Электронные блоки для интегральных акселерометров прямого измерения и компенсационного типа тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.03, кандидат технических наук Долгов, Александр Николаевич

• Долгов, Александр Николаевич
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Долгов, Александр Николаевич

ВВЕДЕНИЕ

1. ОБЗОР СУЩЕСТВУЮЩИХ МЕТОДОВ И УСТРОЙСТВ ДЛЯ 11 ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ.

1.1. Физические эффекты, применяемые для измерения перемеще- 11 ния.

1.2. Обзор методов измерения угловых перемещений и их произвол

Выводы.

2. РАЗРАБОТКА ЭЛЕКТРОННЫХ БЛОКОВ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬ- 33 НЫХ ДАТЧИКОВ.

2.1. Генераторный емкостный датчик перемещений.

2.2. Емкостный преобразователь перемещений.

2.3. Синхронный детектор в составе емкостного преобразователя 47 перемещений.

2.4. Магнитоэлектрический преобразователь силы (момента).

Выводы.

3. АНАЛИЗ СВОЙСТВ КОМПОНЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОГО 64 БЛОКА И МЕТОДИКА ВЕРОЯТНОСТНОЙ ОЦЕНКИ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ.

3.1. О фильтрующих свойствах синхронной модуляции - демодуля- 64 ции.

3.2. Вероятностная оценка погрешностей электронных схем на 74 примере интегрального акселерометра.

3.3. Анализ применимости фильтров низких частот в микроэлектромеханических системах.

Выводы.

4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОН- 84 НЫХ БЛОКОВ.

4.1. Методика компьютерной обработки результатов испытаний 84 интегральных акселерометров.

4.2. Результаты экспериментальных исследований.

Выводы.

Список принятых обозначений.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электронные блоки для интегральных акселерометров прямого измерения и компенсационного типа»

Актуальность работы. Актуальность выбранной темы подтверждается современным потоком информации в области интегрального приборостроения. С марта 2002 года микросистемная техника объявлена приказом Президента РФ критической технологией. В мире, а в том числе и в России, существуют специальные журналы, например, Sensor Letters (США), Микросистемная техника (Россия), Датчики и системы (Россия), в которых постоянно публикуются новейшие разработки и способы производства интегральных датчиков для различных областей техники. Из современных публикаций следует, что спрос на датчики постоянно растет. При этом прослеживается тенденция замещения традиционных датчиков интегральными на базе микроэлектромеханических систем. В то же время возрастают требования к точности датчиков.

В настоящее время микроэлектромеханические структуры широко применяются в навигационных и управляющих системах всех типов транспортных средств: автомобилях, самолетах, вертолетах, космических ДА, а также на кораблях, подводных лодках и различных боеприпасах: ракетах, торпедах и т.д. Существуют также системы подземной навигации для исследования профиля скважин при буровых работах - гироскопические и магнитные инклинометры, выполненные в виде микроэлектромеханических систем и реализующие инерциальный принцип счисления пути и координат места.

На современном этапе развития конструкций летательных аппаратов, инклинометров и боеприпасов проявилась тенденция микроминиатюризации конструкций отдельных компонентов таких систем, в частности приборов первичной информации - датчиков линейных ускорений (ДЛУ, акселерометров), датчиков угловых скоростей (ДУС, двухстепенных гироскопов) и датчиков угловых координат (трехстепенных гироскопов), при сохранении и дальнейшем увеличении их точности, надежности, временной стабильности и снижении энергопотребления. Причем, если для гироскопических приборов эта тенденция едва прослеживается и имеет поисковый характер, то акселерометры успешно поддаются миниатюризации на протяжении последних 20-и лет как в нашей стране, так и за рубежом. Происходит это в основном благодаря интегральным технологиям, заимствованным из микроэлектроники (фото- и рентгенолитография, изотропное и анизотропное травление, ионная имплантация, эпитаксия и т.д.), а чувствительные элементы (ЧЭ) самих датчиков изготавливаются из кремния или кварца групповым способом. Из зарубежных разработчиков наиболее известны разработчики в области микросистемных приборов навигации в настоящее время являются фирма Analog Devices (Doscher J., США), Scientific Honeyweller (Askc. V.H., США), LITEF GmbH (ФРГ). Перечислим отечественные фирмы разрабатывающие микросистемные датчики: Арзамасское НПП "ТЕМП-АВИА" (к.т.н. Былинкин С.Ф.), Зеленоградский НИИЭТ (д.т.н. Тимошенков С.П.), Пензенский НИИ-ФИ (д.т.н. Мокров Е.А.), МВТУ (д.т.н., профессор Коновалов С.Ф.) Тульский ГТУ (д.т.н., профессор Распопов В.Я.), и пр. Сервисная электроника датчиков первичной информации увеличивает степень своей интеграции, и на данный момент обозначился переход от гибридных интегральных схем (ГИС) со многими активными и пассивными компонентами на керамической подложке к специальным большим интегральным схемам (спецБИС) на одном кремниевом кристалле, имеющем источник опорного напряжения, генератор для измерительной схемы, фазочувствительный выпрямитель, измерительный усилитель с корректирующим устройством и усилитель мощности.

