Физико-технологические особенности, аппаратурное обеспечение и функциональные свойства тонкопленочных покрытий, получаемых термическим испарением в космосе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.06, кандидат технических наук Незнамова, Людмила Олеговна

• Незнамова, Людмила Олеговна
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Незнамова, Людмила Олеговна

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1 .ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.

1.1. Общее состояние вопроса.

1.2. Современные методы вакуумного испарения.

1.2.1 .Испарение материала прямым нагревом электронным лучом. 22 1.2.2.Испарение материала из тигля косвенным электронно-лучевым нагревом (нагрев тигля электронной бомбардировкой).

1.2.3 .Ионно-плазменное (магнетронное) распыление материалов.

1.2.4.Испарение материалов посредством лучистого нагрева.

1.2.5.Испарение материалов с использованием резистивного нагрева

1.2.6.Выбор базового метода испарения материалов.

1.3.Влияние условий испарения на свойства конденсированных пленок.

1.3.1. Космическое пространство как натурные условия (физические и технологические) нанесения тонкопленочных покрытий.

1.3.2.Факторы технологического процесса нанесения покрытий, определяемые поставленной задачей.

1.3.4.Основные направления исследований тонкопленочных покрытий.

1.4.Постановка задачи.

Глава 2. СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОЕ БОРТОВОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ТЕРМИЧЕСКИМ ИСПАРЕНИЕМ. НАЗЕМНАЯ ОТРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ БЛОКОВ.

2.1 .Основные требования, предъявляемые к аппаратуре для работы в условиях орбитального полета.

2.2.Конструктивные особенности бортового оборудования, предназначенного для термического испарения.

2.3.Выбор конструкции тигля для удержания расплава при испарении материалов в невесомости.

2.4.Формирование парового потока при испарении материалов в условиях космоса.

2.5.Особенности компоновки бортового оборудования для нанесения покрытий на орбитальной станции.

Глава 3.ПРОВЕДЕНИЕ НАТУРНЫХ ЭКСПЕРИМЕНТОВ.

3.1.Технологические особенности проведения натурных экспериментов.

3.1.1.Выбор материла подложки и требования к качеству ее поверхности.

3.1.2.Температурные характеристики испаряющего устройства.

3.1.3.Распределение конденсационного покрытия по поверхности подложки и толщина получаемых покрытий.

3.1 АОпределение скорости испарения исследуемого материала.

3.2.Программы натурных экспериментов.

3.2.1 .Программа экспериментов на аппаратуре "Испаритель 80".

3.2.2.Программа экспериментов на аппаратуре "Испаритель М".

3.2.3 .Программа экспериментов на аппаратуре "Янтарь".

3.2.4.Программа экспериментов на аппаратуре УРИ.

3.3.Проведение натурных экспериментов.

3.4.Экспериментальные методы исследования конденсированных пленок.

3.4.1 .Определение толщины покрытий.

3.4.2.0пределение оптических характеристик покрытий.

3.4.3 .Определение химического и фазового состава.!.

3.4.4.Металлографические и электронно-микроскопические исследования поверхности и микроструктуры образцов.

3.4.5.0ценка пористости покрытий.

Глава 4. ОСНОВНЫЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА И МИКРОСТРУКТУРА КОНДЕНСАЦИОННЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ.

4.1 .Скорость осаждения покрытия и его толщина.

4.2.Тепловые характеристики (показатель поглощения и излучательная способность) покрытий.

4.3.Фазовый состав конденсатов и сопутствующие примеси.

4.4.Морфология и структура покрытий.

4.4.1 .Состояние поверхности тонкопленочных покрытий.

4.4.2.Морфология и структура покрытий на различных подложках.

4.4.3.Электронно-микроскопическое исследование покрытий.

4.5.Субструктура и пористость покрытий.

4.6.Вывод ы.

Глава 5. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ И ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССА ИСПАРЕНИЯ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ В УСЛОВИЯХ МИКРОГРАВИТАЦИИ.

5.1.Математическое описание процессов испарения на установках "Испаритель 80" и "Испаритель М".

5.2. Математическое описание процессов испарения сплавов, проводимых на аппаратуре "Янтарь".

5.3. Исследования кинетики испарения бинарных сплавов серебро-медь в космических и наземных условиях.

5.3.1.Кинетика испарения сплавов, полученных на установке "Испаритель 80" (с тиглем, имеющим крышку с отверстием и конусообразное дно).

5.3.2.Кинетика испарения сплавов, полученных на аппаратуре "Испаритель М" (с тиглем, имеющим крышку с отверстием и конусообразное дно).

5.3.3.Кинетика испарения сплавов, полученных на аппаратуре "Янтарь" (с открытым тиглем, имеющим плоское дно).

5.3.4.Структура тонкопленочных покрытий из бинарных сплавов серебро-медь.

5.3.5.Исследование взаимодействия конденсационного покрытия серебро-медь с полиимидной подложкой.

5.4.Выводы.!.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-технологические особенности, аппаратурное обеспечение и функциональные свойства тонкопленочных покрытий, получаемых термическим испарением в космосе»

При изготовлении космических аппаратов для расширения их функциональных возможностей используют различные тонкопленочные покрытия: защитные, терморегулирующие, отражающие и т.п.[1.-10]. Покрытия, которые наносят на внешние рабочие поверхности изделий, испытывают на себе комплексное воздействие факторов космического пространства. Такого рода воздействие приводит к изменению свойств материала покрытий, например, к деградации терморегулирующих свойств, к потемнению отражающих покрытий,-все это сокращает ресурс эксплуатации орбитальных объектов, для продления которого необходимо периодическое восстановление функциональных характеристик покрытий.

