе выполнения диссертационной работы было установлено, что при увеличении мощности, подаваемой на изолятор пушки ЭВП с внутренним током утечки, установившаяся температура узлов, в том числе изолятора электронной пушки прибора, изменялась линейно.

Проведенный анализ результатов исследований показал, что для снижения значительных токов утечки (от 1 до 10 мА) межэлектродного промежутка сетка-анод в МЛК, связанных с автоэлектронной эмиссией, необходимо организовывать маломощные пробои таким образом, чтобы обеспечивалась сохранность керамического изолятора прибора в процессе нагрева.

На основе исследований приборов со значительными токами утечки межэлектродных промежутков сетка-анод была разработана методика высоковольтной тренировки, в соответствии с которой осуществлялся ступенчатый подъем высокого напряжения на межэлектродном промежутке сетка-анод (сетка и катод закорочены), приводящий к нагреву прибора. Повышение напряжения осуществлялось после выдержки на каждой ступени интервала времени ~5 минут. За счет тока автоэлектронной эмиссии межэлектродного промежутка происходил значительный нагрев поверхностей прибора до температуры 100...170°С. После этого напряжение скачкообразно повышалось до пробивного значения, при этом температура керамического изолятора не превышала 170 °С. В процессе пробоев автоэмиссионные центры на сетке разрушались или оплавлялись, что приводило к снижению тока утечки до допустимого уровня.

Следует отметить, что разработанная методика одновременной тренировки двух зазоров отпаянных приборов позволила снизить токи утечки

межэлектродного промежутка сетка-катод в МЛК мощного и среднего уровня мощности и применялась для тренировки промежутка сетка-катод при невозможности организации пробоев за счет подъема напряжения на этом промежутке.

Снижение токов утечки межэлектродного промежутка сетка-катод в этом случае достигалось за счет высоковольтной тренировки промежутка сетка-катод и сетка-анод с организацией пробоев на аноде путем повышения на нем напряжения до пробивного. Подача напряжения на межэлектродный промежуток сетка-катод производилась в минусовой полярности источника питания относительно катода. Повышение напряжения на аноде (корпус МЛК) до пробивного значения производилось в плюсовой полярности источника относительно катода. В ходе разработки этой технологии было установлено, что при таком подключении при увеличении напряжения на источнике катод-анод, условия для пробоев создавались на межэлектродном промежутке сетка-анод МЛК, что позволило одновременно получать пробои на межэлектродном промежутке сетка-катод за счет перезарядки конденсатора (промежутка сетка-катод) с минусовой полярности в плюсовую и обратно.

Таблица 1

Комплекс алгоритмов для высоковольтной тренировки отпаянных ЭВП

Название технологии Межэлектродный промежуток Вид тока утечки Виды приборов

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Вашин Сергей Александрович, 2023 год

ЛИТЕРАТУРА

1. Емельянов, А. А. Импульсные технологии повышения электрической прочности в вакууме/ А. А. Емельянов, Е. А. Емельянова. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 160 с.

2. Черепнин, Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М., «Советское радио», 1973. - 324 с.

3. Благодарный, В.В. Токи утечки в ЭВП / В.В. Благодарный// Обзоры по электронной технике. Сер.1. Электроника СВЧ. Вып. 2 (1422). -М.: ЦНИИ «Электроника». - 1989. - 56 с.

4. Смирнов, А. В. Тренировка СВЧ приборов высоковольтными пробоями/

A. В. Смирнов, И. А. Светликина, Е. Н. Еловская// Обзоры по электронной технике. Сер.1. Электроника СВЧ. Вып. 2 (965). -М.: ЦНИИ «Электроника». -1983. - 55 с.

5. Татаринова, Н.В. Вакуумная электроизоляция (обзор) / Н.В. Татаринова // Вакуумная техника и технология. - 2003. - Т. 13. - № 1. - С. 28.

6. Шеймейстер, Е.И. Общая технология электровакуумного производства/ Е.И. Шеймейстер. - М.: Выс. шк., 1984. - 287 с.