По принципу действия все акселерометры можно разделить на приборы прямого измерения и компенсационные: чувствительный элемент первых непосредственно передает информацию о входной величине на вторичный преобразователь, и при этом все погрешности измерительного тракта присутствуют в выходном сигнале датчика, а вторые частично или полностью (с интегратором в контуре - астатизм первого порядка) уравновешивают измеряемую величину с помощью главной отрицательной обратной связи (ГООС), т.е. реализуют силовую разгрузку ЧЭ с помощью выходного сигнала, подаваемого на элемент компенсации. В последнем случае точность прибора зависит в основном от элемента компенсации - датчика силы или момента обратной связи. Поэтому к их электронному блоку не предъявляют каких либо особых требований. В приборах прямого измерения, напротив, точность зависит от всех узлов, что приводит к усложнению схемотехники таких конструкций. Таким образом проблема улучшения характеристик (точности, технологичности, массогабаритных показателей) электронных блоков для приборов прямого измерения все еще актуальна.

Несмотря на перекрестную чувствительность, наиболее широко применяемыми ДЛУ в современных навигационных и управляющих системах для всех видов JTA по прежнему остаются традиционные маятниковые акселерометры компенсационного типа с камневыми виброопорами или упругим подвесом инерционной массы. Причем последние имеют существенные преимущества, поскольку у них отсутствует порог чувствительности в традиционном понимании, который можно было бы измерить, а минимальное значение измеряемого ускорения определяется в момент превышения выходным сигналом прибора уровня "шума" сервисной электроники.

Традиционные электронные блоки не подходят для микросистемной техники по многим характеристикам: по массо-габаритным, уровням сигналов, по степени влияния измерительного процесса на результаты измерений. Поэтому необходимо проводить исследования и разработки новых электронных блоков для микросистемных акселерометров. Диссертация выполнялась согласно плана основных научных работ Арзамасского филиала НГТУ по проблеме "Разработка и исследование интегральных датчиков первичной информации".

Цель работы. Целью диссертационной работы является разработка и исследование электронных компонентов с улучшенными метрологическими характеристиками для интегральных датчиков ускорений прямого измерения и компенсационного типа.

Задачи диссертационной работы:

1. Разработка электронных преобразователей и их узлов, встраиваемых в интегральные акселерометры, с целью микроминиатюризации датчиков с одновременным повышением точности.

2. Экспериментальные исследования характеристик электронных блоков в составе интегральных акселерометров для практического подтверждения результатов диссертации.

Объект исследования. Объектом исследования являются: электронные и микроэлектромеханические узлы интегральных акселерометров.

Методы исследования. При решении поставленных задач использованы методы математического моделирования, теории систем автоматического управления, физический эксперимент, синтез конструктивных решений и методы схемотехники.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработаны генераторный емкостный датчик микроперемещений, отличающийся от известных снижением погрешности, за счет введения дополнительных цепей, компенсирующих влияние входных емкостей логического элемента и алгоритма обработки, и дифференциальный емкостный датчик перемещения, отличающийся введением непрерывной электрической отрицательной обратной связи для уменьшения тяжения подвижного электрода.

