Разработка одностадийного процесса химического осаждения нанокомпозиционных покрытий в системе "дисульфид молибдена (вольфрама) – диоксид кремния" из газовой фазы тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.21, кандидат наук Тюриков Кирилл Сергеевич

• Тюриков Кирилл Сергеевич
• кандидат наук
• 2020

Оглавление диссертации кандидат наук Тюриков Кирилл Сергеевич

Введение

Глава 1 Литературный обзор

1.1 Нанокомпозиционные материалы и методы их получения

1.2 Применение нанокомпозиционных материалов в электронике и микросистемной технике

1.3 Методы формирования слоев диоксида кремния

1.4 Наноразмерные дисульфиды молибдена и вольфрама и методы их получения

1.5 Выводы из обзора литературы и постановка задач исследования

Глава 2 Описание использованных методов и оборудования

2.1 Исходные материалы и методики синтеза используемых реагентов

2.2 Технологическая аппаратура и методика синтеза наночастиц

2.3 Технологическая аппаратура и методика осаждения покрытий

2.4 Методы исследования реагентов, нанопорошков и нанокомпозиционных слоев

Глава 3 Результаты исследования процессов формирования наночастиц дисульфидов молибдена, вольфрама и их твердых растворов

3.1 Результаты исследования реагентов и их растворов

3.2 Результаты исследования процессов формирования наночастиц дисульфида молибдена, вольфрама и их твердых растворов

3.3 Результаты исследования процессов формирования наночастиц дисульфида вольфрама

3.4 Результаты исследования процессов формирования частиц твердых растворов дисульфидов

Глава 4 Результаты исследования влияния технологических параметров процесса плазмохимического осаждения из газовой фазы на характеристики пленок оксида кремния

4.1 Влияние температуры подложки на свойства и характеристики осаждаемых пленок

4.2 Влияние мощности, поглощаемой в разряде, на скорость осаждения и характеристики осаждаемых пленок

4.3 Влияние расхода газа-носителя реагента на свойства и характеристики осаждаемых пленок

Глава 5 Исследование процессов формирования нанокомпозиционных покрытий и их свойств

5.1 Исследование процессов формирования нанокомпозиционных покрытий

5.2 Исследование антифрикционных свойств нанокомпозиционных покрытий . 110 Заключение

Список литературы

120

ВВЕДЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка одностадийного процесса химического осаждения нанокомпозиционных покрытий в системе "дисульфид молибдена (вольфрама) – диоксид кремния" из газовой фазы»

Актуальность темы исследования

Одной из важных задач материаловедения является создание новых материалов с требуемыми для различных областей науки и техники свойствами. В связи с развитием современных нанотехнологий появилась возможность получения композиционных наноматериалов, которые благодаря уникальному комплексу свойств в последнее время привлекают пристальное внимание ученых и практиков.

Методы формирования покрытий из нанокомпозитов представляют особый интерес, так как во многих практически важных случаях требуется придать лишь особые свойства поверхности изделий, которое само может быть изготовлено из более дешевого материала. Очевидно, что процессы, проводимые при атмосферном давлении и позволяющие осаждать покрытия при относительно низких температурах, являются наиболее привлекательными как в связи с отсутствием необходимости использовать дорогостоящее вакуумное оборудование, так и с возможностью формировать слои на термически нестойких материалах.

Одной из актуальных проблем является разработка физико-химических основ технологии формирования покрытий из нанокомпозиционных материалов, которая будет обеспечивать получение нанодисперсных наполнителей (нанопорошков, нанотрубок и т.д.) и синтез нанокомпозита в едином технологическом процессе, осуществляемом в общем реакционном объеме. Очевидно, что такие процессы, которые к настоящему времени остаются практически не исследованными, могут быть жидкофазными и газо(плазмо)фазными, однако, имея в виду существенно более низкие скорости массопереноса в жидкой фазе, предпочтение следует отдать газофазным процессам.

Степень разработанности темы исследования

На настоящий момент имеется лишь несколько опубликованных работ, в которых описаны методы осаждения покрытий композиционных наноматериалов

в результате одновременной подачи в реакционную зону несколько реагентов, причем авторам удалось продемонстрировать лишь принципиальную возможность получения покрытий, состоящих из двух фаз. Полученные результаты указывают на большой разброс размеров образующих покрытие частиц (30-400 нм), что обуславливает неоднородность свойств материала и, в целом, неудовлетворительную воспроизводимость его свойств.

Цель работы состояла в экспериментальном доказательстве принципиальной возможности практической реализации процессов химического осаждения покрытий композиционных наноматериалов из газовой фазы, включающих синтез нанодисперсного наполнителя и формирование нанокомпозита, осуществляемые одновременно в разных зонах реактора, на примере формирования нанокомпозиционного покрытия в системе «наночастицы M0S2/WS2 (наполнитель) - SiO2 (матрица)» и установлении основных физико-химических закономерностей данных процессов.

Для достижения цели были поставлены и решены следующие задачи:

- исследование и разработка наиболее подходящего для синтеза в потоке газа метода получения наночастиц дисульфидов молибдена и вольфрама;

- разработка и создание экспериментальной установки для синтеза наночастиц дисульфидов молибдена и вольфрама;

- изучение основных закономерностей синтеза наночастиц дисульфидов молибдена и вольфрама, включая исследование влияния условий получения на состав, структуру и размерные характеристики получаемых наночастиц;

- разработка и создание экспериментальной установки для формирования нанокомпозиционных покрытий в системе "наночастицы M0S2/WS2 (наполнитель) - SiO2 (матрица)";

- исследование влияния условий осаждения на скорость роста и свойства слоев диоксида кремния;

- исследование физико-химических закономерностей процесса химического осаждения из газовой фазы нанокомпозиционных покрытий в

системе «наночастицы MoS2 (наполнитель) - SiO2 (матрица)» и изучение их строения, состава и их трибологических свойств.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Установлено влияние основных технологических параметров процессов аэрозольного химического осаждения наночастиц дисульфидов молибдена и вольфрама из газовой фазы, в которую вводился аэрозоль растворов в системе «(NH4)2MoS4/(NH4)2WS4-C3H7NO», на размерные характеристики и состав формируемых частиц и дано физико-химическое обоснование экспериментально обнаруженным закономерностям. Впервые в мире успешно применен метод аэрозольного химического осаждения из газовой фазы для синтеза в потоке газа сплошных наночастиц дисульфида вольфрама сферической формы со средним радиусом в диапазоне 50-100 нм, при использовании аэрозолей растворов тиовольфрамата аммония в диметилформамиде.

2. Определены структура и состав сплошных наночастиц твердых растворов MoxW(1-X)S2, впервые синтезированных методом аэрозольного химического осаждения в потоке газа. Показано, что соотношение «молибден/вольфрам» в составе получаемых наночастиц смешанных дисульфидов определяется соотношением концентраций реагентов в исходном растворе, а количество серы в частицах определяется температурой пиролиза.

