Разработка и исследование измерительных приборов на интегральных принципах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.08, доктор технических наук Вавилов, Владимир Дмитриевич

• Вавилов, Владимир Дмитриевич
• доктор технических наук
• 1997

Оглавление диссертации доктор технических наук Вавилов, Владимир Дмитриевич

Оглавление

Введение

Глава 1. Современное состояние интегральных датчиков первичной информации и задачи исследования

1.1. Краткий исторический очерк развития интегральных датчиков

1.2. Обзор и анализ специфики построения интегральных датчиков

1.3. Обзор и анализ интегральных преобразователей физических величин в электрические сигналы

Выводы

Глава 2. Исследования и разработка электронных преобразователей интегральных датчиков

2.1. Ёмкостный преобразователь перемещений

2.2. Преобразователь перемещений на полевом эффекте

2.3. Магниторезистивный преобразователь перемещений

2.4. Датчик силы на основе взаимодействия электрических полей

2.5. Магнитоэлектрический датчик силы

2.6. Преобразователь "напряжение-частота"

2.6.1. Уравнение преобразования ПНЧ

2.6.2. Структурная схема динамической модели ПНЧ

2.6.3. Условие устойчивости ПНЧ при малых входных воздействиях

2.6.4. Оценка времени отклика ПНЧ

2.7. Источник опорного напряжения

2.8. Релаксационный преобразователь сопротивления тензодатчиков

в частоту

Выводы

Глава 3. Исследования и разработка интегральных преобразователей с

термодатчиками

3.1. Термоанемометр постоянной температуры

3.2. Термоанемометр с переносом тепловых меток

3.3. Термоанемометрический расходомер

3.4. Линеаризация передаточной характеристики мостов с терморезисторами

3.5. Увеличение точности преобразователей на основе структурного подхода

Выводы

Глава 4. Исследования и разработка чувствительных элементов интегральных датчиков

4.1. Анализ движения чувствительных элементов интегральных акселерометров

4.2. О жёсткости интегральных упругих подвесов с криволинейными обводами

4.3. Газодинамическое демпфирование подвижных узлов интегральных акселерометров

4.4. Демпфирование перфорированных ЧЭ

4.5. Исследование возможности применения гистерезисного демпфирования в интегральных датчиках

4.6. Исследования прогибов и деформаций интегральных чувствительных элементов датчиков давления

Выводы

Глава 5. Принципы построения и теория интегральных акселерометров

5.1. Акселерометр с электростатической отрицательной обратной связью

5.1.1. Вывод передаточной функции компенсационного акселерометра

5.1.2. Аппаратные методы снижения погрешности акселерометра

5.2. Акселерометр с магнитоэлектрической отрицательной обратной связью

5.3. Акселерометр с импульсной обратной связью

5.4. Многокомпонентные интегральные акселерометры

Выводы

Глава 6. Принципы построения и теория интегральных датчиков давле-

6.1. Датчик давления с электростатической отрицательной обратной связью

6.2. Датчик давления с магнитоэлектрической отрицательной обратной связью

6.3. Интегральный датчик влажности воздуха

Выводы

Глава 7. Системный подход к оптимизации характеристик интегральных

датчиков

7.1. Оптимизация конструктивных параметров по динамическому критерию

7.2. Оптимизация конструктивных параметров датчиков с учётом дополнительных ограничений

7.3. Оптимизация отношения "сигнал / шум"

7.4. Подавление тепловых шумов полупроводников

Выводы

Приложения

ПЛ. Калибровка интегральных датчиков по экспериментальным данным

П.2. Экспериментальные исследования кремниевых подвесов

П.З. Экспериментальные исследования газодинамического демпфирования

П.4. Экспериментальные исследования В АХ кремниевого р-п перехода

П.5. Результаты экспериментальных исследований ПНЧ

П.6. Температурные исследования интегральных акселерометров

П.7. Тензорезисторный датчик избыточных давлений

Заключение

Литература

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование измерительных приборов на интегральных принципах»

ВВЕДЕНИЕ

Современную научно-техническую революцию в приборостроении сделали цифровые схемы, а именно микропроцессоры. Достигнуты значительные результаты в совершенствовании аппаратной части цифровых вычислителей, программного обеспечения, алгоритмизации численных методов вычислений, а также в применении микропроцессоров для обработки измерительной информации и в системах автоматического управления различными процессами. Однако реальный физический мир, в нашем восприятии, является аналоговым. Например, входные воздействия: температурные поля, давления в жидкостях и газах, перемещения, скорости и ускорения различных объектов - это чаще всего непрерывные функции координат и времени.

Посредниками между миром аналоговым и миром цифровым являются технические органы чувств - первичные датчики. В свою очередь, широкое применение микропроцессоров ужесточило требования к характеристикам первичных датчиков. Для улучшения точности первичных датчиков и снижения их себестоимости используют методы интегральной микротехнологии. Интегральные микродатчики совместили в себе чувствительные элементы со встроенными электронными схемами обработки и становятся все более похожими на интегральные схемы.

Интегральная микротехнология является многообещающей в решении многих сложных вопросов датчикостроения, однако, несмотря на значительные успехи в электронной микротехнологии, процесс создания и внедрения интегральных датчиков является весьма специфичным, трудоемким и длительным. Во-первых, необходимо преодолеть инерцию и психологический барьер при переходе от неинтегральных технологий в датчикостроении к интегральным. Во-вторых, требуется время и средства на проведение исследований, разработку типового ряда измерительных приборов и подготовку соответствующего производства и специалистов.

При этом следует особо подчеркнуть, что перенос опыта микротехнологии из производства чисто электронных приборов в область датчикостроения произошел не вслепую один к одному, а с принципиальным развитием. Так, например, топологический расчет фотошаблонов для изготовления упругих чувствительных элементов в виде мембран, маятников, струн и т.д. имеет свои специфические особенности, заключающиеся в следующем. Выбор формы упругих подвесов, плоскостей и травителей тесно связан с получением оптимальных характеристик разрабатываемых микродатчиков. В готовых изделиях должны быть максимально устранены влияния дефектов пластин, связанных с предысторией механической обработки, неоднородностями состава и дислокациями. Температурные напряжения, связанные с локальными диффузиями примесей проводимости, выполняемыми в силу конструктивной необходимости, например, при изготовлении тензорезисторов, также должны быть максимально снижены.

Интегральные микродатчики, несмотря на кажущуюся простоту, в научно-техническом плане представляют собою сложные приборы, поскольку их разработка и исследования осуществляются на стыке многих наук: физики кристаллов, химии, теории электрического поля в полупроводниках, теории упругости анизотропных сред, аэрогидродинамики и др. Большие сложности при разработке связаны с чувствительностью интегральных микродатчиков к побочным параметрам окружающей среды, не подлежащим измерению, например, к температуре. В связи с многообразием применения и со сложностью, обусловленной большим числом измеряемых физических величин, в основу работы интегральных микродатчиков положено множество различных принципов. Это обстоятельство наряду с высокой стоимостью теоретических исследований и необходимостью проведения экспериментально-опытных работ делает интегральные микродатчики пока все еще довольно дорогим товаром. По оценкам западных технических экспертов в датчикостроении в

обозримом будущем будут преобладать интегральные разработки на основе монокристаллического кремния с использованием в составе конструкций и других материалов, например, арсенида галлия, кварца, полимеров с пьезоэлектрическими свойствами, стекла пирекс и др.

Актуальность работы. В последние годы как в нашей стране, так и за рубежом наблюдается устойчивая тенденция возрастания интереса к разработкам интегральных датчиков первичных параметров. Это связано с возможностью эффективного решения с их помощью ряда народнохозяйственных и оборонных задач. Возможности авиационных приборов, при постоянной острой потребности, всегда ограничивались характеристиками первичных датчиков. Интегральные микродатчики в научно-техническом плане представляют собой сложные приборы, поскольку их разработка и исследования осуществляются на стыке многих наук: физики кристаллов, химии, теории электрического поля в полупроводниках, теории упругости анизотропных сред, теории систем автоматического управления, аэрогидродинамики и др. Работа выполнялась в соответствие с Целевой Комплексной Программой МАП, утверждённой от 27.12.84г. по авиационному приборостроению, раздел 1.2.2.3.1 п.6, п. 10.

Цель работы. Целью диссертационной работы является разработка теоретических положений, совокупность которых можно квалифицировать как новое крупное достижение в развитии перспективного направления в отрасли интегрального приборостроения.

