Разработка технологии нанесения пиролитических хромовых покрытий при атмосферном давлении тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.01, кандидат технических наук Репях, Виталий Сергеевич

• Репях, Виталий Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Репях, Виталий Сергеевич

Введение.

Аналитический обзор

Глава 1. Методы и способы получения покрытий

1.1 Методы получения покрытий.

1.1.1 Термическое разложение или пиролиз.

1.1.2 Водородное восстановление.

1.2 Методы нагрева.

1.2.1 Индукционный нагрев.

1.2.1 Метод пропускания электрического тока.

1.2.2 Нагрев инфракрасным излучением.

1.2.3 Радиационный нагрев.

1.2.4 Нагрев электронным лучом.

1.3 Общая схема химического осаждения покрытий.

1.4 Методы создания паровой фазы при осаждении пленок и покрытий.

1.5 Исходные вещества для газофазной металлизации.

1.6 Обобщение литературного обзора и постановка задачи исследований.

Глава 2. Материалы, оборудование и методика проведения экспериментов

2.1 Материалы для проведения экспериментальных исследований.

2.2 Методики проведения экспериментов.

2.2.1 Исследование механизма формирования пиролитических хромовых покрытий и влияния электромагнитных полей на процесс формирования покрытий.

2.2.2 Металлографический анализ.

2.2.3 Микротвердость покрытий.

2.2.4 Рентгеноструктурный анализ.

2.2.5 Рентгеноспектральный анализ.

2.2.6 Измерение шероховатости поверхности методом интерференционного контраста.

2.2.7 Измерение шероховатости поверхности методом туннельной микроскопии.

2.2.8 Определение коэффициента трения пиролитических хромовых покрытий.

2.2.9 Определение адгезионной прочности покрытий.

2.3 Использование полного факторного эксперимента при планировании процесса осаждения ПХП в ТВЧ.

2.3.1 Построение полиномиальной статистической модели.

Глава 3. Исследование влияния технологических параметров на процесс осаждения пиролитических хромовых покрытий при атмосферном давлении с использованием нагрева ТВЧ

3.1 Исследование основных технологических параметров на скорость осаждения в условиях высокочастотного нагрева подложки при атмосферном давлении.

3.1.1 Влияние температуры подложки на скорость осаждения покрытия и общее время процесса.

3.1.2 Влияние температуры испарителя на процесс осаждения покрытия.

3.1.3 Влияние скорости потока газа на процесс формирования покрытия.

3.1.4 Влияние скорости подачи МОС на процесс осаждения покрытия.

3.2 Исследование влияния высокочастотного нагрева и атмосферного давления на формирование микроструктуры, фазовый и химический состав покрытий.

3.2.1 Влияние температуры подложки.

3.2.2 Исследование фазового состава покрытий.

3.2.3 Химический состав покрытий, определенный на приборе СПЕКТРОПОРТ 1С0Ю № 9348/А.

3.2.4 Химический состав покрытий, определенный на приборе СПЕКТРОСКАН (ТУ 4276-002-2304550-96).

3.2.5 Исследование распределения равномерности слоя покрытия.

Глава 4. Исследование физико-механических свойств покрытий

4.1 Исследование шероховатости поверхности методом интерференционного контраста.

4.2 Измерение шероховатости поверхности методом туннельной микроскопии.

4.3 Микротвердость покрытий.

4.4 Коэффициент трения хромовых покрытий.

4.5 Адгезионная прочность пиролитических хромовых покрытий.

4.6 Определение оптимальных условий процесса осаждения ПХП с использованием полного факторного эксперимента.

Глава 5. Разработка экспериментальной установки и определение технологических режимов осаждения пиролитических хромовых покрытий

5.1 Установка для осаждения пиролитических хромовых покрытий.

5.2 Циклограммы осаждения ПХП.

5.3 Рекомендуемые технологические режимы осаждения ПХП.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологии нанесения пиролитических хромовых покрытий при атмосферном давлении»

Развитие металлообрабатывающей промышленности в первую очередь связано с повышением стойкости металлорежущего инструмента, что достигается в основном за счет нанесения покрытий и проведения термической обработки. Эти методы все шире используются в промышленности и дают значительный экономический эффект /1 - 3/.