3. На примере формирования нанокомпозиционных покрытий в системе «диоксид кремния (матрица) - наночастицы MoS2 (наполнитель)» впервые в мире осуществлен процесс плазмохимического осаждения из газовой фазы, обеспечивающий синтез наночастиц наполнителя и осаждение нанокомпозиционного слоя в едином технологическом процессе, осуществляемом в едином реакторе при атмосферном давлении.

4. Установлены физико-химические закономерности процесса осаждения, а также строение и состав нанокомпозиционных покрытий в системе «наночастицы MoS2 (наполнитель) - SiO2 (матрица)». Показано, что наночастицы в нанокомпозиционном слое имеют состав MoS2, распределены в слое

статистически и характеризуются средним размером и сферической формой такими же, как и в случае их осаждения на подложку без роста слоя оксида.

5. Исследованы антифрикционные свойства нанкомпозиционных слоев в системе «наночастицы MoS2 (наполнитель) - SiO2 (матрица)». Установлено, что внедрённые в матрицу оксида кремния наночастицы MoS2 улучшают антифрикционные свойства покрытия: сила трения для композиционного материала на 50% меньше, чем у материала матрицы - SiO2.

Теоретическая и практическая значимость работы состоит в следующем:

1. Физико-химические закономерности процессов аэрозольного химического осаждения из газовой фазы наночастиц дисульфида молибдена и вольфрама, а также их твердых растворов, являются основой для создания промышленных технологий получения наночастиц MoS2, WS2 и MoxW(1-X)S2, представляющих практический интерес как антифрикционые и каталитические материалы.

2. Результаты исследования характера влияния основных технологических параметров аэрозольного синтеза наночастиц MoS2, WS2 и MoxW(l-x)S2 на характеристики получаемых продуктов позволяют осуществить проектирование технологического оборудования для реализации промышленных технологий их получения.

3. Результаты испытаний созданной экспериментальной аппаратуры позволяют спроектировать и разработать технологическое оборудование, позволяющее осуществлять промышленный процесс плазмохимического осаждения нанокомпозиционных слоев в системе «диоксид кремния (матрица) -наночастицы дисульфид молибдена/вольфрама (наполнитель)».

4. Основные физико-химические закономерности плазмохимического процесса осаждения нанокомпозиционных слоев в системе «диоксид кремния (матрица) - наночастицы MoS2 (наполнитель)» представляют собой теоретическую основу для создания промышленной технологии формирования нанокомпозиционных покрытий в едином технологическом процессе, реализуемом в одной реакционной камере.

5. Результаты исследования антифрикционных свойств нанокомпозиционных покрытий в системе «диоксид кремния (матрица) -наночастицы MoS2 (наполнитель)» и синтезированных наночастиц MoS2, WS2 и MoxW(1-x)S2 позволяют оценить перспективность их применения в различных областях техники.

Методология и методы исследования

Объекты исследования - наночастицы дисульфидов молибдена и вольфрама, их твердые растворы, пленки диоксида кремния и нанокомпозиционные слои состава «дисульфид молибдена - диоксид кремния». Наночастицы были получены с использованием в качестве реагентов тиомолибдата и тиовольфрамата аммония, синтезированных лабораторно, пленки диоксида кремния были получены с использованием тетраэтоксисилана (ТЭОС), формирование осуществлялось в оригинальной экспериментальной установке. Инфракрасная Фурье-спектроскопия использовалась для исследования термической стабильности диметилформамида, тиомолибдата аммония и тиовольфрамата аммония, исследования раствора тиомолибдата и тиовольфрамата аммония в диметилформамиде, исследования образцов пленок диоксида кремния. Оценка толщины и показателя преломления формируемых пленок оксида кремния проводилась с применением эллипосометрического метода. Исследования геометрических характеристик наночастиц дисульфидов молибдена и вольфрама (оценка формы, измерение размера, оценка распределения по поверхности), образцов нанокомпозиционных покрытий проводились методом растровой электронной микроскопии. Для определения размеров формируемых объектов использовался программный пакет Digimizer. Для исследования структуры и фазового состава синтезированных порошков реагентов и синтезированных наночастиц дисульфидов применялся метод рентгеновского дифракционного анализа. Более детальное изучение строения и состава осаждаемых наночастиц и нанокомпозиционных покрытий проводилось методыми просвечивающей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния.

Вклад соискателя заключается в формулировке цели, определении задач исследования, проведении аналитического обзора литературы, проведении синтеза реагентов тиомолибдата и тиовольфрамата аммония, синтеза наночастиц дисульфидов, осаждения пленок диоксида кремния и нанокомпозиционных покрытий, планировании и проведении экспериментальных работ, анализе и обобщении результатов, формулировке выводов и подготовке публикаций.

Положения и результаты, выносимые на защиту

1. Результаты экспериментальных исследований процессов аэрозольного химического осаждения из газовой фазы сферических наночастиц дисульфидов молибдена и вольфрама, а также их твердых растворов в системе «(NH4)2MoS4/(NH4)2WS4 - C3H7NO» и полученные новые знания об их основных закономерностях, включая зависимости размерных характеристик, состава и строения получаемых частиц от технологических параметров процесса.

2. Результаты экспериментального исследования процесса плазмохимического осаждения в коронном разряде атмосферного давления слоев диоксида кремния с использованием тетраэтоксисилана (ТЭОС) в качестве реагента, позволившие установить характер влияния основных технологических параметров процесса на скорость роста слоя, его состав и некоторые свойства.

3. Экспериментальное подтверждение принципиальной возможности практической реализации процессов химического осаждения нанокомпозиционных покрытий из газовой фазы, в которых получение нанодисперсного наполнителя и синтез нанокомпозита осуществляется в едином реакторе, на примере формирования нанокомпозиционного покрытия в системе «наночастицы MoS2 (наполнитель)^Ю2 (матрица)», и полученные данные о строении, составе и структуре полученных слоев.

4. Результаты исследования антифрикционных свойств полученных нанокомпозиционных покрытий, свидетельствующие о значительном снижении коэффициента трения нанокомпозиционного покрытия в сравнении с чистым диоксидом кремния и о наличии оптимального соотношения состава

нанокомпозиционного покрытия «наполнитель - матрица», обладающего наименьшим коэффициентом трения.

Степень достоверности и апробация результатов

Достоверность полученных в работе результатов определяется использованием комплекса независимых современных сертифицированных методов физико-химического анализа, удовлетворительной воспроизводимостью полученных данных, сравнением и отсутствием противоречий собственных данных с данными, имеющимися в литературе, а также проведением статистического анализа полученных результатов.

Основные результаты диссертационной работы были представлены на российских и зарубежных конференциях: SIWAN 7, Szeged, Hungary, 2016; Шестая Всероссийская конференция по наноматериалам, Москва, 2016; EuroCVD & BalticALD 2017, Linkoping, Sweden; The International Summer School "Advanced Problems in Mechanics", 2017, Saint-Petersburg.