2. Предложены адаптированные для использования в интегральных датчиках синхронный детектор с коммутируемым конденсатором, отличающийся от известных тем, что можно применить емкости малого номинала и не требуется применение фильтра низких частот, и синхронный детектор, не содержащий емкостей, отличающийся повышенной точностью.

3. Предложен магнитоэлектрический преобразователь силы, в отличие от известных адаптированный для интегрального исполнения без применения моточных работ возвращающей обмотки.

4. Предложены методики и программы обработки экспериментальных данных для исследования статической характеристики акселерометров, впервые позволившие получить на основе измерений погрешности: нуля, крутизны, нелинейности, погрешности установки базы и погрешности от поперечных воздействий в диапазоне температур.

5. Новизна полученных результатов подтверждается патентами РФ на изобретение № 2218575,2272297,2272298. Практическая ценность работы:

1. Результаты теоретических и экспериментальных исследований в виде рекомендаций и расчетных соотношений для проектирования и построения электронных блоков интегральных акселерометров.

2. Разработки электронных блоков для встраивания в интегральные акселерометры серийного изготовления.

3. Методики определения характеристик интегральных акселерометров, в составе которых применены разработанные электронные блоки, позволяют получить основные метрологические параметры приборов.

Реализация в промышленности. Сведения о внедрении результатов диссертационной работы приведены в приложении 5.

Апробация работы. Диссертация и отдельные ее разделы обсуждались и получили положительную оценку на следующих конференциях и совещаниях:

• На региональной научно-технической конференции "Наука - производству", Н. Новгород, 1998 г.

• На международной молодежной научной конференции "XXV гагаринские чтения", Москва, 1999 г.

• На Всероссийской научно-технической конференции "Методы и средства измерения физических величин", Н. Новгород, 2000 г.

• На Всероссийской научно-технической конференции "Информационные системы и технологии", Н. Новгород, 2002 г.

• На расширенном заседании кафедры "Авиационные приборы и устройства" Арзамасского филиала НГТУ в 2003 г.

• На расширенном заседании кафедры "Авиационные приборы и устройства" Арзамасского филиала НГТУ в 2004 г.

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 16 работ, из них 5 статей, 7 - тезисов докладов на научно-технических конференциях, 3 - патента на изобретение, 1 - методические указания к лабораторным работам.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, четырех приложений, списка литературы и содержит 147 страниц машинописного текста: иллюстраций - 61 (рисунки, схемы, графики), таблиц - 9, список литературы - 76 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы навигации», Долгов, Александр Николаевич

Выводы:

1. Разработана математическая модель статической характеристики, методика обработки экспериментальных данных при нормальных условиях и соответствующая программа для реализации ее на компьютере, что позволило получить расширенную информацию по погрешностям: установки базы и влиянию перекрестных ускорений, а также нелинейностей высших порядков.

2. Разработана методика обработки экспериментальных данных температурной характеристики и соответствующая программа для реализации ее на компьютере, позволившая автоматизировать нахождение температурных коэффициентов смещения нуля и коэффициента крутизны.

3. Разработаны и изготовлены макеты для осуществления экспериментальных исследований их характеристик.

4. Проведены экспериментальные исследования статической характеристики при нормальных условиях и температурной характеристики преобразователя перемещений и его узлов, результаты которых дали близкое совпадение с характеристиками известных устройств (приложение 4).

