Разработка масс-спектрометра МТИ-350ГС для технологического контроля сублиматного производства гексафторида урана тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Швецов, Сергей Иванович

• Швецов, Сергей Иванович
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Швецов, Сергей Иванович

ПРИНЯТЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ И СОКРАЩЕНИЯ.

ВВЕДЕНИЕ.

1 РАЗРАБОТКА КОНЦЕПЦИИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА.

1.1 Этапы разработки масс-спектрометрического оборудования.

1.2 Технические требования к разработке масс-спектрометра для контроля химического состава технологических газов в АСУТП сублиматного производства ГФУ.

1.3 Обзор масс-спектрометрической аппаратуры для контроля состава газовых смесей.

1.3.1 Масс-спектрометр "Сибирь".

1.3.2 Масс-спектрометр 1Ми 200.

1.3.3 Другие масс-спектрометры, предназначенные для измерения состава газовых смесей.

1.4 Определение схемы построения прибора.

1.4.1 Выбор типа источника ионов.

1.4.2 Детекторы.

1.4.3 Выбор типа масс-анализатора.

1.5 Выводы к главе.

2 РАЗРАБОТКА АНАЛИТИЧЕСКОЙ ЧАСТИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА МТИ-350ГС.

2.1 Выбор программы для математического моделирования физических процессов.

2.2 Ионно-оптическая система масс-спектрометра МТИ-350ГС.

2.2.1 Анализ ионно-оптической системы масс-спектрометра «Сибирь».

2.2.2 Ионно-оптическая система масс-спектрометра МТИ-350ГС.

2.2.3 Масс-анализатор.

2.2.4 Полеобразующий магнит масс-анализатора масс-спектрометра МТИ-350ГС.

2.2.5 Источник ионов масс-спектрометра МТИ-350Г.

2.2.6 Конструкция источника ионов масс-спектрометра МТИ-350ГС.

2.2.7 Приемники ионов и система регистрации.

2.3 Вакуумно-аналитическая часть.

2.4 Выводы к главе.

3 РАЗРАБОТКА СТОЙКИ ПРИГОТОВЛЕНИЯ КАЛИБРОВОЧНЫХ СМЕСЕЙ И ЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА

3.1 Назначение стойки приготовления калибровочных смесей и требования к ее разработке.

3.2 Состав и функционирование СПКС.

3.3 Приготовление газовых калибровочных смесей.

3.4 Электронная система управления масс-спектрометром МТИ-350ГС.

3.4.1 Канал питания источника ионов.

3.4.2 Система регистрации ионного тока.

3.4.3 Комплекс вычислительных средств.

3.5 Специализированный программный комплекс.

3.6 Выводы к главе.

4 ПРОВЕРКА ХАРАКТЕРИСТИК МАСС-СПЕКТРОМЕТРА.

4.1 Проведение испытаний прибора.

4.2 Проверка аналитических характеристик масс-спектрометра

МТИ 350ГС.

4.2.1 Проверка геометрических характеристик масс-анализатора.

4.2.2 Определение разрешающей способности масс-спектрометра.

4.2.3 Проверка режимов работы ионного источника.

4.2.4 Проверка характеристик приемника ионов.

4.3 Проверка технических параметров масс-спектрометра МТИ-350ГС.

4.3.1 Определение уровня вторичной электронной эмиссии в приёмнике ионов.

4.3.2 Определение относительного стандартного отклонения единичного определения содержания компонент анализируемой смеси.

4.3.3 Определение флуктуаций, дрейфа и нелинейности усилителей постоянного тока.

4.3.4 Определение нестабильности ускоряющего напряжения.

4.3.5 Измерение расхода газовой смеси.

4.4 Выводы к главе.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка масс-спектрометра МТИ-350ГС для технологического контроля сублиматного производства гексафторида урана»

Основной деятельностью топливной компании «ТВЭЛ», в которую входят такие предприятия как ОАО "СХК", ОАО "АЭХК", ОАО "УЭХК" и другие предприятия ядерно-топливного цикла, является производство топлива для атомных станций и исследовательских реакторов. Сегодня этими предприятиями обеспечиваются потребности всех российских АЭС, поставляется топливо в 16 других стран мира. Одним из технологических процессов производства ядерного топлива является получение устойчивого газообразного соединения урана - гексафторида урана ЦБ б (ГФУ) путем фторирования оксидов урана или тетрафторида урана. Все разделительные производства в России работают именно с гексафторидом урана.