Результаты настоящей диссертационной работы получены в ходе выполнения научно-исследовательской работы «Формирование беспористых покрытий из нанокомпозиционных материалов типа «износостойкая матрица -наночастицы дисульфида молибдена (вольфрама)», обладающих низким коэффициентом трения, методом химического осаждения из газовой фазы», выполненной в рамках гранта РНФ №15-13-00045.

По материалам диссертационного исследования опубликовано 6 статей в научных журналах из перечня ВАК, индексируемых РИНЦ, Scopus и Web of Science, опубликованы 5 тезисов докладов.

Диссертация состоит из введения, 5 глав, заключения и списка литературы (121 наименование). Работа изложена на 132 страницах машинописного текста, содержит 59 рисунков и 23 таблицы.

ГЛАВА 1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР 1.1 Нанокомпозиционные материалы и методы их получения

Нанокомпозиты - это многофазные материалы, в которых одна или более фаз является наноразмерной, то есть ее размеры в одном, двух или трех измерениях не превышают 100 нм. В самом широком смысле это определение может включать в себя пористые среды, коллоиды, гели и сополимеры, но чаще используется для обозначения твердой комбинации объемной матрицы и наноразмерной фазы (фаз), отличающихся по структуре и химическим свойствам. Механические, электрические, термические, оптические, электрохимические, каталитические свойства нанокомпозита будут заметно отличаться от свойств отдельных компонентов. Предельные размеры компонентов для этих эффектов были предложены в [1]:

<5 нм для каталитической активности,

<50 нм для изменения показателя преломления,

<100 нм для суперпарамагных свойств, механического усиления или ограничения движения дислокаций матрицы.

Благодаря сочетанию физических и химических свойств, определяемых, в том числе, и наноразмерными эффектами, нанокомпозиционные материалы привлекают пристальное внимание исследователей [2-5]. Так, например, широко изучаются нанокомпозиты на основе полимерных матриц и различных минеральных наполнителей наподобие монтмориллонита, подробный обзор этих систем дан в [6]. Такие нанокомпозиты демонстрируют значительные улучшения свойств материалапо сравнению с отдельными полимерами или с обычными микро- и макрокомпозитными материалами. Они обладают повышенной упругостью на растяжение и изгиб, более низкой газопроницаемостью и воспламеняемостью, более высокой температурой термической деградации, повышенной скоростью разложения для биоразлагаемых полимеров и так далее. Нанокомпозиционные материалы, в которых углеродный наноразмерный наполнитель (нанотрубки [7], графен [8]) распределен в матрице, как полимерной

[9], так и неорганической [10], также представляют значительный интерес. Подобные нанокомпозиционные материалы предлагаются к использованию в широком спектре применений: радиопоглощающие материалы [11], адсорбенты [12], сенсорные материалы [13], катализаторы [14].

Структурно нанокомпозиты отличаются от обычных композиционных материалов исключительно высоким отношением площади поверхности к объему фазы наполнителя и/или высоким аспектным отношением. Наполнитель может состоять из частиц (например, минералов), листов (например, слоистые глины) или волокон (например, углеродных), а также быть по-разному распределенным в объеме композита (рисунок 1).

Рисунок 1 - Возможные формы наполнителей и их распределения в объеме

композита [15].

Распределение наполнителя в матрице может играть большую роль в определении свойств материала, так как механические и термические свойства тесно связаны с морфологией композита. Так, в [16] показано, как даже для нанокомпозиционного материала одного и того же состава, степень дисперсности наполнителя значительным образом влияет на просность композиционного материала. Различные степени распределения наполнителя в матрице на примере нанокомпозита «полимерная матрица - слоистые силикаты» показаны на рисунке 2.

Layered silicate Polymer

Phase separated Intercalated Exfoliated

(micro composite) (nanocomposite) (nanooomposiie)

Рисунок 2 - Степени распределения наполнителя в матрице.

В зависимости от степени распределения наночастиц, возможны три типа морфологии нанокомпозитов: микрокомпозиты, интеркалированные нанокомпозиты и расслоенные нанокомпозиты. Расслоенные нанокомпозиты имеют максимальную прочность благодаря максимальной площади поверхности контакта между матрицей и наполнителем. Это также является одним из основных отличий между нанокомпозитами и обычными композитами [17].

Наиболее широко используемые наполнители по составу можно разделить на несколько больших групп. Первая группа - углеродные наполнители, в первую очередь, это нанотрубки, одно- и многостеночные, которые применяются в нанокомпозитах различного состава и назначения [19]. Помимо нанотрубок широко распространено использование в качестве наполнителя графена, в том числе и в окисленной форме, распределение графена в объеме композита осуществляется в основном путем расслоения графита [20]. Вторая группа наполнителей - так называемые наноглины, неорганические слоистые материалы, в основном, силикаты или другие глинистые материалы [21]. Третья группа -пористые частицы, наподобие цеолитов или галлуазитов. За счет своей высокой пористости могут применяться как нанореакторы или катализаторы [22]. Четвертая большая группа это различные наночастицы металлических соединений.

В зависимости от состава, материалы матрицы нанокомпозитов можно разделить на две большие группы: органические (или, иначе, полимерные) и неорганические, которые, в свою очередь, подразделяются на металлические и керамические [18]. Металлические матрицы нанокомпозитов представляют собой металлы или сплавы, в которые далее имплантируется наноразмерный наполнитель. Керамические матрицы обычно состоят из различных оксидов, карбидов, нитридов, зачастую пористых, в которые внедряются наполнители. Полимерные матрицы могут состоять как из предварительно подготовленного полимерного реагента, так и получаемого непосредственно во время формирования компощзиционного материала полимеризацией мономеров.

В зависимости от состава матрицы, методы формирования нанокомпозитов, согласно [23, перевод] могут быть разделены на три соответствующие группы, которые представлены на рисунке 3.

Рисунок 3 - Классификация методов формирования нанокомпозиционных

материалов.

Не останавливаясь подробно на описании технологии каждого метода, приведенного на рисунке 3, стоит отметить, что в большинстве случаев формирование композитов происходит либо путем распределения предварительно подготовленного наполнителя тем или иным способом в объеме матрицы, либо

одновременного формирования материалов матрицы и наполнителя из разного рода смесей, например, высокоэнергетическое измельчение в шаровых мельницах. Помимо этого, многие методы имеют собственные технологические ограничения, например, необходимость проводить формирование нанокомпозита при пониженном давлении, как в случае PVD процессов, или же имеют ограничения в выборе компонентов композита, как например в случае in situ полимеризации.

Технологии получения нанокомпозиционных покрытий представляют особый интерес, так как во многих практических задачах лишь для поверхности изделий необходимо обеспечить особые свойства. Широко распространены нанокомпозиционные покрытия, увеличивающие твердость поверхности [24], например, для режущего инструмента. Помимо увеличения твердости поверхности, нанокомпозиционные покрытия могут применяться, чтобы увеличивать жесткость и прочность изделий, как, например, нанокомпозиты, имитирующие природный перламутр [25]. Также, нанокомпозитные покрытия могут быть использованы для изменения характера взаимодействия поверхности с окружающей средой - придания как гидрофобных [26], так и гидрофильных [27] свойств.