Задачи диссертационной работы:

1. Углубленный анализ физических процессов в интегральных чувствительных элементах, интегральных электронных узлах и системах датчиков с точки зрения современных требований к измерительным приборам с применением фундаментальных уравнений математической физики.

2. Проведение целенаправленных экспериментальных исследований статических и динамических характеристик интегральных датчиков, результаты

которых позволяют судить о границах применимости математических моделей для разработки измерительных приборов.

Объект исследования. Объектом исследования является спектр интегральных датчиков и преобразователей первичной информации на базе монокристаллического кремния:

• Преобразователи перемещений, сил и моментов.

• Датчики для измерения линейных и угловых ускорений движущихся объектов.

• Приборы для измерения скоростей, расходов, давлений и температуры.

• Микроэлектронные преобразователи и узлы, встраиваемые в датчики.

Методы исследования. При решении поставленных задач использованы методы математического и физического моделирования, натурный эксперимент и синтез оптимальных решений, методы полупроводниковой схемотехники, теоретической механики, аэрогидродинамики, теории упругости и теории систем автоматического управления.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Получены операторные и дифференциальные уравнения и их решения, описывающие: движение подвижных микромеханических узлов в общем виде и частные случаи применительно к чувствительным элементам интегральных акселерометров осевого и маятникового типов, зависимости для абсолютных коэффициентов газодинамического демпфирования подвижных микромеханических узлов, зависимости для вычисления жёсткостей интегральных подвесов с криволинейными обводами, выполняемыми из кремния в кристаллографических плоскостях (100) и (111), зависимости для вычислений прогибов и деформаций планарных кремниевых мембран и мембран с жёстким центром датчиков давления, зависимость коэффициентов теплоотдачи от нагретых поверхностей датчиков термоанемометров от конструктивных и физических параметров, а также зависимость для учета режима течения в мерном сечении

расходомера с применением двух термоанемометров.

2. Получено теоретическое описание для прямой и обратной ветвей вольт-амперной характеристики р-п переходов, дающее возможность управлять температурными коэффициентами встречно включенных переходов, что позволяет оптимизировать конструктивные и физические параметры источника опорного напряжения. Проведён натурный эксперимент, подтвердивший близкое совпадение теоретических результатов с экспериментальными.

3. Обоснованы теоретические соотношения для расчета микроэлектронных преобразователей, совместимых с интегральными датчиками первичных параметров: преобразователей "перемещение - напряжение", "напряжение-частота", "деформация-частота", "температура-частота" и "напряжение-сила".

4. Сформулированы целевая функция и ограничения для оптимизации параметров интегральных датчиков по критерию минимума динамической и статической ошибок. На их основе получено теоретическое соотношение для настройки коэффициентов передачи прямой цепи и цепи отрицательной обратной связи интегральных акселерометров и датчиков давления с силовой обратной связью, позволяющее минимизировать суммарную ошибку.

Практическая ценность работы :

1. Теоретические решения доведены до практического использования в расчетах характеристик и оптимизации параметров интегральных датчиков и нашли применение на всех стадиях разработки: НИР, ОКР, эскизном и техническом проектировании.

2. Результаты теоретических и экспериментальных исследований в виде рекомендаций и расчетных соотношений для определения важнейших характеристик интегральных датчиков и их ошибок позволяют сократить срок разработок новых интегральных датчиков.

3. На примере работы отдела микродатчиков Арзамасского АО НПП "ТЕМП-АВИА" отмечено (в акте внедрения) практическое использование результатов

диссертационной работы, позволивших получить качественно новые изделия с улучшенными технико-экономическими показателями. Разработанная продукция в виде ряда интегральных датчиков, выпускаемых мелкими сериями, пользуется большим спросом у потребителей.

4. Разработаны методики определения статических и динамических характеристик интегральных акселерометров и их ошибок с помощью испытательного оборудования: вибростенда, термобарокамеры, оптической делительной головки, центрифуги и специально разработанных приспособлений.

5. Результаты диссертационной работы внедрены в учебный процесс: в НГТУ на кафедре КИТР по специальности 190900 и в Арзамасском филиале НГТУ на кафедре "Авиационные приборы и устройства" по специальности 190300.

Реализация в промышленности. Выводы, рекомендации и результаты, полученные в диссертационной работе, внедрены на предприятии ОКБ "Темп", что подтверждается соответствующими документами.

Апробация работы. Диссертация и отдельные ее разделы обсуждались и получили положительную оценку на следующих конференциях, семинарах, и совещаниях:

• На межвузовской конференции по применению математических методов и вычислительной техники в научных исследованиях, г. Алма-Ата, АГУ, 1980 г.

• На расширенном заседании кафедры "Авиационные приборы и устройства" Арзамасского филиала НГТУ в 1992г.

• На техническом совете ОКБ ТЕМП в 1987 г., в 1991 г., в 1994 г.

• На научно-технической конференции в "ЦНИИ информации и технико-экономических исследований", г. Москва, 1987 г.

• На межвузовской конференции "Бубновские чтения-88", Горький, 1988 г.

• На Всероссийской научно-методической конференции "Новые информационные технологии в системе многоуровневого обучения", Н-Новгород, 1996 г.

• На региональной научно-технической конференции "Методы и средства измерений физических величин", Н. Новгород, 1996 г.

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 41 работа, из них 17 - авторские свидетельства на изобретения.

Объем работы. Диссертация состоит из введения, семи глав, семи приложений, заключения и списка литературы. Основной текст содержит 294 страницы машинописного текста, иллюстрации - 50 (рисунки, схемы, графики), список литературы - 247 наименований, приложений -7 и заключение.

НА ЗАЩИТУ ВЫНОСЯТСЯ:

1. Измерительные приборы, разработанные на основе интегральных датчиков и реализации в них компенсационного принципа силовой отработки. Структурные и принципиальные схемы разработанных измерительных приборов.

2. Применение методов измерения физических величин, заложенных в принципы построения интегральных датчиков для измерения параметров движения подвижных объектов и параметров жидкостей и газов, совместивших в единых конструкциях микроэлектронные преобразователи и микромеханические чувствительные элементы.

3. Математические модели для расчёта статических и динамических характеристик интегральных датчиков: датчиков перемещений, линейных и угловых акселерометров, датчиков давления, термоанемометров, расходомеров, датчиков сил (или моментов) и параметров их отдельных узлов: жёсткостей осевых и маятниковых подвесов, прогибов и деформаций плоских мембран и мембран с жёстким центром датчиков давления, коэффициентов демпфирования сплошных и перфорированных подвижных узлов и характеристик электронных преобразователей, встраиваемых в первичные приборы.

4. Теоретические соотношения для оптимизации конструктивных параметров разработанных интегральных датчиков и их отдельных узлов, а также соотношения для их настройки и минимизации ошибок измерения.

5. Экспериментальные результаты для проверки адекватности и пределов применимости теоретических решений по определению важнейших характеристик интегральных датчиков: передаточных функций микромеханических и электронных устройств и их параметров, точностных характеристик, собственных и резонансных частот электронных и механоэлектрических узлов.

Заключение диссертации по теме «Радиоизмерительные приборы», Вавилов, Владимир Дмитриевич

Выводы

1. Разработана методика расчёта конструктивных параметров интегральных датчиков с использованием динамического критерия и приведён конкретный пример получения оптимального зазора между подвижным и неподвижными электродами силового преобразователя линейного акселерометра.

2. Разработана методика оптимизации характеристик интегральных датчиков по минимизации ошибок с помощью метода неопределённых множителей Лагранжа.

Заключение

1. Получены теоретические зависимости для расчета статических и динамических характеристик интегральных датчиков: датчиков перемещений, линейных и угловых акселерометров, датчиков давлений, термоанемометров, расходомеров, датчиков сил (или моментов) и определены теоретические соотношения для оптимизации конструктивных параметров разрабатываемых датчиков и их отдельных узлов, а также условия настройки параметров и минимизации ошибок измерения.

2. Из решений уравнения Навье-Стокса для частных случаев получены соотношения для определения абсолютных коэффициентов газодинамического демпфирования микромеханических подвижных узлов в зависимости от вязкости газа, формы и площади в плане, степени перфорации и величины зазора между подвижным узлом и неподвижными стенками. Доказана принципиальная возможность практического применения гистерезисного демпфирования подвижных интегральных узлов на основе решения линейной модели, описывающей вязкоупругие свойства резиноподобных материалов, и получены расчетные формулы. Теоретическое решение подтверждено экспериментами.