Промышленное производство ГФУ осуществляется в аппаратах фторирования (пламенных реакторах) (АФ) сублиматного производства. Производство ГФУ является сложным технологическим процессом, использующим дорогостоящие исходные компоненты, и сложным объектом автоматизации, что обусловлено высокой скоростью протекающих реакций и агрессивностью технологических сред [1].

Впервые в мировой практике масс-спектрометрический контроль производства ГФУ был реализован в 1962 году, после разработки в масс-спектрометрической лаборатории предприятия п/я А-7354 (УЭХК) масс-спектрометра АМС-1. В середине 70-х годов прошлого века, также в ЦЗЛ УЭХК, был разработан и изготовлен масс-спектрометр "Сибирь", который стал основным прибором, для контроля и управления процессом сублиматного производства на отечественных предприятиях. Ужесточение конкуренции на мировом рынке производства топлива для атомных станций из-за отказа от диффузионных технологий обогащения урана и массового строительства газоцентрифужных заводов по всему миру, привело к значительному повышению требований к контролю технологического процесса и качеству товарной продукции на всех этапах производства ядерного топлива, оптимизации процесса и повышения экономической эффективности.

Таким образом, актуальность работы по разработке нового масс-спектрометра для технологического контроля процесса производства ГФУ обусловлена необходимостью замены устаревшего масс-спектрометрического оборудования для осуществления своевременной и точной коррекции процесса фторирования, обеспечения наиболее оптимального режима процесса получения ГФУ за счет учета содержания всех компонент реакций, протекающих в АП и достижения максимального использования дорогостоящего фтора. Разработка проводилась в соответствии с программой переоснащения промышленных и научно-исследовательских предприятий атомной отрасли России современными специализированными масс-спектрометрами для прецизионного изотопного, элементного и молекулярного анализа1.

Целью диссертационной работы является разработка нового масс-спектрометра для контроля химического состава технологических газов в АСУТП сублиматного производства ГФУ, обладающего высокой степенью автоматизации и улучшенными аналитическими и эксплуатационными характеристиками.

Для решения этой задачи было необходимо:

1. Определить схему построения масс-спектрометра, исходя из технических и экономических характеристик.

2. Разработать и рассчитать ионно-оптическую схему масс-спектрометра, включающую в себя:

- источник ионов с минимальной дискриминацией;

- масс-анализатор с высокой пропускной способностью;

- многоколлекторный приемник ионов, обеспечивающий одновременную регистрацию всех измеряемых компонент.

1 Распоряжение Министерства РФ по атомной энергии N 150-р от 03.09.1999 г.

3. Разработать стойку приготовления калибровочных смесей (СПКС), обеспечивающую как приготовление и хранение калибровочных смесей из чистых газов, так коммутацию и напуск технологической смеси газов в источник ионов масс-спектрометра.

4. Разработать электронную систему управления масс-спектрометром, позволяющую осуществлять работу прибора в автоматическом режиме.

5. Провести испытания разработанного масс-спектрометра в условиях реального технологического производства.

Научная новизна работы

1. Для технологического сублиматного масс-спектрометра впервые разработан источник ионов с ионизацией электронным ударом и однородным вытягивающим полем, обеспечивающий минимальную дискриминацию по массе и продолжительное время работы в условиях агрессивной измеряемой среды.

2. Впервые для технологического сублиматного масс-спектрометра предложена и реализована СПКС, позволяющая осуществлять в автоматическом режиме приготовление калибровочных смесей с высокой точностью из чистых газов, а также осуществлять коммутацию измеряемых смесей в источник ионов масс-спектрометра.

3. Впервые разработан простой комплекс средств автоматизации масс-спектрометра на современной элементной базе, сочетающий высокую точность, надежность и малые габариты.

Практическая ценность работы состоит в создании нового специализированного отечественного масс-спектрометра МТИ-350ГС для анализа состава смесей газовых технологических проб урана в АСУТП сублиматного производства ГФУ. Изготовлены три опытных образца масс-спектрометра, которые успешно прошли заводские приемочные испытания [2], на которых было подтверждено соответствие характеристик прибора требованиям технического задания [3]. Масс-спектрометры МТИ-350ГС успешно введены в промышленную эксплуатацию и установлены в системе технологического контроля сублиматного производства на ОАО "СХК" [4]. Аналитические характеристики масс-спектрометра, закрепленные в технических условиях, соответствуют, а для ряда параметров даже превосходят требования технического задания.