Применение технологии нанесения покрытий, особенно многослойных, и внедрение ее в производство сталкивается с целым рядом трудностей. Такие покрытия не достаточно широко применяются в инструментальной промышленности по следующим причинам:

- не накоплен научно-исследовательский материал о влиянии условий конденсации на структуру и свойства покрытий, системы покрытие -инструментальный материал, о физических процессах, происходящих при плазменной конденсации;

- не достаточно изучен процесс прерывистого резания инструментами с многослойными износостойкими покрытиями;

- отсутствует теоретическое обоснование увеличения прочности покрытия, возможного образования на поверхности дефектов, в частности, микротрещин.

Особое место в современной промышленности занимают методы получения защитных покрытий путем осаждения из газовой фазы, они являются предметом многочисленных исследований и разработок.

Покрытия, полученные газофазным осаждением, защищают материалы от износа и эрозии, обычной коррозии и высокотемпературного окисления. При решении проблемы защиты материала необходимо учитывать все виды агрессивного воздействия среды, поскольку на практике механизмы разрушения накладываются друг на друга.

Химическое осаждение из газовой фазы весьма универсальный и гибкий метод получения покрытий и является наиболее перспективным для нанесения материалов, которые затруднительно осаждать другими способами. При его использовании можно:

- регулировать толщину покрытий и изменять ее в широком интервале;

- получать большинство тугоплавких материалов в более чистом виде, чем при других способах;

- регулировать свойства материалов введением модификаторов.

В настоящее время ведется интенсивная разработка:

- способов осаждения сложных покрытий для электроники и оптики (фильтры и селективные отражатели лазеров);

- получения диффузионных металлических покрытий /4/ путем газофазного хромирования, силицирования, борирования, ванадирования и т. п. (такие покрытия отличаются повышенной стойкостью к коррозии или высокотемпературному окислению /5/).

Исходным материалом для нанесения покрытий при химическом осаждении являются металлоорганические соединения (МОС), которые под воздействием температурного поля при нагреве в результате химических реакций разлагаются с образованием покрытия. Анализ состояния вопроса показал, что для проведения процесса химического осаждения необходимо дорогостоящее оборудование, а именно вакуумные установки в которых, в основном, используется радиационный нагрев подложки, приводящий к разложению части реакционных паров на теплоизлучающих элементах. Поэтому представляется перспективным отказаться от вакуумного оборудования и радиационного нагрева. В литературных источниках /6 - 10/ предложено множество вариантов установок и способов осаждения, но большого распространения они не получили из-за сложности оборудования и длительности проведения процесса.

Однако, результаты полученные авторами /11,12/ показывают высокую эффективность при использовании покрытий.

Особенно перспективно использование МОС «Бархос», т.к. получаемое аморфное хромокарбидное покрытие по результатам исследований /11/ показывает достаточно уникальные свойства на металлорежущем инструменте, на деталях работающих в различных коррозионных средах /13/, на деталях работающих в условиях трения. Покрытие также имеет отличный декоративный вид.

Исходя из этого, в работе предложено использование осаждения покрытий без вакуума, а в качестве скоростного источника нагрева использовать токи высокой частоты (ТВЧ). Это позволит снизить стоимость технологического оборудования, время технологического процесса и предотвратить осаждение покрытия на стенки реактора. Предотвращение осаждения покрытия на стенки реактора позволит повысить коэффициент использования металлоорганического соединения, за счет этого сократится расход дорогостоящего МОС.

Цель работы: Получение и исследование структуры и свойств пиролитических хромовых покрытий с использованием высокочастотного нагрева в условиях атмосферного давления.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

- определить влияние режимов осаждения покрытий на механизм формирования, микроструктуру и химический состав покрытий;

- разработать технологию осаждения покрытий с получением заданных микроструктур и физико-механических свойств;

- разработать и изготовить экспериментальную установку для осаждения покрытий при нагреве токами высокой частоты (ТВЧ) в среде инертного газа;

- провести опытно-промышленную апробацию разрабатываемой технологии и оценить ее эффективность;

Автор защищает:

- разработанную технологию нанесения пиролитических хромовых покрытий в инертной среде при атмосферном давлении и высокочастотном нагреве;

- результаты исследования влияния высокочастотного нагрева и давления при осаждении на микроструктуру, химический состав, физико-механические свойства покрытия;

- установленные режимы осаждения при высокочастотном нагреве в инертной среде при атмосферном давлении.

