Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Лемякин, Андрей Алексеевич

• Лемякин, Андрей Алексеевич
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Лемякин, Андрей Алексеевич

Введение

1 Состояние вопросов гнездовой откачки электровакуумных приборов и ионно-плазменной очисткой электродов и герметизацией заглушки диффузионной сваркой

1.1 Существующие схемы и способы откачки, состояние теоретических и технологических вопросов

1.1.1 Применение ионно-плазменной очистки электродов при откачке электровакуумных приборов для улучшения их параметров и сокращения длительности откачки

1.1.2 Сравнительная эффективность различных способов обезгаживания и очистки поверхностей деталей при интенсификации процессов откачки электровакуумных приборов

1.1.3 Взаимное влияние электродов и пути его уменьшения при откачке мощных электровакуумных приборов

1.2 Методы контроля состояния поверхности и их применимость при откачке электровакуумных приборов

1.3 Анализ существующих способов герметизации и их влияние на остаточный вакуум в приборе

1.3.1 Существующие способы герметизации и их влияние на остаточный вакуум

1.3.2 Особенности применения диффузионной сварки для герметизации мощных электровакуумных приборов, пути и параметры оптимизации

Выводы

2 Моделирование и теоретические исследования физико-химических процессов очистки при гнездовой откачке ^

2.1 Разработка обобщенной технологической схемы обработки мощных электровакуумных приборов при откачке

2.2 Распределение газовых потоков в системе «прибор-гнездо-насос»

2.3 Газовыделение при откачке

2.4 Модель гнездовой откачки электровакуумных приборов

2.5 Моделирование процессов очистки электродов в газовом разряде при откачке электровакуумных приборов

2.6 Особенности обработки вольфрамового торированного карбидированного катода мощной генераторной лампы

2.7 Расчет параметров клинового соединения 76 Выводы

3 Методики исследования процессов откачки и герметизации электровакуумных приборов

3.1 Описание объекта исследований

3.2 Методика проведения экспериментальных исследований режимов герметизации

3.3 Описание экспериментальной установки для гнездовой откачки приборов с герметизацией диффузионной сваркой

3.4 Методика исследований динамики парциального состава газовой среды во время откачки и обработки электровакуумных приборов

3.5 Методика исследований давления в приборе в зависимости от величины разнесения прибора и заглушки

3.6 Методика исследований качества и надежности диффузионного соединения, выполненного по клиновой схеме 99 Выводы

4 Экспериментальные исследования гнездовой откачки с ионно-плазменной очисткой электродов, герметизацией заглушки диффузионной сваркой и разработка технологии и оборудования для откачки и герметизации электровакуумных приборов

4.1 Исследование режимов очистки электродов

4.2 Усовершенствование технологии откачки мощной генераторной лампы ГУ-23А за счет совмещения режимов очистки у q

4.3 Исследование состава и свойств газовой среды во время обработки МГЛ на откачном посту

4.3.1 Исследование газовых потоков

4.3.2 Исследование состава и свойств газовой среды по базовой технологии

4.3.3 Разработка и исследование усовершенствованной технологии откачки мощной генераторной лампы

4.4 Исследование качества диффузионного клинового соединения

4.5 Исследование режимов герметизации электровакуумных приборов диффузионной сваркой

4.6 Исследование влияния методов герметизации на параметры электровакуумных приборов и остаточную газовую атмосферу 129 Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой»

Актуальность проблемы. На современном этапе развития электронной техники откачное оборудование должно обеспечивать получение высококачественных и долговечных электровакуумных приборов (ЭВП) при минимальной продолжительности технологического процесса. Известно, что многие приборы должны иметь срок службы десятки тысяч часов, условия же эксплуатации и хранения многих типов ЭВП, особенно СВЧ-диапазона, исключительно тяжелые - длительная вибрация, многократные включения, работа в «дежурном» режиме, повышенное и пониженное давление окружающей среды, радиация и пр.

Фундаментальные основы современных теоретических представлений о процессах удаления газов из приборов базируются на исследованиях, выполненных в первые десятилетия XX века И. Ленгмюром, С. Дэшманом [1], Н. Кэмпбелом и Н. Кнудсеном. Важную роль в развитии основополагающих представлений о процессе откачки сыграли фундаментальные работы Г. А. Тягунова [2], Н.В. Черепнина [3-5], А.И. Пипко [6], Г.В. Конюшкова [7], Л.Н. Розанова [8], В.П. Шумарина [9], В.И. Воронина [10], В .Я. Плисковского.

Анализ процесса откачки на основе полученных ими и рядом других исследователей в этой области для расчета зависимостей степени обезгаживания электродов ЭВП показывает, что для получения предельно низкого давления в приборах и сокращения циклов их откачки необходимо:

• понизить предельное давление, создаваемое высоковакуумными насосами;

• увеличить эффективную быстроту откачки приборов.

