Разработка технологии получения соединений монокристалла кремния с алюминием диффузионной сваркой тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.06, кандидат технических наук Булгаков, Владимир Александрович

• Булгаков, Владимир Александрович
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Булгаков, Владимир Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ 1.1 .Особенности конструкции блока чувствительных элементов и технологии их создания.

1.2.Современное состояние теории диффузионной сварки.

1.3.Диффузионная сварка кремния с металлами.

1.4.Патентный поиск по теме.

1.5.Цель и задачи работы.

ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

2.1 .Характеристика исходных материалов.

2.2.0борудование диффузионной сварки и приспособления.

2.3.Технология подготовки материалов под сварку.

2.4.Методика измерения площади физического контакта.

2.5.Методика оценки развития объемного взаимодействия.

2.6.Оптическая и электронная микроскопия.

2.7.Методика определения механической прочности на срез.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 2.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ ФОРМИРОВАНИЯ СВАРНОГО СОЕДИНЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ С АЛЮМИНИЕВОЙ ФОЛЬГОЙ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКОЙ

3.1.Исследование кинетических закономерностей формирования физического контакта.

3.2.Исследование кинетических закономерностей развития объемного взаимодействия.

3.3.Характер взаимодействия монокристалла кремния с алюминиевой фольгой.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3.

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ СОЕДИНЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ С АЛЮМИНИЕВОЙ ФОЛЬГОЙ ПРИ СОЗДАНИИ БЛОКОВ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ ПРЕЦИЗИОННЫХ ПРИБОРОВ

4.1.Определение оптимальных параметров процесса сварки.

4.2.Диффузионная сварка блока чувствительных элементов АЦ.

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологии получения соединений монокристалла кремния с алюминием диффузионной сваркой»

В современном приборостроении наметилась основная тенденция применения кремниевой микромеханики при разработке блока чувствительных элементов датчиков акселерометров и измерительных преобразователей давления и перемещения.

При производстве таких прецизионных изделий одной из актуальных задач является создание надежных соединений чувствительного элемента -маятника из монокристалла кремния - со статорными пластинами из боросиликатного стекла или керамики. Как свидетельствует анализ причин отказа таких приборов, качество блока чувствительных элементов в значительной мере (до 95%) определяется качеством крепления маятника к пластинам. Поскольку эта операция является одной из заключительных в технологической последовательности создания прецизионных приборов, брак при ее выполнении сильно снижает общую экономическую эффективность производства.

Существующие в настоящее время способы крепления монокристалла кремния к неметаллическим материалам - гальваническое и химическое осаждение, вакуумное напыление, сплавление, пайка, склеивание, механическое бандажирование и другие - не удовлетворяют по разным причинам, которые будут рассмотрены ниже, предъявляемым к ним требованиям. Присущие этим технологиям недостатки не позволяют в полной мере использовать высокие упругие и электрофизические свойства полупроводниковых материалов.

Дальнейшее совершенствование методов крепления лежит в области разработки принципиально новых технологических способов создания соединений монокристалла кремния со стеклом или керамикой. Таким способом является технология диффузионной сварки в вакууме, имеющая ряд отличительных особенностей, благодаря которым она может быть успешно применена для получения неразъемных соединений блока чувствительных элементов.

Диффузионную сварку в настоящее время рассматривают как способ сварки в твердой фазе с низко интенсивным термодеформационным воздействием на соединяемые материалы. Образование качественного соединения происходит в три стадии [1]: 1 - образование физического контакта; 2 - активация контактных поверхностей; 3 - объемное взаимодействие. Гибкость процесса диффузионной сварки, позволяющая в широких пределах варьировать технологические параметры сварки (температура, сварочное давление, время выдержки, скорости нагрева и охлаждения) дает возможность получения качественного соединения при различных температурах и обеспечивает гарантированное получение надежного контакта и крепление деталей по всей требуемой поверхности с сохранением упругих свойств монокристалла кремния.