- конструкцию экспериментальной установки для осаждения покрытий при нагреве токами высокой частоты в среде инертного газа;

Научная новизна:

- установлен механизм формирования покрытий при высокочастотном нагреве и атмосферном давлении;

- изучена зависимость влияния скорости потока газа на процесс формирования структуры покрытия; установлена корреляционная связь между основными технологическими факторами и выходными параметрами процесса осаждения в виде системы уравнений;

- установлено, что воздействие электромагнитных полей индуктора способствует равномерному распределению толщины слоя осажденного покрытия по всей поверхности образца;

- установлено, что разность температур между подложкой и стенками реактора предотвращает осаждение покрытия на стенки реактора и, тем самым, повышает коэффициент использования исходного МОС.

Аналитический обзор

Заключение диссертации по теме «Металловедение и термическая обработка металлов», Репях, Виталий Сергеевич

Основные результаты и выводы по работе

1 Изучено влияние режимов осаждения на механизм формирования структуры и свойств покрытий, в том числе влияние скорости потока газа носителя на внешний вид и шероховатость поверхности покрытия. Установлено, что для образования зеркальных поверхностей и оптимальной структуры покрытия скорость парогазового потока составляет 0,02 м/с (20±3 мм/с).

2 Установлено, что с использованием безвакуумной технологии температурный диапазон образования типов структур пленок - аморфные (390 — 410 °С), горизонтально-слоистые (420 - 450 °С), слоисто-столбчатые (520 - 540 °С) по сравнению с вакуумной технологией, не изменился. Однако карбиды хрома, такие как Сг7Сз, образуются значительно раньше, чем в вакууме (при ТП0Д1 = 520-540 °С).

3 Определены физико-механические свойства полученных покрытиий:

- максимальное значение микротвердости, равное 19 ГПа, достигается при температуре подложки Тподл = 510 - 520 °С и снижается с ростом температуры;

- максимальное значение адгезионной прочности асц,= 70 % достигнуто после активации подложки парами КН4С1 при температуре Т||0ДЛ = 480 - 500 °С;

- изменение значений шероховатости Яа и коэффициента трения £ существенно не изменились по сравнению с результатами, полученными при традиционной вакуумной технологии осаждения.

4 Установлены технологические режимы осаждения пиролитических хромовых покрытий (Тподл = 420 - 450 °С; Тисп = 320 °С; 1)мос = 0,013 - 0,02 мл/мин; игаза = 0,018 - 0,020 м/с), позволяющие получать покрытия с оптимальными физико-механическими свойствами и разработана технология осаждения.

5 Преимущества разработанной технологии нанесения покрытий по сравнению с традиционными вакуумными технологиями осаждения с радиационным нагревом заключаются в том, что: не требуется использования дорогостоящего вакуумного оборудования;

- сокращается в 3 — 4 раза время технологического процесса за счет скоростного нагрева ТВЧ и исключения вакуумного оборудования;

- повышается в 2 - 3 раза коэффициент использования исходного МОС за счет нагрева подложки ТВЧ и исключения тем самым осаждения покрытия на стенках реактора;

- обеспечивается более равномерная толщина слоя покрытия по длине инструмента за счет воздействия электромагнитных полей индуктора.

6 Разработано и изготовлено экспериментальное оборудование для осаждения покрытий по безвакуумной технологии с использованием нагрева ТВЧ.

7 Опытно-промышленная апробация упрочненного режущего инструмента (сверл 0 0,8 - 3 мм) показала повышение стойкости в 3 раза.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Репях, Виталий Сергеевич, 2005 год

1. Повышение работоспособности инструмента и деталей машин: Учебное пособие. / А.П. Шевель и др.. Оренбург: ОрПИ, 1994. - 132с.

2. Оптимизация режимов термической обработки сверл из стали Р6М5К5. Технология и организация производства. / С.И. Богодухов, Г.Н. Киберев.- Оренбург, 1976. №12. С. 37 - 39.

