Физикохимия поверхности покрытий на тантале и стали 45, полученных при низковольтных электрических разрядах металлами IVБ-VIБ групп в качестве анодов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат химических наук Ягодзинский, Денис Леонидович

• Ягодзинский, Денис Леонидович
• кандидат химических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат химических наук Ягодзинский, Денис Леонидович

ф ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ПРОБЛЕМЫ ФОРМИРОВАНИЯ СОСТАВА И СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ ПРИ г ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ РАЗРЯДАХ (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР).

1.1. Электроискровое легирование как метод получения неравновесных конденсированных систем на поверхности материала

0 , 1.2. Механизм электроискровой эрозии.

1.3. Представления о формировании электроискровых покрытий

1.4. Постановка задачи.

ГЛАВА 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕМЕНТНОГО, ФАЗОВОГО СОСТАВОВ И РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ

ЭЛЕКТРОИСКРОВЫХ ПОКРЫТИЙ.

2.1. Энергомасс-анализ. f 2.2. Рентгенофазовый анализ поверхности покрытий.

2.3. Электронно-зондовый микроанализ.

2.4. Растровая электронная микроскопия.

2.5. Сканирующая туннельная микроскопия.

2.6. Методика приготовления образцов.

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

ГЛАВА 3. ФОРМИРОВАНИЕ ФАЗ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ ПОКРЫТИЙ ИЗ МЕТАЛЛОВ 1УБ - У1Б ГРУПП НА ТАНТАЛЕ И СТАЛИ

НИЗКОВОЛЬТНЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ РАЗРЯДАМИ.

3.1. Элементный состав покрытий. f 3.1.1. Данные энергомасс-анализа.

3.1.2. Данные микрозондового анализа.

3.2. Общая характеристика фазового состава покрытий.

3.3. Образование нитридов и оксидов металлов ГУБ - У1Б групп при воздействии низковольтных электрических разрядов.

ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕЙ ТУННЕЛЬНОЙ

МИКРОСКОПИИ.

4.1. Поверхность закаленной стали 45.

4.2. Поверхность медного покрытия.

4.3. Поверхность покрытий из ниобия и тантала.

4.4. Поверхность вольфрамовых покрытий.

ГЛАВА 5. РАСЧЕТЫ ФАЗ, ОБРАЗУЮЩИХСЯ В ПРОЦЕССЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПРИ НИЗКОВОЛЬТНЫХ

ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ РАЗРЯДАХ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физикохимия поверхности покрытий на тантале и стали 45, полученных при низковольтных электрических разрядах металлами IVБ-VIБ групп в качестве анодов»

В современных процессах обработки и получения материалов методы, основанные на воздействии электрических разрядов, занимают заметное место. А в тех случаях, когда материал не поддается механической обработке из-за высокой прочности или сложной конфигурации образца, обработка электрическими разрядами часто является незаменимой [1, 2]. Одним из видов обработки электрическими разрядами является электроэрозионная обработка. Ее технология хорошо отработана и она с успехом применяется для изготовления роторов, лопаток турбин, сотовых конструкций [3].

Электроискровое легирование является видом физико-химического воздействия на материал низковольтными электрическими разрядами, который позволяет получать покрытия и модифицировать свойства поверхности твердого тела.

С помощью этого метода возможно сформировать покрытие из любого токопроводящего вещества. Практический интерес к нему определяется тем, что его техническая реализация по сравнению с другими методами воздействия концентрированными потоками энергии (обработка лазерным лучом, потоками заряженных частиц, плазмой) более проста.

Традиционно проблема получения покрытий заданного состава в электроискровом легировании была связана только с подбором материала электрода, имеющего необходимый элементный состав. Предполагается, что после нанесения покрытия свойства обрабатываемого материала изменяются незначительно. Мало внимания уделяется изучению физико-химического взаимодействия материала электрода с веществом подложки и компонентами среды, в которой производится нанесение покрытия. Немногочисленные работы посвящены фазовому составу формирующегося покрытия.

Согласно современным представлениям, при низковольтном электрическом разряде происходят разнообразные физико-химические процессы. Вещество, как электрода, так и подложки, плавится и испаряется, взаимодействует с элементами окружающей атмосферы и друг с другом, претерпевает быстрое охлаждение (закалку). В конденсированной системе происходит взаимная диффузия элементов. При низковольтном электрическом разряде может реализовываться надкритическое состояние вещества [4]. Система «контактирующие поверхности анода и катода при искровом разряде» представляет собой неравновесную открытую систему. Нередко и сам материал (как система) внутренне равновесен лишь частично [5].