7. Сливков, И.Н. Электрический пробой и разряд в вакууме /И.Н. Сливков,

B.И. Михайлов, Н.И. Сидоров, А.И. Настюха. - М.: Атомиздат, 1966. - 298 с.

8. Сливков, И.Н. Электроизоляция и разряд в вакууме /И.Н. Сливков. - М.: Атомиздат, 1972. - 304 с.

9. Wood R.W. A new form of cathode discharge and the production of X - rays, together with some notes of diffraction // 1897. Phys. Rev. 5, № 1, P. 1-10.

10. Schlocky W. Uberkalte und warme elektronenentladungen // Z Phys. 1923. Vol. 14. P. 63 - 106.

11. Fowler R.H. Electron emission in intense electric field // R.H.Fowler, L.W.Nordheim / Proc. Royal Soc. London. A119 (A781). 173-181 (1928).

12. Nordheim L.W. The effect of the image force on the emission and reflection of electrons by metals // Proc. Royal Soc., London. A121 (A788). 626-639 (1928).

13. Murphy E.L., Good R.H. Thermionic emission, field emission and the transition. // Phys. Rev. - 102(6). 1464 - 1473. (1956).

14. Бушуев Н.А. Туннельный ток и вольт - амперные характеристики структур вакуумной крайне высокочастотной микроэлктроники. // Радиотехника и электроника. 2015. Том. 60. № 2. С. 201 - 212.

15. Semet V., Adessi Ch., Capron T., Mouton R., and Vu Thien Binh. Low work -function cathodes from Schottky to field - induced ballistic electron emission: Self -consistent numerical approach // Physical Review B 75. 045430 (2007).

16. Бродский А.М., Гуревич Ю.Я. Теория электронной эмиссии из металлов // Проблемы современной физики. Издательство «Наука». Главная редакция физико-математической литературы. Москва. 1973.255с.

17. Forbes R.G. J. Appl. Phys. 105. 114313. 2009.

18. Forbes R.G. Nanotechnology. 23. 095706. 2012.

19. Фурсей Г.Н. Автоэлектронная эмиссия // Санкт-Петербург - Москва -Краснодар. Изд-во „ЛАНЬ". 2012. с. 319.

20. Месяц, Г.А. Импульсный электрический разряд в вакууме/ Г.А.Месяц. -М.: Атомиздат, 1984. - 256 с.

21. Anderson R. A. Proc. of XIVth Intern. Symp. On DEIV, Santa-Fe, USA, p. 311-317, 1990.

22. Елинсон, М. И., Автоэлектронная эмиссия/ М. И. Елинсон, Г.Ф. Васильев. М., Физматгиз, 1958. - 272 с.

23. Коваленко, В.Ф. Теплофизические процессы и электровакуумные приборы/ В.Ф. Коваленко. - М.: Советское радио - 1975. - 216 с.

24. Jedynak L. Whisker growth in high-voltage high-vacuum gaps// J. Appl. Phys., 1965. V. 36. N.8. P. 2587-2589.

25. Сливков, И.Н. Процессы при высоком напряжении в вакууме /И.Н. Сливков// - М.: Энергоатомиздат, 1986. - 256 с.

26. Ворончев, Т. А. Физические основы электровакуумной техники/ Т. А. Ворончев, В. Д. Соболев. - М.: Издательство «Высшая школа». - 1967.- 352 с.

27. Корепин, Г.Ф. Определение источника газовыделения в процессе высоковольтной тренировки ЭВП / Г.Ф. Корепин, В.И. Пугнин, А.Н. Юнаков // Наукоемкие технологии - 2005. - Т.6, № 5. - С.47-50.

28. Гилмор, А.С. Лампы с бегущей волной/ А.С. Гилмор. - М.: Техносфера. - 2013. - 616 с.

29. Ненакаливаемые катоды/ Под.ред. М.И. Елинсона. - М.: Сов. Радио, 1974. -336 с.

30. Боррзяк, П.Г. Электронные процессы в островковых металлических пленках/ П.Г. Боррзяк, Ю.А. Кулипин. - Киев: Наукова Думка, 1980. - 240 с.