3. Гончаров, B.C. Анализ физико-химических процессов в защитных слоях и покрытиях при высоких температурах: Труды 5-й международной конференции "Пленки и покрытия '98". С.-Петерб., 1998. - С. 298 - 301.

4. Технология получения иттрий содержащих самозалечивающихся жаростойких покрытий: Труды 5-й международной конференции "Пленки и покрытия '98" / B.C. Гончаров, Н.Р. Темнова С.-Петерб., 1998.-С. 302-310.

5. Осаждение из газовой фазы. / Под ред. К. Пауэлла, Дж. Оксли, Дж. Блочера мл. -М.: Атомиздат, 1970.-471 с.

6. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. / Отв. ред. Г.А. Разуваев — М.: Наука, 1981. 322 с.

7. Пиролитическое карбидохромовое покрытие из хромоорганической жидкости "Бархос". http://www.magnetron.ru/rus/products/pkp.htm

8. Пиролитическое карбидохромовое покрытие из хромоорганической жидкости "Бархос". НПФ "Сервиспром". -http://servisprom.narod.ru/pkh.htm

9. Высокоэффективные и экологически чистые автоматизированные технологии для нанесения защитных покрытий из пиролитического хрома.- http://www.niiar.ru/rus/hrom.htm

10. Юршев, В.И. Разработка технологии осаждения пиролитических хромовых покрытий и оборудования при импульсном воздействии тлеющего разряда: дис. канд. техн. наук: 05.02.01 / Юршев Владимир Иванович. М., 1991. - 205 с.

11. Бойко, C.B. Разработка технологии осаждения пиролитических хромовых покрытий в атмосфере аммиака: дис. канд. техн. наук: 05.02.01 /

12. Бойко Сергей Валентинович. М., 1990. - 242 с.

13. Защитные свойства пиролитических хромовых покрытий в сероводородсодержащих средах: Защита металлов. / С.В.Бойко, В.М. Кушнаренко, Л.Л. Ильичев. 1995. -Т.31. -№ 3. - С.276 -279.

14. Физические основы процесса резания и изнашивания режущего инструмента с износостойкими покрытиями: Учебное пособие. / A.C. Верещака, В.П. Табаков. Ульяновск: УлГУ, 1988. 144 с.

15. Поляк, М.С. Технология упрочнения: Технологические методы упрочнения. В 2 т. Т.1. -М.: "Л.В.М. СКРИПТ", МАШИНОСТРОЕНИЕ", 1995. - 832 е.: ил.

16. Термическая обработка в машиностроении: Справочник. / отв. ред. Ю.М. Лахтин, А.Г. Рахштадт. М.: Машиностроение, 1980. - 783 е., ил.

17. Технология комплексной обработки изделий. Научно-образовательный комплекс "Высокоэффективные технологии обработки". www.vto.stankin.ru

18. Коган, Я.Д. Газотермические методы получения износостойких и коррозионно-стойких покрытий. М.: Машиностроение, 1987. - 64 с.

19. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие, в 10 кн., кн. 5. Термические процессы. / С.Н. Никифорова-Денисюк, E.H. Любушкин. -М.: Высш. шк., 1989. 96 е.: ил.

20. Осаждение никелевых покрытий разложением металлоорганических соединений: Тезисы докладов 6 всесоюзного совещания. Часть 1. / A.C. Чернышева и др.. Н. Новгород. 1991. - С. 55 - 56.

21. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники:

22. Учебное пособие, в 10 кн., кн. 1 Общая технология. / И.Я. Козырь и др..- М.: Высш. шк., 1989. 223 е.: ил.

23. Металлоорганические соединения в электронике. / Г.А.Разуваев и др.. -М.: Наука, 1972.-479 с.

24. Shaub, W.M., Bauer, S.H. Intern. J. Chem. Kinet., 1975, v. 7, №4, p. 509-511.

25. Электронно-лучевой метод получения тонких пленок из химических соединений. / Б.А. Вишняков, К.А.Осипов. М.: Наука. 1970. - 144 с.

26. Прогрессивные методы производства микросхем. / В.В.Демин и др..- Львов: Кашеняр, 1973. 80 с.

27. Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков. / К.А. Осипов, Г.Э. Фолманис. М.: Наука, 1973. - 87 с.

28. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде. / A.A. Бабад-Захряпин, Г.Д. Кузнецов. М.: Атомиздат, 1975. - 175 с.

29. Теоретическая и прикладная плазмохимия. / JI.C. Полак и др.. -М.: Наука, 1975.-С. 277.

30. Knap, J.E., Pesetsky, Р., Hill, F. Plating, 1966, v. 53 №6, p. 772 - 782.

31. Резисторы. / К.И. Мартюшов, Ю.В. Зайцев. M.; JL: Энергия, 1966. - С.66.

32. Всесоюзное совещание по металлоорганическим соединениям для получения металлических и окисных покрытий: Тез. докл. / H .Я. Пратусевич, И.Ф. Соловьев. М.: Наука, 1977. - С. 7.

33. Авдеев, Н.В. Основы технологии металлопокрытий: Учебник для студентов технических вузов . Оренбург, ИПК ОГУ, 2003. - 316 с.

34. Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников. / A.B. Нетушил и др..-М.: Госэнергоиздат, 1959.

35. Nicoll, F.H., J. Electrochem. Soc., 110, 1165 (1963).

36. Bakish, R. Introduction to Electron Beam Technology. John Wiley and Sons, New York, 1962.

37. Успехи химии: T.47, вып.4 / Г.А. Домрачев, В.Д. Зиновьев.- 1978, С. 679-705.

38. Гутри, А. Вакуумное оборудование и вакуумная техника. М.: изд-во иностр. лит., 1951. - 440 с.

39. Афросин, А.Н. Влияние расположения испарителя на скорость осаждения пиролитических хромовых покрытий: Методы поверхностного упрочнения деталей машин и инструмента. Сборник научных трудов. -М.; 1983.-С. 46-48.

40. Гидравлика газожидкостных систем. / С.С. Кутателадзе, М.С. Стырикович. М.; Л.: Госэнергоиздат, 1958. - 232 с.

41. Всесоюзное совещание по металлоорганическим соединениям для получения металлических и окисных покрытий: Тез. докл. / Б.С. Каверин и др.. М.: Наука, 1977. - С. 23.

42. Родченков, В.И. Получение аммиака особой чистоты: дис. канд. хим. наук. Горький: ГГУ. 1977.

43. Эмануэль, Н.М. Химическая кинетика и химические реакции. М.: Наука, 1966.-542 с.

44. Труды по химии и химической технологии: вып. 3 (24). / В.В. Мельников и др.. Горький. 1969, - С. 183 - 186.

45. Грег, С., Синг К. Адсорбция, удельная поверхность, пористость.- М.: Мир, 1984. С. 127 - 134.

46. Кинетика и механизм газофазных реакций. / В.Н. Кондратьев, Е.Е. Никитин. -М.: Наука, 1974. 558 с.

47. Крылов, О.В. Поверхностные соединения в гетерогенном катализе.- М.: Наука, 1976. С. 129 - 149.

48. Неорганические материалы: изв. АН СССР. / A.A. Бабад-Захряпин и др.. 1968, №4.-С. 2059-2067.

49. Всесоюзное совещание по металлоорганическим соединениям для получения металлических и окисных покрытий: Тез. докл. /

50. Г.А. Домрачев и др.. М.: Наука, 1977. - С. 45.

51. Сыркин, В.Г. Химия и технология карбонильных материалов.- М.: Химия, 1972. С. 472 - 478.

52. Тугоплавкие металлы в машиностроении. / редкол.: Г.А. Туманов, К.И. Портной. М.: Машиностроение, 1967. - 256 с.

53. Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы. / В.Е. Иванов и др.. М.: Атомиздат, 1974. - 264 с.

54. Защита металлов: т. 6, №3. / Г.Г. Петухов и др.., 1973. С. 722 - 724.

55. Физика и химия обработки материалов: т. 3, №1. / И.И. Артюшенко, Г.В. Земсков. 1971, С. 34 - 38.