3. Получены теоретические соотношения для определения жесткостей анизотропных упругих подвесов с криволинейными обводами. Решено уравнение прогибов и деформаций планарных кремниевых мембран и мембран с жёстким центром для датчиков давления и найдена оптимальная топология диффузионных тензорезисторов. Сравнение с экспериментальными результатами подтвердило правильность теоретических положений.

4. Для определения коэффициентов теплоотдачи от нагретых поверхностей датчиков термоанемометров получено теоретическое соотношение, позволившее на стадии проектирования заменить экспериментальные исследования теоретическим расчетом. Исследовано теоретически и экспериментально два типа термоанемометров: с регулированием постоянной температуры и с переносом тепловых меток и разработаны для них математические модели и принципиальные схемы. Для термоанемометров постоянной температуры достигнута точность измерения на уровне 1 % от верхнего предела, а для термоанемометров с переносом тепловых меток на уровне 0,1 % при тех же условиях. Получено теоретическое решение для определения характеристики термоанемомет-рического расходомера, позволившее повысить точность измерений за счет учета режимов течения в мерном сечении расходомера.

5. Предложено и теоретически обосновано соотношение для определения вольт-амперных характеристик р-п переходов, дающее прямую и обратную ветви в зависимости от конструкционных и физических параметров. Теоретическое решение позволяет создавать датчики опорного напряжения с заданными характеристиками.

6. Разработана теория и принципиальная схема для построения емкостного датчика микроперемещений, инвариантного к частоте питающего напряжения и к изменениям диэлектрической проницаемости.

7. Сформулированы условия линейности шкалы на основе теоретического решения для статической характеристики датчика перемещений на полевом эффекте в зависимости от глубины и концентрации диффузии.

8. Разработаны и исследованы датчики силы: на основе взаимодействия электрических полей, обусловленных краевыми эффектами решетчатого электрода, и магнитоэлектрического в интегральном исполнении. Сравнение разработанных датчиков с электростатическим датчиком силы показало превосходство их характеристик при одинаковых конструктивных параметрах: по крутизне, по линейности, по напряжению и перемещению.

9. Исследованы теоретически и экспериментально три варианта интегральных акселерометров: с силовой электростатической обратной связью, с магнитоэлектрической и импульсной обратной связью. Разработаны и исследованы компенсационные датчики малых разностей давлений с точностью измерений, соответствующей точности источника опорного напряжения, а также разработан датчик избыточных давлений с магнитоэлектрическим обратным преобразователем. Предложены способы повышения точности до

2 О уровня 10" % от диапазона при-60.+85 С.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Вавилов, Владимир Дмитриевич, 1997 год

Литература:

1. Аш Ж. с соавторами. Датчики измерительных систем. -М. : Мир, 1992, книга 1 -480с, книга 2 -420с.

2. Артемов В.М., Шульга А.И. и др. Вторичный измерительный преобразователь для трехэлектродных емкостных датчиков. -ПСУ, 1992, № 9, с. 29...31.

3. Артемов В.М., Кудряшов Е.А., Левшина Е.С., Моисейченко B.C. Пути совершенствования емкостных датчиков давления и ускорения. -Приборы и системы управления, 1989, № 9, C.7...8.

4. Accelerometers. A comprehensive look at the UK instrumentation available for shock and vibration measurements. "Contr. and Instrum.", 1984, 16, № 1,27, 29-30, 33

5. Allan R. New applications open up for silicon sensors: aspecial report. -Electronics, 1980, 53, № 24,113-122

6. Андрейченко К.П. Динамика поплавковых гироскопов и акселерометров. -М.: Машиностроение,1987.-128с.

7. Andrianov V., Mende U. Rauschen von ein gangsverst rkern for elektro-mechanische me wertaufiiehmer. "Mess.-Steuern.- Regeln", 1980, 23, N 3, pp. 129-132.

8. Артемов В.M., Кудряшов Э.А., Моисейченко B.C. К вопросу о погрешности электростатических обратных преобразователей. -Методы и средства измерения механических параметров в системах контроля и управления: Тезисы докладов к зональному семинару. / Под ред. Е.П. Осадче-го. Пенза, 1990, с. 25-26.

9. Askc. V.H. "An Integrated Silicon Accelerometer", Scientific Honeyweller, Fall. 1987, pp. 53...58.

10. A.c. 504978 (СССР). Тензоакселерометр / Сапрыгин В.А. и Тарасов M.Л. -Опубл. В Б.И., 1976, № 8.

11. A.c. 534694 (СССР). Акселерометр / Бабинков В.А., Беликов JI.B., Коновалов С.Ф., Медведева И.И. и .Мкртчян Э.С. -Опубл. В Б.И. № 41, 1977.

12. Adams I., Engineering Messurements and Instrumenation, Londres, The English University Press, 1975, p.p. 63.

13. A.c. 634454 (СССР). Умножитель частоты следования периодических импульсов /Вавилов В.Д. -Опубл. В Б.И., 1978, № 43.

14. A.c. 681376 (СССР). Акселерометр /Богатов П.Н. и др. -Опубл. В Б.И.,

1979, №31.

15. A.c. 699437 (СССР). Тензоакселерометр /Кистанова P.A. и Сапрыгин В.Д. -Опубл. В Б.И, 1979, № 43.

16. A.c. 711592 (СССР). Оптоэлектронное устройство для возведения в квадрат /Вавилов В.Д, Сарычев C.B., Чудаков Ю.Л.- Опубл. В Б.И,

1980, №3.

17. A.c. 785866 (СССР). Устройство для сравнения чисел /Вавилов В.Д, Шмыров В.А. -Опубл. В Б.И, 1980, № 45.

18. A.c. 813125 (СССР). Двухкоординатный преобразователь перемещений /Попов В.В. и Попов Л.В. -Опубл. В Б.И, 1981, № 10.

19. A.c. 836600 (СССР). Цифровой частотомер /Вавилов В.Д, Матвеев В.И.,Сарычев С.В.-Опубл. В Б.И, 1981, № 21.

20. A.c. 966600 (СССР). Цифровой термоанемометр /Вавилов В.Д.- Опубл. В Б.И, 1982, №38.

21. A.c. 951670 (СССР). Генератор импульсов /Вавилов В.Д.- Опубл. В Б.И, 1982, №30.

22. A.c. 960652 (СССР). Частотомер /Вавилов В.Д. -Опубл. В Б.И., 1982, № 35.

23. A.c. 834524 (СССР). Термоанемометр /Вавилов В.Д. -Опубл. В Б.И., 1981, №20.

24. A.c. 1013855 (СССР). Устройство для измерения угловой скорости /Вавилов В.Д., Поздяев В.И. -Опубл. В Б.И., 1983, № 15.

25. A.c. 1027627 А (СССР). Компенсационный маятниковый акселерометр /Трунов A.A. и Полынков A.B. -Опубл. В Б.И., 1983, № 25

26. A.c. 1067445 (СССР). Компенсационный акселерометр /Горбунов В.И., Коновалов С.Ф., Медведева И.И. и Трунов A.A. -Опубл. В Б.И. "Изобретения в СССР и за рубежом", вып. 103, № 8. 1984.

27. A.c. 1081788 (СССР). Преобразователь напряжения в частоту /Вавилов В.Д., Поздяев В.И. -Опубл. В Б.И., 1984, № 11.

28. A.c. 1086388 (СССР). Способ определения линейного ускорения и устройство для его осуществления /Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Опубл. В Б.И, 1984, № 14.

29. A.c. 1107063 (СССР). Акселерометр /Вавилов В.Д, Поздяев В.И, Ва-нюгин А.Н. -Опубл. В Б.И, 1984, № 29.

30. A.c. 1138748 (СССР).Тензоакселерометр /Архарова Л.Г. и др.-Опубл. В Р.И. "Изобретения стран мира", 1985, № 9.

31. A.c. 1140048 (СССР). Тензорезисторный акселерометр /Иориш Ю.И.-Опубл. В Р.И. "Изобретения стран мира", 1985, № 9.

32. A.c. 1185247 (СССР). Компенсационный маятниковый акселерометр /Овсянников А.Г, Полынков A.B. и Трунов A.A. -Опубл. В Б.И, 1985, №38.