Анализ существующих способов откачки — через штенгель и камерная откачка - показал, что они не могут найти достаточно обоснованного применения для всех типов приборов. Откачка приборов через штенгель обладает целым рядом недостатков из-за малой быстроты откачки: не позволяет вести совмещенные режимы обезгаживания электродов и форсированные режимы ионно-плазменной очистки (ИПО) с герметизацией диффузионной сваркой. При камерной откачке затруднительно получить сверхнизкое давление при температурах обезгаживания 500.650°С во всей камере и в самом приборе также. Гнездовая откачка устраняет эти недостатки, т.к. в этом случае прибор непосредственно оболочкой устанавливается вакуумно-плотно на гнезде откачного поста, откачивается через все сечение и герметизируется заглушкой, помещенной в откачном гнезде. Однако теоретических разработок на эту тему было проведено недостаточно.

Целью работы является моделирование, разработка и исследование процессов гнездовой откачки ЭВП с ионно-плазменной очисткой электродов и герметизацией диффузионной сваркой, обеспечивающих улучшение вакуумно-электрических характеристик приборов, сокращение длительности откачки, уменьшение энергозатрат.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие задачи:

1. Построить модель гнездовой откачки, позволяющую определить размеры откачного отверстия в гнезде, величину разнесения заглушки с учетом откачного отверстия в приборе, позволяющую рассчитать максимальную проводимость зазоров в системе «прибор-гнездо-насос» для полного удаления потока газов из прибора на всех этапах вакуумно-термической обработки.

2. Построить модель удаления газов в системе «откачное отверстие в приборе - гнездо с заглушкой - выпускной патрубок гнезда», позволяющую применить гнездовую откачку с совмещенными режимами термического нагрева приборов за счет собственной электродной системы и режимов ионно-плазменной очистки.

3. Обосновать возможности применения при гнездовой откачке совмещенных режимов вакуумно-термической обработки с ионно-плазменной очисткой электродов ЭВП, обеспечивающих улучшение степени очистки электродов, снижение остаточного давления и сокращение длительности цикла откачки.

4. Исследовать возможности сокращения длительности откачки при совмещенных режимах вакуумно-термической обработки ЭВП на откачном посту и экономии энергоресурсов за счет обезгаживания собственной электродной системой.

5. Разработать режимы герметизации ЭВП по клиновой схеме диффузионной сваркой при гнездовой откачке.

6. Исследовать возможности улучшения электрических параметров ЭВП с вольфрамоториевым катодом при гнездовой откачке.

7. Разработать оборудование для гнездовой откачки ЭВП с ИПО электродов и герметизацией ДС.

Работа выполнялась в соответствии с Государственной программой развития вооружения, специальной и военной техники на 2001 — 2010 годы (утверждена Президентом РФ 23 января 2002 г.), с программой совместных исследований и разработок ОАО «НПП «Контакт» и СГТУ (2003 г.) и в соответствии с приказами Министерства электронной промышленности по сокращению и совершенствованию циклов откачки ЭВП.

Методы и средства исследований. При выполнении работы использованы научные основы вакуумной техники и технологии, вакуумной электроники. Применялось математическое моделирование процессов гнездовой откачки и ионно-плазменной очистки. Вычислительные эксперименты выполнены на компьютере класса Athlon Х2 с использованием программного пакета инженерных расчетов MathCAD 14.0 Academic version.

Использована стандартная аппаратура - приборы для измерений давления (манометрические приборы) и электрических параметров (промышленные тренировочно-испытательные стенды), анализа спектра остаточных газов (ИПДО-2А с датчиком РМО-4С), оборудование для диффузионной сварки (УДС-2, ВЭ-702).

Достоверность полученных результатов подтверждается использованием известных положений фундаментальных и прикладных наук, корректностью математических моделей и их адекватностью известным критериям оценки изучаемых процессов, сходимостью теоретических и экспериментальных данных, а также промышленной проверкой.

Научные положения и результаты, выносимые на защиту:

1) Предложенная аналитическая модель гнездовой откачки учитывает проводимость зазоров в системе «прибор-гнездо-насос» и позволяет определить оптимальное соотношение между диаметром откачного отверстия в приборе и проводимостью зазора откачного патрубка гнезда, быстроты откачки насоса (8н), гнезда (8г), прибора (8пр) при условии выполнения соотношения ■^пр ^ 5Г < 5Н.

2) Предложенная методика удаления газов в системе «откачное отверстие в приборе - гнездо с заглушкой - выпускной патрубок» обеспечивает возможность применения гнездовой откачки по совмещенным режимам термического нагрева приборов за счет предварительной ионно-плазменной очистки и энергетики собственной электродной системы прибора при диаметрах откачных отверстий в приборах 20.80 мм и величине разнесения заглушки от прибора на 8. 12 мм.

3) Герметизация приборов диффузионной сваркой по клиновой схеме по режимам Рсв=12.18 МПа, Тсв=450.500°С, ^=15 мин, У=10"4.Ю"6 Па обеспечивает получение вакуумно-плотных термостойких соединений оболочек приборов из меди марки МВ с медной заглушкой без увеличения остаточного давления в приборах.

