Соединение узлов электронных приборов методом электрического взрыва прослоев в вакууме тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Конюшков, Владимир Геннадьевич

• Конюшков, Владимир Геннадьевич
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Конюшков, Владимир Геннадьевич

Введение.

Глава 1 ПРИМЕНЕНИЕ ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫХ МЕТОДОВ СОЕДИНЕНИЯ МЕТАЛЛОВ, МЕТАЛЛОВ С НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИМИ МАТЕРИАЛАМИ И НЕМЕТАЛЛОВ ДРУГ С ДРУГОМ.

1.1 Основные технологические схемы высокоинтенсивных процессов соединения материалов в твердом состоянии.

1.1.1 Сварка взрывом (СВз).

1.1.2 Магнитноимпульсная сварка (МИС).

1.1.3 Вакуумно-термическая магнито-импульсная обработка (ВТ МИО)

1.1.4 Сварка импульсным электрическим разрядом в жидкости (СИЭЖ).

1.1.5 Ударная сварка в вакууме (УСВ).

1.1.6 Диффузионная сварка (ДС).

1.1.7 Соединение через электрически взрываемые прослои в вакууме (СВзПВ).

Глава 2 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССА ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ВЗРЫВА ПРОСЛОЕВ НА ОСНОВЕ КИНЕТИЧЕСКОЙ СХЕМЫ ПРОЦЕССА.

2.1 Классификация методов сварки взрывом проводников и особенности отдельных этапов взрыва в вакууме.35 '

2.2 Разработка моделей процесса электрического взрыва проводников на основе колебательного контура с переменным сопротивлением.

2.3 Кинетическая схема образования соединения при сварке с использованием ЭВПВ.

2.3.1 Первая стадия - электрический взрыв проводника.

2.3.2 Вторая стадия — химическое взаимодействие.

2.3.3 Третья стадия - объемное диффузионное взаимодействие.

Глава 3 РАЗРАБОТКА ФИЗИЧЕСКИХ И МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ВЗРЫВА ПРОСЛОЕВ И ПРОЦЕССА

ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИЯ ПРОДУКТАМИ ВЗРЫВА.

3.1 Процесс формирования прослоев продуктами электрического взрыва проводника.

3.2. Электрический взрыв прослоев из фольги. Перколяцонная модель взрыва.

3.3 Кристаллографические аспекты нанотехнологий соединения разнородных материалов через электрически взрываемые прослои.

3.4 Термоупругие напряжения в компенсированных трехслойных металлокерамических узлах.

Глава 4 РАЗРАБОТКА ОБОРУДОВАНИЯ, МЕТОДИК ИССЛЕДОВАЕНИЙ, РЕЖИМОВ НАНОТЕХНОЛОГИЙ СОЕДИНЕНИЙ НЕМЕТАЛЛОВ С НЕМЕТАЛЛАМИ И МЕТАЛЛОВ С НЕМЕТАЛЛАМИ И ИССЛЕДОВАНИЕ СОЕДИНЕНИЙ.

4.1 Опытно-промышленная установка для сварки.

4.2 Разработка методик и экспериментальные исследования.

4.3 Результаты экспериментальных исследований.

4.4 Соединение пьезоэлектрических керамик с металлами.

Глава 5. ОПРОБИРОВАНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ И РАЗРАБОТКА ПЕРСПЕКТИВНЫХ СХЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ СОЕДИНЕНИЯ ЧЕРЕЗ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ВЗРЫВАЕМЫЕ ПРОВОДНИКИ.

5.1 Изготовление корпуса лазерного гироскопа.

5.2 Разработка оборудования.

Вывод.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Соединение узлов электронных приборов методом электрического взрыва прослоев в вакууме»

Актуальность проблемы. Развитие и совершенствование современного электронной, приборостроительной, авиационной, космической и других отраслей промышленности невозможно представить без применения новых конструкционных материалов на основе керамики, ситаллов, кварца, ферритов и других неметаллических материалов. Эти материалы созданы на основе оксидов различных элементов и обладают уникальными физико-химическими свойствами.