С другой стороны, создание крупногабаритных орбитальных конструкций непосредственно в условиях космического пространства требует решения следующих технологических задач: нанесения припоев для осуществления процесса пайки элементов конструкций, защитных и отражающих покрытий на вновь создаваемые рабочие поверхности. Поэтому, разработка технологических операций, позволяющих проводить ремонт и восстановление тонкопленочных покрытий, а также их нанесение при создании конструкций на орбитальных объектах с длительным (более 15 лет) ресурсом эксплуатации в условиях космического полета является весьма актуальной, несмотря на постоянное совершенствование наземных технологий нанесения покрытий.

Исходя из теоретических и практических положений, для нанесения тонкопленочных покрытий в реальных условиях космического полета был выбран метод термического испарения и конденсации в вакууме как один из наиболее универсальных и распространенных в наземной технологии методов получения высококачественных покрытий, позволяющий контролировать их состав, структуру и физические характеристики. Условия космического полета 7 величина остаточного давления и остаточная атмосфера, невесомость, температурные условия, изменение светотеневого режима орбитального комплекса, излучения и поля, действующие на станцию во время полета) существенно отличаются от таковых в наземных лабораторных и промышленных вакуумных установках как с точки зрения их технологичности при осуществлении выбранного метода, так и степени влияния на кинетику и механизм испарения-конденсации материалов.

Тема диссертационной работы является составной частью "Межведомственной комплексной целевой программы по созданию и материаловедческому обеспечению крупногабаритных орбитальных конструкций на 1985-1995 годы", "Программы научных исследований, экспериментов и целевых работ на орбитальной станции "Мир" 1993-1997 г.г." а также отраслевой целевой программы "Исследование собственной внешней атмосферы орбитального пилотируемого комплекса и ее влияния на ресурс и надежность функционирования комплекса в целом " на 1996-2000 годы.

Целью данной работы являлась разработка основ электроннолучевой технологии нанесения функциональных покрытий термическим испарением в условиях открытого космоса.

Данные по особенностям процессов испарения и конденсации различных материалов в условиях космоса, которые могли бы быть положены в основу разрабатываемой технологии, к началу конкретного этапа исследований отсутствовали.

В соответствии с поставленной целью нужно было решить следующие задачи:

1.На основе предварительного анализа выбрать метод нанесения покрытий, наименее чувствительный к условиям орбитального полета, и подтвердить возможность его осуществления в реальных условиях;

2.Провести экспериментальные исследования особенностей протекания процессов испарения- конденсации металлов в условиях орбитального полета; 8

3.Исследовать влияние специфических условий космического пространства на свойства покрытий, полученных в орбитальном полете;

4.Разработать технологию нанесения покрытий на конкретные подложки непосредственно в открытом космосе с заданными рабочими характеристиками.

На защиту выносятся следующие основные положения:

1 .Принципиальная возможность осуществления процесса нанесения покрытий в условиях космического полета (невесомости и космического вакуума) посредством косвенного электроннолучевого нагрева тиглей, содержащих испаряемые материалы: серебро, золото, медь, сплавы серебро-медь.

2.Экспериментальные результаты исследований свойств покрытий, на основе которых определены оптимальные технологические режимы процесса их формирования.

3.Разработка отдельных узлов специализированной аппаратуры для нанесения покрытий в условиях орбитального полета с использованием электроннолучевых источников нагрева.

4.Практическое использование универсального ручного инструмента для проведения работ в открытом космосе по восстановлению деградировавших покрытий испарением материалов и их прецизионным осаждением.

Проведена наземная отработка технологических узлов, а именно тиглей-испарителей, для использования их в условиях невесомости, разработаны основы технологии и основные принципы конструирования тиглей для испарения веществ в невесомости. Впервые изучено влияние основных факторов космического пространства - невесомости и специфического вакуума- на процессы испарения и конденсации вещества с высокой температурой плавления.

Создан комплект бортового оборудования для нанесения тонкопленочных покрытий термическим испарением-конденсацией непосредственно в условиях космического полета и проведены его испытания на орбитальных станциях "Салют 6", "Салют 7" и орбитальном комплексе "Мир". 9

Получено свыше 200 образцов тонкопленочных покрытий чистых металлов и сплавов, анализ которых подтвердил принципиальную возможность получения оптических и терморегулирующих покрытий, а также позволил выявить ряд особенностей протекания процесса нанесения покрытий (более высокую производительность процесса осаждения и т.п.) и свойств полученных покрытий (низкую объемную концентрацию субмикропор, более однородную высокодисперсную структуру, контролируемый химический состав покрытий из бинарных сплавов).

Разработана основы технологии получения покрытий в условиях орбитального полета.

В диссертационной работе отмечаются особенности протекания процессов термического испарения в космосе. Это позволило разработать технические требования к специализированному бортовому оборудованию для восстановления тонкопленочных покрытий непосредственно в условиях космического полета.

По результатам лабораторных наземных исследований реализована конструкция тигля-испарителя, позволяющая осуществлять испарение чистых металлов и сплавов из жидкой фазы в условиях невесомости и, при этом, получать стабильные паровые потоки с поверхности жидких веществ с температурой плавления до 1700° С.

На борту орбитальных станций "Салют 6", "Салют 7" и "Мир", на специально созданном бортовом оборудовании были проведены серии экспериментов с целью определения оптимальных режимов получения тонкопленочных металлических покрытий с заданными характеристиками.

Послеполетные исследования покрытий, полученных в ходе бортовых экспериментов, доказали, что большинство характеристик (адгезия, остаточные внутренние напряжения, морфология, общая структура, оптические и радиационные характеристики) практически идентичны аналогичным образцам, полученным в наземных условиях, и соответствуют требованиям ведомственных

10 нормалей, предъявляемым к покрытиям подобного класса. У образцов натурных покрытий, восстановленных в космосе, были практически достигнуты первоначальные функциональные параметры.