31. Корепин, Г.Ф. Термовакуумная обработка электронной пушки и вероятность электрических пробоев высоковольтных ЭВП/ Г.Ф. Корепин // Вакуумная техника и технология, 2007, Т.17, № 2, С.123 - 130.

32. Левина, Л.Е. Методы и аппаратура контроля герметичности вакуумного оборудования изделий в приборостроении / Л. Е. Левина, В. В. Пименов. - М.: Машиностроение, 1985. - 72 с.

33. А.с. № 911646 СССР. Способ повышения электрической прочности вакуумной изоляции/ В.П. Буц, А. А. Емельянов, Н. С. Кузьминов, В. П. Мальгин. - Приоритет 06.03.1980.

34. Вашин, С.А. Влияние температуры на кристаллическую структуру и свойства металлов ЭВП /С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, В.А. Смирнов //Электроника и микроэлектроника СВЧ. Сборник статей VI Всероссийской конференции. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2017, С. 95.

35. Павлова, М.А. Поглотители СВЧ-энергии и их соединения с металлами / М.А. Павлова, В.Н. Рыбкин, И.К. Немогай // Электронная техника. Сер.1. СВЧ -техника. Выпуск 4(503). - 2009. - С.42-47.

36. Ингберман, М. И. Оптимальные режимы применения и эксплуатации электровакуумных приборов / М. И. Ингберман, М. С. Эпштейн. М.: Радио и связь, 1985.- 136 с.

37. Вилков, А.Н. Восстановление управляемости по сетке ЭВП СВЧ О-типа после пробоя в схеме с постоянным напряжением на катоде/ А.Н. Вилков // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. Выпуск 2(472). - 1998. - С.3-8.

38. А.с. № 911646 СССР. Способ повышения электрической прочности вакуумной изоляции/ В.П. Буц, А. А. Емельянов, Н. С. Кузьминов, В. П. Мальгин. - Приоритет 06.03.1980.

39. А.с. № 911646 СССР. Способ повышения электрической прочности вакуумной изоляции/ В.П. Буц, А. А. Емельянов, Н. С. Кузьминов, В. П. Мальгин. - Приоритет 06.03.1980.

40. А.с. 454605 СССР МПК HOI J // М. А. Хузмиев - Приоритет 30.03.1972.

41. Emelyanov A., Emelyanova E. Pulsed electric strength of vacuum gaps// IEEE Trans. Dielectr. Electr. Insul., 2008. V. 15. Iss. 2. P. 591 - 599.

42. Емельянов, А. А. Метод повышения качества поверхности катода вакуумного промежутка / А. А. Емельянов, Е. А. Емельянов// Общая экспериментальная техника, 2008, №5, с.106-109.

43. Пат. 2241277 РФ МПК H01J 21/00. Способ повышения электрической прочности вакуумной изоляции / А. А. Емельянов, Е. А. Емельянов - Приоритет 08.08.2003.

44. Пат. 2276425 РФ МПК H01J 19/44. Способ повышения электрической прочности вакуумной изоляции/ А. А. Емельянов. - Приоритет 30.12.2004.

45. Вашин, С.А. О запаздывании зажигания разряда миниатюрного электроразрядного насоса /С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Н.Н. Климова// XVII Международная зимняя школа-семинар по радиофизике и сверхвысоких частот». Саратов -2018. - С. 69-70.

46. Саксаганский, Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы / Г. Л. Саксаганский. - М.: Энергоатомиздат, 1988. - 280 с.

47. Васильев, Г.Л. Магниторазрядные насосы / Г.Л. Васильев. - М.: Энергия, 1970. - 112 с.

48. Вашин, С.А. Применение встроенного магнитного электроразрядного насоса в процессе откачки ЭВП/ С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Н. Н. Климова, Д.Н. Петрашёва // Материалы 25-ой научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» - 2018. - с.87-82.

49. Вашин, С.А. Проблемы применения магнитного электроразрядного насоса для поиска течей отпаянных ЭВП /С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Н.Н. Климова // Труды 24-ей научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология»-2017. - С. 44-47.