В настоящее время доказана принципиальная возможность соединения полупроводниковых материалов (кремния, германия, арсенида галлия) с рядом металлических и неметаллических материалов диффузионной сваркой. Во всех вариантах сварки этих материалов соединение происходит с применением промежуточных слоев из алюминия, меди, никеля, титана в виде фольги различной толщины. Но в литературе отсутствуют сведения по систематическим исследованиям процесса формирования сварного соединения, например, между монокристаллом кремния и промежуточным слоем, в частности, алюминиевой фольгой. В конечном итоге, именно это соединение является ответственным за качество всего блока чувствительных элементов. Успешное решение проблемы создания крепежных соединений диффузионной сваркой зависит от знания происходящих при этом процессов.

В данной работе поставлена цель: исследовать закономерности формирования соединений монокристалла кремния с алюминиевой фольгой при диффузионной сварке в вакууме, обеспечивающих повышение качества 6 и надежности прецизионных приборов в экстремальных условиях эксплуатации, а также экономическую эффективность производства.

Для достижения поставленной в работе цели предстоит решить следующие задачи:

-исследовать кинетические закономерности образования физического контакта между монокристаллом кремния и алюминиевой фольгой в процессе диффузионного соединения;

-исследовать закономерности формирования сварного соединения монокристалла кремния с алюминиевой фольгой;

-исследовать влияние основных параметров диффузионной сварки на механические свойства блока чувствительных элементов.

Работа выполнялась в течение 1998-2002г.г. в МАТИ-РГТУ им. К.Э. Циолковского и в лаборатории диффузионной сварки Федерального научно-производственного центра ОАО «Раменекое приборостроительное конструкторское бюро» (ФНПЦ ОАО РПКБ)

Заключение диссертации по теме «Технология и машины сварочного производства», Булгаков, Владимир Александрович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.

1. В качестве основного критерия оценки качества сварного соединения монокристалла кремния с алюминиевой фольгой предложено рассматривать площадь объемного взаимодействия. Усовершенствована и обоснована методика подсчета площади объемного взаимодействия.

2. Выявлены основные закономерности кинетики роста площади и глубины объемного взаимодействия в зависимости от изменения основных параметров режима диффузионной сварки - температуры, сварочного давления и времени.

3.Изучена кинетика развития физического контакта при соединении монокристалла кремния с алюминиевой фольгой диффузионной сваркой. Для обеспечения развития и образования сварного соединения необходимо пластически деформировать микронеровности на поверхности фольги для выноса в зону взаимодействия свободных от оксидов поверхностей алюминия.

4. С увеличением класса шероховатости поверхности алюминиевой фольги снижается площадь, занятая объемным взаимодействием. Оптимальным следует считать класс шероховатости, соответствующий Ra=0,40 мкм. При этом толщина фольги должна быть не менее 0,1 мкм.

5. С помощью методов математического планирования получены уравнения регрессии, описывающие процессы образования соединения монокристалла кремния с алюминиевой фольгой. Показано, что доминирующим фактором в процессе сварки является термический канал активации и его влияние на развитие объемного взаимодействия. Роль технологических параметров диффузионной сварки можно рассматривать в следующей последовательности: температура, сварочное давление, время выдержки.

6. Исследован характер зон объемного взаимодействия, представляющих собой плоскодонные треугольные ямки травления на поверхности моно

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Булгаков, Владимир Александрович, 2003 год

1. Красулин Ю.Л. Взаимодействие металла с полупроводником в твердой фазе. М., «Наука», 1971, 119 с.

2. Евсеев Ю.А. Полупроводниковые приборы для мощных высоковольтных преобразовательных устройств. М., «Энергия», 1978, 192 с.

3. Саломатин А.К., Соловьев В.М. Разработка кремниевых акселерометров и датчиков угловой скорости. Сборка в машиностроении, приборостроении. 2002, Спецвыпуск №1, с.22-25.

4. Shkel A.M., Howe R.T., Horowitz R. Design Solution and Opportunities. Transactins of International Workshop on Microrobots, Micro Machines and Systems. Moscow, November 24-25, 1999.

5. Howard Samuels. Single and Dual-axis Micromachined Accelerometers. Analog Dialoge. 1996, vol.30, №4, p.3-7.

6. Куликова E.B. и др. Омические контакты рекомбинационного и антизапорного типа (обзор теории). «Электронная техника», сер. 2 «Полупроводниковые приборы», 1971, № 3, с. 3-27.