Перечисленное выше позволяет сделать вывод о пригодности разработанной аппаратуры и технологии для выполнения производственных работ в космосе. Для реализации этих целей создан универсальный ручной инструмент и выполнены его полетные испытания.

Работа выполнена под руководством доктора технических наук Малашенко И.С. Вклад автора состоял в формировании направлений исследования, постановке задач, выборе путей их решения, разработке математической модели, постановке и проведении экспериментов, анализе и интерпретации полученных результатов.

Основные результаты работы были представлены на 7 Всесоюзных конференциях и 3 Международных конференциях.

По работе опубликовано 9 статей в специализированной литературе.

Диссертация состоит из "Введения", пяти глав и выводов, общего списка литературы, который включает 153 наименования.

В первой главе дан литературный обзор по вопросам, которые связаны с особенностями формирования покрытий в условиях открытого космоса (влияния микрогравитации, «космического» вакуума и т.п.) проведен анализ известных методов вакуумного испарения с точки зрения их применимости для получения покрытий в космосе. Обобщены имеющие в литературе сведения по влиянию условий конденсации (температуры подложки, давления остаточных газов, скорости осаждения) на свойства получаемых покрытий.

Во второй главе представлены конструктивные особенности бортового оборудования для получения тонкопленочных покрытий осаждением непосредственно в космическом вакууме. Представлено одно из решений удержания расплавленного материала в тигле -испарителе.

11

В третьей главе дано описание бортовой аппаратуры для нанесения покрытий "Испаритель 80", "Испаритель М", "Янтарь" и УРИ. Приведены результаты технологической наземной отработки оборудования и процессов, а также методика планирования и проведения экспериментов на борту орбитального комплекса.

Четвертая глава обобщает результаты исследований влияния режимов получения на оптические свойства покрытий, на микропористость и напряжения I рода в них, на содержание примесей в серебряных, медных и золотых покрытиях. Проведено сравнение этих образцов с наземными аналогами. На основе анализа полученных данных установлены оптимальные технологические параметры испарения материалов.

В пятой главе описаны расчеты кинетики испарения бинарных сплавов серебро-медь разного химического состава в неизотермических условиях, предложена математическая модель испарения бинарных сплавов в условиях микрогравитации.

Автор выражает благодарность сотрудникам ИЭС им.Патона

A.Загребельному, В.Шулыму, Е.Михайловской за помощь в проведении наземной отработки технологического оборудования и послеполетного анализа, экипажам орбитальных станций "Салют 6" В.Рюмину, В.Ляхову, Л.Попову, ОС "Салют 7"

B.Соловьеву, Л.Кизиму, С.Савицкой, В.Джанибекову и орбитального комплекса "Мир" С.Крикалеву, А.Волкову в проведении бортовых экспериментов и получении образцов с различными покрытиями в натурных условиях.

12

Заключение диссертации по теме «Технология и машины сварочного производства», Незнамова, Людмила Олеговна

5.4.Выводы.

Таким образом, анализ микроструктуры и результаты ОЖЕ-спектроскопии тонкопленочных покрытий бинарных сплавов серебро-медь показал, что:

- в космических экспериментах были получены образцы покрытий серебро-медь на полиимидной рулонированной пленке, диапазон концентраций которых охватывает практически все составы диаграммы состояния;

- при конденсации сплавов серебро-медь в наземных и космических условиях на неподогреваемой подложке происходит образование перенасыщенных

199 твердых растворов (ПТР), которые в процессе роста или при последующем хранении переходят в более равновесное состояние, претерпевая распад;

- распад ПТР на основе серебра в пленках серебро-медь происходит по гетерогенному механизму (прерывистый распад), которому предшествует гомогенное выделение (непрерывный распад);

- в некоторых случаях степень распада ПТР в наземных образцах существенно ниже, что связано с более низкой концентрацией меди;

- методом ОЖЕ-электронной спектроскопии проведено исследование особенностей распределения меди, серебра и примесных элементов в тонкопленочных покрытий из сплава серебро-медь на полиимидной подложке, полученных в наземных и летных условиях. Установлено, что толщина покрытий, полученных в космосе, в два и более раз больше толщины покрытий, полученных на Земле в тех же условиях. Распределение основных (серебро, медь) и примесных (О, С, 14, С1) элементов по толщине пленки неоднородно. Основные элементы (медь и серебро) проникают в материал подложки на глубину, превышающую толщину покрытия;

- коэффициент сегрегации в покрытиях серебро-медь, полученных в космосе выше у серебра, а в покрытиях, полученных в земных условиях, - меди;

- в покрытиях серебро-медь, полученных как в космосе, так и на Земле, перед границами раздела фаз вакуум-покрытие и покрытие-подложка формируются сегрегационные скопления меди. Серебро таких скоплений не образует;

- сегрегационные скопления у межфазной границы покрытие-подложка является следствием разной скорости диффузии меди в покрытии и в подложке и ускорения этого процесса в результате реакционного взаимодействия меди с атомами материала подложки.

Согласно вакансионному механизму образование сегрегационных скоплений является следствием различной диффузионной подвижности атомов меди и серебра, в процессе движения потока вакансий, генерируемых на поверхности осаждения парового потока сплава в процессе конденсации, от поверхности в глубину и встречного потока атомов меди из объема пленки. Концентрационное

200 уплотнение меди у внешней поверхности (вакуум-покрытие) формируется преимущественно по вакансионному механизму, а сегрегация меди на межфазной границе покрытие-подложка контролируется механизмами: реакционной и вакансионной диффузии;

- в качестве подложки полиимидная лента не вносит возмущений принципиального характера в химический состав покрытия из сплава серебро-медь и может быть использована в качестве несущей основы при получении металлических покрытий термическим испарением.