50. Новоселец, В.И. О вакуумных пробоях в многолучевых мощных пролетных клистронах на высшем и основном виде колебаний / В.И. Новоселец // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. - 2008. - № 2. - С. 53-61.

51. Вилков, А. Н. Опасность пробоев для ЭВП СВЧ О-типа в разных схемах применения и электрические факторы, требующие ограничения для защиты приборов /Вилков А.Н. // Электронная техника.Сер.1.СВЧ-техника. - 1999. - Вып. - (473). - С.22-26.

52. Вилков, А. Н. Электрический пробой и энерговыделение во время пробоя в ЭВП СВЧ О-типа /Вилков А.Н. // Электронная техника.Сер.1.СВЧ-техника. - 1997 Вып. - 2 (470). - С.9-14.

53. Вашин, С.А. Интенсивность пробоев и газосодержание высоковольтных ЭВП / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин // 25-я Международная Крымская конференция «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо'2015). Севастополь, 6—12 сентября 2015 г.: материалы конф. в 2 т. — Севастополь, 2015. — Т. 1, -с.203-204.

54. Пат. 2656147 РФ МПК G01R 31/25. Способ высоковольтной тренировки отпаянного электровакуумного прибора с металлопористыми катодами / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Т.В. Морокова/ - Приоритет от 6.03.2017.

55. Татаринова, Н. В. Влияние процессов в порах поверхностей электродов на вакуумную электроизоляцию: дисс. доктора физ.-мат. наук 01.04.13/ Татаринова Нина Владимировна. - М.: МИФИ. - 1998. -303 с.

56. Корепин, Г.Ф. Стоки и истоки поверхностных газов отпаянных ЭВП / Г.Ф. Корепин, А.Н. Юнаков // Вакуумная техника и технология. - Тезисы докладов научно-технической конференции Вакуумная техника и технология-2010. - Санкт-Петербург. - 2010. - Т.20, № 2. - С.56.

57. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника/ Л. Н. Розанов. - М.: Высшая школа. - 1982.

- С.391.

58. Вашин, С.А. Адсорбционное газосодержание отпаяных ЭВП и интенсивность электрических пробоев/ С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин // Вакуумная техника и технология - 2015. - Т.25, № 2. - С.129-130.

59. Черепнин, Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике/ Н.В. Черепнин. - М.: Советское радио, 1967. - 408 с.

60. Вашин, С.А. Особенности динамики сорбционного равновесия газов отпаянного высоковольтного ЭВП / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин// Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. Выпуск 3(522). - 2014. - С. 48 - 54

61. Вашин, С.А. Особенности динамики сорбционного равновесия газов отпаянного высоковольтного ЭВП / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин// Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. Выпуск 3(522). - 2014. - С. 48 - 54

62. Гладков, А.С. Пайка деталей электровакуумных приборов/ А.С. Гладков, О.П. Подвигина, О.В. Чернов . - М., «Энергия», 1967. - 288 с.

63. Сытник, А.Я. Газовыделение и активировка металлопористого катода в условиях откачки электровакуумного прибора/ А.Я. Сытник // Электроника СВЧ. Сер.1. - 1980. - №12. - С. 27 - 30.

64. Корепин, Г.Ф. Динамика коэффициента компрессии форвакуумного насоса по водороду / Г.Ф. Корепин, А.И. Полевич // Вакуумная техника и технология. - 2004.

- Т. 14. - № 3. - С. 139-147.

65. Колачев, Б.А. Водородная хрупкость цветных металлов/ Б.А. Колачев. - изд. «Металлургия», 1966. - 256 с.

66. Вашин, С.А. Компрессия по водороду в отпаянных ЭВП/ С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. Выпуск 2 (533). - 2017.

- С. 22-28.

67. Корепин, Г.Ф. Критическое время обезгаживания ЭВП СВЧ/ Г.Ф. Корепин // Вакуумная техника и технология. - 2007. - Т.17, №3. - с.167-175.

68. Корепин, Г.Ф. Определение причин повышения давления в вакуумной системе в процессе откачки электровакуумных приборов / Г.Ф. Корепин,

А.И. Полевич // Материалы НТС Вакуумная техника и технология. - секция 2 Элементы вакуумных систем. - Санкт-Петербург. - 2004. - С.103-104.