Для формирования нанокомпозиционных покрытий с требуемыми характеристиками весьма привлекательными являются процессы, осуществляемые при атмосферном давлении и относительно низких температурах. Благодаря этому отсутствует необходимость использовать вакуумное оборудование, значительно повышающее стоимость процесса, а также становится возможным формировать слои на термически нестойких материалах. В научной литературе предлагаются разные подходы к формированию нанокомпозиционных материалов при атмосферном давлении. Так, авторами работы [28] описано электрохимическое осаждение алмазоподобных пленок с наполнением частицами серы из смеси тиофурана и метанола при напряжении в электролитической ячейке 800 В. Скорость осаждения составила 100 нм/ч. Для формирования нанокомпозиционных материалов различного состава широко

применяется также золь-гель метод. Он обеспечивает равномерное распределение материала наполнителя в матрице и узкое распределение частиц наполнителя по размерам благодаря возможности управлять размером и количеством пор матрицы, заполняемых наполнителем. Нанокомпозиционные покрытия, получаемые золь-гель методом, используются в качестве газовых сенсоров [29], как гидрофобные [30] и антибактериальные покрытия [31]. Необходимо отметить, однако, что область применения описанных методов зачастую ограничена не слишком широким диапазоном применяемых реагентов и составов получаемых нанокомпозиционных покрытий.

Среди многих процессов формирования нанокомпозиционных покрытий можно выделить химическое осаждение из газовой фазы (chemical vapor deposition, CVD) с различными способами инициирования реакции. Данный метод позволяет не только формировать разнообразные по составу высококачественные слои, но также синтезировать наноматериалы с различной структурой и свойствами: наностержни, нановолокна, нанопорошки, нанотрубки [32]. Благодаря этому можно предположить возможность применения процессов химического осаждения из газовой фазы для формирования нанокомпозиционных материалов в едином технологическом процессе, возможно, объединив формирование материала матрицы и материала наполнителя. В этом случае не потребуется предварительная подготовка компонентов нанокомпозита, а лишь подбор реагентов для формирования покрытий требуемого состава.

К настоящему времени в научной литературе имеются опубликованные работы, посвященных осаждению нанокомпозиционных покрытий с помощью CVD технологий [33-36], причем наиболее активное внимание исследованию этих процессов уделяется в последние десятилетия. Некоторые способы формирования покрытий основаны на сочетании физических методов распыления мишеней (physical vapor deposition, PVD) для получения наночастиц с использованием химического осаждения (CVD) для нанесения пленок, являющихся материалом матрицы [34]. При использовании такого подхода требуется проводить осаждение при одинаковом давлении в PVD и CVD реакторах, что значительно усложняет

технологическое оборудование, так как для осуществления РУО процессов необходимы более низкие давления по сравнению с обычными СУО процессами. Формирование нанокомпозиционных слоев химическим осаждением из газовой фазы может проводиться при одновременном введении в реакционный объем реагентов, участвующих в синтезе компонентов композиционного материала [35], или при использовании реагентов сложного химического состава [36, 37]. Основной недостататок таких подходов - серьезные ограничения в возможности управления составом синтезируемых нанокомпозитов в широких пределах. В [38, 39] показан перспективный способ формирования нанокомпозиционных покрытий с использованием СУО технологий: предварительно синтезированные наночастицы наполнителя вводятся в реакционный объем вместе с реагентами, участвующими в формировании слоя матрицы. Несмотря на усложнения технологического характера, вызванные необходимостью хранения и транспортировки наночастиц, авторами получены нанокомпозиционные покрытия, состоящие из силоксановой матрицы и углеродных наночастиц наполнителя, а также покрытия состава «силоксан-ароматическая смола» [38] и пленок, состоящих из стеклообразной матрицы Б1хОу, с наночастицами политетрафторэтилена (ПТФЭ), распределенными в ней [39].

Среди исследований, посвященных получению нанокомпозиционных материалов с помощью СУО технологий, следует особо выделить процессы формирования композитов в едином технологическом процессе. Подобный подход позволяет формировать конечный продукт без промежуточных стадий, усложняющих и удорожающих производство.

Например, авторами [40] получен композиционный материал на основе железа и углерода. Пары карбонила железа Бе(СО)5 пиролизуются в потоке аргона при 523 К, образуя железные нановолокна. Затем в реакционный объем при температуре 673 К подаются пары этилового спирта, который за счет каталитической активности железа разлагается с формированием на волокнах углерода. Данный подход не позволяет независимо получать компоненты композиционного материала, а требует их двухступенчатого последовательного

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Тюриков Кирилл Сергеевич, 2020 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Kamigaito, O. What can be improved by nanometer composites? / O. Kamigaito // Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy. -1991. - V. 38. - №. 3. - P. 315-321.

2. Reddy, B.S.R. Advances in Nanocomposites: Synthesis, Characterization and Industrial Applications. - BoD-Books on Demand, Germany, 2011. - 982 p..

3. Milionis, A. Liquid repellent nanocomposites obtained from one-step water-based spray / A. Milionis, K. Dang, et al. // Journal of Materials Chemistry A. - 2015. -V. 3. - №. 24. - P. 12880-12889.

4. Liu, Y. Polymer/carbon nanotube nano composite fibers-a review / Y. Liu, S. Kumar // ACS applied materials & interfaces. - 2014. - V. 6. - №. 9. - P. 6069-6087.

5. Zhang, S. Recent advances of superhard nanocomposite coatings: a review / S. Zhang, D. Sun, et al. // Surface and Coatings Technology. - 2003. - V. 167. - №. 23. - P. 113-119.

6. Ray, S.S. Polymer/layered silicate nanocomposites: a review from preparation to processing / S.S. Ray, M. Okamoto // Progress in polymer science. - 2003. - V. 28. -№. 11. - P. 1539-1641.

7. Bhattacharyya, A. Graphene reinforced ultra high molecular weight polyethylene with improved tensile strength and creep resistance properties / A. Bhattacharyya, S. Chen, M. Zhu // Express Polymer Letters. - 2014. - V. 8. - №. 2.

- P. 74-84.

8. Young, R.J. The mechanics of graphene nanocomposites: a review / R.J. Young, I.A. Kinloch, et al. // Composites Science and Technology. - 2012. - V. 72.

- №. 12. - P. 1459-1476.

9. Mittal, G. A review on carbon nanotubes and graphene as fillers in reinforced polymer nanocomposites / Mittal G. V. Dhand, et al. // Journal of Industrial and Engineering Chemistry. - 2015. - V. 21. - P. 11-25.

10. Zhu, M. Review on the progress in synthesis and application of magnetic carbon nanocomposites / M. Zhu, G. Diao // Nanoscale. - 2011. - V. 3. - №. 7. -P. 2748-2767.

11. Che, R.C. Fabrication and microwave absorption of carbon nanotubes/CoFe2O4 spinel nanocomposite / R.C. Che, C.Zhi, et al. // Applied Physics Letters. - 2006. - V. 88. - №. 3. - P. 033105.