Список принятых обозначений g - величина ускорения свободного падения;

Ушах ~ Диапазон измеряемых линейных ускорений; ти - длительность импульса; cj,c2 - рабочие емкости датчика угла; h0 - начальный зазор между обкладками; h - зазор между обкладками; аи, Ьи, см- длина, ширина и толщина маятника; ап»К > сп ~ длина, ширина и толщина упругого подвеса; 8 - диэлектрическая проницаемость среды;

1 "7 е0 =8,854-10" Ф/м - диэлектрическая постоянная; s - площадь обкладок емкости; W[s) - передаточная функция; s = d/dt - оператор Лапласа;

4 - логарифмический декремент затухания (относительный коэффициент демпфирования);

Дб - погрешность базирования (неортогональность измерительной оси и базовой плоскости); с - среднеквадратическое отклонение; /вых - выходной ток прибора; UBbK- выходное напряжение прибора; rh - сопротивление нагрузки; Uпт- напряжение питания; Uоа- опорное напряжение; сос - собственная частота колебаний упругой системы; со - частота вынужденных колебаний;

Vo - скорость перемещения подвижного узла; S - площадь в плане подвижного узла; а - угловая скорость подвижного узла; цм - расстояние от точки качания маятника до центра давления; Т - кинетическая энергия чувствительного элемента (ЧЭ); m - масса ЧЭ;

Jcz - момент инерции ЧЭ относительно центральной оси; Vc - у- линейная скорость ЧЭ; о = ф - угловая скорость ЧЭ; G - линейная жесткость подвеса; Gy - угловая жесткость подвеса;

Км = mljGy - статический коэффициент передачи маятникового ЧЭ; (осм = jJaz - собственная частота маятникового ЧЭ; Я - напряженность поля; ам- температурный коэффициент изменений магнитной индукции слоя; AT- диапазон изменения температуры; а0, аш - температурные коэффициенты магнитной индукции слоев; аг, ав - соответственно температурные коэффициенты сопротивления возвращающей обмотки и магнитной индукции зазора; Рк удельное сопротивление кремния;

Е\ и Ei~ модули упругости первого и второго слоев (монокремния и металла); m - масса подвижного узла;

К- крутизна выходной характеристики (масштабный коэффициент); Кп (п - 2,3,4.) - коэффициенты нелинейностей; Кф Куг - коэффициенты перекрестных связей; 8К - относительная ошибка смещения нулевого уровня;

Umx - выходное напряжение при действии максимального ускорения; ЬК[~ относительная ошибка крутизны характеристики;

KT =Umax/amax - теоретическое значение крутизны характеристики;

5- относительная ошибка квадратичной нелинейности;

8к - относительная ошибка кубической нелинейности; t/(0) - выходное напряжение при нулевой частоте; t - текущее время.

Заключение

1. Разработаны генераторный датчик перемещения для интегрального акселерометра, с повышенной на порядок точностью измерений посредством применения ключевой схемы, переключающей времязадающий резистор, и дополнительных емкостей на входе триггера, и дифференциальный емкостный датчик перемещения с непрерывной электрической обратной связью, в котором повышена точность измерений за счет снижения влияния электростатического тяжения.

2. Разработаны адаптированные для использования в интегральных датчиках синхронный детектор с коммутируемым конденсатором, отличающийся от известных тем, что используемые емкости имеют малый номинал и не требуется применения фильтра низких частот, и оригинальный синхронный детектор, не содержащий емкостей, отличающийся повышенной точностью.

3. Разработан магнитоэлектрический преобразователь силы (момента) для применения в интегральных акселерометрах компенсационного типа с подвесами без металлизированных дорожек, что в конечном итоге повысило точность при одновременном упрощении технологии изготовления ЧЭ.

4. Разработаны методики и программы обработки экспериментальных данных для исследования статической и температурной характеристик акселерометров, впервые позволившие получить на основе измерений погрешности нуля, крутизны, нелинейности, погрешности базы установки и погрешности от поперечных воздействий при заданных температурах.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Долгов, Александр Николаевич, 2006 год

1. Аш, Ж. Датчики измерительных систем Текст. / Аш Ж. и др. -М.: Мир, 1992. -Кн. 1.-480 с.-Кн. 2.-420 с.

2. Вавилов, В.Д. Интегральные датчики Текст. : учебник для приборостроительных ВУЗов/ Вавилов В.Д. Н. Нов.: НГТУ, 2002. -500 с.

3. Вавилов, И.В. Разработка и исследования микросистемных акселерометров Текст. / Вавилов И.В., Былинкин С.Ф. // Микросистемная техника. 2003 - № 6.