4) Результаты разработанного технологического процесса и конструкторские решения применения гнездовой откачки для большинства типоразмеров электровакуумных и газоразрядных приборов обеспечивают снижение остаточного давления в приборах на 1,5.2,0 порядка, улучшение электрических параметров на 20.30 процентов, сокращение длительности откачки в 1,5.2,5 раза, снижение энергозатрат на 30.40 процентов при вакуумно-термической обработке за счет собственной электродной системы.

Научная новизна работы:

• Установлено, что разработанные режимы напуска аргона (чистота 99%, давление от 10 до 100 Па) с последующим зажиганием тлеющего разряда позволяют проводить ИПО для очистки основных поверхностей электродов (напряжение разряда от 0 до 300 В, ток разряда от 0 до 80 А, давление от 10 до 100 Па, общее время 500 с) и вести форсированный подъем тока накала катода и напряжения сетки, осуществить вакуумно-термическую обработку приборов за счет нагрева электродной системы, сократить длительность откачки в 1,5.2,5 раза и улучшить обезгаженность МГЛ в 2 раза за счет введения критерия степени обезгаженности по величине газового потока.

• Для приборов с вольфрамовым торированным карбидированным катодом (ВТК) уменьшения долговечности по эмиссии не происходит в связи с тем, что время разложения ТЮ2 при рабочей температуре 2070°С значительно больше долговечности приборов по эмиссии.

• Установлено, что герметизация ЭВП с откачными отверстиями диаметрами от 20 до 80 мм может осуществляться по клиновой схеме ДС медной заглушкой при параметрах РСв=18 МПа, Тсв=500±25°С, 1Св=15 мин, У=6-10"4 Па, обеспечивающих герметизацию приборов с минимальными деформациями.

• Экспериментальными исследованиями с применением разработанных моделей усовершенствована и внедрена технология откачки мощной генераторной лампы ГУ-23А на модернизированном оборудовании с применением нагрева за счет собственной электродной системы, которая сокращает цикл откачки в 2.3 раза при понижении остаточного давления в приборах на 1,5.2,0 порядка.

Практическая значимость.

Результаты работы могут быть использованы при откачке и разработке технологии обработки мощных газоразрядных и электровакуумных приборов, обработке катодов и герметизации. Разработана технология откачки MTJI типа ГУ-23А с использованием форсированных режимов обработки электродов, что позволило улучшить качество приборов и снизить энергозатраты. Технология прошла апробацию на ОАО «НПП «Контакт». Предложенный метод герметизации обеспечивает высокое качество и надежность соединения, сохранение низкого давления в приборах, позволяет исключить применение дорогостоящих промежуточных материалов (припоев и флюсов) и уменьшить термосиловые воздействия на прибор во время его герметизации диффузионной сваркой по клиновой схеме.

Материалы исследований внедрены в учебный процесс на кафедре «Электронное машиностроение и сварка» Саратовского государственного технического университета в виде лекций и лабораторных работ по дисциплинам «Технология и оборудование сварки и пайки», «Оборудование сварки и пайки изделий электронной техники» и «Расчет и конструирование оборудования сварки и пайки».

Апробация работы. Материалы диссертационной работы доложены и обсуждены на следующих конференциях: конференции молодых ученых машиностроительного факультета СГТУ. I-II тур (Саратов, 2008); XXI Международной научной конференции «Математические методы в технике и технологиях» (Саратов, 2008); XV Международной научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника» (Дагомыс, 2008); IV Международной научно-технической конференции «Современные проблемы машиностроения» (Томск, 2008); 7-й Всероссийской с международным участием научно-технической конференции «Быстрозакаленные материалы и покрытия» (Москва, 2008); научно-технической конференции «Электроника и вакуумная техника: Приборы и устройства. Технология. Материалы» (Саратов,

2009); IV Российской научно-технической конференции «Вакуумная техника и технология» (Казань, 2009); XVI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» (Сочи, 2009).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 12 работ (2 статьи в журналах рекомендованных ВАК РФ, 10 статей в научных сборниках).

Личный вклад автора. Личный вклад автора заключается в постановке целей и задач исследования, разработке методик и моделей гнездовой откачки и удаления газов, ионно-плазменной очистки в разряде, модернизации оборудования, режимов герметизации приборов диффузионной сваркой.

Обсуждение полученных теоретических и экспериментальных результатов проводилось совместно с научным руководителем и с соавторами публикаций. Основные выводы по проведенной работе сформулированы автором работы.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 4 глав, заключения, списка использованной литературы, включающего 118 наименований, акта использования результатов в производстве. Работа изложена на 148 страницах, содержит 48 рисунков и 8 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Лемякин, Андрей Алексеевич

Заключение

На основании комплекса теоретических и экспериментальных исследований решена актуальная научная задача, имеющая важное народнохозяйственное значение, по разработке технологического процесса гнездовой откачки приборов с ионно-плазменной очисткой электродов при откачке и герметизацией диффузионной сваркой, обеспечивающих улучшение вакуумно-электрических характеристик приборов, сокращение длительности откачки, снижение энергозатрат.