И хотя в современных физической химии и материаловедении таким системам уделяется серьезное внимание [6, 7], процесс накопления, углубления и обобщения знаний о явлениях в сложных (компонентность, фазность и т.п.) существенно неравновесных системах все еще является очень трудоемким, плохо стандартизованным и слабо формализованным. Поэтому восполнение белых пятен в указанных выше отношениях является актуальной задачей.

В общем случае, под неравновесным состоянием системы в термодинамике понимается такое ее состояние, из которого она самопроизвольно может переходить в другое состояние по направлению к равновесию в условиях изоляции или при малом конечном воздействии. Неравновесные системы возникают, как правило, при физических процессах, сообщающих системе в целом или ее части избыточную внутреннюю энергию по сравнению с энергией равновесной системы (табл. 1) [8].

В частности, создание в системах предпосылок (термодинамической возможности) к образованию новых фаз (сопряженных с интенсивными потоками энергии и/или вещества между частями системы, например, фазами и/или на ее границах) может приводить к состояниям так называемого детерминированного хаоса [9] и, как следствие, к множеству путей образования структур, в частности, фазового состава и рельефа покрытий, в процессе релаксации к состоянию равновесия [10, 11].

Воздействие на систему [8].

Вид Русский термин Английский эквивалент воздействия

Понижение быстро закаленный (охлаж- rapidly quenched, rapid температуры денный), быстрая закалка quenching системы (за- глубокая закалка deep quench калка, быстрое закаленный в жидкости liquid-quenched охлаждение) закаленный путем разбрызги- вания splat quenched закаленный из расплава melt-quenched закаленный из пара vapor quenched, vapor quenching конденсация пара vapor condensation конденсация condensation сгущенный (напыленный) evaporated наклонно (наискось) сгу- щенный obliquely evaporated термическое напыление thermal evaporation быстрое затвердевание (бы- rapid solidification стро затвердевший) (rapidly solidified) быстрые направленные за- rapid directional solidiтвердевания fication распыление, разбрызгивание разбрызганные, напыленные, распыленные сплавы) sputtering (sputtered alloys) осаждение разбрызгиванием sputter deposition кристаллизация на поверх- ности surface crystallization

Повышение термические преобразования thermal transformations температуры кратковременный высоко- short-time high-temperature системы температурный отжиг annealing взрывная кристаллизация explosive crystallization самораспространяющийся synthesis by combustion высокотемпературный синтез (combustion sintering)

Окончание таблицы 1.

Электрофизическое воздействие на систему электроискровое легирование (низковольтный разряд) electrospark alloying электроосаждение electrodeposition молния fulgur (Lat.)

Химические и электрохимические методы химическое осаждение из растворов микроплазменная электрохимия anodic spark deposition

Облучение системы ускоренные потоки ионов accelerated ion beams смешивание в ионном пучке ion beam mixing модификация ионным пучком ion beam modification облучение ионами ion irradiation облучение нейтронами neutron irradiation облучение электронами electron irradiation самооблучение self-irradiation импульсное лазерное облучение pulsed laser-irradiated лазерное плавление laser melting лазерное осаждение laser deposit

Механическое воздействие на систему измельчение (помол) в шаровой мельнице ball milling (ball-mill) механическое сплавление mechanically alloyed (mechanical alloying) механохимические реакции mechanochemical reactions трение friction холодная пластическая деформация cold plastic deformation механическая деформация (УДар) mechanical deformation воздействие давления pressure-induced (pressure induced) деформация сдвига суровая пластическая деформация под давлением severe plastic deformation under pressure

Выделенный жирным шрифтом вид воздействия использован в данной работе.

В литературе приводится ряд моделей образования покрытий при воздействии низковольтных электрических разрядов. Однако количество принятых допущений в них достаточно велико, поэтому они применимы при выборе только определенных материалов электродов и режимов легирования, или не приводят к точному количественному соответствию с экспериментальными результатами. Кроме этого, их систематизация не дает цельной картины формирования покрытия. Ограниченность известных моделей связана с тем, что с одной стороны, искровой разряд, используемый в установках электроискрового легирования, характеризуется коротким временем существования и малой пространственной, локализацией. В частности, малость пробойных промежутков не позволяет провести их измерение традиционными методами оптической микроскопии и ответить на вопрос о том, какое начало имеет пробой при напряжении на электродах в несколько десятков вольт - контактное или бесконтактное. Разделение процессов может быть проведено методическим путем, как это было сделано, например, для высоковольтных разрядов в вакууме [12]. В электроискровом легировании, точно так же, как и в родственной ему электроэрозионной обработке, можно было бы с помощью регрессионного анализа построить корреляционные соотношения свойств вида «степень шероховатости - ток разряда» и «фазовый состав - ток разряда» [13]. Однако объем материальных и временных затрат по определению таких зависимостей велик, так как в электроискровом легировании велико разнообразие используемых материалов электродов. Поэтому для определения принципа выбора материала и условий обработки необходимо установить основные физико-химические закономерности формирования фазово-элементного состава и рельефа покрытий.