69. Черепнин Н.В. Вакуумные свойства материалов для электронных приборов/ Н.В. Черепнин. - М.: Советское радио, 1966. - 350 с.

70. Дэшман, С. Научные основы вакуумной техники/ Перевод с англ. Под редакцией М.И. Меньшикова. М.: «Мир». - 1964. - 715 с.

71. Татаринова, Н.В. Эрозионно-эмиссионные процессы, индуцированные плазмой в микропорах поверхности/ Н.В. Татаринова, Н.Е. Новиков, В.С. Соколов, Н.В. Волков, В.Л. Воробьев // Известия РАН. - Серия физическая. - 1992. - Т.16, № 7. - С. 65-66.

72. Чистяков, П.Н. Пробой вакуума при контролируемом состоянии поверхностей электродов / П.Н. Чистяков, А.Л. Радиановский, Н.В. Татаринова, Н.Е. Новиков, Д.С. Трещикова // Журнал технической физики. - 1972. - TXL11, № 4. - С.821-825.

73. Корепин, Г.Ф. Поверхностное газосодержание отпаянных ЭВП / Г.Ф. Корепин // Вакуумная техника и технология. - 2007. - Т.17, № 4. -С.285 - 292.

74. Корепин, Г.Ф. Исследование газосодержания электровакуумных приборов СВЧ среднего и высокого уровня мощности с целью снижения остаточных газов и сохранения вакуума в отпаянных приборах: дис. на соите. уч. ст. к.т.н. / Г.Ф. Корепин, - Фрязино, 2012. - 23 с.

75. Розанов, Л.Н. Десорбционное газовыделение конструкционных вакуумных материалов / Л.Н. Розанов // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т.21, № 2. - С.143-150.

76. Розанов, Л.Н. Десорбционное газовыделение вакуумных систем / Л.Н. Розанов // Вакуумная техника и технология. - 2004. - Т.14, № 2. - С.205-211.

77. Водяницкий, В.И. Предварительная высоковольтная тренировка ЭВП СВЧ среднего уровня выходной мощности / В.И. Водяницкий, Г.Ф. Корепин, Н.Н. Климова, Н.И. Суходолова, А.А. Стефаненко // Тезисы докладов

Всероссийского семинара «Вакуумная техника и технология-2002». - Санкт-Петербург. - 2002. - С.14-15.

78. Вашин, С.А. Полевая десорбция поверхностных газов и электрическая прочность ЭВП / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин // Электронная техника. Сер.1. СВЧ -техника. Выпуск 3(534). - 2017. - С. 44-47.

79.Вашин, С.А. Особенности полевой десорбции поверхностных газов ЭВП и развитие электрического пробоя между электродами / С.А. Вашин, Н.Н. Климова, Г.Ф. Корепин // 24-ая научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника»-2017 №4(7). - с. 1-5.

80. Вашин, С.А. Снижение токов изоляторов отпаянных ЭВП/ С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Д.Н. Петрашева, В.Г. Карпенко, Н.Р. Чуйкин // 25 -я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «Вакуумная техника и технология - 2018». - С.16-19.

81. Иориш, А.Е. Основы производства электровакуумных приборов/ А.Е. Иориш, Я. А. Кацман, С.В. Птицын. - М. - Л.: Госэнергоиздат, 1961. - 516 с.

82. Вашин, С.А. Методики снижения токов утечки в отпаянных ЭВП / С.А. Вашин // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. Выпуск 2(541). - 2019. - С. 16 - 26.

83. Вашин, С.А. Методика высоковольтной тренировки отпаянных ЭВП СВЧ/ С.А. Вашин, В.А. Смирнов, Д.А. Оселков, И.Ю. Шишов// Труды 28-ой научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технологии-2021» - С.11-15.

84. Вашин, С.А. Снижение токов утечек отпаянных ЭВП / С.А. Вашин // Тезисы докладов VI Научно технической конференции молодых ученых и специалистов АО «НПП «Исток» им. Шокина» 2016. - с. 23-24.