33. A.c. 1203439 (СССР). Тензометрический акселерометр /Егиазарян Э.Л. -Опубл. В Б.И, 1986, № 1.

34. A.c. 1217094 (СССР). Компенсационный маятниковый акселерометр

/Беликов JI.B, Вавилов В.Д, Меньков А.И, Поздяев В.И. -Опубл. В Б.И, 08.11.1985.

35. A.c. 1306326 (СССР). Компенсационный акселерометр /Вавилов В.Д, Поздяев В.И. -Опубл. В Б.И, 22.12.1986.

36. A.c. 1377572 (СССР). Датчик перемещения /Вавилов В.Д, Поздяев В.И. -Опубл. Б.И, 1988, № 8.

37. A.c. 1774710 (СССР). Устройство для измерения перемещений /Вавилов В.Д. и др. -Опубл.в Б.И, 08.07.92.

38. Babb M. Micromechanics, fiber optics provide low-cost, high perfomance sensors.-Contr. Eng., 1985, 32, №. 12, 54-56.

39. Банцер С.Г. и др. Новый полупроводниковый прибор с отрицательной дифференциальной проводимостью. -ПТЭ, 1987, № 1, с. 107-108.

40. Baumann Е, Pfeifer G. Stand und tendenzen der electrischen kraftme technik. -Feinger technik, 1979, №11, p.p. 483...488.

41. Бачурин B.B. и др. Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов -Обзоры по электронной технике, серия 2, "Полупроводниковые приборы", выпуск 3 (859).-М.:ЦНИИ "Электроника", 1982, с.52.

42. Белоус А.И. и др. Универсальный временной преобразователь на основе БИС 512ПС11. -Микропроцессорные средства и системы, 1990, № 2, с.15...17.

43. Березин A.C., Мочалкина O.P. Технология и конструирование интегральных микросхем: Учеб. Пособие для вузов /Под ред. И.П. Степанен-ко.-М.:Радио и связь, 1983. -232с.

44. Бердников А.Е. и др. Предокислительная обработка кремниевых пластин. -ПСУ, 1989, № 8, с.39.

45. Бибер JI.A, Жданова Ю.Е. Низкочастотные маятниковые виброметры. -М. : Энергия, 1980. -62с.

46. Бондаренко Э.Г. и др. Терморезисторы с уменьшенным отрицательным ТКС в толстопленочном исполнении. -ПСУ, 1989, № 1, с. 19.

47. Борисенко А.И. и др. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. -Л. .-Наука, 1972. -114с.

48. Браславский Д.А, Петров В.В. Точность измерительных устройств. - М.: Машиностроение, 1976. -312с.

49. Броудай И, Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Пер. с англ.-М. : Мир, 1985. -496с.

50. Брэдшоу П. Введение в турбулентность и ее измерение. -М. Мир, 1974. -278с.

51. Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Математические модели интегральных датчиков информации. Тезисы докладов региональной научно-технической конференции "Методы и средства измерений физических величин". Н-Новгород, 1996 г. -86.

52. Вавилов В.Д. Применение микропроцессоров в информационных системах: Учебное пособие. -М. : Изд-во МАИ, 1988. -46с.

53. Вавилов В.Д. Метод расчета термоанемометрического преобразователя с переносом тепловых меток. - Тематический сборник научных трудов: Измерительные процессы и системы. -М.: Изд-во МАИ, 1984, с.6.,.11.

54. Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Разработка интегрального акселерометра и его узлов с магнитоэлектрическим датчиком момента. -Отчет о НИР "Разработка и исследование приборов первичной информации" /Науч. рук. Вавилов В.Д.- Арзамас, 1984,-Рукопись представлена Арзамасским филиалом МАИ. Деп. в ЦНТИ "Волна", гос. Per. № 01.83.0 55538; инв. № Г56215; с.6-55, 1985.

55. Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Разработка высокодобротного интегрального акселерометра и его узлов с электростатическим датчиком силовой отработки. -Отчет о НИР "Разработка и исследование приборов

первичной информации" /Научный рук. Вавилов В.Д.- Арзамас, 1984.-Рукопись представлена Арзамасским филиалом МАИ. Деп. в ЦНТИ "Волна" в 1985г., гос. Per. № 01.83.0 55538; инв. № Г 56215; с. 64...98.

56. Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Температурная погрешность преобразователей микроперемещений на полупроводниковых монокристаллах. -Технология авиационного приборо- и агрегатостроения, 1990, № 4, с. 58...60.

57. Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Исследование жёсткости интегральных упругих подвесов с криволинейными обводами. - Деп. в ВИМИ, справка № 1545 от 28.02.91. Реферат опубл. В сб. ВИМИ, 1990, вып., № 10.

58. Вавилов В.Д, Поздяев В.И, Чудаков Ю.Л. Исследование RC-генератора для измерительных преобразователей. -Технология авиационного приборо- и агрегатостроения, 1989, № 2, с. 24...26.

59. Вавилов В.Д, Поздяев В.И, Яковлев A.A. К исследованию динамики относительного движения твердого тела. -Эксплуатационная и конструктивная прочность судовых конструкций: Тезисы докладов НТК "Бубновские чтения-88" /Под ред. Ершова Н.Ф. -Горький, ГПИ, 1988, с. 21-22.

60. Вавилов В.Д, Поздяев В.И, Шеянов В.Н. Об аэродинамическом демпфировании чувствительных элементов интегральных акселерометров. -Труды НИТИ, 1986, вып. 2(30), с .89...93.

61. Вавилов В.Д, Сарычев С.В, Чудаков Ю.Л. Устройство для обработки и регистрации частотных датчиков. -Технология авиационного приборо- и агрегатостроения, 1982, № 1, с. 28...31

62. Вавилов В.Д. Сарычев С.В, и др. Линеаризация передаточной функции термочувствительных мостов с термисторами. -Технология авиационного приборо- и агрегатостроения, 1980, № 2, с. 30...31.

63. Вавилов В.Д, Яковлев В.П. и др. Исследование характеристик датчика

давления с силовой компенсацией. - Технология авиационного приборо-и агрегатостроения, 1980, № 1,с. 46...47.

64. Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Конструирование интегральных датчиков. -М: Изд-во МАИ, 1993, -68 с.

65. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. -М.: Энергоатомиз-дат, 1983. -136с.

66. Ваганов В.И, Гончарова Н.И. Интегральный балочный механоэлектри-ческий преобразователь. -М.: Атомиздат, 1978, вып.1-130с, с.130...136.

67. Васильев А.Д. и др. Направленное микропрофилирование кремния. -Микроэлектроника, 1977, т.6, вып.З, с. 249...257.

68. Виглеб Г. Датчики: Пер. с нем.-М.: Мир, 1989. -196с.

69. Викторов В.А. и др. Высокочастотный метод измерения неэлектрических величин. -М.: Наука, 1973. -280с.

70. Возьмилова Л.Н, Бердиченко М.М. Травление сквозных отверстий в пластинах кремния. -Электронная техника, сер.2. Полупроводниковые приборы, 1980, вып.2, с. 102...107.

71. Вишнева Т.И. и др. Применение анизотропного травления полупроводников в технологии микроэлектроники. -Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники, МИЭТ, 1976, вып.24, с. 169...174.

72. Вульвет Дж. Датчики в цифровых системах. -М.: Энергоиздат, 1981. -200 с.

73. Выгода Ю.А. и др. К расчету жесткости маятникового подвеса с балочным упругим элементом переменного сечения. - Методы и средства измерения механических параметров в системах контроля и управления: Тезисы докладов к зональному семинару. /Под ред. Е.П. Осадчего. -Пенза, 1990, с. 39-40.

74. Гарет П. Аналоговые устройства для микропроцессоров и мини-ЭВМ. -М.: Мир, 1981.-268с.

75.

76.

77.

78,

79,

80,

81

82.

83,

84

85

86

87

88

Gibson R.F, Speckhart F.H. Optimum damping for accelerometers.-'Tnst-rum.and Contr. Sist.", 1972, 45, № 9, 87-88

Гордиенко M.M. и др. Термокомпрессионная оснастка для диффузионной сварки чувствительных элементов. -ПСУ, 1991, № 4, с. 42...43. Григораш Т.С. и др. Полупроводниковый функциональный терморезистор и его характеристики. -ПСУ, 1989, № 1, с.18.,.19. Гриневич Ф.Б, Новик А.И. Измерительные компенсационно-мостовые устройства с емкостными датчиками. -Киев.: Наукова думка, 1987.-112с. Гутников B.C. и др. Измерительная система для емкостных датчиков. -ПСУ, 1991, № 5, С.24...26.