1. Обоснована возможность применения гнездовой откачки для приборов диаметрами 20.80 мм с величиной разнесения заглушки 8. 12 мм совмещенных режимов термического нагрева приборов за счет собственной электродной системы и вакуумно-термической обработки с ионно-плазменной очисткой электродов ЭВП, обеспечивающих улучшение степени очистки электродов, снижение остаточного давления и сокращение длительности цикла откачки; построена модель удаления газов в системе "откачное отверстие в приборе - гнездо с заглушкой - выпускной патрубок".

2. Построена модель гнездовой откачки, учитывающая проводимость системы «прибор-гнездо-насос», позволяющая определить размеры откачного отверстия прибора и величину разнесения заглушки.

3. Определены совмещенные режимы вакуумно-термической обработки и ионно-плазменной очистки ЭВП на откачном посту обеспечивающие сокращение длительности откачки и экономии энергоресурсов за счет обезгаживания собственной электродной системой; экспериментальные данные совпадают с теоретическими моделями.

4. Получены вакуумноплотные термостойкие соединения оболочек приборов из меди МВ с медными заглушками диаметрами 20.80 мм без повышения давления при герметизации диффузионной сваркой по клиновой схеме по режимам Рсв=18 МПа, Тсв=500°С, ^=15 мин, У=10"4.Ю"6 Па.

5. Теоретические, технологические исследования и конструкторские решения показали возможность применения гнездовой откачки для всех типоразмеров приборов (мощные генераторные лампы, вакуумные дугогасительные камеры, мощные генераторные импульсные триоды, импульсные водородные тиратроны), обеспечивают снижение остаточного давления в приборе на 1,5.2,0 порядка, улучшение электрических параметров на 20.30 процентов, сокращение длительности откачки в 1,5.2,5 раза, снижение энергозатрат на 30.40 процентов при вакуумно-термической обработке за счет собственной электродной системы

6. Модернизировано оборудование для гнездовой откачки ЭВП с ИПО электродов и герметизацией ДС и разработаны конструктивные решения основных блоков откачных постов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Лемякин, Андрей Алексеевич, 2009 год

1. Дэшман, С. Научные основы вакуумной техники /С. Дэшман М.: Мир, 1964.-716 с.

2. Тягунов, Г.А, Основы расчета вакуумных систем /Г.А. Тягунов. -М., Л.: Государственное энергетическое издательство, 1948. 148 с.

3. Черепнин, Н.В. Вакуумные свойства материалов для электронных приборов /Н.В. Черепнин -М: Советское радио, 1966. С. 57-60. -350 с.

4. Черепнин, Н.В. Основы очистки обезгаживания и откачки вакуумной техники /Н. В. Черепнин М.: Советское радио, 1967. - 408 с.

5. Черепнин, Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике /Н.В. Черепнин М: Советское радио, 1973. - 283 с.

6. Пипко, А.И. Конструирование и расчет вакуумных систем /А.И. Пипко, В .Я. Плисковский, Е.А Пенчко М: "Энергия", 1979. - 504 с.

7. Конюшков, Г.В. Диффузионная сварка в электронике /Г.В. Конюшков, Ю.Н. Копылов-М: Энергия, 1974. 168 с.

8. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника /Л.Н. Розанов. М: Высшая школа, 2007.-391 с.

9. Шумарин, В.П. Исследование и разработка оборудования и технологии гнездовой откачки мощных СВЧ ЭВП: автореферат дисс. канд. техн. наук /В.П. Шумарин. М: МИЭМ, 1985.- 140 с.

10. Воронин, В.И. Исследование процесса камерной откачки митронов с разнесением частей: дисс. канд. техн. наук /В.И. Воронин. М: МИЭМ, 1975. - 140 с.

11. Ашкинази, Л.А. Электронные лампы: заря второй эпохи //Химия и жизнь-XXI век. -2006. №10. - С. 48-51

12. Воронин, В.И. Влияние разнесения частей экспериментальных диодов на продолжительность процесса откачки и параметра приборов /В.И Воронин, В.А. Антонов //Электронная техника, сер. 10, вып. 7, 1971. с. 12-15

13. Фрайтаг, Ж.П. Использование испытательного диода для контроля очистки деталей электронных ламп //В кн. Очистка деталей электронных приборов. /Ж.П. Фрайтаг; пер. с англ. под ред. Б.Д. Лудт и А.Л. Шустиной М: Энергия, 1964. - С. 191-211.

14. Ребров, С.И. Оценка перспектив развития различных направлений высокочастотной электроники /С.И.Ребров, В.П. Сазонов //Электронная техника. 1982. - Сер. 1, №12. - С. 5-17.

15. Прокофьев, В.Д. Мощные генераторные лампы для радиовещания, радиосвязи и телевидения /В.Д. Прокофьев //Электросвязь. 1982. - №5. - С. 1719.

16. Германов, Н.В Совещание по проблемам экономики электровакуумных приборов /Н.В Германов //Электросвязь. 1984. - №12. С. 57.