7. Тепман А.И. Термические напряжения в силовых полупроводниковых приборах. В сб. «Состояние и перспективы развития производства и внедрения СПП и преобразовательных устройств на их основе», ВНИИЭМ, М., 1966, 15 с.

8. Якивчик Н.И. Состояние и перспективы развития силового полупроводникового приборостроения. «Электротехническая промышленность», сер. «Преобразовательная техника», 1971, вып. 21, с. 10-12.

9. Розов В.В., Соболева В.М. Сплавы для полупроводниковых приборов. М., «Металлургия», 1969, 245 с.

10. Сурженков Г.Н. Исследование формирования свойств сварных соединений кремния с алюминием и разработка технологии диффузионнойсварки выпрямительных элементов. Дисс.канд. техн. наук. 1979, Ленинград, ЛПИ им. М.И. Калинина.

11. Козлов Ю.И. Денисова Л.И. Металлы и сплавы для изготовления контактов в силовых кремниевых выпрямительных элементах. «Электротехническая промышленность», сер. «Преобразовательная техника», 1971, вып. 18, с. 16-19.

12. Догородицкий И.П., Пасынков В.В. Электротехнические материалы. М., «Энергия», 1975, 346 с.

13. Глазов В.М., Земсков B.C. Физико-химические основы легирования полупроводников. М., «Наука», 1967.

14. Black J. R. Elektronigration A Brief Survey and Sone Recent Resufts «IEEE Transcations on Electron Devices»; 1969, vol. ED - 16, N 4, N 4, 338 -347.

15. Sankur H., McCaldin J.O., Devency J. Solid phase epitaktzon growth of Si neans fron A1 metallisation. «Appiay Physics Letters», 1973, vol. 22, p. 64 -66.

16. Van Gurp GJ. Diffusion limited Si precipitation in evaporated Al|Si films. «Journal Appiay Phisics» 1973, vol. 44, N 5, p. 2040 - 2050.

17. Синельникова B.C. и др. (под ред. Самсонова Г.В.). Алюминиды. Киев, «Наукова думка», 1965.

18. Достанко А.П. и др. Переходной слой невыпрямляющих контактов и методы исследования состояния его структуры. «Обзоры по электронной технике», сер. 6 «Материалы», 1976, вып. 14(433), 73 с.

19. Zinner Н. Microsystems the Eropien approach. Sensors and Actuators. 1995, vol.46,№1, p. 1-3.

20. Козлов Ю.И., Ловцов Д.П. Изготовление сплавного контакта большой площади на кремниевых полупроводниковых структурах, сер. «Преобразовательная техника», 1970, вып. 9-10, с. 26-27, «Электротехническая промышленность».

21. Веселова И.М. и др. О некоторых особенностях возникновения «звездных» дефектов в кремнии при изготовлении сплавных контактов большой площади. «Электротехническая промышленность», сер. «Преобразовательная техника», 1973, вып. 10(45), с. 6-7.

22. Черняев В.Н. Омические контакты для силовых полупроводниковых приборов. «Электронная промышленность», 1970, № 1, с. 92-93.

23. Казаков Н.Ф. Диффузионная сварка материалов. М., «Машиностроение», 1976, 326 с.

24. Рыкалин Н.Н. и др. Физические и химические проблемы соединения разнородных материалов. «Известия АН СССР», сер. «Неорганические материалы», 1965, т. 1, вып. 1, с. 29.

25. Красулин Ю.Л., Шоршоров М.Х. Ретардация и активация процессов образования соединения при сварке. В сб. «Сварка разнородных материалов», Л., «Энергия», 1966, с. 1-72.

26. Шоршоров М.Х., Каракозов Э.С. Расчеты режимов сварки давлением. Л.,ЛДНТП, 1969, 31. С.

27. Каракозов Э.С. и др. Исследование кинетики процесса развития физического контакта при соединении металлов в твердом состоянии. «Физика и химия обработки материалов», 1969, № 3, с. 119-124.

28. Шоршоров М.Х. и др. Особые виды сварки «Итоги науки и техники», сер. «Сварка», 1972, т. 5, с. 46-156.

29. Каракозов Э.С. Соединение металлов в твердой фазе. М.: Металлургия, 1976, 264 с.

30. Каракозов Э.С. и др. Влияние микрогеометрии поверхности на формирование физического контакта при сварке давлением. «Сварочное производство», 1976, № 1, с. 2-4.