Соединения этих материалов с металлами и друг с другом широко применяются для крепления элементов высокочастотных систем, для смотровых и волноводных окон, оболочек и корпусов электронных и газоразрядных приборов, для фотокатодов в приборах ночного видения, корпусах лазерных гироскопов, в ускорительной технике, при изготовлении ювелирных изделий и др. Традиционные методы получения таких соединений — склеивание и пайка - далеко не всегда обеспечивают высокую прочность, вакуумную плотность, термостойкость, надежный тепловой и электрический контакт, сохранение свойств приборов при длительном хранении.

Методы соединения с высокоинтенсивным воздействием параметров — сварка взрывом, ударная сварка в вакууме, магнитоимпульсная сварка, вакуум-но-термическая магнитоимпульсная обработка не могут найти обоснованного применения для изготовления узлов на основе неметаллических материалов.

Наиболее перспективным методом получения таких узлов является диффузионная сварка в вакууме (ДСВ). Однако в последние годы возникают задачи, которые практически невозможно решить в рамках традиционных технологических воздействий параметров ДСВ. Например, весьма трудно получить соединения поляризованной пьезокерамики, некоторых ферритшпинелей, ситаллов и кварцевого стекла с металлами диффузионной сваркой в ее классическом варианте, так как длительное воздействие температур порядка 0,7.0,8 Тпл температура плавления) и давлений 0,8.0,9 стт приводит к необратимым изменениям свойств неметалла или к его разрушению.

Не известны работы по сварке неметаллов с неметаллами указанными выше способами, в том числе и ДСВ.

Соединение этих материалов с использованием электрического взрыва прослоев в вакууме (СВзПВ) позволяет решить эти задачи.

Широкие исследования электрического взрыва проводников (ЭВП) ведутся уже немало лет. С 50-х годов прошлого века [1,2] они прошли длинную цепь развития от применения медленных емкостных накопителей энергии до мощных генераторов Маркса импульсов высоких напряжений. История развития этих процессов впервые приведена в монографии [3] В.Г. Чейса.

Полномасштабные работы с многопроволочными нагрузками ведутся на наиболее крупных установках в США, России и других странах. В ряде центров, таких как Империал Колледж в Великобритании, Корнельский университет в США, ФИАН в России, на существенно меньших установках проводятся эксперименты по моделированию взрыва в основном отдельных проводников.

Практические применения связаны с современными исследованиями в области энергетики, термоядерного синтеза, космической техники. Многочисленные применения эффекта взрывающихся проводников превратились в настоящее время в самостоятельную отрасль науки.

Использование эффекта взрывающихся проводников весьма перспективно для соединения в твердом состоянии различных металлов, металлов с неметаллическими конструкционными материалами, а также этих материалов друг с другом для соединения новых и совершенствования существующих электронных и газоразрядных приборов.

Впервые в мировой практике эти работы начали проводиться в Саратовском государственном техническом университете. Существенный вклад в развитие принципиальных схем процессов и технологий внесли Коблов А.И., Ба-лакин А.Н., Мусин Р.А [4,5,6,7,8].

Однако сам процесс электрического взрыва проводников является достаточно сложным, связанным прежде всего с динамикой нагрева и взрыва проводников, взаимодействием продуктов взрыва с соединяемыми материалами и образованием качественных соединений различных материалов с этими продуктами и между собой.

В литературе эти процессы исследованы недостаточно и в основном для проволочных проводников. Для плоских они практически не изучались.

Целью работы является разработка принципов, моделей и технологий соединения узлов электронных приборов на основе неметаллов через электрически взрываемые прослои в вакууме.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие задачи:

• проанализировать возможности применения высокоинтенсивных методов соединения материалов в твердом состоянии для получения качественных соединений конструкционных неметаллических материалов (керамик, ферритов, ситаллов, кварцевых стекол и др.) с металлами и друг другом; выбрать основные схемы процесса взрыва и соединения;

• теоретически исследовать электрический взрыв прослоев и разработать модель процесса для определения его параметров на основе колебательного контура с переменным сопротивлением;

• разработать кинетическую схему процесса соединения материалов в твердом состоянии через электрически взрываемые прослои при пониженных температурах и давлениях;

• разработать физические и математические модели электрического взрыва прослоев:

- разработка перколяционной модели взрыва прослоев;

- установление кристаллографических аспектов процесса взаимодействия конструкционных неметаллов с металлами через электрически взрываемые прослои;

• разработать методику расчета влияния термомеханических на термоупругие напряжения сварных соединений;

• разработать специальное оборудование, методики исследований соединений и нанотехнологий сварки неметаллов с металлами и неметаллов друг с другом.