201

Заключение

1.Для реализации ремонтно-восстановительных работ, связанных с анесением тонкопленочных функциональных покрытий в космосе, с учетом 1ецифики окружающего пространства как технологической среды выбран метод зрмического испарения и конденсации металлов и сплавов.

2.Для практической реализации выбранного метода разработан комплект ортового технологического оборудования (установки "Испаритель 80", Испаритель М", "Янтарь"). Опробован на Земле и в космосе ряд тиглей-спарителей, обеспечивающих удержание расплава в рабочем объеме и табильный паровой поток материала при их косвенном электроннолучевом агреве в условиях невесомости.

3.Разработаны методики и программы проведения экспериментов по олучению покрытий непосредственно на борту орбитальных станций. Подтверждена принципиальная возможность осуществления процесса осаждения спаряемых материалов в космосе и правильность конструктивного решения тдельных блоков и оборудования в целом.

Отработана технология нанесения отражающих и терморегулирующих окрытий из серебра, золота, меди и сплавов Ag-Cu на различные виды подложек титан, стекло, дюралюминий, полиимидная пленка), получена научная нформация об особенностях протекания этих процессов в условиях космического гространства о об условиях длительного хранения покрытых объектов на борту.

4.Установлено, что функциональные свойства (адгезия, остаточные нутренние напряжения, морфология, общая структура, оптические и адиационные характеристики) покрытий, полученных в космосе, не уступают шемным аналогам и находятся на уровне требований промышленных стандартов [ли выше. Производительность процесса осаждения испаряемых материалов в :осмосе, как правило, превышает зафиксированную в аналогичных наземных экспериментах и является достаточной для выполнения практических работ по

202

МОНту и восстановлению покрытий. Это подтверждило пригодность дработанной аппаратуры и электроннолучевой технологии косвенного нагрева ы операций испарения металлов и сплавов в космосе.

5.Показано, что космические образцы и их аналоги отличаются друг от друга э составу и концентрации примесей, что обусловлено различными вакуумными шовиями формирования конденсатов. В "космических" пленках металлов гмечается ряд аномальных явлений, не наблюдавшихся в образцах-аналогах:

- в серебряных и медных покрытиях (толщиной 2.4 мкм) имеет место резвычайно низкая (менее 0,1%) объемная концентрация субмикропор (размером енее 200 нм). В наземных аналогах концентрация таких субмикропор составляет бычно 0,7.1.0%, а иногда и более;

- конденсаты золота и серебра имеют более однородную высокодисперсную груктуру. Это можно объяснить снижением границы сплошности онденсирующихся слоев, которое обычно связано с уменьшением критического азмера зародышей или реализацией беззародышевого роста металлических слоев а начальных стадиях их образования в малых гравитационных полях.

6.Установлено, что кинетика испарения бинарных сплавов в космосе пределяется как механизмом массопереноса в тигле, так и возможным зменением температуры тигля по ходу процесса. Диффузионный механизм ассопереноса наиболее развит на начальных стадиях испарения, когда объем и арактерные размеры испаряющегося сплава достаточно велики, чтобы мог еализовываться данный механизм доставки компонента из глубины расплава. С меныпением объема сплава на поздних стадиях испарения вклад диффузионного [еханизма уменьшается и можно использовать конвективное приближение.

7.Выполнен расчет кинетики испарения сплавов и изменения паровой фазы фи диффузионном механизме массопереноса в тигле в условиях шкрогравитации. Установлено изначальное обогащение пленок серебро-медь, олученных в орбитальном полете, труднолетучим компонентом (медью) по равнению с их земными аналогами.

Приведены расчетные зависимости изменения состава пленок серебро-медь, щученных в наземных условиях, от времени осаждения при изотермическом ¡парении. В наземных условиях кинетика испарения сплава определяется швективным механизмом перемешивания расплава.

8.Установлены особенности распределения меди, серебра и примесных [ементов в покрытиях Ag-Cu на полиимидной подожке, полученных в наземных летных условиях. Рассмотрены реакционный и вакансионный механизмы ормирования сегрегационных скоплений меди в объеме тонкопленочных шденсированных систем

9.Проведены космические и наземные эксперименты по осаждению ;ребряных покрытий с применением универсального ручного инструмента УРИ. оказана принципиальная возможность нанесения покрытий на больших пощадях, получены образцы покрытий на двух подложках размером 240x180 м2. Равномерность по толщине покрытий, наносимых вручную в космосе, не ступает по равномерности толщине покрытий, полученных в наземных условиях.

Ю.Комплексный анализ свойств космических покрытий и их наземных налогов позволил заключить, что серебряные покрытия, полученные в условиях ткрытого космоса, могут иметь больший ресурс работы, чем аналогичные окрытия, полученные на Земле и доставленные в космос транспортным кораблем.

204

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Незнамова, Людмила Олеговна, 2000 год

1. Coating could protect composites from hostile space environment/ Whitaker Ann F.// Mater Perform.-1991.-30, №9-P.48-50

2. Durch H.W., Hendricks C.L. Protective coatings for composite tubes in space applications.// Adv. Mater. Technol.'87: 32nd Int. SAMPE Symp. And Exhib., Anaheim, Calif., Apr. 6-9, 1987,-Covina (Calif.).- 1987.-P.1569-1580.

3. Smarsly W., Strobel С. Слои и системы слоев для перспективных материалов авиации и космонавтики.// Galvanotechnik. 1996.- 87,№6, Р. 1828-1847.