Гутников B.C. и др. Частотно-временные преобразователи в схемах измерения физических величин. -ПСУ, 1989, № 9, с. 15-17 Гутников B.C. Тенденции развития электронных измерительных преобразователей для датчиков. -ПСУ, 1990, № 10, с.32...35. Губкин А.Н. Электреты. -М.: Наука, 1978.-186с.

Гош Джон. Использование рентгенолитографии для изготовления 1,2 ГГц МОП-транзисторов. -Электроника, 1986, т.59, № 11, С.24...26. Давыдов A.C. Многоканальные электронные термометры с датчиками на основе температурной зависимости кремниевых транзисторов. -ПСУ, 1986, №7, С.25...26.

Джагупов Р.Г, Ерофеев A.A. Пьезокерамические элементы в приборостроении и автоматике. -Л.: Машиностроение, 1986.-254с. Джонсон Р. Механические фильтры в электронике. -М.: Мир, 1986.-406с.

Дьяконова Т.А, Лысцов В.Е. Тонкопленочный электролитический подогревный датчик влажности. -ПСУ, 1991, № 6, с.26. Евдокимов В.И. и др. Полупроводниковые измерительные преобразователи давления высокотемпературных сред.-ПСУ, 1986, № 11, с. 16... 17.

89. Журавин Л.Г. Методы электрических измерений. -Л.: Энергоатомиздат, 1990. -288с.

90. Заявка № 0140334 ЕПВ (ЕР). Акселерометр. -Опубл. в Б.И. "Изобретения стран мира", № 23, 1985.

91. Заявка № 0198724 (ЕР). Микроминиатюрный акселерометр с электростатическим возвратом в исходное положение. -Опубл. в Б.И. "Изобретения стран мира", № 15, 1987, с.46.

92. Заявка № 61-42229 (Яп.). Полупроводниковый датчик ускорений. -Опубл. в Р.И. "Изобретения стран мира", № 13,1987, с.93.

93. Зи С. Физика полупроводниковых приборов: В 2-х книгах. Кн.1 и 2. Пер. с англ. -М.: Мир, 1984. -456с.

94. Зиновьев В.А. и др. Емкостный датчик избыточного давления. -ПСУ, 1992, № 5, с.27.

95. Сергеев B.C. и др. Напряжения и деформации в элементах микросхем. -М.: Радио и связь, 1987. -88с.

96. Ильинская Л.С. Подмарьков А.Н. Полупроводниковые тензодатчики. -М.: Энергия, 1966. -120с.

97. Иоссель Ю.А. и др. Расчет электрической емкости. -Л.: Энергоиздат, 1981.-288с.

98. Иориш Ю.И. Виброметрия. -М.: Машиностроение, 1963. -772с.

99. Caplan William F. Miniature biaxial accelerometer-damped.-Instrum. Aerospace Ind. Vol.18.: Pittsburgh, 1972, 217-221.

100. Казарян А.А. Тонкопленочные емкостные датчики давления. Измерительная техника, 1990, № 10, С.29...31.

101. Канищева Г.А. и др. Получение выпуклых и вогнутых поверхностей посредством анизотропного травления кремния ориентации (100). -Электронная техника, сер.З. Микроэлектроника, 1978, вып.5, с.77...82.

102. Канищева Г.А. и др. Получение субмикронной изоляции на кремнии. -

Электронная техника, сер.2. Микроэлектроника, 1980, вып.З, с.82...85.

103. Како Н, Ямане Я. Датчики и микро-ЭВМ. -JL: Энергоатомиздат, 1986. -120с.

104. Карантиров Н.Ф. и др. Качество микрорельефа при анизотропном травлении кремниевых пластин ориентации (100). -Электронная техника, сер.6, вып. 10, 1979, с.68.,.74.

105. Карцев Е.А, Коротков В.П. Унифицированные струнные измерительные преобразователи. -М.: Машиностроение, 1982. -144с.

106. Кацнельсон А.Ш. Датчики контактного сопротивления. -М.: Энергоатомиздат, 1985. -80с.

107. Клокова Н.П. Тензорезисторы. -М.: Машиностроение, 1990. -222с.

108. Козин С.А. и др. Размерное травление кремния при изготовлении интегральных чувствительных элементов преобразователей механических величин. -ПСУ, 1990, № 10, С.42...43.

109. Концевой Ю.А. и др. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур.-М.: Машиностроение, 1982.-240с.

110. Коновалов С.Ф. Теория виброустойчивости акселерометров. -М.: Машиностроение, 1991. -270с.

111. Косогоров В.М. Технология диффузионной сварки полупроводниковых чувствительных элементов в электрическом поле. -ПСУ, 1991, № 4, С.41...42.

112. Кравченко Г.Ф. и др. Прочность мембран интегральных тензопреобра-зователей давления. -ПСУ, 1986, № 12, С.31...32.

113. Chen P.L., Muller R.S. and others. "Integrated Silicon Microbeam PI-FET Accelerometer", IEEE Trans. Electron Devices, vol.ED-27, Dec. 1980, pp. 27-33.

114. Krau M, Herold H. Architecturen kapazitiver Sensoren mit Schut-zschirm-technik und zugeh rige Sensorelektronik. -"Mess-Steuern-Re-geln", 1989,

32, № 2, 56-59, 94-95.

115. Kruse A. Mechanischer entwurf piezoresistiver chleuni gungsa-ufneh-mer.-Feinger tetechnik, 1978, 9, 390-393.

116. Кунце Х.И. Методы физических измерений. -М.: Мир, 1989. -214с.

117. Лазутин В.Н. Электрофизические свойства пленок ионообменных смол при сорбции водяных паров. -Прикладная химия, 1986, № 4, с. 904...906.

118. Ландочкин И.Г. и др. Терморезистор на основе диоксида ванадия для схем тепловой защиты. -ПСЦ, 1989, № 7, с.33...35.

119. Лебедев Д.В. и др. Емкостные датчики абсолютных давлений. -ПСУ, 1990, № 10, С.6...8.

120. Левшина Е.С, Новицкий П.В. Электрические измерения физических величин: (Измерительные преобразователи). Учеб. пособие для вузов. -Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1983.-320с.

121. Левцов В.И. и др. Схемная термокомпенсация тензорезисторных преобразователей давления. -Измерительная техника, 1989, № 5, с.22.,.24.

122. Ленк А. Электромеханические системы. -М.: Мир, 1978. -284с.

123. Любезнов А.Н, Куличков А.В, Игошин Д.В, Кот Л.И. Разработка унифицированного ряда низкочастотных полупроводниковых линейных акселерометров. -В кн.: Датчики на основе технологии микроэлектроники. Материалы конференции. -М.: МДНТП, 1986, с.32.,.35.

124. Лойцянский Л.Г. Механика жидкости и газа. -М.: Наука. Гл. ред. физмат. лит, 1987. -840с.

125. Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. -М.: Энергоатомиздат, 1989.-270с.

126. Макс Ж. Методы и техника обработки сигналов при физических измерениях. -М.: Мир. -1983. -т. 1-312с, т.2-256с.

127. Маякин В.П, Донченко Э.Г. Электронные системы для автоматизированного измерения характеристик потоков жидкостей и газов. -М.:

Энергия. -88с.

128. Марова Н.В. и др. Низкочастотные линейные акселерометры прямого действия. -ПСУ, 1990, № 10, с.19.,.21.

129. Марченко А.Н. Управляемые полупроводниковые резисторы. -М.: Энергия, 1978.-216с.

130. Мельников В.Е, Вавилов В.Д. Информационная специфика и методы обработки сигналов частотных датчиков. -М.: Изд-во МАИ, 1980. -44с.

131. Мельников В.Е. Электромеханические преобразователи на базе кварцевого стекла. -М.: Машиностроение, 1984. -159с.

132. Мешков Н.С. и др. Емкостный линейный акселерометр для статико-динамических измерений. -ПСУ, 1992, № 5, с.26...27.

133. Метальников В.В. и др. Низкочастотные линейные компенсационные акселерометры. -ПСУ, 1990, № 10, с.21.,.23.