Работа выполнялась в соответствии с программой совместных исследований и разработок ОАО "НПП "Контакт" и СГТУ, госбюджетной работой № 241 СГТУ.

Методы и средства исследований.

Исследования проводились методами теоретического и физического эксперимента с использованием основных законов электротехники, физики твердого тела, теоретических основ сварочной и вакуумной техники с широким использованием современных методов исследований, контрольно-измерительных приборов и математического аппарата. Вычислительные эксперименты выполнены на компьютере класса Athlon Х2 с использованием программного пакета инженерных расчетов MathCAD 14.0 Academic version.

Достоверность научных результатов подтверждена и сходимостью теоретических и экспериментальных результатов, а также широкой апробацией их данных.

Работа пользовалась в соответствии с грантом «Перколяционная модель электрического взрыва» финансовой поддержкой по программе У.М.Н.И.К. на 2009-2010 гг. и удостоена Почетной грамоты на Пятом Саратовском салоне изобретений и инноваций 2010 г.

Научные положения и результаты, выносимые на защиту:

- Электрический взрыв прослоев в вакууме для соединения материалов может быть получен на основе колебательного контура с переменным сопротивлением и рассчитан на основе модели процесса, позволяющей определить зависимость сопротивления прослоя, тока в цепи разряда, напряжение на батарее конденсаторов и на проводнике от времени разряда при различных параметрах индуктивности и сопротивления проводника (прослоя).

- Кинетическая схема процесса соединения материалов через электрически взрываемые прослои, последовательно описывающая стадии и этапы электрического взрыва проводников, физического и объемного взаимодействия соединяемых материалов, физико-химические процессы на каждом из этих этапов и представляющая процесс в форме, удобной для технологического анализа.

- На основе предложенной перколяционной модели и экспериментальных результатов представляется следующая физическая картина эл. взрыва проводника. Так как эл. сопротивление границ зерен значительно больше сопротивления в объеме, то плавление начинается с границы зерен и распространяется в их глубь. Однако общая доля расплавленных зерен не превышает 0,7.

- Плавление и последующая кристаллизация при электрическом взрыве приводит к переориентации предпочтительных кристаллографических направлений в кристаллах металлической прослойки к решетке неметаллического материала на уровне наноразмеров, что обеспечивает формирование качественных соединений до уровня прочности одного из соединяемых материалов.

- Технологические режимы технологий соединения кварц+кварц, си-талл+ситалл, феррит+феррит, пьезокерамика+пьезокерамика для сварки через прослои на основе металлографических, фарактографических, рентгеноспек-тральных исследований и механических испытаний.

Научная новизна работы:

• Установлено, что по сравнению со всеми известными методами сварки материалов в твердом состоянии метод соединения через взрывающиеся прослои в вакууме перспективен для получения качественных узлов при уменьшенных до 0,2+0,3 Тпл температур и удельных давлениях.

• Построена модель колебательного контура с переменным сопротивлением, позволяющая рассчитать зависимость сопротивления, тока в цепи разряда, напряжения на батарее конденсатора и проводнике от времени разряда, величине активного сопротивления, индуктивности с целью выбора технологических параметров взрыва прослоев.

• Разработана кинематическая модель процесса, описывающая весь сложный спектр электрических, физическо-химических и объемного взаимодействия при электрическом взрыве прослоя и контактировании соединения материалов на всех стадиях и этапах процесса.

• Согласно впервые предложенной перколяционной модели и экспериментальным результатам описана физическая картина эл. взрыва металлических прослоев.

• Впервые установлено, что после электрического взрыва и кристаллизации прослоя происходит переориентация предпочтительных направлений в кристаллах прослоя к решетке неметаллического материала, сопровождаемое изменением параметров решетки на уровне наноразмеров, выигрышу свободной энергии поверхности и формированию качественных соединений.

• Комплексом современных методов исследований установлены параметры процесса получения качественных соединений СВзПВ узлов из следующих пар материалов: ситалл-ситалл, кварц-кварц, ситалл-кварц, ферриты-ферриты через прослойку из сплава 47НД, пьезокерамика+пьезокерамика.

Практическая значимость.