12. Gong, J.L. Removal of cationic dyes from aqueous solution using magnetic multi-wall carbon nanotube nanocomposite as adsorbent / J.L. Gong, B. Wang, et al. // Journal of hazardous materials. - 2009. - V. 164. - №. 2-3. - P. 1517-1522.

13. An, K.H. Enhanced sensitivity of a gas sensor incorporating single-walled carbon nanotube-polypyrrole nanocomposites / K.H. An, S.Y. Jeong, et al. // Advanced Materials. - 2004. - V. 16. - №. 12. - P. 1005-1009.

14. Van de Vyver, S. Sulfonated silica/carbon nanocomposites as novel catalysts for hydrolysis of cellulose to glucose / S. Van de Vyver, L. Peng, et al. // Green Chemistry. - 2010. - V. 12. - №. 9. - P. 1560-1563.

15. Dai, X. Entropic Effects in Polymer Nanocomposites / X. Dai, C. Hou, et al. // Entropy. - 2019. - V. 21. - №. 2. - Ariele №. 186. - P. 1-18.

16. Alexandre, M. Polymer-layered silicate nanocomposites: preparation, properties and uses of a new class of materials / M. Alexandre, P. Dubois // Materials Science and Engineering: R: Reports. - 2000. - V. 28. - №. 1-2. - P. 1-63.

17. Sati, N. Polymeric nanocomposites theory and practice / N. Sati, M.R.K. Bhattacharya, R.K. Gupta. - Hanser, Munich, Germany, 2008. - 390 p..

18. Asiri, A.M. Applications of Nanocomposite Materials in Dentistry / A.M. Asiri, A. Mohammad. - Woodhead Publishing, UK, 2018. - 364 p..

19. Monemian, S. MWNT-filled PC/ABS blends: Correlation of morphology with rheological and electrical response / S. Monemian, S.H. Jafari, et al. // Journal of Applied Polymer Science. - 2013. - V. 130. - №. 2. - P. 739-748.

20. Mukhopadhyay, P. Graphite, Graphene, and their polymer nanocomposites / P. Mukhopadhyay, R.K. Gupta. - CRC press, USA, 2012. - 631 p..

21. Kotal, M. Polymer nanocomposites from modified clays: Recent advances and challenges / M. Kotal, A.K. Bhowmick // Progress in Polymer Science. - 2015. -V. 51. - P. 127-187.

22. Pasbakhsh, P. Characterisation of properties of various halloysites relevant to their use as nanotubes and microfibre fillers / P. Pasbakhsh, G.J. Churchman, J.L. Keeling // Applied Clay Science. - 2013. - V. 74. - P. 47-57.

23. Rane, A.V. Methods for Synthesis of Nanoparticles and Fabrication of Nanocomposites / A.V. Rane, K. Kanny, et al. // Synthesis of Inorganic Nanomaterials.

- Woodhead Publishing, UK, 2018. - P. 121-139 .

24. Musil, J. Hard and superhard nanocomposite coatings / J. Musil // Surface and coatings technology. - 2000. - V. 125. - №. 1-3. - P. 322-330.

25. Sellinger, A. Continuous self-assembly of organic-inorganic nanocomposite coatings that mimic nacre / A. Sellinger, P.M. Weiss, et al. // Nature. - 1998. - V. 394.

- №. 6690. - P. 256-260.

26. Steele, A. Inherently superoleophobic nanocomposite coatings by spray atomization / A. Steele, I. Bayer, E. Loth // Nano letters. - 2008. - V. 9. - №. 1. -P. 501-505.

27. Wang, X. High flux filtration medium based on nanofibrous substrate with hydrophilic nanocomposite coating / X. Wang, X. Chen, et al. // Environmental science & technology. - 2005. - V. 39. - №. 19. - P. 7684-7691.

28. Wan, S. Electrochemical deposition of sulfur doped DLC nanocomposite film at atmospheric pressure / S. Wan, L. Wang, Q. Xue // Electrochemistry Communications. - 2010. - V. 12. - №. 1. - P. 61-65.

29. Martucci, A. NiO-SiO2 sol-gel nanocomposite films for optical gas sensor / A. Martucci, N. Bassiri, et al. // Journal of sol-gel science and technology. - 2003. -V. 26. - №. 1-3. - P. 993-996.

30. Lakshmi, R.V. Fabrication of superhydrophobic and oleophobic sol-gel nanocomposite coating / R.V. Lakshmi, T. Bharathidasan, et al. // Surface and Coatings Technology. - 2012. - V. 206. - №. 19-20. - P. 3888-3894.

31. Zhang, H. Potent antibacterial activities of Ag/TiO2 nanocomposite powders synthesized by a one-pot sol - gel method / H. Zhang, G. Chen // Environmental science & technology. - 2009. - V. 43. - №. 8. - P. 2905-2910.

32. Kruis, F.E. Synthesis of nanoparticles in the gas phase for electronic, optical and magnetic applications—a review / F.E. Kruis, H. Fissan, A. Peled // Journal of Aerosol Science. - 1998. - V. 29. - №. 5-6. - P. 511-535.

33. Barreca, D. First example of ZnO-TiO2 nanocomposites by chemical vapor deposition: structure, morphology, composition, and gas sensing performances / D. Barreca, E. Comini, et al. // Chemistry of Materials. - 2007. - V. 19. - №. 23. -P. 5642-5649.

34. Simon, Q. Plasma-assisted synthesis of Ag/ZnO nanocomposites: First example of photo-induced H2 production and sensing / Q. Simon, D. Barreca, et al. // International Journal of Hydrogen Energy. - 2011. - V. 36. - №. 24. - P. 15527-15537.

35. Mungkalasiri, J. CVD Elaboration of Nanostructured TiO2-Ag Thin Films with Efficient Antibacterial Properties / J. Mungkalasiri, L. Bedel, et al. // Chemical Vapor Deposition. - 2010. - V. 16. - №. 1-3. - P. 35-41.

36. Cao, Y. One-step chemical vapor synthesis of Ni/graphene nanocomposites with excellent electromagnetic and electrocatalytic properties / Y. Cao, S.Qingmei, et al. // Synthetic Metals. - 2012. - V. 162. - №. 11-12. - P. 968-973.

37. Shelemin, A. Nitrogen-doped TiO2 nanoparticles and their composites with plasma polymer as deposited by atmospheric pressure DBD / A. Shelemin, A. Choukourov, et al. // Plasma Processes and Polymers. - 2014. - V. 11. - №. 9. -P. 864-877.

38. Zuber, K. Mesoporous Siloxane Films Through Thermal Oxidation of Siloxane-Carbon Nanocomposites / K. Zuber, D.R. Evans, et al. // Advanced Engineering Materials. - 2015. - V. 17. - №. 11. - P. 1547-1555.

39. Zuber, K. One-Step Fabrication of Nanocomposite Thin Films of PTFE in SiOx for Repelling Water / K. Zuber, P. Murphy, D. Evans // Advanced Engineering Materials. - 2015. - V. 17. - №. 4. - P. 474-482.