134. Мерриэм К. Теория оптимизации и расчет систем управления с обратной связью. -Мир, 1967. -550с.

135. Middelhoek S,Noorlag D.G.W. Silicon microtransducers. -Sei. Instr, 1981, 14, № 12, 1343-1350.

136. Михайлов Ю.А. Получение структур с диэлектрически изолированным кремнием электронной и дырочной проводимости. - Электронная техника, сер.6. Материалы, 1979, вып.2, с.59...66

137. Митин В.Ф. и др. Измерительные датчики на основе гетероэпитак-сиальных пленок на арсениде галлия. -ПСУ, 1989, № 7, С.29...30.

138. Мирский Г.Я. Электронные измерения. -М.: Радио и связь, 1986. -440с.

139. Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов /Под. ред. Миллера Д.-М.: Радио и связь, 1989. -278с.

140. Мокров Е.А, Папко A.A. Особенности динамической градуировки в компенсационных акселерометрах на двойных центрифугах. -ПСУ, 1990, № 10, с.29...30.

141.

142.

143,

144,

145

146,

147,

148

149

150

151

152

153

154

155

Моро У. Микролитография. -М.: Мир, 1990. -т.1 и 2,1240с. Мусин P.A., Конюшков Г.В. Соединение металлов с керамическими материалами. -М.: Машиностроение, 1991. -224с.

Мэзон У. Полупроводниковые преобразователи. В кн.: Методы и приборы ультразвуковых исследований, часть Б.-М.: Мир, 1967, с. 139...186. Назаров A.C. и др. Конструирование радиоэлектронных средств. -М.: Издательство МАИ, 1996. -378с.

Най Дж. Физические свойства кристаллов. - М.: Мир, 1967. -388с. Нашиф А., Джоунс Д, Хендерсон Д. Демпфирование колебаний. -М.: Мир, 1988. -448с.

Новиков В.Н, Пронкина А.Е. Тонкопленочные терморезисторы повышенной точности с отрицательным ТКС. -ПСУ, 1991, № 5, с.29.,.30. Новицкий П.В. и др. Цифровые приборы с частотными датчиками. -Л.: Энергия, 1970. -424с.

Новицкий П.В, Зограф И.А. Оценка погрешностей измерений. -Л.: Энергоатомиздат, 1991. -304с.

Окамото, Угаи. Делитель напряжения на МОП-транзисторе. -ТИИЭР, 1971, т.59, № 10, с. 189-190.

Окоси Т. и др. Волоконнооптические датчики. -Л.: Энергоатомиздат, 1991. -256с.

Осадчий Е.П. Современные направления совершенствования датчико-вой аппаратуры. -ПСУ, 1989, № 7, с. 16... 18.

Осипович Л.А. Датчики физических величин. -М.: Машиностроение, 1979. -159с.

Обухов В.И. Технология интегральных измерительных преобразователей. -Нижний Новгород, РИО НГТУ, 1994. -150с.

Patent specification 1534276 (GB). Force transducers /Donald Albert Gage and Peter Malcolm Kerrison. -2.02.76.

156. Patent 2130372 (GB). Accelerometer device /John Christopher Greenwood, David William Satchell.- Application published 31.05.84.

157. Patent 2130373 (GB). Accelerometer device /Standard telephones & Cables public limited company. -31.05.84.

158. Patent 2156523 A (GB). Planar inertial sensor. /Burton Boxenhorn.-09.10.85.

159. Patent 2158945 (GB). Capasitive transducer. /Leslie Bruce Wilner.-l 1.02.85.

160. Patent Application GB 2168481 A. Silicon transducer /Robert James Hodges,Aubrof Michael Crick.-18.01.86.

161. Патент 2174500 (Бр.). Акселерометр. -Опубл. в Р.И. "Изобретения стран мира",1987, № 14, с.53.

162. Патент 2192718 (Бр.). Акселерометр или сейсмометр. -Опубл. в Б.И. "Изобретения стран мира",вып.106,1989, № 13,69.

163. Patent 2558263 (Fr). Асс 1 rom tre directif et son procd de fabrication par microlithographie /Jean S bastien Danel.-19.07.85

164. Patent 2564593 (Fr). Capteur capasitif et plaque de condensateur pour ce capteur /Leslie Bruce Wilner.-22.11.85

165. Patent 2578323 (Fr). Capteur int gr de grandeurs m caniques effet capasitif et proc d de fabrication /Pierre Louis Andr , Fran ois Gabriel Baillieu, JeanPierre Yves Brosselard, Gerard Dreyfus, Alf-red Permuy, Fran ois-Xavier Pirot et Serge Spirkovitch.-17.01.86

166. Патент № 2561389 (Фр.). Детектор инерции с плоской конструкцией, используемый в качестве гироскопа или акселерометра. -Опубл. в Р.И. "Изобретения стран мира", 1986, № 4, с.58.

167. Patent 2580389 (Fr). Асс 1 rom tre micro-usine rappel lectrostatique /Andr Boura. -17.10.86.

168. Patent 2581178 (Fr). Appareil pour mesurer le d bit d'coulement d'un produit en vrac /Helmut Pfeiffer.-31.10.86.

169.

170,

171.

172,

173.

174,

175,

176,

177,

178

179

180

181

182

Патент 3877313 (США). Маятниковый компенсационный акселерометр с системой импульсной обратной связи. -Опубл. в экспресс-инф. "Испытательные приборы и стенды", 1976, № 9. Patent 4345474 (US). Electrostatic Accelerometer /Alain Deval.-24.08.82. Patent 4342227 (US). Planar Semiconductor three Direction Acceleration Detecting Device and Method of fabrication /Kurt E. Petersen and Anne C. Shartel.-3.08.82.

Patent 4430895 (US).Piezoresistive accelerometer /Russel F. Colton.-14.02.84.

Patent 4435737 (US). Low cost capasitive accelerometer /Russel F. Colton.-06.03.84.

Patent 4483194 (US). Accelerometer/ Felix Rudolf. -20.11.84 Patent 4488445 (US). Integrated silicon accelerometer with cross-axis compensation /Vernon H. Aske. -18.12.84.

Patent 4498342 (US). Integrated silicon accelerometer with stress-free rebalancing /Vernon H.Aske. -12.02.85.

Patent 4553436 (US). Silicon accelerometer /Jan J. Hansson.-19.11.85. Патент 4598585 (США). Плоский инерционный датчик. -Опубл.в Б.И. "Изобретения стран мира", 1987, № 9, с.77.

Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. -М.: Высшая школа, 1987. -240с.

Пащенко В.В, Маланин В.П. Анализ схем коррекции температурных погрешностей параметрических датчиков. -ПСУ, 1991, № 2, с. 19...20. Petersen Kurt E. Silicon as a Mechanical Material.-IEEE, 1982, vol.70, № 5, pp. 420...457.

Петров B.B, Усков A.C. Основы динамической точности автоматических информационных устройств и систем. -М.: Машиностроение, 1976. -216с.

183. Повх И.JI. Техническая гидромеханика. -Л.: Машиностроение, 1969. -650с.

184. Поздяев В.И. Современное состояние интегральных полупроводниковых акселерометров. -Отчет о НИР "Разработка и исследование приборов первичной информации" /Науч. рук. Вавилов В.Д. -Арзамас, 1983. -Рукопись представлена Арзамасским филиалом МАИ. Деп. в ЦНТИ "Волна" в 1984 г, гос. per. № 01.83.0 055538; инв. № 0284.0 015839; с.12...22.

185. Поздяев В.И. Математическая модель кремниевого компенсационного акселерометра осевого типа. Методика конструктивного расчета. -Отчет о НИР "Разработка и исследование чувствительных элементов акселерометров" /Науч. рук. Вавилов В.Д. -Арзамас, 1986. -Рукопись представлена Арзамасским филиалом МАИ. Деп. в ЦНТИ "Волна" в 1987г, гос. per. № У38003, инв. № 65921, Г 81964; с.6.,.49.

186. Поздяев В.И. и др. Оценка погрешностей емкостного измерительного преобразователя микроперемещений.- Деп. в ВИМИ, справка № ДД1544 от 28.02.91. Реферат опубл. в сб. ВИМИ, 1990, вып. № 10.

187. Поздяев В.И. и др. Исследование жесткости интегральных упругих подвесов с криволинейными обводами. -Деп. в ВИМИ, справка № ДД1545 от 28.02.91. Реферат опубл. в сб. ВИМИ, 1990, вып. № 10.