• Разработана и изготовлена полупромышленная установка для соединения металлов, металлов с неметаллами и неметаллов с неметаллами через электрически взрываемые прослои.

• Разработаны методики проведения экспериментальных исследований по соединению материалов в указанной установке.

• Впервые разработаны оптимальные режимы сварки через электрически взрываемые прослои из сплава 47 НД толщиной 50 мкм с размерами образцов 10x10 мм для указанных пар материалов, принятые к внедрению в ОАО «Контакт» и использованные в госбюджетной работе №241 "Разработка теоретических основ формирования вакуумных эмиссионных характеристик электронных приборов, сварных соединений и покрытий на основе нанокристал-лических и аморфных диссипативных структур".

• Результаты исследований рекомендованы к внедрению в ОАО «НЛП Контакт» г. Саратов.

• Материалы исследований внедрены в учебный процесс на кафедре «Электронное машиностроение и сварка» СГТУ в виде лекций и лабораторных работ по дисциплинам «Технология материалов и изделий электронной техники» и «Оборудование и технология сварки и пайки изделий электронной техники».

Апробация работы. Материалы диссертационной работы доложены и обсуждены на 5-й Всероссийской с международным участием НТК «Быстроза-каленные материалы и покрытия» и научно-техническом семинаре «Диффузионная сварка и её роль в современной технике», «МАТИ» РГТУ им. К.Э. Циолковского, 2006 г., 2007 г., 2008 г., «Современные проблемы машиностроения» труды 4 межд. научно-техн. конф. Томск 2008 г., на Четвертой Российской студенческой НТК «Вакуумная техника и технология» КГТУ — Казань, НТК «Электроника и вакуумная техника: приборы и устройства. Технология. Материалы» Саратов 2009, на Международной НТК «Успехи современной электротехнологии» Саратов 2009, на XXII Международной научной конференции «Математические методы в технике и технологиях» ММТТ-22, Псков 2009, на Научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника», Сочи 2009, на Международной Российско-Казахстанско-Японской научной конференции, Волгоград 2009, на Пятом Саратовском салоне изобретений и инноваций 2010 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 18 работ (в том числе 1 статья в изданиях рекомендованных ВАК РФ), 17 статей в научных сборниках.

Личный вклад автора. Личный вклад автора заключается в постановке целей и задач исследования, разработке методик и моделей исследований, модернизации оборудования и разработке технологий.

Обсуждение полученных теоретических и экспериментальных результатов проводилось совместно с научным руководителем и с соавторами публикаций. Основные выводы по проведенной работе сформулированы автором работы.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 5 глав, заключения, списка использованной литературы, включающего 56 наименований, акта использования результатов в производстве. Работа изложена на 128 страницах, содержит 57 рисунков и 4 таблицы.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Конюшков, Владимир Геннадьевич

Основные выводы по работе.

На основании исследований решена актуальная научная задача, заключающаяся в разработке основ нанотехнологий соединения материалов через электрически взрываемые прослои в вакууме при пониженных температурах и давлениях, обеспечивающая получение качественных соединений металлов, металлов с неметаллическими материалами и неметаллов с неметаллами.

1. Впервые разработана расчетная модель процесса электрического взрыва металлических прослоев в вакууме, описывающая последовательный колебательный контур с переменным сопротивлением, позволяющая рассчитать зависимость сопротивления проводника, тока в цепи разряда, напряжения на батарее конденсатора и на проводнике от времени разряда при известных величинах индуктивности, емкости конденсатора и начальном сопротивлении проводника

2. Впервые разработана кинетическая схема образования соединений при сварке с использованием электрического взрыва проводников с учетом 3-х стадий процесса и сложных физико-химических процессов на каждой из них.

3. Согласно предложенной перколяционной модели и экспериментальным результатам представляется следующая физическая картина эл. взрыва проводника. Так как эл. сопротивление границ зерен значительно больше сопротивления в объеме, то плавление начинается с границы зерен и распространяется в их глубь. Вследствие случайного распределения сопротивлений границы отдельные зерна плавятся и распыляются случайным образом, образуя кластер пустот, при этом общее сопротивление проводника увеличивается и стремится к бесконечности с образованием разрывного кластера. Однако общая доля расплавленных зерен не превышает 0,7. Ценность таких представлений заключается в том, что для взрыва необходимо использовать проводник с мелкозернистой структурой. В случае крупных зерен, они плавятся не полностью, поэтому степень разрушения проводника при электрическом взрыве уменьшается.