4. Вавилов, И.В. Современное состояние разработок интегральных датчиков Текст. / Вавилов И.В., Долгов А.Н., Поздяев В.И. // Прогрессивные технологии в машино и приборостроении: сборник статей - Н.Новгород, - 2002 - С. 364-374.

5. Гутников, B.C. Тенденции развития электронных измерительных преобразователей для датчиков Текст. / Гутников B.C. //ПСУ 1990. -№ 10. - С. 32-35.

6. Измерение электрических и неэлектрических величин Текст.: Учеб. пособие для вузов / Под общ. ред. Н.Н. Евтихиева. М.: Энергоатомиздат, 1990. - 352 е.: ил.

7. Кунце, Х.И. Методы физических измерений Текст. / Кунце Х.И. -М.: Мир, 1989.-214 с.

8. Левшина, Е.С. Электрические измерения физических величин (Измерительные преобразователи) Текст. / Левшина Е.С., Новицкий П.В: Учеб. пособие для вузов. -Л.: Энергоатомиздат, 1983. -320 с.

9. Осипович, Л.А. Датчики физических величин Текст. / Осипович Л.А. -М.: Машиностроение, 1979.-159 с.

10. Проектирование датчиков для измерения механических величин Текст. /Под ред. Е.П. Осадчего. -М.: Машиностроение, 1979. -480 с.

11. Разработка интегральных кремниевых микродатчиков за рубежом. Текст.: Обзор по материалам зарубежной печати. /Составители: А.А. Андреев, Н. Г. Патрушева.-ГОНТИ, 1991.

12. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы Текст. / Распопов В.Я. Тула, 2004. -474 с.

13. Спектор, С.А. Электрические измерения физических величин Текст. / Спек-тор С.А. —Л.: Энергоатомиздат, 1987. -320 с.

14. Тиль, Р. Электрические измерения неэлектрических величин Текст. / Тиль Р.; Пер. с нем. -М.: Энергоатомиздат, 1987. 192 е.: ил.

15. Электрические измерения неэлектрических величин Текст. /Под ред. П.В. Новицкого. —Л.: Энергия, 1975.-576с.

16. Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи Текст. / Ваганов В.И. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -136 с.

17. Ленк, А. Электромеханические системы Текст. / Ленк А. -М.: Мир, 1978. -284 с.

18. Стучебников, В.М. Полупроводниковые интегральные тензорезисторные преобразователи механических величин Текст. / Стучебников В.М. //Измерения, контроль, автоматизация. 1983. - № 1. - С. 30-42.

19. Тимошенков, С.П. Технология формирования структур «кремний на изоляторе» Текст. : Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук / Тимошенков С.П. Москва, 2004.

20. Мокров, Е.А. Акселерометры НИИ физических измерений элементы микросистемотехники Текст. / Мокров Е. А., Папко А.А. //МСТ. - 2002. - № 1. - С. 3-9.

21. Petersen, Kurt Е. Silicon as a Mechanical Material Текст. / Petersen Kurt E. //IEEE. 1982. - VI.70. - № 5. - P. 420-457.

22. Солимар, Л. Лекции по электрическим свойствам материалов Текст. / Со-лимар Л., Уолш Д. -М.: Мир, 1991.-502 с.

23. Мельников, В.Е. Электромеханические преобразователи на базе кварцевого стекла Текст. / Мельников В.Е. -М.: Машиностроение, 1984. -159 с.

24. Милехин, А.Г. Радиотехнические схемы на полевых транзисторах Текст. / Милехин А.Г. М.: Энергия, 1976.

25. Теоретическое исследование матрицы с холодным катодом для использования в микропреобразователях механических величин Текст. // Контрольно-измерительная техника: Экспресс-информация. Москва: ВИНИТИ. 1993, №17, С. 27-32.

26. Doscher, J. Accelerometer Design and Applications Текст. / Doscher J. Analog Devices. 1998.

27. Wilner, L.B. A h igh performance, variable capacitance accelerometer Текст. / Wilner L.B. //IEEE Trans. Instrum. And Contr. Sist.

28. Датчик перемещения Текст.: A.c. 1377572 (СССР)/Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. 15.07.1988, Бюл. № 8.