17. Преображенский, О.В. Масс-спектрометрическое исследование технологического процесса откачки и тренировки МГЛ /О.В. Преображенский, В.Г. Петарский, С.В. Брук //Электронная техника. 1973. - Сер. 4, № 5. - С. 111 -116.

18. Серова, Н.И. К вопросу о долговечности вольфрамового торированного карбидированного катода / Н.И. Серова, Ю. К. Лесин //В. кн.: Электронное приборостроение М. - Л.: Энергия, 1967. - 127 с.

19. Брук, С.Г. С применением совмещенных режимов обезгаживания при откачке малошумящих ЛБВ. / С.Г. Брук, В.И. Епифанов, Г.А. Рудин //Электронная техника. 1971. - Сер. 10, № 3. - С. 38 - 42.

20. Мешковский, И.К. Об эрозии анодов МГЛ. / И. К. Мешковский, Л. А. Пискунов //Электронная техника- 1973. Сер. 1, № 5. - С. 120 - 121.

21. Фискин, А .Я. Оптимизация режимов обезгаживания ЭВП СВЧ на основе определения источников газовыделения /А.Я. Фискин //Электронная техника. 1971. - Сер. 1, № 10. - С. 81 - 88.

22. Волчкевич, А.И. Анализ режимов и методов технологии откачки ЭВП с целью их регламентации /А.И. Волчкевич М: Проспект, 1978. Вып. 3. -С. 81.

23. Волчкевич, Л.И. Электронное машиностроение : учеб. пособие /Л.И. Волчкевич и др.. М: Изд-во МГТУ, 1989. - 128 с.

24. Орлов, К.Н. Разработка и внедрение в серийное производство унифицированного процесса откачки ЭВП с целью сокращения цикла откачки в 2 раза /К.Н. Орлов, Т.Б. Демешкевич, Н.М. Батурина М: Проспект, 1978. Вып. З.-С. 82.

25. Конюшков, Г.В. Влияние температуры отпая на вакуум в приборах /Г.В. Конюшков, В.В. Максимов, Ю.Н. Шанин //Электронная техника. 1971. сер. 10. № З.-С. 30-31.

26. Орлов, К.Н. Влияние температуры отпаивания на давление в ЭВП /К.Н. Орлов, А И Волчкевич, Н.М. Батурина //Электронная техника. 1978. -Сер. l.№ 1.-С. 79-83.

27. Сытник, А.Н. Криодокачка остаточных газов из ЭВП /А.Н. Сытник, С.И. Переварюха//Электронная техника. 1978. -Сер. 1. № 1. С. 85 - 88.

28. Орлов, К.Н. Разработка и внедрение в производство процесса откачки ЭВП с сокращенной в 2 3 раза длительностью /К.Н. Орлов, Н.И Батурина, В.Н. Добренченко - М: Проспект, 1979. - Вып. 4. - С. 90.

29. Плешивцев, Н.В. Катодное распыление /Н.В. Плешивцев М: Атомиздат, 1968. - 343 с.

30. Змиевский, Ю.Н. Очистка деталей ПУЛ ионным травлением /Ю.Н. Змиевский, B.C. Токарев //Вопросы радиоэлектроники. 1966. - Сер. 4. № 1.-е. 56-64.

31. Токарев, B.C. Влияние ионной обработки деталей ЭВП на их параметры /B.C. Токарев //Электронная техника. 1966. - Сер. 10. № 5. - С. 41 -59.

32. Токарев, B.C. Ионно-плазменная обработка ПУЛ, как фактор снижения эмиссионного брака и повышения их надежности /B.C. Токарев //Электронная техника. 1967. - Сер. 10. № 2. - С. 3 - 12.

33. Спиридонов, Ю.С. Ионно-плазменная очистка ЭВП в ходе откачки /Ю.С. Спиридонов //Электронная техника. 1971. - Сер. 1. № 1. - С. 111-116.

34. Спиридонов, Ю.С Обработка ПУЛ с помощью высокочастотной плазмы /Ю.С. Спиридонов, И.Ф. Сенкин, А.И. Несковитый //Электронная техника. 1972, сер. 4. - С. 49 - 53.

35. A.C. № 234527 СССР Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов /А. Г. Денисов, В. И. Перфилов, Ю. С. Спиридонов. опубл. в Б.И. 1969, Бюл. № 4.

36. A.C. № 263751 СССР Способы очистки деталей металлокерамических радиоламп /А. П. Краснов. опубл. в Б.И. 1970, Бюл. № 8.

37. A.C. № 352335 СССР Способ очистки электровакуумного прибора в процессе откачки /Ю. С. Спиридонов опубл. в Б.И. 1972, Бюл. № 28.

38. A.C. № 290343 СССР Способы обработки электровакуумных и газоразрядных приборов /Э. П. Гель, Ю. С. Спиридонов опубл. в Б. И. 1970, бюл. № 2.

39. A.C. № 452879 СССР Способ очистки внутренних поверхностей электровакуумных приборов /В. М. Геллер, М. С. Чахнов. опубл. в Б. И. 1977, Бюл. № 28.