188. Попов Е.П. Теория и расчет гибких упругих стержней. -М.: Наука.-296с.

189. Попов А.И. Частотная характеристика пленочного термоанемометра. -Измерительная техника, 1989, № 7, с.37...38.

190. Полупроводниковые тензодатчики /Под ред. М. Дина: Пер. с англ. -М. -Л.: Энергия, 1965. -213с.

191. Проектирование датчиков для измерения механических величин /Под ред. Е.П. Осадчего. -М.: Машиностроение, 1979. -480с.

192. Реклейтис Г. И. др. Оптимизация в технике. -М. :Мир, 1986. -т. 1-350с, т.

2-320с.

193. Римский-Корсаков A.B. Электроакустика.-М. :Связь, 1973.-272с.

194. Richter W. Stand und Tendenzen der Sensortechnik. -"Mess-Steuern-Regeln", 1983, 26, № 4, 193...196.

195. Robinson C. and others. Problems Encountered in the Development of a Microscale g-switsch Using Three Design Approaches.-Transducers-87, pp. 410-413.

196. Roylance L.M, and Angell J.B, A Batch-Fabricated Silicon Accelerometer.-IEEE Transactions on electron devices, vol. ED-26, № 12,1979, pp. 1910...1917.

197. Рохов Е.Д. Мир кремния. -M.: Химия, 1990.-150с.

198. Rudolf F.A. Micromechanical Capacitive Accelerometer with a Two-Point Inertial-Mass Suspension.-Sensors and Actuators, 1983, 4.

199. Rudolf F, Jornod A. Silicon Microaccelerometer. -Transducers-87, pp. 395...398.

200. Самуль В.И. Основы теории упругости и пластичности. -М.: Высшая школа, 1982. -264с.

201. Sandmaier Н. and others. A Silicon Based Micromechanical Accelerometer with cross Acceleration Sensitivity Compensation.-Trans-ducers-87, pp. 399...402.

202. Светлицкий В.А. Случайные колебания механических систем. -М.: Машиностроение, 1991. -320с.

203. Сикорски М. Применение полупроводниковых преобразователей на р-п-переходах для измерения давлений и деформаций, в кн.: Методы и приборы ультразвуковых исследований, часть Б.-М.: Мир, 1967, С.210...302.

204. Schoppnies Е. Sensoren auf der Grundlage der Si-Planartechno-logie.-Radio-Fensehen-Elektronic, 1983, 32, № 4, 226...228.

205.

206.

207.

208.

209.

210,

211,

212,

213

214

215

216

217

218

Скалой А.И. Принципы построения цифровых компенсационных акселерометров. -Измерения, контроль, автоматизация, 1984, № 1, с.43.,.51. Слабкий Л.И. Методы и приборы предельных измерений в экспериментальной физике. -М.: Наука, 1973. -272с.. Смит Р. Полупроводники: Пер. с англ. -М.: Мир,1982.-560с. Соклоф С. Аналоговые интегральные схемы. -М.: Мир,1988.-584с. Солимар Л, Уолш Д. Лекции по электрическим свойствам материалов. -М.: Мир, 1991. -502с.

Спектор С.А. Электрические измерения физических величин. -Л.: Энер-гоатомиздат, 1987. -320с.

Степаненко И.П. Основы теории транзисторов и транзисторных схем. -М.: Энергия, 1973. -608с.

Стоффель И.М. Технологии производства датчиков XXI века. -ПСУ, 1991, № 1, с. 23-24.

Стучебников В.М. Полупроводниковые интегральные тензорезисторные преобразователи механических величин. -Измерения, контроль, автоматизация, 1983, № 1, с.30...42.

Стучебников В.М. Тензорезисторные преобразователи на основе гете-ро-эпитаксиальных структур "кремний на сапфире". -Измерения, контроль, автоматизация, 1982, № 4, с. 15...26.

Стучебников В.М. Интегральные полупроводниковые чувствительные элементы тензопреобразователей механических величин. -Приборы и системы управления, 1986, № 4, с. 20...23.

Талерчик Б.А, Олеск А.О. Интегральные полупроводниковые датчики.-ПСУ,1986, №6, с. 12...13.

Теодоску К. Упругие модели дефектов в кристаллах. - М.: Мир, 1985. -352с.

Терстон Р. Применение полупроводниковых преобразователей для

измерения деформаций, ускорений и смещений. В книге: Методы и приборы ультразвуковых исследований. Часть Б.- М.: Мир, 1967; с. 181...209.

219. Тиль Р. Электрические измерения неэлектрических величин: Пер. с нем. -М.: Энергоатомиздат, 1987. -192с.

220. Тимошенко H.H. Об одном алгоритме управления качеством твердотельных датчиков физических величин. -ПСУ,1989, № 7 с.26.,.28.

221. Тимошенко Н. Н, Осадчий Е. П. Современная концепция стандартизации датчиков нового поколения.-ПСУ, 1991, № 2, с.18...19.

222. Титце У, Шенк К. Полупроводниковая схемотехника. -М.: Мир, 1982. -512с.

223. Томашпольский Ю.Я. Пленочные сегнетоэлектрики. -М.: Радио и связь, 1984. -192с.

224. Tsugai М. and Bessho М. Semiconductor Accelerometer for Auto-motive Controls.-Transducers-87, pp. 403...405.

225. Уай Д. Преобразователь с запирающим слоем и другие высокочастотные преобразователи, работающие на основной частоте. В кн.: Методы и приборы ультразвуковых исследований, часть Б.-М.: Мир, 1967, с. 303...338.

226. УдаловН.П. Полупроводниковые датчики. -М.: Энергия, 1965.-238с.

227. Федотов В.К. Электроемкостный измеритель толщины тонких электропроводящих пленок. -Измерительная техника, 1989, № 7, с. 19...20.

228. Ференец В.А. Полупроводниковые струйные термоанемометры. - М.: Энергия, 1972.-112с.

229. Фреймут П. Теория регулирования с обратной связью для термоанемометров постоянной температуры. -Русский перевод "Приборы для научных исследований", 1967, № 5, с.24.,.31.

230. Fischer H.W. Ein Verfahren zur Linearisierung der selbst tigen gepulsten

electrostatischen Kraftkompensation. -Messen und Pr fen, 1980, 1-2, pp. 63...67.

231. Фолкенберри JI. Применения операционных усилителей и линейных ИС. -М.: Мир, 1985. -572с.

232. Фрицше X. Аморфный кремний и родственные материалы. -М.: Мир, 1991. -542с.

233. Хан X. Теория упругости. -М: Мир, 1988. -344с.

234. Химмельблау Д. Анализ процессов статистическими методами. -М.: Мир, 1973. -958с.

235. Heerens W.Chr. Multi-terminal capacitor Sensors.-J. Phys. E: Sei. Instrum, 1982,15, № 1,137...141.

236. Helm H.-M. Kenngr en integrierter piezoresistiver Elemente. -Feingeratetechnik, 1981, 30, № 2, 60...62.

237. Хоровиц П, Хилл У. Искусство схемотехники. - М.: Мир, т.1, 1983.-598с.

238. Цывин A.A. Полупроводниковые чувствительные элементы тензорези-сторных датчиков. -ПСУ, 1989, № 1, С.24...27.

239. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. - М.: Высшая школа, 1987. -376с.

240. Чумаков В.И. Разработка конструкции и исследование термоанемомет-рического преобразователя для струйного датчика угловых скоростей. -Тематический сборник научных трудов: Измерительные процессы и системы. - М.: Изд-во МАИ, 1984, С.3...6.

241. Шваб И.А, Селезнев A.B. Измерение угловых ускорений. - М.: Машиностроение, 1983. -160с.

242. Шефтель И.Т. Терморезисторы. - М.: Наука, 1973. -416с.

243. Шило В.Л. Линейные интегральные схемы в радиоэлектронной аппаратуре. -М.: Сов. радио, 1979. -368с.

244. ШлихтингГ. Теория пограничного слоя: Пер. с нем. -М.: Наука, 1974.-712с.

245. Эйснер Э. Расчет резонансных колебательных систем. В книге: "Методы и приборы ультразвуковых исследований", часть Б.-М.: Мир, 1967, с.339.,.358.

246. Элексион Марс. Внедрение технологии интегральных схем в производство датчиков. - Электроника, 1986, т.59, № 11, с. 49...56.