4. Впервые установлено, что плавление и последующая кристаллизация металлической прослойки приводит к переориентации предпочтительных кристаллографических направлений, т.е. кристаллографической подстройке кристаллической решетки металла к кристаллической решетке неметаллического материала, что, в свою очередь, приводит к формированию качественного соединения. Можно показать, что термодинамически это приводит к большему выигрышу энергии.

5. Разработана методика расчета термоупругих напряжений, возникающих в сварном соединении двух плоских деталей разнородных материалов, соединяемых через прослои. Расчет показывает, что наибольшие нормальные напряжения достигают максимума на краю, а касательные напряжения - на расстоянии 0,3h (толщина прослоя) от края прослоя.

6. Разработана и изготовлена полупромышленная установка для соединения-сварки металлов, металлов с неметаллами и неметаллов с неметаллами через электрически взрываемые прослои со следующими техническими параметрами: накопитель энергии на основе импульсного конденсатора суммарной емкостью 200 мкФ и рабочим напряжением ЮкВ, максимальная амплитуда разрядного тока 60 кА, частота следования импульсов до 450 импульсов в час, питающее напряжение 380 В, высокий вакуум порядка 10"5 Па, предсварочный нагрев до 773°К.

7. Выполненные экспериментальные рентгеноструктурные металлографические, фрактографические, механические, микроспектральные и вакуумноп-лотные исследования следующих пар материалов: ситалл 115М+ситалл, кварцевое стекло КУ-1+кварц, феррит-шпинель 10С48+феррит через электрически взрываемые прослои из Ti и сплава 47НД толщиной 15-50 мкм показали, что лучшие результаты получены при использовании в качестве прослоя фольги из сплава 47НД толщиной 50 мкм.

8. Рентгеноструктурное исследование поверхности никелевой прослойки после разрушения соединения по границе контакта показало существенное изменение интенсивностей рефлексов от плоскостей с малыми индексами Миллера. Табличное соотношение интенсивностей рефлексов плоскостей (111):(200):(220):(311) составляет соответственно 100:50:32:32, а после соединения 100:394:124:106. Это свидетельствует о том, что при кристаллизации зерна Ni ориентируются к подложке преимущественно гранями куба элементарной ячейки. Можно полагать, что термодинамически это приводит к большему выигрышу энергии, поскольку свободная энергия грани куба ячейки никеля составляет 1060 мДж/м , а плоскости пространственной диагонали (111) -926 мДж/м2.

9. За оптимальные режимы сварки через электрически взрываемые прослои из сплава 47НД толщиной 50 мкм с размерами образцов 10x10 мм для указанных пар материалов могут быть приняты следующие параметры напряжение разряда 10 кВ, усилия сжатия 10 МПа, температура предварительного нагрева в камере 673 °К и вакуум 10"5 Па. Соответствующая этим параметрам прочности составляет: ситалл+ситалл - бОМПа, ситалл+кварц - 60 МПа, кварц+кварц - 70 МПа, феррит+феррит - 55 МПа. Режимы приняты к внедрению в ОАО «Контакт».

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Конюшков, Владимир Геннадьевич, 2010 год

1. F.D. Bennet. High temperature exploding wires. 1.: Progress in high-temperuture physics and chemistry, N-Y, Pergamon Press, 2, 1-63, 1968.

2. Бурцев В.А. Электрический взрыв проводников и его применение в электрофизических установках / В.А. Бурцев, Н.В. Калинин, А.В. Лучинский. — Энергоатомиздат, 1990.

3. W.G. Chace, Н.К. Moor, editors. Exploding wires. N.Y.: Plenum press. V.l, 1959; V.2,1964; V.3, 1965; V.4, 1968.

4. Конюшков Г.В. Кинетика образования соединения при сварке с использа-ванием электрического взрыва проводников в вакууме / Г.В. Конюшков, А.Н. Балакин, О.Ю. Жевалев, Р.А. Мусин // Сварочное производство. -2001.- №4. -С. 28-29.

5. Конюшков Г.В. Сварка разнородных материалов через прослойку, формируемую электрическим взрывом металлических проводников в вакууме / Г.В. Конюшков, А.И. Коблов, А.Н. Балакин // Автоматическая сварка. -1991.-№5.-С. 64-65.