Следует отметить, что изучение фазообразования может служить методом исследования различных процессов при воздействии низковольтных электрических разрядов, таких как распространение температурного поля, диффузия атомов внедрения, закалка, конденсация паров соединений, поскольку многие фазы имеют определенную область существования (устойчивости).

Для исследования закономерностей фазообразования были выбраны чистые металлы 1УБ - VIE групп Периодической системы Д.И. Менделеева, которые являются удобными модельными объектами. Тантал, как металл катода, был выбран по двум причинам. Во-первых, взаимодействие кислорода с металлами IVB-VIB групп наиболее полно известно для тантала, хотя реакции его окисления сложны. Во-вторых, среди указанных металлов тантал имеет наименьший порог хладноломкости, что позволяет получать покрытия без заметного разрушения катода. Кроме этого, способность их к взаимодействию с элементами воздуха хотя и индивидуальна, но монотонно изменяется при последовательном переходе от одного элемента к другому в ряду или группе Периодической системы. В качестве второго катода была выбрана закаленная сталь 45, которая является широко распространенным конструкционным материалом.

Цель работы - изучить влияние факторов, приводящих к образованию химических фаз в системе «металл-азот-кислород» и формированию рельефа поверхности при воздействии низковольтных электрических разрядов (на примере переходных металлов IVB - VIE групп Периодической системы).

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

1) Исследовать элементный состав образующихся покрытий и распределение элементов анода по их глубине;

2) Определить фазовый состав поверхностей взаимодействующих электродов;

3) Изучить микрорельеф поверхности электродов и покрытий на участках протяженностью 5 - 103 нм;

4) Предложить возможный механизм образования фаз в покрытии при низковольтных электрических разрядах на воздухе;

5) Оценить температуру реакционной зоны на основании сравнения термодинамических расчетов с данными эксперимента.

Научная новизна работы.

1. Впервые выполнено систематическое исследование элементно-фазового состава покрытий, образованных при взаимодействии анодов из переходных металлов IVB - VIB групп (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Та, Cr, Mo, W) и Fe с катодами из тантала и стали 45 при низковольтных электрических разрядах. Установлено количественное, соотношение оксидов, нитридов и интерметал-лидов в поверхностном слое покрытий.

2. Впервые методом сканирующей туннельной микроскопии изучена поверхность покрытий, полученных на основе переходных металлов при низковольтных электрических разрядах, на участках протяженностью 5 - 103 нм. Обнаружены неоднородности покрытий, имеющие размер ~ 5 нм. Показано, что формирование рельефа зависит от теплофизических параметров металлов анодов.

3. Методом термодинамического моделирования (программа БнДСМЭТ) произведены расчеты фазового состава в системе Me-N-O при температурах до 3300 К. Показано, что по составу образующихся фаз можно оценить верхний температурный интервал реакционной зоны при низковольтных электрических разрядах, составляющий 1300 - 2300 К.

Практическая значимость работы. В проведенных исследованиях представлен комплексный подход к поиску оптимальных технологических параметров для получения покрытий методом электроискрового легирования. Изучение взаимосвязи фазового состава и химических свойств тугоплавких металлов расширяет перспективу их применения в качестве компонентов электродных материалов. Установленная морфология поверхности на участках протяженностью 5 - 103 нм может служить основой для получения наноструктур покрытий.

Положения, выносимые на защиту:

1. Образование фаз с пониженным содержанием азота или кислорода при воздействии низковольтных электрических разрядов.

2. Влияние кинетического фактора на формирование нитридов и оксидов переходных металлов 1УБ - VIB групп (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Та, Сг, Mo, W) и Fe при низковольтных электрических разрядах.

3. Представления о механизме взаимодействия переходных металлов IVB - VIB групп с танталом и сталью 45 при воздействии низковольтных электрических разрядов.

4. Совокупность параметров микрорельефа поверхности покрытий и их взаимосвязь с теплофизическими характеристиками металла анодов.