29. Устройство для измерения перемещений Текст. : А.с. 1774710 (СССР) /Вавилов В.Д. и др. Опубл. 08.07.1992, Бюл. № 2.

30. Акселерометр ATI 104. Технические условия Текст. : ИФДЖ. 402139. 008 ТУ, 1996.

31. Акселерометр капиллярный АК5-15. Технические условия Текст. : 6Ш2. 781. 077 ТУ, 1984.

32. Вавилов, В.Д. Схемотехника интегральных датчиков Текст.: Учеб. пособие / Вавилов В.Д. Нижегород. гос. техн. ун-т. - Н. Новгород, 1999 - 78 с.

33. Гутников, B.C. Измерительная система для емкостных датчиков Текст. /Гутников B.C. и др. //ПСУ. 1991. - № 5. - С. 24-26.

34. Долгов, А.Н. Емкостной датчик уровня топлива Текст. / Долгов А.Н. //Технологии в машино- и приборостроении на рубеже XXI века: Сборник статей по материалам Всероссийской научно-технической конференции. Нижний Новгород: НГТУ, 2000 - С. 213-215.

35. Распопов, В.Я. Датчики уровня систем управления железнодорожных машин Текст. / Распопов В.Я., Иванов Ю.В. Тула: ТулГУ, 2000. - с. 174.

36. Устройство для измерения угловой скорости Текст. : А.с. 1013855 (СССР) /Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. 23.04.1983, Бюл. № 15.

37. Вавилов, В.Д. Конструирование интегральных датчиков Текст. : Учеб. пособие / Вавилов В.Д., Поздяев В.И. -М.: Изд-во МАИ, 1993. -68 с.

38. Устройство для измерения микроперемещений Текст.: Пат. № 2272297 Рос. Федерация / Вавилов В. Д., Долгов А. Н., Вавилов И. В. ; №2004128664/28 ; заявл. 27.09.2004 ; опубл. 27.03.2006; Бюл. №9.

39. Емкостный преобразователь перемещений Текст.: Пат. № 2272298 Рос. Федерация / Вавилов В. Д., Долгов А. Н., Вавилов И. В. ; №2004128663/28 ; заявл. 27.09.2004 ; опубл. 20.03.2006; Бюл. №8.

40. Askc., V.H. An Integrated Silicon Accelerometer Текст. / Askc. V.H. //Scientific Honeyweller- 1987. V. 1. - P. 53-58.

41. B-290 "TRIAD". Three Axis Accelerometer. Текст. / Рекламный лист фирмы LITEF GmbH (ФРГ)- 1996.

42. Разработка унифицированного ряда низкочастотных полупроводниковых линейных акселерометров Текст. / Любезнов А.Н., Куличков А.В., Игошин Д.В., Кот Л.И. //Датчики на основе технологии микроэлектроники: Материалы конференции. -М.: МДНТП, 1986. С. 32-35.

43. Распопов, В.Я. Математическое моделирование акселерометра прямого измерения с монокристаллическим маятником Текст. / Распопов В.Я. // Датчики и системы -2000 № 3 - с. 22-26.

44. Компенсационный маятниковый акселерометр Текст. : А.с. 1217094 (СССР). /Беликов Л.В., Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. 08.11.1985, Бюл. №12.

45. Датчик акселерометра ДА-11. Технические условия Текст. : 6Д2. 329. 023 ТУ, 1977.

46. Коновалов, С.Ф. Теория виброустойчивости акселерометров Текст. / Коновалов С.Ф. -М.: Машиностроение, 1991.-270 с.

47. Линейные сервоакселерометры Q-Flex: QA-1000, QA-1100 Текст. / Перевод № 732; Источник: проспект фирмы Sundstrand Data Control; Переводчик Под-колзина Т. В.; Под ред. Перожка Я. Л. Арзамас: ОНТИ ОКБ "ТЕМП", 1981.

48. Скалой, А.И. Принципы построения цифровых компенсационных акселерометров Текст. / Скал он А.И. //Измерения, контроль, автоматизация 1984. - № 1. -С. 43-51.