85. Вашин, С.А. Способ повышения электрической прочности отпаянных ЭВП / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, В.А. Смирнов // 23 -я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «Вакуумная техника и технология - 2016». - С.36-38.

86. Пат. 4610775 США.

87. Вашин, С.А. Метод снижения токов утечки изоляторов отпаянных ЭВП / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Н.Н. Климова // Электронная техника. Сер.1. СВЧ -техника. Выпуск 1(528). - 2016. - С. 23 - 30.

88. Майсел, Л. Технология тонких пленок./ Л. Майсел , Р. Глэнг// Перевод с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко.- М.: Советское радио - Т.2. - 1977. - с. 768.

89. Шеймейстер, Е.И. Технология производства электровакуумных приборов/ Е.И. Шеймейстер. - М.: Выс. шк., 1992. - 593 с.

90. Алямовский И.В. Электронные пучки и электронные пушки / И.В. Алямовский- М.: Советское радио. 1966. - 454 с.

91. Вашин, С.А. Выбор способа сварки малогабаритных клистронов / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, И.И. Ваганов // Электронная техника. Сер.1. СВЧ -техника. Выпуск 1(530). - 2016. - С. 103 - 107.

92. Николаев Г.А. Специальные методы сварки / Г.А. Николаев, Н.А. Ольшанский.

- М.: Машиностроение, 1975. - 232 с.

93. Конюшков Г.В. Специальные методы сварки плавлением в электронике / Г.В. Конюшков, В.Г. Конюшков, В.Ш. Авагян. - Издательско-торговая корпорация Дашков и КГ, 2013. - 144 с.

94. Корепин, Г. Ф. Классификация течей ЭВП / Г. Ф. Корепин, А. А. Стефаненко // Электронная техника. Сер. СВЧ - техника. - 2003. - Вып.1 (481). - с. 45 - 51.

95. Корепин, Г.Ф. Простой способ отбраковки натекающих и "газных" ЭВП / Г.Ф. Корепин // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. - 1999. - № 2. - С. 4243.

96. Корепин Г.Ф. Проблемы откачки металлокерамических ЭВП СВЧ // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. - 2008. - № 4. - С.23-46.

97. Ланис, В. А. Техника вакуумных испытаний / В. А. Ланис, Л. Е. Левина. - М. -Л., Госэнергоиздат, 1963. -264 с.

98. Вашин, С.А. Проблемы поиска сложных течей отпаянных ЭВП/ С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, Н.Н. Климова // Электронная техника. Выпуск 2(529). - 2016. - С. 13

- 21.

99. Корепин, Г. Ф. Условия герметизации течей ЭВП СВЧ / Г. Ф. Корепин // Материалы научно-технической конференции. - «Вакуумная наука и техника» -М.: МИЭМ, 2004 - С. 100 - 104.

100.Вашин, С.А. Особенности каналов течей отпаянных ЭВП и методы течеискания / С.А. Вашин, Н.Н. Климова, Г.Ф. Корепин // 23-ая научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника»-2016. - 24 - 28.

101.Вашин, С.А. Опыт применения высокостабилизированного источника постоянного напряжения для поиска течей по току магнитного электроразрядного насоса (НЭМ) / С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин // Тезисы докладов Научно технической конференции АО «НПП «Исток» им. Шокина» «СВЧ Электроника 2016». -с. 58-59.

102.Вашин, С.А. Проблемы течеискания отпаянных ЭВП / С.А. Вашин, Е.П. Жукова, Н.Н. Климова, Г.Ф. Корепин, Н.В. Малькова, В.А. Смирнов, Л.А. Троицкая // 22-ая научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника»-2015. - 64 -67.

103.Арзамасов, Б. Н. Материаловедение / Б. Н. Арзамасов, И. И. Сидорин, Г. Ф. Косолапов, В. И. Макарова, Г. Г. Мухин, Н. М. Рыжов, В.И. Силаева, Н. В. Ульянова. - 2-е изд., испр. и доп. - М.: Машиностроение, 1986. - 384 с.