Апробация работы. Результаты диссертационной работы представлялись на: международном семинаре «Наукоемкие технологии и проблемы их реализации в производстве» (Хабаровск, 1996 г.); региональной научно-технической конференции по итогам выполнения МРНТП «Дальний Восток России» за 1993-96 гг. (Комсомольск-на-Амуре, 1996 г.); международном симпозиуме «Химия и химическое образование, ATP, XXI век» (Владивосток, 1997 г.); International Conf. on the Applications of the Mossbauer Effect (Rio de Janeiro, Brazilia, 1997); XVI Менделеевском съезде по общей и прикладной химии (Санкт-Петербург, 1998 г.); международном симпозиуме (Первые Самсоновские чтения) "Принципы и процессы создания неорганических материалов" (Хабаровск, 1998 г.); II и IV Всероссийских конференциях молодых ученых «Физическая мезомеханика материалов» (Томск, 1999, 2001 гг.); международной научно-технической конференции «Автомобильный транспорт Дальнего Востока 2000» (Хабаровск, 2000 г.); Первой Амурской межрегиональной научно-практической конференции «Химия и химическое образование на рубеже веков» (Благовещенск, 2001 г.) и VII Региональной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых по физике полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов «ПДММ - 2003» (Владивосток, 2003 г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 14 работ.

Диссертация выполнена в Институте материаловедения ХНЦ ДВО РАН в соответствии с планами научно-исследовательских работ РАН по направлению «Проблемы машиностроения» (шифр 1.11), по теме (1.11.6.6): «Разработка научных основ и высоких технологий создания покрытий методом ЭИЛ» (№ гос. регистрации 01.9.60 001426) и Дальневосточном государственном университете путей сообщения.

Структура и объем работы. Диссертационная работа содержит введение, пять глав и список литературы. Общий объем работы составляет 122 страницы, включая 20 рисунков, 17 таблиц и библиографию из 112 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Ягодзинский, Денис Леонидович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Выполнено систематическое исследование элементно-фазовых соотношений в покрытиях, образованных при взаимодействии анодов из переI ходных металлов IVB - VIB групп (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Та, Cr, Mo, W) и Fe с катодами из стали 45 и тантала при низковольтных электрических разрядах. Показано, что в случае стальной подложки в покрытиях устойчивы преимущественно интерметаллиды из компонентов электродов, а в случае подложки из тантала - его нитриды и оксиды.

2. Установлено, что соотношение количеств нитридов и оксидов металлов электродов соответствует отношению содержания кислорода к азоту в воздухе. Это указывает на зависимость скоростей образования соответствующих фаз от парциального давления газов среды.

3. Предложен механизм взаимодействия металлов, используемых в качестве анодов при искровом воздействии, с катодами из стали 45 и тантала, а именно, образование оксидных и нитридных фаз может происходить стадийно, то есть имеет место растворение азота и кислорода в металлах с последующими реакциями, приводящими к образованию нитридов и оксидов.

4. Экспериментально обнаружено, что кинетика взаимодействия металлов с кислородом и азотом воздуха влияет на образование нитридов и оксидов в поверхностном слое покрытий. Именно этим фактором можно объяснить преобладание нитридов в покрытиях на тантале по сравнению с оксиI дами в неравновесных условиях низковольтного электрического разряда. В квазиравновесных экспериментах (постепенное продолжительное нагревание) наблюдается обратная картина.

5. Методом сканирующей туннельной микроскопии впервые изучена морфология поверхности на наноуровне. Выявлены структуры, как на исходных поверхностях подложек, так и на покрытиях, полученных при воздействии низковольтного электрического разряда, размерами от 5 до сотен нанометров. Наиболее «гладкой» является поверхность покрытия, полученного на основе наиболее тугоплавкого вольфрамового анода.

6. На основании термодинамического моделирования систем Me-N-О при температурах до 3300 К показано, что покрытия образуются в неравновесных условиях. По экспериментально определенному фазовому составу оценен верхний температурный интервал реакционной зоны, составляющий 1300 - 2300 К для разных фаз.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Ягодзинский, Денис Леонидович, 2004 год

1. Лазаренко Б.Р., Лазаренко Н.И. Современный уровень развития электроискровой обработки металлов и некоторые научные проблемы в этой области / Электроискровая обработка металлов. М.: Изд-во АН СССР, 1957. Вып. 1.С. 9-37.

2. Аблесимов Н.Е., Верхотуров А.Д., Пячин С.А. Об энергетическом критерии эрозионной стойкости // Порошковая металлургия. № 1/2. 1998.1. С. 111-116.

3. Белеванцев В.И. Система определений основных понятий термодинамики. Препринт ИНХ СО РАН. № 88-3. Новосибирск: 1988. 59 с.

4. Николис Г., Пригожин И.Р. Самоорганизация в неравновесных системах.1. М.: Мир, 1979.512 с.

5. Полак Л.С., Михайлов А.С. Самоорганизация в неравновесных физикохимических системах. М.: Наука, 1983. 285 с.

6. Шустер Г. Детерминированный хаос. М.: Мир, 1988. 240 с. 10. Релаксационные явления в твердых телах. Материалы XX Международной конференции. 18-21 октября 1999 г. Воронеж: Изд-во ВГУ, 1999. 249 с.