4. Nguye D. Новое в технологии покрытий защитными слоями для использования в космосе.// Can Ceram. Quart.- 1994.- 63, №1- P.25-26.

5. Levring O.A Антиотражающие покрытия.// Techn. Rept. LEST Foundat.-199 l.-№46.-P.39-46.

6. Sved.J. Assembly and maintenance of space platforms.// J.Brit. Interplanet. Soc. 1985.- 38, №7.-P.319-327.

7. Astronaut/EVA construction of Space Station./Heard W.L., Bush H.G., Watson J.J., Spring S.C., Ross J.L.// AIAA SDM Issues Int. Space Stat.: Conf., Williamsburg, Va, Apr. 21-22, 1988, Collect Techn. Pap., Washington, D.C.- 1988. -P.39-46.

8. Н.Беляков И.Т., Сычев Ю.К., Мартюшов В.Ф. Сборка ферменных конструкций в условиях открытого космоса.// Гагар, научн. чтения по космонавтике и авиации, 1988: Матер, докл. и сообщ. на 18 Гагар. Чтениях.-1988.-М.: 1989.-С.245.

9. Леже Л., Вайсентайн Дж. Т. Защита космических летательных аппаратов от воздействия атомарного кислорода.//Аэрокосмическая техника.-1987,№2.-С.7-11.

10. De Rooy A. The degradation of metal surfaces by atomic oxygen. "3rd Eur. Symp. Spaceer. Mater. Space Environ., Noordwijk, 1-4 Oct., 1985 Proc.".- Paris, 1985.-P. 99-108.

11. Protection of Solar array blankets from attack by low earth orbital atomic oxygen./ Banks B.A., Mirtich M.J., Rutledge S.K., Nahra H.K.//18th IEEE Photovoltais Spec., Conf., Las Vegas, New.,Oct. 21-25, 1985", New York.- N.Y.: 1985.- P. 381-386.

12. Jeaple Frank Anti-atom- oxyden coating protects. Spacecraft.// Des.ntws.-1989-45, №6.-P. 190-191.

13. Mc Kay David S., Barrett R.A., Bernhard R.P. Impact damage to solar Maximum satellite caused by micrometeorites and microparticle orbitae debris// Meteoritis.-1987.-22,№4.- P.453-456.

14. Damage areas on LDEF aluminum panels: Preliminary results./ Coombs C.K., Atkinson D.R., Wagner J.D., Allbrooks M.//Lunar and Planet. Sci.1992.-Vol.23, Abstr. Pap. 23th Cjnf, March 16020, 1992. Pt 1 Houston (Tex.).- P.245-246.

15. Morganti F., Marchetti M., Reibaldi G Effects of moisture and thermal aging on structural stability of sandwich panels.//Acta astronaut.-1984.-№11, №7; Coop. Space. Selec.Pap. 34thCongr.Jut. Astronaut.Fed.,Budapest,10-16 Oct.,1983.- P.489-508.

16. Exposure of epoxy- amine plastics to the space environment. Mc Lean P.D., Wiebe W., Garton A., Zimcik D.G. //Can. Aeronaut. And Space J.-1985.-31,№2.-P.125-130. Перевод в ЭИ "Астронавтика и ракетодинамика".-1986.-№39.- С.45-48.

17. Murad Е. Spacecraft interactions as influenced by thermochemical considerations// J. Spacecraft and Rockets. 1989.-26, №3.- P. 145-150.

18. Sykes G.F., Funk J.G., Clemp W.S. Assessment of space enviroument induced microdamage in toughened composite materials.// 18th Int. SAMPE Techn. Conf., Seattl, Wash.Oct.7-9, 1986, vol.18, Covina, Calif.- 1986.- P.520-534.

19. Gulino D.A., Egger R.A., Banholzer W.F.Oxidation resistans reflective surfaces for solar dynamic power generation in near earth orbit.//J.Vac.Sci. and Technol".-1987.- A5, №4.- P.2737-2741.

20. Degradation of mechanical and electrophysical properties of from films untercombined action of far ultraviolet and thermal cycling./ Toupikov V.I., Khatipov S.A.,th

21. Cherniavsky A.I., Stepanov V.F.// 7 Int. Syst. Mater. Space Environ., Toulouse, 16-20 June, 1997.- Noordwijk:1997.-P.77-85.

22. Lippman M.E. In Space fabrication of thin-film structures.// "NASA Constructor reports".- № CR-1969, Washington: Д.С.- 1972.-P.25-29

23. Duquette D.J. Metallurgical studies in Skylab and Apollo-Soyuz flights.// U.S.Dep.Commer.Nat.Dur.Stand.Spec.Publ.- 1978.-№520.-P. 15-16.

24. NASA. Prepares self-contained space processing package for Shuttle.//Aerospace Daily.- 1977.- 87, №36.- P.284.

25. Seibert G. ESA material Science experiments and experimental facilities for the first spacelab payload.// J.Brit. Interplanetary society.- 1978.- v.31, №7.-P.242-256.

26. Kohle W. Im Spacelab forschen bei Mikroschwerkraft.//VDI-Nachr.- 1983.37, №49.-S.10.

27. Vits P. Experiment technology for microgravity research on Spacelab and other systems like TEXUS and MAUS.// Proc. 14th Int. Symp. Space Technol. and Sci., Tokyo, May 27-June 1, 1984,-Tokyo: 1984.-P.1643-1646.