6. Конюшков Г.В. Специализированное оборудование для сварки через прослойку формируемую электрическим взрывом проводников / Г.В. Конюшков, А.И. Коблов // Сварочное производство. 1995. - №7. - С. 31-33.

7. Конон Ю.А. Сварка взрывом / Ю.А. Конон, Л.Б. Первухин, А.Д. Чудновский: под общ. ред. В.М. Кудинова.- М.: Машиностроение. 1987. -216 с.

8. Ю.Сварка. Резка. Контроль. / Под общ. ред. Н.П. Алешина, Г.Г. Чернышева. М.: Машиностроение. - 2004. - Т.1. - 624с.

9. Харченко Г.К. Новый способ сварки давлением / Г.К. Харченко, А.И. Иг-натенко // Достижения и перспективы развития диффузионной сварки. -Общество "Знание" РСФСР. 1987. - С. 97-100

10. Казаков Н.Ф. Диффузионная сварка металлов / Н.Ф. Казаков. — М.: Машиностроение. 1976.

11. Chace W.G., Levine М.А., Appl. Phys., 31, 1298 (1960).

12. Лебедев K.B. Некоторые результаты исследования электрического взрыва проводников / К.В. Лебедев, А.И. Савватинский // Физика и химия обработки материалов. 1976. - №1. С. 6-14.

13. Дихтер И.Я. Исследование некоторых теплофизических свойств вольфрама и молибдена вблизи точки плавления методом электрического взрыва / И .Я. Дихтер, С.В. Лебедев // Теплофизика высоких температур. 1971. -Т.9 - №5. - С. 929-933.

14. Зоркин А .Я. Конюшков в.Г., Балакин А.Н. Технологические особенности сварки диэлектриков с использованием взрывающихся проводников. Труды IV Международной научно-технической конференции современные проблемы машиностроения. Томск, 2008, С. 343-344.

15. Мусин Р.А. Соединение металлов с неметаллическими материалами / Р.А. Мусин, Г.В. Конюшков. М.: Машиностроение. - 1991. — С. 224.

16. Мартынюк М.М. Фазовый взрыв метастабильной жидкости / М.М. Мар-тынюк // Физика горения и взрыва. 1977. - №2. - С. 213-228.

17. Роуз К. Максимальная температура взрыва проволочек в вакууме / К. Роуз // Электрический взрыв провдников. — М.: Мир, 1965. — С. 43-46.

18. Бекер Л. Изучение реакций вода-металл с помощью техники взрывающихся проволочек / Л. Бекер, Р. Вархал // Электрический взрыв проводников. М.: Мир. - 1965. - С. 238-259.

19. Харламов Ю.А. Влияние скорости соударения на термический цикл между расплавленной частицей и поверхностью твердого тела / Ю.А. Харламов // Физика и химия обработки материалов. 1987. - №6. - С. 82-87.

20. Гейзер А. Ускорение тонких пластин с помощью взрывающейся фольги / А. Гейзер, Д. Вунш, Т. Соупс // Электрический взрыв проводников. М.: Мир. - 1965.-С. 317-340.

21. Келлер Д. Применение взрывающейся фольги для получения плоских ударных волн и ускорения тонких пластинок / Д. Келлер, Дж. Пеннинг // Электрический взрыв проводников. -М.: Мир. 1965. - С. 299-316.

22. Беннет Ф. Ударные волны, возбуждаемые с помощью взрывающихся проволочек при низком давлении окружающего газа/ Ф. Беннет, Д. Шир // Электрический взрыв проводников. М.: Мир. - 1965. - С. 204-224.

23. Мусин Р.А. Объемное взаимодействие при сварке оптических керамик с металлами / Р.А. Мусин // Диффузионное соединение в вакууме. 1973. -М.: Изд. Минвуз РСФСР, Проблемная лаборатория диффузионной сварки. - №6. - С. 62-71.

24. Конюшков Г.В. Диффузионная сварка в электронике / Г.В. Конюшков, Ю.Н. Копылов // М.: Энергия. 1974. - 168 с.

25. Конюшков Г.В. Ферриты и их соединения с металлами и керамикой / Г.В. Конюшков, Б.М. Зотов, Э.И. Меркин // М.: Энергия. 1979. - 232 с.