Для МТИ-350ГС разработан информационно-вычислительный комплекс, обеспечивающий полностью автоматическую работу прибора в технологической схеме сублиматного производства.

Масс-спектрометр МТИ-350ГС с небольшими переделками может быть использован в качестве прототипа изотопного масс-спектрометра «легких масс» для задач в области атомной физики, изотопной химии, геологии, медицины и криминалистики.

На защиту выносятся основные положения.

1 Оптимизированный для данной задачи источник ионов, в котором дискриминация по массе внутри источника минимизирована за счет комплекса мер, включающих обеспечение минимальной длины источника, использование постоянных фокусирующих магнитов, расположенных внутри камеры источника, и широкую выходную коллимирующую щель.

2 Специализированная стойка СПКС, позволяющая осуществлять в автоматическом режиме приготовление калибровочных смесей с высокой точностью путем прямого отбора компонентов из соответствующих емкостей с чистыми веществами, в емкость для хранения калибровочных смесей, а также осуществлять коммутацию измеряемых смесей в источник ионов масс-спектрометра.

3 Автоматизация системы управления электронными блоками канала питания источника за счет использования цифровых энкодеров и отказа от аналогового управления.

4 Новая система регистрации ионных токов масс-спектрометра на основе аналого-цифровых преобразователей (АЦП) с соотношением сигнал шум не хуже, чем при использовании классической схемы на основе преобразователей напряжение/частота (ПНЧ).

Апробация.

Результаты работы докладывались на V Съезде ВМСО 5-9 сентября 2011 г., г. Москва. [72]

Три опытных образца масс-спектрометра МТИ-350ГС введены в опытно-промышленную эксплуатацию, метрологически аттестованы и используются в системе технологического контроля сублиматного производства на ОАО "СХК" [67; 68; 70].

Результаты заводских приемочных испытаний [2].

Публикации.

Результаты работы опубликованы в виде трех статей в журналах «Научное приборостроение» [6; 7], «Масс-спектрометрия» [71], доклада [72].

Личный вклад соискателя

В рамках темы диссертации соискателем лично были выполнены следующие работы:

1. На этапе проектирования и разработки масс-спектрометра: разработка общей структуры прибора, формирование частных технических заданий для организаций, принимавших участие в разработке и координацию связей между разработчиками, согласование технических решений. Принимал участие в разработке электронных схем блоков масс-спектрометра. Разработал вакуумную схему СПКС и ее конструкцию, принимал участие в изготовлении и сборке стойки.

2. На этапе сборки опытных образцов: выполнение сборки всех частей в единый прибор и проведение испытаний, разработка источника ионов масс-спектрометра, доработка приемников ионов, доработка камеры анализатора, доработка вакуумной схемы аналитической стойки. Доработка систем СПКС и разработка методики приготовления калибровочных смесей. Доработка электронных систем масс-спектрометра, и их испытание. Проведение ресурсных испытаний масс-спектрометра. Проведение заводских приемосдаточных испытаний. Разработка эксплуатационной документации.

3. На заключительном этапе работ автор лично осуществлял установку масс-спектрометров в системе технологического контроля на сублиматном производстве ОАО "СХК", проведение приемочных испытаний в условиях реального технологического производства.

Остальные результаты получены соискателем в соавторстве при его непосредственном участии.

Объем и структура диссертации

Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, выводов и библиографического списка. Во введении сформулированы цели и задачи работы, обоснована актуальность работы, кратко изложены квалификационная часть диссертации, ее структура и содержание.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Швецов, Сергей Иванович

Основные результаты, полученные в работе, и выводы:

1.При создании масс-спектрометра МТИ-350ГС разработана ионно-оптическая схема на основе одного масс-анализатора, позволяющая при всей своей простоте и малых габаритах успешно обеспечить высокую разрешающую способность масс-спектрометра для легких компонент газовой смеси и регистрацию всех продуктов ионизации ГФУ.

2. По результатам моделирования электромагнитных полей и движения заряженных частиц разработан оптимизированный источник с ионизацией электронным ударом, обладающий минимальной дискриминацией по массам и максимально согласующийся с масс-анализатором. Минимальная дискриминация была обеспечена за счет минимальной длины источника и минимизации магнитных полей в области источника, что было достигнуто использованием постоянных фокусирующих магнитов, расположенных внутри камеры источника.