28. Berz K.W.German crystal growth experiments in space. //Oe буцури.-1988.-57, T.10.-P.1505-1515.

29. Heymdn Jos. Bull. Space technology: Material sciences. //Astronaut. Soc. West. Austral. -1993.- 18, №9.-P.89-90.

30. Fiske Michael R. Space processing.// Aerosp. Amer.- 1997.- 35, №12.-P.66.

31. Rhome R. C. Microgravity research planning for space station.// AIAA Pap. -1994.- 4670.-P.1-12.

32. Taylor R., Watkins J., Gallowey P.O. History and current status of Untied States'materials processing in space flight activity. //AIAA Pap.- 1994.-№111.-P. 1-10.

33. Fujimori Yoshinori, Shimaoka Taro K. NASDA microgravity programs.//AIAA Pap.-1995.-№391.-P.l-ll.

34. Martin Gary L., Phome Robert С Микрогравитационные исследования в условиях космической станции.// AIAA Pap.- 1995.- №388.- Р. 1-11.

35. Greder G., Blecher G. Materials research and processingnew prospects for the space programme.//! Brit. Interplanetary Society.- 1978.- v.31, №7.-P.264-266.

36. Евич А.Ф. Индустрия в космосе. М.: Московский рабочий, 1978.-86 с.

37. Драго А.Л., Пауле Р. Испарение, диффузия и конвекция в расплавах, находящихся в свободном состоянии в слабом гравитационном поле. //Ракетная техника и космонавтика.- 1976.- т.14, №2.- С. 10-12.

38. Космическая технология./ Сб. под ред. Стега JIM.// М.: Мир.- 1980- 418 с.51 .Evaporation in space manufacturing. //AGAA Pap.- 1974.- №667.- P. 14.

39. Zoller L.K. Materials science and engineering in space// J. Astronaut Sci.1981.- 29, №3.- P.201-211.53.1shikawa Masamichi, Sawaoka Akira. Material processing in space.-//Kasaky koroky.- 1986,- 50, №11.- P.811-818.

40. Беляков И.Т., Борисов Ю.Д. Технология в космосе -М.: Машиностроение.-1974.- 291 с.

41. Повицкий A.C., Любин Л.Я. Основы динамики и тепломассообмена жидкостей и газов при невесомости.-М.: Машиностроение.-1972.- 251 с.

42. Гидродинамика невесомости./ Сб. под ред. Мышкиса А.Д. М.: Наука.-1976.-504с.

43. Ганиев Р.Ф., Лапчинский В.Ф. Проблемы механики в космической технологии. М.: Машиностроение.- 1978.- 119 с.

44. Лыков A.B. Тепломассообмен. М.: Энергия.- 1978.- 479 с.

45. Лебедев А.П., Полежаев В.И. Механика невесомости: микроускорения и гравитационная чувствительность процессов массообмена при получении материалов в космосе.//Успехи механики. 1990.-13, №1.- С.3-51.

46. Полежаев В.И., Белло М.С., Верезуб H.A. и др. Конвективные процессы в невесомости. -М.: Наука.- 1991.-126 с.

47. Arnold W., Jacqmin D., Gaud R., Chait. Convection Phenomena in low-gravity processing: The GTE GaAs space experiment// AIAA Pap.- 1990.- №0490.-P.l-7.

48. Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок в вакууме.- М.: Энергия,- 1967.-311 с.

49. Технология тонких пленок./ Справочник под ред. Майссела JI. и Глэнга Р. в 2-х томах. М.: Советское радио.- 1977.

50. Белевский В.П., Кузьмичев А.И., Мельник В.И. Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий Киев: Знание.-1982. -20 с.

51. Берри Р., Холл П., Гаррис М. Тонкопленочная технология.-М.: Энергия.-1972.- 336 с.

52. Кононов В.П. Технология получения тонких пленок. Красноярск, Препринт/ АН СССР, Сибирское отделение, Институт физики им. Киренского, 1985.-№3250. - 47 с.

53. Блинов И.Г., Мелехин Ю.Я., Панфилов Ю.В. Процессы и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме. М.: 1987.- 71 с.

54. Bunshah R.F. Vacuum evaporation techniques/data.//Electron. Packag and Prod.- 1975.- 15, №10.- P. 3-9.

55. Weissmantel С., Hecht G., Hinneberg H.J. Deposition of epitaxial lagers by ion beam methods.//! Vac. Sei Technol.- 1980.- 17, №4.-P. 812-816.

56. Данилин Б.С. Получение тонкопленочных слоев с помощью магнетронной системы ионного распыления.//3арубежная электроника.- 1978.-№4.-С.87-105.

57. Данилин Б.С. Получение пленок методом ионного покрытия.//Зарубежная электроника.- 1978.-№2.-С.З 7-5 5.

58. Шиллер 3., Гайзиг У., Панцер 3. Электроннолучевая технология. М.: Энергия,- 1980.-528 с.

59. Францевич И.Н., Дверняков B.C., Касич-Пилипенко И.Е. и др. Малогабаритная гелиоустановка "Луч 1" для осуществления технологических процессов в космическом пространстве.//Космические исследования на Украине.-1975.- вып.6.- с. 15-18.

60. Физика тонких пленок./ Сб. статей под ред. Хасса Г. и Пуна Р.Э.- М.: Мир.- 1968.-Т.З.- 331 с.210

61. Данилин Б.С., Сыргин B.K. Магнетронные системы ионного распыления материалов// Сборник научных трудов по проблеме микроэлектроники. -Труды МИЭТ.- 1978.-№39.- С.113-120.

62. Mattox D.M. Fundamental of ion plating.//J.Vac.Sci Technol.- 1973.- V.10, №1.-P.47.

63. Данилин Б.С. Развитие вакуумных методов получения тонкопленочных слоев//Зарубежная радиоэлектроника.- 1978.- №4.-С.67-75.