7. Аблесимов Н.Е. Релаксационные эффекты и фазообразование в неравновесных конденсированных системах. Дис. . д-ра хим. наук. Хабаровск: 2000.317 с.

8. Месяц Г.А., Проскуровский Д.И. Импульсный электрический разряд в вакууме. Новосибирск: Наука, 1984. 256 с.

9. Фотеев Н.К. Управление качеством поверхности технологической оснастки при электроэрозионной обработке // Электронная обработка материалов. 1994. № 7. С. 3-7.

10. Будовских Е.А., Сарычев В.Д., Симаков В.П., Носарев П.С. О конвективном механизме жидкофазного легирования поверхности металлов при импульсном плазменном воздействии // Физика и химия обработки материалов. 1993. № 1. С. 59-66.

11. Углов А.А., Селищев С.В. Автоколебательные процессы при воздействии концентрированных потоков энергии. М.: Наука, 1987. 149 с.

12. Верхотуров А.Д., Подчерняева И.А., Линкина Л.Д. Формирование покрытий из безвольфрамовых материалов на основе минерального сырья под действие концентрированных потоков энергии // Вестник ДВО РАН. 1992. № 3-4. С. 80-97.

13. Агеев В.П., Бурдин С.Г., Гончаров И.Н. и др. Взаимодействие мощного импульсного лазерного излучения с твердыми телами в газах // Итоги науки и техники. 1983. Т. 31. С. 1-218.

14. Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. Термохимическое действие лазерного излучения // Успехи физических наук. 1982. Т. 138. № 1. С. 45-94.

15. Белеванцев В.И., Терлеева О.П., Марков Г.А., Шулепко Е.К., Слонова А.И., Уткин В.В. Микроплазменные электрохимические процессы. Обзор // Защита металлов. 1998. Т. 34. № 5. С. 469-484.

16. Мак-Тагтарт Ф. Плазмохимические реакции в электрических разрядах. М.: Атомиздат, 1972. 256 с.

17. Гайсин Ф.М., Сон Э.Н. Электрофизические процессы в разрядах с твердыми и жидкими электродами. Свердловск: Изд-во УрГУ, 1989. 432 с.

18. Баковец В.В., Поляков О.В., Долговесова И.П. Плазменно-электролитическая анодная обработка металлов. Новосибирск: Наука, 1991. 168 с.

19. Bazelyan Е.М., Raizer, Y.P. Spark discharge. Springer, 1997. 305 p.

20. Лазаренко Б.Р., Лазаренко Н.И. Электроискровой способ изменения исходных свойств металлических поверхностей. М.: Изд-во АН СССР, 1958. 117 с.

21. Лазаренко Н.И. Изменение исходных свойств поверхности катода поддействием искровых электрических импульсов, протекающих в газовой среде / Электроискровая обработка металлов. М.: Изд-во АН СССР, 1957. Вып. 1.С. 70-94.

22. Золотых Б.Н. О физической природе электроискровой обработки металлов / Электроискровая обработка металлов. М.: Изд-во АН СССР, 1957. Вып. 1.С. 38-69.

23. Золотых Б.Н., Гиоев Б.Х., Тарасов Е.А. О механизме электрической эрозии металлов в жидкой диэлектрической среде / Проблемы электрической обработки материалов. М.: Изд-во АН СССР, 1960. С. 58 64.

24. Намитоков К.К. Электроэрозионные явления. М.: Энергия, 1978. 456 с.

25. Намитоков К.К. Об агрегатном состоянии, составе и строении продуктов электрической эрозии металлов / Физические основы электроискровой обработки металлов. М.: Наука, 1966. С: 86 108.

26. Афанасьев Н.В., Капельян С.Н., Филиппов Л.П. Некоторые особенности электрического разрушения электродов при разрядах в газовой и жидкой средах // Электронная обработка материалов. 1970. № 1. С. 3 8.

27. Месяц Г.А. Эктон лавина электронов из металла // Успехи физических наук. 1995. Т. 165. № 6. С. 601 - 626.

28. Могилевский И.З., Чаповая С.А. Металлографические исследования поверхностного слоя стали после электроискровой обработке // Электроискровая обработка металлов. М.: Изд-во АН СССР, 1957. Вып. 1.С. 95-116.

29. Могилевский И.З. Структурные изменения металла после электроискровой обработки графитом // Проблемы электрической обработки материалов. М.: Изд-во АН СССР, 1960.С. 86 97.

30. Мицкевич М.К., Бушик А.И., Бакуто И.А., Шилов В.А. Изучение динамики процесса переноса материалов электродов в сильноточном импульсном разряде // Электронная обработка материалов. 1977. № 4. С. 18-19.