3. Разработан специализированный многоколлекторный приемник ионов. Для снижения уровня шумов и микрофонного эффекта в конструкции применен комплекс мер, включающий применение демпферов и фиксирующих пластин.

4. Разработана специализированная стойка СПКС, которая позволяет приготавливать калибровочную смесь непосредственно на масс-спектрометре путем прямого отбора компонентов из емкостей с чистыми веществами в емкость для хранения калибровочной смеси. Погрешность молярной доли каждого из компонентов газовой смеси, полученной с помощью дозирующих клапанов стойки, составляет 1 %. Точность приготовления обеспечивается чувствительными датчиками давления и использованием электромагнитных клапанов, управляемых от КВС, включенных последовательно с регуляторами потока.

5. Для поддержания теплового режима вакуумных и напускных коммуникаций, в которых может находиться ГФУ, впервые применен активный термостат, использование которого позволило компактно разместить все нагреваемые элементы и изолировать их от окружающей среды, повысив безопасность персонала, уменьшить энергопотребление, и разместить в стойке все необходимые электронные блоки.

6. Канал питания источника ионов автоматизирован и позволяет осуществлять управление режимами работы как в ручном режиме, так и от КВС. Для этого в схеме управления впервые использованы цифровые энкодеры в паре с ЦАП, заменившие собой потенциометры.

7. Разработана новая система регистрации ионных токов. Использование АЦП в системе регистрации позволило значительно упростить схему и уменьшить габариты, при этом соотношение сигнал/шум такое же, как в системах на основе ПНЧ, но меньше нелинейность преобразования.

8. В масс-спектрометре разработан и реализован новый аппаратно-программный комплекс на базе современного шинного интерфейса CAN для автоматического управления масс-спектрометром и обработки информации, который включает в себя комплекс вычислительных средств на базе промышленного компьютера и программное обеспечение с поддержкой встроенного языка программирования, позволяющего пользователю самому реализовывать алгоритмы измерения и управления масс-спектрометром на протяжении всего срока эксплуатации.

В таблице 5.1 приведены характеристики разработанного масс-спектрометра.

5 Заключение и выводы

Разработанный масс-спектрометр является очередным в серии отечественных специализированных масс-спектрометров МТИ-350, предназначенных для оснащения предприятий ядерного топливного цикла. При разработке прибора были использованы опыт и наработки, полученные при создании предыдущих приборов серии, созданы новые системы с улучшенными техническими характеристиками, позволяющие управлять режимами работы полностью в автоматическом режиме.

Всего в результате выполнения работ было изготовлено три опытных образца масс-спектрометра МТИ-350ГС. Изображение масс-спектрометра МТИ-350ГС приведено в приложении Б. Первый изготовленный масс-спектрометр был передан на Сублиматный завод ОАО "СХК" в конце 2008 года для проведения испытаний в условиях действующего технологического производства ГФУ, проведения ресурсных испытаний и выявления ошибок и недостатков конструкции [67]. После того, как масс-спектрометр подтвердил свою работоспособность и соответствие требованиям технического задания, он был метрологически аттестован и введен в эксплуатацию. Два других масс-спектрометра были переданы на Сублиматный завод ОАО "СХК" в 2010 году [68], где после приемочных испытаний были введены в опытно-промышленную эксплуатацию [69].

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Швецов, Сергей Иванович, 2012 год

1. Байдали С.А., Дядик В.Ф., Юрков A.C. Математическая модель производства гексафторида урана.// Известия Томского политехнического университета. 2009. - Т. 315. № 2. - С. 84-90.

2. Результаты заводских приемочных испытаний опытного образца масс-спектрометра МТИ-350ГС./ ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов, инв. №16/11333. Новоуральск, 2008.

3. Об эксплуатации МТИ-350ГС: письмо/ОАО "СХК", исх. №6025/2391 от 28.03.2012. Северск, 2012 1 с

4. Л6000-0-00 ТУ. Масс-спектрометр МТИ-350ГС. Технические условия./ ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. №16/12152. Новоуральск, 2009 37 с.

5. Хорошев А.Н. Введение в управление проектированием механических систем: Учебное пособие / Белгород, 1999. — 372 с.

6. Борисов В. И. Общая методология конструирования машин. / М.: Машиностроение, 1978. 120 с.