64. Исследование возможности использования лучистой энергии Солнца для сварки и пайки металлов/ Дверняков B.C., Францевич И.Н., Пасечный В.В. и др.//Космические исследования на Украине.- 1973.- вып.1.- С.9-14.

65. Исследование возможности нанесения технологических покрытий на изделия в натурных условиях. Разработка технологии и оборудования. Этап 1.: Отчет/ ИЭС им. Патона, п/я В-2572; Руководители работы В.П.Глушко, Б.Е.Патон.- М.-Киев.- 1981.- 277с.

66. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука.- 1972.- 320 с.

67. Палатник Л.С., Сорокин В.К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения. М.: Энергия.- 1973. - 296 с.

68. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.-Л.: Госэнергоиздат.-1963.- 608 с.

69. Физика тонких пленок/ Сб. статей под ред. Хасса Г. и Пуна Р. М.: Мир.-1967.- Т.2.-396 с.

70. Hass G., Waylonis Y.E. Optical constants and reflectance and transmittance of evaporated aluminium in the visible and ultraviolet.//J. Opt. Soc. Amer.- 1961.- v.51, №7.- P.719-722.

71. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир.- 1964 - 716 с.

72. Михневич В.В., Голубев E.H., Парфианович Ю.Н. Предварительные результаты определения концентрации частиц и плотности атмосферы 18 июня 1963 г.//Космические исследования.- 1965.- т. III, вып.З.-С.457.

73. Нусинов М.Д. Воздействие и моделирование космического вакуума. М.: Машиностроение.- 1982. - 176 с.91 .Предварительные результаты эксперимента "Астра 1", проведенного на станции "Салют 7": Экспресс-отчет / п/я В-2572, ИПГ- М.: 1982. -41 с.

74. Научно-технический эксперимент "Астра 1", проведенный на орбитальной станции "Салют 7" в период ЭО-1: Экспресс-отчет / п/я В-2572, ИПГ.-М.:ОНТИ.-1983-32 с.

75. Научно-технический эксперимент "Астра 1", проведенный на орбитальной станции "Салют 7" в период ЭО-2: Экспресс-отчет / п/я В-2572, ИПГ.-М.ОНТИ.-, 1984 -36 с.

76. Научно-технический эксперимент "Астра 1", проведенный на орбитальной станции "Салют 7" в период ЭО-3: Экспресс-отчет / п/я В-2572, ИПГ.-М.:ОНТИ.-1984-18с.

77. Итоговый отчет по научно-техническому эксперименту "Индикатор", проводимому на орбитальной станции "Мир" в 1993-1996 годах.//РКК "Энергия" :ОНТИ.- 1997.- 59 с.

78. Акишин А.И., Новиков JI.C. Воздействие окружающей среды на материалы космических аппаратов. -М.: Знание.- 1983 -63 с.

79. Физика тонких пленок./Сб. статей под ред.Хасса Г.-М.: Мир.- 1967.- т.1-344 с.212

80. Михневич B.B. Плотность и температура атмосферы по результатам измерений на ВГАС в 1963 году.// Исследования космического пространства.-М.: Наука.- 1965.-С.23-30.

81. Данилов А.Д. К вопросу об образовании ионов 02+ в верхней атмосфере.// Искусственные спутники Земли.- 1961.- Вып.7.-С.56.

82. Фаткуллин М.Н. концентрация водорода в верхней атмосфере Земли на высотах 300-600 км по ионным данным.//Космические исследования.-1967.- т.6, Вып.3.-С.407.

83. ЮЗ.Похунков A.A. Масс-спектрометрические измерения распределения ионов Не+, К1", 0+, NO+, 02+ в земной атмосфере до высоты 430 км.//Космические исследования.-1963.- т.1, Вып.2.-С.267.

84. Ю4.Грингауз К.И. Ракетные измерения электронной концентрации в ионосфере при помощи ультракоротковолнового дисперсного интерферометра.// Искусственные спутники Земли.- 1958.- Вып. 1.-С.62.

85. Ю5.Косевич В.М., Палатник J1.C., Литвиненко Ю.Г. Влияние температуры подложки и толщины слоя на структуру конденсатов висмута.//ФММ,.- 1963.-т.15, Вып.3.-С.371-378.

86. Юб.Палатник Л.С., Фукс М.Я., Бойко Б.Т., Парийский В.Б. Электронографическое исследование субструктуры тонких конденсатов алюминия методом "микропучка". //ФММ.-1961.-т.11, вып.6.-С.864-870.

87. Ю7.Палатник Л.С., Фукс М.Я., Бойко Б.Т. Электронографическое исследование субструктуры тонких пленок алюминия, серебра и золота, конденсированных в вакууме.//ФММ.- 1962.- т. 13, вып. 1.-С.71-77.

88. Basset G.A., Pashley D.W., Menter I.W. Structure and properties of thin films.// Wiley, N-Y: 1959.213

89. Недоступ B.M., Сидоренко С.И., Смирнова Н.И. Влияние условий напыления на оптические свойства пленок Al, Cu, Cr. //В кн.: Получение и свойства тонких пленок.- Киев: 1982.-С. 102-105.

90. Сих М.П. ОЖЕ-спектроскопия в металлургии.

91. И.Чопра К.Л.Электрические явления в тонких пленках.-М.:Мир.-1972.-435

92. Kennedy D.I., Hayes R.E., Alaford R.W. The Influence of Charge effects on the Grown under and electrical resistivity of thin metal films.//J. Appl. Phys.-1967.-v.38, №4.-P. 1986-1987.

93. Ahiles E., Hirach A. Resistance of thin metal films crown under a longitudinal electric field.//J. Appl. Phys.- 1971.- v.42, №13.-P. 5601-5608.