31. Мицкевич М.К., Гитлевич А.Е., Бакуто И.А. и др. Динамика импульсного разряда в условиях его для электроискрового легирования // Электронная обработка материалов. 1986. № З.С. 22 25.

32. Палатник J1.C. Фазовые превращения при электроискровой обработке металлов и опыт установления критерия наблюдаемых взаимодействий //Доклады АН СССР. 1953. Т. 89. № 3. С. 455-458.

33. Самсонов Г.В., Муха И.М. Анализ данных по износу материала обрабатывающих электродов // Электронная обработка материалов. 1967. № 3. С. 3-13.

34. Верхотуров А.Д., Подчерняева И.А., Самсонов Г.В., Фоменко B.C. ЗаIвисимость эрозии анода от состояния упрочняемой поверхности при электроискровом легировании // Электронная обработка материалов. 1970. №6. С. 29-31.

35. Верхотуров А.Д., Самсонов Г.В., Репкин Ю.Д. Закономерности формирования упрочненного слоя в процессе электроискрового легирования // Физика и химия обработки материалов. 1972. № 2. С. 110 114.

36. Самсонов Г.В., Пилянкевич А.Н., Верхотуров А.Д., Репкин Ю.Д. Исследование структуры и некоторых свойств упрочненных слоев при электроискровом легировании // Электронная обработка материалов. 1973. №4. С. 21-24.

37. Пячин С.А. Формирование поверхностного слоя из переходных металлов на тантале и сталях при воздействии электрических разрядов. Автореферат дис. . канд. физ.-мат. наук. Владивосток: 1999. 21 с.

38. Мулин Ю.И., Климова Л. А., Ярков Д.В. Феноменологическое описание закономерностей формирования поверхностного слоя при электроискровом легировании // Физика и химия обработки материалов. 2000. № 3. С. 50-56.

39. Белозерский Г.Н. Мессбауэровская спектроскопия как метод исследования поверхности. М.: Энергоатомиздат, 1990. 352 с.

40. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 564 с.

41. Meisel W. Surface and Thin Film Analysis by Mossbauer Spectroscopy and Related Techniques / Mossbauer Spectroscopy Applied to Magnetism and Materials Science (Modern Inorganic Chemistry). V. 2. Plenum Press, 1996. P. 1 30.

42. Proceeding of 18th European Conf. on Surface Science.Vienna: 1999. 103 p.

43. Быковский Ю.А., Неволин B.H. Лазерная масс-спектрометрия. М.:

44. Энергоатомиздат, 1985. 128 с.

45. Руководство по рентгеновскому исследованию минералов. Под ред.

46. B.А. Франк-Каменецкого. Л.: Недра, 1975. 399 с.

47. Порай-Кошищ М.А. Основы структурного анализа химических соединений. М.: Высшая школа, 1989. 192 с.

48. Большаков А.Ф., Варламов Н.В., Дмитриенко А.О. Рентгенофазовый анализ материалов электронной техники: Саратов: Изд-во СГУ, 1990. 160 с.

49. Libhafsky Н.А., Pfeiffer H.G., Winslow E.N., Zemany P.D. X-rays, electrons and analytical chemistry. Wiley-Interscience. New York, 1972. 654 p.

50. Физические Основы рентгеноспектрального локального анализа. Под ред. И.Б.Боровского. М.: Наука, 1973. 312 с.

51. Электронно-зондовый микроанализ. Под ред. И.Б.Боровского. М.: Мир, 1974.263 с.

52. Sewell D.A., Love G., Scott V.D. The correction on atomic number for the electron microprobe // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1985. V. 18. P. 1233-1237.

53. Практическая растровая электронная микроскопия. Под ред. Дж. Гоулд-стейна и X. Яковица. М.: Мир, 1978. 656 с.

54. Спивак Г.В., Сапарин Г.В., Быков М.В. Растровая электронная микроскопия // Успехи физических наук. 1969. Т. 99. Вып. 4. С. 635-672.

55. Бинниг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия от рождения к юности // Успехи физических наук. 1988. Т. 154. Вып. 2.1. C. 261-278.

56. Васильев С.И., Леонов В.Б., Панов В.И., Савинов С.В. Сканирующая туннельная микроскопия в воздушной среде // Доклады АН СССР.• 1987. Т. 297. № 6. С. 1351-1354.

57. Веттегрень В.И., Рахимов С.Ш., Светлов В.Н. Исследование эволюции рельефа поверхностей отожженных образцов Си и Pd под нагрузкой // Физика твердого тела. 1997. Т. 39. № 9. С. 1560-1563.

58. Веттегрень В.И., Рахимов С.Ш., Светлов В.Н. Динамика нанодефектов на поверхности нагруженного золота // Физика твердого тела. 1998. Т. 40. № 12. С. 2180-2183.