31. Каракозов Э.С. и др. Образование соединения после снятия сжимающего усилия при сварке давлением с подогревом сплава ОТ4. «Физика и химия обработки материалов», 1976, № 5, с. 113-117.

32. Каракозов Э.С. и др. Диффузионная сварка титана. М., «Металлургия», 1977, 272 с.

33. Красулин Ю.Л., Шоршоров М.Х. О механизме образования разнородных материалов в твердом состоянии. «Физика и химия обработки матег-риалов», 1967, № 1, с. 89-97.

34. Карташкин В.А. и др. Кинетика образования соединения при сварке разнородных материалов в твердом состоянии. «Физика и химия обработки материалов», 1971, № 3, с. 92-99.

35. Каракозов Э.С. и др. О кинетике процесса образования соединения при сварке в твердом состоянии однородных металлов. «Физика и химия обработки материалов», 1968, № 3, с. 113-122.

36. Мазур А.И., Алехин В.П., Шоршоров М.Х. Процессы сварки и пайки в производстве полупроводниковых приборов. М.: Радио и связь, 1981, 224с. 38. Демкин Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей. М., «Наука», 1970, 228 с.

37. Дунин-Барковский И.В., Карташова А.Н. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М., «Машиностроение», 1978,232 с.

38. Бачин В.А. Диффузионная сварка стекла и кремния с металлами. М.: Машиностроение, 1986, 184с.

39. Алехин В.П. Низкотемпературная пластическая деформация поверхности монокристаллического кремния, при сосредоточенном нагружении (диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук). ИМЕТ им. А.А. Байкова, АН ССС, М., 1967.

40. Алехин В.П. и др. О возможности низкотемпературной поверхностной пластической деформации монокристаллического кремния. «Доклады АН СССР», сер. «Физика», 1969, т. 188, № 2, с. 326-329.

41. Алехин В.П. и др. К вопросу об аномальной пластичности приповерхностных слоев полупроводниковых кристаллов. «Доклады АН СССР, сер. «Физика», 1969, т. 188, № 3, с. 548-551.

42. Шоршоров М.Х. Физико-химия процессов сварки материалов в твердом состоянии. «Итоги науки и техники», сер. «Сварка», 1966, М., 1967, с. 5-29.

43. Шоршоров М.Х., Каракозов Э.С. К вопросу о необходимости активации при сварке металлов в твердом состоянии. «Сварочное производство», 1971, № 1, с. 51-53.

44. Каракозов Э.С., Шоршоров М.Х. О понятии энергии активации то-похимической реакции между материалами в твердой фазе. «Физика и химия обработки материалов», 1971, № 4, с. 94-100.

45. Красулин Ю.Л. и др. Роль дислокаций в процессе образования соединения при сварке давлением с подогревом металла с полупроводником». «Неорганические материале», 1965, том 1, № 7, с. 1090-1096.

46. Красулин Ю.Л. Дислокации как активные центры в топохимиче-ских реакциях. «Известия АН СССР», сер. «Теоретическая и экспериментальная химия», 1967, т. Ш, вып. 1, с. 64-68.

47. Красулин Ю.Л., Назаров Г.В. Микросварка давлением, М., «Металлургия», 1976, 160 с. (серия «Новые процессы сварки давлением»).

48. Красулин Ю.П. и др. Образование очагов взаимодействия на контактных поверхностях при сварке давлением с подогревом разнородных материалов. «Физика и химия обработки материалов», 1971, № 2, с. 106-110.

49. Тимофеев В.Н. Исследование формирования очагов взаимодействия при сварке давлением с подогревом. «Физика и химия обработки поверхности». 1970, №2, с 15-21.

50. Hock В., Dubon С., Ouren С. Anodic bonding of gallium arsenide to glass. Appl.Phys. 1983, vol.43, №3.

51. Алехин В.П., Мазур А.И. Исследование основных закономерностей объемного взаимодействия в процессе образования соединения при ультразвуковой сварке. «Физика и химия обработки материалов», 1974, № 6, с. 127-132.

52. Иванов-Есипович Н.К. Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры. М., «Высшая школа», 1965, 195 с.