7. ГОСТ 2.103-68. Единая система конструкторской документации. Стадии разработки. введ. 1971-01-01. М.: Стандартинформ, 2007. - 5 с.

8. Лебедев В.М. Ядерный топливный цикл. Технологии, безопасность, экономика. / М: Энергоатомиздат, 2005. 76 с.

9. Бекман И.Н. Уран. Учебное пособие. / МГУ им. М.В. Ломоносова, Химический факультет, Кафедра радиохимии Москва, 2009.

10. Автоматический масс-спектрометр для контроля и управления процессом производства гексафторида урана. Отчет по теме К-10д «Сибирь». ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. №16/3698. Новоуральск, 1975. -255 с.

11. IMU 200. On-line квадрупольный масс-спектрометр для анализа UF6. Электронный ресурс. Дата обновления 2004. URL: http://www.in-process.com/uploads/DB IMU200-C е ade.pdf

12. Времяпролетный масс-спектрометр Люмас. Электронный ресурс. Дата обновления 2009. URL: http://lumass.ru/product/lumass50/.

13. Edmond de Hoffmann, Vincent Stroobant. Mass-spectrometry. Principlesand Application./ 3rd ed. - 2007. - 502 с.

14. Жигарев A.A., Шамаева Г.Г. Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы./ М: Высшая школа. 1982. - 463 с.

15. Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия./ М: Наука.-1969.-408 с.

16. Л6000-00-0 РЭ. Масс-спектрометр МТИ-350ГС. Руководство поэксплуатации. / ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. №16/12153. -Новоуральск. 2009. - 68 с.

17. Веренчиков А.Н., Краснов Н.В., Галль Л.Н. Тандемные масс-спектрометры в биохимии. // Научное приборостроение. 2004. - №14. - С. 423.

18. Галль J1.H., Баженов А.Н., Кузьмин А.Г., Галль Н.Р. Сравнительные возможности масс-анализаторов разных типов в решении аналитических задач масс-спектрометрическими методами. // Масс-спектрометрия. 2008. - №5(4) -С. 295-300.

19. Калашников В. А. Разработка специализированного масс-спектрометра для изотопного анализа урана в газовой фазе: Дис. . канд. технических наук М. 2006. - 176 с. - РГБ ОД, 61:06-5/3650.

20. Соловьев Г.С., Израилевич И.С., Ерохин В.Н., Агеев Н.И., Калашников В.А. Исследование эффекта «памяти» масс-спектрометра и выбор путей его снижения и учета: отчет о НИР. // ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. № Л-1558. Новоуральск. - 1991. - 49 с.

21. Договор на выполнение опытно-конструкторской работы "Разработка масс-спектрометра для контроля сублиматного производства гексафторида урана МТИ-350ГС".// ОАО "УЭХК", №06/3331 от 12.08.2004. -Новоуральск. 10 с.

22. Штань A.C., Кирьянов Г.И., Сапрыгин A.B., Калашников В.А.,

23. Штань A.C., Галль Л.Н., Сапрыгин A.B. Калашников В.А. Малеев А.Б. Масс-спектрометрический комплекс для контроля изотопного состава урана в разделительном производстве. // Атомная энергия. 2004. - Т. 96.-вып. 1.-С. 49-60.

24. Сысоев A.A., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. / М.: Атомиздат. 1977. - 304 с.

25. Малеев А.Б. Исследование и оптимизация характеристик источников ионов масс-спектрометров с магнитным анализатором для анализа гексафторида урана: Дис. . канд. технических наук.-СПб. 2006. - 141 с. -РГБ ОД, 61:06-5/3124.

26. Кащеев H.A., Дергачев В.А. Электромагнитное разделение изотопов и изотопный анализ.- М.: Энергоатомиздат 1989. - 168 с.

27. Патент на полезную модель №113070 Российская Федерация. Масс-спектрометр и отклоняющая магнитная система / Кузьмин Д.Н.; заявитель и правообладатель ФГУП ЭЗАН с СКБ РАН. №2011135462; заявл. 25.08.2011.

28. Галль Л.Н., Огородников А.К., Пятакин А.Н. Аналогово-цифровой моделирующий комплекс и пакет программ для исследования источников ионов. Научные приборы. Т.24. - 1981. - С. 12-15.

29. Бессонов JI.A. Теоретические основы электротехники: Электромагнитное поле. / М.: Высшая школа. 1978. - 231 с.