40. A.C. №855784 СССР Способ очистки электродов электровакуумных приборов /А. Я. Фиксис, опубл. в Б. И. 1981, Бюл.№ 30.

41. A.C. №511646 СССР способ обезгаживания элементов электронных приборов /ВВ. Сухомлинов, А. И Шимко, опубл. в Б. И. 1976, Бюл. № 15.

42. Электрофизические способы очистки поверхностей деталей в электровакуумном производстве. ЦСНТЭИ, 1975, №7.

43. Amoignom, J. Limites actuelles des dispositifs de production des basses pressions. Le Viede, 1966, № 121, p. 1.

44. Патент США №3.085.739 от 16.04.63.

45. Daglisch, H.N. Anode luminescence in oxide-cathode receiving valves. -Proc. IEE, 1960, №5, p. 481.

46. Брусиловский, Г.Н. Особенности конструкции и технологии вольфрамового торированного карбидированного катода /Г.Н.Брусиловский, Гоголев Г.П., Лесин Ю.К. и др. //Обзоры по электронной технике. 1988. -Сер. 4, вып. 2 (1371), С. 25-29.

47. Пешехонов, П.В. Тренировка высоковольтных ламп с оксидным катодом /П.В. Пешехонов //Катодная техника. 1968. - Вып. 4. - С. 39.

48. Гоголь, Г.П. Технология изготовления вольфрамового торированного карбидированного катода. /Т.П. Гоголь, Ю.К. Лесин, Л.А. Радченко // Обзоры по электронной технике. 1987. - Сер. 4, вып. 3. - С. 45-57.

49. Ингберман, М.И. Оптимальные режимы применения и эксплуатации электровакуумных приборов /М.И. Ингберман, М.С. Эпштейн -М: Радио и связь, 1985. 134 с.

50. Вакуумные дуги. /Пер. с англ. под ред. Дж. Лафферти М: Мир, 1982.-432 с.

51. Blauth E.W., Mayer Т.Н Zur Gasaufzehrung in einer HF Gasentlaung. Zeitschrift fuer angewandte Physik, 1965, D.19, №6, 546 s.

52. Савостин, С.А. Изменения термоэлектронной эмиссии оксидного катода и состава его покрытия в процессе длительной работы /С.А.Савостин, И.Л. Тараш, Б.М. Царев //Электронная техника. 1969. - Сер. 1, вып. 4. - С. 1822.

53. Воронин, В.И. Влияние технологической обработки анода и разнесения электродов при откачке на характеристики приборов с оксиднымкатодом /В.И. Воронин, В.А. Антонов //Электронная техника. 1970. - Сер. 10, вып. 2.-С. 50-57.

54. Михайлов, Г.С. Взаимное влияние термокатодов и подвергающихся электронной бомбардировке элементов вакуумных приборов /Г.С. Михайлов //Вопросы радиоэлектроники. Сер. IV. Технология, производство, оборудование. 1965. -№5. - С. 25-28.

55. Трепнел, Б. Хемосорбция: пер. с англ. /Б. Трепнел М: Иностранная литература, 1958. - 327 с.

56. Воронин, В.И. Влияние разнесения частей экспериментальных диодов на продолжительность процесса откачки и параметра приборов /В.И. Воронин, Антонов В.А. //Электронная техника,- 1971. Сер. 10, вып. 7. - С. 150155.

57. Антонов, В.А. Об эффективности бесштенгельной откачки электровакуумных приборов /В.А.Антонов, Н.К. Варнаков, Г.В. Конюшков //Вопросы радиоэлектроники. 1966. - Сер. 4, №1 - С. 145-156.

58. Луфт, Б.Д. Методы контроля технологических процессов очистки поверхностей детае электронных приборов /Б.Д. Луфт //Электронная техника. -1972.-Сер. 7, №4.-С. 59-67.

59. Маан, Дж. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел /Дж. Маан и др. М: МЭИ, 1981 - 468 с.

60. Айбиндер, С.Б. Холодная сварка металлов /С.Б.Айбиндер Рига: АН Лат ССР, 1957.- 163 с.

61. Любимов, М.П. Отпайка медных штенгелей методом холодной сварки /М.П. Любимов, Л.Г. Мишкин, Г.Ф. Федченко //Электроника. 1959. -№3. - С. 40-48

62. Белоусов, A.A. Совмещенные режимы откачки /A.A. Белоусов //Электроника. 1958 №11. - С. 37-46.

63. Смит, М.К. Основы физики металлов /М.К.Смит; пер. с англ., под ред. Б.Я. Любова М: Металлургиздат, 1959. - 456 с.

64. Кубашевский, О. Оксисление металлов и сплавов /О. Кубашевский, Е.Гопкинс; пер с англ. В.А. Алексеева М: Металлургия, 1965. -312 с.