247. Электрические измерения неэлектрических величин. /Под ред. П.В. Новицкого. -Л.: Энергия, 1975. -576с.

'УТВЕРЖДАЮ"

Руководитель предприятия "ТЕМП-АВИА" В.Т.ЛЕЩЕВ

АКТ

о внедрении на предприятии АО НПП "ТЕМП-АВИА" результатов докторской диссертации Вавилова В.Д. " Разработка и исследование измерительных приборов на интегральных принципах "

Данная работа выполнена в период с 1982г. по 1996г. к.т.н. Вавиловым В.Д, являвшимся научным руководителем по хоз. договорам: 14710 -"Разработка и исследование цифровых преобразователей датчиков первичной информации", 18059 - "Разработка и исследование приборов первичной информации", 25800 и 50410 - "Теоретические и экспериментальные исследования интегральных акселерометров".

Материалы теоретических и экспериментальных исследований Вавилова В.Д. использовались на предприятии ОКБ "Темп" (ныне АО НПП "ТЕМП-АВИА") при проведении НИР и ОКР интегральных преобразователей; и эти материалы включают в себя:

1. Теоретические расчеты интегральных электронных преобразователей: емкостного преобразователя микроперемещений, преобразователя перемещений на полевом эффекте, термометров и термоанемометров интегрального исполнения, электростатического датчика силы, интегрального датчика силы на основе взаимодействия электрических полей, преобразователя напряжения в частоту, вольтамперных характеристик р-п переходов источников опорных напряжений.

2. Теория и прикладные зависимости для расчета интегральных преобразователей с термодатчиками: термоанемометра постоянной температуры, термоанемометра с переносом тепловых меток, термоанемометрического расходомера.

3. Расчеты чувствительных элементов интегральных линейных и угловых акселерометров на основе теоретически установленных соотношений из дифференциальных уравнений Лаграыжа второго рода.

4. Расчеты чувствительных элементов интегральных мембран датчиков давления на основе полученных решений из интегральных уравнений Бубнова-Галеркина.

5. Расчеты интегральных подвесов маятников с криволинейными обводами применительно к кремниевым изделиям.

6. Расчеты газодинамического демпфирования интегральных подвижных узлов, установленные на основе теоретических решений дифференциального уравнения в частных производных Навье-Стокса, применительно к случаям осевых и маятниковых чувствительных элементов.

7. Расчеты гистерезисного демпфирования интегральных чувствительных элементов.

8. Расчеты точности статических характеристик интегральных датчиков в рабочем диапазоне температур.

9. Методики экспериментального определения жесткостей интегральных подвесов, абсолютных коэффициентов демпфирования, собственных и резонансных частот чувствительных элементов.

10. Рекомендации для получения оптимальных характеристик конструкций интегральных датчиков.

11. Результаты экспериментальных исследований статических и динамических характеристик интегральных датчиков.

Технические решения интегральных преобразователей, реализованные Вавиловым В.Д. в опытных образцах и серийных изделиях, защищены авторскими свидетельствами №№ 966600, 1013855, 1081788, 1086388, 1107063, 1217094,1306326, 1377572,1774710.

Экономическая эффективность (до индексации) от внедрения теоретических и экспериментальных исследований интегральных датчиков, расчет которой произведен на предприятии ОКБ "Темп", составляет 1 млн. рублей.

Я.Л.Перожок

"УТВЕРЖДАЮ" Проректор НГТУ по учебной работе д.т.н, профессор

I!

II

/О.С. Кошелев/

1997 г.

АКТ

о внедрении в Нижегородском государственном техническом университете результатов докторской диссертации Вавилова В.Д. " Разработка и исследование измерительных приборов на интегральных принципах "

Материалы теоретических и экспериментальных исследований доцента Вавилова Владимира Дмитриевича в области интегрального датчикостроения используются в Нижегородском государственном техническом университете в учебных курсах факультета информационных систем и технологий на кафедре "Компьютерные технологии в проектировании и производстве".

В лекционный курс, а также в материалы практических и лабораторных занятий, вошли: теоретические расчеты интегральных электронных преобразователей; теория и прикладные зависимости для расчета интегральных преобразователей с термодатчиками; расчеты чувствительных элементов интегральных линейных и угловых акселерометров, чувствительных элементов интегральных мембран датчиков давления, интегральных подвесов маятников с криволинейными обводами применительно к кремниевым датчикам, газодинамического демпфирования интегральных подвижных узлов, гистерезисного демпфирования интегральных чувствительных элементов, точности статических характеристик интегральных датчиков в рабочем диапазоне температур; методики экспериментального определения жесткостей интегральных подвесов, абсолютных и относительных коэффициентов демпфирования, собственных и резонансных

частот чувствительных элементов; рекомендации для получения оптимальных характеристик конструкций интегральных датчиков.

На занятиях используются материалы, опубликованные в ряде работ автора, в том числе:

• Вавилов В.Д. Применение микропроцессоров в информационных системах. Учебное пособие. -М.: Изд-во МАИ, 1988, 46 е.;

• Вавилов В.Д. Микропроцессоры. Учебное пособие. - М.: Изд-во МАИ, 1985, 38 с.;

• Вавилов В.Д, Лапин В.Б, Обухов В.И. Технология изготовления, сборки и испытаний интегральных измерительных преобразователей. - М.: МАИ, 1992,

• Вавилов В.Д, Поздяев В.И. Конструирование интегральных датчиков,- М: Изд-во МАИ, 1993.-68 е.;

• а также схемотехнические и конструктивные разработки Вавилова В.Д, защищенные авторскими свидетельствами на изобретения (A.c. №№ 966600, 1013855, 1081788, 1086388, 1107063, 1217094, 1306326, 1377572, 1774710).

42с.

Зав. кафедрой КТПП, д.т.н, профессор

Декан ФИСиТ, к.т.н, профессор

"УТВЕРЖДАЮ" Директор Аф НГТУ профессор

Меньков/

" ^ V ¿V и^ л? Г 4 1997 г.

; Г

, у

АКТ ^

о внедрении в Арзамасском филиале Нижегородского государственного технического университета результатов докторской диссертации Вавилова В.Д. " Разработка и исследование измерительных

приборов на интегральных принципах "

Материалы теоретических и экспериментальных исследований доцента Вавилова Владимира Дмитриевича в области интегрального датчикостроения используются в Арзамасском филиале Нижегородского государственного технического университета в учебном курсе "Конструирование интегральных измерительных преобразователей", поставленном автором на кафедре "Авиационные приборы и устройства", а также в курсовом и дипломном проектировании.

В лекционный курс, а также в материалы практических и лабораторных занятий, вошли: теоретические расчеты интегральных электронных преобразователей; теория и прикладные зависимости для расчета интегральных преобразователей с термодатчиками; расчеты чувствительных элементов интегральных линейных и угловых акселерометров, чувствительных элементов интегральных мембран датчиков давления, интегральных подвесов маятников с криволинейными обводами применительно к кремниевым датчикам, газодинамического демпфирования интегральных подвижных узлов, гистерезисного демпфирования интегральных чувствительных элементов, точности статических характеристик интегральных датчиков в рабочем диапазоне температур; методики экспериментального определения жесткостей интегральных подвесов, абсолютных коэффициентов демпфирования, собственных и резонансных частот чувствительных элементов; рекомендации для получения оптимальных характеристик конструкций интегральных датчиков.

В указанной дисциплине используются материалы, опубликованные в ряде работ автора, в том числе:

1) Вавилов В.Д. Применение микропроцессоров в информационных системах. Учебное пособие. -М.: Изд-во МАИ, 1988, 46 е.;

2) Вавилов В.Д. Микропроцессоры. Учебное пособие. - М.: Изд-во МАИ, 1985, 38 е.;

3) Вавилов В.Д., Поздяев В.И. Конструирование интегральных датчиков. - М: Изд-во МАИ, 1993. - 68 е.;

а также схемотехнические и конструктивные разработки Вавилова В.Д., защищенные авторскими свидетельствами на изобретения (A.c. №№ 966600, 1013855, 1081788, 1086388, 1107063, 1217094, 1306326, 1377572, 1774710).

Декан факультета АПЭР

к.т.н., доцент

Зам. зав. кафедрой АПУ

к.т.н., доцент

/Н.П. Ямпурин/ /В.И. Поздяев/