53. Городецкий А.Е., Захаров А.П. Топохимические реакции в поверхностных слоях эвтектических систем. Тезисы докладов П Всесоюзного симпозиума по активной поверхности твердых тел, Тарту, 1977, с. 30-31.

54. Мазур А.И. и др. Взаимодействие металла с полупроводником при создании омических контактов. «Электронная промышленность», 1973, № 4, с. 49-52.

55. McCaldin J.O. Sankur Н. Diffusivity and Solubility of Si in the A1 Metallisation of Integrated Circuits. «Applied Phisica Letters», 1971, v. 19, N 12, p. 524-527.

56. Ромашкин Ю.Л., Шестопалов Л.М. Диффузия серебра в пластически деформируемую медь. «Физика металлов и металловедение», 1966, № 21, с. 621-623.

57. Коттрел А.Х. Строение металлов и сплавов. М., «Металлургиздат»,1961.

58. Дерягин Б.В. и др. Адгезия твердых тел. М., «Наука», 1973, 280 с.

59. Крагельский И.В. и др. Основы расчетов на трение и износ. М., «Машиностроение», 1977, 526 с.

60. Преснов В.А. и др. Основы техники и физики спая. Томск, изд. ТГУ, 1961,236 с.

61. Казаков Н.Ф. и др. Соединение молибдена с металлами диффузионной сваркой. В сб. «Диффузионное соединение в вакууме». М., 1973, №5, с. 18-23.

62. Казаков Н.Ф. и др. Диффузионное соединение кремния с металлами. В сб. «Диффузионное соединение в вакууме». М., 1973, № 5, с. 139-146.

63. Конюшков Г.В., Копылов Ю.Н. Диффузионная сварка в электронике. М.: Энергия, 1974, 168 с.

64. Конюшков Г.В., Мусин Р.А. Соединение металлов с керамическими материалами. М.: Машиностроение, 1991, 224с.

65. Хоменко Н.Н. Сварка давлением диэлектриков с металлами в электрическом поле. Обзор. Автоматическая сварка, 1983, №6, с.62-64.

66. Антонов В.П. Казаков Н.Ф. Диффузионная сварка элементарных полупроводников с металлами. Тезисы УШ Всесоюзной научно-технической конференции по диффузионному соединению металлических и неметаллических материалов. М., 1977, с. 45-46.

67. Антонов В.П. и др. Высокотемпературное соединение кремния с металлами. Тезисы УШ Всесоюзной научно-технической конференции по диффузионному соединению металлических и неметаллических материалов. М., 1977, с. 71-72.

68. Мериин Б.В., Слиозберг С.К. Некоторые особенности соединений при сварке металлов в твердой фазе. «Сварочное производство», 1973, № 5, с. 22-23.

69. Шлифер С.Э., Ковшиков Е.К., Браун А.Г. Влияние циклического нагружения на режимы и свойства диффузионной сварки полупроводников со стеклами. Сварочное производство, 1990, №5, с.47-49.

70. Люшинский А.В., Булгаков В.А. Некоторые особенности диффузионной сварки монокристалла кремния с алюминием. Сварочное производство, 2002, №9, с.15-19.

71. Попов B.C. и др. Исследование структуры переходной зоны в сварном соединении монокристаллов кремния с вольфрамом. «Автоматическая сварка», 1974, № 9, с. 17-19.

72. Романовский В.Ф. и др. Исследование некоторых новых способов формирования контактных соединений в силовых полупроподниковых приборах. «Электротехническая промышленность», сер. «Преобразовательная техника», 1976, вып. 10(81), с. 5-7.

73. Романовский В.Ф., Виницкий М.Я. О возможности интенсификации процесса формирования физического контакта по большой площади при сварке кремния с алюминием в твердой фазе. «Сварочное производство», 1978, №7, с.3-4.

74. Романовский В.Ф., Виницкий М.Я. Исследование контактных соединений алюминий-кремний, выполненных сваркой без плавления. «Электротехническая промышленность», сер. «Преобразовательная техника», 1978, № 10, с. 1-2.

75. Люшинский А.В., Булгаков В.А. Свойства сварных соединений монокристалла кремния с алюминием, полученных диффузионной сваркой. В сб. Материалы Всероссийской научно-технической конференции «Сварка и смежные технологии. Москва, МЭИ, 2000, с. 119-120.