104.Вашин С.А. Особенности герметизации течей отпаянных ЭВП /Г.Ф. Корепин, Н.Н. Климова, Д.Н. Петрашева// Тезисы докладов Научно технической конференции АО «НПП «Исток» им. Шокина» «СВЧ Электроника 2018. 75 лет развития». - С. 61.

105.Пат. 2024100 РФ, МПК Н0Ш5/10. Способ изготовления клистронов / С.В. Кузнецов, В.И. Пасманник, О.П. Петрова, Д.Л. Хаджи. - Приоритет 09. 07.1991.

106.Ковнеристый, Ю.К. Материалы, поглощающие СВЧ-излучение/ Ю.К. Ковнеристый, И.Ю. Лазарева, А.А. Раваев. - М.: Наука, 1982 г.

107. Ильин, В. Н. СВЧ поглощающие покрытия миллиметрового диапазона длин волн/ В. Н. Ильин, Ю.А. Потапов, В.А. Смирнов, С.С. Дроздов // Научно-техническая конференция «Электронные приборы и устройства нового

поколения»: сборник материалов конференции (Саратов, 14-15 февраля 2002 г.). -С.75.

108.Пат. 2545880 РФ МПКС23С 24/04. Способ нанесения газотермического покрытия на поверхность изделия/ С.А. Вашин, Л.Х. Балдаев, Б.Г. Хамицев. -Приоритет 19. 07.2013.

109.Бартенев, С.С. Детонационные покрытия в машиностроении/ С.С. Бартенев, Ю.П. Федько, А.И. Григоров. - Л.: Машиностроение, Ленинград, Отд-ние. - 1982. - 215 с.

110.Балдаев, Л.Х. Газотермическое напыление: учеб. пособие/кол. авторов; под общей ред. / Л.Х. Балдаева - М.: Маркет ДС. - 2007. -344 с.

111.Вашин, С. А. Опыт разработки технологических процессов напыления детонационных покрытий с помощью оборудования нового поколения / С. А. Вашин, Б. Г. Хамицев, С. Л. Шувалов, Т. П. Гавриленко // Материалы 15-й Международной научно-практической конференции «Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта, теория и практика». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2013. - С. 43 - 47.

112.Ульяницкий, В.Ю. Опыт исследования и применения технологии нанесения детонационных покрытий / В.Ю. Ульяницкий, М.В. Ненашев, В.В. Калашников, И.Д. Ибатуллин, С.Ю. Ганигин, К.П. Якунин, П.В. Рогожин, А.А. Штерцер// Известия Самарского научного центра Российской академии наук. - 2010. - т. 12, №1(2). - С.569 -575.

113.Вашин, С.А., Опыт расширения области применения детонационных покрытий/ С.А. Вашин, Б.Г. Хамицев, Л.Х. Балдаев, В.С. Терентьева// Материалы 14-ой международной научно-практической конференции «Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта, теория и практика»: - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012. - С. 27-32.

114.ГОСТ 27953-88 Покрытия детонационные. Общие требования. - Введен 1990. -01.01.-Сб. стандартов. - М.: ИПК Издательство стандартов, 2005. - 12 с.

115.Ляпин, Л.В. Поглотитель энергии для СВЧ-приборов/ Л.В. Ляпин, М.А. Павлова, С.С. Семенюк // Компоненты и технологии. - 2009. - № 11. -С.126-128.

116.Пат. 2545883 РФ МПКС23С 24/04. Способ подготовки поверхности изделия перед нанесением детонационного покрытия / С.А. Вашин, В.В. Гераськин, С.С. Мухаметова, Б.Г. Хамицев. - Приоритет 30. 04.2013.

117.Computational code for detonation spraying process / T. P. Gavrilenko, Yu. A. Nikolaev, V. Yu. Ulianitsky et al. // Proc. of the 15th Intern. thermal spray conf., Nice, France, May 25-29, 1998. — O.

118.Пат. № 2183695 РФ МПКС23С24/04. Способ получения покрытий / Каширин А.И., Клюев О.Ф., Шкодкин А.В. - Приоритет 25.08.2000.