26. Конюшков Г.В., Физические и химические основы формирования соединений металлов с неметаллическими материалами / Г.В. Конюшков, Р.А. Мусин, X. Херольд, О.Ю. Жевалев, А.Н. Балакин // Сварка и диагностика. 2007. - №1, №2. - С. 6-8, С. 16-17.

27. Бессонов JI.A. Теоретические основы электротехники / JI.A. Бессонов // М.: Гардарики. 2002. - 638 с.

28. Гулд X. Тобочник Я. Компьютерное моделирование в физике. — М. Мир, 1990.

29. Красулин Ю.Л. Взаимодействие металла с полупроводником в твердой фазе / Ю.Л. Красулин // М.: Наука. 1971. - 120 с.

30. Мазур А.И. Процессы сварки и пайки в производстве полупроводниковых приборов / А.И. Мазур, В.П. Алехин, М.Х. Шоршоров // М.: Радио и связь. 1981.-224 с.

31. Панин В.Е. Структурные уровни деформации твердых тел / В.Е. Панин, В.А. Лихачев, Ю.В. Гриняев // Новосибирск: Наука. 1985. - 230 с.

32. Залкин В.М. Теоретические основы холодной сварки металлов давлением / В.М. Залкин // Сварочное производство. 1982. - № 11. - С. 41-42.

33. Сомов А.И. Эвтектические композиции / А.И. Сомов, М.А. Тихоновский // М.: Металлургия. 1975. - 304 с.

34. Окисление металлов. Теоретические основы /Под ред. Бенара Ж. // М.: Металлургия. 1967. - Т.1. - 499 с.

35. Служалец А. Исследование текстуры поверхности в процессе холодной сварки алюминия со сплавом Al-Mg-Si-Mn / А. Служалец, И. Кнап // Автоматическая сварка. 1978. - № 11. - С. 17-20.

36. Казаков Н.Ф., Новиков В.Г., Екимов А.И. Автоматическая сварка, 1983, №5, С. 71-72.

37. Конюшков, В.Г. Перколяционная модель электрического взрыва проводников в вакууме / В.Г. Конюшков // XVI Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» -М.: МИЭМ 2009. С. 47-51.

38. Конюшков, В.Г. Нанотехнологии при сварке через электрически взрываемые прослои в вакууме / В.Г. Конюшков // Труды Международной научно-технической конференции «Успехи современной электротехнологии» Саратов, Изд-во СГУ 2009. - С. 211-214.

39. Конюшков, В.Г. Нанотехнологии при сварке через электрически взрываемые прослои в вакууме / В.Г. Конюшков, А.А. Копенкин, И.Ю. Соколова // Труды Международной Российско-Казахстанско-Японской научной конференции М.: МГМУ, 2009. - С. 349-354.

40. Конюшков, В.Г. Модель нанотехнологии соединения материалов способом электрического взрыва проводников / А.Я. Зоркин, В.Г. Конюшков // Труды Международной Российско-Казахстанско-Японской научной конференции М.: МГМУ, 2009. - С. 338-343.

41. Утверждаю" ^^■•д^^фальный директор

42. Акт использования результатов диссертационной работы Конюшкова В.Г.

43. Соединение узлов электронных приборов методом электрического взрыва прослоев в вакууме»

44. Контакт", технических наук . Муллин2010 г.

45. В рамках этих работ подготовлена диссертационная работа Конюшкова Владимира Геннадьевича «Соединение узлов электронных приборов методом электрического взрыва прослоев в вакууме» (научный руководитель Балакин А.Н.).

46. Разработана и изготовлена полупромышленная установка для соединения металлов, металлов с неметаллами и неметаллов с неметаллами через электрически взрываемые прослои.

47. Разработаны методики проведения экспериментальных исследований по соединению материалов в указанной установке.

48. Впервые разработаны оптимальные режимы соединения через электри- , чески взрываемые прослои из сплава 47НД толщиной 50 мкм с размерами ! образцов 10x10 мм для указанных пар материалов. ■

49. Результаты исследований представлены на научно-технической конференции «Электроника и вакуумная техника» 2009 г. и удостоены Почетной грамоты на 5-м Саратовском салоне изобретений и инноваций 2010 г.

50. Помощник Генерального дирею ора