76. Трефилов В.И., Мильман Ю.В. О механизме пластической деформации кристаллов с ковалентными связями. Сб. «Вопросы физики металлов и металловедения». Изд. АН УССР, 1963, № 32.

77. Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и металловедение. М., «Металлургия», 1973, 496 с.

78. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния. М., «Металлургия», 1969, с. 289.

79. Румшиский J1.3. Математическая обработка результатов эксперимента. М., «Наука», 1971, 192 с.

80. Алехин В.П. и др. Исследование влияния абразивной обработки на характер структурных повреждений и глубину нарушенного слоя монокристаллического кремния. «Физика и химия обработки материалов», 1974, № 5, с. 76-85.

81. Люшинский А.В., Булгаков В.А. О роли промежуточных слоев при диффузионной сварке разнородных материалов. В сб. Материалы Всероссийской научно-технической конференции «Технология и оборудование современного машиностроения». Уфа, УГ АТУ, 2000, с.85.

82. Люшинский А.В., Булгаков В.А. Подготовка поверхностей алюминия и монокристалла кремния под диффузионную сварку. В сб. Материалы Всероссийской научно-технической конференции «Сварка и контроль». Воронеж, 2001, с.239.

83. Угай Я.А. Введение в химию полупроводников. М., «Высшая школа», 1975, 302 с.

84. Эспе В. Технология электровакуумных материалов. М.-Л., 1962, 631 с. 88. Неймарк Б.Е., Богородицкий Б.Р. Теплофизические свойства твердых тел при высоких температурах. М., Изд-во стандартов, 1969, т. 1.

85. Свойства элементов (справочник). Под ред. Чл.-корр. АН УССР Самсонова Г.В., часть 1. Физические свойства. М., «Металлургия», 1976, 600 с.

86. Смирнов B.C. и др. Сопротивление деформации и пластичность металлов при обработке давлением. М.: «Металлургия», 1975.

87. Материалы в машиностроении (справочник). Том 1. Цветные металлы и сплавы. Под ред. Кудрявцева И.В. и Лужникова Л.П., М., «Машиностроение», 1967.

88. Дриц М.Е. и др. Структура и свойства легированной алюминиевой фольги, М.: «Металлургия», 1975, 184 с.

89. Паулинг Л. Природа химической связи. М.-Л., «ГХИ», 1947, 440 с.

90. Кислый П.С., Кузенкова М.А. Спекание тугоплавких соединений. Киев: Наукова думка, 1980, 168с.

91. Салтыков С.А. Стереометрическая металлография. М., «Металлургия», 1976, 271 с.

92. Люшинский А.В. Диффузионная сварка через промежуточные прокладки на основе УДП металлов. Часть 1. Получение промежуточных прокладок на основе УДП никеля, меди, кобальта. Сварочное производство, 1992, №11, с.22-27.

93. Пипко А.И. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., «Энергия», 1970, 504 с.

94. Каракозов Э.С. и др. Исследование кинетики процесса развития физического контакта при соединении металлов в твердом состоянии. «Физика и химия обработки материалов», 1969, № 3, с. 119-124.

95. Красулин Ю.Л., Тимофеев В.Н. Характер деформации металла на контактных поверхностях при сварке давлением. «Физика и химия обработки материалов», 1967, № 3, с. 56-60.

96. Абрамов В.В. Кинетика пластической деформации микровыступов меди и никеля при сварке в твердой фазе. «Справочное производство», 1973, № 2, с. 3-4.

97. Шероховатость поверхности. Параметры, характеристики и обозначения. ГОСТ 2789-73, ГОСТ 2.309-73. Государственный комитет стандартов при СМ СССР, М, 1975.

98. Методика выполнений параметров шероховатости поверхности по ГОСТ 2789-73 при помощи приборов профильного метода МИ 41-75. Государственный комитет стандартов при СМ СССР, М., 1975. 15 с.

99. Нисков В.Я., Ухина А.Н. К методике определения переходного сопротивления омических контактов, «Электронная техника», сер. 2 «Полупроводниковые приборы», 1970, № 6, с. 83-88.