49. Вавилов, В.Д. Оптимизация характеристик интегральных датчиков Текст. / Вавилов В.Д. //Известия вузов. Приборостроение. - 1997. - № 5. - С. 53-56.

50. Вавилов, В.Д. Математические модели интегральных датчиков информации Текст.: Тез. докл. / Вавилов В.Д., Поздяев В.И. //Методы и средства измерений физических величин: Регион, научно-техн. конф. -И. Новгород, 1996. С. 33.

51. Долгов, А.Н. Разработка емкостного датчика перемещения для интегральных датчиков. Текст. / Долгов А.Н. //Прогрессивные технологии в машино- и приборостроении: Сборник статей Н. Новгород -Арзамас: НГТУ-АГПИ. -2001,-С. 300-302.

52. Волков, Н.В. Проектирование измерительных устройств и оптимизация их характеристик Текст.: Учеб. пособие / Волков Н.В., Гущин О.Г., Поздяев В.И. -НГТУ: Н. Новгород, 1996. -80 с.

53. Поздяев, В.И. Оптимизация параметров механической системы интегральных акселерометров Текст./ Поздяев В.И. //Известия вузов. Приборостроение. - 1997.-№ 5. - С. 56-60.

54. Горошков, Б.И. Элементы радиоэлектронных устройств Текст.: Справочник. / Горошков Б.И. -М.: Радио и связь, 1988. Стр. 97, рис. 6.16.

55. Гутников, В. С. Интегральная электроника в измерительных устройствах Текст. / Гутников В. С. 2-е изд., перераб. и доп.— Л.: Энергоатомиздат. Ле-нингр. Отд-ие, 1988.

56. Вениаминов, В.Н. Микросхемы и их применение Текст. : Справ, пособие / Вениаминов В.Н., Лебедев О.Н., Мирошниченко А.И. 3-е изд. перераб. и доп. -М.: Радио и связь, 1989. - 240с.: ил.

57. Магнитоэлектричиский преобразователь силы Текст. : Пат. № 2218575 Рос. Федерация / Былинкин С. Ф., Вавилов В. Д., Миронов С. Г., Долгов А. Н. ; -№2002111047 ; заявл. 24.04.2002 ; опубл. 10.12.2003; Бюл. №34.

58. Браславский, Д.А. Авиационные приборы и автоматы Текст. / Браславский Д.А., Логунов С.С., Пельпор Д.С. М.: Машиностроение, 1978 г.

59. Браславский, Д.А. Точность измерительных устройств Текст. / Браславский Д.А., Петров В.В. М.: Машиностроение, 1976. -312 с.

60. Гусев, В.Г. Электроника Текст.: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Гусев В.Г., Гусев Ю.М. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высш. шк., 1991.

61. Хоровиц, П. Искусство схемотехники Текст. / Хоровиц П., Хилл У. М.: Мир, т.1,1983.-598с.

62. Шило, B.JI. Линейные интегральные схемы в радиоэлектронной аппаратуре Текст. / Шило В.Л. -М.: Сов. радио, 1979. -368с.

63. Вавилов, В.Д. Применение микропроцессоров в информационных системах Текст.: Учеб. пособие / Вавилов В.Д. -М.: Изд-во МАИ, 1988. -46 с.

64. Гутников, B.C. Частотно-временные преобразователи в схемах измерения физических величин Текст. / Гутников B.C. и др. //ПСУ. 1989. - № 9. - С. 15-17.

65. Вавилов, И.В. Оценка температурной погрешности нулевого сигнала интегрального акселерометра Текст. / Вавилов И.В., Поздяев В.И. //Прогрессивные технологии в машино и приборостроении: Сборник статей - Н.Новгород, 2002 -С. 386-390.

66. Вавилов, В.Д. Разработка и исследование измерительных приборов на интегральных принципах Текст.: Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук / Вавилов В.Д. Н. Новгород.: НГТУ, 1997.

67. Былинкин, С. Ф. Интегральный акселерометр компенсационного типа Текст.: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / Былинкин С. Ф. Тула, 2002.