40. Terada, M. Electromagnetic wave absorption properties of Fe3C/carbon nanocomposites prepared by a CVD method / M. Terada, M. Itoh, et al. // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2009. - V. 321. - №. 9. - P. 1209-1213.

41. Strauss, H.W. In situ tribology of nanocomposite Ti-Si-C-H coatings prepared by PE-CVD / H.W. Strauss, R.R. Chromik, et al. // Wear. - 2011. - V. 272. -№. 1. - P. 133-148.

42. Perez-Mariano, J. TiSiN nanocomposite coatings by chemical vapor deposition in a fluidized bed reactor at atmospheric pressure (AP/FBR-CVD) / J. Perez-Mariano, K.H. Lau, et al. // Surface and Coatings Technology. - 2006. - V. 201. - №. 6. - P. 2217-2225.

43. Cao, Y. One-step chemical vapor synthesis of Ni/graphene nanocomposites with excellent electromagnetic and electrocatalytic properties / Y. Cao, Q. Su, et al. // Synthetic Metals. - 2012. - V. 162. - №. 11-12. - P. 968-973.

44. Veith, M. Single-step preparation of oxide - oxide nanocomposites: Chemical vapor synthesis of LnAlO3/AbO3 (Ln = Pr, Nd) thin films / M. Veith, S. Mathur, et al. // Chemistry of materials. - 2001. - V. 13. - №. 11. - P. 4041-4052.

45. Marchand, P. Aerosol-assisted delivery of precursors for chemical vapour deposition: expanding the scope of CVD for materials fabrication / P. Marchand, I.A. Hassan, et al. // Dalton Transactions. - 2013. - V. 42. - №. 26. - P. 9406-9422.

46. Colvin, V.L. Light-emitting diodes made from cadmium selenide nanocrystals and a semiconducting polymer / V.L. Colvin, V.L. Schlamp, A.P. Alivisatos // Nature. -1994. - V. 370. - №. 6488. - P. 354-357.

47. Greenham, N.C. Charge separation and transport in conjugated-polymer / semiconductor-nanocrystal composites studied by photoluminescence quenching and photoconductivity / N.C. Greenham, X. Peng, A.P. Alivisatos // Physical review B. -1996. - V. 54. - №. 24. - P. 17628-17637.

48. Godovski, D.Y. Sensor properties of filled polymer composites / D.Y. Godovski, E.A. Koltypin, et al. // Analyst. - 1993. - V. 118. - №. 8. - P. 997-999.

49. Godovsky, D.Y. Magnetic properties of polyvinyl alcohol-based composites containing iron oxide nanoparticles / D.Y. Godovsky, A.V. Varfolomeev, et al. // Advanced Materials for Optics and Electronics. - 1999. - V. 9. - №. 3. - P. 87-93.

50. Dorfman, V.F. Diamond-like nanocomposites (DLN) / V.F. Dorfman // Thin Solid Films. - 1992. - V. 212. - №. 1-2. - P. 267-273.

51. Wang, W. Friction and wear properties in MEMS / W. Wang, Y. Wang, et al. // Sensors and Actuators A: Physical. - 2002. - V. 97. - P. 486-491.

52. Jiguet, S. SU-8 nanocomposite coatings with improved tribological performance for MEMS / S. Jiguet, M. Judelewicz, et al. // Surface and Coatings Technology. - 2006. - V. 201. - №. 6. - P. 2289-2295.

53. Kukielka, S. Composition, mechanical properties and friction behavior of nickel/hydrogenated amorphous carbon composite films / S. Kukielka, W. Gulbinski, et al. // Surface and Coatings Technology. - 2006. - V. 200. - №. 22-23. - P. 6258-6262.

54. Leterrier, Y. Adhesion of silicon oxide layers on poly (ethylene terephthalate). I: Effect of substrate properties on coating's fragmentation process / Y. Leterrier, L. Boogh, et al. // Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics. -1997. - V. 35. - №. 9. - P. 1449-1461.

55. Lansdown, A.R. Molybdenum disulphide lubrication / A.R. Lansdown. -Elsevier, 1999. - V. 35. - 379 p..

56. Tien, P.K. Thin organosilicon films for integrated optics / P.K. Tien, G. Smolinsky, R.J. Martin // Applied Optics. - 1972. - V. 11. - №. 3. - P. 637-642.

57. Yamamoto, M. Plasma polymerized membranes and gas permeability. I / M. Yamamoto, J. Sakata, M. Hirai // Journal of applied polymer science. - 1984. -V. 29. - №. 10. - P. 2981-2987.

58. Ellahioui, Y. A short overview on the biomedical applications of silica, alumina and calcium phosphate-based nanostructured materials / Y. Ellahioui, S. Prashar, S. Gomez-Ruiz // Current medicinal chemistry. - 2016. - V. 23. - №. 39. -P. 4450-4467.

59. Revesz, A.G. Kinetics and mechanism of thermal oxidation of silicon with special emphasis on impurity effects / A.G. Revesz, R.J. Evans // Journal of Physics and Chemistry of Solids. - 1969. - V. 30. - №. 3. - P. 551-564.

60. Deal, B.E. General relationship for the thermal oxidation of silicon / B.E. Deal, A.S. Grove // Journal of Applied Physics. - 1965. - V. 36. - №. 12. -P. 3770-3778.

61. Revesz, A.G. Noncrystalline Structure and Electronic Conduction of Silicon Dioxide Films / A.G. Revesz // Physica Status Solidi: B. - 1967. - V. 24. - №. 1. -P. 115-126.

62. Ligenza, J.R. Silicon oxidation in an oxygen plasma excited by microwaves / J.R. Ligenza // Journal of Applied Physics. - 1965. - V. 36. - №. 9. - P. 2703-2707.

63. Chen, F. Growth of nanoporous silicon dioxide thin films using porous alumina substrates / F. Chen, A.H. Kitai // Thin Solid Films. - 2008. - V. 517. - №. 2. -P. 622-625.

64. Babayan, S.E. Deposition of silicon dioxide films with an atmospheric-pressure plasma jet / S.E. Babayan, J.Y. Jeong, et al. // Plasma Sources Science and Technology. - 1998. - V. 7. - №. 3. - P. 286-288.

65. Fujino, K. Silicon dioxide deposition by atmospheric pressure and low-temperature CVD using TEOS and ozone / K. Fujino, Y. Nishimoto, et al. // Journal of The Electrochemical Society. - 1990. - V. 137. - №. 9. - P. 2883-2887.

66. Kim, E.J. Low pressure chemical vapor deposition of silicon dioxide films by thermal decomposition of tetra-alkoxysilanes / E.J. Kim, W.N. Gill // Journal of The Electrochemical Society. - 1995. - V. 142. - №. 2. - P. 676-682.

67. Maruyama, T. Silicon dioxide thin films prepared by photochemical vapor deposition from silicon tetraacetate / T. Maruyama, T. Tago // Thin Solid Films. - 1993. - V. 232. - №. 2. - P. 201-203.