100. Berger Н.Н. Contakt Reslstace and Contact Resistivity «Journal of the Electrochem. Socletl», 1972, v. 119, N 4, p. 507-514.

101. Чистяков Ю.Д. и др. Анализ методов определения величины переходного сопротивления невыпрямляющих контактов. «Обзоры по электронной технике», сер. «Полупроводниковые приборы», 1973, вып. 7(143), 64 с.

102. Каличук В.В. и др. Метод определения удельного переходного сопротивления металлического контакта к тонкому сильнолегированному слою полупроводника. «Электронная техника», сер. 2 «Полупроводниковые материалы», 1971, вып. 1, с . 44-50.

103. Концевой Ю.А., Кудин В.Д. Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов. М., «Энергия», 1973, 144 с.

104. Брэдли Д.Е. Метод реплик и метод оттенения. В сб. «Техника электронной микроскопии», под ред. Д. Кэй, М., «Мир», 1965, с. 110-177.

105. Григорьевский В.И., Каракозов Э.С. Влияние геометрии микровыступов на формирование физического контакта при сварке давлением с подогревом. «Физика и химия обработки материалов», 1976, № 1, с. 153-155.

106. Bailey J.A., Singer A.R.E. Effect of Strain Rate and Temperature on the Resistance to Deformation of Aluminium, Two Aluminium Alleyg and Lead. «Journal of the institute of metals», 1963-1964, v. 91, p. 404-408.

107. Гарофало Ф. Законы ползучести и длительной прочности. М., «Металлургия», 1968, 364 с.

108. Мартынов Е.Д. и др. Влияние высокого давления на пластичность и разрешение металлов. Сб. «Механизм пластической деформации металлов», Киев, «Наукова думка», 1965.

109. Кащеев В.Н. Процессы в зоне фрикционного контакта металлов. М., «Машиностроение», 1978, 213 с.

110. Шоршоров М.Х. и др. Влияние дисперсности на фазовые равновесия кристаллических материалов. «Физика и химия обработки материалов», 1975, №6, с. 57-59.

111. Федоров В.Б. и др. К термодинамике дисперсных систем. «Физика и химия обработки материалов», 1976, № 3, с. 74-81.

112. Кулиш У.М., Вяткин А.П. О дислокационной структуре сплавных контактов полупроводников с металлами. «Известия высших учебных заведений», сер. «Физика», 1965, № 6, с. 157-161.

113. Ван Бюрен. Дефекты в кристаллах (пер. с англ.), М., «Иностранная литература», 1962, 584 с.

114. Налимов В.В., Чернова Н.А. Статистические методы планирования экстремальных экспериментов. М., «Наука», 1965, 340 с.

115. Адлер Ю.П. и др. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий, М., «Наука», 1976, 279 с.

116. Бочкин О.И. и др. Механическая обработка полупроводниковых материалов, М., «Высшая школа», 1973.

117. Голиков В.И. им др. Исследование поверхности монокристаллических подложек для эпитаксии после механической обработки (обзор). В сб. «Полупроводниковая техника и микроэлектроника», Киев, «Наукова думка», АН УССР, 1973, № 13, с. 3-16.

118. Жигунова И.Е. и др. Структурные характеристики приповерхностных слоев монокристаллических пластин кремния при различных видах механической обработки, «Электронная техника», сер. 2, «Полупроводниковые приборы», 1974, № 9(81), с. 71-76.

119. Алексеева Н.Г. и др. Исследование приповерхностных слоев монокристаллов кремния после шлифования. «Электронная техника», сер. 6, «Материалы», 1975, № 1, с. 45-49.

120. Тарновская JI.B. Исследование процессов прецизионного шлифования и полирования пластин кремния и германия. «Физика и химия обработки поверхности». 1973, №5, с. 84-88.

121. Вертопрахов В.Н., Зиновьева В.П. Механическое разрушение поверхности монокристаллов германия, кремния и соединений типа Аш ву . «Физика и химия обработки материалов», 1969, № 4, с. 97-104.

122. Утай Я.А. и др. Строение нарушенного слоя в кристаллах кремния и германия, «Известия АН СССР», «Неорганические материалы», 1972, том УШ, № 2, с. 209-212.