119.Пат. 2545880 РФ МПКС23С 24/04. Способ нанесения газотермического покрытия на поверхность изделия/ С.А. Вашин, Л.Х. Балдаев, Б.Г. Хамицев. -Приоритет 19. 07.2013.

120. Шоршоров, М. Х. Физико-химические основы детонационно-газового напыления покрытий/ М. Х. Шоршоров, Ю. А. Харламов. - М., «Наука». - 1978. -224 с.

121.Патент № 2712326 РФ. Способ получения поглощающего СВЧ-энергию покрытия/ С.А. Вашин, С.В. Евсеев, Г.Ф. Корепин. - Приоритет 06. 03.2019.

122.Вашин, С.А. Исследование детонационных покрытий в качестве поглотителей СВЧ-энергии /С.А. Вашин, Г.Ф. Корепин, С.В. Евсеев, Б.Г. Хамицев, А.Н. Пашков // Электронная техника. Сер.1. СВЧ - техника. Выпуск (542). - 2019. - С.36-43.

123.Vashin, S.A. On the possibility of using detonation ceramic as microwave energy absorbers/ S A Vashin, S V Evseev, G A Zhabin, G F Korepin and A N Pashkov // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series 1313 (2019) 012057 IOP Publishing.

Приложение. Акты внедрения результатов диссертации

АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО в

«НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ «ИСТОК» ИМЕНИ А.И.ШОКИНА»

«УТВЕРЖДАЮ»

Акт о внедрении

Настоящий акт подтверждает, что результаты диссертационной работы Вашина Сергея Александровича в части разработки методик высоковольтной тренировки внедрены в производство в рамках выполнения планов поставок изделия КИУ-185А. Результаты работы используются в технологической документации КРПГ.433417.073ТК5 высоковольтной тренировки мощного

клистрона (КИУ-185А).

Основными результатами работы являются снижение токов утечки

межэлектродных промежутков прибора до требуемого уровня (ОД мА) и снижение времени высоковольтной тренировки в 2...3 раза.

Результаты работы внедрены в АО «НЛП «Исток» им. Шокина».

Начальник НПК-2

.Н. Юнаков

» <го 2022 г.

АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО „

«НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ «ИСТОК» ИМЕНИ А.И.ШОКИНА»

«УТВЕРЖДАЮ»

Заместитель генерального директора -директор по научной работе

Настоящий акт подтверждает, что результаты диссертационной работы Вашина Сергея Александровича в части разработки методик высоковольтной тренировки внедрены в производство в рамках выполнения планов поставок изделий КИУ-245, КИУ-211, КИУ-205, КИУ-187, КИУ-163, КИУ-174, КИУ-160. Результаты работы используются в технологической документации КРПГ.57802.00090 высоковольтной тренировки клистронов малого уровня

Основными результатами работы является снижение токов утечки межэлектродных промежутков приборов до требуемого уровня (0,03.. .0,1 мА). Результаты работы внедрены в АО «НЛП «Исток» им. Шокина».

мощности.

Главный конструктор

Начальник НПК-2

чк » ¿?J

А.Н. Юнаков

2022 г.

«УТВЕРЖДАЮ»

Заместитель генерального директора -директор по научдой работе — АО «НПП «Ия^оГим. Шокина» X , С.В.Щербаков

Настоящий акт подтверждает, что результаты диссертационной работы Вашина Сергея Александровича в части разработки методик высоковольтной тренировки внедрены в производство в рамках выполнения планов поставок изделий КИУ-254, КИУ-241, КИУ-233, КИУ-247. Результаты работы используются в технологической документации КРПГ.57802.00090 высоковольтной тренировки клистронов малого уровня мощности.

Основными результатами работы являются снижение токов утечки межэлектродных промежутков приборов до требуемого уровня (0,03.. .0,1 мА).

Результаты работы внедрены в АО «НПП «Исток» им. Шокина».

Главный конструктор Начальник НПК-2

/^ZZ м с- »остров a(uf» ^ 2022 г.

А.Н. Юнаков

«У » Гз ?№*> г