65. Попов, В.Х. Диффузионная сварка электровакуумных приборов при бесштенгельной откачке /В.Х. Попов, В.М. Преснов, Ю.Ф. Жданов //VI межвузовской науч.-техн. конференции: сб. науч. тр. М: МГТУ 1970. - С. 4655.

66. Казаков, Н.Ф. Эффективность диффузионного соединения узлов электровакуумных приборов при бесштенгельной откачке /Н.Ф.Казаков и др. //Электронная техника. 1968. - Сер. 10, вып. 1. - С. 50-58.

67. Жолобов, С.П. Изучение бесштенгельной откачки металлокерамических приборов /С.П. Жолобов, В.Д. Саратовкин //Электронная техника. 1968. - Сер. 5, вып. 1- С. 56-60.

68. Begeal, D.R. The outgassing of copper pinchoffs. — J.Vac.Sci. and Technol., 1973, 10 №4, 520-522 p.

69. Воронин В.И. О применении низкотемпературной диффузионной сварки для герметизации электровакуумных приборов /В.И. Воронин, В.А. Антонов, В.В. Заветный //Электронная техника. 1968. - Сер. 10, вып. 8. - С. 2030.

70. A.C. № 919835 СССР Устройство для диффузионной сварки /Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин и др. опубл. в Б.И. 1982, Бюл. № 14.

71. A.C. № 472397 СССР Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки /Г.В. Конюшков, В.П. Шумарин и др. опубл. в Б.И. 1975, Бюл. № 20.

72. A.C. № 686102 СССР Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки /Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин и др. опубл. в Б.И. 1979, бюл. № 34.

73. Казаков, Н.Ф. Диффузионная сварка в вакууме /Н.Ф. Казаков — М: Машиностроение, 1968. 332 с.

74. Казаков, Н.Ф. Диффузионная сварка материалов /Н.Ф. Казаков М: Машиностроение, 1976. - 312 с.

75. Теория, технология и оборудование диффузионной сварки /В.А. Бачин, В.Ф. Квасницкий и др.. -М: Машиностроение, 1991. 352 с.

76. Отрин, Б. Остаточные газы в электронных лампах /Б. Отрин; Пер. с англ. под ред. Г.Д. Глебова М: Энергия, 1967. - 288 с.

77. Воронин, В.И. Исследование процесса камерной откачки митронов с разнесением частей: Автореферат канд. дисс. /Валерий Иванович Воронин -М.: МИЭМ, 1975.-24 с.

78. Датц, Ш. Отражение модулированных пучков гелия и дейтерия от платиновой поверхности. Взаимодействие газов с поверхностями /Ш. Датц, Дж. Мур, Э. Тейлор М.: Мир, 1965. - 198 с.

79. Борисов, С.Ф. Взаимодействие газов с поверхностью твердых тел /С.Ф. Борисов, Н.Ф. Балахонов, В.А. Губанов. -М.: Наука, 1988. -200 с.

80. Голубовский, Ю.Б. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы /Ю.Б. Голубовский и др. СПб: Изд-во СПбГУ, 2004. - 248 с.

81. Друкарев, Г.В. Столкновение электронов с атомами и молекулами ГГ.В. Друкарев -М: Наука, 1978. -255 с.

82. Зоркин, А.Я. Откачка электронных приборов: учеб. пособие /А.Я. Зоркин, Г.В. Конюшков. Саратов: Сарат. гос. техн. ун-т, 2006. - 284 е.

83. Прокофьев, В.Г. Взаимное влияние электродов на распределение примеси кислорода при откачке ЭВП /В.Г. Прокофьев, А.Я. Зоркин, С.В. Семенов //Деп. в ВИНИТИ 22.06.00 №1763-ВОО.

84. Левинский, Ю.В. Диаграммы состояния двойных металлических систем /Ю.В. Левинский — М: Металлургия, 1990. 400 с.

85. Эллиот, Р. Структуры двойных сплавов /Р. Эллиот М: Металлургиздат, 1970. - 548 с.

86. Шанк, Ф. Структура двойных сплавов: справочник /Ф. Шанк; пер. с англ. под ред. И.И. Новикова. М: Металлургия, 1973. - 760 с.

87. Стромберг, А.Г. Физическая химия /А.Г. Стромберг, Д.П. Семченко М: Высшая школа, 2006. - 527 с.

88. Конюшков, Г.В. Специальные методы сварки давлением. Учебное пособие /Г.В. Конюшков, Р.А. Мусин Саратов: Ай Пи Эр Медиа, 2009. - 632 с.

89. Шоршоров, М.Х. Испытания металлов на свариваемость /М.Х. Шоршоров, Ю.Л. Красулин . М: Металлургия, 1972. - 240 с.

90. Каракозов, Э.С. Сварка металлов давлением/Э.С. Каракозов М: Машиностроение, 1986. - 275 с.

91. Бокштейн, С.З Термодинамика и кинетика границ зерен /С.З. Бокштейн и др. -М: Металлургия, 1986. 223 с.

92. Мовнин, М.С. Основы технической механики /М.С Мовнин. М: Политехника, 2007. - 286 с.