56. Knap, J.E., Pesetsky, Р., Hill, F. Plating, 1966, v. 53, №6, p. 772 - 782.

57. Мясоедов, C.A. Установка для осаждения пиролитических покрытий: Ресурсосберегающая технология поверхностного упрочнения деталей машин. Сборник научных трудов. М.: МАДИ, 1987. - С. 72 - 75.

58. Юршев, В.И. Опытно промышленная установка для осаждения пиролитических хромовых покрытий: Материалы и поверхностное упрочнение деталей машин и инструмента для повышения их надежности и долговечности. Сборник научных трудов. М.:МАДИ, 1989. - С.69 - 72.

59. А. с. 598964 СССР, МКИ С23С 11/02. Способ осаждения покрытий из паровой фазы / В.А. Костенков, Г.А. Домрачев, Б.В. Жук, В.Н. Крашенников (СССР). № 1939329/22-02; заявл. 15.06.73; опубл 1978. Бюл. №11.

60. Крель, Э. Руководство по лабораторной ректификации. М.: изд-во иностр. лит., 1960. - С. 306.

61. Газ выращивает металлы. / В.Г. Сыркин, В.Н. Бабин. — М.: Наука, 1986.-190 с.

62. Защитные вакуумные покрытия на стали. / И.Л. Ройх, JT.H. Колтунова. — М.: Машиностроение, 1971. 279 с.

63. Металлографическое травление металлов и сплавов: Справ, изд. / JI.B. Баранов, Э.Л. Демина. М.: Машиностроение, 1985. - 424 с.

64. Александров, В.Д. Поверхностное упрочнение алюминиевых сплавов: Автореферат дис. докт. техн. наук: 05.02.01 / Александров Виктор Дмитриевич. М., 2002. 408 с.

65. Мацевитый, В.М. Покрытия для режущих инструментов. Харьков "Вища школа", 1987.- 127 с.

66. Федоров, C.B. Комбинированная поверхностная ионно-плазменная обработка инструмента из быстрорежущей стали: Автореферат дис. канд. техн. наук: 05.02.01 / Федоров Сергей Вольдемарович. -М., 2004. 108 с.

67. Ковриков,И.Т. Основы научных исследований: Учебн., 2-е изд. / И.Т. Ковриков. Оренбург: ОГАУ, 2001. - 208 с.

68. Аоки, М. Введение в методы оптимизации. М.: Наука, 1977. - 344 с.

69. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. / Ю. П. Адлер и др.. М.: Наука, 1976. - 279 с.

70. Зедгинидзе, И.Г. Планирование эксперимента для исследования многокомпонентных систем. М.: Наука, 1976. - 390 с.

71. Денисов, В.М. Математическое обеспечение системы ЭВМ -экспериментатор. М.: Наука, 1977. - 252 с.

72. Прикладной регрессионный анализ. / Н. Драйнер, Г. Смит. — М.: Статистика, 1973. 392 с.

73. Планирование и анализ экспериментов при решении задач трения и износа. / Ю.А. Евдокимов и др.. М.: Наука, 1980. - 228 с.

74. Оптимизация процессов технологии металлов методами планирования экспериментов. / Ф.С. Новик, Я.Б. Арсов. М.: Машиностроение; София: Техника, 1980. - 304 е., ил.

75. Планирование эксперимента в условиях неоднородностей. / Е.В. Маркова, A.B. Лысенко. — М.: Наука, 1983. 219 с.

76. Налимов, B.B. Теория эксперимента. М.: Наука, 1971. - 207 с.

77. Спиридонов, A.A. Планирование эксперимента при исследовании технологических процессов. -М.: Машиностроение, 1981. 184 с.

78. Сыркин, В.Г. Газофазная металлизация через карбонилы. М.: Металлургия, 1985. - 246 с.

79. Цейсс, Г. Химия металлоорганических соединений.- М.: Мир, 1964.- 631 с.

80. Петров, Б.Н., Слушков, А.М. Получение нитрида хрома при термораспаде бис-этилбензолхрома в среде аммиака. / 3-е всесоюзное совещание по применению металлоорганических соединений для получения покрытий. Тез. докл. Горький, 1980. С. 131 - 132.