68. Lucovsky, G. Deposition of silicon dioxide and silicon nitride by remote plasma enhanced chemical vapor deposition / G. Lucovsky, P.D. Richard, et al. // Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. - 1986. -V. 4. - №. 3. - P. 681-688.

69. Alexandrov, S.E. Remote AP-PECVD of Silicon Dioxide Films from Hexamethyldisiloxane (HMDSO) / S.E. Alexandrov, N. McSporran, M.L. Hitchman // Chemical Vapor Deposition. - 2005. - V. 11. - №. 11-12. - P. 481-490.

70. Emesh, I.T. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Dioxide Using Tetraethylorthosilicate (TEOS) / I.T. Emesh, G. D'Asti, et al. // Journal of The Electrochemical Society. - 1989. - V. 136. - №. 11. - P. 3404-3408.

71. Maruyama, T. Silicon dioxide thin films prepared by chemical vapor deposition from silicon tetraacetate / T. Maruyama, J. Shionoya // Japanese Journal of Applied Physics. - 1989. - V. 28. - №. 12A. - P. L2253-L2254.

72. Piao, J. Fabrication of silicon oxide thin films by mist chemical vapor deposition method from polysilazane and ozone as sources / J. Piao, S. Katori, et al. // Japanese Journal of Applied Physics. - 2012. - V. 51. - №. 9R. - Article № 090201. -P. 1-3.

73. Gherardi, N. New approach to SiO2 deposit using a N2-SiH4-N2O glow dielectric barrier-controlled discharge at atmospheric pressure / N. Gherardi, S. Martin, F. Massines // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2000. - V. 33. - №. 19. -P. L104-L108.

74. Pereyra, I. High quality low temperature DPECVD silicon dioxide / I. Pereyra, M.I. Alayo // Journal of Non-Crystalline Solids. - 1997. - V. 212. - №. 2-3. - P. 225-231.

75. Kern, W. Low-pressure chemical vapor deposition for very large-scale integration processing — a review / W. Kern, G.L. Schnable // IEEE Transactions on Electron Devices. - 1979. - V. 26. - №. 4. - P. 647-657.

76. Schutze, A. The atmospheric-pressure plasma jet: a review and comparison to other plasma sources / A. Schutze, J.Y. Jeong, et al. // IEEE transactions on plasma science. - 1998. - V. 26. - №. 6. - P. 1685-1694.

77. Rosler R. S. Low pressure CVD production processor for poly, nitride, and oxide / R.S. Rosler // Solid State Technology. - 1977. - P. 63-70.

78. Salge, J. Plasma-assisted deposition at atmospheric pressure / J. Salge // Surface and Coatings Technology. - 1996. - V. 80. - №. 1-2. - P. 1-7.

79. Chen, J. Electron density and energy distributions in the positive DC corona: interpretation for corona-enhanced chemical reactions / J. Chen, J.H. Davidson // Plasma Chemistry and Plasma Processing. - 2002. - V. 22. - №. 2. - P. 199-224.

80. Stark, R.H. Direct current glow discharges in atmospheric air / R.H. Stark, K.H. Schoenbach // Applied Physics Letters. - 1999. - V. 74. - №. 25. - P. 3770-3772.

81. Pfuch, A. Deposition of SiOx thin films by microwave induced plasma CVD at atmospheric pressure / A. Pfuch, R. Cihar // Surface and Coatings Technology. -2004. - V. 183. - №. 2-3. - P. 134-140.

82. Anghel, S.D. Generation of a low-power capacitively coupled plasma at atmospheric pressure / S.D. Anghel // IEEE transactions on plasma science. - 2002. -V. 30. - №. 2. - P. 660-664.

83. Winer, W.O. Molybdenum disulfide as a lubricant: a review of the fundamental knowledge / W.O. Winer // Wear. - 1967. - V. 10. - №. 6. - P. 422-452.

84. Schutte, W.J. Crystal structures of tungsten disulfide and diselenide / W.J. Schutte, J.L. De Boer, F. Jellinek // Journal of Solid State Chemistry. - 1987. -V. 70. - №. 2. - P. 207-209.

85. Zhang, S. Aerospace materials handbook / S. Zhang, D. Zhao. - CrC Press, USA, 2016. - 781 p..

86. Bakunin, V.N. Recent achievements in the synthesis and application of inorganic nanoparticles as lubricant components / V.N. Bakunin, A.Y. Suslov, et al. // Lubrication Science. - 2005. - V. 17. - №. 2. - P. 127-145.

87. Aleksandrov, S.E. Synthesis of molybdenum disulfide particles by aerosolassisted chemical vapor deposition / S.E. Aleksandrov, K.D. Filatov, K.S. Tyurikov // Russian journal of applied chemistry. - 2016. - V. 89. - №. 5. - P. 714-718.

88. Hsu, W.K. An alternative route to molybdenum disulfide nanotubes / W.K. Hsu, B.H. Chang, et al. // Journal of the American Chemical Society. - 2000. -V. 122. - №. 41. - P. 10155-10158.

89. Huang, K.J. Hydrothermal synthesis of molybdenum disulfide nanosheets as supercapacitors electrode material / K.J. Huang, J.Z. Zhang, et al. // Electrochimica Acta. - 2014. - V. 132. - P. 397-403.

90. Li, Q. Molybdenum disulfide nanowires and nanoribbons by electrochemical / chemical synthesis / Q. Li, E.C. Walter, et al. // The Journal of Physical Chemistry B. - 2005. - V. 109. - №. 8. - P. 3169-3182.

91. Lee, W.Y. Preparation of MoS 2 thin films by chemical vapor deposition / W.Y. Lee, T.M. Besmann, M.W. Stott // Journal of materials research. - 1994. - V. 9. -№. 6. - P. 1474-1483.

92. Zak, A. Growth mechanism of MoS2 fullerene-like nanoparticles by gasphase synthesis / A. Zak, Y. Feldman, et al. // Journal of the American Chemical Society. - 2000. - V. 122. - №. 45. - P. 11108-11116.

93. Van Zomeren, A.A. Chemical vapor deposition of thin films of mixed conductors / A.A. Van Zomeren, J.H. Koegler, et al. // Solid state ionics. - 1992. -P. 521-525.

94. Brown, S. Bulk vs nanoscale WS2: finite size effects and solid-state lubrication / S. Brown, J.L. Musfeldt, et al. // Nano letters. - 2007. - V. 7. - №. 8. -P. 2365-2369.

95. Chang, L. Synthesis and thermal stability of W/WS2 inorganic fullerene-like nanoparticles with core-shell structure / L. Chang, H. Yang, et al. // Materials research bulletin. - 2006. - V. 41. - №. 7. - P. 1242-1248.

96. Yang, H. Synthesis of inorganic fullerene-like WS2 nanoparticles and their lubricating performance / H. Yang, S. Liu, et al. // Nanotechnology. - 2006. - V. 17. -№. 5. - P. 1512-1519.

97. Ratoi, M. Mechanism of action of WS2 lubricant nanoadditives in high-pressure contacts / M. Ratoi, V.B. Niste, et al. // Tribology Letters. - 2013. - V. 52. -№. 1. - P. 81-91.