59. Адамчук В.К., Ермаков А.В., Любинецкий И.В. Сканирующий туннельный микроскоп с атомным разрешением на воздухе // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. Вып. 8. С.692-695.

60. Gilarowski G., Niehus Н. Iridium on Cu(100): surface segregation and alloying // Physica Status Solidi (a). 1999. V. 173. P. 159-166.

61. Володин А.П. Новое в сканирующей микроскопии // Приборы и техника эксперимента. 1998. № 6. С. 3-42.

62. Юров В.Ю., Ельцов К.Н., Климов А.Н., Шевлюга В.М. Сверхвысокова-куумный сканирующий микроскоп. Калибровка сканера и подготовка зондов in situ // Поверхность. 1998. № 2. С. 5 11.

63. Корнилов В.М., Лачинов А.Н. Исследование полимерных пленок методом сканирующей туннельной микроскопии // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 21. С. 37-43.

64. Эдельман B.C. Сканирующая туннельная микроскопия // Приборы и техника эксперимента. 1989. № 5. С. 25 49.

65. Свистунов В.М., Белоголовский М.А., Дьяченко А.И. Вакуумная туннельная микроскопия и спектроскопия // Успехи физических наук. 1988. Т. 154. Вып. 1.С. 153- 160.

66. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Т. III. Квантовая механика (нерелятивистская теория). М.: Наука, 1989.768 с.

67. Besenbacher F. Scanning tunneling microscopy studies of metal surfaces //

68. Reports on Progress in Physics. 1996. V. 59. № 12. P. 1737 1802.

69. Хайкин M.C., Трояновский A.M. Сканирующий туннельный микроскопс модуляцией туннельного промежутка и в жидкой среде // Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. Вып. 20. С. 1236-1240.

70. Голямина Е.М., Трояновский A.M. Исследование пленочных структур

71. Nb окись Nb - Pb при помощи сканирующего туннельного микроскопа // Письма в ЖЭТФ. 1986. Т. 44. Вып. 6. С. 285 - 287.

72. Ерофеев А.А., Бойцов С.В., Поплевкин Т.А. Пьезокерамические микроманипуляторы для сканирующего туннельного микроскопа. // Электронная промышленность. 1991. № 3. С. 54 57.

73. Васильев С.Ю., Денисов А.В. Особенности туннельно-спектроскопических измерений в конфигурации воздушного сканирующего туннельного микроскопа. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 1. С. 100- 106.

74. Васильев С.И., Савинов С.В., Яминский И.В. Зондирующие эмиттеры для сканирующей туннельной микроскопии // Электронная промышленность. 1991. № 3. С. 42 45.

75. Дедков Г.В., Рехвиашвили С.Ш. Модификация формы иглы сканирующего зондового микроскопа с помощью ионного распыления // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. № 2. С. 61 67.

76. Takayuki Arie, Seiji Akita, Yoshikazu Nakayama . Growth of tungsten carbide nano-needle and its application as a scanning tunneling microscope tip // Journal of Physics D: Applied Physics. 1998. V. 31. P. L49 L51.

77. Неволин B.K. Управляемый массоперенос с нанометровым разрешением // Электронная промышленность. 1991. № 3. С. 30 32.

78. Васильев С.И., Моисеев Ю.И., Орешкин А.И. и др. Исследование поверхности палладия методом сканирующей туннельной микроскопии // Письма в ЖЭТФ. 1993. Т. 57. Вып. 5. С.309 312.

79. Васильев С.И., Леонов В.Б., Панов В.И., Савинов С.В. Сканирующий туннельный микроскоп для исследования структурно-неоднородных поверхностей // Письма в ЖТФ. 1987. Т.13. Вып. 15. С. 937 941.

80. Витухин В.Ю., Закурдаев И.В. Наблюдение самоорганизации поверхности кристаллов вольфрама при термодиффузии атомов с помощью метода сканирующей туннельной микроскопии // Физика твердого тела. 1997. Т. 39. №6. С. 968-971.

81. Петрикин Ю.В., Петрунин В.Ф. Поверхностные силы (энергия) и динамика частиц в нанопорошках // Известия АН. Серия физическая. 1999. Т. 63. №7. С. 1452- 1458.

82. Фромм Е., Гебхардт Е. Газы и углерод в металлах. М.: Металлургия, 1980.712 с.

83. Кипарисов С.С., Левинский Ю.В. Азотирование тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1972. 160 с.

84. Константы взаимодействия металлов с газами: Справочник: Под ред. Колачева Б.А. и Левинского Ю.В. М.: Металлургия, 1987. 368 с.

85. Левинский Ю.В. Диаграммы состояния металлов с газами. М.: Металлургия, 1975. 296 с.