94. Пб.Курт В.П., Мороз В.И. Потенциал металлического тора в межпланетном пространстве.//Искусственные спутники Земли.- 1961.- вып.7.-С.78.

95. Гдалевич Г.Л. Измерение напряженности электростатического поля у поверхности ракеты во время ее полета в ионосфере.//Искусственные спутники Земли.- 1963.- вып.17.-С.42.

96. Имятов И.М., Шварц Я.М. измерение напряженности электростатического поля на третьем искусственном спутнике Земли.//Искусственные спутники Земли.- 1963.- вып. 17.-С.59.

97. Атабаев Б.Г. Коалесценция в островковых металлических пленках, стимулированная электронным облучением: Автореферат диссерт. на соискание ученой степени канд. физ.- мат. наук. М.: 1984. - 18 с.

98. Тюлиев Г.Т. Влияние электронного облучения на рост тонких металлизированных пленок: Автореферат диссерт. на соискание ученой степени канд. физ.- мат. наук. М.: 1982. - 16 с.214

99. Антонова JI.А., Иванов-Холодный Г.С. Измерение потоков мягких электронов в верхней атмосфере при помощи вторично-электронного умножителя. //Космические исследования.- 1965.- т.Ш, в.1.-С.82-89.

100. Белый И.М. Исследование структурных изменений и электрофизических свойств тонких слоев металлов, облученных большими потоками ионов: Автореферат диссерт. на соискание ученой степени канд. физ.- мат. наук. -Минск: 1980.- 19 с.

101. Белый И.М., Комаров Ф.Ф., Волин В.И., Янковский В.М. Электрические свойства резистивных пленок Та и Nb после облучения ионами и изохронного отжига.//Электронная техника, серия 3: "Микроэлектроника".-1979.- №5.-С.83-89.

102. Leonards К., Sahm P., Coriell S. Konvektion in Schmelzen unter varierenden Schwerkrafteinfluss von 0,001g bis lg.// Z.Metallik.-1997.- 88,№4.- P.291-300.

103. Технология электрической сварки металлов и сплавов плавлением./ Сборник под ред. Б.Е.Патона, М.: Машиностроение.- 1974.-С.768.

104. Балалыкин Н.И., Скрыпник A.B., Таперова Ф.А., Маринов М.В. Влияние ионной бомбардировки на структуру металлических пленок- Дубна, Объединенный институт ядерных исследований.- 1979. 6с.

105. Беляков И.Т., Борисов Ю.Д. Основы космической технологии. М.: Машиностроение.- 1980. - 185 с.

106. Schulz L.G., Growth of Alkali halides from the vapor an single Crystal substrates. //Acta Cryst. -1953.- 5.-P. 130-132.

107. Папиров И.И., Палатник Л.С. К вопросу об эпитаксии металлических и ионных кристаллов.//Кристаллография.- 1962.- т.7, вып.2.-С.286-290.

108. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции./ под ред. Поута Дж., Ту К., Мейера Дж. М.: Мир.-1982. - 576 с.

109. Слуцкая В.В. Тонкие пленки в технике СВЧ.-М.: Советское радио.-1967.-456с.

110. Bruns A.V., Grechko G.M., Gubarew A.A. et al. Acta astronaut. 1977, 4, №11/12,p. 1121.

111. Langbein D. Z. Возможности фундаментальных исследований по материаловедению, в особенности на поверхности раздела в условиях микрогравитации.// Flugwiss. und Weltraumforsch.- 1982.- 6, №2.-S.61-68.

112. M.S.Cohen, J.Appl.Phys., 32, 1961, p.87.

113. Космическое материаловедение и технология. -М.: Наука.- 1977.- 182 с.

114. Соединения переменного состава./ Под ред. Ормосина Б.Ф.- Л.: Химия,-1969. -519 с.

115. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Козьма Ф.Ф. Рентгенографическое исследование ориентированной микродеформации в конденсированных пленках пермоллоя и никеля.//ФММ,- 1965.- т. 19, вып.5,.-С.675-681.

116. НО.Бублик А.И. Фазовый переход при изменении толщины в тонких металлических пленках. // ДАН СССР.- 1952.- т.87, №2.-С.215-218.

117. Philip R. Variations des constantes optiques et de la structure d'une couche mince d'or avec sa vitesse de formation.//C.R.Acad.Sci.- i960.- t.250, №24,P. 39743977.

118. Philip R. Variations des propriétés optiques de conches minces d'or en fonetion de leur vitecce de formation.//J. Physique et Radium.- 1959.- V.20.-P.742-746.

119. Handbook of Chemistry and Physics / Ed.D.R.Lide 1995-1996, 76th edition.-CRS Press.,Boca reton, N-Y, London, Tokyo, 1995.

120. Миркин JI.И. Рентгеноструктурный анализ полукристаллов.-M.: Физматгиз.- 1962.

121. Хирш П., Хови А. Николсон Р. и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов.-М.: Мир.- 1968.- 574 с.

122. Абелес Ф. Оптические свойства металлических пленок./В кн.: Физика тонких пленок.-М.:1973.- т.б.-С. 171-227.216

123. Ageew N., Hansen M., Sachs G. Entmischung und Eigenschaftsanderungen ubersattiger Sibber-Kupferlegierungen.//Z. Phys.- 1930,60,350.

124. Пазухин В.А.,Фишер А.Я. Разделение и рафинирование металлов в вакууме. -М.: Металлургия, 1969.- 204 с.

125. Клайн С.Дж.- Подобие и приближенные методы.- М.: Мир,1988.- 431 с.

126. Фарлоу С. Уравнения с частными производными для научных работникови инженеров. -М.: Мир, 1985.- 452 с.