30. Бердников A.C., Галль Л.Н., Хасин Ю.И. Методика согласования источника ионов статического масс-спектрометра с анализатором. // Научное приборостроение. Т.П. №4. -2001 - С. 28-34.

31. Dahl D.A. Simion 3D Version 7.0. User's Manual. Idaho National Engineering and Environmental Laboratory. 2000. - 353 c.

32. Сысоев A.A., Артеев В.З., Кащеев В.В. Изотопная масс-спектрометрия / Под общей редакцией A.A. Сысоева М.: Энергоатомиздат.- 1993. 288 с.

33. Астон Ф. Масс-спектры и изотопы./ М: Иностранная литература.1948.

34. Галль Л.Н., Саченко В.Д., Хасин Ю.И. Расчетно-экспериментальная методика оптимизации ионно-оптической системы комплекса источник ионов- масс-спектрометр.// Сборник тезисов докладов IX семинара по методам расчета ЭОС. Ленинград. 1988. - С. 116.

35. Галль Л. Н., Кузьмин А. Г., Кудрявцев В. Н., Семенов А. А., Галль Н.Р. Современные подходы к разработке изотопных масс-спектрометровдля анализа элементов легких масс (обзор) // Научное приборостроение, том 19 №4. 2009. - С. 5-12.

36. Галль Л.Н., Хасин Ю.И. О проблеме дискриминаций по массе в источнике ионов с ионизацией электронным ударом. // Научное приборостроение. Т. 16, №2. 2006. - С. 66-72.

37. Галль Л.Н. Физические основы масс-спектрометрии и ее применение в аналитике и биофизике / СПб.: Издательство Политехнического университета. 2010. - 164 с.

38. Бердников A.C., Галль Л.Н., Хасин Ю.И. Методика согласования источника ионов статического масс-спектрометра с анализатором. // Научное приборостроение. Том 11. №4. 2001. - С. 28-34.

39. Система магнитная СМ-75В. Паспорт. ООО "Средуралметпром" -Екатеринбург. 2008. - 4 с.

40. Усовершенствование узлов и систем масс-спектрометра МТИ-350ГС: отчет об ОКР. / ОАО "УЭХК"; рук. Калашников В.А.; исполн.: Швецов С.И., Малеев А.Б., Утев Н.И., Кисель A.M., Кострюков A.M. ЦЗЛ, архив документов инв. №16/10529 - Новоуральск. - 2007 -31.

41. Л6000-0-00 РЭ. Масс-спектрометр МТИ-350ГС. Руководство по эксплуатации. / ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. №16/12153, -Новоуральск. 2009. - 67 с.

42. Д.В., Кострюков A.M. ЦЗЛ, архив документов инв. №16/10671 -Новоуральск. - 2007. - 32.

43. Результаты испытаний уплотняющего элемента электромагнитного клапана из форпласта (Ф-4РМ): справка. / ОАО "УЭХК"; рук. Калашников В.А.; исполн.: Швецов С.И., Утев Н.И. ЦЗЛ, архив документов инв. №13202-Новоуральск. - 2010.-5.

44. Рот А. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ./М.: Энергия-1971 464.

45. Государственная система обеспечения единства измерений.

46. Л5500-00-0. Масс-спектрометр МТИ-350Г. Комплект документации./ ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, № ГР01 040 002395, архив документов инв. №16/Л5500. -Новоуральск. 2006.

47. Finnigan МАТ 281. User manual. / ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архивдокументов инв. №16/6852-Новоуральск. 2002.-71 с.

48. Цельтвангер X. Взгляд изнутри на основы CAN // Мир компьютерной автоматизации. 1996. - № 3. - С. 34-39.

49. Акт выполнения пуско-наладочных работ масс-спектрометра МТИ-350ГС на сублиматном заводе СХК 12-25 ноября 2008 года. / ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. №16/11581.- Новоуральск. 2008. - 5 с.

50. Акт выполнения пуско-наладочных работ масс-спектрометров МТИ-350ГС зав. № 1 и № 3 на сублиматном заводе СХК 15-30.03.2010. / ОАО "УЭХК", ЦЗЛ, архив документов инв. №16/12779. Новоуральск. - 2010.-8.

51. Thermo scientific MAT 253. Электронный ресурс. Дата обновления 2005. URL: https://static.thermoscientific.com/images/D12862~.pdf