86. Кофстад П. Высокотемпературное окисление металлов. М.: Мир, 1969. 392 с.

87. Пилянкевич А.Н., Падерно В.Н., Верхотуров А.Д., Мартыненко А.Н.,

88. Смирнов В.П. Структурные особенности поверхностных слоев после электроискрового легирования титанового сплава ВТ-18 алюминием вжестком режиме // Электронная обработка материалов. 1980. № i.e. 30-32.

89. Назаров Ю.Ф., Златковский В.Б. Применение электроискрового легирования для изменения оптических свойств металлических поверхностей // Там же. 1981. № 2. С. 28 30.

90. Акципетров О.А., Васильев С.И., Панов В.И. Сканирующая туннельная микроскопия поверхности «холодных» пленок серебра и генерация гигантской второй гармоники // ЖЭТФ. 1988 Т. 94. Вып. 5. С. 256-260.

91. Прядкин С.Л., Цой B.C. СТМ-изображения реальных поверхностей (100) и (110) вольфрама и характер отражения электронов проводимости // ЖЭТФ. 1988 . Т. 94: Вып. 3. С. 336-342.

92. Месяц Г.А. Эктон лавина электронов из металла // Успехи физических наук. 1995. Т. 165. № 6. С. 601-626.

93. Эдельман B.C. Развитие сканирующей туннельной и силовой микроскопии // ПТЭ. 1991. № 1. С. 24 42.

94. Палатник Л.С., Левченко А.А. О характере электрической эрозии на монокристаллах // Кристаллография. 1958. № 5. С. 612-616.

95. Бруй В.Н. Определение глубины нахождения максимума температуры в веществе анода при электроискровом легировании / Бюллетень научныхсообщений. № 4. / Хабаровск: Изд-во ДВГУПС, 1999. С. 72-73.

96. Бруй В.Н. Особенности возникновения тепловой волны в веществе анода при электрическом пробое / Нелинейные процессы в оптике. Меж-вуз. сб. тр. ДВГУПС. Хабаровск: Изд-во ДВГУПС, 1999. С. 43 45.

97. Гитлевич А.Е., Михайлов В.В., Парканский Н.Н., Ревуцкий В.М. Электроискровое легирование металлических поверхностей. Кишинев: «Штиинца», 1985. 195 с.

98. Бруй В.Н., Криницын Ю.М. Минимальная напряженность электрического поля и минимальное межэлектродное расстояние при ЭИЛ / Бюллетень научных сообщений. № 4. Хабаровск: Изд-во ДВГУПС, 1999. С. 78- 80.

99. Демкин Н.Б., Рыжов Э.В. Качество поверхности и контакт деталеймашин. М.: Машиностроение, 1981. 244 с.

100. Чудненко К.В., Карпов И. К. Селектор Windows. Краткая инструкция. Иркутск, 2003. 90 с.

101. Karpov I.K., Chudnenko K.V., Kulik D.A., and Bychinskii V.A. The convex programming minimization of five thermodynamic potential other than Gibbs energy in geochemical modeling // Amer. J. Sci. 2002. V. 302. P. 281-311.

102. Karpov I.K., Chudnenko K.V., and Kulik D.A. Modeling chemical masstransfer in geochemical processes: Thermodynamic relations, conditions of equilibria, and numerical algorithms // Amer. J. Sci. 1997. V. 297. P. 767 806.

103. Yokokawa H. Tables of thermodynamic properties of inorganic compounds

104. Journal of the national chemical laboratory for industry, Tsukuba Ibaraki 305, Japan. 1988.-V.83. P. 27 118.r

105. Reid R., Prausnitz J., and Sherwood T. The properties of gases and liquids,3d edition, McGrawHill Book Company, New York. 1977. 592 p.

106. Войтович Р.Ф., Головко Э.И. Окисление сплавов Ti-Ta и Ti-Nb // Известия АН СССР. Металлы. 1979. № 1 . С. 222 225.

107. Вадченко С.Г., Григорьев Ю.М., Мержанов А.Г. Кинетика высокотемпературного азотирования тантала // Известия АН СССР, Металлы. 1980. №5. С. 223-229.

108. Вадченко С.Г., Григорьев Ю.М. Исследование кинетики и механизмавысокотемпературного азотирования ниобия // Известия АН СССР, Металлы. 1979. № 1. С. 187- 195.

109. Schaaf P. Laser nitriding of metals // Progress in Materials Science. 2002.1. V. 47. Is. 1. P. 1-161.

110. Гитлевич A.E., Димитрова Г.И., Пушкина T.B., Збигли К.Р. Образование нитридов при электроискровом легировании титана и его сплавов // Электронная обработка материалов. 1991. № 2. С. 12-25.