81. Физика и химия обработки материалов, т.5 №1 / A.B. Демчишин, Б.А. Мовчан. 1967, С. 44 - 51.

82. Саксаганский, Г.Я. Молекулярные потоки в сложных системах вакуумных структур. М.: Атомиздат, 1980. - С. 163 - 165.

83. Горовой, А.П. Остаточные напряжения в композиционных материалах "сталь — пиролитическое хромовое покрытие". Новые методы химико-термической обработки в машиностроении. Сб. науч. Трудов. М.: МАДИ, 1982.-С. 32-36.

84. Иванов, Л.Л. Разработка технологии получения пиролитических хромовых покрытий для упрочнения инструмента: дис. канд. техн.наук: 05.02.01 / Иванов Леонид Леонидович. М., 1988. - 242 с.

85. Теория и практика нанесения защитных покрытий. / П.А. Витязь и др.. Мн.: Беларусская навука, 1988. - 583 с.

86. Гаркунов, Д.Н. Триботехника: Учебник для студентов вузов. 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Машиностроение, 1989. - 328 е.: ил.

87. Трение, изнашивание и смазка: справочник. В 2-х кн. / редкол.:

88. И.В. Крагельский, В.В. Алисин. М.: Машиностроение, 1978. - 400 е., ил.

89. Коэффициенты трения: справочное пособие. / И.В. Крагельский, И.Э. Виноградова. М.: Машиностроение, 1962.

90. Геллер, Ю.А. Инструментальные стали. 5-е изд. М.: Металлургия, 1983. 527 с.

91. Барвинок, В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. М.: Машиностроение, 1990. - 384 е.: ил.

92. Haltner, A.J., and Oliver, С.S.: The Frictional Properties of Some Solid Lubricant Films Under High Load. J.Chem Eng. Data, vol. t, no.l, Jan. 1961, pp. 128-130.

93. Автомобильные материалы: Справочник инженера механика. 2-е изд., перераб. и доп. / М.А. Масино и др.. М.: Транспорт, 1979

94. Адамсон, А. Физическая химия поверхностей: Перев. с англ.канд.хим. наук И.Г. Абидора. / отв. ред.: канд. физ.-мат. наук З.М. Зорина, канд. физ.-мат. наук В.М. Муллера. М.: "Мир" 1979

95. Бакли, Д. Поверхностные явления при адгезии и фрикционном взаимодействии: Пер. с англ. A.B. Белого, Н.К. Мышкина / отв. ред.: А.И. Свириденко. М.: Машиностроение, 1986. - 360 с.

96. Зимон, А.Д. Адгезия пленок и покрытий. М.: "Химия" 1977

97. Takaishi, Т.: Interaktion between physically adsorbed molecules. Prog. Surface Sei. vol. 6, №2, 1975, pp. 45 62

98. Глинка, H.Jl. Общая химия: Учебное пособие для вузов. 30-е изд., исправ. / отв. ред.: А.И. Ермаков. М.: ИНТЕГРАЛ - ПРЕСС, - 728 с.

99. Anderson, J.R.: Chemisorption and reactions of metallic films, vol. I. Academic Press, 1971

100. Пайка металлов. / Н.Ф. Лашко, C.B. Лашко. M.: Машиностроение, 1967

101. Пайка металлов. / И.Е. Петрунин и др.. М.: Металлургия, 1973

102. Димант, А.Б. Исследование прочности сцепления металлических покрытий с основным материалом. М.: вып. 10, 1969. - С. 13-15.

103. А.с. 1246636 СССР, МКИ С23С 11/02. Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы. / Ю.М. Лахтин, Я.Д. Коган, А.П. Горовой, В.М. Струлев (СССР). 1984

104. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника: учебник для вузов по спец. "Вакуумная техника" 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш. шк. 1990.320 е.: ил.

105. Основы конструирования вакуумных систем. / Б.С. Данилин, В.Е. Минайчев. М., "Энергия", 1971. - 392 с.

106. Повышение качества поверхности и плакирование металлов: пер.с нем. Справочник. / А. Краушнер и др.. М.: Металлургия, 1984.- 367 с.

107. Нанесение защитных покрытий в вакууме. / И.Л. Ройх и др.. -М.: Машиностроение, 1976