93. Банов, М.Д. Технология и оборудование контактной сварки /М.Д Банов. М: Академия, 2005. - 224 с.

94. О. Ohashi and T. Hashimoto. Effect of creep Déformation on characteristics of diffusion welded joints: ln: Transactions of National Research institute fon Metals, 1979, v.21, №3, p.p. 121-129.

95. Бачин, B.A. Диффузионная сварка стекла и керамики с металлами /В.А. Бачин. М.: Машиностроение, 1986. - 184 с.

96. Воронин, В.И. Некоторые вопросы герметизации электровакуумных приборов при откачке из разнесенных частей /В.И. Воронин, В.А. Антонов, В.В. Заветный //Технология электровакуумного производства. -1969.-№8(15).-С. 10-17.

97. Гуртовник, А.Г. Электровакуумные приборы и основы их конструирования: учебник /А.Г. Гуртовник и др.. -М: Энергоатомиздат, 1988. 424 с.

98. Кацнельсон, Б.В. Электровакуумные электронные и газоразрядные приборы /Б.В. Кацнельсон и др.. М: Радио и связь, 1985. - 864 с.

99. Гладков, A.C. Материалы и сплавы для электровакуумных приборов /A.C. Гладков, В.М. Амосов, Ч.В. Копецкий, A.M. Левин М: Энергия, 1969. - 237 с.

100. Вакуумная техника: Справочник /Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др.; Под общ. ред. Е.С. Фролова. М: Машиностроение, 1992. -480 с.

101. Фролов, Е.С. Механические вакуумные насосы /Е.С. Фролов, И.В. Автономова, В.И. Васильев и др. М.: Машиностроение, 1989. -288 с.

102. Саксаганский, Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы /Г.Л. Саксаганский. М.: Энергоатомиздат, 1988. - 280 с.

103. Федоров, М.И. Исследование откачного оборудования с целью обеспечения требований откачки ЭВП по сокращенному циклу /М.И. Федоров, Ю.П. Кирносов //Электронная техника 1981. - Сер. 7, №1. - С. 41-44.

104. Зоркин, А.Я. Электронная эмиссия из квантово-размерных структур /А.Я. Зоркин // Вакуумная наука и техника: материалы XII науч.-техн. конф.-М: МИЭМ, 2006. С. 50-58.

105. Картузова, И.А. Измерение давления в генераторных и модуляторных тетродах /И.А. Картузова, Г.Л. Брусиловский //Электронная техника. 1978. - Сер. 4, №2. - С. 75-82.

106. Краснов, А.П. Исследование остаточных газов в малогабаритных титано-керамических ламп СВЧ диапазона и условий их бесштенгельной откачки: Автореф. канд. дисс. /А.П. Краснов — Томский политехнический ин-т, 1972. 22 с.

107. Протасов, Ю.М. Физико-химические методы анализа: учебное пособие /Ю.М Протасов и др.- Кострома: КГТУ, 2004.- 52 с.

108. Заикин, В.Г. Основы масс-спектрометрии органических соединений /В.Г. Заикин и др. -М.: МАИК "Наука/Интерпериодика", 2001. -286 с.

109. Галль, JT.H. Сравнительные возможности масс-анализаторов разных типов в решении аналитических задач масс-спектрометрическими методами /Л.Н. Галль и др. //Масс-спектрометрия. Декабрь, 2008. - .Т. 5, №4. -С. 295-300.

110. Иориш, А.Е. Основы технологии производства электровакуумных приборов /А.Е. Иориш и др. М: Энергия, 1971. - 312 с.

111. A van Oostrom Requirements for partial pressure analysers from the user's point of view. "Vacuum", 1972, v.22, №1.

112. ГОСТ 8.207-79 (2006) Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения. М: Издательство стандартов, 1981. - 5с.

113. Надежность и испытание электровакуумных приборов /М.А. Роксман 2 изд - М: Радио и связь, 1986. - 296 с.

114. Решникова, H.A. Системный подход к управлению технологией обезгаживания во время откачки. /H.A. Решникова //Специальная электроника. "Электроника СВЧ". - 1973. - Серия 1, вып. 12. - С. 97-100.

115. Казенас, Е.К. Исследование скорости испарения сплавов в вакууме масс-спектрометрическим методом /Е.К. Казенас и др. //Вакуумная наука и техника: материалы XII науч.-техн. конф М: МИЭМ, 2006. - С. 7-9.

116. Конюшков, Г.В. Исследование влияния сборки узлов ЭВП диффузионным соединением на остаточный вакуум в приборах /Г.В.Конюшков

117. Диффузионная сварка металлов, сплавов и неметаллических материалов М: Энергия, 1968.- 168 с.1. ЧУ

118. Ожидаемый экономический эффект от внедрения технологических процессов 500 тыс. рублей в год (пятьсот тысяч рублей).1. От СГТУ

119. От ОАО НПП "Контакт" Главнйш конструктор поэлектровакуумным приборам1.1. Г.П. Найденовглавный конструктор по коммутационным устройствам1. О.В. Печенкин