98. Muzakkir, S.M. A magnetorheological fluid based design of variable valve timing system for internal combustion engine using axiomatic design / S.M. Muzakkir, H. Hirani // International Journal of Current Engineering Research. - 2015. - V. 5. -№. 2. - P. 603-612.

99. Lee, D.W. Synthesis and characterization of WS2 nanoparticles by chemical vapor condensation / D.W. Lee, O.V. Tolochko, et al. // Nanoscience and Nanotechnology. - 2009. - V. 9. - P. 1-6.

100. Zak, A. Scaling up of the WS2 nanotubes synthesis / A. Zak, L. Sallacan-Ecker, et al. // Fullerenes, Nanotubes, and Carbon Nanostructures. - 2010. - V. 19. -№. 1-2. - P. 18-26.

101. Scharf, T.W. Atomic layer deposition of tungsten disulphide solid lubricant thin films / T.W. Scharf, S.V. Prasad, et al. // Journal of materials research. - 2004. -V. 19. - №. 12. - P. 3443-3446.

102. Afanasiev, P. Synthetic approaches to the molybdenum sulfide materials / P. Afanasiev // Comptes Rendus Chimie. - 2008. - V. 11. - №. 1-2. - P. 159-182.

103. Aleksandrov S.E., Filatov K.D., Tyurikov K.S. Synthesis of molybdenum disulfide particles by aerosol-assisted chemical vapor deposition // Russian Journal of Applied Chemistry. - 2016. - T. 89. - № 5. - C. 714-718.

104. Prasad, T.P. Thermal decomposition of (NH4)2MoÜ2S2, (NH4)2MoS4, (NH4)2WO2S2 and (NH4)2WS4 / T.P. Prasad, E. Diemann, A. Müller // Journal of Inorganic and Nuclear Chemistry. - 1973. - V. 35. - №. 6. - P. 1895-1904.

105. Hunyadi, D. Thermal decomposition of ammonium tetrathiotungstate / D. Hunyadi, A.L.V.M. Ramos, I.M. Szilagyi // Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. - 2015. - V. 120. - №. 1. - P. 209-215.

106. Aleksandrov S.E. Effect of aerosol chemical vapor deposition on characteristics of MoS2 particles / S.E. Aleksandrov, K.D. Filatov, A.B. Speshilova, K.S. Tyurikov, V.D. Andreeva // Russian Journal of Applied Chemistry. - 2016. - T. 89. - № 10. - C. 1596-1600.

107. Skrabalak, S.E. Porous MoS2 synthesized by ultrasonic spray pyrolysis / S.E. Skrabalak, K.S. Suslick // Journal of the American Chemical Society. - 2005. -V. 127. - №. 28. - P. 9990-9991.

108. Yao, S. Synthesis of hierarchical structured porous MoS2/SiO2 microspheres by ultrasonic spray pyrolysis / S. Yao, C. Song, et al. // The Canadian Journal of Chemical Engineering. - 2012. - V. 90. - №. 2. - P. 330-335.

109. Bastide, S. WS2 closed nanoboxes synthesized by spray pyrolysis / S. Bastide, D. Duphil, et al. // Advanced Materials. - 2006. - V. 18. - №. 1. - P. 106109.

110. McDonald, J.W. Syntheses and characterization of ammonium and tetraalkylammonium thiomolybdates and thiotungstates / J.W. McDonald, G.D. Friesen, et al. // Inorganica Chimica Acta. - 1983. - V. 72. - P. 205-210.

111. Shundalau, M.B. Modeling of structures and calculation of IR vibrational spectra of N, N-dimethylformamide dimers by density functional theory / M.B. Shundalau, P.S. Chybirai, et al. // Journal of Applied Spectroscopy. - 2011. -V. 78. - №. 3. - P. 326-336.

112. Alexandrov S.E. Control over structural-dimensional characteristics of tungsten disulfide particles in aerosol-assisted chemical vapor deposition / S.E. Alexandrov, K.D. Filatov, A.B. Speshilova, K.S. Tyurikov, V.D. Andreeva, D.A. Kirilenko // Russian Journal of Applied Chemistry. - 2016. - T. 89. - № 12. - C. 19481954

113. Maury, F. TiOxNy coatings grown by atmospheric pressure metal organic chemical vapor deposition / F. Maury, F.D. Duminica // Surface and Coatings Technology. - 2010. - V. 205. - №. 5. - P. 1287-1293.

114. Alexandrov, S.E. Chemical Vapor Deposition Enhanced by Atmospheric Pressure Non-thermal Non-equilibrium Plasmas / S.E. Alexandrov, M.L. Hitchman // Chemical Vapor Deposition. - 2005. - V. 11. - №. 11-12. - P. 457-468.

115. Alexandrov S.E. Low-temperature atmospheric pressure plasma-enhanced cvd of nanocomposite coatings "molybdenum disulfide (filler)-silicon oxide (matrix)" / S.E. Alexandrov, K.S. Tyurikov, D.A. Kirilenko, A.V. Redkov, A.A. Lipovskii // Advanced Materials Interfaces. - 2017. - T. 4. - № 18. - C. 1700241.

116. Temple, P.A. Multiphonon Raman spectrum of silicon / P.A. Temple, C.E. Hathaway // Physical Review B. - 1973. - V. 7. - №. 8. - P. 3685.

117. Lafuente B. The power of databases: the RRUFF project. / B. Lafuente, R.T. Downs, H. Yang, N. Stone // Highlights in Mineralogical Crystallography / eds. T. Armbruster, R.M. Danisi. - Berlin, Germany. - 2015. - P. 1-30.

118. Rubio, F. A FT-IR study of the hydrolysis of tetraethylorthosilicate (TEOS) / F. Rubio, J. Rubio, J.L. Oteo // Spectroscopy Letters. - 1998. - V. 31. - №. 1. - P. 199219.

119. Alexandrov S.E. Low-Temperature Plasma-Chemical Deposition of Nanocomposite Antifriction Molybdenum Disulfide (Filler)-Silicon Oxide (Matrix) Coatings / S.E. Alexandrov, K.S. Tyurikov, A.D. Breki // Russian Journal of Applied Chemistry. - 2017. - T. 90. - №. 11. - C. 1753-1759.

120. Breki A. D. Antifriction Properties of Plasma-Chemical Coatings Based on SiO2 with MoS2 Nanoparticles under Conditions of Spinning Friction on ShKh15 Steel / A.D. Breki, S.E. Aleksandrov, K.S. Tyurikov, A.G. Kolmakov, A.E. Gvozdev, A.A. Kalinin // Inorganic Materials: Applied Research. - 2018. - T. 9.- №. 4. - C. 714-718.

121. Gunda, R.K. Tribological studies to analyze the effect of solid lubricant particle size on friction and wear behaviour of Ti-6Al-4V alloy / R.K. Gunda, S.K.R. Narala // Surface and Coatings Technology. - 2016. - V. 308. - P. 203-212.