123. Павилайнен B.C., Тимофеев В.Н. Влияние отжига на глубину нарушенного слоя монокристаллов кремния после шлифовки. «Физика и химия обработки материалов», 1978, № 4, с. 80-83.

124. Русак Т.Ф. и др. Металлографическое исследование нарушенного слоя на пластинах кремния после разрезания и шлифования. «Электронная техника», сер. 2, «Полупроводниковые приборы», 1978, вып. 3(121), с. 95103.

125. Татаренков А.И. и др. Исследование шлифованных и полированных пластин кремния после высокотемпературной обработки. «Электронная техника», сер. 2, «Полупроводниковые приборы», 1972, вып. 4(68), с. 30-45.

126. Угай Я.А. и др. Выявление трещиноватой зоны в нарушенном слое кремния методом микротвердости. «Электронная техника», сер. 6, «Материалы», 1976, № 10, с. 48-52.

127. Татаренков А.И. и др. Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов. (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры, вып. 13). М., «Энергия» 1978, 64 с.

128. Griffith A.A. The phenomena rupture and flow in Bolids. "Journal Phi-los. Trans. Roy Soc". 1922, v. 221, p. 163-198.

129. Ирвинг Б. Химическое травление полупроводников. В кн.: «Травление полупроводников», (пер. с англ.), М., «Мир», 1965, с. 8-61.

130. Шоршоров М.Х., Алехин В.П. Влияние среды и состояние поверхности на процесс пластической деформации крисаталлов (обзор), «Физика и химия обработки материалов», 1976, № 1, с. 61-76.

131. Иоффе А.Ф. Физика кристаллов. М., Гостехиздат, 1929.

132. Card Howard С. Aluminium ailicon Schottky Barriers and ohmic contacts in integrated circuits. «IEEE Trans. Electron Devices», 1976, v. 23, N 6 p. 538-544.

133. Павлынив Я.И. и др. Исследование переходного сопротивления омических контактов к кремниевым р+ -п-р-п+ структурам. «Электротехническая промышленность», сер. «Преобразовательная техника», 1976, вып. 10(81), с. 1-3.

134. R1 Dong Kang, Burgerss R.R., Colevfti M.G. A Cr Ag - Au Metallisation Sustem. "IEEE Trans. On Electron Devices", 1969, v. ED - 16, N 4, p. 356-360.

135. Задде B.B., Зайцева А.К. Измерение переходного сопротивления контакта металл-полупроводник. «Приборы и техника эксперимента», 1969, №4, с. 191-192.

136. Шоршоров М.Х., Колесниченко В.А., Алехин В.П. Клинопрессо-вая сварка давлением разнородных металлов. М.: Металлургия, 1982, 112с.

137. Card H.G., Singer К.Е. In depth Auger analisis of aluminium silicon interfacial reaction. «Thin Solid Films», 1975, v. 28, N 2, p. 265-268.

138. Naguib H.M., Hobbs L.H. Al|Si and Al|Polly-81 contakt resistance in integrated circuits. «Journal Electrochmikal Society», 1977, v. 124, N 4, p. 573577.

139. Будуева В.Г. и др. Получение композиции медь-вольфрам методов диффузионной сварки. «Физика и химия обработки материалов», 1971, № 1, с. 107-111.

140. Гришин И.С. и др. Математическое моделирование процесса диффузионной сварки. Труды КуАИ им. акад. С.П. Королева, 1975, вып. 64, с. 8289.

141. Влияние условий диффузионной сварки на прочность соединения твердого сплава со сталью. «Электротехническая промышленность», сер. «Технология электротехнического производства», 1976, вып. 3 82, с. 2-4.

142. Хансен М., Андерко К. Структура двойных сплавов. М.: Метал-лургиздат, 1962г.

143. Грилихес С.Я. Оксидные и фосфатные покрытия металлов. Библиотека гальванотехники, вып. № 7. Л.: «Машиностроение», 1978, 104 с.

144. Применение диффузионной сварки при изготовлении датчиков акселерометров. Отчет. ФНПЦ ОАО РПКБ, г. Раменское, 2001г.

145. Люшинский А.В., Джанджгава Г.И., Ефанов А.А. Диффузионная сварка: технология и оборудование. Сборка в машиностроении, приборостроении, 2001, №1 Спецвыпуск, с.25-27.